射线晶体定向仪原理

设备名称:一、设备名称：YX-8D型X射线晶体定向仪二、该仪器主要为大尺寸、超重的硅单晶棒（或方砖）设计的，仪器配置：此设备由两部分组成；（1）主机：由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分；（2）控制柜:由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成； 技术指标：项 目参 数电 源单相交流 220V 50Hz管电压0～5mA（可调）管 电压0～5mA（可调）精 度15"操 作手动操作操作方式手 动光 闸手动开关光闸狭 缝4' 5' 6' 角 度θ 度 分 秒 最小计数1"2θ -10～110o （θ范围）峰 值μA表 射线强度计数管电压直流 700～1200V左右托 板300×800（mm）晶 体圆棒、方棒 ；设备所能测量的最大晶锭用来测量直径为160mm-220mm；长度不超过800mm ；数 显海德汉ND280数显 直读编码器承 重不超过80kgX射线管风冷 铜靶

X射线自动定向仪是根据市场对晶体角度测量越来越高的精度要求而推出的手动定向仪的升级产品，它是利用X射线衍射原理，设计制造的光，机，电三为一体精密仪器，能快速地测定天然和人造晶体（压晶体管、光学晶体、激光晶体、半导体晶体）的晶面，可与各种切割、研磨等加工设备配套使用。是精密加工制造晶体器件不可缺少的仪器，上述各种晶体的定向与切割。广泛适用于各种晶体材料加工行业和科研院校。 技术特点： 1. 采用进口PLC控制，自动化程度高、故障率极低、抗干扰能力强、系统稳定性好。 2. 全中文人机界面，7英寸TFT触摸屏，接口直观、操作简单。 3. 自动测角扫描方式，并采用进口高分辨率编码器，大大提高测量精度，规避了人工测量的读数误差，极大降低了操作者的劳动强度和操作难度。 4. 测量方式灵活，只需轻触触摸屏或踩脚踏开关，二者任选。 5. 自动标晶校对准确方便、自动扫描10次，取平均值。 6. 满足客户不同需求，设置单点、两点、四点测量模式。 7. 显示可在任一位置调零，便于显示晶体片角度偏差值。 8. 具有峰值放大的特殊积分器，采用高压模块器件，提高检测精度。 9. 模块化的电子线路，射线管高压电缆一体结构，使用维修简单。 10. 自动控制关闸设计，只在必要时打开，安全方便无隐患。 11. 可根据被测样品不同，定制各种样品台，保证测量精度和使用的方便性。 技术参数： 本技术参数根据中华人民共和国机械行业标准，JB/5482 —91 1)、使用条件： 1) 海拔不超过1000米 （超过1000.米、客户与制造厂协商解决） 2) 环境温度+5°~+35°C ； 3) 相对湿度不得大于75%,(如超过此湿度必须采取相应措施)； 4) 单相交流220V，50HZ 5A，电源电压波动不大于±10%，容量不低0.5KW ； 5) 有良好的接地装置，接地电阻不应大于4Ω； 6) 供电线路中不得有电焊机，高频炉等设备引起的高频和电弧干扰。 2、技术指标： (1) X射线发生器部分 输入电源：单相交流220V、50HZ、0.5KW； X射线管：铜靶阳极接地，强迫风冷； X管电压：-30KVP，全压合闸； X管电流：0~5mA，连续可调； 功 率：总功率不大于0.5KW； 保 护：自动光闸、高压连锁、温度保护； 静态检测精度：≤±10″ （用标准石英片SIO2、1011面）（θ：13°20′）（2θ：26°40′） (2) 测 角 仪 部 分： 样品台转角度：θ，0~+55°； 计数器转角度：2θ，0°~+100°； 狭 缝：发散度为4′.5′.6′插入式； (3) 触 摸 屏： 角度最小读值：1″； 数字显示：度、分、秒。 角 度 调 整：数字显示可予置任何角度值。 （3）记录部分： 计 数 管：GJ5101盖革计数管工作电压0~1100V 。 强度显示；微安表显示被测晶体角强度值。 （4）外型尺寸：1150（长）×650（宽）×1500（高）。 （5）重 量：约200Kg。

Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪 主要里程碑： ◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟布拉达切克和他的儿子汉斯布拉达切克创立。 ◆ 1969 - 研制了世界上首台基于集成电路的x射线检测计数装置，名为 COUNTIX 130。◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料，如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金 ◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM ) 全球售出 约 150台石英分选系统◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH 传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师 产品优势： ◆ 采用Omega-scan扫描方法（专利技术） ◆ 测试速度快: 5s ◆ 测角精度高: 0.003 ◆ 兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能 ◆ 磨抛定向解决方案 ◆ 拥有晶锭粘接转移的专利技术（堆垛 stacking）专为SiC工业设计，被多家SiC衬底头部企业青睐，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，国外四分之三的碳化硅制造商依赖Freiberg Instruments公司的晶体取向测量技术，极大提高了生产效率，提升产品质量。 ◆ Mapping 面扫功能，摇摆曲线测定 ◆ 易于集成到工艺线中 ◆ MES和/或SECS/GEM接口 ◆ 倾斜的典型标准偏差（例如：Si 100）： 0.003 °，小于 0.001 ° Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法对各种晶体进行取向测定和摇摆曲线测量。大而宽敞的设计可以容纳长度达450毫米、重量达30公斤的样品和样品架。 所有的测量都是自动化的，可以从用户友好的软件界面上的访问。使用Omega扫描，可以在晶体旋转时（5秒）确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只能得到一个取向成分。 倾斜角可以以非常高的精度确定；使用Theta扫描可以达到0.001°。对于所有其他晶体方向，精度取决于与表面垂直的角差。 该系统是模块化的，已经配备了许多不同的扩展，用于特殊的目的，如形状或平面的确定、绘图和不同的样品架。样品的倾斜是通过光学测量检测出来的，并可用于校正所产生的方向。 单晶衍射仪定向仪： ◆ 全自动完整的单晶体晶格取向测量 ◆ 使用欧米茄扫描法进行超快速的晶体取向测量 ◆ 自动摇动曲线测量功能 ◆ 衍射仪的角度分辨率：0.1角秒。 ◆ 样品尺寸可达450毫米 ◆ 适用于生产质量控制和研究 用户友好，成本效益高： ◆ 方便的样品处理，易于操作 ◆ 先进的、用户友好的软件 ◆ 能源消耗和运行成本低 ◆ 模块化设计，灵活性强 ◆ 各种升级选项 ◆ 根据用户的要求进行定制 选配功能： ◆ 自动Mapping面扫功能 ◆ Omega/Theta – 晶锭粘接转移的专利技术（堆垛 stacking） ◆ Omega/Theta - 摇摆曲线测量 ◆ Omega/Theta - 定制的样品台 ◆ 用于样品形状测量的激光扫描仪 ◆ 光学检测，用于平面和凹槽检测 ◆ 额外的样品旋转轴用于3D绘图 ◆ 二级通道切割准直器（分析器） ◆ 用于样品调整的设备