扫描电镜半导体标准

详细信息 天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目 甘肃省-天水市-秦州区 状态：公告 更新时间： 2022-05-20 天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目招标公告 甘肃瑞纳项目管理有限公司受天水天光半导体有限责任公司的委托，对天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目以邀请招标方式进行采购。 一、采购项目名称及预算： 1.采购项目名称：天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目 2.招标文件编号：GSRNYQZB2021-001 3.采购总预算：3494万元 二、采购需求： 1.采购项目需执行的国家标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范： 满足天水天光半导体有限责任公司采购要求，符合国家标准。 2.采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求： 详见招标文件第四章技术参数要求。 3.采购标的的数量： 序号 设备名称 品牌型号 数量 单位 1 光刻机 NSR 2005I9C 台 2 2 湿法去胶机 AWS-2000 台 1 3 清洗机 SFQ-KQ 台 1 4 清洗机 SFQ-JS 台 1 5 减薄机 DFG 841 台 1 6 去膜机 HR 8500 台 1 7 硅片表面颗粒测量仪 SFS 6420 台 1 8 光刻机 NSR 2005I11D 台 1 9 扩散炉 UL-2604-08 台 1 10 大束流注入机 NV 10-160 台 1 11 部件清洗机 SFQ-BQ 台 1 12 金属铝腐蚀机 SPW-621A 台 2 13 烘箱 PHH-201 台 1 14 固化机 Fusion 150 台 1 15 缺陷测量仪 KLA 2133 台 1 16 LPCVD KE DJ 833 台 1 17 中束流注入机 NH-20-SDR 台 1 18 蒸发台 EI501Z 台 2 19 扫描电镜 S-8840 台 1 20 套刻测量仪 KLA 5200 台 1 21 甩干机 ST 870S 台 2 4.采购标的需满足的服务标准、期限、效率等要求： 详见招标文件。 5.采购标的验收标准： 符合国家标准及招标文件相关要求。 6.采购标的其他技术、服务等要求： 详见招标文件第四章。 三、供应商资格要求：1.须在中华人民共和国依照《中华人民共和国公司法》注册的，具有独立法人资格并具有合法有效营业执照的生产厂家或代理商，不能是被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商；2.营业执照、税务登记证、组织机构代码证或已作三证合一的提供统一社会信用代码的营业执照，须具有良好的财务状况、售后服务能力和相应的质量保证措施；3.供应商须未被列入“中国裁判文书网”网站（http://wenshu.court.gov.cn/）记录综合查询被执行人； 4、本项目不接受联合体响应，实行资格后审。 5、投标供应商须为未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为记录名单。 四、评标办法：综合评分法； 五、公告期限：自公告发布之日起五个工作日； 六、投标保证金账户内容及递交须知 投标保证金账户内容： 户名：甘肃瑞纳项目管理有限公司 账号：62050163010100000690 开户银行：中国建设银行股份有限公司天水分行营业室 投标保证金到账截止时间：以招标文件要求的投标截止时间为准。 为保证开标现场对投标保证金到账情况进行核对，提醒投标人要充分考虑汇款及到账所需时间以及发现问题后采取补救措施所需时间，以确保投标保证金在规定时间前到账。因不能在投标截止时间前到达指定账户的，导致投标无 效的后果由投标人自行承担。 投标保证金递交须知： （1）投标人必须从基本账户以电汇或网银方式提交保证金，且投标保证金单位名称必须与投标人登记的单位名称一致，不得以分公司、办事处或其他机构名义递交。 （2）投标人在办理投标人保证金电汇或网银转账手续时必须一次性足额缴纳，不允许多次缴纳。 七、获取招标文件的时间、地点及方式： 2021年03月05日--2021年03月11日每天上午09:30至11:30，下午15:00至17:00（北京时间），请到甘肃省天水市秦州区石马坪瀚庭名苑一号楼1001室甘肃瑞纳项目管理有限公司办公室领取。招标文件每份售价人民币500元，售后不退。 注：获取邀请招标文件时须携带供应商资格要求中的资质原件及相关证明材料，单位介绍信（原件）、法人委托书（原件）、法人及委托人身份证原件，并提供加盖投标单位公章的复印件一套。投标供应商需准确登记供应商名称、联系人、身份证号码、联系电话等相关信息，如登记信息有误，对其产生的不利因素有供应商自行承担。 八、投标截止时间、开标时间及地点： 1.投标截止时间及地点：2021年03月26日14：30（北京时间）之前到天水天光半导体有限责任公司（甘肃省天水市秦州区环城西路7号二楼会议室），逾期不再受理。 2.开标时间及地点：2021年03月26日14：30（北京时间）之前到天水天光半导体有限责任公司（甘肃省天水市秦州区环城西路7号二楼会议室）。 3、供应商在投标文件递交截止时间前应主动联系招标代理公司，以便及时了解相关招标信息和补充信息。如因未主动联系招标代理公司而未获取相关信息，对其产生的不利因素由供应商自行承担。 九、采购项目需要落实的政府采购政策 ： 1、根据财政部发布的《政府采购促进中小企业发展暂行办法》规定，本项目对小型和微型企业产品的价格给予 6%的扣除。 2、根据财政部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》 规定，本项目对监狱企业产品的价格给予 6%的扣除。 3、根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予 6%的扣除。 十、联系人姓名及电话： 招 标 人：天水天光半导体有限责任公司 联 系 人：张建忠 联系电话：0938-82237475 地 址：甘肃省天水市秦州区环城西路7号 招标代理机构：甘肃瑞纳项目管理有限公司 地 址：甘肃省天水市秦州区合作北路东苑小区西侧 联 系 人：杨昕 联系电话：18009389501 甘肃瑞纳项目管理有限公司 2021年03月04日 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：扫描电镜 开标时间：2021-03-26 14:30 预算金额：3494.00万元 采购单位：天水天光半导体有限责任公司 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：甘肃瑞纳项目管理有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目 甘肃省-天水市-秦州区 状态：公告 更新时间： 2022-05-20 天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目招标公告 甘肃瑞纳项目管理有限公司受天水天光半导体有限责任公司的委托，对天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目以邀请招标方式进行采购。 一、采购项目名称及预算： 1.采购项目名称：天水天光半导体有限责任公司仪器设备邀请招标采购项目 2.招标文件编号：GSRNYQZB2021-001 3.采购总预算：3494万元 二、采购需求： 1.采购项目需执行的国家标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范： 满足天水天光半导体有限责任公司采购要求，符合国家标准。 2.采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求： 详见招标文件第四章技术参数要求。 3.采购标的的数量： 序号 设备名称 品牌型号 数量 单位 1 光刻机 NSR 2005I9C 台 2 2 湿法去胶机 AWS-2000 台 1 3 清洗机 SFQ-KQ 台 1 4 清洗机 SFQ-JS 台 1 5 减薄机 DFG 841 台 1 6 去膜机 HR 8500 台 1 7 硅片表面颗粒测量仪 SFS 6420 台 1 8 光刻机 NSR 2005I11D 台 1 9 扩散炉 UL-2604-08 台 1 10 大束流注入机 NV 10-160 台 1 11 部件清洗机 SFQ-BQ 台 1 12 金属铝腐蚀机 SPW-621A 台 2 13 烘箱 PHH-201 台 1 14 固化机 Fusion 150 台 1 15 缺陷测量仪 KLA 2133 台 1 16 LPCVD KE DJ 833 台 1 17 中束流注入机 NH-20-SDR 台 1 18 蒸发台 EI501Z 台 2 19 扫描电镜 S-8840 台 1 20 套刻测量仪 KLA 5200 台 1 21 甩干机 ST 870S 台 2 4.采购标的需满足的服务标准、期限、效率等要求： 详见招标文件。 5.采购标的验收标准： 符合国家标准及招标文件相关要求。 6.采购标的其他技术、服务等要求： 详见招标文件第四章。 三、供应商资格要求：1.须在中华人民共和国依照《中华人民共和国公司法》注册的，具有独立法人资格并具有合法有效营业执照的生产厂家或代理商，不能是被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商；2.营业执照、税务登记证、组织机构代码证或已作三证合一的提供统一社会信用代码的营业执照，须具有良好的财务状况、售后服务能力和相应的质量保证措施；3.供应商须未被列入“中国裁判文书网”网站（http://wenshu.court.gov.cn/）记录综合查询被执行人； 4、本项目不接受联合体响应，实行资格后审。 5、投标供应商须为未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为记录名单。 四、评标办法：综合评分法； 五、公告期限：自公告发布之日起五个工作日； 六、投标保证金账户内容及递交须知 投标保证金账户内容： 户名：甘肃瑞纳项目管理有限公司 账号：62050163010100000690 开户银行：中国建设银行股份有限公司天水分行营业室 投标保证金到账截止时间：以招标文件要求的投标截止时间为准。 为保证开标现场对投标保证金到账情况进行核对，提醒投标人要充分考虑汇款及到账所需时间以及发现问题后采取补救措施所需时间，以确保投标保证金在规定时间前到账。因不能在投标截止时间前到达指定账户的，导致投标无 效的后果由投标人自行承担。 投标保证金递交须知： （1）投标人必须从基本账户以电汇或网银方式提交保证金，且投标保证金单位名称必须与投标人登记的单位名称一致，不得以分公司、办事处或其他机构名义递交。 （2）投标人在办理投标人保证金电汇或网银转账手续时必须一次性足额缴纳，不允许多次缴纳。 七、获取招标文件的时间、地点及方式： 2021年03月05日--2021年03月11日每天上午09:30至11:30，下午15:00至17:00（北京时间），请到甘肃省天水市秦州区石马坪瀚庭名苑一号楼1001室甘肃瑞纳项目管理有限公司办公室领取。招标文件每份售价人民币500元，售后不退。 注：获取邀请招标文件时须携带供应商资格要求中的资质原件及相关证明材料，单位介绍信（原件）、法人委托书（原件）、法人及委托人身份证原件，并提供加盖投标单位公章的复印件一套。投标供应商需准确登记供应商名称、联系人、身份证号码、联系电话等相关信息，如登记信息有误，对其产生的不利因素有供应商自行承担。 八、投标截止时间、开标时间及地点： 1.投标截止时间及地点：2021年03月26日14：30（北京时间）之前到天水天光半导体有限责任公司（甘肃省天水市秦州区环城西路7号二楼会议室），逾期不再受理。 2.开标时间及地点：2021年03月26日14：30（北京时间）之前到天水天光半导体有限责任公司（甘肃省天水市秦州区环城西路7号二楼会议室）。 3、供应商在投标文件递交截止时间前应主动联系招标代理公司，以便及时了解相关招标信息和补充信息。如因未主动联系招标代理公司而未获取相关信息，对其产生的不利因素由供应商自行承担。 九、采购项目需要落实的政府采购政策 ： 1、根据财政部发布的《政府采购促进中小企业发展暂行办法》规定，本项目对小型和微型企业产品的价格给予 6%的扣除。 2、根据财政部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》 规定，本项目对监狱企业产品的价格给予 6%的扣除。 3、根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予 6%的扣除。 十、联系人姓名及电话： 招 标 人：天水天光半导体有限责任公司 联 系 人：张建忠 联系电话：0938-82237475 地 址：甘肃省天水市秦州区环城西路7号 招标代理机构：甘肃瑞纳项目管理有限公司 地 址：甘肃省天水市秦州区合作北路东苑小区西侧 联 系 人：杨昕 联系电话：18009389501 甘肃瑞纳项目管理有限公司 2021年03月04日

电镜被誉为“人类的第三只眼睛”，经过近百年的发展，已成为物质微观结构分析的重要手段。为帮助更多用户了解电镜这一技术，以及电镜的应用场景、电镜厂商及品牌等，仪器信息网特发起此次【电镜视频征集】有奖征集活动，广大电镜用户及厂商均可免费参与。点击查看活动详情及更多投稿作品↑↑↑ 下面是来自TESCAN中国的系列视频投稿，分别描述了TESCAN扫描电镜及Micro CT技术在锂电池、半导体等热点领域的应用，follow me，一起来看一下吧~~~ 视频1描述了TESCAN UniTOM XL Micro CT显微镜用于锂电池高通量、多尺度无损检测，可以实现对感兴趣位置（VOI）自动对中定位，批量运行扫描多个VOI感兴趣区域。视频1. 锂电池如何做动态检测↓↓↓视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8055357 视频2描述了X射线显微CT产品UniTOM HR Micro CT显微镜可以无损、快速的获得球栅阵列封装BGA的三维分析，并清晰的得到里面的焊球和内部孔隙分布、统计信息，为下一步高分辨的FIB分析提供更有效的指导。视频2. 半导体应用∣球栅阵列封装BGA的三维分析↓↓↓视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8055371 视频3描述了Micro CT显微镜通过连续的数据采集，实现不间断的原位压缩测试，形成动态4D成像，获得金属独有的内部完整数据，从而了解该材料在实际力学条件下如何变形。视频3. 动态4D成像 | 泡沫铝金属压缩↓↓↓视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8055365 视频4描述了TESCAN RISE扫描电镜+拉曼光谱一体化系统用于表征二维材料，如石墨烯层数及质量鉴定、MoS2结构表征、碳纳米管CNT与二维材料结构分析等。视频4. 扫描电镜+拉曼光谱一体化系统 TESCAN RISE在二维材料的应用↓↓↓视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8055341 视频5从Micro CT技术的诞生、发展史、结构及原理，讲述了动态原位成像的应用等。视频5. 黑科技！Micro CT 四维动态成像技术↓↓↓视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8055357点击视频链接，为TA打call吧，点赞/留言/收藏，助TA赢取活动大奖~ 公司简介： TESCAN是一家专注于微观形貌、结构和成分分析的科学仪器的跨国公司，是全球知名的电子显微仪器制造商，总部位于全球最大的电镜制造基地-捷克布尔诺，且已建立起全球的销售和服务网络，在捷克、法国和美国拥有4家研发中心、2个生产基地以及6家海外子公司，已有超过60年的电子显微镜研发和制造历史。其产品主要有电子显微镜、聚焦离子束系统、多通道全息显微镜及相关分析附件和软件，正被广泛应用于医学、生物、生化、农业、材料科学、冶金、化学、石油、制药、半导体和电子器件等领域中。 TESCAN于2009年正式进入中国市场，成立了TESCAN CHINA中国分公司，总部设在上海，且在北京、上海两地建立了DEMO实验室，在北京、上海、广州、重庆、南京、武汉、西安、无锡、苏州等城市设立9个维修站。TESCAN中国公司拥有经验丰富的售前应用和售后服务的技术团队，在上海的应用中心有包含钨灯丝电镜、场发射电镜、FIB以及电制冷能谱仪、电镜制样设备等全系列产品的演示培训平台，为国内用户提供参观、交流和学习的平台。═══════════════════════════════▼▼▼═══════════════════════════════电镜视频征集活动“火热”进行中参赛方式：1、点击链接https://bbs.instrument.com.cn/forum_89.htm ，进入发帖页面，在该版面发布新帖 ，如下图所示。2、按照下图中格式填写，并上传视频，发布。待后台审核通过（约2-3h）后，即可在电镜版面展示，并同步更新至专题作品展示模块。奖项设置：本次活动面向广大用户及厂商均可免费参与，更有多重好礼（环球影城门票、百元京东卡）及热门广告位等你来拿！点击下方图片了解活动详情↓↓↓

仪器信息网讯 2024年3月11日，英国政府发布新的修订条例，即《2024年出口管制（修订）条例》（“修订条例”），更新了《2008年出口管制令》和保留的《欧盟军民两用条例》【相关链接】。修订条例在出口管制令中新增三项新条目，对某些两用货物的出口进行管制。新增条目涵盖多类半导体设备、半导体专用仪器设备，包括干法蚀刻设备、扫描电子显微镜 (SEM) 设备、集成电路、参数信号放大器、低温冷却系统和组件、EUV 掩模和掩模版、低温晶圆探测设备、量子测量设备等。2024 年 4 月 1 日起修正条例生效，将这些产品出口到任何目的地都需要许可证。三项新增出口管制条目修订条例在出口管制令附表 3 中引入了三项新条目，对某些两用货物的出口进行管制。新条目涵盖以下内容：【1】——PL9013 –禁止向任何目的地出口或"以电子手段转让"下列货物、"软件"或"技术":半导体、干法蚀刻设备、扫描电子显微镜 (SEM，应用于半导体器件或集成电路的) 、集成电路、参数信号放大器、低温冷却系统和组件、EUV 掩模和掩模版、低温晶圆探测设备和先进材料。【2】——PL9014 –禁止向任何目的地出口或"以电子手段转让"下列货物、"软件"或"技术":量子计算机、量子位设备和量子位电路、量子控制组件和量子测量设备和计算机、“电子组件”和包含某些集成电路的组件。【3】——PL9015 –禁止向任何目的地出口或"以电子手段转让"下列货物、"软件"或"技术"：某些增材制造设备和专门设计的组件。出口限制国家说明出口管制联合单位（“ ECJU ”）更新了向欧盟成员国出口两用物项的现有开放一般出口许可证（“ OGEL ”），以考虑新条目。OGEL 将允许将新条目涵盖的物品出口到所有 27 个欧盟成员国以及澳大利亚、加拿大、冰岛、日本、新西兰、挪威、瑞士、海峡群岛和美国（受到某些例外情况的限制，例如它们可能用于大规模杀伤性武器的最终用途）。更新后的 OGEL 将于 2024 年 4 月 1 日生效，公司需要在使用前在SPIRE上注册。对于出口到 OGEL 未涵盖的任何目的地，需要出口许可证。向 ECJU 提交的许可证申请可能需要大约两个月的时间来处理，因此任何希望获得此类商品、软件或技术出口许可证的企业都应准备好尽快提交申请。除上述措施外，《修订条例》还引入了多项其他修正案，以反映对瓦森纳安排弹药和两用清单的常规技术更新。这些修订包括对 2008 年出口管制令附表 2 和保留的双重用途法规附件一的修改。日益关注新兴技术新的控制措施是在英国政府（实际上还有许多其他西方国家）过去一年对新兴技术的关注之后推出的。2023 年 3 月发布的国家量子战略包括一项关键的优先行动，以保护“量子能力的关键领域，包括通过使用国家安全投资法和出口管制，以及为量子界提供指导和支持”。本届政府于 12 月发布了国家量子战略任务，并于 2 月宣布对量子领域进行重大投资。国家半导体战略于2023 年 5 月发布，并宣布未来十年向半导体行业投资最多 10 亿英镑。该战略包括政府承诺“与企业合作评估出口管制制度以及如何将其扩大到包括半导体在内的敏感新兴技术”。因此，在努力增加英国在这些领域的研究和开发的同时，英国政府还寻求对这些领域中流出英国的技术和产品进行更大的控制。英国并不是唯一实行这些出口管制的国家。虽然没有作为瓦森纳安排的一部分引入，但英国“与一些志同道合的国家”一起做出了这些改变。去年我们看到几个欧洲国家采取了类似的控制措施。法国今年早些时候对半导体和量子设备及技术实施了新的出口管制，并于 3 月 1 日生效。同样，西班牙于 2023 年实施了管制，荷兰政府也宣布对某些半导体向欧盟以外的目的地出口实施管制；这些措施于 2023 年 9 月生效。预计未来几个月将有更多国家宣布对这些技术进行控制。另外，英国政府现在根据《2021 年国家安全和投资法案》，对涉及量子技术、半导体和其他各种新兴技术领域的英国公司的某些收购和投资，须经过部长级批准。英国根据《修订条例》制定的双重管制清单具有同时扩大该法规定的“军事和两用”敏感部门范围的作用。下一步考虑到这些发展，重要的是半导体或量子技术领域的公司——特别是那些在英国拥有大量业务和/或活动的公司——准备好遵守新的出口管制并在需要时申请许可证。此外，在这些行业运营的英国公司将希望了解《2021 年国家安全和投资法案》对其投资轮次的潜在影响。

同花顺（300033）金融研究中心10月28日讯，有投资者向钢研纳克（300797）提问， 高通量（场发射）扫描电镜，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。以半导体领域为例：半导体工艺线宽从100nm量级到至今的5nm，工艺制程中的缺陷检测也变的至关重要。半导体元器件进行失效分析往往需要采用先进的物理、冶金及化学的分析手段。扫描电镜分辨率高（纳米级），景深大而且可以从几十倍到几千倍连续扩大，是半导体材料研究和分析的重要工具。请问这高通量电镜是真的这麽厉害吗？公司回答表示，投资者您好，高通量（场发射）扫描电镜是扫描电镜技术的一个比较新的技术分支。最早应用在半导体产线上的电子束晶圆检测设备（EBI），从发明到现在已经在半导体产线中被成功应用于在线检测设备超过20年。近些年慢慢开始被应用到非半导体领域，如材料表征、生命科学的组织结构观测等等。虽然其有着比较大的速度优势，但是由于技术比较新，适用条件比较严苛，在应用到其他领域时也存在诸多限制，需要持续的技术升级与改进。感谢您的关注！

波工程学院材料学院分析测试中心历经多年的发展，已经成为省级化学化工基础试验教学示范中心，其设备种类非常齐全。然而，由于许多大型设备操作较为复杂，需要专门的负责人管理使用，因此，学生失去了动手操作机会，弱化了实验的参与感。 对于材料研究来说，扫描电镜早已经成为科研的标配，那么如何让每个学生独立、安全、高效地使用扫描电镜，是实验中心培养学生的目标之一。 此次宁波工程学院采购的飞纳台式扫描电镜，隶属材料与化学工程学院的化学化工分析测试实验室，主要用途是满足整个材料学院以及相关学院的测试需求。其专业覆盖面较广，样品种类繁多，主要有高分子薄膜、无机非金属半导体、高性能合金、纳米功能材料、电池材料以及生物材料等。本次材料院购进型号为Pro-SE飞纳台式扫描电镜，完美地契合了上述的目的： 一、飞纳台式扫描电镜操作简单，经过半日的培训以及工程师的考核，就可以实现独立操作； 二、飞纳台式扫描电镜独有的样品杯设计，杜绝了样品过高刮伤探头的危险，大大提升了设备的安全性； 三、飞纳台式扫描电镜参数设置十分简单，对于种类繁多的样品，无需纠结加速电压和束流直径的选择，只需点击相应的挡位，即可开始观察； 四、飞纳台式扫描电镜抽真空时间仅需15秒，数分钟即可完成样品的观察，带给你飞一般的测样体验。 以上优势都是传统落地式电镜很难达到的操作标准，也是飞纳台式扫描电镜受到了越来越多的客户青睐的原因。钙钛矿电池材料

热烈祝贺飞纳台式扫描电镜再次进军电气领域，续写电气领域宏伟篇章。2016 年 9 月 26 日，飞纳台式扫描电镜工程师完成了北京天诚同创电气有限公司采购的飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 phenom pro 的装机工作，并于 9 月 27 日完成培训，验收成功。北京天诚同创电气有限公司采购的这款飞纳台式扫描电镜 phenom pro 是一款使用高亮度 ceb6 灯丝的高分辨率台式扫描电镜，放大倍数 13 万倍，分辨率轻松可达 10 nm，而且具有全自动操作，15 秒快速抽真空，灯丝寿命长达 3 年的特点。 高分辨率专业版 phenom pro 台式扫描电镜北京天诚同创电气有限公司是新疆金风科技股份有限公司旗下子公司，技术研发涉足新能源发电及相关领域，包括风力发电，光伏发电，伺服控制，电网质量，智能电网等。该公司在生产研发过程中有大量的电子器件样品需要检测，例如风电发动机的导线及电刷这些小部件，而且这些样品体积小，因此，对台式扫描电镜的测量效率，分辨率，灯丝寿命以及自动化程度都有着极高的要求。飞纳的台式扫描电镜 phenom pro 在如此严苛的要求下，以轻松达到 10nm 的高分辨率，小于 15 秒的抽真空时间，寿命长达 1500h 的 ceb6 的灯丝以及自动马达样品台配合光学导航系统成功经住考验，获得客户青睐！测量铜导线金属镀层厚度用户认真学习飞纳电镜的照片用户顺利拿到培训合格证书随着电子技术的迅速发展，对电子材料和半导体的性能及环保标准提出了更高的要求，用高分辨率，能方便快速检测样品的台式扫描电镜进行电子器件生产中的质量控制和器件分析已成为大势所驱，此次飞纳台式扫描电镜也是再次进军电气领域，落户北京天诚同创电气有限公司，为书写电气领域扫描电镜应用篇章做好了更充分的准备！

2019年11月29日，国仪量子与无锡量子感知研究所联合举办“扫描电镜新品发布会”，发布了自主研发的系列新品“扫描电子显微镜SEM3000”。该系列产品目前包括标准版扫描电镜SEM3000及专业版扫描电镜SEM3000S。新品揭幕现场国仪量子总经理贺羽与前洲街道办事处副主任薛凯共同为新品扫描电镜SEM3000进行了揭幕。今年10月，标准版扫描电子显微镜SEM3000亮相全国电子显微学学术年会时得到了行业专家的高度肯定，此次是SEM3000系列扫描电镜在国内首次正式发布。无锡市前洲街道党工委书记张晓阳致辞现场无锡市前洲街道党工委书记、城铁惠山站区党工委书记、管委会主任张晓阳为发布会做了致辞。国仪量子总经理贺羽国仪量子总经理贺羽在发布会现场做了题为“国仪量子：打造以量子测量仪器为核心的先进仪器仪表产业群”的主题报告，向参会嘉宾们介绍了国仪量子成立以来的发展历程。中国电子显微镜博物馆馆长发言现场中国电子显微镜博物馆馆长在揭幕仪式发言时指出扫描电子显微镜SEM3000“是有史以来国内首台由民营企业研制的扫描电镜”。电镜中心主任报告现场无锡量子感知研究所电镜中心主任为参会嘉宾详细介绍了自主研发扫描电镜SEM3000的特点与功能，发布会还邀请了国内相关领域的知名专家、研究者和工程师们参观电镜实验室，并就扫描电镜在科研、工业应用相关领域中的基础研究和应用研究的最新进展进行了深度交流。扫描电镜SEM3000(左)和扫描电镜SEM3000S（右）标准版扫描电镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性价比扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构，放大倍数可达20000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率优于25nm，在自动五轴样品台的配合下，非常适用于生产品质控制及样品筛选，适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。此外，专业版扫描电子显微镜SEM3000S的放大倍数可达150000倍，基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统，其分辨率轻松优于10nm。在100mm全自动五轴样品台的配合下，它是科研及新材料研发的得力助手。扫描电子显微镜的原理是利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构等等。产品广泛应用于材料科学、生命科学、化学、物理、地质矿物学、电子学、食品科学领域的研究，也用于半导体生产、陶瓷、化工、石油等产业领域。目前我国的扫描电子显微镜主要依靠进口，国产扫描电镜产品已经被严重边缘化。国外几大厂商联手垄断，严重制约了我国自身电镜市场的培养和制造业产业升级的需要。面对行业现状，无锡量子感知研究所、国仪量子抓住契机，自主研发出完全国产化的SEM3000系列扫描电镜，引领我国电镜行业的良性发展。

p　　2018年已经远去，过去这一年中国电镜市场延续火热，其中不乏收到热捧的冷冻、球差电镜等高端电镜的积极助推。新技术是各电镜品牌增强竞争力的原动力，2018年7月，康奈尔大学三位教授David Muller与Sol Gruner、Veit Elser 合作，开发出的电子显微镜像素阵列探测器(EMPAD)，以单原子层厚度的单层二硫化钼为观测样本，在不使用像差校正器的情况下，获得了电镜成像分辨率的最新世界纪录——0.39 埃(仅需 80 keV 电子束能量)。赛默飞在第一时间获得康奈尔大学的授权，开启EMPAD的商业化，并迅速获得几十个订单。同时，其他电镜商也推出各自的电镜新品，以下仪器信息网编辑对2018年发布的主流电镜新品进行统计，以窥见电镜技术的最新进展动态。/ph1 label="标题居左" style="font-size: 32px font-weight: bold border-bottom: 2px solid rgb(204, 204, 204) padding: 0px 4px 0px 0px text-align: center margin: 0px 0px 10px "span style="font-size: 16px font-style: italic font-weight: bold line-height: 18px color: rgb(255, 0, 0) "strong扫描电镜：“高通量、热场发射、工具化”成新技术热点/strong/spanstrong/strong/h1p　　2018年，扫描电镜依旧是最活跃的电镜品类，发布新品数最多。从技术角度来看，“高通量”(SU7000、NeuroSEM-100)、“热场发射”(SU7000、S9000)、“工具化”(JSM-IT200)成为新技术热点。从新技术应用领域看，半导体等工业领域应用得到足够重视，开发满足更广泛应用场景的新产品技术成为各品牌追踪的一个方向。赛默飞Prisma偏向科研/工业用户通用型电镜，Verios G4则向半导体等工业用户倾斜。针对冷场SEM超大束流分析时不足，日立高新推出新一代热场技术SU7000。日本电子JSM-IT200则强调观察、分析、报告立等可取，提出“工具化分析仪器”理念。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong赛默飞“最完整”扫描电镜Prismaa href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C11112.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/8060eb10-ce14-4c84-b2a2-acffe0979d04.jpg" title="1.jpg" alt="1.jpg" style="width: 300px height: 290px " width="300" vspace="0" height="290" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong/strong/spanspan style="color: rgb(0, 176, 240) "Prisma E SEM/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180510/463557.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年5月，赛默飞推出新型扫描电镜Prisma/span/a。Prisma电镜平台包含了广泛的自动化和友好的用户界面，使得工业用户在常规的工业应用程序中易于学习和操作，同时保留了科研或学术用户使用中所需要的灵活性。如此，学术研发、工业企业的质量控制和失效分析实验室工作的不同类型客户，可以使用同样一台这种简单但功能强大的新型扫描电子显微镜，它也为更复杂的材料探索提供了全面的成像和分析选择。/pp　　赛默飞材料科学业务副总裁兼总经理Trisha Rice评价道：“Prisma全面优选的探测器、原位级、自动化系统，以及它的环保模式，使其成为目前市场上最完整的产品之一，它可以为工业用户配置为精益的‘点对点’解决方案，或者为研究人员提供一系列专用的成像和分析选项。Prisma的可选配置性可以让客户更自信的购买，因为他们知道Prisma拥有他们所需要的最佳解决方案，这也将为用户未来可能出现的潜在需求提供‘未来保障’。”/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong赛默飞极高分辨率扫描电镜Verios G4a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C197838.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/10ed6dd7-db47-4a94-a5f5-027c9baf84e0.jpg" title="2.jpg" alt="2.jpg" style="width: 300px height: 300px " width="300" vspace="0" height="300" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "Verios G4极高分辨率扫描电子显微镜/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180316/242042.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年3月，赛默飞推出极高分辨率(XHR)扫描电镜Verios G4/span/a。Verios G4能够获得高分辨率、高对比度的图像，而无需使用TEM或其他成像技术。将亚纳米分辨率扩展到整个1kev到30kev的能量范围，能够处理纳米管、孔隙度、催化剂颗粒、生物对象、界面和其他纳米结构等新型材料。满足苛刻的研究应用对灵活性的需求，并且能够方便地容纳大型试样(如冶金试样或完整的晶圆)。其设计以使用方便为核心，能够快速、方便地获取准确完整的纳米级数据；支持精确的原型设计应用，如电子束诱导直接沉积材料或光刻工作。/pp　　赛默飞半导体副总裁兼总经理Rob Krueger表示：“Verios G4是源于我们大获成功的Helios DualBeam系列 (聚焦离子束/扫描电子显微镜)仪器的扫描电子显微镜解决方案。它提供各种环境下行业领先的性能，尤其是用于先进工艺的光束敏感材料所需的低电压环境。”/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong日立高新肖特基场发射扫描电镜SU7000a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C308891.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/5e186f90-9b88-4a98-ac49-10b15f7d8938.jpg" title="3.jpg" alt="3.jpg" style="width: 300px height: 234px " width="300" vspace="0" height="234" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "肖特基场发射扫描电镜SU7000/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180731/468368.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年7月，日立高新推出肖特基场发射扫描电镜SU7000/span/a。SU7000缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现高通量的观察与分析。近年，冷场技术几乎是高分辨观察SEM市场的主流，但冷场SEM虽然分辨率高且稳定，但在超大束流分析时还有些不足，所以超大束流分析(如WDX)热场便成为一种新的需求。结合这些需求，日立高新推出热场技术的SU7000。/pp　　SU7000全新设计的探测器使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以往要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(WD)，以设置最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。而且，其配置了可同时6通道显示界面，进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，以适用于各种样品的观察与分析。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong日本电子扫描电镜JSM-IT200 Series InTouchScopeTM/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/bf0a2d3e-1102-46d5-89e9-146e4b029e4f.jpg" title="4.jpg" alt="4.jpg" style="width: 300px height: 191px " width="300" vspace="0" height="191" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "扫描电镜JSM-IT200 Series InTouchScopeTM/span/pp　　2018年3月，日本电子推出新型扫描电镜JSM-IT200 Series InTouchScopeTM。其官方将其描述为“观察、分析、报告立等可取!工具化的分析仪器”。JSM-IT200Series装配了和JSM-IT500Series同样的功能软件，使用更加简单容易，日本电子自述作业效率比JSM-IT100Series提高了35%。JSM-IT200Series有4种机型可供选择：标准机型JSM-IT200BU、分析型JSM-IT200A、低真空观察型JSM-IT200LV、分析型低真空观察JSM-IT200LA。/pp　　该系列主要特点包括：使用样品更换导航可以安全简单地更换样品 SEM和EDS一体化集成，从观察到分析顺利获取数据 标配具有样品座图像、CCD图像和SEM像联动功能的Zeromag，可以直接快速地寻找感兴趣的视野 标准装配X,Y 2轴马达台和蒙太奇功能，可获取mm级的SEM像和元素分析 标配Live Analysis功能，元素分析效率高 用SMILE VIEW™ Lab，很容易生成数据报告。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong泰思肯超高分辨型热场发射扫描电镜S9000/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/d08652ec-ff09-40d6-bd7c-aaa25f680fc6.jpg" title="5.jpg" alt="5.jpg" style="width: 250px height: 333px " width="250" vspace="0" height="333" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "超高分辨型场发射扫描电镜S9000/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181207/476671.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年11月，泰思肯发布第四代电镜S9000系列/span/a。S9000是TESCAN最新推出的超高分辨型电子显微镜系列，在软硬件方面均经过全新设计，配备了TESCAN最新的Triglav™ 电子镜筒技术和Orage™ 离子镜筒技术；配置了全新立体设计的Essence™ 计算机处理系统，具有便捷的操作界面和面向应用流程的可定制化软件布局。/pp　　S9000具有优化的透镜内探测器系统和高性能电子信号过滤和收集能力。S9000能够采集能量过滤后的轴向背散射电子信号，可以选择性收集低损耗背散射电子，获得更好的对比度和表面灵敏度。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong聚束科技高通量场发射扫描电镜系NeuroSEM-100a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C290025.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/15c4b160-ede9-490a-820b-9700c2069d93.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg" style="width: 250px height: 374px " width="250" vspace="0" height="374" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "高通量场发射扫描电镜系NeuroSEM-100/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180615/466004.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年年初，聚束科技自主研发的首台高通量场发射扫描电镜系统—领航者(Navigator)系列的第一台NeuroSEM-100/span/a正式下线并交付客户—中科院自动化研究所，专用于微观尺度脑神经连接图谱的超高速成像。/pp　　Navigator系列主要创新点包括：拥有自主知识产权的高效电子收集和成像系统，采用同轴电子直接探测技术和高速FPGA采集模块，使该系统在世界上首次实现低加速电压(1kV)下100M/s级二次电子和背散射电子的超高速同步成像 针对于低加速电压、大视野下分辨率而专门设计的电子光学镜筒光路，采用浸没摇摆电磁复合透镜设计，使其在1kV加速电压下即可获得1.6nm、5kV下可获得1.2nm的高分辨率能力，且具备高分辨率视场的区域较传统扫描电镜大4倍以上，而且保持高线性度(1‰的计量级) 高度的智能化结合超高速成像能力(4TB/天)，使之具备了跨尺度信息融合能力。可全自动的超大区域(100mmX100mm)全息地图集式成像模式，可以在同时保持高分辨率情况下对样品进行全自动的无遗漏信息采集。/ph1 label="标题居中" style="font-size: 32px font-weight: bold border-bottom: 2px solid rgb(204, 204, 204) padding: 0px 4px 0px 0px text-align: center margin: 0px 0px 20px "span style="font-size: 16px font-style: italic font-weight: bold line-height: 18px color: rgb(255, 0, 0) "透射电镜：半导体等工业应用技术再受关注/span/h1p　　2018年透射电镜方面，主要是日本电子推出针对半导体领域的JEM-ACE200F，赛默飞推出配置于Themis Z的下一代S-CORR像差探头校正器。前者主要针对半导体领域对形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的需求 后者主要针对材料科学领域原子分辨成像等高端科研需求。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong日本电子高通量透射电镜JEM-ACE200F/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/2b7d9dbb-2299-4755-b404-070a52e002e0.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg" style="width: 450px height: 287px " width="450" vspace="0" height="287" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "高通量分析透射电镜JEM-ACE200F/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181212/476966.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年12月，日本电子推出高通量分析透射电镜JEM-ACE200F/span/a。随着半导体工业中器件的进一步小型化，透射电镜已成为器件表征多种应用中必不可少的工具。这些应用包括形态学观察、临界尺寸测量、元素分析、局部应变分析和掺杂浓度测量。特别该工业对形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的要求，以便将这些数据采集反馈至制造过程。针对此需求，日本电子推出JEM-ACE200F。/pp　　JEM-ACE200F通过创建实际操作工作流程系统，无需操作人员看管操作，即可实现数据的自动生成。由于集成了高端电镜JEM-ARM200F和通用型电镜FE-TEM JEM-F 200硬件技术，JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现优秀。主要特点包括：高通量(与自动显微镜调谐功能相结合的快速数据采集 缩短抽真空时间，从插入样品杆到开始观察只需30秒) 友好用户界面(所有的操作可通过鼠标操作完成) 流程方案易于编程和更改(工作流程可以使用各种标准化的编程语言进行灵活的编程) 环保设计。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong赛默飞下一代S-CORR探头校正器(配置于Themis Z)a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C139308.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/05aaba00-335f-4708-9b5f-d531a021d849.jpg" title="8.jpg" alt="8.jpg" style="width: 250px height: 349px " width="250" vspace="0" height="349" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "配制S-CORR探头校正器的Themis Z/span/pp　　2018年8月，赛默飞推出配置于Themis Z的下一代S-CORR探头校正器。Themis Z扫描透射电镜是建立在其亚埃级 STEM成像能力的基础上，S-CORR是其下一代探头像差校正。凭借S-CORR，Themis Z能够以低加速电压提供优异的STEM成像和光谱性能，使科学家能够分析电池，燃料电池，催化剂和轻金属以及历史上难以成像的合金等材料。通过改进探针尺寸和形状，同时在研究过程中保持样品的完整性，研究人员可以通过在原子水平上揭示其结构和化学，更好地了解如何提高材料的性能。/pp　　完成S-CORR升级后，Themis Z将经过验证的光学器件和全新突破性STEM成像功能与增强的自动化软件相结合，为材料科学家们提供极佳的成像性能。通过独特的 EDX 产品组合，Themis Z 在采用单一物镜配置的单一工具中提供更全面的原子表征数据。/ph1 label="标题居中" style="font-size: 32px font-weight: bold border-bottom: 2px solid rgb(204, 204, 204) padding: 0px 4px 0px 0px text-align: center margin: 0px 0px 20px "span style="font-size: 16px font-style: italic font-weight: bold line-height: 18px color: rgb(255, 0, 0) "台式电镜：荷兰飞纳领衔进入台式场发射时代/span/h1p　　台式电镜方面，荷兰飞纳推出台式场发射(FEG)电镜能谱一体机Phenom LE，台式电镜进入台式场发射时代，其分辨率达2.5nm。驰奔仪器与善时仪器也分别推出台式电镜新品Cube-200、SS-150，主要在更加小巧、性能优化方面进行创新。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong荷兰飞纳(赛默飞)台式场发射(FEG)电镜能谱一体机Phenom LEa href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C287768.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/51fcfc5c-e7c6-47e8-8e0e-2681d44ef06f.jpg" title="9.jpg" alt="9.jpg" style="width: 300px height: 244px " width="300" vspace="0" height="244" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "台式场发射(FEG)扫描电镜 Phenom LE/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180725/468086.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018 年7月，荷兰飞纳推出全球首创台式场发射(FEG)扫描电镜能谱一体机Phenom LE/span/a。Phenom LE采用肖特基场发射电子枪，集背散射电子成像，二次电子成像和能谱分析于一体，分辨率优于2.5nm@15kV，放大倍数500,000x。只需一张承重200kg以上的桌子就可以安装飞纳台式场发射(FEG)电镜，无需装修改造实验室，无需安装防震台、磁屏蔽。据介绍，飞纳台式场发射(FEG)电镜能谱一体机Phenom LE 将为用户节省 40% 左右的购买成本(相较于购买传统落地式场发射电镜和能谱)，同时可为用户节省 20-60 万的实验室改造费用(安装防震台，磁屏蔽，装修实验室等)，飞纳台式场发射只需要一张桌子(千元左右)，维护也相对简单，省钱更省心。/pp　　其创新主要包括：从台式电镜升级到场发射(FEG)电镜能谱一体机，从 CeB6 灯丝升级到场发射灯丝 台式电镜分辨率从 30nm 提升至 2.5nm 此次升级的肖特基场发射电子源束流大，进一步激发样品产生充足的 X 射线。配置超薄“窗口”(Si3N4)，元素探测范围：Boron(5)-Americium(95) 高效率体现为15秒抽真空、全程样品导航、全自动马达样 配置多功能选配应用软件，如颗粒系统、孔径系统、纤维系统等，使得一些统计分析的应用可一键完成。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong驰奔仪器台式扫描电镜Cube-200a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C287665.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/07ed783c-2a52-4e41-8f70-bb8bc994bfc8.jpg" title="10.jpg" alt="10.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "台式扫描电镜Cube-200/span/pp　　2018年初，驰奔仪器推出其第二代桌面台式扫描电镜Cube-200。Cube-200是其第二代钨灯丝扫描电镜，控制电器全面升级，产品结构更加合理，产品性能接近或超越同等规格一线电镜品牌同类产品。配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，四孔径物镜光阑，和大型扫描电镜具有同等配置，对于专业操作人员，更加得心应手。Cube-200拓展简单易用台式电镜专用X射线能谱仪(EDS)，能快速获得微米亚微米范围微小区域化学元素定性定量结果 在工作条件固定模式下，也是一款高效率的成像检测设备。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong善时仪器台式扫描电镜SS-150a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C273898.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/afd261d2-6d8e-4c8a-87d0-8f3cb77b19c9.jpg" title="11.jpg" alt="11.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "台式扫描电镜SS-150/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180929/472331.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年2月，善时仪器推出台式扫描电镜SS-150/span/a。SS-150体型小巧,占用空间小 放大倍率30~150,000X 5nm分辨率 采用二次电子和背散电子两种探测器 通过选配EDS可进行元素成份分析 SS-150系列扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护 自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品 软件实现检测图形实时存储。/ph1 label="标题居中" style="font-size: 32px font-weight: bold border-bottom: 2px solid rgb(204, 204, 204) padding: 0px 4px 0px 0px text-align: center margin: 0px 0px 20px "span style="color: rgb(255, 0, 0) "strongspan label="明显强调" style="font-size: 16px font-style: italic font-weight: bold line-height: 18px "聚焦离子束扫描电镜：泰思肯连发3款/span/strong/span/h1p　　聚焦离子束扫描电镜方面，泰思肯在2018年连续推出3款S8000X、S9000X、S9000G，算上之前推出的S8000G，以及场发射电镜新品S8000、S9000。泰思肯在不到两年时间内，迅速更新了电镜产品线，第四代电镜产品系列S8000系列(S8000、S8000 X、S8000G)、S9000系列(S9000、S9000 X、S9000G)系数登场，也侧面体现了泰思肯近来大举拓展市场的决心。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong泰思肯Xe FIB-SEM双束电镜S9000Xa href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C307969.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【产品链接】/span/a/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/a5076cdc-86c0-4b22-97de-8c1c510a5c2a.jpg" title="12.jpg" alt="12.jpg" style="width: 300px height: 199px " width="300" vspace="0" height="199" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "Xe FIB-SEM双束电镜S9000X/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180810/469150.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年8月，泰思肯推出新一代的氙等离子源双束电镜系统S9000X/span/a。S9000X配备超快速的氙等离子源，具有极高的精度和极高的效率。其最新一代Triglav™ 镜筒的探测器系统具有非常优异的表面灵敏度和出色的对比度 另一方面，新的 iFIB+™ 离子镜筒进一步扩大了Xe等离子FIB的应用领域，提升了大体积样本微加工和3D微量分析的能力，并且大大缩短了加工时间。/pp　　9000X提供了纳米尺寸结构分析所必需的高分辨率和表面灵敏度，为大体积 3D 样品特性分析提供了优异条件 同时，它还提供优异的FIB功能，可实现精确、无损的超大面积加工，包括封装技术和光电器件的横截面加工，为大尺寸试样进行高效率制备和高分辨表征提供了优异解决方案。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong泰思肯Ga FIB-SEM双束电镜S9000G/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/b6275aa3-acd5-43f8-93b6-6180fe391ade.jpg" title="13.jpg" alt="13.jpg" style="width: 300px height: 193px " width="300" vspace="0" height="193" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "Ga FIB-SEM双束电镜S9000G/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181207/476671.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年11月，泰思肯推出超高分辨型镓离子源双束FIB系统S9000G/span/a。S9000G适用于超薄TEM样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务。S9000G 配置了Orage™ FIB镜筒，不仅为纳米加工提供了最佳的精度，高达100 nA的大离子束流，还可以对生物样品和材料进行指定位置、大体积的三维逐层扫描，图像具有更出色的对比度。得益于低电压下离子束的出色分辨率和性能，TESCAN S9000G可以快速获得最佳质量的小于20nm的超薄TEM样品。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong泰思肯Xe FIB-SEM双束电镜S8000X/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/c3bf2da9-f88c-477d-b4d2-35849aab550e.jpg" title="14.jpg" alt="14.jpg" style="width: 300px height: 231px " width="300" vspace="0" height="231" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "Xe FIB-SEM双束电镜S8000X/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181207/476671.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年11月，泰思肯推出氙等离子源双束电镜系统S8000X/span/a。S8000X使用了全新开发的电子和离子光学镜筒，配备了最新的多种探测器并集成多项创新设计，尤其是在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力达到了业内先列。/ph1 label="标题居中" style="font-size: 32px font-weight: bold border-bottom: 2px solid rgb(204, 204, 204) padding: 0px 4px 0px 0px text-align: center margin: 0px 0px 20px "span style="font-size: 16px font-style: italic font-weight: bold line-height: 18px color: rgb(255, 0, 0) "电镜相关软件：蔡司推出2款增强软件/span/h1p　　电镜软件方面，电镜商多数在推出的电镜新品中，也对相对应软件系统进行了更新或加强。如赛默飞Prisma的MAPS软件包可由多个图像创建大面积复合图像，并对数据进行关联；SU7000配置可同时6通道显示界面，进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度；日本电子JSM-IT200标配Live Analysis功能，元素分析效率高 用SMILE VIEW™ Lab，很容易生成数据报告；泰思肯S9000配置了全新立体设计的Essence™ 计算机处理系统等。与此同时，蔡司单独推出2款增强软件和平台：ZEN connect、APEER，主要侧重于蔡司优势的生物领域，并充分拓展了光电联用技术的应用。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong蔡司增强软件功能新技术-ZEN connect/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/124f2540-5321-4d3e-bee5-bcb7fc5bbe1f.jpg" title="15.jpg" alt="15.jpg" style="width: 300px height: 161px " width="300" vspace="0" height="161" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "ZEN connect界面/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180516/463960.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年5月，蔡司推出采用增强成像技术的新软件模块ZEN connect/span/a。ZEN connect能够在结构分析、细胞过程性检查、细胞定位等多种相关分析中发挥巨大作用。该模块进一步加强了蔡司软件的功能，赋予其三个新特征——直观的数据管理、简化的样本工作流程、以及无限导航。/pp　　ZEN Connect用户可使用任何显微镜着手工作，可以分析完整的大规模样本，甚至可以用自动覆盖和重新定位的算法识别特定区域。ZEN Connect还是唯一一款可以让用户在更宽泛的环境下分析特定数据的软件模块，其所分析的数据能够结合大视场图像和极高分辨率的细节。这意味着ZEN Connect能够更好地控制复杂实验装置中的数据结构。该模块可适配于蔡司的全套显微设备，包括光学、共焦、X射线、电子、离子显微镜等。蔡司LSM 800和蔡司GeminiSEM是与ZEN Connect搭配使用的特别推荐。当然，ZEN Connect也能够与蔡司其他绝大多数的光学和电子显微镜兼容。/pp　　span style="color: rgb(112, 48, 160) "strong蔡司云端数字显微镜平台APEER/strong/span/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/1cbf64b9-5e0a-4ef7-b007-53fa8e14a60a.jpg" title="16.jpg" alt="16.jpg" style="width: 300px height: 200px " width="300" vspace="0" height="200" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "数字显微镜平台——APEER/span/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180816/469470.shtml" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2018年8月，卡尔蔡司推出其基于云技术的最新数字显微镜平台APEER/span/a。APEER平台可以帮助显微镜用户，通过利用应用程序工作流进行3D重建，染色或分割等方式，实现在云端自动处理图像。该平台除了能够在平台上交换科学应用程序之外，该设计还旨在促进科学家之间的协作，并提供社区建设功能，例如讨论论坛及交换数据集或在现有工作流基础上进行构建的机会。/pp　　蔡司显微镜业务组负责人Markus Weber博士表示：“通过APEER，我们对研究人员的工作本身给予了更多关注，而不再仅仅是关于图像处理的，为他们提供了协作和构建所需的相关工具，满足其特定研究需求的解决方案。”/p

CD-SEM概述在过去的半个多世纪，集成电路产业依照摩尔定律不断向更小的特征尺寸（critical dimension，CD）发展，这就使得集成电路的生产需要更严格的制造环境、更先进的制造工艺以及更少的制造缺陷，因此，集成电路晶圆（wafer）关键层图案图像线宽尺寸测量和缺陷检查越来越成为现代半导体产业的关键问题。半导体工艺技术的进步往往表现在器件关键尺寸的减小，栅宽决定了沟道长度，进而影响器件的反应速度。关键尺寸即栅极线条宽度，通常是指我们所说的“线宽”，任何经过光刻后的光刻胶线条宽度或刻蚀后栅极线条宽度与设计尺寸的偏离都会直接影响最终器件的性能、成品率及可靠性，所以先进的工艺控制都需要对线条宽度进行在线测量。关键尺寸测量需要精度和准确性优于2nm的测量仪器，能够获得这种测量水平的仪器是扫描电子显微镜。此类扫描电镜被称为关键尺寸扫描电子显微镜（Critical Dimension Scanning Electron Microscopy，即CD-SEM），是晶圆厂的主要计量工具。虽然两者在技术原理上有很多相似之处，但由于不同的应用侧重点，CD-SEM和普通SEM在实际的配置和使用中存在较大区别。与通用 SEM 相比，CD-SEM 有三大特点：1、CD-SEM照射样品的一次电子束能量较低，为1keV或以下。这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱，降低CD-SEM电子束的能量可以减少电子束照射对样品的损伤，这样有利于晶圆进行下一步工序。2、CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量，通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器，以实现在高吞吐率和高重复性下获得精确的线宽测量。CD-SEM 的测量重复性约为测量宽度的 1% 3σ。3、CD-SEM与SEM的自动化操作步骤：将样品晶圆放入晶圆盒内，然后将晶圆盒放置在 CD-SEM/SEM 上。预先将尺寸测量的条件和程序输入到配方（recipe）中。当测量过程开始时，CD-SEM /SEM会自动从盒中取出样品晶圆，将其加载到 CD-SEM /SEM中并测量样品上所需的位置。测量完成后，晶圆将返回到晶圆盒中。普通的SEM也可以执行自动化操作，但与CD-SEM相比，其自动化能力不如CD-SEM那么精细和高效。CD-SEM通常在半导体制程控制中需要执行大量的重复测量，因此具有较强的自动化能力。而普通SEM则可能更注重于图像的质量和分辨率。当然CD-SEM通常还包含一套完整的数据分析和报告生成工具，可以自动分析测量数据、生成统计报告并等。市场概况根据VLSI Research的统计，2020 年半导体检测和量测设备市场各类设备占比如下表所示，其中，检测设备占比为 62.6%，包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等；量测设备占比为 33.5%，包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等，具体情况如下：数据显示，电子束关键尺寸量测设备全球销售额约6.2亿美元，占半导体量检测设备总销售额的8.1%。目前，全球半导体检测和量测设备市场也呈现国外设备企业垄断的格局，CD-SEM也不例外。目前主要CD-SEM厂商是日立高新，国内主要厂商包括上海精测和东方晶源。CD-SEM当前市场主流产品型号包括 AMAT 的 VeritySEM 系列和 PROVision 系列，以及日立高科的 SEM 系列；国产突破上看，东方晶源面向 8 吋产线的首台 CD-SEM 设备 SEpA-C300 系列已于 2022年4月出货给燕东微，面向 12 吋产线的首台设备 已于 2021 年 7 月出机中芯国际。CD-SEM国外主流企业及进展1、日立高科自 1984 年推出第一台 CD-SEM 以来，日立一直遵循基于 SEM 图像的关键尺寸测量方法，30 多年来一直不断发展并保持出色的测量可重复性。在保持与半导体微纳加工趋势兼容的高分辨率的同时，日立提供强大的CD-SEM，以展示高可用性，并结合制造和开发线所需的各种新功能，以满足客户的需求。随着半导体器件制造工艺的发展，N2（2 nm制程节点）和A14（14 埃制程节点）的研发正在进行中。除了在最先进的器件中应用高数值孔径 EUV光刻之外，器件结构的复杂性预计还会增加，例如 GAA 和 CFET 结构。因此，在尖端半导体器件工艺开发中，在研究阶段和量产阶段，对在各种测量条件下进行高速数据采集以测量各种材料和结构、稳定运行以及进一步提高工具间匹配的需求正在增加。2023年12月12日，日立高新技术宣布推出GT 2000高精度电子束计量系统。GT2000高精度电子束测量系统GT2000配备了尖端3D半导体器件的新型检测系统。它还利用低损伤高速多点测量功能实现高数值孔径EUV光刻胶晶圆成像，以最大限度地减少光刻胶损坏并提高批量生产中的良率。日立GT2000 CD-SEM将在日益小型化和复杂化的先进半导体器件的制造过程中实现高精度、高速的测量和检测，并为提高客户在研发和量产方面的良率做出贡献。GT2000有三大关键技术：1. 100V超低加速电压和超高速多点测量功能，适用于高数值孔径EUV工艺在高数值孔径EUV光刻工艺中，使用的光刻胶更薄，因此，为了高精度测量，计量工具必须尽可能少地对光刻胶造成损坏。GT2000将开创性的100V超低加速电压与专有的高速扫描功能相结合，实现了低损伤和高精度测量。此外，它还配备了超高速多点测量模式，可快速确定制造工艺条件，检测研发阶段的异常情况。2. 3D器件结构高灵敏度检测系统除了传统的 CD 测量外，具有 GAA、CFET 和 3D 存储器等结构的 3D 设备还需要测量图案的深度、孔和沟槽的底部。GT2000配备了新的高灵敏度检测系统，可有效检测背散射电子，从而能够对日益复杂的器件结构进行高精度成像，并扩展了新测量应用的可能性。3. 改善工具间匹配的新平台和新电子光学系统负责过程监控的CD-SEM最重要的性能要求之一是多个工具之间的测量值差异很小。GT2000 新平台和电子光学系统经过重新设计，消除了导致测量值差异的任何因素，从而改善了工具之间的匹配。2、应用材料（AMAT） 应用材料是世界上最大的半导体设备厂之一，多年稳居半导体设备市场榜首。1997年，为了进入集成电路生产过程检测和监控设备市场，应用材料先后分别以1.75亿美元和1.1亿美元收购两家以色列公司Opal Technologie和Orbot Instruments。其中，Opal是一家领先的半导体CD-SEM系统供应商。由此应用材料成功打入CD-SEM市场。今年2月28日，2月28日，应用材料公司推出了一款新型电子束测量系统，专门设计用于精确测量采用EUV和新兴高数值孔径EUV光刻技术的半导体器件特征的关键尺寸。随着光刻胶在EUV中变得更薄，尤其是高数值孔径EUV，测量半导体器件特征的关键尺寸变得更具挑战性。为了捕获提供精确亚纳米测量的高分辨率图像，CD-SEM必须能够将窄电子束精确地施加到极薄光刻胶占据的小区域。电子束能量与光刻胶相互作用，如果着陆能量过高，抗蚀剂会收缩，扭曲图案并产生误差。传统的CD-SEM不能产生足够窄的光束，以足够低的着陆能量创建高分辨率图像，以尽量减少与精致的高数值孔径光刻胶的相互作用。应用材料公司的新型VeritySEM 10系统具有独特的架构，与传统的CD-SEM相比，能够以2倍的分辨率实现低着陆能量。它还提供更快30%的扫描速率，以进一步减少与光刻胶的相互作用并提高通量。该系统具有行业领先的分辨率和扫描速率，可改进对EUV和高数值孔径EUV光刻和蚀刻工艺的控制，帮助芯片制造商加快工艺开发并最大限度地提高大批量生产的良率。VeritySEM 10系统也被芯片制造商用于3D设计中的关键尺寸计量应用，包括Gate-All-Around（GAA）逻辑晶体管和3D NAND存储器，其中系统的背向散射电子能够对深层结构进行高分辨率成像。在GAA芯片的应用中，VeritySEM 10用于测量和表征选择性外延过程，这是晶体管性能的关键。对于3D NAND存储器，该系统提供大视野和高焦深，以测量整个楼梯互连结构并帮助调整蚀刻工艺配方。3、KLA KLA（中文科磊），1976年成立于美国加州硅谷，是全球领先的半导体检测设备供应商，为半导体制造及相关行业提供产能管理和制程控制解决方案。目前KLA的量检测产品主要集中于光学检测，其电子束检测多为缺陷检测产品。不过KLA也曾推出过CD-SEM的量测产品，比如曾在1999年推出了 8100XP-R，这是一款临界尺寸扫描电子显微镜 （CD-SEM），专为涉及低 k1 光刻和 0.18 微米设计规则的半导体计量而设计。该工具设计用于测量掩模版和晶圆，而无需任何硬件或软件转换。今年美国国家标准与技术研究院 （NIST）联合KLA 的研究人员共同开发电子束倾斜测量技术，以提升芯片制造SEM测量水平。当电子束通过SEM时，它会受到精细控制。电子束与理想路径的轻微偏差或电子束撞击芯片表面的角度的微小错位都会使生成的 SEM 图像失真并歪曲器件的结构。NIST和KLA通过考虑电子束的这些角度错位，提高了SEM的精度。该联合研究项目测量光束倾斜的精度小于一毫弧度，即百分之五度，这需要在角分辨率和测量验证方面取得进步。4、TCKTCK株式会社自2005年成立以来，为半导体行业开发并销售了许多独特的半导体相关设备，其基础技术包括精密载物台、真空控制技术、电子束控制和图像处理技术等。因此，在2014年，开发并销售了世界上最小水平的高分辨率和超高真空SEM，并收到了来自各个方面的大量反馈。 近年来，在半导体领域开发的精密技术得到应用。TCK的Minimal CD-SEM专门用于电子显微镜中晶圆图案的尺寸测量。该设备的特点是可移动的尺寸和重量（纵深459mm，高1440mm，宽297mm，120kg），在工厂实现高分辨率/超高真空，同时能够在AC 100V的电源中工作。为了本仪器的便携性，安装了各种网络连接方式，例如通过USB / LAN电缆连接PC和通过IR云互联网连接红外互联网。5、HOLONHOLON是一家基于电子束的检测和测量工具的制造商，产品主要用于半导体制造所需的光掩模和晶圆。用于光掩模的CD-SEM是HOLON的旗舰产品，在半导体制造工艺中使用的光掩模制造工艺中发挥着不可或缺的作用。光掩模制造工艺所需的工具主要分为两种类型。一种是电子束直写（图案成型）系统，另一种是检查（或修复）系统。HOLON提供电子束检测系统。公司主要的CD-SEM产品是ZX系列，其中ZX-D是用于传统工艺节点的光掩模CD-SEM。ZX-D 和 ZX 建立在相同的技术平台上，ZX-D 可以在需要时升级到完整的 ZX 配置。ZX CD-SEM 将 HOLON 在掩模计量方面的技术领先地位扩展到 10nm 以下节点的最先进器件。HOLON行业领先的像差校正和电荷缓解技术已经过改进和实施，以满足测量和成像前沿半导体光掩模的所有要求。ZX 已交付给全球多家半导体制造商、代工厂和光掩模车间，并在其中使用。该产品可以在纳米尺度上高速、高精度地测量图案；改进了像差校正，以获得更清晰的图像和更高的信噪比；通过低真空技术实现电荷减轻的高质量图像；集成应用，包括多点 CD 测量、轮廓提取、新型 2D 测量、方法、缺陷检查和“鸟瞰”（3D） 视图；适用于各种基材，包括EUV掩模、移相掩模、NIL Qz模具、PET薄膜模具和DSA薄膜。6、ADVANTESTAdvantest （ADVANTEST CORPORATION）是一家日本半导体设备公司，专门提供广泛的半导体设备测试解决方案。该公司成立于1954年，现已成为半导体行业的领先企业之一。随着多重曝光技术的进步，更细间距和更复杂电路的发展，以及光罩数量和各光罩测量点数量的增加，需要对光罩上形成的布线图案尺寸进行稳定的高精度测量和评估。爱德万E3600系列产品满足先进设备的需求，具有高测量可重复性和稳定产能。E3650是采用爱德万专有电子束扫描技术的新系统，以更高的精度和稳定性测量光罩上的精细图案尺寸。E3650是公司E3600系列的最新产品，广受光罩SEM市场的青睐。与现有型号E3640相比，其测量产量增加了一倍。E3650能够大规模测量更加复杂的图案以及因多重图案而增加的光罩数量。除了前沿光罩技术外，新系统在测量EUV光罩和纳米压印应用主模板时也显示出卓越的性能。CD-SEM国内企业及进展1、东方晶源东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司成立于2014年，总部位于北京亦庄经济技术开发区，是一家专注于集成电路良率管理的企业。东方晶源推出的12英寸、6/8英寸关键尺寸量测设备CD-SEM均已进入产线量产多时，可支持Line/Space, Hole/Elliptic，LER/LWR等多种量测场景、满足多种成像需求。据了解，该公司CD-SEM此前已向中芯国际、燕东微完成交付。目前公司CD-SEM最新型号为SEpA-c300和SEpA-c400，分别针对8寸和12寸晶圆产品。2023年9月5日，证监会发布了关于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市辅导备案报告，辅导机构为中信建投证券股份有限公司。2、上海精测上海精测半导体技术有限公司成立于2018年7月，主要从事以半导体量检测设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。2021 年，上海精测完成了首台 CD-SEM 项目的订单交付。2022年12月底，精测半导体宣布首台CD-SEM设备（eMetric）已顺利发货华南客户。eMetric是上海精测半导体本土研发团队打破国外公司的垄断、依靠自身力量全新自主研发的电子束晶圆关键尺寸量测设备（CD-SEM），具有核心零部件的全部自主知识产权。该设备可实现高深宽比特征量测和overlay测量，且可满足6/8/12英寸晶圆从微米小视场到百微米级大视场的截然不同的量测需求。3、苏州矽视苏州矽视科技有限公司于2021年6月成立，专注于高端半导体晶圆量检测设备的研发、生产和服务，致力于自主研发具有完全自主知识产权、满足行业需求的国产电子束成像量检测设备。矽视科技在短短两年多时间里，已经推出CDSEM等多种类型设备，并获得苏州市姑苏领军人才、相城区独角兽企业、相城区重点创业团队多项荣誉。其中，CDSEM（关键尺寸量测设备）主要是通过对于关键尺寸的采样测量，实现对IC制造过程中，光刻工艺后所形成图形尺寸进行监控，以确保良率。该设备对标业内主流量产产品，并研发特有的荷电控制方法和位置偏差的动态补偿方法，在分辨率、视场、采样频率、定位精度和吞吐率等均可满足市场要求。2023年12月14日，苏州矽视科技有限公司首台关键尺寸量测设备（CDSEM）出机。苏州矽视科技表示，该设备为苏州矽视科技自主研发，其中最重要的电子光学系统具有自主的核心技术，完全摆脱进口，主要性能指标媲美国外同类产品，为国产替代再添新军。4、青田恒韧青田恒韧成立于2022年，是由CD-SEM领域资深人士创立的CD-SEM设备公司，研发中心位于北京市丰台区，公司主要专注于CD-SEM设备研发、设计与销售，核心团队在CD-SEM领域具有丰富的研发设计和经营管理经验。据悉，CD-SEM设备研发难度大技术门槛高，青田恒韧研发团队经过多年在底层物理、数学、材料、软件、工艺等上的深入研究，后续更是耗时近两年时间在阿里云服务器上的仿真CD-SEM设备跑数据，最终取得突破性进展。今年8月，青田恒韧完成Pre-A轮融资，由方富创投、明德投资共同投资；天使轮融资机构为北京中关村协同创新基金。本轮融资将主要用于研发CD-SEM设备，目标是研制并生产能够完全替代Hitachi CG5000的CD-SEM产品。整体来看，国际龙头企业在技术和市场上都处于主导地位，国产替代难度大。而国产企业普遍成立研发相关设备较晚，人才团队也多来自海外归国技术人员，出货的产品不多，大部分仍处于早期研发阶段，但国产破局曙光初现。

直播预告|扫描电镜的原理及制样方法【8月13日下午14:00直播】“扫描电镜的原理及制样方法”网络研讨会莱雷科技与善时仪器联合举办导师：曾凌飞—善时仪器市场部总监【技术背景介绍】 扫描电子显微镜的英文全称为Scanning Electron Microscope,简称扫描电镜或者SEM，是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。该产品结构设计简洁，高低压真空设计，可调试电压，为不同样品提供更合适的检测环境。 由于扫描电镜具有观察纳米材料、材料端口分析、直接观察原始表面等特点和功能，所以越来越多受到科研人员的重视，用途日益广泛。现已被广泛用于材料科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。 莱雷科技与善时仪器联合举办的“扫描电镜的技术及原理”网络研讨会将于8月13日下午14:00点开播。届时莱雷科技将邀请善时仪器技术中心总监在线与您分享扫描电镜的参数选择及制样方法等内容。此次网络会议为参会者提供一个突破时间地域限制的免费学习、交流平台，让大家足不出户便能聆听到精彩报告。微信扫描下方二维码，立即加入观看！

电镜被誉为“人类的第三只眼睛”，经过近百年的发展，已成为物质微观结构分析的重要手段。为帮助更多用户了解电镜这一技术，以及电镜的应用场景、电镜厂商及品牌等，仪器信息网特发起此次【电镜视频征集】有奖征集活动，广大电镜用户及厂商均可免费参与。点击查看活动详情及更多投稿作品↑↑↑ 下面是来自国仪量子的投稿视频。视频中，该应用工程师逻辑清楚、简单清晰的为大家介绍了这款SEM 3100钨灯丝扫描电镜的实物结构及其工作原理等知识。点击下方视频，观看仪器性能大揭秘，那些你想知道的扫描电镜细节都在这里~视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8055119还有更详细的产品介绍及应用案例，请点击↓↓↓视频地址：https://bbs.instrument.com.cn/topic/8056100点击上方视频链接，为TA打call吧，点赞/留言/收藏，助TA赢取活动大奖~以下是视频中介绍的SEM 3100钨灯丝扫描电镜国仪量子扫描电子显微镜SEM3100公司简介：国仪量子（合肥）技术有限公司是一家以量子精密测量为核心技术的国家级高新技术企业，为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等产品和服务。公司面向先进材料、半导体、量子科学、生命技术、医药和临床研究等领域，致力于帮助客户更高效地推动技术的发展、探索人类的未来。════════════════════════════════▼▼▼═══════════════════════════════电镜视频征集活动“火热”进行中参赛方式：1、点击链接https://bbs.instrument.com.cn/forum_89.htm，进入发帖页面，在该版面发布新帖，如下图所示。2、按照下图中格式填写，并上传视频，发布。待后台审核通过（约2-3h）后，即可在电镜版面展示，并同步更新至专题作品展示模块。奖项设置：本次活动面向广大用户及厂商均可免费参与，更有多重好礼（环球影城门票、百元京东卡）及热门广告位等你来拿！点击下方图片了解活动详情↓↓↓

项目编号：OITC-G220571233项目名称：中国科学院半导体研究所扫描电子显微镜（SEM）采购项目预算金额：410.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：410.0000000 万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：包号货物名称数量（台/套）是否允许采购进口产品1扫描电子显微镜（SEM）1是 2、投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。合同履行期限：详见采购需求本项目( 不接受 )联合体投标。

仪器信息网讯 8月8日，国仪量子官宣推出一款专为大规模成像而生的新产品——高速扫描电子显微镜HEM6000。高速扫描电子显微镜HEM6000在大规模成像场景中，常规扫描电镜成像速度和自动化程度都无法满足应用需求。例如，在芯片结构成像应用中，需要在几周内完成数百平方毫米区域的连续拍摄；在人类脑图谱研究中，需要对百亿级神经元进行高分辨成像。对于此类场景，常规扫描电镜效率严重不足，为解决客户痛点，国仪量子推出此款专为大规模成像而生的新产品——高速扫描电子显微镜HEM6000。产品亮点HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。可广泛应用于半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学等领域。图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s加速电压：100 V~6 kV(减速模式)；6 kV~30 kV(非减速模式)分辨率：1.3 nm@3 kV，SE；2.2 nm@1 kV，SE视场大小：最大视场1*1 mm2，高分辨微畸变视场32*32 um2样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um产品优势高速自动化：全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍；大场低畸变：跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变；低压高分辨：样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率。应用案例

扫描电镜能谱技巧分享｜4种方法提高扫描电镜能谱的准确性能谱（EDS）结合扫描电镜使用，能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是：各种元素具有自己的 X 射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量 E，能谱仪就是利用不同元素 X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。 能谱定量分析的准确性与样品的制样过程，样品的导电性，元素的含量以及元素的原子序数有关。因此，在定量分析的过程中既有一些原理上的误差（数据库及标准），我们无法消除，也有一些人为因素产生的误差（操作方法），这些因素都会导致能谱定量不准确。 飞纳能谱面扫01 根据衬度变化判断元素的富集程度 利用能谱分析能够根据衬度变化判断元素在不同位置的富集程度。 如图 1，我们获得了材料的背散射图像以及能谱面扫 Si 的分布图，其中 Si 含量为20.38%。在背散射图及面扫图中，可以看到不同区域衬度不同，这是不同区域 Si 含量不同造成的。我们选取了点 2-7，其点扫结果 Si 含量分别为 19.26%、36.37%、18.06%、1.54%、20.17%、35.57%。 这种通过衬度判断元素含量的方法在合金（通过含量进而推断合金中含有金相的种类，不同的金相含有的某种元素有固定的含量区间），地质（通过含量判断矿石等的种类）等行业有广泛的应用。 图1. 左图为材料背散射图及能谱点扫位置，右图为能谱面扫 Si 含量的分布 02 判断微量元素的分布 利用能谱，可以寻找极微量元素在材料中分布的具体位置，先通过面扫进行微量元素分布位置的判断，然后通过点扫确定。 如下图，左边为背散射图像，右边分别对应 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P，它们的含量如表 1，通过能谱面扫描分析得到各元素含量，其中 P 的含量为 0.09%。 图2. 材料的背散射图及 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P 元素的分布 表1. 图 2 中 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P 元素含量 工程师对样品进行点扫确认，位置 7 是面扫结果P元素富集区，其各元素分布如表 2，这个位置的P含量高达 14.56%，局部含量比整体含量高 160 倍。 图3. 背散射图像及样品点扫位置 表2. 样品点扫位置 7 各元素的含量飞纳台式扫描电镜获得高质量面扫结果的原因1. 灯丝亮度决定能谱信号的强度，飞纳电镜采用 CeB6 灯丝，具有高亮度，可以获得高强度的能谱信号。 2. 采用新型 SDD 窗口材料 Si3N4，提高了穿透率，透过率由 30% 提高到 60%。比传统聚合物超薄窗透过率提高 35% 以上。 3. 采用 Cube 技术提高响应速度（计数率）并降低了噪音（分辨率提高），是国际上处理速度最高的能谱系统，解决了计数率与分辨率的冲突。 如图 4 所示，飞纳电镜能谱一体机可以获得更高计数率与更高分辨率的能谱结果。 图4. 飞纳能谱结果 飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 不需要液氮、制冷速度快、信号强度大、分辨率高、体积和重量小，真空密封性高，可以使用更少的能量获得更低的温度。尺寸更为紧凑，适用于不同环境需求。小技巧 - 如何提高能谱的准确性能谱使用前要校准保证样品平整保证分析区域均质、无污染保证样品导电性、导热性良好

仪器信息网讯 据日本媒体报道，4月26日，日本经济产业省（METI）对外宣布，将半导体和量子科技领域的四个品类纳入全新的出口管控名单。这意味着，日本面向全球任何国家和地区出口这些货物，都需经过官方政府的审批流程。这一举措的背后，是日本这样拥有相应技术的国家率先实施限制，以防止这些新兴技术被不当利用，尤其是被转用于军事目的。出口管制措施日本政府本次措施将影响用于分析纳米粒子图像的扫描电子显微镜，以及三星电子公司采用的用于改进半导体设计的全栅晶体管技术，还要求量子计算机中使用的低温CMOS电路以及量子计算机本身的运输都必须要取得许可证。在部分国家，这些品类在国际间形成共识之前就已被纳入管理范畴。日本也紧跟这一趋势，相应提高出口管制的实效性。经济产业省表示，这些措施旨在更好地监管军事用途设备的出口，该措施与世界各地实施的措施类似。还补充道，这一变化从4月26日到5月25日征集公众意见，意见征集结束后公布，最早将于7月生效。目前，国际社会在《瓦森纳协定》的框架下，主要就限制品类展开深入讨论。各国基于协定所达成的共识，进一步将其融入本国的限制清单之中。但在《瓦森纳协定》中，新增品类必须得到全体成员国的共同认可，这使得协定在应对技术进步时稍显滞后。不过，日本此次所限制的品类将依照既定计划，逐步纳入《瓦森纳协定》的范畴。4月24日，日本经济产业省发布的中间报告明确了出口管制制度的调整方向。针对《瓦森纳协定》框架内难以达成共识的品类以及紧迫性较高的新技术，报告强调了与志同道合的国家先行实施限制措施的必要性，以应对当前复杂的国际技术交易环境。商务部回应根据商务部网站29日消息，商务部新闻发言人表示：“我们注意到，日本政府宣布拟对半导体等领域相关物项实施出口管制，中方对此表示严重关切。”商务部新闻发言人称，半导体是高度全球化的产业，经过数十年发展，已形成你中有我、我中有你的产业格局，这是市场规律和企业选择共同作用的结果。一段时间以来，个别国家频频泛化国家安全概念，滥用出口管制措施，人为割裂全球半导体市场，严重背离自由贸易原则和多边贸易规则，严重冲击全球产业链供应链稳定。日方拟议的有关措施，将严重影响中日企业间的正常贸易往来，损人不利己，也损害全球供应链的稳定。商务部新闻发言人表示，中方敦促日方从双边经贸关系大局出发，及时纠正错误做法，共同维护全球产业链供应链稳定，中方将采取必要措施，坚决维护企业正当权益。拓展阅读早在去年1月，华盛顿官员游说日本和荷兰等国际伙伴对中国实施贸易制裁，美国、日本、荷兰就美国拜登政府主导的尖端芯片技术对华出口限制达成协议。日本随后修改外汇法相关法规，宣布加强尖端芯片领域出口管制，被限制出口的芯片制造设备共有23种，涵盖清洁、沉积、退火、光刻、蚀刻和测试。自去年7月始，该管制正式实施。去年7月日本相关管制措施正式生效前，中国商务部发言人曾评论称，个别国家将经贸问题政治化，泛化国家安全，在半导体等领域人为削弱同中国的联系，这将严重损害双方企业利益，破坏产业界长期以来形成的互利共赢的合作格局，冲击全球产业链供应链安全稳定。希望日方从维护自身利益和中日经贸合作大局出发，信守自由贸易和市场经济承诺，遵守国际经贸规则，避免对两国经贸合作进行政治干扰、限制企业正常自主经营和企业间公平竞争。

近日，蔡司(Zeiss)庆祝了商品化扫描电镜问世50周年。1965年，Carl Zeiss Microscopy Ltd的前身英国剑桥科学仪器公司推出了世界上第一台商品化扫描电镜Stereoscan。Stereoscan 为了纪念第一台商品化扫描电镜问世50周年，庆祝扫描电镜问世以来，其在许多科学研究领域及工业领域做出的贡献，蔡司在剑桥举办了一场庆祝活动。在上午的会谈、午餐以及博物馆参观当中，来自许多不同学科领域的用户和专家见到了当年研发第一台商品化扫描电镜的专家。技术人员为菲利普亲王和查尔斯爵士展示第一台商品化扫描电镜　　经过50年的发展，扫描电镜已经成为一种通用的技术，成为许多尖端科学研究不可缺少的研究工具。随着近年来涌现出的新工业应用，扫描电镜全球的许多工业领域的研发和质量控制分析中发挥着重要作用。最初扫描电镜主要应用于材料科学，现在的扫描电镜在电子、法医和考古等学科也建立了自己的地位。经过多年的发展，扫描电镜已经成为食品技术专家、生物学家和天然资源领域的岩石专家的关键研究工具，它精妙的满足了不同应用领域的不同需求。现在扫描电镜广泛的应用于过程控制和失效分析，利用扫描电镜的常规分析已经成为半导体、汽车工业和其他制造业不可分割的一部分。Garry Stewart (右) 提出商品化扫描电镜设想 Celia Moss (左) 第一次操作演示人员之一　　发展仍在继续：剑桥科学仪器公司1965年制造的第一台扫描电镜的直系后裔就是蔡司EVO系列产品。2004年首次推出后，被广泛接受成为业界领先的分析平台。很快将有一些针对EVO产品的改进亮相，将提供更高的灵活性和易用性，以及探测器的进一步发展。新推出的蔡司Gemini系列扫描电镜产品采用了新的光学设计，用户可以获得更高的分辨率，尤其是在低电压下。借助其20倍增强的in-lens探测信号，能够快速获得清晰的图像，并使样品损伤降至最低。蔡司Gemini系列扫描电镜编译：秦丽娟

2022年4月，部分高校在中国政府采购网陆续公布了其2022年4-12月的仪器采购意向。仪器信息网将各高校和研究所2022年4-12月扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜等采购意向加以整理，涉及共约28台（套）仪器，采购预算总额高达约9642万元。仪器采购单位涉及19个高校及研究所，包括电子科技大学、东北林业大学、南京航空航天大学、天津大学、中国科学技术大学、中南大学、中国科学院半导体研究所、中国科学院大连化学物理研究所、中国科学院电工研究所、中国科学院福建物质结构研究所、中国科学院金属研究所、中国科学院兰州化学物理研究所、中国科学院青海盐湖研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院生态环境研究中心、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院武汉病毒研究所、中国科学院长春应用化学研究所。从采购时间上看，2022年4月采购7台（套），5月采购8台（套），6月采购4台（套），7-8月各采购1台（套），9-10月各采购2台套。12月采购3台（套）。从采购金额上，扫描电镜最低采购预算为100万，最高采购预算530万元；透射电镜采购预算最低为380万元，最高采购预算金额为980万元；原子力显微镜最低采购预算金额为163万元，最高采购预算金额为300万元。由于部分高校仅集中发布了4-6月的仪器采购意向，后续仍将对各大高校研究机构采购信息进一步跟踪。各高校2022年4-12月扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜等采购意向整理序号采购单位采购项目名称采购品目采购需求概况（点击查看）预算金额(万元)预计采购日期1中国科学技术大学透射电镜原位实验系统A033499其他专用仪器仪表详见项目详情6002022年5月2中国科学技术大学原子力显微镜A02100301显微镜详见项目详情3002022年10月3天津大学天津大学机械学院大样品台原子力显微镜A02100301显微镜详见项目详情1632022年5月4电子科技大学扫描电子显微镜A02100305-电子光学及离子光学仪器详见项目详情3902022年5月5中南大学中南大学基础医学院扫描探针显微镜采购项目A02100301 A02100301显微镜详见项目详情1502022年4月6南京航空航天大学快速扫描探针显微镜A02100301-显微镜详见项目详情2002022年4月7南京航空航天大学场发射高分辨透射电子显微镜A02100301-显微镜详见项目详情8202022年4月8东北林业大学多维材料表征平台一期建设项目（透射电子显微镜）A02100301显微镜详见项目详情9802022年5月9中国科学院大连化学物理研究所扫描电子显微镜A02100301详见项目详情1002022年8月10中国科学院大连化学物理研究所电子束-离子束双束显微镜A02100305详见项目详情7502022年6月11中国科学院长春应用化学研究所透射电镜CMOS相机A0202050105详见项目详情*2022年4月12中国科学院上海硅酸盐研究所具有原位拉伸功能的台式扫描电镜A02100301显微镜详见项目详情1312022年6月13中国科学院生态环境研究中心高分辨原子力显微镜A02100301详见项目详情1102022年12月14中国科学院福建物质结构研究所透射电镜A02100301显微镜详见项目详情3802022年5月15中国科学院兰州化学物理研究所原子力显微镜A02100301显微镜详见项目详情2602022年5月16中国科学院青海盐湖研究所扫描电镜A02100304详见项目详情1502022年4月17中国科学院武汉病毒研究所电镜序列断层成像超薄切片机采购项目A02100604生物、医学样品制备设备详见项目详情1202022年4月18中国科学院半导体研究所高分辨场发射透射电子显微镜A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情8002022年5月19中国科学院半导体研究所扫描电子显微镜（SEM）A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情418.12022年5月20中国科学院半导体研究所高分辨场发射透射电子显微镜A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情7002022年9月21中国科学院半导体研究所扫描电子显微镜A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情5302022年9月22中国科学院上海光学精密机械研究所EBSD扫描电子显微镜A02100699-其他试验仪器及装置详见项目详情3002022年6月23中国科学院电工研究所高分辨场发射扫描电镜A02100399详见项目详情4002022年10月24中国科学院金属研究所扫描探针显微镜A02100301显微镜详见项目详情1502022年6月25中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位扫描电子显微镜A02100399-其他光学仪器详见项目详情2802022年12月26中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位扫描电子显微镜-真空腔体A032199-其他电工、电子专用生产设备详见项目详情1802022年12月27中国科学院青海盐湖研究所扫描电镜A02100304详见项目详情1502022年4月28中国科学院上海应用物理研究所透射电镜原位高温力学测量杆A02100416分析仪器辅助装置详见项目详情1302022年7月

日立场发射扫描电镜最新技术研讨会在京举办　　仪器信息网讯 2011年11月22日，由天美(中国)科学仪器有限公司、日立高新技术公司联合举办的“日立场发射扫描电镜最新技术研讨会”在北京云南大厦成功举办，天美公司高层、日立高新公司高层以及100余位来自全国各地的专家学者、企业代表出席了会议；仪器信息网作为特邀媒体亦参会。会议现场　　　　中国电镜学会　　　　　　天美科技有限公司　　　　 日立高新技术公司　　　常务理事李建奇先生　　　 市场总监谢宝华先生　 先端分析仪器部今田芳宪部长　　李建奇先生首先回忆了中国电镜学会与日立高新、天美公司长久以来的良好合作关系，并对日立高新的扫描电镜产品及天美公司完善的支持服务给予了肯定。　　谢宝华先生谈到，自2003年天美“接手”日立扫描电镜产品以来，一直坚持向用户提供全方位的售前售后服务。2011年是天美与日立高新建立合作关系的十五周年，今后双方将会有更加深入的合作。　　今田芳宪先生说到，SU8000系列冷场扫描电镜凝聚了日立高新更多的先进技术，拥有更加卓越的仪器性能，通过这次会议，希望大家能够了解日立高新扫描电镜产品更多的技术优势。　　日立高新SU8000系列扫描电镜新品隆重揭幕SU-8000系列扫描电镜新品揭幕仪式　　在新品揭幕仪式上，由日立高新技术公司科学仪器营业本部岡田務本部长、天美科技有限公司谢宝华先生及军事医学科学院张德添教授为SU-8000系列新品揭幕。　　　　　　　日立高新技术公司设计部　　 　日立电镜全球应用中心　　　　　　　　主任技师小柏刚先生　　　 　副站长多持隆一朗先生　　对于日立高新场发射扫描电镜的研发历程，小柏刚先生说到，日立高新的发展历史最早可追溯到1961年。自1971年第一款场发射扫描电镜交付使用至今，日立高新已拥有多款场发射扫描电镜，如热场发射扫描电镜SU6600与SU-70、冷场发射扫描电镜S-4800以及今年最新发布的SU8000系列及SU9000。我们希望凭借日立高新良好的分析技术、丰富的电镜产品系列，能够为全球纳米科技、生命科学等领域持续发展做出贡献。　　多持隆一朗先生则重点谈到，SU8000系列扫描电镜拥有优异的性能表现，如超高分辨率技术(1.3nm/1.0kV)，信号探测系统范围广，可操作性强，便于用户操作等，可根据用户需求提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。同时，多持隆一朗先生还分别详细介绍了SU8000系列4个型号(SU8010、SU8020、SU8030、SU8040)不同的技术特长与应用特色。　　随后，日立高新应用专家罗琴女士介绍了SU9000内透镜场发射扫描电镜的技术特点与应用优势 天美公司电子显微镜专家顾群先生则重点介绍了天美公司在日立电镜服务方面的多项措施，可以确保中国用户能够获得全方面的支持服务。日立高新技术公司电子显微镜营业部 天美(中国)科学仪器有限公司马玉娥经理出席会议　　　　　　赵薇副总裁主持会议　　日立高新与天美高层谈SU8000系列新品技术与服务　　会后，日立高新公司岡田務先生、今田芳宪先生、马玉娥女士以及天美公司谢宝华先生、赵薇女士等人接受了仪器信息网编辑的采访。　　Instrument：SU8000系列在技术上有哪些提升和改进?它的市场定位是怎样的?　　岡田務先生：“SU8000系列是在S-4800型基础上研发而来，其技术改进主要体现在低能高分辨率、E×B专利设计等方面，这些优异性能在8010型中都有体现 除此之外，8020型还安装了顶插式探头，8030型的特点是超大样品仓，8040型则表现在样品移动台的高精度，因此与4800型相比，SU8000系列的应用范围更广。除了在性能方面的优秀表现外，SU8000系列在操作、维护方面非常简便快捷，可以给用户十分人性化的体验。”　　今田芳宪先生：“SU8000系列涵盖了从简单到复杂、从普通需求到高端需求，如作一般高分辨的客户选择SU8010，有电位衬度分析需求的客户选SU8020，需要表征大尺寸样品的用户可选择8030型，而对样品台移动精度有很高要求的用户则可以选择该系列中最高端的8040型。”　　Instrument：众所周知，日立扫描电镜的市场占有率非常高；随着SU8000系列的推出，贵公司期望市场占有率将会再有怎样的提升?　　岡田務先生：“日立高新拥有40年的冷场扫描电镜开发经验，选择的是以低维护成本、低消耗的冷场发射扫描电镜为主打的产品推广策略，如日立高新最经典的S-4800型正是这样一款低能高分辨的产品，适时迎合了用户需求，S-4800型自2003年进入中国，现已拥有200多位忠实用户，我们希望SU8000系列的4个型号都能够取得这样的成绩。”　　谢宝华先生：“无论是硬件还是软件，SU8000系列冷场发射扫描电镜新产品都有了很大程度的更新，如低压高分辨率(1.3nm/1.0kV)，我相信，SU8000系列的推出将会给予用户更多更好地选择，市场销售业绩自然会不俗。”　　Instrument：新产品意味着新增长，贵公司如此隆重推出SU8000系列，是否表示对当前扫描电镜市场持有很高的期望?　　岡田務先生：“日立高新在电镜方面的研发技术与制造经验均处于领先地位，目前，我们在全球扫描电镜市场中已位居第一位，在中国市场亦居于榜首。此次日立高新一举推出4个型号的新产品，因此我们对日立高新今后能够继续稳居市场第一的信心更为充足。”　　赵薇女士：“天美在日立高新电镜产品的销售成绩非常突出，在科研领域，我们仅在中科院就有30多位电镜用户 在企业方面，我们的用户也遍及半导体、太阳能电池、快速消费品等领域。近几年，我国政府对科研的投入越来越大，而材料科学的进步也是有目共睹，在这样的大好环境中，我们对中国扫描电镜市场的前景是非常乐观的。”　　Instrument：天美公司有哪些措施以保证日立电镜产品的售后服务?　　谢宝华先生：“天美自2003年代理日立电镜产品以来，我们坚持不放弃任何一个潜在客户，并给予用户全方面的支持服务。例如，我们设有专门的应用示范实验室，目前配有S-3400N钨灯丝电镜、S-4800型场发射扫描电镜，现在更是引进了一台SU8020扫描电镜新品，可以为用户提供完善的售前、售后的应用支持；此外，天美还在国内重点城市设有14个办事处，并拥有专业的工程师队伍，可以向用户提供及时快速的服务；每年我们会组织多期的用户应用培训班，还会有定期回访和维护服务等。”合影留念　　扫描电镜技术研讨与摄影大赛颁奖环节精彩纷呈　　作为日立高新公司的一代经典产品，S-4800型场发射扫描电镜以其独特的低电压下超高分辨率等技术优势，赢得了中国200多位用户的信任与支持，被广泛地用于微电子、锂电池、石油化工、生命科学、环保等材料科学领域的研究、开发和检测工作。　北京师范大学李永良先生 　　上海硅酸盐所吴伟先生　 　　 安徽大学林中清先生　　作为用户代表，李永良先生、吴伟先生、林中清先生分别从材料应用领域、成像工作条件以及仪器性能指标3个方面，结合自身的仪器应用经验作了精彩的报告，并纷纷表示，S-4800型拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面，尤其是在低加速电压(1 kV)下的二次电子图像分辨率可达2 nm，是一个真正实用的多用途平台。 摄影大赛颁奖现场　　“2011年日立场发射扫描电镜摄影大赛”自2011年9月发起，共收到100多张参赛图片，经过专业评审及参会用户的投票，最终评选出20位获奖用户，日立高新与天美公司特别为这20位获奖者颁发了礼品。　　附录：　　产品详细信息 http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138451.htm　　日立高新技术公司 www.hitachi-hitec.cn　　天美科技有限公司 www.techcomp.cn

11月15日，第二十五届中国国际高新技术成果交易会（以下简称“高交会”）在深圳开幕。　　记者在中国科学院专馆看到，作为尖端科学仪器和真空技术领军者——北京中科科仪股份有限公司携其全资子公司科仪光电带来了具有自主知识产权的场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100。据悉，这是该产品首次在高交会亮相。中国科学院专馆　　场发射枪扫描电镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具，在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用，广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析。　　同时，场发射枪扫描电镜在虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用，对于我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科的研究有着不可替代的重要地位。　　针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电镜的迫切需求，2013年，中科科仪牵头，联合北京大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院生物物理研究所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位，承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”，在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000，并在此基础上提升电子光学系统综合性能，于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100，分辨率优于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术，成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。　　KYKY-EM8100场发射枪扫描电镜的技术优势主要有方面：一是自主设计制造了低像差物镜；二是突破了电子束镜筒加速技术；三是自主研制了电子光学智能化控制系统，实现了自动灯丝加热、自动偏压、自动孔径角、自动聚焦、自动亮度/对比度等电子光学智能化控制功能，还实现了图像增强、图像锐化、样品尺寸测量、形貌拟合、颗粒度分析等功能，大大提升了产品的功能性与使用便捷性，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战。　　据介绍，该款扫描电镜是北京中科科仪股份有限公司承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分。该设备目前已完成科技成果转化及产业化落地，并形成批量销售。

日前，为表彰1972年由日立制作所开发出的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）的实用化功绩，电气和电子工程师协会（IEEE）授予其场发射扫描电子显微镜“IEEE里程碑（IEEE Milestones）”奖。据悉，该奖由日立制作所与其旗下从事电子显微镜制造、销售业务的日立高新技术（Hitachi High-Technologies）联名获得。　　电气和电子工程师协会（IEEE）总部在美国纽约市，是一个国际性的电子技术与信息科学工程师的协会，是当今全球最大的专业技术协会。而“IEEE里程碑“奖设立于1983年，主要用于表彰那些在电气、电子、信息及通信领域的革新中，自开发后历经25年以上仍被公认为对社会及产业发展有巨大贡献的历史伟业。1972年上市的日立HFS-2型场发射扫描电子显微镜　　1968年，日立与芝加哥大学原教授Albert V. Crewe博士（1927-2009年）合作，将Albert V. Crewe博士开发的FE电子源实现实用化，并于1972年将其配备在扫描电子显微镜上，研制成了世界第一台商用FE-SEM——HFS-2型。HFS-2型操作简单，能够以高稳定度和可靠度观察高分辨率图像。此后，日立又将该技术拓展推出测长扫描电子显微镜（CD-SEM），用于半导体生产线的过程控制，为当时的半导体器件微细化做出了贡献。同时，日立推出的FE-SEM在全球首次成功观察到了爱滋病病毒电镜图像，为医疗保健及生物科技领域的进步做出了贡献。并且，日立还将FE-TEM应用到电子线全息技术，实际验证了阿哈罗诺夫-玻姆效应（Aharonov-Bohm effect），对科学技术的验证及发展也做出了重要贡献。　　2001年，日立制作所将其旗下的测量仪器集团和半导体制造设备集团分拆出来，与其贸易集团Nissei Sangyo公司合并为一家新公司——日立高新技术公司。目前，日立高新技术公司主要负责电子显微镜的制造、销售等业务。因此，此次的“IEEE里程碑”奖同时颁发给了日立制作所与日立高新技术公司。

秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于 2018 年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新 100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，在企业发展的关键时期“帮一把”。五年以来，天时地利人和至，中国电镜产业迎来发展窗口期，国内电镜产业链企业们也纷纷抓住历史机遇，实现生机蓬勃的发展之势。2023 年迎来国产电镜的“全新时代”。此背景下，“创新 100”项目组在2023年底走进13家中国电镜产业链代表性企业，邀请电镜专家联合走访，探寻中国电镜产业发展进展，为发展新阶段赋能，也为 2024 年即将在苏州举办的“第三届中国电镜产业化发展论坛”的内容筹备作前期调研。交流现场走访第1站，由北京大学分析测试中心电镜平台负责人鞠晶老师，仪器信息网材料物性组执行主编杨厉哲、营销服务中心经理韩永风、郭航等组成的走访项目组走进聚束科技(北京)有限公司（以下简称“聚束科技”）北京总部，聚束科技总经理李帅、销售总监朱悦等接待了走访一行人员。——企业发展进展聚束科技（北京）有限公司成立于2015年，总部位于北京市经济技术开发区，创始和核心技术团队曾在ASML-HMI从事半导体晶圆检测SEM开发，有十余年开发经验。公司是国内集研发、制造、销售及维护为一体的电子束类科学仪器综合服务商。公司自成立以来一直耕耘中国创造，拥有条件非常完善的电子光学研发生产平台，拥有诸多电镜自主知识产权（目前拥有国内外专利70余项，包括国外专利20余项），是国内掌握电镜领域核心科技的高科技公司。2015年，聚束科技将半导体电镜技术引入科学仪器行业，研发出具有自主知识产权的SORRILTM镜筒。2017年，成功研发出具备多倍视频级高速SEM成像能力的单束高通量扫描电镜NavigatorSEM-100。2021年，推出全新机型NavigatorSEM-100plus。聚束科技聚焦单束高通量扫描电镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。高通量（场发射）扫描电子显微镜NavigatorSEM-1002018年，仪器信息网“创新100”项目第1站曾走访了聚束科技，五年来，聚束科技取得了稳定的发展。2019年，聚束科技在BCEIA2019展会上公开发售首款以“高通量”定名的扫描电镜类别，并在面世以来获得业界广泛认可。相关产品先后荣获仪器信息网颁发2018年度中国科学仪器行业“优秀新产品”奖、2019年度“中国分析测试协会科学技术金奖（BCEIA）”、 2020年入围国际仪器行业“R&D 100”大奖评选、2021年度“CISILE 2021自主创新奖”、2021年度中国科学仪器行业“优秀新产品”奖、2021年度“朱良漪分析仪器创新奖”等。——产品技术与市场应用当前，商业化高通量扫描电镜主要通过两种技术路径，一是提高单束电子束成像速度，二是增加电子束数量。聚束科技聚焦于第一路径，在相对大电流下，实现单束SE+BSE成像速度100M像素/秒(10ns 每像素驻留时间)，双通道SE和BSE成像速度最高上限可达400 M像素/秒。相比多束技术路线，单束高通量具有普适性更强（两种成像模式）、性价比高、运行对样品量要求适中等优势，因此获得相对更广的应用场景。企业参观聚束科技单束高通量场发射扫描电镜采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。目前，聚束科技产品技术已应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。如在芯片分析应用中具有拍摄区域全、 刻线更细的优势；在生物和病理分析应用中具有连续切片制样方式、一次性载入SEM、样品可持续保存、随时重复拍摄等优势；在地质油气应用则利用先进显微镜技术与地质学、岩石物理学和石油工程相结合，实现跨尺度、高通量研究页岩气/油储层岩石的孔隙尺度微观结构；在高温合金材料中应用可全面统计分析工程材料样品的均匀性，实现高温合金样品宏观全貌与微观细节间的信息关联、统计不同析出相尺寸和位置分布图等。——国产电镜发展观点短期聚焦高通量场发射扫描电镜，保证盈利能力——李帅表示，聚束科技有常规扫描电镜产线计划，但短期将主要聚焦高通量场发射扫描电镜技术。当前，国产电镜呈“内卷”局面，尤其在常规扫描电镜领域，虽然整体在数量上取得一些成绩，但面临产业链尚未成熟、进口品牌的压力，产品利润较难保障。结合这样的现状和聚束科技的体量现状，公司将目前主要重点放在专注、打磨好已有的高通量场发射扫描电镜技术上，尤其投入在更能解决当下用户痛点的操作软件和交互体验上，加强在此领域的先发优势，进而保障企业的市场盈利能力。我国电镜供应链有待进一步发展——目前，国产电镜利润难保，产品成本相比进口品牌降不下来，主要原因就是供应链不健全。虽然近年来，随着国产电镜的活跃发展，一些核心部件技术得到了显著发展，但针对场发射扫描电镜等稍微高端一些的产品，真空泵等核心部件依旧主要依赖国外供应。作为市场需求数量级较小的科学仪器，很难通过走量摊薄成本，如此，我国电镜产业竞争力的提升还有待供应链的快速发展。合影留念附1：2024年4月，“第三届中国电镜产业化发展论坛”将在苏州举办，现进入论坛内容筹备阶段，为更好解决产业痛点，切实助力产业发展，现向广大网友征集论坛内容建议，欢迎大家积极参与，建议被采用的网友或专家将获得论坛定向邀请函，邀请现场与电镜业界专家、企业精英共议行业发展！扫码填写论坛内容建议或点击链接填写：https://www.wjx.cn/vm/hxJFe0g.aspx#或直接邮件或电话沟通，邮箱：yanglz @instrument.com.cn ，电话（同微信）：15311451191。附2：2023年年底中国电镜产业链系列走访名单走访企业聚束科技惠然科技速普仪器大束科技格微仪器康尔斯特国仪量子祺跃科技雷博科仪屹东光学苏州冠德上海精测纳克微束

仪器信息网讯 近日，武汉精测电子集团股份有限公司（上海精测半导体技术有限公司母公司，下称“精测电子”）表示，上海精测半导体技术有限公司以椭圆偏振技术为核心开发的适用于半导体工业级应用的膜厚量测设备以及光学关键尺寸量测系统，已经取得长江存储、广州粤芯等国内半导体客户的批量重复订单；电子显微镜相关设备已完成首台套的交付。eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备是上海精测半导体自主研发的扫描电子显微缺陷复查和分类设备，它具有领先的高分辨率电子束成像能力和自动缺陷分类能力，据描述，该设备是国内首台拥有完全自主知识产权的半导体前道检测设备据悉，2020年12月23日，上海精测半导体技术有限公司宣布推出首款半导体电子束检测设备：eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备，并于当日正式交付国内客户，助力半导体产业国产化。该设备是基于扫描电子显微镜技术的复查和分类的设备，应用于集成电路制造过程，可对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类，满足10x nm集成电路工艺制程的需求。随着半导体集成电路工艺节点的推进，作为晶圆厂制程控制主力设备的光学缺陷检测设备的解析度已无法满足大规模生产和先进制程开发需求，必须依靠更高分辨率的电子束复检设备的进一步复查才能对缺陷进行清晰地图像成像和类型的甄别，从而为半导体制程工艺工程师优化制程工艺提供依据。eViewTM采用了自主开发的扫描电子显微镜技术，具有超高的的分辨率，适用于10x nm及以下集成电路制程的工艺缺陷自动检测。除了高分辨率电子束成像能力外，利用自主开发的基于深度神经网络（DNN）的人工智能算法进行缺陷自动识别与分类，突破常规的基于机器学习的分类算法，极大提高晶圆缺陷分类的准确度。并采用全新的超低电压EDSX射线探测技术,突破常规设备EDS使用电压的限制，实现轻量元素的高分辨率解析能力。据3月11日公开的《武汉精测电子集团股份有限公司向特定对象发行A股股票募集说明书（注册稿）》，上海精测半导体技术有限公司研发及产业化建设项目偏重于电子束检测应用、聚焦离子束与电子束双束应用、光学关键尺寸测量技术、面向大尺寸 OLED 屏的超快精细激光切割及其检测技术等方向，重点建设半导体检测设备研发及产业化基地，侧重产业园投入及在现有半导体检测设备研发及制造基础上进行工艺优化和技术升级。其研发及产业化建设项目所生产的半导体检测设备及平板显示检测设备主要面向半导体晶圆的检测和量测，部分面向 OLED 检测。其中电镜相关产品类型包括Review SEM 电子束量测设备、FIB SEM 电子束量测设备，应用于半导体电子束检测。涉及新产品研发情况，相关产品具体类别、主要功能及目标客户：项目达产后正常年不含税收入 129200 万元，其具体构成详见下表：Review Sem 电子束量测设备为公司的新产品，其定价采取“成本加成”的定价模式，根据产品生产成本、费用及合理的利润来确定该产品的价格。FIB SEM 电子束量测设备为全新产品，其销售价格是参考其他公司同类型产品中标公告的中标金额（700 万元/套至 826 万元/套），并结合未来市场需求情况而制定。在半导体测试领域，上海精测已成功开发高性能集成电路制造前道量检测进口替代设备，自主研发的集成式膜厚测量设备于 2020 年实现来自国内一线存储客户的订单，未来上海精测持续增加研发投入研发光学检测设备（纳米薄膜椭偏测量装备、光学关键尺寸（OCD）测量装备、硅片应力测量装备）和电子光学检测设备（CD-SEM扫描电子显微镜关键尺寸测 量装备 、Review-SEM 全自动晶圆缺陷复查设备、FIB-SEM 双束系统），实现研发设备的产业化，打破集成电路高端检测设备被国外厂家垄断的局面，填补国内空白，实现进口替代，为之后研发暗场颗粒检测、精密套刻测量、多束电镜、透射电镜等前沿技术和设备提供坚实基础；另一方面，公司将充分利用资本市场功能及优势，采取多元化方式，积极做大做强公司半导体测试板块，提升竞争力。技术可行性半导体产业化过程，设备先行，半导体前道检测设备是制约我国半导体制造产业的“卡脖子”难题，以美国科磊半导体为代表的国际巨头占据了全球量测检测设备大部分的市场。在政府引导和下游市场需求的双重推动下，越来越多的国产设备企业投入到半导体测试领域。上海精测注册成立后，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，在光学领域自主开发针对集成电路微细结构及变化的OCD测量、基于人工智能深度学习的OCD三维半导体结构建模软件等核心技术，在电子束领域自主开发了半导体制程工艺缺陷全自动检测、晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术，填补了国内空白。此外，公司在半导体光学、半导体电子光学及泛半导体领域积极进行项目研发，在半导体单/双模块膜厚测量设备、高性能膜厚及 OCD 测量设备、半导体硅片应力测量设备、FIB-SEM 双束系统、全自动晶圆缺陷复查设备、激光切割设备等方面积累了大量经验，形成了一定技术沉淀。生产及管理可行性目前，上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，进一步加快上海精测在半导体检测领域相关技术的引进、消化和吸收，使上海精测具备集成式膜厚测量设备（200/300mm 硅片）、用于 200mm 硅基 Micro-OLED 制程膜厚测量设备、高产率 300mm 硅片膜厚检测机等产品的研发及生产能力，同时进一步降低生产成本，提高产品竞争力。上海精测以椭圆偏振技术为核心开发的适用于半导体工业级应用的膜厚量测设备以及光学关键尺寸量测系统，已经取得国内一线客户的批量重复订单；电子显微镜相关设备预计在 2020 年年底前推向市场，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及扩展的过程中。关于上海精测半导体技术有限公司上海精测半导体技术有限公司成立于2018年7月，主要从事以半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。上海精测半导体技术有限公司通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段，实现半导体测试、制程设备的技术突破及产业化，快速做大做强；并倚靠母公司精测电子在平板显示检测领域已经在国内市场取得领先的市场地位，提高相关专用设备产品在集成电路市场的竞争力，旨在将公司打造成为全球领先的半导体测试设备供应商及服务商。------------------------------------拓延：关于举办首届中国电镜产业化发展论坛的通知一、会议时间4月23日下午13:30-17:00（ACCSI 2021召开同期）ACCSI 2021大会官网：https://www.instrument.com.cn/accsi/2021二、会议地点江苏无锡融创万达文华酒店三、组织单位主办单位：中国电子显微镜学会 仪器信息网四、会议形式定向邀请、圆桌会议、半开放形式五、会议主题主题：首届中国电镜产业化发展论坛内容：围绕“当前环境下，中国电镜产业化如何快速发展”，议题内容主要涵盖以下三部分内容：1）产业化/创业历程，2）发展现状，3）发展痛点及发展建议/倡议/合作机会等六、 目标参会人群及规模政府及协会学会领导，电镜业界专家/学者、实验室主任、技术/研发负责人；电镜企业及周边企业董事长、总经理、总工、市场总监、研发总监等，规模约80人。　　　七、会议议程（拟定，以年会官网最终信息为准）ACCSI2021分论坛：首届中国电镜产业化发展论坛议程安排（4月23日下午）主持人：中国电子显微镜学会 理事长 韩晓东中国科学院电工研究所 副所长 韩立议题内容分享人致辞中国电子显微镜学会 理事长 韩晓东开篇报告：中国电子显微镜产业发展现状及展望中国科学院电工研究所 副所长 韩立议题发言：中科科仪电镜产业化历程北京中科科仪股份有限公司 电镜事业部总经理 孟祥良议题发言：透射电镜原位系统产业化进展介绍百实创(北京)科技有限公司 总经理 李海鑫开放讨论：国产电镜产业化现状？处于什么阶段？有哪些痛点？… … 全体邀请嘉宾仪器信息网专家委电镜专业组成立仪式、颁发专家聘书仪器信息网高层议题发言：与中国科学家的产业化合作（拟）待定议题发言：高通量扫描电镜产业化与展望聚束科技(北京)有限公司 总经理 何伟开放讨论：哪些先进经验？如何取长补短？… … 全体邀请嘉宾议题发言：高时空分辨TEM研发及新技术发展中国科学院物理研究所 研究员 李建奇议题发言：如何让国产电镜更好地赋能各行各业？国仪量子（合肥）技术有限公司 营销中心副总经理 付永强开放讨论：成果转化、产业化？合作机会？… … 全体邀请嘉宾小结主持人晚宴八、联系方式首届中国电镜产业化发展论坛：杨编辑，15311451191，yanglz@instrument.com.cnACCSI 2021大会: 杜老师, 13671073756 李老师, 15611023645附：关于2021第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）2021第十五届中国科学仪器发展年会(ACCSI2021)将于2021年4月21-23日在无锡市召开。ACCSI定位为科学仪器行业高级别产业峰会，经过14年的发展，单届参会人数已突破1000人，被业界誉为科学仪器行业的“达沃斯论坛”。ACCSI2021以“创新发展，产业共进”为主题，力求对过去一年中国科学仪器产业最新进展进行较为全面的总结，力争把最新的产业发展政策、最前沿的行业市场信息、最新的技术发展趋势、最新的科学仪器研发成果等在最短的时间内呈现给各位参会代表。会议期间将颁发 “年度优秀新品”、 “年度绿色仪器”、“年度行业领军企业”、“年度十大第三方检测机构”、“年度售后服务厂商”、“年度网络营销奖”“年度人物”等多项行业大奖，引领科学仪器产业方向。会议日程（拟定，以年会官网最终信息为准）时间日程会议内容4月21日9:00-20:00参会注册14：00-17:00第三届仪器CMO圆桌峰会4月22日9:00-12:00大会特邀报告13:30-15:30i100峰会：中国科学仪器发展高峰论坛16:00-18:00仪器及检测风云榜颁奖盛典4月23日分论坛9:00-17:00第六届中国质谱产业化发展论坛第五届检验检测产业峰会9:00-12:00实验室智能化论坛量子精密测量产业化发展论坛生命科学仪器发展与精准医疗产业对接圆桌论坛石墨烯检测与标准发展论坛科学仪器及检测人才发展论坛13:30-17:00生命科学仪器创新成果转化圆桌论坛环境监测热点技术及市场论坛首届中国电镜产业化发展论坛中药分析与质量控制创新发展论坛近红外光谱产业化发展论坛贵金属及珠宝检测技术发展论坛参会咨询报告及参会报名：010-51654077-8124 13671073756 杜老师 15611023645李老师赞助及媒体合作：010-51654077-8015 13552834693魏老师微信添加accsi1或发邮件至accsi@instrument.com.cn （注明单位、姓名、手机）咨询报名。报名链接：https://insevent.instrument.com.cn/t/mK报名二维码扫描二维码立即报名

p　　strong仪器信息网讯/strong 2015年10月27日，第十六届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA 2015)在北京国家会议中心隆重开幕。本次展会特别展示了由中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项《场发射枪a href="http://www.instrument.com.cn/zc/em.asp" target="_self" title="" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "扫描电子显微镜/span/a开发和应用》项目的实施成果——国内首台自主研发的肖特基场发射枪扫描电镜产品KYKY-EM8000F。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/e4968a88-8fbd-4d58-b933-0e416021ccea.jpg" title="图0.jpg"//pp style="text-align: center "strong肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F/strong/pp　　在《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施过程中，中科科仪突破了30kV场发射电子枪、低像差物镜设计与制造等关键技术，实现国产场发射枪扫描电镜零的突破，并且产品的分辨率优于1.5nm@30kV。KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜的研制成功，是我国电子光学研究水平的集中体现，将成为我国电子光学领域的重要成果，对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。/pp　　在KYKY-EM8000F展示期间，科技部、中国分析测试协会的相关领导对于该产品都给予了极大的关注，并提出了相应的指导意见。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/209cd609-5181-4d3d-b265-53ed504eb338.jpg" title="图..jpg"//pp　　科技部侯建国副部长、张泽院士、吴学梯司长、吴波尔原司长、原科技平台中心副主任张渝英等一行人来到中科科仪展台前参观，详细了了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的研制过程，对国内首台场发射扫描电镜的研制成功表示祝贺，勉励中科科仪在将来的产品开发中取得更大成绩。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/7e475557-6c04-4cc5-96d3-da70578a759c.jpg" title="图2..jpg"//pp　　BCEIA2015大会主席、国务院参事、科技部原副部长刘燕华先生等一行人也特地来到中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项展台参观，详细了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的情况，祝贺中科科仪在电镜开发方面取得的进展，强调一定要爱护好中科科仪这个国产电镜的唯一品牌，指出产品开发要以市场为导向，以服务用户为目标，注重产业化，把科学仪器自主创新摆在突出位置。/pp　　同时在本次展会上，KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜还在31家单位申报的41个项目中脱颖而出，荣获了“BCEIA 金奖”。/pp style="text-align: center "strongimg src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/f9217118-5176-41a4-8718-fdc42fddaef7.jpg" title="图3..jpg"//strong/pp style="text-align: center "strong“BCEIA金奖”颁奖现场/strongbr//pp　　据中科科仪电镜部孙占峰研究员介绍，KYKY-EM8000F的销售台数已超过5台。首台产品于2014年11月21日正式交付给中国科学院大学，同年12月10日，双方共建了中国科学院大学—北京中科科仪股份有限公司“电子显微技术”联合实验室，为KYKY-EM8000F的应用研究搭建了平台。/pp　　中国科学院大学在该仪器上已经开展了“国家自然基金”课题(51272281)以及“中国科学院科研装备项目”(yz201356)的材料形貌研究，对材料的观测尺度涵盖了微米级到纳米级，分析了掺杂碳材料的形貌演化规律，发现了碳材料的生长奇异现象。获得的图像显示了在碳沉积过程中掺杂金属前驱体，会使金刚石发生纳米化 在生长驱动力增大的条件下，无定形碳会发生分叉和交叉生长，这种现象在以往的碳材料研究中从未报道过。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/8fc2f44e-1567-409d-ac4e-18084b5169fe.jpg" title="图4.jpg"//pp style="text-align: center "strong中科科仪电镜部孙占峰研究员/strong/pp　　另外据介绍，《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目在新应用方法或解决方案、样品前处理设备、可拓展仪器应用领域的关键部件和数据库等方面也进行了卓有成效的研究，如进行了场发射枪扫描电镜在半导体集成电路的检测技术研究 建立了超过100万兆的秀丽隐杆线虫连续切片扫描电镜成像原始数据库 编制了环境空气-大气粒子(PM2.5)形貌观测与无机元素分析等行业标准建议稿 成功开发了连续超薄切片收集装置和微操作装置等样品前处理和功能拓展装置等。/pp　　通过该项目的实施，中科科仪和合作单位已申请并受理国家发明专利11项，软件著作权2项，发表相关论文2篇，起草相关行业标准建议稿2项 形成了场发射枪扫描电镜的技术资料1套，建立了包括院士、教授、高级工程师在内、覆盖国内扫描电镜研制和应用优势单位的人才队伍，培养了满足国家重大需求的高精尖仪器和电子显微学专业人才，这将为相关电子光学仪器的开发和应用提供有力的技术支撑。/pp style="text-align: right "编辑：秦丽娟/p

邀请函 | 样样都拿手—蔡司场发射扫描电镜新品线上发布会新品重磅推出，丰富好礼等你来拿2022年12月20日 星期二 14：00-15：00蔡司GEMINI电子光学技术最早可追溯至1993年，在DSM 982中就有它的身影。源远流长，精进不止，30年来GEMINI技术不断革新且从未间断，将蔡司场发射扫描电镜技术不断推向新的高度。蔡司全新场发射扫描电镜创新于更大视野的第三代半导体整片成像分析利器更灵活的全自动新材料原位分析平台更智能的数据收集、分析和管理系统……是助力于材料研究、生命科学和工业检测等领域的“多面手”。传承经典，引领创新——蔡司场发射扫描电镜新品发布会将于2022年12月20日在国内正式发布！扫描二维, 预约参会 期待与您的交流！

近日，国仪量子应用中心迎来重磅新品——场发射扫描电镜SEM5000。SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜，有着先进的镜筒设计，镜筒内减速、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时可适用于磁性样品。SEM5000具有光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程。无论操作者是否具有丰富经验，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。 左右滑动查看SEM5000 电子枪类型：高亮度肖特基场发射电子枪分辨率：1 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV放大倍率：1 ~ 1000000 x加速电压：20 V ~ 30 kV样品台：五轴全自动样品台产品特点01分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像02电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品03镜筒内减速，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证04电子光路无交叉，有效降低系统像差，提升分辨能力05水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性06磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换应用领域场发射扫描电镜SEM5000可广泛应用于锂电、芯片半导体、陶瓷、建筑材料、电子元器件、化学化工、生物医疗、环保、金属材料等领域。场发射扫描电镜SEM5000拍摄案例樱花花粉经伪彩处理NVPTIO2钛酸锂正极极片负极极片极片表面的导电添加剂隔膜

p style="text-align: center "strong第三届电镜网络会议（iCEM 2017）特邀报告/strong/pp style="text-align: center "strong扫描电镜的用户维护经验分享/strong/pp style="text-align: center "strongimg width="210" height="304" title="赵海峰.jpg" style="width: 210px height: 304px " src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c7b00181-3586-41d4-af50-79f0ced9d8f8.jpg" border="0" vspace="0" hspace="0"//strong/pp style="text-align: center " /pp style="text-align: center "strong赵海峰 副研究员/strong/pp style="text-align: center "strong中国科学院长春光学精密机械与物理研究所/strong/pp　　strong报告摘要：/strong/pp　　引言/pp　　1.钨灯丝电镜的维护（KYKY 1000B）/pp　　2.场发射扫描电镜的维护（HITACHI S-4800）/pp　　3.电镜维护案例分享/ppstrong　　报告人简介：/strong/pp　　赵海峰，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所副研究员，就职于发光学及应用国家重点实验室。所测试部办公室主任。吉林省电镜学会理事。1997年长春理工大学毕业后来到中科院参加科研课题工作。2003年获中国科学院长春光机与物理研究所理学硕士学位。2004年开始从事半导体发光材料的微构分析表征工作，目前负责管理和维护HITACHI S-4800, KYKY 1000B, BRUKER AFM Multimode8, BRUKER XRD Focus, BRUKER XRD Discover等分析仪器。/pp　　工作以来，先后参过了国家863、面上基金，中科院设备研发等研究项目，在国内外学术刊物发表论文近60篇，申请发明专利5项。还负责管理测试部国家计量认证内审和出具CMA检测报告工作。在十几年的扫描电镜管理和使用过程中，积累了丰富的仪器维护工作经验。/pp　　strong报告时间：2017年6月22日下午/strong/pp　strong　立即免费报名：a title="" href="http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017/" target="_blank"http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017//a/strongbr//pp style="text-align: center " a title="" href="http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017/" target="_self"img title="点击免费报名参会.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c9793b9d-a3ec-4cb2-a453-330b3d0cbf03.jpg"//a/p

探索全新扫描电镜成像技术——BEX什么是BEX？BEX是集背射电子和X射线成像于一体的新型微区分析技术，可以在SEM下同步、高效采集背散射电子图像和元素面分布图。BEX技术能带来哪些新体验？此前，基于SEM的显微分析大多是静态的、逐步进行的，并且高度依赖用户经验。操作人员通常根据SE/BSE灰度图中的形貌或原子序数衬度进行样品导航，并借助EDS完成精细的成分分析。如果当前区域没有感兴趣的特征，则需要重复以上繁琐步骤。在BEX技术的支持下，即使样品台移动过程中也能实时呈现试样的形貌、晶体取向、原子序数和元素分布等信息，让复杂样品分析极尽简便迅捷之能。只需稍作停留即可获得高分辨、高质量的元素面分布图，无论是开展更精细的分析还是继续样品导航都如丝般顺滑。SEM成像技术发展二次电子成像自SEM诞生以来二次电子（SE）成像一直是最常见的成像技术之一。SE是样品与高能电子束发生非弹性散射后逸出试样表面的电子，其产额与入射角度相关。它们具有较低的能量（~50 eV）和逸出深度（~10 nm），能够提供丰富的形貌信息。Everhart-Thornley探测器是一种常见的二次电子检测装置，由带正电的法拉第笼、闪烁体和光电倍增管组成。二次电子（绿色）从样品表层逸出，当电子束入射角度偏离法线时，SE产额增加。SE图像的灰度反映样品表面的起伏情况。加速电压：20 kV，束流：1 nA，采集时间：15 s背散射电子成像入射电子经弹性散射逸出样品表面形成背散射电子（BSE）。与SE探测器不同，BSE探测器的核心结构是位于极靴正下方的p-n半导体，可以有效地采集能量更高、激发深度更深的BSE信号。BSE产额随试样的平均原子序数增加而升高，在BSE图像中，越亮的区域意味着更高的原子序数。通过逻辑运算，具有两个或多个分割区域的半导体BSE探测器还可以显示试样表面的起伏信息。背散射电子（红色）的逸出深度更深，BSE图像的灰度反映了样品的平均原子序数衬度。加速电压：20 kV，束流：1 nA，采集时间：15 sBEX成像BEX成像系统在极靴正下方集成了BSE与X射线传感器。后者通常是硅漂移探测器（SDD），用于分析特征X射线，其工作原理与EDS相同。软件算法能够自动识别谱图中存在的元素并进行配色，最终输出与BSE信号叠加的彩色图像。与SE或BSE成像技术相比，BEX成像技术在相同采集时间和工作条件下提供了更丰富的样品组成和元素分布信息。与常规EDS系统相比，BEX系统具有更大的立体角和更高的X射线计数率。此外，BEX系统的特殊设计消除了样品表面起伏在元素面分布图中产生的阴影效应，并拓宽了X射线成像时可用的工作距离范围。同步检测BSE（红色）和X-ray信号（蓝色）；（b）BEX成像结果。加速电压：20 kV，束流：1 nA，采集时间：15 s

2022年12月20日蔡司中国新一代场发射扫描电镜Sigma系列新品线上发布会成功举办。为满足新能源，新材料，电子半导体和集成电路，深海，太空，生命科学，考古等热门领域的高分辨率成像和全面分析的需求，蔡司全新推出的场发射扫描电镜Sigma360和Sigma560，传承GEMINI电子镜筒的优良性能，将会是材料研究、生命科学和工业检测等领域的“全能多面手”。蔡司致力于和用户一起携手共进，推动科学发展与行业进步。蔡司全新场发射扫描电镜Sigma360与Sigma560蔡司中国显微镜事业部材料科研负责人黄铭刚先生出席线上发布会并为全新Sigma系列揭幕。他提到：“作为蔡司集团历史最悠久的部门之一，蔡司显微镜秉承创新的基因，持续利用前沿技术，为不同行业的客户提供跨尺度、多模态的显微成像分析解决方案。我们坚信全新的Sigma系列必将助力客户持续成功。”黄铭刚先生致辞并为新品揭幕蔡司显微镜材料科学全球市场总监BenjaminTordoff博士也受邀在发布会中致辞并介绍了全新Sigma系列的关键技术特点，尤其是低电压性能方面得到了极大提升。BenjaminTordoff博士介绍产品特点随后，蔡司中国显微镜应用经理秦艳女士详细介绍了全新Sigma系列的前沿技术。高分辨、全分析、多扩展、强智能、广应用，新一代场发射扫描电镜Sigma系列将与用户一同开启纳米分析新纪元。全新Sigma系列亮点：1、高分辨。GEMINI电子光学技术再度升级，分辨率进一步提升，低电压效果更加优秀，让用户的高分辨成像工作更加得心应手。低电压高分辨成像结果（Al2O3颗粒，1kV）2、全分析。可配置多种分析手段，获取样品全面信息：全新NanoVPLite保证低真空EDS分析精度；电子通道衬度成像（ECCI）分析样品内部缺陷；无漏磁物镜搭配EBSD，实现高精度晶体取向分析；Raman-SEM联用系统，轻松实现高精度原位拉曼分析。不锈钢ECCI成像3、多扩展。超强的扩展兼容性，为用户拓展电镜应用新维度。它可以是用户的全自动原位实验平台，可以是用户的冷冻传输分析系统，也可以是用户的高精度电子束直写(EBL)平台，还可以是用户的原位电化学分析工作站，等等。钢铁样品800°C原位自动EBSD4、强智能。SmartSEMTouch定制软件为用户带来触屏式、流程化的拍摄与自动拼图体验，操作高效又安全；ZEN软件让图像处理等量化分析工作更加自动、智能；Connect模块可轻松实现光电关联，一站式解决用户的定位难题。简洁的SmartSEMTouch操作界面5、广应用。广泛的应用适用性，无论是材料科学研究、工业检测，还是生命科学领域；无论是金属、聚合物，还是陶瓷、矿石；无论是不导电样品、电子束敏感样品，还是磁性样品；无论是半导体材料、锂电池材料，还是生物样品，它行行全覆盖，样样都拿手。含Ni磁性样品，1kV成像

p style="text-align:center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/202005/pic/504e2eee-8be6-4537-8041-ce1ac0730893.jpg!w400x400.jpg" alt="场发射扫描电镜"//pp style="text-indent: 2em " 2020年5月25日日本电子株式会社全球同步发布新款场发射扫描电子显微镜JSM-IT800系列。/pp style="text-indent: 2em "JSM-IT800的场发射扫描电镜通用性强，可广泛应用于纳米材料、金属材料、半导体材料、化学化工、医学及生物学领域，可高效观察包括非导体样品及强磁性样品等。/pp style="text-indent: 2em "JSM-IT800SHL分辨率可达0.5nm,成像能力强大。浸没式电子枪可提供500nA大电流，EDS和EBSD分析速度极快。/pp style="text-indent: 2em "另外JSM-IT800系列还搭载了众多全新研发的电子光学技术，自动化程度极高。详情请咨询捷欧路（北京）科贸有限公司及其各地分公司。/pp style="text-indent: 2em "strong创新点：/strong/pp style="text-indent: 2em "大束流，长寿命电子枪，智能化操作，无漏磁物镜，大开门装样，实时能谱/pp style="text-indent: 2em "strong产品链接：/strong/pp style="text-indent: 2em "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C400548.htm" style="text-decoration: underline font-size: 16px color: rgb(0, 176, 240) " target="_blank"span style="font-size: 16px color: rgb(0, 176, 240) "strong场发射扫描电镜/strong/span/a/p

pbr//pp飞纳台式扫描电镜 Phenom Pro 于 2015 年 11 月 17 日在山东大学成功验收。飞纳台式扫描电子显微镜的制造商 Phenom World 工厂位于荷兰的埃因霍温，埃因霍温是一座充满创新的城市，是欧洲四大高科技聚居地之一。Phenom World 只专注于台式电镜领域，在不断优化 CeB6 灯丝和内部防震设计后，2015 年，PW 推出第 4 代产品，分辨率达到 14 纳米，放大 13 万倍 。飞纳电镜的研发创新永不止步，已成为台式扫描电镜领域中新技术，新理念的开拓者，不仅推出了世界首台电镜能谱一体机，开创电镜能谱设计新理念，同时不断推出适用于特定行业领域的功能性软件，如颗粒统计分析测量系统等。扫描电子显微镜已成为纺织、生物学、医学、冶金、机械加工、材料、半导体制造、微电路检查，甚至月球岩石样品分析等领域的主要研究手段。飞纳台式扫描电镜应科研需要诞生，其 15 秒抽真空的特点不同于传统扫描电镜需要 3 分钟时间抽真空，很大程度上提高了扫描电镜的使用效率。/ppbr//pp该用户主要研究锂离子电池材料，对电镜的分辨率有高要求，CeB6 灯丝较钨灯丝来说，可以显著提高电镜的分辨率，因为灯丝的信号量是电镜分辨率的决定性因素之一，以此可以类推场发射电镜的分辨率。该用户的课题组学生较多，用户希望学生可以自己操作电镜，要求仪器能操作简单，维护方便，耐用。下图为该课题组学生样品的图片：/ppbr//pp style="TEXT-ALIGN: center"img style="WIDTH: 600px HEIGHT: 303px" title="飞纳电镜-山东大学.jpg" border="0" hspace="0" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201511/uepic/a87168c6-ca21-475c-822d-b6c9dc4eb173.jpg" width="600" height="303"//pp style="TEXT-ALIGN: center"硅片上蒸镀Ni颗粒 （左）和泡沫镍上生长氧化物（右） br//ppbr/同学们积极踊跃学习飞纳电镜的操作，飞纳电镜操作简捷，对于没有电镜操作经验的学生来说，半个小时掌握操作要领，拍出图片来不是难题。是在飞纳电镜工程师的耐心指导下同学们已能独立完操作，最后获得了培训合格证书。相信飞纳电镜可以推动大家的科研生涯不断前进！/ppbr//pp style="TEXT-ALIGN: center"img style="WIDTH: 500px HEIGHT: 370px" title="山1.jpg" border="0" hspace="0" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201511/uepic/b9ef1152-af5b-4490-b420-6e288f2acf10.jpg" width="500" height="370"//pp style="TEXT-ALIGN: center"同学们积极踊跃学校飞纳电镜操作/ppbr//pp style="TEXT-ALIGN: center"img style="WIDTH: 500px HEIGHT: 370px" title="山2.jpg" border="0" hspace="0" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201511/uepic/2b0dc7bb-1fc8-4e46-b7d9-5f728d2a0a65.jpg" width="500" height="370"//pp style="TEXT-ALIGN: center"大家拿到培训合格证书后笑逐颜开br//ppbr/飞纳电镜操作简易非常适合学生自己操作，且飞纳高分辨率专业版 Phenom Pro 高达 130,000 倍的放大倍数可以满足用户所有待观测样品的测试需求，自动马达样品台配合光学导航结合，仅需 15s 的抽真空时间可以方便快速地观测样品，飞纳电镜卓越的性能得到该课题组老师和学生的一致好评！/ppbr/注明：此新闻素材山东大学仅授权复纳科学仪器（上海）有限公司使用，如需转载，请注明出处/ppbr//p