泰克平面干涉仪原理

产品简介：PG150-PC激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于平面类光学元件检定和校准光学平晶（包括玻璃、金属、陶瓷等），配备高精度的成像系统和图像采集系统，精密平面 标准镜等一系列高精技术，通过优化光学系统和机械系统结构，可实现高精密平面光学元件的测量。 产品型号PG150-PC激光平面干涉仪技术参数测量方式:菲索干涉原理有效口径:150mm光源:半导体激光 635nm连续变倍:固定倍率显示方式:电脑软件或独立显示器平面标准镜:精度PV ≤λ/20电源:AC100-240V 50/60Hz产品规格仪器尺寸:40cm x 40cm x 90cm 仪器重量:75kg标准配件标准镜材料:石英 康宁7980

中图仪器SJ6000国产单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000国产单频激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品特点精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件强（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000国产激光干涉仪直线导轨平行度平台平面度数控机床线性测量非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SJ6000国产激光干涉仪品牌集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000国产激光干涉仪品牌结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在测量机床领域，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000国产激光干涉仪品牌非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

干涉仪ZMI™ 系列–位移测量干涉仪ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。线性干涉仪该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜平面镜干涉仪该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统波长补偿器该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO的紧凑型波长补偿器提供了高精度的折射率变化反馈，可在环境条件下实现最佳的位移测量性能。配件通过将光束从激光器传输到干涉仪，并最终传输到测量电子装置，完善测量系统。ZYGO提供各种标准的转折镜、分光镜、光纤耦合器和光纤电缆，方便您灵活配置测量系统。定制干涉仪设计ZYGO专业生产用于OEM应用的定制多轴干涉仪。定制设计允许在空间有限的应用中进行合并光束传输。它还减少了对准系统所需的时间，可在生产过程中实现更快的集成。

SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪是利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000中图高精度单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。高精度性能特点SJ6000中图高精度单频激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。SJ6000中图高精度单频激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。在机床领域的应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

海思科技 吴先生 美国Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K1/白光干涉仪Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K1/白光干涉仪布鲁克 (Bruker) 是表面测量和检测技术的全球领导者，服务于科研和生产领域。新一代白光干涉仪ContourGT系列结合了先进的64位多核操作和分析处理软件，专利技术白光干涉仪（WLI）硬件和前所未有的操作简易性，是历年来来进的3D光学表面轮廓仪系统。该系统拥有超大视野内亚埃级至毫米级的垂直计量范围，样品安装灵活，且具有业界的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中，最广泛使用和最直观的3D表面计量平台。应用： 对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，提供全方位非接触式测量方案，样品从小至微米级别的微机电器件（MEMS），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据原理：利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。特征：◆业界的垂直分辨率，大的测量性能；0.5~200倍的放大倍率；任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程；高分辨率摄像头；◆ 测量硬件的独特设计，增强生产环境中的可靠性和重复性；较高的震动的容忍度和GR&R测量的能力专利的自动校准能力；◆ 多核处理器下运行的Vision64? 软件，大大提高三维表面测量和分析速度数据处理速度提高几十倍；分析速度提高十倍；无以伦比的大量数据无缝拼接能力；◆ 高度直观的用户界面，拥有业界的实用性，操作简便和分析功能强大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；独特的可视化操作工具；可自行设置数据输出的界面

（1）HL球面镜激光干涉仪HOOL L8200A应用领域●光学镜片检测●光学组件检测●相机镜头检测●安防镜头和车载镜头检测●航空航天成像系统检测●超精密机械件检测●科研和高等教学仪器等众多领域●不同F数的球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量●不同F数的柱面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量●非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量●光学组件和系统透射波前精度测量●材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等●内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等 （2）HL球面镜激光干涉仪HOOL L8200A产品综述 现场高效球面检测干涉仪是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内独特的组合式激光干涉模块作为核心部件，主要用于检测高精度快速球面和大曲率半径球面面形。 通过模块化的设计理念，针对不同的光源、镜头口径、成像方式，不仅在测量过程中拆卸方便, 也可适用于多种被测面的测量，大大降低检测成本。 （3）HL球面镜激光干涉仪HOOL L8200A参数性能测量原理：斐索干涉原理光源波长：632.8nm样品准直：使用两个光点电源:220V 50HZ /11 0V 60HZ操作系统：Windows7/10, 32/64bitCCD分辨率：1280*960像素软件：H&L-p数字化相移分析软件精密度：入/600 PV重复性：入/500 PV重复性：入/1000 RMS透射平面镜精度：1/10 PV曲率半径监测范围：2-500mm检测效率：20秒/次◆材质均匀性◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制 部分客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所, 上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

一、GPI系列激光干涉测量仪，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。可应用于：1、平面和球面的面形检测2、平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差3、光学材料均匀性测量4、角锥角度和面形偏差测量5、精密盘片质量检验6、三平板绝对测量7、双球面绝对测量8、静态干涉条纹判断9、泽尼克多项式分析10、球面曲率半径测量二、GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪，具有光学器件少，精度高，易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光，光束扩展为1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直径，自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪，形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机，形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹，可以测量样品的表面面形和传输波面质量，样品为平面或球面。如果为非平面和非球面，则需通过加装补偿片等手段进行测量。GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件（最高可达 2048 X 2048），配合功能强大的MetroPro?软件可以获得高精确性和高质量的测量结果，其平面样品 PV绝对精度优于λ/100 ！三、球面样品 PV绝对精度优于λ/140！并能模拟样品表面面形，包括鲜明的，可旋转的3D彩色图像，可选的剖面图以及各种统计数字结果等。同时，针对用户的各种样品、各种要求，可以通过提供各种精密可选附件，配合功能强大的MetroProTM软件，为用户提供完美的技术解决方案并获得满意的测量结果。四、GPI－XP系统最大的特点就是其功能强大的MetroProTM软件系统。使用互动的窗口显示，在屏幕上同时提供仪器控制，表面面形模拟，测量数据的统计分析等功能。测量数据可以存在磁盘上，或传输至其它计算机作进一步处理或统计分析。也可以使用彩色打印机打印出MetroProTM高质量的数据图像。 Mesa―平面度测量仪。 ZYGO公司专为精密机械加工件和薄型光学元件的平面度测量而设计的一种干步测量仪器，其测量对象是粗糙度为2.5μm(Ra)和平面面形误差150μm(Pa)以下的零件，测量样品直径可达Ф96mm。Mesa同样采用功能强大的MetroProTM软件，可在5秒钟内完成测量和分析，并向用户提供零件的三维面形图和各类测量数据。

激光干涉仪原理和方法:随着光通讯行业的飞速发展，特别是通讯行业手机、平板等对成像质量要求的不断提高，必须对手机面板摄像孔的光学玻璃的透射波前进行检测和分析。光学玻璃的透射波前是指一个标准的波形（平面波、球面波等）被透射或反射后的波形，它主要用于光学成像的像质评价。随着透射光学系统（如手机平板等摄像系统等）的成像质量要求越来越高，迫切需要高精度的光学玻璃透射波前的检测手段。高精度的检测方法主要是用干涉法检测波前畸变。 激光干涉仪其工作原理是将待测手机平板放于干涉仪的参考平面镜和标准反射镜中间，从标准参考镜反射的光和标准反射镜的光相干涉，干涉条纹则反映了手机面板摄像孔透射波前的好坏。技术参数硬件部分产品型号SDI-635-10PV产品名称激光干涉仪测试结构斐索型立式结构测试口径有效口径Ф10mm测试光源半导体激光光源（波长635nm）对准视场±0.5度标准镜面形精度λ/20标准配件1、激光干涉仪主机一台 2、10mm平面透射标准镜，λ/20 3、10mm平面透射反射镜，λ/20 4、手机面板测试平台（带XY固定） 5、移相控制器一台 6、移相干涉条纹分析软件一套 7、电脑、液晶显示器一套设备重量约16KG电源AC220V50HZ软件部分软件名称移相算法分析项目透过波前PV值、RMS值、干涉条纹数PV值测试重复性±0.039λ条纹数测试精度±0.5条测试时间1.5秒测试数据可存EXCEL

1.产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。2.产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。二.工作原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。三.产品功能特点◆精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。◆功能广●可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；●可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；●可实现龙门机床双轴同步测量；●可实现对机床回转轴的测量与校准；●可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；●具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；●支持手动或自动进行环境补偿。◆软件强●友好的人机界面；●丰富的应用功能模块；●向导式的操作流程；●简洁化的记录管理；●支持中文、英文和俄文界面；●支持企业专属模板定制。

应用领域 工业计量检测，光学加工车间检测，各种工业生产及加工现场检测包括：通讯、航空航天、汽车制造和消费电子等。 动态环境下，测量各种光滑表面面形，包括光学平面玻璃、窗口玻璃、金属平面、陶瓷平面，凸凹球面等。帮助光学车间和其它工业加工现场，控制和提高各种元件的光滑表面精度和表面质量。 产品综述 通用组合水平式检测干涉仪（数字化动态分析系列）是一种使用动态分析方法的斐索型激光干涉仪。该干涉仪具备良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。这使得该干涉仪在传统相移技术无法进行测试的环境中，仍能提供精密可靠的计量检测，这种具有可模块化组合和低成本等特点的无损检检测干涉仪是工业加工现场检测需求的新方向。 性能参数◆材质均匀性◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制我们的客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

产品概述BINNA2是维度科技研发的一款自动检测干涉仪，该设备继承了维度科技多年的干涉仪丰富经验，在SANA2的基础上增加了自动对焦和自动校对等功能，是单芯干涉仪功能集大成者。 BINNA2采用全新的软件设计、全新的夹具平台结构和夹具结构设计,进一步提升了设备的抗震能力； 夹具的使用寿命以及测量稳定性也空前提升。主要特性光纤高度达 -1000~1000nm角度自动调节自动对焦、自动校对、一键测量0.5s 完成单个连接器测试抗震性能力强-1000~1000nm 光纤新高度BINNA2 自动检测干涉仪采用全新光路设计， 光纤高度测量范围高达 -1000~1000nm，适合各种复杂工况的使用。 夹具自动居中功能BINNA2 干涉仪夹具采用全新设计，安装在干涉仪上后无需做任何硬件调整，只需在软件界面上点击”图像居中”按钮，软件将自动导引完成定位光标的定位工作。 一键测量BINNA2 夹具平台正面配备了一键测量快捷键，夹具锁紧感应结构能够自动获取当前夹具的锁紧状况，在每次夹具锁紧时软件进行自动测量。 全自动对焦、全自动校准BINNA2 采用维度最新的软硬件平台，在 SANA2 的基础上增加了自动对焦和自动校对等功能，让整个测量过程 100% 自动完成。极快的检测速度BINNA2 优秀的软硬件设计极大的提高了测试的速度，能够在 1.5s 内完成 包含端面分析与表面形貌测量的工作，最快可在 0.5s 内完成单个连接器的测试。角度自动调节BINNA2 实现 0~12°超广角度的全自动调节，0.003°的调节精度让 APC 角度测量更加精准。 自适应锁紧力度的夹具设计BINNA2 夹具采用自适应锁紧力度的结构设计，依靠弹簧自动调节锁紧陶瓷插芯的力度，保证每次锁紧力度一致，减少夹具的磨损并延长使用寿命。稳定的数据连接及无与伦比的抗震性能BINNA2 沿用干涉仪系列的锁紧式 USB 3.0 数据线，保证任何情况下都有稳定高速的 数据连接 独特的硬件结构设计，能搞保证 在震动极大的工厂环境中依然能够获得稳定的测试结果和测量精度。 裸光纤切割角度测量维度科技根据客户需求在 BINNA2 集成了多 种产品测量功能。BINNA2 可以测试光纤的切割角度。性能参数 * 再现性：重复插拔 50 次计算后获取的 sigma 数值重复性：不插拔重复测量 50 次计算后获取 sigma 数值主要应用用于抛光和组装过程中检查光纤插芯，跳线，尾纤和裸光纤。

SJ6000中图国产激光干涉仪品牌利用激光干涉现象来实现非接触式测量，其光波波长可以直接对米进行定义，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）SJ6000中图国产激光干涉仪品牌支持手动或自动进行环境补偿。在机床加工领域的应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000中图国产激光干涉仪品牌测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿激光干涉仪以光波为载体,利用激光作为长度基准,是高精度、高灵敏度的测量仪器。激光干涉仪不仅广泛用于数控机床、激光切割机、光刻机等，在计量检定领域也能大展身手。在计量检定领域的应用1、测长机检定传统的测长机示值误差主要采用量块进行校准，受环境因素影响较大，校准条件要求高，且量程大于1m的测长机需要分段校准，效率低，而使用激光干涉仪进行校准，不仅可以提高效率，还可通过环境补偿单元对空气温度、压力、湿度和材料温度进行补偿，提高校准精度。2、三坐标测量机示值误差测量随着三坐标测量机技术的更新和发展，使用传统的量块、球板等已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，激光干涉仪测量准确度高，测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标各项几何误差。3、位移传感器检定利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比，位移传感器自动检定系统与SJ6000激光干涉仪(标准)对定长位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。4、影像仪定位精度测量影像仪传统检测方法采用线纹尺比对法进行，存在着检测精度低、测量系统误差大、成因分析功能缺失、改善方向不精准、 检测效率低下等问题。使用激光干涉仪可以对影像仪的定位误差进行快速检测，对测量数据进行运算分析，利用软件生产补偿文件快速实施二维平面多点位补偿，可大大降低设备制造过程中的精度检测难度、提升检测效率及补偿效率。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000国产机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000国产机床激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）SJ6000国产机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。激光干涉仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。增量值补偿时有几个重要参数：参考点：参考点也就是基准点。zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

白光干涉仪是一种精密测量仪器，能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。白光干涉仪的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪精度高达0.03nm，扫描速度高达400μm/s。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。

中图仪器SJ6000激光干涉仪检测数控车床集光、机、电、计算机等技术于一体，它以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）激光干涉仪检测数控车床，支持手动或自动进行环境补偿。SJ6000激光干涉仪检测数控车床利用激光干涉现象来实现非接触式测量，适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。机床领域应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

详细信息一、产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6800高精度激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6800激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6800激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。二、产品配置SJ6800激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。▲主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。三、产品功能特点精度高SJ6800激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；可实现对机床回转轴的测量与校准；可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；支持手动或自动进行环境补偿。软件强友好的人机界面；丰富的应用功能模块；向导式的操作流程；简洁化的记录管理；支持中文、英文和俄文界面；支持企业专属模板定制。

光纤法布里-珀罗干涉仪光纤法布里-珀罗干涉仪系列产品基于具有平滑、均匀间隔传输峰的固定干涉仪设计。FFP 的设计简洁优雅的关键在于其无透镜全光纤结构。没有准直光学器件或透镜，消除了其他法布里-珀罗元件技术的缺陷，包括未对准、环境敏感性和外来模式。FFP 波器遵循 Airy 函数。工程师可以将其设计到 OEM 系统中，因为他们知道它将提供非常接近理论数学模型的结果。FFP-I由一个无透镜的平面FabryPerot干涉仪和一个位于两个高反射多层反射镜之间的单模光纤波导组成。FFP-I是直接用光纤制造的，所以不需要对齐或模式匹配。自由光谱范围(FSR)可以完全按照客户的规格制造，TEC包可用于热稳定性和中心带通频率的小调整。FFP-TF 和 FFP-TF2 是多功能可调谐滤波器，由全光纤 Fabry-Perot 超腔组成，采用坚固、快速调谐的 Tecordia 合格封装。Luna Innovations 的光纤法布里-珀罗 (FFP) 可调谐滤波器在坚固的封装中实现了高精细度并保持低损耗。FFP-TF2 设计提供改进的标准具校准，以实现稳定的长期、高可靠性和符合 Telcordia 标准的性能。几种标准的低成本配置可随时用于快速交付。定制的高性能多频段配置也可用于特殊应用。 光纤法布里-珀罗干涉仪的主要特征：频谱切片源国际电联过滤器校准波长参考激光稳定波分复用仿真全光纤平台高分辨率和低损耗设计超腔精巧抗振动和抗冲击光纤法布里-珀罗干涉仪FFP-I参数： 光纤法布里-珀罗干涉仪FFP-TF2参数： picoWave是Micron Optics的多波长基准，可实现picometer精度的实时波长校准。结合均匀的频率间距FFP-I，光纤布拉格的波长标记光栅，内置热稳定性TEC, picoWave是理想的校准波长参考。FFP-I和FBG可以配置在串联或并联。 光纤法布里-珀罗干涉仪的应用：光学性能监控光谱分析可调谐光噪声滤波超DWDM的可调信道下降可调的来源光学传感关于昊量光电：昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务，助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询，我们将竭诚为您服务。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪国产品牌基于白光干涉原理，以3D非接触方式，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸的典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉仪国产品牌设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域SuperViewW1白光干涉仪国产品牌对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图超高精度激光干涉仪sj6000集光、机、电、计算机等技术于一体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、最高测速下分辨率高等特点。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量配置线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。线性测量应用SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。中图超高精度激光干涉仪sj6000结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）中图超高精度激光干涉仪sj6000具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。

中图激光干涉仪sj6000具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点，被广泛应用于工程和科研领域。中图激光干涉仪sj6000结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。功能特点1、精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。2、功能广（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。3、软件强（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。4、标准多内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。产品配置中图激光干涉仪sj6000系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。部分应用场景展示部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。在机床领域的应用产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000支持手动或自动进行环境补偿。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产品简介中图激光干涉仪机床校准仪sj6000集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。中图激光干涉仪机床校准仪sj6000具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在机床加工领域的应用利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿中图激光干涉仪机床校准仪sj6000非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。

中图仪器白光干涉仪国产三维形貌仪SuperViewW是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。应用案例产品功能(1)中图仪器白光干涉仪国产三维形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器白光干涉仪国产三维形貌仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。