八轮平整度仪原理

公路连续式八轮平整度仪是专业检测仪器，使用前务必仔细阅读说明书。并由专业实验人员操作，以避免操作不当引起的伤害。如需了解更多资料请与我公司客服人员联系。公路连续式八轮平整度仪由上海荣计达仪器科技有限公司提供，设备质保期一年，一年内产品如有质量问题，供方负责免费维修。如果因操作不当或者人为损坏，我公司亦应提供维修、更换服务，由此产生的费用我公司会酌情收取。公路连续式八轮平整度仪概述：该仪器在电子技术方面，采用了国内最为先进的微处理和大规模集成电路技术，提高了整机的集成度，减少了原仪器中许多不必要的接插件连接从而增加了系统工作的可靠性，使整机系统的各项性能更趋稳定，内部采用单CPU结构，负责显示、打印、计算、通信、采集数据等功能；采用中断方式采样数据，因而可连续进行测量，而不中断。一起自动计算距离，每测1000个点内存时，采样间距取0.1米，则可连续测25公里。公路连续式八轮平整度仪内含实时时钟，可显示时间和日期，并自动记录。显示器则采用了12寸触摸屏，蓝牙无线传输。控制器在车内，没有电池，控制器接在点烟器上，重型车架，可以设置，保存打印所有数据，可现实路面实时测量数据。公路连续式八轮平整度仪是目前国内的现代化路面平整度测量仪器，具有连续测量、自动运算、显示并打印路面平整度均方差的功能。因此本仪器和现行的三米直尺测量及其他同类测量仪器比较，不仅具有测量精度高、速度快、数据可靠、评定科学等优点，而且操作简单、工作可靠、同时大大降低了劳动强度，提高了工作效率和经济效益。适用于公路、城市道路、广场、机场跑道等路面的施工检查竣工验收和道路的养护，同时也可为教学、设计及科研单位提供可靠的路面分析资料，在国际沥青路面施工及验收规范(GBJ02－86)和交通部《养护技术规范》(JTJ073－85)重列出了此仪器为标准测量仪器。同时国家技术监督局批准该仪器为国家标准仪器、编号为(GB11816－89)。公路连续式八轮平整度仪技术功能：一、测量功能及精度1、可自动测定、运算、打印均方差。取样间距0.05m及0.1m两种，取样误差0.04mm，同一条件重复测试，其统计偏差小于0.2mm；2、由人工送数，可自动打印测试日期(　　年　　月　　日)及被测路段编号(道路号、里程桩号、取样、超差)每打印一次，小结序号自动加一。3、自动运算并打印被测路段的单项累计值H(单位：mm)。4、自动检测计算并打印被测路段长度值L(单位：m)误差小于1%。5、自动测定计算并打印正负超差数(K＋、K－)，超差标准使用可根据路面等级要求自行选定，限制在1－15范围内(mm)。6、可自动测定计算并打印测试速度值V(单位：km/h)。二、牵引方式及检测速度

WD4000晶圆平整度翘曲度测量设备采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。产品技术1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、WD4000晶圆平整度翘曲度测量设备基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。WD4000晶圆平整度翘曲度测量设备通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

连续式路面平整度测定仪在电子技术方面，采用了国内为微处理和大规模集成电路技术，提高了整机的集成度，减少了原仪器中许多不必要的接插件连接从而增加了系统工作的可靠性，使整机系统的各项性能更趋稳定，内部采用单CPU结构，负责显示、打印、计算、通信、采集数据等功能；采用中断方式采样数据，因而可连续进行测量，而不中断。一起自动计算距离，每测1000个点内存时，采样间距取0.1米，则可连续测25公里。 连续式路面平整度测定仪内含实时时钟，可显示时间和日期，并自动记录。显示器则采用了汉字液晶显示的方法，即降低了功耗又使显示更加清晰；位移传感器采用了无温漂、时漂的电容式无接触线性测量系统，代替了传统的电感式位移传感器，精度更高、稳定性更好，电源采用6v7.2Ah胶体免维修电池，取代了传统的蓄电瓶；在机械方面，在保证测试精度、测试准确性和机架刚度的前提下，尽可能的减轻了仪器的重量，是仪器的运输及装卸更加方便灵活。 连续式路面平整度测定仪是目前国内好的现代化路面平整度测量仪器，具有连续测量、自动运算、显示并打印路面平整度均方差的功能。因此本仪器和现行的三米直尺测量及其他同类测量仪器比较，不仅具有测量精度高、速度快、数据可靠、评定科学等优点，而且操作简单、工作可靠、同时大大降低了劳动强度，提高了工作效率和经济效益。适用于公路、城市道路、广场、机场跑道等路面的施工检查竣工验收和道路的养护，同时也可为教学、设计及科研单位提供可靠的路面分析资料，在国际沥青路面施工及验收规范(GBJ02－86)和交通部《养护技术规范》(JTJ073－85)重列出了此仪器为标准测量仪器。同时**技术监督局批准该仪器为标准仪器、编号为(GB11816－89)。 连续式路面平整度测定仪技术功能：★测量功能及精度1、可自动测定、运算、打印均方差。取样间距0.05m及0.1m两种，取样误差0.04mm，同一条件重复测试，其统计偏差小于0.2mm；2、由人工送数，可自动打印测试日期(　　年　　月　　日)及被测路段编号(道路号、里程桩号、取样、超差)每打印一次，小结序号自动加一。3、自动运算并打印被测路段的单项累计值H(单位：mm)。4、自动检测计算并打印被测路段长度值L(单位：m)误差小于1%。5、自动测定计算并打印正负超差数(K＋、K－)，超差标准使用可根据路面等**要求自行选定，限制在1－15范围内(mm)。6、可自动测定计算并打印测试速度值V(单位：km/h)。★牵引方式及检测速度人力或机动车牵引，A小转弯半径5m，检测速度不超过12km/h，非检测情况(机架缩短，测量轮悬起)下牵引速度(25KM/H)。★工作环境温度：(-10℃－＋40℃)★电源及功耗：胶体免维修电池，6V7.2AH★外形尺寸：4061×800×600mm　　　伸长：4061mm；缩短：2350mm；★仪器重量：全机总重150kg，电子仪器箱3kg 连续式路面平整度测定仪操作方法：★测试车使用准备1、仪器测试车具有两种状态，一是存放运输状态，一是测量检测状态。在运输时，取下固定螺栓，将前伸缩方管及后家向中间缩进，在用螺拴固定，将测量轮悬起，拓开所有插头。测试检测状态时，取下固定螺栓，机架伸长**位，再用螺栓固定并放下测量轮使其紧贴地面。2、安装打印纸。见打印机使用说明书。3、接好各电缆线，连接电缆时要注意方向。★使用步骤1)设置参数如果参数不正确则对测试结果有影响，因此先必须正确设置参数，选择菜单下功能2设置，按［输入］键确认：显示格式：道路间隔里程增减桩号路幅超差表示道路号、里程号、超始桩号、极限超差值；采样间隔(5cm×2＝10cm)，极限超差值由人工设定，设置范围从00－99mm；采样间隔N01表示每5cm采次样，N02表示每10cm采次样，依此类推可输入不同采样间隔，一般情况下，按规范设置N02即每10cm采次样即可，递增为0，递减为1。用数字键输入各参数，每输入一个参数光标会自动移向下一个参数，若输入有误则只有重新选择设置参数输入数据，在整个数据输入完后才能退出设置参数，除非按［复位］键退出。 2)清除位移传感器 在检测之前，须使位移传感器显示为零，按清零键，即对传感器进行清零操作。 3)检测传感器 在检测之前，须确定位移传感器工作是否正常，选择菜单下功能3测试，按［输入］键确认，此时屏上会显示位移传感器的位移实时值； 4)清除文件 在测试过程中每1000个采样点自动存储为一个记录，可连续存储256个记录，为确保有足够的内存，每个测公路在测试前A好清除原来的纪录，选择菜单功能7删除，用［输入］键确认，屏上显示正在删除。 5)开始检测 以上三个步骤做完之后可进行检测，按［启动/停止］键则可开始工作，屏幕上有实时显示采样点数，当采满1000个点时，设置的桩号及里程号自动累加，同时计算结果也显示出来：R107-----K100-----M1000001-----X00---N01---F01T=000　　S＝0.0002V＝11.00　　P＝0.001 表示：路名　　　　　里程　　　　　桩号　采样点数　 　增减　　　　　间隔　　　　路 　记录总数　 　位移值 速度　　　 　平整度值 这些参数及计算结果自动保存为一个记录，按［启动/停止］键结束检测。这些参数的定义见《公路路基路面现场测试规程》(JTJ059－95)。 6)处理结果 试验完毕后，可进行打印结果，选择菜单下的6打印打印全部或部分已存记录结果，另外也可用菜单下的5显示功能显示已存记录，显示部分或全部。7)菜单功能1、时间　　修改时间　　　　　5、显示　　显示保存记录2、设置　　设置参数　　　　　6、打印　　打印部分或所有记录3、测试　　测试传感器　　　　7、删除　　删除所有记录4、背光　　背景光开关　　　　8、返回采用选择键移动光标，按［输入］键选择确定； 8)打印 A种：直接按［打印］键，可打印屏幕(显示什么打印什么)； 种：在菜单中选择打印，则打印部分或所有记录。 9)测试结束后，关掉电源，取下连接电缆，将仪器置于干燥阴凉处存放。 连续式路面平整度测定仪使用注意事项1、运输、转向、停放及其他非测量状态必须将测量轮悬起，避免不必要的磨损与冲撞； 2、测试速度必须保持在12km/h以内。路面情况不好，测速应相应减慢，以免机架颠簸太大影响测量精度。远距离运输应将测试仪器装在运输车厢内，短距离运输，可直接用机动车牵引，但速度应小于25km/h为宜，以避免速度过大，震动大损坏机件； 3、仪器箱交货时已经调试好，用户不得打开电器箱面板，更不能随便更换原件、焊线，以免损坏仪器，否则公司不予维修，如线路故障请与本公司联系。 连续式路面平整度测定仪维护及保养：1、仪器采用内部充电电池供电，充满后可连续使用20小时以上(若关掉背景光则可延长使用时间)； 2、每次使用之前，应充满电(一般充电八个小时左右)； 3、仪器在监控状态时，若电池不足会显示“请充电！”，此时应尽快充电，以免在工作中因电不够而中断。 4、仪器长期不使用，则每2－3个月应充电一次，确保电池不损坏。 5、平整度仪是精密电子仪器，如传感器、计算机、打印机等部件，切勿淋雨、受潮，不用时要妥善保管，定期通电，以免损坏； 6、机架上轴承和运动部分要经常加油润滑，防止生锈磨损。使用前后应检查连接螺栓是否紧固。在长途运输后尤其要认真检查； 7、测量轮的磨损会影响测量的精度，因此行驶足够里程后，要检查其直径及时更换。另外测量轮的标准直径为159.2mm； 8、仪器电缆线在使用时，因使用不当容易发生断路现象，此时可用万用表检查连线的通断，电缆连线的连线位置图见附页，排除故障时，断线一定要用熔电焊接牢靠，各线间不要接触，以免影响仪器的使用。 9、使用前与使用后位移传感器测杆须擦拭干净。连续式路面平整度测定仪常见故障排除：本仪器由机械和电子二部门组成，机械方面的故障，如发生转向不灵，轮胎漏气偏歪，个别零件损坏，都易于检查发现，而且一般公路使用部门具有修理能力，只要检查保养，不难及时处理。而电气部分，由于采用微型计算机，技术上较为复杂，一般简单故障使用单位应学会排除，疑难的故障应送到生产单位检修。连续式路面平整度测定仪装箱单：1、主机：1台；2、位移传感器：1只；3、光电距离传感器：1只；4、数显控制仪：1台；5、充电器：1只；6、位移传感器(1米)：1根；7、距离传感器(1米)：1根；8、说明书：份；9、合格证：1份；10、打印机说明书：1份。连续式路面平整度测定仪注意事项：1.使用本仪器之前先阅读使用说明书，必须每月充一次电，该机升**以后可与笔记本联网。2.不论主机、仪表或传感器上的接插件在连接时**先应对正位置再连接，不允许硬性连接，否则将损坏接插件。3.位移传感器的使用一定要调整好安装位置确保在传感器的线性测量范围间内使用。(此类传感器一般在侧杆活动范围的A大靠下40mm左右部分线性测量区间)4.使用微机管理操作，能分析出各路段的起伏曲线，一次可以打印多组试验结果。点击搜索：地坪平整度测试仪