原子分辨率300 kV透射电子显微镜在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。 特色 用户友好型的操作系统和Windows® 兼容的图形用户界面设计快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)高稳定性,高分辨率透射电子显微镜高稳定性,高分辨率透射电子显微镜点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm稳定可靠的5轴优中心测角台性能优异,可靠性高性能优异,可靠性高得到市场验证的10级加速器电子枪设计阻抗式高压电缆设计高档可选附件高档可选附件通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。规格项目说明分辨率0.10nm(晶格分辨率)0.18nm(点分辨率)加速电压300kV、200kV*1、100kV*1放大倍率连续放大模式1,000~1,500,000×选区模式4,000~500,000×低倍模式200~500×电子枪灯丝LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)灯丝交换自动升降式电子枪高压电缆阻抗电缆照射系统透镜四级透镜聚光镜光阑4孔可变探针尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4级)纳米束模式:1 - 10 nm(4级)电子束倾斜±3°成像系统透镜五级透镜聚焦图像摇摆调整利用像散监视器进行正焦补偿聚焦优化物镜光阑4孔可变光阑选区光阑4孔可变光阑电子衍射 选区电子衍射纳米探针电子衍射会聚束电子衍射相机长度250 - 3,000 mm样品室样品台5轴优中心海帕测角台样品尺寸3mmΦ样品位置追踪X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通过CPU控制马达驱动样品位置显示自动驱动,自动跟踪样品倾斜α = ±15°, β = ±15° (日立双倾样品台*2)防污染冷阱烘烤功能中温烘烤功能观察室荧光屏主屏:110 mmΦ聚焦屏:30 mmΦ目镜7.5×照相室区域选择整张照相/半张曝光胶片25张(2套胶片盒)图形用户界面 操作系统:Windows XP® 显示器19英寸显示器功能数据库,测量,图像处理数码CCD 相机*3相机耦合透镜耦合有效像素1,024 × 1,024 像素A/D 分辨率12位真空系统电子枪离子泵:60 L/s镜筒涡轮分子泵:260 L/s观察室/照相室扩散泵:280 L/s前级泵:135 L/min × 3台*1:放大倍率校准为可选项*2:可选件*3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机
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