数字涡轮测试仪

数字接地电阻测试仪主要用于测量不同设备、系统和建筑物的接地电阻值。在电力安全方面，它的作用非常重要。通过检测各种电线的接地电阻，可以保证电线供电的安全性，从而保障人民的生命和财产安全。是不是很厉害呢？针对这款重要设备，下面我们将介绍数字接地电阻测试仪的使用方法和常见用途，希望能为大家提供一些帮助！　　[b]一、使用[url=http://www.kvtest.com/jiedi/233.html]数字接地电阻测试仪[/url]的步骤如下：[/b]　　准备工作：　　在进行测试之前，先检查数字接地电阻测试仪是否正常工作，包括确认电池电量充足、显示屏显示正常，还要检查测试线缆是否完好无损并且能良好接触。　　请确定所使用的测试仪的型号并阅读其操作手册，以了解具体的操作步骤和注意事项。　　2、进行连接测试以验证线路是否正常工作：　　请将测试线按照说明书上的指示正确连接到测试仪的相应端口。通常来说，接地电阻测试仪会有三个或四个插口，分别是电流极（C）、电压极（P）以及可能有的辅助电极（S）。　　设置参数：　　打开测试仪的电源开关，等待仪器自检完成后，根据需求进行相关参数的设置，例如测试模式（三极法、四极法或其他适用的方法）、测试频率、量程等。　　进行测量：　　用电流极要插入地网，离被测接地体的位置远一些，而电压极则要尽可能靠近接地体。如果使用四极法，还需要设置辅助电极。　　当按下测试按钮或启动测试程序时，测试仪将通过向接地系统注入已知电流，然后测量由此产生的电压降来计算接地电阻值。　　读取结果：　　测试过程结束后，测试仪将会显示出接地电阻的数值。需要记录并确认该数值是否符合相关的标准要求。　　6、进行测试后，需要进行后处理。　　在测试完成后，需要拔下测试线，关闭电源，并妥善保管测试仪器和相关配件。　　[b]二、数字接地电阻测试仪常被用于以下情况：[/b]　　1、防雷接地系统检测：数字接地电阻测试仪是检测防雷接地系统的重要工具，可帮助工程师测量接地电阻值，以确保系统运行正常。　　2、电气设备接地检测是用于电气设备的安装和维护过程中的一项工作，使用数字接地电阻测试仪来测量设备的接地电阻，以确保设备能够安全运行。　　3、土壤电阻率测量：数字接地电阻测试仪还可用于测量土壤电阻率，为接地系统的设计和优化提供了重要的依据。　　4、数字接地电阻测试仪在故障诊断和排查中扮演着关键的角色。它能够迅速定位接地故障，帮助工程师迅速找到问题的根源。　　5、维护和校准：数字接地电阻测试仪用于对接地系统进行定期维护和校准，以确保其准确可靠。　　其实总结起来，无论是数字接地电阻测试仪还是其他[url=http://www.kvtest.com/]接地电阻测试仪[/url]、[url=http://www.kvtest.com/zhizu/]直流电阻测试仪[/url]、[url=http://www.kvtest.com/dianlan/]电缆故障测试仪[/url]，它们的使用步骤都是相似的，唯一不同的是在使用细节上可能有所差异。不过，总体上还是存在一些安全注意事项，大家都应该掌握。至于它的常见用途，主要是用于测试检测电力设备的接地电阻。

我国齿轮行业测试仪器和设备十分缺少，由此造成我国年产2000多万台的齿轮箱总成质量缺乏可靠的测试数据。为彻底改变我国齿轮行业零部件内在质量的落后状况，必须重视和加强测试仪器和设备的发展。 目前，我国齿轮行业内大约只有300家齿轮生产厂具有仪器基本配套的计量室，总计约有三坐标测量仪200多台，这些仪器大多是从国外进口的。各类（机械、光电、数控）齿轮测量仪器1000余台，其中齿轮测量中心30余台，这些仪器的制造厂有国外的MAAG、Klingelnberg、Hofler、CarlMahr、M＆M等公司，还有TaylorHobsom、CarlMahr、Zeiss、SIP等公司的圆度仪、测长仪、光学分度头、粗糙度仪、投影仪、万工显等各类测量仪器500余台。其余约200家齿轮生产厂很少有精密测量仪器，部分工厂除了万能量具外，没有一台测量仪器。在测量仪器中，其中总成测试仪器、蜗轮付检查仪约10余台，变速箱总成试验台和驱动桥试验台全国不超过50台。许多厂没有噪声仪、扭振仪等必备的仪器。在齿轮制造过程中必须对产品零件、部件和总成的要求质量进行严格的检测和控制，因而先进适用的测量技术和仪器是必备的条件。在各类机械厂内不管齿轮传动件是自制或外购，均应装备齿轮、螺纹、花键测量仪器，否则无法控制传动件的制造质量。目前，齿轮、螺纹、花键测量仪器国内成都工具研究所、哈量精密量仪厂等基本可满足要求。即使是齿轮测量中心、齿轮刀具测量中心、齿轮副和蜗轮副检查仪、激光动态丝杠测量仪等国内也可供货。但对于技术要求很高而财力充裕的用户，也可以考虑引进国外齿轮测量中心。 齿轮、蜗杆、螺杆等传动件必须有精度很高、结构复杂的铸铁、铝合金或焊接箱体支承，这些箱体有大量精密孔系和平面需要测量尺寸精度和相互位置精度。因此每个齿轮厂都应该配备不同规格、精度的三坐标测量仪为进一步提高我国齿轮行业的产品质量，提高行业竞争力，应尽快配备相应的各类精密测试仪器。在今后的几年中，我国大中型齿轮企业应配备三坐标测量机、齿轮测量中心和其他精密测量仪及配套完整的中心计量室，小型企业也要配备必要的精密测量仪器，从而保证我国齿轮产品的质量。

最近发现实验室A的仪器分子涡轮泵异常声音，不过测试样品正常，调谐等也没问题，还好签了保修合同，大家的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]有遇到类似情况吗？对于异常声音是如何解决的？

向大家请教一下，一般在电镜上用的涡轮泵大概是什么价格？有用国产的嘛？特别是用剑桥/LEO系列的朋友，你们的真空系统用的是涡轮泵吧？是否都需要用机械泵做前级泵？[em54]

安捷伦7500仪器， 上午仪器声音异常。 重新点火后好转 ，中午仪器稳定时出现直接转shut down 状态。提示涡轮泵time out ， 真空度too high。 之后重启仪器，涡轮泵不工作，转速2%上不去。。 难道真的是涡轮泵挂掉了、、 还有没有其他原因呢？ 查看哪些参数可以找找原因？

昨天做样是好好的，今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪？重启仪器分子涡轮泵工作，当真空到达一定值之后，Fore pressure值越来越大？难道是分子涡轮泵坏掉了？有没有遇到类似问题的？

最近发现API4000的分子涡轮泵Q0和Q3的涡轮泵又发热了，温度在60℃左右。不知道大家的仪器分子涡轮泵的都有多少度啊？温度过高都怎么处理的啊？前面我也遇到温度比较高的情况。基本上涡轮泵的温度较高，多半是由于仪器真空度不够，分子涡轮泵负荷过重导致的。处理方法：1、更换机械泵泵油，提高一级真空度，使涡轮泵的负荷降低，使用时间也可以延长； 2、清洗或更换机械泵与四级杆之间的密封圈，及涡轮泵与四级杆间的密封圈，增加气密性，提高真空度； 3、物理冷却，除了用空调降低室温，可用风扇吹吹，降低温度，涡轮泵的使用时间也可以延长。不知道大家都怎么处理这类问题啊？交流交流。

大家都知道分子涡轮泵是质谱的心脏部件，它的运行情况直接关系到仪器的灵敏度，而且这玩意价格也是暴贵，这句话在很多论坛上屡见不鲜，大部分实验室在分子泵故障后都是选择了原厂直接更换新件，无疑，这样下来费用是比较大的，所以有了上面的感慨。。。如今，分子涡轮泵的维修技术已经相当成熟了，泵故障后，你只需要花费大约占新件15%的费用进行维修，大致流程为：初步检测--分解零部件--出具检测报告--零部件更换--频谱分析以及振动测试--仿真模拟测试--维修完成。如您有任何疑问，可以站短咨询

最近要评估GC/MS,厂家在分子涡轮泵这快有很大争议,请高手帮忙指点迷津!我们是做RoHS的实验室,有厂家说配制70L/S的分子涡轮泵就可以了,有厂家说要配制255L/S的分子涡轮泵,由于本身2种型号的分子涡轮泵价格差异不少,也想请问下各位你们在使用的仪器用的哪种分子涡轮泵呢?非常感谢

5、操作程序　　由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的，每种泵的操作方式由制造厂家提供，涡轮分子泵的操作最简单、最便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵，当涡轮分子泵加速到正常转速时，同时也预抽完了该系统，在此初始高压强预抽阶段，油蒸汽的返流是不可能的。因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态，排出气体的密度大，可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。当达到分子流态时，涡轮分子泵已进入正常速度运转，在泵高压缩比的情况下运转时，就可防止了油蒸汽的返流。　　涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制，两泵可同时启动和停车。　　在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作（节约了时间）也可使粗抽管道返流降到最低程度。

气质联用用了不到一年，分子涡轮泵坏了，请教一下版友一个分子涡轮泵大概价值多少，让我有个心理准备http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09509.gif

原以为分子涡轮泵控制器是和分子涡轮泵是一体的，看来也是能各换各的？

安捷伦5975C，昨天下午仪器在待机情况下涡轮泵和前级泵都停下来了，离子源和四级杆温度也降下来了，由于临近下班时才发现，于是先把仪器关机今天早上上班再检查。起初以为是哪里大漏导致真空达不到，仪器自己放空了。先是检查前级泵泵油，油位在最低位以上，泵油颜色也正常，接口也很紧，应该没什么问题。接着想要打开质谱真空仓检查，发现侧板还吸得挺紧的（感觉不太像是大漏吧），拧松放空阀卸掉真空（放空完顺手拧紧），打开侧板发现真空仓里面有些细小的金属粉末，立马意识到情况不妙，这是哪里来的呢？！先用镜头纸小心将颗粒物清扫出真空仓外吧，OMG！！！我的分子涡轮泵发生什么事了？！先上图吧，那个伤心。。。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/05/201505122122_545756_2905367_3.jpg请问各位版友，涡轮泵的扇叶是打到哪里了吗？怎么会打成这样？真空仓里面的金属粉应该是扇叶上磨出来的吧？仪器上次维护清洗离子源是去年的12月底，一直正常使用没什么问题，怎么突然就这样了？现在的情况是这样，我把真空仓清理干净试着重新开机，前级泵运行正常能把侧板吸住，仪器也有自检（嘀一声），但是涡轮泵没有运转，速度一直都是0.1，然后大概5分钟之后，涡轮泵长时间没有启动，仪器自动把前级泵也关闭了。这种情况感觉涡轮泵应该是挂彩了吧，下午联系了安捷伦的工程师也说可能是涡轮泵坏了，请大家帮忙分析一下故障的原因吧，仪器应该是06-08年买的（具体记不清了），期间也没坏过什么部件。前级泵和涡轮泵都是普法的，上一张涡轮泵外观图http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/05/201505122221_545765_2905367_3.jpg还有联系了安捷伦维修报价，G3170-67000 New-HiPACE 80 Turbo Pump Service Kit 3万3千多（不含税），这个价格怎样，有没有被坑了？

涡轮流量计最佳安装方法为了确保涡轮流量计的测量准确,必须正确地选择安装位置和方法涡轮流量计对直管段的要求：流量计必须水平安装在管道上（管道倾斜在50以内），安装时流量计轴线应与管道轴线同心，流向要一致。流量计上游管道长度应有不小于2D的等径直管段，如果安装场所充许建议上游直管段为20D、下游为5D。涡轮流量计对配管的要求：流量计安装点的上下游配管的内径与流量计内径相同。涡轮流量计对旁通管的要求：为了保证流量计检修时不影响介质的正常使用，在流量计的前后管道上应安装切断阀门（截止阀），同时应设置旁通管道。流量控制阀要安装在流量计的下游，流量计使用时上游所装的截止阀必须全开，避免上游部分的流体产生不稳流现象。涡轮流量计对外部环境的要求：流量计最好安装在室内，必须要安装在室外时，一定要采用防晒、防雨.防雷措施，以免影响使用寿命。涡轮流量计对介质中含有杂质的要求：为了保证流量计的使用寿命，应在流量计的直管段前安装过滤器。涡轮流量计的安装场所：流量计应安装在便于维修，无强电磁干扰与热辐射的场所涡轮流量计对安装焊接的要求：用户另配一对标准法兰焊在前后管道上。不允许带流量计焊接！安装流量计前应严格清除管道中焊渣等脏物，最好用等径的管道（或旁通管）代替流量计进行吹扫管道。以确保在使用过程中流量计不受损坏。安装流量计时，法兰间的密封垫片不能凹入管道内。涡轮流量计接地的要求：流量计应可靠接地，不能与强电系统地线共用。涡轮流量计对于防爆型产品的要求：为了仪表安全正常使用，应复核防爆型流量计的使用环境是否与用户防爆要求规定相符，且安装使用过程中，应严格遵守国家防爆型产品使用要求，用户不得自行更改防爆系统的连接方式，不得随意打开仪表。选型在规定的流量范围内，防止超速运行，以保证获得理想准确度和保证正常使用寿命。安装流量计前应清理管道内杂物：碎片、焊渣、石块、粉尘等推荐在上游安装5微米筛孔的过滤器用于阻挡液滴和沙粒。流量计投运时应缓慢地先开启前阀门，后开启后阀门，防止瞬间气流冲击而损害涡轮。加润滑油应按告示牌操作，加油的次数依气质洁净程度而定，通常每年2-3次。由于试压、吹扫管道或排气造成涡轮超速运转，以及涡轮在反向流中运转都会可能使流量计损坏。流量计运行时不允许随意打开前.后盖，更动内部有关参数，否则将影响流量计的正常运行。小心安装垫片，确保没有突出物进入管道，以防止干扰正常的流量测量。流量计在标定时要在流量计取压口上采集压力。

[align=center][font=DengXian]涡轮分子泵的结构和工作原理是什么？分子涡轮泵使用有什么注意事项？[/font][/align][font=DengXian]涡轮分子泵的结构和工作原理是什么：分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子涡轮泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。[/font][font=DengXian]分子涡轮泵使用时候，确保前级真空泵运转正常得到足够的初级真空，不漏气。按照开机和关机程序来开关[/font][font='Aptos',sans-serif][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]GCMS[/color][/url][/font][font=DengXian]。不频繁启动。柱子穿过石墨密封垫后切割后进入离子源。应避免颗粒或其它杂物进入，叶片的间隙很长小，会高速运转生物损坏叶片。遇到突然停电，及时关闭电源，以防止突然来电，分子涡轮泵突然开启。尽量安装后备[/font][font='Aptos',sans-serif]UPS[/font][font=DengXian]电源或断电保护装置。注意观察分子涡轮泵的风扇是否运转正常。平时开关机多注意分子涡轮泵的速度变化和声音变化[/font]

一台热电Trace1300 的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵坏了，坏的过程经历几个阶段，请大神解疑答惑。1. 第一次是做样分析的时候，质谱端Vacuum灯一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵均停止了工作。然后我把质谱端电源断开后再通电，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，真空度一会就达到60mtor。2. 正常工作一个星期左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵再次停止了工作。这次我放空关机后，把机械泵泵油更换新的，换下来的泵油也就一点点黄。然后再正常开机，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，抽完真空后，真空度也达到约60mtor。3.正常工作约2天左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵还是停止了工作。这次没辙了，也不敢再断电重启MS，直接关机待修了。呼唤厂家工程师上门。昨天开机后，机械泵启动几分钟后停止工作，分子涡轮泵一直不工作了。请问，这个分子涡轮泵故障的原因有哪些？换一个新的要10多万大洋[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09509.gif[/img]急急急！

可能原因求分析爱德华的泵，疑惑：低温会造成分子涡轮泵停转吗？目前室温10度左右晚上会更低，可能接近0度，涡轮泵启动温度有要求吗？

最近我单位气质分子涡轮泵不转了，请大家帮忙看是否分子涡轮泵坏了。我们的仪器是安捷伦5975C，于2009年11月安装的，平时都是开机状态，于今年7月25日实验楼电的问题，直接被关机了（我们有配UPS，不知为什么中午下班3小时怎么，电源和仪器都关机了），不过7月25日维护一下仪器进样口，抽真空一天后，仪器调谐正常，并且于7月30日和8月1日运行检测样品还正常，可是于昨天发现分子涡轮泵不转，前级泵开机2分钟左右后也停止不动了，四级杆和离子源的温度也都上不去了，打800问了，说可能分子涡轮泵坏了，需要更换8万多元啊！

1、返流　　涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用，然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境，经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。　　为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求，在前级泵不是干式泵的情况下，有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。

用岛津GCMS-QP2010的朋友有没有换过分子涡轮泵的？大小两个分子涡轮泵各是多少钱？希望得到一个合理的报价，别让岛津给黑了。

今天在上报仪器配件计划时，想起去年1月份单位进的Agilent 6890GC 5975MSD仪出现的一起故障。当时该机上电启动后，表头压力一直降不下来，涡轮泵转速显示零点几，就依次检查机械泵，泵油，放空口，柱子，各接口密封，未发现异常，因该机从安装到这次故障不到2年，当时没有怀疑涡轮泵会出问题，就又反复检查，仍没发现问题，就联系厂家，后来厂家维修工程师说是涡轮泵故障，无法修复，只能更换，要7万块，事后被领导狠狠剋一顿，扣了奖金。现在想来，这事故来的很突然，没有征兆，让人疑惑。平时使用中，因一周一次分析，我们就一周连续开机3天，停4天。一般的检查维护就按教程执行和记录，不知学友们有否这方面的经验给予指导？

(3)在何处充气　　在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体覆盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵（自上而下），能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其优越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。

涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323927.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]* 威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里[color=#222222]工作原理和压缩比[/color]涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理，如图1。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323928.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img] 图1 涡轮分子泵的工作原理[color=#222222]撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S[/color] [font=&][color=#222222]0 [/color][/font] [color=#222222]表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。[/color]压缩比K0，可以根据Gaede来估计。对于视觉密集型叶片结构，Gaede的公式适用。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323929.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图2 转子和定子叶片的排列方式Gaede的公式[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323930.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]其中： p[size=11px]V[/size] = 前级真空压力 p[size=11px]A[/size] = 吸气压力 v = 叶片速度[font=微软雅黑, &][size=14px] = 平均分子热运动速度[/size][/font] L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1g3)在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px]几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K[size=11px]0 [/size]因此，随着叶片速度v和 [/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px] aaan的增加呈指数增长。[/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S [size=11px]0 [/size]与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323931.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][font=微软雅黑, &][size=14px][color=#222222]图3 的Y轴上画出了以[/color][i]l[/i][color=#222222]s[/color][font=&]-1[/font][color=#222222] cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：[i]A[/i]=（Ra2-Ri2）π ，就可以得到抽气速度。[/color][/size][/font][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323932.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图3 涡轮泵的具体泵送速度[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323933.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图4｜泵送速度是相对分子量的函数[color=#222222]图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10[/color][font=&][color=#222222]-2[/color][/font][color=#222222] hPa（图5）。[/color][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323934.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图5｜抽速与抽气压力的关系[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323935.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图6｜霍尔韦克级的工作原理[color=#222222]霍尔韦克级的特殊功能[/color]Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S [size=11px]0[/size]是相同的。[font=微软雅黑, &][size=14px] [/size][/font]这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323936.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]压缩比就会增加。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323937.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323938.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比[font=&]选择正确的前级泵[/font]涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。[font=微软雅黑, &][size=14px][font=&][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323939.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/font][/size][/font][font=&][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][font=&]表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力[/font][/size][/font] [img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323940.gif?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][align=left]这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。[/align][align=left]此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。[/align][align=left]因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。[/align]激光平衡技术[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323941.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]2021年，Pfeiffer真空公司已经推出了激光平衡技术。最后，小析姐分享给大家几个涡轮分子泵在使用小tips：1、为防止涡轮分子泵返油，开机前先将前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。2、在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。3、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。4、选择系统前级泵大小时，应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。6、分子泵入口应装设防护网，以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。7、规范使用涡轮分子泵，可有效提升真空泵的使用效率，延长使用寿命

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安捷伦分子涡轮泵是哪个厂家生产的？在国内有维修人员吗？有现货也行，5975C分子涡轮泵坏了，标准泵，07年买的仪器问了安捷伦，居然现货都没有，国外订货要2周，急用

2、压缩比　　涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr（13.33 μPa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1×10- 10 Torr（13.33 nPa），由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。?　　涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 μPa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使最灵敏的质谱仪也难以测出。

5973换了进样口的Gold Seal 和Septum抽真空时候，涡轮真空不工作，速度都是０％，换了外置真空泵还是一样。一般是什么原因，引起这种故障