透射法粉尘仪原理

【作者】：赵占龙【题名】：透射式光学粉尘浓度监测技术研究及应用 【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=2004109524.nh&dbname=CMFD2004谢谢啊！

粉尘检测仪的工作原理主要是光吸收、光散射、β射线和交流静电感应原理。目前，对粉尘监测方法主要有过滤称重法，x射线衍射法，散射光法，压电天平法，β射线粉尘测量法和光透法等等。重量法作为粉尘测量的最常见的方法，需配备万分之一至十万分之一的电子天平。虽然测量的精度较高，是粉尘测量的标准方法。但工作程序较多，耗时较长，受滤膜阻尘效率、泵的效能、采样时的压力损失、采样气路漏气、分析天平误差等的影响。该法满足不了自动、连续、无人操作以及数据的自动记录和传输的需要。X射线衍射法只能检测大气中游离的二氧化硅，不能进行全面检测。[b]Lambert-Beer定律[/b]当光束通过含尘空气时，会发生吸收和散射。由于粉尘的散射和吸收作用，光在原来传播方向上的光强会有一定程度的衰减，即粉尘的消光作用。但是消光的方法不适用于低浓度的情况。因为空气中的粉尘浓度较低时，在小区域体积内(当光束传播距离较短)时，光的衰减对含尘空气粉尘浓度是不敏感的。在这种情况下的测量系统既要很灵敏，还要有很大的动态范围是非常困难的。而且对于探测器的选用，光源的稳定和系统的噪声抑制要求都很高。所以在这种情况下，利用光吸收原理直接测悬浮粉尘浓度是不好的。[img]http://www.vertpedia.com/UploadFile/201349135022284.jpg[/img][b]光吸收法测量原理[/b]当光波通过线性物质时，会与物质发生相互作用，光波一部分被介质吸收，转化为热能；一部分被介质散射，偏离了原来的传播方向，剩下的部分仍按原来的传播方向通过介质。透过部分的光强与入射光强之间符合朗伯一比尔定律。光吸收型粉尘浓度传感器以朗伯一比尔定律为基础，通过测量入射光强与出射光强，经过计算得到粉尘浓度。该法具有在高粉尘浓度情况下测量准确的特点。[b]光散射法测量原理[/b]含尘气流可以认为是空气中散布着固体颗粒的气溶胶，当光束通过含尘空气时，会发生吸收和散射，从而使光在原来传播方向上的光强减弱，粉尘浓度传感器就是通过探测变化的光信号，经过换算而实现粉尘浓度测量的。粉尘仪通过采气泵将待测气溶胶吸入检测舱，待测气溶胶在分支处分流成为两部分，一部分经过一个高效过滤器后被过滤为干净的空气，作为保护鞘气来保护传感器室的元器件不受待测气体污染。另一部分气溶胶，作为待测样品直接进入传感器室。传感器室中，主要元器件为激光二极管、透镜组和光电检测器。检测时，首先由激光二极管发出的激光，通过透镜组形成一个薄层面光源。薄层光照射在流经传感器室的待测气溶胶时，会产生散射，通过光电探测器来检测光的散射光强。光电探测器受光照之后产生电信号，正比于气溶胶的质量浓度。然后乘以电压校准系数，这个系数通过测定特定浓度的气溶胶来得到。通常用来做标定的测试气溶胶是亚利桑那试验粉尘(或ISO12103-1，A1试验粉尘)。采用光散射法测量空气中的粉尘浓度，具有快速、简便、连续测量的特点。因此这种利用光散射理论的方法已越来越多的应用于分析粉尘的浓度。[b]β射线吸收法[/b]β射线吸收法的基本原理为：射线通过介质层时，由于介质层的吸收作用，其射线强度将会减弱，减弱程度与介质层的质量厚度(单位面积上介质质量)有关，其减弱关系在一定范围内大致遵从指数衰减规律。利用此原理，检测仪内的放射源产生的β射线通过粉尘粒子时，粉尘粒子吸收β射线，根据粉尘吸收β射线的量与粉尘质量成线性关系计算并显示粉尘浓度。一般β射线粉尘测量仪系统，由β射线探测、粉尘采样、信号处理与单片机(微处理器)系统组成。β源采用一般14C，β射线由G—M计数器（探测器）探测，[color=#333333]粉尘仪[/color]用滤膜夹将待测滤膜置于放射源与计数器之间进行测量。所得脉冲信号经过放大成形后，经单道脉冲幅度分析器分析，选择对应射线幅度的电压脉冲信号转变为数字脉冲信号。数字脉冲信号的计数由单片机(微处理器)系统实现。该系统对数据进行处理、显示，并通过其键盘和LCD／LED显示器实现人机对话，满足参数设置与粉尘浓度测量结果输出，即滤膜重量(mg)及粉尘浓度测量数据，可以自动显示在单片机(微处理器)系统的液晶或发光二极管显示器上。β射线粉尘测量仪系统的工作流程，可分为三个具体步骤：(1)首先，透过空白滤纸样品介质的G射线，由G—M探测器探测。经过脉冲信号放大成形与单道脉冲幅度分析器后，由单片机(微处理器)系统分析处理，并记录透过空白滤纸样品介质B射线的强度。(2)在空白滤纸样品测量过程的同时，由单片机(微处理器)系统控制的抽气泵系统，以恒定流量通过采气气路抽入一定量的被采样空气，其气体中颗粒不断吸附在被测滤纸样品面上，其吸附量与控制采样抽气时问有关。(3)经过一定的采样抽气时间后，对吸附气体颗粒(粉尘)的被测滤纸样品的探测、处理，与透过空白滤纸样品介质I3射线强度的测量过程相同。β射线测尘仪应用β射线吸收技术来测量大气中粉尘的质量浓度，其测量结果可与经典的标准方法—称重法等效；它可以减少样品的处理时间和受污染的机会，不会带来人为误差且无误差积累，不需要经常校准和调零，能实现自动连续监测，监测过的样品可以保留，因而得到了比较广泛的应用。[b]摩擦电法测量粉尘浓度[/b]摩擦电法测量粉尘浓度是近10年来国际上受重视的一种粉尘浓度在线测量方法。该方法是对运动的颗粒与插入流场的金属电极之间由于碰撞、摩擦产生等量的符号相反的静电荷进行测量，来考察与粉尘浓度的关系，其特点是灵敏度高、结构简单、免维护。

1.光谱仪IS-10，用透射法测同一晶片，为什么前后两次所测出来的谱图的透射率不一样？2.压片法，试样和KBr研磨不均匀是否对结果影响很大？3.透射法和反射法各有什么优点？以上请各位高手帮忙！

由于结晶型二氧化硅对人类具有明确的致癌作用，国内外均将游离二氧化硅（或结晶型二氧化硅）含量作为控制粉尘浓度的重要指标之一。国内根据粉尘中游离二氧化硅的含量来对粉尘（除石棉纤维尘）进行划分，针对不同游离二氧化硅含量的粉尘制定了相应的呼尘和总尘限值。美国ACGIH则是对于呼尘中两种结晶型二氧化硅（石英、方石英）分别规定了相应的限值。目前，国内较多检测机构采用焦磷酸法进行粉尘中游离二氧化硅的测试，该方法不能定性分析粉尘中的二氧化硅种类，而且操作繁琐，分析时间长，同时该法需用的样品量较大，常规呼尘采样方法的样品量较难满足该方法的需求。采用X射线衍射法（XRD）测试粉尘中的结晶型二氧化硅，该方法获得了美国工业卫生协会（AIHA）认可，并且通过了近两年AIHA组织的能力验证项目。通过将采集的样品灰化、再悬浮，然后沉积到银膜上，用XRD分析银膜样品上的三种结晶型二氧化硅（石英、方石英、鳞石英）在各自2θ角的衍射峰强度。利用三种二氧化硅的标准曲线计算得到样品中的结晶型二氧化硅含量。在制作标准曲线时，将购买自NIST/USGS的三种结晶型二氧化硅标准样品配制成悬浊液，同样品前处理步骤制备成不同含量的标准银膜样品，用XRD分析，建立不同2θ角的标准曲线。采用XRD方法分析结晶型二氧化硅具有一系列的优势：（1）操作步骤相对简单，分析耗时短；（2）可定性分析二氧化硅种类，满足国外对不同结晶型二氧化硅的限值要求；（3）检出限低，三种结晶型二氧化硅的检出限可达到10ug；（4）在样品制备的过程中，通过灰化、再悬浮过程提高样品在滤膜上分布的均匀性；（5）可利用每种二氧化硅的不同特征衍射角来定性定量分析及排除干扰。

小弟最近在试验中发现，有些粉末材料即可以通过溴化钾压片法做透射光谱也可以将其溶解或熔融成膜后通过ATR法测其红外光谱，两者之间在几个特定位置处总是出现差异，两个峰的相对大小出现了变化。请教各位高手这两种方法的谱图是否存在系统差异？ATR法得到的谱图与透射法得到的谱图之间是否有可比性？

本作品围绕透射电镜的衍射原理和转谱技巧展开。以透射电镜的衍射相关原理发展时间为主讲线，讲述衍射是如何一步一步发展进而应用在透射电子显微镜中，并结合实际电镜操作经验，总结了转谱过程中的技巧。

最近，我们准备增项，检测粉尘中游离二氧化硅浓度，标准中有3种方法——焦磷酸法，红外光度法及x线衍射法，研究了一下标准，貌似x线衍射法操作很麻烦，请问做过该项的达人，那种方法更好呢？

压片法适用或不适用的样品都可以用粉末反射法测定其红外光谱，也用于微小样品、色谱馏分的红外光谱定性、吸着在粉末表面样品的红外光谱分析。该法的原理是，照射到粉末样品上的光首先在其表面反射，一部分直接进入检测器，另一部分进入样品内部多次透过、散射后再从表面射出，后者称为扩散反射光。粉末反射法就是利用扩散散射光获取红外光谱的方法。与压片法相比，该法由于测定的是多次经过样品的光，因此两者的光谱强度比不同，压片法中的弱峰有时会增强

PC-3A 手持式直读式激光粉尘检测仪使用范围：　　本仪器为疾病控制中心，卫生监督，环境监测等部门实时快速测量空气中可吸入颗粒物(PM10,PM2.5)浓度的新一代智能化测量仪器。　　1.适用于工矿企业劳动部门生产现场粉尘浓度的测;　　2.卫生防疫站公共场所可吸入颗粒物的监测;　　3.环境环保监测部门大气飘尘检测，污染源调查;　　4.市政监烟;　　5.科学研究，滤料性能试验等方面现场测试;　　6.现场粉尘浓度测定，排气口粉尘浓度监测;　　7.药品制造测试;　　8.职业健康和安全检测;　　9.工厂需要清洁空气的地方，精密仪器，测试仪器，电子部件，食品，药品等制造工艺的管理;　　10.各种研究机构，气象学，公众卫生学，工业劳动卫生工程学，大气污染研究等;　　11. .建筑或爆破的地方的粉尘检测;工地场所暴露监测;　　12.室内空气质量检测。　　PC-3A 手持式直读式激光粉尘检测仪原理：　　本仪器为光散射法便携式直读(PM10,PM2.5)测量仪器，是根据我国卫生行业标准：“公共场所空气中可吸入颗粒物(PM10)测定方法--光散射法”(WS/T 206-2001)设计。具有测试速度快，灵敏度高，稳定性好，重量轻，噪声低，操作简单，交直流两用等优点。特别适宜于无外电源的场合测量。　　PC-3A 手持式直读式激光粉尘检测仪主要技术指标：　　1、可吸入颗粒物浓度测量范围：0.001～10mg/ m3　　2、可吸入颗粒物径分辨率：0.3μm～10μm　　3、可吸入颗粒物检测灵敏度：0.001mg/　　4、时间周期设定：2分钟、5分钟、连续　　5、颗粒物计数浓度范围：350～999999粒/升　　6、湿度修正范围：90～85%，85～75%，75～60%，60%以下　　7、场合选择：居室、室外、公共场合　　8、开机噪声：≤15dB　　9、辅助功能：数据存储及打印　　10、修正系数：0.1～9.9　　11、工作电源：5V内置可供连续4小时运行的可充电电池。接电源适配器，可直接使用220V,50Hz交流电源。　　PC-3A 手持式直读式激光粉尘检测仪技术特点：　　1、具有自校功能;　　2、极低功耗的LED显示及8种功能显示;　　3、轻触按键操作;　　4、具有温湿度等修正功能;　　5、可同时测试大于1万级空间的粒子浓度数;　　6、数据最大容量300组，分十区域存贮;分区域查询，打印;配置标准并行口及与RS23C兼容的串行接口;与多种打印机接配。

膜材料（可以剪切的）透光率70-80%，可以采用透射光谱直接射谱法吗。看有的文献把材料熔融成液体状态制成薄膜在溴化钾片上。也有的ATR附件的。我想知道就是用透射法，不用溴化钾镜片可以吗？

透射电镜的工作原理

[size=4]据创元科技宣称，其持股92%的子公司江苏苏净成功研制PM2.5环境监测仪器，该项产品具有国际先进技术水平。江苏苏净是唯一一家同时采用β射线法和光散射法两种监测技术的企业。β射线法是2012年2月29日国家发布的《环境空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量标准》中规定的自动分析方法之一；光散射法是国家卫生部认可的粉尘测试方法，在欧盟国家的环境监测中普遍使用。[/size]

脱硫脱硝等对粉尘、烟尘浓度等工况的需求，芬兰辛创S300系列粉尘检测仪 和英国land4200系列烟尘有什么优势？该两种原理的粉尘仪有什么优点？

透射电子显微镜 TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE 利用电子，一般是利用电子透镜聚焦的电子束，形成放大倍数很高的物体图像的设备。 　 电子显微镜（以下简称电镜）属电子光学仪器。由于电子的德布罗意波波长比光波短几个量级，所以电镜具有高分辨成像的能力。首先发明的是透射电镜，由M.诺尔和E.鲁斯卡于1932年发明并突破了光学显微镜分辨极限。透射电子显微镜是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射电子显微镜的分辨率为0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍，用于观察超微结构，即小于0.2?m、光学显微镜下无法看清的结构，又称"亚显微结构"。透射电镜 (TEM)　样品必须制成电子能穿透的，厚度为100～2000埃的薄膜。成像方式与光学生物显微镜相似，只是以电子透镜代替玻璃透镜。放大后的电子像在荧光屏上显示出来. 透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况： 吸收像：当电子射到质量、密度大的样品时，主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大，通过的电子较少，像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。 衍射像：电子束被样品衍射后，样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力，当出现晶体缺陷时，缺陷部分的衍射能力与完整区域不同，从而使衍射钵的振幅分布不均匀，反映出晶体缺陷的分布。 相位像：当样品薄至100?以下时，电子可以传过样品，波的振幅变化可以忽略，成像来自于相位的变化。 组件 电子枪：发射电子，由阴极、栅极、阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束，经阳极电压加速后射向聚光镜，起到对电子束加速、加压的作用。 聚光镜：将电子束聚集，可用已控制照明强度和孔径角。 样品室：放置待观察的样品，并装有倾转台，用以改变试样的角度，还有装配加热﹑冷却等设备。 物镜：为放大率很高的短距透镜，作用是放大电子像。物镜是决定透射电子显微镜分辨能力和成像质量的关键。 中间镜：为可变倍的弱透镜，作用是对电子像进行二次放大。通过调节中间镜的电流﹐可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。 透射镜：为高倍的强透镜，用来放大中间像后在荧光屏上成像。 此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。 透射电镜衬度（反差）的来源　 　　TEM衬度的形成,物镜后焦面是起重要作用的部位。电子经样品散射后，相对光轴以同一角度进入物镜的电子在物镜后焦面上聚焦在一个点上。散射角越大，聚焦点离轴越远,如果样品是一个晶体,在后焦面上出现的是一幅衍射图样。与短晶面间距（或者说"高空间频率"）对应的衍射束被聚焦在离轴远处。在后焦面上设有一个光阑。它截取那一部分电子不但对衬度，而且对分辨本领有直接的影响。如果光阑太小，把需要的高空间频率部分截去，那么和细微结构对应的高分辨信息就丢失了（见阿贝成像原理）。 　样品上厚的部分或重元素多的部分对电子散射的几率大。透过这些部分的电子在后焦面上分布在轴外的多。用光阑截去部分散射电子会使"质量厚度"大的部位在像中显得暗。这种衬度可以人为地造成，如生物样品中用重元素染色，在材料表面的复形膜上从一个方向喷镀一层金属，造成阴阳面等。散射吸收(指被光阑挡住)衬度是最早被人们所认识和利用的衬度机制。就表面复型技术而言，它的分辨本领可达几十埃。至于晶体样品的衍衬像和高分辨的点阵像的衬度来源，见点阵像和电子衍衬像。 应用 透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片，通常为50～100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通常是挂预处理过的铜网上进行观察。

利用电子，一般是利用电子透镜聚焦的电子束，形成放大倍数很高的物体图像的设备。 电子显微镜（以下简称电镜）属电子光学仪器。由于电子的德布罗意波波长比光波短几个量级，所以电镜具有高分辨成像的能力。首先发明的是透射电镜，由M.诺尔和E.鲁斯卡于1932年发明并突破了光学显微镜分辨极限。透射电子显微镜是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射电子显微镜的分辨率为0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍，用于观察超微结构，即小于0.2?m、光学显微镜下无法看清的结构，又称"亚显微结构"。透射电镜(TEM)　样品必须制成电子能穿透的，厚度为100～2000埃的薄膜。成像方式与光学生物显微镜相似，只是以电子透镜代替玻璃透镜。放大后的电子像在荧光屏上显示出来. 透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况： 吸收像：当电子射到质量、密度大的样品时，主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大，通过的电子较少，像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。 衍射像：电子束被样品衍射后，样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力，当出现晶体缺陷时，缺陷部分的衍射能力与完整区域不同，从而使衍射钵的振幅分布不均匀，反映出晶体缺陷的分布。 相位像：当样品薄至100?以下时，电子可以传过样品，波的振幅变化可以忽略，成像来自于相位的变化。 组件 电子枪：发射电子，由阴极、栅极、阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束，经阳极电压加速后射向聚光镜，起到对电子束加速、加压的作用。 聚光镜：将电子束聚集，可用已控制照明强度和孔径角。 样品室：放置待观察的样品，并装有倾转台，用以改变试样的角度，还有装配加热﹑冷却等设备。 物镜：为放大率很高的短距透镜，作用是放大电子像。物镜是决定透射电子显微镜分辨能力和成像质量的关键。 中间镜：为可变倍的弱透镜，作用是对电子像进行二次放大。通过调节中间镜的电流﹐可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。 透射镜：为高倍的强透镜，用来放大中间像后在荧光屏上成像。 此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。 透射电镜衬度（反差）的来源　 　　TEM衬度的形成,物镜后焦面是起重要作用的部位。电子经样品散射后，相对光轴以同一角度进入物镜的电子在物镜后焦面上聚焦在一个点上。散射角越大，聚焦点离轴越远,如果样品是一个晶体,在后焦面上出现的是一幅衍射图样。与短晶面间距（或者说"高空间频率"）对应的衍射束被聚焦在离轴远处。在后焦面上设有一个光阑。它截取那一部分电子不但对衬度，而且对分辨本领有直接的影响。如果光阑太小，把需要的高空间频率部分截去，那么和细微结构对应的高分辨信息就丢失了（见阿贝成像原理）。 　样品上厚的部分或重元素多的部分对电子散射的几率大。透过这些部分的电子在后焦面上分布在轴外的多。用光阑截去部分散射电子会使"质量厚度"大的部位在像中显得暗。这种衬度可以人为地造成，如生物样品中用重元素染色，在材料表面的复形膜上从一个方向喷镀一层金属，造成阴阳面等。散射吸收(指被光阑挡住)衬度是最早被人们所认识和利用的衬度机制。就表面复型技术而言，它的分辨本领可达几十埃。至于晶体样品的衍衬像和高分辨的点阵像的衬度来源，见点阵像和电子衍衬像。 应用 透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片，通常为50～100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通常是挂预处理过的铜网上进行观察。

光散射式粉尘测试仪的校准，哪家单位可以做呢？问了一圈，好多单位都做不了。。。

本人现在需要一台或多台，能够测量流动空气或静止空气中的灰尘浓度，要求：操作简单快捷的测尘仪，PPM到PPB级的，请有意者站短联系我。请报出厂家、型号、原理。价格不论。也希望对测尘仪原理和性能及经验有所感悟的版友不吝赐教！前者有朋友所说的称重法，我就很想有所了解。其他如：透射法、散射法、射线法和探针法，大家也可以谈谈。

透射电镜是化学、材料、物理等多个学科中不可缺少的表征仪器，其中最广泛使用的成分分析方法就是透射电镜EDS元素面分布分析。本视频首先介绍了该方法的定性依据，即特征X射线的产生原理，随后展示了这种分析方法的工

有谁也用SICK烟尘检测仪? SICK的设备发射端里镜面有粉尘怎么清理？请教了

透射法，压好KBr片，结果发现在波数大于2000cm-1的谱图噪音很大，请问是什么原因造成的？压片颗粒造成的放射，衍射等等吗？还是有其他的原因？

原子吸收的发射法和ICP原理是否相同？另外还有个问题：用发射法做K，Na,还用加消电离剂了么？

[b]分析原理：[/b]高能电子束穿透试样时发生散射、吸收、干涉和衍射，使得在相平面形成衬度，显示出图象[b]谱图的表示方法：[/b]质厚衬度象、明场衍衬象、暗场衍衬象、晶格条纹象、和分子象[b]提供的信息：[/b]晶体形貌、分子量分布、微孔尺寸分布、多相结构和晶格与缺陷等

当前，制备非晶的方法主要有淬火法和气相沉积法。快冷法又分为铸膜法和甩带法，适合于制备大块非晶。气相沉积法分为真空蒸发法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法和磁控溅射法。~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~磁控溅射法制备非晶样品有其独特的有点，下面主要介绍下磁控溅射制备非晶样品的原理。电子在电场E的作用下，在飞向基板的过程中与氩气原子发生碰撞，使其电离出氩离子和一个新的电子，电子飞向基片，氩离子在电场作用下飞向阴极靶，并以高能量轰击靶的表面，使靶材发生溅射。在溅射的过程中，溅射离子，中性的靶原子或分子即可在基片上沉积形成膜。综上所述，磁控溅射的基本原理就是以磁场来改变原子的运动状态，并束缚和延长原子的运动轨迹，从而提高电子对工作气体的电离几率和有效地运用了电子的能量。这也体现了磁控溅射低温、高效的原理。常用的TEM样品以TEM载网为基片。TEM载网是直径为3nm，厚为20μm，网格间距为80μm，最底下一层铜或者钼，上面覆盖一层约为5nm厚的无定形碳作为支撑膜。利用磁控溅射法制备沉积的薄膜就沉积在这种TEM载网的无定形碳的支撑膜上，为了减少非弹性散射对衍射数据的影响，在实验过程中尽可能制备厚度比较小的薄膜厚度，约为15nm-20nm，这样制得的样品就可以直接在透射电子显微镜中进行直接的表征。