白光干涉膜厚仪

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白光干涉膜厚仪相关的厂商

  • 瀚考克光电科技有限公司是专业从事光电检测设备,光学加工设备的销售服务商。公司主营产品:立式激光干涉仪,中心厚度测量仪,镜片边缘涂墨&检查机,中心偏差测量仪,数控非球面铣磨机,抛光机,单点金刚石车床,离子束加工机,轮廓仪,白光干涉仪,工具测量显微镜,显微硬度计。公司业务范围涵盖国内高校、研究所、以及精密光学加工制造企业。公司为以下欧美公司代理商:德国XONOX公司。
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  • 400-860-5168转4574
    镇江超纳仪器有限公司隶属于杭州长川科技股份有限公司(股票代码300604)是一家高科技企业,座落在镇江市科技新城。公司研发的产品精密光学量测设备广泛应用于先进制造业中的纳米、微米级结构表面微观特征的精密测量,包括关键尺寸、套刻精度、表面轮廓、台阶高、表面缺陷、微观形貌、表面粗糙度、薄膜厚度等等。覆盖的行业包括了先进制造业的各个领域:集成电路制程工艺、封装工艺、微电子机械系统制造(MEMS)、PCB基板和多层板制造、太阳能光伏电池片工艺。公司拥有的白光干涉测量技术的产品获得“江苏省首台(套)重大装备”认定。
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  • 深圳智泰精密仪器有限公司本公司是一家专门从事研发、生产、销售二次元、三次元、光学影像测量仪、投影仪、3D激光扫描仪、白光干涉仪、ROHS荧光分析仪、各种检测设备的专业厂家、并且承接设备升级改造、专案机定制、提供专业测量方案。欢迎从事塑胶模具、五金加工、线路板制作等业行前来洽谈定购。智泰集团段生13556844151;QQ545974744http://3dfamily.com.cn
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白光干涉膜厚仪相关的仪器

  • 日立高新技术科学公司于2019年3月起,在中国开始销售利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统“VS1800”,该产品搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具”,通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务,与此同时,凭借不断创新积累的三维测量性能,实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。 在半导体、汽车、食品、医药品等产业领域的材料研究和开发方面,为了提高产品的性能与功能,对产品表面的粗糙度、凸凹不平、翘曲等表面形状的评估变得尤其重要。以往,表面形态的测量方法,一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量(线+高差),但近年来,伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速,需要获取更多的信息,因此,采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量(面+高差)便得到了灵活应用。 此外,2010年制定了有关三维表面形态评估的国际标准ISO 25178,确立了评估方法,在这种背景下,实施三维测量的企业和研究机构等日益增多。因此,需要我们急切实现有关表面形态测量上的测量与分析的简单化以及应对多种样品的测量问题。 此次发售的“VS1800”产品, 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具”。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择最适合评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具”,通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出最适合对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。 此外,“VS1800” 产品,通过光干涉方法*4除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重现性外,亦通过日立高新技术科学自主研发的技术,继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性能。此外,该产品还可搭配“大倾斜角测量选配 ”*6功能,通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变化,实现传统的光干涉方式无法实现的大倾斜角斜面测量,从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。 日立高新技术集团拥有可实现极微细样品的高分辨率测量的原子力显微镜、扫描电子显微镜直至大视野、高精度测量可能的“VS1800”等产品阵容,提供表面分析解决方案,从而满足客户的广泛需求。*1 ISO 25178:规定表面形态评估方法的国际标准。*2扫描型白色干涉显微镜:利用光干涉原理进行非接触式、无损伤的表面形态测量的测量设备。*3激光显微镜:将激光作为光源进行表面形态测量的测量设备。 *4光干涉方法:是利用两列或两列以上的光波相互叠加而出现光明暗(干涉条纹)现象(干涉)的检查方法。*5 0.01 nm的垂直方向分辨率为Phase模式时的性能。*6“大倾斜角测量选配”为选择项目。 【主要特点】(1)高测量性能?垂直方向分辨率:利用光干涉方法,通过独自的算法,实现0.01 nm*的垂直方向分辨率?重现性:利用干涉条纹测量凸凹的高度,通过将来自Z驱动机构的影响最小化,实现0.1 %以下的重现性?测量速度:由于不需要样品的前处理,只要将样品放置在样品台上即可完成测量准备。通过光干涉方法最 快5秒钟即可完成测量?测量视野:以从干涉条纹获取的信息为基础进行凸凹高度的测量,由此可实现广范围(One-shot最 大6.4 mm×6.4 mm)测量与高垂直方向分辨率的两者兼顾。此外,通过连接多个数据的图像,可进一步实现广范围的分析?无损伤测量:通过日立高新技术科学自主研发的技术,对玻璃和薄膜等透明多层结构样品进行测量时,无需对样品进行加工切割成截面,即可在无损伤的情况下,完成多层结构样品的各层厚度或异物混入状况的确认以及缺陷分析等  * Phase模式时 (2) 易于使用的操作界面采用直观易懂的操作界面,能够轻而易举地进行图像分析处理前后的图像对比,从而支持分析时的最合适图像处理选择。此外,可简单地列出处理与分析的内容、创建独自的分析参数、重复使用分析参数等,并且还可批量处理数据,由此实现统一管理多个样品和分析结果,减轻繁琐复杂的后处理。 (3) ISO 25178参数对比工具在对比多个样品时,通过将ISO 25178标准中规定的32项参数值按差异的大小顺序重新排列,从而在样品对比时能够轻松选取最适参数,支持客户的分析业务。 (4) 硬件升级按每一台XY样品台的驱动方式,设计了3个类型的产品,即基础模式的手动型Type 1、电动型Type 2、Type 3。从Type 1到Type 2、Type 3,均可根据不同的用途进行升级。
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  • 白光干涉仪 400-860-5168转1329
    白光干涉仪概述Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试,只需单击按钮,就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势,并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm(可选210x310mm)l标准转塔,电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY平台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 仅限白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术,测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件,符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试,产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测,模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。
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  • 海思科技 吴先生 美国Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K1/白光干涉仪Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K1/白光干涉仪布鲁克 (Bruker) 是表面测量和检测技术的全球领导者,服务于科研和生产领域。新一代白光干涉仪ContourGT系列结合了先进的64位多核操作和分析处理软件,专利技术白光干涉仪(WLI)硬件和前所未有的操作简易性,是历年来来进的3D光学表面轮廓仪系统。该系统拥有超大视野内亚埃级至毫米级的垂直计量范围,样品安装灵活,且具有业界的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中,最广泛使用和最直观的3D表面计量平台。应用: 对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等,提供全方位非接触式测量方案,样品从小至微米级别的微机电器件(MEMS),大到整个引擎部件,都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据原理:利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米),所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。特征:◆业界的垂直分辨率,大的测量性能;0.5~200倍的放大倍率;任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程;高分辨率摄像头;◆ 测量硬件的独特设计,增强生产环境中的可靠性和重复性;较高的震动的容忍度和GR&R测量的能力专利的自动校准能力;◆ 多核处理器下运行的Vision64? 软件,大大提高三维表面测量和分析速度数据处理速度提高几十倍;分析速度提高十倍;无以伦比的大量数据无缝拼接能力;◆ 高度直观的用户界面,拥有业界的实用性,操作简便和分析功能强大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程;独特的可视化操作工具;可自行设置数据输出的界面
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白光干涉膜厚仪相关的资讯

  • 福建省计量科学研究院322.98万元采购白光干涉测厚
    详细信息 白光干涉仪等一批测量设备采购项目公开招标招标公告 福建省-福州市-鼓楼区 状态:公告 更新时间: 2023-10-19 招标文件: 附件1 项目概况 受福建省计量科学研究院委托,福建省天海招标有限公司对[350001]FJTH[GK]2023053、白光干涉仪等一批测量设备采购项目组织公开招标,现欢迎国内合格的供应商前来参加。白光干涉仪等一批测量设备采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件,并于2023年11月10日 09时00分00秒(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:[350001]FJTH[GK]2023053 项目名称:白光干涉仪等一批测量设备采购项目 采购方式:公开招标 预算金额:3,229,800.00元 采购包1(超声波燃气表检定装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额:1,193,800.00元 采购包最高限价: 925,000.00元 投标保证金:11,938.00元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量(单位) 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 1-1 A02109900-其他仪器仪表 超声波燃气表检定装置 1(套) 否 详见招标文件。 546,000.00 工业 1-2 A02109900-其他仪器仪表 便携式气体微小流量在线检测系统 1(套) 否 详见招标文件。 268,800.00 工业 1-3 A02109900-其他仪器仪表 活塞式气体流量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 379,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限:自合同签订之日起90日 采购包2(除颤脉冲能量计量标准装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额:830,000.00元 采购包最高限价: 828,410.00元 投标保证金:8,300.00元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量(单位) 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 2-1 A02109900-其他仪器仪表 黑烟车抓拍系统校准装置 1(套) 否 详见招标文件 300,000.00 工业 2-2 A02109900-其他仪器仪表 步距规(含标准球) 1(套) 否 详见招标文件。 80,000.00 工业 2-3 A02109900-其他仪器仪表 除颤脉冲能量计量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 450,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限:自合同签订之日起90日 采购包3(白光干涉仪等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额:1,206,000.00元 采购包最高限价: 1,206,000.00元 投标保证金:12,060.00元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量(单位) 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 3-1 A02109900-其他仪器仪表 白光干涉仪 1(台) 否 详见招标文件。 909,000.00 工业 3-2 A02109900-其他仪器仪表 力传感器 3(台) 否 详见招标文件 297,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限:自合同签订之日起120日 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 采购包1: 本采购包为专门面向中小企业采购,投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别:货物,采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2:采购标的一览表”。 采购包2: 本采购包为专门面向中小企业采购,投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别:货物,采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2:采购标的一览表”。 采购包3: 本采购包为专门面向小微企业采购,投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别:货物,采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2:采购标的一览表”。 3.本项目的特定资格要求: 采购包1:无 采购包2:无 采购包3:无 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品:不适用本项目 节能产品:《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》国办发[2007]51号、财政部国家发展改革委关于印发《节能产品政府采购实施意见》的通知(财库[2004]185号)、财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号) 环境标志产品:财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号)、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》财库〔2019〕18号和《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》(财库〔2019〕19号)四、获取招标文件 时间: 2023-10-19 至 2023-10-26 ,(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午00:00:00至12:00:00,下午12:00:00至23:59:59(北京时间,法定节假日除外) 地点:招标文件随同本项目招标公告一并发布;投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区县))福建省政府采购网上公开信息系统操作),否则投标将被拒绝。 方式:在线获取 售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2023-11-10 09:00:00(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日) 地点:福建省福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号恒力创富中心西塔8层开标室1(总公司)六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无 八、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称:福建省计量科学研究院 地址:福州市屏东路9-3号 联系方式:0591-878567522.采购代理机构信息(如有) 名称:福建省天海招标有限公司 地址:福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号(原营迹路南侧)恒力创富中心8层 联系方式:王慈/李程垒/刘国星0591-87878462-817/8073.项目联系方式 项目联系人:王慈/李程垒/刘国星 电话:0591-87878462-817/807 网址: zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名:福建省天海招标有限公司 福建省天海招标有限公司 2023年10月19日 相关附件: 白光干涉仪等一批测量设备采购项目-文件集.zip × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容:白光干涉测厚 开标时间:2023-11-10 09:00 预算金额:322.98万元 采购单位:福建省计量科学研究院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:福建省天海招标有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 白光干涉仪等一批测量设备采购项目公开招标招标公告 福建省-福州市-鼓楼区 状态:公告 更新时间: 2023-10-19 招标文件: 附件1 项目概况 受福建省计量科学研究院委托,福建省天海招标有限公司对[350001]FJTH[GK]2023053、白光干涉仪等一批测量设备采购项目组织公开招标,现欢迎国内合格的供应商前来参加。白光干涉仪等一批测量设备采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件,并于2023年11月10日 09时00分00秒(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:[350001]FJTH[GK]2023053 项目名称:白光干涉仪等一批测量设备采购项目 采购方式:公开招标 预算金额:3,229,800.00元 采购包1(超声波燃气表检定装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额:1,193,800.00元 采购包最高限价: 925,000.00元 投标保证金:11,938.00元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量(单位) 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 1-1 A02109900-其他仪器仪表 超声波燃气表检定装置 1(套) 否 详见招标文件。 546,000.00 工业 1-2 A02109900-其他仪器仪表 便携式气体微小流量在线检测系统 1(套) 否 详见招标文件。 268,800.00 工业 1-3 A02109900-其他仪器仪表 活塞式气体流量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 379,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限:自合同签订之日起90日 采购包2(除颤脉冲能量计量标准装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额:830,000.00元 采购包最高限价: 828,410.00元 投标保证金:8,300.00元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量(单位) 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 2-1 A02109900-其他仪器仪表 黑烟车抓拍系统校准装置 1(套) 否 详见招标文件 300,000.00 工业 2-2 A02109900-其他仪器仪表 步距规(含标准球) 1(套) 否 详见招标文件。 80,000.00 工业 2-3 A02109900-其他仪器仪表 除颤脉冲能量计量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 450,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限:自合同签订之日起90日 采购包3(白光干涉仪等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额:1,206,000.00元 采购包最高限价: 1,206,000.00元 投标保证金:12,060.00元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量(单位) 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 3-1 A02109900-其他仪器仪表 白光干涉仪 1(台) 否 详见招标文件。 909,000.00 工业 3-2 A02109900-其他仪器仪表 力传感器 3(台) 否 详见招标文件 297,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限:自合同签订之日起120日 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 采购包1: 本采购包为专门面向中小企业采购,投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别:货物,采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2:采购标的一览表”。 采购包2: 本采购包为专门面向中小企业采购,投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别:货物,采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2:采购标的一览表”。 采购包3: 本采购包为专门面向小微企业采购,投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别:货物,采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2:采购标的一览表”。 3.本项目的特定资格要求: 采购包1:无 采购包2:无 采购包3:无 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品:不适用本项目 节能产品:《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》国办发[2007]51号、财政部国家发展改革委关于印发《节能产品政府采购实施意见》的通知(财库[2004]185号)、财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号) 环境标志产品:财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号)、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》财库〔2019〕18号和《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》(财库〔2019〕19号)四、获取招标文件 时间: 2023-10-19 至 2023-10-26 ,(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午00:00:00至12:00:00,下午12:00:00至23:59:59(北京时间,法定节假日除外) 地点:招标文件随同本项目招标公告一并发布;投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区县))福建省政府采购网上公开信息系统操作),否则投标将被拒绝。 方式:在线获取 售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2023-11-10 09:00:00(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日) 地点:福建省福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号恒力创富中心西塔8层开标室1(总公司)六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无 八、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称:福建省计量科学研究院 地址:福州市屏东路9-3号 联系方式:0591-878567522.采购代理机构信息(如有) 名称:福建省天海招标有限公司 地址:福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号(原营迹路南侧)恒力创富中心8层 联系方式:王慈/李程垒/刘国星0591-87878462-817/8073.项目联系方式 项目联系人:王慈/李程垒/刘国星 电话:0591-87878462-817/807 网址: zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名:福建省天海招标有限公司 福建省天海招标有限公司 2023年10月19日 相关附件: 白光干涉仪等一批测量设备采购项目-文件集.zip
  • 3D 白光干涉成像技术的创新及应用
    近年来,3D检测技术发展迅速,广泛应用于工业、国防、医疗、农业等领域。根据其是否应用人造光源作为照明系统,可分为主动式3D成像技术与被动式3D成像技术。无论是哪种方法,为了获得目标的高精度3D轮廓信息,都希望检测仪器具备高精度、高帧率、算法兼容性强、环境适应性强、稳定性强、操作简便、性价比高等特点,这在实际应用中,尤其在微纳米结构检测中有着重要意义。微纳米技术,是指对微纳级材料的测量、加工制造、设计、控制等相关研究技术,它与高精尖装备制造领域的发展息息相关。微纳结构测量最为基础和重要的是表面形貌的3D测量,它包括了轮廓的测量以及表面粗糙度的测量,目前常用的微结构表面形貌测量方法分为接触式和非接触式。接触式测量是目前工业领域内应用最为广泛的测量方法。这种方法在测量时有一个微小的触针,在被测样品表面上做横向移动;在这过程中触针会随着样品表面的轮廓形状垂直起伏,然后通过传感器将这微小的位移信号转换为电信号;对这些信号进行采集和运算处理后,就可以测得表面轮廓或形貌特征。测量中可以使用的传感器有很多,如光栅式、压电式、干涉式以及普遍应用的电感式。这种方法测量量程大,结果稳定可靠,并且仪器操作简单,对测量环境要求低;缺点是触针在测量时有可能会对被测表面造成损伤,且测量速度慢。非接触式测量技术大多基于光学方法,例如干涉显微法、自动聚焦法、激光干涉法等。光学测量方法具有非接触、操作简单、速度快等优点。然而在利用光学方法进行测量时,被测表面的斜率、光学参数等发生变化会引起测量误差。例如,若被测样品表面存在沟槽或其他微细结构,它们引起的散射、衍射等现象会对测量信号造成干扰。另外,若样品表面存在灰尘、细小纤维等,光学测量方法的结果也会有一定失真;而触针式方法由于测量时与样品表面接触,会划去部分表面污染物使测量结果不受影响。因此,根据不同测量要求,每种方法都有其适用性,常用的微纳结构三维测量方法如图1所示。图1:微纳结构三维测量方法接触式检测技术(1)扫描电子显微术利用物质与电子的相互作用,当电子束轰击表面时,会产生多种形式的电子和光电现象,扫描电子显微镜(SEM)利用其中的二次电子和背散射电子与表面具有的关系进行结构分析。SEM具有大视场、大倍率、大景深等优点,但其测量样品制备复杂,种类有限,常用于微结构缺陷检测等定性分析。(2)扫描探针显微术被测样品表面的相关信息利用探针与样品的相互作用特性获得,扫描探针显微镜(SPM)及其衍生而来其他测量方法,具有较高的测量分辨力,但其测量过程需要对测量表面逐点扫描,且只有微米级别成像范围,测试效率较低。(3)机械探针轮廓术探针始终与被测表面接触,被测表面结构的变化会使探针产生垂直位移,通过位移的感知即能获得被测表面特性。该方法在工业特别是制造业领域广泛使用,也是国际社会公认的表面粗糙度测量的标准方法。但是其作为接触式测量方法,容易对被测表面造成划伤,逐点测量的办法效率较低,也难以测量复杂器件。非接触式检测技术(1)激光干涉术通过干涉条纹变化与被测物位置变化的对应关系,获得位移信息,从而达到几何量测的目的。(2)自动聚焦法基于几何光学的物象共轭关系,当照明光斑汇聚在被测面时,进一步调整检测头与表面的距离,直至光斑像尺寸最小而得到该被测位置的相对高度。该方法简单易操作,但水平分辨力受光斑大小的限制较大,且垂直高分辨力对成像分析和调节能力要求高。(3)激光共焦扫描显微术首先利用精密共焦空间滤波结构,通过物象共轭关系滤除焦点外的反射光,极大地提高成像的可见度。通过聚焦光对样品垂直扫描,样品在垂直方向被分层成像,光学切片图像经三维重构,可得到样品的三维结构。该方法一次测量过程就能实现该视场三维形貌的测量,兼具高效和高精度的优点,但其分辨率易受扫描步长和物镜数值孔径的限制。(4)光学显微干涉术传统的干涉测量方法,主要是通过观测干涉条纹的位置、间距等的变化来实现精确测量。典型方法是单色光相移干涉术和白光扫描干涉术。单色光相移干涉术的测量思路为:参考臂和测量臂的反射光发生干涉后,利用相移法引入相位变化,根据该相位变化所引起的干涉光强变化,求解出每个数据点的相位,其结果不连续,位于(-p,p]之间,因此需要对该结果进行解包裹运算,然后根据高度与相位的关系,得到被测样品的表面形貌。这种方法在测量时对背景光强不敏感,测量分辨率高;但无法确定干涉条纹的零级位置和相位差的周期数,存在相位模糊问题;若被测样品表面的相邻高度超过1/4波长则不能测准,因此只能应用于对表面连续或光滑的结构的测试。白光扫描干涉法由单色光相移技术发展而来,由于使用白光作为光源,在干涉时有一个确切的零点位置,其相干长度短,干涉条纹只出现在很小的范围内;当光程差为零时,干涉信号出现最大值,该点就代表对应点的高度信息,通过Z向扫描能够还原被测样品的整体形貌。光谱分光型白光干涉由上述方法发展而来的光谱分光型白光干涉技术,则是基于频域干涉的理论,利用光谱仪将传统方法对条纹的测量转变成为对不同波长光谱的测量。包含有被测表面信息的干涉信号,由含有色散元件和阵列探测器的光谱仪接收,通过分析该频域干涉信号来实现信息获取。相比于单色光干涉技术,光谱分光型白光干涉技术具有更大的测量范围,同时与白光扫描干涉术相比,它在测量时不需要大量的Z向扫描过程,极大提高了测量效率。利用光谱分光型白光干涉技术可以测量绝对距离、位移、微结构表面形貌、薄膜厚度等。在测量微结构三维形貌时,光谱分光型白光干涉技术,比于其他方法操作更简单,测量精度更高。在微纳测量领域,为了提高光学测量系统的水平分辨率,通常采用显微物镜放大的方法。在光谱分光型白光干涉测量系统中可以采用几种显微结构,如Michelson型、Mirau型和Linnik型,图2显示了这三种显微干涉结构的构成原理。图2:三种显微干涉结构的构成原理高精度仪器设备需求不断推动着微纳米技术向前发展,因此高精度的微纳检测技术也成为了必然需求。微纳结构测量的对象有表面形貌、电子特性、材料特性、力学特性等,其中表面形貌3D测量最为基础和重要,它包括轮廓测量(如长、宽、高等)和表面粗糙度等参数的测量。对于尺寸处于微纳米量级的微纳结构器件而言,其静电力、黏附力和结构应力等因素对其本身的影响,会随着其表面积和体积之比的增大而增加,使器件的功能和质量发生变化,从而影响器件的使用。因此,对微纳结构表面形貌的检测非常必要。光谱分光型白光干涉技术,用于测量微纳米结构三维形貌的研究及其进一步产业化,填补国内空白。光谱分光型白光干涉仪(见图3)具备高精度、高帧率、算法兼容性强、环境适应性强、稳定性强、操作简便、性价比高等优点,其在新型成像/检测系统中的应用及产业化,将打破国外垄断。图3:光谱分光型白光干涉仪整机系统原理图光源是超辐射发光二极管(SLD),从光源发出的光进入光纤耦合器,从耦合器输出的光经消色差准直器准直成平行光,使用分光棱镜将准直光分为参考光和样品光。参考光经透镜3聚焦于反射镜,样品光经XY扫描振镜和透镜4,聚焦于样品。经反射的参考光和样品光由光纤耦合器的另一端输出,进入光谱仪中。光谱仪由透镜1、光栅、透镜2以及相机组成。输出的光经透镜1准直为平行光,照射到光栅上;光栅衍射分光,经透镜2汇聚于线阵相机;线阵相机记录参考光和样品光的干涉光谱,传给电脑进行处理。该系统使用振镜代替昂贵的高精密位移台进行二维扫描,可用于位移、振动及厚度测量(点测量);线轮廓测量(线测量);表面轮廓成像(面成像)。中科行智最新研发的白光干涉仪,用于对各种精密器件表面进行纳米级测量,专业用于超高精度、高反光及透明材质的尺寸测量。该白光干涉仪采用非接触式测量方式,避免物件受损,可进行精密零部件重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸测量。目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。中科行智重点开发的3D飞点分光干涉仪,重复精度达30nm,扫描速度70kHz,扫描范围广,最大直径可达40mm;适应性强,可适用于测量最强反射、弱反射及透明物体等;稳定性强,分光模块与光学振镜模块化设计,加入光学振镜扫描,可替代昂贵的高精密位移台。主要特点如下:大视野:采用高精度光学振镜扫描方案,实现水平方向大视野扫描,避免使用昂贵的高精度水平位移台;大景深:高分辨率光谱仪进行信号采集,经分光元件将白光分光,具备mm级测量深度特性,无需深度方向扫描装置;高精度:大测量深度高分辨率相敏谱域干涉调解算法,重复精度30nm;高速度:采用FPGA硬件加速设计,帧率70kHz;灵活性:信号采集端和接收端分离式设计,采集端安装更灵活;用户设置自定义扫描区域、扫描间隔,也可重点获取感兴趣区域;适用性:适用于透明、弱反光、高反光、狭缝等材料类型的表面形貌以及厚度检测(见图4、图5)。目前白光干涉仪相关技术处于国际领先,苏州中科行智智能科技有限公司已发布的3D飞点分光干涉仪为国内首家,可广泛应用于半导体晶片、微机电系统、精密加工表面、材料研究等领域,为国内半导体行业及高精密行业赋能,高质量解决环节价值,可趋于替代国外高精密传感器,赋能国内高精密、高价值智能制造!
  • 1600万!南昌大学稀土研究院白光干涉仪采购项目
    一、项目基本情况:项目编号:HSH2023C072项目名称:南昌大学稀土研究院白光干涉仪采购项目采购方式:竞争性磋商预算金额:1600000.00 元最高限价:1520000.00采购需求:采购条目编号采购条目名称数量单位采购预算(人民币)技术需求或服务要求赣购2022F000760384白光干涉仪1台1600000.00元详见公告附件合同履行期限:合同签订后14个月内,完成全部交货。供应商应保证在要求时间内完成全部货物的供货、安装、调试和培训工作,符合国家标准、行业规范和合同等相关文件的要求。本项目不接受联合体投标。二、获取采购文件:时间:2023年07月14日 至 2023年07月21日,每天上午0:00至12:00,下午13:00至23:30(北京时间,法定节假日除外 )(磋商文件的发售期限自开始之日起不得少于5个工作日)地点:江西省公共资源交易网(网址:https://www.jxsggzy.cn/web/)方式:网上报名并下载磋商文件售价:0.00元八、凡对本次采购提出询问,请按以下方式联系:1.采购人信息名称:南昌大学地址:学府大道 999 号南昌大学前湖校区联系方式:0791-839692902.采购代理机构信息名称:江西合胜合招标咨询有限公司地址:江西省南昌市红谷滩新区凤凰洲绿地外滩公馆19栋911室联系方式:0791-839783763.项目联系方式项目联系人:聂亮、姜梅、范丹萍、司马力、张广海、吴兴斌电话:0791-83978376

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  • 白光干涉仪是什么?有哪些作用?

    白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url],其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理:  白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用:  以测量单刻线台阶为倒,在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。  在计算机上打开白光干涉仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的最低点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,白光干涉仪可自动进行扫描测量,测量完成后,转件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align]  白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

  • 【讨论】白光干涉仪 操作经验交流

    最近一直在使用 研究所里的白光干涉仪(Talysurf CCI 2000)做表面检测,发现了不少问题,比如说: 1. 如何调整能快速获得干涉条纹; 2. 如何能减少数据丢失点; 3. 如何校准我一直在钻研随机带的说明书,不过Taylor Hobson这些英国人太懒了,很多东西都是笼统的讲,根本不细说! 所以,希望 有白光干涉仪操作经验的朋友,能在本楼讨论下,您也可给我发email:chenjc18@126.com。

  • 白光干涉仪在摩擦学领域的应用

    [table][tr][td][align=left][color=#333333]  摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的[/color][url=http://www.chotest.com][b][color=#000000]白光干涉仪[/color][/b][/url][color=#333333]登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333]  上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器白光干涉仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维:线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333]  取一块摩擦处理过的铜板,使用白光干涉仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,240]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,171]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333]  从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维:面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]  分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,157]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,143]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维:体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,234]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333]  如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]  一线二面三体,白光干涉仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]

白光干涉膜厚仪相关的耗材

  • 5倍 尼康 显微镜 白光干涉镜头
    5X Nikon CF IC Epi Plan TI Interferometry Objective5倍 尼康白光干涉镜头类型 Michelson放大率:5X数字孔径 NA:0.13焦深(μm):16.2视场, 1/2" 传感器:1.28 x 0.96mm视场, 2/3" 传感器:1.76 x 1.32mm视场,20直径视场目镜 (mm) :2.2视场,25直径视场目镜 (mm) :5.00焦距 FL (mm):40.0生产商:Nikon安装螺纹:RMS分辨能力 (μm):2.1重量 (g):280.00工作距离 (mm):9.3RoHS:符合标准生产商 NikonRoHS 豁免用于三维表面形貌仪,表面轮廓仪,白光干涉显微镜等测量设备的镜头。适用型号:MicroXAM系列,Newview7000系列,Newview8000系列,Wyko各型号,Contour Elite系列,ContourGT系列,Talysurf系列,SMARTWLI系列等几乎所有的白光干涉原理非接触式表面三维形貌测量仪。如果您购买设备后,发现市场不够大,或者发现放大倍数不够用,都可以联系我们,以远低于厂商售价的优惠价格拿到此类镜头产品。根据不完全统计,市场上在售的白光干涉型非接触形貌/轮廓测量设备,90%使用的是nikon原装干涉物镜。全球市场的几大重要厂家K公司,B公司,Z公司都是采用Nikon镜头。价格随时有波动,欢迎来电咨询。
  • 100倍 尼康 显微镜 干涉镜头
    50X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective50倍 尼康干涉物镜镜头类型 Mirau放大率:100X数字孔径 NA:0.70焦深(μm):0.56视场, 1/2" 传感器:0.08 x 0.06mm视场, 2/3" 传感器:0.011 x 0.08mm视场,20直径视场目镜 (mm) :0.2视场,25直径视场目镜 (mm) :0.25焦距 FL (mm):2.0生产商:Nikon安装螺纹:RMS分辨能力 (μm):0.4类型:Mirau重量 (g):200.00工作距离 (mm):2.0Regulatory ComplianceRoHS:符合标准生产商 NikonRoHS 豁免用于三维表面形貌仪,表面轮廓仪,白光干涉显微镜等测量设备的镜头。适用型号:MicroXAM系列,Newview7000系列,Newview8000系列,Wyko各型号,Contour Elite系列,ContourGT系列,Talysurf系列,SMARTWLI系列等几乎所有的白光干涉原理非接触式表面三维形貌测量仪。如果您购买设备后,发现市场不够大,或者发现放大倍数不够用,都可以联系我们,以远低于厂商售价的优惠价格拿到此类镜头产品。根据不完全统计,市场上在售的白光干涉型非接触形貌/轮廓测量设备,90%使用的是nikon原装干涉物镜。全球市场的几大重要厂家K公司,B公司,Z公司都是采用Nikon镜头。价格会有所波动,欢迎来电咨询。
  • 50倍 尼康 显微镜 干涉镜头
    50X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective50倍 尼康干涉物镜镜头类型 Mirau放大率 50X数字孔径 NA 0.55工作距离 (mm) 3.4焦距 FL (mm) 4.0分辨能力 (μm) 0.5焦深(μm) 0.9视场,25直径视场目镜 (mm) 0.5视场,20直径视场目镜 (mm) 0.22视场, 2/3" 传感器 0.18 x 0.13mm视场, 1/2" 传感器 0.13 x 0.10mm支架 C-Mount安装螺纹 RMS重量 (g) 150生产商 NikonRoHS 豁免用于三维表面形貌仪,表面轮廓仪,白光干涉显微镜等测量设备的镜头。适用型号:MicroXAM系列,Newview7000系列,Newview8000系列,Wyko各型号,Contour Elite系列,ContourGT系列,Talysurf系列,SMARTWLI系列等几乎所有的白光干涉原理非接触式表面三维形貌测量仪。如果您购买设备后,发现市场不够大,或者发现放大倍数不够用,都可以联系我们,以远低于厂商售价的优惠价格拿到此类镜头产品。根据不完全统计,市场上在售的白光干涉型非接触形貌/轮廓测量设备,90%使用的是nikon原装干涉物镜。全球市场的几大重要厂家K公司,B公司,Z公司都是采用Nikon镜头。价格会有所波动,欢迎来电咨询。
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