常用型号CANON 日本佳能 真空计 M-342DGM-342DG-1D M-342DG-1N M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13 M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-R S350PG-RS规(耐腐蚀型)M-351PG(真空计)M-361CP-SP设置带点型M-361CP-RSRRS485型M-370CG-SP设置带点型M-370CG-RS485型M-311-HG-RS311 SP带点型M-336MX-RS RS485型M-601GC(1Ch连接型)M-603GC(3Ch连接型)晶体量规M-320XG(真空计)宽范围电离真空计M-431HG宽范围电离真空计M-833HG(真空计)电离真空计M-723HG、M-823HG、M-923HG(真空计)热电偶真空计M-012DM微型量规MG-2、MG-2MG、MF)舒尔茨量规LG-11SB-A量规UGD-1S宽量程B-A量规BRG-1B裸离子量规NIG-2F/NIG-2TF量规PG-150热偶量规TG-550C M-342DG-11,M-342DG-12,M-342DG-13 M-341DG-01,M-350PG-SD,M-350PG-SP M-350PG-RS,M-351PG-SP,M-360CP-SP M-360CP-RS,M-311HG-SP,M-311HG-RS M-336MX-SP,M-336MX-RS,M-601GC,M-603GC M-320XG,M-431HG,M-833HG,M-723HG M-823HG,M-923HG,M-012DM,MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF M-320XG-N16,M-320XG-N25,M-320XG-C34 M-320XG-C70,M-320XG-VG70,M-390,390-03CR 390-05CR,390-10CR M-336MX-SP-N25,M-336MX-SP-C7详细介绍CANON 日本佳能 真空计 M-342DG电容计“M-342DG”是在压力传感器部采用小型硅MEMS芯片,将温度、振动、气压变动等外部环境的影响控制在最小限度,实现高精度稳定的压力测量、最小限度的零点调整频率的隔膜真空计。产品特性CANON 日本佳能 真空计 M-342DG高精度稳定的压力测量・ 优异的零点稳定性温度依赖性低,在没有温度调整机构的情况下实现优异的稳定性优异的耐振动噪声性能小巧、低功耗・ 重量200g、尺寸W46mm×H49mm×L106mm、重量轻且紧凑(※1)功耗0.5W※1质量和尺寸为接头NW16规格时产品用途CANON 日本佳能 真空计 M-342DG广泛支持真空中压力的高精度、长期稳定测量半导体、显示器、太阳能电池等各种真空装置控制、监控溅射、PECVD等真空成膜工艺压力负载锁定室、晶片冷却等气体导入工艺、系统的压力管理医疗、生物、食品等各种产业,以及各种研究开发用途各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析装置、灭菌、真空泵评价、分子蒸馏等参数规格型名M-342DG-1D-1N-11-12-13フルスケール圧力(Pa)13.33133.31.333k13.33k133.3k測定精度(% of reading)0.20(at 23 ℃)ゼロ点温度係数(% of F.S./℃)0.010.0050.002スパン温度係数(% of reading/℃)0.010.005分解能(% of Full-scale)0.010.005測定下限圧力(% of Full-scale)0.01実用測定下限圧力(% of Full-scale)0.05実用制御下限圧力(% of Full-scale)0.5応答速度(ms)10030加圧上限200 kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと)*13.33 Pa仕様は130 kPa電源電圧(VDC)+13.5~26.4消費電力(W)0.5アナログ出力(VDC)0~10使用温度/保管温度(℃)0~50/-20~70(非動作時)大ケーブル長(m)100(専用ケーブル)ゼロ点調整方法プッシュスイッチ、リモート入力入出力コネクタD-sub9ピン(オス)接ガス部材質SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴムフランジ゙ 形状と質量NW16(200 g)、NW25(210 g)、8-VCR メス(250 g)、φ70ICF(460 g)対応CEマーキング、RoHS、IP40安全保障貿易管理規制非該当
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