电子倾斜仪原理

美国国家标准与技术研究院 （NIST） 和半导体及相关行业检测和测量系统提供商 KLA Corporation 的研究人员提高了扫描电子显微镜 （SEM） 测量的准确性。SEM用于半导体制造中的过程控制应用，有助于确保高产量生产功能性高性能芯片。SEM使用聚焦电子束对小至1纳米的特征进行成像，使其成为表征半导体器件结构的重要仪器。在芯片制造过程中，高分辨率 SEM 用于许多检测和计量应用，包括检测非常小的缺陷、识别和分类光学检测员发现的缺陷、图案特征的关键尺寸测量、覆盖测量等。这些信息有助于芯片工程师表征和微调其制造工艺。当电子束通过SEM时，它会受到仔细控制。电子束与理想路径的轻微偏差或电子束撞击芯片表面的角度的微小错位都会使生成的 SEM 图像失真并歪曲器件的结构。NIST和KLA通过考虑电子束的这些角度错位，提高了SEM的精度。该联合研究项目测量光束倾斜的精度小于一毫弧度，即百分之五度，这需要在角分辨率和测量验证方面取得进步。为了测量光束倾斜，NIST和KLA创建了电子显微镜的原型标准，并以一种新的方式分析了所得的电子显微照片。原型标准由一系列锥形硅柱组成，称为锥形视锥体，形成对光束倾斜高度敏感的图像。倾斜表现为视锥体顶部边缘和底部边缘图像中心之间的偏移。利用他们在模拟电子-物质相互作用方面的专业知识，研究人员使用模拟来展示亚毫弧度精度的潜力，指导他们正在进行的标准工件的设计和制造。已知位置的锥形视锥体阵列有可能测量 SEM 扫描和成像的区域内光束倾斜的任何变化。这些测量可以进一步校准电子显微镜的放大倍率和畸变。此外，新标准还适用于芯片制造中使用的其他显微镜方法，包括原子力和超分辨率光学显微镜。比较不同显微镜方法结果的能力有助于在不同方法之间可靠且可重复地传输信息，并提高测量模型的准确性。锥形视锥体阵列的模型“电子束倾斜会改变器件特征的表观位置，降低SEM测量的准确性，”NIST研究员兼涵盖这项研究的行业论文的第一作者Andrew C. Madison说。“我们的新标准和分析方法可以检测电子束位移，因为它在整个成像场中变化。“有了这些数据，SEM制造商可以实施校准和校正，以提高图像质量和测量精度，”NIST研究员兼首席研究员Samuel M. Stavis说。“作为半导体检测和计量领域的专家，我们不断探索可以扩展当前测量极限的新技术，”KLA公司高级副总裁兼总经理Yalin Xiong说。“与研究机构的合作在发现有助于推进芯片行业过程控制的创新方面发挥着重要作用。我们与NIST的联合研究旨在提高用于表征芯片制造工艺的基本测量的准确性。

随着科技资源开放共享及市场化运营机制的不断完善，今年，首都科技条件平台将在继续扩大仪器设备开放规模的基础上，进一步向开放科技成果、科技人才倾斜。　　六大领域平台搭建完善开放体系　　在日前举办的中国第十四届软博会上，首都科技条件平台各个建设单位集中展示了各自领域平台的建设及资源开放情况。　　据介绍，2009年，首都科技条件平台所辖电子信息、生物医药、新材料、能源环保四大领域平台及12家研发实验服务基地，实现了264个国家、北京市重点实验室和工程中心、13112台套仪器设备、约76.3亿元的科技资源向社会开放。　　今年四五月间，北京市科委先后授权北京技术交易促进中心、北京生产力促进中心分别搭建技术转移、装备制造领域科技条件平台，标志着首都科技条件平台体系已扩展至六大领域，再加上研发实验服务基地由12家增加到14家，基本涵盖了北京市重大产业发展领域。　　随着条件平台在产业领域和研发实验服务基地建设上的拓展，首都科技资源开放量将继续增长，今年有望新增资源开放量25亿元，开放总量达100亿元。　　今年授牌的装备制造领域平台突出了服务的前瞻性和引领性。该平台除开展仪器测试方面的服务外，还依托数控装备联盟服务于高端制造业，依托生产力促进服务联盟服务于现代服务业。“装备制造领域依靠单个企业研发突破很难，只有借助平台联合企业共同研发，才能在共性关键技术上获得突破。”北京生产力促进中心部长陈立军告诉《科学时报》记者。　　对于装备制造领域平台和之前的平台是否存在资源竞争的关系，陈立军表示，竞争关系肯定存在，比如电子信息领域平台的成员单位北京自动测试技术研究所，也有针对装备制造领域的测试服务内容，但这部分资源并没有纳入装备制造领域平台。　　北京软件与信息服务业促进中心业务发展部孙启向《科学时报》记者介绍，北京自动测试技术研究所的资源目前已被纳入北京市科学研究院，该院是今年新成立的两个研发实验服务基地之一，这就相当于通过研发实验服务基地把资源整合起来，而不再计算入电子信息领域平台的开放范围。　　陈立军认为，目前虽然需要北京市科委在科技资源和指标划分上予以统筹协调，但六大领域平台形成一个整体团队、加强合作、共同作好服务的目标和意愿非常明确。　　成果转化成平台工作重点　　同样是今年授牌的技术转移领域科技条件平台，其开放的科技资源不仅包括仪器设备，更包括科技成果和人才。　　北京技术交易促进中心高级顾问钟之绚在接受《科学时报》记者采访时表示，从资源开放的角度看，技术转移平台丰富了首都科技条件平台开放资源的种类，并且更侧重于成果开放，即以成果转化、科技成果产业化为主要工作内容。　　据介绍，技术转移平台在成果转化的运行方式方面也区别于一般的成果转化方式。一般的成果转化通常是把成果汇集成册集中向企业推荐，技术转移平台则采取相反的方式，即以需求为导向，通过对市场需求的捕捉，然后把需求向其他领域平台“开放”，主要为了促成各领域平台之间的成果和需求对接。　　钟之绚说：“我们既收集仪器设备的测试需求，更注重对企业技术难题、技术需求的收集。目前已征集企业需求近100项，下一步需要就这些需求与相关研发实验服务基地和其他领域平台进行对接。”　　中科院北京国家技术转移中心事业二部部长张利军表示，中科院研发实验服务基地作为首都科技条件平台14家基地中规模最大、综合性最强的基地，近期工作重点为对一批科技成果进行开放，该基地目前已征集40多个具备产业化条件的优秀科研成果，并侧重这些科研成果的地方转化工作。　　张利军介绍，前不久包括激光显示、绿色印刷等一批重大科技项目集中落户中关村科技园区，北京国家技术转移中心即提供了全程式的跟踪服务。而未来在与地方科技局的合作中，该中心将进一步挖掘地方需求，通过需求导向，不断挖掘中心内部科技资源，以实现和地方的有效对接。　　孙启也表示，电子信息领域平台今年也将重点推动科技成果、落地的工作，“我们在探索，希望通过首都科技条件平台的资源优势，把手中拥有的许多科研成果推广下去，特别是找到一些企业进行科技成果的产业化”。

标准化推进专项资金怎么用?上海市质监局日前公布方案，项目重点支持推进重大战略实施的配套项目、推进重点领域发展的突出项目，以及推进重要创新实践的突破项目。　　具体支持现代服务业领域，涉及金融服务、物流服务、高技术服务、商务服务、设备监理工程咨询服务、航运服务、电子商务、会展服务、人力资源服务等生产性服务业 商贸服务、旅游服务、居民服务、文化产业服务、体育产业服务等生活性服务业等。　　对战略性新兴产业领域，下一代信息网络、电子核心基础、高端软件和新兴信息服务等新一代信息技术产业 航空装备、卫星及应用、轨道交通、海洋工程装备、智能制造装备等高端装备制造 核电、风能、太阳能、生物质能、智能电网、储能电池等新能源产业 特种金属功能材料、高端金属结构材料、先进高分子材料与专用化学品、新型无机非金属材料、高性能纤维及复合材料、纳米和智能及其他前沿材料等新材料产业 新能源汽车产业 生物产业等成为重点。　　在先进制造业领域，机械装备、船舶 汽车 石油化工 精品钢铁 成套设备 电子、电气设备、智能运输系统 建材质量安全以及绿色建筑相关材料 家具、化妆品、纺织品、家用电器等消费品及安全要求，面向老年人、残疾人等特殊人群消费品等入选。　　现代农业领域包括美丽乡村建设 农村公共服务运行维护 农田水利、高标准农田建设等农业基础设施 农药、肥料、饲料添加剂等农业投入品安全控制 农产品质量安全及配套检测方法 农产品生产加工和流通 动植物疫病防控和生物安全 农技推广服务、农产品质量监管服务、农业信息化服务等农业社会化服务 现代林业 现代种业等。　　节能减排和环境保护，则考虑到用能产品能效、单位产品能耗限额、数据中心节能、节能计算评估标准、节能服务、节能量交易、能效持续改进标准等节能产业 污染控制技术与设备、环保产品、环保评价与服务、环境友好型产品等环保产业 矿产资源综合利用、再生资源回收利用、餐厨废弃物资源化利用、机电产品再创造等资源循环利用产业等。　　社会管理和公共服务领域包括公共教育 公共文化 公共体育 劳动就业服务和社会保险 社会救助、社区建设、社会福利、老龄服务等基本社会服务 人口和计划生育 卫生监督、职业安全卫生、医疗服务、中医药等公共医疗卫生 绿化和市容、水务、公共交通、公园和风景园林、智慧城市建设等公共基础设施管理与服务 校园安全、社会治安、危险化学品安全、消防安全、交通安全、地下空间安全、应急管理、防灾减灾、特种设备安全管理等城市运行安全 社会公益科技服务 公共行政服务等。　　此次专项资金向以上六大重点方向和领域倾斜，并且对纳入上海市标准化发展规划或工作重点计划，在标准制修订、承担标委会工作、示范试点和采用国际标准中已取得&ldquo 新突破、新成效、新进展、新水平&rdquo 的项目，予以优先考虑，重点资助。申请项目限于2013年5月1日至2014年5月30日获得批准的项目，标准化示范试点项目批准日期截至今年6月30日。