节流阀工作原理

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  • 恒温恒湿除湿空调的工作原理松越为你解答
    通常工业恒湿恒湿空调系统的包括三个的系统：恒温恒湿空调压缩制冷剂循环系统、恒温恒湿空调空气循环系统、空调电器自控系统 恒温恒湿空调压缩制冷剂循环系统：176杭州0703松越3320 低温低压的制冷剂气体被压缩机吸入并压缩成高温高压的制冷剂气体（压力和温度增加）,高温高压的制冷剂气体通过冷凝器（风冷或水冷）放出热量，冷凝成液体。通过截流装置（膨胀阀或毛细管等）节流后变成低温低压制冷剂液体进入低压的蒸发器，蒸发器中的液态制冷剂低压蒸发吸收空气的热量（从而空气被降温及除湿），最终制冷剂与空之间形成一定的温度差，液态制冷剂亦完全蒸发变为低温低压的气体回到压缩机压缩，完成制冷剂循环过程。恒温恒湿空调空气环系统： 风机将空气从回风口吸入，经过蒸发器（降温、除湿），加湿器加湿，电加热器加热升温后经送风口送到用户需的空间内，送出的空气与空间内的空气混合后回到回风口，从而形成一个空气处理循环。恒温恒湿空调电气自控系统：自动控制分部分又分为温、湿度控制及故障保护部分: 温、湿度控制是通过温、湿度控制器，将回风的温湿度与用户设定的温湿作对比，自动运行压缩机（降温、除湿），加湿器，电加热等元件，实现恒温恒湿的自动控制。故障保护控制是通过压力保护、延时器、继电器、过载保护等相互组合达到，对压缩机，风机，加湿器等元件进行故障保护的控制。恒温恒湿机由制冷系统，加热系统，控制系统，湿度系统，送风循环系统，和传感器系统等组成，上述系统分属电气和机械制冷两大方面。下面叙述几个主要系统的工作原理和工作过程。恒温恒湿除湿空调的工作原理松越为你解答1.制冷系统：制冷系统是恒温恒湿机的关键部分之一。一般来说，制冷方式都是机械制冷以及辅助液氮制冷，机械制冷采用蒸汽压缩式制冷，它们主要由压缩机，冷凝器，节流机构和蒸发器组成。如果我们试验的温度低温要达到-55℃，单级制冷难以满足要求，因此恒温恒湿机的制冷方式一般采用复叠式制冷。恒温恒湿机的制冷系统由两部分组成，分别称为高温部分和低温部分，每一部分是一个相对独立的制冷系统。高温部分中制冷剂的蒸发吸收来自低温部分的制冷剂的热量而汽化；低温部分制冷剂的蒸发则从被冷却的对象（试验机内的空气）吸热以获取冷量。高温部分和低温部分之间是用一个蒸发冷凝器联系起来，它既是高温部分的冷凝器，也是低温部分的冷凝器。 2.加热系统：加热系统相对制冷系统而言，是比较简单。它主要有大功率电阻丝组成，由于试验要求的升温速率较大，因此加热系统功率都比较大，而且在试验机的底板也设有加热器。3.控制系统：控制系统是综合试验箱的核心，它决定了试验机的升温速率，精度等重要指标。现在试验机的控制器大都采用PID控制，也有少部分采用PID与模糊控制相组合的控制方式。由于控制系统基本上属于软件的范畴，而且此部分在使用过程中，一般不会出现问题。恒温恒湿除湿空调的工作原理松越为你解答4.湿度系统：温度系统分为加湿和除湿两个子系统。 加湿方式一般采用蒸汽加湿法，即将低压蒸汽直接注入试验空间加湿。这种加湿方法加湿能力，速度快，加湿控制灵敏，尤其在降温时容易实现强制加湿。 除湿方式有两种：机械制冷除湿和干燥除湿。机械制冷除湿的除湿原理是将空气冷却到露点温度以下，使大于饱和含湿量的水汽凝结析出，这样就降低了湿度。干燥器除湿是利用气泵将试验箱内的空气抽出，并将干燥的空气注入，同时将湿空气送入可循环利用的干燥进行干燥，干燥完后又送入试验箱内，如此反复循环进行除湿。现在大部分综合试验箱采用前一种除湿方式法，后一种的除湿方法，可以使露点温度达到0℃一下。适用于有特殊要求的场合，但费用较贵。5.传感器系统：传感器主要是温度和湿度传感器。温度传感器应用较多的是铂电组和热电偶。湿度的测量方法有两种：干湿球温度计法和固态电子式传感器直接测量法。由于干湿球法测量精度不高，现在的恒温恒湿机正逐步的以固态传感器代替干湿球来进行湿度的测量。6.送风循环系统：空气循环系统一般有离心式风扇和驱动其运转的电机构成。它提供了试验机内空气的循环。
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    厂商： 杭州松越环境科技有限公司
    品牌： 松越/songye
    型号： SYHF-30
    价格： 3.99万元
  • 酒窖恒温恒湿机厂家及工作原理除湿机生产
    酒窖恒温恒湿机厂家及工作原理除湿机生产，酒窖恒温恒湿机是一款针对酒窖而设计的专业恒温恒湿设备，那么酒窖为什么需要恒温恒湿设备呢？用一句简单的话来概括酒窖——为酒提供理想的储藏环境！ 看起来简单但是要达到相应的标准却没有那么容易。首先，要有适合的湿度、温度，其次还要保证一个良好的通风环境，避免引起酒的震荡，并且于环境的清洁度也有很高的要求。这也是为什么酒窖恒温恒湿机在酒窖中起着举足轻重的作用的原因。酒窖通风换气的目的在于保持酒窖中良好的空气环境。酒精挥发过多而空气不流畅，则会形成易燃气体聚集，这是比较危险的。良好的空气环境还有利于室内人员的呼吸，以及保持酒窖的干燥度；此外不少酒品呼吸强烈，外来异味极易透过瓶塞瓶盖进入瓶内，以至被酒液吸收。尤其要提请注意，杜绝诸如洗涤剂、酱菜、臭豆腐、奶酪等散发强烈气味的物品进入酒窖。55%~75%左右的湿度对酒的储存都是可以的，太湿容易使软木塞及酒的标签腐烂，太干则容易让软木塞变乾失去弹性，无法紧封瓶日。湿度的精确控制是酒窖建造过程中需注意的一个问题。酒品对温度的要求同样也是非常苛刻的。葡萄酒的正常陈贮温度在10℃~16℃，不要超过24℃，否则名贵葡萄酒的风格将会受到破坏。不过最重要的是温度须恒长稳定，因为温度变化所造成的不仅仅是热胀冷缩易让葡萄酒渗出软木塞外使酒加速氧化，最主要是温度的突变会导致酒在陈年过程中产生不需要的物质，导致风味变异甚至引发酒的变质。所以只要能保持恒温5℃到20℃都可接受，不过太冷的酒窖会使酒成长缓慢，须等更久的时间，太热则又成熟太快，较不丰富细致。因此在恒温的控制上，是酒窖设计的关键。酒窖恒温恒湿机厂家及工作原理除湿机生产专业的恒温酒窖,会根据葡萄酒实际储藏条件，设计并安装酒窖酒房恒温系统，精确达到恒温,恒湿,通风,避震,避光的条件,这样才可以让美酒的生命更长久。酒窖恒温系统的设计所需的不可或缺设备就是恒温恒湿器了，，具体可找专业公司设计、报价，酒窖的设计并不是一件容易的事情。酒窖不一定要设在地下，然而地下可以提供酒品贮存的较好条件，地下酒窖在恒温、避光、防震等方面具有得天独厚的优势。若设在地面上，则酒窖需采取一定的保护措施，以使酒品贮存得到保障。酒窖恒温恒湿机组具有恒温、恒湿、除湿、加湿等多种功能。酒窖恒温恒湿机是非常专业的机电设备，人们对其认知不足，在选配时往往按被除湿场所的面积进行简单选型。酒窖温湿度有着严格的区间要求范围，属于工艺性需求储存藏所。因此，酒窖恒温恒湿机等除湿设备不能单纯依据使用场所的面积来选型，专业酒窖恒温恒湿机供应商是根据使用场所的总体湿负荷而选型。具体而言，是依据其面积、层高、初始湿度值目标湿度值、室内密闭程度、散湿源、新风补给等综合因素计算得出全制冷量、单位时间除湿量/加湿量，以及制冷量/制热量等关键参数后进行除湿机综合匹配。1、工作条件： 本机组适用于有回风系统的空间，不适用于全新风系统。正常工作条件为5～43℃。2、制冷原理： 高压液态制冷剂经过滤器流出，经膨胀阀节流降压而进入蒸发器，由于压力降低，制冷剂在蒸发器中不断吸收空气传给蒸发器的热量而蒸发为蒸汽，蒸汽再由压缩机吸入，经过压缩后的高温高压气体进入风冷冷凝器中，热量被冷凝器散热带走，制冷剂成为高温高压液体，再经过过滤器后到膨胀阀，如此循环不断，将室内热量移出室外，使室内温度得以降低。3、加热原理： 当被调节空气的温度低于所需温度时，恒温恒湿机电脑控制器就接通电加热器，将空气加热，通过风机送至被调房间达到加热的目的。4、除湿原理：当被调节空气中的湿度大于所需值时，空气经过蒸发器被冷却到露点温度以下，析出空气中的水分，而达到降湿的目的。5、加湿原理：当被调节空气的相对湿度低于所需值时，恒温恒湿机电脑控制器接通电极式加湿器，使电极式加湿器工作，将水加热沸腾成为蒸汽，通过风机送入空调房间，达到加湿目的。
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    厂商： 杭州松越环境科技有限公司
    品牌： 松越/songye
    型号： SYHF-3
    价格： 5000 - 9999元
  • 一体化节流装置差压式孔板流量计
    一体化节流装置差压式孔板流量计是将标准孔板与3041S-DP型差压变送器配套组成的高量程比的差压流量装置。目前被广泛应用于冶金、石油、化工、供水、供热、环保、电力等行业领域的过程控制及流量计量。其中节流装置又称为压差式流量计，是由一次检测件（节流件）和二次装置（差压变送器和流量显示仪）组成，其适用于气体、液体及蒸汽的流量计量与监测。 一体化节流装置差压式孔板流量计的工作原理节流装置测量流量的原理是依据著名的伯努利流体力学原理，在管道中安放一节流件，有流体流过节流件时，会在节流件两侧产生一个压力差（压差为P），这时的流量与差压的平方根成正比，即：Qv=AC/sqr（1-β⁴ ）εd ² sqr（△P/ρ）其中式中：A——常数C——流出系数β——直径比（=d/D）d——节流件孔径（mm）Ε——可膨胀性系数Δp——节流件前后的差压（Pa）P——工况下流体的密度（kg/m³ ） 外形结构：节流件：标准孔板、标准喷嘴、长泾喷嘴、1/4圆孔板、双重孔板、偏心孔板、圆缺孔板、锥形入口孔板等取压装置：环室、取压法兰、夹持环、导压管等；连接法兰（国家标准、各种标准及其他设计部分的法兰）、紧固件。测量管所需的参数1、管道的孔径（管径×壁厚）2、孔板流量计所测量的介质3、被测量介质的工作温度4、被测量介质的工作压力（最大压力、最小压力、正常压力）5、被测介质的工作流量范围（最大流量、最小流量、常用流量）6、被测介质的粘度 孔板流量计的基本参数1、公称直径：20mm≤DN≤2400mm2、公称压力：PN≤10MPa3、工作温度：-50℃≤t≤550℃4、量程比：1:35、精度： 1.5 级 产品特点1、标准型节流装置无须实流校准，即可投入使用2、具备完善的自诊断功能3、孔板计算采用国际标准与加工4、节流装置的结构易于复制、牢固、简单，性能可靠且稳定，使用期限长，价格低廉5、可同时显示累计流量、瞬时流量、温度、压力6、配有多种通讯接口，稳定性高7、智能孔板流量计其量程可自编程调整8、采用单晶硅智能差压传感器9、一体式结构孔板安装更简单维护方便，无须引压管，能够直接接差压变送器和压力变送器10、具有在线、动态全补偿功能外还具备了自诊断、自行设定量程功能产品选型表UH-LGB孔板流量计代号按照结构特征分类K孔板代号公称压力（MPa）1.01.01.61.62.52.54.04.01010X特殊要求可定制代号口径（mm）20-240020-2400代号按结构形式细分H标准孔板（环室）Y标准孔板（法兰）K标准孔板（钻孔）D多孔孔板Q圆缺孔板P偏心孔板代号介质L液体G气体S蒸汽Sh高温液体 节流装置订货咨询书被测介质_____________ （介质成份）：_____________（%）大流量_____________ （要包含量纲）刻度流量_____________常用流量_____________“ 单位 "小流量_____________“ 单位 "平均操作表压力_____________ 当地平均大气压_____________mmHg平均操作温度_____________℃介质重度_____________kg/㎡工作状况介质粘度_____________UP充许压力损失_____________pa20℃时管道实际内径_____________mm外径×壁厚_____________mm管道材料__________________________孔板前后现场直管段长度_____________mm气体介质相对温度：Ø =_____________%水平或垂直安装：（1）水平__________（2）垂直向上__________（3）垂直向下__________
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    厂商： 上海有恒测控有限公司
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    型号： UHLGB
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  • 石油、天然气钻采行业用节流阀

    节流阀是石油、天然气行业井控装置用于节流管汇中的核心部件，其功能是在实施油气井压力控制技术时，借助它的开启和关闭维持一定的套压，将井底压力变化稳定在一定窄小的范围内。节流阀的节流元件，大多数采用针形阀结构；也有的是筒形橡胶，由气液驱动橡胶筒外壁来改变其内孔大小；还有的是利用两块重叠金属板，靠其相对转动来改变孔口大小。尽管节流阀结构各异，但原理都是通过改变流体通道大小，使钻井液流过节流元件的阻力大小不同，造成的井口回压也不同，通孔越小阻力越大，回压也越大；通孔越大阻力越小，回压也越小，从而达到节流的目的。节流管汇中的节流阀主要分为两大类，固定式节流器和可调式节流阀。可调式节流阀按照阀瓣的结构可分为针形节流阀、筒形节流阀、笼套式节流阀和孔板式节流阀等。其操作方式有手动、气动、电动和液动。节流阀是石油、天然气行业井控装置用于节流管汇中的核心部件，其功能是在实施油气井压力控制技术时，借助它的开启和关闭维持一定的套压，将井底压力变化稳定在一定窄小的范围内。节流阀的节流元件，大多数采用针形阀结构；也有的是筒形橡胶，由气液驱动橡胶筒外壁来改变其内孔大小；还有的是利用两块重叠金属板，靠其相对转动来改变孔口大小。尽管节流阀固定式节流器的流量是固定不变的，可根据需要更换不同尺寸的节流嘴而得到不同的排量，固定式节流器与可调节流阀配合使用，通常先使用可调节流阀，当井涌量大时才用固定式节流器配合。固定式节流器不是一个阀，而是一个整体装置，里 面有一短接或一节管子。它的尺寸在APISpec6A中有描述。这种提供节流嘴的短节是可以更换的，通过改变其尺寸大小可得到所希望的流量。流量的变化是靠更换具有另一孔径的节流嘴来实现的。固定式节流器适用于压力固定的情况，例如采油树。固定式节流器用于油井（采油树）上，有加热式和非加热式两种。加热式节流器由节流阀体、加热套和油嘴构成，如图11-4所示。（1） 针形节流阀针形节流阀用于节流管汇、髙压油气井口装置等。 针形节流阀有手动和液动两类。此处仅简介手动针形节流阀。针形节流阀主要由法兰、阀体、〇形密封圈、盘根盒、压盖、阀杆、手轮、阀座、轴承、压帽、阀针、螺母、键等组成。一对隐入式节流头和阀座，减少禽速流体造成的损害，一个顶盖大螺母，方便维护保养，测试口便于安装压力检测仪表，如图11-5所示。针形节流阀广泛用于井口系统、管汇、测试等目的。（2） 筒形节流阀筒形节流阀其阀芯为筒形，为整体硬质合金；阀座内圈镶硬质合金；阀盖与介质接触端堆焊有硬质合金， 使之具有良好的耐磨性和耐蚀性。在阀的出口通道上嵌有尼龙的耐磨衬套，以保护阀体不受磨损。筒形节流阀靠液压的推动（图11-6）或手轮的转动 （图11-7）来调节阀瓣的开关，具有流体流动性能好、 振动小的特点。筒形阀瓣由前后止动帽、带槽圆螺母等固定在阀杆上，随阀杆的上下移动调节流量，阀瓣和阀座内套均采用YG8制成，具有耐腐蚀、耐冲刷的性能。 阀体与阀盖、阀体与液缸间用0形密封圈、唇形圈密封。用螺栓连接，且连接部位凸出，远离内腔，消除了腐蚀介质对螺栓和螺孔的侵蚀，并减小了螺栓载荷。手动节流阀由手轮直接与阀杆连接驱动阀芯工作，为减轻操作力矩，也可以在手轮和阀杆之间增加一个带有伞齿轮结构的省力机构（图11-8）。液动筒形节流阀的阀盖尾部是液缸及活塞，靠液压油推动活塞带动阀杆，再带动阀芯前后推进，使阀芯与阀座之间的流道面积改变达到节流目的。为使操作控制台的人员能知道节流阀的开度，故在阀盖的液缸外端装有阀位变送器。液动筒形节流阀具有如下特点：①它具有较好的耐蚀性，耐冲刷性能；②筒形阀芯和阀座内圈为硬质合金，且能颠倒使用，增长了使用寿命；③较大的阀体腔和筒形阀体结构，较之通常的针形节流阀，它具有较大的流量，采用侧进正出的流向，其筒形阀板周围的导筒减少了节流时的振动，减少了噪声；④阀位变送器能借助气压信号，将节流阀阀芯的实际开关位置输送到控制台上显示出来；⑤操作者通过控制台能远程控制节流阀的开关。 操作手动筒形节流阀时，顺时针旋转手轮，开启度变小并趋于关闭；逆时针旋转手轮，开启度变大，节流阀的开启可以从护罩上的刻度显示出来。在旋转手轮快到行程终点时，不可太快，以免损伤阀杆和限位帽。节流阀只能控制压力和流量用，绝不能作截止用，即阀芯与阀座之间不能起密封作用。（3）笼套式节流阀笼套式节流阀利用带孔的笼套结构来改变流体方向，并利用流体力学原理使流体沿笼套的中心线运动，避免对节流元件的冲损和腐蚀，减少运行噪声。 笼套式节流阀可以提供一个可变的流量，且节流通径有较大的调节范围，但是如果要求流量不变时，该节流阀也能够在某一位置，提供固定的流量，这样可以满足用户的不同的流量需求。笼套式节流阀阀芯组合的内部和节流阀阀杆头部都采用碳化钨材料，耐蚀、耐冲损，具有很长的使用寿命。阀体上设有泄压阀，以方便操作者在打开阀盖前安全地释放腔内的压力。阀盖的密封采用了特殊的结构形式和密封材质，耐高压、密封可靠、寿命长。 笼套式节流阀的节流元件采用碳化钨材料，上下多点固定，节流范围广，噪声低，耐高冲损，环形空间有助于减少阀本体腐蚀。笼套式节流阀多孔多向消除能量，可消除紊流冲损现象，大大延长了安全使用寿命，降低了停产维修率。笼套式节流阀维护方便，而针式节流阀由于结构本身的特点使其具有结构简单、价格低廉的特点，同时节流阀针头易损坏，寿命短，针头破损的碎块冲入管道中存在着潜在的危险。这些情况增加了油气井开采后期的作业成本，而且还造成由于更换节流阀而停井的间接油气产量的损失。笼套式节流阀分为活塞笼套式和套筒笼套式。①活塞笼套式如图11-9所示，利用活塞在笼套位置不同实现节流目的，主要用于高流速、中压降的工况。主要应用于海洋及陆地的井口、管汇、分离器、气举、注气。泥浆循环和地面高压注采气等管汇设备。孔板式节流阀（图11-11）分为手动孔板式节流阀和液动孔板式节流阀。孔板式节流阀具有以下特点：①阀杆与阀体之间采用螺栓相连，具有连接安全可靠等优点。②手动孔板式节流阀采用省力结构，靠手轮的传动来改变节流口径，孔板式节流阀采用四缸连动的液动驱动器来驱动，具有开关灵活，操作方便等优点。③流动孔板式节流阀在驱动器上安装有角位变送器，可在液控箱中能瞬间观察到节流孔的面积。④阀杆密封采用0形圈及其四氟圈的双重密封， 在保证密封性能的情况下，降低了阀门开关力矩。⑤阀板是以轴线为旋转轴的关闭件，既起调节流体节流面积的作用，又起关闭流体的作用。⑥手轮以逆时针方向旋转为幵，顺时针方向旋转为关。⑦孔板式节流阀同其他各种节流阀相比，具有zui长的使用寿命，zui具抗冲损及磨损的能力。⑧孔板式节流阀适用于钻井、压裂、泥浆循环和地面高压注气采气等设备。该阀zui显著的特点是在于当被关闭时，进、出口之间的压力差，能使两块孔板紧紧地压在一起，实现密封切断的功能。尤其是在遇到压力突然升高或因泄漏造成的压力突然降低等紧 急突发事件的情况下，可通过预先设置的高、低压传感器压力信号值，使其自动关闭和切断，因此可避免重大危险事故的发生。节流阀用于调节介质流量和压力。截止型节流阀够在较大范围内调节，也能进行调节，但口径较小，适用于中、小口径，蝶式节流阀适用于大口径。节流阀不宜作为截断阀用，节流阀若是长期用于节流，其密封面必然会被冲蚀，而不能保证密封性。

  • 化学气相沉积CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

    化学气相沉积CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

    [color=#ff0000]摘要：对标MKS、VAT和CDK等公司的下游排气高速节流阀系列产品，本文介绍了相应的国产化替代方案和产品。基于CVD工艺，技术方案将下游流量调节阀变为了下游压力调节阀，并采用分体结构，将调压阀与PID控制器分离，调压阀具备大口径和高速功能，电子气控驱动调压阀快速动作，PID控制器接收真空计信号和控制气控驱动阀，可实现阀门全开时间小于0.1秒。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#ff0000]一、背景介绍[/color][/size]在各种化学气相沉积CVD工艺中，腔室上游为各种工作气体的进气端，腔室下游布置节流阀和真空泵，使得工作腔室内的工作气压在高温条件下按照设定程序进行控制。为达到较高的工艺质量，在CVD工艺中真空度的控制需达到以下几方面的要求：（1）下游控制方式：因为在CVD工艺过程中的真空度并不高，基本在10~500Torr范围内，在此范围内的低真空控制，采用下游控制方式可以达到较高精度，且控制速度很快。而上游控制方式则很难达到满意的控制效果，上游控制方式一般适用于较高真空度的低压控制。（2）高速调节能力：CVD工艺过程中，除了开始阶段的真空度缓慢调节控制之外，在温度突变过程中要求具备快速调节和恒定真空度的能力，这就要求下游调节阀门的响应速度极快，阀门从全闭到全开的时间至少不能大于1秒。（3）大口径：作为下游控制模式，节流阀安装在工作腔室和真空泵之间，要求具有较大口径以满足真空的快速抽取和控制。（4）易维护：CVD工艺中会有大量微尘抽出排放，尽管使用了过滤装置，但还是会对节流阀产生污染，由此要求节流阀便于拆装清理而不影响使用。目前市场上能满足CVD工艺上述要求且应用较多的节流阀是MKS、VAT和CDK等国外公司的系列下游排气高速节流阀，系列节流阀的全开速度在0.2~1.7秒范围内，口径1.270~2.362英寸，并集成了蝶阀、步进电机和PID控制器。目前MKS的下游节流阀在CVD工艺中应用比较成熟，但存在价格偏高和货期较长的问题。针对此问题，本文提出了相应的替代方案，介绍了相关产品，以期在国产化方面做出尝试。[size=18px][color=#ff0000]二、国产化替代方案[/color][/size]国产化替代方案主要包括以下几方面的内容：[color=#ff0000]2.1 压力调节方式[/color]目前MKS公司的下游节流阀是一种流量调节阀，通过调节蝶阀的开度大小来调节排气流量，与进口流量达到平衡来实现工作腔室内真空度的控制。我们的方案是直接采用压力调节阀，通过调节工作腔室排气口处的气压来实现腔室真空度控制。调压方式同样可以实现真空度的准确控制，特别是在CVD的低真空（高气压）工作区间内，排气量会更少，能节省工作气体的排放。[color=#ff0000]2.2 分体结构[/color]与MKS下游节流阀的集成式结构不同，我们将阀门和PID控制器进行了模块分离。采用分体结构主要出于以下几方面的考虑：（1）采用独立的2通道PID控制器。这种PID控制器具有24位A/D和16位D/A的超高精度，更能保证真空度的控制精度，同时具有40多种信号输入类型，即可用来控制真空度，也可控温等。（2）2通道PID控制器可以连接两个不同量程的电容式真空计，并具有真空计自动切换功能，由此可实现全量程范围内真空度的自动测量和控制。如果只连接一个真空计，另外一个通道可连接温度传感器进行温度控制。（3）很多CVD设备都配备了独立且功能强大的PLC控制系统用来进行真空度、温度和流量等电气参数控制，同时也具备达到一定精度的PID控制功能。分体结构可以使PLC系统直接去控制阀门，避免功能的重复，有利于降低造价。[color=#ff0000]2.3 气控驱动压力调节阀[/color]有别于美国MKS公司下游节流阀所采用的高速步进电机驱动蝶阀，我们的技术方案是电子气控先导阀驱动阀芯位移，由此可带动阀芯实现高速位移和压力调节。针对不同口径采用相应规格阀芯，内部阀芯非常便于拆卸、更换和清理。[size=18px][color=#ff0000]三、国产化相关产品[/color][/size][color=#ff0000]3.1 大口径高速真空压力调节阀[/color]新推出的国产化EVR系列（EyoungVacuum Regulator）真空压力调节阀及其内部结构如图1所示。[align=center][img=,690,348]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020854523534_9772_3384_3.png!w690x348.jpg[/img][/align][align=center]图1 国产EVR系列真空压力调节阀及其内部结构示意图[/align]EVR系列真空压力调节阀是一种常闭型调压阀门，可直接对气密性容器的真空压力（负压或正压）进行高速调节，调节方式采用顶部气控先导阀，先导阀可采用手动和电子控制形式。EVR系列产品可配各种手动和电子控制形式的先导阀，可形成开环和闭环控制回路。通过外接真空计和真空压力控制器相结合，可构成闭环形式快速高精度可编程真空控制回路。EVR系列真空压力调节阀的技术参数如表1所示。[align=center]表1 EVR系列真空压力调节阀技术参数表[/align][align=center][img=,550,299]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020928417726_9841_3384_3.png!w690x376.jpg[/img][/align][align=left][color=#ff0000]3.2 两通道24位高精度多功能PID控制器[/color][/align][align=center]对标英国欧陆控制器，国产VPC-2021系列PID控制器是多通道、24位A/D和16位D/A、可编程的通用型PID控制器，如图2所示。VPC-2021系列PID控制器可进行真空度、温度、流量和转速等多种参数的精密控制，功能十分强大，且性价比非常高。[/align][align=center][img=,500,260]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020929494455_1310_3384_3.png!w650x338.jpg[/img][/align][align=center]图2 VPC-2021系列高精度PID程序控制器[/align]VPC-2021系列控制器主要性能指标如下：（1）精度：24位A/D，16位D/A。（2）最高采样速度：50ms。（3）多种输入参数：47种（热电偶、热电阻、直流电压）输入信号，可连接各种温度和真空度传感器进行测量、显示和控制。（4）多种输出形式：16位模拟信号、2A (250 VAC）继电器 、22V/20mA 固态继电器、 3A/250VAC可控硅。（5）多通道：独立1通道或2通道输出。2通道可实现温度和真空度的同时测控，报警输出通道可用来控制旋转电机。（6）多功能：正向、反向、正反双向控制、加热/制冷控制。（7）PID程序控制：改进型PID算法，支持PV微分和微分先行控制。可存储20组分组PID，支持20条程序曲线（每条50段）。（8）通讯：两线制RS485，标准MODBUSRTU 通讯协议。（9）显示方式：数码馆和IPS TFT真彩液晶。（10）软件：通过软件计算机可实现对控制器的操作和数据采集存储。（11）外形尺寸：96×96×87mm(开孔尺寸92×92mm)。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

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