酒精中杂质检测

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酒精中杂质检测相关的仪器

  • 司法鉴定中心用酒驾血液中酒精检测顶空色谱仪 血液中酒精含量检测色谱仪配置 AHS-20Aplus全自动顶空进样器-GC-9860气相色谱仪,由北京北分三谱仪器有限责任公司开发的该仪器配有全自动顶空进样器,省略了繁杂的前处理过程,分析效率高,检测方法先进,仪器配置合理,操作方便简捷。适合各级交警部门及医院、司法鉴定中心配备 血液中酒精含量检测色谱仪配置 AHS-20Aplus全自动顶空进样器-GC-9860气相色谱仪新标准:GA/T842-2019替代GA/T842-2009血液酒精检测方法。 血液酒精检测原理:利用酒精的易挥发性,以叔丁醇为内标,用顶空气相色谱火焰离子化检测器进行检测,经与平行操作的乙醇标准品比较,以保留时间或相对保留时间定性,用内标法以乙醇对内标物的峰面积进行定量分析。 仪器分析范围:血、尿中乙醇、甲醇、正丙醇、乙醛、丙酮、异丙醇、正丁醇、异戊醇的定性分析及乙醇、甲醇、正丙醇的定量分析。检测血液中酒精含量是按照中华人民共和国公共安全行业标准GA/T842-2009中规定分析要求、分析条件,能快速、准确的分析出人体血液中的酒精含量。可满足全国各地*司法部门的需求。 仪器配置:司法鉴定中心用血液中酒精检测顶空色谱仪 仪器配置表序号名称规格型号单位数量产地1气相色谱仪GC-9860(PIP+FID)台1北分三谱2顶空进样器AHS-20A plus台1北分三谱3空气发生器BF-2L台1北分三谱4氢气发生器BF-300E台1北分三谱5氮气钢瓶40升瓶1北京6乙醇分析专用柱30m根1北分三谱7标准溶液(标样)7支/套,含内标一支支1市售8色谱工作站BF-2002套1北分三谱9电脑打印机台1市售1020Ml顶空瓶含盖+垫盒1北分三谱11压盖钳与顶空瓶配套使用把112分析天平精度0.1mg台1市售13移液器1ml、0.1ml支2 售后服务本公司售后派技术人员免费安装、启动和调试,负责对实验人员的专业培训,实行“交钥匙" 工程。整机保一年,终身维护。 产品介绍 GC-9860型高端气相色谱仪是在本公司GC-9660的基础上升级换代产品,外观大气、结构合理的设计,同时加载了我公司自主研发的中英文显示技术。使其的自动化水平和整体性能得到了大幅提高。高稳定、高灵敏的微电流放大技术使FID检测限显著提高,新型的热导检测器灵敏度提高5倍。缩短了国产机型与进口机型的差距,能满足石油、化工、制药、食品、环保、疾控、科研院校以及质检部门。主要技术指标:● 中、英文切换显示技术,5.7寸液晶大屏幕(320*240)。多达20个显示界面,信息量丰富,可储存20套色谱分析数据,并可随时调用。● 工业化设计外形,新颖大方、美观实用,结构合理,操作舒适。● 断气保护功能,保护色谱柱及热导池、电子捕获检测器等。● 八阶线性程序升温功能及智能双后开门设计,真正实现了近室温控制,控温精度高达±0.1℃满足宽范围分析要求。● 完善的超温热保护及铂电阻开路、短路报警功能,保证仪器不受损坏。● 自诊断功能及故障中文提示,使用户方便的知道问题原因及部位。● 采用FLASH记忆系统,使数据保护不再依赖于电池。● 微机控制FID检测器实现了自动点火功能。● 高精度稳压稳流模式使气流精密稳定,实现了多路气路控制系统。● 高性能的毛细管汽化室,实现了真正意义上的分流/不分流进样系统。● 能同时安装1-4个检测器。可以双FID或双TCD或双ECD或双NPD运行。TCD带有双路柱后补充气,故可单柱、双柱、毛细管柱使用。● 能同时安装运行1-3套毛细管柱并可同时运行3个检测器。1台仪器相当于3台(柱室公用)。或双FID双毛。双TCD双毛。双TCD同时工作,互不影响,载气可相互独立。避免了更换色谱柱及检测器的繁琐。● 可实现检测器的串、并联使用,通过事件控制,进行智能自动转换。● 仪器可安装转化炉、热解吸仪、自动进样器、自动顶空进样器、裂解器等多种进样方式。可定时自动采样,实现自动在线分析。● 仪器特别适用于各类企业、技术监督局、环境监测、卫生防疫、大学院校、科学研究等部门。 技术参数:●外型尺寸:520×480×500mm (长×高×宽)●柱箱尺寸:260×250×150mm (长×高×深)●色谱柱安装跨度:152.4mm (6英寸标准接口)●色谱柱:填充柱外径 3 ~ 5mm ( 金属柱或玻璃柱)●仪器重量: 50Kg●功率:2500W ●电压:220±10%●柱箱控温范围:室温加5℃-400℃ (以1℃增量任设)●温度精度:不大于±0.1℃●温度梯度:±1%(温度范围100℃-350℃)程序升温●升温速率:0.1-50℃/min(以0.1℃增量任设)●时间设定:6000(min)●程序阶数:8阶检测器技术指标: 氢火焰离子化检测器(FID) ● 检测限:Mt≤2×10-12g/s (正十六烷); ● 噪音:≤2×10-14A(0.02mv) ● 漂移:≤1.5×10-13A/30min(0.15mv/0.5h) ● 线性范围: ≥107 ● 使用温度:≤450℃ AHS-20A Plus 全自动顶空进样器是我公司推出的一种价格低廉、性能卓越,应用广泛的新款气相色谱仪样品前处理设备,它能够快速准确地提取出任何基质中的挥发性化合物,并完整地传输到气相色谱仪。 该仪器采用7.0寸图形点阵液晶显示屏,界面友好,清晰简洁;以进样原理为主的动画显示与设置,无需花太多精力即可上手,方便使用者快速操作。主要技术参数:●样品加热范围:40℃—220℃,控温精度1℃ (可根据客户要求,配置到300℃) .●进样阀加热范围:40℃—220℃,控温精度1℃(可根据客户要求,配置到300℃)●样品传输管加热范围:40℃—220℃,控温精度1℃(可根据客户要求,配置到300℃)●温度精确性: 0.5% ●温度稳定性: ±0.5℃●加压时间:0—999S●采样时间:0—30min●进样时间:0—999S●清洗时间:0—30min*●时间间隔设定:1mS(0.001S)●加压压力:0~0.25Mpa (连续可调)●定量管体积:1ml(其他规格可定制,如0.5ml、2ml、5ml等)●顶空瓶规格:10ml或20ml (其他规格可定制,如50ml、100ml等)●样品工位:20位●可同时加热样品:1位●RSD:1.0% (100ppm乙醇水溶液) ●反吹清洗流量:0~100ml/min (连续可调)●同步启动色谱数据处理工作站、GC 或外部事件同步启动本装置●计算机USB通讯接口,所有参数均可由计算机设置完成,也可面板设置,方便快捷 仪器特点:▲全中文7寸液晶显示,操作简单,一键启动。自动加热平衡、加压、取样、进样、分析和分析后的吹洗等功能,更换样品瓶等实现流程全自动化。▲可预置20个样品,极大提高了时间利用率。无需人工干预,提高了分析工作的可靠性和一致性。▲具有完整的参数设置、实时工作状态,运行时间,年月日等。▲全面的通电自检功能,样品盘自动定位、部件故障、接线故障等自动报警。▲多种进样模式:单瓶多次、单瓶单次、多瓶单次。▲有多种故障判断处理模式,能自动判断样品瓶位置,可自动避开未装瓶的位置。在出现位置故障时,能避免撞瓶。在机械运动异常时,能自动停机并提示,有效的保证高精度运动的可靠并避免损坏。▲所有样品传输管路及定量环均采用进口高惰性脱活管路,无残留,无交叉污染,保证样品进样的重复性和准确性。▲六通阀与定量环组合方式,降低了死体积,保证了进样精度。▲六通阀与传输管线的连接点处于加热保温箱内,无传输冷点,保证了样品的完整性。▲采用经典正压取样方式,可以测定液体或固体样品,检测灵敏度高。常压进样,基线不漂移。▲全部动作采用电机驱动,不需外接驱动气体,使用安全方便。▲兼容性强,可与国内外各种气相色谱连接,可同步启动色谱及工作站,与色谱协同工作。▲可根据客户需要,选配不同工作温度的六通阀及进口惰性进样针。▲采用EPC电子流量控制,提高仪器可靠性(选配)。全面服务 在购买仪器前,我们会协助您全面了解仪器的性能特点及仪器选型的全面咨询服务。根据客户需求可以为您提供仪器的配套设备,如:色谱工作站、氮氢空发生器、标准品、色谱柱等。购买仪器后会派专业技术人员上门免费安装、启动和调试,并且本公司长期供应仪器的易损、易耗件。血液中酒精含量检测色谱仪配置AHS-20Aplus顶空进样器/顶空气相色谱仪
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  • 纸尿裤杂质检测仪 400-860-5168转6216
    纸尿裤杂质检测仪/婴儿纸尿裤杂质测定仪/成人纸尿裤杂质测定仪一,用途用于检测纸尿裤在一定的强光照射下,光线透过试样其内部残留的杂质主要是用来测试纸尿裤,纸尿片纸尿垫护理垫正常组分及形态以外的物质,比如尖锐物品,金属,陶瓷,玻璃,砂砾,塑料片等使用的仪器是婴儿纸尿裤杂质测定仪二,符合标准:GB/T 28004.1-2021附录C、GB/T 28004.2-2021附录C等。三,产品特点:1、光源为LED可调节光源。2、彩色触摸屏显示、控制,中、英文界面,菜单式操作模式。3、核心控制部件采用意法公司32位单片机组成多功能主板。4、删除方式采用选中删除,方便删除任意一条测试结果。5、仪器表面采用静电喷漆,经久耐用整机外观造型美观大方,便于清洁6、进口特铝拉丝面板、并配有金属按键。三,原理如下需要配备照明装置的工作台,而且是在可调节的透射光照射下观测被测试试样。标准杂质图片,不锈钢剪刀等。四,实验步骤:1.任取2 片试样,将一个试样平铺在照明装置(C.2.1)工作台表面,四角用夹子或魔术贴固定好,在透射光下检查试样面层、芯层和背面可见的杂质,眼睛观察时的明视距离为250 mm~300 mm。可根据试样厚度调整LED灯的照度。2. 对于芯层中的杂质,用不锈钢剪刀(C.2.2)剪开试样面层后,通过对比标准杂质图片鉴定杂质的大小。用不同标记圈出不同面积的杂质,通过对比标准杂质图片(C.2.3)鉴定试样上杂质的面积大小,也可采用按不同面积的大小,分别记录同一面积的杂质个数。3. 对于成团的杂质,例如塑料膜、无纺布碎片等,应将其展开后再通过标准杂质图片鉴定杂质的面积大小。婴儿纸尿裤杂质测定仪的结果的要求,任意一片尿裤中不应有大于5.0平方毫米的杂质。
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  • 得利特(北京)科技有限公司20多年专注于油品分析仪器的研发和销售活动,我公司产品有:开口闪点测定仪,闭口闪点测定仪,运动粘度测定仪,微量水分测定仪,颗粒计数器,酸值测定仪、界面张力测定仪、石油密度测定仪,自然点测定仪,空气释放值测定仪、馏程测定仪等多种润滑油分析仪器、燃料油分析仪器、绝缘油分析仪器,水质分析检测仪器、气体检测仪器,型号多,质量保证,可定制。得利特石油机械杂质检测仪A1280符合GB/T511标准,适用于测定石油产品中的各类轻、重质油、润滑油及添加剂的机械杂质的含量。可广泛应用于电力、石油、化工、商检及科研等部门。得利特石油机械杂质检测仪A1280仪器特点1.数码显示,智能温控表控温2.外观美观,测试方便,性能稳定可靠3.实现按标准要求的升温速率4.仪器主要由玻璃器皿、恒温水浴、真空 泵、电子控温箱组成得利特石油机械杂质检测仪A1280技术参数工作电源: AC 220V±10%,50Hz水浴加热功率: 1000W水浴控温范围: 室温~90℃内可调水浴温度显示: LED数字显示水浴控温精度: ±1℃漏斗控温范围: 室温~90℃内可调漏斗控温显示: LED数字显示漏斗控温精度: ±2℃环境温度: ≤35℃相对湿度: ≤85%整机功耗: 不大于1200W
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酒精中杂质检测相关的方案

酒精中杂质检测相关的论坛

  • 食用酒精挥发性杂质检测

    最近在做食用酒精挥发性杂质分析方法开发,最开始按照药典的方法(载气与药典不同,为氮气)测试,乙醛和甲醇分离度达不到1.5,在此基础上改变分流比,流速,进样量,最终效果都不好。然后将色谱柱更换为DA-WAX,重新按照药典的色谱条件进行测试,结果发现苯和乙醇峰重合,更改色谱条件仍不能将这两个物质分离开,求助各位老师有没有做过乙醇挥发性杂质方法开发类似经验,最后是怎么解决的?

  • 分析酒精中的有机杂质GC-MS定性问题

    用气质联用仪做定性分析,按照一般的定性分析方法,分析酒精中的有机杂质,若没有其他色谱峰,可不可以认为没有其他有机杂质呢?即使考虑检测器检测范围在1000分子量以内

酒精中杂质检测相关的耗材

  • FIT333 酒精检测仪 吹嘴
    FIT333酒精检测仪吹嘴FIT333酒精检测仪吹嘴FIT333酒精检测仪吹嘴 现货
  • PT500 酒精检测仪
    PT500 酒精检测仪 产品说明 一级报警,报警点可调。 2.酒精浓度单位转换(%BAC,mg/L,g/L,&permil BAC) 3.温度单位切换功能(华氏与摄氏) 4.吹气时间3&mdash 8秒可调节 5.吹气中断提示 6.酒精浓度超限自动报警 7.点阵液晶屏显示,英文操作界面 应用范围 型 号 Q3-1 传感器类型 燃料电池酒精传感器 工作电源 2节AA电池 使用环境 温度:10℃~40℃ 相对湿度:&le 95% 无结露 测试响应时间 <20s 测量范围 0.000~0.200 %BAC 报警浓度 0.020%BAC&mdash 0.080%BAC可调 精确度 0.040 ± 0.005mg/L 0.040~0.080 ± 0.008mg/L 0.080~0.200 ± 10% 显示方式 桔红色背光,点阵屏英文界面 重 量 &le 160 g (含电池) 外形尺寸 l× b× h,mm :128× 67× 32 电池使用正常测试次数 &ge 500次
  • FIT333酒精检测仪(警用)
    FIT333酒精检测仪(警用) FiT333是目前国际领先地位的全彩大屏幕、触摸输入操作、全中文的酒精测试仪 FiT333 是一台大内存酒精测试仪,可储存记录最多到20000条 最优化的15大特色 1.全彩屏幕、图形化用户界面,可触摸输入车牌号、驾照号、及执勤民警号等信息,并有自动复制功能。 2.国內第一、唯一可宽温操作,高性能、高稳定性 3.PDA 功能,按键、触感屏幕两用,快捷方便,全天候使用,无惧极低温环境。 4.普通5号1.2V镍氢可充电电池通用,抗高温、安全。{3.7V 锂电在高温,易爆炸} 5.自动吹气流量侦测与控制,能侦测出吹气作弊。 6.分级使用权限管理,超级用户可设置系统所有可用配置项 7.第一、唯一的个人化电源管理,可自动识别电池、可自动关机节约电能。 8.情景设置、背景、背光&hellip 9. USB端口系统更新,数据上载备份,使用方便 10.大容量内存设计,可储存记录最大到20000条(包括日期、时间、输入信息、测试结果及地点等&hellip ) 11.一键弹出吹嘴设计,不经人手、方便、卫生 (实用专利) 12.快捷键设计,可一键完成酒精浓度测试 13.平台式屏幕组装、打印主控结构轻易卸装。唯一(用户级别)可实现主体或无线打印,不需任何工具更换。 14.实时分析数数据,示波器方式实时显示。(实用专利) 15.自研发、生产,售后服务无忧 FiT333系列酒精测试仪产品特点 1.3.2寸TFT彩屏,全中文用户界面,可触摸&ldquo 车牌号&rdquo ,&ldquo 驾照号&rdquo 及执勤民警警号等信息 2.高精度测试呼出气体酒精含量,最多可显示3位小数 3.用户可自行选择mg/L、mg/100mL、%BAC、&permil BAC及其他定制单位 4.测试记录可现场打印,打印内容包括测试日期、时间、车牌号、驾照号、及执勤民警警号、酒精浓度结果、环境温度等信息 5.吹气气流自动侦测、智能判断,可准确的防作弊 6.具有主动与被动测试模式 7.可一键弹出使用过的吹嘴,方便、卫生 8.超级用户设定&ldquo 酒后驾车&rdquo 与&ldquo 醉酒驾车&rdquo 警告浓度。 10. USB接口可用于系统软件升级及记录数据上载到电脑 11.提供电脑数据管理软件,可直接导出为微软Excel 文档 12.-40℃-+85℃贮存温度,满足车载设备环境要求 传感器 燃料电池电化学传感器 产品标准 中国国标GB/T21254-2007标准 单机体积 190X78X33MM(LXWXH) 携带箱体积 420X320X110(LXWXH) 单机重量(包括打印机) 0.3kg(不包括电池、纸带) 电池 4节AA碱性电池或者可充电电池 外接电源 DC8-24V直流电源 电池寿命 300次(常温下) 预热时间 小于20秒(常温下) 相应时间 0.400 mg/l时不大于8秒工作温度 -20℃-70℃(推荐:0℃-40℃) 储存温度 -40℃-85℃ 检测范围 0.000mg/L-2.000mg/L(BrAC) 检测精度(常温条件下) ± 0.020mg/L(C0.400mg/L) ± 5%(0.400mg/L1.000mg/L) ± 20%(C1.000mg/L) 显示方式 全中文用户界面(其他语言可选择) 显示器 3.2英寸TFT彩色屏幕, 240X320 QVGA分辨率 报警点设置 具有自检、显示和报警功能,报警点可现场设置 输入方式 全屏触摸输入及多功能键配合 打印机(可选件) 58mm热敏打印机,可无线打印 打印输出 中文(其他语言可选择) 数据储存容量 最多20000个记录(包括日期、时间、输入信息、及测试结果等) 电脑接口 迷你USB转RS232接口,记录可上载至电脑,送管理软件 无线传输(可选件) 2.4GHz,ISM频带 无线数据传输距离 10米(无阻挡)

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  • 高纯试剂中杂质检测专题——工业甲醇中铵离子的测定
    01 引言 离子色谱法测定甲醇中铵离子 监测甲醇中铵离子含量在煤基合成甲醇工艺中具有重要作用。在煤基合成甲醇过程中,会产生一系列杂质气体 ,如 CO 、NH3 以及有机硫化物、氮的氧化物、煤焦油等,而铵离子会引起合成过程中的催化剂中毒失效,致催化剂效率严重下降;同时铵离子含量较高时会降低低温甲醇洗脱硫效率、对工艺设备有严重影响。因此,通过控制甲醇中铵离子的含量 ,可以防止催化剂中毒,提高转化率,降低成本。工艺控制中工业用甲醇中铵离子含量不得大于0.05mg/L.制定工业用甲醇中铵离子测定方法,是为工业甲醇的杂质检测提供一个试验方法,对指导甲醇为原料的相关生产过程的检测具有重要意义。目前甲醇中NH4+的测定都是采用离子色谱法,2022年3月1日开始实施国标《工业用甲醇中铵离子的测定离子色谱法》,下面小编分享下甲醇中NH4测定的离子色谱法。02 相关标准 GB/T 40395-2021《工业用甲醇中铵离子的测定离子色谱法》03 皖仪科技应对方案 皖仪仪器设备 试剂耗材 甲醇:色谱纯;铵根离子:ρ=1000mg/L;一次性注射器(0.5-2mL);有机系针式过滤器(0.22μm) 测试结果 标曲线性测试NH4+标曲重叠谱图NH4+线性说明:由于所有胺类物质一次线性范围均较窄,本次按照标准要求配置的标准曲线系列梯度范围较宽,因此,标准曲线采用二次曲线拟合,本次测试铵离子线性相关系数为R2=0.99996,线性良好。------ 重复性测试 ------ NH4+0.05mg/L连续3针测试谱图NH4+0.2mg/L连续3针测试谱图NH4+2.0mg/L连续3针测试谱图 ------ 重复性结果 ------ 说明:根据谱图及测试结果可见,所有组分定量重复性均小于1%,定性重复性均小于0.2%,测试重复性良好。------ 检出限 ------ 注:标准中规定,在进样体积为50μL下,测定下限为0.01mg/L,本测试以NH4+0.05mg/L进样,考察其峰高,取测试最大噪声,以3倍信噪比对应峰高为检出限。------ 测试结果 ------ 经计算,本次测试 NH4+检出限为 0.434μg/L,小于标准要求的 0.01mg/L。04 总结 结果表明 本文采用离子色谱法,对甲醇中 NH4+进行测定,准确度高,灵敏性好,精密度好,该法可用于甲醇中 NH4+的测定。05 注意事项 — END —扫描二维码 |
  • 岛津推出《药品中基因毒性杂质检测整体解决方案》
    药品中的杂质定义为无任何疗效、影响药物纯度且可能引起副作用的物质。其中,基因毒性杂质因其特殊性而倍受关注,其即便在低浓度条件下也有着重大的安全风险,会直接或间接导致人体DNA损伤,从而增加罹患癌症的风险。目前基因毒性列表中有1574种致癌物质,其中苯并芘、甲磺酸酯类、偶氮苯类、N-亚硝胺等物质属于高基因毒性物质。2018年7月份,国内某知名药企主动向监管机构提出基因毒性杂质问题,并发布公告称其公司在对某原料药生产优化评估过程中,发现并检定一未知杂质为基因毒性杂质亚硝基二甲胺(NDMA)。这一事件引发了行业震动,此后,多家制药企业被检测出原料药或者药品中存在NDMA和NDEA,并启动召回。除了缬沙坦外,其它沙坦类药物也成为检查重点。2019年初美国FDA连续发布多条召回,涉及印度、美国多家制药公司。据媒体报道,由于近期大面积召回,目前欧美市场上的缬沙坦制剂产品已经出现了一定程度上的短缺,缬沙坦风波事件也已经对相关公司的业绩产生负面影响。 2004年美国药品研究与制造商协会(PhRMA)发表意见书,引入了两个重要的创新理念:①遗传毒性杂质的五级分类系统,②临床实验材料的分期TTC概念。2006年欧洲药品管理局(EMA)颁布的《基因毒性杂质限度指南》自2007年1月1日起正式实施。该指南是第一个直接针对基因毒性杂质的监管规定,重点关注的是在新药合成、纯化和储存运输过程中,最有可能产生的实际潜在性的基因毒性杂质。2010年9月EMA颁布了《基因毒性杂质限度指南问答》,对《基因毒性杂质限度指南》中的若干问题进行了进一步解答,极大的完善了该指南。2008年12月美国食品与药品监督管理局(FDA)正式签发了《原料药和成品药中遗传毒性和致癌性杂质:推荐方法》,但于2015年5月28日撤回。2015年5月,FDA在内的人用药品注册技术要求国际协调会议(ICH)推出原ICH M7指南《评估和控制药物中的DNA反应性(致突变性)杂质以限制潜在的致癌风险》。这是监管机构和行业一致同意的国际统一指导。 ARBs亚硝胺杂质可接受摄入量(AI)临时限值表 高选择性、高灵敏度的分析仪器是药品中基因毒性杂质检测的首要保证。如岛津公司三重四极杆型气相色谱质谱联用仪GCMS-TQ8050 NX,其MRM采集模式完美解决药品基质复杂问题,2.5μg/L标液NDMA信噪比为55,NDEA信噪比为78,完全满足FDA发布的AI临时限值要求和国家药典委员会发布的限值要求。目前用于痕量物质分析的技术,如气相色谱质谱联用法、液相色谱质谱联用法等等,可以对痕量物质进行快速定性、定量分析,为药品中基因毒性杂质检测提供可靠依据。 岛津公司作为全球著名的分析仪器厂商,长期以来一直关注国内外各行业相关标准法规的颁布与实施,积极应对,及时提供全面、有效的整体解决方案。为了应对制药行业相关用户对基因毒性杂质检测的需求,岛津公司推出了《药品中基因毒性杂质检测整体解决方案》,汇编了药品中磺酸酯类、亚硝胺类、残留溶剂类等基因毒性杂质检测的应用报告。
  • 赋能创“芯” | 电子气体中离子态杂质检测的先进技术探讨
    电子气体电子气体广泛应用于半导体制造的诸多环节,包括清洗、离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,因此被称为芯片制造的血液。集成电路产业的快速发展,为电子气体国产化发展带来了机遇,同时国产化也面临着分离纯化、分析检测等多方面的挑战。赛默飞凭借其离子色谱的技术优势,与电子气体各细分领域客户通力合作,开发了多种电子气体中无机阴离子和铵根杂质检测的全面解决方案。电子气体国产化所面临的挑战 电子气体是晶圆制造的第二大耗材,在集成电路生产环节,使用的电子气体有近百种这些高纯气体从生产到分离纯化,以及运输供应阶段都存在较高的技术壁垒,特别是在气体纯化方面,涉及的高性能催化材料、过滤吸附等设备都需要大量研发投入。电子气体用途多、用量大,电子气体中的杂质含量直接影响最终芯片的良率和可靠性,赛默飞离子色谱系统可为电子气体中超痕量阴离子和铵根的测定提供同时测定方案,整个系统“只加水”不需要引入任何外接试剂,完全避免引入人工操作带来的污染和试剂中杂质的干扰,获得极低的系统背景和噪音;且对于复杂的气体吸收样品,赛默飞提供了中和、排斥、在线固相萃取、浓缩等多种谱睿技术,帮助客户实现复杂样品的在线基质消除,具有灵敏、抗干扰、稳定、高效、便捷的特点。离子色谱检测高纯气体吸收液样品流程示意图(点击查看大图) 电子级二氧化碳中痕量阴离子和铵根的检测方案 半导体工业中,高纯电子级二氧化碳主要用于清洗技术和沉浸式光刻技术,二氧化碳的超临界特性在加工过程中对芯片的损坏降至最低,有着广泛的前景。国际半导体设备与材料组织(SEMI )在2018年C55-1104中,对二氧化碳产品的纯度要求要达到 99.999% 以上,发展至今,相关企业对二氧化碳产品的纯度要求已达到 9N级,对阴离子杂质和铵根的限度要求达到 ppb ~ppt级。在样品测定时,电子级二氧化碳通过流量泵通入超纯水中,调节吸收时间和吸收体积,测定最终吸收液中的阴离子和铵根含量。常见的吸收方法有离线吸收、半自动吸收和全自动在线吸收。阴离子分离谱图(点击查看大图)铵根分离谱图(点击查看大图)各种离子的定量限(点击查看大图)滑动查看更多赛默飞 ICS-6000 通过大体积上样和谱睿技术去除二氧化碳基质,并对样品进行浓缩,再进入离子色谱进行分析检测。在所示色谱条件下各种离子的定量限可达到0.2ppb,该方法加标测试满足要求,准确度较高,连续运行结果稳定,可用于电子级 CO2 吸收液中杂质铵根离子和阴离子的分析。该方案同样适用于非反应型惰性气体,也可以应用于高纯气体净化材料和设备的性能考察。 三氟化氮中可水解氟化物的检测方案 高纯三氟化氮(NF3)具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时是非常良好的清洗剂,主要用于等离子体刻蚀和化学气相沉积(CVD)的清洗。随着集成电路制程技术节点的不断减小,高纯三氟化氮的需求快速增长,气体中杂质的检测也备受关注。SEMI组织在2018年C3.39-1011中,对三氟化氮的纯度要求要达到 99.98% 以上,对氟离子的限量要求为小于0.1ppm,用的是氟离子选择性电极测定方法。该方法操作繁琐,影响因素多,且重复性不佳。在GB/T21287-2021电子特气三氟化氮中 气体纯度要求达到5N级,氟离子的限量要求为0.5ppm,已采用离子色谱法测定氟离子的含量,分析效率大大提高。 // 在电子工业迅猛发展的推动下,国内三氟化氮的生产制造水平已与国外发达国家水平相当,目前相关企业对氟离子的限量要求达到ppb级。赛默飞Aquion RFIC离子色谱系统,通过大体积进样和特有的色谱分离技术,可避免基质影响满足三氟化氮中痕量氟离子限量检测要求,该方法分析时间短,无需手配淋洗液和再生液,操作便捷,系统稳定可靠。Aquion RFIC 三氟化氮吸收样品谱图(点击查看大图)在GB/T21287电子特气 三氟化氮中采用了多瓶串联的吸收方式,这种方法也是经典的吸收装置,第一瓶作为吸收瓶,判断吸收是否充分,第二瓶可作为吸收瓶,同时也作为空白瓶提供背景值。通过这种方式既可以判断吸收效率,调节气体流速,还可以提供时时背景,获得更准确的测定结果。三氟化氮吸收装置图(点击查看大图)电子气体的吸收率是值得关注的问题,特别是反应型气体如SiF4 、BF3等,除吸收率外,还要关注反应产物对检测结果的影响。赛默飞期待与更多客户通力合作,探讨更多电子气体的吸收与基质消除技术,共同开发更多电子气体中痕量杂质的检测方法。 赛默飞半导体材料全面解决方案 除了电子气体的分析方案外,赛默飞开发了针对半导体材料包括硅片、光刻胶及辅材、湿电子化学品、靶材的全面解决方案,包括独家的Orbitrap技术对于未知物解析、不同批次样品的差异分析,以及高纯金属、靶材直接进样分析的GDMS技术等,尽在《赛默飞半导体材料检测应用文集》,长按识别下方二维码即可下载或点击阅读原文进入半导体解决方案专题页面获取更多解决方案!

酒精中杂质检测相关的试剂

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