光学瓦斯检测

棕黄色的液体、异域风情的包装、性感的俄罗斯美女……娃哈哈格瓦斯饮料自从2013年上市后便给众多消费者留下了深刻的印象。但是近日，沈阳的杨先生在辽宁消费维权网投诉，说自己喝了格瓦斯后出现过敏现象，而娃哈哈方面拒绝承担责任，目前双方陷入僵持。 杨先生反映，喝完娃哈哈格瓦斯后手脚都起了小红点 　　本想尝尝鲜结果尝过敏了 　　据反映，6月18日，杨先生在沈阳大东区华润万家超市购娃哈哈格瓦斯饮料一瓶，由于之前并未喝过，电视上还总能看到格瓦斯的广告，所以杨先生当晚就喝掉了。第二天早晨，杨先生就发现自己手脚指甲周围起了许多小疙瘩。杨先生以为蚊虫叮咬，所以并没在意，只是买了一些蚊香。 　　6月20日，杨先生又去超市购买了5瓶娃哈哈格瓦斯饮料，晚上喝了两瓶。6月21日早晨，杨先生发现手脚上的小疙瘩变红并且增多，手脚起皮。杨先生这时意识到自己的症状或许并非蚊虫叮咬，而是和娃哈哈格瓦斯饮料有关。 杨先生的手脚有脱皮现象 　　娃哈哈：先拿过敏源再来跟我往下谈 　　杨先生随后拨打了娃哈哈400售后服务电话，说明自己的情况后，娃哈哈工作人员让杨先生出示医院的过敏源证明，如果检查结果确实为娃哈哈的饮品原因，再找娃哈哈公司谈下一步。 　　“过敏源”这么专业的医疗名词从一位娃哈哈客服嘴中说出，杨先生有些纳闷。“上来就拿这么专业的医学术语应付我，说明我并不是第一个喝格瓦斯过敏的人。”杨先生说。 医院诊断杨先生为过敏性皮炎 　　医院：饮品无法做过敏源证明 　　随后，杨先生来到了医院检查，诊断结果为过敏性皮炎。杨先生希望做过敏源检查，以便得知到底是哪个方面引起的过敏。但医院方面介绍，目前能做的一共有800多种过敏源，医院只能做其中15种过敏源证明、7种呼吸方面、8种食物方面，饮品无法做过敏源证明，就算做出过敏源证明也无法证明是某某饮品导致过敏。 　　“他们要求我提供的证据根本不存在，纯粹是刁难消费者。”杨先生得知诊断结果后不满的说。 在互联网中，喝格瓦斯过敏的现象不在少数 　　娃哈哈沈阳销售：我们没看见 　　接到投诉后，记者联系到了娃哈哈客服。8511号客服人员回应，只愿意与消费者直接沟通，而对记者的询问并不采取过多回应。 　　随后，记者又接到自称为娃哈哈沈阳销售人员王女士的电话。在确定记者身份后，王女士表示：对于投诉，证据是事实唯一的依据，没有证据就不能确定。现在消费者说喝了格瓦斯有过敏现象，我们也没有看见，消费者也没有拿出依据来，所以我们无能为力。 　　对于医院方面回应饮品无法做过敏源证明的情况，王女士说：我现在也无法答复你。随后，王女士便以忙为由，挂断了电话。 　　格瓦斯不适应所有中国人体质 　　对于杨先生喝格瓦斯过敏的投诉，辽宁陆安律师事务所潘勇律师说：格瓦斯是起源于俄罗斯的饮品，产品研发的时候主要也是考虑欧洲人的体质。中国人有极个别的情况例如体质不好等原因，喝完后或许会产生不适应的情况，但是按照现有的手段是检查不出来的。 　　商家如不能排除过敏可能应承担责任 　　没有办法证明过敏源成为了难点，对此，北京市大成律师事务所沈阳分所张薇律师说：现在无法证明过敏是饮料造成的，现在可以有一个排除法。消费者可以做一个过敏源的鉴定，如果排除了例如花粉、灰尘等过敏原因，而确定的过敏源的类型与娃哈哈格瓦斯饮料的组成成分沾边，同时，娃哈哈又没有相反的证据证明跟此情况一点关系没有，那么因果关系就可以确定。 　　随后张律师又说：民事和刑事在确定因果关系上是有区别的。民事方面来讲，如果可能存在因果关系，被告就应该承担一部分责任。而刑事方面讲，必须排除其他一切可能，结论是唯一的，只能存在一种因果关系，那么被告才能承担责任。所以消费者做过敏源检测，如果不能排除因喝格瓦斯饮品导致过敏反映的话，商家应当承担一部分责任。 　　取证难?大不了再喝一次 　　据杨先生反映，在他去医院检查时，还曾遇到过一个过敏病友，经了解同样是喝了娃哈哈格瓦斯饮料后产生的过敏，病情比他还要严重。 　　目前，沈阳大东区北海街工商所已受理该投诉，因证据不足，双方调解陷入僵持。 　　对于律师给出的过敏源检测建议，杨先生说：“不用那么复杂，大不了我再遭一次罪，再喝一回，当着所有媒体的面喝，这回看娃哈哈还有什么可说的。” 　　如果您也有类似情况发生，请与辽宁消费维权网联系，本网将给予关注。

2010年7月3日，受科技部基础研究司委托，重庆市科委组织专家在重庆对依托煤炭科学研究总院重庆研究院建设的瓦斯灾害应急信息技术国家重点实验室的建设计划进行了可行性论证。科技部基础研究司、重庆市科委有关负责同志以及依托单位的领导和实验室工作人员参加了会议。 　　专家组听取了实验室建设计划汇报，进行了实地考察。专家组认为，该实验室围绕瓦斯灾害防治技术的科技需求，确定了瓦斯灾害信息检测传输、瓦斯灾害预防与控制、瓦斯灾害预警及应急处置等三个主要研究方向，定位明确。实验室建设计划合理可行，专家组一致同意通过该实验室的建设计划。并建议实验室进一步突出应用基础研究内容，引进行业技术进步。 　　依托企业和转制院所建设国家重点实验室工作启动于2006年年底，是科技部落实《规划纲要》，促进以企业为主体、以市场为导向、产学研相结合的创新体系建设的重要举措。目前重庆一共有3家企业国家重点实验室。

近日，安徽理工大学“煤与瓦斯共采实验室”揭牌成立，中国工程院院士、安徽理工大学教授袁亮受聘出任实验室主任。该实验室的成立在全国煤炭行业院校中尚属首家。 　　“煤与瓦斯共采”是煤矿安全开采的关键技术。安徽理工大学拥有我省现代矿业工程重点实验室、煤矿安全高效开采省部共建重点实验室、矿山地下工程教育部研究中心等一系列优势学科和科研平台，是我省和周边地区相关专业高层次人才培养、科学研究和技术创新的重要基地。袁亮院士长期致力于煤与瓦斯共采理论与技术研究，是我国第一个完整地在矿区实现煤与瓦斯共采、将瓦斯变害为宝的人，拥有丰富的科研和管理经验。

为适应国家生态环境保护工作需要，加强国内温室气体排放控制和资源回收利用，落实《甲烷排放控制行动方案》要求，控制煤层气（煤矿瓦斯）排放，促进煤层气（煤矿瓦斯）回收利用，生态环境部组织修订了《煤层气（煤矿瓦斯）排放标准（暂行）》（GB 21522—2008），现公开征求意见，日期截止至2024年8月31日。在保证煤矿通风安全的前提下，本标准规定了煤层气（煤矿瓦斯）的抽采要求、排放控制要求、监测要求、实施与监督要求。本标准首次发布于 2008 年，本次为第一次修订。本次修订的主要内容：——调整了煤层气（煤矿瓦斯）的排放限值；——增加了煤层气（煤矿瓦斯）的排放监控位置要求；——修改了煤层气（煤矿瓦斯）的利用和销毁技术要求；——修改了监测要求；——增加了紧急情况的豁免处罚要求。本标准主要起草单位：国家应对气候变化战略研究和国际合作中心本标准规定了煤层气（煤矿瓦斯）的抽采要求、排放控制要求、监测要求、实施与监督要求。本标准适用于现有矿井及煤层气地面开发系统瓦斯排放控制管理与新建矿井及煤层气地面开发系统项目的环境影响评价、设计、竣工验收及其建成后的瓦斯排放控制管理。本标准适用于法律允许的污染物排放行为，新建矿井及煤层气地面开发系统的选址和特殊保护区域内现有矿井及煤层气地面开发系统的管理，按《中华人民共和国大气污染防治法》的相关规定执行。监测要求如下：1、煤层气开采井口装置、矿井瓦斯抽采泵站放空管、发电或储气罐等瓦斯利用和储存设施排放口、瓦斯销毁设施排放口，以及风井出风口等地面设施的甲烷排放口应设置甲烷传感器，以及流量传感器、压力传感器及温湿度传感器或集成传感器，对煤层气、高浓度瓦斯、低浓度瓦斯和风排瓦斯的甲烷浓度，以及流量、绝对压力、温湿度或标准状态流量等相关排放参数进行监测。抽采泵站应设甲烷传感器防止瓦斯泄漏。2、新建矿井及煤层气地面开发系统应按照 AQ 1029 和《污染源自动监控管理办法》等相关规定，安装煤层气（煤矿瓦斯）排放自动监控设备。3、各传感器布置和维护应按照 AQ 1029 和《污染源自动监控管理办法》要求，甲烷传感器应达到 AQ6204 或 NB/T10182 规定的技术指标，并符合 AQ 6201 煤矿安全监控系统通用技术要求。4、企业应按照有关法律和《环境监测管理办法》的规定，对排放状况进行监测，与生态环境部门的监控中心联网，并保存原始监测记录。附：1、征求意见单位名单.pdf2、煤层气（煤矿瓦斯）排放标准（修订征求意见稿）.pdf3、《煤层气（煤矿瓦斯）排放标准》（修订GB21522-2008）编制说明.pdf

依据湖北省省级政府采购计划下达函鄂财采计[2012]8033号的要求，湖北中天招标有限公司受湖北省安全生产监督管理局的委托，于2012年12月18日就“湖北省安全生产监督管理局执法监督检测设备省级政府采购项目”采用公开招标方式进行采购，按规定进行了招标，现就本次采购的成交结果公示如下： 　　一、项目名称及招标编号 　　项目名称：湖北省安全生产监督管理局执法监督检测设备省级政府采购项目 　　招标编号：HBZT-2012137-H219 包号 设备名称 数量（单位：套） A包现场监督检测设备采购 1）常用量具 42 2）高精度电子万用表 42 3）数字温湿度计 42 4）数字风速仪 42 5）GPS定位仪 42 6）便捷式多功能气体检测报警仪 42 7）激光测距仪 42 8）对讲机1对 42 9）安全帽 2000 10）通用设备包装箱 42 11）便携式数字式测尘仪 42 12）声级计 42 13）便携式数字测振仪 38 14）微波漏能检测仪 42 15）便携式辐射检测仪 42 16）辐射热计 42 17）紫外辐射计 42 18）放射性个人剂量报警仪 42 19）职业健康包装箱 42 B包现场监督执法专用设备采购 现场监督执法专用设备 250 C包煤矿、非煤矿山、危化品和烟花爆竹监督检测设备 1）水质分析仪 2 2）直读式测风仪表 14 3）便携式瓦斯检测仪 13 4）光学瓦斯检测仪 9 5）一氧化碳检测仪 10 6）便携式氧气检测仪 11 7）多参数气体检测仪 6 8）瓦斯抽放系统测定仪 1 9）便携式瓦斯抽放综合参数检测仪 5 10）精密光学经纬仪或地质罗盘仪 20 11)矿用红外测温仪 28 12)钳形接地电阻测试仪 20 13)便携式甲烷/硫化氢检测报警仪 18 14)矿井通风阻力测定系统 8 15)便携式超声流量探测仪（封闭管道）14 16)地下管道超声泄露探测仪 22 17)防爆型静电测试仪（带报警装置） 36 18)钳形接地电阻测试仪 16 19）远距离炸药检测仪 28 　　二、公示媒体及日期 　　公示媒体：中国湖北政府采购网、湖北中天招标有限公司网 　　公示时段：2012年12月25日至2013年1月5日 　　三、询价信息 　　招标日期：2012年12月18日 　　招标会议地点：湖北省武汉市武昌区民主路782号洪广大酒店26层 　　招标小组成员名单：桑爱军、王彦浩、李洁、刘嘉、吴晓军、刘明超、刘莉 　　四、中标信息 　　A包采购内容：现场监督检测设备采购 　　中标单位：武汉宇净科技有限公司 　　中标价：人民币叁佰伍拾玖万叁仟伍佰陆拾元整(￥3,593,560.00元) 　　B包采购内容: 现场监督执法专用设备采购 　　中标单位：深圳市华威世纪科技股份有限公司 　　中标价：人民币叁佰零捌万元整(￥3,080,000.00元) 　　C包采购内容: 煤矿、非煤矿山、危化品和烟花爆竹监督检测设备 　　中标单位：北京凌天世纪自动化技术有限公司 　　中标价：人民币伍佰叁拾柒万元整(￥5,370,000.00元) 　　五、联系事项 　　采购人：湖北省安全生产监督管理局 　　地 址：武昌区水果湖洪山路64号湖光大厦11楼 　　联系人：黄洋 　　联系电话：027-87830603 　　招标代理机构：湖北中天招标有限公司 　　联系人：郭霞、陈少清 　　联系电话：027-87715200转821 　　地址：湖北省武汉市武昌区民主路782号洪广大酒店26层 　　各有关当事人对成交结果有异议的，可以在成交公示发布之日起七个工作日内以书面形式向湖北中天招标有限公司提出质疑，逾期将不再受理。 　　湖北中天招标有限公司 　　2012年12月25日

8日，上海市第一人民医院数十位眼疾患者，因注射一种叫做“阿瓦斯汀(avastin)”的药剂，导致眼睛失明。目前，医院正对事故原因进行调查，同时对注射试剂进行化验。对于严重失明的患者，医院已安排四名专家对其进行治疗，期待病人早日恢复视力。 　　截至8日晚，医院大约有七八十名眼疾患者都出现了眼睛疼痛的现象，其中有55名患者失明。 　　据了解，Avastin是第一个被美国FDA批准的、通过抑制血管生成发挥抗癌作用的新药，是现行几种抗血管生成制剂之一，可抑制血管内皮生长因子(VEGF)的生成。近年研究表明，该药在治疗眼部新生血管性以及渗出性病变中疗效显著，而且价格便宜。

各会员单位、有关单位：根据《山西省环境科学学会标准管理办法》的相关规定，所申报的《煤层气（瓦斯）发电大气污染物排放标准》团体标准符合立项条件，现批准立项。请标准起草单位严格按照相关规定要求抓紧组织实施，严把标准质量关，广泛听取意见，切实提高标准制订的质量和水平，增强相关标准的适用性、先进性和有效性，按时完成团体标准制定任务 附件：山西省环境科学学会团体标准立项目录附件：山西省环境科学学会团体标准立项目录序号标准名称主要起草单位1《煤层气（瓦斯）发电大气污染物排放标准》山西省环境科学学会联合泰泽（山西）环境科技发展有限公司

3月29日，中国环境监测总站站长罗毅、副站长王业耀等一行到中科院合肥研究院安徽光学精密机械研究所考察调研。 　　罗毅一行在安光所所长刘文清、副所长刘建国的陪同下重点视察了国家环境保护环境光学监测技术重点实验室，听取了安光所环境光学中心主任谢品华研究员关于重点实验室环境光学监测技术的进展汇报。罗毅对实验室研发的大气污染垂直分布探测的差分吸收光谱技术设备、煤矿瓦斯泄露应急监测技术设备、土壤重金属监测技术、以及水体藻类原位在线监测技术设备表示出极大的兴趣和关注，并对实验室在前沿技术研究、自主监测技术研发以及仪器产业化方面的成绩给予了充分地肯定。 　　在考察后的座谈中，罗毅简要介绍了国家“十二五”对环境监测技术和业务化运行仪器设备的需求，并提议利用安光所在环境监测领域的技术优势，进一步加强和深化中国环境监测总站与安徽光机所的战略合作关系。双方领导在共同开展环境监测新技术研发、监测技术的业务化应用、技术规范制定，以及进行定期学术交流、共同培养研究生等方面达成了共识。　　 罗毅一行听取工作汇报　　 参观有关实验室1 　　参观有关实验室2

p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 近期，中国科学院合肥物质科学研究院智能机械研究所先进感知与智能系统研究室在表面等离子共振光学检测领域取得新进展，相关成果发表在光学期刊Optics Express上（Vol.27 Issue.2）。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 表面等离子共振技术（Surface Plasmon Resonance, SPR）由于其实时、无标记的优越检测特性而广泛应用于医学、生物学等微观检测领域。棱镜耦合式SPR具有结构简单、灵敏度高等优势，被广泛使用，但在现场检测时，该系统检测信号存在温度漂移，通常的解决方案是增加参考通道，但是该方法无法测量不同温度水平的生物学动力常数。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 针对以上问题，研究人员提出了一般性解决方案：分别建模分析了角度调试和波长调制模式下的温度对其共振偏移的影响。由于色散效应，两种调制模式下的影响既具有相同的趋势，也有不同之处。基于交叉灵敏度矩阵思想，分别提出了双波长检测（Angular-interrogation）和双角度检测（wavelength-interrogation）方法，实现了折射率和温度变化的同时测量。研究人员首次提出分区间线性修正提高精度的检测思想，且进行了概念性验证实验。相比于构建新型微纳检测结构，该方法在工程领域具有较强的可行性，具有广泛的应用前景，得到审稿专家的充分肯定。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 相关研究工作得到国家自然科学基金面上项目、国家科技重大专项、安徽省重点实验室资金等的资助。 /p p style=" text-align:center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201901/uepic/82de36d8-bda4-4152-b313-14ee1b497e21.jpg" title=" W020190116563312993884.jpg" alt=" W020190116563312993884.jpg" / /p p style=" text-indent: 2em text-align: center " 波长调制模式SPR传感器的温度效应 /p

p 　　北京大方科技有限责任公司(以下简称“大方科技”)是由留学归国人员创办的一家高新技术企业。公司基于自身掌握的TDLAS核心技术(可调谐激光吸收光谱技术)，扎根激光气体检测领域，坚持自主创新，研发了一系列激光气体在线分析系统及核心模块产品。其代表产品“脱硝氨逃逸在线监测系统”，拥有完全自主知识产权，广泛应用于环保、电力、水泥、陶瓷、化工、冶金、焦化以及工业锅炉等领域。 /p p 　　这家公司创始人是周欣。转眼间，大方科技创始人周欣博士回国创业已经八年了。八年来，他不忘初心，对科研、对创业的热情从未减弱。把好的技术引进中国，做自主品牌的好产品，是他始终坚持的事情。 /p p 　　酒香不怕巷子深，近日，仪器信息网编辑来到了位于北师大科技园一隅的北京大方科技有限责任公司，与公司的创始人周欣博士来了个“面对面”，听他讲讲创业“背后的故事”。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201709/insimg/de6463ff-84d1-4281-9b47-6ecc495674b9.jpg" title=" DSC03896.JPG" / /p p style=" text-align: center " 　　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 北京大方科技有限责任公司创始人周欣博士 /span /p p 　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 　创业路漫漫 我亦决然 /strong /span /p p 　　2000年，在清华大学完成了本科、研究生的学习之后，周欣远赴美国，在斯坦福大学攻读博士学位，师从美国工程院院士、激光光谱测量领域国际权威专家Ronald. K. Hanson 教授。Hanson教授是TDLAS技术的鼻祖，他所领导的实验室是斯坦福工程学院里最大的研究团队，在行业公认第一。他本人以治学严谨闻名，毕业的学生都非常优秀，有些已经取得了很受瞩目的成就。 /p p 　　2005年博士毕业后，周欣加入美国光谱仪器公司(SSI)历任资深科学家和首席科学家，代表性的研发成果之一是国际首台基于TDLAS技术的测量天然气和炼厂气中微量硫化氢的气体分析仪。这款仪器解决了长期存在的测量难题，成功销售并应用在美国、加拿大、欧洲、中东和亚洲等世界著名石油化工与天然气公司。 /p p 　　如果一直这样下去，伴随着周欣的就是“稳定高薪的职业、优渥的生活条件以及首席科学家的身份”。然而，2009年，周欣放弃了这些标签，毅然回国创业。 /p p 　　在谈及为何想要回国创业时，周欣坦言道，其实他在斯坦福读博士的时候就有创业的想法。斯坦福的校园里创业氛围浓厚，他身边的很多同学、师兄都选择了创业，这些对他造成了潜移默化的影响。在洛杉矶工作了4年后，他觉得自己的职业生涯遇到了瓶颈，他想要寻求改变，挑战一下自己。 /p p 　　2008年，周欣回国休假，恰逢北京举办奥运会。他深深地感受到中国经济的快速发展，他心中回国创业的“小火苗”也愈烧愈旺。2009年，周欣携带家人毅然从美国辞职回国创业，一切都从零开始了。 /p p 　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 　 /span span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 情系安全生产 起步煤矿行业 /strong /span /p p 　　2009年初，周欣成立大方科技，公司总部自然而然地设在了人才汇聚且他又熟悉的北京。刚回国的时候，他发现国内气体检测的市场很大，但很多方面却一直依赖进口。 /p p 　　在经过一个简单的了解之后，周欣将目光锁定在了煤矿瓦斯在线监测市场。2009年的时候，煤矿行业的市场热度还很高，当时周欣认为， 中国煤矿很多，每一个矿底下需要用到的传感器很多，市场很大，而煤矿瓦斯的监测又涉及到生产安全。周欣本身一直都有关注煤矿市场，每次发生的瓦斯爆炸事故都紧紧牵动着他的神经。传统的煤矿瓦斯浓度测量方式存在测量结果易漂移、仪器设备每两个礼拜就要重新校准一次等缺陷，较难满足准确、快速、实时监测及预警的需求。 /p p 　　TDLAS技术可以克服传统技术的缺陷，被认为是气体检测领域的最佳解决方案之一。TDLAS技术是光学、电子、信息、材料、结构等多门学科的综合运用，技术壁垒高，是气体分析技术中的“贵族”。 /p p 　　“贵族”不仅体现在它的技术优势上，而且也确确实实地体现在它的价格上。据周欣介绍，国外的气体分析仪几万美元一套，也就是几十万人民币。“当时就是特别简单的想法，能否将基于TDLAS技术的气体检测仪国产化，从而降低它的成本，让它普及到中国每个需要监测的场所。”周欣说。 /p p 　　于是，2009年的夏天，在一个二十几平方米，没有空调的小平房里，他和他的团队开始了研发之路。 /p p 　　产品的研发不是纸上谈兵，它需要真刀真枪的去干。周欣回忆道，刚开始研发的时候，难度很大，难度不在于核心技术，而在于煤矿本身这个行业的特殊性，即技术上如何满足特定环境的使用要求及成本上如何能使客户接受。 /p p 　　经历了初步设计、拿出样机、现场实验、改进等过程，通过一年多的努力，周欣带领的研发团队研发出了国内第一款用于煤矿瓦斯监测的激光甲烷气体分析仪。这期间，为了亲自掌握第一手资料，他下过几百米深的矿井。可喜的是，这款激光甲烷气体分析仪最终获得了煤安认证，在客户端的试用也取得了满意的效果，同时也被评选为“科技部国家重点新产品”。 /p p 　　然而，据周总介绍，虽然这款产品在技术上取得了很大的成功，但是当时在市场推广上遇到了一定的困难。 /p p 　　一方面是因为产品获得煤安证后，煤矿市场却出现大幅度滑坡，导致产品并未实现大规模的销售 还有一个原因是客户对于这款产品并没有完全接受。对于煤矿行业来说，客户对于甲烷传感器心理价位在两、三千人民币，虽然现有产品存在一些缺陷，但他们已习惯了这些缺陷。另外，激光甲烷气体分析仪这种新技术，国家当时并没有相应的标准。对于客户来说，接受新技术也需要很长的时间。 /p p 　　面对创业初期的困难和挑战，周欣没有选择逃避。他勇敢面对现实，通过读书、参加培训，将知识和实践相结合，不断提高和成长，努力从技术层面向销售、管理层面多栖发展。 /p p 　　从长远角度看，周欣认为，他们的首款产品未来还会有市场。近几年，国家也出台了一些政策鼓励激光甲烷气体分析仪的使用，虽然走了一些弯路，但他们这款产品并不会永远被“搁浅”。机会总是留给有准备的人，当未来市场爆发需求的时候，大方科技定会快人一步! /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 进军氨逃逸监测市场 峰回路转 /strong /span /p p 　　虽然第一款产品并没有获得大规模的销售，但大方科技利用TDLAS技术自主生产激光光谱气体分析仪的声名已经远扬在外。激光甲烷气体分析仪还在煤安认证阶段时，有一些代理进口氨逃逸监测产品的厂商找到了大方科技，并针对进口的氨逃逸产品在国内的使用情况与周欣进行了交流。2012~2013年，虽然一些代理商卖出去很多进口的氨逃逸产品，但用户反馈的使用效果并不是很理想， “仪器测得不准、不好，测量结果不稳定。”这些代理商找到周欣，希望能商讨出一个好的解决方案。 /p p 　　这件事情为周欣提供了新的思路，加上国家“十二五”中提出的氮氧化物要减排的问题。周欣认为开发氨逃逸监测仪器这件事情可以做。 /p p 　　氮氧化物是空气污染中的“大户”，也是产生有害悬浮颗粒的“元凶”之一，但燃煤电厂、水泥等工业生产却常常释放它。随着国家对环境保护提出了高标准，越来越多的火力发电厂采用烟气脱硝装置来减少氮氧化物的排放。脱硝过程所用的还原剂主要是液氨，如果没有对氨有效的实时在线监测，在还原过程中就不可避免的出现喷氨过量而导致的氨逃逸问题，这不仅会给后续工艺设备带来堵塞、腐蚀等损害，同时也会造成经济上的损失。 /p p 　　在国产激光氨逃逸在线分析系统研发出来之前，脱硝氨逃逸市场基本被进口仪表垄断，但使用效果却并不理想。经过走访调研国内一些电厂之后，周欣团队发现，进口设备在产品设计上不适合于国内高粉尘的环境，高粉尘量对仪表的测量造成严重干扰，测量精度不足。除此之外，烟道本身出现的震动和热膨胀，也会导致测量出现偏差。 /p p 　　为此，大方科技根据国内的工况环境以及对同类进口设备的分析，利用自身掌握的TDLAS核心技术，率先提出采用“抽取+高精度”的测量技术路线。 /p p 　　采用抽取方式，将烟气抽出来，经过过滤、伴热等预处理后进行测量，解决了粉尘对测量的干扰问题。同时，抽取法测量不受现场震动、热膨胀等环境因素的影响。为了提高测量精度，大方科技自主研发的激光氨逃逸在线分析系统还设计了耐腐蚀高温多次反射测量气室，国内首家实现氨逃逸多次反射技术，光程可达30米，极大地提高了测量精度和检测下限。为脱硝过程氨逃逸提供了准确可靠的监测手段。 /p p 　　谈及激光氨逃逸在线分析系统的研发，我们能感受到周欣满满的自豪感。这款产品的研发还是在北师大科技园的小平房里进行的。2012年12月，研发团队刚把产品研发出来后，订单就来了。为了保证产品的质量，发货的前一天晚上，团队还在进行测试。“当时我们研发团队六、七个人，一晚上没睡进行测试。现在这六、七个人基本上都还在公司。”周欣微笑着对我们说道。在笔者看来，大方科技的这种老板与员工之间的关系已经远远超过了简单的上下级关系，它是比金子还要宝贵的患难与共。 /p p 　　经过几年的不懈努力推广，脱硝氨逃逸市场基本被进口仪表垄断的局面开始被打破。客户开始认识到大方科技虽然是国产仪器，但掌握核心技术，自主研发的“激光氨逃逸在线分析系统”从设计上更适合我国电厂、水泥厂等脱硝过程的现场实际工况，从而逐渐得到了客户的认可。 /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 大环境下 产品、服务始终优先 /strong /span /p p 　　随着相关政策对氨逃逸在线监测仪器市场的推动，市场竞争也越来越激烈。一方面，很多企业还是“迷信”进口产品，在没有国产厂商对他们进行深入宣传的情况下，他们还是默认使用进口产品，进口产品依旧占据氨逃逸在线监测市场的主要份额，另一方面，市场上存在一些低价竞争的情况。大方科技想要突出“重围”，还有很长的路要走。 /p p 　　面对这样的现实，大方科技并没有畏缩，周欣说：“我们始终把产品和服务放在第一位。”周欣认为，产品的销售不是一锤子买卖，要想在一个市场长远的发展下去，首先要把产品真正的做好，真正的解决客户需求，另外就是售后服务要同步保障。周欣强调，无论何时，大方科技的市场策略始终围绕两个关键词“产品”和“服务”。此外，周欣认为，厂商与客户之间的产品售后反馈，也是一个双赢的过程。客户反馈出问题，大方科技的售后人员会到现场帮他们解决 售后在现场发现的问题，能够给研发一个真实的反馈，进而帮助产品的改进。而为了保证高质量的产品和售后服务，大方科技的产品始终保持在一定的价格。 /p p 　　由于同行的低价竞争，大方科技可能会失去一些订单，但周欣并不觉得遗憾，“我们的产品可能比一些兄弟厂家贵了一点，但是我们的产品有任何问题，我们都会派人过去帮他们解决，所以从长远来看，我们和竞争对手不是打价格战。我们始终坚持以技术为核心竞争力。” /p p 　　谈及国产品牌与进口品牌的优势与劣势，周欣给出了他的看法：国产厂商的优势在于灵活，面对用户的个性化需求能够及时作出反馈动作 另外，进口品牌在中国的销售很多是通过代理商，而代理商对专业技术的了解相对欠缺，客户反馈出产品问题时可能无法及时解决。同时，国产厂商也有一些不足需要去向国外厂商学习，学习国外先进的经营理念与管理体系，学习他们在产品设计方面的独到之处、学习对于产品的创新...... /p p 　　这是一件需要长久去做的事情。 /p p 　　 span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 采访后记：见到周总的第一眼，笔者觉得他非常的平易近人。随着采访的深入，这种感觉也愈发强烈。采访中，我们了解到，他跟员工之间的相处也是这种模式，更多时候像是朋友，而不只是领导与员工的关系。周总也是一个心怀感恩的人，采访中，他多次提到感谢国家的政策支持，这些支持对于他个人和公司来说都非常重要，国家对海归人才创业的重视和肯定，对他和他的团队是一种鼓舞和激励，也对提升公司知名度起到了很大的作用。因此，他觉得自己身上的社会责任也很大，希望通过大方科技过硬的产品切实解决用户的问题。文章最后，笔者想起一句网络流行语“你若盛开，清风自来”，相信好的产品自会逐渐得到客户的肯定！ /span /p p style=" text-align: right " strong (采访编辑：李亚楠) /strong /p

日前，由中国电子科技集团第45所承担的国际科技合作项目“自动光学检测(AOI)设备技术合作”，通过了国家级验收，技术指标达到了国外同类设备水平，标志着自动光学检测(AOI)设备实现了国产化，填补了国内空白。 　　据了解，当今电子装备在结构上强调实现小型化、微型化、模块化，以满足高性能、高可靠、大容量、小薄轻的要求。线路板上元器件组装密度提高，其线宽、间距、焊盘越来越细小，已到微米级，复合层数越来越多。传统的人工目测(MVI)和针床在线测试(ICT)检测因“接触受限”(电气接触受限和视觉接触受限)所制,已不能完全适应当今制造技术的发展，自动光学检测系统(AOI)已经成为IC制造业的必然需求，正越来越多地用来代替传统MVI和ICT技术，进行检测，用于监视和保证生产过程的品质。目前，我国自动光学检测系统(AOI)设备主要依赖进口，一直被以色列、美国、日本等国家所垄断。中国电子科技集团第45所，与加拿大开展了卓有成效的国际科技合作，共同研发自动光学检测(AOI)设备，通过引进、消化吸收、再创新，终于研制出了具有国际水平的自动光学检测(AOI)设备，打破了国外的垄断与技术封锁，使进口产品降价30%。 　　中国电子科技集团第45所通过技术引进和消化吸收，攻克了高速图像采集和硬件处理技术，缺陷识别和处理技术，细微图形采像技术等三项关键技术，并成功应用于AOI设备的研制，目前已获得专利4项，申报并受理发明专利6项，发表学术论文6篇，获省部级科学技术二等奖1项。该项目的完成，标志着我国在自动光学检测设备领域具备与国外主流设备展开竞争的实力，提高了我国电子专用检测设备的制造水平。

河北省廊坊市科技局26日称，中国电子科技集团第45所(燕郊)与加拿大共同合作的“自动光学检测(AOI)设备技术”研制成功，各项技术指标均达到国外同类设备水平。这标志着我国打破了国外在自动光学检测设备领域的垄断与技术封锁，使自动光学检测设备进口产品降价30%。 中国电子科技集团第45所 　　据廊坊市科技局工作人员介绍，全球电子装备在结构上强调实现小型化、微型化、模块化，以满足高性能、高可靠、大容量、小薄轻的要求。而我国传统的人工目测(MVI)和针床在线测试(ICT)检测因“接触受限”(电气接触受限和视觉接触受限)所制，已不能完全适应当今制造技术的发展。目前，我国自动光学检测系统(AOI)设备还主要依赖进口，一直被以色列、美国、日本等国家所垄断。因此，自动光学检测系统(AOI)已经成为IC制造业的必然需求。 　　据了解，2007年，中国电子科技集团45所顺利通过科技部、国家外专局的批准，被列为我国“微电子装备国际合作基地”之一，并与加拿大开展国际科技合作。 　　廊坊市科技局局长杨中秋表示，该项目的完成，不仅提高了我国电子专用检测设备的制造水平，也标志着我国在自动光学检测设备领域具备了与国外主流设备竞争的实力。

p 　 strong 　仪器 /strong strong 信息网讯 /strong span style=" font-family: times new roman " 2016年5月10日，由中国光学工程学会、中国高科技产业化研究会、国际光学工程学会(SPIE)、美国光学学会(OSA)主办的2016年国际光电技术与应用系列创新研讨会(OTA 2016)在京开幕。此次研讨会除了大会报告之外，还设有13个分会场，分别为1.国际高功率激光技术与高能激光应用研讨会2.国际激光制造与激光检测技术研讨会、3.国际3D打印技术及其应用研讨会(2.3.合并)、4.国际先进光学系统设计与制造及应用研讨会、5.国际光学检测技术及仪器研讨会、6.国际机器人先进感知与智能控制技术研讨会、7.国际天文望远镜与仪器研讨会、8.国际大数据光存储技术研讨会、9.国际高光谱遥感应用研讨会、10.国际硅基光电子与集成研讨会、11.国际红外技术与应用研讨会、12.国际环境监测与安全检测技术及应用研讨会、13. 纪念光纤发明50周年大会等。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_20160511_080631_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/0242fdc0-4ff5-4fd0-a565-8a281012ced0.jpg" / /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　5月10日下午至5月11日是大会的分会场研讨时间。分会之一国际光学检测技术及仪器研讨会作为国际光电技术与应用系列创新研讨会的重要组成，每年都吸引来国内外光学检测技术研发专家们到会参加讨论。据主办方中国光学工程学会介绍，往届的光学检测技术及仪器研讨会更注重技术的研发探讨，今年的会议是首次明确将光学检测技术和仪器的产业化作为研讨的主题，这也是响应国家支持科研成果转化的号召。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0179_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/9abb0d7b-0511-43d3-8897-864a65628744.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 会议现场 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　本届国际光学检测技术及仪器研讨会共包括来自国内外工程化院校、研究所以及商业化仪器企业的25个报告，吸引了百余位相关研究实验室和企业的参会者。以下是部分报告介绍： /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　哈工业大学精密仪器工程研究院谭久彬教授报告的题目是《高端超精密仪器产业化探索》。据介绍，我国工业化进入中后期，高端装备发展走到了必须发展的道路。超精密仪器技术已经是大国必争的战略高地，而目前我国面临发达国家和新兴国家的双重挑战。我国超精密仪器产业化发展存在很多问题，如理念陈旧、企业自主创新能力较低等。充分发挥大学研究所自主创新能力强的优势，让工科大学研发平台与企业的产业化平台一体化对高端精密仪器产业化将产生巨大的推动作用。谭久彬教授还介绍了团队根据产业化需求研制的用于微纳结构表征的共聚焦扫描测量仪、面向生物医学的立体层析共聚焦显微镜、快速超精密双频激光干涉仪等精密仪器测量设备。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0155_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/ec2a365f-9cf0-4d63-9b60-9abcb0547974.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 /span span style=" font-family: times new roman " strong 谭久彬 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　中国工程物理研究院激光核聚变研究中心袁晓东报告的题目是《Research on the Precision Assembly System for SG-III Laser Facility 》。据介绍激光诱导惯性约束核聚变是实验室最常用的实现核聚变的方法。大型高能激光装置对于方法的实现非常重要，目前在美国、法国和中国(SG-III)共有三个大型高能激光装置。袁晓东在报告中介绍了SG-III的设计和一体化装配过程，LRU模型的离线精密装配与在线准确重置能够满足大型激光装置的安装与调试。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0190_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/e4fb6b6d-5a3c-43f7-b245-395995ff5fba.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 /span span style=" font-family: times new roman " strong 袁晓东 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　北京交通大学冯其波教授报告的题目是《System for simultaneously measuring 6DOF geometric motion errors using fiber-coupled laser》。据介绍，提高受控机床的精度，可以从改善硬件设施或是误差补偿的方法入手。冯其波教授表示：做精密仪器“方向决定成败、细节决定高低。”还介绍了团队研制的单轴6自由度误差测量系统。光纤的使用使系统热稳定性得到了提高，可稳定的通过补偿降低误差。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0217_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/9a23d7ae-7e5f-4052-b201-ff4466fde9c6.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 冯其波 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　 /span span style=" font-family: times new roman " 中国科学院光电研究院周维虎教授报告的题目是《飞秒激光频率梳精密测量技术研究》。飞秒光梳是频率和相位完全受控的飞秒锁模脉冲激光。主要用于绝对距离测量、频率测量等测量和低噪声微波源和任意光脉冲合成。周继虎教授介绍了飞秒光梳的实用化研制，基于该原理该团队还研发了飞秒激光跟踪仪可用于台阶测量、自由曲面测量、时频测量等方面。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0259_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/ab834326-5079-4588-a625-7c6693835b4b.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 周维虎 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　中国科学院上海光学精密机械研究所邵建达报告的题目是《Large optics metrology for SG-series laser facility》。组成大型SG激光系统的大口径光学元件种类多、数量大，他们的特性参数与激光装置的性能相关，对大口径光学元件检测的装置要求很高。该团队建立的检测技术满足高精度光学元件的检测需求，部分光学元件已经优于之前NIF光学元件水平。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0303_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/1f3cb9e7-c856-4776-a2ce-cc18d4e969ff.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 邵建达 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　来自华中科技大学的刘世元教授报告的题目为《Mueller Matrix Ellipsometry for Nanostructured Surface Metrology》。 /span span style=" font-family: times new roman " 据介绍，Mueller矩阵椭偏计(MME)非常适合无损纳米结构测量，对光的偏振、散射和其它特性的深入研究对于表面测量非常重要。为了将MME商品化，团队还创建了武汉颐光科技有限公司，目前已经具备椭偏仪批量生产能力实现了MME的产品销售。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0338_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/8409671a-de3d-4d73-8387-a6e2b2ca791a.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 刘世元 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　哈尔滨工业大学 Yi Zhou报告的题目是《Experiments on Terahertz 3D Scanning Microscopic & nbsp Imaging》。Yi & nbsp Zhou介绍了团队研制的2.52太赫兹双轴反射共聚焦显微镜，其纵向和横线分辨率分别超过了0.314mm和0.353mm。该仪器在2D和3D成像方面非常稳定，可被用于生物学、制药等领域。 /span /p p style=" text-align: center " img title=" IMG_0241_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/dcd0cda8-7b59-43b2-b263-3b2335882257.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong Yi Zhou /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　哈尔滨工业大学ChangKun Fan报告的题目是《Controlling Software Development of CW Terahertz Target Scattering Properties Measurements Based on LabVIEW(IPTA05-066)》。据介绍，该团队开发了太赫兹目标散射特性测量的控制软件。该软件可手动或自动移动坐标平台，可设置间断频率、测量时间等参数实现自动测量。目前该软件已经申请得到国家专利。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0383_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/a2dd8a4f-6640-4796-a821-95f65295dbbc.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong ChangKun Fan /strong /span /p

作者朱金龙*、刘佳敏、徐田来、袁帅、张泽旭、江浩、谷洪刚、周仁杰、刘世元*单位华中科技大学哈尔滨工业大学香港中文大学原文链接：10 nm 及以下技术节点晶圆缺陷光学检测 - IOPscience文章导读伴随智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展，先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度，图形化晶圆上制造缺陷（包括随机缺陷与系统缺陷）的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术，但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继，因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。近年来，越来越多的研究工作尝试将传统光学缺陷检测技术与纳米光子学、光学涡旋、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术相结合，以实现更高的缺陷检测灵敏度，这已为该领域提供了新的可能性。近期，华中科技大学机械科学与工程学院、数字制造装备与技术国家重点实验室的刘世元教授、朱金龙研究员、刘佳敏博士后、江浩教授、谷洪刚讲师，哈尔滨工业大学张泽旭教授、徐田来副教授、袁帅副教授，和香港中文大学周仁杰助理教授在SCIE期刊《极端制造》（International Journal of Extreme Manufacturing, IJEM）上共同发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述，对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾，并重点评述了三个关键方面：（1）缺陷可检测性评估，（2）多样化的光学检测系统，以及（3）后处理算法。图1展示了该综述研究所总结的代表性晶圆缺陷检测新方法，包括明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。通过对上述研究工作进行透彻评述，从而阐明晶圆缺陷检测技术的可能发展趋势，并为该领域的新进入者和寻求在跨学科研究中使用该技术的研究者提供有益参考。光学缺陷检测方法；显微成像；纳米光子学；集成电路；深度学习亮点：● 透彻梳理了有望实现10nm及以下节点晶圆缺陷检测的各类光学新方法。● 建立了晶圆缺陷可检测性的评价方法，总结了缺陷可检测性的影响因素。● 简要评述了传统后处理算法、基于深度学习的后处理算法及其对缺陷检测性能的积极影响。▲图1能够应对图形化晶圆缺陷检测挑战的各类光学检测系统示意图。（a）明/暗场成像；（b）暗场成像与椭偏协同检测；（c）离焦扫描成像；（d）外延衍射相位显微成像；（e）包含逻辑芯片与存储芯片的图形化晶圆；（f）X射线叠层衍射成像；（g）太赫兹成像；（h）轨道角动量光学显微成像。研究背景伴随智能手机、平板电脑、数字电视、无线通信基础设施、网络硬件、计算机、电子医疗设备、物联网、智慧城市等行业的蓬勃发展，不断刺激全球对半导体芯片的需求。这些迫切需求，以及对降低每片晶圆成本与能耗的不懈追求，构成了持续微缩集成电路关键尺寸和增加集成电路复杂性的驱动力。目前，IC制造工艺技术已突破5nm，正朝向3nm节点发展，这将对工艺监控尤其是晶圆缺陷检测造成更严峻的考验：上述晶圆图案特征尺寸的微缩，将极大地限制当前晶圆缺陷检测方案在平衡灵敏度、适应性、效率、捕获率等方面的能力。随着双重图案化、三重图案化以及四重图案化紫外光刻技术的广泛使用，检测步骤的数量随着图案化步骤的增加而显著增加，这可能会降低产率并增加器件故障的风险，因为缺陷漏检事故的影响会被传递至最终的芯片制造流程中。更糟糕的是，当前业界采用极其复杂的鳍式场效应晶体管 (FinFET) 和环栅 (GAA) 纳米线 (NW) 器件来降低漏电流和提高器件的稳定性，这将使得三维 (3D) 架构中的关键缺陷通常是亚表面（尤其是空隙）缺陷、深埋缺陷或高纵横比结构中的残留物。总体上而言，伴随工业界开始大规模的10 纳米及以下节点工艺芯片规模化制造，制造缺陷对芯片产量和成本的影响变得越来越显著，晶圆缺陷检测所带来的挑战无疑会制约半导体制造产业的发展。鉴于此，IC芯片制造厂商对晶圆缺陷检测技术与设备的重视程度日渐加深。在本文中，朱金龙研究员等人对图形化晶圆缺陷光学检测方法的最新进展进行了详细介绍。最新进展晶圆缺陷光学检测方法面的最新进展包含三个方面：缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法。缺陷可检测性评估包含两个方面：材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响。图2展示了集成电路器件与芯片中所广泛采纳的典型体材料的复折射率N、法向反射率R和趋肤深度δ。针对被尺寸远小于光波长的背景图案所包围的晶圆缺陷，缺陷与背景图案在图像对比度差异主要是由材料光学特性的差异所主导的，也就是复折射率与法向反射率。具体而言，图2(c)所示的缺陷材料与图案材料的法向反射率曲线差异是优化缺陷检测光束光谱的基础之一。因此，寻找图像对比度和灵敏度足够高的最佳光束光谱范围比纯粹提高光学分辨率更重要一些，并且此规律在先进工艺节点下的晶圆缺陷检测应用中更具指导意义。▲图2集成电路中典型体材料的光学特性。（a）折射率n；（b）消光系数k；（c）法向反射率R；（d）趋肤深度δ。晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响也尤为重要。在图形化晶圆缺陷检测中，缺陷散射信号信噪比和图像对比度主要是受缺陷尺寸与缺陷类型影响的。图3展示了存储器件中常规周期线/空间纳米结构中的典型缺陷，依次为断线、边缘水平桥接和通孔、凹陷、之字形桥接、中心水平桥接、颗粒、突起、竖直桥接等缺陷。目前，拓扑形貌对缺陷可检测性的影响已被广泛研究，这通常与缺陷检测条件配置优化高度相关。例如，水平桥接与竖直桥接均对照明光束的偏振态相当敏感；在相同的缺陷检测条件配置下，桥接、断线、颗粒物等不同类型的缺陷会展现出不同的缺陷可检测性；同时，缺陷与背景图案的尺寸亦直接影响缺陷的可检测性，尺寸越小的缺陷越难以被检测。▲图3图形化晶圆上周期线/空间纳米结构中的典型缺陷（a）断线；（b）边缘水平桥接和通孔；（c）凹陷；（d）之字形桥接缺陷；（e）中心水平桥接；（f）颗粒物；（g）突起；（h）竖直桥接。丰富多彩的新兴光学检测方法。光是人眼或人造探测器所能感知的电磁波谱范围内的电磁辐射。任意光电场可采用四个基本物理量进行完整描述，即频率、振幅、相位和偏振态。晶圆缺陷光学检测通常是在线性光学系统中实施的，从而仅有频率不会伴随光与物质相互作用发生改变，振幅、相位、偏振态均会发生改变。那么，晶圆缺陷光学检测系统可根据实际使用的光学检测量进行分类，具体可划分为明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。图4展示了基于相位重构的光学缺陷检测系统，具体包括外延相位衍射显微成像系统、光学伪电动力学显微成像系统。在这两种显微镜成像系统中，缺陷引起的扰动波前信号展现了良好的信噪比，并且能够被精准地捕获。后处理算法。从最简单的图像差分算子到复杂的图像合成算法，后处理算法因其能显著改善缺陷散射信号的信噪比和缺陷-背景图案图像对比度而在光学缺陷检测系统中发挥关键作用。伴随着深度学习算法成为普遍使用的常规策略，后处理算法在缺陷检测图像分析场景中的价值更加明显。典型后处理算法如Die-to-Die检测方法是通过将无缺陷芯片的图像与有缺陷芯片的图像进行比较以识别逻辑芯片中的缺陷，其也被称为随机检测。Cell-to-Cell检测方法是通过比较将同一芯片中无缺陷单元的图像与有缺陷单元的图像进行比较以识别存储芯片中的缺陷，其也被称为阵列检测。至于Die-to-Database检测方法，其本质是通过将芯片的图像与基于芯片设计布局的模型图像进行比较以识别芯片的系统缺陷。而根据原始检测图像来识别和定位各类缺陷，关键在于确保后处理图像（例如差分图像）中含缺陷区域的信号强度应明显大于预定义的阈值。基于深度学习的缺陷检测方法的实施流程非常简单：首先，捕获足够的电子束检测图像或晶圆光学检测图像（模拟图像或实验图像均可）；其次，训练特定的神经网络模型，从而实现从检测图像中提取有用特征信息的功能；最后，用小样本集测试训练后的神经网络模型，并根据表征神经网络置信水平的预定义成本函数决定是否应该重复训练。然而，深度学习算法在实际IC生产线中没有被广泛地接收，尤其是在光学缺陷检测方面。其原因不仅包括“黑箱性质”和缺乏可解释性，还包括未经实证的根据纯光学图像来定位和分类深亚波长缺陷的能力。而要在IC制造产线上光学缺陷检测场景中推广深度学习技术的应用，还需开展更多研究工作，尤其是深度学习在光学缺陷检测场景中的灰色区域研究、深度学习与光学物理之间边界的探索等。▲图4代表性新兴晶圆缺陷光学检测系统。（a）外延相位衍射显微成像系统；（b）光学伪电动力学显微成像系统。（a）经许可转载。版权所有（2013）美国化学会。（b）经许可转载。版权所有（2019）美国化学会。未来展望伴随集成电路(IC)制造工艺继续向10nm及以下节点延拓，针对IC制造过程中的关键工序开展晶圆缺陷检测，从而实现IC制造的工艺质量监控与良率管理，这已成为半导体领域普遍达成的共识。尽管图形化晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题，但通过与纳米光子学、结构光照明、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术的融合，其再次焕发活力。其前景主要包含以下方面：为了提高缺陷检测灵敏度，需要从检测系统硬件与软件方面协同创新；为了拓展缺陷检测适应性，需要更严谨地研究缺陷与探测光束散射机理；为了改善缺陷检测效率，需要更高效地求解缺陷散射成像问题。除了IC制造之外，上述光学检测方法对光子传感、生物感知、混沌光子等领域都有广阔的应用前景。

随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起，生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景，对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求，越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试，需要通过参比镜进行数据传递，往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取，给测试带来很大困难，同时在数据传递中也会增加误差的来源。随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起，生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景，对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求，越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试，需要通过参比镜进行数据传递，往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取，给测试带来很大困难，同时在数据传递中也会增加误差的来源。本文主要介绍采用PerkinElmer紫外可见近红外光谱仪配置可变角度测试附件，直接测试样品不同角度下绝对反射率、透射率曲线，无需参比镜校准，操作简单方便，测试结果更加准确。附件为变角度绝对反射、变角度透射率测试附件，如下图所示，检测器和样品台均可以360度旋转，通过样品台和检测器配合旋转，测试不同角度下透射和反射信号。PerkinElmer Lambda1050+ 光谱仪自动可变角附件光路图图1 仪器外观图固定布局 工具条上设置固定宽高背景可以设置被包含可以完美对齐背景图和文字以及制作自己的模板下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。以下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。以下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。样品变角度透射测试采用自动可变角附件可以方便快捷的测试样品不同角度下透射数据，自动测试样品不同角度下P光和S光下透射率曲线，一次设置即可完成所有角度在不同偏振态下透射率曲线测试，无需多次操作，测试曲线如下图所示。图2 样品不同角度和偏振态下透射率测试数据样品变角度透射/反射曲线测试同一个样品，可以通过软件设置一次性测试得到样品透射和反射率曲线，如下图所示，该样品在可见波长下反射率大于99.5%，透射率低于0.5%，可同时表征高透和减反性能。图3 样品45度透射和反射曲线测试NIST标准铝镜10度反射率曲线测试采用自动可变角附件测试NIST标准铝镜10度下反射率曲线，如下图所示，黑色曲线为自动可变角附件测试曲线，红色为NIST标准值曲线，发现两条测试曲线完全重合，进一步证明测试系统的可靠性，可以准确测试样品的光学数据。图4 NIST标准铝镜10度反射率曲线测试（红色为NIST标准曲线）样品变角度全波长反射曲线测试（200-2500nm）软件设置不同的测试角度和偏振方向，自动测试样品不同角度下P光和S光偏振态下反射率曲线，如下图所示，200-2500nm整个波段下测试曲线均有优异信噪比，尤其是在紫外区（200-400nm）,可以完成各波长范围的反射性能测试。图5 样品全波段（200-2500nm）变角度反射率测试不同膜系设计的镀膜样品性能验证

国内领先的第三方测试机构华测检测技术股份有限公司(CTI)于近期购买了一套蓝菲光学(Labsphere)的CSLMS 2米和50厘米直径积分球光谱测量系统用于LED灯具和模组的检测。 　　蓝菲光学(Labsphere)的CSLMS(大型光源光通量检测系统)系统具有极高的精度和稳定性，受到美国能源之星(Energy Star)的认可并符合最新CIE测量标准。在美国能源部认可的7个授权进行能源之星检测的实验室中，有5个实验室采用Labsphere的积分球检测设备。 　　华测检测将使用Labsphere的CSLMS系统对LED灯具和模组进行发光效率、光通量、局部流明强度、流明维持、颜色维持、显色指数、品色坐标、波长、相关色温等参数的检测。通过使用Labsphere的设备，华测检测的检测能力将更受国际认可，并且对于其通过能源之星检测的审核有很大帮助。 　　华测检测技术股份有限公司是中国第三方测试、检验与验证服务的开拓者和领先者，为众多行业和产品提供一站式的全面质量解决方案。华测检测的实验室负责人张经理表示，蓝菲光学的产品在国际上得到了广泛认可，值得信任。 　　关于豪迈 (HALMA) 以及蓝菲光学 (Labsphere)： 　　蓝菲光学 (Labsphere) 有限公司 ( http://www.labsphere.com) 是世界光测试、测量以及光学涂层领域的领军企业。公司产品包括 LED、激光器及传统光源光测量系统 成像设备校准用的均匀光源 光谱学附属设备 高漫反射材料及背光显示屏覆层、计算机X线成像以及系统校准。公司的专家在诸多领域取得了多项专利技术，比如晶片和紫外线传输中的 LED 测试方法。蓝菲光学 (Labsphere) 的工程人员也常常协助客户，开发定制光采集管和导光管。蓝菲光学 (Labsphere) 是英国豪迈集团(HALMA p.l.c. - http://www.halma.cn)的子公司。创立于1894年的豪迈是国际安全、健康及传感器技术方面的领军企业，伦敦证券交易所的上市公司，在全球拥有 4000 多名员工，近40 家子公司。豪迈目前在上海、北京、广州和成都设有代表处，并且已在中国开设多个工厂和生产基地。

本周六（5月9日）上午10:00，我司王成铭博士将在仪器信息网网络讲堂做题为“光学无创技术在临床检测中面临的挑战与未来”的主题报告，探讨该技术的未来发展趋势和临床应用前景。 会议简介 在临床医学实践中，影像学（MRI、超声、CT）和病理学的互相印证对疾病的诊断至关重要，但在许多临床应用中还存在一些制约因素，给一些疾病的准确诊断带来困难，而基于拉曼、DCT和光声成像等技术的光学无创方法很有希望成为沟通影像学和病理学之间的重要桥梁。本次会议报告将从皮肤疾病诊断、消化道早癌检测和牙科根管治疗术中检测等临床实际应用切入，对光学无创方法进行概述，着重阐述其在实际临床应用中面临的困难和挑战，并从发展的角度探讨技术的未来发展趋势和临床应用前景。 欢迎各界朋友报名参与，共同讨论、交流、进步！点击本链接快速报名~ 讲师简介 王成铭，物理学博士，毕业于清华大学物理系低维量子物理国家重点实验室，现任北京鉴知技术有限公司光学工程师，清华大学物理系联合培养博士后。多年从事光学相干层析成像（OCT）临床应用方向，有临床医学合作经验，咨询和培训经验丰富。 【延伸阅读】酒精消毒防新冠？做不好这一点就没用！“鉴知”首次亮相——访北京鉴知技术有限公司总经理王红球从威视到鉴知 150余项专利技术铺就拉曼发展之路

4月30日，国际著名科学期刊《自然-通讯》(Nature Communications)发布了一种新型的光微流激光酶联免疫吸附剂测定(Enzyme-linked immunosorbent assay，简称ELISA)技术。该技术由密歇根大学安娜堡分校生物医学工程系范旭东教授课题组与复旦大学信息学院光科学与工程系吴翔副教授共同开发。据悉，该项新技术将有望应用于重大疾病(如癌症、艾滋病等)的早期检测与诊断以及单个酶分子催化机制研究。 　　一般来讲，传统的ELISA技术利用被酶催化生成的荧光产物所发出的荧光强度作为探测信号，然而在实际检测过程中，生物分子的非特异性结合、材料自荧光以及激发光的泄漏等因素造成的强荧光背景会干扰目标分子荧光强度的探测，从而限制了ELISA的探测极限以及动态测量范围。 　　而吴翔及其合作者开发的新型光微流激光ELISA技术的创新之处在于，以荧光产物为激光增益介质，利用高品质因子的光学微腔产生激光输出 在固定的泵浦功率下，产生激光的阈值时间和被测目标分子的浓度呈反比，不同的浓度对应不同的阈值时间，由此，将阈值时间作为该技术中的探测信号。 　　实验表明，该项技术的探测极限可达1fg/ml(38aM)(1飞克每毫升)，动态测量范围为6个数量级。这种新型的光微流激光ELISA技术，通过对激光阈值时间的探测，可以从较强的荧光背景中精确地分辨低浓度的目标分子，从而实现超高灵敏度的生物分子探测。该技术的应用，将对重大疾病(癌症、艾滋病等)的早期检测与诊断技术带来重要提升，同时对单个酶分子催化机制研究领域产生积极影响。 　　目前，吴翔正从事有源和无源光学微腔生物传感器以及微腔光镊的研究，希望能结合光微流激光技术的优点，进一步拓展光学微腔技术在生物传感领域的应用，实现高灵敏度和高通量的集成光学生物传感芯片。

近日，3D工业视觉传感器供应商立仪科技获得浩澜资本独家投资的数千万人民币的A轮融资，据悉，本轮融资将主要用于市场拓展、新品研发及补充流动资金。立仪科技成立于2014年，是一家专注于精密光学检测的公司，旗下有光谱共焦传感器等产品。公司的点共焦传感器已经量产，且服务多家头部客户；线共焦产品原型机已打样，正研发商业量产版本。主流的3D工业视觉的技术路线包括线激光、光谱共焦、条纹结构光、TOF、双目等技术路线。光谱共焦传感器是目前市场精度最高且能应用于各种特性的表面和复杂形状测量场景的新型传感器，其市场主要被国外厂商占据，但国产率较低。光谱共焦传感器的原理是通过使用特殊的透镜及光学系统，拉开不同颜色光的焦点分布范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射波的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。光谱共焦目前正处于技术迭代周期。激光技术的研发目前已逐渐见顶，而市场对测量传感器的需求越来越广，市场需求正从人工监测向自动化监测产品发展。与传统的激光相比，光谱共焦技术精度较高，且材料适应性更广，稳定性更高。立仪科技创始人兼CEO刘杰波告诉36氪：“我们之前曾做过三维激光扫描研究，过程中意识到激光扫描很难完成一些对高精度扫描有需求的测试任务，便开始向光谱共焦转向。”目前，立仪科技有点共焦位移和线共焦位移两类传感器产品，产品型号超百种。点共焦传感器上，立仪科技在拿到天使轮融资后，于2019年完成点共焦原型产品的量产。至今，公司的点共焦已经迭代到第三代，进入华为、三星、苹果供应链。除在产品设计上有着多项创新外，公司还开发了为国外禁止出口的激光干涉光谱共焦校准仪等专用仪器工装，且工艺经过量产验证，能帮助产品更好生产。在性能上，其传感器可以做到光强提高200%，线性度提高200%，反射干扰降低50%。价格上，产品售价比国外产品低。产品示意图公司2020年开始研发线共焦产品，目前已有原型机，是已能完成三维形状物体的扫描，具有精度高材料适应性好、无盲区、效率高等优点，可广泛应用于半导体、新能源、3C等领域。可应用领域据刘杰波介绍，线共焦传感器进口产品占 99%以上市场，售价昂贵，立仪科技可以做到同时解决漫反射和曲面镜面材质检测的技术，具备性能优势。本轮融资完成后，立仪科技也将集中精力，研发商业化量产版本线共焦产品。未来，公司还将继续研发高光谱+AI传感器和光纤传感器。公司的光谱共焦产品有着7、8年的积累，服务了半导体、新能源与3C、先进制造设备、精密仪器、科研院校等领域，面向京东方、天马等客户都有着数百套的出货量。经过长期打磨，立仪科技对市场需求和行业认知理解深刻。据刘杰波介绍，目前公司在国产品牌中市场占有率排名第一。在营收上，公司2022年预计完成数千万营收，较2021年有两、三倍的增长。在创始团队上，公司创始人兼CEO刘杰波有着十几年的精密光学测量研发经验，曾任数家世界500强公司高管，在光机电软件上融会贯通。公司首席科学家张巍博士曾就职于中科院物理研究院，有着丰富的光谱、激光等研究经验。目前，公司共有60多名员工，在深圳、苏州、成都、长沙都设有办事处，研发占比50%以上。

日前科技部下达了2013年国家重大科学仪器设备开发项目立项通知，经过层层筛选，安徽华东光电技术研究所牵头申报的&ldquo 平板显示屏自动光学检测仪器开发和应用&rdquo 项目成功立项，获得国家专项经费资助3607万元。 　　据悉，这是芜湖市企业首获此类开发专项支持，该项目的实施，对于改变同类高端仪器设备依赖进口，提高仪器设备自主创新能力和自我装备水平具有重大的推动作用。 　　为贯彻落实《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》，支持重大科学仪器设备开发，中央财政设立国家重大科学仪器设备开发专项资金。为规范专项资金管理，财政部会同科技部制定了《国家重大科学仪器设备开发专项资金管理办法(试行)》，支持科学仪器设备研发和应用。 　　安徽华东光电技术研究所(原芜湖电真空研究所)组建于1987年，是国家唯一定点承担军用特种显示技术的专业研究所。该所共承担了国家重点科研攻关任务、国家火炬计划任务、国家重大工业试验任务及国家重大装备国产化任务等一百多项，为歼十飞机、神舟七号、天宫一号等一百多项国家重点工程配套各种高技术产品。产品已经大面积应用到我国海、陆、空、天各领域。满足了国家重点工程急需，打破了国外封锁和禁运，填补了我国数百项空白。

9月22日，环境保护部科技标准司组织专家对国家环境保护环境光学监测技术重点实验室进行验收评审。验收专家组委员会一致认为，该实验室完成了建设计划任务书预期建设目标，达到了环境保护部重点实验室验收条件和要求，同意通过验收。 　　安徽省环境保护厅副厅长殷福才，中科院合肥物质科学研究院院长王英俭，中国科学院安徽光学精密机械研究所所长、重点实验室主任刘文清等出席了验收会。中国工程院院士潘德炉，环境保护部卫星环境应用中心、北京市环境保护监测中心、解放军电子工程学院等相关单位的专家参加了验收会。 　　国家环境保护环境光学监测技术重点实验室是国家环境保护总部与依托合肥研究院联合建立的环境光学监测理论和技术研究的基地。实验室于2007年10月开始筹建，主要承担环境光学应用基础研究，定量监测新方法研究和环境监测高新技术系统集成研究，先进环境监测技术规程和标准的编制任务，并对完善我国环境监测系统以及国家环境管理与决策提供理论与技术支持。 　　以潘德炉院士为主任委员的专家组听取了关于实验室建设情况的总结报告，现场考察了实验室，审阅了有关实验室验收材料，实地考察了该实验室，并与实验室领导和科研骨干进行了座谈。专家组一致认为，实验室完成了组织机构建设，形成了一支专业结构合理的环境光学近侧技术创新团队 实验室基本建设完成，自主研制建立了基于多种光谱学技术的地基、移动、机载和星载环境监测技术的研究平台，具备了环境光学监测技术创新研发的能力 实验室在环境光学应用基础、定量监测新方法、环境监测高新技术系统集成和先进环境监测技术规程和标准等四个研究方向取得了一批有代表性的成果 实验室研发的环境监测技术已推广应用到全国环境监测领域，为环境管理提供了有力的技术支撑。 　　为促进重点实验室更好地建设和发展，验收委员会专家组建议，在现有国家环境保护环境光学监测技术重点实验室的基础上，申请建设国家重点实验室。 验收会场 专家组考察实验室 专家组审查资料

奥林巴斯参加了2012北京国际光电产业博览会暨第十七届北京国际激光、光电子及光显示产品展览会（ILOPE 2012），并在此次展会上着重展出了用于光学元件检测的设备。 奥林巴斯的近红外显微分光测定仪USPM-RU-W可以高速高精细地进行可视光区域至近红外区域的大范围波长的分光测定。由于其可以很容易地测定通常的分光光度计所不能测定的细微区域、曲面的反射率，适用于光学元件与微小的电子部件等产品。 USPM-RU III反射仪可精确测量当前分光仪无法测量的微小、超薄样本的光谱反射率，不会与样本背面的反射光产生干涉。是非常适合测量曲面反射率、镀膜评价、微小部品的反射率测定系统。 KIF-20-UW激光干涉仪有着良好的环境适应性，适用于快速质量检查和批量生产透镜现场管控。

作者：荆淮侨 来源：中国科学报受SCIE期刊《极端制造》极端制造编辑部邀请，华中科技大学教授刘世元团队近日在该刊上发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述文章，对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾。随着智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展，先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度，图形化晶圆上制造缺陷的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术，但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继，因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。据了解，晶圆缺陷光学检测方法的最新进展包含了缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法等三个方面。其中，缺陷可检测性评估，包含了材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响两个方面。在多样化的光学缺陷检测方法上，目前，晶圆缺陷光学检测系统可根据实际使用的光学检测量进行分类。在后处理算法方面，根据原始检测图像来识别和定位各类缺陷，关键在于确保后处理图像中含缺陷区域的信号强度应明显大于预定义的阈值。在该综述研究中，也总结了代表性晶圆缺陷检测新方法。具体可划分为明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。研究人员认为，基于深度学习的缺陷检测方法的实施流程非常简单。首先，捕获足够的电子束检测图像或晶圆光学检测图像。其次，训练特定的神经网络模型，从而实现从检测图像中提取有用特征信息的功能。最后，用小样本集测试训练后的神经网络模型，并根据表征神经网络置信水平的预定义成本函数决定是否应该重复训练。据介绍，尽管图形化晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题，但通过与纳米光子学、结构光照明、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术的融合，其再次焕发活力。该团队介绍，这一研究领域的前景主要包含以下方面：首先，为了提高缺陷检测灵敏度，需要从检测系统硬件与软件方面协同创新。同时，为了拓展缺陷检测适应性，需要更严谨地研究缺陷与探测光束散射机理。此外，为了改善缺陷检测效率，需要更高效地求解缺陷散射成像问题。除了IC制造之外，上述光学检测方法对光子传感、生物感知、混沌光子等领域都有广阔的应用前景。相关研究人员表示，通过对上述研究工作进行评述，从而阐明晶圆缺陷检测技术的可能发展趋势，将为该领域的新进入者和寻求在跨学科研究中使用该技术的研究者提供有益参考。华中科大机械学院研究员朱金龙、博士后刘佳敏为该文共同第一作者，华中科大教授刘世元以及朱金龙为共同通讯作者。相关论文信息：https://doi.org/10.1088/2631-7990/ac64d7

2024年3月20-22日，全球规格最大、最具影响力的半导体盛会 SEMICON/FPD China 2024 在上海新国际博览中心圆满落幕。本届 SEMICON CHINA 2024 以“跨界全球、心芯相联”为主题，为全球半导体行业人员贡献了一场覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链携手合作、最新技术热点的饕餮盛宴。作为中国深度光谱技术的领军企业，上海复享光学股份有限公司（以下简称“复享光学”）受邀参加了本次盛会。本次展会，复享光学携半导体前道制造工艺中最新的先进光谱检测方案参展，吸引了众多业界人士的关注。与会者齐聚展台，分享创新技术、交流行业经验、探讨产业发展，对复享光学的产品及功能赞不绝口。随着芯片逐渐往微缩化和3D化发展，刻蚀设备的重要性不断提高。终点检测设备是刻蚀机的“眼睛”，需要其检测刻蚀何时停止，是刻蚀工艺控制的核心模块，关键技术一直以来被国外厂商所掌握。此次，我们向公众展示了面向先进刻蚀工艺控制的终点检测解决方案——InView-OES和InView-IEP。凭借在深度光谱技术领域十余年的扎实积累，复享光学自主研发了基于等离子体发射光谱的刻蚀终点检测解决方案——InView-OES，不仅填补了国内市场空白，更打破了国外技术垄断，解决国外断供危机。特别值得一提的是，针对目前国内先进制程工艺的技术发展方向所带来的极弱 OES信号的终点检测难题，复享光学攻克技术瓶颈，产品实现了极低检出限、极高信噪比和极高灵敏度，结合基于神经网络的人工智能终点判断算法，为先进制程提供了高效、精准的刻蚀终点检测。目前，InView-OES 已在 FAB端实现数百万片 wafer 量产检验，获得客户高度好评。此外，随着目前新材料&新器件的发展，出现了传统的 OES 方式所不能监控的无截止层刻蚀终点检测问题，复享光学针对此行业痛点，自主发展了基于白光干涉的终点检测解决方案 InView-IEP。产品具备可定制 model-based算法、复享光学不仅在产品上突破，在技术研究方面也在积极探索。作为国家级专精特新“小巨人”企业和上海市科委集成电路支撑项目的承担单位，公司大力聚焦先进终点检测技术，并积极将深度光谱检测技术应用于其他半导体制造工艺中。在量测领域，复享光学承担了上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域项目——《堆叠环栅晶体管（GAA-FET）制程量测拉曼光谱仪》。该技术致力于探究多层纳米薄膜在 GAA-FET 制备中的核心参数，如厚度、应力、界面状况及沟道载流子迁移率等，为未来的半导体量测设备领域提供创新解决方案。综上所述，复享光学不仅致力于当前半导体零部件的国产替代，也为未来国产半导体零部件设备的超越寻求突破之道。当下，半导体行业正经历蓬勃发展阶段，凡是目光所及，从人工智能、万物互联、汽车电子、各类消费品，其底层都是半导体芯片；同时，在国内半导体设备持续的国产替代和新晶圆厂产能扩张的双重浪潮推动下，针对先进制程、新结构和新材料芯片制造过程中光谱检测的紧迫需求，复享光学今年将充分利用省部级“上海微纳制程智能检测工程技术研究中心”以及“复旦大学光检测与光集成校企联合研究中心”双平台优势，将加速技术成果转化进程，缩短半导体产品研发周期，为中国高端芯片的生产贡献我们的光谱检测力量。

长期以来，良率一直被认为是半导体制造中最关键的指标之一。对于芯片制造商来说，减少将工艺提升到生产级良率所需的时间可能价值数十亿美元。因此，制造商在晶圆检测技术上投入巨资，以帮助快速发现和纠正影响良率的缺陷，最好是在它们影响晶圆厂产量之前。缺陷检测工具箱中有两个互补的工具：检测和复查。在最常见的策略中，芯片制造商使用基于光学的检测技术来检测晶圆上的潜在缺陷，然后进行电子束复查，电子束复查具有按类型查看和表征缺陷所需的更高分辨率，以帮助工程师发现和解决其根本原因。光学缺陷检测和电子束缺陷审查是相辅相成的——前者以牺牲分辨率为代价在更短的时间内扫描晶圆，而后者提供高分辨率，但扫描晶圆需要更长的时间。最佳策略是将这两种工具的优点结合起来。然而，随着半导体设计变得越来越复杂，光学检测正面临挑战。随着线宽的缩小，细小的有害颗粒成为杀手级缺陷。随着设备架构向 3D 过渡，颗粒变得越来越难以检测和观察。随着多图案化和 3D 架构增加了相邻工艺步骤的图案化相互依赖性，需要更多的检测点来追溯缺陷的根本原因。芯片制造商越来越面临成本困境：要么增加检测量而增加制造成本，要么节省成本并降低制造良率。2021 年，应用材料公司推出了一款创新的光学检测系统，旨在帮助芯片制造商驾驭这个复杂的新时代。Enlight® 明场光学晶圆检测系统将行业领先的速度与高分辨率光学器件相结合，可从每次晶圆扫描中捕获更多对良率至关重要的数据。它是唯一同时具有明场和暗场检测通道的系统，使其能够同时收集反射光和高角度散射光，以检测最小的缺陷。Enlight 系统架构改变了光学检测的经济性，将捕获关键缺陷的成本优势提高了 3 倍。成本优势使Enlight系统客户能够减少检测预算或插入更多检测点，以在相同的预算下检测更多的颗粒和图案错误。因此，Enlight 系统已成为应用材料公司历史上速度最快的检测系统，并被其所有领先的晶圆代工客户用于大批量生产。今年，应用材料推出了 Enlight® 2 系统，它将吞吐量和灵敏度提升到新的水平。区分妨害和缺陷Enlight 2 系统旨在检测数量最多的良率扼杀缺陷，同时保持较低的误报率。Enlight 2 具有两项升级，可提高对相关缺陷的敏感度：图像处理能力的阶跃函数和成像动态范围的增加，每次扫描都能检测到 100 倍以上的潜在缺陷。新的 SideView™ 模块可实现晶圆的倾斜照明，从而将检测 3D 缺陷的灵敏度提高近一倍。该系统还提供了新的干扰抑制功能：一种名为SELFI的新型深度学习引擎™检测和分类超过十亿个缺陷图像，使工程师能够捕获3倍以上的目标缺陷。一种名为GF Polaris™的新型光偏振模块扩展了360度可调偏振，以控制灰场检测通道，并减少50%的滋扰。提高限速Enlight 2 包括多项增强功能，可进一步提高系统的吞吐量：新的混合计算架构利用图形加速器和专用图像处理器将 CPU 性能提高 4 倍，数据存储速度提高 5 倍，网络吞吐量提高 2.5 倍。一台新的望远镜将系统的晶圆扫描吞吐量扩大了40%以上。降低拥有成本这些速度和灵敏度的改进使芯片制造商能够在整个制造流程中插入更多的检测点，同时为每个配方提供更多的扫描集，同时保持相同的总体拥有成本。同时，检测阶段可操作信息数量的增加增强了在良率偏移发生之前预测良率偏移的能力，立即检测偏移，以便可以停止晶圆加工以保护良率，并实现根本原因追溯，以加快纠正措施和恢复大批量生产。芯片制造商倾向于降低检测工具的灵敏度，以尽量减少干扰检测，这增加了遗漏关键缺陷的风险。为了缓解这一挑战，应用材料公司的 ExtractAI™ 技术使用大数据帮助客户在在线监测期间快速创建完全分类、无噪声的地图。Enlight 2 系统的预测功能与 ExtractAI 相结合，在明场光学晶圆检测和我们行业领先的电子束审查系统 SEMVision® 之间提供了实时、智能的链接。ExtractAI 技术使用人工智能 （AI） 来表征晶圆上的所有潜在缺陷，为 SEMVision eBeam 系统提供可操作的分类缺陷图。电子束系统反过来训练 ExtractAI 技术对杀良率缺陷进行分类，从而能够快速准确地将杀良率缺陷与高端光学扫描仪产生的数百万个干扰信号区分开来。通过结合应用材料一流的光学检测和电子束审查技术，创建了业界唯一的智能解决方案，不仅可以检测和分类良率关键缺陷，还可以实时学习和适应工艺变化。在发布该系统前，应用材料已经向客户交付了两位数数量的系统，用于大批量生产，结果显示可以在不牺牲灵敏度的情况下将吞吐量提高 50%。应用材料的目标是在未来几年内创造超过10亿美元的收入，并帮助客户在芯片制造的新时代增加晶圆厂的产量和产量，从而创造数十亿美元的收入。

美国 Labsphere 公司(蓝菲光学)和国内照明电器行业的首个专业国际CB 实验室，国家电光源质量监督检验中心(上海)、国家灯具质量监督检验中心、上海时代之光照明电器检测有限公司于2011年4月8日在上海签订了合作框架协议。 签约仪式现场 　　签字双方决定发挥各自优势，围绕半导体照明检测的立项与研发，以半导体照明评估技术为重点开展合作。国家电光源质量监督检验中心同意将其拥有的专利(《LED 正向电压降和结温曲线的测量装置》专利号：ZL2009 2 0212653.0)用于美国 Labsphere 公司的“LED 光、色、电及热特性的检测(TOCS)”系统中。双方还将在人才培养和人员交流方面积极开展合作并建立技术与学术交流机制，积极互通国内外信息和发展动态，为双方技术研发人员开展学术交流与活动提供便利。 　　美国 Labsphere 公司参加签字仪式的有总裁 Peter Weitzman 先生、前总裁 Kevin Chittim 先生、运营副总裁 David McManus 先生、上海蓝菲光学仪器有限公司总经理肖冬先生、技术总监于立民博士等。上海市质量监督检验技术研究院副院长谢亦群先生、上海时代之光照明电器检测有限公司总经理陈超中先生、副总经理俞安琪先生、标准技术部主任施晓红女士、杨樾女士参加签字仪式。上海时代之光照明电器检测有限公司总经理陈超中先生与美国 Labsphere 公司总裁 Peter Weitzman 先生分别代表双方在联合开发检测仪器合作协议上签字。 　　美国 Labsphere 公司 LED 光、色、电及热特性的检测”系统 TOCS 是为了更容易地符合新的国际测试报告规范，该系统仅使用及成软件不仅能测量光学特性，而且同时能测量温度和工作电流。TOCS 遵守IESNA LM-79标准，生成精确且可反复使用的 LED 测量结果。TOCS 系统提供从50cm-193cm各种大小的积分球，可以用于2和4的测量。其基本系统由如下部分组成：光源测量积分球，高分辨率 CCD 阵列光谱仪，带有温度调节器的专用夹具，辅助光源，校准光源和配套电源，以及蓝菲光学强大的 TOCS-SS软件。此套系统已经被国内外著名厂商和检测机构所接纳。国家半导体照明产品质检中心(常州)已经率先定购了此套系统 台湾的台积电、韩国科学技术院(RIST)也于先期采购了此系统。国家电光源质量监督检验中心和 Labsphere 公司将根据国际、国内 LED 检测标准的变化不断完善和更新以满足用户需要。 　　关于豪迈(HALMA)以及蓝菲光学(Labsphere)： 　　蓝菲光学(Labsphere)有限公司 (www.labsphere.com) 是世界光测试、测量以及光学涂层领域的领军企业。公司产品包括 LED、激光器及传统光源光测量系统 成像设备校准用的均匀光源 光谱学附属设备 高漫反射材料及背光显示屏覆层、计算机X线成像以及系统校准。公司的专家在诸多领域取得了多项专利技术，比如晶片和紫外线传输中的 LED 测试方法。蓝菲光学(Labsphere)的工程人员也常常协助客户，开发定制光采集管和导光管。蓝菲光学(Labsphere)是英国豪迈集团(HALMA p.l.c. )的子公司。创立于1894年的豪迈是国际安全、健康及传感器技术方面的领军企业，伦敦证券交易所的上市公司，在全球拥有3700多名员工，36家子公司。豪迈目前在上海、北京、广州和成都设有代表处，并且已在中国开设多个工厂和生产基地。

2013年5月22-24日，第八届上海国际淀粉及淀粉衍生物展览会于上海光大会展中心举办，本届展会为业内淀粉生产及深加工企业，商贸机构以及相关淀粉检测仪器厂商提供了良好的交流合作平台。作为在开发研制光学检测仪器方面拥有长达四十多年经验的生产厂商，安东帕本次展出的数字式密度计，高精度智能旋光仪，高性能折光仪及全自动密度折光联用仪等产品受到与会观众的广泛关注和咨询。 MCP系列旋光仪&mdash &mdash 用于高质量分析的智能旋光仪。MCP旋光仪可用于淀粉及由淀粉加工的成品的质量控制和纯度测定。这对于控制这类物质的质量至关重要。除此之外，此系列产品还可用于药品、食用香精、软物质样品、蜂蜜及香水等检测。 DMA 500 &mdash &mdash 小块头，大智慧。DMA 500是一款轻便小巧的数字式密度计，具有无与伦比的易用性。用户界面简单明了，用户只需稍作了解即可独立操作仪器。此仪器具有诸多功能，可以确保正确进样，还可确保测量结果完全可追溯，需要时可立即调用。配备充电电池，方便携带，让您可以走出传统实验室，离线操作仪器。 Abbemat自动折光仪&mdash &mdash 准确度的标杆。高性能系列折光仪设计用于原材料入库检验到半成品和成品检验的日常质量分析和控制。内置的各行业特点的标准测量方法，功能强大。具有操作简单，测量周期短，适用范围广，持续使用时间长等独特优势。 请登录 http://www.anton-paar.com/%E4%BA%A7%E5%93%81/2_China_zh 了解等多安东帕产品信息。

p style=" line-height: 1.75em " & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 英国伯明翰大学研究人员17日宣布，他们开发出一种新型光学设备，能够根据水中荧光特征在30秒内快速检测出水质是否达到可饮用的安全标准，有望用于灾区救援、污水处理等方面。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　据研究人员介绍，所有水体都会散发荧光，但人眼对特定波长的光线敏感度不够，因此这些荧光不易被肉眼察觉。此前一些研究显示，由于水中污染物会有各自不同的荧光特征，可通过分析水体荧光来识别水质污染情况。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　伯明翰大学团队开发的这种设备能探测特定波长的荧光，以此判断水中是否存在相应的微生物和有机碳。研究人员说，使用这种设备“扫描”水体，在短短30秒内就能完成检测。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　相比而言，传统的方法需要超过12小时才能完成水质检测，并且要使用成本相对较高的生化试剂，这无法满足灾区以及贫困地区快速寻找干净水源的需求。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　领导这个项目的伯明翰大学教授约翰· 布里奇曼说，这个新设备的操作非常简单，普通人也能很快学会使用，有利于未来在偏远地区普及。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　据介绍，研究团队已经与中国一家公司合作，利用这套新设备来协助广州一处污水处理厂提高污水处理效率。 /p p br/ /p

随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起，生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景，对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求，越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试，需要通过参比镜进行数据传递，往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取，给测试带来很大困难，同时在数据传递中也会增加误差的来源。本文主要介绍采用珀金埃尔默紫外/可见/近红外光谱仪和Spectrum 3红外傅里叶变换红外光谱仪，配置TAMS等可变角度测试附件，测试样品不同角度下绝对反射率、透射率数据，实现175nm-50000nm透射率、反射率等光学性能的精确表征。TAMS附件为变角度绝对反射、变角度透射测试附件，如下图所示，检测器和样品台均可以360度旋转，通过样品台和检测器配合旋转，测试不同角度下透射和反射信号。 Lambda系列分光光度计 TAMS变角度透射反射附件光路图图1 仪器外观图以下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。01样品变角度透射测试采用TAMS附件可以方便快捷的测试样品不同角度下透射数据，自动测试样品不同角度下P光和S光下透射率曲线，一次设置即可完成所有角度在不同偏振态下透射率曲线测试，测试曲线如下图所示。 图2 样品不同角度和偏振态下透射率测试数据（点击查看大图）TAMS附件配套不同的偏振组件，可以自动测试样品不同波长下偏振信号，如下图测试石英样品在45度下偏振P光和S光反射数据： 图3 样品紫外波段P光和S光偏振测试（点击查看大图）02样品变角度透射/反射曲线测试通过软件设置，可一次性测试得到样品透射和反射率曲线，如下图，该样品在可见波长下反射率大于99.5%，透射率低于0.5%，可同时表征高透和减反性能。 图4 样品45度透射和反射曲线测试（点击查看大图）03NIST标准铝镜10度反射率曲线测试测试NIST标准铝镜10度下反射率数据，如下图所示，黑色曲线为TAMS测试曲线，红色为NIST标准值曲线，两条测试曲线完全重合，进一步证明测试系统的可靠性，可以准确测试样品的光学数据。 图5 NIST标准铝镜10度反射率曲线测试（红色为NIST标准曲线）04样品变角度全波长反射曲线测试（200-2500nm）软件设置不同的测试角度和偏振方向，自动测试样品不同角度下P光和S光偏振态下反射率曲线，如下图所示，200-2500nm整个波段下测试曲线均有优异信噪比，尤其是在紫外区（200-400nm）,可以完成各波长范围的反射性能测试。 图6 样品全波段（200-2500nm）变角度反射率测试（点击查看大图）05不同膜系设计的镀膜样品性能验证测试样品600-1400nm下45度反射率曲线，该样品在1200nm以上属于高反射率，反射率大于99.5%，同时需要关注600-1200nm范围各个吸收峰情况，该波段下吸收峰非常尖锐，同时吸收峰较多，需要仪器具备高分辨率，从而准确测试出每一个尖锐吸收峰信号。 图7 膜系设计验证样品45度反射率测试（点击查看大图）06双向散射分布函数（BSDF）测试除了测试常规变角度透射和反射曲线外，TAMS附件可以自动测试样品不同角度下透射和反射率信号，可以得出样品不同角度下的透射分布函数（BTDF）和反射分布函数（BRDF）信号，最终得到双向散射分布函数（BSDF）。采用该附件可方便测试样品双向散射分布函数（BSDF）、双向反射分布函数（BRDF）、双向透射分布函数（BTDF）等光学参数测试，测试结果如下图所示： 图8 BRDF和BTDF测试（点击查看大图）如下图所示，测试样品不同波长下BSDF分布函数曲线（BRDF + BTDF），从而可以得出样品随不同角度下透射和反射信号变化情况。 图9 样品不同波长下BSDF（BRDF+BTDF）测试（点击查看大图）07窄带滤光片测试Lambda系列光谱仪为双样品仓设计，TAMS附件可与标准检测器、积分球检测器自由更换。对于窄带滤光片样品，即需要准确测设带通区域的透过率、半峰宽，也需要准确测试截止区吸光度值（OD值），可直接切换标准检测器进行检测。 图10 用于激光雷达的镀膜镜片透射和OD值测试数据（点击查看大图）08红外波段区变角透射反射测试珀金埃尔默傅里叶变换红外光谱仪，可广泛应用于上述红外材料光学性能测试，可测试样品在不同波段下红外透光率以及反射率，搭配变角透射及变角反射附件，可以实现不同角度下透射率及反射率测试，如下图为红外波段透射和反射测试曲线： 图11 用于Spectrum 3傅里叶红外的TAMS附件 图12 红外TAMS附件测试样品红外波段不同角度透射数据Summary综上，采用Lambda系列紫外/可见/近红外分光光度计以及傅里叶红外光谱仪，搭配TAMS、标准检测器、积分球等多种采样附件，可以组合出完备的材料光学性能测试平台，满足光学镀膜测试的多样化需求，更加准确便捷的得到样品的光学检测数据。 关注我们

全球安全、健康和环境科技的领军企业——海洋光学新一代便携式拉曼光谱仪ACCUMAN PR-500 荣耀上市，可以帮助制药企业以较低成本从容应对原辅料“证实”和“证伪”的鉴定。 ACCUMAN PR 500 中国国家食品药品监督管理局于2011年发布关于贯彻实施《药品生产质量管理规范（2010年修订）》（2010新GMP）的文件，要求各新建药品生产企业、药品生产企业新建（改、扩建）车间均应符合2010新GMP的要求，制定相应的操作规程，采取核对或检验等适当措施确认每一包装内的原辅料正确无误。传统的红外和湿法化学方法，需要对样品取样，前处理等，过程繁琐，耗时耗力，难以满足药典快检和全检的新要求。 ACCUMAN PR-500采用拉曼光谱快检技术，这一基于激光和光谱学的分析技术，被称为“分子指纹”，可以透过透明包装，直接在仓库，投料间等区域对原辅料进行无损检测。对于困扰红外的水溶液检测，也可以轻松应对。 ACCUMAN PR-500 操作界面截屏 要保证快速获得真实可靠的物质“指纹”信息，PR500采用了业内最优的光谱核心，信噪比最高，并具备极高的灵敏度。面对品类多样的原辅料，特别是有些结构相近的物质，例如相似的水合物或同分异构体，PR500提供更大的拉曼光谱范围（最高可达390cm-1）和更优的光谱分辨率 (最优可达4cm-1)，能够轻松应对复杂样品。较之传统的手持快检设备，PR500操作端仅重330g，符合人体工学设计，可单手操作。高清多点触控屏，图谱清晰。可选中文系统，用户界面友好方便。 ACCUMAN PR-500手持端检验原料 此外，随着药品监管制度的进一步完善，对药厂的质量管理提出了更高的要求。GAMP 5 （良好自动化生产实践指南）是ISPE对于制药企业计算机系统验证重要的合规指南。新一代的ACCUMAN PR-500依照GAMP 5指导原则设计，遵从GxP计算机化系统监管的风险管理方法中关于计算机化系统用户需求规范附录D1和CFR Part 11，以符合GxP计算机系统要求。点击获得更多产品信息：http://www.oceanoptics.cn/product/accuman 关于海洋光学亚洲（Ocean Optics Asia）和豪迈（HALMA）: 海洋光学(www.OceanOptics.cn)是世界领先的光传感和光谱技术解决方案提供商，为您提供测量和研究光与物质相互作用的先进技术。海洋光学在亚洲与欧洲设有分部，自1992年以来，在全球范围内共售出了超过20万套光谱仪。海洋光学拥有庞大的产品线，包括光谱仪、化学传感器、计量仪器、光纤和光学元件等等。海洋光学的产品在医学和生物研究、环境监测、科学教育、娱乐照明及显示等领域应用广泛。 海洋光学是英国豪迈（HALMA plc– www.halma.cn）的子公司。创立于1894年的豪迈是世界领先的安全、健康及环境技术集团，伦敦证券交易所的上市公司，在全球拥有 5000 多名员工，40 多家子公司。豪迈是伦敦证券交易所上市公司中唯一一家在过去30多年股息增长保持5%以上年增长的企业。豪迈目前在上海、北京、广州、成都和沈阳设有区域代表处，并且已在上海、北京、保定、深圳等地开设多家工厂和生产基地。