自动光学检测

日前，由中国电子科技集团第45所承担的国际科技合作项目“自动光学检测(AOI)设备技术合作”，通过了国家级验收，技术指标达到了国外同类设备水平，标志着自动光学检测(AOI)设备实现了国产化，填补了国内空白。 　　据了解，当今电子装备在结构上强调实现小型化、微型化、模块化，以满足高性能、高可靠、大容量、小薄轻的要求。线路板上元器件组装密度提高，其线宽、间距、焊盘越来越细小，已到微米级，复合层数越来越多。传统的人工目测(MVI)和针床在线测试(ICT)检测因“接触受限”(电气接触受限和视觉接触受限)所制,已不能完全适应当今制造技术的发展，自动光学检测系统(AOI)已经成为IC制造业的必然需求，正越来越多地用来代替传统MVI和ICT技术，进行检测，用于监视和保证生产过程的品质。目前，我国自动光学检测系统(AOI)设备主要依赖进口，一直被以色列、美国、日本等国家所垄断。中国电子科技集团第45所，与加拿大开展了卓有成效的国际科技合作，共同研发自动光学检测(AOI)设备，通过引进、消化吸收、再创新，终于研制出了具有国际水平的自动光学检测(AOI)设备，打破了国外的垄断与技术封锁，使进口产品降价30%。 　　中国电子科技集团第45所通过技术引进和消化吸收，攻克了高速图像采集和硬件处理技术，缺陷识别和处理技术，细微图形采像技术等三项关键技术，并成功应用于AOI设备的研制，目前已获得专利4项，申报并受理发明专利6项，发表学术论文6篇，获省部级科学技术二等奖1项。该项目的完成，标志着我国在自动光学检测设备领域具备与国外主流设备展开竞争的实力，提高了我国电子专用检测设备的制造水平。

河北省廊坊市科技局26日称，中国电子科技集团第45所(燕郊)与加拿大共同合作的“自动光学检测(AOI)设备技术”研制成功，各项技术指标均达到国外同类设备水平。这标志着我国打破了国外在自动光学检测设备领域的垄断与技术封锁，使自动光学检测设备进口产品降价30%。 中国电子科技集团第45所 　　据廊坊市科技局工作人员介绍，全球电子装备在结构上强调实现小型化、微型化、模块化，以满足高性能、高可靠、大容量、小薄轻的要求。而我国传统的人工目测(MVI)和针床在线测试(ICT)检测因“接触受限”(电气接触受限和视觉接触受限)所制，已不能完全适应当今制造技术的发展。目前，我国自动光学检测系统(AOI)设备还主要依赖进口，一直被以色列、美国、日本等国家所垄断。因此，自动光学检测系统(AOI)已经成为IC制造业的必然需求。 　　据了解，2007年，中国电子科技集团45所顺利通过科技部、国家外专局的批准，被列为我国“微电子装备国际合作基地”之一，并与加拿大开展国际科技合作。 　　廊坊市科技局局长杨中秋表示，该项目的完成，不仅提高了我国电子专用检测设备的制造水平，也标志着我国在自动光学检测设备领域具备了与国外主流设备竞争的实力。

2024年4月9日，思看科技（SCANTECH） 全新发布AM-CELL C系列自动化三维检测系统 ！创新性融入核心单元设计理念，集易部署、易操控、高拓展性、全方位安全于一体，为中小型零部件检测打造自动化交钥匙解决方案，探寻智能制造更多可能！AM-CELL C系列自动化光学3D检测系统创新性融入核心单元设计概念，深度集成机器人、变位机和跟踪站单元，布局更灵活，支持拓展多工位协同工作，实现更加柔性的部署方式。设备使用标准工业外扩接口，可无缝衔接生产线，搭配全新自研的DefinSight-AM自动化软件，满足各类复杂车间环境下的冲压件、注塑件、机加钣金件、压铸件等中小型零部件的自动化检测需求，赋能生产制造企业打造智慧工厂。轻装上阵 灵活布局 系统由多个标准化的独立模块组成，布局灵活，轻松驾驭用户多元场景下的批量检测需求。设备安装调试仅需2天，调试过程可拖拽机器人进行示教，实现快速自动路径规划，告别复杂繁琐的操作流程，大幅降低自动化设备的使用门槛，开启您的效率革新之旅。机器人单元-深度集成机器人和设备总控于一体-精准操控，安全可靠变位机单元-高灵敏度自研转台-智能运动控制系统-实现更多负载-快速响应，稳定运行跟踪站单元-人体工程学结构设计-大幅度扩展操作区-大容量收纳空间，支持整套扫描仪收纳硬派计量 精准出击AM-CELL C系列适配思看科技全系列不贴点跟踪式三维扫描系统，长时间运行更稳定，可以24小时不间断地完成每天数百个零部件的批量检测任务。无损演绎手持设备最高2,600,000 次/秒测量速率和0.025mm计量级精度；同时支持全新灰度值边界检测功能，自动提取孔特征，轻松获取冲压件或机加件的圆孔、圆槽、方孔等封闭类特征的高精度三维数据。赋能生产过程分析，从源头提高产量、降低生产成本，实现标准化质保过程。柔性部署 高效协同针对客户的产品测量需求、生产节奏以及产品种类的多样性，灵活配置多工位系统，以此达成换件不停机的高效生产模式。结合自动化软件，可以多线程并行处理任务，真正做到测量设备无等待、无停滞地持续运作，测量效率较传统三坐标提高5倍以上，加速研发转化周期，为新产品快速投放市场提供有力的保障。多元适配 多样选择AM-CELL C系列凭借卓越的兼容性，可无缝适配各种品牌、型号的大臂展协作机器人（臂展≥1300mm），无需额外硬件配置，就能实现即插即用的部署过程，快速融入各类生产场景，大幅减少使用成本和准备时间。设备亦可根据不同产品的特定要求，提供200-1000KG范围内多种负载和尺寸的智能转台系统，便于用户灵活选择，以满足不同工业产品及工艺的差异性应用，为用户打造高效益和高适应性的自动化检测系统。人机交互 全方位安全感机器人和变位机单元均搭载先进的力反馈伺服控制系统，无需特殊安全防护，凭借精准的力量控制，确保操作的稳定性和安全性。整套测量系统提供更好的人机交互场景，可以充分保障操作人员和设备本身的双重安全。同时，依据客户的安全需求和更高的安全等级要求，可选择加装安全围栏、安全光幕、安全门锁等多种防护方式，带给用户全方位的安全操纵体验。自动化软件DefinSight-AM自研专属自动化软件平台DefinSight-AM，融合先进的数据采集能力和高度智能化的机器人控制系统，兼容思看科技全系列3D扫描仪及各种测量策略，数据采集更加精准可靠。支持搭载市面主流机器人，开放控制脚本，在符合机器人安全要求下直连机器人运动，降低机器人的使用门槛。软件可按使用者权限设置为工程师模式或操作者模式：工程师模式：支持脱机制作自动化测量程序及模板，便于工程师一人同步维护多套自动化测量系统。通过回溯历史测量结果并生成统计分析，实现更加精细化的质量控制过程，为生产制造保驾护航。操作者模式：支持一键启动，自动调用、计算、生成检测报告，对测量程序设置仅作读操作，保证程序及设备安全，大大降低了操作员的技能要求及误操作可能性。软件支持多种工业通讯协议及其他设备拓展，例如读码调取程序，视觉安全防护，环境状态监控等功能，使得整套测量系统完全融入工业物联网，实现黑灯工厂、无人工厂的工作需求，快速识别生产中的变化，确保生产过程稳定可靠，赋能生产制造全生命周期的质量控制。全场景测量 释放强悍实力生产车间设备抗干扰性强，不受环境光源、温度变化的影响，在复杂车间环境下，仍能保持长时间高精度自动化三维测量。尺寸测量室无需特殊安全防护要求，可以根据实际情况选择是否加装防护外框，实现安全稳定、用户友好的实验室测量。教学实训支持多种编程，无需专业技能即可高效完成测量任务，致力于以产学研融合的方式，助力人才培养生态建设。关于思看科技思看科技是面向全球的三维视觉数字化综合解决方案提供商，主营业务为三维视觉数字化产品及系统的研发、生产和销售。公司深耕三维视觉数字化软硬件专业领域多年，产品主要覆盖工业级高精度和专业级高性价比两大差异化赛道，主要产品涵盖便携式3D视觉数字化产品、跟踪式3D视觉数字化产品、工业级自动化3D视觉检测系统和专业级彩色3D视觉数字化产品等。公司产品广泛应用于航空航天、汽车制造、工程机械、交通运输、3C电子、绿色能源等工业应用领域，以及教学科研、3D打印、艺术文博、医疗健康、公安司法、虚拟世界等万物数字化应用领域，致力于提供高精度、高便携和智能化的三维视觉数字化系统解决方案，打造三维视觉数字化民族品牌。

随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起，生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景，对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求，越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试，需要通过参比镜进行数据传递，往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取，给测试带来很大困难，同时在数据传递中也会增加误差的来源。随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起，生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景，对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求，越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试，需要通过参比镜进行数据传递，往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取，给测试带来很大困难，同时在数据传递中也会增加误差的来源。本文主要介绍采用PerkinElmer紫外可见近红外光谱仪配置可变角度测试附件，直接测试样品不同角度下绝对反射率、透射率曲线，无需参比镜校准，操作简单方便，测试结果更加准确。附件为变角度绝对反射、变角度透射率测试附件，如下图所示，检测器和样品台均可以360度旋转，通过样品台和检测器配合旋转，测试不同角度下透射和反射信号。PerkinElmer Lambda1050+ 光谱仪自动可变角附件光路图图1 仪器外观图固定布局 工具条上设置固定宽高背景可以设置被包含可以完美对齐背景图和文字以及制作自己的模板下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。以下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。以下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。样品变角度透射测试采用自动可变角附件可以方便快捷的测试样品不同角度下透射数据，自动测试样品不同角度下P光和S光下透射率曲线，一次设置即可完成所有角度在不同偏振态下透射率曲线测试，无需多次操作，测试曲线如下图所示。图2 样品不同角度和偏振态下透射率测试数据样品变角度透射/反射曲线测试同一个样品，可以通过软件设置一次性测试得到样品透射和反射率曲线，如下图所示，该样品在可见波长下反射率大于99.5%，透射率低于0.5%，可同时表征高透和减反性能。图3 样品45度透射和反射曲线测试NIST标准铝镜10度反射率曲线测试采用自动可变角附件测试NIST标准铝镜10度下反射率曲线，如下图所示，黑色曲线为自动可变角附件测试曲线，红色为NIST标准值曲线，发现两条测试曲线完全重合，进一步证明测试系统的可靠性，可以准确测试样品的光学数据。图4 NIST标准铝镜10度反射率曲线测试（红色为NIST标准曲线）样品变角度全波长反射曲线测试（200-2500nm）软件设置不同的测试角度和偏振方向，自动测试样品不同角度下P光和S光偏振态下反射率曲线，如下图所示，200-2500nm整个波段下测试曲线均有优异信噪比，尤其是在紫外区（200-400nm）,可以完成各波长范围的反射性能测试。图5 样品全波段（200-2500nm）变角度反射率测试不同膜系设计的镀膜样品性能验证

p 　 strong 　仪器 /strong strong 信息网讯 /strong span style=" font-family: times new roman " 2016年5月10日，由中国光学工程学会、中国高科技产业化研究会、国际光学工程学会(SPIE)、美国光学学会(OSA)主办的2016年国际光电技术与应用系列创新研讨会(OTA 2016)在京开幕。此次研讨会除了大会报告之外，还设有13个分会场，分别为1.国际高功率激光技术与高能激光应用研讨会2.国际激光制造与激光检测技术研讨会、3.国际3D打印技术及其应用研讨会(2.3.合并)、4.国际先进光学系统设计与制造及应用研讨会、5.国际光学检测技术及仪器研讨会、6.国际机器人先进感知与智能控制技术研讨会、7.国际天文望远镜与仪器研讨会、8.国际大数据光存储技术研讨会、9.国际高光谱遥感应用研讨会、10.国际硅基光电子与集成研讨会、11.国际红外技术与应用研讨会、12.国际环境监测与安全检测技术及应用研讨会、13. 纪念光纤发明50周年大会等。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_20160511_080631_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/0242fdc0-4ff5-4fd0-a565-8a281012ced0.jpg" / /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　5月10日下午至5月11日是大会的分会场研讨时间。分会之一国际光学检测技术及仪器研讨会作为国际光电技术与应用系列创新研讨会的重要组成，每年都吸引来国内外光学检测技术研发专家们到会参加讨论。据主办方中国光学工程学会介绍，往届的光学检测技术及仪器研讨会更注重技术的研发探讨，今年的会议是首次明确将光学检测技术和仪器的产业化作为研讨的主题，这也是响应国家支持科研成果转化的号召。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0179_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/9abb0d7b-0511-43d3-8897-864a65628744.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 会议现场 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　本届国际光学检测技术及仪器研讨会共包括来自国内外工程化院校、研究所以及商业化仪器企业的25个报告，吸引了百余位相关研究实验室和企业的参会者。以下是部分报告介绍： /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　哈工业大学精密仪器工程研究院谭久彬教授报告的题目是《高端超精密仪器产业化探索》。据介绍，我国工业化进入中后期，高端装备发展走到了必须发展的道路。超精密仪器技术已经是大国必争的战略高地，而目前我国面临发达国家和新兴国家的双重挑战。我国超精密仪器产业化发展存在很多问题，如理念陈旧、企业自主创新能力较低等。充分发挥大学研究所自主创新能力强的优势，让工科大学研发平台与企业的产业化平台一体化对高端精密仪器产业化将产生巨大的推动作用。谭久彬教授还介绍了团队根据产业化需求研制的用于微纳结构表征的共聚焦扫描测量仪、面向生物医学的立体层析共聚焦显微镜、快速超精密双频激光干涉仪等精密仪器测量设备。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0155_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/ec2a365f-9cf0-4d63-9b60-9abcb0547974.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 /span span style=" font-family: times new roman " strong 谭久彬 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　中国工程物理研究院激光核聚变研究中心袁晓东报告的题目是《Research on the Precision Assembly System for SG-III Laser Facility 》。据介绍激光诱导惯性约束核聚变是实验室最常用的实现核聚变的方法。大型高能激光装置对于方法的实现非常重要，目前在美国、法国和中国(SG-III)共有三个大型高能激光装置。袁晓东在报告中介绍了SG-III的设计和一体化装配过程，LRU模型的离线精密装配与在线准确重置能够满足大型激光装置的安装与调试。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0190_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/e4fb6b6d-5a3c-43f7-b245-395995ff5fba.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 /span span style=" font-family: times new roman " strong 袁晓东 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　北京交通大学冯其波教授报告的题目是《System for simultaneously measuring 6DOF geometric motion errors using fiber-coupled laser》。据介绍，提高受控机床的精度，可以从改善硬件设施或是误差补偿的方法入手。冯其波教授表示：做精密仪器“方向决定成败、细节决定高低。”还介绍了团队研制的单轴6自由度误差测量系统。光纤的使用使系统热稳定性得到了提高，可稳定的通过补偿降低误差。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0217_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/9a23d7ae-7e5f-4052-b201-ff4466fde9c6.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 冯其波 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　 /span span style=" font-family: times new roman " 中国科学院光电研究院周维虎教授报告的题目是《飞秒激光频率梳精密测量技术研究》。飞秒光梳是频率和相位完全受控的飞秒锁模脉冲激光。主要用于绝对距离测量、频率测量等测量和低噪声微波源和任意光脉冲合成。周继虎教授介绍了飞秒光梳的实用化研制，基于该原理该团队还研发了飞秒激光跟踪仪可用于台阶测量、自由曲面测量、时频测量等方面。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0259_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/ab834326-5079-4588-a625-7c6693835b4b.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 周维虎 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　中国科学院上海光学精密机械研究所邵建达报告的题目是《Large optics metrology for SG-series laser facility》。组成大型SG激光系统的大口径光学元件种类多、数量大，他们的特性参数与激光装置的性能相关，对大口径光学元件检测的装置要求很高。该团队建立的检测技术满足高精度光学元件的检测需求，部分光学元件已经优于之前NIF光学元件水平。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0303_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/1f3cb9e7-c856-4776-a2ce-cc18d4e969ff.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 邵建达 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　来自华中科技大学的刘世元教授报告的题目为《Mueller Matrix Ellipsometry for Nanostructured Surface Metrology》。 /span span style=" font-family: times new roman " 据介绍，Mueller矩阵椭偏计(MME)非常适合无损纳米结构测量，对光的偏振、散射和其它特性的深入研究对于表面测量非常重要。为了将MME商品化，团队还创建了武汉颐光科技有限公司，目前已经具备椭偏仪批量生产能力实现了MME的产品销售。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0338_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/8409671a-de3d-4d73-8387-a6e2b2ca791a.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong 刘世元 /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　哈尔滨工业大学 Yi Zhou报告的题目是《Experiments on Terahertz 3D Scanning Microscopic & nbsp Imaging》。Yi & nbsp Zhou介绍了团队研制的2.52太赫兹双轴反射共聚焦显微镜，其纵向和横线分辨率分别超过了0.314mm和0.353mm。该仪器在2D和3D成像方面非常稳定，可被用于生物学、制药等领域。 /span /p p style=" text-align: center " img title=" IMG_0241_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/dcd0cda8-7b59-43b2-b263-3b2335882257.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong Yi Zhou /strong /span /p p span style=" font-family: times new roman " 　　哈尔滨工业大学ChangKun Fan报告的题目是《Controlling Software Development of CW Terahertz Target Scattering Properties Measurements Based on LabVIEW(IPTA05-066)》。据介绍，该团队开发了太赫兹目标散射特性测量的控制软件。该软件可手动或自动移动坐标平台，可设置间断频率、测量时间等参数实现自动测量。目前该软件已经申请得到国家专利。 /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " img title=" IMG_0383_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201605/insimg/a2dd8a4f-6640-4796-a821-95f65295dbbc.jpg" / /span /p p style=" text-align: center " span style=" font-family: times new roman " 　　 strong ChangKun Fan /strong /span /p

2023年2月24日，思看科技（SCANTECH）正式发布AM-CELL C200自动化光学三坐标系统。AM-CELL C200是专为中型零件量身定制的全新三坐标测量系统。采用灵活柔性的模块化设计，轻松部署多种测量方案；配备主动安全防护系统，无需特殊安全防护外框。在生产车间、科研实验室、教学中心等复杂的交互场景中都能游刃有余；为企业精益化、自动化、智能化的业务演变与升级，提供产品全生命周期的质量管控解决方案。轻量标品 极简操控标准化产品，设备重量仅为原来的30%，安装、调试周期缩短至2天，效率较原来提升2倍以上。一键启动即可实现100%无人化全自动测量，调试中可拖拽机器人进行示教，实现快速自动路径规划，极大降低操作人员对自动化设备的使用门槛。模块设计 柔性部署按功能性模块化结构设计，布局紧凑、占地面积小，可基于不同生产条件轻松部署多种测量方案（L型、I型、T型、分离型）。使用标准工业外扩接口，能够灵活接入多种系统，无缝融合生产线，赋能生产智造企业打造智慧工厂。多变位机协同工作，换件不停机，真正实现设备无呆滞时间，大幅度提高检测效率。主动防护系统 安全时刻相随机器人和变位机均搭载力反馈伺服控制系统，支持10级碰撞检测，无需特殊安全防护外框。尤其适合在需要人机交互的测量场景，充分保障操作人员和设备本身的安全。自动化光学测量 展现计量硬功底适配全域TrackScan系列不贴点光学跟踪式三维测量系统，在长时间的自动化测量过程中运行更稳定，测量数值更准确，可以24小时不间断地完成每天数百个零部件的批量检测。激光测量系统无损演绎手持情况下2,600,000次/秒超高测量速率、0.025 mm计量级测量精度；同时还支持全新灰度值边界检测功能，自动提取孔特征，轻松获取冲压件或机加件的圆孔、圆槽、方孔等封闭类特征的高精度三维数据。信息化质量控制，助力工业4.0支持工业4.0全套的前端及后端工业质量自动化软件和各种MES系统，可实现一键启动，自动调用、计算、生成检测报告，并按需生成结果统计分析，实现更精准的质量控制，为生产制造保驾护航。产品研发：检测效率大幅提升，测量效率较传统三坐标提高5倍以上，加快研发转化周期，为新产品快速投放市场提供有力的保障。生产制造：具备多种质量控制方法，对批量检测结果进行单件、多件、批量趋势分析并出具报告，快速识别生产中的变化，预判零件质量趋势，减少废品率，确保生产过程稳定可靠。全场景融入 释放强悍实力可测量Φ1500 mm、200KG以内中型零件，接入220V市电即可正常运行，全面融入多种测量场景。生产车间：设备抗干扰性强，不受环境光源、温度变化的影响，在复杂车间环境下仍能保持高精度三维测量。尺寸测量室：无需特殊的环境控制，可以根据实际情况选择是否加装防护外框。实现安全稳定、用户友好的实验室测量。教学实训：支持多种编程，无需专业技能即可高效完成测量任务，致力于以产学研融合的方式，助力人才培养生态建设。关于思看思看科技（杭州）股份有限公司是全球最早研发生产手持式三维视觉测量产品的高科技型企业之一，产品辐射60多个国家和地区，服务企业5000家以上，经销商及国际化的销售与技术支持团队遍布全球，为COMAC、宝马、大众、通用、苹果、西门子、JCB、三一重工等知名企业及研究机构提供行业前沿的三维测量技术解决方案。

日前科技部下达了2013年国家重大科学仪器设备开发项目立项通知，经过层层筛选，安徽华东光电技术研究所牵头申报的&ldquo 平板显示屏自动光学检测仪器开发和应用&rdquo 项目成功立项，获得国家专项经费资助3607万元。 　　据悉，这是芜湖市企业首获此类开发专项支持，该项目的实施，对于改变同类高端仪器设备依赖进口，提高仪器设备自主创新能力和自我装备水平具有重大的推动作用。 　　为贯彻落实《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》，支持重大科学仪器设备开发，中央财政设立国家重大科学仪器设备开发专项资金。为规范专项资金管理，财政部会同科技部制定了《国家重大科学仪器设备开发专项资金管理办法(试行)》，支持科学仪器设备研发和应用。 　　安徽华东光电技术研究所(原芜湖电真空研究所)组建于1987年，是国家唯一定点承担军用特种显示技术的专业研究所。该所共承担了国家重点科研攻关任务、国家火炬计划任务、国家重大工业试验任务及国家重大装备国产化任务等一百多项，为歼十飞机、神舟七号、天宫一号等一百多项国家重点工程配套各种高技术产品。产品已经大面积应用到我国海、陆、空、天各领域。满足了国家重点工程急需，打破了国外封锁和禁运，填补了我国数百项空白。

近日，3D工业视觉传感器供应商立仪科技获得浩澜资本独家投资的数千万人民币的A轮融资，据悉，本轮融资将主要用于市场拓展、新品研发及补充流动资金。立仪科技成立于2014年，是一家专注于精密光学检测的公司，旗下有光谱共焦传感器等产品。公司的点共焦传感器已经量产，且服务多家头部客户；线共焦产品原型机已打样，正研发商业量产版本。主流的3D工业视觉的技术路线包括线激光、光谱共焦、条纹结构光、TOF、双目等技术路线。光谱共焦传感器是目前市场精度最高且能应用于各种特性的表面和复杂形状测量场景的新型传感器，其市场主要被国外厂商占据，但国产率较低。光谱共焦传感器的原理是通过使用特殊的透镜及光学系统，拉开不同颜色光的焦点分布范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射波的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。光谱共焦目前正处于技术迭代周期。激光技术的研发目前已逐渐见顶，而市场对测量传感器的需求越来越广，市场需求正从人工监测向自动化监测产品发展。与传统的激光相比，光谱共焦技术精度较高，且材料适应性更广，稳定性更高。立仪科技创始人兼CEO刘杰波告诉36氪：“我们之前曾做过三维激光扫描研究，过程中意识到激光扫描很难完成一些对高精度扫描有需求的测试任务，便开始向光谱共焦转向。”目前，立仪科技有点共焦位移和线共焦位移两类传感器产品，产品型号超百种。点共焦传感器上，立仪科技在拿到天使轮融资后，于2019年完成点共焦原型产品的量产。至今，公司的点共焦已经迭代到第三代，进入华为、三星、苹果供应链。除在产品设计上有着多项创新外，公司还开发了为国外禁止出口的激光干涉光谱共焦校准仪等专用仪器工装，且工艺经过量产验证，能帮助产品更好生产。在性能上，其传感器可以做到光强提高200%，线性度提高200%，反射干扰降低50%。价格上，产品售价比国外产品低。产品示意图公司2020年开始研发线共焦产品，目前已有原型机，是已能完成三维形状物体的扫描，具有精度高材料适应性好、无盲区、效率高等优点，可广泛应用于半导体、新能源、3C等领域。可应用领域据刘杰波介绍，线共焦传感器进口产品占 99%以上市场，售价昂贵，立仪科技可以做到同时解决漫反射和曲面镜面材质检测的技术，具备性能优势。本轮融资完成后，立仪科技也将集中精力，研发商业化量产版本线共焦产品。未来，公司还将继续研发高光谱+AI传感器和光纤传感器。公司的光谱共焦产品有着7、8年的积累，服务了半导体、新能源与3C、先进制造设备、精密仪器、科研院校等领域，面向京东方、天马等客户都有着数百套的出货量。经过长期打磨，立仪科技对市场需求和行业认知理解深刻。据刘杰波介绍，目前公司在国产品牌中市场占有率排名第一。在营收上，公司2022年预计完成数千万营收，较2021年有两、三倍的增长。在创始团队上，公司创始人兼CEO刘杰波有着十几年的精密光学测量研发经验，曾任数家世界500强公司高管，在光机电软件上融会贯通。公司首席科学家张巍博士曾就职于中科院物理研究院，有着丰富的光谱、激光等研究经验。目前，公司共有60多名员工，在深圳、苏州、成都、长沙都设有办事处，研发占比50%以上。

2024年3月19日半导体制造业提供温度管理解决方案的领导者ERS electronic推出了Luminex 产品线的首台机器，该机器采用尖端的光学拆键合技术，适用于最大600 x 600 毫米的面板和不同尺寸的晶圆。光学拆键合是一种无外力的拆键合方法：通过使用精准可控的闪光灯将载体与基板分离。光学拆键合工艺的关键部件是带有光吸收层（CLAL）的玻璃载板，它能将灯的光能转化为热能，从而顺利实现分离。有了 CLAL，就不再需要对载板进行涂层和清洁，从而减少了工艺步骤以及相关复杂程序和成本，与传统的激光拆键合相比，可为用户节省高达 30% 的运营成本。ERS 半自动设备属于 Luminex 产品系列的第一台设备。目前，ERS 正在开发用于 300 毫米晶圆的全自动设备，该设备将于本年第二季度末发布。作为综合产品线的一部分，公司将提供带有多个模块化附加组件的自动设备，进一步提高产品质量和产量。"ERS公司副总裁兼APEqS业务部负责人Debbie-Claire Sanchez表示："光学拆键合是半导体制造领域的一次重大飞跃。" Luminex 生产线的第一台机器是从事先进封装开发或新产品引进的研发团队的绝佳跳板，在此也诚邀各公司将样品寄给ERS进行测试。"从四月份开始，这台半自动设备将分别配备在 ERS 中国上海和德国的实验室，用于测试客户的晶圆和面板样品以及样品演示。关于ERS：ERS electronic GmbH位于慕尼黑郊区的Germering，50多年来一直为半导体行业提供创新的温度管理解决方案。该公司以其快速、精确的基于空气冷却的温度卡盘系统赢得了卓越的声誉，其测试温度范围为 -65 °C 至 +550 °C，适用于分析、参数相关和制造针测。2008 年，ERS 将其专业技术扩展到先进封装市场。如今，在全球大多数半导体制造商和OSAT的生产车间都能看到他们的全自动、手动拆键合和翘曲矫正系统。公司在解决扇出晶圆级封装制造过程中出现的复杂翘曲问题方面的能力得到了业界的广泛认可。消息来源：ERS electronic GmbH

随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起，生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景，对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求，越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试，需要通过参比镜进行数据传递，往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取，给测试带来很大困难，同时在数据传递中也会增加误差的来源。本文主要介绍采用珀金埃尔默紫外/可见/近红外光谱仪和Spectrum 3红外傅里叶变换红外光谱仪，配置TAMS等可变角度测试附件，测试样品不同角度下绝对反射率、透射率数据，实现175nm-50000nm透射率、反射率等光学性能的精确表征。TAMS附件为变角度绝对反射、变角度透射测试附件，如下图所示，检测器和样品台均可以360度旋转，通过样品台和检测器配合旋转，测试不同角度下透射和反射信号。 Lambda系列分光光度计 TAMS变角度透射反射附件光路图图1 仪器外观图以下分别选取不同应用场景下的典型样品，对测试数据进行简要介绍。01样品变角度透射测试采用TAMS附件可以方便快捷的测试样品不同角度下透射数据，自动测试样品不同角度下P光和S光下透射率曲线，一次设置即可完成所有角度在不同偏振态下透射率曲线测试，测试曲线如下图所示。 图2 样品不同角度和偏振态下透射率测试数据（点击查看大图）TAMS附件配套不同的偏振组件，可以自动测试样品不同波长下偏振信号，如下图测试石英样品在45度下偏振P光和S光反射数据： 图3 样品紫外波段P光和S光偏振测试（点击查看大图）02样品变角度透射/反射曲线测试通过软件设置，可一次性测试得到样品透射和反射率曲线，如下图，该样品在可见波长下反射率大于99.5%，透射率低于0.5%，可同时表征高透和减反性能。 图4 样品45度透射和反射曲线测试（点击查看大图）03NIST标准铝镜10度反射率曲线测试测试NIST标准铝镜10度下反射率数据，如下图所示，黑色曲线为TAMS测试曲线，红色为NIST标准值曲线，两条测试曲线完全重合，进一步证明测试系统的可靠性，可以准确测试样品的光学数据。 图5 NIST标准铝镜10度反射率曲线测试（红色为NIST标准曲线）04样品变角度全波长反射曲线测试（200-2500nm）软件设置不同的测试角度和偏振方向，自动测试样品不同角度下P光和S光偏振态下反射率曲线，如下图所示，200-2500nm整个波段下测试曲线均有优异信噪比，尤其是在紫外区（200-400nm）,可以完成各波长范围的反射性能测试。 图6 样品全波段（200-2500nm）变角度反射率测试（点击查看大图）05不同膜系设计的镀膜样品性能验证测试样品600-1400nm下45度反射率曲线，该样品在1200nm以上属于高反射率，反射率大于99.5%，同时需要关注600-1200nm范围各个吸收峰情况，该波段下吸收峰非常尖锐，同时吸收峰较多，需要仪器具备高分辨率，从而准确测试出每一个尖锐吸收峰信号。 图7 膜系设计验证样品45度反射率测试（点击查看大图）06双向散射分布函数（BSDF）测试除了测试常规变角度透射和反射曲线外，TAMS附件可以自动测试样品不同角度下透射和反射率信号，可以得出样品不同角度下的透射分布函数（BTDF）和反射分布函数（BRDF）信号，最终得到双向散射分布函数（BSDF）。采用该附件可方便测试样品双向散射分布函数（BSDF）、双向反射分布函数（BRDF）、双向透射分布函数（BTDF）等光学参数测试，测试结果如下图所示： 图8 BRDF和BTDF测试（点击查看大图）如下图所示，测试样品不同波长下BSDF分布函数曲线（BRDF + BTDF），从而可以得出样品随不同角度下透射和反射信号变化情况。 图9 样品不同波长下BSDF（BRDF+BTDF）测试（点击查看大图）07窄带滤光片测试Lambda系列光谱仪为双样品仓设计，TAMS附件可与标准检测器、积分球检测器自由更换。对于窄带滤光片样品，即需要准确测设带通区域的透过率、半峰宽，也需要准确测试截止区吸光度值（OD值），可直接切换标准检测器进行检测。 图10 用于激光雷达的镀膜镜片透射和OD值测试数据（点击查看大图）08红外波段区变角透射反射测试珀金埃尔默傅里叶变换红外光谱仪，可广泛应用于上述红外材料光学性能测试，可测试样品在不同波段下红外透光率以及反射率，搭配变角透射及变角反射附件，可以实现不同角度下透射率及反射率测试，如下图为红外波段透射和反射测试曲线： 图11 用于Spectrum 3傅里叶红外的TAMS附件 图12 红外TAMS附件测试样品红外波段不同角度透射数据Summary综上，采用Lambda系列紫外/可见/近红外分光光度计以及傅里叶红外光谱仪，搭配TAMS、标准检测器、积分球等多种采样附件，可以组合出完备的材料光学性能测试平台，满足光学镀膜测试的多样化需求，更加准确便捷的得到样品的光学检测数据。 关注我们

2013年5月22-24日，第八届上海国际淀粉及淀粉衍生物展览会于上海光大会展中心举办，本届展会为业内淀粉生产及深加工企业，商贸机构以及相关淀粉检测仪器厂商提供了良好的交流合作平台。作为在开发研制光学检测仪器方面拥有长达四十多年经验的生产厂商，安东帕本次展出的数字式密度计，高精度智能旋光仪，高性能折光仪及全自动密度折光联用仪等产品受到与会观众的广泛关注和咨询。 MCP系列旋光仪&mdash &mdash 用于高质量分析的智能旋光仪。MCP旋光仪可用于淀粉及由淀粉加工的成品的质量控制和纯度测定。这对于控制这类物质的质量至关重要。除此之外，此系列产品还可用于药品、食用香精、软物质样品、蜂蜜及香水等检测。 DMA 500 &mdash &mdash 小块头，大智慧。DMA 500是一款轻便小巧的数字式密度计，具有无与伦比的易用性。用户界面简单明了，用户只需稍作了解即可独立操作仪器。此仪器具有诸多功能，可以确保正确进样，还可确保测量结果完全可追溯，需要时可立即调用。配备充电电池，方便携带，让您可以走出传统实验室，离线操作仪器。 Abbemat自动折光仪&mdash &mdash 准确度的标杆。高性能系列折光仪设计用于原材料入库检验到半成品和成品检验的日常质量分析和控制。内置的各行业特点的标准测量方法，功能强大。具有操作简单，测量周期短，适用范围广，持续使用时间长等独特优势。 请登录 http://www.anton-paar.com/%E4%BA%A7%E5%93%81/2_China_zh 了解等多安东帕产品信息。

瑞士Optimes J1可靠、准确的旋转零件测量 J1 Optimes提供快速准确的解决方案，可自动测量旋转部件的所有外部尺寸。只需将工件放在2个支架上，它立刻开始测量。几秒钟后，软件将光学测量轴下的零件移动并读取所有预定义尺寸该设备旨在确保对外部干扰（振动，温度，光线等）具有非常高的不敏感性。该优点使得可以在生产机器附近和控制实验室中使用测量仪器。根据微机械的要求，测量的精确性和可重复性使Optimes J1完美地集成到您的质量控制过程中。测量的速度和简单性可确保大量节省时间。技术规格技术类型非接触式光学测量范围?3.7x 17 mm分辨率Y（直径）0.07μmX（长度）0.1μm精度直径测量0.5μm （2S）长度测量1.8μm （2S）光学传感器类型BCD USB3.0 LS2048光纤类型BCD bi-telecentric std。灯光类型LED原则透射光尺寸长x高x宽330x 460 x 250毫米重量仪器8 KG功率10瓦 J1夹具J1夹具在几秒钟内即可实现互换，标准夹具在测量范围内可以夹持任何零件。微型装置微型测量支架配有两个60微米厚的不锈钢V形支架。精细的设置可以非常精确地对齐零件下面的传感器.软件辅助工具和这个支架的结合保证了良好的测量精度。 吸入式装置吸力支架能够放置不能放置在测微保持架上的小尺寸零件。提供不同直径的可互换喷嘴，以与待测量零件相对应。微型泵安装在机器中，使系统完全自动。 定位钳夹持器允许拧紧各种类型的零件，如销、规、杆等。它还用于固定仪器的校准规。J1软件Optimes J1完全由一个软件驱动，该软件提供评级，文件管理，图形和统计分析以及测量报告创建等一系列功能。该软件允许导入和导出3D数字模型，从而提供与您的设计软件的完全互操作性。不同级别的用户访问保证了每个使用该仪器的人员的安全性和用户友好性。J1软件功能文章数据库3D尺寸标注工具（直径，长度，半径，角度）协助进行调整记忆批次和日期测量该工件的图形分析统计计算将数据导出到所有spc软件。创建和打印测量报告远程维护和支持创新点：专业手表齿轮检测设备，J1用于手表零部件的各尺寸测量，提供快速准确的测量方案，世界领先。

全球安全、健康和环境科技的领军企业——海洋光学新一代便携式拉曼光谱仪ACCUMAN PR-500 荣耀上市，可以帮助制药企业以较低成本从容应对原辅料“证实”和“证伪”的鉴定。 ACCUMAN PR 500 中国国家食品药品监督管理局于2011年发布关于贯彻实施《药品生产质量管理规范（2010年修订）》（2010新GMP）的文件，要求各新建药品生产企业、药品生产企业新建（改、扩建）车间均应符合2010新GMP的要求，制定相应的操作规程，采取核对或检验等适当措施确认每一包装内的原辅料正确无误。传统的红外和湿法化学方法，需要对样品取样，前处理等，过程繁琐，耗时耗力，难以满足药典快检和全检的新要求。 ACCUMAN PR-500采用拉曼光谱快检技术，这一基于激光和光谱学的分析技术，被称为“分子指纹”，可以透过透明包装，直接在仓库，投料间等区域对原辅料进行无损检测。对于困扰红外的水溶液检测，也可以轻松应对。 ACCUMAN PR-500 操作界面截屏 要保证快速获得真实可靠的物质“指纹”信息，PR500采用了业内最优的光谱核心，信噪比最高，并具备极高的灵敏度。面对品类多样的原辅料，特别是有些结构相近的物质，例如相似的水合物或同分异构体，PR500提供更大的拉曼光谱范围（最高可达390cm-1）和更优的光谱分辨率 (最优可达4cm-1)，能够轻松应对复杂样品。较之传统的手持快检设备，PR500操作端仅重330g，符合人体工学设计，可单手操作。高清多点触控屏，图谱清晰。可选中文系统，用户界面友好方便。 ACCUMAN PR-500手持端检验原料 此外，随着药品监管制度的进一步完善，对药厂的质量管理提出了更高的要求。GAMP 5 （良好自动化生产实践指南）是ISPE对于制药企业计算机系统验证重要的合规指南。新一代的ACCUMAN PR-500依照GAMP 5指导原则设计，遵从GxP计算机化系统监管的风险管理方法中关于计算机化系统用户需求规范附录D1和CFR Part 11，以符合GxP计算机系统要求。点击获得更多产品信息：http://www.oceanoptics.cn/product/accuman 关于海洋光学亚洲（Ocean Optics Asia）和豪迈（HALMA）: 海洋光学(www.OceanOptics.cn)是世界领先的光传感和光谱技术解决方案提供商，为您提供测量和研究光与物质相互作用的先进技术。海洋光学在亚洲与欧洲设有分部，自1992年以来，在全球范围内共售出了超过20万套光谱仪。海洋光学拥有庞大的产品线，包括光谱仪、化学传感器、计量仪器、光纤和光学元件等等。海洋光学的产品在医学和生物研究、环境监测、科学教育、娱乐照明及显示等领域应用广泛。 海洋光学是英国豪迈（HALMA plc– www.halma.cn）的子公司。创立于1894年的豪迈是世界领先的安全、健康及环境技术集团，伦敦证券交易所的上市公司，在全球拥有 5000 多名员工，40 多家子公司。豪迈是伦敦证券交易所上市公司中唯一一家在过去30多年股息增长保持5%以上年增长的企业。豪迈目前在上海、北京、广州、成都和沈阳设有区域代表处，并且已在上海、北京、保定、深圳等地开设多家工厂和生产基地。

2023年2月24日，思看科技（SCANTECH）正式发布AM-CELLC200自动化光学三坐标系统。AM-CELLC200是专为中型零件量身定制的全新三坐标测量系统。采用灵活柔性的模块化设计，轻松部署多种测量方案；配备主动安全防护系统，无需特殊安全防护外框。在生产车间、科研实验室、教学中心等复杂的交互场景中都能游刃有余；为企业精益化、自动化、智能化的业务演变与升级，提供产品全生命周期的质量管控解决方案。轻量标品极简操控标准化产品，设备重量仅为原来的30%，安装、调试周期缩短至2天，效率较原来提升2倍以上。一键启动即可实现100%无人化全自动测量，调试中可拖拽机器人进行示教，实现快速自动路径规划，极大降低操作人员对自动化设备的使用门槛。模块设计柔性部署按功能性模块化结构设计，布局紧凑、占地面积小，可基于不同生产条件轻松部署多种测量方案（L型、I型、T型、分离型）。使用标准工业外扩接口，能够灵活接入多种系统，无缝融合生产线，赋能生产智造企业打造智慧工厂。多变位机协同工作，换件不停机，真正实现设备无呆滞时间，大幅度提高检测效率。主动防护系统安全时刻相随机器人和变位机均搭载力反馈伺服控制系统，支持10级碰撞检测，无需特殊安全防护外框。尤其适合在需要人机交互的测量场景，充分保障操作人员和设备本身的安全。自动化光学测量展现计量硬功底适配全域TrackScan系列不贴点光学跟踪式三维测量系统，在长时间的自动化测量过程中运行更稳定，测量数值更准确，可以24小时不间断地完成每天数百个零部件的批量检测。激光测量系统无损演绎手持情况下2,600,000次/秒超高测量速率、0.025mm计量级测量精度；同时还支持全新灰度值边界检测功能，自动提取孔特征，轻松获取冲压件或机加件的圆孔、圆槽、方孔等封闭类特征的高精度三维数据。信息化质量控制，助力工业4.0支持工业4.0全套的前端及后端工业质量自动化软件和各种MES系统，可实现一键启动，自动调用、计算、生成检测报告，并按需生成结果统计分析，实现更精准的质量控制，为生产制造保驾护航。产品研发：检测效率大幅提升，测量效率较传统三坐标提高5倍以上，加快研发转化周期，为新产品快速投放市场提供有力的保障。生产制造：具备多种质量控制方法，对批量检测结果进行单件、多件、批量趋势分析并出具报告，快速识别生产中的变化，预判零件质量趋势，减少废品率，确保生产过程稳定可靠。xin-xi-hua-zhi-liang-kong-zhi-07全场景融入释放强悍实力可测量Φ1500mm、200KG以内中型零件，接入220V市电即可正常运行，全面融入多种测量场景。生产车间：设备抗干扰性强，不受环境光源、温度变化的影响，在复杂车间环境下仍能保持高精度三维测量。尺寸测量室：无需特殊的环境控制，可以根据实际情况选择是否加装防护外框。实现安全稳定、用户友好的实验室测量。教学实训：支持多种编程，无需专业技能即可高效完成测量任务，致力于以产学研融合的方式，助力人才培养生态建设。关于思看思看科技（杭州）股份有限公司是全球最早研发生产手持式三维视觉测量产品的高科技型企业之一，产品辐射60多个国家和地区，服务企业5000家以上，经销商及国际化的销售与技术支持团队遍布全球，为COMAC、宝马、大众、通用、苹果、西门子、JCB、三一重工等知名企业及研究机构提供行业前沿的三维测量技术解决方案。

本产品的技术原理为：对经微波消解、真空抽滤处理后得到的滤膜进行洗脱，洗脱液作为样品被注入分析系统，当样品流经微型流通池（样品检测区）时，高速显微相机对其自动聚焦并以高至120帧/秒的速度拍照，智能化的数据分析软件实时截取所拍照片中的微粒显微图像，并进行硅藻自动识别与分类，当样品分析完成后，自动输出硅藻定性定量分析报告。基于该原理的硅藻检验方法已申请国家发明专利。 一、与采用常规光学显微镜或扫描电镜检测硅藻的方法相比，突出的优点为：1、全自动化。无需人工识别硅藻，大大降低工作强度，减少人为误差；简单易学，检验人员经半日培训后即可独立操作。2、高效。单个样品分析只需数分钟至20分钟，而采用光镜或扫描电镜检测，通常需2-3小时。3、数据处理功能强大。可得到硅藻40多种形态学信息和各形态、尺寸硅藻分布情况，是研究水中尸体脏器组织中硅藻的分布规律以及进行其他相关研究的有力工具。4、系统图库可拓展。可将新采集的硅藻图像加入所属种类的图库，增加图库容量，提高硅藻自动识别和分类的准确度，用户可根据需要自建新的图库。 配有自动进样器的全自动法医硅藻检测系统 二、产品技术参数1、采用专利光学系统捕获流动样品中的硅藻，自动分析硅藻种类与含量，实现硅藻定性定量分析的自动化。2、提供所拍摄硅藻的有效直径、长度、宽度、纵横比等40多种形态学信息及各形态、尺寸硅藻的分布情况。3、采用高分辨CMOS相机，1920×1200像素。4、图像类型/格式： 彩色，JPG。5、拍摄速度：高达120 帧/秒。6、放大倍数/流通池/相机拍摄范围为：A、20X物镜 (总放大倍数≈200X)；流通池 (厚度)：50μm；相机拍摄范围：675 μm （高）×422 μm （宽）；B、10X物镜 (总放大倍数≈100X)；流通池 (厚度)：100μm；相机拍摄范围：1,351 μm （高）×844 μm （宽）。7、可选配自动进样器，实现多样品分析自动完成。自动进样器：96 孔板，2 个板位，具有自动振荡、加热及冷却功能，单孔样品量5μl-1000μl，配有自动进样管理软件8、自动清洗管路，避免污染。9、含常见硅藻图库，图库可扩展，并可根据需要自建图库；软件具有智能学习能力，随着图库容量的增大，硅藻自动识别和分类的准确度不断提高。10、台式，携带方便。主机尺寸：38cm（高）×36cm（宽）×44cm（深）。 三、实际案例展示一溺死者脏器组织中检出的硅藻2g肺组织中检出的部分硅藻10g肝组织中检出的全部硅藻 10g肾组织中检出的全部硅藻创新点：本产品是全球第一款全自动法医硅藻检测系统，基于FlowCAM流式影像仪针对法医硅藻检测进行深度开发。目前该系统可全自动识别硅藻，得到硅藻的40多种形态学信息和各形态、尺寸硅藻分布情况，从而提高检验效率。同时用户可以自行拓展图库，提高硅藻自动识别和分类的准确度。 全自动法医硅藻检测系统

p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 近期，中国科学院合肥物质科学研究院智能机械研究所先进感知与智能系统研究室在表面等离子共振光学检测领域取得新进展，相关成果发表在光学期刊Optics Express上（Vol.27 Issue.2）。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 表面等离子共振技术（Surface Plasmon Resonance, SPR）由于其实时、无标记的优越检测特性而广泛应用于医学、生物学等微观检测领域。棱镜耦合式SPR具有结构简单、灵敏度高等优势，被广泛使用，但在现场检测时，该系统检测信号存在温度漂移，通常的解决方案是增加参考通道，但是该方法无法测量不同温度水平的生物学动力常数。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 针对以上问题，研究人员提出了一般性解决方案：分别建模分析了角度调试和波长调制模式下的温度对其共振偏移的影响。由于色散效应，两种调制模式下的影响既具有相同的趋势，也有不同之处。基于交叉灵敏度矩阵思想，分别提出了双波长检测（Angular-interrogation）和双角度检测（wavelength-interrogation）方法，实现了折射率和温度变化的同时测量。研究人员首次提出分区间线性修正提高精度的检测思想，且进行了概念性验证实验。相比于构建新型微纳检测结构，该方法在工程领域具有较强的可行性，具有广泛的应用前景，得到审稿专家的充分肯定。 /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " 相关研究工作得到国家自然科学基金面上项目、国家科技重大专项、安徽省重点实验室资金等的资助。 /p p style=" text-align:center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201901/uepic/82de36d8-bda4-4152-b313-14ee1b497e21.jpg" title=" W020190116563312993884.jpg" alt=" W020190116563312993884.jpg" / /p p style=" text-indent: 2em text-align: center " 波长调制模式SPR传感器的温度效应 /p

日立紫外/可见/近红外分光光度计UH4150自问世以来，以其性能之高、应用之广、发展之快，受到业界专业人士的极高重视与关注。对于在实际固体样品检测方面需要高质量数据的用户，例如半导体开发、光学样品和新材料领域的用户而言，UH4150无疑是最佳的选择。 为满足客户的更高要求，提供更加智能、省时的解决方案，三款UH4150搭配的自动检测系统：自动角度可变检测系统、自动偏振检测系统、自动X-Y样品台检测系统，通过全自动化测样，大幅优化测量数据的重现性，同时缩短测量时间，提高作业效率。目前，三款自动检测系统已正式面向中国市场开售！自动角度可变检测系统可连续自动测定任意设置条件（偏振器角度、入射开始/结束角度、角度移动间隔）的透射、漫透射、反射以及漫反射光谱可自动检测绝对反射率（5°～60°）每个样品1）的作业时间可缩短约96%1）5～70°（每步进5°）、波长300～800 nm、反射光谱共测定28次（S、P偏振光）时 自动偏振检测系统正交位置检测功能：以0.01°为最小步进值，自动检测最低透射率的正交状态，使测定结果重现性更加优异。色度分析功能：可计算出色彩(X、Y、Z)、L*,a*,b*、L,a,b、L*,u*,v*、色度坐标x,y、偏光率。内置消偏振器，可降低仪器与光源自带的偏振效应，减小系统误差。 自动X-Y样品台检测系统可自动检测入射角为5°的相对反射光谱和入射角为0°的透射光谱。可连续测定预设样品点位。可节省装样时间，大幅提高作业效率2)。2）测定25个点位时，人工操作时间缩短了92％。日立UH4150分光光度计仪器详情，请见：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C185793.htm关于日立高新技术公司： 日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。

施启乐VIDI3860全自动可见异物检测系统符合中国药典2020“0904可见异物检测法”要求应用于注射剂、眼用液体制剂等可见异物的检测可见异物是指存在于注射剂、眼用液体制剂和无菌原料药中，在规定条件下可以观测到的不溶性物质，其粒径或长度通常大于50µm。试想，如此大的异物进入人的血管中，势必会引起不适。因此在所有相关的制剂类型的药品标准中均规定了可见异物检查，以保证人的用药安全。传统的人工灯检存在人眼视力要求高，易疲劳，易误检漏检等问题，所以大家都在寻求自动化程度更高、准确度更高的解决方案。施启乐VIDI3860全自动可见异物检测系统应运而生。专业研发团队拥有数十年的图像分析处理经验，结合精密机械制造、现代光学技术、序列图像处理技术，开发出第三代全自动可见异物检测系统。施启乐VIDI3860全自动可见异物检测系统实现进样系统、检测系统、操作系统一体化，只需一台机器即可完成检测，节省占地，美观大方。系统通过首创的“轨迹追踪”算法，实现了可见异物的准确计数和定量。同时整合机械手自动抓取样品进样，操作简单，检测过程无需人工看守，工作效率高。系统对所记录的每一颗粒子进行持续追踪记录，形成粒子运动轨迹。轨迹追踪等同于微细可见异物的数量，对粒子运动时所产生的轨迹路线记录并加以计算，准确算出异物和颗粒数量。样品检测过程中，一分钟拍摄75幅图片合成视频，视频图像资料可回放及导出，展现样品真实状况。施启乐VIDI3860全自动可见异物检测系统符合数据完整性要求，具备权限分级功能。可根据软件内的权限种类自定义各层级和账户的权限，实现多用户、多层级权限管理，具备审计追踪功能，用户登录或产生、修改、删除电子数据的记录及其时间，系统都可以以审计追踪记录。针对纤维、细毛等质量轻、易漂浮在液面的异物，以及金属屑、玻璃屑等质量较重、在旋瓶过程中很快停止运动的异物，施启乐研发团队进行了算法上的优化，使得各种可见异物无所遁形。施启乐VIDI3860全自动可见异物检测系统可准确区分50μm以上颗粒，避免产生假阳性，能完美区分单独一颗的40μm与60μm标准粒子，40μm在仪器当中呈现阴性，60μm在仪器中呈现阳性。施启乐VIDI3860全自动可见异物检测系统，节约人力成本、避免人眼检测造成的误差，检测结果一目了然，使注射剂、眼用液体制剂等可见异物检测变得更简单、更轻松、更规范。为药品安全保驾护航，施启乐一直在努力！

在实验室里打开电脑，就可实时监测几十公里外巢湖水质的变化情况。 7月6日下午，记者在位于科学岛的安徽光机所环境光学中心看到，由安光所研发的“浮标式多参数水质自动监测系统及水华预警系统”让以往繁重的水质监测工作变得轻松起来。 　　针对水体富营养化连续监测及蓝藻水华预警的需求，安光所研制了浮标式多参数水质自动监测及水华预警系统，实现了水体藻类浓度及相关水质参数的连续自动监测和蓝藻水华的短期预测。负责这项研发工作的张玉钧研究员告诉记者，传统的水质监测要靠人工定时到湖面指定区域取水样至实验室化验，劳动强度大，费时费力，现在只需将水质多参数分析仪、藻类原位荧光监测仪等多种精度很高的仪器安放在浮标里，投放到巢湖指定位置，仪器就可自动、不间断地获取湖水水质变化数据和蓝藻生长情况数据，这些数据通过无线通讯网络可迅速传输到实验室的计算机里。 　　浮标式多参数水质自动监测系统自2009年8月开始在巢湖进行示范运行，成功实现了巢湖夏秋水质参数及藻类连续在线监测和水华预警。据悉，该成果在国内为首创，对增强水华灾害预测能力、保障饮用水安全具有重要价值。

&mdash 岛津与三菱电机共同开发回收塑料的高精度材料识别技术&mdash 三菱电机株式会社与株式会社岛津制作所共同开发出「回收塑料高精度材料识别技术」，该技术能够以99％以上的精度瞬间识别在废弃家电产品回收工程中分选回收的塑料种类。以往以手工作业的回收塑料的纯度检测实现了自动化。 塑料高精度材料识别装置全景 塑料高精度材料识别装置概念图 ＜开发特长＞ 1．高速・ 高精度识别回收塑料的种类 ・ 无论着色剂、添加剂的含量有多少，都可识别回收塑料的种类 ・ 基于识别算法，用时约1秒钟完成向传输板上的塑料片照射中红外光以及反射光解析，实 现99％以上的高精度识别 2．自动传输・ 连续识别塑料片 ・ 可将尺寸各异的塑料片自动传输到识别位置上进行连续识别 ・ 按种类自动分选识别的塑料片 ＜今后工作＞ 三菱电机株式会社正基于本技术争取提高回收塑料的纯度检测效率，扩大高纯度自循环回收量。株式会社岛津制作所正推进塑料回收装置产品化，以应用于家电回收等中。 ※本技术开发获得经济产业省2011年度产业技术实用化开发事业费补助金[资源循环实证事业（塑料的高度材料识别技术及回收材料化技术）]并实施。 ＜开发背景＞ 三菱电机株式会社以降低地球环境负荷、有效利用资源为目的，不断致力于废弃家电产品的再资源化与再利用的「自循环回收」工作，已于株式会社HYPER CYCLE SYSTEMS实施了铁、铜、铝以及单一材料塑料的回收工作，并开发了难以分选的「混合破碎塑料」的回收技术，于2010年在株式会社Green Cycle Systems Corporation启动业界首家大规模塑料材料化工厂，扩大了家电产品的主要塑料(PP、PS、ABS)的回收量。 为了提高以往手工作业的回收塑料纯度检测的效率和高精度化，接受经济产业省2011年度产业技术实用化开发事业费补助金，与日本著名分析仪器厂家株式会社岛津制作所共同开发了回收塑料的高精度识别技术。为基于纯度检测自动化的回收塑料纯度检测高速化与高精度化做出了贡献。 ＜特长详细内容＞ 1．高速・ 高精度地识别回收塑料的种类 传统的近红外光塑料分选装置由于受到从废弃家电产品回收的「混合破碎塑料」所含着色剂的干扰，无法识别浓色塑料。 此次开发出使用波长长于近红外光的中红外光，不受着色剂、添加剂影响，高速･ 高精度地识别包括浓色塑料在内的塑料种类的技术。采用不易受到塑料片形状差异影响的光学系统以及高灵敏度识别反射光的检测器，并应用根据1秒钟内多次测定同一塑料片内反射光而获得的数据综合识别塑料种类的算法，达到了99%以上的精度。 2．自动传输・ 连续识别塑料片 倾斜开孔的圆盘状传输板，利用自重将每一塑料片逐一吸附在开孔上，然后自动传输到识别位置上，实现连续识别。使用空气枪自动分选已识别的塑料片，实现了塑料纯度检测的自动化。 在株式会社Green Cycle Systems Corporation，将试制装置应用于分选回收的破碎塑料的纯度检测，结果可知，获得了与传统的手工检测同等的精度。 关于岛津 岛津企业管理（中国）有限公司是（株）岛津制作所为扩大中国事业的规模，于1999年100%出资，在中国设立的现地法人公司。 目前，岛津企业管理（中国）有限公司在中国全境拥有13个分公司，事业规模正在不断扩大。其下设有北京、上海、广州、沈阳、成都分析中心；覆盖全国30个省的销售代理商网络；60多个技术服务站，构筑起为广大用户提供良好服务的完整体系。 岛津作为全球化的生产基地，已构筑起了不仅面向中国客户，同时也面向全世界的产品生产、供应体系，并力图构建起一个符合中国市场要求的产品生产体制。 以&ldquo 为了人类和地球的健康&rdquo 为目标，岛津人将始终致力于为用户提供更加先进的产品和更加满意的服务。 更多信息请关注岛津公司网站www.shimadzu.com.cn/an/ 。

2021年12月30日，生态环境部批准了《环境空气颗粒物（PM10和 PM2.5）连续自动监测系统技术要求及检测方法（HJ 653—2021）》，且该标准已于2022年6月1日实施。据悉，该标准是对《环境空气颗粒物（PM10 和 PM2.5）连续自动监测系统技术要求及检测方法》（HJ 653—2013）的首次修订，规定了环境空气颗粒物（PM10和 PM2.5）连续自动监测系统的技术要求、性能指标和检测方法。基于此，仪器信息网网络讲堂将于12月1日召开“环境空气颗粒物分析与监测”网络会议，将邀请来自中国环境监测总站的专家进行标准解读。同时，将邀请若干位专家从采样、质控、在线分析、网格化建设实践等几方面进行精彩报告分享。免费参会链接：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/particulate20221201/部分专家阵容：专家——江苏环境监测中心大气部陆维青副部长：江苏省大气PM2.5网格化监测系统建设（拟定）目前，江苏省大气PM2.5网格化监测系统是省级范围内规模最大的空气质量传感器监测网格，是江苏环境治理能力和治理体系现代化的重点工程，也是部省合作共建的示范工程。“十三五”期间，在72个国控城市站的基础上，2020年，江苏省撤销2个点位，新增25个点位，最终形成以95个国家城市环境空气质量监测点位组成的“十四五”国控空气监测网。另外，江苏省陆续在省内建成了大气复合型污染超级监测站，监测范围覆盖沿江和苏北主要区域。2021年起，又根据各市实际情况增配了水溶性离子在线监测仪、碳组分分析仪、重金属分析仪、大气挥发性有机物监测仪、颗粒物激光雷达等监测设备。这一系列组合拳下去，大气超级站网掌握了不同季节大气中一次污染物与二次污染物的主要来源，各类污染物的时空分布特征及其比例关系，从而实现对空气质量进行全方面、实时与在线精准“体检”。专家——北京市化学工业研究院尹洧高级工程师：环境光学及其在大气监测中的作用环境光学监测基于物理光学的理论与实验方法，不使用任何化学试剂，相比基于化学原理的分析方法，在监测过程中不会产生二次污染，是21世纪国际环境监测界公认的最佳绿色分析方法。环境光学监测技术主要包括紫外/可见/红外光谱技术、激光光谱技术、光散射技术、荧光光谱技术等。环境光学监测技术系统在大气环境综合外场观测实验中的应用，能实现大气环境综合外场实验中污染物传输过程及其对生态环境危害的快速定量监测，为综合污染防治提供科学依据，有助于加速我国环境监测现代化的进程。本报告介绍了环境光学的发展历程、监测技术、基本原理，并以实例说明环境光学在大气监测中的应用。专家——北京市计量院环能所张国城所长：颗粒物采样器采样物理效率的测定气溶胶粒径谱仪法8月28日，全国颗粒表征与分检及筛网标委会颗粒分技术委员会2022年工作会议在北京召开，北京市计量检测科学研究院环能所申报的《颗粒物采样器采样物理效率的测定气溶胶粒径谱仪法》获委员会立项推荐。北京市计量院环能所在前期自主研发的静态箱法PM2.5/PM10切割器校准装置基础上，通过引入混合多粒径标准微球、多分散颗粒物等技术，建立了基于气溶胶粒径谱仪法的颗粒物采样器采样物理效率评价方法。该方法能将采样物理效率曲线的绘制由几十个小时缩短到分钟级，极大提高了检测效率，并大大降低了检测成本，且已为中国疾控、北大团队、国内多家生产企业等提供了检测服务。更多报告内容，报名后免费获取通知：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/particulate20221201/如报名失败，可联系助教微信：13260310733

在细胞生物学研究中，“细胞计数”是一道常规却又尤其重要的操作，可是从事细胞生物学研究的你是否有以下困惑？手工计数枯燥乏味，计数让人头晕眼花计数结果重复性差，数据可靠性大打折扣仪器设备不靠谱，结果准确性差......所以，实验室拥有一台自动细胞计数分析系统太重要啦！今天小编为大家隆重介绍一款靠谱的细胞计数仪新品——ADAM MC2 自动细胞计数仪。ADAM MC2 自动细胞计数仪（就是他！）ADAM-MC2是CAR-T细胞、干细胞等细胞治疗过程中，监测细胞数量、存活率及整个质控的理想设备。此外，在细胞治疗过程中，ADAM-MC2可以监测全血细胞、外周血细胞等细胞类型。精准测定和操作简便是他最大的特色！精准测量：该计数仪延续了NanoEntek以往产品的优质性能，同时采用高灵敏度荧光染料染色技术，结合LED光学和CMOS技术，能够大大提高细胞分析的准确性和可靠性，是自动荧光细胞计数仪的新标准。操作简单：可测量总细胞数、存活细胞数、死细胞数，并可显示存活率结果。结合一次性计数板，目前其操作非常简单、方便而又经济有效。生产商专业：这款细胞计数仪是业内知名的韩国公司NanoEntek研发推出。NanoEntek专注于细胞分析仪器的研发和生产，并于2006年韩国KOSDAQ上市。旗下细胞分析产品受到全球用户的广泛推崇。独家总代靠谱：本次活动的主办方是VWR(艾万拓)。该公司成立于1852年，作为一家全球性的制造商和分销商，是全球的实验室仪器设备、试剂、耗材供应商的领军者。2019年，VWR(艾万拓)正式宣布成为NanoEnTek细胞计数仪产品及耗材中国区独家总代理。好物需要分享~想拥有这台全自动细胞计数仪却还在头疼经费的同学看过来~价值30万的ADAM MC2自动细胞计数仪免费试用！而且，试用结束后，用户还可以特价购买他！心动了吗？仅限20台噢~先到先得！扫码提交信息即可申请噢~活动说明如下：产品名称：Nano Entek自动细胞计数仪试用名额：20名申请时间：即日起-2021/2/10用户规则说明：- 每个最终用户仅能试用一次- 试用结束后提供试用反馈表- 试用期间或者结束时，用户可以以特价购买该机器本次活动最终解释权归艾万拓威达优尔国际贸易（上海）有限公司所有。

项目编号：0747-2261SCCJX144项目名称：铅山县中医院检验设备采购（全自动血沉仪、全自动血细胞分析仪、流水线光学显微镜等）采购方式：公开招标预算金额：4480000.00 元最高限价：4480000.00采购需求：采购条目编号采购条目名称数量单位采购预算（人民币）技术需求或服务要求饶购2022F000626286铅山县中医院检验设备采购（全自动血沉仪、全自动血细胞分析仪、流水线光学显微镜等）1批4480000.00元详见公告附件合同履行期限：签署合同后60天内交付。本项目不接受联合体投标。

作者朱金龙*、刘佳敏、徐田来、袁帅、张泽旭、江浩、谷洪刚、周仁杰、刘世元*单位华中科技大学哈尔滨工业大学香港中文大学原文链接：10 nm 及以下技术节点晶圆缺陷光学检测 - IOPscience文章导读伴随智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展，先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度，图形化晶圆上制造缺陷（包括随机缺陷与系统缺陷）的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术，但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继，因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。近年来，越来越多的研究工作尝试将传统光学缺陷检测技术与纳米光子学、光学涡旋、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术相结合，以实现更高的缺陷检测灵敏度，这已为该领域提供了新的可能性。近期，华中科技大学机械科学与工程学院、数字制造装备与技术国家重点实验室的刘世元教授、朱金龙研究员、刘佳敏博士后、江浩教授、谷洪刚讲师，哈尔滨工业大学张泽旭教授、徐田来副教授、袁帅副教授，和香港中文大学周仁杰助理教授在SCIE期刊《极端制造》（International Journal of Extreme Manufacturing, IJEM）上共同发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述，对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾，并重点评述了三个关键方面：（1）缺陷可检测性评估，（2）多样化的光学检测系统，以及（3）后处理算法。图1展示了该综述研究所总结的代表性晶圆缺陷检测新方法，包括明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。通过对上述研究工作进行透彻评述，从而阐明晶圆缺陷检测技术的可能发展趋势，并为该领域的新进入者和寻求在跨学科研究中使用该技术的研究者提供有益参考。光学缺陷检测方法；显微成像；纳米光子学；集成电路；深度学习亮点：● 透彻梳理了有望实现10nm及以下节点晶圆缺陷检测的各类光学新方法。● 建立了晶圆缺陷可检测性的评价方法，总结了缺陷可检测性的影响因素。● 简要评述了传统后处理算法、基于深度学习的后处理算法及其对缺陷检测性能的积极影响。▲图1能够应对图形化晶圆缺陷检测挑战的各类光学检测系统示意图。（a）明/暗场成像；（b）暗场成像与椭偏协同检测；（c）离焦扫描成像；（d）外延衍射相位显微成像；（e）包含逻辑芯片与存储芯片的图形化晶圆；（f）X射线叠层衍射成像；（g）太赫兹成像；（h）轨道角动量光学显微成像。研究背景伴随智能手机、平板电脑、数字电视、无线通信基础设施、网络硬件、计算机、电子医疗设备、物联网、智慧城市等行业的蓬勃发展，不断刺激全球对半导体芯片的需求。这些迫切需求，以及对降低每片晶圆成本与能耗的不懈追求，构成了持续微缩集成电路关键尺寸和增加集成电路复杂性的驱动力。目前，IC制造工艺技术已突破5nm，正朝向3nm节点发展，这将对工艺监控尤其是晶圆缺陷检测造成更严峻的考验：上述晶圆图案特征尺寸的微缩，将极大地限制当前晶圆缺陷检测方案在平衡灵敏度、适应性、效率、捕获率等方面的能力。随着双重图案化、三重图案化以及四重图案化紫外光刻技术的广泛使用，检测步骤的数量随着图案化步骤的增加而显著增加，这可能会降低产率并增加器件故障的风险，因为缺陷漏检事故的影响会被传递至最终的芯片制造流程中。更糟糕的是，当前业界采用极其复杂的鳍式场效应晶体管 (FinFET) 和环栅 (GAA) 纳米线 (NW) 器件来降低漏电流和提高器件的稳定性，这将使得三维 (3D) 架构中的关键缺陷通常是亚表面（尤其是空隙）缺陷、深埋缺陷或高纵横比结构中的残留物。总体上而言，伴随工业界开始大规模的10 纳米及以下节点工艺芯片规模化制造，制造缺陷对芯片产量和成本的影响变得越来越显著，晶圆缺陷检测所带来的挑战无疑会制约半导体制造产业的发展。鉴于此，IC芯片制造厂商对晶圆缺陷检测技术与设备的重视程度日渐加深。在本文中，朱金龙研究员等人对图形化晶圆缺陷光学检测方法的最新进展进行了详细介绍。最新进展晶圆缺陷光学检测方法面的最新进展包含三个方面：缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法。缺陷可检测性评估包含两个方面：材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响。图2展示了集成电路器件与芯片中所广泛采纳的典型体材料的复折射率N、法向反射率R和趋肤深度δ。针对被尺寸远小于光波长的背景图案所包围的晶圆缺陷，缺陷与背景图案在图像对比度差异主要是由材料光学特性的差异所主导的，也就是复折射率与法向反射率。具体而言，图2(c)所示的缺陷材料与图案材料的法向反射率曲线差异是优化缺陷检测光束光谱的基础之一。因此，寻找图像对比度和灵敏度足够高的最佳光束光谱范围比纯粹提高光学分辨率更重要一些，并且此规律在先进工艺节点下的晶圆缺陷检测应用中更具指导意义。▲图2集成电路中典型体材料的光学特性。（a）折射率n；（b）消光系数k；（c）法向反射率R；（d）趋肤深度δ。晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响也尤为重要。在图形化晶圆缺陷检测中，缺陷散射信号信噪比和图像对比度主要是受缺陷尺寸与缺陷类型影响的。图3展示了存储器件中常规周期线/空间纳米结构中的典型缺陷，依次为断线、边缘水平桥接和通孔、凹陷、之字形桥接、中心水平桥接、颗粒、突起、竖直桥接等缺陷。目前，拓扑形貌对缺陷可检测性的影响已被广泛研究，这通常与缺陷检测条件配置优化高度相关。例如，水平桥接与竖直桥接均对照明光束的偏振态相当敏感；在相同的缺陷检测条件配置下，桥接、断线、颗粒物等不同类型的缺陷会展现出不同的缺陷可检测性；同时，缺陷与背景图案的尺寸亦直接影响缺陷的可检测性，尺寸越小的缺陷越难以被检测。▲图3图形化晶圆上周期线/空间纳米结构中的典型缺陷（a）断线；（b）边缘水平桥接和通孔；（c）凹陷；（d）之字形桥接缺陷；（e）中心水平桥接；（f）颗粒物；（g）突起；（h）竖直桥接。丰富多彩的新兴光学检测方法。光是人眼或人造探测器所能感知的电磁波谱范围内的电磁辐射。任意光电场可采用四个基本物理量进行完整描述，即频率、振幅、相位和偏振态。晶圆缺陷光学检测通常是在线性光学系统中实施的，从而仅有频率不会伴随光与物质相互作用发生改变，振幅、相位、偏振态均会发生改变。那么，晶圆缺陷光学检测系统可根据实际使用的光学检测量进行分类，具体可划分为明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。图4展示了基于相位重构的光学缺陷检测系统，具体包括外延相位衍射显微成像系统、光学伪电动力学显微成像系统。在这两种显微镜成像系统中，缺陷引起的扰动波前信号展现了良好的信噪比，并且能够被精准地捕获。后处理算法。从最简单的图像差分算子到复杂的图像合成算法，后处理算法因其能显著改善缺陷散射信号的信噪比和缺陷-背景图案图像对比度而在光学缺陷检测系统中发挥关键作用。伴随着深度学习算法成为普遍使用的常规策略，后处理算法在缺陷检测图像分析场景中的价值更加明显。典型后处理算法如Die-to-Die检测方法是通过将无缺陷芯片的图像与有缺陷芯片的图像进行比较以识别逻辑芯片中的缺陷，其也被称为随机检测。Cell-to-Cell检测方法是通过比较将同一芯片中无缺陷单元的图像与有缺陷单元的图像进行比较以识别存储芯片中的缺陷，其也被称为阵列检测。至于Die-to-Database检测方法，其本质是通过将芯片的图像与基于芯片设计布局的模型图像进行比较以识别芯片的系统缺陷。而根据原始检测图像来识别和定位各类缺陷，关键在于确保后处理图像（例如差分图像）中含缺陷区域的信号强度应明显大于预定义的阈值。基于深度学习的缺陷检测方法的实施流程非常简单：首先，捕获足够的电子束检测图像或晶圆光学检测图像（模拟图像或实验图像均可）；其次，训练特定的神经网络模型，从而实现从检测图像中提取有用特征信息的功能；最后，用小样本集测试训练后的神经网络模型，并根据表征神经网络置信水平的预定义成本函数决定是否应该重复训练。然而，深度学习算法在实际IC生产线中没有被广泛地接收，尤其是在光学缺陷检测方面。其原因不仅包括“黑箱性质”和缺乏可解释性，还包括未经实证的根据纯光学图像来定位和分类深亚波长缺陷的能力。而要在IC制造产线上光学缺陷检测场景中推广深度学习技术的应用，还需开展更多研究工作，尤其是深度学习在光学缺陷检测场景中的灰色区域研究、深度学习与光学物理之间边界的探索等。▲图4代表性新兴晶圆缺陷光学检测系统。（a）外延相位衍射显微成像系统；（b）光学伪电动力学显微成像系统。（a）经许可转载。版权所有（2013）美国化学会。（b）经许可转载。版权所有（2019）美国化学会。未来展望伴随集成电路(IC)制造工艺继续向10nm及以下节点延拓，针对IC制造过程中的关键工序开展晶圆缺陷检测，从而实现IC制造的工艺质量监控与良率管理，这已成为半导体领域普遍达成的共识。尽管图形化晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题，但通过与纳米光子学、结构光照明、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术的融合，其再次焕发活力。其前景主要包含以下方面：为了提高缺陷检测灵敏度，需要从检测系统硬件与软件方面协同创新；为了拓展缺陷检测适应性，需要更严谨地研究缺陷与探测光束散射机理；为了改善缺陷检测效率，需要更高效地求解缺陷散射成像问题。除了IC制造之外，上述光学检测方法对光子传感、生物感知、混沌光子等领域都有广阔的应用前景。

国内领先的第三方测试机构华测检测技术股份有限公司(CTI)于近期购买了一套蓝菲光学(Labsphere)的CSLMS 2米和50厘米直径积分球光谱测量系统用于LED灯具和模组的检测。 　　蓝菲光学(Labsphere)的CSLMS(大型光源光通量检测系统)系统具有极高的精度和稳定性，受到美国能源之星(Energy Star)的认可并符合最新CIE测量标准。在美国能源部认可的7个授权进行能源之星检测的实验室中，有5个实验室采用Labsphere的积分球检测设备。 　　华测检测将使用Labsphere的CSLMS系统对LED灯具和模组进行发光效率、光通量、局部流明强度、流明维持、颜色维持、显色指数、品色坐标、波长、相关色温等参数的检测。通过使用Labsphere的设备，华测检测的检测能力将更受国际认可，并且对于其通过能源之星检测的审核有很大帮助。 　　华测检测技术股份有限公司是中国第三方测试、检验与验证服务的开拓者和领先者，为众多行业和产品提供一站式的全面质量解决方案。华测检测的实验室负责人张经理表示，蓝菲光学的产品在国际上得到了广泛认可，值得信任。 　　关于豪迈 (HALMA) 以及蓝菲光学 (Labsphere)： 　　蓝菲光学 (Labsphere) 有限公司 ( http://www.labsphere.com) 是世界光测试、测量以及光学涂层领域的领军企业。公司产品包括 LED、激光器及传统光源光测量系统 成像设备校准用的均匀光源 光谱学附属设备 高漫反射材料及背光显示屏覆层、计算机X线成像以及系统校准。公司的专家在诸多领域取得了多项专利技术，比如晶片和紫外线传输中的 LED 测试方法。蓝菲光学 (Labsphere) 的工程人员也常常协助客户，开发定制光采集管和导光管。蓝菲光学 (Labsphere) 是英国豪迈集团(HALMA p.l.c. - http://www.halma.cn)的子公司。创立于1894年的豪迈是国际安全、健康及传感器技术方面的领军企业，伦敦证券交易所的上市公司，在全球拥有 4000 多名员工，近40 家子公司。豪迈目前在上海、北京、广州和成都设有代表处，并且已在中国开设多个工厂和生产基地。

近日，科技部对2006、2007年组建的工程中心开展验收工作，经过专家现场检查评估和国家工程技术研究中心验收委员会综合评议，国家环境光学监测仪器工程技术研究中心通过验收。 　　该中心完成了大气多组分污染物及其时空分布连续自动监测技术与设备、饮用水源水质在线监测及预警技术与设备等7项技术成果的工程化研究，突破了大气污染监测技术、水体污染监测技术、土壤污染监测技术及应急监测技术等关键共性技术瓶颈，建成了国内一流的环境监测技术与检测平台，拥有较强的人才培养和开放服务能力，以及规范合理的管理制度等，中心已具备了较强的工程化研究能力及辐射扩散能力。

本周六（5月9日）上午10:00，我司王成铭博士将在仪器信息网网络讲堂做题为“光学无创技术在临床检测中面临的挑战与未来”的主题报告，探讨该技术的未来发展趋势和临床应用前景。 会议简介 在临床医学实践中，影像学（MRI、超声、CT）和病理学的互相印证对疾病的诊断至关重要，但在许多临床应用中还存在一些制约因素，给一些疾病的准确诊断带来困难，而基于拉曼、DCT和光声成像等技术的光学无创方法很有希望成为沟通影像学和病理学之间的重要桥梁。本次会议报告将从皮肤疾病诊断、消化道早癌检测和牙科根管治疗术中检测等临床实际应用切入，对光学无创方法进行概述，着重阐述其在实际临床应用中面临的困难和挑战，并从发展的角度探讨技术的未来发展趋势和临床应用前景。 欢迎各界朋友报名参与，共同讨论、交流、进步！点击本链接快速报名~ 讲师简介 王成铭，物理学博士，毕业于清华大学物理系低维量子物理国家重点实验室，现任北京鉴知技术有限公司光学工程师，清华大学物理系联合培养博士后。多年从事光学相干层析成像（OCT）临床应用方向，有临床医学合作经验，咨询和培训经验丰富。 【延伸阅读】酒精消毒防新冠？做不好这一点就没用！“鉴知”首次亮相——访北京鉴知技术有限公司总经理王红球从威视到鉴知 150余项专利技术铺就拉曼发展之路

NanoView全自动外泌体荧光检测分析系统将于8月迎来大规模路演，现诚邀各位老师免费试用！ 单粒子干涉反射成像传感器（SP-IRIS）技术是将免疫学与光学结合的一种新技术。该技术先利用免疫识别将特定的外泌体进行捕获分离，然后再对目标外泌体的表面标志物及内容物（如携带的蛋白质、RNA、DNA及细胞因子）进行定量分析，从而更加全面地反映外泌体的特性。短短两年时间，该技术在全球已有50多个实验室采用该技术，发表重要文献近百篇，备受广大科研工作者的关注。NanoView全自动外泌体荧光检测分析系统的主要特点有：☛ 特异性捕获：芯片上可包被多达6 种捕获抗体，特异性捕获含特定蛋白标记物的外泌体。☛ 阳性外泌体计数：芯片捕获外泌体后，可通过SP-IRIS 技术直接检测样品中外泌体的数量。☛ 单个外泌体蛋白共定位分析：检测每个外泌体的荧光信号并进行统计，可获得荧光共定位信息，用于分析样品中不同表型外泌体的比例。☛ 无需纯化：使用抗体捕获模式，防止样品中杂质影响结果，可直接检测血液、尿液和细胞培养液中的外泌体，未纯化样品的测量结果与纯化后基本一致。☛ 粒径分辨率高：高精度SP-IRIS技术，可检测≥50 nm的外泌体，测量结果与电子显微镜检测结果基本一致，并统计生成外泌体的粒径分布结果。☛ 可检测外泌体内容物：试剂盒配套相应的穿膜剂，可穿透外泌体并对外泌体内容物进行染色并检测。 典型案例：外泌体荧光数量统计外泌体粒径检测荧光强度与粒径关系荧光共定位分析样机测试数据（部分）：肿瘤细胞外泌体的粒径分布肿瘤细胞外泌体的荧光成像图目前，全自动外泌体荧光检测分析系统样机正在华南区域集中路演，包括南方医科大学等知名高校，欢迎各位老师联系试用！ 联系电话：010-85120277/78 邮箱：info@qd-china.com, 期待与您的合作！ 扫描下方二维码，即刻联系试用！

4月30日，国际著名科学期刊《自然-通讯》(Nature Communications)发布了一种新型的光微流激光酶联免疫吸附剂测定(Enzyme-linked immunosorbent assay，简称ELISA)技术。该技术由密歇根大学安娜堡分校生物医学工程系范旭东教授课题组与复旦大学信息学院光科学与工程系吴翔副教授共同开发。据悉，该项新技术将有望应用于重大疾病(如癌症、艾滋病等)的早期检测与诊断以及单个酶分子催化机制研究。 　　一般来讲，传统的ELISA技术利用被酶催化生成的荧光产物所发出的荧光强度作为探测信号，然而在实际检测过程中，生物分子的非特异性结合、材料自荧光以及激发光的泄漏等因素造成的强荧光背景会干扰目标分子荧光强度的探测，从而限制了ELISA的探测极限以及动态测量范围。 　　而吴翔及其合作者开发的新型光微流激光ELISA技术的创新之处在于，以荧光产物为激光增益介质，利用高品质因子的光学微腔产生激光输出 在固定的泵浦功率下，产生激光的阈值时间和被测目标分子的浓度呈反比，不同的浓度对应不同的阈值时间，由此，将阈值时间作为该技术中的探测信号。 　　实验表明，该项技术的探测极限可达1fg/ml(38aM)(1飞克每毫升)，动态测量范围为6个数量级。这种新型的光微流激光ELISA技术，通过对激光阈值时间的探测，可以从较强的荧光背景中精确地分辨低浓度的目标分子，从而实现超高灵敏度的生物分子探测。该技术的应用，将对重大疾病(癌症、艾滋病等)的早期检测与诊断技术带来重要提升，同时对单个酶分子催化机制研究领域产生积极影响。 　　目前，吴翔正从事有源和无源光学微腔生物传感器以及微腔光镊的研究，希望能结合光微流激光技术的优点，进一步拓展光学微腔技术在生物传感领域的应用，实现高灵敏度和高通量的集成光学生物传感芯片。

“2024中国检测技术与半导体应用大会暨半导体分析检测仪器与设备发展论坛”于2024年7月11-13日在上海虹桥新华联索菲特大酒店隆重举行。大会以“大会报告+分会报告+产品展览+高校科技成果展示+学术墙报+晚宴交流”的形式召开，91个口头报告专家及15个提供墙报的学生，分别来自于半导体检测领域知名科研院校、半导体制造企业、半导体检测企业等。大会设立了包括集成电路晶圆级缺陷检测技术、半导体器件可靠性及失效分析、集成电路先进制造及封装技术、半导体检测设备及核心零部件等在内的15个分会场报告，多样的报告主题讨论极大促进了与会者之间的互动交流和融合创新。会场外也精心布置了国内多家知名企业展位，如安捷伦、珀金埃尔默、北方华创等，他们纷纷展示了各自在半导体量检测领域的新技术、新设备。会议期间，仪器信息网特别采访了光库智能科技（南阳）有限公司总经理何贵明。在采访中，何老师就光库智能在半导体量检测设备领域提供的产品和解决方案，其主要技术、创新点和应用场景，如何实现国产替代以及公司最近一年取得的成就和未来发展规划等话题进行了深入的交流和分享。以下是现场采访视频：丰富的镜头产品系列仪器信息网：近年来，贵公司在半导体量检测方面提供了哪些新的解决方案或产品？何贵明老师：大家好，我们光库智能主要是针对超高精密的检测领域提供精密零部件，主要是指光学系统，特别具有代表性的就是照明和成像。具体的产品系列我们是这样，第一个是大表面的高分辨率的镜头系列。我们针对日本的厂商做了一系列的替代性的产品，其中最具代表性的就是目前我们推出的配6500万像素，光学分辨率达到1.3微米，还有就是配1亿像素，光学分辨率达到1.5微米的这么一个系列产品。第二个系列是针对半导体晶圆检测里面的高反光的特点，这个部分我们也设计了一系列的产品，最具代表性的镜它的光学分辨率可以达到5微米以下，视野范围达到几十个毫米。它对半导体表面反射这种高反特点，可以很好的把缺陷及特征给提取出来。第三个系列是我们的投影光机系列，因为在半导体检测里面，除了2D检测以外，还有3D测量，3D测量里面有一个很重要的是结构光，而产生结构光的模式可能主要来自于投影光机，针对这种偏轴投影光机我们有一个行业突破，这个部分产品里面最代表性的是我们的4710系列，它可以实现高分辨率的投影测量。还有我们的这种高度定制化的产品。因为目前在半导体检测领域里面，多数的产品它是定制化的，而定制化有一个最重要的特点，就是它不仅仅是单倍率了，针对多倍率的这种成像镜头，它要一个镜头适配不同的相机，而且是同时的，这种情况下就需要有大量的镜片需要兼容不同的倍率，不同的视野范围，不同的分辨率，不同的相机，这一种产品是我们的特色，目前也得到客户的广泛好评。理论创新和精密镜片制造是独到之处仪器信息网：其产品运用的主要原理与技术有哪些？有哪些创新点？何贵明老师：我们用的核心技术原理有这么几点，第一个就是我们的照明光学，照明光学其实包含这几大部分，成像光学里面的几何光学和相差理论，光度学、色度学。照明光学是一个极其复杂的光学学科，它不但要涉及到对光的能量的整合，还需要对光的方向，光的能量均匀性，以及人的密度、角度、均匀性等一系列的进行综合的整合起来。还有就是要考虑它的衍射，照明光学是一个复杂的学科，目前能够在照明光学做的比较好的，国内是比较少的。第二个部分就是我们的成像光学，成像光学它又夹杂着几何光学相差理论和物理光学的部分，我们目前能够做高分辨率的这种镜头一直以来是被国外所垄断，它有一个很重要的原因是因为我们的这个行业的理论创新程度不够，这个是我们长年累月积攒下来的行业经验以及理论基础所能够达到的一个结果。还有一个部分是精密镜片的加工，我们光库智能在精密镜片加工方面有很深厚的技术积累，我们的创始人大股东他是在镜片加工这个领域里面有着20多年的从业经历，以及在一些国内著名的这种公司都有过这种总监级的这种工作经历，所以说我们在镜片加工方面有了独到之处。目前国内精密镜片部分我们的市场份额也是非常大，所以综合起来，我们的镜头的结果创新是来自于理论创新，以及我们对镜片本身上制造的一个理解，这是我们的独到之处。为半导体量检测设备提供“眼睛”仪器信息网：贵公司产品在半导体检测方面有哪些应用场景？何贵明老师：半导体晶圆加工的生产制程非常长，每一个生产制程它都可能会产生一些缺陷，对这些缺陷都需要进行检测测量，在每一个测量环节它都必不可少的，需要半导体的检测设备，在整个所有的半导体检测设备中，光学检测设备占了整个半导体检测设备的75%以上。而在半导体光学检测设备中，光学系统本身它占据了整个半导体设备部门成本的25%以上，它又占据了我们半导体检测设备的核心卡脖子的一个位置。我们可以提供什么样的产品在这里面？第一个就是因为现在半导体检测它是一个综合性的，包括2D检测、3D检测以及AI算法在这里面综合起作用。在每一个环节我们都需要精密的光学系统，比如用于2D测量的我们的高分辨率的检查镜头，因为在我们所有的检测测量里面有两个永恒的主题，第一个是更高精度，第二个是更快速度，那更高精度更快速度，第一个来源于就是我们的大靶面的高分辨率的这种镜头。第二个部分如果对于3D测量，我们可以提供两类产品，第一个3D测量里面的投影光机，它是结构光的主要来源者，第二个部分就是成像镜头。在3D测量系统里面结构光机和成像镜头是最主要的两个零部件。第三个部分是什么？在很多半导体设备里面它需要测一些膜厚，膜厚的测量目前主要来自于椭偏仪，而精密椭偏仪上面也需要精密的镜头，我们也会提供椭偏仪上面的精密镜头。总之就是在半导体检测领域里面，2D、3D以及AI它都需要精密的成像拍照，而我们提供就是成像拍照用到的光学镜头以及照明系统。四大核心技术助力实现国产化替代仪器信息网：看到您展位上有提到国产替代，请问贵公司是如何实现的？ 何贵明老师：在自动化的高精密半导体检测设备中，我们有很多镜头可以使用，但是在超精密这里面其实只有一类镜头是最适合的，就是双远心镜头。双远心镜头从它自身的原理来讲，它对震动不敏感。因为非远心的镜头它会存在一个精度高测不准的问题，在不同的高度它的测量值不一样，它在每一个高度测量精度很高，但是它值不一样，双远心镜头可以很好的规避这个问题。在这个领域里面，国内的镜头做的确实是有所欠缺。在我们这个领域有几个重要指标，第一个一定要大范围，我们一次性拍照拍很大范围；第二个一定要高分辨率，光学分辨率高，我们最终设备的测量精度就会很高。第三个方面是我们的镜头系列一定要多，一定要提供高度定制化的一个产品给客户。基于这些国内也做了很多工作，但是迟迟进展不是很好，为什么我们可以做到全系列国产替代呢？其实是基于这几个原因，第一个就是我们的理论积累，我们公司主要的技术人员，一个是我，另外一个是我搭档赵博士。我先介绍一下我自己的经历，就是我本科是长春理工大学光学工程毕业的，长春理工大学是一个由中国光学之父王大珩先生所创立的一个以光学教学为主的学校。然后硕士是在哈尔滨工业大学，我们是做航天光学，做的也是超分辨率的一些大口径的航天镜头。工作之后我是在半导体封测方面工作了很多年，所以说在理论积累方面我们是比较深厚的。我另外一个搭档他本科也是长春理工，硕士和博士是在中科院西安光机所，他在光学理论积累方面也非常深厚，这是第一个部分。第二个部分就是精密的镜片制造。我们的另外一个创始人也是我们大股东，他是在国内镜片制造加工这个领域里面工作了20多年的，在镜片制造方面我们经验非常丰富，而且我们配备了很多先进的国外镜片制造设备，以及镜片本身的量测设备，在这个部分是保证了我们在镜片制造方面能够达到一个比较先进水平。第三个部分是精密装调技术，镜片在镜头本身生产制造过程中非常重要，而精密装调又搭配着精密评测，精密评测和精密装调是一个相互迭代的过程。我们知道全世界做镜头质量评测最厉害的公司就是德国的全欧光学，我是全欧光学中国区的研发总监，到目前为止我也是创新中国区的唯一一个研发总监，在整个中国光学界我是独一份。因为我们了解镜头的精密评测，所以说我们对精密镜头的精密装调，我们就非常了解。加上我们的精密评测技术，所以说我们最终集合这四大技术，第一个就是我们的理论积累理论创新，第二个部分就是我们的镜片的精密制造，第三个部分是镜头的精密装调，第四个部分是镜头的精密评测，这4大技术方面我们有非常深厚的积累，所以说从结果上看，我们确实是做到了可以全系列替代国外产品的程度。深耕半导体量检测设备光学原理，实现更大突破仪器信息网：贵公司近一年取得了哪些成就？未来有哪些规划？何贵明老师：我们光库智能产品规划最开始我们是做一些精密的零配件，特别是精密晶片的制造这方面，我们做了很多工作，目前市场占有率已经非常高了。今年我们开始陆续的推出这种超高精密的镜头，我们目前瞄准的主要是半导体检测量测这个领域，国内一个半导体量测检测设备的头部企业，他们的一个资深副总裁在去年他们的年会上讲了一句话，就是说我国目前半导体检测量测领域里面最重要的问题是我们的一些精密零部件还需要国产突破，他特别提到两点，第一个就是镜头，第二个是光源。他觉得这个部分现在国内无法突破，需要国家大力投入来突破整个半导体检测领域里面的卡脖子的一个问题，这个部分我们也迅速捕捉到信息，迅速组织人力物力来做这方面的研发，加上我个人本身一直在做半导体检测，所以说我们很快就推出了新产品，超高精密的这种半导体检测镜头。我们未来规划是这样子的，就是瞄准半导体检测设备的光学原理，第一个部分是2D测量，对于2D测量，我们会推出全系列的大面阵的线扫描的这种高分辨率高倍率的镜头。第二个部分我们会配合客户推出这种大跨度的双倍率三倍率以及多倍率的这种高分辨率的镜头。第三个部分是因为现在半导体检测，还有一个就是3D测量广泛应用，而我们在3D测量技术沉淀方面我们有独到的优势，其中第一个部分是结构光的3D测量，这个部分我们也推出了精密的偏轴投影光机，这个部分高亮度、高分辨率大靶面的偏轴投影光机，我们在整个行业里面是国内唯二可以提供的，另外一家也是一个很厉害的公司，但是我们的精度会超出远远超过另外一家。还有针对目前比较火爆的线扫描的彩色工具胶，这个部分的高精密成像系统，我们的研发是很早的，技术积累已经有十几年了，这个部分我们会领先于整个行业。第四个部分就是针对刚刚讲的另外一个系列，高反光的系列，因为我们的晶圆都是高反光面的，对于高反光面的检测，这个是整个行业里面是一个老大难的问题，它有传统的就只有三种方法，对于高反光面的缺陷检测，我们第一种是2D视觉、3D视觉、AI算法，这是三种传统的方法，没有哪一种方法可以彻底解决问题，都是一起来使用，我们研发出了第四种方法是利用光的波动性来实现高反光面的全检测。这个部分的系列产品我们已经推出两款，第一款是配2/3寸的镜头，第二个部分是配1.1寸的镜头，这一类我们就不需要特别的照明就可以实现，这个也是一个很大的突破，大概就这些。