旋涂仪原理

仪器简介： MIDAS为匀胶机(又称为旋涂仪、甩胶机、Spin Coater等)的知名国际品牌，目前全球用户超过1800台，在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉，高性价比。匀胶机有许多名称：甩胶机、涂胶机、涂层机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂膜仪等, 主要应用于溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作。其工作原理是高速旋转基片, 利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上, 厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同, 也和旋转速度及时间有关。匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。 马达的皮实耐用性能及高速旋转时转速的稳定性和均匀性是进口设备和国产设备的区别！！ 此型号匀胶机在国内高校研究单位被广泛使用，是进口设备中性能价格比最高的型号，到货期短（一般2周到货），使用简单（用户均可自行安装操作），维修快捷，3年内正常使用不会出问题。 技术参数： 时间 Time : 1~999秒，可调节 基底尺寸 Substrate Size: ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可选择 卡盘旋转速度 Chuck Rotation Speed : 300~8000 rpm，直流伺服马达/交流伺服马达 匀胶状态 Spin State: 50步，20个方案控制(数字程序编辑) 面板数字式编程，液晶显示，操作方便 碗腔尺寸 Bowl Size: 8英寸，铝(经阳极氧化工艺)/12英寸，SUS 增/减速率 Accele/deceleration Rates: 可调节 真空卡盘 Vacuum Chuck : 铝(阳极氧化)，乙缩醛(Acetal) 电源 Electrical Power : 220V, 5A 自带无油真空泵 Oilless Vacuum Pump: - 650 mmHg 尺寸(mm) Dimension: 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 主要特点： 1） 桌上型匀胶机，涂膜厚度范围：100nm~100um； 2） 可用于光刻胶(PR)，聚酰亚胺(Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液； 3） 紧凑型设计，用户编辑、控制、存储、取出涂胶程序，易于操作； 4） 加速及减速速率基于设定的时间/转速(Ramp Time/RPM value)自动计算； 5） 用户通过匀胶机前面板显示屏和按钮进行编辑、控制、存储、取出涂胶程序，并进行实验操作。

匀胶机，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，英文叫Spin Coater或者Spin Processor。总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。 匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。 由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。产地：韩国ECOPIA公司型号：SP-6技术规格：1. 旋转衬底最大尺寸：四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等；2. 按客户需求提供整体解决方案，可以旋涂最小3mm， 最大1000mm衬底；3. 从手动到全自动溶质分配的选择范围宽大；4. 无振动转速最高5000RPM；5. 真空吸附，无污染；6. 台式匀胶机,占用空间小；7. 具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩，并且匀胶机主机易清洗；8. 聚四氟乙烯（PTFE）的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料；9. 液晶显示屏人机界面，甚至带着手套都可以方便使用；10.可以准确重复运行程序的数字程序控制系统；11. 高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序；12. BLDC马达，高稳定性，无热量散发(优于DC马达)；应用范围：可用于光刻胶(PR)，聚酰亚胺(Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液；

CIF匀胶机转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。产品特点v 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶的均一性。v 5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，z多100个阶段。v 内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。v 多重安全保护:? 电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；? 盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人；? 双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，大限度保证实验人员安全。v 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。v 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。v 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。v 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。v 上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置v 可选氮气吹干、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供更多的操作便利性。v 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。 技术参数型号转速（转/分）转速稳定度匀胶时间旋涂基片尺寸mm外型尺寸（LxWxH）mmSC150-10000±1％0-2000秒圆片Φ5-Φ100,方片z大100x100 310x260x250

SPS旋涂仪是高品质、全NPP POLOS单晶片，专为MEMS、半导体、PV、微流体领域等领域的研发和小批量生产而设计。适用于所有典型的旋涂。工艺：清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。SPS旋涂仪非常适合处理从直径为 2.5 毫米到 160 毫米/ 260毫米的小碎片或尺寸为100x100 毫米或 150x150 毫米的方形样品的各种基材。系统包括带注射器支架的透明盖子。直径可达 300 毫米。 这些装置通过易 于使用、可拆卸的彩色触摸屏进行操 作，提供直观的编程和配方存储。可 以选择添加各种喷嘴、超音速清洗和 分配线。所有旋涂机都标配有夹头。标准单元为NPP材料，PTFE单元为PTFE。SPIN150i 适用于长达 150 毫米的基 材，包括免费的真空吸盘 A-V36 和 片段适配器 D-V10。 SPS旋涂仪规格 可编程 CW 和 CCW 以及搅拌旋转 带传感器联锁的自动安全盖锁 速度 0 rpm - 12,000 rpm，精度 +/- 0.1 rpm 加速/减速 1 - 30,000 rpm/sec，每步可选

旋涂仪F037 旋转速度：0~1000rpm 速度控制：实时显示实际转速全新触摸屏设计，可触屏修改调整转速和计时可适配市场上主流全品类旋转电极含1个旋转轴，一个水平仪。

CIF 推出的旋涂机系列产品转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。产品特点◆ 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。◆ 7 寸全彩中英文互动操作触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配 10 个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置） ，可 选配 20 个可编程程序，每个程序下可设置 10 个匀胶梯度阶段，最多 100 个阶段。◆ 内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。◆ 多重安全保护电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人；双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，大限度保证实验人员安全。◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。◆ 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用 PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器 在苛刻条件下仍能正常运行。◆ 上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置。◆ 可选氮气吹扫、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供更多的操作便利性。◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。技术参数 型号MSCSC1SC2转速0-10000rpm0-10000rpm0-10000rpm加速度0-10000rpm/s0-10000rpm/s0-10000rpm/s转速稳定度±1%±1%±1%匀胶时间0-9999s0-9999s0-9999s工作舱直径直径 180mm直径 180mm 直径 240mm基片尺寸圆片 Φ=6 吋，方片最大 105x105mm圆片 Φ=6 吋，方片最大 105x105mm圆片 Φ=8 吋，方片最大 140x140mm外型尺寸L245xW325xH215mmL245xW325xH285mmL305xW385xH285mm包装尺寸L365xW445xH335mmL365xW445xH405mmL425xW505xH405mm整机重量6.3Kg7.6Kg11.6Kg

产品详情M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径最大为8英寸的晶圆片，或为6英寸 x 6英寸的衬底。它可使用分配臂全自动工作，分配移动托盘，可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制，和可视化全图形触摸面板。M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块，该模块连接到柔性电缆，外接到一个19英寸外部控件上。

旋转电极旋涂仪（RDE/RRDE）产品：旋转电极旋涂仪（RDE/RRDE）品牌：电弛新能源产地：中国武汉可适配主流尺寸旋转电极，含1个旋转轴，1个水平仪参数转速：0-1000rpm。设计：采用精密螺纹连接尺寸：10mm(W) * 265mm(D) * 213mm(H)旋转电极旋涂机，替代传统静态滴涂方法，通过克服表面张力与毛细力，实现了电化学催化剂ink在旋转圆盘电极(RDE)上的均匀涂布，可大幅提高电化学测试数据质量，保证结果的可重复性与可靠性。目前该设备已被众多的电化学实验室采用，是电催化研究中的必选设备。

安赛斯HC220PE匀胶机，适合8英寸及以下晶元旋涂，采用高精度伺服电机，触屏控制，可编程，不锈钢外壳，HDPE内腔，详细功能介绍，请联系安赛斯销售人员。 产品详情请登录安赛斯（中国）有限公司官网查询，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！产品介绍： 名称：安赛斯旋涂仪HC220PE型号：HC220PE产地：应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。 产品描述：安赛斯旋涂仪HC220PE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。性能指标： 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁） 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒 转动速度：0-10,000rpm（更高速可选） 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载） 马达旋涂转速稳定性能误差 ±1rpm 转速调节精度0.1rpm，重复性 1rpm 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec 支持wafer尺寸25px-200mm（8”圆晶） 旋涂作业均匀性： ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）产品优点： 内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。 Telon /polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。 标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。 排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。 透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。产品外型尺寸：　　　　　444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H) – 标准设备结构 　　　　安賽斯（中国）有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、租赁、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区，在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯（北京）科技有限公司。安赛斯（北京）科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业，是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念，用全球视角，引入先进的技术与产品，为国内用户提供本地化的专业服务。安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验，在多年行业服务的基础上，为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务；同时依托产品领先的技术优势和卓越性能，集合了自身的研发、系统集成优势，针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。　　公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队，致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。安赛斯公司将始终以为客户提供"更丰富的产品选择，更经济的解决方案，更全面的专业服务"为使命，用领先的技术与专业的服务为客户提供最大化的支持，和客户同成长、共辉煌!咨询或索取详细产品资料，请联系ANALYSIS（安赛斯）工作人员。产品详情请登录安赛斯（中国）有限公司官网查询。

Ossila非真空旋涂机国内总代理现货发售产品介绍许多年来,英国Ossila公司旋涂机一直以高质量的涂布效果而著称。Ossila公司根据众多客户反馈，结合公司内部强大的研发力量推出一种全新的旋涂机，大大提高了产品的可用性和效率。新型旋涂机更小巧、重量更轻,不需真空泵或氮气管线，机读方便,更适合在手套箱和通风橱内使用。大英物理学会获奖项目-Ossila太阳能电池原型设计平台中， Ossila旋涂机提供了理想的旋转涂布解决方案,很大程度上减轻了科研人员工作量，并大幅节省了实验室空间。旋转涂布是一种应用广泛的通用技术，可将材料沉积到基片上，并能准确控制薄膜厚度。Ossila旋涂机形体小巧,价格经济,不需维护，上优化手套箱内或工作台空间，性能和功能丝毫不打折扣，让每个科研人员都在其研究领域中获得高质量的旋涂效果。Ossila旋涂机是非真空式设计，减少基片翘曲问题，提升膜片涂布质量。Ossila旋涂机不需真空泵或氮气管路，是真正即插即用式旋转涂布机，避免了真空泵和氮气管路带来的维护问题。Ossila旋涂机可与注射泵配套使用。价格经济，标配包括一个旋涂卡盘，下订单时需注明所需卡盘类型。Ossila可根据客方需求定制卡盘。Ossila旋涂机有2年真空质保。性能优势为什么要选择非真空旋涂机?市场上大多数旋涂机进行旋转涂布的时候都通过真空方法固定基片。Ossila旋涂机则与众不同，它使用创新型卡盘，不需真空固定即可进行旋转涂。基片通过聚丙烯卡盘上的凹口固定到位，这种设计同时也可以让多余的涂层材料排出，保证良好涂布效果。 Ossila旋涂机卡盘不需真空即可将基片固定到位，非常安全。Ossila公司可根据客户需求定制任意形状的卡盘，以进行各种形状基片的涂布，从而满足客户的使用需求。 真空卡盘的缺点是基片容易向上翘曲，影响涂布均一性。低均一性会降低基片品质，并影响机读效果。Ossila公司非真空旋涂机卡盘可以保证基片平直不受损坏，即便灵敏度非常高的基片涂布也能避免基片受损，保持高度平直性，从而涂布效果的均一性。与普通旋涂机相比,Ossila旋涂机的非真空式涂布保证了膜片分布的高均一性。左：普通旋涂机上有真空密封环形印迹 右：Ossila非真空式旋涂效果空式旋涂机只能在有真空管路的环境中使用，因为真空泵的存在，一旦放置后不易移动，灵活性差，尤其是不工作的时候也占用实验室空间。Ossila旋涂机不需真空泵，只需一个电源插座，即插即用，可以在工作台上使用，也可以放置于通风橱内或手套箱内使用，尺寸小巧，设置简便，机动性非常强。大多数旋涂机价格并不包括真空泵，无形中增大了采购成本。另外，真空泵容易坏，增加了客户的后期维护成本及误工成本。真空泵的故障主要由过量溶剂被吸入真空管道导致内部组件受损引起。Ossila旋涂机不使用真空泵，大大减少了短期和长期的维护成本。 功能特征节省空间的设计-占地面积只有22.5×17厘米,节省实验室空间。Ossila旋涂机形体小巧，移动方便，无论你想放置在通风橱里还是手套箱里，还是想放在实验台上，一切随心所欲。 安装简单-没有真空或氮气管线,只需把旋涂机插到电源插座上即可开始工作，Ossila旋涂机是真正的即插即用式旋涂机。 完全掌控-转速范围从120到6000 rpm不等，涵盖不同旋涂需求。Ossila旋涂机可以实现一系列不同的旋涂条件，从慢干式结晶涂布到超薄膜片的涂布，面面俱到。内置控制系统可以存储10个独立的用户自定义程序，每个程序可以存储10个协议，多达50个步骤。所有这一切保证Ossila旋涂机完美的工作效果，使它成为众多繁忙实验室中的得力助手。 更少的变数,更好的膜片-内置水平仪和可调式脚保证平直的旋转轴，非真空式卡盘避免了较薄膜片的翘曲现象。这两个优势因素确保了膜片涂布更好的均一性，以及更好的设备性能。 维护成本低-真空式旋涂机的真空泵比较容易受损，操作繁琐，维修成本高。Ossila旋涂机的活动部件少，没有真空泵，不会因设备故障而停机，保证了客户科研工作的顺畅进行。 耐用–Ossila旋涂机机壳是钢铁材质和钢化玻璃盖坚固耐用，聚丙烯材质卡盘和内部件具有良好的耐腐蚀性，可以适用各种实验室工作环境。 安全–Ossila旋涂机电源是24 V DC，不需高压电，对电源没有其它特殊要求。防溅设计避免溶液溅洒或倾覆，安全系数高。电磁安全开关提供双重保护，旋涂机上盖打开，卡盘立即停止转动。溶剂安全性—清晰直观的键区，带有保护性氟化乙丙烯膜，耐化学腐蚀，安全系数高。Ossila旋涂机有内置水平仪，台脚高度可调，确保了涂布的水平性和均一性。使用普通旋涂机在进行微小基片或异形基片的旋涂时，很难达到理想效果。Ossila旋涂机完美地解决了这些问题!高灵敏性基片涂布是科研人员经常遇到的比较头疼的问题。普通旋涂机因为真空会导致较薄基片翘曲，故很难达到均一平直的涂布效果。Ossila旋涂机采用非真空式卡盘设计理念，可以在高转速条件下保证较薄基片的平直均一性且不受损坏，是高灵敏性基片涂布的理想之选，如有机发光二极管或太阳能光伏生产中使用的PET基片涂布。技术规格用户协议10个用户自定义协议程序每个协议下可设置10个程序，每个程序最多50个步骤。转速稳定性2%的误差转速120-6000转旋转时间1 - 1000秒电源DC 24V 2A, 使用100-240v 50/60Hz电源适配器安全开关门上有电磁安全开关，盖子打开，卡盘停止转动尺寸规格225 x 170 x 132 mm材质聚丙烯转盘、钢质机壳，钢化玻璃盖

产品详情 美国 Laurel 匀胶旋涂仪 WS-650系列，H6系列 适用旋涂材料的尺寸范围： 高性能的马达驱动： 多功能控制器： 自动滴胶功能（可选配项）： 完美的托盘解决方案：[

英国Ossila公司Spin Coate型旋涂机，操作简单，方便实用，旋涂均匀，结构小巧紧凑，为实验室提供了理想的解决方案，其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘，无需真空泵或充氮气，就能达到很好的旋涂效果。可对大小不同规格的基材都可进行旋涂，尤其是对超薄样品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到完美的旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象，影响涂层的均匀性。广泛应用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。技术性能v 可在手套箱和通风厨内使用，基座面积仅为22.5x17cm；v 无需真空泵、充氮气，节省保养维护费用；v 创新设计非真空卡盘式吸盘，基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置，无需抽真空，就能达到完美的旋涂效果；v 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面，坚固的不锈钢外壳，钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘，使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行；v 采用液晶显示+按键操作控制界面；v 智能程序化控制：10个用户自定义协议，每个协议下可设置10个程序,每个程序最多50个步骤；v 内置水平校准装置，zui大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂；v 电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证运行安全；v 转速稳定性:2%；v 转速:120-6000rpm；v 定时器:1-1000秒；v 电源:DC24V、2A, 使用100-240v 50/60Hz电源适配器；v 尺寸:220x170x132mm。

仪器简介：德国品质（配有防污染内衬，标配两个大小吸盘，性能优于美国同类品牌）SPIN150i单片匀胶机/旋涂仪具有广泛应用，包括 甩干，冲洗，清洁，涂胶。台式设计，无缝全塑料材质， 有天然聚丙烯(NPP)和聚四氟乙烯材质(PTFE)可选。有各种吸盘，适合样品衬底5mm--?160mm (or 6”) or 4"x4". 更大尺寸均有！！技术参数：最大样品尺寸: 160mm最大腔体直径: 202mm伺服控制马达程序数字处理控制器:存储50个程序，每个程序可设计99步菜单指令转速 1-12000 rpm2 free programmable outputs (dry contacts)仪器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm 各种样品尺寸的台式匀胶机（最大至1000mm!）天然聚丙烯材质（Natural Polypropylene Models） 化学胶注射应用 VS. 型号甩干 冲洗清洁刻蚀手动涂胶自动涂胶显影样品衬底尺寸手动注射SPIN150i 最大至 ?160mm(or 6") OR 4”x4”SPIN150i-INDSPIN200-NPP 最大至 ?260mm(or 8") OR 6”x6”SPIN200-IND自动注射ACD200-NPPACD200-NPP-IND手动注射MCD300-NPP最大至 ?360mm(or 12") OR 8"x8"MCD300-NPP-IND自动注射ACD300-NPPACD300-NPP-IND主要特点： 最高转速12000rpm而无振动结构紧凑，台式机此匀胶机可以集成到其它系统中无缝天然聚丙烯(NPP)材质适合多数化学胶体，清洁方便对强腐蚀的化学试剂可选用聚四氟乙烯材质的匀胶机大的操作面板使程序输入简便，即使戴上手套也可以操作数字式处理控制器，可以精准，高重复性控制大量程序可编辑，使复杂的涂胶工艺变的灵活Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware德国品质（配有防污染内衬，标配两个大小吸盘，性能优于美国同类品牌）

M6 Spin Coater可旋涂处理小碎片至6英寸圆晶圆片，使用无刷直流双向旋转马达控制，转速稳定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3英寸全彩触屏人机界面操作，简单易用。M6 Spin Coater外形美观，结构紧凑，专为实验室，研发和小规模生产部门提供性价比高的匀胶涂覆设备。M6 Spin Coater在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备，纳米薄膜研究等相关领域。 二、技术参数▲1.保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护（可选择取消）；2.支持Wafer尺寸：最小标配为10 mm，可选配到3mm或5mm；最大到直径6英寸（150mm）的圆片或边长5x5英寸（125x125mm）的方片，无需更换片托；3.设备材质：全部采用易清洁的NPP天然聚丙烯材质，环保，抗震，耐腐蚀；▲4.无刷马达：直流双向旋转，正反旋转速度±100~±12000rpm，稳定性能误差±1rpm；5.马达安全模式：可设置非真空模式，转速3000rpm，加速度500rpm/s；6.加速度可控范围：100-30000RPM/S；7.工艺时间：每步可以设定45小时，精度不超过0.1秒；8. PLC控制：4.3英寸全彩触摸屏高精度PLC可编程的控制器；9.程序段：可存储99个程序段，每个程序段可设置50个不同步骤的速度状态；10.无油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节；11.扩展功能：可升级预留端口，可扩展自动滴胶装置、自动去边装置、手动去边等选配项。 三、设备性能特点马达控制：无刷直流双向旋转；智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩触屏，配有智能触碰笔，按键有提示音，选中功能有颜色区分，适用于手套箱；腔体材质：易清洁的NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性；模式切换：可自由切换单步模式、多步模式和曲线分析图；防止堵胶：双真空腔设计；预留端口：可升级扩展其他多种选配项；密码功能：设有开机密码和管理员密码，管理员有权限修改核心参数；安全报警：系统盖板嵌锁、真空异常、通气异常、系统进胶、马达转速异常均会报警，通过声音和界面对话框提示；气流保护：旋涂过程中对马达进行气流保护（也可选择取消），易维护，易清洁，大幅提高马达使用寿命； 四、应用领域• 半导体芯片制造• 钙钛矿太阳能电池制备• 微纳和微流控• 纳米薄膜• 高分子材料• 有机光伏• 有机发光二极管• 有机场效应晶体管&薄膜晶体管• 石墨烯&二维材料

技术参数及要求：基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，ZUI大100×100mm2 方片转速：250-9000RPM旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节转速稳定性：旋涂均匀性：旋涂工艺阶段：6 段旋涂时间：单步工艺0-1800s，可根据客户需求调节整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm裸机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×155mm电机功率：40W适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料配套无油真空泵参数：型号：KW-550A/KW-550T抽速：1.5 升/秒功率：320W噪音：50dbZUI低真空度：-700mmHg重量：7.3Kg尺寸(长宽高)：240mm×160mm×230mm抽气速率：60L/min

安赛斯可编程匀胶机（旋涂仪）HC150PE，采用触屏控制方式，方便操作，易学易用；采用高级PLC控制，可编程，确保设备精度高，重复性好；采用HDPE高分子内腔，透明PC盖子，美观耐腐蚀，易清洁。 如果您对安赛斯匀胶机（旋涂仪）感兴趣，请登录安赛斯公司官网，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！可编程精密匀胶机型号：HC150PE HC150PE匀胶机，采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。 特点：l 设计紧凑，可放置在手套箱内。l HDPE内腔与不锈钢机身可分离，便于清洁和移动。l 4.3英寸彩色触屏控制，简单易用，运行状态实时显示。l 不锈钢外壳，美观耐腐蚀。l 经CNC一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁；l 内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；l 高级PLC全自动程序控制，可编程；l 带真空度安全互锁检测功能；l 可设置用户密码保护功能；l 配置可调基座，方便调节水平；l 带一路自动点胶接口，可升级自动点胶系统； 技术参数：l 适用晶元尺寸范围：?10~150mm；l 旋涂速度：100~12000rpm；l 转速分辨率：1rpm；l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；l 旋涂时间：3000s；l 旋涂时间精度：0.1s；l 内腔直径212mm，内腔采用独特的凹面防溅设计；l 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；l 电源输入：AC200-230V 设备外形尺寸：长X宽X高：31X25.4X25cm 安賽斯（中国）有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区，在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯（北京）科技有限公司。安赛斯（北京）科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业，是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念，用全球视角，引入先进的技术与产品，为国内用户提供本地化的专业服务。安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验，在多年行业服务的基础上，为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务；同时依托产品领先的技术优势和卓越性能，集合了自身的研发、系统集成优势，针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。　　公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队，致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。安赛斯公司将始终以为客户提供"更丰富的产品选择，更经济的解决方案，更全面的专业服务"为使命，用领先的技术与专业的服务为客户提供最大化的支持，和客户同成长、共辉煌! 安赛斯可编程匀胶机（旋涂仪）HC150PE，采用触屏控制方式，方便操作，易学易用；采用高级PLC控制，可编程，确保设备精度高，重复性好；采用HDPE高分子内腔，透明PC盖子，美观耐腐蚀，易清洁。 如果您对安赛斯匀胶机（旋涂仪）感兴趣，请登录安赛斯公司官网，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！

深圳冠亚牌SFY系列粉末涂料水分含量检测仪原理： 深圳冠亚水分仪科技有限公司研发的SFY系列塑胶水分测定仪（冠亚牌）是我公司新研制的新型快速水分检测仪器。环状的卤素加热器确保样品得到均匀加热，操作简便、测量准确。在测量样品重量的同时，仪器采用环形管卤素加热方式，快速干燥样品，在干燥过程中，水分仪持续测量并即时显示样品丢失的水分含量%，干燥程序完成后，终测定的水分含量值被锁定显示。深圳冠亚牌SFY系列粉末涂料水分含量检测仪仪器优势：●自主研发生产、核心技术产品，SFY商标8931081●塑胶原料、颗粒料、再生料测水分●国内各大注塑厂、港资、日资、韩资塑胶企业应用多的水分仪●数据处理软件，可以随时观察水分变化动态●质量过硬、仪器零耗材●操作简单，无需辅助设备●CMC计量许可证00000018号（生产许可证）●专利产产品，仪器专利号：2005301013706●塑胶行业让你放心的品牌水分测定仪深圳冠亚牌SFY系列粉末涂料水分含量检测仪技术指标：1、称重范围：0-90g★★可调试测试空间为3cm、5cm、10cm2、水分测定范围：0.01%-**★★JK称重系统传感器3、称重小读数：0.001g4、样品质量：90g5、加热温度范围：起始-205℃6、水分含量可读性：0.01%7、显示参数：7种8、通讯接口：RS 2329、外型尺寸：380×205×325(mm)10、电源：220V±10%11、频率：50Hz±1Hz12、工作环境温度：-5℃－50℃13、相对湿度：≤80深圳冠亚牌SFY系列粉末涂料水分含量检测仪与国际烘箱加热法相比，卤素加热可以在高温下将样品均匀地快速干燥，样品表面不易受损，塑胶水分测定仪检测结果与国标烘箱法具有良好的一致性，具有可替代性，且检测效率远远高于烘箱法。一般样品只需几分钟即可完成测定。塑胶水分测定仪操作简单，测试准确，显示部分采用液晶显示屏，使屏幕更加清晰明亮，示值清晰可见，分别可显示水分值，样品初值，终值，测定时间，温度初值，终值等数据，并具有与计算机，打印机连接之功能。

HC150SE可编程匀胶机，采用分体式结构，方便清洁和使用。采用耐腐蚀HDPE内腔，4.3英寸彩色触屏和高级PLC控制，最高转速12000rpm，转速精度1rpm，转速稳定性1rpm，可编程10组，每组10步，带真空安全检测，紧凑设计，带防堵胶装置。可以设置密码管理，可调节水平的地脚。内腔尺寸Ø 212mm，适合Ø 5-150mm（6英寸）晶元旋涂，结构紧凑，适合放在手套箱内使用。如果您对安赛斯匀胶机（旋涂仪）感兴趣，请登录安赛斯公司官网，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！可编程精密匀胶机型号：HC150SE HC150SE匀胶机，采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。 特点：l 设计紧凑，可放置在手套箱内。l HDPE内腔与不锈钢机身可分离，便于清洁和移动。l 4.3英寸彩色触屏控制，简单易用，运行状态实时显示。l 不锈钢外壳，美观耐腐蚀。l 经CNC一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁；l 内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；l 高级PLC全自动程序控制，可编程；l 带真空度安全互锁检测功能；l 可设置用户密码保护功能；l 配置可调基座，方便调节水平； 技术参数：l 适用晶元尺寸范围：直径5~150mm；l 旋涂速度：100~12000rpm；l 转速分辨率：1rpm；l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；l 旋涂时间：3000s；l 旋涂时间精度：0.1s；l 内腔直径212mm，内腔采用独特的凹面防溅设计；l 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程10组程序，每组程序10步；l 电源输入：AC200-230V 设备外形尺寸：长X宽X高：310X254X250mm安賽斯（中国）有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、租赁、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区，在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯（北京）科技有限公司。安赛斯（北京）科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业，是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念，用全球视角，引入先进的技术与产品，为国内用户提供本地化的专业服务。安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验，在多年行业服务的基础上，为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务；同时依托产品领先的技术优势和卓越性能，集合了自身的研发、系统集成优势，针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。　　公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队，致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。安赛斯公司将始终以为客户提供"更丰富的产品选择，更经济的解决方案，更全面的专业服务"为使命，用领先的技术与专业的服务为客户提供最大化的支持，和客户同成长、共辉煌!如果您对安赛斯匀胶机（旋涂仪）感兴趣，请登录安赛斯公司官网，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！

德国POLOS POLOS 为半导体和生命科学行业提供高端设备，特别是针对支持；大学、研发机构和小型生产设施。POLOS 成立于 2003 年，是我们第一条单晶片旋涂系统产品线的开始。截至今天，这些系统已在全球售出 4000 多套。 成千上万的科学家使用POLOS SPIN150/200i旋涂仪发表了他们的研究！ 技术参数特点： POLOS专为研发和小批量生产而设计。空气动力学效率高的腔室可提高均匀性，而天然聚丙烯或 PTFE 结构可确保无金属、无污染且易于清洁的工艺区域。有用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。 In-Deck 版本适合轻松集成到您现有或新的湿台中。 适用于镀膜、清洗、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺 型号 SPIN150i SPIN200i POLOS300 POLOS450 POLOS600 基片范围 直径160mm 或者 4英寸方片 直径260mm 或者 6英寸方片 直径360mm 或者 8英寸方片 直径 460mm 或者 12英寸方片 直径600mm 或者 超大方片 程序段数 无限制 无限制 无限制 无限制 30个程序 操作步数 90个步骤 旋转速度 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-1500rpm ±1rpm steps 旋转精度 ±0.1 rpm 旋转方向 顺时针、逆时针、交换摆 加速度 30,000 rpm/sec ≤1500rpm时取决于负载 500 rpm/sec 旋转时间 无限制*,± 0.1 seconds steps 1 to 999 sec/step 腔体直径 202 mm 302 mm 402 mm 502 mm 642mm 触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制 全彩触屏控制

安赛斯可编程匀胶HC160SE，采用触摸屏控制，HDPE耐腐蚀内腔，透明PC材质盖子，可编程100组，每组10步，带自动点胶接口，可升级自动点胶，带盖子安全检测和真空安全检测。紧凑型设计，可以放在手套箱内操作。性能稳定，易学易用，是薄膜制备实验室的好帮手。 如果您对安赛斯匀胶机（旋涂仪）感兴趣，请登录安赛斯公司官网，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！可编程精密匀胶机型号：HC160SE HC160SE程控匀胶机，采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。 特点：l 设计紧凑，可放置在手套箱内；l 4.3英寸彩色触屏控制，人机界面；l 不锈钢外壳，美观耐腐蚀；l 经CNC一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；l 内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；l 高级PLC全自动程序控制，可编程；l 带真空度安全互锁检测功能；l 带盖子安全互锁检测功能；l 带排废接口；l 配置一个自动点胶接口，可升级自动点胶系统；l 可设置用户密码保护功能；l 配置可调基座，方便调节水平； 技术参数：l 适用晶元尺寸范围：直径10~160mm；l 旋涂速度：100~12000rpm；l 转速分辨率：1rpm；l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；l 旋涂时间：3000s；l 旋涂时间精度：0.1s；l 内腔直径220mm，内腔壁采用独特的凹面防溅设计；l 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；l 电源输入：AC200-230V； 设备外形尺寸：长X宽X高：358X250X255mm安賽斯（中国）有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、租赁、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区，在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯（北京）科技有限公司。安赛斯（北京）科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业，是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念，用全球视角，引入先进的技术与产品，为国内用户提供本地化的专业服务。安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验，在多年行业服务的基础上，为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务；同时依托产品领先的技术优势和卓越性能，集合了自身的研发、系统集成优势，针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。　　公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队，致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。安赛斯公司将始终以为客户提供"更丰富的产品选择，更经济的解决方案，更全面的专业服务"为使命，用领先的技术与专业的服务为客户提供最大化的支持，和客户同成长、共辉煌! 如果您对安赛斯匀胶机（旋涂仪）感兴趣，请登录安赛斯公司官网，并从官网联系安赛斯工作人员，获取更多产品资料及优惠报价！

SPS 旋涂仪 SPIN150i1、结构： * NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构）为整个系统提供更好的刚性和韧性 *高品质无缝制造表面，全工程塑料 *适用于通风柜和杂物箱 *最大处理室直径：202毫米 *尺寸（台式版）：27.5 x 45.0 x 25.0厘米（宽x深x高）2、数字电机控制： *具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈 *提供高精度的转速（±0.1 rpm）和宽范围的转速（1至12,000 rpm），这是传统PID电机控制器无法实现的 *允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验，系统高速运行时更稳定，振动更少3、透明盖： 淬火的透明玻璃瓶盖，带有注射器支架和N2扩散器，可在处理过程中进行N2吹扫 *注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质 *控制室环境对于恒定的过程结果至关重要 *坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持在最佳状态，以便轻松搬运和卸下基板；同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口 *透明盖清晰可见内部 *可手动分配4、安全联锁： *Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开 *电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转 *防止伤害使用者并避免基材破裂 *具有国际CE标志和过载保护的电气安全5、连接： *三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件。 *多种夹头可供选择，用于直径最大为160 mm的不同尺寸的基板 *制氮过程中的氮气扩散器6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸触摸屏，手套防护，IP 52，耐化学腐蚀7、彩色触摸屏显示：可轻松编程速度，加速度和时间8、无限程序存储：可用于多个步骤的配方，每个配方均适用于： *时间：0.1至99999秒/步 *速度：0至12,000 rpm *旋转方向：顺时针，逆时针，搅动 *加速/减速：1至30,000 rpm / sec（每步可选） *真空开/关 *3个可编程的干触点：例如用于分配单元，氮气扩散器等的自动控制9、USB端口：可轻松上传和下载配方以及更新软件版本10、存储：结构化和受密码保护的方案存储，可轻松安全地进行管理

Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 450产品描述：台面模型，独立版本，适用于直径达 450 mm 的基材，手动化学点胶，2 条自动静态点胶线，气动盖打开和关闭，卡盘适配器和一个真空吸盘，多可处理 3 个晶圆尺寸，速度醉大 1500 rpm，腔室醉大直径约 450 mm。POLOS 450 旋涂机的典型应用：ü 干燥ü 冲洗/清洁ü 自动涂布规格：桌面型号，独立版适用于直径达 450 mm 的基材手动化学点胶，2 条自动静态点胶线气动盖子打开和关闭卡盘适配器和一个真空吸盘，适用于多达 3 种晶圆尺寸醉大转速 1500 rpm箱体醉大直径约 450 mm

SPIN150i 和SPIN200i旋涂仪产品描述：德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、精确、可重复的?工艺流程控制?方案。?一个?高效的空?气动?力学腔体确保旋涂的?高度均匀性，天然聚丙烯（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材质，整机?无?金属裸露，?无交叉污染，易清洗维护，为?用户带来全新的操作体验。操作控制器可拆卸，全尺?寸的触摸屏，可戴?手套操作，耐化学性。技术参数：型号SPIN150iSPIN200i程序段数： 无限制无限制操作步数： 无限制无限制旋转速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps0-12,000 rpm ±1rpm steps旋转精度： ± 0.1 rpm± 0.1 rpm旋转方向： 顺时针、逆时针、交换摆动顺时针、逆时针、交换摆动醉大加速度：30000 rpm/s 30,000 rpm/s旋转时间： 无限制*, ± 0.1 seconds steps 无限制*, ± 0.1 seconds steps基片范围： 160mm圆形或 4êo x 4êo 正方形160mm圆形或 4êo x 4êo 正方形腔体直径：202 mm 302 mm外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm特征：适用于大学的经济实惠的旋涂机• 旋转处理器，用于清洁、干燥、涂覆、显影和/或蚀刻直径达160 mm/260mm的基材• 天然聚丙烯（NPP）全塑料体系• 用于手动或自动（可选）化学品分配的台式型号• 透明盖子，带注射器支架，用于中央点胶• 电磁安全盖锁• 可拆卸控制器接口，易于集成• N2扩散器用于工艺过程中的N2吹扫。• 通过大型彩色触摸屏轻松、逐步地进行配方编程。• 无限的程序存储，用于食谱，具有多个步骤/每个步骤：• 时间 0.1-99999 秒/步• 转速 0-12，000 rpm**• 旋转方向（连续、特定常规武器、水坑）• 加速/减速 1-30，000 rpm/秒**，每步可选• 真空开/关• 3 个可编程干式触点：例如，用于自动控制点胶单元、氮气扩散器等。• 结构化和密码保护的配方存储，便于安全管理• 数字控制电机，带数字增量速度信号反馈• 包括： （1） 标准真空吸盘• A-V36-S45-PP，?45 mm，适用于直径达? 6"的晶圆D-V10-S50-PP，适用于? 1/2"- ? 2"片和碎片的小碎片适配器（可选可选）• 排水连接 1" 公头 NPT• （排气软管可选）

安赛斯HC160SE可编程匀胶机（旋涂仪），适合6英寸及以下晶元的旋涂。 更多型号的匀胶机（旋涂仪）产品，请登录安赛斯（中国）有限公司官网查看，您可以从官网联系我司工作人员，或者资料和优惠报价。产品介绍： 名称：安赛斯可编程匀胶机HC160SE品牌：ANALYSIS型号：HC160SE产地：应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。 产品概述： 上一张 1 下一张 　　匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和高级PLC 控制，4.3寸全彩触屏人机界面操作，简单易用。匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备，纳米薄膜研究等相关领域。 　　匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用，程控操作，且能够升级自动点胶功能，尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出，具有优异的性价比。亦可提供分体式设计，进行嵌入式安装，与手套箱进行配合。 性能参数：l 支持wafer尺寸：5mm-160mm（6"圆晶）l 速度可调范围：100-12000rpml 加速度可调范围：100-30000rpm/sl 转速分辨率：1rpm l 转速精度：1rpml 可编程100组10步程序 l 宽电压输入：AC100-230V 产品优点：l 直流无刷电机，PLC 控制l 4.3”全彩触摸屏 l 系统中英文可选l 带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能l HDPE 内腔，SUS 外壳，耐溶剂PC 透明盖 l 真空互锁及盖子开关互锁安全功能 产品外型尺寸： 　　　　358mm(D)*250mm(W)*255mm(H) 安賽斯（中国）有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、租赁、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区，在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯（北京）科技有限公司。安赛斯（北京）科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业，是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念，用全球视角，引入先进的技术与产品，为国内用户提供本地化的专业服务。安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验，在多年行业服务的基础上，为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务；同时依托产品领先的技术优势和卓越性能，集合了自身的研发、系统集成优势，针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。　　公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队，致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。安赛斯公司将始终以为客户提供"更丰富的产品选择，更经济的解决方案，更全面的专业服务"为使命，用领先的技术与专业的服务为客户提供最大化的支持，和客户同成长、共辉煌!咨询或索取详细产品资料，请联系ANALYSIS（安赛斯）工作人员。更多型号的匀胶机产品，请登录安赛斯（中国）有限公司官网查看。

如果您对安赛斯匀胶机感兴趣，想获得更多产品资料及优惠报价，请登录安赛斯公司官网查询，按安赛斯官网的联系方式，联系安赛斯工作人员，安赛斯公司将为您提供快捷服务。小巧型可编程匀胶机(旋涂仪) Model: HC120SE 安赛斯可编程匀胶机采用高效、节省空间的设计；全彩触屏操作；高级PLC控制；极高的化学兼容性；高精度，高重复性。 产品特点：设计紧凑，占地面积最小化全彩色4.3英寸触摸屏显示屏耐腐蚀不锈钢旋转碗化学相容性耐用的台式设计，也可采用法兰/甲板安装配置高级PLC自动程序控制电机进胶保护，管路易疏通设计碗形设计： ●耐腐蚀不锈钢旋转碗 ●可选铝箔一次性内衬 ●透明的聚碳酸酯盖子，美观耐腐蚀 ●可放在手套箱内，用于气氛环境使用 ●旋涂碗可取下，方便清洁 ●旋涂碗尺寸200mm，方便操作可编程性： ●触摸屏界面和显示器 ●(GUI)具有全彩色字母数字功能的图形用户界面（GUI） ●100组用户定义配方程序，每个程序10步。 ●步长为0.1秒的分辨率（3000秒最大步进） ●匀胶机转速：12000 rpm ●加速度：100至30000rpm/s，无负载 ●可选同时、自动化、点胶分配功能。精密度： ●转速可重复性：1 rpm ●转速分辨率：1 rpm ●基板尺寸：1 cm至120 mm圆形或同等尺寸（对角线）方形样品安全设置： ●防进胶设置保护旋转电机不受接触使用工艺化学品和溶剂 ●真空安全检测互锁 ●业界领先的可靠性和正常运行时间 ●零件和劳动力的1年全面保修 ●终身免费远程技术支持（电话、电子邮件、传真） ●产品使用寿命的应用程序帮助产品附件： ●HCV300无油真空泵1台，抽气速度50L/min； ●标配三只载物盘（10mm，25mm，50mm各一只），其他尺寸规格载物盘可定制； ●通用电容笔1只 ●产品合格证1份； ●中文操作说明书1份安賽斯（中国）有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、租赁、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区，在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯（北京）科技有限公司。安赛斯（北京）科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业，是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念，用全球视角，引入先进的技术与产品，为国内用户提供本地化的专业服务。安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验，在多年行业服务的基础上，为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务；同时依托产品领先的技术优势和卓越性能，集合了自身的研发、系统集成优势，针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。　　公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队，致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。安赛斯公司将始终以为客户提供"更丰富的产品选择，更经济的解决方案，更全面的专业服务"为使命，用领先的技术与专业的服务为客户提供最大化的支持，和客户同成长、共辉煌!

旋涂仪/匀胶机 SM-150是手动或半自动薄膜涂覆的zui佳选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸zui大为150mm(6”)127x127mm(5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足 大直径为176mm。SM系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力 zui小化，SAWATEC公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本zui小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。 功能（基本配置）可编程， 多50个程序(各包含24个程序段)适用于重复工艺的快速启动功能触摸屏面板控制，方便用户程序配置工艺参数：转速、加速度、工艺时间旋转方向可选(顺时针、逆时针)手动装卸基板通过具有安全保护的真空系统进行基板固定手动盖子带有空气入口和闭合安全保护工艺结束时的声音信号性能数据转速范围：0到10,000rpm +/-1rpm转速加速度：0–8,000rpm为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 (备注1）减速度：10,000rpm-0为2.5秒/8,000rpm-0为0.8秒 （备注1）工艺时间zui长为2376 s每个程序段的给胶时间为 99 s 备注1：取决于基板尺寸和旋转卡盘的型号附加功能（可选项）半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管工艺腔的手动氮气净化装置用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度1.8m)经阳极电镀处理的铝制工艺腔铝制或PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗用于SM-150匀胶机的真空泵晶圆定位器2”–6”(圆形) 旋转卡盘分类为了达成完美涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择 佳的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具。 真空卡盘小片真空卡盘1” 3”(圆形)真空卡盘100mm(4”) 150mm(6”)真空卡盘100x100mm(4”x4”)真空卡盘125x125mm(5”x5”)其他卡盘需咨询 设计和尺寸桌上式版本 SM -150-BT，内嵌式版本 SM-150-BM紧凑且节省空间的结构形式POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。透明盖板：玻璃制成具有3.5”彩色显示屏的触摸屏面板高精度，高动态的交流伺服电机 1. 桌上式版本 SM -150-BT经电解抛光处理的不锈钢外壳外壳(BT):350x510x403mm(长*宽*高）重量(BT):约29kg 2. 内嵌式版本 SM-150-BM安装模块(BM):300x300x368mm(长x宽x安装面板320 x 166 x50mm(长x宽x重量(BM):约20kg 接口230 VAC50/60Hz10A脚踏开关用插头接口技术真空，软管?6/4mm(-0.8bar)压缩空气或氮气软管?6/4mm(3bar) (仅xian于给胶系统配合使用)排放接口?12mmBT废气接口?38mm(20–50m3/h)BM废气接口?25mm(20–50m3/h)

德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用一、SPS(POLOS)公司介绍SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供无限的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机二、SPS(POLOS)型号介绍SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPPSPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) SPS(POLOS) Part nr: 27852 SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP) 二、SPS(POLOS)产品分类SPS(POLOS) 旋涂机易于安装、可重复的旋涂SPS(POLOS)无掩模光刻精度的纳米结构SPS(POLOS)面罩矫正器高产值和用户友好SPS(POLOS)电炉精确的温度控制电影表征超快速和准确的晶圆映射光刻胶适用于永久性应用喷涂机高精度纳米颗粒涂层晶圆处理安全运输和储存您的晶圆补充设备您可能需要的其他工具三、SPS(POLOS)产品介绍POLOS SPIN150xPOLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学品POLOS SPIN150x腔体规格外壳材质 天然聚丙烯（NPP）底物直径 可用 6” (150 mm) 晶圆可用 4” x 4” (100 mm) 底物POLOS SPIN150x适用范围:&bull 涂层&bull 清洗冲洗/烘干&bull 显影&bull 刻蚀&bull PDMI&bull 其他程序POLOS SPIN150x硬件规格：液体过滤疏水阀&bull &bull 独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式用于注射器或喷嘴的中心注射支架&bull 盖锁和真空传感器确保用户安全&bull 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）&bull USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新POLOS SPIN150x驱动装置规格：&bull 间接无刷驱动装置&bull 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）&bull 高加速度、高精度&bull 加速/减速 1-30.000 RPM&bull 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用

The POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基材旋涂仪, 由 NPP 制成，它专为研发和小批量生产而设计。 用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。适用于:&bull 涂层&bull 清洗冲洗/干燥&bull 显影&bull 蚀刻&bull PDMI&bull 和其他工艺。硬件规格:&bull 液体过滤捕集器&bull 独特的外壳和排水口设计，可在现场切换台式和内嵌式型号&bull 用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架&bull 盖锁和真空传感器确保用户安全&bull 大型（可拆卸）触摸屏显示屏&bull USB端口，用于在USB驱动器上存储配方和进行软件更新驱动装置规格:&bull 间接无刷驱动装置&bull 最高 12.000 RPM（取决于基体/卡盘）&bull 高加速度和高精度&bull 加速/减速 1-30.000 RPM&bull CW 和 CCW 以及Puddle 选项

旋转器的机制简单，操作方便，因此可以立即开始分配操作。SC-300是一个用于研究和开发应用的小型旋涂机。这种桌面设备的简单操作使任何人都能轻松使用。由于没有复杂的结构，它很容易清洁。工件尺寸zui小为20□-zui大为100□毫米，包括一个任何一种尺寸的样品台。特点。用于研究和开发应用的紧凑型旋涂机。○操作简单○ 易于使用的桌面设备○由于没有复杂的结构，所以很容易清洗。规格。工件尺寸：zui小20□-zui大100□毫米→包括一个任何尺寸的标本架。○ 杯子尺寸：300毫米直径。○正常转速：0-6000rpm。旋转步数：2○ 旋转显示：模拟型材料：不锈钢排气：集中式全方位排气。其他：模拟真空计设备尺寸：350 (W) x 400 (D) x 280 (H)电源：100 V/AC 500 W

催化剂旋涂仪DCESC-1000旋转电极旋涂仪（RDE/RRDE）英文：Electrode Spin Coater产品：旋转电极旋涂仪（RDE/RRDE）品牌：电弛新能源型号：DCESC-1000产地：中国可适配主流尺寸旋转电极，含1个旋转轴，1个水平仪技术参数型号：DC ESC-1000转速：50~800 rpm，满足样品制备条件设计：采用精密螺纹连接定时：带定时功能，可控制旋涂样品时间屏幕尺寸：4.3寸触控屏，触屏操作，控制方便工位：单工位尺寸：10mm(W) * 265mm(D) * 213mm(H)电源规格：AC 22V常规催化剂制备比较耗时，通过电极旋涂仪可短时间内同时完成多个电极催化剂制备，不妨碍旋转圆盘电极主机测试，大大提升实验效率。旋涂机替代传统静态滴涂方法，通过克服表面张力与毛细力，实现了电化学催化剂ink在旋转圆盘电极(RDE)上的均匀涂布，可大幅提高电化学测试数据质量，保证结果的可重复性与可靠性。