二维压电平移台

ASM13-XY-1(1A)二维组合平移台技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：13mm组合用产品：TSM13-1（1A）精密平移台 两个

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:25mm 组合用产品TSM25R-1A平移台 二个特点：采用交叉滚柱轴承，高承载，负载最小10Kg,稳定性好，且间隙小。

TSAW系列二维整体电控平移台TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。 ■技术规格 型 号TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm）100x 100螺杆导程(mm)4重复定位精度(&mu m)＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m)1.25步进电机（步距角）42B(0.9° )额定工作电流（A）1.7最大负载（kg）20

仪器简介：TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。技术参数：型 号 TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm） 100x 100螺杆导程(mm) 4重复定位精度(&mu m) ＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m) 1.25步进电机（步距角） 42B(0.9° )额定工作电流（A） 1.7最大负载（kg） 20主要特点：关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。

技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：25mm组合用产品：TSM25-2（1A）精密平移台 两个

ASM50-XY两维组合平移台技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:50mm组合用产品TSM50D-1S平移台 二个特点：实现正交组合的偏大行程的手动平移,而且平台薄,减小了光路的中心高度。

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:75mm 组合用产品TSM75D-1C平移台 二个BP-28转接板一个

NFP-2462/3462系列多维超高精密手动平移台 说明：● NFP-2462是将单维的NFP-1462组合成XY二维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。● NFP-3462是在NFP-2462基础上，安装了Z轴，组合成XYZ三维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。 NFP-2462CC组合用产品NFP-1462C平移台两个 NFP-2462LL组合用产品NFP-1462SL平移台两个 NFP-2462RR组合用产品NFP-1462SR平移台两个 NFP-3462CCZ组合用产品NFP-1462C平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3462LLZ组合用产品NFP-1462SL平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3461RRZ组合用产品NFP-1461SR平移台 两个NFP-1461CZ平移台 一个NFP-461-Zkit 直角块 一个

精密整体二维电动平移台EPSD系列产品介绍：精密整体二维电动平移台EPSD系列采用二维整体式设计，通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中对整体式二维平面运动的需求而开发设计的整体式二维电动平移台。该系列产品采用交叉滚柱导轨及直线滑块导轨，滚珠丝杠传动，采用整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃、荧光板，实现透射、反射、散射等扫描对位观测要求，也可配铝合金盖板等直接装设备和工件等。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。 产品特点：■双轴整体正交设计、精度高，结构紧凑■进口高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求■采用精密交叉滚柱导轨配合高精密滑块导轨，运动平稳，承载大■中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃或铝合金盖板，可灵活应用于不同工业场合■标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机■垂直使用需换装抱闸电机 命名规则:EPSD-20系列代码：精密整体二维电动平移台XY行程：20：20mm×20mm50：50mm×50mm100：100mm×100mm150：150mm×150mm200：200mm×200mm 选型表：型号EPSD20EPSD50EPSD100EPSD150EPSD200 机械规格台面尺寸(mm) 125x125200x200250x250400x400450x450行程(mm)X轴：20 Y轴：20X轴：50 Y轴：50X轴：100 Y轴：100X轴：150 Y轴：150X轴：200 Y轴：200中心开口尺寸(mm)42X4290X90140x140250x250300x300极限行程时通光尺寸(mm)30x3065x6590x90125x125200x200传动机构研磨丝杆?6X1研磨丝杆?8X2研磨丝杆?8X2研磨丝杆?10x2研磨丝杆?10x2导轨（导向机构）交叉滚柱导轨交叉滚柱导轨+线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）60.58484103103自重 2.58.511.123.927.0 精度规格分辨率（μm）51010101020细分下的分辨率0.250.50.50.50.5最大速度（mm/s）55555单向定位精度（μm）≤20≤25≤30≤50≤50重复定位精度（μm）≤±5≤±5≤±8≤±10≤±10回程间隙（μm）≤5静态平行度（mm）≤0.1运动直线度（μm）≤15≤20≤25≤30≤35运动平行度（μm）≤15≤20≤25≤30≤35偏摆（“）≤30≤50≤50≤60≤65俯仰（“）≤35≤50≤50≤60≤65电气规格电机及步距角（゜）二相28步进电机，步距角1.8二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号信浓雷赛工作电流（A）1.32.54.2电机扭矩（Nm）0.07850.61.3驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）NPN-PCB-3L-20S-3308NPN-PCB-3L-50S-6508NPN-PCB-1L-2508原点传感器（内置）NPN-PCB-3L-20S-3308NPN-PCB-3L-50S-6508NPN-PCB-1L-2508传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载10kg20kg20kg30kg30kg倒置负载3kg8kg8kg10kg10kg竖直负载3kg8kg8kg10kg10kg最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。

OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XY方向）产品介绍：OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XY方向），主体材料采用铝合金，灵敏度高，外形尺寸小使用交叉滚柱导轨，为分厘卡或螺纹副驱动，该系列产品具有小于2um的灵敏度。平移台采用交叉滚柱导轨结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。采用微分头调节，可以直接读数，使用十分方便，是最广泛应用的平移台款式之一。产品底部有安装螺孔，可以直接连接其他台面，或者转接到安装底板上再固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做不锈钢材质的平移台。 产品特点：■采用交叉滚柱导轨，负载能力强，耐磨性好，保证了产品的灵敏度等关键指标■ 主体材料采用铝合金，表面发黑处理，适合于光学实验等对于手动调节精度要求较高的领域使用■ 具有分厘卡驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，非常灵活方便,客户可根据需求选择■产品尺寸丰富，配套性好，交货期短，性价比高。 选型表：型号OMSDH02AEOMSDH02AFOMSDH02AGOMSDH02AHOMSDH0ABIOMSDH0ABJ 机械规格台面尺寸(mm)40X4060X6065X6580X80100X100125X125行程(mm)X轴:13X轴:13X轴:25X轴:25X轴:25X轴:25Y轴:13Y轴:13Y轴:25Y轴:25Y轴:25Y轴:25使用标准平移台X轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)传动机构分厘卡导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.30.450.51.01.42.0 精度规格分厘卡最小读数0.01mm灵敏度2 pm平行度30 pm运动平行度10 pm偏摆(”)25选配安装底板OMLA01NAOMLA02OMLA03OMLA04负载(kg)35571520OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XY方向）产品介绍：OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XY方向），采用细牙研磨丝杠调节，结构紧凑，高度较小，可在有限的空间内安装使用，调节方便。平移台采用燕尾副导轨结构，负载能力强。产品底部有标准安装螺孔，可直接固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做成不锈钢材质的平移台。 产品特点：■燕尾副导轨，大行程，负载能力强■研磨丝杠螺距小，灵敏度较高■带有刻度尺，读取数据快速便捷■具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高■具有各种行程和尺寸，产品非常丰富产品选型表：型号OMSDH02AAOMSDH02ABOMSDH02ACOMSDH02AD 机械规格台面尺寸(mm)65X65行程(mm)X轴:25X轴:50X轴:75X轴:100Y轴:25Y轴:50Y轴:75Y轴:100使用标准平移台X轴:SPYB25X轴:SPYB50X轴:SPYB75X轴:SPYB100Y轴:SPYB25Y轴:SPYB50Y轴:SPYB75Y轴:SPYB100传动机构细牙研磨丝杠导轨（导向机构）燕尾副导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.60.70.81.0最小读数0.1mm负载5kg

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:25mm 组合用产品TSM25R-1A平移台 二个特点：采用交叉滚柱轴承，高承载，负载最小10Kg,稳定性好，且间隙小。

OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向）OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向），采用精密滚珠丝杆推进，两相步进电机驱动(Z轴电机带抱闸)。标准电动平台为开环系统，可加装光栅尺，实现闭环反馈控制。采用精密直线导轨（方导轨）结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。二维电动台底面有安装孔，可直接用螺丝固定在各种光学平板、光学平台上面进行操作。 产品特点：U型铝合金底板精加工，表面阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用进口滚珠丝杠，标配两相步进电机(Z轴电机带抱闸)，可提供较高的分辨率和定位精度；采用进口线性滑块导轨，强度更高、负载能力更强、耐用性更好；配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标内置传感器（正负限位及零位），保证使用安全性同时可以方便的进行定位，并采用高柔线缆模组化，维护更方便具有各种行程和尺寸，产品非常丰富，采用标准安装孔位标准步进电机配有手轮，方便手动调节，可以装光栅尺，安装后闭环分辨率可达1μm OMDDH02系列小行程二维电动平移台（XZ方向）OMDDH03系列小行程二维电动平移台（XZ方向），采用精密滚珠丝杆推进，两相步进电机驱动。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。产品采用交叉滚柱导轨或直线导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合导轨面精密磨削技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用精密滚珠丝杠（1mm 导程），标配二相步进电机（日本品牌），可提供较高的微步能力和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。另外平移台在通电状态下有一定锁紧能力，用户可以选配我们标准控制器对电动台进行操作，也可以自制控制器进行控制。平移台底面有安装孔，可选购我司对应型号的转接板固定在各种光学平板、光学平台上面进行操作。 产品特点U型铝合金底板精加工，表面阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用小导程滚珠丝杠，标配二相步进电机，微步能力强、耐用性好采用进口交叉滚柱导轨或直线导轨，强度高、负载能力强；配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标内置传感器（正负限位及零位），保证使用安全性同时可以方便的进行定位，并采用高柔线缆模组化，维护更方便具有各种行程和尺寸，产品非常丰富选型表：OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向）型号OMDDH02BAOMDDH02BBOMDDH02BCOMDDH02BDOMDDH02BEOMDDH02BF 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160使用标准平移台X轴:100X轴:200X轴:200X轴:200X轴:300X轴:400Z轴:50Z轴:100Z轴:150Z轴:200Z轴:300Z轴:400X轴:EPSA100X轴:EPSA200X轴:EPSA200X轴:EPSA200X轴:EPSA300X轴:EPSA400Z轴:EPSA50Z轴:EPSA100Z轴:EPSA150Z轴:EPSA200Z轴:EPSA300Z轴:EPSA400传动机构精密滚珠丝杠导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重7.79.410.811.415.517.120细分开环分辨率1μm1.25μm最大速度（mm/s）4050单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±3背隙（反冲间隙）（μm）≤3回程间隙（μm）≤5静态平行度（mm）≤0.1运动直线度（μm）≤20≤30运动平行度（μm） ≤30 ≤40偏摆（“）≤30≤40俯仰（“）≤35≤55 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机， 步距角1.8电机品牌及型号雷赛驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙EE-SX951原点传感器（内置）欧姆龙EE-SX951传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计60mA以下控制输出MPN开路集电极输出：DC5-24V 8mA以下残余电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；负载10kg15kg OMDDH02系列小行程二维电动平移台（XZ方向）型号OMDDH02BGOMDDH02BHOMDDH2BIOMDDH02BJOMDDH02BKOMDDH02BL 机械规格台面尺寸(mm)60X6080X80100X100125X125行程(mm)X轴:20X轴:50X轴:100X轴:50X轴:50X轴:80Z轴:20Z轴:50Z轴:100Z轴:50Z轴:50Z轴:80使用标准平移台X轴:OMSC6020X轴:OMSC6050X轴:OMSC60100X轴:OMSC8050X轴:OMSC10050X轴:OMSC12580Z轴:OMSC6020Z轴:OMSC6050Z轴:OMSC60100Z轴:OMSC8050Z轴:OMSC10050Z轴:OMSC12580传动机构精密滚珠丝杠导轨（导向机构）交叉滚柱导轨线性滑块导轨交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重1.151.351.72.33.24.2 精度规格整步分辨率（μm）520细分开环分辨率0.25最大速度（mm/s）10单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±3背隙（反冲间隙）（μm）≤3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤50运动直线度（μm）≤30运动平行度（μm） ≤25偏摆（“） ≤50俯仰（“）≤50 电气规格电机及步距角（゜）二相28步进电机，步距角1.8二相35步进电机，步距角1.8电机品牌及型号信浓，STP-28D1003信浓，STP-35D2041工作电流（A）1.31.2电机扭矩（Nm）0.07850.18驱动器品牌及型号鸣志SR2滑台接头插线端口滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）微型传感器原点传感器（内置）微型传感器传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出负载电源：DC5-24VOFF电源：0.5mA以下残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）：位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载4kg5kg

光纤专用平台HFA系列产品介绍：光纤专用平台HFA系列具有可实现卓越长期稳定性的不锈钢结构，交叉滚柱导轨和精密制造的导轨参考面提供了在X和Y轴上12mm的非常直的线性行程，关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。Z轴提供了6毫米的行程。HFA系列位移台是专为精确光纤对准而设计的。顶部安装的导轨可以实现光纤夹具稳固连接。高性能位移台具有多达6个自由度，提供了出色的光纤对准解决方案。 产品特点：• 灵敏度≤1μm• 标配测微头驱动，可选配差动测微头• 不锈钢材质，稳定性高、耐腐蚀性好• 超高精密交叉滚柱导轨，灵敏度、平直度等关键指标达到先进水平 选型表：二维高稳定性光纤专用平移台HFA-YZ系列产品型号HFA-YZY轴向调整量12mmZ轴向调整量6mm光路中心高78.7mm偏摆150μrad最大中心负载2.3kg自重0.8kg

OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XZ方向）产品介绍：OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XZ方向），主体材料采用铝合金，灵敏度高，外形尺寸小使用交叉滚柱导轨，为分厘卡或螺纹副驱动，该系列产品具有小于2um的灵敏度。平移台采用交叉滚柱导轨结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。采用微分头调节，可以直接读数，使用十分方便，是最广泛应用的平移台款式之一。产品底部有安装螺孔，可以直接连接其他台面，或者转接到安装底板上再固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做不锈钢材质的平移台。 产品特点：■采用交叉滚柱导轨，负载能力强，耐磨性好，保证了产品的灵敏度等关键指标■ 主体材料采用铝合金，表面发黑处理，适合于光学实验等对于手动调节精度要求较高的领域使用■ 具有分厘卡驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，非常灵活方便,客户可根据需求选择■产品尺寸丰富，配套性好，交货期短，性价比高。 选型表：型号OMSDH02BEOMSDH02BFOMSDH02BGOMSDH02BHOMSDH02BIOMSDH02BJ 机械规格台面尺寸(mm)40X4060X6065X6580X80100X100125X125行程(mm)X轴:13X轴:13X轴:25X轴:25X轴:25X轴:25Z轴:13Z轴:13Z轴:25Z轴:25Z轴:25Z轴:25使用标准平移台X轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)Z轴: SPYZ40L(R)Z轴: SPYZ60L(R)Z轴: SPYZ65L(R)Z轴: SPYZ80L(R)Z轴: SPYZ100L(R)Z轴: SPYZ125L(R)传动机构分厘卡导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.40.70.751.52.02.8 精度规格分厘卡最小读数0.01mm灵敏度2 um平行度30 um运动平行度10 um偏摆(”)25选配安装底板OMLA01NAOMLA02OMLA03OMLA04负载(kg)2.13.53.54.910.514OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XZ方向）产品介绍：OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XZ方向），采用细牙研磨丝杠调节，结构紧凑，高度较小，可在有限的空间内安装使用，调节方便。平移台采用燕尾副导轨结构，负载能力强。产品底部有标准安装螺孔，可直接固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做成不锈钢材质的平移台。 产品特点：■燕尾副导轨，大行程，负载能力强■研磨丝杠螺距小，灵敏度较高■带有刻度尺，读取数据快速便捷■具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高■具有各种行程和尺寸，产品非常丰富产品选型表： 型号OMSDH02BAOMSDH02BBOMSDH02BCOMSDH02BD 机械规格台面尺寸(mm)65X65行程(mm)X轴:25X轴:50X轴:75X轴:100Z轴:25Z轴:50Z轴:75Z轴:100使用标准平移台X轴:SPYB25X轴:SPYB50X轴:SPYB75X轴:SPYB100Z轴:SPYB25Z轴:SPYB50Z轴:SPYB75Z轴:SPYB100传动机构细牙研磨丝杠导轨（导向机构）燕尾副导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.90.951.11.3最小读数0.1mm负载5kg

产品说明双轴整体正交设计、精度高、厚度薄，空间利用率大幅提升；高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求；均采用精密交叉滚柱导轨，运动平稳，承载大；全闭合台面，实现各类安装孔组合，灵活应用于不同工业场合；标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机；垂直使用需换装抱闸电机； 精密整体二维电动平移台EPSF-N系列通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中需求而开发设计的。采用交叉滚柱导轨，滚珠丝杠传动，整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。全闭式台面，提供丰富多样的安装孔组合，可以满足各类设备和工件等载物需求。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。

技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：25mm组合用产品：TSM25-2（1A）精密平移台 两个

显微镜载物台（电动/压电）姓名：李工(William)电话：（微信同号）邮箱：昊量光电设备有限公司推出的平台专业设计普遍适用于市面上大部分的正置/倒置显微镜。可以供手动平台、电动平台、压电与步进电机混合运动平台、手动与压电集成平台。平台每个轴都采用闭环反馈控制，可以提供更高的分辨率和可重复性。Z轴采用压电陶瓷平台，可提供纳米级的定位精度，行程从150μm-500μm可选。昊量光电设备有限公司可适用于显微镜的平台主要有以下几种产品。1）倒置显微镜平台以下列表中的平台适用于市面绝大部分的显微镜平台，可兼容的显微镜型号如下：Leica – DMI3000, DMI4000, DMI5000, DMI6000, DMIRB, DMIRBE, DMIRE, DMIRE2Nikon – Diaphot Eclipse TE2000, Eclipse TiOlympus – BX50WI, BX51WI, BX61WI, IX70, IX71, IX81Zeiss – Axiovert 200, Axio Observer产品图片描述行程AU-MS-2000FT是一款提供XY方向精确定位的载物台。该平台经过特殊设计，利用十字滚珠滑块，高精度丝杠和零间隙微型齿轮直流伺服电机驱动可提供高分辨率和重复精度的平稳运动。并且该平台可与ASI的任何Z轴平台匹配使用提供X,Y,Z的精确定位。X轴 120mm Y轴75mm详细参数见数据单1AU-MS-2000 XY平台是专用于显微镜平台的XY轴定位的平台，该平台采用闭环反馈直流伺服电机驱动，可提供高分辨率和和高重复精度的定位，并可以与任何ASI的Z轴平台组成三维定位系统X轴 120mm Y轴110mm详细参数见数据单2AU-MS-2500XY是一款大行程、超薄的 XY定位平台，X轴运动行程可达250mm，X轴和Y轴采用闭环直流伺服电机驱动，并带有手动操纵杆进行大范围移动，并可以ASI的Z轴产品配合使用。控制灵活可以通过USB和RS-232串口控制该平台，并提供软件包X-Y轴 250mmx75mm详细参数见数据单3 AU-PZM-2000 是一款在Z轴提供精确定位的平台。可以直接配合显微镜上原始的OEM手动平台使用，可提供100-500μm不同的行程。载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等。Z：150μm 300μm 500μm详细参数见数据单4AU-PZ-2000 XYZ是一款提供X,Y,Z三维定位的平台，其中X,Y方向采用闭环反馈的直流伺服电机驱动，Z轴采用压电平台提供纳米级别分辨率，行程150μm；300μm；500μm可选。X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单5AU-PZ-2000FT是一款平顶三维定位平移台，三个维度都采用闭环反馈，可实现高分辨率和和重复定位精度。Z轴采用压电平移台，可实现纳米分辨率定位，载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单6AU-US-2000是一款经过特殊设计的可实现高稳定、高分辨率及可重复性，应用于超分辨显微镜。该平台可适配ASI任何Z轴定位的平台。如果对定位精度要求较高，平台和可匹配压电平台用于Z轴聚焦。X-Y轴 50x50mm 至120mmx75mmZ轴 150；300；500μm详细参数见数据单72）正置显微镜平台以下平台包含不同维度的平台，及压电与步进电机结合的平台，并匹配市面上的立式显微镜，主要型号如下：Leica – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXPNikon – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000Olympus – AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61Zeiss – AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II产品图片描述行程AU-FPT-2000聚焦平台是一款经过特殊设计是用来提供高分辨率和重复精度的X,Y,Z三个维度的定位， 该平台采用闭环反馈避免由改变方向和多次步进造成的空回和丢步。X-Y轴120mmx75mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单8AU-MS-2000是一款质量较轻的平台。经过专项设计，在保证平台精度的前提下质量只有常规平台的3/4，可更快达到热平衡。通过高精度旋转编码器闭环反馈。 可通过操作杆或者通过USB或RS-232串口通过控制器控制平台移动。此外该平台可适配ASI任何Z轴平台，组成三维定位系统。X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单9MS-2000S小型位移平台可提供X和Y两个方向的精确定位，分别可提供100x100mm的行程，但平台尺寸仅为20x23x162.5px，采用闭环反馈设计，分辨率可达到亚微米。 X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单10AU-MS-4400是专门为大型立式显微镜设计的一款三维精密定位位移平台。可适用于Leica DMR-series, the Nikon Eclipse 80i, the Olympus BX series, and the Zeiss Axioplan, Axioskop 2, and Axio Imager等显微镜。该平台采用闭环设计，配备手动操纵杆，可轻松操纵平台移动。并可匹配ASI推出的所有Z轴平台。X-Y轴100mm x 100mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单11AU-MS-9500是一款225mmx125mm大行程的位移平台，可一次扫描八个25x75mm的载玻片，同时可提供较高的分辨率和可重复精度。X-Y轴225mm x 125mm详细参数见数据单12 AU-PZMU-2000是精确的Z轴压电定位平台，AU-PZMU-2000包括ASI经过验证的压电Z顶板，该顶板安装在独立的外壳中。 该系统可以安装在任何水平表面上，或直接安装在立式显微镜的手动XY平台上。AU-PZMU-2000接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片，例如载玻片，皮氏培养皿，多孔板等Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单13AU-PZU-2000是一款步进电机与压电平台结合的精密定位系统，其中XY轴采用闭环反馈伺服电机精确控制，Z轴为压电平台，可提供纳米级的分辨率，已经不同行程可选。X-Y轴120mm x 110mmZ轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单143）Z轴压电平移台产品图片描述行程IPZ-3000FT系列平台是压电定位平台，提供Z方向精确定位，适用于大多数具有标准的K-尺寸（110x160mm）开口的显微镜载物台。IPZ-3000FT可用于安装多种样品架，用于固定小碗、载玻片、小腔体等。Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单15Z-INSERT的优点在于可以适用于任何标准K型框架的大多数的电动载物台，该平台提供了一个127.5x85mm的通光孔，可以接受任何具有SBS标准尺寸的微孔板。该平台与以下类型平台兼容：ASI – MS-2000 Flat Top XY/XYZ motorized stage (a special version is needed for non-flat top stage)Marzhauzer – Scanning Stage SCAN IM 120×80Prior – K type FrameLudl – BioPrecison2Zeiss – K type FrameNikon – Ti XY motorized stage (requires the Nikon Adapter plate, in order to reduce the aperture)Olympus – IX3-SSU (requires the Olympus adapter plate, in order to reduce the aperture)Leica – Regular 3-plate stageZ轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单16Z-INSERT K-TYPE是Z-INSERT的精简版本，平台的长和宽与K型样品架（160x110mm）完全相同，平台拥有83.6x54mm的开口，可以与大多数拥有K型框架的倒置、正置显微镜兼容。Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单17Z-INSERT-INC是Z-INSERT的特殊版本，带有嵌入式的环境腔，为满足长时间的活细胞成像提供适宜的环境，CO2输入可以连接各种调节器（例如Okolab, Tokai Hit, Pecon），并可以灵活拆卸腔体盖。Z-INSERT-INC位移台具有Z-INSERT的所有优点，这意味着它可以直接安装在第三方制造商提供的大多数电动位移台上Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单18Z-INSERT NIKON 是Z-INSERT的特殊版本，它可以直接用在NIKON Ti XY电动平台上，它提供标准的K型开口（160x110mm），并与我们提供的K型样品架相匹配。Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单194）物镜扫描台产品图片描述行程F-POM是一款压电驱动的物镜扫描台，可提供500μm行程。Z轴150μm；300μm；500μm详细参数见数据单20FOCHS.100 是一款专用于显微镜物镜高速定位的压电平台，其采用管状设计，可提供100微米行程，被广泛用于Z轴聚焦、激光加工和自动聚焦等。平台安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜Z轴100μm详细参数见数据单21FOC是专用于显微镜精密定位的平台，可提供100,200,300μm不同行程，采用硅闭环反馈，可提供皮米量级分辨率。其安装环易更换可匹配不同类型物镜，Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单225）大型位移平台除了标准的用于生物学的位移平台外，ASI公司也推出来一些特殊领域使用的大型位移平台，和龙门自动平台，例如：用于工业检测的大型显微镜Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列产品图片描述行程AU-M系列是大行程二维位移平台，满足半导体检测及其它需要大型程平台的应用。该平台可提供150mm；200mm；250mm；300mm不同的行程。X-Y轴150mmx150mm；200mmx200mm；250mmx250mm；300mmx300mm详细参数见数据单23GTS系列龙门位移平台提供三维闭环平台，可提供不同行程，标准品XY方向可提供380mm，Z轴可提供100mm，并可以根据应用选择不同行程的平台。X-Y轴380 mm x 380 mmZ轴100mm详细参数见数据单24MS-8000是与大型工业检查显微镜配合使用的。例如Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列。平台中空设计允许底光照明，平台可提供玻璃盖板或者其它材质载物台，包含用于检测的镜片真空吸盘。详细参数见数据单256）精密旋转平台PRS-1000是一款可提供连续旋转的平台，超薄的设计可以使该平台集成到MS-2000系列XY平台上，组成多维运动平台。标准版本具有直径为95mm的通孔，可以使用任何ASI的C大小的插件。该平台也可用于真空应用。详细参数见数据单267）手动平台MIC-2500是一款为匹配压电扫描平台而设计的手动平台，该平台配置千分尺手动旋钮，可提供25mm的行程，并可安装XYZ三轴压电平移台。详细参数见数据单278）手动压电混合定位平台（压电平台型号选择与配置请联系工程师）压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。

压电平台X60S / X120S沿X轴的行程可达110 μm，可以配备精度高达10nm的应变计。平台沿X和Y轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸8英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fATLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

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精密型电动整体平移台: ZT200-15×15产品型号ZT200-15×15结构描述X，Y轴行程15 mm台面尺寸90×90mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm/sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-50×50产品型号ZT200-50×50结构描述X，Y轴行程50 mm台面尺寸155×155mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm /sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-100×100产品型号ZT200-100×100结构描述X,Y轴行程100 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）STP-42D3016主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载50 kg重量8.3kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）**速度40mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-170×170产品型号ZT200-170×170结构描述行程170 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8）57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载60 kg重量10.3kg精度描述分辨率20μ（无细分），1μ（20细分）**速度25mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体旋转台：ZT300-XZ□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长■采用精密研配的蜗轮蜗杆结构，运动舒适，可以任意正向和反向旋转且空回极小■设计精巧的消空回结构，可调整长期使用造成的空回间隙■特殊的结构设计保证了旋转台面极低的端跳和偏心，使旋转运动更加平稳■旋台的中心通孔与旋转中心有严格的同轴度要求，旋台的中心孔径有严格的配合公差限制，方便客户做精密定位■台面外围的刻度圈是激光刻划标尺，标尺可相对台面转动，方便初始定位和读数■步进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■可增加限位功能，增加初始零位，换装伺服电机，加装旋转编码器，接受产品的改制和量身定制产品型号ZT300-XZ结构描述角度范围绕X，Y，Z三轴360°台面尺寸150×150mm传动比180∶1驱动机构蜗轮和蜗杆机构导轨形式轴承步进电机(1.8°)57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑中心承载10kg重量10kg精度描述分辨率0.01°=36″（无细分）0.0005°=1.8″（20细分）速度25°/sec重复定位精度0.005°=18″**定位精度0.01°=36″端跳精度15μ空回0.005°=18″偏心20μ丢步0.005°=18″平行度100μ

二维电控平移台（载物台）上海昊量光电推出的二维电控平移台是一款体积紧凑的大行程位移平台。该平移台采用精密的交叉滚子轴承和主轴，并进行了优化设计使平移台拥有良好的线性度和平整度。且在提供大行程的同时分辨率可达到亚微米，并且该平台拥有优异的可重复性。此二维平移台有两种不同的配置，一种是封闭框架平台，一种是中空的开放式的平台。产品特点：l 优异的重复精度l 超大行程l 体积紧凑l 可选配直线电机和步进电机l 可按客户要求进行定制 主要应用：l 显微镜平台l 圆形测量对准部件产品参数： UnitsCT250B closed frame CT250B open framemax. loadKg5050max. travelmm6060min. incr. motionmm0.10.1repeatability2 encoder increments2 encoder incrementsmaterialcoated aluminiumcoated aluminium

压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm，最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度，可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位，微扫描等应用。参数单位XY25XSXY200M型号V-XYXS25V-XYM200备注--传感器SGSG,ECS主动轴TX,TYTX,TY最大空载位移[Tx,Ty]um25200Z方向最大面外位移um0.501.00Z方向的最大转动urad50240XY方向的最大转动urad1050电压范围V-20…150-20…150硬度N/um2.500.59高度(Z 轴)mm18.022.0尺寸(X&Y 轴)mm50*50100*100分辨率nm0.32.0质量g80180空载共振频率(在致动方向)Hz3000580响应时间ms0.170.86电容 (每个电气接口)uF0.506.30机械接口(有效负载)1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm3Ф2.7mm holes onⅡ38机械接口 (框架)4 Ф2.8mm holes on []454 Ф4.5mm holes on []84电气接口2 RG178B/U同轴电缆2 RG178B/U同轴电缆

二维高稳定性光纤倾斜位移台HFA-T系列产品特点：材质：304不锈钢 产品介绍：OMTOOLS 二维光纤倾斜位移台HFA-T系列产品是多年积累经验研发生产的光纤专用位移平台，在光纤调整领域广泛应用，采用精密的100 TPI调节螺钉，整体不锈钢材料。整体刚性较高，能够有效的避免震动干扰，在使用时能保持较高的稳定性。关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。最小的平移提供了光纤的两轴（θy θz）角度对准。倾斜平台安装在三维高稳定性光纤专用平移台HFA-XYZ系列的顶部，以实现五个自由度。光纤和设备支架安装到倾斜平台顶部的导轨上。 选型表：产品型号HFA-TLHFA-TR绕Z轴倾斜调整量±5°±5°绕Y轴倾斜调整量±5°±5°光路中心高78.1mm78.1mm分辨率5"5"负载2.2kg2.2kg自重0.3kg0.3kg

压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。参数单位XYZ200M型号V-XYZM200备注-传感器SG,ECS主动轴TX,TY,TZ最大空载位移[Tx,Ty]um180Z方向最大面外位移um200Z方向的最大转动urad240XY方向的最大转动urad50电压范围V-20…150硬度N/um0.66高度(Z 轴)mm44.0尺寸(X&Y 轴)mm100*100分辨率nm1.8质量g540空载共振频率(在致动方向)Hz380响应时间ms1.32电容(每个电气接口)uF6.30机械接口(有效负载)物镜接口最大4/55 *1.36(指定)机械接口(框架)4 Ф4.5mm 孔 []84电气接口3 RG178B/U 同轴电缆

艾博纳全自动二维样品转移台是由来自石墨烯诺奖组的研发经验并投入商业使用的基于真空吸附固定且具备快速温控与Xbox无线手柄控制的二维样品转移装置。与半自动相比，全自动二维样品转移台能够实现自动化对样品的定位和搬运，使得测试更加高效。本设备配备进口XYZ方向三轴平移台、高精度电 动旋转台可达0.001度转角、纳米级别电动升降台， 2560*1080高灵敏度CMOS显微相机，控制机箱系统三轴电动电机控制集成。通过纳米级的位置控制将二维材料从生长基底转移到目标基底，精确定位在所 需位置，为用户提供了卓越的操作体验和图像展示效果。

产品描述X轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列产品包含X、XY可供用户选择。该压电纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供大功率控制器，进行高速运动）。二维产品型号为PS2H45-xx。PS1H45系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导向系统可确保完美的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。产品特性—高速运动、直接驱动—设计小巧紧凑PS1H45系列技术参数—闭环控制—可堆叠进行XY运动选配功能—可定制转接工装—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可组维、可定制其他行程应用领域—扫描显微镜、光纤端面检测—干涉仪、测量技术、3D锡膏检测—光子、光纤定位、干涉—纳米光刻、纳米定位、电化学加工 结构原理 高速响应 典型应用PS1H45系列技术参数

ASM50-XY两维组合平移台技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:50mm组合用产品TSM50D-1S平移台 二个特点：实现正交组合的偏大行程的手动平移,而且平台薄,减小了光路的中心高度。

重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。技术特点：超大负载压电陶瓷精密设计 应用领域：大口径干涉仪 物镜稳像器 光学对准纳米压印 显微成像/操纵 表面检测半导体加工规格参数：型号NP-FAPC-5011A 运动轴 X，Y，Z，θX，θY传感器类型电容式位移传感器X/Y闭环行程100umZ闭环行程35umθX，θY闭环行程±150uradX/Y分辨率＜2nmY分辨率＜1nmθX，θY分辨率＜20nradX/Y/Z线性度0.03%X/Y重复定位精度＜10nmZ重复定位精度＜10nmθX，θY重复定位精度0.1urad平台噪声＜2nm最大承载能力35kgZ谐振频率@35kg＞100HzθX/θY谐振频率@35kg＞100Hz带载最高工作频率10Hz材质铝合金质量12kg工作温度0~50℃尺寸Φ500X117mm 中空Φ360mm