飞秒微加工系统

飞秒微加工系统方案激光的发明加快了人类文明的进步。激光以其高相干性，高能量等特点，使其已经广泛应用于人类生活的各个领域，例如激光焊接，激光测距，激光雷达等等。其中激光加工也是一个重要领域。传统的激光加工一般使用纳秒量级脉冲激光或是像CO2激光（10.6um）这样的强激光，随着飞秒激光的逐渐普及，使用成本逐渐降低，使用飞秒激光作为加工光源也越来越受到关注。飞秒激光加工的特点主要有：1，飞秒激光脉冲与材料相互作用时间在一个非常短的时间（飞秒量级），因此可以实现材料的冷加工， 2，飞秒激光可以聚焦到透明材料的内部，实现真正的三维微加工，3，超快激光可以使材料发生多光子吸收，可以突破光学衍射极限进行加工，飞秒微加工的研究领域：可用于飞秒3D打印，双光子聚合等加工技术。可用于切割，打孔，烧蚀，表面微结构等加工技术。由于飞秒激光持续时间很短，可以在易碎易燃材料上获得高质量的烧蚀形貌用于材料的内部改性处理。例如用飞秒激光在玻璃内部进行光波导直写，光存储以及新相材料的制作 飞秒激光直写加工系统一般根据制作方式可分为基于扫描振镜方式和基于样品位移台两种。扫描振镜的方式其优点在于加工精度很高，但是加工的范围有限基于样品位移台的则可以分为：1，使用高质量三维压电位移台，可以获得亚纳米级别的精度，范围可以到几百微米。2，使用高质量的电机驱动的直线气浮平台。其优点在于移动范围可以达到几厘米。卓立汉光基于多年的显微拉曼荧光系统，结合高功率飞秒激光，推出飞秒激光直写加工系统！ 图1：飞秒加工直写系统简图图2：显微系统简图飞秒激光推荐方案：激光器中心波长：1030nm,输出功率： =20W@ 50-200KHZ, 400uJ@1-50KHz, 脉宽：290fs 一体化免维护设计；三维位移台推荐方案： 室温 压电运动⽅ 案 —“Carrier. 系列“ ⼤ ⾏ 程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征⼤ 范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊ &bull 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；&bull 闭环定位精度优于 1nm；&bull 最⼤ 负载 500 g；&bull 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅ 案；&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)和⾼ 真空( .UHV)选件升级Carrier.S200.XY ⼤ 范围压电扫描台 — 技术参数 可选版本 ⇨ 正常版本.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度180 mm × 150 mm × 20 mm2 主体材料铝合⾦ 3 中空透孔80 mm × 60 mm4 运动⾏ 程200 um × 200 um5 闭环分辨率优于1nm6 推荐最⼤ 负载500 g7 闭环传感器电容式8 电容精度0.3 nm9 压电电容(X, Y)6.5 uF15 到 40 摄⽒ 度10 推荐使⽤ 温度11 质量1 kg12 安装螺纹孔⾃ 动兼容 Carrier.L7550.XY

飞秒微加工系统方案激光的发明加快了人类文明的进步。激光以其高相干性，高能量等特点，使其已经广泛应用于人类生活的各个领域，例如激光焊接，激光测距，激光雷达等等。其中激光加工也是一个重要领域。传统的激光加工一般使用纳秒量级脉冲激光或是像CO2激光（10.6um）这样的强激光，随着飞秒激光的逐渐普及，使用成本逐渐降低，使用飞秒激光作为加工光源也越来越受到关注。飞秒激光加工的特点主要有：1，飞秒激光脉冲与材料相互作用时间在一个非常短的时间（飞秒量级），因此可以实现材料的冷加工， 2，飞秒激光可以聚焦到透明材料的内部，实现真正的三维微加工，3，超快激光可以使材料发生多光子吸收，可以突破光学衍射极限进行加工，飞秒微加工的研究领域：可用于飞秒3D打印，双光子聚合等加工技术。可用于切割，打孔，烧蚀，表面微结构等加工技术。由于飞秒激光持续时间很短，可以在易碎易燃材料上获得高质量的烧蚀形貌用于材料的内部改性处理。例如用飞秒激光在玻璃内部进行光波导直写，光存储以及新相材料的制作 飞秒激光直写加工系统一般根据制作方式可分为基于扫描振镜方式和基于样品位移台两种。扫描振镜的方式其优点在于加工精度很高，但是加工的范围有限基于样品位移台的则可以分为：1，使用高质量三维压电位移台，可以获得亚纳米级别的精度，范围可以到几百微米。2，使用高质量的电机驱动的直线气浮平台。其优点在于移动范围可以达到几厘米。卓立汉光基于多年的显微拉曼荧光系统，结合高功率飞秒激光，推出飞秒激光直写加工系统！ 图1：飞秒加工直写系统简图图2：显微系统简图飞秒激光推荐方案：激光器中心波长：1030nm,输出功率： =20W@ 50-200KHZ, 400uJ@1-50KHz, 脉宽：290fs 一体化免维护设计；三维位移台推荐方案：室温 压电运动⽅ 案 —“Carrier. 系列“ ⼤ ⾏ 程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征⼤ 范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊ &bull 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；&bull 闭环定位精度优于 1nm；&bull 最⼤ 负载 500 g；&bull 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅ 案；&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)和⾼ 真空( .UHV)选件升级Carrier.S200.XY ⼤ 范围压电扫描台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度180 mm × 150 mm × 20 mm2 主体材料铝合⾦ 3 中空透孔80 mm × 60 mm4 运动⾏ 程200 um × 200 um5 闭环分辨率优于1nm6 推荐最⼤ 负载500 g7 闭环传感器电容式8 电容精度0.3 nm9 压电电容(X, Y)6.5 uF15 到 40 摄⽒ 度10 推荐使⽤ 温度11 质量1 kg12 安装螺纹孔⾃ 动兼容 Carrier.L7550.XY

飞秒微加工系统Sabray 包括免维护工业级别fs 激光器系统和高稳定性模块化设计激光加工模组，系统采用独特的花岗石龙门支架结构设计可以保证系统优良的加工稳定性。系统配置快速移动、nm 运动精度和高达600mm 行程范围的运动平台，使得系统在大幅面超精细处理领域有着非凡的能力。另外根据客户不同加工需求，可选择扫描振镜、长工作距离显微物镜或者螺旋钻孔系统以及真空环境样品室等，在超快激光刻蚀、表面处理和表面3D 雕刻、触摸屏和ITO 切割以及金属、合金、半导体、陶瓷等多种材料的钻孔和切割等领域都有着十分出色的应用。飞秒微加工系统Sabray技术参数：飞秒微加工系统Sabray功能特点工业级稳定性、长寿命飞秒激光系统模块化设计的激光加工头花岗石龙门结构, 高加工可靠性和稳定性高移动精度和大移动行程扩展性强，可使用其它公司超快激光系统飞秒微加工系统Sabray应用领域超快激光刻蚀触摸屏玻璃和ITO切割表面处理和表面3D结构制作超精细钻孔和切割摩擦系数的调节金属结构彩色化光纤光栅无损刻写

GLFs-BMH系列飞秒激光加工系统，主要是针对利用贝塞尔光束技术加工的应用，如微孔加工。该系统配置空间光调制器进行光束整形，通过软件控制，产生的贝塞尔光束可实现高品质、大深径比的微孔加工。系统可应用于如航空航天燃气涡轮叶片上的气膜微孔、 高灵敏度传感器微孔结构、高灵敏器件的通孔制备、柔性电路板、发动机喷油嘴微孔等方面的加工的工艺探索研究。

? Femtocut是一套采用红外波段飞秒激光器作光源，可以对生物医学样品，多种有机和无机材料进行光学细微加工和处理的设备。具有超精密切割，钻孔结合高分辨率非介入式3D成像等功能。它可以： l 用于光学基因转移的靶定向转染。l 细胞内染色体分离l 组织切片中单细胞分离l 光学方法击出细胞元素l 纳米加工和光学波导写入l 光学数据存储 设备外观图片 透明材料和生物细胞的3D纳米加工系统产品概述： Femtocut系统采用紧凑的近红外皮秒激光器对透明材料进行3维纳米加工。低能量（亚纳焦至纳焦）高至90兆赫兹重复频率的激光脉冲通过高数值孔径（NA1.3）光学组件聚焦并在亚飞升（10-15升）体积内产生光学击穿。光束能量密度可用一台电机驱动的衰减器控制。焦点区域光功率密度可达几个TW/cm2的水平，于是可以通过多光子电离过程进行超精细的剥蚀加工。加工最小尺寸小于70纳米（半高全宽度）。设备的基本结构是一台配置了高速检流计振镜扫描组件的常用显微镜。能够以亚微米精度进行全幅扫描，局部区域（ROI）扫描，线扫描以及单点剥蚀（点扫描，钻孔）等模式的加工操作。配置了一台电机驱动平台用于大区域加工操作。聚焦光学元件安装于压电陶瓷驱动平台上，可实现精度为40nm的垂直定位。Femtocut还是一套非介入式层析诊断工具。可以对样品进行高分辨率成像来选择微加工处理的目标区域，也可同时监视剥蚀处理的效果。 飞秒激光脉冲分离染色体 人染色体的纳米加工处理 染色体内部孔洞的加工 CHO细胞的靶定位转染。GFP质粒通过一个瞬 态生成的亚微米小孔导入到细胞膜中应用领域:超短脉冲激光已经成为半导体，金属材料，介电材料，高分子材料和生物组织的纳米结构成型的强大工具，显示了不可替代的卓越的性能。在大多是材料中，紫外激光具有较强的线性吸收，所以其仅适用于进行表面团成型。作为鲜明对比，Femtocut 则能够提供真正的三维加工处理。其能够处理的深度可达100μm. 加工线宽达到亚微米量级。通过采用焦点区域的多光子电离过程，切割尺寸可以突破衍射极限的限制。这一系统可以在对近红外透明的材料上进行直接的纳米微尺度结构写入。这一能力大大开拓了在工业，医疗和科学研究领域的应用范围。 飞秒激光纳米尺度微成型技术已经用于波导刻写，光掩膜加工和某些特殊材料的表面改性领域。更进一步，还可在多种材料上进行细微钻孔。激光诱导细胞膜瞬态改变眼组织纳米尺度结构成型：角膜薄片制备超快激光和生物材料的相互作用的一个重要特点是其作用区域强烈地被限制在焦点区域，这样就大大地减小了对邻近组织的损害。于是，可以利用这一特性将突变组织和正常生命细胞分离开来。Femtocut的高空间分辨率处理能力还可以在不发生任何显见的损害效应情况下将单细胞器从细胞中撞击出去。 Femtocut这种极强的局域工作特性使其具有成为实现DNA操控的强大工具的潜能。它可以用来对染色体某些特定的基因片段进行光学去活性处理。不仅如此，飞秒激光脉冲还显示了应用于人类染色体片段分离以及高度局域的基因和分子转移的前景。 不同材料上进行结构成型：A：金 B: 硅 C：玻璃 细胞间连接的激光加工处理处理前细胞间连接的激光加工处理(处理后）技术数据：紧凑型飞秒激光器（典型数据）激光脉冲宽度： 100fs重复频率：80 MHz激光平均输出功率：1.5W波长：710-990 nm全幅扫描，局部感兴趣区域（ROI）扫描, 线扫描，单点照明（点扫描，钻孔）典型光束扫描区间：350x350μm (水平)200μm（垂直）平台位移行程：120x102mm空间分辨率：1μm (水平)2μm (垂直)聚焦光学元件：放大率40倍数值孔径（NA）1.3CCD相机数字成像视频监视接口运行环境温度：15-35摄氏度相对湿度：5-80%电源功率需求：交流230V（50赫兹）系统尺寸基座490x280x480mm316kg扫描头：280x190x90mm36kg控制组件：450x300x130mm38kg激光器（典型值）：600x370x180mm342kg(激光头)450x440x270mm321kg（电源）270x200x380mm320kg（水冷器）对于激光器运行建议配置空调系统所有参数可能会有所变动恕不提前通知

Workshop of Photonics公司从2003年开始就专注于飞秒激光微纳加工工艺研发, 凭借着创新技术及先进可靠工艺. 主流型号为FemtoLAB实验级飞秒激光微纳米加工系统, FemtoFAB产业级飞秒激光微纳米加工系统, MPP-Cube秒双光子/多光子三维聚合微纳米加工系统.飞秒激光器由于激光脉冲很短, 拥有很好的激光功率密度, 其加工效果超过纳秒和皮秒激光. 光束所到之处能够瞬间将材料消融气化, 由于激光脉冲短, 激光能量无法在如此短的时间内扩散到周围材料中, 所以对加工区域周围影响微乎其微, 是一种冷态加工技术.WOP系统采用高品质的飞秒激光器, 同步高精密光束扫描振镜和脉冲选择器, 在空间,时间和能量上提供全方位高精度控制, 从而提供高难度的加工能力, 亚微米精度的分辨率和重复性, 以及很高的微加工速度 .

上海津镭光电 GLFs-FBG 系列飞秒激光加工系统，主要是针对光纤光栅（FBG）及光纤其他微结构加工的设备。具有稳定，操作灵活和高效等特性，设备集成度高，体积小，更方便运输和使用。系统通过一体化软件控制完成加工，不需要使用相位掩模版，有更高的灵活性，可用于逐点（PBP）加工，加工精度可达到亚微米量级。主要特点：1030nm/515nm飞秒激光器；可实现逐点纤芯和包层加工；加工前无需剥离光纤涂覆层；可用于多种光纤（单模，多模，多芯光纤等）；XYZ 三轴高精度样品定位；可通过CCD实时观察光纤的加工；机器视觉快速定焦和校准可拓展应用的系统，支持定制基础配置参数：

Sabray-飞秒微加工系统 超精细微加工工具 Sabray飞秒微加工系统属于超精细加工工具，它主要基于UpTek公司的Phidia系列飞秒激光系统和Spearay系列激光加工模块，并配置了德国Scoroff高端机柜。整个系统结构紧凑，具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。 Phidia飞秒激光系统可以输出高能量窄脉宽的飞秒脉冲激光：其脉冲宽度可窄至120fs到40fs，输出能量可高达0.1mJ到2mJ，从而确保Sabray系统可以有效处理几乎所有种类的材料。 Spearay系列激光加工模块独特的花岗石龙门支架结构设计可以保证系统优良的加工稳定性。Spearay所配置运动平台的高移动精度和大行程范围使得系统在大幅面超精细处理领域有着非凡的能力。 无论是科研用户还是工业用户，UpTek 公司的飞秒超精细微加工系统都可以为其提供最优解决方案和应用。例如：超快激光刻蚀、表面处理和表面3D雕刻、触摸屏和ITO切割以及金属陶瓷等材料的钻孔和切割，等等。功能特点 ? 工业级稳定性、长寿命飞秒激光系统 ? 模块化设计的激光加工头 ? 花岗石龙门结构, 高加工可靠性和稳定性 ? 高移动精度和大移动行程 ? 扩展性强，可使用其它公司超快激光系统 应用领域 ? 超快激光刻蚀 ? 触摸屏玻璃和ITO切割 ? 表面处理和表面3D结构制作 ? 超精细钻孔和切割典型应用

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 飞秒加工系统组件 FemtoLAB kitFemtoLAB kit是独特的飞秒微加工系统，可以和用户的飞秒激光器安装在一起。根据用户激光器参数不同，系统可以微加工不同材料。具有机器视觉和友好的软件界面可以轻松地完成不同的微加工任务。系统特点：●XYZ高精度样品位移台●选定波长的光束传输和整形系统●单窗口软件控制全部系统●容易扩展，用户可设计●1年质保产品应用（根据用户激光器）：●表面微米、纳米成型●选择性切除●微钻孔●3D激光直写●折射率调整●切割●多光子聚合（mPP）选配功能：●扫描振镜●安全罩●外部安全/调制开关●自动聚焦系统●空间光调制器●偏振旋转器●偏振转换器（圆偏振、线偏振、方位角偏振）●用户设备集成

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 飞秒激光加工系统 FemtoFABFemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后，根据客户特定激光加工应用调试，包括对任何材料激光切割，激光划片，激光钻孔，3D激光铣削（使用的激光峰值功率2.4GW）。系统使用Class 1激光安全防护罩，通过单个SCA工程软件窗口控制。FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制，对不同工业微加工应用，提供最佳的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。产品特点：●高加工速度，最高350000px/s●加工不同物体亚微米分辨率●飞秒加工模式具有最小热影响区●直驱亚微米精度位移台●使用高性能扫描振镜精细激光束控制●点数控制（单点到350KHz）●激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步●原版软件界面控制所有集成的硬件设备产品应用：●微光学●光伏产业●多光子聚合●生物医学技术传感器●其他精细微加工任务样品特性材料固体材料，液态聚合物尺寸（mm）150×150×150光束成型和控制脉冲选择集成、自动控制扫描振镜10m/s扫描速度，5×5聚焦高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mmSLM（选配）1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式位置类型XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配）加工速度350mm/s工作区域（mm）160×160分辨率（nm）1位置精度（nm）±300重复性（nm）±50稳定度（nm）3样品支架真空夹头激光参数激光介质Yb:KGW波长1028±5nm功率（W）4（6，8，10选配）振荡器输出功率（W）0.7-1.5脉冲能量（mJ）1重频（KHz）200（600,1000选配）脉宽200fs-10ps（可调）；80fs（振荡器）光束质量M21.2输出脉冲稳定性1%RMS谐波产生器谐波SH（515nm），TH（343nm）选配，FH（258nm）选配转换效率（@200KHz）50%（SH），30%（TH）选配，10%（FH）选配谐波产生器功率控制激光输出，电动衰减器位移台控制2.5D微加工，3D XYZ指令控制界面算法窗口，虚拟或GUI操纵杆图形或矢量格式.bmp，.plt

GLFs-META系列飞秒加工系统，主要针对于光学超材料/超表面周期性微纳结构加工的设备，可配置空间光调制器进行整形，实现多光束并行加工，提高加工效率，结合大尺寸位移台可实现大尺寸光学器件的加工。该系统可用于光场调控器件，太赫兹波调制器件，等离激元，微透镜，折射元件，三维非线性光子晶体，光栅/达曼光栅等超材料或超表面器件的加工。

飞秒激光微纳加工综合系统-Laser NanofactoryFemtika公司设计并生产的飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统。与传统的微纳3D打印设备相比，Laser Nanofactory不仅可用于光子学聚合物微纳结构的加工，还可以用于石英，陶瓷，玻璃和金属等材料从毫米到微米尺度的精确加工。设备加工速度可高达50mm/s，加工精度优于100nm，还可实现不同加工工艺间的无缝切换。得益于Femtika先进的飞秒激光技术，Laser Nanofactory在进行微纳加工时所产生的热效应小，加工出的结构边缘锐利，因此特别适合微纳结构的加工。应用领域微纳光学、微流控、微纳机电器件（M/NEMS）、纳米技术、 生物医药、通讯技术、传感器件、材料表面改性......飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory技术参数飞秒激光波长1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm脉冲持续时间290 fs - 10 ps脉冲能量65 μJ最大平均功率4 W重复率60 - 1000 kHz冷却方式气冷定位平台XY方向移动范围160 mm x 160 mmZ方向移动范围60mmXYZ正交性3 arc sec分辨率1 nm (XY), 2 nm (Z)最高速度350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z)飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory应用实例多光子聚合物3D结构选择性刻蚀结果展示在样品上进行激光烧蚀对器件中的不同材料采用不同加工技术（无缝切换）用户单位发表文章[1] A. Butkut&edot , G. Merkininkait&edot , T. Jurk&scaron as, J. Stan&ccaron ikas, T. Baravykas, R. Vargalis, T. Ti&ccaron kūnas, J. Bachmann, S. &Scaron akirzanovas, V. Sirutkaitis, and L. Jonu&scaron auskas, “Femtosecond Laser Assisted 3D Etching Using Inorganic-Organic Etchant”, Materials 2022,15, 2817, (2022).[2] G. Kontenis, D. Gailevi&ccaron ius, N. Jimenez, and K. Staliunas, “Optical Drills by Dynamic High‑ Order Bessel Beam Mixing”, Phys. Rev. Applied 17, 034059, (2022).[3] D. &Ccaron ere&scaron ka, A. &Zcaron emaitis, G. Kontenis, G. Nemickas, and L. Jonu&scaron auskas, “On‑ Demand Wettability via Combining fs Laser Surface Structuring and Thermal Post-Treatment”, Materials 2022,15, 2141, (2022).[4] A. Butkut&edot , and L. Jonu&scaron auskas, “3D Manufacturing of Glass Microstructures Using Femtosecond Laser”,Micromachines 2021,12, 499, (2021).[5] D. Andrijec, D. Andriukaitis, R. Vargalis, T. Baravykas, T. Drevinskas, O. Korny&scaron ova, A. Butkut&edot , V. Ka&scaron konien&edot , M. Stankevi&ccaron ius, H. Gricius, A. Jagelavi&ccaron ius, A. Maru&scaron ka, and L. Jonu&scaron auskas, “Hybrid additive subtractive femtosecond 3D manufacturing of nanofilter based microfluidic separator”, Applied Physics A (2021).[6] D. Gonzalez-Hernandez, S. Varapnickas, G. Merkininkait&edot , A. &Ccaron iburys, D. Gailevi&ccaron ius, S. &Scaron akirzanovas, S. Juodkazis, and M. Malinauskas,”Laser 3D Printing of Inorganic Free‑ Form Micro-Optics”, Photonics 2021,8, 577, (2021).[7] D. Andriukaitis, A. Butkut&edot , T. Baravykas, R. Vargalis, J. Stan&ccaron ikas, T. Ti&ccaron kūnas, V. Sirutkaitis, and L. Jonu&scaron auskas, “Femtosecond Fabrication of 3D Free-Form Functional Glass Microdevices: Burst-Mode Ablation and Selective Etching Solutions”, 2021 Conference on Lasers and Electro-Optics Europe & European Quantum Electronics Conference, (2021).[8] A. Butkut&edot , T. Baravykas, J. Stan&ccaron ikas, T. Ti&ccaron kūnas, R. Vargalis, D. Paipulas, V. Sirutkaitis, and L. Janu&scaron auskas, “Optimization of selective laser etching (SLE) for glass micromechanical structure fabrication”, Optical Express 23487, Vol. 29, No. 15, 19.07.2021, (2021).[9] A. Maru&scaron ka, T. Drevinskas, M. Stankevi&ccaron ius, K. Bimbirait&edot -Survilien&edot , V. Ka&scaron konien&edot , L. Jonu&scaron auskas, R. Gadonas, S. Nilsson, and O. Korny&scaron ova, “Single-chip based contactless conductivity detection system for multi-channel separations”, Anal. Methods, 2021,13,141–146, (2021).[10] L. Bakhchova, L. Jonu&scaron auskas, D. Andrijec, M. Kurachkina, T. Baravykas, A. Eremin, and U. Steinmann,“Femtosecond Laser-Based Integration of Nano-Membranes into Organ-on-a-Chip Systems”, Materials 2020, 13, 3076 (2020).[11] T. Ti&ccaron kūnas, D. Paipulas, and V. Purlys, “Dynamic voxel size tuning for direct laser writing,” Opt. Mater. Express 10, 1432-1439 (2020).[12] T. Ti&ccaron kūnas, D. Paipulas, and V. Purlys, “4Pi multiphoton polymerization”, Appl. Phys. Lett. 116, 031101 (2020).[13] L. Jonu&scaron auskas, T. Baravykas, D. Andrijec, T. Gadi&scaron auskas, and V. Purlys, “Stitchless support-free 3D printing of free-form micromechanical structures with feature size on-demand”, Sci Rep 9, 17533 (2019).[14] S. Gawali. D. Gailevi&ccaron ius, G. Garre-Werner, V. Purlys, C. Cojocaru, J. Trull, J. Montiel-Ponsoda, and K. Staliunas, “Photonic crystal spatial filtering in broad aperture diode laser”, Appl. Phys. Lett. 115, 141104 (2019).[15] L. Jonu&scaron auskas, D. Gailevi&ccaron ius, S. Rek&scaron tyt&edot , T. Baldacchini, S. Juodkazis, and M. Malinauskas, “Mesoscale laser 3D printing,” Opt. Express 27, 15205-15221 (2019).[16] L. Jonu&scaron auskas, D. Mackevi&ccaron iūt&edot , G. Kontenis and V. Purlys, “Femtosecond lasers: the ultimate tool for high precision 3D manufacturing”, Adv. Opt. Technol., 20190012, ISSN (Online) 2192-8584, (2019).[17] L. Grineviciute, C. Babayigit, D. Gailevicius, E. Bor, M. Turduev, V. Purlys, T. Tolenis, H. Kurt, and K. Staliunas,“Angular filtering by Bragg photonic microstructures fabricated by physical vapour deposition”, Appl. Surf. Sci., 481, 353-359 (2019).[18] D. Gailevi&ccaron ius, V. Padolskyt&edot , L. Mikoliūnait&edot , S. &Scaron akirzanovas, S. Juodkazis, and M. Malinauskas, “Additive manufacturing of 3D glass-ceramics down to nanoscale resolution”, Nanoscale Horiz., 4, 647-651 (2019).[19] E. Yulanto, S. Chatterjee, V. Purlys, and V. Mizeikis, “Imaging of latent three-dimensional exposure patterns created by direct laser writing in photoresists”, Appl. Surf. Sci., 479, 822-827 (2019).[20] L. Jonu&scaron auskas, S. Juodkazis, and M. Malinauskas, “Optical 3D printing: bridging the gaps in the mesoscale”, J. Opt., 20(05301) (2018).[21] E. Skliutas, S. Kasetaite, L. Jonu&scaron auskas, J. Ostrauskaite, and M. Malinauskas “Photosensitive naturally derived resins toward optical 3-D printing,” Opt. Eng. 57(4), 041412 (2018).[22] L. Jonu&scaron auskas, S. Rek&scaron tyte, R. Buividas, S. Butkus, R. Gadonas, S. Juodkazis, and M. Malinauskas,“Hybrid subtractive-additive-welding microfabrication for lab-on-chip applications via single amplified femtosecond laser source,” Opt. Eng. 56(9), 094108 (2017).

立陶宛WOP生产的飞秒激光加工设备FemtoLAB可以执行各种增材和减材应用，是进口飞秒激光微纳加工系统中保有量较高的品牌；例如飞秒激光烧蚀（FSLA），激光切槽，多光子聚合（MPP）、激光直写（DLW），激光切割和钻孔等，实现纳米级分辨率。配置：飞秒激光源样品定位系统光束传输和扫描单元激光功率和偏振控制系统控制软件（可根据要求提供自动对焦和机器视觉）样品架和特殊机械装置（可根据要求实现样品处理自动化）光学工作台存储模块（全部或部分）除尘装置激光系统通过几经迭代和更新的SCA微加工软件实现自动化。ReferencesKsenia Maximova, Xuewen Wang, Armandas Bal&ccaron ytis, Linpeng Fan, Jingliang Li, and Saulius Juodkazis at al. “Silk patterns made by direct femtosecond laser writing”, Biomicrofluidics 10 (5), 054101 (2016). doi: Xuewen Wang, Aleksandr Kuchmizhak, Etienne Brasselet, Saulius Juodkazis, et al. “Dielectric geometric phase optical elements from femtosecond direct laser writing”W. Wang, A. A. Kuchmizhak, X. Li, S. Juodkazis, O. B. Vitrik, Yu.N. Kulchin, V. V. Zhakhovsky, P. A. Danilov, A. A. Ionin, S. I. Kudryashov, A.A. Rudenko, N. A. Inogamov at al. “Laser-induced Translative Hydrodynamic Mass Snapshots: mapping at nanoscale”, arXiv:

FemtoLAB 是一体化飞秒激光微加工研发平台母机。对于需要针对各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心来说，这是一个完美的选择。FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分辨率的复合超快激光微加工工艺，并且可以执行各种应用。关键应用：表面和内部体修改和纳米结构制造飞秒激光烧蚀 (FSLA)激光开槽划线多光子聚合（MPP） | 直接激光写入 (DLW)激光切割和钻孔独特的是，该系统不仅兼容平面样品，还支持光纤加工Item特征推荐材料所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。激光源高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光器可选光路选择自动化切换光路样品尺寸兼容最大 160 mm x 160 mm 位移台设计最小特征尺寸200nm定位系统XYZ 三轴定位系统，定位精度 ± 300nm，具有连续晶圆级图案化功能扫描系统适用于所有激光波长的振镜系统视觉具有特征识别功能的实时可视化和定位摄像头计量学集成显微镜样品处理手动与自动对齐持有者用于扁平结构的样品架（基于真空抽吸），带有用于光纤的附加支架排烟除尘系统包括配件功率控制、偏振态控制软件通过单一 GUI 控制整个系统。支持的文件格式– 2D/3D模型导入：STL、DXF、DWG、AMF、PLT、FAB– 位图支持：BMP、GIF、JPG、JPEG、PNG– 作为表格数组的文本文件：TXT、RTF、TEX软件具有被动隔振功能的花岗岩底座，建立在光学平台上（可选独立设计）建造水冷激光器、风冷系统、电气柜尺寸，毫米（长 x 宽 x 高）1500×1350×1400重量1100公斤电源2 个 220 伏交流电，16 安ReferencesMazule S. Liukaityte V. Sabonis T. Gertus M. Mikutis, et al. “Characterization of the optical components fabricated by femtosecond pulses in transparent materials”, Proc. SPIE 8839, Dimensional Optical Metrology and Inspection for Practical Applications II, 883909 (September 6, 2013) doi:1117/12.2022823Adomavi&ccaron iūt&edot T. Tamulevi&ccaron ius L. &Scaron imatonis E. Fatarait&edot -Urbonien&edot E. Stankevi&ccaron ius S. Tamulevi&ccaron ius, “Microstructuring of electrospun mats employing femtosecond laser”, ISSN 1392–1320 Materials Science (Med&zcaron iagotyra), Vol. 21, No. 1. 2015 doi:http://dx.doi.org/10.5755/j01.ms.21.1.10249Malinauskas S. Rek&scaron tyt&edot L. Luko&scaron evi&ccaron ius S. Butkus E. Bal&ccaron iūnas M. Pe&ccaron iukaityt&edot D. Baltriukien&edot V. Bukelskien&edot A. Butkevi&ccaron ius P. Kucevi&ccaron ius V. Rutkūnas S. Juodkazis, “3D Microporous Scaffolds Manufactured via Combination of Fused Filament Fabrication and Direct Laser Writing Ablation” Micromachines 2014, 5, 839-858 doi:3390/mi5040839Gertus A. Michailovas K. Michailovas and V. Petrauskien&edot “Laser beam shape converter using spatially variable waveplate made by nanogratings inscription in fused silica”, Proc. SPIE 9343, Laser Resonators, Microresonators, and Beam Control XVII, 93431S (March 3, 2015) doi:1117/12.2075869Ma&ccaron iulaitis M. Deveikyt&edot S. Rek&scaron tyt&edot M. Bratchikov A. Darinskas A. &Scaron imbelyt&edot G. Daunoras A. Laurinavi&ccaron ien&edot A. Laurinavi&ccaron ius, R. Gudas M. Malinauskas R. Ma&ccaron iulaitis, “Preclinical study of SZ2080 material 3D microstructured scaffolds for cartilage tissue engineering made by femtosecond direct laser writing lithography”, Biofabrication, 2015 Mar 23 7(1):015015 doi:1088/1758-5090/7/1/015015Nava R. Osellame R. Ramponi and K. Chaitanya Vishnubhatla “Scaling of black silicon processing time by high repetition rate femtosecond lasers,” Opt. Mater. Express 3, 612-623 (2013). doi:1364/OME.3.000612

Litilit是一家致力于开发独特超快激光技术的立陶宛公司，主要产品包括用于微加工的工业级飞秒激光器（INDYLIT 10）、用于生物光子学的飞秒光纤激光器（BIOLIT 2）。Neolit是Litilit公司推出的激光放大器用超短脉冲光纤种子光源（Ultrashort pulse fiber seeder）。Litilit 开发的独特超快激光技术基于获得专利的激光脉冲发生器，这使其能够实现电信标准的可靠性、制造可扩展性和具有竞争力的价格。此外，Litilit的激光器无需维护，并且对外部干扰具有强大的抵抗力。Litilit 团队在发明、开发和生产超短脉冲激光器以及许多其他支持技术（如微光学元件和激光焊接）方面拥有丰富的经验。内部人才和能力使Litilit能够提供独特的工程解决方案，同时为客户提供最大价值。Litilit新开发的飞秒光纤激光器和自启动激光器技术已在各行各业中反复证明自己具有极高的灵活性和可靠性。Litilit激光器也因其发出的干净脉冲而广受赞誉。这使Litilit能够适应已经快速变化的市场中不断变化的参数。 Indylit 10 是一款高能风冷飞秒激光器，专为各种超快应用而设计。激光头采用创新的被动冷却设计，确保脉冲持续时间、光束指向和功率等光学参数的高稳定性。它的机械结构几乎可以承受各种类型的外力冲击，使 Indylit 成为一种新的工业飞秒技术。内置二次谐波（SH）模块提供波长扩展，可实现更广泛的材料加工应用。 产品特点-免维护&交钥匙系统-可调重频、脉宽、功率-脉冲能量高、脉冲形状纯净-被动风冷-坚固紧凑、稳定性极好 应用领域-材料微加工-眼科-半导体、电子-显示器制造-电池制造-黑色、彩色激光打标不锈钢 产品参数型号Indylit 10Indylit 10 SH1)中心波长1030 ± 2 nm515 ± 1 nm光谱带宽 （FWHM） 4 nm 3 nm平均功率2) 10 W @ 100 kHz 5 W @ 100 kHz 12 W @ 1000 kHz 2 W @ 1000 kHz最大脉冲能量2) 100 μJ 50 μJ脉冲持续时间 400 fs脉冲持续时间可调性400 fs – 4 ps不适用输出之间的切换时间 1 s内部脉冲重复率100 kHz – 1.6 MHz，突发模式下低至30kHz脉冲选择器集成触发方式通过TTL门进行脉冲选择器控制突发长度（脉冲串脉冲个数）1到12个 脉冲突发模式下的最大能量 400 μJ 150 μJ功率衰减3)100 – 1%光束质量M2 1.2光束圆度4) 0.90 0.85光束直径（1/e² 水平）2.6 ± 0.2 mm2.2 ± 0.2 mm偏振水平线偏振， 200：1 消光比预脉冲对比度 1：1000后脉冲对比度 1：100光束发散度（全角） 1 mrad光束指向 （RMS）5) 20 μrad光束指向与温度关系 20 μrad/°C功率稳定性 （RMS）6) 1% 2%脉冲能量稳定性 （RMS）7) 1% 2%预热时间（冷启动） 30 分钟预热时间（热启动） 3 分钟激光控制接口CAN、USB接口工作电压24V，25A（包括 100...240 V AC， 47...63 Hz 至 24V AC/DC 转换器）平均功耗（预热后）300 W最大额定功率700 W工作温度18 – 30 ℃8)湿度无冷凝运输/储存温度-20 ℃– 70 ℃尺寸：激光头（长 x 宽 x 高）控制单元（长 x 宽 x 高）AC/DC 转换器（长 x 宽 x 高）498 x 248 x 194 mm3449 x 370 x 140 mm3250 x 125 x 60 mm3线缆长度3 ± 0.1 m制冷方式：激光头控制单元 风冷（被动）主动制冷（风扇）（1）Indylit 10 SH型号也有与Indylit 10型号一致参数特性的1030 nm激光输出，输出类型可以通过GUI界面或者CAN指令进行转换（2）请参考典型值的功率、能量与脉冲重复率曲线（3）衰减可以通过几种不通方式控制：a）通过PC用户界面；b）通过CAN寄存器；c）通过模拟信号输入（0-1 V，抬升时间＜1 μs）光束质量特性可被保持至10%的功率水平（4）定义最差椭圆度为光束z轴扫描5LR（5倍瑞利距离）处的椭圆度（5）测量在开始预热30分钟后的8小时。环境温度稳定性在±1℃。（6）测试的积分时间为1s，测试条件与（5）相同。（7）测试在10s 时间间隔内至少有1000个脉冲。（8）更高的操作温度也可以达到，具体请联系厂家。（9）技术受国际专利保护：LT6261 (B) JP6276471 (B2) US10038297 (B2) EP3178137 DK3178137 (T3) CN106575849 (B) PL3178137 (T3) LT6639 (B) LT2020 563. 实测结果 平均功率与脉冲重复频率相关曲线，红色为红外输出，绿色为倍频绿光输出 脉冲能量与脉冲重复频率相关曲线，红色为红外输出，绿色为倍频绿光输出 压缩脉冲的自相关轨迹&最大拉伸至100 μJ的脉冲自相关轨迹 激光光谱 光束质量测量和远场光斑轮廓测量 冷启动后功率稳定性测量

1. 采用进口高功率高稳定紫外皮秒激光器直接烧蚀气化材料，无热影响区，最小4μm加工光斑，亚微米级粗糙度和直线度。2. 通过精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精细加工，加工精度优于±3μm，局部尺寸精度优于2μm。3. 通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工，重复精度高达±1μm。4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构精细加工要求。5. 旁轴高分辨率工业网口相机用于振镜全幅面误差校正，保证系统长期使用稳定性和精度；同时，用于高精度对焦，刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。6. 支持工件高精度定位加工，自带偏移补偿功能。7. 系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。8. 可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料，实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。9. 最小加工线宽5μm，加工范围300*300mm可定制。应用范围：生物芯片制备、半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、精密微型模具成型

Tangor, Amplitude Systems, 飞秒激光器, 超快激光器, 飞秒振荡器, 超快振荡器, 超快飞秒激光器, 超快飞秒振荡器, 高功率, 高平均功率, 高能量, 高脉冲能量, 高频率, 高重复频率,Mango,光参量放大器,光学参量放大器,OPA, 工业设计, 紧凑型, 高可靠性, 高稳定性, 眼科, 微加工, 维纳加工, 微细加工, 精细加工,光谱,太赫兹,THz,拉曼光谱,相干,拉曼散射,振镜扫描,SCANLS-SCAN：高精度、高速度、高加速度扫描振镜LASEA扫描振镜：LS-SCAN— 高速度、高加速度扫描振镜LS-SCAN是LASEA独有的高速度、高加速度扫描振镜，采用专利技术，专业用于激光微纳加工和高精度打标等应用。传统标刻应用需要高扫描速度，同时需要精度在30μm左右，微纳加工需要高扫描速度以防止热量累积，但是精度更为重要，而且，加工图案通常有更多的细节，需要不断的加速。LS-Scan振镜技术，基于平动线圈马达，不同于传统的移动磁铁技术。动圈设计比移动磁铁更轻，且动圈的耗电量比移动磁铁的少5倍，LS-Scan振镜利用此技术大大降低了热漂移，且加速斜坡比传统使用移动磁铁技术的振镜小20%。正是由于这些优异的性能，才可以使用更高的激光功率而不会降低加工精度，同时也大大提高加工效率。LS-Scan镜所有的主要电子控制部件都集成在LASEA的控制机架，进一步增加了LS-Scan的热稳定性。振镜马达很容易地连接到机架上，机架通过以太网接口连接到电脑。所有输入和输出很容易从机架后面板访问。整个过程是由LASEA的KYLA&trade 软件驱动的，这是一个完整的微纳加工软件，能够与多个平台、CCD和激光器通信。每个LS-Scan马达都与可固定在导轨上的控制卡连接，控制卡通过以太网接口连接电脑。工艺过程通过KYLA软件控制，KYLA软件是一个全功能微纳加工软件，可以同时实现振镜、多个平台、影像系统(相机)和激光器之间的通讯。另外，使用标准的XY2-100协议可以兼容外部的控制卡和软件。主要特点：- 高加速度- 高精度- 低热漂移- 可选3D功能- 易于连接的KYLA微纳加工软件- XY2-100协议兼容主要规格振镜尺寸聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在台北市设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 比利时NextScan Technology公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚嵘科技股份有限公司| 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |

超快激光微纳加工平台：LS-LAB— 高集成度、高灵活性、简单易用的微纳加工平台LS-LAB：像其他高端的微纳加工设备一样，LS-Lab这台小型实验室设备，搭配LASEA的光束管理模块，可以实现高精度激光微纳加工。配备纳米定位平台和安全管理柜，LS-Lab是OEM模块和现成的激光微纳加工设备之间的连接。设计用于切割、钻孔(零锥角)、纹理、打标、雕刻或薄膜移除等应用，LS-Lab是对所选光学配置预先安装并校准的系统，可以紧挨着激光器放在光绪桌上。无需其他任何额外装置即可完成微加工应用。不但是集成的微纳加工设备，LS-Lab更具灵活性。即使搭配您自己选择的激光器，LS-Lab也可保证快速实现高品质微加工应用。LS-Lab是Class 4级别激光系统，因此需要防护眼镜及其他适当的防护装置，以确保安全。LS-Lab配备安全开关和传感器指示灯，以显示实际是开还是关，因此可以很容易的集成到Class 1级别的环境。主要特点：- 尺寸小(600×600mm)- 10个高品质光束转折器- 平台分辨率500nm- 平台行程160×160×300mm- 安全控制器- 易于集成- 可搭配LASEA光束管理模块：主要规格可点击图片放大* 另有订制方案，可根据客户需求提供高性价比方案。聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在台北市设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 比利时NextScan Technology公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚嵘科技股份有限公司| 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 实验室级飞秒激光系统 FemtoLABFemtoLAB飞秒激光微加工系统适用于科研机构进行飞秒激光微加工实验。配置纳米精度和分辨率的线性位移台，高性能扫描振镜，通用微加工软件SCA，是一套光学平台上的完整激光实验室。WOP公司实验室级激光微加工系统也可以根据客户的应用定制。WOP具有很强的技术能力和应用经验，通过优化FemtoLAB系统，为客户节省宝贵的实验和培训时间可调参数：●脉宽（200fs-10ps）●重频（1-1000KHz）●平均功率（最高12W）●波长（1030nm，515nm，343nm，258nm）产品特点：●高速精细微加工●高端工业级飞秒激光器PHAROS●加工不同物体精度亚微米量级●飞秒微加工模式具有最小热影响区●物体定位达纳米精度●使用扫描振镜高精度激光束导向●激光参数方便改变●原版软件界面控制所有集成的硬件设备软件控制功能：●XYZ位移台●旋转轴●扫描振镜●激光参数●机器视觉●工作区域平均功率（反馈）●偏振加工便利性：●使用显微镜转台切换波长●使用显微镜转台改变光学部件聚焦●使用共焦自动聚焦系统确定焦点●CCD相机视场自动校正●CCD自动聚焦到样品表面●自动判断样品倾斜●加工过程拍照和录像●加工轨迹和CCD视场重合●实时加工追踪●键盘式操纵杆全部配置包括：●飞秒激光器PHAROS●SHG，THG，FHG和光束传输系统●SHG用于振荡器输出●XYZ位移台系统●扫描振镜系统●4个衰减器用于WAIT PILOT●4个偏振旋转器●自动聚焦和机器视觉单元●SLM或其他光束整形器●转台用于调整谐波镜和聚焦光学部件●系统可以组装在已有的光学平台上，区域1m×2.5m应用举例：光纤钻孔

FemtoMPP 是一款针对多光子聚合 (MPP) 技术进行优化的激光微加工工作站；它是一个位于光学平台上的完整激光实验室——配备高端工业级飞秒激光器、高精度线性定位平台、高性能振镜扫描仪和多功能微加工软件SCA。我们的长期专业知识可以优化 FemtoMPP 工作站，以节省实验时间并促进新用户的培训。对于拥有更多研究人员的实验室来说变得非常重要。FemtoMPP 的灵活性使我们能够在出现新需求时扩展和升级系统，FemtoMPP 是需要针对各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心的完美选择。主要特点制造具有亚微米分辨率的复杂物体。高速超高精度微加工。高效的光束传输和功率控制。高端工业级飞秒激光器。高性能振镜扫描仪。物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。独特的软件界面控制所有硬件单元。原理配置激光源样品定位系统光束传输和扫描单元激光功率和偏振控制系统控制软件（根据要求提供自动对焦和机器视觉）样品架和特殊机械装置（根据要求实现样品处理自动化）光学平台外壳（全部或部分）除尘装置激光系统通过 SCA 微加工软件实现自动化。该软件是激光系统的重要组成部分，不单独出售。配置标准先进的风俗激光微加工技术添加剂添加剂客户的选择激光单波长或双波长近红外、绿光、紫外客户的选择最小 XY 特征尺寸300纳米150 nm（典型200 nm）可用 STED 选项最佳 XY 分辨率700纳米300纳米依赖于解决方案最佳垂直分辨率1.5微米0.5微米层距0.5-1微米0.05 – 3 微米最大物体高度1毫米10毫米构建体积10x10x0.5 毫米60x60x10 毫米最大工作范围60x60x5100x100x35客户的选择最小表面粗糙度，Ra50纳米30纳米依赖于解决方案扫描速度0.1-1 毫米/秒0.1-100 毫米/秒自动对焦 –包括客户的选择功率控制集成外部控制集成外部控制集成外部控制振动控制被动的防震隔离客户的选择

WOP Transparent MaterialCutting ModuleWOP 开发的独特激光技术，用于工业玻璃、蓝宝石和其他脆性材料切割 光子学系统；它基于 WOP 特有技术，以超高精度和高质量结果脱颖而出，优于其他玻璃切割方法。脆性材料工业用途的需求持续增长，对精密激光切割提出了新的挑战和要求。此模块可以在钢化玻璃、非钢化玻璃、蓝宝石和其他脆性材料上提供超高的精度和质量。此外，小特征尺寸和高纵横比是其他技术技术无法实现的。主要特征加工速度高达 800 mm/s超薄（30 μm 至 3 mm）玻璃和蓝宝石切割钢化、非钢化玻璃、蓝宝石等脆性材料切割不规则形状内、外轮廓非钢化玻璃易碎，钢化玻璃自碎。高弯曲强度低碎裂 10 µ m断裂后侧壁光滑，Ra 1 µ m WOP 飞秒划切优于其他划切的方法对比表：最右侧为WOP的飞秒模块加工特征刀刃隐形激光激光烧蚀WOP模块玻璃厚度2 – 19 毫米200 微米 – 10 毫米30 微米 – 2 毫米30 微米 – 3 毫米玻璃型所有类型非回火蓝宝石所有类型回火非回火蓝宝石切削速度高达 100 毫米/秒高达 300 毫米/秒高达 10 毫米/秒高达 800 毫米/秒可能的形状仅直线切割T 形和圆形均可任何形状任何形状都可以表面碎裂 200 微米 50 微米 50 微米 10 微米切割面粗糙度 50 微米 15 微米 50 微米 1 微米水（冷却/清洁）是不是的不碎片是不是的不对设备的热效应是不是的不

FemtOgene是一套采用小于20飞秒超短脉冲激光进行靶定向基因转染的显微操作处理系统。它可以进行： 激光诱导细胞膜瞬态改变(1) 激光诱导细胞膜瞬态改变(2)l 基因治疗l 干细胞操作l 光学纳米巨细胞注射l 细胞器光学击出l 细胞内染色体分离l 高分辨率成像产品概述：FemtOgene 是一套超紧凑型扫描非线性显微镜。采用检流计式振镜进行光束扫描并配备大数值孔径物镜(40x/1.3)构成的聚焦光学元件。在亚飞升（1x10-15升）焦点体积内产生的多光子效应在细胞膜中诱导产生瞬态纳米孔洞。通过这个孔洞可以将DNA，RNA和蛋白质等巨细胞通过光学纳米注射方法注入到细胞膜中。 飞秒激光脉冲分离染色体 激光诱导细胞膜瞬态改变(3)无损轻柔地形成纳米孔洞不会对细胞产生附加的破坏，有效避免细胞死亡并能促进快速自修复过程。从而靶定向转染操作能够高效地进行。FemtOgene 基于一套亚20飞秒脉宽近红外激光显微镜构成并带有高阶色散补偿装置。创新独特的色散补偿技术解决了基于棱镜技术的飞秒激光器所观察到的光束起伏现象。纳米操作过程通过两种曝光模式进行：(a) 扫描某个感兴趣的区域(ROI) 以及(b) 单点照明。剥蚀，钻孔和切割的精度可以达到亚微米量级。 靶定向转染和光学纳米注射的激光曝光时间在毫秒量级，平均功率10 mW，重复频率85MHz。 人类染色体的纳米加工 靶定向转染。亚20飞秒激光光穿孔应用领域：纳焦亚20 fs 85兆赫兹重复频率激光脉冲可以用于进行靶定向转染，光学巨细胞纳米注射以及光学细胞内细胞器撞出。 人们的最主要的兴趣在于干细胞转染。干细胞将对当前的医学治疗例如基因治疗和组织工程产生根本性的影响。经过基因修整的干细胞可以用来产生免疫系统的调节蛋白。FemtOgene已经用于有效地进行人类唾腺，胰腺干细胞靶定向转染。技术数据：配备色散补偿装置的紧凑型即开即用封离式短脉冲飞秒激光器激光脉冲宽度： 150fs重复频率：85MHz激光平均输出功率：200mW/400mW波长：800±10nm全幅扫描，局部感兴趣区域（ROI）扫描, 线扫描，单点照明（点扫描，钻孔）典型光束扫描区间：350x350μm (水平)200μm（垂直）平台位移行程：120x102mm聚焦光学元件：放大率40倍数值孔径（NA）1.3CCD相机数字成像视频监视接口运行环境温度：15-35摄氏度相对湿度：5-80%电源功率需求：交流230V（50赫兹）系统尺寸基座490x280x480mm3扫描头：280x190x90mm3控制组件：450x300x130mm3飞秒激光器：507x280x81mm3(激光头)483x280x88mm3（用户控制器）175x104x102mm3（色散控制模块）人类干细胞靶定向转染。亚20飞秒激光光穿孔并扩散注入GFP质粒到细胞质中1-2天后出现绿色荧光所有参数可能会有所变动恕不提前通知

宽带飞秒光纤激光器SCH——多色双光子显微专用昊量光电新推出宽带飞秒光纤激光器SCH，是一种用于多色双光子显微镜的新型光纤激光器。基于独有的技术，宽带飞秒光纤激光器SCH能够同时激发蕞大种类的荧光探针，并提供优异的图像亮度，一种性价比高，免维护的飞秒激光光源。宽带飞秒光纤激光器SCH提供了非常宽的光谱带宽，在近红外光谱中扩展到900-1200nm光谱。 这与大多数绿色和红移荧光标记的双光子激发光谱重叠，包括eGFP、mRFP和dred。 这大大超过了传统飞秒激光器(包括宽调谐激光器和单线飞秒光纤激光器)可以同时激发的荧光标记的范围。宽带飞秒光纤激光器SCH提供了一种高度灵活的解决方案，增强了可以在样品上同时成像的特性，这对体内和体外显微镜特别重要。利用宽带飞秒光纤激光器SCH激光激发的花粉自荧光成像显示花粉粒在不同光谱通道同时激发，图像质量良好。不仅光谱更宽，而且宽带飞秒光纤激光器SCH还提供更短的脉冲。 结合一个专用的色散预补偿器，实现到达显微镜样品平面的脉宽达15-20fs量级。 这实现了一个非凡的峰值功率和样品平面上无与伦比的光子通量，达到了传统100-200fs飞秒激光的光子通量的7倍以上。更大的光子通量与卓越的宽带飞秒光纤激光器SCH峰值功率相关，使得每个区域和时间内到达样品的光子数量增加。 与传统的固定波长或宽调谐激光器相比，这将双光子激发效率提高了49倍。当使用荧光标签DsRED，能实现超过50%的效率。 宽带飞秒光纤激光器SCH的红移近红外波长与更高的激发效率相结合，可以获得更好的图像亮度和更深的穿透性。 宽带飞秒光纤激光器SCH激发一个200微米深的斑马鱼样本图像如下。 宽带飞秒光纤激光器SCH的宽谱带不仅可以激发大范围的探针，而且允许900-1200 nm范围内单次扫描进行多色激发，使不同探针的同时激发成为可能。 这消除了与宽调谐激光器相关的显微镜对准问题。 小鼠肠道和铃兰的图像说明了当用宽带飞秒光纤激光器SCH激光的宽带宽照射这些样品时，可以实现的卓越的图像质量。宽带飞秒光纤激光器SCH在900-1200nm光谱范围内提供200nm的带宽，脉冲为15fs，重复频率为75MHz，增强了双光子激发，并能够单独或同时激发丰富的荧光探针。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

1.采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级加工孔径，μm级热影响区；2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现高速小幅面精密微孔加工；3.通过微米级高速直线电机平台平移实现高速高精度大幅面微孔加工；4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足特定锥度孔加工要求；5.旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正、超高精度的对焦、以及在线测量，保证系统长期使用稳定性和精度；6.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度；7.最小加工微孔孔径5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm；8.用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密微加工，如微孔加工、精密切割。激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等，具有以下优点：高速（最高每秒4000孔）高精度（＜3μm）无材料限制（金属、陶瓷、硅片、有机物等等）孔型可编程（最小5μm、特定锥度孔）分布可定制（加工幅面300mm*300mm)，无需模具和掩膜无污染无耗材直接加工成型

1. 根据材料和加工要求，设计激光系统，综合考虑孔径、速度、稳定性、价格多方面因素，最小孔径可达5微米2. 多套激光系统并行加工，拓宽加工幅面（可达2m)，提升微孔加工速度3. 超高速激光扫描头，步进1mm可达10kHz频率，极大的提升打孔速度4. 步进收放卷，可增加纠偏功能，满足苛刻的微孔加工要求5. 免维护，满足工业7/24小时连续运行

产品名称： PolarOnyx-激光微加工系统-FemtoWriter产品型号： FemtoWriter产品介绍： PolarOnyx FemtoWriter 激光微机械加工系统是灵活性高的单一激光微机械加工平台。该系统配备高功率、高能量飞秒光纤激光器，能够高精度加工各种材料。软件提供友好的用户界面，可直观地访问所有系统功能，包括激光器、运动平台、扫描仪、控制电子设备和机器视觉。它可广泛应用于不同行业，如消费电子、半导体、设备制造和航空航天。性能特点： 可进行切割、钻孔、焊接、打标、表面纹理加工和体积内打标从硬到软的所有类型材料高精度（从微米到mm）超 高质量（无热影响区）单步工艺，无需后处理图案设计高度灵活 技术参数： 产地：美国激光：高能飞秒光纤激光器 轴行程（X/Y/Z）：300 x 300 x 150 mmMax加速度：3 g位置精度：± 1.5 µ m重复精度（双向）：± 0.75 µ m轴速度：高达 300 mm/s测速仪：2 轴，速度高达 2 m/s扫描区域：~40 x 40 mmMin焊接线宽：10 µ mMin切割/钻孔线宽：2 µ m样品厚度：100-1000 µ m控制软件：PolarOnyx 开发功耗：3000 W，110 VAC系统重量：~1000 kg系统尺寸：~1500 x 1200 x 2000 mm（长x宽x高）防护等级：I 级产品应用： 消费电子、半导体、设备制造和航空航天

gecco系列免维护飞秒激光振荡器是一款全密封的，紧凑型飞秒振荡器，平均输出功率可达600mW，脉宽15fs和20fs可选，重频84MHz或者100MHz。gecco系列免维护飞秒激光振荡器应用： ? 放大器种子? 超快光谱? THz光谱及成像? 双光子聚合? 材料加工? 非线性显微成像? CARSgecco系列免维护飞秒激光振荡器性能参数gecco onegecco ultra谱宽（FWHM）45nm50nm脉宽20fs15fs平均功率600mW中心波长800±20nm重复频率84MHz或者100MHz可选脉冲能量7.0nJ@84kHz，6.0nJ@100MHz光斑直径（FWHM）1.2±0.2mm@25°C空间模式TEM00发散角2mrad功率稳定性0.2%RMS偏振100:1 Horizontal预热时间20分钟操作温度21±5°C

飞秒脉冲压缩器飞秒脉冲压缩器通过光谱展宽和时间压缩两步简单过程实现对激光脉宽的压缩，从而得到稳定性强的频谱。脉宽压缩器可缩短任何工业激光器的脉冲，与不同的工业激光系统兼容。 飞秒脉冲压缩器简介：单级多通光谱展宽和压缩单元与任何重复率和脉冲激光系统兼容，稳定的 24/7 运行，与现有激光系统的简单集成，无有源光学元件，没有机械运动部件，无需维护，可在恶劣的环境中运行（例如灰尘或振动）。 飞秒脉冲压缩器主要应用：超快泵浦探测光谱 高次谐波和 XUV 生成 阿秒脉冲产生电光采样 超宽带红外辐射产生 非线性显微镜三光子显微镜 汽车显微镜 双光子显微镜二次谐波产生 (SHG) 显微镜 表面微纳米结构激光光刻 玻璃加工 多光子聚合 飞秒脉冲压缩器型号分类：一、飞秒脉冲压缩器单级单元 MIKS1_S 飞秒脉冲压缩器单级单元 MIKS1_S特点：高达 10 倍的短脉冲 (45 fs)从 1 μJ 到 100 μJ 输入能量平均功率超过 100 W超过 90% 的传输占地面积小：36 x 22 cm2可调光束高度：90 mm二、飞秒脉冲压缩器单级单元MIKS1_M 飞秒脉冲压缩器单级单元MIKS1_M特点：高达 10 倍的短脉冲 (45 fs)从 100 μJ 到 300 μJ 输入能量平均功率超过 100 W超过 90% 的传输占地面积小：36 x 27 cm2可调光束高度：90 mm三、飞秒脉冲压缩器单级单元MIKS1_L 飞秒脉冲压缩器单级单元MIKS1_L特点：高达 10 倍的短脉冲 (45 fs)从 300 μJ 到 1 mJ 输入能量平均功率超过 100 W超过 90% 的传输占地面积小：90 x 20 cm2可调光束高度：115 mm四、飞秒脉冲压缩器双级单元 MIKS12 飞秒脉冲压缩器双级单元 MIKS12特点：高达 30 倍的短脉冲 (15 fs)从 50 到 300 μJ 输入能量平均功率超过 100 W超过 90% 的传输占地面积小：76 x 39 cm2可调光束高度：105 mm 关于昊量光电：昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务，助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询，我们将竭诚为您服务。

Tangor, Amplitude Systems, 飞秒激光器, 超快激光器, 飞秒振荡器, 超快振荡器, 超快飞秒激光器, 超快飞秒振荡器, 高功率, 高平均功率, 高能量, 高脉冲能量, 高频率, 高重复频率,Mango,光参量放大器,光学参量放大器,OPA, 工业设计, 紧凑型, 高可靠性, 高稳定性, 眼科, 微加工, 维纳加工, 微细加工, 精细加工,光谱,太赫兹,THz,拉曼光谱,相干,拉曼散射,振镜扫描,SCANNER,LS-SCAN,LS-PRECESSLS-PRECESS：高精度、高速度无锥角钻孔和切割旋切头LASEA光束旋进模块：LS-PRECESS可控制锥角的钻孔和切割模块LS-PRECESS是LASEA独有的高精度激光光束旋进模块，实现可控制锥角的钻孔和切割。超短激光加工常导致圆锥沟槽的形成。高斯光束不能避免这几度的锥度，即使在高能量的情况下。LS-Precess是一个可以实现光束高速特殊运动的模块。在焦点周围，这个经过设定的光束以不同的角度击中表面，能够切割沟槽的两侧。搭配气体喷嘴和移动平台，LS-Precess非常适合进行钻孔和切割，同时可以搭配LS-SCAN扫描振镜使用，跟传统扫描振镜一样简单易用。不需要学习新的软件，也不用对复杂的螺旋轨迹进行编程。LS-Precess可以看作是一个可调光束整形系统，设置简单，使用过程中不会发生变化。作为LASEA公司的专利技术，LS-Precess是唯一一个可以搭配振镜和F-Theta镜头实现大面积(25×25mm)无锥角加工的旋切头。也是唯一一个可以搭配偏振分束器的旋切头，在LS-Precess之后进行分束，实现多个振镜的平行加工。LS-Precess通过网线直接与电脑相连，可以通过ASCII命令和LASEA的KYLA™ 软件进行控制。KYLA™ 软件是一个全功能微加工软件，可以实现振镜、多个平台、相机和激光器的通讯。主要特点- 适用于双波长：515+1030nm- 343nm波长可选- 沿加工位置高速旋转- 旁通功能- 简单易用- 最小切口尺寸35μm主要规格左图：荧光液中显示的旋进光束的真实图像；右图：通过LS-Shape, LS-Precess, LS-Scan和5W飞秒激光器切割的500μm厚的黄铜和700μm厚的蓝宝石旋切头搭配振镜过程示意视频聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在台北市设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 比利时NextScan Technology公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚嵘科技股份有限公司| 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |