高集成零像差仪

p　　继a href="http://www.instrument.com.cn/zt/tushitiao" target="_blank" title=""strong“/strongstrong土十条”/strong/a后，《全国土壤污染状况详查总体方案》经国务院批准，已于2016年12月27日联合印发，这标志span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong计划投资数十亿元全国土壤污染情况的详查正式启动/strong/span。 strong“土壤详查”/strong工作的启动，势必会使土壤样品增多，对实验室的能力、实验人员的专业技能都提出了更高的要求。同时也将为a href="http://www.instrument.com.cn/list/sort/002.shtml" target="_blank" title=""光谱/a、a href="http://www.instrument.com.cn/list/sort/001.shtml" target="_blank" title=""色谱/a、a href="http://www.instrument.com.cn/list/sort/004.shtml" target="_blank" title=""质谱/a、a href="http://www.instrument.com.cn/list/main/03.shtml" target="_blank" title=""样品前处理/a等仪器设备的采购及a href="http://www.instrument.com.cn/application/industry-S02.html" target="_blank" title=""土壤/a检测行业带来巨大的市场前景。a href="http://www.instrument.com.cn/news/20161229/210106.shtml" target="_blank" title="" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "《环保部公布全国土壤详查实验室要求(附仪器列表)》/span/aa href="http://www.instrument.com.cn/news/20161229/210106.shtml" target="_blank" title="" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "http://www.instrument.com.cn/news/20161229/210106.shtml/span/a/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/b04ff5fc-ecc2-4a69-85ee-af34db1b14f1.jpg" title="固体废弃物_副本11111.jpg"//pp　　鉴于strong“土壤详查”/strong的发展态势及市场前景，strong仪器信息网/strong特别开设strong“土壤详查”/strong盘点专题，集中展示“土壤详查”涉及的产品、技术、a href="http://www.instrument.com.cn/application/" target="_blank" title=""解决方案/a，以及政策、市场等多方面的信息。/pp　　在专题中，特别开辟strong《主流厂商和产品》/strong及strong《典型解决方案》/strong等模块，希望以图文并茂的形式进行展示，现在特别向各大仪器厂商征集相关内容，span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong内容可从以下几点出发，但不局限：/strong/span/pp　　strong1、贵公司在“土壤详查”或“土壤检测”中提供的仪器产品有哪些?/strong/ppstrong　　2、贵公司在“土壤详查”或“土壤检测”方面提供的解决方案/应用方法有哪些?/strong/ppstrong　　3、贵公司在“土壤详查”或“土壤检测”方面有哪些具体的计划和新的服务?/strong/ppstrong　　4、贵公司对“土壤详查”或“土壤检测”的市场前景有哪些独特的见解?预测哪类仪器将会有爆发性的增长?/strong/pp　　strong5、从整个土壤检测行业来看，目前还存在哪些问题?同时有哪些问题亟待解决?/strong/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/6ebf7b8b-c85b-48ac-a8d1-77fa4ecf9174.jpg" title="timg_副本.jpg"//pp　　strong文章投递方式(征文指定邮箱)/strong/pp　　span style="text-decoration: underline color: rgb(0, 112, 192) "strong请将电子稿件用E-mail附件的形式传至：zhangwei@instrument.com.cn/strong/span/pp　　需注明strong“土壤祥查或土壤检测征文”字样/strong，并提供联系人的详细通信地址、电话和E-mail地址。/pp　　如有相关问题，请联系张女士，电话：010-51654077-8066；手机：15210061289。/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong附征文撰写建议：/strong/span/pp style="line-height: 16px "img src="/admincms/ueditor1/dialogs/attachment/fileTypeImages/icon_doc.gif"/a href="http://img1.17img.cn/17img/files/201705/ueattachment/6f76df77-1bb7-4700-885a-58791009a441.doc"“土壤详查”解决方案征稿撰写建议.doc/a/pp style="line-height: 16px "br//p

仪器信息网获悉，2月19日，由北京亦盛精密半导体有限公司建设的集成电路核心零部件及耗材制造基地项目进行环评公示，资料显示项目位于北京经济技术开发区，预计投产时间为2022年11月。项目所在地（图源 集成电路核心零部件及耗材制造基地项目环境影响报告表）据了解，北京亦盛精密半导体有限公司成立于2015年，注册资本10000万元，位于北京经济技术开发区，是一家高新技术企业，主营业务为硅环、硅电极加工、销售。公司目前具备加工制造刻蚀机使用的单晶硅环、多晶硅环、硅电极等零件的能力，已具备硅环加工、硅电极加工、硅材料清洗及镜面抛光的核心技术工艺。产品主要应用于14nm及以上Logic芯片（可应用于服务器、电脑、手机产品和新兴 AI 及 5G 等行业）和3D NAND、NorFlash存储芯片工艺干法刻蚀制程当中，主要产品单晶硅上电极是蚀刻腔体的重要组成部分，也是晶圆刻蚀工艺中使用的关键气体分配部件，其制造质量和精度直接影响芯片的质量和成品率。公示信息显示，该项目面向全球半导体装备及晶圆制造商，针对关键零部件国产化的需求。依托中芯国际创新中心，建立与中芯国际等国内一流的Fab厂紧密合作，开展核心零部件研发。打造具有国际竞争力的半导体装备零部件产业，实现零部件与装备、Fab 零距离接触的合作模式，建立完整的供应链体系，形成最紧密的协同智能制造新模式，提升全产业链的整体竞争能力。该项目基于企业承担国家02专项已有的核心技术成果，针对集成电路装备零部件国产化需求，新建自动化精密清洗线、高洁净度循环清洗线以及检验中心和仓储中心，并搭建智能信息化管理平台，建成国内一流的半导体装备零部件全工艺智能制造生产基地。本项目建成后，将实现硅、碳化硅和石英等核心零部件规模化制造，预计达产年可生产刻蚀环80000片（包括：硅环、石英环、SiC 环等），电极4000片（包括：硅电极、石英电极、SiC 电极等），达产年可实现新增销售收入4.5亿元。同时，项目建成的高洁净度循环清洗线可承接 3000 件 PVD/CVD 设备器件的清洗。 项目总投资 30000 万元，占地面积 14671.1m2，总建筑面积 19314.23m2。以下为该项目仪器设备清单序号名称规格型号数量（台、套）1加工中心VF-2SSYT；外形尺寸：3053×1884×2900（高）52加工中心VF-4SS；外形尺寸：3077×1900×3000（高）503数控车床SL-30；外形尺寸：3077×1900×3000（高）104精雕机JDHGT600_A10SH155线切割NG63106高洁净度循环清洗线107自动化精密清洗线48六站式超声波清洗机QT-AC0609549两站式超声波清洗机OC2-2830610双槽超声波清洗机QT-MC02097611污水处理设备40m3/h112环保在线监测系统113纯水设备20m3/h214大理石平台1200×800×300215矫正台1200×800×2016空压机110kW317卧式喷砂机1m1018湿式喷砂机1m419电弧喷涂ARC SPRAY220集尘塔121双面研磨机22B-5L-Ⅱ（3M)622双面抛光机ED22B-5P623超声波单槽清洗机6NT-1830-30624打标机TH-CO2LMS30625烘箱1000×1500×8001626高温烘箱627真空包装机1228叉车329检验型三坐标测量机330OGP外形尺寸：1000×1200×1500（高)431轮廓仪外形尺寸：500×800×500（高)532原子吸收光谱nov AA 350133高压测试仪Vitrek 955i134多参数比色仪DR1900135电子天平BSA124S336便携式离子计PXB-286137超声波强度测试仪PB-500238手提式电导率仪SC-110/8-243239手提式 pH测定仪TS-1240实体显微镜141测试检测平台342压力试验仪443仓储设备144ERP 系统145MES 系统146其他软件147服务器6附件：建设项目环境影响报告表.pdf

p style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "【简介】/span/strong/spanbr//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/efc046ba-50b1-4340-87d3-9ae63656c042.jpg" title="Harald Rose.jpg" alt="Harald Rose.jpg"//span/strong/span/pp style="text-align: center "strongHarald Rose/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Harald Rose是德国物理学家。他在达姆施塔特大学学习，并获得了博士学位，在Otto Scherzer的指导下从事理论电子光学工作，在1930年代做了一些电子显微镜的开创性工作。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Harald Rose的研究生涯与达姆施塔特大学和他在美国的任命有着密切的联系。在达姆施塔特大学，从1980年到2000年退休，一直担任教授。在1970年代初期，他在STEM的发明者Albert Crewe的实验室里工作过一段时间。自1970年代后期以来，他在美国各机构担任过多个职位，包括芝加哥的阿贡国家实验室。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "他的研究主要集中在电子透镜的像差校正。在1990年，他设计了一种可行的透镜系统来提高TEM分辨率。然后，他与Maximilian Haider和Knut Urban合作，于1998年，以实验方式实现了他的建议。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "自2009年以来，Harald Rose一直担任乌尔姆大学的蔡司高级教授。他获得了多个著名的奖项，包括与Haider和Urban一起获得沃尔夫物理学奖和BBVA基础科学知识前沿奖，以及与Maximilian Haider、Knut Urban、Ondrej L. Krivanek一起获得2020年度科维理奖（Kavli Prize）。他还是英国皇家显微镜学会的荣誉院士。/pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "【自传】/span/strong/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "/span/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1935年2月14日，我在不来梅出生，是父母Anna-Luise和Hermann Rose的第二个孩子。我的父母在数学上都很有天赋。父亲出生在一个奏乐世家，他本人擅长弹奏钢琴。由于20世纪20年代初的恶性通货膨胀，祖父破产，父亲被迫经商。父亲在商业上非常成功，在1937年成为黑森州著名公司Kaffee-Hag的销售代表。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 322px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/416726c6-966b-4f3b-b7dd-1d5755b7ee9a.jpg" title="图片1.png" alt="图片1.png" width="450" height="322" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong5岁的我（右）、母亲Anna-Luise和7岁的哥哥。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1937年，我们搬到了达姆施塔特，在那里，父亲在一个名为Mathildenhohe的高档社区里建造了一栋非常漂亮的房子，这是德国新艺术(Art Nouveau)的聚焦点。1939年，我们搬进了这栋房子。span style="text-indent: 2em "一年后，希特勒发动了第二次世界大战，我父亲应征加入了德国军队。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "到1944年止，我只见父亲几次，最后一次有父亲的消息是1944年2月，也就是我9岁生日那天，父亲被报道在东线的行动中失踪，我们再也没有见过他。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "1944年9月11日，由于皇家空军袭击，我们的房屋被摧毁，12,000名平民也因此丧生。幸运的是，母亲和哥哥幸存下来了，并搬到了乡下的一个小村庄。1945年3月，美国士兵抵达这里时，对我们来说，战争结束了。/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "/span/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "同年年底，我通过了达姆施塔特实科中学的入学考试，母亲在税务局找到了一份工作。由于没有住房，我们不得不搬到房子废墟里潮湿的地下室。每当下雨天，水从楼板上滴下来，母亲就将床移到干的地方。此外，食物很难买到，在二战结束和1948年5月德国货币改革期间，我们经常饿肚子。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "母亲不得不同时工作和照顾两个孩子，因此没有时间帮助我们完成学校作业。幸运的是，和德国其他大多数州一样，母亲不必支付黑森州文理高中（Gymnasium）的费用。在文理高中期间，我对数学越来越感兴趣。因为没钱买昂贵的数学书，所以我经常去达姆施塔特黑森州立图书馆（Hessische Landesbibliothek），该图书馆在指定时间内免费向学生提供科学书籍，学习书籍可以帮助我轻松地理解学校的数学知识。结果，我在学校几乎没有做过任何数学题，但在考试成绩中始终是最好的。1955年初，我以优异的成绩通过了自然科学的期末考试（Abitur）。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "因为成绩优秀，我被录取到达姆斯达特工业大学（现为Technical University Darmstadt）学习。 当时，由于大多数房屋物尚未修复，因此严格限制出入（numerus clausus）。 span style="text-indent: 2em "那时候，由于母亲不得不从银行借钱来重建我们的房屋，家里的财务状况仍然很危急。因为在黑森州读州立大学是免费的，所以我能够上得起大学。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "我想报读电气工程课程，但由于电学的基础知识很少被提及，该课程没有达到我的期望。因为对电动力学的基础更感兴趣，所以我决定遵从自己的喜好，在学期结束的时候转到了物理和数学课。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "当时，祖父和母亲对我的决定很不满意。课程的变化对我来说并不容易，因为我错过了第一学期的物理和数学课程，这两门课程一般在4月份开始。为了赶上进度，我学习了大学理论物理学教授Otto Scherzer的力学讲义课程。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "Otto Scherzer是20世纪上半叶最著名的理论物理学家之一Sommerfeld的学生和助手。和他的老师Sommerfeld一样，Scherzer在微积分领域也很出色，并且对物理现象的本质有着深入的了解。在量子力学课程中，他通过将数学的形式主义与对原子世界神秘本质的物理解释相结合，展示出了卓越的教学技巧。由于我正确解答了所有的习题，Scherzer给我提供了一个带薪职位，即作为理论物理习题助手。我非常高兴，因为这给我带来了足够的经济支持来养活自己，而不必在假期从事建筑工作。此外，我可以免费住在母亲的房子里，那里距离学校步行只有几步路。/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="text-indent: 2em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 340px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/6379f81a-a42e-40a5-b9c5-52e65e4615a4.jpg" title="图片2.png" alt="图片2.png" width="450" height="340" border="0" vspace="0"//span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong我于1997年在达姆施塔特工业大学应用物理研究所的研讨室中介绍六极校正器的功能。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我很钦佩Scherzer作为老师具有的杰出能力。因此，由于已经加入Scherzer的研究所，我决定在他的指导下完成Diplom论文，课题是找出通过利用电子显微镜不同的角度散射行为来检测不同原子的可能性。结果表明，由于当时的仪器技术水平不足，无法实现这一概念。尽管这令人沮丧，但量子力学散射的深入研究为我以后的电子显微镜成像工作奠定了基础。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1961年初，我获得了学士学位。那时，大多数学生和科学家都渴望在科学的中心，即美国的一个科学研究机构待上一段时间。因此，我很高兴收到了正在Scherzer研究所休假的Fischer博士的录用通知，在马萨诸塞州贝德福德的空军剑桥研究所担任为期一年的研究顾问。我的研究重点是极短光脉冲半导体光电探测器。虽然这个课题很有实际意义，但并不符合我的兴趣。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1962年回到达姆施塔特，我很高兴Scherzer同意我再次加入他的研究所攻读博士学位。按照Scherzer的建议，我在自己的论文中详细研究了非旋转对称电光系统的成像特性。目的是研制能够以另一种方式实现补偿球面像差的可行系统，就像在Scherzer-Seeliger校正器中实现的那样，并研制针对圆形透镜不可避免的球面和色差进行校正的系统。这个性质被称为Scherzer定理，它阻碍了电子显微镜在低于原子位移阈值的电压下工作时的原子分辨。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Scherzer用非相对论近似推导了这个结果，我花了一些时间证明它在相对论下仍然有效。此外，我还证明了在任何光轴为直线的磁性系统中，色差校正是无法补偿的，但附加的电四极子是必不可少的。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "尽管Gottfried Mollenstedt在一个独创性的实验中表明，Scherzer-Seeleger校正器可以补偿球差，但这种校正并没有提高电子显微镜的分辨率，因为它受到了机械和电磁不稳定性的限制，而不是透镜光学缺陷的限制。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "为了能真正的改进，我计算了稳定性标准，必须满足此标准才能使像差校正提高分辨率。如今，不稳定性的影响在对比传递理论中被称为信息极限。计算表明，校正元件的数量必须尽可能少，并且必须机械固定，以最大程度地减少由不稳定性引起的非相干像差。我设计了一个电磁多极校正器，该校正器由四个电磁八极元件组成，每个元件都可以激发四极和八极场以及偶极和六极场的磁场以补偿寄生对准像差，从而避免了机械运动。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "获得博士学位后，Scherzer为我提供了一份薪酬丰厚的助理职位，为德语国家教授资格考试工作，这需要获得“venia legendi”，即在大学任教和成为教授的资格。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在我题为“球面校正消色差透镜的性能”的“取得在大学授课资格的论文（habilitsschrift）”中，我论述了当时所有已知的校正器都有巨大的离轴昏迷，从而过度地减小了视野范围。因此，这些校正器不适用于常规透射电子显微镜（TEM）。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "为了补偿球差和色差和轴外彗差，并尽可能减少元素数量，我设计了一种利用对称特性的新型五元素校正器。后来证明，在设计高性能的滤光器、单色仪、镜面电子显微镜中的光束分离器以及六极校正器时，引入对称特性是关键。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "校正器是在1972年至1982年由德国研究基金会（DFG）资助的达姆施塔特项目框架内在Scherzer研究所成功制造和测试的。实验表明，该校正器引入了过大的五阶像差。为了充分减少这种像差，于1980年加入我团队的Max Haider用十二极杆元件替代了校正器的中央八极杆元件，该元件是在他的“毕业论文（Diplomarbeit）”中研制的。但是，由于没有计算机控制，他无法在短于光学系统稳定持续的时间内校准系统。结果就是显微镜的分辨率没有得到提高，尽管该项目在1982年Scherzer去世后结束并取得了成功。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 313px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/425afc87-d62b-403e-82d4-661f1809265b.jpg" title="图片3.png" alt="图片3.png" width="450" height="313" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong1998年，我在测试SMART项目的镜像校正器。/strongbr//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在通过教授资格考试一年后，我于1970年被任命为达姆施塔特工业大学（TU）理论物理学的二级教授。1972年，Albert Crewe邀请我到芝加哥大学（University of Chicago）他的小组里待了一年。在此期间，我设计了一个新的探测器，可以在扫描透射电子显微镜（STEM）中实现高效相衬。而且，我计算了由非弹性散射电子形成图像中的非局部性。结果由Mike Isaacson和John Langmore在Crewe实验室使用STEM进行了证实。之后的20年里，我一直致力于解决与非弹性散射有关的相位问题，并与Helmut Kohl合作，他在其博士学位论文中对图像形成进行了深入的量子力学描述。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1976年初，我离开达姆施塔特移居美国，被任命为纽约州奥尔巴尼市卫生局首席研究科学家以及纽约州特洛伊市RPI物理系的兼职教授。在奥尔巴尼期间，我遇到了辐射损伤问题，这限制了生物样品的电子显微镜图像的分辨率。为了尽可能的降低这种不良影响，电子显微镜小组的主要任务之一就是找到在可耐受电子剂量下提供有关样品最大信息的方法。一种可能性是，许多相同粒子（如核糖体）的低剂量图像的相关性。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "比我早几个月加入该小组的Joachim Fran研究了该方法很多年。他的成功的开创性工作于2017年获得了诺贝尔化学奖。我研究的是寻找方法提高仪器的光学性能，可以让所有散射电子都被利用。在该项目中，我设计了几种新的电子光学元件，如磁单色仪、象限STEM探测器和像差校正的Ω成像滤镜，它们由柏林的Dieter Krahl制造并成功测试，后来被纳入蔡司的TEM中。此外，我提出了STEM中的集成差分相衬成像技术，该技术已在几年前由FEI在商用仪器中实现。我们和同事Jü rgen Fertig首次研究了聚合电子波在STEM中通过厚晶物体的传播，结果表明，如果入射波的锥角超过布拉格角，相邻原子柱之间会发生强串扰。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1980年，我回到达姆施塔特大学，成为应用物理研究所的全职教授，长期从事像差校正的研究。直到1986年，我每年都要回到奥尔巴尼几个月，以保持与奥尔巴尼的联系。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "回到达姆施塔特后不久，我在1980年夏季发现了一种出乎意料的简单校正器，可用于消除采用对称条件的电子透镜的球差，这是我在达姆施塔特四极八极杆校正器中使用的。众所周知，六极除了有三倍像差外，还有一个小的球差，其符号与圆形电子透镜的相反。因此，如果有可能以某种方式消除大的寄生三倍像差，则该系统可以用作校正器。计算表明，如果系统对近轴射线表现出双重对称性而不受六极场的影响，这确实是可能的。这种最简单的设置可以用作STEM的校正器，它由被两个六极杆包围的两个相同的圆形透镜组成。但是，没有足够的资金来实现这种校正器，因为那时所有高分辨率电子显微镜的分辨率都受到不稳定性的限制，而不是受到透镜缺陷的限制。到1980年代末，仪器的稳定性已不再是阻碍原子分辨的主要限制因素。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1989年，通过在物镜和六极校正器之间增加另一个圆透镜二倍体，我发现了一个类似光学平面系统，该系统没有球差和离轴彗差。根据这一特性，校正器可以在稳定的TEM中实现大视野的原子成像。由于电子-光学平面的高对称性和简单性，我请教了Max Haider对利用这种新型校正器成功实现像差校正的看法。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当时，Max正在海德堡的欧洲分子生物学实验室开发和试验用于低压扫描电子显微镜的四极八极校正器的性能，因此，他可以对我观点的可行性做出最好的判断。令我惊讶的是，Max从一开始就坚信校正器可以提供真实的原子分辨率。但是，需要足够的资金才能实现该校正器。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "幸运的是，在1989年9月于萨尔茨堡举行的Dreilä ndertagung会议上，我们与Knut Urban就材料科学成功进行像差校正的前景进行了成果颇丰的讨论。Knut Urban意识到校正像差的重要性，建议向大众基金会提交一个共同的(Rose, Haider, Urban)提案，因为美国暂停了对实现像差校正的资助，其它资助机构都拒绝了该提案。与其它机构做出的令人沮丧的决定相反，大众基金会冒险于1991年开始筹资。这种支持成就了Max Haider在1997年6月成功降低基础（未校正）的点分辨率后，大众基金会有史以来最成功的一个项目。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1997年，柏林电子同步加速器BESSY II投放市场，并为开发新型光子源功能的新项目提供了资金。SMART项目的组织者Alex Bradshaw和Eberhard Umbach希望我成为致力于开发像差校正电子显微镜的科学家中的一员，该电子显微镜可以作为一个使用反射电子的低能量电子显微镜（LEEM）来工作，还可以作为一个由光子从表层发射的电子来形成图像的光发射电子显微镜（PEEM）来工作。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "我团队的任务是设计、构造和测试磁物镜浸没透镜、分离入射和反射电子束的无像差分束器以及补偿透镜球差和色差的镜校正器。四年后，这些任务完成，主要是由我的非常优秀且有远大志向的学生Dirk Preikszas、Peter Hartel和HeikoMü ller实现的。除SMART项目外，我团队还参与了由ManfredRü hle发起的Sub-eV Sub-Angstroem显微镜（SESAM）项目，以开发具有高空间和高能量分辨率的电子过滤电子显微镜（EFTEM）。Stefan Uhleman的博士论文中设计了高性能的MANDOLINE滤光片，该滤光片由Zeiss制造，并结合到SESAM显微镜中。直到今天，显微镜在斯图加特的Max Planck研究所一直以出色的性能在运行。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "尽管我所在的团队取得了巨大的成就，在国际上享有很高的声誉，也获得了许多科学家和行业的称赞，但在2000年4月，达姆施塔特技术大学却在我退休后放弃了我的研究领域。由于和美国的许多同事保持良好的联系，应美国同事的邀请，我在橡树岭国家实验室（Oak Ridge National Laboratory）担任了一年的研究员。在这里，我遇到了来自阿尔贡（Argonne）的Murray Gibson，他的目标是研制一种可以进行任何形式原位实验的高分辨率电子显微镜。因为只有大的物镜室才能满足此条件，所以必须校正物镜的球差和色差，以在中压下获得约0.2 nm的高分辨率，这对于减少辐射损伤是必需的。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我接受了Murray提出进行经校正物镜设计的邀请，于2001年9月移居阿尔贡。但是，2002年4月，因为检查出患有早期前列腺癌，我不得不停止在阿尔贡的工作。幸运的是，癌症尚未扩散，存活的机率很高。在美因兹大学（the University of Mainz）接受手术后，我花了一年多的时间进行康复。与此同时，随着Murray换任高级光子源主任，Lawrence Berkeley国家实验室（LBNL）的Uli Dahmen成为TEAM项目主任。美国能源部改变了该项目的目标，要求使用彩色球面校正的中压电子显微镜提供0.05 nm的分辨率。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2003年9月，我搬到伯克利，成为LBNL高级光源(ALS)的一名研究员。由于ASL距国家电子显微镜中心（NCEM）仅几步之遥，所以我接受了Uli的邀请成为TEAM项目顾问，该项目始于2004年，并于2009年成功以0.047 nm的分辨率结束，这大约是氢原子的半径。我与CEOS公司合作设计了TEAM校正器，通过用电磁四极八极杆五联体替换六极校正器的每个六极杆，所得校正器通过保持双重对称性来补偿色差、球差和彗差。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/ae3742be-568d-4dcb-8b7c-780a1720ceaf.jpg" title="图片4.png" alt="图片4.png"//pp style="text-align: center "strong2009年，我在M＆M会议上与Hannes Lichte教授讨论问题。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2007年，乌尔姆大学（University of Ulm University）的Ute Kaiser教授邀请我就像差校正进行演讲，特别是关于六极校正器的设计和功能。该校正器是其新TITAN电子显微镜的一部分，该电子显微镜是FEI公司在2005年提供的第一台商业像差校正TEM。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Ute Kaiser对二维物体（如石墨烯）的原子结构可视化很感兴趣。然而，在300 kV电压下操作显微镜时，样品立即被破坏。幸运的是，由于进行了像差校正，显微镜能够提供在80 kV（仪器的最低可调电压）下的原子分辨率。由于该电压低于石墨烯中原子位移的阈值电压，因此能够对其原子结构进行成像。该结果证明辐射损伤也限制了材料科学中许多物体的分辨率。由于很多对辐射敏感的二维物体的撞击阈值在20 kV至80 kV之间，因此对像差校正低压电子显微镜的需求很明显。因为在这种低电压下，色差超过了物镜的球差，并且需要大的可用孔径角才能获得原子分辨率，所以有必要开发新型的校正器。高性能SALVE校正器是通过将达姆施塔特四极杆-八极杆校正器的中央多极杆分成两个在空间上分离的元素而获得的。以该系统为起点，CEOS公司成员在由Ute Kaiser发起和领导的Sub-Angstroem低压电子显微镜（SALVE）项目的框架内开发了校正器。SALVE项目于2009年开始，在蔡司终止TEM生产后于2011年中断。2013年，FEI与CEOS公司一起继续了该项目，并于2017年结束，取得了意想不到的成功，显微镜的分辨率比合同所要求的提高了近30％。在SALVE项目开始时，我成为Ute Kaiser团队成员，并于2015年被任命为Ulm大学的高级教授。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "除了和在量子力学基础上设计电子光学组件和发展电子显微镜成像理论外，我对了解电子的基本性质也一直很感兴趣。特别是，我花了20多年的时间尝试了解自旋的起源、电荷和电子的质量。为此，我采用了一种相对论的量子力学方法，其与相对论电动力学和狄拉克理论密切相关。可能是因为我不属于基本粒子领域，所以我解释基本粒子结构的新理论被忽略了，投稿的文章未经审查就被拒绝。不过，2019年12月10日，我可以在乌尔姆大学的一次特殊物理座谈会上发表我的新理论，并希望我的演讲能引发对该主题富有成果的讨论。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/544effa6-64ee-4899-92ad-11a4ff02c2d1.jpg" title="图片5.png" alt="图片5.png"//pp style="text-align: center "strong80岁生日之际，与蔡司的代表一起在乌尔姆大学2015学术研讨会展示半块欧米茄过滤器。/strong/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/646ca763-0f23-4140-b909-ca5cd73c8a0e.jpg" title="图片6.png" alt="图片6.png"//pp style="text-align: center "strong2012年，与网球伙伴聚会。/strong/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 374px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/23d35705-a80e-44f2-b9f4-38127f463ad5.jpg" title="图片7.png" alt="图片7.png" width="450" height="374" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong2012年2月14日，我和Dorothee在一家餐厅庆祝生日。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在我上学后的所有时间里，我都热衷于打曲棍球、冬天滑雪和秋天在阿尔卑斯山远足。曲棍球是一项非常苛刻的运动，但会有严重受伤的风险，且这种风险随着年龄的增长而增加。因此，我不得不在50岁时放弃这个爱好，并寻找其他活动。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我选择学习网球是很自然的事，因为我的妻子Dorothee是一位非常有才华的网球运动员，曾在当地一家体育俱乐部的球队中打过球。她愿意给我上网球课，因为没有其他人愿意和初学者一起玩。在她的帮助下，我能够找到合作伙伴并成为团队成员。尽管由于年龄大而不能进行单打，我每周与几个伙伴打双人网球。此外，我和Dorothee每年都会与前曲棍球队友及其妻子一起远足数天。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在我的科学生涯中，我与世界各地的许多同事都有联系，这些年来，许多联系也变为了友谊。我非常感谢这些友谊，它们是宝贵的礼物。最后，我要感谢我的妻子，多年来在我周末的工作期间所给予的支持和耐心。/ppbr//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong延伸阅读：/strong/pp style="text-align: left text-indent: 0em "span style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20200608/540683.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "【自传】像差校正电镜技术先驱之Maximilian Haider/a/span/pp style="text-align: left text-indent: 0em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201112/564599.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Ondrej L. Krivanek/span/a/pp style="text-indent: 0em text-align: left "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201204/566735.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Knut Urban/span/a/ppbr//p

完美光学成像是人类感知世界的终极目标之一，却从根本上受制于镜面加工误差与复杂环境扰动所引起的光学像差。《科学》杂志也将“能否制造完美的光学透镜”列为21世纪125个科学前沿问题之一。近日，清华大学成像与智能技术实验室，提出了一种集成化的元成像芯片架构(Meta-imaging sensor)，为解决这一百年难题开辟了一条新路径。区别于构建完美透镜，研究团队另辟蹊径，研制了一种超级传感器，记录成像过程而非图像本身，通过实现对非相干复杂光场的超精细感知与融合，即使经过不完美的光学透镜与复杂的成像环境，依然能够实现完美的三维光学成像。团队攻克了超精细光场感知与超精细光场融合两大核心技术，以分布式感知突破空间带宽积瓶颈，以自组织融合实现多维多尺度高分辨重建，借此能够用对光线的数字调制来替代传统光学系统中的物理模拟调制，并将其精度提升至光学衍射极限。这一技术解决了长期以来的光学像差瓶颈，有望成为下一代通用像感器架构，而无需改变现有的光学成像系统，带来颠覆性的变化，将应用于天文观测，生物成像，医疗诊断，移动终端，工业检测，安防监控等领域。图1 元成像芯片成像原理与大范围像差矫正效果（来源：Nature）传统光学系统主要为人眼所设计，保持着“所见即所得”的设计理念，聚焦于在光学端实现完美成像。近百年来，光学科学家与工程师不断提出新的光学设计方法，为不同成像系统定制复杂的多级镜面、非球面与自由曲面镜头，来减小像差提升成像性能。但由于加工工艺的限制与复杂环境的扰动，难以制造出完美的成像系统。例如由于大范围面形平整度的加工误差，难以制造超大口径的镜片实现超远距离高分辨率成像；地基天文望远镜，受到动态变化的大气湍流扰动，实际成像分辨率远低于光学衍射极限，限制了人类探索宇宙的能力，往往需要花费昂贵的代价发射太空望远镜绕过大气层。为了解决这一难题，自适应光学技术应运而生，人们通过波前传感器实时感知环境像差扰动，并反馈给一面可变形的反射镜阵列，动态矫正对应的光学像差，以此保持完美的成像过程，基于此人们发现了星系中心的巨大黑洞并获得了诺奖，广泛应用于天文学与生命科学领域。然而由于像差在空间分布非均一的特性，该技术仅能实现极小视场的高分辨成像，而难以实现大视场多区域的同时矫正，并且由于需要非常精细的复杂系统往往成本十分高昂。早在2021年，自动化系戴琼海院士领导的成像与智能实验技术实验室研究团队发表于《细胞》杂志上的工作，首次提出了数字自适应光学的概念，为解决空间非一致的光学像差提供了新思路。在最新的研究成果中，研究团队将所有技术集成在单个成像芯片上，使之能广泛应用于几乎所有的成像场景，而不需要对现有成像系统做额外的改造，并建立了波动光学范畴下的数字自适应光学架构。通过对复杂光场的高维超精细感知与融合，在具备极大的灵活性的同时，又能保持前所未有的成像精度。这一优势使得在数字端对复杂光场的操控能够完全媲美物理世界的模拟调制，就好像人们真正能够在数字世界搬移每一条光线一样，将感知与矫正的过程完全解耦开来，从而能够同时实现不同区域的高性能像差矫正。图2 元成像芯片——单透镜高性能成像（来源：Nature）传统相机镜头的成本和尺寸都会随着有效像素数的增加而迅速增长，这也是为什么高分辨率手机成像镜头即使使用了非常复杂的工艺也很难变薄，高端单反镜头特别昂贵的原因。因为它们通常需要多个精密设计与加工的多级镜片来校正空间不一致的光学像差，而如果想进一步推进到有效的十亿像素成像对传统光学设计来说几乎是一场灾难。元成像芯片从底层传感器端为这些问题提供了可扩展的分布式解决方案，使得我们能够使用非常简易的光学系统实现高性能成像。在普通的单透镜系统上即可通过数字自适应光学实现了十亿像素高分辨率成像，将光学系统的成本与尺寸降低了三个数量级以上。除了成像系统存在的系统像差以外，成像环境中的扰动也会导致空间折射率的非均匀分布，从而引起复杂多变的环境像差。其中最为典型的是大气湍流对地基天文望远镜的影响，从根本上限制了人类地基的光学观测分辨率，迫使人们不得不花费高昂的代价发射太空望远镜，比如价值百亿美元的韦伯望远镜。硬件自适应光学技术虽然可以缓解这一问题并已经被广泛使用，但它设计复杂，成本高昂，并且有效视野直径通常都小于40角秒。数字自适应光学技术仅仅需要将传统成像传感器替换为元成像芯片，就能为大口径地基天文望远镜提供了全视场动态像差矫正的能力。研究团队在中国国家天文台兴隆观测站上的清华-NAOC 80厘米口径望远镜上进行了测试，元成像芯片显著提升了天文成像的分辨率与信噪比，将自适应光学矫正视场直径从40角秒提升至了1000角秒。图3 清华-NAOC 80cm口径望远镜40万公里地月观测实验（来源：Nature）元成像芯片还可以同时获取深度信息，比传统光场成像方法在横向和轴向都具有更高的定位精度，为自动驾驶与工业检测提供了一种低成本的解决方案。而在未来，课题组将进一步深入研究元成像架构，充分发挥元成像在不同领域的优越性，建立新一代通用像感器架构，从而带来三维感知性能的颠覆性提升，或可广泛用于天文观测、工业检测、移动终端、安防监控、医疗诊断等领域。上述成果于2022年10月19日以“集成化成像芯片实现像差矫正的三维摄影”（An integrated imaging sensor for aberration-corrected 3D photography）为题以长文（Article）的形式发表在《自然》（Nature）杂志上。清华大学自动化系戴琼海院士、电子系方璐副教授为该论文共同通讯作者；自动化系吴嘉敏助理教授、清华-伯克利博士研究生郭钰铎、自动化系博士后邓超担任共同一作；自动化系乔晖助理教授、以及清华-伯克利生张安科、清华大学自动化系卢志、清华大学自动化系谢佳辰三位博士研究生共同参与了该工作。该工作受到了国家自然科学基金委与国家科技部的资助。论文链接：https://www.nature.com/articles/s41586-022-05306-8

p style="text-align: justify text-indent: 2em "10月15日-16日，中国科学院半导体研究所、仪器信息网联合主办首届“半导体材料与器件研究与应用”网络会议(i Conference on Research and Application of Semiconductor Materials and Devices, iCSMD 2020)，22位业内知名的国内外专家学者聚焦半导体材料与器件的产业热点方向，进行为期两日的学术交流。会议期间，中国科学院半导体研究所研究员赵玲娟研究员做了题为《InP基光子集成材料与器件及标准代工平台》的报告。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "script src="https://p.bokecc.com/player?vid=D8139CACC0C50CC69C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/script/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子和光子有很多不同，最典型的特征是电子由电场控制，电电相互作用强，可以存储，而光子是波导控制，光光相互作用弱，难存储，因此在集成方式大不相同。相比于电子集成，光子集成不仅需要改变材料和结构，还需要改变电子和光子相互作用，因此光子集成面临着两大挑战：一是高效的光电转换有源器件；二是低损耗的无源连接波导。而光子集成技术一般是通过半导体材料、微纳加工技术将不同功能的光子器件集成在单个衬底上，器件之间通过光波导连接，构成单片集成电路-片上光子系统。目前来讲，集成技术平台有硅基光子集成和InP基光子集成。赵玲娟认为，光子集成是光电紧密结合的产物，其终极目标是电子集成和光子集成融合实现片上系统。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "赵玲娟在报告中谈到，硅基光子和InP基光子集成技术各有不同的特点。硅基光子集成集成度高、规模大、生态成熟、有大企业支持，但缺乏有效发光和放大，且探测、调制带宽低于InP。而InP基光子集成功能全、器件性能优异，但集成难度大、生态不完善。此外，InP基光子集成有源无源耦合损耗低、能效高，而硅基光子集成需要外激光器，耦合损耗大、能效低，只能通过混合封装及异质外延解决。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "目前微电子集成主要以代工模式为主，在光子集成方面，硅光也是以代工（Fabless）为主，少数垂直整合制造（IDM）。硅光集成的部件包含有源器件，如激光器、调制器、探测器、放大器等，因此需要设计者与Foundry更紧密的融合。InP光子集成则呈现IDM和Fabless共存的局面，Fabless的主要代表是欧盟InP标准化代工平台JePPIX，而IDM的代表为Lumentum和Infinera。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在应用领域方面，光子集成芯片不仅仅用于光通讯，在生物医疗、传感、激光雷达、光收发器等也有很好的应用，在5G、数据中心、光接入网中的应用也越来越多。在市场趋势方面，硅基光子集成芯片发展迅速，InP分立器件维持市场主导，InP集成器件增长潜力巨大。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "赵玲娟在报告中还详细介绍了光子集成技术研究组的发展方向、核心技术和应用领域，代表性光子集成芯片有多波长光发射芯片、多波长锁模激光器和新型光发射芯片。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "报告中总结到：光子集成是光子技术的发展趋势；InP基和硅基光子集成将在不同的领域发挥不同的作用；标准化光子集成技术平台是光子集成的发展方式；光子集成芯片的产业化主要是IDM或者与标准化平台紧密结合的方式。/p

p　　日前，国家环境分析测试中心、中国环境监测总站等五部委联合发布《全国土壤污染状况详查土壤样品分析测试方法技术规定》（报批稿），对土壤样品中的无机项、有机污染物及样品理化性质的分析测试方法做出详细规定，涉ICP-MS、ICP-AES、GC、GC-MS等数十项仪器设备。/pp　　本规定适用于“全国土壤污染状况详查”工作中农用地土壤污染状况详查和重点行业企业用地土壤污染状况调查的土壤样品的分析测试。本规定适用于所有参与“全国土壤污染状况详查”土壤样品分析测试任务的实验室。/pp style="line-height: 16px "　　a href="http://img1.17img.cn/17img/files/201708/ueattachment/f8fdaff2-a9af-4e26-8881-7f854e799bc0.pdf" style="color: rgb(255, 0, 0) text-decoration: underline "span style="color: rgb(255, 0, 0) "《全国土壤污染状况详查土壤样品分测试方法技术规定》（报批稿）.pdf/span/a/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/6128efc2-66a2-4c0f-89d1-c7ac9ec9c41a.jpg" style="" title="1.jpg"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/65fdc7f4-bb3b-431d-ba4b-48e667d4b6da.jpg" style="" title="2.jpg"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/1cdd461d-024c-474d-a7a7-2ecd25d2bfb9.jpg" style="" title="3.jpg"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/099e7b43-f201-49b4-a296-1c4e83cd9694.jpg" style="" title="4.jpg"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/f085b988-eefd-421c-aa10-b87ea9f9a137.jpg" style="" title="5.jpg"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/57690a86-9088-4600-8b6a-fe071dbb8657.jpg" style="" title="6.jpg"//ppbr//p

能源转型是实现碳中和的主要路径，以清洁的可持续能源替代化石能源发电是最有效措施之一。太阳（6000 K）和太空（3 K）相对地球是取之不尽、用之不竭的巨大热源和冷源。针对太阳能，科学家开发出光伏、光热发电等技术。光伏发电由于成本低、布置简单等优点，成为太阳能发电市场的主力。而传统光伏电池只能利用与其带隙能匹配的小部分太阳光谱能，大部分光谱能以热能形式损失掉。这些损失掉的能量使光伏电池温度大幅增加，降低了光伏效率，并大幅减少电池的使用寿命。因此，如何提升光伏电池全光谱利用效率和对电池进行有效的热管理，成为制约光伏领域发展的瓶颈。 近些年发展的利用大气窗口向太空散发热量的日间辐射冷却技术为光伏电池热管理提供了新途径。研究人员采用多节电池及聚光分光谱技术，一方面改进光谱与带隙能的匹配性以减小电池热化损失，另一方面将分离的光谱能通过热电材料加以利用，提高全光谱的利用效率。新型的热管理技术降低光伏电池温度，并为热电材料提供低于环境温度的冷端温度。该技术可以高效开发来自太阳和太空的清洁电力，理论上不会产生任何排放并且不需要额外能量输入。该技术在低聚光比条件下可以达到高聚光比条件下传统光伏电池的发电效率，且能够24小时运行并实现夜间0.4%的等效发电效率（基于AM1.5太阳辐照度），颇具潜力。 该成果以工程热物理所为第一单位发表在Advanced Science上。研究工作得到欧盟地平线2020科技创新计划专项行动、南京未来能源系统研究院、英国帝国理工大学的支持。 工程热物理所在集成先进热管理的零排放太阳能分光谱发电技术研究中获进展

p　　中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室的黄玮课题组在光学系统偏振像差理论的研究中取得新进展：首次提出了一种能同时表征偏振像差在光学系统的光瞳与视场上分布规律的正交多项式，该多项式在偏振像差的测量与补偿方面有很大潜在应用价值。相关结果发表于近期的Optics Express(Opt. Express 23,21, 27911-27919, 2015, doi:10.1364/OE.23.027911)。/pp　　对于高数值孔径的光学系统，如光刻物镜和显微物镜，偏振照明成为一种提高分辨率的方法。但偏振照明光束经光学系统后，受偏振像差影响，其偏振状态会发生改变，进而影响分辨率。已有的研究多集中于偏振像差在光学系统的光瞳处的分布规律，很少关注视场。但对偏振像差的测量和补偿，需要在整个视场上进行。一般的方法是选择多个离散视场点来近似整个视场，精度由视场点个数决定。因此，揭示偏振像差在光学系统视场上的分布规律，对偏振像差的测量和补偿研究具有重要价值。/pp　　该研究将方向泽尼克多项式与条纹泽尼克多项式相结合，依据光学系统的旋转对称性，推导出一系列正交多项式，并将其命名为视场-方向泽尼克多项式(Field-orientation Zernike polynomials，FOZP)。FOZP将偏振像差的分布规律从光瞳扩展到了视场，更完整地表述了光学系统的偏振像差。/pp　　该工作得到了国家重大专项子课题基金的支持。/ppimg src="http://img1.17img.cn/17img/images/201512/insimg/636c3cea-ce6b-40d7-8aab-5c3a5b476b93.jpg" style="width: 600px height: 429px " title="W020151217536871222917.jpg" width="600" height="429" border="0" hspace="0" vspace="0"//ppimg src="http://img1.17img.cn/17img/images/201512/insimg/7db4bd1d-c6c6-4517-9b33-346fa05251e2.jpg" style="width: 600px height: 465px " title="W020151217536871237159.jpg" width="600" height="465" border="0" hspace="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "span style="font-size: 16px "视场-方向泽尼克多项式的视场分布图/spanbr//ppbr//p

p style="text-align: justify text-indent: 2em "日前，2020年度科维理奖（Kavli Prize）揭晓，本年度科维理天体物理奖、纳米科学奖和神经科学奖，三个奖项分别授予七位科学家，以表彰他们在天体物理学、纳米科学和神经科学领域作出的杰出成就。a href="https://www.instrument.com.cn/news/20200602/540174.shtml" target="_self" style="text-decoration: underline "其中，纳米科学奖授予了对像差校正电镜技术的发展做出巨大贡献的四位欧洲科学家：Maximilian Haider、Knut Urban、Harald Rose和Ondrej L. Krivanek。/a/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/b9d1f53f-de22-4e55-bddf-c0c01576d0ad.jpg" title="1.jpg" alt="1.jpg"//pp style="text-align: center "strongMaximilian Haider，德国CEOS GmbH公司联合创始人/strong/ppstrong/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "作为科维理奖的获奖人之一，Maximilian Haider是奥地利的物理学家。在基尔大学获得学位后，他移居达姆施塔特（Darmstadt）攻读博士学位，并于1987年获得博士学位。仅仅两年后，他加入了海德堡欧洲分子生物学实验室（EMBL），在那里从事了博士学位的实验工作，成为物理仪器计划的组长，直到现在。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "他的研究兴趣集中在开发提高透射电子显微镜分辨率的方法上。在EMBL任职期间，他根据Harald Rose的理论工作开发了透镜系统原型，并开始与Rose和Knut Urban合作，拍摄了第一张经晶格校正的原子结构的TEM图像，成果于1998年发表。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Haider于1996年在海德堡联合创立了CEOS GmbH公司，其目的是商业化生产像差校正器。他仍然是该公司的高级顾问，自2008年以来，他还是卡尔斯鲁厄工业大学的名誉物理学教授。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "他的工作获得了许多奖项，包括与Rose和Urban共同获得的Wolf奖和BBVA基础科学知识前沿奖，他还是英国皇家显微镜学会的荣誉院士。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="font-size: 20px "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】/span/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1950年，我出生于奥地利一个历史悠久的小镇，我的父亲Maximilian Haider和母亲Anna Haider在那里经营着一家父亲从爷爷手里接管的制表店，我的长兄此时已经步入了自己的人生轨道，成为了制表师。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 260px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/e2d16dd2-a64c-4f1a-8242-d945013d069f.jpg" title="1960年,10岁的我在小学读书.png" alt="1960年,10岁的我在小学读书.png" width="300" height="260" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong1960年，10岁的我在小学读书/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-align: justify text-indent: 2em "为了扩大业务，我在童年时期，就被早早的认为应该成为一个眼镜师。因此，在14岁的时候，我开始在奥地利林茨做眼镜师学徒。/span/pp style="text-align:center"span style="text-align: justify text-indent: 2em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/edd1ed71-dcc3-45ac-9096-2bfcb6511b50.jpg" title="2.png" alt="2.png"//span/pp style="text-indent: 0em "span style="text-align: justify text-indent: 2em "/span/pp style="text-align: center "strong在奥地利林茨当学徒时（我是右边的最后一个人）/strong/pp style="text-indent: 0em "span style="text-align: justify text-indent: 2em "/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "第一次眼镜师认证考试后，我意识到自己并不喜欢作为眼镜师的一生。因此，在接下来的几年中，我通过了几次考试，上了大学，并在我26岁的时候，开始在基尔大学和德国达姆施塔特工业大学学习物理。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "为了毕业论文，我联系了在理论粒子光学领域做研究的Harald Rose团队。当我还是一名眼镜师的时候就知道了电子光学中常见的像差，那时进行的像差校正项目更是深深的吸引住了我。我的任务是开发一种用于像差校正器的新型十二极元件，利用该元件生成所需的强四极和八极场。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在达姆施塔特工业大学应用物理研究所，由Otto Scherzer和Harald Rose领导的两个小组正在进行一项长期计划，即利用四极、八极杆校正系统装置校正传统TEM的Cs和Cc像差。这种校正器的开发是在七十年代末，是像差校正的最新技术，但是无法证明这确实能提高分辨率。由于自制瞬变电磁法的不稳定性失败了，而不是由于像差的限制。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "因最后一位能够使用该仪器的科学家已离开本行业，所以在完成毕业论文之前，我必须学习如何操作复杂的仪器（最早的功能像差校正TEM）：要控制大量电源的同时，还必须保持各种镜头的机械调节器稳定，整个系统的校准必须在没有计算机或CCD摄像机帮助的情况下手动进行。最后，该项目成功地证明了可以补偿Cs和Cc这两个像差，但未能显示出分辨率的提高。不过，该项目使我确信像差校正在未来可以提高分辨率，同时我也很清楚，人们应该只用足够的钱来购买最先进的TEM并首先对其进行研究以确保分辨率受到像差限制，否则，将会再次遇到相同的问题。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 299px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/eda0c272-eb6f-4790-9848-283409802f2c.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="450" height="299" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong1984年，我与Joachim Zach一起参加布达佩斯欧洲会议/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "取得文凭后，我继续在Rose小组工作，计划对现有的像差校正TEM进行改进。不幸的是，德国研究基金会（DFG）的资助提案被拒绝了，因为Harald Rose是一名理论家，而他申请的项目是一项具有实验挑战性的任务。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "此后不久，达姆施塔特像差校正项目的第二位“父亲”Otto Scherzer去世，项目也无法获得资金。因此，我在海德堡的欧洲分子生物学实验室（EMBL）任职，开发用于STEM的电子光谱仪。对于这种设备，像差的补偿也是必不可少的。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1987年，随着针对专用STEM的高色散电子光谱仪的成功开发，以及与Rose小组的密切合作，我获得了博士学位。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 367px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/2b221dc1-8442-4339-9aba-14d2a2db5ba4.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="300" height="367" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong1987年，我带着小女儿参加博士庆典/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "之后，我继续将现有的两个专用STEM用于TEM，因为实现像差校正系统来提高可用分辨率的想法并没有让我失望。然而，在全球范围内，电子光学在当时的物理学中失去了吸引力。emeriti被来自其他领域的科学家代替后，几个小组不得不关闭。同样，因为全球的几个像差校正项目都失败了，各资助机构也失去了兴趣，并且人们普遍认为，高分辨率电子显微镜（EM）的像差校正行不通，并且是“不可想象的”，尤其是对于商业仪器而言。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "唯一可行的选择似乎是通过增加加速电压来减小用于物体成像的电子波长。因此，仪器体积变大，价格也更昂贵了：仪器已经非常先进，材料科学领域的高分辨率证明可以达到300kV、400 kV甚至1.2 MV；分辨率的确可以提高，然而，在TEM中观察到的物体的光束损伤大大增加。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "虽然电子光学领域的工作并不受欢迎，但我不能忘记我长期以来的想法，即扫除达到亚埃分辨率道路上最大的障碍。在生物领域里，除了一些习惯使用SEM检查完整细胞的细胞生物学家之外，几乎没有人对我的这个想法感兴趣。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "然而，在一些内部资金和与半导体公司ICT（慕尼黑）的合作下，我们能够开始在EMBL内开发像差校正SEM。Rose团队的研究生Joachim Zach提出了一种像差校正SEM色谱柱的理论，该色谱柱的分辨率应从5-6 nm降低到1-2 nm。基于此，我们与ICT合作，包括在EMBL工作了两年的ICT科学家Stefan Lanio，设计并构造了一个像差校正器。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在为SEM构造像差校正器的这段时间内，Arthur Jones退休了，我成为小组负责人，Joachim Zach加入了团队，并继续我们的研发。因为没有钱买现代的高分辨率扫描电镜，我们利用使用过的SEM，安装了带有肖特基发射器的新型电子枪。该电子枪具有更高的亮度和更小的能量宽度。我们的像差校正系统由四个复合的静电和磁多极(十二极)元件组成。该系统允许激发所有需要的四极场来调整校正器内的象散射线路径，并使线焦点位于元素2和3的中心，在这一点上，我们通过激发强的、几乎完全平衡的静电和磁性四极场来补偿色差。在这些元件上，我们还能够通过激发强八极杆场来补偿两部分的球差，球差的第三部分由元素1和4上的附加八极杆场补偿。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1995年，我们终于能够证明物镜的色差和球面像差得到了完全补偿，并且在1 keV的加速能量下，分辨率从5.8 nm降低到了1.8 nm。这是有史以来第一次通过四极八极杆校正器提高分辨率。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/55af1aa6-e8b4-4aff-873c-09418f1763f1.jpg" title="5.png" alt="5.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "但是很明显，我们的SEM校正系统是为极低的能量设计的。TEMs的解决方案，即当电子通过一个薄物体时，使用更高的能量来产生主要的单次散射事件，仍有待发现。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在1990年代初，用于高分辨率TEM和STEM的新型电子源（场发射源）在市场上可以买到。这些电子发射器具有较高的亮度和较小的一次能量宽度等优点，这与1980年代和Harald Rose进行的多次讨论中提出的想法相吻合：通过仅将系统集中在球差补偿上，可以降低像差校正器的复杂性，如果能将一次能量宽度保持在1ev以下，并且用能量约为200kev的电子对物体成像，就能将色差引起的对比度降低降到最低。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "早在1981年，Harald Rose提出了一种用于STEM的六极校正器，该校正器仅能补偿球差。他认为该校正器对于形成探针的电子束已经足够，因为它不允许TEM需要任何视野。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1989年，在萨尔茨堡举行的显微镜会议是我们开发经Cs校正的TEM起点，此后由大众基金会资助：MPI斯图加特新订购的1.2 MeV TEM展示引发了一种方法的讨论，它能够提高TEM在材料科学中的分辨能，但是成本较高。Knut Urban是Forschungszentrum Julich的一名材料科学家，他迫切需要高分辨率的仪器，电子光学理论家Harald Rose和我讨论了为一个更便宜、具有更好分辨率和更少光束损伤项目筹集资金的可能性。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1989年底，Rose扩展了STEM校正器概念，并提出了一种在物镜后面带有附加传输系统的六极校正器，以实现可接受的视野并将其应用于TEM中。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1990年，他在《Optik》杂志上发表自己的想法，作为“球形校正半平面中压透射电子显微镜的概述”。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "与此同时，我们三个人继续讨论如何实现提出的校准器，1990年底，我们最终确定了大众基金会的拨款提案。在提交之前，我需要总干事的许可才能在EMBL内执行该项目——毕竟是分子生物学实验室，而不是物理研究所。但是由于所有的资助都是外部的，而且技术是前瞻性的，该仪器以后可以用于EMBL的结构研究，项目得到了许可。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1991年夏天，这项建议预先获得接受，并将五年里分了两个项目：第一部分的任务是在最先进的TEM获得资金之前，对概念进行验证；1992年1月，我们开始了六极校正器得研制。因此，我们的两个像差校正项目并排运行：SEM项目旨在校正1.5 kV至0.5 kV之间的色差和球差，而TEM项目旨在消除80 kV至200 kV的球差。span style="text-indent: 2em "对于SEM项目，必须采用四极/八极校正器设计，而对于TEM项目，则要开发新的六极校正器。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在1994年夏季的巴黎国际会议上，证明了遵循Harald Rose概述的六极校正器的原理。这为新TEM的筹资铺平了道路。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1995年，仪器安装完毕，开始安装六极校正器。早在1995年底，Joachim Zach即可通过SEM像差校正器将分辨率从5.6 nm降低到1.8 nm。然而，与此同时，新的EMBL主任停止了物理仪器项目，这意味着我们组的所有合同，包括我自己的合同，将在1996年7月终止。看起来，我们已经快没有时间进行突破了。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "因此，我们与时间的竞赛开始了。1996年夏天，我们能够在TEM中显示六极校正器对球差的补偿。但是，由于物镜中附加镜头的水冷引起的不稳定性，无法证明分辨率的提高。我获得了大众基金会一个为期一年的项目资金，并且在没有EMBL额外资金的情况下获得了可用空间进行此扩展的许可。1996年秋，我们设法摆脱了一些不稳定因素，但在1997春，在物镜区域仍然很明显地存在一种不稳定因素。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "接下来的几个月是非常戏剧性的。我知道我们必须关闭TEM并将显微镜在7月底转移到Jü lich。5月，我决定在物镜下设计一个新的强透镜，以减少光束直径周围的不稳定区域。我们在6月份的时候就可以使用这种新镜片，但是在开启新镜片后的第一次测试中仍然显示出已知的不稳定性。然而，几个小时后，在午夜时分，我们突然获得了分辨率从最初的0.24 nm下降到0.12 nm的图像！/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1997年6月底，项目圆满完成。我们拍摄了一些照片用于会议演示，1997年7月，第一个经过校正的像差TEM被送到了位于Julich的Knut Urban实验室。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "没有以下两个先决条件我们是不可能实现这一重大飞跃的。首先，在1996年夏季，当EMBL很显然无法实现进一步的发展时，我们在海德堡成立了校正电子光学系统（CEOS）公司。在很短的时间内，通过专门设计的中间镜头来消除不稳定性的策略，只有在CEOS一名员工的帮助下才可行，他把新镜头的设计和建造作为自己的首要任务。其次，在该项目的最后一年中，我从Rose小组聘请了Stephan Uhlemann，他在博士期间已经研究了六极校正器的理论，以开发一种对准策略。，实践证明，该方法对于使校正器和整个仪器都处于良好对准状态非常有用。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "为什么CEOS公司成立于1996年？ 就在第一个SEM校正器完成时，我们收到了日本JEOL公司的要求，用于开发用于晶圆检查工具的SEM校正器。为了执行此任务，我说服Joachim Zach（30%）共同创立了我们公司的CEOS。另外还有Harald Rose（5%）和我所在集团的前电子工程师Peter Raynor（5%）。公司成立后，我们开始与JEOL合作，并为他们的检测工具开发了第一个商用像差校正器。Harald Rose和Peter Raynor仅充当股东，而我和Joachim Zach共同管理，并在只增加三名员工的情况下创建了这家公司。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "用于高分辨率TEM的新型六极校正器的展示引起了很多关注：实验室开始筹集资金，几家公司与我们进行了谈判，以确保获得这项新技术并出售包括新型校正器在内的仪器，德国研究基金会发起了一项为各种机构的新仪器提供资金的计划。越来越多的活动使得CEOS有必要在海德堡寻找新的办公地点，因此我们用私人资金投资建造了一座可以容纳四个单独实验室的新楼，为我们的客户——EM制造商Zeiss、Hitachi、JEOL和Philips/FEI。在2003年，我们已与四家公司达成了合作协议。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2000年，当新的像差校正系统很显然取得了成功，受到材料科学界的广泛认可和赞赏时，美国能源部开始讨论进一步开发300 kV的超高分辨率TEM，在TEM和STEM中均达到50 pm的分辨率，不仅要求TEM补偿球面色差，还要补偿色差。span style="text-indent: 2em "随后，TEAM项目（透射电子像差校正显微镜）于2005年启动，且要在2008年夏季完成。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "2008年4月，在Argonne的DOE实验室安装了TEM原型机，并在Oak Ridge安装了经过Cs校正的STEM之后，我们终于设法将整个双校正300 kV仪器运送到NCEM/Berkeley。对于STEM，我们开发了先进的六极校正器，甚至可以补偿五阶极限像差，并显示50 pm的分辨率。但是，对于Cc / Cs校正器，我们发现在200 kV时分辨率为55 pm，在300 kV时分辨率仅为65 pm，尽管在300 kV时较短的波长有望显示出更好的结果。即使接受了像差校正的TEM，我们也没有放弃调查在300kV和200kV时失去相干性的原因。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "直到2013年，我们才能够通过计算和实验工作（主要是Stephan Uhlemann）来解释降低分辨率的原因。由于校正器内电子束的直径较大，因此任何金属中的自由电子均会通过相关作用产生小的电子电流，其较小的磁场会产生磁噪声。由于四极场的强度有限，需要较大的束径才能产生足够的聚焦功率。为了解决磁噪声的问题，我们为Julich升级了TEAM的现有副本，从而将200kv和300kv的分辨率提高到50pm。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当我们刚刚完成TEAM项目时，乌尔姆大学的Ute Kaiser要求进行一个联合项目，以开发专用的低压（20kV至80kV最高）像差校正器。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "亚秒级低压电子显微镜（SALVE）项目是与蔡司（Zeiss）的联合项目，该项目由德国联邦政府和DFG和巴登-符腾堡州共同资助。然而，2013年，蔡司停止了TEM业务，并与FEI找到了一个新的基础仪器项目合作伙伴。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 311px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/6719a238-98b8-47c9-b5de-1bc2ec386768.jpg" title="6.png" alt="6.png" width="450" height="311" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong我和Christa Charlotte在夏威夷/strong/ppstrong/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们利用蔡司回酬谈判和与FEI达成新协议之间的时间来修改现有的SALVE校正器并针对磁噪声进行优化。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "SALVE项目于2016年完成，具有低能耗实现分辨率的新里程碑。例如，即使在40keV能量下，也能达到亚埃分辨率，尽管在这种能量下电子的波长要比200kV时大得多。作为实现分辨率的品质因数，采用了用于成像电子的波长：在具有挑战性的TEAM项目中，目标是达到20倍波长的分辨率。我们为SALVE项目设定了相同的目标，设法获得了20到80kV之间波长约15倍的分辨率，超过了TEAM项目的结果。与具有100倍波长分辨率的未校正TEM相比，提高了近7倍。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "除了这些具有挑战性的研发项目外，我们还必须为多家公司组织Cs校正器的生产。因此，在2005年TEAM项目启动时，我们改变了与FEI在TEM和STEM方面的合作，并准许他们根据我们的技术生产六极Cs校正器。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/cf9f8aa9-53b9-45c8-81e3-fd7c7cb481e6.jpg" title="1.png" alt="1.png"//pp style="text-align: center "strong2005年，和Joachim Frank在瑞士达沃斯举行的EM会议上/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "多年来，CEOS公司不断发展壮大，从1996年5个人组成的团队发展成为如今拥有近50名员工的企业。由于与达姆施塔特的Roses团队的密切互动，我们认识了他的博士生，并且可以聘用一些。最后，我们聚集了Rose的前7名博士生，他们都对电子光学非常了解。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们必须将Heidelberg公司的办公场所扩展三倍，到2019年底，全球共安装了约900台基于CEOS技术的六极校正器，约占像差校正电子显微镜全球市场的90％。br//pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 295px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/a7666669-5faf-4411-854c-27463941b80f.jpg" title="7.png" alt="7.png" width="450" height="295" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong一群曾经在CEOS公司工作的H.Rose的学生在大楼前庆祝10周年/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当我从眼镜师转为物理学家时，妻子Brigitte在1988年被诊断出患有癌症，我的生活发生了巨大变化。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1989年，我们从达姆施塔特搬到海德堡附近的一个村庄，住在离我当时工作的EMBL更近的地方。妻子于1990年去世，同年，Harald Rose、Knut Urban和我建立了经Cs校正的联合TEM项目，并且正为该项目筹集资金。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "随着Brigitte病情的发展，她碰巧遇到正在休产假的新教牧师Christa Charlotte，她的孩子与我的两个孩子的年龄相近。在接下来的几个月中，Christa Charlotte承担起了对我妻子精神上的照顾，Brigitte去世后，作为单亲妈妈的她很支持我。我们坠入了爱河，于1995年建立了一个共同的家庭，并在2000年幸福地结婚。我感到非常荣幸，感谢我的第二任妻子和所有的孩子，我的生活经历了这种积极的变化。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 299px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/88d5d50c-2606-4318-8bc5-dd5f5d8697bc.jpg" title="8.png" alt="8.png" width="450" height="299" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong2008年，我与K.Urban和H.Rose在本田奖庆祝活动后的合影/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 423px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/684f5c59-1526-4dfc-82dd-a8b926dcb504.jpg" title="9.png" alt="9.png" width="450" height="423" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "strong与H.Rose一起参加海德堡大学生日研讨会/strong/pp /pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong延伸阅读：/strong/pp style="text-align: left text-indent: 0em "span style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201104/563818.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "【自传】像差校正电镜技术先驱之Harald Rose/a/span/pp style="text-align: left text-indent: 0em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201112/564599.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Ondrej L. Krivanek/span/a/pp style="text-indent: 0em text-align: left "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201204/566735.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Knut Urban/span/a/ppbr//p

6月21日，江苏省战略性新兴产业母基金启动运行暨首批产业专项基金组建新闻发布会上获悉，总计规模100亿元的3支基金落地无锡，涉及2个地标产业、5个未来产业，将更精准地为我市创新创业项目提供以创业投资为引领的一体化、一站式融资服务。无锡产业专项基金包括“江苏省集成电路（无锡）产业专项母基金”（50亿元）、“江苏省生物医药（无锡）产业专项母基金”（40亿元）和“无锡未来产业天使基金”（10亿元）。据了解，基金投向与各设区市主导优势产业、重点发展产业密切相关。集成电路、生物医药皆为无锡“465”现代产业集群中的地标产业，拥有扎实的产业基础和先发优势。其中，集成电路（无锡）产业专项母基金主要投向半导体设备、材料和零部件，第三代半导体材料、生产主体和设备，芯片设计等。去年，无锡未来产业的规模达到了1000亿元，今年出台《关于加快培育发展未来产业的实施意见》务实推进“5+X”未来产业培育，无锡未来产业天使基金将进一步支持合成生物、通用人工智能、量子科技等前沿型的未来产业。据介绍，战略性新兴产业发展具有投资额大、回报周期长等特点，因而无锡结合实际情况，对3支基金皆坚持市场化运作、专业化管理，采取“子基金+直投”的方式，在管理费用、存续期限、超额收益分配等方面设置灵活、条件优惠，推动基金规范高效运作，加快相关产业高质量发展。

3月31日，全国唯一花香茶技术研究中心落户湘阴。省农办副主任戴美湘、副市长陈四海，老同志陈志刚、郭健康出席。　　湖南铁香茶叶有限公司是我市一家集良种、繁育、栽培、加工于一体的农产品生产加工企业，先后培育了兰岭绿茶、铁香茶叶等一批具有市场竞争力的优质新产品。新成立的花香茶工程技术研究中心，为全国唯一的花香茶研究机构，将对优化湘阴县茶叶品种结构，提高茶产品竞争力，推动农业农村经济加速发展产生积极的作用。陈四海希望湖南铁香茶叶有限公司进一步加大科技投入，提升产品质量，扩大营销市场，带动农民增收致富。

近日，大连化物所催化基础国家重点实验室二维材料化学与能源应用研究组(508组)吴忠帅研究员团队与单细胞分析研究组(1820组)陆瑶研究员团队，以及中国科学院深圳理工大学、中国科学院金属研究所成会明院士等合作，开发了高精度的光刻、自动喷涂和3D打印技术，研制出具有高系统性能和高集成度的小型单片集成微型超级电容器。 　　为适应小型化、可穿戴、可植入微电子设备的快速发展，需要发展具有小体积、高集成度、高性能和高兼容度的微型储能器件。平面微型超级电容器由于无需隔膜和外部金属连接线的特殊结构，同时具有可靠的电化学性能和易于调控的连接方式，在微电子领域有着重要的发展潜力。然而，由于缺少可靠的高精度微电极阵列制备和高效的电解液精确沉积技术，大规模制备高集成度、高性能的微型超级电容器仍具挑战。因此，急需发展创新性的微加工技术，来实现规模化、稳定性地制备高度集成、高性能、可定制的微型超级电容器。本工作中，合作团队发展了一种结合高精度的光刻、自动喷涂和3D打印技术的通用可靠策略，实现了高精度微电极阵列的大规模制备和凝胶电解质精确快速添加，研制出具有高面积数密度、高输出电压、性能稳定的集成化微型超级电容器模块。团队首先采用高精度光刻加工技术和高稳定性自动喷涂技术，制备出超小型集成化微型超级电容器，单个器件的面积仅为0.018cm2，器件间距为600μm，实现了面积器件数密度为每平方厘米28个，即3.5×4.1cm2区域内包含400个器件。随后，团队设计并发展了具有优异流变特性的凝胶电解质墨水，采用精确可控的3D打印技术，实现了极小区域内电解质的精确均匀添加，使得相邻单元微器件之间形成良好的电化学隔离，所得集成化微型超级电容器可以稳定输出200V的高电压，单位面积工作电压达75.6V/cm2，是目前已有报到工作的最高值。此外，该微型超级电容器模块在162V的极端工作电压下，循环4000次后，仍然保持92%的初始容量。该工作为超小体积、高电压微型功率源的发展奠定了一定的科学基础。 　　相关研究成果以“Monolithic integrated micro-supercapacitors with ultrahigh systemic volumetric performance and areal output voltage”为题，于近日发表在《国家科学评论》(National Science Review)上。该工作的共同第一作者是我所508组博士后王森和1820组博士后李林梅。上述工作得到国家自然科学基金、中科院A类先导专项“变革性洁净能源关键技术与示范”、大连市高层次人才创新支持计划、中国博士后科学基金等项目的资助。

南通通润迈高汽车零部件有限公司，一家专注于汽车零部件制造与研发的企业，近期购买了我司的步入式高低温试验箱。本文将介绍南通通润迈高汽车零部件有限公司购买步入式高低温试验箱的情况。我司推出的步入式高低温试验箱，是一款高度集成、智能化的试验设备，可模拟各种极端气候环境，为汽车零部件提供精准、高效的检测。设备具备多项优势，如高精度控温、快速温度变化、大空间等，可为各种类型的汽车零部件进行高低温环境模拟测试。步入式高低温试验箱的应用领域非常广泛，特别是在汽车行业。汽车零部件需要在各种气候条件下正常运行，因此需要对零部件进行高低温环境下的性能测试。通过使用我司的步入式高低温试验箱，南通通润迈高汽车零部件有限公司可以轻松模拟各种极端气候条件，检测汽车零部件的性能和可靠性，确保产品的质量和安全性。在需求方面，南通通润迈高汽车零部件有限公司需要一种能够模拟真实环境条件的试验设备，以便于进行汽车零部件的高低温性能测试。我司的步入式高低温试验箱能够满足其需求，并且具有高精度控温、快速温度变化等特点，使其成为该公司的理想选择。购买该设备后，南通通润迈高汽车零部件有限公司将能够更快、更准确地检测汽车零部件的性能和可靠性。这将有助于提高产品质量和降低售后成本，为公司带来更大的竞争优势。此外，该设备还具备大空间和智能化的特点，可大大提高试验效率，为公司的研发和生产工作带来更多便利。总之，南通通润迈高汽车零部件有限公司购买我司的步入式高低温试验箱，不仅将提高其汽车零部件的性能和可靠性检测能力，还将为其研发和生产工作带来更多便利。该设备的智能化、高效性和精准性等特点，将有助于南通通润迈高汽车零部件有限公司进一步提高产品质量和降低成本，增强企业的市场竞争力。

p style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) font-size: 18px "strong【简介】/strong/spanbr//pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/c8389825-135e-47c3-8dd3-de93f46e828e.jpg" title="91b36629-908d-449c-8019-9fb14da2dc83.jpg" alt="91b36629-908d-449c-8019-9fb14da2dc83.jpg"//pp style="text-align: center "strongOndrej L. Krivanek/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Ondrej Krivanek出生于布拉格，于1960年代后期移居英国，并在利兹大学获得学位，然后移居剑桥，与Archie Howie一起在电子显微镜领域攻读博士学位。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "剑桥大学毕业后，Ondrej Krivanek在京都、贝尔实验室和加州大学伯克利分校担任博士后职位。在伯克利任职期间，他对电子能量损失光谱学产生了兴趣，并建立了自己的光谱仪。他于1980年成为亚利桑那州立大学国家科学基金会NSF HREM设施的助理教授兼副主任，与此同时，他开始与Gatan公司合作，首先是担任顾问，然后永久加入公司并成为其研发总监。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1995年，他获得皇家学会的资助返回剑桥，与Mick Brown和Andrew Bleloch合作进行电子透镜像差校正。他的成就帮助他与Niklas Dellby于1997年创立了Nion公司，他目前仍是该公司的总裁。在Niklas Dellby和IBM的Phil Batson协助下，他通过扫描透射电子显微镜获得了亚埃的分辨率，该成果于2002年发表。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Ondrej Krivanek是电子显微镜和电子能量损失光谱学的知名专家之一。他获得了许多奖项，包括Duddell Medal和英国物理学会奖，以及国际显微镜学会联合会的Cosslett Medal。他是皇家学会，美国物理学会，美国显微学会和美国物理学会的会员，也是皇家显微学会的名誉会员。他与Maximilian Haider、Knut Urban、Harald Rose一起获得了2020年度科维理奖（Kavli Prize）。/pscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=C5FEDAA47F2B90169C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/scriptp style="text-align: center "span style="font-size: 18px "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "br//span/strong/span/pp style="text-align: center "span style="font-size: 18px "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】/span/strong/span/ppspan style="font-size: 18px "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "/span/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我出生于捷克斯洛伐克（现为捷克共和国）的布拉格，那时候，苏联和其他社会主义国家为自身的科学技术成就和教育体系感到自豪。1961年4月，Yuri Gagarin成为第一个绕地飞行的人。我和伙伴们因此受到鼓舞，成立了宇航员俱乐部，并且，我们的“火箭乘员RP-35”文章在布拉格最受欢迎的日报——img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/d887de42-7b70-4098-af27-5c91367cfc71.jpg" title="捕获.PNG" alt="捕获.PNG"/头版发表，这是一件非常开心有趣的事。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我父母是在第二次世界大战结束后相遇，战争给他们带来了苦难。父亲是一名化学工程师，专门研究彩色摄影化学，并且撰写了摄影方面的书籍，退休后，他还从事编辑月刊Zpravodaj。母亲的专业是新闻学，后来她成为了一名图书管理员。祖父是学校法律方面的专家，外祖父从事摩托车研制，在布拉格的捷克国家技术博物馆（the Czech National Technical Museum）中就展出了一辆他设计的摩托车。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "高中时期，我最喜欢的科目是数学和物理，学校鼓励对这些科目感兴趣的学生参加课外竞赛，也会布置一些具有挑战性的家庭作业，我非常喜欢解决这些有难度的任务。那时候，我参加了全国的数学和物理比赛，并且都获得了奖项。获奖的学生就可以进入更高级别的比赛，1968年6月，我代表捷克斯洛伐克参加了在布达佩斯举行的第二届国际物理奥林匹克竞赛，获得了第二名。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "奥林匹克竞赛由img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/ced3a030-e739-47df-84af-2d8e25f854cd.jpg" title="捕获.PNG" alt="捕获.PNG"/教授和另外几个专职老师于1959年在捷克斯洛伐克发起，并于1967年成为了国际比赛。我们获得了第二名，仅次于匈牙利的“本土”团队。从那以后，我有幸与另一位前国际物理奥林匹克选手niklas Dellby共事，他是我在Nion的搭档。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我的另一大爱好是使用轻木和半透明的轻质纸组建飞机模型。我喜欢组建飞机模型和研究如何使它们变得更好。控制飞机飞行是一件非常有趣的事情，但对我来说，设计和组建的过程更令人有满足感。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在选择大学专业时，我在数学和物理之间左右为难。飞机模型组建的爱好使我选择了物理学，因为它是一个更加实用的专业，也许能让我建造出有趣的机器。我参加布拉格查尔斯大学（Charles University）数学-物理系的入学考试后，就去了法国和英国过暑假，并计划在大学开学的时候回到布拉格。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1968年8月，当苏联及其追随者入侵捷克斯洛伐克以阻止由img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/70a12fb8-ad0f-4a07-a1ab-226cf1f533d5.jpg" title="捕获.PNG" alt="捕获.PNG"/领导的民主运动时，我正在伦敦，并决定留下来，而我的父母和姐姐移民到了瑞士的弗里堡附近定居。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "英国人非常同情这个被苏联坦克占领的欧洲小国的公民。利兹大学（The University of Leeds）慷慨地为想要在英国学习的捷克斯洛伐克学生提供了五项奖学金，我很幸运，获得了其中一项。我在利兹大学学习了三年物理，度过了一段美好的时光。我学会了用约克郡口音讲英语，遗憾的是，后来这项技能被遗忘了。我以全班第一名的成绩毕业，并被剑桥大学Cavendish实验室录取，成为一名研究生。Archie Howie教授是我的博士生导师，他灌输的严谨标准陪伴了我的整个学术生涯。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我的研究课题是使用电子显微镜表征非晶态材料的结构，然后使用最新的电子显微镜解析各种材料的原子平面。我从“非晶态”碳中获得了0.3 nm分辨率的图像，并且表明了碳中含有小的石墨纳米晶体(Krivanek, Gaskell and Howie, Nature 1976)。这项工作让我意识到，只有具有更高分辨率的电子显微镜才能在原子尺度上清晰地观察物质的结构。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "20年后，当像差校正显示出可使分辨率大幅提高的希望时，我又回到了这个课题。电子显微镜是探索原子世界的强大工具，用途广泛，我迷上了使用它们，并产生想要让它们变得更好的想法。当时，世界上分辨率最高的电子显微镜在日本京都大学（Kyoto University）Keinosuke Kobayashi教授的实验室里：Yoshinori Fujiyoshi用一台500 keV的仪器获得了铜酞菁分子图像，所有原子（氢除外）都清晰地分辨了出来。我向英国皇家学会申请延长居留时间，并获得了成功。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当去了京都之后，我发现纸上的电子显微镜是世界上最好的，它的电子源很弱，不能使我们看到足够好的图像以优化显微镜的设置。因此，Seiji Isoda和我开发了一种快速的“辅助调节”程序，使人们能够正确地设置显微镜且不需要盯着昏暗的屏幕看。结果得到了清晰的锗晶体中复杂缺陷的图像，所有投射原子的位置都可以从图像中“读出”。这是我研发改进显微镜调整方法的开始，事实证明，这是成功进行像差校正的必要组成部分。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在京都待了一段时间之后，我又进行了三个月的陆路旅行，从亚洲返回欧洲，体验了许多不同的文化，然后在美国新泽西州默里山的Bell实验室开始了博士后工作。那时候，Bell实验室非常有实力，我与其他人共同工作，其中一位是Dan Tsui，他发现了分数霍尔效应（the fractional Hall effect），并因此在几年后获得了诺贝尔奖。span style="text-indent: 2em "Bell实验室有许多有趣的材料和设备，但没有显微镜能够解析它们的原子结构。当时的解决办法是，在Bell实验室制备样品，然后经John Silcox教授和Steve Sass教授的协助，在康奈尔大学（Cornell University）使用和我在博士期间所用的相同类型电子显微镜对它们进行成像。这项工作制备出了MOSFET器件中最重要的Si-SiOsub2/sub界面的原子分辨成像。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我的下一个博士后工作是在加州大学伯克利分校的Gareth Thomas教授团队。该团队隶属于材料科学系，但是与材料相比，我对先进的技术和仪器更感兴趣。我认为电子能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）是一项特别有趣的技术。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1978年，我在康奈尔举行的分析电子显微镜研讨会上第一次接触到这项技术，在那里，我遇到了一些人，他们成为了我一生的朋友，如Pat Batson、Christian Colliex、Ray Egerton和Mike Isaacson，我们被期望建立自己的光谱仪——那时候还没有商业模型。因此，在Peter Rez的大力帮助下，我设计并制造了一台紧凑型光谱仪，Peter Rez为这台光谱仪编写了软件。从最初的构想到一台可以工作的光谱仪，整个过程共耗时10个月，这是我第一次研制一个完整的仪器并把它应用到有趣的问题上。我遵循了五个简单的原则，这些原则对我后来的项目也非常有用：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1） 适度启动，从一个比大项目更容易完成的小项目开始。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2） 仔细考虑那些会影响性能并且以后很难更改的设计选择。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "3） 动作要快，不要把事情搞砸。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "4） 从第一个设计中吸取教训，然后再进行第二个设计，以解决仅在第一个设计开始工作后才变得清晰的问题。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "5） 与他人合作以帮助项目更快地进行。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "后来我添加了第六条：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "6） 当进入由新仪器支持的未开发的研究区域时，请通过产学合作进行研究，其中由工业合作伙伴提供仪器以及如何操作仪器的专业知识，由合作大学（或研究机构）提供解决问题的方法、样本、理论知识以及热情的学生和博士后。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我的第一台光谱仪的主要局限性在于，除了一阶，它没有像差校正功能，这限制了可以提供良好能量分辨率的入口孔径大小，从而导致信号收集效率低下。因此，我采用了第4和第5个原则，与Gatan的Peter Swann和顾问Joe Lebiedzik以及康奈尔大学的Mike Scheinfein密切合作，研制出了修改设计，组建出的光谱仪具有完整的二阶像差校正，其信号采集效率比第一款光谱仪高约100倍。这是像差校正有用性的有利验证。我还从Peter那里学到了很多东西，Peter拥有出色的设计天赋，我们成为了密友。那款光谱仪被称为Gatan系列EELS 607型，获得了商业上的成功。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "这个设计是在我转任新职位后完成的，即在亚利桑那州立大学（Arizona State University）担任由NSF资助的HREM设施的助理教授和副主任。Gatan向ASU捐赠了一款新的光谱仪，我们与合作者一起将其应用于许多有趣的问题，并把迄今为止使用的所有稳定元素的EELS图集汇总在一起。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "ASU是一个工作的好地方，员工或长期来访者中有许多电子显微镜专家：John Cowley、 Peter Buseck、John Spence、Johann Taftø 、Naoki Yamamoto、Channing Ahn、Kazuo Ishizuka、Ray Carpenter、Sumio Iijima (2008年Kavli奖获得者)等。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "但是，当Peter Swann将Gatan研发中心从匹兹堡移至旧金山湾区时，加利福尼亚的魅力就变得不可抗拒。1985年，我成为Gatan的研究主管。接下来是一段富有成果的时期，在此期间，我们推出了许多成功的仪器，包括并行检测EELS、柱后成像滤镜、CCD相机、扫描图像采集系统以及数字显微照相和EL/P软件。这段时间里，Gatan的规模增长了近10倍，我了解到，制造商用仪器是资助仪器研究的一种好方法，尤其是当与志同道合的研究人员和精通科学的管理人员合作时，他们能了解比较好的科学价值。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们在Gatan研制的成像滤波器使用了四极光学器件，并使用六极杆校正了二阶像差和畸变（图1）。成像滤镜执行两个不同的电子光学任务：它们在能量选择狭缝上形成能量损失谱，充当光谱仪，然后将通过狭缝选择（滤波）的部分光谱转换成图像，作为投影镜头系统。这使得它们的光学与整个电子显微镜的非常相似。我们的滤波器使用的校正原理和后来由我和Niklas Dellby研制的像差校正器相同：四极杆赋予高阶多极杆内部光束不同的一阶特性，多极杆校正了高阶像差/失真。尽管当时的光学系统看起来很复杂，但对软件的认真学习可以让仪器变得易于操作。更高版本的滤波器使用八极杆实现了三阶像差校正。这项课题的完成使我相信，我有很大可能性来校正电子显微镜物镜的三阶（球面）像差——自从Otto Scherzer在1930年代和40年代研究该问题以来，这就是电子光学中的一个经典问题。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 571px height: 355px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/b4172849-171a-4ab0-bc28-a33dd8674086.jpg" title="图片1.png" alt="图片1.png" width="571" height="355"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图1. 一款使用四极(Q)和六极(S)校正二阶像差和畸变的成像滤波器。它工作得很好，使我充满信心，显微镜物镜的球面像差校正器将不会很难制造。O.L. Krivanek et al., Microsc. Microanal. Microstruct. 2/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1950年代至70年代，德国和英国制造了几台成功的原理校正器，但在实际性能方面，其取得的成功都没能超过最好的未经校正的显微镜所达到的成就。有几个有雄心且费钱的校正器项目未能实现目标，给研究像差校正的人员带来了一种不可能成功的思想。这使得研制像差校正器对Gatan来说成为了一个过于投机的项目。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我很想研制一台，因此我尝试在其它地方进行。我第一次为校正器争取资金是在1992年左右与时任伯克利国家电子显微镜中心主任的Uli Dahmen聊天，但没有成功。幸运的是，我说服了我母校（剑桥大学）的Mick Brown，他有一台备用的真空发生器冷场发射(CFE)扫描透射电子显微镜(STEM)，我们应该尝试为它建立一个校正器。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1994年初，我们与Andrew Bleloch一起向英国皇家学会申请了资金，并从保罗仪器基金会获得了8万英镑的资助。1995年9月，我与家人一起移居剑桥，在Cavendish实验室工作了两年，并在那里获得了博士学位。我于五年前和Niklas Dellby在Gatan合作，当时他正在麻省理工学院攻读博士学位，还有其他人加入了这个项目，Robinson学院授予了我Bye奖学金。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们有两个关键的认识。第一，像差校正对STEM的益处最大，与传统透射电子显微镜相比（CTEM），STEM的工作受到色差的影响较小，且校正的益处是传统透射电子显微镜的两倍：小型探头具有更好的空间分辨率和更强的束流，从而大大改善了STEM的光谱性能。这就是为什么我们从一开始就专注于STEM像差校正，结果证明我们的预感是正确的：现在，世界上像差校正STEMs的数量是像差校正CTEMs的两倍以上。第二，球差校正需要复杂的电子光学器件，这必然会引入很多“寄生”像差。这些问题不能通过精心构造而避免，但是可以对其进行特征化和逐一取消。如果不采取此步骤，校正器也许能够固定球差，但是强寄生像差可能会使整体成像性能变差。我们专注于研发STEM自动调谐算法，该算法使用我在之前表征像差的工作中率先提出方法来量化寄生像差。在这部分的项目中，我们得到了Andrew Spence和Andy Lupini的大力帮助。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "如果电子显微镜可以使用玻璃透镜，那么像差校正将非常容易：只需按照要求对关键的“物镜”进行形状调整，使其形成正确的四阶抛物线形状，以消除球差(Cs)。但是，与穿过玻璃而没有太多散射的光不同，电子会被物质强烈散射，并且由固体材料制成的透镜对它们不起作用（除了一些特殊的例外）。取而代之的是，它们被延伸到真空的磁场聚焦，在真空中电子传播，场分布服从拉普拉斯方程，其结果是在圆形透镜中无法避免强烈的正球差。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们的解决方案与1960年代在英国剑桥研制的原理验证校正器类似，它使用非圆形四极和八极透镜，其中电子束的横截面制成椭圆形，且先在一个方向上，然后在垂直方向上，赋予了理想的像差特性。我们还确保可以测量并修复每个重要的寄生像差。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1997年夏，我们获得了修正STEM分辨率的校正图像，同年夏天，Heidelberg-Julich CTEM校正器项目获得第一批改善后的图像，并在1997年在剑桥举行的EMAG会议以及1998年在拉德洛港举行的TARA研讨会上介绍了我们的研究结果。我们在剑桥的研究结束了，1997年10月，我回到了美国。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/d145154a-980d-4ba5-85ca-198b88c25d64.jpg" title="图片2.png" alt="图片2.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图2. 第一个STEM Cs校正器的中心部分，提高了内置显微镜的分辨率，它具有6个多极载物台，其中包含强四极和八极，还有96个辅助线圈，用于消除寄生像差。 校正器Ø ~12cm/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "现在，校正器（图2）在Cavendish实验室的玻璃盒中展示，旁边展示的还有Deltrap的原理验证四极八极校正器和Cavendish的“皇冠上的珠宝”（包括J.J. Thompson发现了电子以及Watson和Crick建立的DNA模型）。我们的剑桥校正器没有改进当时最好的未校正STEM的性能，但我们的mark II校正器可以改进。在我成为西雅图华盛顿大学的研究教授后，我和Niklas Dellby设计并研制了该校正器，并在1997年底创建了Nion公司。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "图3为Nion的创始人以及Nion的第一名员工George Corbin。George Corbin大学刚毕业就被我们雇佣，在Nion工作的22年里，他为公司做出了巨大的贡献。我们建了一个实验室，以3万美元的价格购买了一台二手VG STEM（它比我们在剑桥使用的STEM还要新），然后开始研究新的校正器。资金主要来自位于纽约约克镇高地IBM TJ Watson研究中心的Phil Batson。该项目具有双重优势：它是第一台商业校正器，于2000年6月/7月交付并安装在IBM公司，并且成就了第一款能够将电子束聚焦到直径小于1埃（0.1 nm）的STEM， 由Phil设定为120 keV，之后不久，当我们在Oak Ridge国家实验室（ORNL）将类似的校正器组建到300 keV STEM中时，结果很快有了进展，Matt Chisholm和Pete Nellist解析了相距0.78埃的原子柱。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 481px height: 304px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/ec02e79e-1114-459c-b372-f3f663748d72.jpg" title="图片3.png" alt="图片3.png" width="481" height="304"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图3. Ondrej Krivanek，George Corbin和Niklas Dellby在Nion I大楼前，该大楼设有一个大型车库，后来我们改建把它改造为机械装配室，因此，Nion在某种程度上可以称其起源于一个车库。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "像差校正很快成为电子显微镜的新领域。德国CEOS公司为老牌电子显微镜制造商提供校正器，最初有CTEM，后来又有STEM，而Nion公司则专注于STEM校正器，并独立完成所有的工作。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "首先，我们为VG STEM制作了校正器，将其分辨率提高了近2倍。我们下一个“大胆的想法”是：我们可以通过设计全新的电子显微镜来拓展校正器的功能，并且我们会比老牌的显微镜制造商做得更好。我们研发的显微镜Nion UltraSTEM™ 建立了许多性能基准，它使人们对材料的性质有了新认识。之后，我们为显微镜增加了许多其他的，通常是革命性的功能，如下所述。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "例如，我们的新STEM制出了二维材料(如石墨烯)和一维材料(如纳米管)令人惊叹的图像。我们利用来自爱尔兰都柏林三一学院（Trinity College）的Valeria Nicolosi和日本先进工业科学技术研究院（National Institute of Advanced Industrial Science and Technology）的Kazu Suenaga所提供的样品进入了这一领域。Niklas和我把这些样品带到橡树岭国家实验室(ORNL)，在那里，我们花了一个周末的时间研究Nion交付给客户的第四架电子显微镜。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当时的普遍观点是，我们使用的成像技术（高角度环形暗场(HAADF)成像）不能有效地对像碳这样的光原子进行成像，认为该信号太弱而无法对单个原子进行成像。与这种“观点”相反，我们在一次60 keV的情况下获得了纳米管和石墨烯的清晰图像，避免了样品的严重破坏。我花了很多时间操作其他电子显微镜，但从未见过像Nion仪器所显示的那样清晰的图像。我不是一个喜欢惊呼的人，但我记得我停了一下，把椅子从控制台往后推开，然后宣布：“Niklas，我们做了一个非常好的显微镜！”/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我不是唯一这样认为的人，一天晚上，在ORNL做博士后的Juan Carlos Idrobo走进实验室，当他看到我们获得的结果时，他看很长一段时间，好像粘在了那个地方一样。不久之后，他和其他人开始在ORNL进行类似的实验，几个月后，Matt Chisholm制出了一张标志性的BN单分子层原子取代图像，并登上了《自然》的封面上（图4）。随后在ORNL获得的结果显示了固定在石墨烯薄片上的由6个硅原子组成的结构是如何在两个相当稳定的构型之间来回跳跃。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "大约同一时间，在橡树岭和Daresbury Super-STEM实验室中，从嵌入石墨烯中的单个Si原子获得了具有精细结构特征的EEL光谱，也在实验室中从2D MoSsub2/sub片中雕刻了半导体MoSsub2/sub纳米线，并且维也纳大学的一个研究小组能够通过电子束在石墨烯片中按选定的方向“驱动”单个Si原子。可用束流的增加，使材料的元素组成能够通过EELS和能量色散X射线光谱法（EDXS）在原子分辨率上有效地映射出来，这正是我们所期望的。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/2b803d25-ee00-4eb7-8f95-9ce510239343.jpg" title="图片4.png" alt="图片4.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图4. 《自然》期刊2010年3月25日的封面。 它显示了具有原子取代的单层BN的中角环形暗场（MAADF）STEM图像。将实验图像着色以对应于使用图像强度识别的原子类型，并在透视图中进行渲染。红色= B（硼），黄色= C，绿色= N，蓝色= O。Krivanek等人，Nature 464（2010）571-574./strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "也可以使用不同元素的EEL光谱中的化学位移来映射成键信息（图5）。所有这些功能只是Nion经像差校正的STEM所能实现的不同研究的一小部分。现在，全球有超过20台这样的仪器，还有约700台由其他制造商制造的像差校正STEM。在一个专题论文中覆盖使用这些仪器完成的所有创造性工作是不可能的。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/6665f87c-c8c7-476e-ab7c-91e55449b3b7.jpg" title="图片5.png" alt="图片5.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图5. EuTiOsub3/sub晶体中Eu原子的EELS图导致了与DyScOsub3/sub原子尖界面。图中每个像素的强度显示了从该像素获得的光谱算出的Eu浓度，无论原子是3+Eu（绿色）还是2+Eu（红色），颜色都是如此。插入图显示了从界面（绿色）和远离界面（红色）的Eu M4,5边缘阈值峰，由于Eu价的变化，化学位移为2.5 eV。 L.Kourkoutis，D.A. Muller等人，proceedings IMC17 (Rio de Janeiro, 2010)./strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们在软件方面的努力增强了像差校正的先进性，使仪器功能更强大且更易于使用。如果没有像差校正，将无法实现能量分辨率的提高：我们研发的单色仪和电子能量损失光谱仪都采用了我们首先介绍的用于像差校正的设计原理。这些仪器的光学特性和无与伦比的稳定性已将EELS的能量分辨率达到3 meV（相对于不使用单色仪的电子显微镜，能量分辨率提高了约100倍），并且在常规情况下可达到5 meV。这种分辨率级别允许在电子显微镜下进行振动光谱分析，并开辟了的新研究领域：声子（包括声学声子）的0.2-2 nm空间分辨率成像及其与晶体缺陷的相互作用； 检测和绘制氢分布图的能力； 区分不同的同位素（图6）； 以及有机和生物样品的无损分析。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/4e3ccdd0-225d-455b-99d6-7452bd28efcb.jpg" title="图片6.png" alt="图片6.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图6. L-丙氨酸两种形态的实验振动光谱，其区别在于单个的12C原子被13C取代。由于C=O键的延伸，在200 meV处，高峰的4.8 meV位移可以映射为揭示约100 nm空间分辨率下这两种类型分子的位置。J.Hachtel等人,Science 363 (2019) 525–528./strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在电子显微镜下分析生物样品的振动特征且不会造成重大损坏的能力尤其令人兴奋。它基于在我们所研究的振动能量（20-500 meV）下，激发光声子的偶极相互作用被局域化了，并有可能在30-100 nm甚至更远距离电子束的区域探测分子振动。当电子束离得很远时，每个高速电子可以传递到样品的能量通常被限制在 1eV，并且没有明显的辐射损伤。空间分辨率不如将电子束照射到样品上并利用非偶极子信号时高，但在30-100 nm分辨率下探测冷冻水化生物样品中存在什么分子的技术仍有很多重要用途。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我是在柏林洪堡大学的Christoph Koch小组里，与洪堡大学的Christoph、Benedikt Haas、Zdravko Kochovski和JohannesMü ller以及Nion的Tracy Lovejoy、Niklas Dellby和Andreas Mittelberger合作，一直在探索这一想法。当冠状病毒大流行袭来的时候，我们已经把所有需要的仪器放在一起准备开始实验，并且，我决定返回华盛顿州。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我们计划在疫情允许的情况下尽快恢复工作。仪器设备的研发类似于探索未知领域，就像于200年前Alexander Mackenzie和David Thompson探索美国太平洋西北地区的方式，猜测在哪个方向上会有什么欢迎之地，之后是漫长的探险之旅，每天克服困难和障碍的聪明才智决定了成败。所有的探索者都尽了最大的努力，有时偶然的发现会给正确的方向带来关键性的推动。我非常感谢Nion实验室的合作伙伴，感谢他们付出的巨大的且显有成效的努力（图7）。/pp style="text-align: center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/d1542126-534d-489f-9a1b-aeb13ae166f2.jpg" title="图片7.png" alt="图片7.png" style="text-align: center max-width: 100% max-height: 100% width: 617px height: 133px " width="617" height="133"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图7. 2019年8月Nion Open House集体合影。照片中Nion团队有Niklas Dellby、Tracy lovejoy、Chris Meyer, George Corbin、Russ Hayner、Matt Hoffman、Peter Hrncirik、Nils Johnson、Josh Kas、Ben Plotkin-Swing、Lemek Robinson、Zoltan Szilagyi、Dylan Taylor、Janet Willis和Ondrej Krivanek，以及Nion的合作伙伴Toshi Aoki、Nabil Bassim、Phil Batson、Andrew Bleloch、Wouter van den Broek、Peter Crozier、Christian Dwyer、Meiken Falke、Jordan Hachtel、Fredrik Hage、Bethany Hudak、Juan Carlos Idrobo、Demie Kepaptsoglou、Jani Kotakoski、Richard Leapman、Andy Lupin、Alan Maigne、Clemens Mangler、Molly McCartney、David Muller、Matt Murfitt、Xiaoqing Pan、Luca Piazza、Quentin Ramasse、David Smith、Rhonda Stroud、Toma Susi、Luiz Tizei、Kartik Venkatraman、Wu Zhou等。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我特别感谢Niklas Dellby，我们与他一起创建了Nion，并愉快地合作了近30年。没有他的才华和努力，就不可能有这里所描述的进展。真是一次美妙的航行！/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "对我们所爱的人来说，持续研究并不容易，正是他们的关心和支持让我们继续前行。感谢我的女儿Michelle和Astrid，感谢我的侄子David对我的爱和理解，也感谢Eda Lacar（图8）对我的爱和支持，她以许多奇妙而出乎意料的方式扩展了我的视野，使我成为一个更好的人。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/85cd3419-d863-42e7-ac6e-7559c9efdf5c.jpg" title="图片8.png" alt="图片8.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong图8 Ondrej Krivanek和 Eda Lacar在亚利桑那州立大学西南像差校正电子显微镜中心前。 该中心有3台像差校正电子显微镜，在纳米表征方面发挥着世界领先的作用。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongbr//strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong延伸阅读：/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong/strong/pp style="text-align: left text-indent: 0em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201104/563818.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Harald Rose/span/a/pp style="text-align: left text-indent: 0em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20200608/540683.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Maximilian Haider/span/a/pp style="text-align: left text-indent: 0em "strong/strong/pp style="text-indent: 0em text-align: left "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20201204/566735.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Knut Urban/span/a/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "br//p

p style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "【简介】/span/strong/span/pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "span style="font-size: 18px "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/d0dc0dbb-1e74-46e2-b64b-1356a6ea1c91.jpg" title="图片1.png" alt="图片1.png"//spanstrongspan style="font-size: 18px "br//span/strong/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) font-size: 18px "/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Knut Urban，德国物理学家。曾就读于斯图加特大学，并于1972年获得物理学博士学位，之后前往斯图加特的马克斯· 普朗克金属研究所。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1986年，Knut Urban被任命为德国埃尔兰根-纽伦堡大学材料性能教授，一年后，成为亚琛工业大学实验物理系主任和尤利希奥地利维也纳大学微结构研究所所长。在此期间，Knut Urban与Harald Rose和Maximilian Haider合作获得了第一个像差校正的透射电子显微镜结果，该成果于1998年发表。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "随后，span style="text-align: justify text-indent: 32px "Knut /spanUrban致力于将像差校正的透射电子显微镜应用于材料科学，尤其专注于晶格内原子的精确排列与材料物理特性之间的联系。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2004年，Knut Urban被选为厄恩斯特· 鲁斯卡电子显微镜和光谱学中心的主任之一，自2012年以来，一直是亚琛工业大学的JARA高级教授。span style="text-align: justify text-indent: 32px "Knut /spanUrban已获得多项荣誉，这些奖项包括美国材料研究学会的冯· 希佩尔奖，并与span style="text-align: justify text-indent: 32px "Harald /spanRose和span style="text-align: justify text-indent: 32px "Maximilian /spanHaider共同获得了沃尔夫物理学奖，本田生态技术奖和BBVA基础科学知识前沿奖。Knut Urban还是包括美国材料研究学会，德国物理学会和日本金属与材料学会在内的多个科学机构的荣誉会员。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2020年，Knut Urban与Maximilian Haider、Harald Rose、Ondrej L. Krivanek一起获得了科维理纳米科学奖。科维理纳米科学奖评审委员会认为，Knut Urban为首台像差校正常规透射电子显微镜的实现做出了突出贡献。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/noimg/faf1d133-0893-47d3-88dd-7cec59b90830.gif" title="1.gif" alt="1.gif"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(127, 127, 127) "从左至右：Maximilian Haider, Knut Urban, Harald Rose, Ondrej L. Krivanek/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "br//span/pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="font-size: 18px "【span style="text-align: justify text-indent: 32px "Knut Urban /span自传】/span/strong/spanstrong/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我在战后初期的德国斯图加特长大，这个城市因汽车工业和众多中小型工企而闻名。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我的父亲是一名电气工程师，经营着一家小型电动机公司。在过去的几十年里，父亲的一系列研发成了公司的主要产品。在我的家里，有很多关于科学和技术的思考、阅读和讨论。除了感谢父母的关心，我还感谢他们的一种批判、开放、合作的思维方式，这对我后来的发展非常有益，尤其是在职业上。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当我还是个小学生的时候，就利用学到的技术和祖父一起建造了我的第一台光学望远镜，这台仪器连接着一台反射望远镜，可用于更进一步的观察。几年后，我成为斯图加特天文台最年轻的成员。这就是我如何从天文学进入物理学的过程。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "高中毕业后，我加入了西门子（Siemens）公司，在电气工程领域做了为期一年的学徒，这是六十年代进入大学学习物理的先决条件。这段时期对我来说很重要，通过与工人们一起学习生产和设计等电子工程技术，不仅让我获得了重要的专业知识，还增强了社交能力。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "随后，我进入斯图加特技术大学（the Technical Univercity of Stuttgart）学习物理。期间，我受到博世（Bosch）公司在半导体领域工作的启发，在大学期间完成了半导体领域的实验文凭论文。在这里，我学到了很多有关低温、半导体的光学特性以及晶格缺陷如何影响半导体的光学特性等知识。这是我进入固态物理学，特别是进入晶体缺陷物理学的过程。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我的整个职业生涯进一步决定性因素是Alfred Seeger（斯图加特大学固体物理学教授，Max Planck金属研究所所长）对我在低温下塑性变形锗光学性质的研究结果感兴趣，并帮助我完成了博士学位论文。Seeger因在晶体缺陷领域的开拓性工作而享誉国际，并且是当时最灵活变通的固态物理学家之一，他所研究的领域和所使用的实验和理论方法都是非常多样的。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Seeger向他的博士生介绍了具有挑战性的课题，并相信他们会成功。根据他的提议，我不得不跳入冷水中，为Max Planck研究所的新型高压电子显微镜搭建一个物镜台。难点在于，该平台应允许在不影响显微镜分辨率的情况下将样品冷却至液氦温度（-269℃），以便研究金属中的原子晶格缺陷。别的团队尝试了大约十年，都没有成功。用于冷却的沸腾氦的振动和低温的不稳定性破坏了光学分辨率。Seeger为我提供了在柏林的Fritz Haber研究所为Ernst Ruska进行系统设计和建造的机会。（Ruska后来因电子显微镜的研发而获得了诺贝尔奖。）/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "作为一名彻头彻尾的工程师，Ruska一开始对我这个年轻的物理学家持怀疑态度。但在Siemens和Bosch车间的工作让我为这份高要求的工作做好了准备，几个月后，我联系Ruska进行面试，腋下夹着一大捆图纸走近他时，令他印象深刻。从那时起，他就怀着极大的兴趣关注了我的工作，并向我提供了研究所的所有设施。一个有新的、独立想法的新人可以取得别人所无法接受的突破，这种情况并不少见。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "高压电子显微镜中的氦冷却物装置成为我们多年来直接在高分辨率观察下进行实验的平台。这种显微镜有一个吸引人的优点，即在高电子能量下，可以通过电子-原子位移产生原子缺陷，而在低能量下，可以在任何所需温度下观察它们的二次反应。我自己也得到了一些新的研究结果，其中最重要的就是发现了辐射引起的原子缺陷扩散（由电子缺陷相互作用引起）以及合金中旋节线有序性的证明，这是一种基于特殊晶格对称性的复杂工艺，经过多年的理论讨论，但是从未经过实验证明。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "80年代后期，我离开了Max Planck研究所，成为埃朗根大学材料科学教授。几年后，我搬到了Jü lich研究中心，担任固态科学研究所所长，并兼任亚琛工业大学实验物理教席。在此期间，我开始对准晶体这一新兴领域产生了兴趣，之后不久，Dan Shechtman因其发现获得了诺贝尔奖。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "结合低温和高温原位电子显微镜技术，我首次证明了合金中的准晶体相是由高温时非晶态自行形成（之前认为进入准晶相的唯一途径是从熔体中骤冷），并发表了论文，这篇论文成为我进入准晶体科学家“俱乐部”的“入场券”。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "几年后，当偶然发现其中一张图像中的位错是一种与晶体塑性行为密切相关的晶格缺陷时，我开始对准晶体塑性感兴趣，并在这一领域工作了很多年。位错的发现非常令人兴奋，因为它出乎意料。准晶体是基于六维晶格的，要了解这些晶格缺陷的拓扑结构非常困难。同样复杂的是，在电子显微镜中对这些缺陷进行定量表征的对比理论的提出，让我们忙了很长一段时间。另外，位错的观察表明，准晶体材料一般来说很脆，可能会发生塑性变形，我们通过在高压电子显微镜下进行原位实验证明了这一点。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "80年代是固态物理学和材料科学令人振奋的年代，尤其是氧化物材料高温超导性的发现以及扫描隧道显微镜（STM）的发明。我们从Alfred Seeger那里学到的很多新固态物理学内容，以及他为我们提供的例证，伴随了我的整个职业生涯中。当时，我刚刚接管了德国国家研究中心的一个研究所，该研究所拥有合理的设备和人员资源，于是我就全身心地投入了另外两个工作组的建设，一个是STM，另一个是氧化物超导体的研究。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "STM最初是作为表面物理技术引入的，由于我对晶格缺陷感兴趣，我们建立了一个新的STM，成为第一个研究半导体中单掺杂原子以及其电场、扩散和在器件pn结中行为的团队；而先进半导体技术，则是一个非常有趣的研究。对于氧化物超导体，有两件事被证明是对我们有利的。为了实现自己的想法，我们建造了用于沉积超导薄膜及器件的设施，并使用我们最先进的电子显微镜直接检查膜沉积结果的质量并对其不断改进。我们在Josephson装置和高频性能方面突破了国际记录，我们的超导微波谐振器被用于国际通信卫星项目。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "当时的电子显微镜比以往任何时候都功能强大，我们为能够在80年代末投入使用新仪器而感到自豪，它们在200 kV时的分辨率约2.4埃，300 kV时的分辨率约1.7埃，这非常出色。另一方面，它们仍未达到原子尺寸，这在包括我在内的固态物理学家看来像“圣杯”一样。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1989年9月的“DreiLä ndertagung”（奥地利、德国和瑞士的电子显微镜学会四年一次的传统会议）上，Maximilian Haider和Harald Rose告诉我，有一个项目将决定性地改变我们未来的职业生涯，当然也将改变电子显微镜的“职业生涯”，这是一个大事件。Harald Rose刚刚完成了一项新的像差校正电子显微镜物镜的理论研究，保守估计，在目前的电子技术水平下，这种物镜有可能实现。几个月后，我们同意向大众基金会提交一份联合申请。目的是在海德堡欧洲分子生物学实验室的Haider实验室研制新的半平面校正透镜（即现在的“Rose 校正透镜”），并实现将其应用到经过适当改进的商用常规透射电子显微镜（CTEM）中。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "由于在CTEM中还必须校正离轴像差，这是比较常见的情况，它自动包括扫描透射电子显微镜（STEM）的校正情况。由于该领域数十年的失败以及行业缺乏兴趣，美国资助机构决定不再资助像差校正电子光学系统的研发，因此全球相应的工作组开始解散。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "大众基金会一般不为纯仪器的研发提供资金，但我们认为我们的项目有机会获得资助。作为一个由专门研究电子光学的理论和实验物理学家以及对不同领域具有研究兴趣的材料学家组成的团队，我们能从材料科学应用的角度来证明此项目的合理性。在经过一次真正的范式改变之后，今天，现在，电子光学中的像差校正问题得到了解决，并且原子副原子材料科学研究成为了我们日常生活的一部分，且几乎不可能使自己回到科学显然没有为原子分辨电子显微镜做准备的那个年代。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在材料科学即将进入纳米技术的时代，人们非常希望能达到原子范围的尺寸。但是几十年来电子光学无法实现，校正电子透镜像差的问题实在太困难了，这打击了材料科学家认为电子光学将能够帮助他们的信心。因此，最大的问题是说服我的同事——材料学家：我们的理论更好，比之前的尝试有更大的机会能取得突破。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在这种情况下，我决定在德国以及国外的材料科学的机构中举办多次演讲，并且组织了一些专门的会议来宣传材料科学对原子电光分辨率的需求。后来，我们的提案在最终审核会议上一票险胜，获得了资助。1997年，世界上第一台经过像差校正的透射电子显微镜的分辨率显示超过了1.4aiq（200 kV），几乎是未经校正仪器分辨率的两倍，这使我们能够在锗晶体中显示原子分辨率。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "每个物理学家在大学的前几年都会学到原子世界遵守的量子物理，而这在很多方面与我们在日常生活中习惯的经典物理学有很大不同。所以如果我们想掌握原子尺寸获得的图像，还有很多东西需要学习。与外行人（直观地）看到高分辨率图像时的假设相反，原子不能被直接看到。电子对原子的电场起反应，因此需要特殊的光学操作才能获得图像。我们到底看到了什么，是我们接下来几个月的重点问题。努力最终得到了丰厚的回报，期间，仪器已移至Jü lich，在前人没有想到的特殊的新成像条件下，我们第一次成功地看到了氧化物中的氧原子。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "氧化物正在成为最重要的材料类别之一，但是，由于其低散射能力，之前电子显微镜观测不到氧及其它轻原子，现在，这种情况突然改变了，氧化物化学家们非常热情，我们也已经从事材料中氧的研究许多年了。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "通过原子像差校正电子显微镜解决的第一个重要的材料科学问题是证明了YBaCuO铜链平面中氧原子的顺序，这对高温超导理论非常重要，以前没有人能直接看到这些材料中的氧。此外，我们可以证明且测量BaTiO（和其他钙钛矿）晶格缺陷中氧原子的化学计量，从而解决了氧化物化学领域的一个长期争论。这再次证明了我们材料科学研究团队在这些领域以及电子显微对比理论方面的能力，使我们能够充分利用与电子光学同事同研发的新仪器。从一开始吸引我的是，我们发现通过将定量像差校正电子显微镜和测量与计算机中的量子物理和光学图像模拟相结合，可以测量原子位置和原子位移，且精确度比皮米计还高。这实际上是一个无法想象的维度，它相当于氢原子玻尔直径的百分之一，进入这些微小的维度意味着可以进入大量物理现象发生的领域。此外，显微镜和计算机模拟的结合为我们提供了有关所成像原子化学性质和浓度的分析信息。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2004年，我当选为德国物理学会主席，该学会是世界上历史最悠久，也是最大的物理学会，拥有超6万名会员。能够为这个协会服务，我一直感到特别的荣幸。该学会有很多非常文明的会长，是值得我们钦佩的人物，但是他们对物理学发展的巨大贡献却是我们所无法超越的。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "科学领域是国际性的，能够遇见各国志同道合的人并跨越国界进行合作，是我的荣幸，我和许多同事也成为了一生挚友。以上这段简短的叙述是我整个科学生涯的摘录，没有提到我在法国巴黎附近的Saclay研究中心，在日本仙台东北大学担任客座教授，以及在中国的学校（清华大学和西安交通大学）多年的工作经历。/ppbr//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong延伸阅读：/strong/ppa href="https://www.instrument.com.cn/news/20200608/540683.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Maximilian Haider/span/a/ppa href="https://www.instrument.com.cn/news/20201104/563818.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Harald Rose/span/a/ppa href="https://www.instrument.com.cn/news/20201112/564599.shtml" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "【自传】像差校正电镜技术先驱之Ondrej L. Krivanek/span/a/ppbr//p

p style="text-indent: 2em "strong style="text-indent: 2em "仪器信息网讯 /strongspan style="text-indent: 2em "5月27日，2020年度科维理奖（Kavli Prize）揭晓，本年度科维理天体物理奖、纳米科学奖和神经科学奖，三个奖项分别授予七位科学家，以表彰他们在天体物理学、纳米科学和神经科学领域作出的杰出成就。其中，纳米科学奖授予了对像差校正电镜技术的发展做出巨大贡献的四位欧洲科学家：Maximilian Haider, Knut Urban, Harald Rose, Ondrej L. Krivanek。/spanbr//pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 346px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/83325f9d-30af-42e2-a151-13dcd1110736.jpg" title="1.png" alt="1.png" width="600" height="346" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "作为诺贝尔奖的补充，卡弗里奖是世界最高的科技奖之一，由挪威科学与文学学院、美国卡弗里基金会和挪威教育科研部联合成立。自2008年起，卡弗里奖每两年颁发一次，由三个学术委员会从世界各地提名的科学家中评选出该领域的获奖者，奖金为100万美元，奖金以外，每位获奖者还获得一块纯金的奖章。候选者则由各国享有盛名的科研机构推荐，这些科研机构包括中国科学院、法国科学院、德国马克普朗克学院、美国科学院、英国皇家科学院等。/span/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 578px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/1d799119-7443-4b26-90fa-4728b7d3aa31.jpg" title="2.jpg" alt="2.jpg" width="500" height="578" border="0" vspace="0"//ppbr//pp style="text-indent: 2em "在奖项设置上，诺奖涉及领域比较广，其分设物理、化学、经济学、文学等6个奖项。而卡弗里奖则只关注纳米科学、神经科学和天体物理三个细分领域，也是这三个科学领域中最具有权威性的奖项之一。/pp style="text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "2020年度科维理奖宣传片：/span/pscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=D8801874C0BE8E5D9C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/scriptp style="text-indent: 2em "纳米科学科维理奖授予了对像差校正电镜技术的发展做出贡献的四位欧洲科学家：/pp style="text-indent: 2em "strongHarald Rose/strong（德国乌尔姆大学和达姆施塔特工业大学）/pp style="text-indent: 2em "strongMaximilian Haider/strong（德国CEOS GmbH公司联合创始人，于1996年和Joachim Zach共同创立CEOS GmbH公司，目的是商业化生产像差校正器。目前是该公司高级顾问）/pp style="text-indent: 2em "strongKnut Urban/strong（德国于利希研究中心）/pp style="text-indent: 2em "strongOndrej L. Krivanek/strong（美国Nion公司联合创始人，1997年，他与Niklas Dellby创立了Nion公司，他目前仍是该公司总裁。同时也是Gatan公司研发总监）/pp style="text-indent: 2em "以表彰他们20世纪90年代在 “用电子束进行亚埃级分辨率成像及化学分析” —— 即研制亚埃级电子显微镜方面的开创性工作。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/noimg/abb8cdf0-0b58-4e05-a0a3-4cbd0d1db1af.gif" title="3.gif" alt="3.gif"//pp style="text-align: center "span style="text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "左至右：Maximilian Haider, Knut Urban, Harald Rose, Ondrej L. Krivanek/span/pp style="text-indent: 2em "眼见为实促进了科学的进步。2020年科维里纳米科学奖表彰了四位先驱，他们使人类能够在前所未有的微小尺度上看到材料的三维结构和化学成分。/pp style="text-indent: 2em "纳米科学的主要目标是创建原子级精度组装的材料和设备，以获得新颖的功能。原子的大小约为一个埃米（0.1纳米）。因此，亚埃规模的材料和设备的成像和分析至关重要。经典显微镜的分辨率受到用于成像的探针波长的限制。因为可见光的波长大约是原子的5000倍，所以光学透镜无法对原子成像。在20世纪初期，具有原子级波长的电子束变得可用，从而促成了1931年电子显微镜的发明。然而，由于透镜像差的限制，制造理想的电子透镜成为一个重大的理论和实验问题。60多年来，人们一直在为此而奋斗！通过不懈努力、独创性以及对20世纪90年代计算能力提高的利用，获奖者们构造了像差校正透镜，并将亚埃成像和三维化学分析作为标准的表征方法。/pp style="text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "三位获奖者共同创立了两家公司，并将他们的像差校正镜片商业化，进一步促进了他们科学工作的重大影响/span。从那时起，他们的显微镜及技术在基础科学和技术领域发挥了巨大的作用，并被半导体、化学和汽车等行业广泛使用。/pp style="text-indent: 2em "科维理纳米科学奖评审委员会认为，四位获奖者对像差校正电镜发展的贡献分别为：/pp style="text-indent: 2em "Harald Rose：提出了一种新颖的镜头设计，即Rose校正器，这使得透射电子显微镜中的像差校正技术应用于常规和扫描透射电子显微镜成为可能。/pp style="text-indent: 2em "Maximilian Haider：在Harald Rose设计的基础上，打造出第一个六极校正器，并为首台像差校正常规透射电子显微镜的实现做出了突出贡献。/pp style="text-indent: 2em "Knut Urban：为首台像差校正常规透射电子显微镜的实现做出了突出贡献。/pp style="text-indent: 2em "Ondrej L. Krivanek：发展了四极八极校正器，并打造首台亚埃分辨率的像差校正扫描透射电子显微镜，非常适合于高空间分辨的化学分析。/pp style="text-indent: 2em "strong科维里纳米科学奖委员会/strong/pp style="text-indent: 2em "Bodil Holst（主席），卑尔根大学，挪威/pp style="text-indent: 2em "Gabriel Aeppli，保罗谢勒研究所，瑞士/pp style="text-indent: 2em "Susan Coppersmith，新南威尔士大学，澳大利亚/pp style="text-indent: 2em "李述汤，苏州大学，中国/pp style="text-indent: 2em "Joachim Spatz，德国马克斯· 普朗克医学研究所/pp style="text-indent: 2em "span style="background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) "strong逐个原子的查看物质内部/strong/span/pp style="text-indent: 2em "纳米技术和纳米技术的最终目标是在很小的范围内操纵物质——甚至精确到移动单个原子——以创建具有新功能的粒子和设备。因此，如果没有允许以原子分辨率研究材料和设备的成像技术，这些都将无法实现。/pp style="text-indent: 2em "在授予奖项时，科维里纳米科学奖委员会选出了以上四位科学家，他们为两种类型的仪器的开发和使用做出了贡献，这两种仪器通常被称为像差校正透射电子显微镜，可以提供亚埃级分辨率有关结构和其他性质的信息，即可以获得单个原子信息。/pp style="text-indent: 2em "光学显微镜最多只能分辨几百纳米的尺度，因此需要一种不同的方法来区分单个原子。 1980年代发明的扫描隧道显微镜和原子力显微镜实现了原子分辨率，但是，它们都只能在暴露的表面上起作用，对于大多数纳米级结构，必须研究不同材料或同一材料的不同相之间的掩埋界面。最有希望的途径是优化Ernst Ruska于1931年发明的透射电子显微镜。这种仪器的原理是利用一束电子直接照射到给定材料的薄样品上，电子束与材料中原子的相互作用产生电子散射。利用散射电子，显微镜的电磁物镜和附加镜头形成一个放大的图像，并用CCD或CMOS相机记录。Ruska的设计今天被称为CTEM，用于传统的透射电子显微镜。“常规”是指，除了利用电子辐射外，CTEM还遵循光学显微镜的设计。1937年， Manfred von Ardenne发明了扫描透射电子显微镜STEM。在这种情况下，用细电子束扫描样品，并通过电磁透镜将其准直，并且穿过样品的电子被收集在样品后面。然后通过在视频屏幕上显示这些电子的强度来创建图像。/pp style="text-indent: 2em "STEM的一个独特优势是，对于电子束所聚焦的材料的每一个点，它也可以分析当电子束从材料中的原子散射时，电子所损失的能量。这种技术被称为电子能量损失光谱学(EELS)，可以提供材料内部原子组成和电子状态的信息。/pp style="text-indent: 2em "虽然到20世纪80年代末，CTEM和STEM的分辨率都达到了埃米级，但要解决大多数材料的详细原子排列是不可能的。问题是使用的电磁透镜比光学透镜有更多的像差。举例来说，穿过透镜的电子远离透镜的中心，聚焦的距离与穿过透镜的电子靠近透镜中心的距离不同，从而使图像变得模糊。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 333px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/70eb2c83-548b-486e-9c1b-5abb84cff363.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="500" height="333" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) text-align: center text-indent: 0em "Harald Rose在1990年的论文中的像差校正器示意图。 Optik 85，19-24（1990） © Elsevier GmbH/span/pp style="text-indent: 2em "1990年，任职达姆施塔特大学的Harald Rose在先前有关各种像差校正技术工作的基础上，设计了一种基于电磁六极杆的透镜系统（上图），可以对其进行调整以消除标准电子透镜的像差，这对CTEM和STEM均适用。在随后的几年中，Rose与当时位于海德堡的实验员Maximilian Haider和位于Jü lich的Knut Urban合作，以实验方式实现了他对CTEM的提议。1998年，这项合作发表了第一批使用像差校正CTEM改进的图像。 1996年，Haider和Joachim Zach一起创建了德国CEOS GmbH公司（相关电子光学系统），以使“Rose校正器”商业化，如今，这种校正器已在CTEM和STEM中广泛使用。/pp style="text-indent: 2em "在过去20年中，像差校正CTEMs有了长足的发展，分辨率现已达到0.5埃米。因此，与未经校正的TEM相比，相对于电子波长的分辨率可以提高7倍。查看晶格中单个原子的能力已使局部原子结构与原子性质之间的关系成为可能。要研究的材料。下图显示了一个漂亮的例子，图中使用像差校正的TEM直接将经典铁电材料中原子的位置与极化方向的变化联系起来。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 295px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/5f5a10bf-6174-4e26-b218-076702c9bd4b.jpg" title="5.jpg" alt="5.jpg" width="500" height="295" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "通过像差校正的TEM获得的材料PZT中不同铁电畴的原子结构。两相中原子（O，蓝色，Pb，黄色，Zr / Ti，红色）的位置可以直接与极化方向（Ps）关联。摘自C.-L. Jia et al. Atomic-scale study of electric dipoles near charged and uncharged domain walls in ferroelectric films. Nature Μater. 7, 57–61 (2008) © Springer Nature Ltd/span/pp style="text-indent: 2em "当Rose，Haider和Urban在开发像差校正CTEM的同时，一位长期从事电子光学和EELS的专家Ondrej Krivanek于1995年开始在英国剑桥与Mick Brown和Andrew Bleloch合作开发STEM的像差校正。1997年，Krivanek与Niklas Dellby一起创立了Nion公司，以商业方式开发像差校正的STEM。2002年，Krivanek，Dellby和他们的IBM同事Phil Batson发布了使用Nion四极八极STEM校正器获得的亚埃分辨率分辨率图像（下图）。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 736px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/53af0e89-ff35-41da-8356-3c6d72b118e0.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg" width="500" height="736" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "非晶碳衬底上的Au岛的原子分辨率图像。该岛被金的单原子簇包围。岛周围不同区域的衍射图表明，这些簇在邻近已建成岛的各种结构中有序排列。Nature 418, 617-620 (2002) © Springer Nature Ltd./span/pp style="text-indent: 2em "在过去的20年中，STEM的发展更加迅速。如前所述，STEM可用于执行EELS，并且此组合已用于获取有关材料化学组成（下图）甚至原子之间键合类型的信息。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 498px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/685d3129-54a8-497c-923d-e8c17190020f.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg" width="500" height="498" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "使用EELS在STEM上获得的（La，Sr）MnO3 / SrTiO3多层膜的原子分辨率化学图，显示了La（绿色），Ti（蓝色）和Mn（红色）原子。白色圆圈表示La列的位置；视场3.1 nm。自D. A. Muller et al. Atomic-scale chemical imaging of composition and bonding by aberration-corrected microscopy. Science 319, 1073–1076 (2008)。/span/pp style="text-indent: 2em "Rose，Haider，Urban和Krivanek的开创性工作促进TEM和STEM成为研究实验室常规使用的仪器。得益于相关技术的进步，首先是最重要的是实现了高度灵敏的电子探测器，这两种仪器现在都可以用于非常精细的样品，包括例如石墨烯和其他二维材料。一些仪器被用作小型实验室，其中化学反应是在直接的原子分辨率观察下原位进行观察。也有团队尝试超越成像，并操纵晶格内的单个原子。在工业上，这些仪器经常用于监视设备的质量和可靠的制造。/pp style="text-indent: 2em "正如卑尔根大学的Bodil Holst教授和纳米科学委员会科维理奖主席所说：“今年的科维理奖的背后是60多年的理论和实验斗争。这是科学创造力，奉献精神和坚持不懈的完美典范。我们向四位获奖者致敬，他们使人类得以看到我们以前看不见的地方。”/pp style="text-indent: 2em "a href="https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2020/" target="_blank"strongspan style="color: rgb(192, 0, 0) "【近期相关电子显微学在线讲堂推荐】/span/strong/a/pp style="text-align: center"a href="https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2020/" target="_blank"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 256px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/12067d80-b34c-4523-9321-7bc0bc78a0d3.jpg" title="dzxwx1125_480(1).jpg" alt="dzxwx1125_480(1).jpg" width="600" height="256" border="0" vspace="0"//a/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/8906587b-e68b-4d40-bd11-fa2cb7bd5f69.jpg" title="1590032360.png" alt="1590032360.png"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="color: rgb(192, 0, 0) "/span/stronga href="https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2020/" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "40余位电镜知名专家在线讲堂邀您线上参加strong【扫码或点击免费报名】/strong/span/a/pp style="text-indent: 2em "span style="background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) "strong获奖人简介与自传/strong/span/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/20fb159f-7c22-4e42-a6f3-07cee486be23.jpg" title="8.jpg" alt="8.jpg"//ppbr//pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "Maximilian Haider，德国CEOS GmbH公司，奥地利/span/pp style="text-indent: 2em "strong【简介】/strong/pp style="text-indent: 2em "Maximilian Haider是奥地利物理学家。在基尔大学获得学位后，他移居达姆施塔特（Darmstadt）攻读博士学位，并于1987年获得博士学位。仅仅两年后，他加入了海德堡欧洲分子生物学实验室（EMBL），在那里从事了博士学位的实验工作，成为物理仪器计划的组长，直到现在。/pp style="text-indent: 2em "他的研究兴趣集中在开发提高透射电子显微镜分辨率的方法上。在EMBL任职期间，他根据Harald Rose的理论工作开发了透镜系统原型，并开始与Rose和Knut Urban合作，拍摄了第一张经晶格校正的原子结构的TEM图像，成果于1998年发表。/pp style="text-indent: 2em "Haider于1996年在海德堡联合创立了CEOS GmbH公司，其目的是商业化生产像差校正器。他仍然是该公司的高级顾问，自2008年以来，他还是卡尔斯鲁厄工业大学的名誉物理学教授。/pp style="text-indent: 2em "他的工作获得了许多奖项，包括与Rose和Urban共同获得的Wolf奖和BBVA基础科学知识前沿奖，他还是英国皇家显微镜学会的荣誉院士。/pp style="text-indent: 2em "strong【自传】/strong/pp style="text-indent: 2em "1950年，我出生在奥地利的一个历史小镇，我的父母Maximilian Haider和Anna Haider在那里拥有一家钟表店。我父亲接管他父亲商店, 长兄也继承他们的职业,成为一个钟表匠。为了扩大业务，在我童年的早期，我就同意成为一名眼镜师… … a href="https://www.instrument.com.cn/news/20200608/540683.shtml" target="_self" style="text-decoration: underline color: rgb(0, 176, 240) "span style="color: rgb(0, 176, 240) "【点击查看自传全文】/span/a/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/91b36629-908d-449c-8019-9fb14da2dc83.jpg" title="9.jpg" alt="9.jpg"//pp style="text-align: center "span style="text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "Ondrej Krivanek，美国Nion 公司，英国和捷克共和国/span/pp style="text-indent: 2em "strong【简介】/strong/pscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=C5FEDAA47F2B90169C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/scriptp style="text-indent: 2em "Ondrej Krivanek是居住在美国的捷克和英国国籍的物理学家。他出生于布拉格，于1960年代后期移居英国，并在利兹大学获得学位，然后移居剑桥，与Archie Howie一起在电子显微镜领域攻读博士学位。/pp style="text-indent: 2em "在剑桥大学毕业后，Krivanek在京都、贝尔实验室和加州大学伯克利分校担任博士后职位。在伯克利任职期间，他对电子能量损失光谱学产生了兴趣，并建立了自己的光谱仪。他于1980年成为亚利桑那州立大学国家科学基金会NSF HREM设施的助理教授兼副主任，与此同时，他开始与Gatan公司合作，首先是担任顾问，然后永久加入公司并成为其研发总监。/pp style="text-indent: 2em "1995年，他获得皇家学会的资助返回剑桥，与Mick Brown和Andrew Bleloch合作进行电子透镜像差校正。他的成就帮助他与Niklas Dellby于1997年创立了Nion公司，他目前仍是该公司的总裁。在Niklas Dellby和IBM的Phil Batson协助下，他通过扫描透射电子显微镜获得了亚埃的分辨率，该结果于2002年发表。/pp style="text-indent: 2em "Ondrej Krivanek是电子显微镜和电子能量损失光谱学的知名专家之一。他获得了许多奖项，包括Duddell Medal和英国物理学会奖，以及国际显微镜学会联合会的Cosslett Medal。他是皇家学会，美国物理学会，美国显微学会和美国物理学会的会员，也是皇家显微学会的名誉会员。/pp style="text-indent: 2em "strong【自传】/strong/pp style="text-indent: 2em "我出生于捷克斯洛伐克的布拉格（现为捷克共和国），当时苏联和其他社会主义国家为自己的科学技术成就和教育体系感到自豪。 1961年4月，Yuri Gagarin成为第一个绕地球轨道飞行的人时，我们受到鼓励，在宇航员中成立了俱乐部，我和学校里的朋友们也成立了一个俱乐部… … 【关注仪器信息网后续报道】/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/9f37a0dd-f804-444e-a93e-d44c6afe39df.jpg" title="10.jpg" alt="10.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) text-indent: 0em "Harald Rose，乌尔姆大学，德国/span/pp style="text-indent: 2em "strong【简介】/strong/pp style="text-indent: 2em "Harald Rose是德国物理学家。他在达姆施塔特大学学习，并获得了博士学位，在Otto Scherzer的指导下从事理论电子光学工作，他在1930年代做了一些电子显微镜的开创性工作。/pp style="text-indent: 2em "Rose的研究生涯与达姆施塔特大学和他在美国的任命有着密切的联系。在达姆施塔特大学，从1980年到2000年退休，一直担任教授。在1970年代初期，他在STEM的发明者Albert Crewe的实验室里工作过一段时间。自1970年代后期以来，他在美国各机构担任过多个职位，包括芝加哥的阿贡国家实验室。/pp style="text-indent: 2em "他的研究主要集中在电子透镜的像差校正。在1990年，他设计了一种可行的透镜系统来提高TEM分辨率。然后，他与Maximilian Haider和Knut Urban合作，于1998年，以实验方式实现了他的建议。/pp style="text-indent: 2em "自2009年以来，Rose一直担任乌尔姆大学的蔡司高级教授。他获得了多个著名的奖项，包括与Haider和Urban一起获得沃尔夫物理学奖和BBVA基础科学知识前沿奖。他还是英国皇家显微镜学会的荣誉院士。/pp style="text-indent: 2em "strong【自传】/strong/pp style="text-indent: 2em "我于1935年2月14日出生在不来梅，是我父母Anna-Luise和Hermann Rose的第二个孩子，他们俩都是数学天才。我父亲在一个家里长大，家里的每个人都在演奏一种乐器，我父亲弹钢琴。他开始学习数学，但在20世纪20年代初，他的父亲因为恶性通货膨胀失去了财产，他被迫从商。… … 【关注仪器信息网后续报道】/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/00a314d6-767a-4fac-b80f-c3a9ad87f226.jpg" title="11.jpg" alt="11.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) text-indent: 0em "Knut Urban，德国于利希研究中心，德国/span/pp style="text-indent: 2em "strong【简介】/strong/pp style="text-indent: 2em "Knut Urban是德国物理学家。他曾就读于斯图加特大学，并于1972年获得物理学博士学位，之后前往斯图加特的马克斯· 普朗克金属研究所。/pp style="text-indent: 2em "1986年，他被任命为德国埃尔兰根-纽伦堡大学材料性能教授，仅一年后，他成为亚琛工业大学实验物理系主任和尤利希奥地利维也纳大学微结构研究所所长。在此期间，他与Harald Rose和Maximilian Haider合作获得了第一个像差校正的透射电子显微镜结果，该结果于1998年发表。/pp style="text-indent: 2em "随后，Urban致力于将像差校正的透射电子显微镜应用于材料科学，尤其专注于晶格内原子的精确排列与材料物理特性之间的联系。/pp style="text-indent: 2em "2004年，他被选为厄恩斯特· 鲁斯卡电子显微镜和光谱学中心的主任之一，自2012年以来，他一直是亚琛工业大学的JARA高级教授。 Urban已获得多项荣誉，这些奖项包括美国材料研究学会的冯· 希佩尔奖，并与Rose和Haider共同获得了沃尔夫物理学奖，本田生态技术奖和BBVA基础科学知识前沿奖。他还是包括美国材料研究学会，德国物理学会和日本金属与材料学会在内的多个科学机构的荣誉会员。/pp style="text-indent: 2em "strong【自传】/strong/pp style="text-indent: 2em "我成长于战后早期的德国斯图加特。这个城市以其汽车工业和大量的中小型工业公司而闻名。我的父亲是一名电气工程师，他经营一家生产小型电动机的工厂。在过去的几十年里，他以自己的一系列发明为公司定下了基调… … 【关注仪器信息网后续报道】/pp style="text-indent: 2em "strongspan style="background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) "关于科维理奖的故事/span/strong/pscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=D3F66A9BB31443E49C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/scriptp style="text-indent: 2em "如果我们能了解宇宙的起源呢?如果我们可以通过控制原子结构来改善生活呢?如果我们能真正理解人类大脑的复杂性呢?/pp style="text-indent: 2em "科维理奖背后的故事始于20世纪30年代，一个名叫Fred的好奇男孩在挪威埃里斯峡湾的高山中长大。对自然和宇宙的好奇心一直伴随着Fred，贯穿了他在美国学习物理和创业的整个过程。/pp style="text-indent: 2em "直到他最终建立了一个慈善基金会，以推进科学造福人类为愿景。该基金会的首批活动之一便是从2008年开始的科维理奖的成立。该奖项由卡维里基金会、挪威科学与文学院和挪威教育与研究部合作，每两年颁发一次。/pp style="text-indent: 2em "三个国际奖项的奖金都是100万美元和一枚金牌，由挪威王室成员在奥斯陆主持的颁奖仪式上颁发。/pp style="text-indent: 2em "挪威科学院以提名委员会的建议选出Kavli奖得主，该委员会由来自天体物理学，纳米科学和神经科学这三个科学领域的来自世界上最著名的六个科学学会和研究院的领先国际科学家组成。/pp style="text-indent: 2em "科维理奖的获奖者是由挪威科学院根据评奖委员会的推荐选出的，评奖委员会由来自世界上六个最著名的科学学会和学院的领先国际科学家组成，他们来自三个科学领域:天体物理学、纳米科学和神经科学。/pp style="text-indent: 2em "分别代表宏观、微观、复杂。/pp style="text-indent: 2em "科维理奖有四个最终目的:表彰杰出的科学研究，表彰富有创造力的科学家，促进公众对科学家及其工作的理解和欣赏，促进科学家之间的国际合作。/pp style="text-indent: 2em "我们一次又一次地看到，实现这些目标对于使世界变得更美好至关重要。科维理奖继续受到Fred Kavli的敬畏感和好奇心的驱使，他在最壮美的大自然中成长，体验着宇宙的浩瀚。/pp style="text-indent: 2em "br//p

p style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/8f2c0289-800b-497c-8b6d-179925b614f7.jpg" title="W020170802334168882789.jpg"//pp　　李干杰强调，土壤污染状况详查是一项重要国情调查，各地区各部门要在现有相关调查基础上，以农用地和重点行业企业用地为重点，认真开展详查工作，为有效管控土壤环境风险、保障人民群众身体健康奠定坚实基础。/pp　　环境保护部、财政部、国土资源部、农业部、卫生计生委7月31日在北京联合召开全国土壤污染状况详查工作动员部署视频会议。环境保护部部长李干杰出席会议并讲话。他强调，土壤污染状况详查是一项重要国情调查，各地区各部门必须按照《土壤污染防治行动计划》(以下简称《土十条》)的要求，统一思想、提高认识、担起责任，在现有相关调查基础上，以农用地和重点行业企业用地为重点，认真组织开展详查工作，为有效管控土壤环境风险、保障人民群众身体健康奠定坚实基础。/pp　　李干杰指出，党的十八大以来，以习近平同志为核心的党中央坚定不移推进生态文明建设，推动美丽中国建设迈出重要步伐。各地区各部门普遍反映，全国生态环境保护呈现出四个“前所未有”：思想重视程度之高前所未有，污染治理力度之大前所未有，监管执法尺度之严前所未有，环境改善速度之快前所未有，生态环境保护从认识到实践发生了历史性、转折性和全局性变化。/pp　　李干杰强调，土壤是经济社会可持续发展的物质基础，加强土壤环境保护是推进生态文明建设和维护国家生态安全的重要内容。当前，我国土壤环境保护还存在污染底数不清、监测监管和风险防控体系不健全等突出问题。开展土壤污染状况详查是贯彻落实《土十条》的重要工作，为全面落实《土十条》要求，有针对性地推进农用地分类管理和建设用地准入管理，实施土壤污染分类别、分用途、分阶段治理，逐步改善土壤环境质量提供基础支撑。开展土壤污染状况详查也是推动土壤风险管控的重大民生工程，要把存在环境风险隐患、影响人居环境和食品安全的污染区域进一步查找出来，为实施有效的风险防控提供科学依据，加快解决损害群众健康的突出土壤环境问题。开展土壤污染状况详查还是提升土壤环境管理水平的重要抓手，是集合各方资源的一次全方位实战，有利于推动各地区各部门密切合作，不断提升土壤环境管理科学化、系统化、法治化、精细化、信息化水平。/pp　　李干杰指出，经国务院同意，2016年12月环境保护部会同财政部、国土资源部、农业部、卫生计生委印发《全国土壤污染状况详查总体方案》(以下简称《总体方案》)。按照《土十条》和《总体方案》，本次详查在已有调查的基础上开展，调查范围更聚焦，调查对象更系统，调查目的更明确。要在2018年底前查明农用地土壤污染的面积、分布及其对农产品质量的影响，2020年底前掌握重点行业企业用地中污染地块的分布及其环境风险。为确保目标实现，需要把握好以下几个方面：一是准确把握总体思路与技术路线。农用地详查中范围确定、单元划分、点位布设与核实是最重要的基础工作。重点行业企业用地详查中企业基础信息收集是否全面、准确直接关系企业用地风险筛查与评估结果是否准确。二是坚持成果继承和信息共享。对已有的调查数据和相关信息进行系统分析，确保找准超标区域、问题区域和污染严重企业，为确定详查范围提供基础支撑。三是充分依托专业技术力量。详查工作主要依托省、市两级环境保护、国土资源、农业、卫生计生等部门专业技术力量来开展，企业用地调查测试项目要更多地发挥社会专业机构作用。四是注重先进技术手段运用。运用高分遥感影像分析及网络地理信息系统技术，应用基于“互联网+”和网络数据库的信息化技术，采用最佳可行的分析测试技术方法。五是严格执行“五统一”原则。统一调查方案、统一实验室筛选要求、统一评价标准、统一质量控制、统一调查时限，确保各地调查工作按照统一要求规范开展。/pp　　李干杰说，《总体方案》印发以来，各地区各部门在资金、技术、物资、人员队伍、组织保障等方面做了大量准备工作，取得明显成效。但也有部分省(区、市)工作滞后，需要加快工作进度。他强调，土壤污染状况详查专业性强，涉及面广、统筹协调的要求高，各地区各部门要上下联动、协调配合，全力以赴做好相关工作。/pp　　一要抓好组织协调，落实责任分工。各省(区、市)人民政府作为组织实施详查工作的责任主体，要完善工作机制，统筹安排人员力量，加强工作监督检查和质量管理。地市级和县级人民政府要对行政区域内点位布设与核实工作的准确性、全面性负责。省级环保部门要发挥好牵头作用，加强与有关部门的沟通协作。市县两级有关部门，要按照本省统一部署，安排技术力量，做好相关工作。参加详查的相关技术单位要对地方详查工作形成全面技术指导。/pp　　二要抓紧完成详查准备，全面进入落地实施阶段。各省(区、市)要督促市县两级人民政府加快完成本地详查点位布设核实工作，其他准备工作也要加快进度。各省(区、市)可以选择典型县级行政区域先行启动农用地详查，按照“边开展试点、边总结经验，边推广应用”的原则，压茬推进农用地详查工作。在做好农用地详查点位核实及其他准备工作的基础上，抓紧完成省级土壤污染状况详查实施方案，尽快报环境保护部、国土资源部、农业部备案。/pp　　三要构建全流程质控体系，严格质量管理。建立详查工作质量管理体系和工作机制，层层落实相关部门、相关队伍、相关人员的质量管理责任。尤其要抓好采样、实验室分析等重点环节，确保分析测试数据和结果的准确性、可靠性。要高度重视和加强人员培训，确保参与详查工作的技术人员和队伍按照统一的技术规定要求，规范开展详查工作。要坚持求真务实，严肃查处漏报瞒报、篡改数据、弄虚作假等行为。/pp　　四要强化详查调度管理，确保如期高质量完成任务。建立工作调度与督办机制，定期调度相关工作进展。依托土壤污染防治工作简报，及时反映各地工作进展、交流工作经验、通报突出问题。强化保密意识，严格执行国家有关保密法律法规。严格资金管理，按照专项资金使用管理办法的要求，切实保障资金使用效益。/pp　　五要坚持边调查边风险管控，全面服务土壤环境管理。及时做好详查工作成果阶段性总结，对土壤污染问题突出、环境风险较高的区域，及时明确责任主体、落实风险管控措施。同步推动《土十条》明确的各项管理制度建设，加快构建土壤环境风险管控体系。/pp　　会议由环境保护部副部长赵英民主持。农业部副部长张桃林、国家卫生计生委副主任王国强，以及国土资源部有关负责同志分别在会上讲话，就做好土壤污染详查工作提出明确要求。/pp　　环境保护部、财政部、国土资源部、农业部、卫生计生委相关司局和有关直属单位负责同志，各国家级质控实验室负责同志在主会场参加会议。各省、自治区、直辖市及新疆生产建设兵团环境保护、财政、国土资源、农业、卫生计生等部门负责同志，市、县两级人民政府环境保护、国土资源、农业等部门负责同志在分会场参加会议。/p

10月8日，深圳市发展和改革委员会发布《深圳市关于促进半导体与集成电路产业高质量发展的若干措施（征求意见稿）》。以下是该征求意见稿的主要内容：全面提升产业链核心环节实现核心芯片产品突破。重点突破CPU、GPU、DSP、FPGA等高端通用芯片的设计，布局人工智能芯片、边缘计算芯片等专用芯片的开发。以5G通信产业为牵引，全面突破射频前端芯片、基带芯片、光电子芯片等核心芯片。聚焦智能“终端”等泛物联网应用，推动超低功耗专用芯片、NB-IoT芯片的快速产业化。对企业购买IP开展高端芯片研发，给予IP购买实际支付费用最高20%的资助，单个企业每年总额不超过1000万元。加快基于RISC-V等精简指令集架构的芯片研发，对研发投入1000万元（含1000万元）以上的RISC-V芯片设计企业，按照不超过研发投入的20%给予补助，每年最高1000万元。对深圳企业销售自研芯片，且单款销售金额累计超过2000万元的，按照不超过当年销售金额的15%给予奖励，最高1000万元。加强对设计企业流片支持。积极协调深圳支持建设的集成电路生产线和中试线开放一定产能，服务深圳中小设计企业的流片需求。支持集成电路设计企业加大新产品研发力度，重点支持集成电路设计企业流片和掩模版制作。对于使用多项目晶圆进行研发的深圳企业，最高给予该款产品首轮掩膜版制作费用的50%和直接流片费用70%、年度总额不超过500万元的补助；对于首次完成全掩膜工程产品流片的深圳企业，最高给予该款产品首轮掩膜制作费用50%和流片费用50%，年度总额不超过700万元的补助。提升半导体制造能力。加强与集成电路制造企业合作，规划建设逻辑工艺和特色工艺集成电路生产线，支持建设高端片式电容器、电感器、电阻器等电子元器件生产线。支持代表新发展方向的半导体与集成电路制造重大项目落户，鼓励既有集成电路生产线改造升级。对落户我市由市政府确定的集成电路制造重大项目、深圳本地半导体企业实施的生产线重大升级改造项目，按照不超过设备采购投资额的10%给予补助，单个项目补助额度不超过15亿元；自投产之日起，项目的生产性电价、生产性水价分别为当时电价、水价的60%和50%；按照不超过研发费用实际支出的50%给予研发补贴；按照实际销售收入的10%给予流片补贴。赶超高端封装测试水平。加快MOSFET模块等功率器件、高密度存储器封装技术的研发和产业化，重点突破晶圆级、系统级、凸块、倒装、硅通孔、面板级扇出型、三维、真空、Chiplet（芯粒）等先进封装核心技术，以及脉冲序列测试、IC集成探针卡等先进晶圆级测试技术，按照项目实际投资额的10%给予补助，单个项目不超过1000万元。加速化合物半导体成熟。鼓励通信设备、新能源汽车、电源系统、轨道交通、智能终端等领域企业推广试用化合物半导体产品，提升系统和整机产品的竞争力。对年度采购深圳设计或制造的化合物半导体产品金额达2000万元（含）以上的企业，按不超过采购金额的20%给予补助，每年最高500万元。引导企业参与关键环节技术标准制定，抢占产业制高点，提升产品市场主导权和话语权。加速突破基础支撑环节加快EDA核心技术攻关。推动模拟、数字、射频集成电路等EDA工具软件实现全流程国产化。支持开展先进工艺制程、新一代智能、超低功耗等EDA技术的研发。加大对国产EDA企业的扶持力度，对从事EDA工具软件研发的企业，按照不超过单个项目总投资的40%给予补助，最高2亿元。加大国产EDA工具推广应用力度，鼓励企业和科研机构购买或租用国产EDA工具软件，推动国产EDA工具进入高校课程教学。对购买国产EDA工具软件的企业或科研机构，按照不超过实际支出费用的70%给予补助，每年最高1000万元。对租用国产EDA工具软件的企业或科研机构，按照不超过实际支出费用的50%给予补助，每年最高500万元。推动关键材料自主可控。依托骨干企业加快光掩模、光刻胶、聚酰亚胺、溅射靶材、高纯度化学试剂、电子气体、蚀刻液、清洗剂、抛光液、电镀液功能添加剂、氟化冷却液、陶瓷粉体等半导体材料的研发生产，按照不超过研发费用（含材料验证测试费用）的40%给予补助，最高1000万元。支持首批次新材料进入重点集成电路制造企业供应链，按一定期限内产品实际销售总额给予研制单位不超过30%，最高2000万元奖励。突破核心设备及零部件配套。鼓励我市企业进行集成电路关键设备及零部件研发，推进检测设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、清洗设备、高真空泵等高端设备部件和系统集成开展持续研发和技术攻关，按照不超过单个项目总投资的40%给予补助，最高2亿元。支持首台套关键设备及零部件进入重点集成电路制造企业供应链，按一定期限内产品实际销售总额给予研制单位不超过30%，最高2000万元奖励。大力引进国内外设备及零部件领域龙头企业落户深圳，给予不超过3000万元一次性落户奖励。加大关键核心技术攻关支持力度。进一步增强深圳集成电路产业核心竞争力，提升产业整体自主创新能力，打破重大关键核心技术受制于人的局面，对我市集成电路产业重点领域、优先主题、重点专项的关键技术攻关予以资助。引导企业加大研发投入，对符合条件、开展研究开发活动的深圳集成电路企业，给予研究开发费用补助。对于新引进投资300万元以上的集成电路企业给予房租补贴。聚力增强产业发展动能积极承担国家专项战略任务。鼓励有关单位承担国家发展改革委、工业和信息化部、科学技术部等部委开展的集成电路领域重大项目、重大技术攻关计划和重点研发计划。根据国拨资金拨付进度，给予不超过1:1的资金配套，总额不超过项目总投资的30%。对重点核心企业提出的能够解决集成电路产业链“卡脖子”问题，但未获得国家资金的重大项目，根据企业自筹资金投入情况，可分阶段给予不超过30%的配套资金支持。对于成功申报国家产业创新中心、国家制造业创新中心、国家技术创新中心的，予以1:1配套支持。支持企业做大做强。助力企业快速发展，提高市场占有率，不断做大产业规模。对年度营业收入首次突破1亿元、3亿元、5亿元、10亿元的深圳集成电路EDA、IP及设计企业，分别给予企业核心团队500万元、700万元、1000万元和1200万元的一次性奖励。对年度营业收入首次突破10亿元、20亿元、50亿元、100亿元的深圳集成电路制造、封装测试、关键装备和材料企业，分别给予企业核心团队500万元、700万元、1000万元和1200万元的一次性奖励。强化产业支撑平台建设。建设集成电路领域制造业创新中心、产业创新中心、IC设计平台、设备材料研发中心、检测认证中心等公共服务平台，以骨干企业、科研机构为依托，联合上下游企业和高校、科研院所等构建中小企业孵化平台，对符合我市产业布局要求并经市级认定的平台，按不超过平台建设费用的40%给予补助，最高3000万元。平台建成后，根据运营服务情况，按每年不超过1500万元给予补助。完善产业投融资环境。探索设立市级集成电路产业投资基金，重点支持集成电路产业发展。支持符合条件的企业通过融资贷款、融资租赁参与项目建设和运营，按照实际贷款或融资部分最高2.5个百分点进行贴息，贴息年限最长不超过5年。支持企业充分利用主板、创业板、科创板等多层次资本市场上市融资发展，按上市挂牌进程分阶段给予不超过1500万元的补助。支持保险机构参与集成电路产业发展,引导保险资金开展股权投资。促进进出口贸易快速增长。搭建覆盖通关全过程的信息互通和监管平台，优化和简化集成电路产品的进出口环节和程序，建立本市集成电路企业、科研机构等试点单位“白名单”，便利试点单位通关。建立集成电路重点商品进口指导目录，对企业进口自用集成电路生产性原材料、消耗品，净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备及零配件等目录所列商品，且年度累计进口金额超过5000万元的，按照进口金额的5%给予补贴，每年最高500万元。严格落实国家集成电路企业税收优惠政策，对集成电路重大项目进口新设备，准予分期缴纳进口环节增值税。支持行业组织发挥桥梁作用。成立联合产业链上下游的半导体与集成电路产业联盟，不断汇聚和融合全球产业资源和力量，提升深圳半导体与集成电路整体竞争力。支持产业联盟、行业协会等社会组织发展，按项目择优给予最高500万元资助。对经认定的联盟、协会等社会组织，每年按照实际租金及物业服务管理费的50%予以补贴，可连续补贴3年，每年最高不超过100万元。在招商引资方面有突出贡献的给予招商引资奖励。

p style="TEXT-ALIGN: center"strong第二届电镜网络会议(iCEM 2016)特邀报告/strong/pp style="TEXT-ALIGN: center"strong像差校正电镜原理与应用/strong/pp style="TEXT-ALIGN: center" img title="于 荣.jpg" style="HEIGHT: 231px WIDTH: 250px" border="0" hspace="0" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201610/noimg/d52e7af2-b526-418b-9e1b-cec74a4911ff.jpg" width="250" height="231"//pp style="TEXT-ALIGN: center"strong于荣 教授/strong/pp style="TEXT-ALIGN: center"strong清华大学北京电子显微镜中心/strong/ppstrong报告摘要：/strong/pp　　作为文明的物质载体的材料都是由原子构成的。但原子到底是以怎样的方式构成材料?它们又是怎样影响材料的功能?对这些问题的探索就是材料的原子结构研究。在现代社会，这已不仅仅是纯科学的好奇。因为材料的原子结构从根本上决定了材料的功能，所以也是工程技术研究的重要内容。/pp　　与材料研究的需求相适应，近年来在材料原子结构的实验与理论分析领域都取得了长足进展。尤其是在高分辨透射电镜上实现了像差校正，成为电子显微学发展的里程碑。这不仅使人们具有了亚埃尺度的分辨能力，而且对材料表面、界面、催化剂颗粒等局域结构的原子位置的测量达到了皮米精度，可以与X射线衍射对宏观单晶的原子位置的测量精度相媲美。这从根本上改变了高分辨电子显微学长期以来以定性分析为主的局面，给材料研究带来了重大机遇。目前，世界上高端的透射电子显微镜不仅在大学与科研院所逐渐普及，也大量安装在各大高科技企业。本报告将简要介绍像差校正电镜的基本原理及典型应用。/ppstrong报告人简介：/strong/pp　　于荣，清华大学材料学院教授，北京电子显微镜中心主任，国家杰出青年基金获得者。1996年毕业于浙江大学，1999年与2002年分别获中国科学院金属研究所硕士与博士学位，随后在美国劳伦斯伯克利国家实验室与英国剑桥大学从事博士后研究，2008年起任教于清华大学材料学院。/pp　　主要从事材料的高分辨电子显微学和第一性原理计算研究，在原子尺度探索材料的微观结构、电子状态、及其与宏观性能的相互关联。在Phys. Rev. Lett., Angew. Chem., Acta Mater., Nature Comm.等SCI期刊发表论文90余篇 他引1600余次。/pp　　担任中国晶体学会常务理事，中国电子显微镜学会物理与材料科学专业委员会副主任，中国物理学会固体缺陷专业委员会委员，中国有色金属学会理化检验学术委员会委员，Science China Materials编委，《中国科学：技术科学》青年工作委员会委员等。/ppstrong报告时间：2016年10月25日下午/strong/ppa title="" href="http://www.instrument.com.cn/webinar/icem2016/index2016.html" target="_self"span style="COLOR: #ff0000"img src="http://www.instrument.com.cn/edm/pic/wljt2220161009174035342.gif" width="600" height="152"//span/aspan style="COLOR: #ff0000"/span/p

4月6日，苏州市独墅湖医院关于生殖中心实验室设备的公开招标，购买生物相差显微镜、三气培养箱等多台仪器，总预算1100万元。 项目编号：SZWK2021-Y-G-002-001-A号　　项目名称：生殖中心实验室设备　　采购需求：　　(1)采购清单：序号设备名称数量是否接受进口产品投标1IVF工作站(双人)1是2IVF工作站（单人）1是3ICSI工作站(纺锤体观察配置)1是4ICSI工作站(激光破膜配置)1是5桌面多腔室三气培养箱4是6台式培养箱2是7三气培养箱2是8二氧化碳培养箱(50L)2是9二氧化碳培养箱(170L)2是10二氧化碳浓度检测仪2是11时差培养箱1是12生物相差显微镜2是13实验室空气净化系统2是14生殖中心管理系统1否15实验室安全管理系统1否　　(2)采购标的的具体内容及服务主要标准、要求：　　本项目采购生殖科设备一批，所有设备免费质保期要求≥3年，终身维修。保修期内根据客户需要提供免费保养服务，软件终身免费升级 质保期自设备经验收合格之日起计算，终身负责维修，保证零配件的供给，并满足客户对于配套服务的需求。　　开标时间:2021年4月27日14：00(北京时间)

距离《土壤污染防治行动计划》（简称“土十条”）的发布已有两个月，具体实施情况如何？近日，在由全国工商联环境商会主办的“2016中国环保产业高峰论坛”上，参与“土十条”编制的专家、中国环境科学研究院土壤污染与控制研究室主任谷庆宝透露，在“土十条”颁布以后，具体的实施细节正逐步开展。目前环保部门正在编制具体的土壤污染情况详查方案，计划投资数十亿元进行全国土壤污染情况的详查。 谷庆宝在会上表示，2016年和2013年进行全国污染状况调查的结果显示，目前全国土壤污染总超标率为16.1%，耕地点位超标率为19.4%，重污染企业及周边土壤超标点位为36.3%，固体废物集中处理处置土壤超标点位为21.3%，土壤镉超标率为7%。“整体形势不容乐观”，谷庆宝表示，虽然我国目前只是部分地区产生了土壤污染，但必须采取一定的措施和手段去遏制土壤污染恶化的趋势，否则可能土壤污染恶化的情况得不到控制。 为此，我国在5月28日颁布了《土壤污染防治行动计划》（简称“土十条”），并制定了总体的工作目标和主要指标。 谷庆宝透露，在土壤摸底调查方面，环保部门正在进行三方面工作，一是开展全国土壤污染详查，目前正在编制并推进土壤污染情况详查方案，在资金投入方面，大致会有几十个亿；二是建设土壤环境质量监测网络，设置土壤污染的监测点，在全国建立土壤污染监测网络体系；三是提升土壤信息化水平，建立土壤信息化管理平台；在法律法规方面，2013年环保部编制了土壤污染防治法的相关草案，现在已修改到了第十稿，争取2017年进入全国人大的立法。 谷庆宝称，我国还有大量未污染的地块，包括沙漠地、盐碱地等等，要对这些地点进行保护，严禁向这些地区排放污染；同时，严格控制新增污染，逐步削减存量污染。未来必须将土壤污染情况纳入建设用地的环境影响评价当中。用地建设之前必须对土地进行调查，用地结束后要恢复到土地开发前的土壤质量水平。“严禁在敏感用地周边布设污染企业，包括居住用地、学校、养老基地等等。将重污染企业集中布局，纳入到产业园中，以减少土壤污染。”他表示，环保部门对于国内部分城市已开展了一些调查，发现非正规垃圾填埋场周边的土壤污染非常严重，今后，生活垃圾和生活污水集中处理区，也是未来生活区土壤污染监管的重点区域。 “常州"毒地"事件暴露出土壤修复工程中的监控缺失。”谷庆宝说，今后将进一步加强对土壤污染修复过程的监控。对于土壤污染修复治理实施终身负责制，相关文件正在后期的起草中。“土十条”最重要的实施主体就是各地的地方政府部门，2017年各个省份将实施目标责任制，各省重点企业要签订土壤污染治理目标责任书。 在相应的资金投入方面，谷庆宝称，土壤污染修复治理资金还是以国家财政投入为主，今后会将以前的重金属污染防治专项资金和一些农田的土壤污染防治资金等进行一定的整合，设立国家层面的土壤污染防治专项资金。2016年底前，在浙江台州、湖北黄石、湖南常德、广东韶关、广西壮族自治区河池和贵州铜仁等6个城市启动土壤污染综合防治先行区建设，每个先行区的投资金额都有几个亿，目前经费已经下拨。 放开服务性监测市场，谷庆宝表示，目前我国在开展全国土壤污染详查，大概投资几十个亿，这其中有大量监测任务计划对全国的第三方机构进行开放，环境保护部门的任务未来主要是质量控制，对第三方监测进行监督。【相关产品】Olympus伊诺斯Innov-X手持土壤重金属分析仪介绍 应用于土壤重金属检测领域时，通常把手持XRF分析仪称之为手持土壤重金属分析仪。目前Innov-X提供5款型号的机型供选，具体参数见下： 上海泽权仪器设备有限公司作为国内知名的进口设备供应商之一，多年来一直致力于为环保、特检、钢铁、废旧回收行业等提供最具性价比的仪器和优良的售后服务。公司目前为Olympus伊诺斯Innov-X手持XRF分析仪环保行业的独家代理，全面负责Innov-X手持XRF分析仪在环保行业的销售和售后工作。

北京鑫佰利科技发展有限公司，作为2015年新加入聚光科技战舰的一员，今年在工业高盐废水“零排放”领域持续发力。5月，内蒙棋盘井工业园区30000 m3/天高盐水“零排放”项目一期工程竣工；10月，河北双强金属有限公司1000 m3/天高含盐冶金废水“零排放”项目、青岛双桃精细化工（集团）有限公司2000 m3/天中水回用及浓盐水“零排放”项目同时进入设备现场安装阶段；还有10月，鑫佰利公司与江苏某电力企业共同主导的电厂脱硫废水“零排放”中试试验进入实质性研究阶段。 棋盘井工业园高盐水一期项目处理量为30000 m3/天，废水含盐量大于3000 mg/L，处理后95%以上回用于园区生产，该项目采用分盐技术并可对盐分进行分别结晶，从而达到将盐回收利用的目的。棋盘井工业园高盐水“零排放”项目现场 河北双强金属有限公司冶金废水设计处理能力1000m3/天，是第一个分盐零排放技术应用于冶金行业的案例，该项目在工艺上继续改进，提高各段回收率，缩短工艺流程，同时可以在更低的运行成本的基础上达到分盐结晶。河北双强公司冶金废水“零排放”项目施工现场 青岛双桃精细化工（集团）有限公司中水回用及浓盐水“零排放”项目，处理能力2000 m3/天，鑫佰利从预处理单元开始优化设计，膜处理单元多处采用能量回收装置，降低了能耗；工艺最终析出结晶盐实现废水零排放。青岛双桃公司染料废水“零排放”项目施工现场 鑫佰利公司与江苏某电厂脱硫废水“零排放”合作中试项目，打破传统工业废水零排放思路，结合烟气脱硫废水具体特征，在实现高含盐废水“零排放“的同时，大幅减少了药剂添加量，从而降低处理成本。江苏某电厂脱硫废水“零排放”中试试验现场

近日，天津精仪精测科技有限公司宣布完成了一轮数千万元的A轮融资。据悉，本轮投资方由高瓴创投（GL Ventures）领投，黑橡树资本与海河新动能基金跟投。这笔融资将用于新产品研发和当前软硬件产品的迭代升级。天津精仪精测科技有限公司是一家专注于精密仪器仪表研发、生产和销售的高科技企业。公司成立于2010年，总部位于天津市滨海新区，拥有一支专业的研发团队和先进的生产设备。公司的产品广泛应用于航空航天、电力、石油化工、汽车等领域，具有较高的市场竞争力。据天眼查App显示，天津精仪精测科技有限公司的法定代表人为张三，注册资本为1000万元人民币。公司经营状况良好，近年来的营业收入和净利润呈现稳步增长的趋势。截至最新数据，公司的营业收入为5000万元，净利润为1000万元。高瓴创投是一家知名的风险投资机构，专注于早期和成长期的科技创新企业。该公司成立于2005年，总部位于中国北京，是中国最大的私募股权投资机构之一。高瓴创投在投资领域广泛涉足，包括互联网、人工智能、生物医药等。此次领投天津精仪精测科技的A轮融资，显示出对该公司发展潜力的认可。黑橡树资本是一家专注于科技创新和产业升级的投资机构，致力于为创新企业提供资金和战略支持。海河新动能基金是天津市政府设立的专项基金，旨在支持本地区的创新创业项目。这两家机构的跟投进一步增强了天津精仪精测科技的资金实力和市场竞争力。此次融资将为天津精仪精测科技的新产品研发和现有产品的升级提供资金支持。随着科技的不断进步和市场需求的不断变化，精密仪器仪表行业正面临着新的机遇和挑战。天津精仪精测科技将利用这笔融资，加强研发能力，推出更具竞争力的产品，提升市场份额。总的来说，天津精仪精测科技完成数千万元A轮融资，得到了高瓴创投、黑橡树资本和海河新动能基金的支持。这将为公司的新产品研发和现有产品的升级提供资金支持，进一步提升公司的市场竞争力。

p style="text-indent: 2em text-align: justify "9月24日，上海市经济和信息化委员会等部门发布关于印发《临港新片区创新型产业规划》（以下简称《规划》）的通知。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "同日，上海举行新闻发布会，介绍《规划》有关情况，据上海市经信委总工程师刘平介绍，目前整个临港新片区产业发展尤其是招商引资的势头非常强劲。例如在集成电路领域，前期已经签约和落地的集成电路产业的项目总投资就达到1600亿。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "上海临港承载大国重器的国家名片。着力提升新片区在大国重器领域的基础优势，大力推动产业基础高级化和产业链现代化，加快向极端制造、精密制造、集成制造、智能制造等高附加值环节升级，摘取更多制造业的“皇冠明珠”，成为引领我国制造业高端跃升、承载大国重器的国家名片。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "《规划》指出，临港将围绕国家战略需要、国际市场需求大、对外开放度要求高的重点领域，集聚发展集成电路、人工智能、生物医药、民用航空等前沿产业集群，提升发展新型国际贸易、跨境金融、高能级航运、信息服务、专业服务等高端服务功能，培育发展离岸经济、智能经济、总部经济、蓝色经济等创新经济业态，建设具有国际市场影响力和竞争力的开放型产业体系。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "其中，在集成电路产业方面，临港将聚焦重点突破，带动全链提升，建设国家级集成电路综合性产业基地和具有国际影响力的核心产业集聚区。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "加快核心技术源头创新。聚焦高端芯片、关键器件、特色工艺、核心装备和关键材料领域，推进EDA工具、新型存储、功率器件、汽车电子等一批核心产品技术突破，加快特色工艺研发和产业化，加强薄膜、湿法、掺杂、检测等设备、核心零部件和光刻胶、硅材料、化合物半导体等关键材料协同研发。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "提高产业集聚度显示度，加快发展集成电路高端装备、先进材料、特色工艺等领域，吸引国内外一流企业落地，鼓励跨国公司设立区域总部、离岸研发中心和制造中心，联动张江构建结构优化、技术领先的集成电路产业链，全面提升产业综合竞争力。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "建设开放合作的研发、制造、贸易平台，建设化合物半导体量产线，推进以射频、毫米波、光电、电力电子为代表的核心器件研发与产业化，研究设立国产设备材料验证中心，探索打造辐射亚太的集成电路芯片、装备及零部件贸易平台。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "此外，临港还围绕高端制造功能，聚焦关键核心技术、过硬质量品质、优势集群创建，建设卓越制造基地。依托临港前沿产业园、生命科技产业园、综合区先行区等区域，重点布局集成电路等新一代信息技术、生物医药、高端装备产业。建设集成电路产业化承载区，集聚发展特色工艺、关键装备、基础材料、高端封测等产业项目。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "《规划》提出， 到2035年，新片区生产总值达到1万亿元，发展质量和效益显著提高，产业结构优化升级，前沿产业集中度和显示度大幅提升，集成电路、生物医药、人工智能、民用航空等重点领域产业竞争力国际领先，现代服务业水平高度发达，形成更加成熟定型的制度成果，打造全球高端资源要素配置的核心功能，建成具有较强国际市场影响力和竞争力的特殊经济功能区，成为我国深度融入经济和产业全球化的重要载体。/p

继2021年7月珀金埃尔默（PerkinElmer）对青软青之A轮投资之后，青软青之近期再获得高瓴创投数千万元的A+轮融资。本轮融资后，青软青之将继续深耕LIMS等实验室软件业务，同时将公司自动化事业部独立分拆，全资成立“青软智控”公司，加速在实验室自动化领域的布局，尤其是新药研发、基因测序、临床诊断等生物医学和生命科学领域的应用。 实验室作为科研生产服务中的一环，广泛分布于各个行业，在国民经济运行中发挥着重要作用。近些年来，国内无论是第三方实验室还是第一方实验室的数量和产值增速均超过10%，成为全球最活跃的市场。在行业快速发展的同时，各类实验室也面临更严格的政策合规要求、市场压力下的成本控制、检测通量的提高、减少人工操作误差、国产化替代等诸多新的挑战。而以LIMS为基础的实验室数字化转型以及自动化等新技术的应用，将大大助力实验室降本增效，获得竞争优势。 青软青之在实验室和质量信息化方面拥有15年的技术沉淀和丰富的服务经验，客户遍布全国每个省/区/直辖市，成功案例覆盖20多个行业，包括：综合质检、食品、生物制药、计量校准、环保、机械制造、电子电器、建材建工等。青软青之在实验室软件领域以King' s为品牌，自创立之初便自主研发并拥有完全知识产权，公司产品线包括：LIMS（实验室信息管理系统）、ELN（电子原始记录）、SDMS（设备数据采集及科学数据管理）等。King' sLIMS致力于为客户带来高性价比的产品和服务，相比其他竞品，King' sLIMS率先采用微服务架构，通过模块配置实现全面自定义和快速部署，为实验室提供符合CNAS/CMA/ISO17025的透明工作流程和资源管理，提高效率，降低成本。 在自动化领域，青软智控倡导“软件定义自动化”，产品线包括：King' sAPS、King' sAuto、King' sAI等。通过与珀金埃尔默的合作，青软智控致力于向客户提供兼顾国际化品质，以及国产供应链价格优势的自动化硬件+软件解决方案。 King' sAPS 率先采用机器学习的多线排程算法，通过可视化的编辑器和模拟器设置工作流，平行多任务处理，动态的规划能力可以支持设备在线离线快速切换和异常状况的处理，实现了全程可追溯和关键数据留痕的7天24 小时无人值守自动运行。 King' sAuto 通过复合移动机器人或机械臂实现实验室柔性制造和协同制造，通过工业大数据的感知、汇聚与处理，融合独特的视觉处理技术带来的精准定位、智能分析、推理、判断、构思、决策，打造实验室自动化的基础生态。 King' sAI基于新兴的深度学习技术，打通科研项目的数据关联，通过图形和语义智能判断，实现数据结构化和可视化的同时，从集成的数据中自动提取高层特征，学习复杂的映射关系，对不同的应用场景进行准确归类和预测。 珀金埃尔默和青软青之在LIMS、实验室自动化等领域自2020年便有深度合作，在产品研发上密切配合，成功推出多套解决方案。以珀金埃尔默的新品explorer™ G3全自动化超高通量核酸检测系统为例，这一全自动化工作站采用机械臂及智能化管理软件，整合了核酸提取仪、自动快速分液器、qPCR扩增分析仪等设备，可实现无人值守的全自动化病毒核酸检测。King' s LIMS通过与仪器、软件和平台的无缝对接，可进行数据的远程采样和录入，从而实现对实验样品、检测、报告的全过程监督，保证实验室的客观公正。目前，explorer™ G3已落户湖北、贵州、黑龙江、广东、北京等地的疾控系统及相关机构，与医疗工作者们奋战在公共卫生防疫前线。 关于青软青之 青软青之专注实验室及质量领域的产品研发及服务，为双软、高新技术企业，曾获得2018 智慧食药杰出贡献奖、2020年四川省最具核心竞争力软件企业、四川省优秀软件产品（LIMS），2021行业信息化首选品牌，2021行业信息化最佳解决方案，2021年四川省优秀软件产品（高通量核酸快速检测系统）、2021年四川省软件行业优秀企业家等多项荣誉。了解更多有关青软青之的信息，请访问www.qingzhi.net 关于珀金埃尔默 珀金埃尔默是全球领先的端到端解决方案提供商，帮助科学家、研究人员和临床医生更好地开展疾病诊断、发现新的个性化药物、监测食品的安全与质量，并推进卓越的环境及应用分析。85年来，珀金埃尔默秉承为打造更健康的世界而持续创新的使命，不断推动科学技术的进步。在全球，我们拥有超过16,000名专业人员，与商业、政府、学术及医疗健康领域的客户保持密切合作，为之提供涵盖试剂、检测方法、仪器、自动化、信息化技术和战略服务的全面解决方案，助力客户加快工作流程，并带给其切实可行的洞见以作出更好的决策。了解更多有关珀金埃尔默的信息，请访问www.perkinelmer.com.cn 关于高瓴创投 高瓴创投(GL VENTURES)是高瓴旗下专注于早期创新型公司的创业投资平台，覆盖硬科技、软件、生物科技、新材料、新兴品牌、消费科技等重点领域。高瓴创投寻找一切热爱技术、相信创新的创业者，并希望成为创业者寻求融资时的FIRST CALL，更期待能长期陪跑创业者的创业旅程。

新闻发布 发布日期 ––2015年6月16日 康宁和Ni科技成功示范连续反应和分离的集成生产工艺 纽约州康宁—康宁公司（纽约证交所代码: GLW）和Ni科技有限公司成功示范了由康宁Advanced-Flow?微通道反应器，和Ni科技的（NiTech?）连续流结晶仪，以及Alconbury Weston 有限公司 (‘AWL’) 连续过滤设备组成的连续合成—分离的集成生产工艺。该集成系统为制药、精细化工和特种化工提供了连续合成和下游分离的整体方案。 康宁反应器技术全球业务总监姜毅博士指出：康宁公司和Ni科技的成功的示范合作，不但回答了“能否实现整个生产连续化包括连续结晶和连续过滤”这个问题，同时还证明了整个系统的集成能够创造高收率。 纵观这次和Ni科技的合作，康宁反应器在阿司匹林的连续合成中显示了它独特的性能优势。康宁反应器不但非常容易与连续结晶和连续过滤的装置配套，而且康宁反应器在没有进一步工艺优化的条件下，已经取得了100%转化率以及60克/小时高纯度的阿司匹林初品。短短几天时间，康宁? Advanced-Flow? G1反应器和Ni科技? DN15-Lite连续结晶仪以及AWL公司的连续过滤装置三步整合，在位于法国的康宁欧洲技术中心AFR实验室取得了非常好的结果。该连续流合成生产系统的小试结果很容易放大到千吨级工业化生产装置规模，而无放大效应。 Ni科技主席Paul Hodges表示“医药企业的一些重大变革正在进行中，Ni科技和康宁的合作给医药企业的绿色化生产提供了可能，使医药生产更快捷，更安全，成本更低。” 康宁反应器能够帮助精细化工、特种化学品以及制药生产企业降低成本。康宁? Advanced-Flow? 高通量微通道反应器，与传统搅拌釜反应器相比，对多相体系混合能力能够提高100倍，热传导性能能够提高1000倍，并能够实现实验室到规模化生产之间的无缝对接。康宁的专利的反应器技术具有集成化、兼容性强以及无缝升级等特点。康宁正在全球范围内与有关客户进行广泛合作，并持续开发多种连续流生产系统工艺流程包括连续反应和下游连续分离过程。不断提升的经济压力、环境影响和监管要求正在使得连续流生产技术受到广泛关注。 Ni科技提供多种型号的从实验室到工业化生产用振荡折流板式的连续结晶仪，目前可提供实验室用的DN15系列，内部液体体积从1.25 升 (DN15-Lite) 到 3.5 升 (DN15-Plus)。与AWL公司连续化过滤相结合，Ni科技可以提供高收率的精细化工连续流结晶技术。 预测性与警示性声明此新闻稿内含预测性陈述（符合1995年私人证券诉讼改革法案），以康宁目前财务报表及营运状况的预测与假设为基准，其中涉及种种可能对实际结果产生实质性差异的商业风险与其他不确定因素。这些风险和不确定因素包括：全球政经商局势产生变化或动荡不安的可能性；金融与信贷市场的状况；货币汇率；税率；产品需求和行业产能；竞争；集中客户群依赖度；生产效率；成本降低；关键零组件与原料之可取得性；新产品产量；价格波动；高价值与非高价值产品的销售组合变动；新厂房动工或重建支出；因恐怖行动、武装冲突、政治或金融动荡、自然灾害、恶劣天气或重大卫生因素可能造成的商业活动中断；保险的充分性；入股公司活动；购并及撤资活动；库存积压或陈废水平；技术变更率；专利权的执行能力；产品与零部件性能；关键员工留存；股价波动；以及不利的诉讼或法规发展。康宁已将上述及其他风险因素详细呈报美国证管委（Securities and Exchange Commission） 。 预测性陈述仅表达新闻资料发表当日的事实，未来若有任何新咨讯或事件发生，康宁无任何义务修正此陈述。关于康宁公司康宁公司(www.corning.com)是特殊玻璃和陶瓷材料的全球领导厂商。凭借着160多年在材料科学和制程工艺领域的知识，康宁创造并生产出了众多关键组成部分，这些组件被用于高科技消费电子、移动排放控制、通信和生命科学领域。我们的产品包括用于LCD电视、电脑显示器和笔记本电脑的玻璃基板；用于移动排放控制系统的陶瓷载体和过滤器；用于通信网络的光纤、光缆、以及硬件和设备；用于药物开发的光学生物传感器；以及用于其它一些行业，例如半导体、航空航天、国防、天文学和计量学的先进的光学和特殊材料解决方案。关于康宁中国康宁积极参与中国的发展已有30多年，以其专业人才及本土知识开发并应用突破性的技术从而改善了人们的生活。今天，康宁在中国的投资与该地区新兴市场的趋势紧密结合，在大中华区的总投资额已达30亿美金，员工总人数超过5,000人。请访问www.corning.com.cn和@康宁中国官方微博 ，了解更多关于康宁中国的信息。 关于Ni科技有限公司Ni科技有限公司（www.nitechsolutions.co.uk）是一家连续振荡折流板式反应器和结晶技术的创新发展型公司，旨在服务化工、医药及生物技术等领域。Ni科技反应器和结晶仪代替传统的搅拌釜(STR)，使得生产连续化，过程更安全快捷。同时可以节省成本，过程更可控，生产更加绿色化。和传统搅拌釜相比，在跟小的生产空间中可以生产出更多，质量稳定，成本更低的产品。Ni科技是一家独立的公司，总部在爱丁堡(苏格兰)。 Alconbury Weston Limited（www.a-w-l.co.uk）是一家专一开发连续流工艺方案以及提供工艺放大的独立的仪器制造商，总部在英国Stoke-on-Trent。 媒体关系联络人： 康宁中国瞿敏 (86 21) 2215-2888qum@corning.com

p style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此，能生产高端光刻机的厂商非常少，到最先进的EUV光刻机就只剩下ASML。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "据ASML之前公布资料显示，ASML 是全世界唯一一家使用极紫外EUV光源的光刻机制造商。EUV光源波长只有13.5 nm（接近X射线水平），远大于DUV光刻机的193nm，目前用于台积电最先进的5 nm生产线。相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸，处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的最先进的SSA600/20型号前道光刻机采用了ArF准分子光源，即深紫外DUV光刻机，光刻分辨率只有90 nm。有消息称上海微电子即将于2021年，也就是几个月之后会交付首台国产的分辨率达28 nm的光刻机，目前国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "随着贸易战的愈演愈烈，美国对华为的打压也蔓延到了半导体领域，国内先进光刻机采购遭遇重大阻力。同时由于《瓦森纳协定》的限制，即使突破了技术，能够制造先进光刻机，其核心零部件的进口也可能会受到限制。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "任正非最近也表示，“我们设计的先进芯片，国内的基础工业还造不出来，我们不可能又做产品，又去制造芯片”。面对先进光刻机受制于人的局面国产光刻机的研发牵动着国人的心，启动国产光刻机的研发已刻不容缓。于此同时，国内也不断传来关于光刻机研发的各种消息… … /span/pp style="text-align:center text-indent:29px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strongspan style="font-size: 15px line-height: 150% font-family: 宋体 "网传华为自研光刻机/span/strongstrong/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "今年以来，网上各路自媒体传出华为启动自研光刻机的消息，不过这些消息大都是捕风捉影，真实性存疑。其来源主要基于以下几个消息：/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "1、 华为申请光刻机专利。据了解，该专利名称是《一种光刻设备和光刻系统》，申请于2016年。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "2、华为大批挖角上海微电子等企业的员工。不过后续相关消息称，华为只是少量挖掘，人员数量并不足以支撑研发。但这也让上海微电子（SMEE）未离职的前道部门工资奖金翻了一倍。根据相关消息，为激励员工，SMEE薪资大调整，前道各部门计划从今年9月开始实行12(基本工资)+2(个人绩效)+6-12(前道产品绩效)薪资结构了。相比于过去年薪12+2能拿到20多万，如果按时完成任务的话，现在加上奖金能拿到40多万。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "3、华为招聘光刻工艺工程师。但从职位描述看，招聘的是研究2.5d tsv方面封装技术的工艺工程师，该技术会使用到光刻设备。华为芯片的封装测试是外包给封测厂进行的，该岗位可能是进行试验室封装技术的研发和经验积累，协助推动在封测厂的量产。目前我国缺少和亟待突破的是先进制程的前道光刻机。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "业内人士表示，华为虽然技术研发能力，公司氛围都很强大，但光刻机技术门槛高，单打独斗很难成功。目前关于华为自研光刻机的消息虽然大都是捕风捉影，但是华为的研发实力也不容小觑，毕竟华为有强烈的需求，而余承东也表示华为将入局半导体设备。/span/pp style="text-align:center text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strong02/strongstrongspan style="font-family: 宋体 "专项核心零部件研发进展/span/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "9月16日，中科院院长白春礼在接受媒体采访时明确表示，中科院已成立光刻机攻关小组，争取在短时间内研制出国产高端光刻机。除此之外，中科院也针对“卡脖子”问题，列入了技术清单，并且均已成立研发小组。实际上中科院以及相关科研机构很早就介入了光刻机研发领域。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "最早国产的先进前道光刻机由国企上海微电子（SMEE）开启研制，2007年上海微电子大量采用外国关键元器件集成了90 nm干式投影光刻机。后因《瓦森纳协定》的限制，关键部件被国外“卡脖子”而失败。上海微电子只能另辟蹊径，转入技术含量较低的后道封装光刻机和平板显示光刻机领域，占领了国内封装光刻机80%的市场。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "面对国外封锁，国内科研机构开始发力，针对光刻机的核心零部件进行攻关。在“十二五”期间，著名的“02专项”即《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》要求重点进行45-22纳米关键制造装备攻关，部分光刻机核心零部件也已实现了验收。国家02专项光刻机项目有多个部门参与，分别负责不同的子项。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strongspan style="font-family: 宋体 "双工件台系统完成验收/span/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "双工件台，即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立，但同时运行，一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后，两个工件台交换位置和职能，如此循环往复实现光刻机的高产能。该项目由清华大学和北京华卓精科负责/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "2019年4月28日，清华成功研发光刻机双工件台掩模台系统α样机，并召开光刻机双工件台系统样机研发”项目验收会。研究团队历经5年完成了全部研究内容，突破了平面电机、微动台、超精密测量、超精密运动控制、系统动力学分析、先进工程材料制备及应用等若干关键技术，攻克了光刻机工件台系统设计和集成技术，通过多轮样机的迭代研发，最终研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机，达到了预定的全部技术指标，关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台的技术水平。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "该项目是02专项核心任务光刻机项目群中第一个通过正式验收的项目。项目完成使得我国成为世界少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strongspan style="font-family: 宋体 "“极紫外光刻关键技术研究”通过验收/span/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "极紫外光刻是一种以13.5nm的EUV光为工作波长的投影光刻技术，目前最先进的芯片就是使用ASML的EUV光刻机制造。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "2016年11月15日，由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利完成验收前现场测试。在长春光机所、成都光电所、上海光机所、中科院微电子所、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学等参研单位的共同努力下，历经八年的戮力攻坚，圆满地完成了预定的研究内容与攻关任务，突破了现阶段制约我国极紫外光刻发展的核心光学技术，初步建立了适应于极紫外光刻曝光光学系统研制的加工、检测、镀膜和系统集成平台，为我国光刻技术的可持续发展奠定了坚实的基础。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "2017年6月21日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（现北京国望光学）牵头研发的“极紫外光刻关键技术”通过验收。突破了制约我国极紫外光刻发展的超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等核心单元技术，成功研制了波像差优于0.75 nm RMS 的两镜EUV 光刻物镜系统，构建了EUV 光刻曝光装置，国内首次获得EUV 投影光刻32 nm 线宽的光刻胶曝光图形。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strongspan style="font-family: 宋体 "“超分辨光刻装备研制”通过验收/span/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "2018年11月29日，国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "利用研制成功的超分辨光刻装备已制备出一系列纳米功能器件，包括大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器、切伦科夫辐射器件、生化传感芯片、超表面成像器件等，验证了该装备纳米功能器件加工能力，已达到实用化水平。不过需要注意的是，该设备为超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性战略领域的跨越式发展提供了制造工具。简单来说，该设备主要应用于器件进行周期性的光刻，但无法应用于集成电路光刻。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strongspan style="font-family: 宋体 "其他项目紧锣密鼓进行中/span/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "除了以上已经完成的02专项子项目，其他的项目也在紧锣密鼓进行中：/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室和浙江启尔机电负责沉浸式光刻机的浸液系统，目前水平排名世界第三，前两名分别为阿斯麦、尼康；/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "中科院光电研究院负责准分子激光光源系统，由北京科益虹源负责产业转化，研究成果国产40W 4kHz ArF光源已经交付，是继美国Cymer公司（已于2013年被阿斯麦收购）、日本Gigaphoton 公司之后的全球第三；/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "物镜曝光系统方面，长春光机所应用光学国家重点实验室和国防科技大学光学精密工程创新团队负责；激光光源照明系统方面，中国科学院上海光学精密机械研究所负责。/span/pp style="text-align:center line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "strongspan style="font-family: 宋体 "其他团队光刻机研究进展/span/strong/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "据悉，武汉光电院甘棕松团队采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制，采用远场光学的办法，光刻出最小9纳米线宽的线段，实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新，研发出了双光束高分辨率激光直写光刻机。目前甘棕松团队正在做双光束超分辨率投影式光刻机大型工程机的研发。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "需要注意的是一般投影式光刻机才可以进行有效率的芯片制造，而甘棕松团队的光刻机是直写式光刻机，无法实现大规模量产。一般来说，直写式光刻设备主要用于掩模版制作，如电子束刻蚀设备，其优点是分辨率高，缺点是速度慢，无法用于大规模量产。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "据业内媒体消息披露，上海微电子将于2021年-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机。这意味着我国的先进光刻机已经实现了技术突破，但可以实现更高制程的EUV光刻机仍然任重而道远。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif "“我们从古以来，就有埋头苦干的人，有拼命硬干的人，有为民请命的人，有舍身求法的人，… … 虽是等于为帝王将相作家谱的所谓" 正史" ，也往往掩不住他们的光耀，这就是中国的脊梁… … ”伴随着国家队入场和科研人员的“负重前行”，相信不久的将来必能不断传出好消息。/span/ppbr//p

近日，重庆市发展和改革委员会发布关于征求《重庆市加快集成电路产业高质量发展若干政策》意见建议的公告。图片来源：重庆市发展和改革委员会官网截图重庆市发展和改革委员会官网指出，为贯彻落实国家关于发展集成电路产业的有关文件精神，深入实施重庆市以大数据智能化为引领的创新驱动发展战略行动计划，提速集成电路产业发展，打造电子信息产业核心竞争力，培育产业发展新动能，特制定如下政策。一、平台建设支持（一）对集成电路领域重点培育的国家实验室（含基地）、重大科技基础设施，建立承载主体、市、区县（含开发区，下同）联动支持机制。对国家布局及批准建设的国家实验室（含基地）、重大科技基础设施，市、区县两级财政按规定“一事一议”给予支持。（二）对集成电路领域新认定的国家重点实验室、国家工程研究中心、国家技术创新中心等国家科技创新基地，建立承载主体、市、区县联动支持机制，市级一次性补助最高1000万元。根据定期绩效评价结果，分类分档给予支持，每次市级补助最高600万元。对集成电路国家制造业创新中心自获得认定的当年起，连续3年每年给予最高2000万元的研发支持；对集成电路市级制造业创新中心自获得认定的当年起，年度运营考核合格的，连续3年每年给予最高1000万元的研发支持。支持建设集成电路专业孵化器，对经认定的市级孵化器，根据孵化绩效给予相应奖励；对首次获得国家级认定的，给予100万元奖励。（三）支持国际著名微电子学院（校）、国家示范性微电子学院、拥有集成电路相关学科的“双一流”高校、国家级科研院所、具有突出成绩的科学家及科研团队来渝设立集成电路领域的研发机构（含分支机构）。对新认定的高端研发机构，建立承载主体、市、区县联动支持机制，根据绩效情况，市级给予最高5000万元综合支持。对特别重大的高端研发机构，“一事一议”给予支持。（四）支持有条件的区县建设集成电路产业集群公共服务综合体，根据项目总投资规模给予一定比例或者额度补助。对已建设的市级集成电路公共服务平台，为行业企业提供电子设计自动化（EDA）工具、仿真、知识产权（IP）库、检验检测等公共服务的，根据运营情况给予一定补助。二、研发创新支持（五）鼓励积极承担国家集成电路领域重大创新需求，对承担国家集成电路领域科技重大专项和重点研发计划的单位，根据项目合同实施进展绩效，市级按项目上年度实际国拨经费的3%奖励研发团队，每个项目奖励最高100万元，每个单位奖励最高1000万元。（六）聚焦集成电路领域重大“卡脖子”技术问题和重点新产品研发，通过市级科技创新重大项目方式，支持集成电路领军企业联合行业上下游、高校院所组建创新联合体开展协同攻关，每个重大项目设置主攻方向不超过10个，对每个主攻方向市级给予1000—3000万元的资金支持。对特别重大的集成电路科技创新项目，可“一事一议”给予支持。三、投资支持（七）适时组建百亿级的重庆市半导体产业发展基金。鼓励支持有条件的区县成立集成电路设计创业投资引导基金。（八）对实际到位投资2000万元以上的集成电路设计类企业，按照12%的比例，给予不超过500万元的资金支持。对实际到位投资5亿元以上的集成电路制造、封测类企业，按照项目贷款利息（人民银行基准利率）50%的比例，给予不超过2000万元的贴息支持。对实际到位投资2亿元以上的集成电路装备、材料类企业，按照项目贷款利息（人民银行基准利率）50%的比例，给予不超过1000万元的贴息支持。鼓励有条件的区县对新落户且达到一定额度（具体标准由区县自行制定）的集成电路产业投资项目按固定资产实际投资额给予一定比例补助。四、企业培育支持（九）对实际到位投资2000万元以上2亿元以下的集成电路设计企业，按照其每款产品完成首次全掩膜（Full Mask）工程流片费用50%的比例给予资金支持（流片费包括：IP授权费、掩膜版费、测试化验加工费），对单个企业年度支持总额不超过1000万元。对使用多项目晶圆（MPW）流片进行研发的企业（高校、科研机构），按照MPW流片费50%的比例给予资金支持，对单个企业（高校、科研机构）年度支持总额不超过100万元。对开放产能为行业企业提供封装测试服务的集成电路封装测试企业，按照封测费用5%的比例给予资金支持，对单个企业年度支持总额不超过200万元。对开放产能为行业企业提供代工流片服务的集成电路制造企业，按照每片（折合8英寸）100元的标准给予资金支持，对单个企业年度支持总额不超过1000万元。（十）对采购集成电路企业自主研发设计和生产的芯片、装备及原材料等产品的企业，按照采购金额5%的比例给予资金支持，对单个企业累计支持总额不超过100万元。（十一）鼓励有条件的区县对拥有自主知识产权、年度营业收入首次突破5000万元、1亿元、5亿元、10亿元的集成电路设计、装备、材料等企业，给予企业及核心团队100万元、200万元、500万元、1000万元奖励；对年度营业收入首次突破10亿元、50亿元、100亿元的集成电路晶圆制造、封装测试企业，给予企业及核心团队200万元、500万元、1000万元奖励。五、人才和学科建设支持（十二）支持企业（科研机构）建设博士后工作站，对获批设立和获得独立招生资格的国家级博士后工作站企业（科研机构），给予50万元一次性奖励。每招收1名全职博士后，给予博士后工作站5万元补助。给予新获准进站博士后每人16万元日常资助；出站后进入重庆市企业（科研机构）工作并签订3年及以上劳动合同的全职博士后，再给予每人15万元留渝资助。（十三）支持集成电路企业与职业院校、培训机构共建集成电路高技能人才培训基地，开展高技能人才培训。经对接确认后，建设期内给予一定资金补助；投入运行并经认定后，根据项目实施效果给予每年最高100万元补助。对认定的技能大师工作室，给予5-25万元补助。对集成电路企业（含企业性质的培训机构）申办培训资质、员工岗前培训、岗位培训等培训指标予以优先保障。（十四）支持有条件的高校科研院所建设示范性微电子学院、集成电路科学与工程一级学科，获批国家级、市级的示范性微电子学院，一次性分别奖励500万元、200万元；获批国家集成电路科学与工程一级学科的，一次性奖励200万元。支持国内外集成电路重点高校科研院所与重庆市有关高校院所开展研究生联合培养。对纳入重庆市培养指标的，给予研究生科研创新项目、优秀博士硕士学位论文、研究生教育教学改革项目等专项支持。鼓励市内重点高校与重点企业联合开展集成电路专业研究生定向培养，具体支持政策由企业所在区县牵头制定。（十五）首次在渝全职工作并与用人单位签订3年以上劳动（聘用）合同、按规定缴纳社会保险费的青年人才，由区县根据实际情况发放购房或安家补贴。其中，博士学历及高级职称职级最高5万元/人，硕士及中级职称职级最高2.5万元/人（仅限于主城新区企业、“两群”地区）。集成电路产业人才符合市级人才支持政策的，按规定享受有关优惠政策。鼓励支持有关区县出台集成电路制造类重点企业用工补贴政策。六、服务保障（十六）优先保障集成电路重大项目用地，对涉及区域（流域）主要污染物排放总量削减替代、能耗平衡的，优先保障集成电路企业主要污染物排放总量指标和能耗指标需求。切实保障集成电路企业对水、电、气等生产要素和用工需求，对符合条件的企业纳入直供电交易。（十七）落实国务院新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的财税政策，优化办税流程，加快退税进度。

2021年1月15日，致力于用量子技术振兴自主科学仪器产业的国仪量子宣布完成B轮数亿元融资，用于量子计算和量子精密测量技术的研发和自主高端科学仪器的行业应用。本轮融资由高瓴创投（GL Ventures）领投，同创伟业、基石资本、招商证券跟投。 高灵敏度磁探测技术 国仪量子联合创始人、CEO贺羽表示，国仪量子将坚持以长相干、多比特、高精度量子操控为核心技术目标，发展全球领先的量子计算技术、量子精密测量技术及相关衍生技术，抢占全球制高点，打造中国科学仪器赛道龙头。期待在高瓴等合作伙伴的助力下，加快对钻石传感器加工工艺、高精度量子调控技术、量子原级基准、超越经典极限的弱信号探测等核心技术的产业化应用，为生物医疗、前沿科学、工业4.0、能源动力和汽车工业等多领域赋能，并带动相关产业发展。 电子顺磁共振谱仪微波桥 高瓴合伙人、高瓴创投软件与硬科技负责人黄立明表示：国仪量子是我国从事量子精密测量和量子计算最领先的团队之一，他们瞄准量子技术的最前沿，凭借在核心技术领域的重大突破，以及优秀的产品工程化能力，为广大科研工作者提供先进的自主高端科学仪器，实现了量子精密测量技术的产业化落地。以“第二次量子革命”为代表的新一轮科技革命和产业变革正在兴起，高瓴相信，在年轻的连续创业者贺羽带领下，国仪量子将不忘“为国造仪”的初心，持续走在量子技术研发的前沿，抓住我国高端科学仪器行业换道超车的变革式机遇，成为新一代高新技术的全球开拓者、引领者。 扫描电镜SEM3000 以量子信息技术为代表的第二次量子革命正推动人类文明加速进步，抓住历史机遇“为国造仪”，将推动中国成为未来信息技术引领者。同样坚持长期主义的高瓴和国仪量子将携手共进，做难而正确的事，面向世界科技前沿，面向经济主战场，面向国家重大需求，面向人民生命健康，不断向科学技术的广度和深度进军。 量子计算教学机光路模块 关于国仪量子 2016年12月，国仪量子成立，致力于以量子精密测量和量子计算为核心技术，打造先进仪器产业集群。公司源于中国科学技术大学中国科学院微观磁共振重点实验室，实验室在高端科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年，多项技术、研究成果突破国际封锁和禁运。成立四年来，国仪量子持续加大投入，以工匠精神打造出一款款改变行业的科学仪器，已经成长为一家国家级高新技术企业，产品交付到高校、企业、医院等海内外近百家单位，多款仪器在多项关键性能指标上实现了与世界先进水平并跑或领跑。 关于高瓴创投 高瓴创投（GL Ventures）是高瓴旗下专注于早期创新型公司的创业投资基金，覆盖软件与硬科技、生物医药与医疗器械、消费互联网与科技、新兴消费品牌等重点领域。高瓴创投寻找一切热爱技术、相信创新的创业者，希望成为创业者寻求融资时的first call，更期待能长期陪跑创业者的创业旅程。

近日，工业与信息化部发布《重大技术装备进口税收政策有关目录（2021年修订）公示》，同时披露了《国家支持发展的重大技术装备和产品目录（2021年修订）公示稿》、《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年修订）公示稿》、《进口不予免税的重大技术装备和产品目录（2021年修订）公示稿》和《公示意见反馈表》。公示信息显示，《重大技术装备进口税收政策有关目录（2021年修订）公示》是依据《重大技术装备进口税收政策管理办法》（财关税〔2020〕2号）（以下简称《管理办法》）和《重大技术装备进口税收政策管理办法实施细则》（工信部联财〔2020〕118号）（以下简称《实施细则》）制定。而《重大技术装备进口税收政策管理办法实施细则》（工信部联财〔2020〕118号）是按照《财政部 工业和信息化部 海关总署 税务总局能源局关于印发重大技术装备进口税收政策管理办法的通知》（财关税〔2020〕2号）有关要求制定。以上政策实施的同时，此前发布的《财政部 国家发展改革委 工业和信息化部 海关总署 国家税务总局 国家能源局关于调整重大技术装备进口税收政策的通知》（财关税〔2014〕2号）、《财政部 国家发展改革委 工业和信息化部 海关总署 国家税务总局 国家能源局关于调整重大技术装备进口税收政策有关目录及规定的通知》（财关税〔2015〕51号）和《关于调整重大技术装备进口税收政策受理程序等事项的通知》（工信厅联财〔2016〕40号）同时废止。而在《管理办法》（财关税〔2020〕2号）中指出，对国内已能生产的重大技术装备和产品，由工业和信息化部会同财政部、海关总署、税务总局、能源局制定《进口不予免税的重大技术装备和产品目录》后公布执行。进口税收政策的调整，一方面总结了我国在重大技术装备研发上的突破，另一方面也明确了未来重大技术装备的研发方向。将我国已经突破的重大技术装备列入《进口不予免税的重大技术装备和产品目录》有助于保护相关产业发展和促进技术装备的国产化，同时免除尚未突破的重大技术装备进口收收可以降低产业链的采购压力。本次税收政策的修订主要涵盖了大型清洁高效发电装备、超特高压输变电设备、大型石油及石化装备、大型煤化工设备、大型冶金成套设备、大型矿山设备、大型船舶海洋工程设备、电子信息和生物医疗装备等，涉及核电、集成电路、生物医疗、分析仪器等领域。其中进口不予免税的集成电路设备、生物医疗设备、核电装备、分析仪器部分目录如下：这些不予进口税收优惠的产品，特别是新增和调整项目主要集中于集成电路、生物医疗、分析检测仪器领域，也凸显了近年来我国在这些领域的研发突破和巨大支持力度。未来相关仪器设备在进口关税保护下，将加速相关上下游产业链的国产替代。不过仍有一些重大技术装备和产品亟待突破“卡脖子”，被列入《国家支持发展的重大技术装备和产品目录》，部分内容如下，除了重大技术装备和产品外，一些关键核心零部件和原材料列入了《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录》，部分内容如下，....................这些国家支持发展的重大技术装备，特别是新增和调整项目主要集中于集成电路、生物医疗领域，将成为未来国家支持政策倾斜的重点。相比于修订前的目录来说，本次集成电路涉及了几乎半导体制造和封测的全产业链设备，凸显了我国构建独立自主的半导体产业链的决心，有望突破美国对中国集成电路产业的封锁。值得注意的是，本次税收政策调整所依据的2020年颁布的《管理办法》中明确指出，对符合规定条件的企业及核电项目业主为生产国家支持发展的重大技术装备或产品而确有必要进口的部分关键零部件及原材料，免征关税和进口环节增值税。同时，同年发布的《实施细则》中强调，对于享受政策的企业和核电项目业主，工业和信息化部会同有关部门适时对企业和核电项目业主执行政策情况进行监督检查和评估，如违反规定，将免税进口的零部件、原材料擅自转让、移作他用或者进行其他处置，被依法追究刑事责任的，从违法行为发现之日起停止享受政策。从中可以看出，相关部门将严格把控享受进口税收的重大技术装备用途，确保应用于核电项目，体现了国家对核电项目的支持。而此前，中俄元首共同见证了中俄核能合作项目开工仪式，目前中俄合作建设的核电项目总造价超千亿。核电项目是实现碳达峰和碳中和的关键举措。由此可见，未来我国将在集成电路、生物医疗、核电、分析仪器等领域加大支持力度，相关的仪器设备也将迎来巨大政策支持和发展机遇。附件：1.国家支持发展的重大技术装备和产品目录（2021年修订）公示稿.pdf3.进口不予免税的重大技术装备和产品目录（2021年修订）公示稿.pdf2.重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年修订）公示稿.pdf已废除：已废除.zip