高速度精密转台

RAuK系列超高精密电控旋转台 RAuK系列超高精密电控旋转台是我公司在RAK系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360° 全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）。该系列产品已通过多方用户的测试（如哈工大、北航等），主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。 ■ 产品特点：◆内置进口超高精度圆光栅，配合MC600系列控制器，实现了360° 全闭环，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）◆精研蜗轮蜗杆采用耐磨材料并通过特殊工艺处理，可实现超高定位精度和更好的耐用性和精度保持性◆采用高刚性的进口超高等级交叉滚柱轴环，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证旋转台的端跳、径跳等各项指标，而且具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法，保证每一台产品，出厂时具有最优性能◆电机接口和圆光栅信号接口分开设计，可以根据要求灵活使用◆具有零位开关（反向旋转时遇零位开关停止），可以方便的进行绝对定位◆使用三相步进电机和伺服电机的该系列产品以及其他规格尺寸的产品，也在规划中，敬请期待！■产品一览表型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(° )0.001250.00125闭环分辨率(＂)1.81.2传动比180:1180:1最大速度（Deg./sec.）2525重复定位精度(° )0.0050.005径向跳动(&mu m)1510轴向跳动(&mu m)1510步进电机（步距角）42（1.8° ）57（1.8° ）工作电流（A）1.72.4中心负载（Kg）3050 ■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

RSM56-1/73-1精密旋转台RSM56-1与RSM73-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴系设计，M6x0.25超细牙螺杆驱动，精度高，稳定性好。中心有26mm直径的通孔，可通光，还可装配附件，连接固定多种物品或其它调整架。上下均有标准孔距螺纹孔，适配性强。■技术指标 RSM56-1RSM73-1台面直径（mm）5673粗调范围360° 360° 微调范围± 3° ± 2.5° 最小刻划2° 1° 最小读数0.2° 5´ 中心通光孔直径26mmM27X1负载（kg）25自重（kg）0.150.35

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

PSMR系列精密手动旋转台 PSMR 系列是卓立汉光正在研制的精密手动旋转台。设计思路：● 导向机构采用球轴承，具有良好的运动特性● 分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供较高的灵敏度● 负载能力较强，小尺寸● 可以同其它PSMx系列产品组合使用组合示意图：

RSM100-W型旋转台精密手动调整，精加工蜗轮蜗杆传动。台面上的标准孔距可以和我公司生产的标配系列产品连接，台面外圈为刻度圈，可使旋转角度数量化。■技术指标 RSM100-W台面直径(mm)100粗调范围360° 最小刻划1° 灵敏度0.001° 负重(kg)15自重(kg)0.85

NFPR系列超高精密手动旋转台 说明：NFPR 系列产品是卓立汉光正在研制的超高精密手动旋转台。设计思路：● 采用进口交叉滚柱轴环作为导向机构● 该系列产品主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动● 粗调加微调机构，方便使用● 径跳、端跳等关键指标，达到国际水平

RSA系列电控旋转台RSA系列电控旋转台通过步进电机驱动，实现角度调整自动化。精加工蜗轮蜗杆传动，精密轴系设计，保证调整精度高，承载大。步进电机与传动件通过进口高品质弹性联轴器连接，排除空回和加工形位误差。旋转台面外圈刻度直观。标准接口，方便信号传输。手动手轮配置，电控手动均可。可换装伺服电机。 ■技术规格型 号RSA60RSA100RSA200RSA400传动比90:1180:1720:18细分下分辨率0.0025° 0.00125° 0.0003125° 最大速度(Deg./sec)5025 5重复定位精度＜0.01° ＜0.005° ＜0.003° 步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流（A）1.72.4中心负载(kg)30506080自重(kg)11.547.719.75

RAK系列高精度电控旋转台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列产品主要应用于激光精密加工、三维扫描测量系统等应用领域■步进电机驱动，实现角度调整自动化■蜗轮、蜗杆采用耐磨材料，并采用特殊工艺处理，因而其耐磨性高，旋转台的精度可靠性高■进口高精密高刚性轴系使得旋转精度高,承载大,运行平稳■旋转台面外圈有刻度，直观方便，有物理零位■标准接口，方便信号传输■可加装圆光栅和编码器，配合我们自主开发的MC系列控制箱可以实现闭环控制 ■技术规格 型 号RAK100RAK200RAK350主体材料合金铝传动比180:1180:1320:18细分下分辨率(Deg.)0.00125° 0.00125° 0.0007° 最大速度 (Deg./sec.)2514重复定位精度0.005° 0.003° 径向跳动(")151020轴向跳动(")151020步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流 (A)1.72.4中心负载 (Kg) 3050100

RSM50-C旋转平台可快速调整角度，斜齿轮传动，增加传动的准确性和可靠性。中心M52x1螺纹孔可用螺纹压圈直接固定2英寸或50mm直径的光学件或与其它底板系列，调整架系列产品配合使用。转台端面360° 刻划，转角定量直观。精密轴系设计，稳定舒适。可水平或垂直使用。锁紧手轮安全可靠。 加装步进电机可变成电动转台■技术指标 RSM50-C台面直径(mm)50粗调范围360° 最小刻划1° 灵敏度0.001° 负重(kg)5自重(kg)0.75

RSM82-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴承组轴系设计，细牙螺杆驱动（可选用分厘卡驱动，型号为 RSM82-1A）精度高，承载大。台面多种标准孔位的安装孔适合不同需要，下方标准固定孔方便将其与其它位移台连接，组成多维移动台。■技术指标 RSM82-1RSM82-1A台面直径（mm）8282粗调范围360° 360° 微调范围± 10° ± 10° 最小刻划1° 1° 最小读数2´ 2´ 中心通光孔直径无无负载（kg）55自重（kg）0.480.5 RSM82-1 RSM82-1A RSM82-1 RSM82-1A

RGV100BL高速度精密转台双向重复精度: 0.0004度最大读书: 720度/s摇摆度: 20μrad负载能力:100 N技术参数角度范围360°偏心率，典型值±1.0 μm 最大速度720°/s 偏心率，保证值±1.5μm 电机持续驱动扭矩0.61 Nm (rms) 惯性0.00104 kgm2峰值驱动扭矩2.7 Nm 横向顺应性15 μrad/Nm 中心负载100 N 原点Optical, centered 螺纹类型M4 and M6 原点重复精度±0.1 mdeg 最小位移增量0.10 mdeg 限位开关Two optical limit switches at approx. ±168°, disabled by external switch 单向重复精度，典型值±0.08 mdeg 单向重复精度，保证值±0.15 mdeg 双向重复精度，典型值±0.15 mdeg 编码器分辨率1 Vpp 0.024° pitch 精度，典型值±3.0 mdeg 孔径30 mm 精度，保证值±5.0 mdeg 重量2.6 kg 摆动，典型值±5.0 μrad MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 摆动，保证值±10 μrad RoHSCompliant

株式会社电装（DENSO）是世界屈指可数的汽车零部件生产厂家。作为电装在中国的统括公司——电装（中国）投资有限公司成立于2003年。　　DENSO目前推出的机械手臂等工业用机器人（FA设备）产品包括：垂直多关节机械手、水平多关节（SCARA）机械手、直角坐标机械手、内置型机械手及机械手控制器。 　　一、垂直多关节机械手 　　1.VP-G系列：高功率小型5&6轴VP系列机械手。以小巧精炼的外形满足各种用户需求。（VP-5243G、VP-6242G）。 　　2.VS系列 VS-050/060：更快、更小、更容易使用。（VS-050、VS-060、）。 　　3.VS系列 VS-068/087：更快、更小、更容易使用。（VS-068、VS-087）。 　　4.VS-G系列：品种齐全的小型6轴机械手VS系列，以高速度、超强力的特点广泛应用于各个領域！（VS-6556G、VS-6577G）。 　　5.VM-G系列：高速度、超强力 中型6轴机械手VM系列，以小巧的外形广泛应用于各个領域！（VM-6083G、VM-60B1G）。 二、水平多关节（SCARA）机械手1. 经济型四轴机械手：LPH040，400mm臂长，负载3KG，精度±0.02mm。2. 经济型四轴机械手：LPH060，600mm臂长，负载5KG，精度±0.02mm。3. 经济型四轴机械手：LPH070，700mm臂长，负载5KG，精度±0.02mm。4. 高速性四轴机械手HS-A1和HSR系列机器人，目前世界上速度最快的机器人。5. HS-A1系列：具有省空间特点的小型4轴机械手HS系列，以超群的高速度、高精度应用于各个領域！（HS-4535*G、HS-4545*G、HS-4555*G）(HS-035A1-N20，HS-045A1-N20，HS-055A1-N20)。　　4.HM-G系列：品种齐全的中型4轴机械手HM系列，以超群的高速度、高精度应用于各个領域！(HM-4*60*G、HM-4*70*G、HM-4*80*G、HM-4*A0*G)。 　　三、直角坐标机械手　　XYC4-G系列：紧凑尺寸 型笛卡尔坐标机器手！由于变化广泛，针对用户需要具有多种选择。 　　四、内置型机械手 　　XR-G系列：内置型机械手：XR-G系列。 　　五、机械手控制器 　　RC7M控制器：RC7M系列高性能控制器的特点在于其先进的整体接口，适用于各种应用和需求。 RC8控制器：体积更小安装更方便，改进的GUI用于提高效率，菜单结构简明易懂，可用性高。改进的GUI和功能缩短了操控机器人所需的时间。统一规格和标准，以提高支持的全球共享网络的80%的可变性。可自定义控制并连接多台设备，以满足多种需求。

株式会社电装（DENSO）是世界屈指可数的汽车零部件生产厂家之一。作为电装在中国的统括公司——电装（中国）投资有限公司成立于2003年。　　DENSO目前推出的机械手臂等工业用机器人（FA设备）产品包括：垂直多关节机械手、水平多关节（SCARA）机械手、直角坐标机械手、内置型机械手及机械手控制器。 　　一、垂直多关节机械手 　　1.VP-G系列：高功率小型5&6轴VP系列机械手。以小巧精炼的外形满足各种用户需求。（VP-5243G、VP-6242G）。 　　2.VS系列 VS-050/060：更快、更小、更容易使用。（VS-050、VS-060、）。 　　3.VS系列 VS-068/087：更快、更小、更容易使用。（VS-068、VS-087）。 　　4.VS-G系列：品种齐全的小型6轴机械手VS系列，以高速度、超强力的特点广泛应用于各个領域！（VS-6556G、VS-6577G）。 　　5.VM-G系列：高速度、超强力 中型6轴机械手VM系列，以小巧的外形广泛应用于各个領域！（VM-6083G、VM-60B1G）。 二、水平多关节（SCARA）机械手1. 经济型四轴机械手：LPH040，400mm臂长，负载3KG，精度±0.02mm。2. 经济型四轴机械手：LPH060，600mm臂长，负载5KG，精度±0.02mm。3. 经济型四轴机械手：LPH070，700mm臂长，负载5KG，精度±0.02mm。4. 高速性四轴机械手HS-A1和HSR系列机器人，目前世界上速度最快的机器人。5. HS-A1系列：具有省空间特点的小型4轴机械手HS系列，以超群的高速度、高精度应用于各个領域！（HS-4535*G、HS-4545*G、HS-4555*G）(HS-035A1-N20，HS-045A1-N20，HS-055A1-N20)。　　4.HM-G系列：品种齐全的中型4轴机械手HM系列，以超群的高速度、高精度应用于各个領域！(HM-4*60*G、HM-4*70*G、HM-4*80*G、HM-4*A0*G)。 　　三、直角坐标机械手　　XYC4-G系列：紧凑尺寸 型笛卡尔坐标机器手！由于变化广泛，针对用户需要具有多种选择。 　　四、内置型机械手 　　XR-G系列：内置型机械手：XR-G系列。 　　五、机械手控制器 　　RC7M控制器：RC7M系列高性能控制器的特点在于其先进的整体接口，适用于各种应用和需求。 RC8控制器：体积更小安装更方便，改进的GUI用于提高效率，菜单结构简明易懂，可用性高。改进的GUI和功能缩短了操控机器人所需的时间。统一规格和标准，以提高支持的全球共享网络的80%的可变性。可自定义控制并连接多台设备，以满足多种需求。

精密微调手动旋转台OMXE系列产品介绍：OMTOOLS精密微调手动旋转台OMXE系列采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。并采用蜗轮蜗杆结构驱动，旋转手轮可进行高分辨率的精密角度调整，操作方便，承载能力较好，适合需要精密旋转角度的场合使用。旋转台高度低，适合负载较重、水平旋转的场合使用； 产品底部有安装螺孔，可以直接连接到其他台面或标准光学平台、平板上。旋转台台面上有安装孔，可供客户安装物件。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■进口精密轴承导向，端跳等关键指标达到国内先进水平；■使用精研涡轮蜗杆传动，实现高定位性能；■超薄结构，紧凑精巧；■可以同其它系列产品组维使用 选型表：型号OMXE40ROMXE60ROMXE100R行程（°）360台面直径(mm)Φ40Φ60Φ100导轨球轴承驱动方式蜗轮蜗杆传动比1:621:901:160主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.20.51.3游标刻度分辨率5 arcmin静态平行度(mm)≦0.05端面跳动（μm）≦50径向跳动（μm）≦50中心负载（Kg）51015

精密电动旋转台MERA系列产品特点：材质：6061T4 铝合金；精加工蜗轮蜗杆传动，角度全圆无极限调整；可设零位光电开关；可换装伺服电机；更换运动部件和电机，核心零件经特殊处理后，可应用于真空环境中。 产品介绍：OMTOOLS精密电动旋转台MERA系列具有较高精度、价位适中的产品，采用精研蜗轮蜗杆，保证了高旋转精度，端跳、径跳等关键指标达到同行先进水平。该产品具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用，可组合多维使用。旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长。精密蜗轮蜗杆传动和转轴系设计，调整精度高，空回小，消空回结构可调整使用造成的空回间隙。旋转台面的端跳和偏心低，旋转运动平稳。旋台中心通孔与旋转中心严格同轴，中心孔径严格配合公差限制，方便精密定位。进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能号，排除空回和形位误差。提供步进与伺服的电气配件，可提供相关技术支持，接受产品的改制和量身定制。 选型表：型号MERA60MERA100MERA200MERA300台面直径60mm100mm200mm300mm传动比90：1180：1180：1270：1驱动方式蜗轮蜗杆导轨形式轴承主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑自重1.2kg1.9kg7.2kg13.5kg水平最大中心承载10204060分辨率（无细分）0.02°0.01°0.01°0.0067°最大速度13°/sec6.5°/sec6.5°/sec4.3°/sec重复定位精度0.01°端跳精度50u50u80u80u平行度80u80u80u100u

手动旋转台SXZA系列产品特点：材质：6061T4 铝合金；精密轴系设计；旋转台中心无通光孔；圆周360°刻划，游标读数方便微调；承载大，精密高；底面、台面的标准孔位，便于安装和组合。 产品介绍：OMTOOLS手动旋转台可360°旋转调整，精密轴系设计，旋转台中心无通光孔，圆周360°刻划，游标读数方便微调，承载大，精密高。底面、台面的标准孔位，便于安装和组合。 选型表：型号SXZA100台面直径100mm驱动方式蜗轮副读数方式直读分辨率0.017o粗调范围-精调范围360o最小刻度2o最小读数6′最大负载15kg自重0.85kg

RSM56-1/73-1精密旋转台RSM56-1与RSM73-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴系设计，M6x0.25超细牙螺杆驱动，精度高，稳定性好。中心有26mm直径的通孔，可通光，还可装配附件，连接固定多种物品或其它调整架。上下均有标准孔距螺纹孔，适配性强。■技术指标 RSM56-1RSM73-1台面直径（mm）5673粗调范围360° 360° 微调范围± 3° ± 2.5° 最小刻划2° 1° 最小读数0.2° 5´ 中心通光孔直径26mmM27X1负载（kg）25自重（kg）0.150.35

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

采用经特殊处理的铝和花岗岩材质，EK130气浮旋转台采用空气静压轴承设计，LT气浮转台满足同心轴向径向操作的最高要求，LT公司的气浮旋转台规格：标准直径60毫米，100毫米或150毫米气浮转台内孔可选。转台利用水冷却设计，使各款气浮旋转台不仅耐用，而且具有热稳定性。EK130气浮旋转台可通过一个高转速（ 150转）和低于0.1弧秒的绝对精度结合实现超精密测量。这些测量单元的应用领域通常涉及内，外直径测量，而且作为一个超精密机床附加旋转轴。工件可以精确地固定到不锈钢支撑板，或者通过真空吸附固定。

OMZT-B系列精密重载型电动旋转台产品介绍：OMZT-B系列精密重载型电动旋转台，是红星杨科技在OMZT-xxA系列经济重载型电动旋转台的基础上研发的具有超高旋转精度、高刚性的电动旋转台产品。该系列采用进口交叉滚柱轴环、精研涡轮蜗杆和独特的不锈钢轴系结构及工作台面，保证了高旋转精度、高刚性，从而使得其旋转精度、端跳、径跳等关键指标可达到同行先进水平。且特有的涡轮蜗杆调整结构，可以方便地消除机械误差，保证长期使用精度。该系列产品具有较高的负载能力，可垂直使用和倒置使用，并可组合多维使用。产品特点：■旋转轴系和工作台面采用不锈钢材质，结合多道工艺精密加工而成，高刚性及高平面度，配合精度高，承载能力强，使用寿命长；■使用精研涡轮蜗杆传动，实现高定位性能；■采用进口高等级交叉滚柱轴环，具有高运动特性；■步进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴器链接，传动同步，消偏性能好，排除空回和形位误差；■提供步进与伺服的电气配件，可提供相关技术支持，接受产品的改制和量身定制。选型表： 型号OMZT60BOMZT100BOMZT200BOMZT300B 机械规格角度范围360°台面直径(mm)60100200300涡轮蜗杆传动比90:1160:1160:1240:1涡轮材料耐磨锡青铜导轨（导向机构）交叉滚柱轴环+深沟球轴承主体材料及表面处理铝合金黑色阳极氧化处理+不锈钢台面及轴系自重（Kg） 0.982.9210.5419.82 精度规格整步分辨率（°）0.020.011250.011250.007520细分下的分辨率（°） 0.0010.00056250.00056250.000375最大速度（°/s）*2011.2511.257.5重复定位精度（°）0.005端跳精度30u30u35u40u径向跳动精度30u30u35u40u静态平行度60u60u60u80u 电气规格电机及步距角（゜）二相28步进电机（1.8゜）二相42步进电机（1.8゜）二相57步进电机（1.8゜）电机品牌及型号信浓雷赛工作电流（A）1.32.54.2电机扭矩（Nm）0.07850.61.3驱动器品牌及型号雷赛滑台接头DB9（针）负限位传感器（内置）欧姆龙传感器电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计20mA以下控制输出MPN开路集电极输出：DC5-24V 8mA以下残余电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载（Kg）153060100倒置负载（Kg）7.5153050竖直负载（Kg）7.5153050最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。

PSMR系列精密手动旋转台 PSMR 系列是卓立汉光正在研制的精密手动旋转台。设计思路：● 导向机构采用球轴承，具有良好的运动特性● 分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供较高的灵敏度● 负载能力较强，小尺寸● 可以同其它PSMx系列产品组合使用组合示意图：

RSM100-W型旋转台精密手动调整，精加工蜗轮蜗杆传动。台面上的标准孔距可以和我公司生产的标配系列产品连接，台面外圈为刻度圈，可使旋转角度数量化。■技术指标 RSM100-W台面直径(mm)100粗调范围360° 最小刻划1° 灵敏度0.001° 负重(kg)15自重(kg)0.85

瑞士丹青LabStandardAIR系列精密气浮转台，采用全气浮轴承结构，减少了磨擦阻力。旋 转轴采用电机直接驱动，方便调节旋转速度及制动，控制系统为新型自动控制器。瑞士丹青LabStandard系列立卧两用转台，组合使用预加载轴向及径向滚珠轴承，使转台 在两个面都具有具有极高刚性，因此特别适合偏心大负载应用。使用自锁蜗杆传动及高 精度角度编码器保证高灵敏度及精确定位。适合于计量、精加工及精密测量领域。

RV系列高性能精密转台双向重复精度: 0.0012–0.007度最大读书: 2–80度/s摇摆度: 16–40 μrad负载能力:: 900–6500 N

NFPR系列超高精密手动旋转台 说明：NFPR 系列产品是卓立汉光正在研制的超高精密手动旋转台。设计思路：● 采用进口交叉滚柱轴环作为导向机构● 该系列产品主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动● 粗调加微调机构，方便使用● 径跳、端跳等关键指标，达到国际水平

应用领域QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差；提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。结构特点由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，最大限度地提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低，减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。精度性能瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm，摆角误差3μrad，最大负载100kg，电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。闭环反馈使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.01arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能精准回零。定制化气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。规格指标型号单位QFR-100QFR-200QFR-300行程°360台面直径mm134184284通孔直径mm162240补偿后定位精度 Plus (1)arc sec±0.5标准值±2双向重复定位精度Plus (1)arc sec≤0.5标准值≤1轴向跳动误差 (2)Plus (1)nm10标准值200径向跳动误差 (2)Plus (1)nm10标准值200摆角误差Plus (1)μrad3标准值6电子分辨率 (3) arc sec＜0.01最大速度 (空载) (4)rpm300,（≥1000 定制）最大负载轴向kg2045100径向122760供气压力 (5)MPa0.5±0.05空气消耗量SL/min263560自重kg51026材料/航空7075铝合金（表面氧化处理）注：以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。2. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。3. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。4. 最大转速取决于负载大小，最大定制转速7800 rpm。5. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。订购信息型号QFR-100-PLUS-1-3-Y描述气浮转台转动台面直径134mmPLUS高精度版增量式光栅1Vpp反馈线缆长度3米有压力保护开关名称型号描述气浮转台QFR气浮转台台面-100-200-300转动台面φ134mm转动台面φ184mm转动台面φ284mm精度等级-N-PLUS标准值PLUS高精度版反馈方式-1-T-ABS增量式光栅1Vpp反馈增量式光栅TTL反馈绝对式光栅反馈线缆长度-3-5-DZ长度3米（标配）长度5米定制压力保护开关-Y-N有压力保护开关（标配）无压力保护开关

专为动静态角度测量设计，主要用于产生高精度角度和高稳定性角速度；转台采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率；配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，实现高空间定位精度；高可靠线性驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成；各项参数可根据用户需求定制；本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。典型参数值回转精度0.05um定位精度0.1角秒角位置重复定位精度0.1角秒倾斜回转误差0.5角秒速率稳定性高速（≥50°/s，360°范围）：0.0001%；中速（5°/s～50°/s，10°范围）：0.001%；低速（≤5°/s，1°范围）：0.02%。速度范围±500°/s安装台面尺寸φ300mm承载能力≥30kg

产品说明：l 驱动部分采用高精度的力矩电机和霍尔传感器，能提高良好的动力输出。l 内置光栅尺和高分辨率的读数头，能有效的读取和输出角度位置信息。l 安装交叉滚柱轴环和薄壁轴承，保证同轴度和稳定性。l 两个轴承均为高品质轴承，能保证较长的使用寿命。l 独特装配工艺要求，确保了产品的稳定性。l 提供设备控制柜，也提供相关技术支持，接受产品的改制和量身定制。 OMTOOLS直驱电动旋转台 OMZD-B系列，采用高精度同步力矩电机。匹配高分辨率的光栅尺，可提供较高的微步能力。能够精准的输出定位角度值，这样可提供较高的定位精度。电机直接驱动省去了以往的传动部件，减少了机械部件带来的误差，降低空回的情况和减小了形位误差。同时将驱动力直接传递到运动平台，可实现高速度和高加速度。 参数表：型号OMZD100BOMZD200B基本参数台面直径(mm)100200仪器高度(mm)80119水平负载（KG）723导向机构交叉滚柱轴环+薄壁轴承主体材料及表面处理铝合金黑色阳极氧化处理+不锈钢台面自重（Kg）413.7精度规格光栅读数头分辨率（″）44最大速度（转/秒）42.5重复定位精度（°）0.00270.004端跳精度（um）1015径向跳动精度（um）1520动态平行度（um）2025电机扭矩（N.M）持续扭矩3.8Nm；峰值扭矩7.32 Nm持续扭矩18.8Nm；峰值扭矩40.9 Nm其它参数电机工作电流（A）5.44.6驱动器品牌固高固高转台接头GX16-10（针）、GX16-6（针）和GX16-4（针）GX16-10（针）、GX16-10（针）和GX16-4（针）读数头参数电源：5V±10% 150mA电源：5V±10% 150mA注：精度参数为实验室测得数据，其中最大速度为空载速度，负载增大时最大速度会减小

高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理，提供无限行程的同时保证纳米级分辨率，借助独特的硬件及控制算法，可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：高精度、高稳定性、高运动速度轴心误差和晃动补偿与抑制支持开环/闭环运动模式超高真空兼容性轻量化设计，结构紧凑模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：样品检验精密微组装光路切换显微CT机器视觉半导体检测机械参数：型号RP-50CRP-100C转动行程360°（θZ）360°（θZ）几何尺寸60*60*14.5mm100*17mm竖直最大负载2kg4kg重量180g400g精度参数：转动重复精度200µ rad最小转动分辨率 20µ rad工作环境：支持真空环境1x10-6 Pa