三颗针

SPM300系列半导体参数测试仪设备概览基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。① 光路接口盒：内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；② 光路转向控制：光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项③ 明视场相机：明视场相机代替目镜④ 显微镜：正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级⑤ 电动位移台：75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度⑥ 光纤共聚焦耦合：光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量⑧ 光谱CCD：背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%⑨ 320mm 光谱仪：F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比SPM300系列半导体参数测试仪主要应用SPM300系列半导体参数测试仪选型表型号描述SPM300-mini基础款半导体参数分析仪，只含一路532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台SPM300-SMS532多功能型半导体参数分析仪，含532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器SPM300-OM532开放式半导体参数测试仪，含532nm 激光器，定制开放式显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器系统参数项目详细技术规格光源标配532nm，100mW 激光器，其他激光可选，最多耦合4 路激光，可电动切换，功率可调节光谱仪320mm 焦距影像校正光谱仪，光谱范围90-9000cm-1,光谱分辨率2cm-1空间分辨率1μm样品扫描范围标配75mm*50mm，最大300mm*300mm显微镜正置显微镜，明场或者暗场观察，带10X,50X,100X 三颗物镜；开放式显微镜可选载流子浓度分析测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3，重复性误差5%应力测试可直观给出应力属性（拉力/ 张力），针对特种样品，可直接计算应力大小，应力均匀性分析（需额外配置电动位移台）, 应力解析精度0.002cm-1晶化率测试可自动分峰，自动拟合，自动计算出晶化率，并且自动计算晶粒大小和应力大小测试案例举例

测量范围:露点：-110℃~50℃ 流量：0.0L/min~3.0L/min 温度：-10℃~50℃显示方式:TFT真彩液晶显示屏，中文显示界面（可订制英文）精度:露点：0.5℃ 流量：0.01L/min 温度：0.1℃响应时间:≤1min工作时间:一次充满电后可连续工作20小时电源:可充锂离子电池组SANKE150精密露点仪采用新型超稳定湿度传感器，产品专用的传感器可有效避免测量气体内油污等杂质污染传感器，延长了仪器的使用寿命。该仪器为本质安全型防爆产品，适用于存在爆炸性气体的工业环境。 该仪器除了可以测定气体湿度外（四种湿度测量单位数据可同屏显示），还可同步测定采样气体流量和温度，可以和计算机实现无线数据通讯，能存储3000条测量数据，并且可以上传至计算机实现存储、管理。

三维扫描水箱系统DoseView 3D优势设置简单• 0.1mm精确无线定位保证自动准直• 快速切换探测器wu无需重置等中心点/原点• 集成式硬件，快捷化软件和无线通讯意味着更少的电缆和更快速的设置• 使用精密定位p平台确保轻松，高重复性地完成水箱定位测量快速准确• 低噪声板载式静电计加速扫描采集• 大尺寸挤压型铝ku框架zui大程度提高刚度，简化安装并保证可重复性• 每个轴的定位精度和重复性误差小于±0.1mm• 多功能和快速采集功能，支持分布数据采集和连续数据采集功能强大的软件&快速分析• 直观向导式软件支持在自动采集模式下保存扫描例程• 全面的数据管理和控制工具套件• 以相同顺序获取轮廓深度和PDD数据• 对于所有支持的系统可轻松将扫描数据导出至TPS三维扫描水箱系统DoseView 3D功能功能强大DoseView3D采用钢性铝制框架和不锈钢丝制造，为重复QA测试提供精确一致的平台。精心构造工艺确保每个轴向的测量误差小于±0.1mm。测量准确笛卡尔坐标系可以ji将等中心设置到水箱内的任意点，避免了圆柱形水箱可能出现的旋转误差。使用方便带有声音和shi视觉提示以及背光显示屏的无线连接让DoseView 3D使用起来非常方便。操作简单三颗调平螺丝安装在水箱的扫描架上方，即使水箱充满水后也很容易进行微调。