指纹模组治具

宽场荧光显微成像模组Wide-field Fluorescence Microscope Module以自动化显微镜模组为基础，针对 SiC 等化合物半导体晶圆位错、层错等缺陷检测需求。无须化学腐蚀、解理等样品前处理工艺，非接触、无损、整晶圆检测。产品特性和核心技术：激光自动聚焦。自主研制的激光辅助离焦量传感器。可在紫外激发光照射样品并采集荧光信号的同时工作，实现自动聚焦和表面跟踪。紫外暗场照明。标配波长 275 nm 紫外激发光，可按用户要求定制其它波长激发光。可同位采集明场显微像、可见光波段暗场荧光像、红外波段暗场荧光像，分析样品中位错、层错等。晶格缺陷的分布。全自动操作。自动化的控制软件和数据处理软件，全软件操作。相关国家标准：《中华人民共和国国家标准 GB_T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第 3 部分：缺陷的光致发光检测方法》（2023 年 12 月 28 日发布，2024 年7月1日实施）性能参数：应用案例：6 英寸 SiC 外延片缺陷检测堆叠层错（SF）基面位错（BPD）

Duo系列 重载隔振模组产品概述欧库睿因主动隔振台：为各型科学仪器实现主动隔振！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz 时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。 ■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。 VarioBasic 40搭配成像椭偏仪i4 Large搭配3D轮廓仪Duo系列 重载隔振模组 重载型主动隔振模组、单个模组可负载400kg,可多个模块并联使用，适用于大负载设备主动隔振。Duo 73尺寸730x210x1250mm 载重0-400kg (单个模组)

IIM系列像增强模组产品概述典型特点● 触摸屏控制界面● 外同步/常开/内触发三种工作模式● 全新设计高效中继镜头(1:1/2:1)● 25mm 大口径阴极有效探测面● 双层增强，超过2*105亮度增益● P46 超快荧光屏，支持超百万帧速高速相机采集● 多重防过曝光保护设计● 一体化结构设计，灵活适用不同应用场景（A/B/C三款）● 光谱仪拓展转接口定制适用应用场景● 粒子速度场影像（PIV） ● 激光诱导荧光成像（LIF）● 燃烧场诊断成像● 等离子体成像或光谱● 单光子影像● 生物化学发光成像或光谱● 空间天文物理成像● 其他高速影像场景当前在很多的科学研究中，比如燃烧诊断、微光夜视、单分子成像、蛋白质发光、荧光成像、粒子成像中信号都非常的微弱，有些甚至达到了单光子量级，如果使用普通的CCD相机或高速相机很难得到很清楚的图像，如果这时在相机前段加入一个图像增强器，可以将信号放大103-107倍，就可以得到很清楚的结果. 最新推出的IIM系列全新升级版镜头耦合像增强器模块可以简单方便的解决这个问题。IIM系列像增强模组，深度契合客户实际应用，根据应用场景可分为A/B/C 三大结构设计，内部全部采用高度一体化结构设计， 耦合25mm大靶面像增强器，可以提供光电转换，增益控制以及高速快门功能，专门特殊设计用来通过Nikon -F或C接口安装到用户已有的CCD 相机，EMCCD ，sCMOS或高速相机上面，也可以体用光谱仪拓展转接口，完成高速光谱或弱光光谱采集。● IIM-A/B 型采用了触摸屏作为了控制界面，可以控制所有功能。● IIM-A 型为集成一体触摸屏，IIM-B 型为远程控制盒控制，两者触摸屏界面功能相同触摸屏功能包括● 门控Gate及同步输出信号三路输出调节，包括信号宽度以及延迟时间；● 工作模式选择：常开模式/门控外触发模式/内触发模式● 触发沿选择： 上升沿或下降沿● 机械快门模式选择：常闭/常开/触发● 内触发同步频率设置；0-100KHZ● 阳极亮度监控模式开关以及亮度电流水平监控（可选项）● 增强器增益调节设置（0-100%）● 显示屏亮度开关及调节● 信号输出控制开关IIM-A/B 触摸屏设置界面一览全新设计中继镜头中继镜头（Relay lens）作为镜头耦合模组的核心部件，对于整个模组的耦合效率和成像效果有很大的影响。针对此特殊应用，特别优化设计了一种短焦距，大口径，高数值孔径，同时保持低畸变的1:1/2:1成像镜头，在保障全尺寸成像分辨率和低畸变的基础上，有效提高耦合效率。一体化结构设计为保障使用当中的免维护，以及有效保护增强器和光学器件，增强模组采用全新一体化设计结构，安装严丝合缝，整体性强，密封性高，同时增加实用设计：● 增加电动机械快门，免除意外损伤增强器的顾虑；● 增加25mm滤光片插槽，方便针对特定波段的快速增强成像。● 增加成像调节旋钮，方便调节焦面成像。高性能25mm增强器全部采用高性能25mm 增强器设计，兼顾大靶面大视野及高分辨率需求。大口径增强器可适配前端大口径收光F 接口镜头，获得超大视野及高的收光效率，满足大多数高速相机需求。针对较小芯片尺寸相机，也可以选用2:1 缩比配置，保障并提高分辨率及亮度。针对高速成像应用，推荐选配双层MCP，在提供高达105以上的增益同时，P46的300ns超快衰减时间的荧光屏，可满足超过100万帧频的高速摄像需求。灵活适用不同应用场景针对不同的应用场景，IIM系列提供多种不同外形结构的设计：● IIM-A系列: 台式桌面型此系列功能齐全，外观结构厚实稳定，使用简便，适合大多数科研实验室使用，特别是小型或轻量型相机，连接后无需再单独固定。● IIM-B系列：便携远程控制型此系列外形小巧，功能齐全，配备远程控制盒，适合实验过程中需要保持安全距离的测试，如燃烧，爆炸过程等！ 另外，轻便的外形结构设计更适合较大尺寸或较重相机的连接和使用。注： 新版A/B 系列USB2.0 远程桌面控制● IIM-C系列：便携手动型此系列外形小巧，简单易用，适合使用场景单一，无需门控和触发控制的实验。● 客户定制：光谱仪接口类型可根据客户已有光谱仪出口尺寸/焦深等定制入口端光谱仪焦面接口，直接将已有光谱CCD或高速相机通过IIM 增强模组连接到光谱仪后端，升级为高灵敏度光谱探测或高速光谱探测系统。参数列表规格型号IIM-A 系列 IIM-B 系列IIM-C 系列可选型号IIM-A125IIM-A225IIM-B125IIM-B225IIM-C125IIM-C225像增强器参数增强器有效口径25mm MCP输入输出窗口Input: SiO2；Output: GL光电阴极S20 (Solar Blind, Bialkali, LNS20, S20B, S25 可选)MCP 类型单级MCP 125, 双极 MCP 225荧光屏类型高亮P20 & 高速P46（300ns Decay time）空间分辨率lp/mmMCP125：=35，MCP225：=20MCP辐射增益@500nmMCP125： =10,000watts/watt @P20 ， =3,000w/w@P46MCP 225： =1000,000w/w@ P20 , =250,000w/w@ P46门控宽度快速（F）: =3ns , 慢速：=50ns—DCNA光学参数输入接口Nikon F 镜头接口( 其他接口可选)输出转接口Nikon F 镜头接口( 其他接口可选)内部中继镜头50mm 1:1 （2:1可选）控制参数控制方式一体式触摸屏控制盒(带触摸屏)手动控制工作模式常开模式 , 门控模式 ,内触发模式（S,G, I）常开模式门控、延迟控制触摸屏数字设置 3ns---2 S （ 1ns 步距）NA内触发频率0.01HZ-100KHZNA外触发频率0.01HZ-300KHZNA触发沿上升或下降沿可选NA增益控制触摸屏数字设置 0-100%手动旋钮输入输出外触发+1路同步输出SMA接口外触发+1路同步输出 SMA接口 NA软件控制USB2.0 远程桌面控制NA