离子束刻蚀系统

项目编号：0773-2240SHHW0019项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目预算金额：663.0789000 万元（人民币）最高限价（如有）：663.0789000 万元（人民币）采购需求：项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目包件1：反应离子束刻蚀系统；数量及单位：1台；简要技术参数：3、等离子体源3.1、射频发生器：最大功率300瓦，13.56MHz，带自动匹配单元；★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；数量及单位：1台；简要技术参数：★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。其余详见本项目招标文件。合同履行期限：自合同签订之日起250天内；本项目( 不接受 )联合体投标。

20世纪以来，微纳米科技作为一个新兴科技领域发展迅速，当前，纳米科技已经成为21 世纪前沿科学技术的代表领域之一，发展作为国家战略的纳米科技对经济和社会发展有着重要的意义。纳米材料结构单元尺寸与电子相干长度及光波长相近，表面和界面效应，小尺寸效应，量子尺寸效应以及电学，磁学，光学等其他特殊性能、力学和其他领域有很多新奇的性质，对于高性能器件的应用有很大潜力。具有新奇特性纳米结构与器件的开发要求开发出具有更高精度，多维度，稳定性好的微纳加工技术。微纳加工工艺范围非常广泛，其中主要常见有离子注入、光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺技术。近年来，由于现代加工技术的小型化趋势，聚焦离子束（focused ion beam，FIB）技术越来越广泛地应用于不同领域中的微纳结构制造中，成为微纳加工技术中不可替代的重要技术之一。FIB是在常规离子束和聚焦电子束系统研究的基础上发展起来的，从本质上是一样的。与电子束相比FIB是将离子源产生的离子束经过加速聚焦对样品表面进行扫描工作。由于离子与电子相比质量要大的非常多，即时最轻的离子如H+离子也是电子质量的1800多倍，这就使得离子束不仅可以实现像电子束一样的成像曝光，离子的重质量同样能在固体表面溅射原子，可用作直写加工工具；FIB又能和化学气体协同在样品材料表面诱导原子沉积，所以FIB在微纳加工工具中应用很广。本文主要介绍FIB技术的基本原理与发展历史。离子源FIB采用离子源，而不是电子束系统中电子光学系统电子枪所产生的加速电子。FIB系统以离子源为中心，较早的离子源由质谱学与核物理学研究驱动,60年代以后半导体工业的离子注入工艺进一步促进离子源开发，这类离子源按其工作原理可粗略地分为三类:1、电子轰击型离子源，通过热阴极发射的电子，加速后轰击离子源室内的气体分子使气体分子电离，这类离子源多用于质谱分析仪器，束流不高，能量分散小。2、气体放电型离子源，由气体等离子体放电产生离子，如辉光放电、弧光放电、火花放电离子源，这类离子源束流大，多应用于核物理研究中。3、场致电离型离子源是利用针尖针尖电极周围的强电场来电离针尖上吸附的气体原子，这种离子源多应用于场致离子显微镜中。除场致电离型离子源外，其余离子源均在大面积空间内（电离室）生成离子并由小孔引出离子流。故离子流密度低，离子源面积大，不适合聚焦成细束，不适合作为FIB的离子源。20世纪70年代Clampitt等人在研究用于卫星助推器的铯离子源的过程中开发出了液态金属离子源（liquid metal ion source,LMIS）。图1：LMIS基本结构将直径为0.5 mm左右的钨丝经过电解腐蚀成尖端直径只有5-10μm的钨针，然后将熔融状态的液态金属粘附在针尖上，外加加强电场后，液态金属在电场力的作用下形成极小的尖端（约5 nm的泰勒锥），尖端处电场强度可达10^10 V/m。在这样高电场作用下，液尖表面金属离子会以场蒸发方式逸散到表面形成离子束流。而且因为LMIS发射面积很小，离子电流虽然仅有几微安，但所产生电流密度可达到10^6/cm2左右，亮度在20μA/Sr左右，为场致气体电离源20倍。LMIS研究的问世，确实使FIB系统成为可能，并得到了广泛的应用。LMIS中离子发射过程很复杂，动态过程也很复杂，因为LMIS发射面为金属液体，所以发射液尖形状会随着电场和发射电流的不同而改变，金属液体还必须确保不间断地补充物质的存在，所以发射全过程就是电流体力学和场离子发射相互依赖和相互作用的过程。有分析表明LMIS稳定发射必须满足三个条件：（1）发射表面具有一定形状，从而形成一定的表面电场；（2）表面电场足以维持一定的发射电流与一定的液态金属流速；（3）表面流速足以维持与发射电流相应的物质流量损失，从而保持发射表面具有一定形状。从实用角度，LMIS稳定发射的一个最关键条件：制作LMIS时保证液态金属与钨针尖的良好浸润。由于只有将二者充分持续地粘附在一起，才能够确保液态金属很好地流动，这一方面能够确保发射液尖的形成，同时也能够确保液态金属持续地供应。实验发现LMIS还有一些特性：（1） 存在临界发射阈值电压。一般在2 kV以上；电压超过阈值后，发射电流增加很快。（2） 空间发射角较大。离子束的自然发射角一般在30º左右；发射角随着离子流的增加而增加；大发射角将降低束流利用率。（3） 角电流密度分布较均匀。（4） 离子能量分散大（色差）。离子能散通常约为4.5 eV,能散随离子流增大而增大，这是由于离子源发射顶端存在严重空间电荷效应所致。由于离子质量比电子质量大得多，同一加速电压时离子速度比电子速度低得多，离子源发射前沿空间电荷密度很大，极高密度离子互斥，造成能量高度分散。减小色差的一个最有效的办法是减小发射电流，但低于2uA后色差很难再下降，维持在4.5eV附近。继续降低后离子源工作不稳定，呈现脉冲状发射。大能散使离子光学系统的色差增加，加重了束斑弥散。（5） LMIS质谱分析表明，在低束流（≤ 10 μA）时，单电荷离子几乎占100%；随着束流增加，多电荷离子、分子离子、离子团以及带电金属液滴的比重增加，这些对聚焦离子束的应用是不利的。以上特性表明就实际应用而言,LMIS不应工作在大束流条件下，最佳工作束流应小于10μA,此时，离子能量分散与发散角都小，束流利用率高。LMIS最早以液态金属镓为发射材料，因为镓熔融温度仅为29.8 ºC，工作温度低，而且液态镓极难挥发、原子核重、与钨针的附着能力好以及良好的抗氧化力。近些年经过长时间的发展，除Ga以外，Al、As、Au、B、Be、Bi、Cs、Cu、Ge、Fe、In、Li、Pb、P、Pd、Si、Sn、U、Zn都有报道。它们有的可直接制成单质源；有的必须制成共熔合金（eutectic alloy），使某些难熔金属转变为低熔点合金，不同元素的离子可通过EXB分离器排出。合金离子源中的As、B、Be、Si元素可以直接掺杂到半导体材料中。尽管现在离子源的品种变多，但镓所具有的优良性能决定其现在仍是使用最为广泛的离子源之一，在一些高端型号中甚至使用同位素等级的镓。FIB系统结构聚焦离子束系统实质上和电子束曝光系统相同，都是由离子发射源，离子光柱，工作台以及真空和控制系统的结构所构成。就像电子束系统的心脏是电子光学系统一样，将离子聚焦为细束最核心的部分就是离子光学系统。而离子光学与电子光学之间最基本的不同点：离子具有远小于电子的荷质比，因此磁场不能有效的调控离子束的运动，目前聚焦离子束系统只采用静电透镜和静电偏转器。静电透镜结构简单，不发热，但像差大。图2:聚焦离子束系统结构示意图典型的聚焦离子束系统为两级透镜系统。液态金属离子源产生的离子束，在外加电场( Suppressor) 的作用下，形成一个极小的尖端，再加上负电场( Extractor) 牵引尖端的金属，从而导出离子束。第一，经过第一级光阑后离子束经过第一级静电透镜的聚焦和初级八级偏转器对离子束的调节来降低像散。通过一系列可变的孔径（Variable aperture），可以灵活地改变离子束束斑的大小。二是次级八极偏转器使得离子束按照定义加工图形扫描加工而成，利用消隐偏转器以及消隐阻挡膜孔可以达到离子束消隐的目的。最后，通过第二级静电透镜，离子束被聚焦到非常精细的束斑，分辨率可至约5nm。被聚焦的离子束轰击在样品表面，产生的二次电子和离子被对应的探测器收集并成像。离子与固体材料中的原子碰撞分析作为带电粒子，离子和电子一样在固体材料中会发生一系列散射，在散射过程中不断失去所携带的能量最后停留在固体材料中。这其中分为弹性散射和非弹性散射，弹性散射不损失能量，但是改变离子在固体中的飞行方向。由于离子和固体材料内部原子质量相当，离子和固体材料之间发生原子碰撞会产生能量损失，所以非弹性散射会损耗能量。材料中离子的损失主要有两个方面的原因，一是原子核的损失，离子与固体材料中原子的原子核发生碰撞，将一部分能量传递给原子，使得原子或者移位或者与固体材料的表面完全分离，这种现象即为溅射，刻蚀功能在FIB加工过程中也是靠这种原理来完成。另一种损失是电子损失：将能量传递给原子核周围的电子，使这些电子或被激发产生二次电子发射，或剥离固体原子核周围的部分电子，使原子电离成离子，产生二次离子发射。离子散射过程可以用蒙特卡洛方法模拟，具体模拟过程与电子散射过程相似。1.由原子核微分散射截面计算总散射截面，据此确定离子与某一固体材料原子碰撞的概率；2.随机选取散射角与散射平均自由程，计算散射能量的核损失与电子损失；3.跟踪离子散射轨迹直到离子损失其全部携带能量，并停留在固体材料内部某一位置成为离子注入。这一过程均假设衬底材料是原子无序排列的非晶材料且散射具有随机性。但在实践中，衬底材料较多地使用了例如硅单晶这种晶体材料，相比之下晶体是有晶向的，存在着低指数晶向，也就是原子排列疏密有致，离子一个方向“长驱直入”时穿透深度可能增加几倍，即“沟道效应”（channeling effect）。FIB的历史与现状自1910年Thomson发明气体放电型离子源以来，离子束已使用百年之久，但真正意义上FIB的使用是从LMIS发明问世开始的，有关LMIS的文章已做了简单介绍。1975年Levi-Setti和Orloff和Swanson开发了首个基于场发射技术的FIB系统，并使用了气场电离源（GFIS）。1975年：Krohn和Ringo生产了第一款高亮度离子源：液态金属离子源，FIB技术的离子源正式进入到新的时代，LMIS时代。1978年美国加州的Hughes Research Labs的Seliger等人建造了第一套基于LMIS的FIB。1982年 FEI生产第一只聚焦离子束镜筒。1983年FEI制造了第一台静电场聚焦电子镜筒并于当年创立了Micrion专注于掩膜修复用聚焦离子束系统的研发,1984年Micrion和FEI进行了合作,FEI是Micrion的供应部件。1985年 Micrion交付第一台聚焦离子束系统。1988年第一台聚焦离子束与扫描电镜(FIB-SEM)双束系统被成功开发出来，在FIB系统上增加传统的扫描电子显微系统，离子束与电子束成一定夹角安装，使用时试样在共心高度位置既可实现电子束成像，又可进行离子束处理，且可通过试样台倾转将试样表面垂直于电子束或者离子束。到目前为止基本上所有FIB设备均与SEM组合为双束系统，因此我们通常所说的FIB就是指FIB-SEM双束系统。20世纪90年代FIB双束系统走出实验室开始了商业化。图3:典型FIB-SEM 双束设备示意图1999年FEI收购了Micrion公司对产品线与业务进行了整合。2005年ALIS公司成立，次年ZEISS收购了ALIS。2007年蔡司推出第一台商用He+显微镜，氦离子显微镜是以氦离子作为离子源，尽管在高放大倍率和长扫描时间下它仍会溅射少量材料但氦离子源本来对样品的损害要比Ga离子小的多，由于氦离子可以聚焦成较小的探针尺寸氦离子显微镜可以生成比SEM更高分辨率的图像，并具有良好的材料对比度。2011年Orsay Physics发布了能够用于FIB-SEM的Xe等离子源。Xe等离子源是用高频振动电离惰性气体，再经引出极引出离子束而聚焦的。不同于液态Ga离子源,Xe等离子源离子束在光阑作用下达到试样最大束流可达2uA,显著增强FIB微区加工能力，可以达到液态Ga离子FIB加工速度的50倍，因此具有更高的实用性，加工的尺寸往往达到几百微米。如今FIB技术发展已经今非昔比，进步飞快，FIB不断与各种探测器、微纳操纵仪及测试装置集成，并在今天发展成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的功能极其强大的综合型加工与表征设备，广泛的进入半导体行业、微纳尺度科研、生命健康、地球科学等领域。参考文献：[1]崔铮. 微纳米加工技术及其应用(第2版)(精)[M]. 2009.[2]于华杰, 崔益民, 王荣明. 聚焦离子束系统原理、应用及进展[J]. 电子显微学报, 2008(03):76-82.[3]房丰洲, 徐宗伟. 基于聚焦离子束的纳米加工技术及进展[J]. 黑龙江科技学院学报, 2013(3):211-221.[3]付琴琴, 单智伟. FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍[J]. 电子显微学报, 2016, v.35 No.183(01):90-98.[4]Reyntjens S , Puers R . A review of focused ion beam applications in microsystem technology[J]. Journal of Micromechanics & Microengineering, 2001, 11(4):287-300.

提高了加工速度、加工精度、观察精度 精工电子纳米科技有限公司（简称：SIINT，社长：川崎贤司，总公司：千叶县千叶市）是精工电子有限公司（简称：SII，社长：新保雅文，总公司：千叶县千叶市）的全资子公司，其主要业务是测量分析仪器的生产与销售。提高了加工速度、加工精度、观察精度的聚焦离子束的新产品「SMI4050」于8月30日开始销售。 聚焦离子束　SMI4050 聚焦离子束（FIB仪器）是使用数纳米细的离子束对样品表面进行扫描，可实现纳米级别的(1)蚀刻加工、 (2)堆积加工、 (3)显微镜观察的仪器。通过这些功能的组合，可进行半导体设备的布线变更、缺陷评价、断面加工・ 观察以及透射电子显微镜(TEM)用的样品薄片的切除加工、金属材料的结晶粒观察等，对以半导体为开端的电子部件和高功能材料的开发・ 改良具有重大贡献。 SIINT从1986年在日本首次销售通用FIB仪器以来，作为拥有世界领先水平技术的FIB仪器厂商，一直致力于二维电子图像分辨率的提高等以高性能化和自动化为首的高功能化。近年来，伴随关各种材料和半导体设备等对生产量的要求变高，也要求FIB仪器的离子束光学系统的高分辨率化和样品台的高精度化。另外，随着市场的扩大，对电子部件和复合材料等的断面加工时间的缩短化要求也增加了。 SMI4050配合有对应大电流的新型离子束光学系统和具有优良再现性的高精度样品台，可用这一台仪器对各种样品进行大面积加工和分辨率和显微镜观察。并且，对以往的操作性进行改良，断面加工和TEM样品制作更加自动化，可获得不依赖于操作员的熟练度的更准确的数据。 此次，通过发布SMI4050，可对应各领域的广泛研究开发的要求，可使FIB仪器应用得更广。 【SMI4050的主要特征】1. 通过大电流离子束，大幅缩短加工时间以前，数百微米的大尺寸断面制作加工需要很长时间，通过采用新型离子束光学系统，离子束电流约为以往机型的2倍，大幅缩短了加工作业时间。 2. 通过极低加速电压，制作高品质的样品TEM样品制作需要低加速电压下的精加工，SMI4050能达到低至0.5kV(选配设定时)的加速电压，可制作更高品质的TEM样品。同时通过提高低加速电压时的二维电子图像分辨率，实现了正确并且确实的加工。 3.提高二维电子图像分辨率世界领先水平的SMI系列的二维电子图像分辨率，以往的加速电压在30kV时的二维电子图像分辨率还是不变，即使设定0.5kV（选配）的极低加速电压时也可得到清晰的图像。 4.采用高精度样品台通过采用高精度机械5轴自动倾斜修正样品台， 对于样品观察时的位置对准和连续TEM样品自动加工也可实现高精度的坐标位置指定。 5.优越的操作性以「操作简单且高精度」为关键字，实现了TEM样品的自动制作等高精度且无需熟练掌握的自动加工。 【SMI4050的主要规格】FIB二次电子分辨率 ：4nmFIB加速电压 ：1～30kV (选配设定时：0.5～30kV)探针电流范围 ：0.15pA～90nA最大探针电流密度 ：50 A/cm2样品台 ：高精度机械5轴自动倾斜修正样品台样品尺寸 ：50mm×50mm 【价格】 7,000万日元～（不含税） 【销售目标台数】 10台（年度） 本产品的咨询方式中国：精工盈司电子科技(上海)有限公司TEL：021-50273533FAX：021-50273733MAIL：sales@siint.com.cn日本：【媒体宣传】精工电子有限公司综合企划本部 秘书广告部【客户】精工电子纳米科技有限公司BT营业部 BT 营业一科TEL: 03-6280-0074http://www.siint.com/

p style="text-indent:28px"2016span style="font-family:宋体"年全球离子束技术市场规模约为/span369.48span style="font-family:宋体"百万美元，/span2012span style="font-family:宋体"年为/span274.20span style="font-family:宋体"百万美元，年均复合增长率为/span7.74span style="font-family:宋体"％。未来，我们预测这一市场收入将继续增加。到/span2023span style="font-family:宋体"年，全球离子束技术市场收入将达到/span561.18span style="font-family:宋体"百万美元，/span2018span style="font-family:宋体"年的平均增长率为/span6.56span style="font-family:宋体"％。/span/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201806/insimg/89f673cb-2d13-423b-9b50-2d3dcb713db6.jpg" title="1.jpeg" width="450" height="253" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 450px height: 253px "//pp style="text-indent:28px"span style="font-family:宋体"离子束技术主要分为离子束刻蚀系统和离子束淀积系统。离子束蚀刻系统是/span2016span style="font-family:宋体"年收入达到/span241.79span style="font-family:宋体"百万美元的主要技术。/span/pp style="text-indent:28px"span style="font-family:宋体"亚太地区是过去五年中最大的离子束技术销售区域。/span2016span style="font-family:宋体"年亚太市场占全球市场约/span43.60span style="font-family:宋体"％，欧盟占/span30.61span style="font-family:宋体"％。/span/pp style="text-indent:28px"span style="font-family:宋体"在相对较高的竞争水平下运营，公司更加关注产品创新和开发以及技术进步，以巩固其在市场中的地位。/span 2017span style="font-family:宋体"年/span3span style="font-family:宋体"月，/spanZeissspan style="font-family:宋体"推出了新一代聚焦离子束扫描电子显微镜。/span/pp style="text-indent: 28px "span style="font-family:宋体"卡尔蔡司，佳能/spanAnelvaspan style="font-family:宋体"，/spanFEIspan style="font-family:宋体"，日立高新科技，/spanScia Systems GmbHspan style="font-family:宋体"和/spanVeeco Instrumentsspan style="font-family:宋体"是全球离子束技术市场的主要供应商。/span 2016span style="font-family:宋体"年排名前三的比例约为/span47.70span style="font-family:宋体"％。/span/p

核工业北京地质研究院分析测试研究中心是以核能材料、放射性标准物质的制备、地质矿产和环境分析测试技术研究与服务为主的综合性检测实验室技术机构，也是核工业地质行业的仲裁分析测试实验室，是地质行业同位素分析、微束分析等领域的权威机构。核工业北京地质研究院分析测试研究中心采购了两台特殊的质谱仪，今年两台设备同时到货、安装。一台是法国CAMACA公司的IMS 1280-hr高分辨二次离子质谱仪，另一台是TESCAN公司的双束聚焦离子束与飞行时间二次离子质谱联用系统。CAMECA公司工程师正在调试设备TESCAN公司专家正在进行应用培训 之所以采购两台二次离子质谱，是因为高分辨质谱仪以极佳的检出限以及超高的分辨能力和精度著称，但成像及原位分析能力较差；而联用系统是扫描电镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）和飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS），三者的结合，具有sem的二维高分辨成像和成分、结构等分析能力，结合fib的微区分析与加工能力，实现成分和结构的三维分析；FIB与TOF-SIMS的联用，相比于大型质谱仪具有更高的空间分辨率、更快速的成像速度、更优异的成像能力，同时操作也更简单灵活。整套联用系统可同时进行原位超轻元素、同位素分析能力，此外还可以对元素、同位素等进行二维、三维成像分析。TESCAN公司在电子显微镜和聚焦离子束领域有多项创新，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。TESCAN研发部的专家libor sedlá?ek博士 这是国内首套双束聚焦离子束与飞行时间二次离子质谱联用系统，TESCAN十分重视和核工业北京地质研究院的合作，研发部的专家libor sedlá?ek博士，专程到北京进行培训，并和中心主任郭冬发研究员、书记范光研究员等专家进行了交流。我们将继续跟踪双束聚焦离子束与飞行时间二次离子质谱联用系统的最新应用进展，分多个篇幅进行介绍，我们也欢迎感兴趣的用户前来参观和交流。

项目概况聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统采购项目的潜在投标人应在常州润邦招标代理有限公司前台获取招标文件，并于2022年2月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况1.项目编号：常润公2022-0001号2.项目名称：聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统采购3.预算金额：人民币690万元4.最高限价：人民币690万元5.采购需求：本项目采购内容为聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统采购，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。具体参数详见采购需求。序号设备名称数量单位1聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统1套7.合同履行期限：合同签订，免表办理好后6个月内完成供货、安装调试、经采购人验收合格并投入使用。8.本项目不接受联合体。9.本项目接受进口产品。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定:(1)具有独立承担民事责任的能力；(2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；(3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；(4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；(5)参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；(6)无其他法律、行政法规规定的禁止参与招投标或采购活动的行为，含下列情形：a.未被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和 “中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单；b.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人,不得参加同一合同项下的政府采购活动。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。3.本项目的特定资格要求：本项目接受进口产品投标，投标人所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料：（1）投标人为所投设备的授权经销（代理）商，必须提供生产（制造）商或上级经销（代理）商授权供应商的授权书,并提供逐级经销（代理）商的营业执照复印件。（2）投标人为本项目的授权投标人，必须提供生产（制造）商或授权经销（代理）商对本次招标的项目或所投产品的授权书,并提供逐级经销（代理）商的营业执照复印件。三、获取招标文件时间：2022年1月28日至2022年2月9日17：00时（北京时间，法定节假日除外）地点：常州市飞龙东路108号-304室（翠园世家商业街三楼）方式：（投标人可采取以下任一种方式获取招标文件）（1）线上申领：投标人在规定的时间内将相关材料扫描PDF文档发至本公司邮箱“2406652663@qq.com”并按邮箱回复要求交纳费用后，招标文件以邮件形式发送至投标人邮箱。报名咨询电话：0519-81882063。（2）现场申领：至常州润邦招标代理有限公司前台领取。（3）投标人获取招标文件时应提供如下材料：①招标文件获取申请表（格式见公告附件1）②投标人为企业的，提供企业营业执照（三证合一复印件加盖公章）；投标人为事业单位的，提供事业单位法人证书（三证合一复印件加盖公章）；投标人为自然人的，提供自然人身份证明文件（复印件及签名）。售价：人民币伍佰元/份。招标文件售后一概不退，未获取招标文件的投标人不得参与本项目投标。四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点截止时间：2022年2月18日14点00分（北京时间）地 点：常州润邦招标代理有限公司开标室（一）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目不组织现场踏勘。2.对招标文件需要进行澄清或有异议的投标人，均应在2022年2月10日12:00前按招标公告中的通讯地址，以书面形式（加盖公章）提交采购代理机构，否则视为无效澄清或异议。3.有关本次采购的事项若存在变动或修改，采购代理机构将通过补充或更正形式在相关网站上发布，因未能及时了解相关最新信息所引起的失误责任由投标人自负。4.费用缴纳账户信息如下（汇款请备注项目名称或编号）户名：常州润邦招标代理有限公司开户银行：江南农村商业银行龙虎塘支行账号：01080012010000003610财务电话（付款、开票咨询）：0519-81882063七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名称：常州大学地址：江苏省常州市武进区滆湖中路21号　联系方式：丁老师155012902882.采购代理机构信息名称：常州润邦招标代理有限公司地址：常州市飞龙东路108号-304室（翠园世家商业街三楼）联系方式：0519-818829933.项目联系方式项目联系人：周叶电话：0519-81882993网址：cg.czrbzb.com

p　　2020年12月14日，上海——近日，普发真空获得来自德国达姆施塔特工业大学的一份重要订单，将向该校交付一套 DREEBIT 离子束系统，以供其核物理研究所使用。达姆施塔特 LaserSpHERe（Laser Spektroskopie an hochgeladenen Ionen und exotischen radioaktiven Nukliden，高电荷离子和外来放射性核素激光光谱测量）工作组的研究人员将在该研究所开展各种前沿原子物理、核物理和粒子物理精密实验，其中，高电荷离子和外来短寿命同位素的激光光谱测量是研究重点。此次研究计划获得德国科学基金会（DFG）SFB 1245 特殊科研部门支持。/pp　　2014 年底，达姆施塔特工业大学核物理研究所开始建造大型科研设备“激光光谱测量和应用物理学共线设备”(Kollineare Apparatur fü r Laserspektroskopie und angewandte Physik, KOALA)，而此次订购的离子束系统正是要应用于这台设备。该系统所使用的 EBIS-A 离子源可生成各种轻化学元素带电离子以用于实验，而这些离子将连接到 KOALA 设备的束流引导装置内。为了使粒子能够在束流引导管中尽可能自由地移动，纯净的超高真空环境必不可少，而保持这种低压环境则必须依靠极其强大而可靠的真空生成技术。由普发真空集团提供所有相关真空组件的新离子源系统更是如此，它能让离子在其中停留的时间更长。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/0458e1af-b90a-4915-80e8-60a4abe3d022.jpg" title="图片2.png" alt="图片2.png"//pp style="text-align: center "图：DREEBIT离子束系统，可产生实验用带电粒子/pp　　如同烟花能够呈现各种颜色，每一种元素都会发射和吸收某些特定波长的光，对应范围极为精确，而人眼会将这些波长感知为不同的颜色。颜色取决于化学元素种类以及原子的电荷状态，高精度波长测量不仅可提供有关化学元素种类及其电荷状态的信息，若以高精度理论计算进行比对，甚至还可以确定原子核的大小。/pp　　达姆施塔特工业大学工作组负责人 Wilfried Nö rtershä user 博士、教授解释了KOALA光束线的技术优势：“到目前为止，原子半径的光谱测量只能在仅有一个电子的类氢系统上进行，因为只有这样，理论计算才足够准确。但是，如果考虑实验需求，这类简单的原子系统就有一大缺点，也就是所使用的波长处于光谱的远紫外区范围内，因此很难用现有的激光系统捕捉到。然而，目前的技术已经有望达到足够的精度，以适应于具有两个电子、更为复杂的类氦系统。它们的波长用激光系统捕捉容易得多，由此，未来将能够明显地、更加精确地确定从氦到氮的原子核半径。一旦安装上采用EBIS-A离子源的 DREEBIT 离子束系统，这套 KOALA 设备即可为此提供理想的前提条件。”/ppimg style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/cc336f77-fd6f-40e2-8bd7-3bb7fb853786.jpg" title="图片 3.png" alt="图片 3.png"//pp style="text-align: center "图：KOALA（Kollineare Apparatur fü r Laserspektroskopie und angewandte Physik，激光光谱测量和应用物理学共线设备）光束线示意图/pp　　DREEBIT GmbH 公司自2006年成立以来，其“离子束技术”部门已开发出多种类型的离子源并推向市场，例如EBIS和ECRIS。它们主要安装在各种粒子加速器上，以满足科研和医疗应用之需，例如离子束疗法。DREEBIT GmbH 公司自2017年起隶属普发真空集团旗下，专注于开发特殊系统和维修真空产品。截至目前，该公司在德国德累斯顿（Dresden）和格罗斯勒赫尔斯多夫（Groß rö hrsdorf）设有基地，共有约70名员工。/p

一、项目编号：常润公2022-0001号　　二、项目名称：聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用　　系统采购　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：建发(上海)有限公司　　供应商地址：中国(上海)自由贸易试验区张杨路620号1201室　　中标(成交)金额：人民币陆佰捌拾玖万叁仟伍佰元整(￥6893500.00)　　四、主要标的信息货物类名称：聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统品牌（如有）：见附件项目清单规格型号：见附件项目清单数量：见附件项目清单单价：见附件项目清单

由于仪器本身的限制，显微镜偶尔也会&ldquo 骗人&rdquo 。比如，电镜就无法很好的观察不能导电的材料，并且它的高能量还会损伤一些样品。为了努力从纳米材料和纳米结构的世界中获取更多的真相，美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology，NIST)的研究人员建立了一套采用锂离子源的低能聚焦离子束显微镜。　　尽管新型显微镜的分辨率不如扫描电镜或氦离子显微镜(HIM)，但它可以更清楚的观察非导电材料，并能更清楚的观察样品表面的化学成分。通过观察散射离子的能量，研究人不仅能够分辨出相邻材料的化学成分是不同的，并且能够确认不同材料的元素种类。　　早在2011年，Jabez McClelland和他的同事采用激光冷却技术研制出了第一台低能聚焦离子束显微镜。之后，他们一直努力改进技术以调高离子束的亮度和准直度，确保所有离子都能朝相同的方向运动以便的得到更好的成像结果。　　新仪器通过激光束和磁光阱捕获原子，将中性锂原子气体冷却至600微开尔文。然后采用激光将原子离子化，并进入电场加速，调整飞行方向，针对目标物将离子聚焦成离子束。　　NIST FIB可以生成能量为500eV至5000eV的锂离子束(氦离子束的能量约为3000eV)。研究人员称可以将离子束的能量降至更低。但是当加速电场强度比较低时，离子源的交互影响限制了聚焦离子束的大小。　　在他们的论文中，研究人员展示了这台显微镜如何解决纳米压印光刻技术中的一些常见问题。McClelland说：&ldquo 以前生产商进行硅刻蚀，必须确保空间没有化学残留。通常他们利用等离子体刻蚀的方法清除残留物。但是他们得很仔细，以防过度清除损坏基底或芯片。我们的聚焦离子束显微镜可以很好的观察等离子体的工作情况，确保不损坏芯片。扫描电镜无法做到这些，因为它很难观察到很少的残留物，而且高能电子束很可能造成充电或将模板熔化等，将情况弄得更糟糕。&rdquo 　　该研究团队未来的一个计划是通过将锂离子注入材料当中，看他们是如何影响电池性能，从而解开锂电池的工作原理。研究团队中的一些成员还成立了自己的公司，研发低能铯聚焦离子束，以实现单一纳米量级的铣削和雕刻功能，如果成功将是纳米材料制备的巨大飞跃。编译：秦丽娟

牛津仪器等离子技术最近更新的App包括一个明确和互动的元素周期表、详细的等离子体、离子束和原子层沉积工艺信息。它允许iPhone和iPad用户查阅工艺化学的相关信息，可以通过简单的周期表界面实现任何材料的刻蚀和沉积。　　这个周期表App可以免费下载,将吸引大量的工业和学术界的用户。同时，它也是一个优秀的教学设备,可以展示单个元素属性和电子构型。

4月29日，南京大学公开招标购买1套聚焦离子束扫描电镜双束系统，预算400万元。　　项目编号：0667-211JIBEP6018　　项目名称：聚焦离子束扫描电镜双束系统　　预算金额：400.0000000 万元(人民币)　　采购需求：　　聚焦离子束扫描电镜双束系统 1套　　简要技术要求：扫描电子显微镜5-15kv分辨率1.8nm　　合同履行期限：交货期：合同签订后三个月内　　本项目( 不接受 )联合体投标。　　开标时间：2021年05月21日 14点30分(北京时间)

pstrong仪器信息网讯 /strong人类对于微观世界的认知有着漫长的历史。自300年前第一台显微镜问世以来，人们便开启了探索微观世界的大门。随着科学技术的发展，光学显微镜、透射电子显微镜和扫描电镜逐渐作为工具被人们熟知，并且，应科学发展的需求，各项技术均在不断的创新与发展。如今，作为材料分析的重要工具，电镜技术已广泛应用于材料、化工、医学、生物等多个领域。br//pp　　整体而言，电镜技术发展到今天，在技术上获得极大的发展，主要表现在几个方面，来自武汉大学电子显微镜中心主任王建波对此进行了简单介绍：第一，核心技术空间分辨率越来越高，借助辅助的技术手段，已经可以提供多尺度和多维度的信息 第二，计算机技术介入电镜领域，带来速度上的飞跃。正是结合了计算机技术，漂移校正变得简单，数据处理、记录、转移等方面速度变快，大大提高了分析的速率 第三，多种新型探测技术如CMOS等技术的出现，使电镜技术的动态响应范围、分析速度等获得革命性提高 第四，电场、光场、力场等外场技术的联用，可联合表征某些曾经无法定量的样品 第五，计算机模拟技术使得定量结果由模糊变得精确 第六，与其他技术联用，使电镜技术逐步变成一个综合性设备 第七，透射电镜样品的制备工具得以发展。透射电镜、X衍射仪等是强有力的表征工具，需要强大的样品制备工具与其相匹配。/pp　　随着电镜技术对样品制备能力要求的提升，在现在的电镜行业，谈及微纳加工仪器，聚焦离子束(FIB)技术不可不谈。该技术通过能离子轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入和改性。目前先进的FIB系统为双束，即离子束和电子束(FIB-SEM)系统，也就是在SEM微观成像实时观察下，用离子束进行微纳加工，具有离子注入、离子溅射、TEM试样制备等多种功能。早在多年前，该技术在市场上已经商品化。/pp　　电镜技术研究正处于一个健康发展时期。就扫描电镜而言，业界人士认为，未来其研究方向主要有三点。首先，原位研究，包括气体、液体、加热和力学等研究方法 其次，电子束旋进和三维重构及全息技术的方法学研究 最后，商业化的多种表征手段集成到一台仪器上，这也是目前电镜行业仪器厂商热衷的方式之一。/pp　　作为聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)主流供应商之一， TESCAN 和WITec公司在2014年联合推出了显微镜新品RISE Microscopy，即扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用系统，用以对样品进行综合表征：电子显微镜是一个很好的表征样品表面形貌、成分、结构的可视化技术平台，而共焦拉曼成像是表征样品化学和分子组成的成熟光谱方法。目前该技术已经在上海交通大学分析测试中心— TESCAN China联合实验室使用。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/66abe88c-76a1-41b2-a6ec-e1a9d798a6bb.jpg" title="联合实验室.jpg"//pp　　2017年5月18日，上海交通大学分析测试中心-TESCAN China联合实验室揭牌仪式，上海交通大学分析测试中心主任张兆国(左五)、TESCAN董事会主席兼CEO Jaroslav Klima(右五)共同为联合实验室揭牌，并签署合作协议。/pp　　据TESCAN(中国)市场部经理顾群介绍，目前，上海交大分析测试中心已经配置多台TESCAN公司电镜及FIB系统，包括一台超高分辨扫描电镜-聚焦离子束-飞行时间二次离子质谱联用系统(UHR FE-SEM-FIB-TOF-SIMS)。“这是一个综合平台。电镜主要用来观察待测物质的表面形貌，附加能谱仪分析待测物质除轻元素和痕量元素之外的成分，若配以TOF-SIMS设备，则轻元素及痕量分析的功能就得以完善。”顾群表示，“FIB技术可对指定待测样品位置进行精细切割剥离，被剥离的样品将进入TOF-SIMS进行元素分析，而切割出的新界面将通过EDS和EBSD进行三维成分、结构和取向分析。”/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/ac6246ad-4c57-4be1-9025-9b793a70d717.jpg" title="电镜.jpg"//pp style="text-align: center "上海交大分析测试中心的UHR FE-SEM-FIB-TOF-SIMS/pp　　“我对FIB技术非常感兴趣，借助FIB技术，电镜观察微观结构可由二维向三维方向发展，并且可以为透射电镜制作超薄样品，尤其是复合材料样品。FIB技术应该说是今后发展的一个主流方向。” 上海交大分析测试中心副研究员何琳如是说。/pp　　“除与TOF联用之外，FIB与拉曼光谱的联用系统也放在了联合实验室。如果将FIB与可配附件全部联用，则可实现对每个微区同时采集成分、结构等精细信息。材料表征结果比较全面。”顾群讲到。但与此同时，顾群还表示，因仪器设备原理差异，目前的技术条件下，某些产品还无法整合。到目前为止，TESCAN的FIB技术可配置的技术还包括阴极荧光等设备。/pp　　据外媒发布的研究报告显示，近些年，行业的快速增长提升了显微镜在印刷、涂料、失效分析和元素检测方面的应用需求，纳米技术领域对先进技术、高分辨率显微镜的需求也不断增长，汽车行业对所用材料深入分析给电镜技术和应用带来机遇，而新兴的生命科学领域对电镜技术的需求也越来越多。综上，电镜技术正面临着多个新兴行业对技术和应用方案开发的机遇和挑战。/pp　　为应对新兴行业用户对解决方案的需求，更好的为用户提供技术支持，2017年5月18日，TESCAN(中国)上海应用中心举行了开幕仪式，正式投入使用。多位来自高校、科研院所、企事业单位的用户参加了本次开幕仪式。据了解，TESCAN(中国)每年定期派遣中国地区售后服务人员前往捷克总部参加技术培训，并且捷克总部也在中国派遣了一名技术工程师，负责为中国客户解决技术和应用问题。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c93a45b5-c78d-43d2-a527-219fe9033526.jpg" title="揭牌.jpg"//pp style="text-align: center "TESCAN(中国)上海应用中心揭幕/pp style="text-align: center "(左起：TESCAN董事，首席战略官 Kopriva Radomir、TESCAN董事会主席兼CEO Jaroslav Klima、捷克领事馆总领事馆馆长Richard Krpac、TESCAN(中国)总经理冯骏)/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c7bb2821-7128-4912-8e8a-520342b3cc16.jpg" title="合影.jpg"//pp style="text-align: center "与会人员合影/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/1dfadb27-527a-4d84-a2a2-a93d7aa4f2fc.jpg" title="应用实验室.jpg"//pp style="text-align: center "参观应用中心/pp　　开幕式上，胜科纳米(苏州)有限公司的郑海鹏告诉仪器信息网工作人员：“场发射扫描电镜由于其成像清晰，同时可以对微区进行定点的成分分析和形貌表征，配以某些特殊配件，可以帮助我们更好的开展失效分析和材料分析工作。TESCAN的扫描电镜人机交互体验较好。”/ppbr//p

2024年6月25-28日，仪器信息网(www.instrument.com.cn) 与中国电子显微镜学会（对外）（www.china-em.cn）将联合主办“第十届电子显微学网络会议(iCEM 2024)”。会议结合目前电子显微学主要仪器技术及应用热点，邀请业界知名电子显微学专家、电子显微学仪器技术专家、电子显微学应用专家等，重点邀请近来有重要工作成果进展的优秀青年学者代表线上分享精彩报告。iCEM 2024恰逢电子显微学网络会议创立十周年，会议专场将增设“十周年”主题内容，围绕过去十年我国电子显微学重要进展、未来展望等进行分享。第十届电子显微学网络会议(iCEM 2024)将设置八个分会场：1) 原位/环境电子显微学与应用；2）先进电子显微学与应用；3）扫描电镜/聚焦离子束显微镜技术与应用；4）电子能量损失谱/电镜光谱分析技术；5）低温电子显微学与应用；6）生物医学电镜技术与应用；7）电镜实验操作技术及经验分享；8）电镜开放共享平台及自主保障体系建设。诚邀业界人士线上报名参会。主办单位：仪器信息网，中国电子显微镜学会（对外）参会方式：本次会议免费参会，参会报名请点击会议官网：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2024/或扫描二维码报名“扫描电镜/聚焦离子束显微镜技术与应用”专场预告（注：最终日程以会议官网为准）专场三：扫描电镜/聚焦离子束显微镜技术与应用（6月26日上午）专场主持暨召集人：王晋 浙江大学材料学院高温合金研究所 副研究员 报告时间报告题目演讲嘉宾8:30-9:00【十周年主题报告】：纳米分辨可视化方法在变形高温合金热制造中的应用研究王晋（浙江大学材料学院高温合金研究所 副研究员）9:00-9:30赛默飞双束电镜在生命科学研究的应用介绍及选型推荐程路（赛默飞世尔科技 电镜业务拓展经理）9:30-10:00钛合金双相组织变形机制的原位SEM/EBSD研究王柯（重庆大学 教授）10:00-10:30TESCAN 电镜在材料领域的最新应用李景（泰思肯（中国）有限公司 资深应用工程师）10:30-11:00新品发布：飞纳台式扫描电镜的技术突破及全新智能型离子研磨制样平台介绍张传杰（复纳科学仪器（上海）有限公司 产品、应用专家）11:00-11:30ECCI结合HR-EBSD研究增材制造金属结构材料变形机理及稳定性研究安大勇（上海交通大学 助理教授）11:30-12:00锂电池材料表界面改性与工况条件下失效机制的原位扫描电镜研究程晓鹏（北京工业大学 助理研究员）嘉宾简介及报告摘要（按分享顺序）专场主持暨召集人：王晋 浙江大学材料学院高温合金研究所 副研究员【个人简介】主要从事电子显微镜原位测试表征仪器的开发、高温合金材料微观结构与力学性能、变形断裂机理等研究,并致力于国内自主科学仪器的转化与应用。先后参与国家自然科学基金委科学仪器设备专项，科技部国家重大科学仪器设备开发专项，国家863计划重大项目，国家自然科学基金基础科学中心项目等。在国内外SCI期刊发表论文22余篇，授权国家专利20余项，完成发明专利职务科技成果转化3项。报告题目：纳米分辨可视化方法在变形高温合金热制造中的应用研究【摘要】热锻造、热处理是金属材料加工制造领域的传统基础工艺，但是由于金属材料加工工艺烦琐，精确过程控制难度大等问题，目前我国高端金属热加工工艺优化和过程精确控制的智能化基础理论与关键工艺技术研究开发显著落后。我国制造业面临严峻挑战，只有深入发展智能化设计和加工制造基础理论与关键工艺技术，并借力于自主开发新的热加工工艺设计与表征方法，才能更为高效、经济、全面的一体化研究该合金热锻造工艺-微观组织-锻造工艺性能之间关系，缩短合金性能优化研制时间，降低研发成本，提高生产合格率，解决热加工制造领域的共性难题。程路 赛默飞世尔科技 电镜业务拓展经理【个人简介】硕士毕业于北京科技大学之后进入电镜行业，曾多次前往日本、奥地利和德国学习电镜操作和电镜制样技术，从事电镜和电镜制样应用工程师工作超过15年时间，积累了丰富的电镜应用技术经验。2022年入职赛默飞生物电镜部门，现负责赛默飞双束电镜、常温透射电镜和扫描电镜在生物应用领域的售前技术支持和业务拓展。报告题目：赛默飞双束电镜在生命科学研究的应用介绍及选型推荐【摘要】双束电镜结合了聚焦离子束（FIB/PFIB）的精确样品修饰和扫描电镜（SEM）的高分辨率成像功能，广泛应用于获取生物样品的超微结构，包括拍摄常温2D图像、获取高分辨率体电子显微3D图像，和为CryoET制备Lamella等，其分析尺度范围可以从亚纳米级到毫米级。报告将从介绍多种类型的生物样品应用案例出发，结合丰富类型的赛默飞双束电镜，推荐对应的最适合型号。王柯 重庆大学 教授【个人简介】王柯，博士，重庆大学教授，博士生导师，长期从事钛合金热加工工艺与组织性能调控研究，重点关注钛合金高温变形和热处理一体化工艺设计、组织遗传性机制、组织性能关系、强韧性协同优化调控技术等。主讲课程包括：《材料力学性能》、《材料热力学与动力学》、《轻质耐高温航空结构材料：钛合金》等。主持国家自然科学基金面上/青年项目，重点研发计划项目子课题、企业横向等项目10余项，以第一/通讯作者发表学术论文 50 余篇，授权发明专利 6 项。参编《锻压手册》第四版高温合金部分。2022年获评重庆市创新创业导师。获陕西省自然科学一等奖1项。报告题目：钛合金双相组织变形机制的原位SEM/EBSD研究【摘要】对于大多数近α和α+β钛合金，滑移是主要的变形机制。本报告主要汇报内容包括：（1）α相和β相之间滑移启动的先后顺序；（2）微观组织对滑移启动和传递、以及裂纹形核的影响；（3）基于微观变形机制分析了组织对力学性能的影响机制；（4）基于组织性能关系研究，研制出一种多尺度组织，实现了钛合金强塑性协同提升。李景 泰思肯（中国）有限公司 应用工程师【个人简介】李景是TESCAN中国公司的高级应用工程师、首席应用专家，2015年毕业于北京科技大学材料科学与工程专业。她长期专注于扫描电镜在材料领域的研究，并且具有丰富的扫描电镜、FIB-SEM双束电镜及相关联用仪器（TOF-SIMS、Raman、EBL等）的操作与应用经验。李景在TESCAN公司中，不仅专注于技术研究，多年来持续参与各种学术交流和培训活动，包括但不限于客户研究项目技术支持、电镜会议分享、高级应用培训讲座等，获得客户的一致好评与感谢。报告题目：TESCAN 电镜在材料领域的最新应用【摘要】随着科研的深入及学科的交叉，常规扫描电镜系统无法满足科研工作者日益增高的分析需求。借助其它分析系统所得的数据，和电镜系统的数据往往非同时同位。TESCAN提出了All-In-One的综合解决方案，在常规的FIB-SEM系统上，增加Raman Spectrum Image以及TOF-SIMS和AFM等多种表征系统，可以极大的提升扫描电镜系统的原位综合分析能力，做到所见即所得。张传杰 复纳科学仪器（上海）有限公司 产品、应用专家【个人简介】飞纳电镜应用专家，长期从事扫描电镜应用拓展，自动化开发等相关工作，相关发明专利授权4篇，参与《2021年度国家药品标准制修订研究课题 2021Y05》，参会与起草《2025 中国药典 -- 扫描电子显微镜法通则》。报告题目：新品发布：飞纳台式扫描电镜的技术突破及全新智能型离子研磨制样平台介绍【摘要】飞纳电镜焕新赋能中国科研。全新发布台式场发射扫描透射一体机—Pharos STEM，扫透模式下分辨率突破 1 nm。 发布 Maps 3 全新软件平台，支持自动化多尺度成像及拼接，关联能谱分析及拼接以及尺度和多模态关联表征功能。发布 Phase Mapping 相分布软件。并将发布TechnoorgLinda 全新智能型离子研磨制样设备！敬请期待！安大勇 上海交通大学 助理教授【个人简介】安大勇，2019年毕业于德国亚琛工业大学/德国马普钢铁所，研究方向聚焦于金属结构材料微观变形机理研究。主持NSFC青年基金、重庆市自然基金等项目10余项，作为骨干参加173项目、国家重点研发计划项目、NSFC航空发动机重点项目、GF基础科研计划项目等7项，获第九届中国科协青年人才托举计划；揭示了增材制造奥氏体不锈钢胞状结构中周期性位错偶极子是其强韧性的关键因素，发现了位错类型决定胞状结构的热稳定性。提出了热力耦合渐进成形工艺，成功制备出晶粒-位错反向梯度高性能复杂薄壁构件，研究成果以第一和通讯作者在Int J Plast、 J Mater Sci Tech、 Mater Res Lett、Mater Charact、J Mater Proc Tech等期刊发表论文10篇，应邀撰写MRS Bulletin综述1篇，发明专利受理10项；报告题目：ECCI结合HR-EBSD研究增材制造金属结构材料变形机理及稳定性研究【摘要】金属增材制造奥氏体不锈钢中常具有亚微米级的胞状结构，该结构中包含高密度位错胞、纳米析出相和元素偏析等，显著影响着材料的机械性能。研究发现，不同胞状结构中的位错的热稳定性不同。本论文利用先进表征技术，对激光粉床熔融技术打印的奥氏体不锈钢胞状结构热稳定性进行了系统性研究，并揭示影响热稳定性的内在机理。程晓鹏 北京工业大学 助理研究员【个人简介】程晓鹏，北京工业大学助理研究员，硕士生导师。2021年博士毕业于北京工业大学材料与制造学部并留校从事教学科研工作，获北京市优秀毕业生。主要从事原位电子显微学表征方法及技术开发、原子层沉积技术与应用、能源材料与先进金属材料微观结构与性能等研究。主持国家自然科学基金青年项目、北京市教委科技项目、中国博士后基金等多个项目，授权国家专利5项，目前在Nature Energy，ACS Energy Letters，Nano Letters，Corrosion Science等发表学术论文30余篇，他引2000多次，担任Journal of Energy Chemistry等多个期刊审稿人。报告题目：锂电池材料表界面改性与工况条件下失效机制的原位扫描电镜研究【摘要】原位扫描电子显微镜（in-situ SEM）拥有较大的内部腔室，可容纳更接近实际的原位电池系统，同时具有足够高的分辨率，能够在实际工作状态下表征电池材料的结构演化机制，进而提出性能优化策略。本报告将介绍利用原位扫描电镜揭示锂电池材料在工况循环过程中的微结构演变机制，以及原子层沉积技术在电池材料表界面改性中的应用研究进展。会议联系1. 会议内容仪器信息网杨编辑：15311451191，yanglz@instrument.com.cn中国电子显微镜学会（对外）汪老师：13637966635，cems_djw @163.com2. 会议赞助刘经理，15718850776，liuyw@instrument.com.cn

仪器信息网讯 2012年8月29日，在北京国际材料工艺设备、科学仪器展(CIAMITE 2012)召开之际，卡尔蔡司举行了AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜系统新品全球首发仪式。来自科研院所高校150多位专家学者参加了此次新品发布会。　　卡尔蔡司AURIGA COMPACT发布会现场卡尔蔡司负责人与嘉宾共同启动新品发布仪式　　聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)系统是利用电镜将液态金属离子源产生的离子聚焦成尺寸非常小的离子束，在电场的作用下离子束与样品产生物理碰撞，来达到切割(蚀刻)样品的目的。聚焦离子束电镜是指在离子束切割的同时利用电子束观察影像，同时也可配备能谱进行样品表面的元素分析。离子束显微镜也可以为透射电镜制作厚度达十几纳米的样品薄片。　　卡尔• 蔡司新推出的AURIGA系列聚焦离子束显微镜是由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，具备高分辨率成像功能。AURIGA系列包含AURIGA Compact、AURIGA、AURIGA 60、AURIGA Laser四款产品。此次发布的AURIGA Compact FIB-SEM系统可以对材料实现高分辨三维纳米尺度成像和精确的材料加工及纳米组装。　　AURIGA Compact GEMINI透镜设计可以在FIB切割的同时同步高分辨成像，样品的倾斜不会影响电子光学性能。AURIGA Compact具有的稳定性和效率，足以支持自动采集成百上千的EBSD剖面图谱。CrossBeam工作站的ASP系统支持自动制备TEM样品和进行断面切割。卡尔蔡司独有的X2技术，可以制备面积较大薄片样品，厚度小于10nm。　　卡尔蔡司中国区总裁兼CEO Maximilian Foerst先生　　卡尔蔡司中国区总裁兼CEO Maximilian Foerst先生在致辞中表示，这次活动对于卡尔蔡司非常重要，这是卡尔蔡司首次在中国举行新产品全球首发仪式，同时也证明了中国的客户和市场对于卡尔蔡司非常重要。去年，卡尔蔡司集团的收入超过了42亿欧元，其中卡尔蔡司中国公司的收入超过15亿人民币，并且建立了拥有超过30位研发人员的研发中心。随后Maximilian Foerst介绍了卡尔蔡司集团以及卡尔蔡司中国公司的总体发展情况。　　北京科技大学新金属材料国家重点实验室主任吕昭平教授　　卡尔蔡司全球首台AURIGA Compact FIB-SEM系统落户北京科技大学新金属材料国家重点实验室，实验室主任吕昭平教授在致辞中表示，研究材料有四个重要因素：材料制备、组织结构、性能和服役，材料学研究的主要内容是将这些方面联系起来 而组织结构是研究的核心。材料科学的发展与分析手段息息相关，得益于像卡尔蔡司这样的公司在显微分析手段和关键技术上的突破。　　在新品发布会期间，卡尔蔡司显微镜中国区副总裁张育薪先生接受了仪器信息网简短采访。　　卡尔蔡司显微镜中国区副总裁张育薪先生　　仪器信息网：请您谈谈，电子显微最近有哪些技术发展趋势?　　张育薪：近期电子显微技术发展趋势都是围绕“追求自动化、更高分辨率、操作简单以及软件界面更清楚，为客户节省更多的时间”。此次发布的针对常规用户的AURIGA Compact，在这方面都有很好的体现，同时为客户带来3D测试效果。这些方面，基本上已经体现了目前电镜追求的发展方向。　　仪器信息网：请您谈谈国内电镜市场情况，近几年哪些领域对于电镜需求比较大?　　张育薪：近期，中国政府推出了十二五战略发展规划，涉及到新能源、新材料、制药等，很多方面都会用到电镜，所以国内的市场不是简单的销售市场，而是全方位的大市场。整个纳米技术的发展对电镜市场有很大推动作用。就市场规模而言，每年都有变化，我个人估计2011年国内电镜市场规模在20亿人民币左右，其中约60%左右是扫描电镜。　　仪器信息网：相对于其他的电镜厂商，卡尔蔡司的技术优势体现在哪些方面?　　张育薪：卡尔蔡司是全球唯一一家同时拥有光镜和电镜及相关显微镜技术的公司，我们能够给客户提供一个完整的解决方案，一次性达到客户的要求。很多需要电镜的用户大多数需要光镜来进行筛选，光镜用户也有不断提高分辨率的要求，这两类产品互为补充。　　Instrument：电镜产品的价格一直居高不下，随着配件不同，价格变化非常大，您是如何看待这方面的问题?　　张育薪：大部分电镜产品是与科研有密切的关系，这样的高端设备都是一台一台的生产，很难像民品那样集成化、规模化生产，这是其价格高的主要原因。另外，越是高端的产品，对于售后支持依赖性越强，客户在购买产品的时候，都应该把这些考虑进去，没有完善的售后，再好的产品也很难发挥应有的作用，我们对于价格的理解是客户得到的应该是包括各种服务在内的“完整产品”，而不只报价上的数字。　　AURIGA COMPACT聚焦离子束系统

仪器信息网讯 2022年5月16日，钢研纳克检测技术股份有限公司（以下简称“钢研纳克”）召开第二届董事会第十一次会议、第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于对外投资暨关联交易的议案》。《议案》表示，钢研纳克与钢研投资有限公司、北京荷花信息咨询中心(有限合伙)、北京屹唐中艺资本投资管理有限公司共同出资，设立纳克微束（北京）有限公司（以下简称“纳克微束”）（暂定名，最终以工商注册登记为准）。纳克微束注册资本为5000万元，钢研纳克出资额为1750万元，出资比例35%，钢研投资出资1500万元，出资比例30%，荷花信息出资1250万，出资比例25%，屹唐中艺出资500万，出资比例10%。纳克微束拟开展电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）、聚焦离子束、电子束曝光机、半导体电子束检测等技术产品研发、设备生产及销售任务。据查，钢研纳克在2021年年底注册申请了“纳克微束” 商标名称。对外投资暨关联交易标的基本情况公司名称：纳克微束（北京）有限公司（暂定，最终以工商核准为准） 注册资本：5000万元 出资方及出资比例如下：本次关联交易的定价政策及定价依据 本次共同设立纳克微束（北京）有限公司，出资各方均以自有资金出资，且按照出资比例确定双方在新公司的股权比例，价格公允，不存在损害公司和全体股东特别是中小股东利益的情形。关联交易目的及对上市公司的影响本次对外设立纳克微束（北京）有限公司，拟开展电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）、聚焦离子束、电子束曝光机、半导体电子束检测等技术产品研发、设备生产及销售任务，公司将结合自身产业背景优势，充分发挥政策优势、资源优势和产业导向作用，围绕公司主营业务开展战略布局，符合公司发展战略和全体股东的利益。本次对外设立纳克微束（北京）有限公司暨关联交易对本公司本年度的收入、利润不构成重大影响。附：关联方基本情况公司名称：钢研投资有限公司钢研投资的股东及实际控制人为中国钢研科技集团有限公司。成立日期：2020年6月19日。交易对手方的基本情况除公司关联方钢研投资有限公司之外，其他交易对手方情况具体如下：1） 公司名称：北京荷花信息咨询中心(有限合伙)法定代表人：何伟；成立日期：2021-12-07。2） 公司名称：北京屹唐中艺资本投资管理有限公司法定代表人：梁金明；成立日期：2018-02-08。

详细信息 聚焦离子束显微镜采购项目公开招标公告 江苏省-南京市 状态：公告 更新时间： 2023-09-04 南京理工大学聚焦离子束显微镜采购项目公开招标公告项目概况 聚焦离子束显微镜采购项目的潜在投标人应在南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/）获取招标文件，并于2023年09月26日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZZ0176-G23HZ0344 项目名称：聚焦离子束显微镜采购项目 预算金额：980万元（人民币） 最高限价（如有）：980万元（人民币） 采购需求： （1）采购内容：聚焦离子束显微镜 （2）数量：1套 （3）项目概况：本次拟采购的聚焦离子束双束电镜应具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力，主要用于金属材料、半导体材料与器件等的形貌的表征，微纳米加工，TEM制样等。 合同履行期限：交货期为自合同签订生效之日起10个月内交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：/ 3.本项目的特定资格要求： 3.1具有独立承担民事责任的能力，提供法人或其他组织的营业执照等证明文件，复印件加盖公章； 3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，需提供会计师事务所出具的上一年度财务审计报告复印件加盖公章，或银行出具的证明文件复印件加盖公章（距开标时间六个月内开具），或距开标时间六个月内任一月份的财务状况报告复印件加盖公章（至少包括资产负债表和利润表），法人或者其他组织成立未满三个月的需提供承诺具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的承诺书（格式自拟）。 3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供承诺函原件（格式自拟）； 3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供距开标时间六个月内任一月份的纳税证明文件复印件加盖公章（依法免税的应提供相应文件说明）和距开标时间六个月内任一月份的依法缴纳社会保障资金的证明材料复印件加盖公章（证明材料可以是缴费的银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等，自行编写无效，依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明）； 3.5参加本项目采购活动前三年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有重大违法记录，提供声明函原件（格式自拟，重大违法记录是指投标人因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。）； 3.6本次招标不接受联合体投标； 3.7 限制性条款：投标人须满足下述条款要求（需提供承诺函原件） （1）不存在单位负责人为同一人同时参与本项目投标的情况； （2）不存在直接控股、管理关系的不同投标人同时参与本项目投标的情况； （3）与招标人、招标代理机构不存在可能影响采购公正性的利益关系。 3.8 投标人不得有被列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录（招标代理机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn )、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn )查询投标人的信用记录并保存）。 3.9特定资格条件：本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品，若投标人为代理商须提供制造厂家的授权书）。 三、获取招标文件 时间：2023年09月04日 至 2023年09月11日，每天上午9:00至11:30，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/） 方式：请各潜在投标人根据以下步骤进行线上报名、缴费、招标文件下载 （1） 报名方式：线上报名，请具备以上资格条件的潜在投标人先在南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/）上找到该项目招标公告并点击“我要报名”按钮进行线上报名。 （2） 购买招标文件方式：线上缴费，请潜在投标人在该项目招标公告页面底部点击“缴纳标书费”，并按要求操作缴纳费用（请务必准确填写各项内容）。标书费售后不退。请于报名截止日期前缴纳，否则无法成功报名。交费后系统开具电子版发票至缴费人手机，请注意查收。 （3）获取招标文件方式：线上下载，请潜在投标人在该项目招标公告页面底部点击“下载标书”，按要求操作，填写验证码等，即可成功在线上下载招标文件电子稿。（无须再现场购买纸质文件）报名截止后招标文件、答疑澄清及相关图纸（如有）电子文档将再次以邮件形式统一发送至成功报名潜在投标人单位邮箱。 售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年09月26日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年09月26日09点30分（北京时间） 地点：南京市光华路129-3号南理工科技园A2幢518室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 评标方法和标准：采用综合评分法。 此招标公告在中国政府采购网、中国招标投标网、南京理工大学校园网发布。 采购项目需要落实的政府采购政策：节能、环保、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、政府采购信用担保、三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南京理工大学 地址：南京市孝陵卫街200号 联系方式：王老师 025-84303870 2.采购代理机构信息 名 称：中招国际招标有限公司 地 址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系方式：丁皓然、顾新 13914760421、18136485896、025-86986998 3.项目联系方式 项目联系人：丁皓然、顾新 电 话：13914760421、18136485896、025-86986998 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：聚焦离子束 开标时间：2023-09-26 09:30 预算金额：980.00万元 采购单位：南京理工大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：中招国际招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 聚焦离子束显微镜采购项目公开招标公告 江苏省-南京市 状态：公告 更新时间： 2023-09-04 南京理工大学聚焦离子束显微镜采购项目公开招标公告项目概况 聚焦离子束显微镜采购项目的潜在投标人应在南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/）获取招标文件，并于2023年09月26日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZZ0176-G23HZ0344 项目名称：聚焦离子束显微镜采购项目 预算金额：980万元（人民币） 最高限价（如有）：980万元（人民币） 采购需求： （1）采购内容：聚焦离子束显微镜 （2）数量：1套 （3）项目概况：本次拟采购的聚焦离子束双束电镜应具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力，主要用于金属材料、半导体材料与器件等的形貌的表征，微纳米加工，TEM制样等。 合同履行期限：交货期为自合同签订生效之日起10个月内交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：/ 3.本项目的特定资格要求： 3.1具有独立承担民事责任的能力，提供法人或其他组织的营业执照等证明文件，复印件加盖公章； 3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，需提供会计师事务所出具的上一年度财务审计报告复印件加盖公章，或银行出具的证明文件复印件加盖公章（距开标时间六个月内开具），或距开标时间六个月内任一月份的财务状况报告复印件加盖公章（至少包括资产负债表和利润表），法人或者其他组织成立未满三个月的需提供承诺具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的承诺书（格式自拟）。 3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供承诺函原件（格式自拟）； 3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供距开标时间六个月内任一月份的纳税证明文件复印件加盖公章（依法免税的应提供相应文件说明）和距开标时间六个月内任一月份的依法缴纳社会保障资金的证明材料复印件加盖公章（证明材料可以是缴费的银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等，自行编写无效，依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明）； 3.5参加本项目采购活动前三年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有重大违法记录，提供声明函原件（格式自拟，重大违法记录是指投标人因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。）； 3.6本次招标不接受联合体投标； 3.7 限制性条款：投标人须满足下述条款要求（需提供承诺函原件） （1）不存在单位负责人为同一人同时参与本项目投标的情况； （2）不存在直接控股、管理关系的不同投标人同时参与本项目投标的情况； （3）与招标人、招标代理机构不存在可能影响采购公正性的利益关系。 3.8 投标人不得有被列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录（招标代理机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn )、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn )查询投标人的信用记录并保存）。 3.9特定资格条件：本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品，若投标人为代理商须提供制造厂家的授权书）。 三、获取招标文件 时间：2023年09月04日 至 2023年09月11日，每天上午9:00至11:30，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/） 方式：请各潜在投标人根据以下步骤进行线上报名、缴费、招标文件下载 （1） 报名方式：线上报名，请具备以上资格条件的潜在投标人先在南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/）上找到该项目招标公告并点击“我要报名”按钮进行线上报名。 （2） 购买招标文件方式：线上缴费，请潜在投标人在该项目招标公告页面底部点击“缴纳标书费”，并按要求操作缴纳费用（请务必准确填写各项内容）。标书费售后不退。请于报名截止日期前缴纳，否则无法成功报名。交费后系统开具电子版发票至缴费人手机，请注意查收。 （3）获取招标文件方式：线上下载，请潜在投标人在该项目招标公告页面底部点击“下载标书”，按要求操作，填写验证码等，即可成功在线上下载招标文件电子稿。（无须再现场购买纸质文件）报名截止后招标文件、答疑澄清及相关图纸（如有）电子文档将再次以邮件形式统一发送至成功报名潜在投标人单位邮箱。 售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年09月26日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年09月26日09点30分（北京时间） 地点：南京市光华路129-3号南理工科技园A2幢518室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 评标方法和标准：采用综合评分法。 此招标公告在中国政府采购网、中国招标投标网、南京理工大学校园网发布。 采购项目需要落实的政府采购政策：节能、环保、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、政府采购信用担保、三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南京理工大学 地址：南京市孝陵卫街200号 联系方式：王老师 025-84303870 2.采购代理机构信息 名 称：中招国际招标有限公司 地 址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系方式：丁皓然、顾新 13914760421、18136485896、025-86986998 3.项目联系方式 项目联系人：丁皓然、顾新 电 话：13914760421、18136485896、025-86986998

离子束科技之约 | Technoorg Linda CEO András 来访复纳科技 Part 1 引言 2023 年 11 月 15 日，Technoorg Linda 首席执行官(CEO) András Szigethy 来访中国，与复纳科技团队进行了一场深入的交流会议。本次会议交流内容聚焦于产品培训、技术支持、市场推广、业务拓展等关键议题，使双方更好地理解了彼此的需求和期望，促进了双方合作关系的深化。 在本次面对面的交流会议中，András 为复纳科技团队提供了专业的产品培训和技术支持，有效地传递了产品信息和技术细节。他的到访不仅加速了团队对 Technoorg Linda 系列产品的理解，也为复纳科技在中国市场推广和业务拓展开辟了新的机遇。 Part 2 Technoorg Linda 与复纳科技 关于 Technoorg Linda Technoorg Linda 总部位于匈牙利布达佩斯， 由 D. Szigethy, Prof. Á . Barna, Prof. N. Kroo 和 Prof. A. M. Prohorov ( 1964 年获诺贝尔奖) 创建于 1990 年，是一家专注于科学实验室设备制造的领先企业。 Technoorg Linda 致力于研发和生产高性能的样品制备设备，为电子显微镜领域的科学家们提供优质的实验室支持和技术解决方案。其产品涵盖了 SEM/TEM/FIB 样品制备所需的关键设备，可用于样品准备、离子加工和表面精细。产品广泛应用于各种科学研究领域，帮助科研人员更好地理解和探索微观世界的奥秘。 关于复纳科技 复纳科技创立于 2012 年，一直致力帮助海外顶尖高科技仪器厂商在中国市场搭建完善的服务与售后体系，助力中国用户科研创新、工业升级。作为 Technoorg Linda 在中国市场的独家代理商，我们为客户提供全方位的产品培训、技术支持和售后服务。当前在国内市场专注于引进并推广 SEM/TEM/FIB 样品制备系列设备。其中，Gentle Mill 离子精修仪主要用于改善 FIB 处理后的样品，UniMill 离子减薄仪主要用于透射电镜(TEM)样品制备，SEMPrep2 离子研磨仪主要用于扫描电镜 (SEM)样品制备。 01.Gentle Mill 离子精修仪 Gentle Mill 离子精修仪专为最终抛光、精修和改善 FIB 处理后的样品而设计。非常适合要求样品无加工痕迹、表面几乎没有任何损坏的 XTEM、HRTEM 或 STEM 的用户。 1.1 产品介绍 FIB 系统主要用于制备 TEM 横截面样品薄片。与更传统的方法相比，FIB 的优点包括高通量、高精度、较少优先减薄和大的电子透明区域。然而，FIB 的主要缺点是能量相对较高的 Ga+ 离子会导致受损层（如非晶或注入），该层可能会延伸到材料中数十纳米。因此，FIB 制备的 TEM 样品不太适合高性能的 (S)TEM、HRTEM、HRSTEM 分析和高空间分辨率的 EELS 和 EDX 研究。 Gentle Mill 离子精修仪使用优异的独家热阴极低能离子枪做为离子束源。离子束的低角度、低能量保证了表面损伤和离子束诱导非晶化效应的最小化。非常适用于 FIB 样品的清洁和最终抛光，可无损去除薄片形成过程中 FIB 产生的受损层，也可进一步减小样品厚度。 1.2 离子枪参数低能离子枪（固定型）&bull 离子能量：100 eV - 2 keV，连续可调&bull 在 2 keV 离子能量和 30° 入射角下，c-Si 的研磨速率为 28 μm/h&bull 离子电流密度：最大 10 mA/cm2&bull 离子束流：7 - 80 μA，连续可调 1.3 应用案例 图注：C 面蓝宝石 FIB 薄片，Gentle Mill 的低能离子源有效消除所有非晶层和损坏层。 图注：左图为原始 FIB (30 kV) 处理薄片；右图为经过 Gentle Mill (300 eV) 处理的薄片。Si-SiGe 多层异质结构样品两侧均使用 Gentle Mill 处理 2 分钟，以去除 FIB 薄片制备产生的非晶层。在 FIB 薄片的边缘处可以看到非晶层厚度明显减少。 图注：GaSb/InAs 超晶格。使用 Gentle Mill 制备样品：在 2 keV 下减薄直至穿孔，然后在 1 keV 下修整，最后在 300 eV 下精修。 同时，第三代 Gentle Mill 采用简单便捷的图形界面，可进行全电脑控制。所有切削参数，包括离子枪设置、气流控制与其他 参数（如样品运动和倾斜角度、穿孔检测）的设置，都可以存储或以任意步骤进行预编程。这种全自动功能实现了在最少的人工干预下制备高质量的样品的功能。 02.Unimill 离子减薄仪 UniMill 离子减薄仪专为快速地制备具备高减薄率的、高质量的 TEM/XTEM 样品而设计。Unimill 既可以使用全新升级的超高能离子枪进行快速研磨，也可以使用专用的低能离子枪进行最终抛光和精修处理。 2.1 产品介绍 UniMill 离子减薄仪适用于研究新型材料或探索新型样品制备方法的用户，由于设备具有极高的研磨速率，也非常适合用于低溅射率的材料，如金刚石、蓝宝石等。通过低能离子枪轰击获得无人工痕迹样品，这为技术科学和材料研究领域探索合成材料和天然材料的真实纳米结构提供了独特的机会。 2.2 离子枪参数 超高能离子枪（可选）：&bull 离子束能量：高达 16 keV，连续可调&bull 离子束电流：高达 500 μA 高能离子枪（标配）：&bull 离子束能量：高达 10 keV，连续可调&bull 离子束电流：高达 300 μA 低能离子枪：&bull 离子束能量：100 eV - 2 keV，连续可调&bull 离子束电流：7 - 80 μA 2.3 应用案例001 GaN 平面视角样品的 TEM 图像。使用高能离子枪研磨后，样品通过 300 eV 的低能离子枪进行精细处理。 03. SEMPrep2 离子研磨仪 SEMPrep2 离子研磨仪可配备高能量、低能量两支离子枪,为传统 SEM 样品和 EBSD 样品的最终抛光和精细处理提供高质量解决方案。 3.1 产品介绍 离子研磨仪配备超高能量离子枪，可进行快速截面剖削，为半导体工业、材料科学、地质学或其他学科和工业应用提供优异的 SEM 样品剖面。同时，也可用于改善和精细处理机械抛光后的 SEM 样品，并为 EBSD 测量制备无损伤表面。最后，也可配备低能离子枪用于易脆易损伤样品表面更细微的温和处理。 3.2 离子枪参数 &bull 全新升级的超高能离子枪：加速电压高达 16 keV，加速电压连续可调。&bull 专用低能离子枪：100 eV 至 2 keV （可选配）。 3.3 应用案例 离子束截面剖削为 SEM/EBSD 成像和微量分析制备各种材料的高质量样品横截面。Sn-Ag 焊球的栅格阵列 (BGA) 金属线键合 离子束表面抛光制备用于电子背散射衍射(EBSD)研究和取向成像显微分析法(OIM)的样品。铜 镍 Part 3 联系我们 如果您想获取更多关于 Technoorg Linda SEM/TEM/FIB 样品制备的更多产品详情、应用案例或者寄样 DEMO，欢迎您识别下方二维码填写需求。

详细信息 中国科学技术大学聚焦离子束系统采购项目 安徽省-合肥市 状态：公告 更新时间： 2024-02-01 项目编号：OITC-G240320589 发布时间：2024-02-01 投标邀请 项目概况 中国科学技术大学聚焦离子束系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com获取招标文件，并于2024年2月23日09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号： OITC-G240320589 项目名称： 中国科学技术大学聚焦离子束系统采购项目 预算金额： 650万元（人民币） 最高限价（如有）： 650万元（人民币） 采购需求： 1、采购项目的名称、数量： 包号 货物名称 数量（台/套） 是否允许采购进口产品 1 聚焦离子束系统采购 1 是 投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。 2、技术要求详见公告附件。 合同履行期限： 详见采购需求 本项目不接受联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。 3.本项目的特定资格要求： （1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人； （2）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标； （3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动； （4）按本投标邀请的规定获取招标文件； （5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。 三、获取招标文件 时间：2024年2月1日 至 2024年2月7日，每天上午9：00至11：00，下午13：00至17：00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.oitccas.com 方式：登录东方招标平台www.oitccas.com注册并购买。 售价：￥600 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点： 2024年2月23日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（二） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其它补充事宜 1、招标文件采用网上电子发售购买方式：登陆“东方招标”平台（http：//www.oitccas.com/）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2、投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3、投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 4、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 5、采购项目需要落实的政府采购政策： （1）政府采购促进中小企业发展 （2）政府采购支持监狱企业发展 （3）政府采购促进残疾人就业 （4）政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：中国科学技术大学 地址：安徽省合肥市金寨路96号 联系方式：宣老师0551-63602706 2.采购代理机构信息 名称：东方国际招标有限责任公司 地址（北京）：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 地址（合肥）：合肥市高新区创新大道2809号置地创新中心28层2815室 联系方式（北京）：窦志超、曹山、王琪 010-68290502 联系方式（合肥）：李文海、郑文彬0551-66030322 3.项目联系方式 项目联系人：窦志超、曹山、王琪、李文海、郑文彬 电话：010-68290502/0551-66030322 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：聚焦离子束 开标时间：2024-02-23 09:30 预算金额：650.00万元 采购单位：中国科学技术大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 中国科学技术大学聚焦离子束系统采购项目 安徽省-合肥市 状态：公告 更新时间： 2024-02-01 项目编号：OITC-G240320589 发布时间：2024-02-01 投标邀请 项目概况 中国科学技术大学聚焦离子束系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com获取招标文件，并于2024年2月23日09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号： OITC-G240320589 项目名称： 中国科学技术大学聚焦离子束系统采购项目 预算金额： 650万元（人民币） 最高限价（如有）： 650万元（人民币） 采购需求： 1、采购项目的名称、数量： 包号 货物名称 数量（台/套） 是否允许采购进口产品 1 聚焦离子束系统采购 1 是 投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。 2、技术要求详见公告附件。 合同履行期限： 详见采购需求 本项目不接受联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。 3.本项目的特定资格要求： （1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人； （2）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标； （3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动； （4）按本投标邀请的规定获取招标文件； （5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。 三、获取招标文件 时间：2024年2月1日 至 2024年2月7日，每天上午9：00至11：00，下午13：00至17：00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.oitccas.com 方式：登录东方招标平台www.oitccas.com注册并购买。 售价：￥600 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点： 2024年2月23日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（二） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其它补充事宜 1、招标文件采用网上电子发售购买方式：登陆“东方招标”平台（http：//www.oitccas.com/）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2、投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3、投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 4、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 5、采购项目需要落实的政府采购政策： （1）政府采购促进中小企业发展 （2）政府采购支持监狱企业发展 （3）政府采购促进残疾人就业 （4）政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：中国科学技术大学 地址：安徽省合肥市金寨路96号 联系方式：宣老师0551-63602706 2.采购代理机构信息 名称：东方国际招标有限责任公司 地址（北京）：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 地址（合肥）：合肥市高新区创新大道2809号置地创新中心28层2815室 联系方式（北京）：窦志超、曹山、王琪 010-68290502 联系方式（合肥）：李文海、郑文彬0551-66030322 3.项目联系方式 项目联系人：窦志超、曹山、王琪、李文海、郑文彬 电话：010-68290502/0551-66030322

网络会议大会介绍2022年7月26-29日，仪器信息网与中国电子显微镜学会将联合主办“第八届电子显微学网络会议(iCEM 2022)”。iCEM 2022将围绕当下电子显微学研究及应用热点，邀请业界知名电子显微学专家线上分享精彩报告。会议预告电子显微学技术及应用进展专场报告日期：7月26日上午 9：30-10：00报告题目：日立聚焦离子束（三束）应用报告人简介：日立科学仪器产品经理 张希文2012年8月加入日立高新技术（上海）国际贸易有限公司北京分公司，担任日立电子显微镜售后服务技术支持工作，并于同年赴日本工厂进行为期半年的生产技术培训；2013年回国后继续担任日立电镜售后服务技术支持工作，并同时担任日立电镜产品售前技术支持工作。2016年开始负责日立聚焦离子束的技术支持工作，并负责日立聚焦离子束在中国的推广工作。2021年公司整合，继续在日立科学仪器（北京）有限公司负责日立聚焦离子束的技术支持工作。END公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

详细信息 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 江苏省-南京市-玄武区 状态：公告 更新时间： 2022-12-14 招标文件: 附件1 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 2022年12月14日 16:00 公告信息： 采购项目名称 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 采购单位 东南大学 行政区域 南京市 公告时间 2022年12月14日 16:00 获取招标文件时间 2022年12月15日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 11:00 下午:14:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 线上 开标时间 2023年01月04日 09:30 开标地点 南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 预算金额 ￥1100.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 杨 扬、焦立阳 项目联系电话 025-84532455、025-84532452 采购单位 东南大学 采购单位地址 南京市玄武区四牌楼2号 采购单位联系方式 技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 代理机构名称 苏美达国际技术贸易有限公司 代理机构地址 南京市长江路198号苏美达大厦 代理机构联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 附件： 附件1 793D招标文件获取登记表.doc 项目概况 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 招标项目的潜在投标人应在线上获取招标文件，并于2023年01月04日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0664-2260SUMEC793D 项目名称：东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 预算金额：1100.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：1100.0000000 万元（人民币） 采购需求： 东南大学采购聚焦离子束加工（双束）一套 本项目接受进口产品。 合同履行期限：境外产品：开具信用证后10个月内设备安装调试合格。境内产品：自合同签订之日起30天内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。 3.本项目的特定资格要求：本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网'(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 三、获取招标文件 时间：2022年12月15日 至 2022年12月21日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：线上 方式：在线获取 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号 苏美达达天下 。（2）、进入公众号- 在线服务 - 在线购标 。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC793D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3） 苏美达达天下 付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：东南大学 地址：南京市玄武区四牌楼2号 联系方式：技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 2.采购代理机构信息 名 称：苏美达国际技术贸易有限公司 地 址：南京市长江路198号苏美达大厦 联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 3.项目联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话： 025-84532455、025-84532452 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：聚焦离子束 开标时间：2023-01-04 09:30 预算金额：1100.00万元 采购单位：东南大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：苏美达国际技术贸易有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 江苏省-南京市-玄武区 状态：公告 更新时间： 2022-12-14 招标文件: 附件1 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 2022年12月14日 16:00 公告信息： 采购项目名称 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 采购单位 东南大学 行政区域 南京市 公告时间 2022年12月14日 16:00 获取招标文件时间 2022年12月15日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 11:00 下午:14:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 线上 开标时间 2023年01月04日 09:30 开标地点 南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 预算金额 ￥1100.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 杨 扬、焦立阳 项目联系电话 025-84532455、025-84532452 采购单位 东南大学 采购单位地址 南京市玄武区四牌楼2号 采购单位联系方式 技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 代理机构名称 苏美达国际技术贸易有限公司 代理机构地址 南京市长江路198号苏美达大厦 代理机构联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 附件： 附件1 793D招标文件获取登记表.doc 项目概况 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 招标项目的潜在投标人应在线上获取招标文件，并于2023年01月04日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0664-2260SUMEC793D 项目名称：东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 预算金额：1100.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：1100.0000000 万元（人民币） 采购需求： 东南大学采购聚焦离子束加工（双束）一套 本项目接受进口产品。 合同履行期限：境外产品：开具信用证后10个月内设备安装调试合格。境内产品：自合同签订之日起30天内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。 3.本项目的特定资格要求：本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网'(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 三、获取招标文件 时间：2022年12月15日 至 2022年12月21日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：线上 方式：在线获取 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号 苏美达达天下 。（2）、进入公众号- 在线服务 - 在线购标 。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC793D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3） 苏美达达天下 付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：东南大学 地址：南京市玄武区四牌楼2号 联系方式：技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 2.采购代理机构信息 名 称：苏美达国际技术贸易有限公司 地 址：南京市长江路198号苏美达大厦 联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 3.项目联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话： 025-84532455、025-84532452

p 刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是半导体制造中重要的一环，其中尤以等离子体刻蚀重要。/pp 根据Gartner 估算，刻蚀设备占整体建厂设备投资的 15%左右，其中介质刻蚀和硅刻蚀设备分别能占到其中的45%以上，金属刻蚀大概占到3-4%。2018-2020年国内晶圆厂建设对应的刻蚀设备市场空间分别为150、150、160 亿元，而其中介质刻蚀设备市场需求分别为74、76、80 亿元，硅刻蚀设备市场需求分别为71、73、77 亿元，金属刻蚀设备需求分别为4.5、5、5 亿元。/pp 随着近些年半导体行业的火热，对刻蚀的研究更是成为了各大相关科研院所的一个研究热点，带动了相关刻蚀设备的采购，近日国内科研院更是接连发布数条刻蚀设备的招标公告。/pp其中，40%招标公告明确要求采购国产等离子体刻蚀机。/pp以下为本周以来的相关招标公告，/ph3一、《中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告》/h3p 项目概况：/pp 中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2020年09月01日 14点30分（北京时间）/pp前递交投标文件。/pp 项目编号：OITC-G200290831/pp 项目名称：中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目/pp 预算金额：200.0 万元（人民币）/pp 最高限价（如有）：200.0 万元（人民币）/pp 采购需求：/ppbr//ppimg style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202008/uepic/d5d2bebd-0c45-4353-81be-b55bfb616c41.jpg" title="1.png" alt="1.png"/ br//ppbr//ph3二、《南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告》/h3p 项目概况：/pp 南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在公允（天津）招标代理有限公司天津市南开区红旗南路仁爱濠景国际大厦A座6层601室）获取招标文件，并于2020年08月27日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。/pp 项目编号：NK2020S040N/pp 项目名称：南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机采购项目/pp 预算金额：250.79 万元（人民币）/pp 采购需求：详情请见项目需求书附件/ph3三、《山东大学激光离子束光刻刻蚀系统采购公开招标公告》/h3p 项目概况：/pp 山东大学激光离子束光刻刻蚀系统采购 招标项目的潜在投标人应在济南市高新区舜华路2000号舜泰广场6号楼2101室获取招标文件，并于2020年09月08日 14点30分（北京时间）前递交投标文件。/pp 项目编号：SDSS20200639-F014/pp 项目名称：山东大学激光离子束光刻刻蚀系统采购/pp 预算金额：500.0 万元（人民币）/pp 最高限价（如有）：500.0 万元（人民币）/pp 采购需求：山东大学采购激光离子束光刻刻蚀系统一套，用于研究开发相关科研工作。故拟采购一套激光离子束光刻刻蚀系统。（详见公告附件）/ph3四、《西北师范大学物理与电子工程学院基础与应用研究平台建设项目公开招标公告》/h3p 西北师范大学招标项目的潜在投标人应在甘肃省公共资源交易网（http://ggzyjy.gansu.gov.cn/）获取招标文件，并于2020-09-04 11:00:00（北京时间）前递交投标文件。/pp 项目编号：GSJY-ZC2020141/pp 项目名称：西北师范大学物理与电子工程学院基础与应用研究平台建设项目/pp 预算金额：194.23(万元)/pp 最高限价：194.23(万元)/pp 采购需求：双通道系统数字源表(进口产品已论证) 1套、加热型磁力搅拌器 1台、手套箱 1台、压力可控型电动纽扣电池封装机 1台、控温磁力搅拌器 1台、span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong等离子刻蚀机(进口产品已论证) 1套/strong/span、电子防潮箱 1台、等离子体清洗机 1套、视频接触角张力测量仪 1套、实验室纯水机 1 台、鼓风干燥箱 1台、手套箱配套机械泵 1套、正入射软X射线谱仪 1套、激光诱导击穿光谱-拉曼联用谱仪 1套、双模式双恒电位仪(进口产品已论证) 1套、高精度分析天平 1台、旋转环盘电极(进口产品已论证) 1套、金属空气电池测试系统(进口产品已论证) 1套/ph3五、《北京工业大学20内涵发展定额-教育部B类重点实验室建设经费项目（第2包）招标公告》/h3p 项目概况：/pp 北京工业大学20内涵发展定额-教育部B类重点实验室建设经费项目（第2包）招标项目的潜在投标人应在北京市东城区朝内大街南竹杆胡同6号北京INN3号楼9层获取招标文件，并于2020年09月02日09点30分（北京时间）前递交投标文件。/pp 项目编号：BJJQ-2020-712-01、02、03/pp 项目名称：北京工业大学20内涵发展定额-教育部B类重点实验室建设经费项目（第2包）/pp 预算金额：人民币325万元/pp 第2包分包预算金额：人民币111.00万元/pp 采购需求：等离子体化学气相沉积台1套、strongspan style="color: rgb(255, 0, 0) "高密度等离子刻蚀系统1套/span/strong，不允许采购进口产品/pp 随着我国对半导体行业的大力支持，大量科研院所开始采购相关设备，半导体行业的生产检测等仪器设备前景广阔。/p

详细信息 南京大学聚焦离子束双束电镜采购招标公告 江苏省-南京市-鼓楼区 状态：公告 更新时间： 2022-11-25 项目概况：南京大学聚焦离子束双束电镜的潜在投标人应在江苏省招标中心有限公司官网网站获取招标文件，并于2022年12月16日上午9:30时（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：JSTCC2201114319校内项目编号：ZH2022020256项目名称：聚焦离子束双束电镜预算金额：人民币650万元（进口产品不含依法免征的进口环节税，但包含贸易战加征关税等依法征收的税费）最高限价：人民币650万元采购需求：现对聚焦离子束双束电镜进行招标采购，本项目经财政主管部门报备准予采购进口产品，具体技术参数要求详见招标文件。合同履行期限：合同签订生效或免税办好并收到外贸公司通知后10个月内本项目是否接受联合体投标：不接受二、申请人资格要求：投标人参加本次政府采购活动除应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条、《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条的规定外，还必须具备以下资格要求：1、投标人必须是遵守中华人民共和国的相关法律、法规，具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的独立法人，投标文件中必须提供企业2021年度财务审计报告或企业近六个月中任一月份的财务状况报告复印件（至少包括资产负债表和利润表，加盖投标人公章）（法人或者其他组织成立未满三个月的可以不提供）或其基本开户银行出具的资信证明（距开标时间3个月内开具）、提供企业近六个月中任一月份依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料；2、投标人具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（需提供承诺书，格式自拟，加盖公章，必须包含此条内容）；若投标人是进口设备代理商的，必须在中华人民共和国大陆地区设有完善的售后服务体系，另外还必须提供有效证明材料需提供响应的合法有效来源证明材料,可提供如下任意材料之一即可：（1）制造商出具的授权函正本；（2）制造商的国内全资子公司出具的授权函正本；（3）制造商对授权的区域（含南京市）代理商出具的授权函复印件（加盖区域代理商和投标人公章）及该区域代理商出具的授权函正本；但区域代理商为南京公司的，本项目不接受转授权；（4）投标人取得的产品制造商代理证书复印件或其他合法有效来源证明材料；注：若同一品牌的货物由不同代理商持上述四种授权文件之一参与投标，视为一家投标人投标。评审时，取其中排序最先的为有效投标人。得分相同的，按投标报价由低到高顺序排序。得分且投标报价相同的，则商务及技术分数得分高的排名优先。3、投标人参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法或不良记录承诺（提供承诺书，格式自拟，需包含此条内容，加盖公章）；4、投标人未被“信用中国”网站（http：//www.creditchina.gov.cn）列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为（中国政府采购网）记录名单内（提供网页截图，加盖公章）；5、本次采购不接受联合体投标，不接受未经采购人同意的任何形式的转包、分包（提供承诺书，格式自拟，需包含此条内容，加盖公章）；6、拒绝下述投标人参加本次采购活动：1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；2）除单一来源项目外，凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人不得再参加本项目的采购活动。注：投标人必须在投标文件中对以上资格要求逐条响应并提供有效证明材料及相关承诺书，否则将导致投标无效。三、获取招标文件1、招标文件发售时间：2022年11月25日起至2022年12月2日止，每天9:00—11:30，14:00—17:00（北京时间，节假日除外）。招标文件服务费500.00元/份，售后不退。2、招标文件发售方式：线上支付招标文件服务费，并自行下载招标文件和电子发票。①投标人必须于招标文件发售期间在江苏省招标中心有限公司官网免费注册（具体步骤请参考登陆网页相关指南或使用手册，注册咨询电话：400-058-0203，技术电话：025-83303461，13951767623）。注册时填写的联系人必须为本项目实际联系人员，本项目后续相关通知等文件（如有的话）将通过江苏省招标中心有限公司官网平台直接发送给此联系人。投标人注册的联系人信息填写错误是其自身的风险，采购人及采购代理机构对此不承担任何责任。②投标人线上支付及下载成功后，将本公告的附件《招标文件领取确认表》（word可编辑版）发送至邮箱wanghui@jitc.cn。提醒：投标人必须在上述招标文件发售截止时间前完成注册及购买招标文件事宜,否则系统到时即关闭,不再接受购买。招标文件领取确认表采购编号：项目名称：投标人名称：联系人姓名/手机：发票和授予合同通知书的邮寄地址：电子邮箱（必须是常用邮箱）： 增值税专用发票信息开票名称： 纳税人识别号： 地址、电话： 开户行： 账 号： 以上信息由投标人填写,必须准确无误,否则后果自负！四、投标文件接收信息：投标文件开始接收时间：2022年12月16日上午9:00时（北京时间）投标文件接收截止时间：2022年12月16日上午9:30时（北京时间）投标文件接收地点：本项目拟远程异地开标，具体流程详见投标文件格式--远程异地开标附件。投标文件接收人：陈工、姜工、鲁工五、开标有关信息：开标时间：2022年12月16日上午9:30时（北京时间）开标地点：本项目拟远程异地开标，具体流程详见投标文件格式--远程异地开标附件。六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜本项目落实的政府采购政策：（1）《政府采购促进中小企业发展管理办法》（2）《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（3）《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（4）《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（5）《关于做好政府采购支持企业发展有关事项的通知》（6）《关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：南京大学地 址：南京市栖霞区仙林大道163号联系方式：王老师，025-896889692.采购代理机构信息名 称：江苏省招标中心有限公司地 址：江苏省南京市鼓楼区郑和中路118号D座17楼联系方式：陈工、姜工、鲁工，025-83248600、83249926、832499273.项目联系方式：项目联系人：陈工、姜工、鲁工电 话：025-83248600、83249926、83249927网 址：江苏省招标投标公共服务平台 中国政府采购网 江苏省招标中心有限公司2022年11月25日 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：聚焦离子束 开标时间：2022-12-16 09:30 预算金额：650.00万元 采购单位：南京大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：江苏省招标中心有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 南京大学聚焦离子束双束电镜采购招标公告 江苏省-南京市-鼓楼区 状态：公告 更新时间： 2022-11-25 项目概况：南京大学聚焦离子束双束电镜的潜在投标人应在江苏省招标中心有限公司官网网站获取招标文件，并于2022年12月16日上午9:30时（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：JSTCC2201114319校内项目编号：ZH2022020256项目名称：聚焦离子束双束电镜预算金额：人民币650万元（进口产品不含依法免征的进口环节税，但包含贸易战加征关税等依法征收的税费）最高限价：人民币650万元采购需求：现对聚焦离子束双束电镜进行招标采购，本项目经财政主管部门报备准予采购进口产品，具体技术参数要求详见招标文件。合同履行期限：合同签订生效或免税办好并收到外贸公司通知后10个月内本项目是否接受联合体投标：不接受二、申请人资格要求：投标人参加本次政府采购活动除应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条、《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条的规定外，还必须具备以下资格要求：1、投标人必须是遵守中华人民共和国的相关法律、法规，具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的独立法人，投标文件中必须提供企业2021年度财务审计报告或企业近六个月中任一月份的财务状况报告复印件（至少包括资产负债表和利润表，加盖投标人公章）（法人或者其他组织成立未满三个月的可以不提供）或其基本开户银行出具的资信证明（距开标时间3个月内开具）、提供企业近六个月中任一月份依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料；2、投标人具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（需提供承诺书，格式自拟，加盖公章，必须包含此条内容）；若投标人是进口设备代理商的，必须在中华人民共和国大陆地区设有完善的售后服务体系，另外还必须提供有效证明材料需提供响应的合法有效来源证明材料,可提供如下任意材料之一即可：（1）制造商出具的授权函正本；（2）制造商的国内全资子公司出具的授权函正本；（3）制造商对授权的区域（含南京市）代理商出具的授权函复印件（加盖区域代理商和投标人公章）及该区域代理商出具的授权函正本；但区域代理商为南京公司的，本项目不接受转授权；（4）投标人取得的产品制造商代理证书复印件或其他合法有效来源证明材料；注：若同一品牌的货物由不同代理商持上述四种授权文件之一参与投标，视为一家投标人投标。评审时，取其中排序最先的为有效投标人。得分相同的，按投标报价由低到高顺序排序。得分且投标报价相同的，则商务及技术分数得分高的排名优先。3、投标人参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法或不良记录承诺（提供承诺书，格式自拟，需包含此条内容，加盖公章）；4、投标人未被“信用中国”网站（http：//www.creditchina.gov.cn）列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为（中国政府采购网）记录名单内（提供网页截图，加盖公章）；5、本次采购不接受联合体投标，不接受未经采购人同意的任何形式的转包、分包（提供承诺书，格式自拟，需包含此条内容，加盖公章）；6、拒绝下述投标人参加本次采购活动：1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；2）除单一来源项目外，凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人不得再参加本项目的采购活动。注：投标人必须在投标文件中对以上资格要求逐条响应并提供有效证明材料及相关承诺书，否则将导致投标无效。三、获取招标文件1、招标文件发售时间：2022年11月25日起至2022年12月2日止，每天9:00—11:30，14:00—17:00（北京时间，节假日除外）。招标文件服务费500.00元/份，售后不退。2、招标文件发售方式：线上支付招标文件服务费，并自行下载招标文件和电子发票。①投标人必须于招标文件发售期间在江苏省招标中心有限公司官网免费注册（具体步骤请参考登陆网页相关指南或使用手册，注册咨询电话：400-058-0203，技术电话：025-83303461，13951767623）。注册时填写的联系人必须为本项目实际联系人员，本项目后续相关通知等文件（如有的话）将通过江苏省招标中心有限公司官网平台直接发送给此联系人。投标人注册的联系人信息填写错误是其自身的风险，采购人及采购代理机构对此不承担任何责任。②投标人线上支付及下载成功后，将本公告的附件《招标文件领取确认表》（word可编辑版）发送至邮箱wanghui@jitc.cn。提醒：投标人必须在上述招标文件发售截止时间前完成注册及购买招标文件事宜,否则系统到时即关闭,不再接受购买。招标文件领取确认表采购编号：项目名称：投标人名称：联系人姓名/手机：发票和授予合同通知书的邮寄地址：电子邮箱（必须是常用邮箱）： 增值税专用发票信息开票名称： 纳税人识别号： 地址、电话： 开户行： 账 号： 以上信息由投标人填写,必须准确无误,否则后果自负！四、投标文件接收信息：投标文件开始接收时间：2022年12月16日上午9:00时（北京时间）投标文件接收截止时间：2022年12月16日上午9:30时（北京时间）投标文件接收地点：本项目拟远程异地开标，具体流程详见投标文件格式--远程异地开标附件。投标文件接收人：陈工、姜工、鲁工五、开标有关信息：开标时间：2022年12月16日上午9:30时（北京时间）开标地点：本项目拟远程异地开标，具体流程详见投标文件格式--远程异地开标附件。六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜本项目落实的政府采购政策：（1）《政府采购促进中小企业发展管理办法》（2）《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（3）《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（4）《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（5）《关于做好政府采购支持企业发展有关事项的通知》（6）《关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：南京大学地 址：南京市栖霞区仙林大道163号联系方式：王老师，025-896889692.采购代理机构信息名 称：江苏省招标中心有限公司地 址：江苏省南京市鼓楼区郑和中路118号D座17楼联系方式：陈工、姜工、鲁工，025-83248600、83249926、832499273.项目联系方式：项目联系人：陈工、姜工、鲁工电 话：025-83248600、83249926、83249927网 址：江苏省招标投标公共服务平台 中国政府采购网 江苏省招标中心有限公司2022年11月25日

一、项目基本情况1.项目编号：ZG-ZWG-2023168/2758-234ZGZB23168项目名称：哈尔滨工程大学X射线/紫外光电子能谱采购项目预算金额：900.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：900.000000 万元（人民币）采购需求：X射线/紫外光电子能谱1套合同履行期限：合同签订后12个月内完成所有设备到货，所有设备调试完毕并具备验收条件本项目( 不接受 )联合体投标。2.项目编号：ZG-ZWG-2023066/2758-234ZGZB23066项目名称：哈尔滨工程大学聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL)采购项目预算金额：880.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：880.000000 万元（人民币）采购需求：聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL)一套合同履行期限：合同签订后12个月内完成所有设备到货，所有设备调试完毕并具备验收条件本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2023年11月06日 至 2023年11月13日，每天上午8:30至12:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）地点：黑龙江中冠项目管理有限公司（中国黑龙江省哈尔滨市道里区友谊西路2982号）；方式：拟参加本项目的潜在投标人，请于2023年11月06日至2023年11月13日，每天上午08时30分至下午16时30分到黑龙江中冠项目管理有限公司（中国黑龙江省哈尔滨市道里区友谊西路2982号）获取采购文件，采购文件不予邮寄；售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：哈尔滨工程大学　　　　　地址：哈尔滨市南岗区南通大街145号　　　　　　　　联系方式：王老师 0451-82519862　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：黑龙江中冠项目管理有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：中国黑龙江省哈尔滨市道里区友谊西路2982号　　　　　　　　　　　　联系方式：刘女士 0451-82663366转8008/8006　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：刘女士电　话：　　0451-82663366转8008/8006

5月11日，重庆大学公开招标购买1套聚焦离子束电子束双束电镜，预算800万元。　　项目编号：1708-BZ2000401843AH(20WA100)　　项目名称：重庆大学聚焦离子束电子束双束电镜　　预算金额：800.0000000 万元(人民币)　　最高限价(如有)：800.0000000 万元(人民币)　　采购需求：项目名称最高限价（万元）投标保证金（万元）中标人数量（名）采购标的对应的中小企业划分标准所属行业重庆大学聚焦离子束电子束双束电镜80081工业　　合同履行期限：中标人应在采购合同签订后180个日历日内交货并完成安装调试。　　本项目( 不接受 )联合体投标。　　开标时间：2021年06月02日 10点00分(北京时间)重庆市政府采购中心报名表（20WA100）.doc公开招标—重庆大学聚焦离子束电子束双束电镜20WA100（重启后终审稿）.doc

通过激光刻蚀去除所需位点外围的大部分材料，再通过FIB切割和抛光得到横截面，两种技术相结合最终实现了超大尺寸样品处理所需的速度和精度。而这种组合方式的最新阶段是采用激光刻蚀和PFIB刻蚀实现协同处理，进一步提高分析通量、效率和灵活性。激光集成到FIB室中 VS 独立的激光刻蚀和PFIB协同处理 效率提高至少2,000倍 激光刻蚀提供的最大铣削速率比镓源FIB快约100,000倍，比PFIB快约2,000倍，同时仍保持针对特定位点的足够铣削精度。将激光刻蚀（初始切削材料）与PFIB（最终切割和抛光）相结合可以将制备大尺寸横截面所需的总时间减少95%，在某些情况下甚至更多。如图1显示了镓源FIB、PFIB和激光刻蚀的光斑大小与材料去除率之间的关系。相邻表格提供了这3种技术在最大铣削和最终抛光束流条件下材料去除率的数值比较。如图1：（左）所示，镓源FIB、PFIB和激光刻蚀占据不同的区域，其特点是光斑尺寸（光束直径）和材料去除率之间的制衡。一般来说，较高的束流或束流强度会更快地去除材料，但精度较低。表格(右)比较了材料在三种技术下最大束流和典型抛光条件下的束流(或激光的离子束等效电流)和材料去除率关系。此外，还显示了镓源FIB与激光刻蚀、PFIB与激光刻蚀的去除率之比。将激光集成到FIB室中后，系统一次只能使用一个功能，而其他功能处于空闲状态。TESCANT提供一种最新方式来实施集成显微镜技术，通过独立的激光刻蚀（microPrep PRO、3D-Micromac AG）和PFIB(TESCAN Solaris X)系统提供并行处理。两个系统都不会因为另一个系统的运行而空闲。激光刻蚀系统可以为多个联用工具准备样品，无论联用是多个FIB 还是各种其他故障分析仪器，最终结果都是增加了分析通量和产率，并降低了每次分析的成本。激光刻蚀系统提供约10微米的铣削精度(束斑尺寸)和约3微米的光束定位精度（以厘米为移动范围），使其快速准确地去除立方毫米的材料。基于电路设计的CAD数据或各种FA工具的2D图像叠加的相关对准技术有助于在两个系统中以高精度找到感兴趣区。● 独立系统中的协同处理优点 ●1, 超短激光脉冲最大限度地减少了激光引起热影响区，从而减少了必须通过PFIB中的最终抛光去除的材料量。2. 单独在激光刻蚀系统中切削材料可避免PFIB仓内污染的风险，其中污染物会干扰仪器本身和分析结果。3. 样品同时可以在各种气体环境中通过激光进行处理，并且可以使用解决方案来允许系统之间的转移，而不会暴露在周围环境中。4. 激光刻蚀工具上的平台提供具有六个自由度的精确自动化运动，使其能够在需要时铣削复杂的图案。5. 在激光刻蚀过程中倾斜样品的能力对于补偿由光束能量的高斯强度分布引起的锥度特别有益。尽管它可以使用FIB抛光消除，但在激光刻蚀操作期间避免它可以大大减少FIB抛光所需的时间。6. 消除锥度对于半导体样品中准确对齐堆叠重复结构的横截面（例如TSV、锡焊球等）工艺至关重要。PFIB系统针对高深度大尺寸铣削进行了优化，它提供高达3µA的束流，每秒可去除多达1,400µm3的材料。用于最终抛光的较低离子束电流(300nA)仍可去除高达141µm3/s，即使在具有挑战性的样品上也能提供原始横截面。最具挑战性的样品是那些需要不同切削速率的硬质和软质复合材料的样品。容易产生独特的垂直形貌，描述性地称为“窗帘”。从而引起的窗帘伪影可能会掩盖后续成像中的关键细节。在切削操作过程中，我们可以通过小角度反复摇摆样品减少窗帘伪影。角度的轻微变化使离子束能够更好地进入材料下方较硬的屏蔽区域，并平滑铣削过程。对于束流/铣削速率较高的FIB，窗帘效应可能是一个挑战，就像大通量工作流程中高速铣削所需的那些一样。对于该问题，PFIB系统配置的摆动台提供了一种自动摆动模式，可以予以解决在某些材料中，包括碳化硅、聚酰亚胺、玻璃等，产生的另一种伪影-呈阶梯式。阶梯一旦出现，就会自我强化，很难移除。我们用一种创新的解决方案(True x-section，用户指导程序)来消除了阶梯效应，比大面积FIB沉积速度快得多：允许操作人员在要切片的区域放置一个小的保护硬面罩。案例图2至图6显示了使用激光刻蚀和PFIB来曝光电路元件以进行成像和分析的示例。每个示例都包括每次操作所花费的时间以及相对于单独使用PFIB制备样品所节省的总时间。图2：先进芯片集成中间的图像显示了一个超大的横截面，宽几百微米，深几百微米，穿过集成电路和连接到插入器的焊锡球和触点。左边和右边的图像显示了该截面的细节，左边是IC的放大倍数更高的图像，右边是锡球和接触垫之间的空隙。横切过程在激光刻蚀仪器中耗时10分钟，在PFIB中耗时90分钟，与单独使用PFIB相比节省了70%的时间。图3：锥度校正（右）显示了在高带宽存储器(HBM)器件中硅穿孔(TSV)堆栈的数百微米深和宽的横截面，它说明了系统切割贯通每个TSV中心的精确垂直横截面的能力。在激光刻蚀过程中倾斜样品以补偿锥角对于减少最终PFIB铣削操作要去除的材料量至关重要，从而减少横截面所需的总时间。横截面在激光刻蚀仪器中耗时10分钟，在PFIB中耗时120分钟，与单独的PFIB相比，节省了80%的时间。图4：FIB层析成像的激光刻蚀准备FIB的层析成像通过FIB逐层切片的方式，从捕获的一系列图像中重建了样本体积的3D模型。准备工作首先使用激光刻蚀从一个立方体/矩形体的三面去除材料，如“俯视图”(左)所示。在此视图中，最终将与FIB连续剖切的面位于立方体形状的底部。在“正视图”（中间）中，样品已旋转90°以显示横截面。插图（右）放大了横截面的一个区域以显示其切削质量。使用激光烧蚀制备样品需要10分钟，与PFIB 相比节省了70%的时间。图5: 有机发光二极管面板手机和其他移动设备的显示器含有关键的微结构，在样品制备过程中容易被机械应力损坏。这种精致的样品需要一种特殊的处理方法:在PFIB进行最后切削和抛光之前，在边缘的一个几毫米长的区域被有意地用激光削尖。左上方的第3张图像显示了激光刻蚀切口。下图显示了经过PFIB切削和抛光后长约0.5mm截面(PFIB可以切割和抛光长达1mm的截面)。最右边的顶部图像显示了最终横截面的更高倍放大图。横切面在激光刻蚀中花费了74分钟，在PFIB中花费了165分钟，与单独PFIB相比节省了95%的时间。图6： 微机电系统MEMS设备对样品制备过程中的机械损伤特别敏感。在这个例子中，激光刻蚀被用来打开一个窗口，进入封装的 MEMS 设备进行检查和分析。 节省的时间从70%到95%以上 激光刻蚀功能嵌入FIB系统的系统本质上是低效的，因为一次只能使用一种功能。该技术的最新迭代在独立的激光刻蚀和PFIB中实现并行处理，通过允许同时在两种工具中进行处理来提高通量和产率。这些工具通过相关的图像对齐程序和CAD叠加导航进行集成。在并行配置中，单个激光刻蚀系统可以供给多个FIB和其它FA工具。这种方法具有消除污染FIB系统的风险的优势，其中污染物会干扰成像和分析或损坏系统。我们展示了几个大的、高质量的横截面示例，并计算出与单独使用PFIB制备相比节省的时间，所示示例中节省的时间从70%到95%以上。

一、项目基本情况项目编号：ZZ0176-G23HZ0344/TC239J0M3项目名称：聚焦离子束显微镜采购项目预算金额：980.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：980.0000000 万元（人民币）采购需求：（1）采购内容：聚焦离子束显微镜（2）数量：1套（3）项目概况：本次拟采购的聚焦离子束双束电镜应具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力，主要用于金属材料、半导体材料与器件等的形貌的表征，微纳米加工，TEM制样等。合同履行期限：交货期为自合同签订生效之日起10个月内交货。本项目( 接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2023年09月04日 至 2023年09月11日，每天上午9:00至11:30，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/）方式：请各潜在投标人根据以下步骤进行线上报名、缴费、招标文件下载 （1）报名方式：线上报名，请具备以上资格条件的潜在投标人先在南京理工大学校园网（http://zbpt.njust.edu.cn/）上找到该项目招标公告并点击“我要报名”按钮进行线上报名。 （2）购买招标文件方式：线上缴费，请潜在投标人在该项目招标公告页面底部点击“缴纳标书费”，并按要求操作缴纳费用（请务必准确填写各项内容）。标书费售后不退。请于报名截止日期前缴纳，否则无法成功报名。交费后系统开具电子版发票至缴费人手机，请注意查收。 （3）获取招标文件方式：线上下载，请潜在投标人在该项目招标公告页面底部点击“下载标书”，按要求操作，填写验证码等，即可成功在线上下载招标文件电子稿。（无须再现场购买纸质文件）报名截止后招标文件、答疑澄清及相关图纸（如有）电子文档将再次以邮件形式统一发送至成功报名潜在投标人单位邮箱。售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：南京理工大学　　　　　地址：南京市孝陵卫街200号　　　　　　　　联系方式：王老师 025-84303870　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：中招国际招标有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦　　　　　　　　　　　　联系方式：丁皓然、顾新 13914760421、18136485896、025-86986998　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：丁皓然、顾新电　话：　　13914760421、18136485896、025-86986998

自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来，研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程，也是当前中国市场最为紧迫的一项技术，关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行，也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开半导体设备，其中刻蚀设备是其中的重中之重。据了解，目前我国已经突破了刻蚀设备的技术难关，其中中微公司的5nm刻蚀设备已成功销往海外，更是进入台积电的生产线。如今最先进的芯片制造主要使用干法刻蚀技术，干法刻蚀相对于湿法刻蚀，具有更好的各向异性，工艺重复性，且能降低晶圆污染几率，因此成为了亚微米下制备半导体器件最主要的刻蚀方法。干法刻蚀的物理机制，主要包括物理溅射刻蚀、纯化学刻蚀、化学离子增强刻蚀和侧壁抑制刻蚀等。目前我国在生产用刻蚀设备领域已经逐渐实现市场上的突破，但一直以来，对科研用刻蚀设备情况缺乏调查。1月22日，科技部和财政部联合发布《科技部 财政部关于开展2021年度国家科技基础条件资源调查工作的通知（国科发基〔2020〕342号）》，全国众多高校和科研院所将各种科学仪器上传共享，对其中干法刻蚀设备的统计分析或可一定程度反映科研用刻蚀设备的市场信息。小编特对其进行分类统计，供读者一阅。各省（直辖市/自治区）干法设备分布各省（直辖市/自治区）干法刻蚀设备分布图根据统计数据，共享干法刻蚀设备的总数量为276台，涉及25省（直辖市/自治区）。北京、江苏、上海、广东为共享干法刻蚀设备最多的地区，其中北京的数量最多，达81台。北京共享科研用干法刻蚀设备数量较多，主要是由于其实力强劲的高等院校较多，其科研经费充足，可以购买更多的设备。以上四个地区的经济发展水平在全国名列前茅，而且半导体产业发达，对干法刻蚀设备的需求也更高。进一步统计发现，刻蚀设备主要分布于清华大学和中国科学院上海微系统与信息技术研究所。刻蚀设备品牌分布从刻蚀设备的整体品牌分布图可以看到，英国Oxford的刻蚀设备占比最多达22%，其次为德国SENTECH占比为7%，远低于Oxford的市场份额。需要注意的是，北方华创科技集团股份有限公司（简称“北方华创”）是由北京七星华创电子股份有限公司（简称“七星电子”）和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（简称“北方微电子”）战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业，因此在统计中将北方微电子和北方华创归为一家企业。从统计结果来看，国内科研用刻蚀设备中，全球刻蚀设备巨头Lam、AMAT等占比很低，这表明工业用刻蚀设备和科研用刻蚀设备的需求不同，厂商也有所不同。刻蚀设备产地分布从刻蚀设备的产地分布可以看出，进口设备中英国设备最受国内科研用户青睐，占比达30%，但国产设备占比31%（含台湾），高于英国进口数量。统计结果表明，中国品牌包括了北方华创、中国科学院微电子研究所等约20家厂商，呈现出多强局面。本次刻蚀设备盘点中，涉及品牌有Oxford、SENTECH、北京创世维纳科技有限公司、Samco、北方华创 、北京金盛微纳科技公司、北京埃德万斯离子束技术研究所有限公司、SPTS、Gatan、北京泰龙电子技术有限公司、STS、Lam等。其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：等离子刻蚀机高端等离子刻蚀设备SI 500使用低离子； 能量的电感耦合等离子体用于低损伤刻: 蚀和纳米结构刻蚀。通过在广泛的温度: 范围内的动态温度控制确保了可重复且稳定的等离子刻蚀条件。深反应等离子；刻蚀（硅，III-V族半导体，MEMS）可: 采用低温工艺和室温下的气体切换工艺: 来实现。经济型等离子刻蚀设备EtchLab 200具备 低成本效益高的特点，并且支持揭盖直接 放置样片。EtchLab 200允许通过载片 器，实现多片工艺样品的快速装载，也可 以直接快速地把样品装载在电极上。RIE等离子体刻蚀设备具备占地面积小， 模块化和灵活性等设计特点.牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 RIEPlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。这款设备具有直开式设计允许快速装卸晶圆、出色的刻蚀控制和速率测定、出色的晶圆温度均匀性，可应用于 III-V族材料刻蚀工艺、硅 Bosch和超低温刻蚀工艺、类金刚石（DLC）沉积、二氧化硅和石英刻蚀、用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖工艺，可处理封装好的芯片, 裸晶片，以及200mm晶圆、用于高亮度LED生产的硬掩模的刻蚀。

一、项目基本情况项目编号：SDJDHD20230521-Z307/HYHA2023-2551项目名称：山东大学聚焦离子束扫描电子显微镜预算金额：1200.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：1200.000000 万元（人民币）采购需求：标包货物名称数量简要技术要求A聚焦离子束扫描电子显微镜1详见公告附件合同履行期限：详见招标文件要求。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2024年01月04日 至 2024年01月10日，每天上午8:30至11:30，下午13:30至16:30。（北京时间，法定节假日除外）地点：山东大学招标采购管理系统方式：第一步：投标人在海逸恒安项目管理有限公司网站上录入单位名称、联系人及电话等信息；链接：http://www.sdhyha.cn/qpoaweb/prg/gys/baoming.aspx?id=37165GCXU；第二步：登录山东大学招标采购管理中心网站（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）进行投标人注册，注册完成山东大学招标采购管理中心审核通过后，在获取招标文件截止时间前再次登录系统在线报名本项目，报名审核成功后自助下载招标文件。 注：（1）本项目不收取招标文件工本费；（2）本项目实行资格后审，获取招标文件成功不代表资格后审的通过。售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：山东大学　　　　　地址：山东大学中心校区明德楼　　　　　　　　联系方式：马老师0531-88365560　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：海逸恒安项目管理有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：山东省济南市历下区华润置地广场A5-6号楼27楼招标三部　　　　　　　　　　　　联系方式：陈晓楠、向忆寒0531-82667532、18780039059　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：陈晓楠、向忆寒电　话：　　0531-82667532、18780039059

俄勒冈州希尔斯伯勒市，2022年8月1日讯。赛默飞世尔科技推出了Thermo Scientific Arctis冷冻等离子体聚焦离子束电镜（Cryo-PFIB），这是一款全新的自动化显微镜，经过设计可用于加快冷冻电子断层成像（Cryo-ET）研究的步伐。冷冻电子断层成像（Cryo-ET）技术使得细胞生理环境中的蛋白质研究和其他分子的运行机制研究成为可能，与其他显微镜技术相比，其分辨率达到了前所未有的水平，而且可以在细胞生物学研究方面发挥巨大的潜力，包括传染性疾病、神经退行性疾病和其他具有全球影响力的结构生物学应用。然而，为冷冻电子断层成像技术制备最佳样品的过程仍然耗时且复杂。Arctis Cryo-PFIB通过为用户提供先进的自动化和全新的连接解决方案能力，可以解决工作流程中的多种挑战，与其他的解决方案相比，Arctis Cryo-PFIB极大地提高了通量，可以快速、持续制备适用于冷冻电子断层成像技术的样品。该系统旨在提供厚度均一的高质量样品，同时最大限度地降低样品污染风险。用户可以享受到内置一体化光电联用显微技术、专用等离子体FIB技术、先进的自动化和全新的连接功能，包括简化上样和样品转移功能。亮点包括：1、一体化光电联用显微镜技术（CLEM）：用于快速定位感兴趣的区域。2、等离子体FIB技术：用于快速减薄大块样品并快速定位到感兴趣的区域。3、自动化功能：可简化样品制备并实现远程操作，与当前基于镓的冷冻FIB解决方案相比，可实现长时间的自动化运行、可重复的结果和更高的通量。4、工作流程中的连通性：可简化将样品转移到Thermo Scientific Krios或Glacios冷冻透射电子显微镜（Cryo-TEM）的过程。Arctis Cryo-PFIB 配备了赛默飞世尔科技推出的行业领先的自动上样系统（Autoloader），可自动装载多达12个载网。全新的专用TomoGrid可以确保减薄后的样品与透射电子显微镜倾斜轴实现最佳对齐。如要报名参加9月21日的全球新品发布网络研讨会，请扫描下方二维码注册研讨会。

项目编号：SHXM-00-20220511-1019项目名称：上海科技大学冷冻聚焦离子束显微镜预算编号： 0022-W13040 预算金额（元）： 23000000（/）最高限价（元）： 21390000 采购需求： 包名称：上海科技大学冷冻聚焦离子束显微镜 数量：1 预算金额（元）：23000000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：*束流范围：≥ 5pA – 2 uA； *最大平行场宽度（Maximum horizontal field width）：≥0.9mm （at coincidence point共聚点）； *分辨率（Xe+离子束，30kV）：≤20nm ； 合同履约期限： 收到信用证后90天内到上海科技大学 本项目（ 不允许 ）接受联合体投标。