纳米升降位移台

“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

TSMV5-2S精密升降台精心设计，结构小巧玲珑，精致。超精密螺纹驱动，弹簧拉紧，消除空回，位移准确。可连接两维倾斜调整架TSMT5-3和TSM13-1（2），组合成多维调节，使用方便。■技术指标微调高度(mm)5驱动丝杠台面尺寸(mm)25x25自重(kg)0.05关联产品 TSM13-1精密平移台 TSM13-2精密平移台 TSMT5-3两维倾斜调整架

仪器简介：If smallest parts or samples have to be moved or positioned with nanometer precision in the millimetre range, nanopositioning systems with piezo inertial drive are used. Very compact actors with appropriate control units are available for rotational and linear movements. The compatibility to each other allows the assembly of multi-axes combinations for complex movements. All the nanopositioning system have a piezo inertialdrive. With a travel in the millimetre range and steos in the nano meter range or with large adjustment range and steps in the &mu rad range, they are suitable for manifold applications. The basic components of the gonimeter are made of high strength aluminium. Due to a black anodized coating, the surface is protected and reflexion-poor. For the mounting of the nanopositioners, the mounting plate NMP 50is recommend. It is available as a ccessory. In order to operate the nanopositioners,the manual control unit NHS06 has to be used. The complete system is pluggable and ready for connection.技术参数：仪器名称,型号/参数行程最小步长最大步长负载 (N)重复定位精度(双向)倾斜力矩(Mx,My,Mz)(Nm)速度 纳米旋转位移台 NDT 24-30无限旋转角度40 &mu rad100&mu radmax.2 max.0.1max.100mrad/s 纳米旋转位移台 NDT 24-30-MSI无限旋转角度40 &mu rad100&mu radmax.240&mu radmax.0.1max.300mrad/s 纳米角度位移台 NAGO P 24－8± 3.3 度2 &mu rad6 &mu radmax.2 max.0.1 纳米角度位移台 NAGO T 24－8± 4度2 &mu rad6 &mu radmax.2 max.0.1 纳米升降位移台 NHV 24－66mm100nm300nmmax.3 max.0.1 纳米升降位移台 NHV 24－6－MSI6mm50nm700nmmax.3400 nmmax.0.1 纳米线性位移台 NLV 24-77mm200nm300nmmax.2 max.0.1max.0.3mm/s 纳米线性位移台 NLV 24-7-MSI7mm50nm700nmmax.2400nmmax.0.1max.0.7mm/s 纳米线性位移台 PT 30-54.8mm300nm800nmmax.30 max.0.5max.0.8mm/s 纳米线性位移台 PT 30-5-MSI4.8mm100nm2000nmmax.30400nmmax.0.5max.2mm/s 主要特点：&bull high power density on little space &bull 纳米量级或&mu rad量级可调 &bull 停止是无摆动或振荡 &bull 由高强度的铝制成，黑色阳极氧化 &bull with ceramic guide for high life time Option &bull version for use in cacuum

室温纳米精度位移台-attoECS 德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，其生产的位移器以稳定而优异的性能，原子定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。attoECS系列纳米位移台在提供高精度位移控制的同时，保证了优异而高的稳定性能，适用于室温、大气到超高真空环境中，负载可达几公斤，行程达到50mm，小步长50nm，配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm，提供多维度位移功能。attoECS位移台应用领域加速器及同步辐射计量测量学半导体空间科学attoECS位移台特点+ 在厘米的行程范围内，达到纳米高精度位移控制+ 高的机械稳定性+ 位移驱动电压45V，无需高压屏蔽+ 10nm位移精度，+/-200nm位移重复性，0.01% 精度+ 特殊材质，兼容各种光学实验环境和超高真空环境+ 快速样品更换装置设备型号ECS系列纳米位移台ECS系列线性位移器采用闭环（/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型单步位移步长为： 50nm。位移范围大为：50mm。位移器尺寸小为：30X30 mm。负载大24Kg。 线性纳米精度位移台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程(mm)载重(N)ECSx303030x30 9.550nm2090ECSx3030/NUMECSx304030x40 9.550nm25120ECSx3040/NUMECSx305030x50 9.550nm30150ECSx3050/NUMECSx306030x60 9.550nm35180ECSx3060/NUMECSx307030x70 9.550nm40210ECSx3070/NUMECSx308030x80 9.550nm50240ECSx3080/NUMECSx505050x50 9.550nm30150ECSx5050/NUMECSxy505050x50 16.450nm25x25150ECSxy5050/NUMECSz505050x50 3230nm88ECSz5050/NUMECR系列旋转台ECR系列旋转台技术参数表ECR系列旋转器采用闭环（/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型步长为： 0.4m°。可360度连续旋转。旋转台尺寸小为：30 mm × 30 mm。负载大2Kg。 高精度旋转台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程 载重(N)ECR3030 30x30 13.50.4m°360度（连续旋转）20ECR3030/NUMECR4040 40x40 14.50.2m°360度（连续旋转）20ECR4040/NUMECR5050hs 50x50 13.50.2m°360度（连续旋转）20ECR5050hs/NUM ECG系列倾角台ECG系列倾角台技术参数表ECG系列倾角台采用闭环（/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型步长为： 0.4m°。倾角范围：10°。倾角台尺寸为：50 mm × 50 mm。负载大1000g。 高精度倾角台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程载重(N)ECGt505050x50 170.1m°10°10ECGt5050/NUMECGp505050x50 170.1m°10°10ECGp5050/NUM应用案例■ attocube纳米位移台在大尺寸昆虫自然色三维高分辨率成像的应用 关键词：高分辨三维成像； 纳米精度位移台； C-SIM高分辨率三维成像技术在生物领域已经有非常多的应用。然而，当研究大型标本时，如厘米大小的昆虫，现有的三维成像工具往往非常耗时。此外，大多数3D成像系统无法得到标本的自然颜色信息。为了突破现有3D成像的局限性，中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术重点实验室姚保利课题组出了一种基于结构照明的方法，能够提供大的视场三维图像方法。采用这种方法，获得了580nm横向分辨率的自然彩色全尺寸昆虫的三维图像和三维形态数据。这种方法提供了一种很有前景的方法，可以用在不同类型的昆虫学研究，包括分类学、进化学、仿生学，发育生物学、功能形态学、古生物学、林业等。实验采用全新设计的彩色结构化照明显微镜（C-SIM），C-SIM中集成了德国attocube 的纳米精度位移台ECS3040（行程为25mm，分辨率1nm，精度50nm），这也是能够得到纳米分辨率的三维全彩图像的关键。 两种中华虎的三维成像结果 参考文献Vol. 27, No. 4 | 18 Feb 2019 | OPTICS EXPRESS 4845用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所… … 国外部分用户

Features500 μm or 100 μm Z-axis motionMultiwell plate sized aperture (4.3" x 6.3")Closed loop controlLow profile, easy to retrofitTypical ApplicationsHigh speed confocal microscopyHigh throughput fluorescence microscopySuper resolution microscopyProduct DescriptionThe Nano-ZL Series are long range, Z-axis nanopositioners specifically designed to hold multiwell plates used in biomedical research. High-throughput single cell fluorescence microscopy and high speed, high resolution confocal imaging can be accomplished while simultaneously adjusting the Z-axis position to remove the effects of multiwell plate irregularities. The Nano- ZL Series has true flexure guided motion and contains internal position sensing. Utilizing proprietary PicoQ® technology, the position sensors provide absolute, repeatable position measurement for closed loop control with a resolution of better than 1 nm over the full 500 micron travel range and sub-nanometer for the shorter 100 micron travel range. In addition to high resolution spatial imaging, the Nano-ZL step response allows entire Z-section acquisitions with minimal photo bleaching.Compatible Software Packages: Product Video Download Windows Media Player if thevideo is not playing above.Technical SpecificationsRange of motion (Nano-ZL100)100 μmResolution (Nano-ZL100)0.2 nmRange of motion (Nano-ZL500)500 μmResolution (Nano-ZL500)1 nmResonant Frequency250 HzRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgBody MaterialAluminumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-ZL Series DrawingNano-ZL Series Catalog PagesThe Nano-L Series is a featured product on our Piezo Stage website, which highlights our high-speed z-axis positioners. Additional information and resources are available there.Related ProductsNano-Z SeriesNano-ZS SeriesNano-Z50HSNano-F SeriesNano-F450Nano-HSZNano-MZMicroStage SeriesManual MicroStage SeriesManual MicroStage-LT SeriesAccessoriesNano-Drive®

压电纳米定位台是一款三维运动的压电平 台，行程可高达 100μm，适用于小型样品的三维纳米定位应用。产品特点■ 高速响应■ 压电陶瓷驱动■ 较高的重复定位精度■ 纳米级位移分辨率■ 机体材料为铝合金■ 具有开环和闭环两种控制方式■ 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证结构精度■ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构■ 采用精机的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力

FeaturesEngineered to retrofit to most microscopesLow profile: 0.8"Large aperture: 2.6” x 2.6”Long range motion: 100 μm or 200 μmClosed loop controlTypical ApplicationsOptical microscopyHigh speed confocal imagingHigh speed auto focusSuper resolution microscopyProduct DescriptionThe Nano-Z Series are single axis (Z-axis) nanopositioning systems with a low profile design, allowing it to be easily retrofit into existing instrumentation where space is restricted. With a large center aperture, the Nano-Z Series is ideal for confocal imaging and microscopy applications which require long range travel and fast, repeatable positioning. Combined with the high output power Nano-Drive?85, the Nano-Z Series is capable of a 3-4 ms step response - ideal for high speed, high precision applications. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ? technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. Nano-Z Series stage dimensions can be customized to fit into OEM applications.Compatible Software Packages: Nano-Z100 Position Noise SpectrumTechnical SpecificationsRange of motion (Nano-Z100)100 μmRange of motion (Nano-Z200)200 μmResolution (100/200 μm)0.2/0.4 nmResonant Frequency (100 μm)600 Hz ±20%Resonant Frequency (200 μm)450 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgBody MaterialAluminum or InvarControllerNano-Drive?/Nano-Drive?85* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-Z Series DrawingNano-Z Series Catalog PagesThe Nano-Z Series is a featured product on our Piezo Stage website, which highlights our high-speed z-axis positioners. Additional information and resources are available there.Related ProductsNano-Z50HSNano-Z500Nano-F SeriesNano-F25HSNano-F450Nano-HSZNano-MZNano-Align3 SeriesMicroStage SeriesManual MicroStage SeriesManual MicroStage-LT SeriesAccessoriesNano-Drive?/Nano-Drive?85

FeaturesEngineered to retrofit to most microscopesLow profile: 0.8"Large aperture: 2.6” x 2.6”Long range motion: 100 μm or 200 μmClosed loop controlTypical ApplicationsOptical microscopyHigh speed confocal imagingHigh speed auto focusSuper resolution microscopyProduct DescriptionThe Nano-ZS Series are single axis (Z-axis) nanopositioning systems with a low profile design, allowing it to be easily retrofit into existing instrumentation where space is restricted. With a large center aperture, the Nano-ZS Series is ideal for confocal imaging and microscopy applications which require long range travel and fast, repeatable positioning. Combined with the high output power Nano-Drive® 85, the Nano-ZS Series is ideal for high speed, high precision applications. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. Nano-Z Series stage dimensions can be customized to fit into OEM applications.Compatible Software Packages: Nano-ZS100 Position Noise SpectrumTechnical SpecificationsRange of motion (Nano-ZS100)100 μmRange of motion (Nano-ZS200)200 μmResolution (100/200 μm)0.2/0.4 nmResonant Frequency (100 μm)450 HzResonant Frequency (200 μm)250 HzStiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgBody MaterialAluminum or InvarControllerNano-Drive® /Nano-Drive® 85* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-ZS Series DrawingNano-ZS Series Catalog PagesThe Nano-ZS Series is a featured product on our Piezo Stage website, which highlights our high-speed z-axis positioners. Additional information and resources are available there.Related ProductsNano-Z SeriesNano-Z50HSNano-ZL SeriesNano-F SeriesNano-F25HSNano-F450Nano-HSZNano-MZNano-Align3 SeriesMicroStage SeriesManual MicroStage SeriesManual MicroStage-LT SeriesAccessoriesNano-Drive® /Nano-Drive® 85

NanoMax&trade 6轴挠性位移台，纳米定位特性X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供最高1 nm的分辨率高刚度挠性设计：X轴和Z轴：1 N/µ m Y轴：0.5 N/µ m共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本Thorlabs的NanoMax&trade 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。NanoMax 6轴位移台，带步进电机驱动器预配置DRV208步进电机驱动器，用于自动对准提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本选用的压电驱动器行程为30 µ m模块化设计便于拆卸和更换驱动器所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低Thorlabs带步进电机驱动器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)的行程为6°(105 mrad)。驱动器的双向重复性为5.0 µ m。霍尔效应限位开关提供高重复性，非常适用于电机归位。这一点对于依赖高重复性零点的自动对焦应用很关键。这些位移台重复性高，步进尺寸小，非常适合高精度自动光纤耦合系统或常规应用。附带驱动器的模块化设计便于随时更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请看驱动标签。每个位移台还包含六根PAA613 3 m延长电线，用于步进电机驱动器。除了以上特性，MAX682(/M)和MAX683(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µ m。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx、θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µ rad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台还包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。

FeaturesSingle axis (Z) motionStep response less than 1 millisecondScans up to 500 HzClosed loop controlCombine with Nano-OP Series for multi-axis configurationsTypical ApplicationsHigh speed, high resolution positioningMetrologyInterferometryProduct DescriptionThe Nano-HSZ is a high speed single axis (Z-axis) precision nanopositioning system. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. The Nano-HSZ offers a compact footprint, ultra low noise characteristics, and a resonant frequency greater than 7 kHz. These characteristics make it ideal for applications that require noise floors less than 10 picometers and/or high speed performance. With the step response time of the Nano-HSZ set to less than 1 millisecond for extremely high speed applications, scan frequencies up to 500Hz can be achieved.Nano-HSZ Position Noise SpectrumTechnical SpecificationsRange of motion (Z)10 μmResolution0.01 nmResonant Frequency7.5 kHz ±20%Scanning Speed (full amplitude)up to 500 HzStiffness12 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.1 kgRecommended max. load (vertical)*0.1 kgBody MaterialAl, Invar or TitaniumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-HSZ DrawingNano-HSZ Catalog PagesRelated ProductsNano-METZNano-HS SeriesNano-ZS SeriesNano-Z50HS SeriesNano-MZAccessoriesNano-Drive®

FeaturesCompact designLow profile: 0.8"Center aperture: 0.25” diameterClosed loop controlTypical ApplicationsHigh resolution Z-axis alignmentAFMMetrologyProduct DescriptionThe Nano-MZ is a compact Z-axis nanopositioning system with a small center aperture designed to be easily integrated into existing instrumentation where space is restricted. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. A related model, the Nano-M3Z, includes additional “tip” and “tilt” motions (θX ,θY) to the linear motion in the Z-axis. The Nano-MZ can also be used as a “building block” with other systems to form complex nanopositioning assemblies with multi-axis motion - see the Nano-M350 and the Nano-Man5.Technical SpecificationsRange of motion (Z)25 μmResolution0.05 nmResonant Frequency1100 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgBody MaterialAluminumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-MZ DrawingNano-MZ Catalog PagesRelated ProductsNano-F SeriesNano-ZS SeriesNano-ZL SeriesNano-P SeriesNano-HSZAccessoriesNano-Drive®

德国PI压电纳米位移台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

ANP系列 低温强磁场纳米精度位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已经为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能，原子定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31Tesla）。 产品特点与技术优势：当步进到制定位置后，施加在压电陶瓷上的电压变为0V，因此不存在由于外加电信号而产生噪音或飘逸问题；驱动定位器所需要的电压一般较低（60V或150V），因此不需要进行高压屏蔽，很多低压中使用的电缆和接口都可以在这里使用；Attocube定位器可以同时作为粗逼近装置和精细扫描头使用，因此大的提高了设备的稳定性和结构的紧凑性。基本参数： 工作温度范围：10mK - 373K 工作磁场环境：0 - 31Tesla 工作环境：大气 - 5E-11mbar 闭环位移控制精度：1nm 负载重量：大可到2Kg 大位移范围：50mm 位移器小尺寸：11X11mm ANP系列线性位移器采用闭环（/RES电阻式反馈与/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型单步位移步长为：室温300K下，50nm；低温4K下，10 nm。位移范围大为：20mm，位移器尺寸小为：11mm。负载大2000g。ANP系列线性位移台技术参数表 线性纳米精度位移台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程(mm)载重(N)ANPz30?11 1250nm@300K 10nm@4K2.50.1ANPx5115x15 9.250nm@300K 10nm@4K30.25ANPx51/RESANPx51/NUM+ANPz5115x15 13.550nm@300K 10nm@4K2.50.5ANPz51/RESANPz51/NUM+ANPz51eXT15x15 1750nm@300K 10nm@4K60.5ANPz51eXT/RESANPx10124x24 1150nm@300K 10nm@4K51ANPx101/RESANPx101/NUM+ANPz10124x24 2050nm@300K 10nm@4K52ANPz101/RESANPz101/NUM+ANPz101eXT1224x24 3250nm@300K 10nm@4K122ANPz101eXT12/RESANPz101eXT12/NUM+ANPz10224x24 2750nm@300K 10nm@4K52ANPz102/RESANPx31130x30 10100nm@300K 20nm@4K620ANPx101/RESANPx32140x41.6 11.5100nm@300K 20nm@4K1520ANPx321/RESANPx321/NUM+ANPx34140x45 11.5100nm@300K 20nm@4K2020国内部分用户名单（排名不分先后）attocube纳米精度位移器以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......北京大学清华大学中国科技大学南京大学中科院物理所中科院半导体所中科院武汉数学物理所上海同步辐射中心中科院上海应用技术物理研究所北京理工大学复旦大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……

低温mK纳米精度位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造公司。拥有20多年的高精度低温纳米位移台的研发和生产经验。公司已经为全科学家提供了5000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能，原子的定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31Tesla）。德国attocube公司一直以来保持与科学家的亲密合作关系，不断为量子光学领域提供新的实验平台来保证科学家们进行具有突破性的研究。近期重磅推出了适用于低温mK温区的铍铜材质纳米位移台。mK位移台应用领域表面科学磁/电学输运测量微腔光学量子光学适用于稀释制冷机的终解放方案mK位移台技术优势 当步进到制定位置后，施加在压电陶瓷上的电压变为0V，因此不存在由于外加电信号而产生噪音或飘逸问题； 驱动定位器所需要的电压一般较低（60V或150V），因此不需要进行高压屏蔽，很多低压中使用的电缆和接口都可以在这里使用； Attocube位移器可以同时作为粗逼近装置和精细扫描头使用，因此大的提高了设备的稳定性和结构的紧凑性 Attocube mK位移器采用铍铜（BeCu）材质，在端温度下会有更高的热导性和稳定性而且不会产生额外的磁场影响测量信号mK位移台基本参数 工作温度范围：10mK - 373K 工作磁场环境：0 - 31Tesla 工作环境：大气 - 5E-11mbar 闭环位移控制精度：1nm 负载重量：大可到2Kg 大位移范围：50mm 位移器小尺寸：11X11mm应用案例■ Attocube mK纳米位移台在分数量子霍尔效应区的非线性光学中的应用关键词：量子霍尔效应；四波混频；化激元设计光学光子之间的强相互作用是量子科学的一项重要挑战。来自瑞士苏黎世联邦理工学院（Institute of Quantum Electronics, ETH Zürich, Zürich,）的研究团队报告了在光学腔中嵌入一个二维电子系统的时间分辨四波混频实验，证明当电子初始处于分数量子霍尔态时，化激元间的相互作用会显著增强。此外，激子-电子相互作用导致化子-化激元的生成，还对增强系统非线性光学响应发挥重要作用。该研究有助于促进强相互作用光子系统的实现。（https://doi.org/10.1038/s41586-019-1356-3）值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，使用了德国attocube公司的低温mK环境适用纳米精度位移台来实现物镜的移动和聚焦。参考文献Knüppel, P., Ravets, S., Kroner, M. et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91–94 (2019). ■ Attocube mK纳米位移台在二维铁磁材料研究中的应用关键词：二维铁磁材料； 低温纳米精度位移台； 反铁磁态；二次谐波近年来，二维磁性材料在国际上成为备受关注的研究热点。近日，中国与美国的研究团队合作，在二维磁性材料双层三碘化铬中观测到源于层间反铁磁结构的非互易二次谐波非线性光学响应，并揭示了三碘化铬中层间反铁磁耦合与范德瓦尔斯堆叠结构的关联。研究团队同时发现，双层反铁磁三碘化铬的二次谐波信号相比于过去已知的磁致二次谐波信号（例如氧化铬Cr2O3），在响应系数上有三个以上数量的提升，比常规铁磁界面产生的二次谐波更是高出十个数量。利用这一强烈的二次谐波信号，团队得以揭示双层三碘化铬的原胞层堆叠结构的对称性。运用光学二次谐波这一方法来探测二维磁性材料的磁结构与相关特性是此实验的关键。团队利用自主研发搭建了的无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统，完成了关键数据的探测。（https://doi.org/10.1038/s41586-019-1445-3）值得指出的是，该无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统采用的是德国attocube公司的低温强磁场纳米精度位移台和低温扫描台来来实现样品的位移和扫描。德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已经为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。参考文献Sun, Z., Yi, Y., Song, T. et al. Giant nonreciprocal second-harmonic generation from antiferromagnetic bilayer CrI3. Nature 572, 497–501 (2019). ■ Attocube mK旋转台在石墨烯摩尔超晶格可调超导特性研究中的应用关键词：石墨烯；超晶格；高温超导高温超导性机制是凝聚态物理领域世纪性的课题。这种超导性被认为会在以Hubbard模型描述的掺杂莫特缘体中出现。近期，来自美国和中国的国际科研团队合作在nature上发表文章报道了在ABC-三层石墨烯（TLG）以及六方氮化硼（hBN）摩尔超晶格中发现可调超导性特征。研究人员通过施加垂直位移场，发现ABC-TLG/hBN超晶格在20开尔文的温度下表现出莫特缘态。进一步冷却操作发现，在温度低于1K的时候，该异质结的超导的特特性开始出现。通过进一步调控垂直位移场，研究人员还成功实现了超导体-莫特缘体-金属相的转变。电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后，在本底温度为40mK的稀释制冷剂内进行的。值得指出的是，样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行，这必须要求能够在低温（40mK）环境下能够良好工作工作的旋转台来移动样品，确保样品与磁场方向平行。实验中使用了德国attocube公司的mK纳米精度旋转台。Attocube公司能够提供水平和竖直方向的旋转台，实现使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果，证实了样品中存在的超导与Mott缘体与金属态的转变（结果如图所示），证明了三层石墨烯/氮化硼的超晶格为超导理论模型（Habbard model）以及与之相关的反常超导性质与新奇电子态的研究提供了模型系统。 ABC-TLG/hBN的超导性图左低温双轴旋转台；图右下：石墨烯/氮化硼异质节的超导性测量测试结果，样品通过attocube的mK适用旋转台旋转后方向与磁场方向平行参考文献Guorui CHEN et al, “Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice” Nature, 572, 215-219 (2019)■ Attocube 低温位移台在NV center在加压凝聚态系统中的量子传感中的应用关键词：NV色心；量子传感器压力引起的影响包括平面内部性质变化与量子力学相转变。由于高压仪器内产生巨大的压力梯度，例如金刚石腔，常用的光谱测量技术受到限制。为了解决这一难题，一个新奇的纳米尺度传感器被三个课题组研发，三个团队分别为巴黎十一大学，香港中文大学和加州伯克利大学。研究者把量子自旋缺陷集成到金刚石压腔中来探测端压力和温度下的微小信号，空间分辨率不受到衍射限限制。为此，加州伯克利大学团队使用与光学平台高度集成的闭循环德国attocube公司的attoDRY800低温恒温器来进行试验，attoDRY800中集成了attocube公司的低温纳米精度位移台，以此来实现快速并且控制金刚石压强的移动以及测量实验。参考文献[1] S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349~1354 (2019) ；[2] M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359~1362 (2019)；[3] K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355~1359 (2019).■ Attocube mK位移台在外加磁场和电场的加速化子中的应用人们普遍认为光子不能用电场或磁场操纵。尽管光子与电子化的杂化形成激子化子为在半导体微腔中进行了许多开创性的实验，这些微腔的中性玻色子性质准粒子严重限制了它们对外部规范场的响应。近，来自瑞士苏黎世联邦理工大学（ETH Zürich）Prof. Atac Imamoglu课题组展示了在非微扰耦合下的外电场和磁场加速化子和流动电子形成的新准粒子，称为化子。值得注意的是，我们还观察到化子的不同化成分可以当电子处于π1整数量子霍尔态时，能够在相反方向被加速。下图展示了其实验装置光路示意图和k | |=0处的对应光谱，x轴代表面内动量k |，y轴代表能量E，时间演化由激子腔失谐给出。 值得指出的是，值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，其使用了德国attocube公司的低温mK环境适用纳米精度位移台来实现样品的移动和聚焦。参考文献Chervy T , Knüppel, Patrick, Abbaspour H , et al. Accelerating Polaritons with External Electric and Magnetic Fields[J]. 2019.■ Attocube mK位移台在材料输运性质随磁场角度的变化研究中的应用 北京大学量子材料科学中心林熙课题组成功研制出基于attocube低温mK位移台研制的低温强磁场下的样品旋转台，用于测量材料的输运性质随磁场角度的变化研究。基本参数：旋转台型号: Attocube ANR101/RES系统环境温度: 20 mK电学测量温度: 22 mK旋转角度范围: -10°~90°实现角度分辨率:0.1°该系统是基于Leiden CF-CS81-600稀释制冷机系统的一个插杆，插杆的直径为81mm，attocube的mK位移台通过一个自制的转接片连接到插杆上，如图1所示，位于磁场中心的样品台的尺寸为5mm*5mm，系统磁场强度为10T。系统的制冷功率为340μW@120mK，得益于attocube低温位移台低的发热功率及工作时非常小的漏电流，使得旋转台能够很好的在＜200mK的温度下工作（工作参数：60V，4Hz, 300nF）。 图1. 实现的旋转示意图和ANR101装配好的实物图图2. 侧视图，电学测量的12对双绞线从旋转台的中心孔穿过 图3中是一个GaAs/AlGaAs样品在不同角度下测试结果，每一个出现小电导率的点，代表着不同的填充因子。很好的验证了其实验方案的可行性和稳定性。图3. Shubnikov–de Haas Oscillation at T = 100 mK 参考文献Rev. Sci. Instrum. 90, 023905 (2019)发表文章[1] P. Knüppel et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91 (2019). [2] C.T. Nguyen et al. An integrated nanophotonic quantum register based on silicon-vacancy spins in diamond. Phys. Rev. B 100, 165428 (2019).[3] P. Wang et al. Piezo-driven sample rotation system with ultra-low electron temperature. Rev. Sci. Instrum. 90, 023905 (2019). [4] G. Chen et al. Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice. Nature 572, 215 (2019). [5] S. Guiducci et al. Full electrostatic control of quantum interference in an extended trenched Josephson junction. Phys. Rev. B 99, 235419 (2019).[6] S. Ravets et al. Polaron polaritons in the integer and fractional quantum Hall regimes. Phys. Rev. Lett. 120, 057401 (2018).[7] L. Bours et al. Manipulating quantum Hall edge channels in graphene through scanning gate microscopy. Phys. Rev. B 96, 195423 (2017)[8] K. Yasuda et al. Quantized chiral edge conduction on domain walls of a magnetic topological insulator. Science 358, 1311 (2017).[9] A. M. Nikitin et al. Superconducting and ferromagnetic phase diagram of UCoGe probed by thermal expansion. Phys. Rev. B 95, 115151 (2017).[10] Y. Pan et al. Rotational symmetry breaking in the topological superconductor SrxBi2Se3 probed by upper-critical field experiments. Sci. Rep. 6, 28632 (2016).[11] G. Zhang et al. Global and local superconductivity in boron-doped granular diamond. Adv. Mater. 26, 2034, (2014).[12] M. Timmermans et al. Observing vortex motion on NbSe2 with STM. Physica C 503, 154 (2014).[13] M. Timmermans et al. Dynamic visualization of nanoscale vortex orbits. ACS Nano 8, 2782 (2014).[14] M. Pelliccione et al. Design of a scanning gate microscope in a cryogen-free dilution refrigerator. Rev. Sci. Instrum. 84, 033703 (2013)用户单位attocube纳米精度位移器以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......国内部分用户国外部分用户

FeaturesUltra-fast responseFemtometer noise floorHigh stabilityClosed loop controlCompact sizePicometer positioning resolutionTypical ApplicationsHigh speed, high resolution positioningMetrologyAFMSPMProduct DescriptionThe Nano-METZ is a compact z-axis nanopositioning system designed for high speed scanning and ultra-low noise characteristics for demanding AFM and metrology applications. The innovative design of the Nano- METZ coupled with our proprietary PicoQ® sensor technology yields a resonant frequency of 14.5kHz and a noise floor of 400 femtometers/√Hz. The result: unparalled speed, response and precision for the most demanding and discerning metrology applications. Related products include the Nano-MET2, Nano-MET3, Nano- MET10 and Nano-MET20 nanopositioning systems.Technical SpecificationsRange of motion5 μmResolution0.005 nmResonant Frequency14.5 kHzRecommended max. load (horizontal)*0.1 kgRecommended max. load (vertical)*0.1 kgBody MaterialAluminum or TitaniumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Position Noise SpectrumThe Nano-METZ demonstrates less than 400 femtometers of position noise. Click below to enlarge and view the data for all three axes.Additional InformationNano-METZ DrawingNano-METZ Catalog PagesRelated ProductsNano-MET SeriesNano-MET10 & Nano-MET20Nano-HSZNano-OP SeriesNano-MZAccessoriesNano-Drive® MadPLL® Instrumentation for AFM/NSOMSPM-M Kit Build Your Own AFM/NSOM

FeaturesHigh speed Z-axis motionLow profile: 0.77"Integrated sample holder50 μm motionClosed loop controlTypical ApplicationsOptical microscopyHigh speed confocal imagingUp to 150Hz sine wave motionProduct DescriptionThe Nano-Z50HS is a single axis (Z-axis) nanopositioning system designed to move a microscopy sample up to 50 microns at the fastest possible positioning speeds. The Nano-Z50HS is derived from the 3-axis, high speed, Nano-LPQ nanopositioning system but contains only the Z-axis piezo mechanisms. The resulting compact size allows the Nano-Z50HS to easily retrofit onto existing microscopes or fit into custom experimental set- ups. Since the only moving part is the integated sample holder, moving mass is minimized. Sample holders for slides, coverslips, and petri dishes are available. Custom sample holders can also be provided. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ? technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer resolution under closed loop control.Compatible Software Packages: Technical SpecificationsRange of motion50 μmResolution0.1 nmResonant Frequency1000 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*200 gBody MaterialAluminumControllerNano-Drive?85* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-Z50HS Drawing(top mount sample holder version)Nano-Z50HS Catalog PagesRelated ProductsNano-Z SeriesNano-Z500Nano-F25HSNano-OP Series High Speed Lens PositionersNano-HSZNano-LPQNano-PDQ SeriesAccessoriesNano-Drive?85

长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。 技术特点：超长行程：36mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：重复定位精度小于5nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

单轴长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：长行程：16mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：最小步长2nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。 10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。 纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。 也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有伺服电机 CM的直线工作台 由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 详细参数请下载数据单

德国PI六轴六足纳米位移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

FeaturesSingle axis (Z) motionLong range motion - 200μmCompact sizeClosed loop controlTypical ApplicationsPrecision optical alignment and mirror positioningHigh resolution probe positioningMetrologyProduct DescriptionThe Nano-CZ200 is a compact, long range, single axis (Z-axis) precision nanopositioning system. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with sub-nanometer resolution under closed loop control. An optional center aperture up to 0.25 inches in diameter (not shown in the picture) can be provided for applications which require an optical pathway through the stage. The Nano-CZ200 can be operated in any orientation and is ideally suited for precision alignment of optical elements or other components with limited size and weight.Technical SpecificationsRange of motion (Z)200 μmResolution0.4 nmResonant Frequency500 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.1 kgBody MaterialAluminumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-CZ200 DrawingNano-CZ200 Series Catalog PagesRelated ProductsNano-CZ500Nano-ZS SeriesNano-MZNano-3D200Nano-OP SeriesAccessoriesNano-Drive®

FeaturesSingle axis (Z) motionLong range motion - 500μmCompact sizeClosed loop controlTypical ApplicationsPrecision optical alignment and mirror positioningHigh resolution probe positioningMetrologyProduct DescriptionThe Nano-CZ500 is a compact, long range, single axis (Z-axis) precision nanopositioning system. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with nanometer resolution under closed loop control. An optional center aperture up to 0.5 inches in diameter provides an optical pathway through the stage. The Nano-CZ500 can be operated in any orientation and is well suited for static alignment and moderate speed, long range scanning applications.Technical SpecificationsRange of motion (Z)500 μmResolution1.0 nmResonant Frequency200 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.1 kgBody MaterialAluminumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-CZ500 DrawingNano-CZ500 Series Catalog PagesRelated ProductsNano-CZ200Nano-ZS SeriesNano-YT500AccessoriesNano-Drive®

Thorlabs 6轴挠性位移台MAX683，纳米定位Thorlabs的NanoMax? 6轴纳米定位挠性位移台采用平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有好的性能。非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。同时我们提供带或不带预配置压电驱动器（开环/闭环）、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的NanoMax?6轴位移台。我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专有设计，以尽量减少系统中不必要的运动。公共旋转点如下图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点点P是所有三个旋转轴（偏转、俯仰和摆动）的公共支点。Thorlabs NanoMax? 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位精密驱动NanoMax?6轴位移台提供预配置差分测微头驱动器或步进电机驱动器的位移台，即开即用。NanoMax 6轴位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。驱动器都直接耦合到底座，以尽量减少系统中不必要的运动。这种特性非常适合需要亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，我们有内置压电驱动器的版本包括开环和闭环。压电选项开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 μm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并消除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的好的选择。请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，必须在压电驱动器运行之前安装盲塞。配件的简易对准我们提供多种配件来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻的松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。Thorlabs NanoMax? 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位产品特性与参数X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供z高1 nm的分辨率高刚度挠性设计： X轴和Z轴：1 N/μm Y轴：0.5 N/μm共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到z低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本不带驱动器带步进电机驱动器带差分驱动器

产品描述PS3100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于FEA的优化这款平台提供动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为最下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。产品特性—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）—多种负载安装孔位—大承载设计—XY双向驱动带来更高动态特性选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—4通道驱动控制应用领域—精密加工领域—测量、计量—光学镜片调整与对准—图像处理与扫描 结构原理 堆叠形式 典型应用PS3L100-300UA系列技术参数

中图仪器CP系列纳米测厚台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。CP系列纳米测厚台阶仪测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数时，通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。CP系列台阶仪测量膜厚是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台CP系列纳米测厚台阶仪系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。典型应用部分技术指标型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

CP系列中图微纳米测量接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能CP系列中图微纳米测量接触式台阶仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。CP系列中图微纳米测量接触式台阶仪单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。典型应用台阶仪在太阳能光伏行业的应用台阶仪利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术指标型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器CP系列纳米台阶测厚仪高精度测量薄膜厚度是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。CP系列纳米台阶测厚仪高精度测量薄膜厚度应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。测量过程测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。典型应用CP系列纳米台阶测厚仪高精度测量薄膜厚度集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。仪器结构单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。部分技术指标型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Lxxx.indus 系列压电线性运动位移台极简工业风的运动模块多自由度纳米级运动也可以搭积木&bull 超安静运动，20 kHz驱动频率；&bull 极紧凑外形设计；&bull 内置集成光学位置传感器；&bull 30, 60, 100, 150 & 200 mm多行程可选；&bull 高负载，支持多种拼接案例；&bull 闭环控制 空间传感分辨率 2 nm；&bull 最小步伐优于 10 nm；&bull 可提供多轴堆叠安装转接件；&bull 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；&bull 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用L030.indus尺寸：63 mm x 24 mm x 14 mm行程：30 mmL060.indus尺寸：105 mm x 24 mm x 16 mm行程：60 mmL100.indus尺寸：180 mm x 24 mm x 17 mm行程：100 mmL150.indus尺寸：300 mm x 36 mm x 16.5 mm行程：150 mmL200.indus尺寸：295 mm x 80 mm x 20 mm行程：200 mm压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——详细参数：压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——尺寸图：L030.indusL060.indusL100.indusL150.indusL200.indus

手动位移台连接板配件 OMLA系列转接板产品特点：材质：6061-T4 铝合金精密加工并经黑色阳极氧化处理的高强度铝合金材料，通过减少表面反射最大程度的降低对光学系统的影响。提供红星杨标准手动产品与光学平台之间的连接。 产品介绍：OMTOOLS转接板适用于手动位移台、升降台等产品，常用于与标准孔距光学平台之间的连接。 选型表：型号主体材质适用的手动产品主体尺寸表面处理OMLA016061-T4 铝合金SPYD40、SPYD60OMHB40、OMHB6065x100x10mm黑色阳极氧化OMLA026061-T4 铝合金SPYD8080x125x10mm黑色阳极氧化OMLA036061-T4 铝合金SPYD100100x150x10mm黑色阳极氧化OMLA046061-T4 铝合金SPYD125125x175x10mm黑色阳极氧化OMLA056061-T4 铝合金OMHB125A、OMHB125B、OMHB125C125x175x10mm黑色阳极氧化OMLA066061-T4 铝合金SPYC25L50、SPYC25L70、SPYC25L100、SPYC25L150、SPYC25L20060x65x10mm黑色阳极氧化OMLA076061-T4 铝合金SPYC4040、SPYC4060、SPYC4090SPYC40L100、SPYC4015065x120x10mm黑色阳极氧化OMLA086061-T4 铝合金SPYC40L200、SPYC40L250SPYC40L30065x220x10mm黑色阳极氧化

中图仪器CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。工作原理测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。在太阳能光伏行业的应用台阶仪通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术参数型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。