晶圆表面用二氧化硅 SiO2微粒子标准溶液粒子
晶圆表面用二氧化硅 SiO2微粒子标准溶液粒子产品名称:SiO2微粒子标准溶液纳米级别二氧化硅SiO2标准粒子晶圆表面用二氧化硅 纳米二氧化硅™ 尺寸标准 MSP Corporation 的 NanoSilica™ Size Standards 是 SiO2颗粒的浓缩水悬浮液,具有高度均匀的尺寸分布。这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15至 200 nm,非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。 虽然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉积系统为表面缺陷校准标准的生产提供了最佳结果,但较旧的 MSP 系统和其他制造商的系统也适用于纳米二氧化硅尺寸标准。特征+ 极其均匀的尺寸分布我们的纳米二氧化硅尺寸标准采用获得专利的 SiO2合成工艺开发,其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。+ 使用 SI 可追溯性测量的峰直径允许产量提高和计量小组根据 ISO 9000 标准和 SEMI 指南建立其检查和缺陷审查方法的可追溯性。+ 受到强烈 DUV 辐射时稳定MSP 的 SiO2颗粒在暴露于 DUV 辐射时不会降解,这与 PSL 球体不同,PSL 球体的尺寸会减小。+ 易于使用NanoSilica 颗粒悬浮液在滴管瓶中提供,以便在您的应用中混合具有适当数量浓度的悬浮液时使用方便。+ 高粒子浓度一些应用需要高浓度。 MSP 的颗粒浓度是业内最高的之一。 + 轻松辨别模态(峰值)直径+ 避免由于平均和峰值直径值之间的差异而导致的差异+ 制备适用于效率相对较高或较低的气溶胶产生装置的稀释悬浮液+ 为最先进的检测工具创建持久的校准标准+ 消耗更少的材料;存钱+ 随附校准和可追溯性证书以及带有处理和处置说明的安全数据表 (SDS) 型号 目录编号标称粒径 [nm] 认证1峰值直径 [nm]大约Size Dist. Width, RFWHM2 1044NS-0015A1514-1613%1046NS-0018A1817-1912%1047NS-0020A2019-2111%1048NS-0024A2423-2510%1075NS-0027A2726-289%1049NS-0030A3029-318%1079NS-0032A3231-337%1062NS-0035A3534-367%1076NS-0037A3736-386%1051NS-0040A4039-416%1063NS-0045A4544-465%1052NS-0050A5049-515%1077NS-0055A5553-575%1053NS-0060A6058-624%1067NS-0064A6462-664%1054NS-0070A7068-724%1068NS-0074A7472-764%1055NS-0080A8078-824%1069NS-0084A8482-864%1057NS-0090A9088-924%1070NS-0094A9492-964%1058NS-0100A10098-1024%1071NS-0104A104102-1064%1059NS-0125A125120-1304%1060NS-0150A150145-1554%1061NS-0200A200190-2104%1给定目录号的认证直径将在规定范围内提供。2相对半高宽(半高全宽); FWHM 除以模态直径。 规格粒子组成无定形SiO2粒子密度1.9 克/厘米3折射率633纳米时为1.41英寸体积5 毫升专注每毫升 1013至 1015颗粒截止日期≥ 24 个月 添加剂乙醇(按质量计 5-20%)有机稳定剂(0.1% 质量) 储存和处理在室温下储存(参见校准和可追溯性证书更多详情。 NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液,微粒子尺寸从18nm到200nm都可选择,是市面上最理想、高质量的校正标准,适用于最新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。 最先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正,但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷,当UV光重复打在PSL球形化粒子上,将影响到PSL球形化粒子的质量 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量,因此SiO2微粒子是最佳的替代产品。 NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有专利的SiO2合成技术,可以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布,从目前最小的微粒子尺寸来看,NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸最均匀,适合做尺寸大小峰值的量测的工具。 NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品,加上ISO 9000与SEMI的认证,让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。 NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴定,让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限,而且提供NIST-traceable证明书与MaterialSafety Data Sheet (MSDS)说明书。 产品优势 • 尺寸大小分布均匀 • NIST traceability 的尺寸大小 • DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量 • 高浓缩度微粒子悬浮溶液 产品效益 • 易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值 • 可避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性 • 适合气胶产生设备使用 • 提供耐久校正标准给先进的检测设备使用 • 省钱而且耗用量少