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无线针孔探测器

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    仪器信息网主办的第七届质谱网络会议(ICMS 2016)将于2016年11月22日拉开帷幕。本次滨松中国将首次参会,并有滨松分析领域高级销售工程师,于11月23日的质谱新技术论坛发表《滨松质谱探测器简介与新一代真空紫外电离源》报告。全面介绍滨松用于质谱的探测器和新型离子化光源产品。 会议时间:11月23日 10:40-11:10 会议地点:仪器信息网质谱网络会议线上会场 会议详情及报名:敬请关注仪器信息网第七届质谱网络会议(ICMS 2016)专题页面内容预览:在质谱应用中,滨松提供了离子化光源、mcp、电子倍增器三种产品。离子化光源相对于质谱仪常规使用的pid灯而言,其能量在峰值处更强。而软离子化的方式具有没有碎片的特征,因此广泛适用于各种大分子的生物分析。在探测端,MCP(微通道板)和EM(电子倍增器,已有40年的历史)分别具有定性和定量的功能,作为支持高度定制化的“高端人士”而受到关注。其中,mcp对于使用环境比较“娇气”,易受潮形变,相对于同类产品来说,具有机械鲁棒性的滨松mcp抗潮性较强,保证了仪器的可靠性,也降低了维护的成本。而其组建也具快速时间响应的特性,可达45皮秒的级别。用于定量的滨松em则广泛用于四极杆系统以及离子井系统,具有较宽的动态范围,并支持正负离子的同时探测。更多内容,敬请关注11月23日10:40仪器信息网第七届质谱网络会议(ICMS 2016)质谱新技术论坛《滨松质谱探测器简介与新一代真空紫外电离源》报告!
  • 电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(二) - 探测器系统
    这里是TESCAN电镜学堂第五期,将继续为大家连载《扫描电子显微镜及微区分析技术》(本书简介请至文末查看),帮助广大电镜工作者深入了解电镜相关技术的原理、结构以及最新发展状况,将电镜在材料研究中发挥出更加优秀的性能!第二节 探测器系统扫描电镜除了需要高质量的电子束,还需要高质量的探测器。上一章中已经详细讲述了各种信号和衬度的关系,所以电镜需要各种信号收集和处理系统,用于区分和采集二次电子和背散射电子,并将SE、BSE产额信号进行放大和调制,转变为直观的图像。不同厂商以及不同型号的电镜在收集SE、BSE的探测器上都有各自独特的技术,不过旁置式电子探测器和极靴下背散射电子检测器却较为普遍,获得了广泛的应用。§1. 旁置式电子探测器(ETD)① ETD的结构和原理旁置式电子探测器几乎是任意扫描电镜(部分台式电镜除外)都具备的探测器,不过其名称叫法很多,有的称为二次电子探测器(SE)、有的称为下位式探测器(SEL)等。虽然名称不同,但其工作原理几乎完全一致。这里我们将其统一称为Everhart Thornley电子探测器,简称为ETD。二次电子能量较小,很容易受到其它电场的影响而产生偏转,利用二次电子的这个特性可以对它进行区分和收集,如图3-25。在探测器的前端有一个金属网(称为法拉第笼),当它加上电压之前,SE向四周散射,只有朝向探测器方向的少部分SE会被接收到;当金属纱网加上+250V~350V的电压时,各个方向散射的二次电子都受到电场的吸引而改变原来的轨迹,这样大部分的二次电子都能被探测器所接收。图3-25 ETD的外貌旁置式电子探测器主要由闪烁体、光电管、光电倍增管和放大器组成,实物图如图3-26,结构图如图3-27。从试样出来的电子,受到电场的吸引而打到闪烁体上(表面通常有10kV的高压)产生光子,光子再通过光导管传送到光电倍增管上,光电倍增管再将信号送至放大器,放大成为有足够功率的输出信号,而后可直接调制阴极射线管的电位,这样便获得了一幅图像。图3-26 旁置式电子探测器的工作原理图3-27 Everhart-Thornley电子探测器的结构图一般电镜的ETD探测器的闪烁体部分都使用磷屏,成本相对较低,不过其缺点是在长时间使用后,磷材质会逐步老化,导致电镜ETD的图像信噪比越来越弱,对于操作者来说非常疲劳,所以发生了信噪比严重下降的时候需要更换闪烁体。而TESCAN全系所有电镜的ETD探测器的闪烁体都采用了钇铝石榴石(YAG)晶体作为基材,相比磷材质来说具有信噪比高、响应速度快、无限使用寿命、性能不衰减等特点。② 阴影效应ETD由于在极靴的一侧,而非全部环形对称,这样的几何位置也决定了其成像有一些特点,比如会产生较强的阴影效应。ETD通过加电场来改变SE的轨迹,而当样品表面凹凸较大,背向探测器的“阴面”所产生的二次电子的轨迹不足以绕过试样而最终被试样所吸收。在这些区域,探测器采集不到电子信号,而最终在图像上呈现更暗的灰度。而在朝向探测器的阳面,产生的信号没有任何遮挡,呈现出更亮灰度,这就是阴影效应。如图3-28,A和B区域倾斜度相同,按照倾斜角和产额的理论两者的二次电子产额相同。但是A区域的电子可被探测器无遮挡接收,而B区域则有一部分电子要被试样隆起的部分吸收掉,从而造成ETD实际收集到的电子产额不同,显示在图像上明暗不同。图3-28 ETD的阴影效应阴影效应既是优点也是缺点,阴影效应给图像形成了强烈的立体感,但有时也会使得我们对一些衬度和形貌难以做出准确的判断。如图3-29,左右两者图仅仅是图像旋转了180度,但试样表面究竟是球形凸起还是凹坑,一时难以判断,可能会给人视觉上的错觉。图3-29 球状突起物还是球状凹坑不过遇到这样的视觉错觉也并非无计可施,我们可以利用阴影效应对图像的形貌做出准确的判断。首先将图像旋转至特定的几何方向,将ETD作为图像的“北”方向,电子束从左往右进行扫描。如果形貌表面是凸起,电子束从上扫到下,先是经过阳面然后经过阴面,表现在图像上则应该是特征区域朝上的部分更亮。反之,如果表面是凹坑,则图像上朝上的部分显得更暗。由此,我们可以非常快速而准确的知道样品表面实际的起伏情况。(后面还将介绍其它判断起伏的方法)图3-30 利用阴影效应进行形貌的判断③ ETD的衬度在以前很多地方都把ETD称之为SE检测器,这种叫法其实不完全正确。ETD除了能使得SE偏转而接收二次电子,也能接收原来就向探测器方向散射的背散射电子。所以在加上正偏压的情况下,ETD接收到的是SE和BSE的混合电子。据一些报道称,其中BSE约占10-15%左右。如果将ETD的偏压调小,探测器吸引SE的能力变弱,而对BSE几乎没有什么影响。所以可以通过改变ETD的偏压来调节其接收到的SE和BSE的比例。如果将ETD的偏压改为较大的负电压,由于SE的能量小于50eV,受到电场的斥力,不能达到探测器位置,而朝向探测器方向散射的BSE因为能量较高不易受电场影响而被探测器接收,此时ETD接收到的完全是背散射电子信号。如图3-31,铜包铝导线截面试样在ETD偏压不同下的图像,左图主要为SE,呈现更多的形貌衬度;右图全部BSE,呈现更多的成分衬度。图3-31 ETD偏压对衬度的影响所以不能把使用ETD获得的图像等同于SE像,更不能等同于形貌衬度。这也是为什么作者更倾向于用ETD来称呼此探测器,而不把它叫做二次电子探测器。④ ETD的缺点ETD是一种主动式加电场吸引电子的工作方式,它不但能影响二次电子的轨迹,同时也会对入射电子产生影响。在入射电子能量较高时,这种影响较弱,但随着入射电子能量的降低,这种影响越来越大,所以ETD在低电压情况下,图像质量会显著下降。此外,ETD能接收到的信号相对比较杂乱,除了我们希望的SE1外,还接收了到了SE2、SE3和BSE,如图3-32。而后面三种相对来说分辨率都较SE1低很多,尤其SE3,更是无用的背底信号,这也使得ETD的分辨率相对其它镜筒内探测器来说要偏低。图3-32 ETD实际接收的信号§2. 极靴下固体背散射探测器背散射电子能量较高,接近原始电子的能量,所以受其它电场力的作用相对较小,难以像ETD探测器一样通过加电场的方式进行采集。极靴下固体背散射电子探测器是目前通用的、被各厂商广泛采纳的技术。极靴下固体背散射电子探测器一般采用半导体材料,位置放置在极靴下方,中间开一个圆孔,让入射电子束能入射到试样上,如图3-33。原始电子束产生的二次电子和背散射电子虽然都能达到探测器表面,不过由于探测器表面采用半导体材质,半导体具有一定的能隙,能量低的二次电子不足以让半导体的电子产生跃迁而形成电流,所以二次电子对探测器无法产生任何信号。而背散射电子能量高,能够激发半导体电子跃迁而产生电信号,经过放大器和调制器等获得最终的背散射电子图像,如图3-34。图3-33 极靴下背散射电子信号采集示意图图3-34 半导体式固体背散射电子探测器极靴下固体背散射电子探测器属于完全被动式收集,利用半导体的能带隙,将二次电子和背散射电子自然区分开。探测器本身无需加任何电场或磁场,对入射电子束也不会有什么影响,因此这种采集方式得到了广泛运用。有的固体背散射电子探测器被分割成多个象限,通过信号加减运算,可以实现形貌模式、成分模式和阴影模式等,有关这个技术和应用将在后面的章节中进行介绍。极靴下固体背散射电子探测器除了使用半导体材质外,还有使用闪烁体晶体的,比如YAG晶体。闪烁体型的工作原理和半导体式类似,如图3-36。能量低的二次电子达到背散射电子探测器后不会有任何反应,而能量高的背散射电子却能引起闪烁体的发光。产生的光经过光导管后,在经过光电倍增管,信号经过放大和调制后转变为BSE图像。闪烁体相比半导体式的固体背散射电子探测器来说,拥有更好的灵敏度、信噪比和更低的能带宽度,见图3-35。图3-35 不同材质BSE探测器的灵敏度图3-36 YAG晶体式固体背散射电子探测器一般常规半导体二极管材质的灵敏度约为4~6kV,也就说对于加速电压效应5kV时,BSE的能量也小于5kV。此时常规的半导体背散射电子探测器的成像质量就要受到很大的影响,甚至没有信号。后来半导体二极管材质表面进行了一定的处理,将灵敏度提高到1~2kV左右,对低电压的背散射电子成像质量有了很大的提升。而YAG晶体等闪烁体的灵敏度通常在500V~1kV左右。特别是在2015年03月,TESCAN推出了最新的闪烁体背散射电子探测器LE-BSE,更是将灵敏度推向到200V的新高度,可以在200V的超低电压下直接进行BSE成像。因为现在低电压成像越来越受到重视和应用,但是以往只是针对SE图像;而现在BSE图像也实现了超低电压下的高分辨成像,尤其对生命科学有极大的帮助,如图3-37。图3-37 LE-BSE探测器的超低电压成像:1.5kV(左上)、750V(右上)、400V(左下)、200V(右下)§3. 镜筒内探测器前面已经说到ETD因为接收到SE1、SE2、SE3和部分BSE信号,所以分辨率相对较低,为了进一步提高电镜的分辨率,各个厂商都开发了镜筒内电子探测器。由于特殊的几何关系,降低分辨率的SE2、SE3和低角BSE无法进入镜筒内部,只有分辨率高的SE1和高角BSE才能进入镜筒,因此镜筒内的电子探测器相对镜筒外探测器分辨率有了较大的提高。不过各个厂家或者不同型号的镜筒内探测器相对来说不像镜筒外的比较类似,技术差别较大,这里不再进行一一的介绍,这里主要针对TESCAN的电镜进行介绍。TESCAN的MIRA和MAIA场发射电镜都可以配备镜筒内的SE、BSE探测器,如图3-38。图3-38 TESCAN场发射电镜的镜筒内电子探测器值得注意的是InBeam SE和InBeam BSE是两个独立的硬件,这和部分电镜用一个镜筒内探测器来实现SE和BSE模式是截然不同的。InBeam SE探测器设计在物镜的上方斜侧,可以高效的捕捉SE1电子,InBeam BSE探测器设计在镜筒内位置较高的顶端,中心开口让电子束通过,形状为环形探测器,可以高效的捕捉高角BSE。镜筒内的两个探测器都采用了闪烁体材质,具有良好的信噪比和灵敏度,而且各自的位置都根据SE和BSE的能量大小和飞行轨迹,做了最好的优化。而且两个独立的硬件可以实现同时工作、互不干扰,所以TESCAN的场发射电镜可以实现镜筒内探测器SE和BSE的同时采集,而一个探测器两种模式的设计则不能实现SE和BSE的同时扫描,需要转换模式然后分别扫描。§4. 镜筒内探测器和物镜技术的配合镜筒内电子探测器分辨率比镜筒外探测器高不仅仅是由于其只采集SE1和高角BSE电子,往往是镜筒内探测器还配了各家特有的一些技术,尤其是物镜技术。TESCAN和FEI的半磁浸没模式、日立的磁浸没式物镜和E×B技术,蔡司的复合式物镜等,这里我们也不一一进行介绍,主要针对使用相对较多半磁浸没式透镜技术与探测器的配合做简单的介绍。常规无磁场透镜和ETD的配合前面已经做了详细介绍,如图3-39左。几乎所有扫描电镜都有这样的设计。而在半磁浸没式物镜下(如MAIA的Resolution模式),向各个方向散射的二次电子和角度偏高的背散射电子会在磁透镜的洛伦兹力作用下,全部飞向镜筒内。二次电子因为能量低所以焦距短,在物镜附近盘旋上升并快速聚焦,如图3-39中。因此只要在物镜附近上方的侧面放置一个类似ETD的探测器,只需要很小的偏压,就能将已经聚焦到一处的二次电子全部收集起来,同时又不会对原始电子束产生影响。所以镜筒内二次电子探测器与半浸没式物镜融为一体、相辅相成,提升了电镜的分辨率,尤其是低电压下的分辨率。背散射电子因为能量高,焦距较长,相对高角的背散射电子能够聚焦到镜筒内,在物镜附近聚焦后继续向上方发散飞行。此时在这部分背散射电子的必经之路上放置一个环形闪烁体,就可以将高角BSE全部采集,如图3-39右。图3-39 常规无磁场物镜和ETD(左)、半浸没式物镜和镜筒内探测器(中、右)§5. 扫描透射探测器(STEM)当样品很薄的时候,电子束可以穿透样品形成透射电子,因此只要在样品下方放置一个探测器就能接收到透射电子信号。一般STEM探测器有两种,一种是可伸缩式,一种是固定式,如图3-40。固定式的STEM探测器是将样品台与探测器融合在了一起,样品必须为标准的φ3铜网或者制成这样的形状(和TEM要求一样)。图3-40 可伸缩式STEM(左)与固定式STEM(右)STEM探测器和背散射电子探测器类似,一般也采用半导体材质,并分割为好几块,如图3-41。其中一块位于样品的正下方,主要用于接收正透过样品的透射电子,即所谓的明场模式;还有的位于明场探测器的周围,接收经过散射的透射电子,即所谓的暗场模式。有的STEM探测器在暗场外围还有一圈探测器,接收更大散射角的透射电子,即所谓的HAADF模式。不过即使没有HAADF也没关系,只要样品离可伸缩STEM的距离足够近,暗场探测器也能接收到足够大角度散射的透射电子,得到的图像也类似HAADF效果。图3-41 STEM探测器结构§6. 其它探测器除了电子信号探测器外,扫描电镜还可以配备很多其它信号的探测器,比如X射线探测器、荧光探测器、电流探测器等。不过电镜厂家相对来说只专注于电子探测器,而TESCAN相对来说比较全面,除了X射线外,其它信号均有自己的探测器。X射线探测器将在能谱部分中做详细的介绍。① 荧光探测器TESCAN的荧光探测器按照几何位置分为标准型和紧凑型两种,如图3-42。标准型荧光探测器类似极靴下背散射电子探测器,接收信号的立体角度较大,信号更强,不过和极靴下背散射电子探测器会有位置冲突;而紧凑型荧光探测器类似能谱仪,从极靴斜上方插入过来,和背散射探测器可以同时使用,不过接收信号的立体角相对较小。图3-42 标准型(左)和紧凑型(右)荧光探测器如果按照性能来分,荧光探测器又分为单色和彩色两类,如图3-43。单色荧光将接收到的荧光信号经过聚光系统进行放大,不分波长直接调制成图像;彩色荧光信号经过聚光系统后,再经过红绿蓝三原色滤镜后,分别进行放大处理,再利用色彩的三原色叠加原理产生彩色的荧光图像。黑白荧光和彩色荧光和黑白胶片及数码彩色CCD原理极其类似。一般单色型探测器由于不需要滤镜,所以有着比彩色型更好的灵敏度;而彩色型区分波长,有着更丰富的信息。为了结合两者的优势,TESCAN又开发了特有的Rainbow CL探测器。在普通彩色荧光探测器的基础上增加了一个无需滤镜的通道,具有四通道,将单色型和彩色型整合在了一起,兼顾了灵敏度和信息量。图3-43 黑白荧光和彩色荧光探测器阴极荧光因为其极好的检出限,对能谱仪/波谱仪等附件有着很好的补充作用,不过目前扫描电镜中配备了阴极荧光探测器的还不多。图3-44含CRY18(蓝)和YAG-Ce(黄)的阴极荧光(左)与二次电子(右)图像② EBIC探测器EBIC探测器结构很简单,主要由一个可以加载偏压的单元和一个精密的皮安计组成。甚至EBIC可以和纳米机械手进行配合,将纳米机械手像万用表的两极一样,对样品特定的区域进行伏安特性的测试,如图3-45。图3-45 EBIC探测器与纳米机械手配合检测伏安特性 第三节、真空系统和样品室内(台)电子束很容易被散射,所以SEM电镜必须保证从电子束产生到聚焦到入射到试样表面,再到产生的SE、BSE被接收检测,整个过程必须是在高真空下进行。真空系统就是要保证电子枪、聚光镜镜筒、样品室等各个部位有较高的真空度。高真空度能减少电子的能量损失,提高灯丝寿命,并减少了电子光路的污染。钨灯丝扫描电镜的电子源真空度一般优于10-4Pa,通常使用机械泵—涡轮分子泵,不过一些较早型号的电镜还采用油扩散泵。场发射扫描电镜电子源要求的真空度更高,一般热场发射为10-7Pa,冷场发射为10-8Pa。场发射SEM的真空系统主要由两个离子泵(部分冷场有三个离子泵)、扩散泵或者涡轮分子泵、机械泵组成。而对于样品室的真空度,钨灯丝和欧美系热场的要求将对较低,一般优于2×10-2Pa即可开启电子枪,所以换样抽真空的时间比较短;而日系热场电镜或者冷场电镜则要达到更高的真空度,如9×10-4Pa才能开启电子枪。为了保证换样时间,日系电镜一般都需要额外的交换室,在换样的时候,利用交换室进行,不破坏样品室的真空。而欧美系电镜普遍采用抽屉式大开门的样品室设计。两种设计各有利弊,抽屉式设计一般样品室较大,可以放置更大更多的样品,效率高。或者对于有些特殊的原位观察要求,大开门设计才可能放进各种体积较大的功能样品台,如加热台、拉伸台;交换室相对来说更有利于保护样品室的洁净度,减少污染。不过大开门式设计也可以加装交换室,如图3-46,达到相同的效果,自由度更高。图3-46 大开门试样品室加装手动(左)和自动(右)交换室而且一些采用了低真空(LV-SEM)和环境扫描(ESEM)技术的扫描电镜的样品室真空可分别达到几百帕和接近三千帕。具备低真空技术的电镜相对来说真空系统更为复杂,一般也都会具备高低真空两个模式。在低真空模式下一般需要在极靴下插入压差光阑,以保证样品室处于低真空而镜筒处于高真空的状态下。不过加入了压差光阑后,会使得电镜的视场范围大幅度减小,这对看清样品全貌以及寻找样品起到了负面作用。样品室越大,电镜的接口数量也越多,电镜的可扩展性越强,不过抽放真空的时间会相对延长。TESCAN电镜的样品室都是采用一体化切割而成,没有任何焊缝,稳定性更好;而一般相对低廉的工艺则是采用模具铸造。电镜的样品台一般有机械式和压电式两种,一般有X、Y、Z三个方向的平移、绕Z的旋转R和倾斜t五个维度。当然不同型号的电镜由于定位或者其它原因,五个轴的行程范围有很大区别。一般来说机械马达的样品台稳定性好、承重能力强、但是精度和重复性相对较低;压电陶瓷样品台的精度和重复性都很好,但是承重能力比较弱。样品台一般又有真中央样品台和优中心样品台之分。样品台在进行倾转时都有一个倾转中心,样品台绕该中心进行倾转。如果样品观察的位置恰好处于倾转中心,那么倾转之后电镜的视场不变;但如果样品不在倾转中心,倾转后视场将会发生较大变化。特别是在做FIB切割或者EBSD时,样品需要经过五十几度和七十度左右的大角度倾转,电镜视场变化太大,往往会找不到原来的观察区域。在大角度倾转的情况下如果进行移动的话,此时样品会在高度方向上也发生移动,不注意容易碰撞到极靴或者其它探测器造成故障,这对操作者来说是危险之举。而优中心样品台则不一样,只要将电子束合焦好,电镜会准确的知道观察区域离极靴的距离,在倾转后观察区域偏离后,样品台能自动进行Y方向的平移进行补偿,保持观察的视野不变,如图3-47。图3-47 真中央样品台与优中心样品台【福利时间】每期文章末尾小编都会留1个题目,大家可以在留言区回答问题,小编会在答对的朋友中选出点赞数最高的两位送出本书的印刷版。【本期问题】半导体材质的探测器和YAG晶体材质的探测器哪个更有利于在低加速电压下成像,为什么?(快关注微信回答问题领取奖品吧→)简介《扫描电子显微镜及微区分析技术》是由业内资深的技术专家李威老师(原上海交通大学扫描电镜专家,现任TESCAN技术专家)、焦汇胜博士(英国伯明翰大学材料科学博士,现任TESCAN技术专家)、李香庭教授(电子探针领域专家,兼任全国微束分析标委会委员、上海电镜学会理事)编著,并于2015年由东北师范大学出版社出版发行。本书编者都是非常资深的电镜工作者,在科研领域工作多年,李香庭教授在电子探针领域有几十年的工作经验,对扫描电子显微镜、能谱和波谱分析都有很深
  • 【新书推荐】宽禁带半导体紫外光电探测器
    基于宽禁带半导体的固态紫外探测技术是继红外、可见光和激光探测技术之后发展起来的新型光电探测技术,是对传统紫外探测技术的创新发展,具有体积小、重量轻、耐高温、功耗低、量子效率高和易于集成等优点,对紫外信息资源的开发和利用起着重大推动作用,在国防技术、信息科技、能源技术、环境监测和公共卫生等领域具有极其广阔的应用前景,成为当前国际研发的热点和各主要国家之间竞争的焦点。我国迫切要求在宽禁带半导体紫外探测技术领域取得新的突破,以适应信息技术发展和国家安全的重大需要。本书是作者团队近几年来的最新研究成果的总结,是一本专门介绍宽禁带紫外光电探测器的科技专著。本书的出版可以对我国宽禁带半导体光电材料和紫外探测器的研发及相关高新技术的发展起到促进作用。本书从材料的基本物性和光电探测器工作原理入手,重点讨论宽禁带半导体紫外探测材料的制备、外延生长的缺陷抑制和掺杂技术、紫外探测器件与成像芯片的结构设计和制备工艺、紫外单光子探测与读出电路技术等;并深入探讨紫外探测器件的漏电机理、光生载流子的倍增和输运规律、能带调控方法、以及不同类型缺陷对器件性能的具体影响等,展望新型结构器件的发展和技术难点;同时,介绍紫外探测器产业化应用和发展,为工程领域提供参考,促进产业的发展。本书作者都是长年工作在宽禁带半导体材料与器件领域第一线、在国内外有影响的著名学者。本书主编南京大学陆海教授是国内紫外光电探测领域的代表性专家,曾研制出多种性能先进的紫外探测芯片;张荣教授多年来一直从事宽禁带半导体材料、器件和物理研究,成果卓著;参与本书编写的陈敦军、单崇新、叶建东教授和周幸叶研究员也均是在宽禁带半导体领域取得丰硕成果的年轻学者。本书所述内容多来自作者及其团队在该领域的长期系统性研究成果总结,并广泛地参照了国际主要相关研究成果和进展。作者团队:中国科学院郑有炓院士撰写推荐语时表示:“本书系统论述了宽禁带半导体紫外探测材料和器件的发展现状和趋势,对面临的关键科学技术问题进行了探讨,对未来发展进行了展望。目前国内尚没有一本专门针对宽禁带半导体紫外探测器的科研参考书,本书的出版填补了这一空白,将会对我国第三代半导体紫外探测技术的研发起到重要的推动作用。”目前市面上还没有专门讲述宽禁带半导体紫外探测器的科研参考书,该书的出版可以填补该领域的空白。本书可为从事宽禁带半导体紫外光电材料和器件研发、生产的科技工作者、企业工程技术人员和研究生提供一本有价值的科研参考书,也可供从事该领域科研和高技术产业管理的政府官员和企业家学习参考。详见本书目录:本书目录:第1章 半导体紫外光电探测器概述1.1 引言1.2 宽禁带半导体紫外光电探测器的技术优势1.3 紫外光电探测器产业发展现状1.4 本书的章节安排参考文献第2章 紫外光电探测器的基础知识2.1 半导体光电效应的基本原理2.2 紫外光电探测器的基本分类和工作原理2.2.1 P-N/P-I-N结型探测器2.2.2 肖特基势垒探测器2.2.3 光电导探测器2.2.4 雪崩光电二极管2.3 紫外光电探测器的主要性能指标2.3.1 光电探测器的性能参数2.3.2 雪崩光电二极管的性能参数参考文献第3章 氮化物半导体紫外光电探测器3.1 引言3.2 氮化物半导体材料的基本特性3.2.1 晶体结构3.2.2 能带结构3.2.3 极化效应3.3 高Al组分AlGaN材料的制备与P型掺杂3.3.1 高Al组分AlGaN材料的制备3.3.2 高Al组分AlGaN材料的P型掺杂3.4 GaN基光电探测器及焦平面阵列成像3.4.1 GaN基半导体的金属接触3.4.2 GaN基光电探测器3.4.3 焦平面阵列成像3.5 日盲紫外雪崩光电二极管的设计与制备3.5.1 P-I-N结GaN基APD3.5.2 SAM结构GaN基APD3.5.3 极化和能带工程在雪崩光电二极管中的应用3.6 InGaN光电探测器的制备及应用3.6.1 材料外延3.6.2 器件制备3.7 波长可调超窄带日盲紫外探测器参考文献第4章 SiC紫外光电探测器4.1 SiC材料的基本物理特性4.1.1 SiC晶型与能带结构4.1.2 SiC外延材料与缺陷4.1.3 SiC的电学特性4.1.4 SiC的光学特性4.2 SiC紫外光电探测器的常用制备工艺4.2.1 清洗工艺4.2.2 台面制备4.2.3 电极制备4.2.4 器件钝化4.2.5 其他工艺4.3 常规类型SiC紫外光电探测器4.3.1 肖特基型紫外光电探测器4.3.2 P-I-N型紫外光电探测器4.4 SiC紫外雪崩光电探测器4.4.1 新型结构SiC紫外雪崩光电探测器4.4.2 SiC APD的高温特性4.4.3 材料缺陷对SiC APD性能的影响4.4.4 SiC APD的雪崩均匀性研究4.4.5 SiC紫外雪崩光电探测器的焦平面成像阵列4.5 SiC紫外光电探测器的产业化应用4.6 SiC紫外光电探测器的发展前景参考文献第5章 氧化镓基紫外光电探测器5.1 引言5.2 超宽禁带氧化镓基半导体5.2.1 超宽禁带氧化镓基半导体材料的制备5.2.2 超宽禁带氧化镓基半导体光电探测器的基本器件工艺5.3 氧化镓基日盲探测器5.3.1 基于氧化镓单晶及外延薄膜的日盲探测器5.3.2 基于氧化镓纳米结构的日盲探测器5.3.3 基于非晶氧化镓的柔性日盲探测器5.3.4 基于氧化镓异质结构的日盲探测器5.3.5 氧化镓基光电导增益物理机制5.3.6 新型结构氧化镓基日盲探测器5.4 辐照效应对宽禁带氧化物半导体性能的影响5.5 氧化镓基紫外光电探测器的发展前景参考文献第6章 ZnO基紫外光电探测器6.1 ZnO材料的性质6.2 ZnO紫外光电探测器6.2.1 光电导型探测器6.2.2 肖特基光电二极管6.2.3 MSM结构探测器6.2.4 同质结探测器6.2.5 异质结探测器6.2.6 压电效应改善ZnO基紫外光电探测器6.3 MgZnO深紫外光电探测器6.3.1 光导型探测器6.3.2 肖特基探测器6.3.3 MSM结构探测器6.3.4 P-N结探测器6.4 ZnO基紫外光电探测器的发展前景参考文献第7章 金刚石紫外光电探测器7.1 引言7.2 金刚石的合成7.3 金刚石光电探测器的类型7.3.1 光电导型光电探测器7.3.2 MSM光电探测器7.3.3 肖特基势垒光电探测器7.3.4 P-I-N和P-N结光电探测器7.3.5 异质结光电探测器7.3.6 光电晶体管7.4 金刚石基光电探测器的应用参考文献第8章 真空紫外光电探测器8.1 真空紫外探测及其应用8.1.1 真空紫外探测的应用8.1.2 真空紫外光的特性8.2 真空紫外光电探测器的类型和工作原理8.2.1 极浅P-N结光电探测器8.2.2 肖特基结构光电探测器8.2.3 MSM结构光电探测器8.3 真空紫外光电探测器的研究进展8.3.1 极浅P-N结光电探测器的研究进展8.3.2 肖特基结构光电探测器的研究进展8.3.3 MSM结构光电探测器的研究进展
  • 中国红外探测器产业:百舸争流千帆竞,乘风破浪正远航
    9月11日至13日,第25届中国国际光电博览会(简称:CIOE中国光博会)在深圳国际会展中心成功举办,全球超过3700家优质光电企业汇聚一堂,紧密链接全球光电资源,全方位展示前沿创新技术及成果,为光电产业及其下游应用领域带来了前沿的新技术、新模式,激发行业的新思考,共同探寻红外探测器发展的新方向。在本次CIOE中国光博会的红外技术及应用展中,上百家红外探测器上下游厂商汇聚一堂,探讨产业现状及未来发展趋势。同期还有系列行业论坛举行,促进红外产学研交流合作,展示科研成果、实践经验和技术方向。中国红外探测器厂商“百舸争流,各展其长”红外探测是一种可将接收到的红外辐射转换为便于使用的电信号的传感技术。根据能量转换方式,红外探测器通常分为光子探测器和热探测器两大类。随着科技的不断进步,红外探测器也从敏感材料、探测灵敏度、分辨率、微型化、AI+等方向不断提升,在国家安全、军用装备、国民经济中发挥着越来越重要的作用。本次CIOE中国光博会中,中国厂商以破竹之势成为红外探测技术及应用展的中坚力量。热探测器,民用红外领域的首选利器相较于通常需要制冷的光子探测器,热探测器无需制冷,具有价格便宜、尺寸小巧、技术成熟等优势,是测温仪器、安防监控、执法搜救等民用产品的首选利器。高德红外、睿创微纳、大立科技、海康微影以及光智科技等国内热探测器领先厂商都带来了其核心及创新产品。武汉高德红外股份公司(简称:高德红外)展出了多款非制冷红外探测器及红外机芯。高德红外FLEXA1212高清非制冷红外机芯是首次展出的晶圆级超小尺寸机芯,分辨率为1280 × 1024,像元尺寸12 μm,尺寸为27.8 × 27.8 × 19.6 mm,具有超轻重量、超低功耗的特性,主要应用于电力巡检、安防监控等领域。高德红外拥有8英寸0.11 μm工艺节点的氧化钒非制冷红外探测器批产型MEMS生产线,提供从探测器、机芯模组到应用的全套解决方案。高德红外的非制冷红外探测器及红外机芯展示烟台睿创微纳技术股份有限公司(简称:睿创微纳)展品中最为突出的是全球首款6 μm 640 × 512非制冷红外探测器,同时还展出了10 μm 500万像素非制冷红外机芯和120 Hz非制冷红外机芯。6 μm小像元技术的突破,为无人机、汽车智能驾驶、机器人、AI智能、元宇宙等领域带来了全新的发展机遇与广阔的应用前景。睿创微纳从红外热成像领军者到多维感知布局,在深耕长波非制冷红外热成像领域的基础上,不断拓展制冷长波/中波/短波红外、激光、微波等光谱传感研究。睿创微纳的非制冷红外探测器及红外机芯展示浙江大立科技股份有限公司(简称:大立科技)展出了从设计到生产具有完全自主知识产权的200万像素非制冷焦平面探测器及红外机芯,并现场做了2 K高清红外成像。非制冷焦平面探测器应用范围非常广泛,为电力巡检、安防监控、无人机、汽车智能驾驶、机器人等领域增添助益。大立科技具有批产非制冷红外焦平面探测器的能力,拥有国内唯一的军品非制冷焦平面红外探测器(非晶硅技术路线)产业化基地。大立科技的非制冷红外探测器及红外机芯展示杭州海康微影传感科技有限公司(简称:海康微影)展出了多款非制冷红外探测器,同时推出了1920像素8 μm红外机芯和1280像素红外机芯两颗新品,本次展品中像元尺寸最小为1280像素12 μm红外机芯。海康微影是海康威视(HIKVISION)子公司,以IDM模式运营,主要生产以氧化钒为敏感材料的非制冷红外探测器,是以MEMS技术为核心的红外探测器解决方案提供商。海康微影的非制冷红外探测器及红外机芯展示安徽光智科技有限公司(简称:光智科技)展出了多款金属封装、陶瓷封装和晶圆级封装的非制冷红外探测器。光智科技已建设8英寸硅基MEMS非制冷红外探测器芯片生产线,并掌握了MEMS芯片设计和制造工艺技术及金属、陶瓷和晶圆级封装技术,非制冷探测器已实现最高百万像素级别。光智科技的非制冷红外探测器及红外机芯展示光子探测器,高端红外领域的“先锋军”在红外技术及应用领域,光子探测器一直以“更高、更快、更远”的目标不断突破,始终占据红外技术前沿的高地。中国科学院上海技物所、夜视集团、中国电科11所、高德红外、睿创微纳、中航红外、焜腾红外、珏芯微电子、光智科技、中科爱毕赛思以及国惠光电等中国光子探测器厂商都竞相“秀出肌肉”,带着最新产品和创新技术与产业人士交流。中国科学院上海技术物理研究所(简称:中国科学院上海技物所)展出了系列中波制冷红外探测器及机芯,其中最为突出的是超晶格1280 x 1024中/中波双色红外焦平面探测组件。另外,中国科学院上海技物所还展示了在国际上能直接参与竞争的国内首款天文用短波红外探测器,代表前沿发展和研究方向的中波红外探测器、类视网膜的红外感算芯片以及红外智能识别芯片等,为高端商业应用、红外探测技术创新和发展打下了基础,代表了我国红外探测技术的前沿和科研实力。中国科学院上海技物所的超晶格1280 x 1024中/中波双色红外焦平面探测组件展示北方夜视科技研究员集团有限公司(简称:夜视集团)展出了多款中波和长波制冷红外探测器及制冷机组件,其中,中波1280 × 1024 7.5 μm制冷红外探测器最为亮眼。夜视集团下属的昆明物理研究所,专门从事红外材料、红外探测器、红外热像仪研发、生产的研究。夜视集团红外探测器中心是国内规模化红外探测器组件生产和研发中心,具备现代化的柔性生产线,实现了第一代、第二代红外探测器产品的批量生产和工程化应用,并致力于第三代红外探测的研发,掌握多项红外探测器关键技术,具备多项自主知识产权。夜视集团的制冷红外探测器展示中国电子科技集团公司第十一研究所(华北光电技术研究所,简称:中国电科11所)展出了多型号中波和长波碲镉汞(MCT)、锑化铟(InSb)/碲镉汞探测器,高温工作中波红外探测器组件以及小型化中波探测器组件。中国电科11所是从事激光与红外技术的综合性研究所,主要产品包括激光与红外材料、器件、整机及系统等,是我国主要的光电技术研究所之一。中国电科11所的多款制冷红外探测器展示高德红外全球首发500万像素高温中波制冷红外探测器。2560 × 2048超高分辨率实时监视图像,视野更宽广,视场覆盖率更高;10 μm像元尺寸,器件架构更紧凑,空间分辨率更大,更加适用于广域远距探测,赋予用户超越以往的全景探测和态势感知能力;焦平面工作温度可达150 K,高温工作性能处在同级别产品中的头部行列。高德红外拥有8英寸0.5 μm工艺节点的碲镉汞制冷红外探测器批产线、8英寸0.5 μm工艺节点的二类超晶格制冷红外探测器批产线,自主完成原材料提纯、生长,到芯片的流片、制造、封装与测试的全套工艺。高德红外的中波和长波制冷红外探测器及机芯展示睿创微纳展出15 μm 640 × 512长波、中波Ⅱ类超晶格制冷红外探测器、碲镉汞(MCT)制冷探测器以及短波红外焦平面探测器等。相较于非制冷红外探测器,制冷红外探测器灵敏度更高、响应速度更快,适用于更远距离成像、更高速度的运动目标追踪,可用于特种装备,为光谱传感、空间通信、机器视觉、红外夜视、气体成像、泛半导体检测、生物医学成像等行业带来了全新的解决方案。睿创微纳的Ⅱ类超晶格、碲镉汞制冷红外探测器及短波红外焦平面探测器展示中航凯迈(上海)红外科技有限公司(简称:中航红外)展出了自主研发生产的锑化铟(InSb)、铟砷锑(InAsSb)、超晶格(InAs/GaSb)等各型制冷红外探测器,并首次展出了全系列自研读出电路(ROIC)。中航红外主要从事军民两用红外探测器及红外光学研发生产,锑化物探测器科研生产能力处于国内领先水平。中航红外的各型制冷红外探测器展示浙江焜腾红外技术股份有限公司(简称:焜腾红外)重磅推出了具有绝对技术优势的2024年新品2 K x 2 K Ⅱ类超晶格高工作温度制冷探测芯片;展出了中波、长波、双色、气体泄漏检测(OGI)共四大系列多款目前市场上最先进的自主研发的高工作温度制冷Ⅱ类超晶格探测器。焜腾红外的制冷Ⅱ类超晶格探测技术攻克了Ⅱ类超晶格材料外延生长、器件结构设计、芯片制备工艺及探测器规模化工艺等方面“卡脖子”关键技术,在Ⅱ类超晶格材料结构的优化设计、器件制备、高真空封装处于国内领先水平。焜腾红外的Ⅱ类超晶格高工作温度制冷探测器展示浙江珏芯微电子有限公司(简称:珏芯微电子)展出了包括长波探测器、超小型高温探测器、大面阵探测器、气体探测器等在内的多款特色产品,以及系列特色制冷机。珏芯微电子是一家集化合物半导体晶体及外延材料、集成电路设计、器件工艺、高真空封装、精密制冷机等半导体全产业链的高科技公司,军工资质齐全。珏芯微电子的各类制冷红外探测器展示光智科技展出了中波碲镉汞(MCT)、锑化铟(InSb)和长波Ⅱ类超晶格等制冷红外探测器。光智科技已建设2~6英寸中波碲镉汞、锑化铟和长波Ⅱ类超晶格等探测器芯片等多种制冷红外探测器芯片生产线,搭配自主研发生产的制冷机和杜瓦,形成了从制冷红外材料、芯片、封装到器件完整的制冷红外探测器产业链。光智科技的制冷红外探测器展示中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司(简称:中科爱毕赛思)展出了三款自主研发和生产的长波和中波超晶格红外焦平面探测器。中科爱毕赛思主要从事III-V族半导体光电材料、器件的研发与生产,掌握了分子束外延生长(MBE)与芯片制备的关键核心技术,具备新一代高性能光电子器件从结构设计、材料外延、器件制备到组件封装的全产业链技术能力。中科爱毕赛思的超晶格红外焦平面探测器展示山西国惠光电科技有限公司(简称:国惠光电)展出了多款铟镓砷(InGaAs)短波红外探测器及机芯。国惠光电自主研发生产的15 μm像元的多分辨率InGaAs短波红外芯片将传统的InGaAs探测器光谱响应范围从900 - 1700 nm延展到400 - 1700 nm,可同时实现对可见光、近红外和短波红外的探测和成像,并可根据要求提供半导体制冷器(TEC)制冷,提高探测器的灵敏度。国惠光电拥有国际水准的4英寸III-V族半导体化合物芯片生产线,自主研发并实现工程化生产的红外焦平面探测器芯片及其成像系统,其指标已达到国际先进水平。国惠光电的多款InGaAs短波红外探测器展示热门应用群芳竞艳,独具匠心丰富的多维感知技术与创新的解决方案是本次红外技术及应用展的亮点,也是突破红外产业增速放缓局面的重要手段。各大厂商均各展其能,充分拓展了红外技术在应用端的成果及创意,为后续红外产业发展带来了更多“新想法”和“新可能”。高德红外、睿创微纳、大立科技在车载红外感知领域的应用展示高德红外、睿创微纳、大立科技、海康微影在智慧物联领域的应用展示睿创微纳、海康微影在智慧工业领域的应用展示高德红外、飒特红外在无人飞行器领域的应用展示海康微影在半导体检测及生物医学检测领域的应用展示近些年,随着光电技术的长足发展,中国在各波段红外探测器方面都有着显著的技术进展和广泛的应用探索。CIOE中国光博会为红外产业提供了大型的交流和展示平台,促进红外产业步入发展的快车道,系列行业论坛的加成也为技术创新擦出更多火花。红外探测技术正处于快速发展阶段,拥有无限可能,我们满怀期待!
  • 意大利引力波探测器因故障推迟重启
    不久以后,物理学家将继续对天体物理学“怪物”——黑洞和中子星碰撞产生的引力波进行探测。但是,3个探测器之一、位于意大利的室女座探测器(Virgo)目前却遇到了技术问题,将延迟其重新启动的时间。3年前,所有探测设施为了维护和升级而关闭。而在接下来的几个月里,将只有美国路易斯安那州和华盛顿州激光干涉引力波天文台 (LIGO)的两个探测器接受数据,这使得在太空中精确定位信号源变得更加困难。意大利国家核物理研究所(INFN)物理学家、Virgo的调试协调员Fiodor Sorrentino说,问题似乎不是来自于升级,而是产生噪声的旧部件,这些噪声会淹没许多信号。2015年,LIGO首次探测到两个巨大的黑洞相互旋转合并时产生的涟漪。两年后,LIGO和Virgo在附近发现了两颗中子星的合并。迄今为止,这3个探测器已经记录了90多次黑洞合并和两次中子星合并。每个探测器都是一个巨大的L形光学装置,称为干涉仪。镜子悬挂于干涉仪每条臂的两端,激光在镜子之间反射。整个装置处于真空室中,一个精心设计的悬挂系统支撑着每面镜子。Virgo的问题似乎出现在悬挂系统和镜子上。每面重达40公斤的镜子挂在一对薄玻璃纤维上。2022年11月,支撑一面镜子的纤维断裂。Sorrentino说,虽然镜子下降的距离很小,但震动似乎使附着在镜子上用于固定它的4块磁铁中的一块松动了。磁铁的运动使玻璃产生了振动。此外,另一条臂上的一面镜子在2017年遭遇了类似的情况,现在看来,其内部似乎有一个小裂缝。INFN的物理学家Gianluca Gemme说,这些问题直到最近才变得明显起来。研究人员要打开真空室,从一面镜子上取下松动的磁铁,并更换另一面镜子。 Gemme说,这项工作应该会在7月之前完成。“如果一切顺利,没有额外的隐藏噪声源,Virgo应该能够在秋天加入LIGO。”Gemme说。威斯康星大学密尔沃基分校天体物理学家Patrick Brady说,两个LIGO探测器运行良好,应该为5月24日的重启做好了准备。但Virgo的暂时缺席将限制科学研究的开展。3个探测器可以精确定位天空中的信号源,误差在几十平方度以内。如果是两个,定位会变得不精准。但Brady说,即使只有LIGO,长达18个月的运行也应该产生大量的科学成果。LIGO探测器的灵敏度已经比以前提高了30%,每2至3天就能发现一次黑洞合并。在这样的情况下,科学家应该能确定黑洞质量的分布,并有可能揭示不寻常的合并,比如向不同方向旋转的黑洞之间的合并。这些信息有助于揭示黑洞对是如何形成的。
  • 中国红外探测器技术航空科技重点实验室成立
    歼11战机配备的光学红外探测器。   近日,红外探测器技术航空科技重点实验室在中航工业导弹院挂牌成立。中航工业科技与信息化部部长魏金钟与中航工业导弹院党委书记、副院长刘松柏共同为实验室揭牌,标志着该实验室正式投入运行。   红外探测器技术航空科技重点实验室的设立评审会由中航工业科技与信息化部主持召开。专家组认真听取了重点实验室的设立申请报告,考察了实验室现场,一致通过了该实验室的设立申请。   红外探测器技术是导弹院的一个重要研究领域。多年来,导弹院重视红外探测器技术的发展,于2005年成立了院级重点实验室,在科学研究、手段建设、人才培养等方面取得了长足的进步,部分研究领域走在国内前列,开发出30多种各类短波、中波、长波红外探测器,获得多项国家级、省部级科技成果奖,发表高质量论文90多篇,申请国家或国防发明专利40多项。   红外探测器是各类红外仪器设备的“眼睛”,广泛应用于众多的民用和军事领域。该实验室的成立,搭建了开放的红外探测器技术研究平台,必将进一步加强国内外同行的合作与交流,促进该领域的科学研究、人才培养,进而促进我国红外探测器技术的发展。
  • 中国红外探测器技术航空科技重点实验室挂牌成立
    近日,红外探测器技术航空科技重点实验室在中航工业导弹院挂牌成立。中航工业科技与信息化部部长魏金钟与中航工业导弹院党委书记、副院长刘松柏共同为实验室揭牌,标志着该实验室正式投入运行。   红外探测器技术航空科技重点实验室的设立评审会由中航工业科技与信息化部主持召开。专家组认真听取了重点实验室的设立申请报告,考察了实验室现场,一致通过了该实验室的设立申请。   红外探测器技术是导弹院的一个重要研究领域。多年来,导弹院重视红外探测器技术的发展,于2005年成立了院级重点实验室,在科学研究、手段建设、人才培养等方面取得了长足的进步,部分研究领域走在国内前列,开发出30多种各类短波、中波、长波红外探测器,获得多项国家级、省部级科技成果奖,发表高质量论文90多篇,申请国家或国防发明专利40多项。   红外探测器是各类红外仪器设备的“眼睛”,广泛应用于众多的民用和军事领域。该实验室的成立,搭建了开放的红外探测器技术研究平台,必将进一步加强国内外同行的合作与交流,促进该领域的科学研究、人才培养,进而促进我国红外探测器技术的发展。
  • 多国探测器飞抵火星,科学仪器助力火星探测
    近日,中国“天问一号”、美国“毅力号”以及阿联酋“希望号”火星探测器飞抵火星轨道。中国“天问一号”携13台科学仪器踏入环火轨道2月10日,“天问一号”火星探测器顺利实施近火制动,完成火星捕获,正式踏入环火轨道。据了解,天问一号共携带了13个高科技科学仪器,火星磁力仪,火星矿物学光谱仪,火星离子和中性粒子分析仪,火星高能粒子分析仪,火星轨道地下探测雷达,地形摄像机,火星探测器地下探测雷达,火星表面成分检测器,火星气象监测器,火星磁场检测器,光谱摄像机,还有两个先进摄像头。其中,轨道器配备了7个科学仪器,火星巡视车配备了6个科学仪器。火星表明成分探测仪结合了被动短波红外光谱探测和主动激光诱导击穿光谱探测技术,可以探测火星表面物质反射太阳光的辐射信息,同时其可主动对几米内的目标发射激光产生等离子体,测量原子发射光谱可准确获取物质元素的成分和含量。火星矿物光谱分析仪搭载在火星环绕器上。在环绕器对火星开展科学遥感探测期间,该仪器可在近火段800km以下轨道,通过推帚式成像、多元实时动态融合的总体技术,获取火星表面的地貌图像与相应位置的光谱信息,为探测火星表面元素与矿物成分等提供科学数据。小型化、高集成化是深空探测载荷发展的主要趋势。火星离子与中性粒子分析仪采用从传感器到电子学进行最大限度共用的设计思路,在一台仪器中实现对离子和能量中性原子进行能量、方向和成分的探测,大大降低了仪器对卫星平台的资源需求。仪器采取静电分析进行离子的方向和能量测量、采取飞行时间方法进行离子成分的测量。中性原子采用电离板电离成带电离子,后端的能量测量和成分测量与离子相同。鉴定件样机已经完成了初步的测试定标,结果表明其满足设计要求。 阿联酋“希望号”携3组设备抵达火星当地时间2月9日,阿联酋“希望号”火星探测器抵达火星,对火星大气开展科学研究。这是阿联酋首枚火星探测器,由阿联酋和美国合作研制。“希望”号探测器历经半年时间,飞行近5亿公里,阿联酋由此成为第五个到达火星的国家。“希望”号于2020年7月20日从日本鹿儿岛县种子岛宇宙中心发射升空。“希望”号主要任务是研究火星气候和大气的日常和季节变化。由于阿联酋政府明确要求该国项目团队不能直接从别国购买探测器,阿联酋的工程师深度参与了合作研发。“希望”号高约2.9米,其太阳能电池板完全展开时宽约8米,重1.5吨,携带3组研究火星大气层和监测气候变化的设备。“希望”号的主要任务是拍摄火星大气层图片,研究火星大气的日常和季节变化。与人类今年计划发射的另外两个火星探测器不同,“希望”号不会在火星着陆,而是在距火星表面2万至4万公里的轨道上环绕火星运行。“希望”号绕火星运行一周需要大约55小时,它将持续围绕火星运行至少两年。美国“毅力号”漫游者火星车将登录火星美国宇航局的“毅力号(Perseverance)”漫游者火星车目前计划于2021年2月18日着陆。该次着陆顺序大多为自动化。据了解,“毅力号”(Perseverance)火星探测器为NASA公布的新一代火星车,由美国的初一学生亚历山大马瑟命名,用于搜寻火星上过去生命存在的证据。2020年5月18日,NASA公布“毅力号”火星车多项测试视频集锦,由于火星车登陆后无法对其进行维修,团队需确保其能承受极端温度变化及持续辐射的环境。2020年7月30日,美国“毅力”号火星车从佛罗里达州卡纳维拉尔角空军基地升空。毅力号探测器将进行一次近7个月的火星旅行,并于2021年2月18日在火星杰泽罗陨坑(Jezero)内以壮观的“空中起重机”方式安全着陆。“毅力号”是一个2300磅(1043千克)的火星车,是世界最大的行星漫游车。其样品处理臂由一对组件组成:Bit Carousel和Adaptive Caching Assembly(自适应缓存装置),它们将用于收集、保护这些灰尘和岩石样本并将其返回给科学家。Bit Carousel 由9个钻头组成,火星车将使用它们钻入地面,拉动样本并将它们传递到火星车内部,以通过自适应缓存装置进行分析。该系统具有七个电机和总共3000个零件,并负责存储和评估岩石和灰尘样品。毅力号身上总共安装了五款成像工具,首先是桅杆头上的SuperCam(位于大的圆形开口中),其次是两个位于桅杆下方灰框中的Mastcam-Z导航摄像头。激光、光谱仪、SuperCam成像仪将用于检查火星的岩石和土壤,以寻找与这颗红色星球的前世有关的有机化合物。两台高分辨率的Mastcam-Z相机能够与多光谱立体成像仪器一起工作,以增强毅力号火星车的行驶和岩心采样能力。该探测器的10个科学设备中有一个叫做“MOXIE”,它能从火星稀薄、以二氧化碳为主的大气层中制造氧气,这些的设备一旦扩大规模,就可以帮助未来宇航员探索火星,这是美国宇航局将在21世纪30年代实现的重要太空目标。此外,一架被命名为“Ingenuity”的1.8公斤重的小型直升机将悬挂在毅力号腹部位置抵达火星,一旦毅力号找到合适位置,Ingenuity直升机将分离,并进行几次试飞,这将是首次旋翼飞行器在地外星球飞行。美国宇航局官员表示,如果Ingenuity直升机成功飞行,未来火星任务可能经常采用直升机作为探测器或者宇航员的“侦察兵”。旋翼飞行器可以进行大量科学勘测工作,探索难以到达的区域,例如:洞穴和悬崖。同时,Ingenuity直升机配备一个摄像系统,可以拍摄具有重要研究价值的火星表面结构 。美国洞察号执行任务失败,被迫“冬眠”然而,火星探测并非一帆风顺,与此同时,也传来了美国“洞察号”任务失败的消息。“洞察”号火星无人着陆探测器是美国宇航局向火星发射一颗火星地球物理探测器,它的机身设计继承先前的凤凰号探测器,着陆火星之后将在火星表面安装一个火震仪,并使用钻头在火星上钻出迄今最深的孔洞进行火星内部的热状态考察。根据项目首席科学家布鲁斯巴内特(Bruce Banerdt)的说法,这一探测器将是一个国际合作进行的科学项目,并且几乎是先前大获成功的凤凰号探测器的翻版。据了解,洞察号搭载完全不同的3种科学载荷,包括两台由欧洲提供的仪器,专门设计用于探查这颗红色星球的核心深处,从而了解与其形成过程相关的线索。它将探测这里是否存在任何地震现象,火星地表下的地热流值,火星内核的大小,并判断火星的内核究竟处于固态还是液态。巴内特说:“地震仪设备(即SEIS,全称为‘内部结构地震实验’)由法国提供,地热流值探测仪(HP3,即热流和物理属性探测仪)则由德国提供。按照计划,热流探测器需要将探头打入地下5米深的位置。然而,由于热探针始终无法获得挖掘所需的摩擦力,美国NASA官方宣布,用于探索火星的洞察号执行任务失败。与此同时,由于“洞察”号使用太阳能电池板从太阳获取能量,而火星的冬季也是火星距离太阳最远的时候,再加上洞察号火星探测车的太阳能电池板目前被灰尘覆盖,大大减小了它能获取到的太阳能,“洞察”号将被迫进入“冬眠”。火星探测道阻且长。
  • 向质谱领域进军 滨松重点推广离子源、探测器等新品
    p   第十七届北京分析测试学术报告会暨展览会(BCEIA & nbsp 2017)已于10月10日-13日在北京国家会议中心举行,科学仪器核心零部件厂商滨松带着众多新产品新技术参展。其中质谱相关器件很是亮眼,就滨松如何看待质谱市场与技术发展趋势等问题,仪器信息网编辑采访了滨松中国分析领域质谱项目推进负责人周旭升先生。 /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 滨松展位.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/99fe9b3e-edd1-462e-91ff-07f52812cff1.jpg" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" 滨松展位 /p p   滨松用于原子吸收、原子荧光等光谱仪器的光电倍增管盛名已久,其实滨松的质谱相关器件也已经有40多年的历史。不过由于某些原因一直没有“走”出日本,直到这两年,才开始不断在中国等市场宣传推广。 /p p   至于为什么选择这个时候进行推广,以及作为零部件供应商,滨松是如何看待质谱市场的前景、以及技术与应用的发展方向,周旭升谈到,如今质谱技术与应用非常“热”,升势迅猛。尤其是中国市场,由于环境大气颗粒物源解析、以及相关的VOC分析等都需要质谱技术。相关标准制定时,涉及了大量的质谱方法。 /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 周旭升.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/18c8613b-4cb7-4d54-8d2e-b5576ec8ad72.jpg" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" & nbsp 滨松中国分析领域质谱项目推进负责人周旭升 /p p   近年来,解读一些大公司财报时都会发现,质谱业务保持着很好的增长。尤其是2008年金融危机后,质谱市场增长趋势越发迅猛,而且中国市场增长情况更加“剧烈”。几乎各大公司财报中都专门提到,中国环境、健康等相关市场中质谱仪器销售额大幅增长。 /p p   从另一个角度来看,国产质谱企业的数量越来越多,而且除了像东西分析、普析通用、聚光科技、天瑞仪器、广州禾信等,还出现了很多新企业,如宁波华仪宁创、北京清谱、青岛融智等。这些新型公司从MALDI或小型便携质谱开始,这也体现着质谱仪器的两个发展方向。小型便携质谱在环境、执法等领域有着很好的前景。MALDI质谱更专注于医疗、临床,而医疗临床领域也是近年来质谱应用的热点;最早奥巴马提出精准医疗战略,去年习主席在G20公告上承诺减少抗生素滥用,MALDI是鉴定身体里细菌、微生物、血细胞、组织的分析一种很好的手段,可以读取细胞中蛋白质的全面信息,是遗传疾病等诊断的好手段。另外,从利益角度来说,国内的三甲医院有实力、也有意愿配备MALDI等仪器设备展开更多的服务。 /p p   “如能将质谱技术用到更多领域或是人们的生活中,那将是对分析技术或仪器市场非常大的革新。”周旭升说到。 /p p   “应对这些市场需求,滨松开始大力在中国推广质谱相关器件。”至于滨松推广的手段,周旭升介绍到,国产质谱企业中多数已经是滨松光谱等器件的客户,当知道滨松有这些质谱器件时也都愿意尝试使用。而滨松的产品,如真空器件微通道板(microchannel plate, MCP)产品“身上”有着滨松60多年真空技术的积累,在产品一致性等大批量生产时的品质有很好的保证。 /p p    span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 电子倍增器(electron multiplier, EM)是目前使用最多的质谱探测器,其形式多样,基本原理是对带电粒子产生的次级电子进行放大。 /span /p p span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai"   MCP是一种可以二维探测和倍增电子的电子倍增器。MCP也对离子、真空紫外射线、X射线和伽马射线等敏感,因此MCP可以应用在这些物质的位置和能量的探测器件中。 /span /p p   除了MCP、EM的固有产品,滨松不断进行着革新,几乎在每年的ASMS上都会发布一款最先进的技术信息。周旭升介绍了近两年来推出的几款新技术。如,2016年发布了复合型MCP,由于增加了一个1000倍增的雪崩管使得其使用寿命提升7-10倍。2017年专门针对大分子分析的MALDI质谱推出了另一种复合型MCP,与传统MCP相比其信噪比大幅提高。另外还有一种用于小型化离子阱质谱的检测器CEM(连续式倍增电极,Channel electron multiplier)在真空度低的情况下仍能耐高压;而且器件不含铅对环保或仪器认证方面具有一定优势。不过,周旭升也提到,“这些新技术目前都还处在开发阶段,不过已提供给国内质谱企业试用,进行评估反馈,直到性能稳定下来能达到用户的要求,才会进行批量生产。” /p p   质谱技术的核心是“制造离子”和“检测离子”,其他所有的一切都是为这个目的服务。因此,在此次BCEIA 2017上,滨松就重点展出了离子源、检测器相关产品。 /p p   如全新光致电离离子源——VUV氘灯 L13301,基于MgF2窗材的VUV氘灯可以促成一种高电离效率、碎片离子峰产生量少的新型软电离方式。它的电离能可达到10.78eV,电离效率提高,且相对于传统PID灯可以电离出更多的离子,使仪器整体灵敏度有数倍提高,此外还具备低成本、易安装等特点。在VOCs监测等领域有着较好的应用,VUV氘灯最大至10.78ev的电离能可电离绝大多数VOCs。 /p p   针对TOF-MS的特点及对MCP探测器的要求,滨松最新的F12396-11、F13446-11、F1094-11作为代表在此次BCEIA中登场。这几款MCP具有响应速度快、极小的后脉冲、鲁棒性\无畸变、漏斗型MCP\保持更高探测效率的特征,其还可结合荧光屏进行电光转换、后端加CCD相机可显图像。 /p p   近年来,针对冶金、环保、地质矿产、食品等领域越来越多的痕量重金属检测需求,ICP-MS得到更加广泛的应用,ICP-MS面向的是痕量无机元素的测定(检出限ppt级别)。针对ICP-MS的特点及对探测器的需求,本次展会滨松展示了具有大动态范围双模式输出(模拟输出和计数输出)的EM R13733。 /p p style=" TEXT-ALIGN: right" 撰稿:刘丰秋 /p p & nbsp /p
  • 微系统所新型蓝光探测器研制成功
    人类源自海洋,但水下的无线通信和传感仍是件困难的事,人们经常会听到潜水员仍用敲打外壳的方式试图与失事沉没的舰船内人员进行联络的报道。   近日,中科院上海微系统与信息技术研究所科研人员根据海水在蓝光波段具有最低光衰减的特点,针对蓝光波段采用新型材料和器件结构成功研制出具有窄响应光谱的高性能光电探测器件,避免了复杂的共振或滤光结构。   此种器件有望在水下蓝光通信和传感中获得应用,相关研究结果已在IEEE Photon. Technol. Lett.上发表。
  • 嫦娥三号探测器大揭秘:携带多种激光仪器
    承担中国探月工程第二步&ldquo 落月&rdquo 任务的嫦娥三号探测器将于今年12月份择机发射,它将实现中国航天器首次在地外天体的软着陆,从嫦娥三号着陆器中释放的月球车还将完成中国首次在月表的巡视探测。   昨日,探月与航天工程中心启动为中国第一辆月球车全球征名的活动,要求名称体现探月理念和月球车特点。参与者除了要选好名称,还要提交一份不多于300字的创意说明和背景阐述,每人最多允许提交5个方案。从昨日开始到10月25日,参与者可以提交方案,11月上旬,将确定最终入选名称。部分获奖者将有机会免费亲临西昌发射中心现场观摩嫦娥三号发射。   目前,包括月球车,以及嫦娥三号着陆器等组件,都已经被运抵西昌卫星发射基地。嫦娥三号已经进入到了发射前在前方发射场的调试、测试、准备阶段。   一、嫦娥三号探测器揭秘   看着像辆车 实为机器人   正在向全球征名的月球车将跟随年底择机发射的嫦娥三号&ldquo 着陆探测器&rdquo 展开对月球表面的探测。探月工程总设计师吴伟仁说,这不仅是我国第一辆月球车,且全部为中国制造,国产率达到100%。   嫦娥三号探测器   二、长相:身背太阳翼 脚踩&ldquo 风火轮&rdquo   月球车的专用名称叫做&ldquo 月面巡视探测器&rdquo ,设计质量是140公斤,由移动、结构与机构、导航控制、综合电子、电源、热控、测控数传和有效载荷等分系统组成。   在活动现场,记者看到了月球车1:2的模型,从模型上看,它的大脑袋上有一个定向天线和几个太阳敏感器,两侧为太阳翼,尾巴上很多天线,右后侧是导航相机和全景相机。它脚踩六个&ldquo 风火轮&rdquo 似的移动装置。腹部的&ldquo 秘器&rdquo 最多:包括红外成像光谱仪、避障相机、机械臂、激光点阵器等。   中国航天科技集团公司宇航部部长赵小津说,从严格意义上来说,月球车并不是一辆车,而是一个长着轮子,能够适应恶劣空间环境并开展空间科学探测的航天器,是一个小型化、低功耗、高集成、高智能的机器人。   据了解,月球车驶下着陆探测器后,可通过地面遥操作控制和自主规划路径,自主导航等开展长期的科学探测。   三、落月靠"3只眼"   嫦娥三号任务是我国探月工程&ldquo 绕、落、回&rdquo 三步走中的第二步,是承前启后的关键一步。在&ldquo 绕月&rdquo 阶段,中科院上海技术物理所、上海光学精密机械所为嫦娥卫星研制了&ldquo 激光眼&rdquo &mdash &mdash 激光高度计,为我国首幅全月面三维图提供了高程,相当于地球上的海拔高度。即使在无可见光的月面环境下,激光计也能&ldquo 拍摄&rdquo 自如。   但比起距离月面一两百公里外的绕月,零距离接触的落月对激光测距精度和速度提出了极高要求。在我国探月初期,嫦娥卫星对月发射一束激光,在月面形成的&ldquo 激光足印&rdquo 约有120米方圆范围,而嫦娥三号激光测距的&ldquo 足印&rdquo 将小到米级,测量精度进一步提高,可实时监测嫦娥三号着陆器距离月面的高度。   除了这束&ldquo 大激光&rdquo ,&ldquo 嫦娥&rdquo 还有一道灵敏度极高的&ldquo 小激光&rdquo 。当&ldquo 嫦娥&rdquo 向月面释放着陆器,着陆器将在接近月面时,通过激光三维成像,进一步&ldquo 观察地形&rdquo ,获取正下方图像。如下方不适合降落,它就马上换一块地方,确保着陆点相对更为平坦。这种接近&ldquo 现场直播&rdquo 的实时成像需在数秒内完成,为此中科院上海技物所研制的三维成像系统采用了多源激光并扫、实时成像方法,这种实测方式是在着陆月球时首次应用。   两只&ldquo 激光眼&rdquo 之外,&ldquo 嫦娥&rdquo 另有一只&ldquo 红外眼&rdquo &mdash &mdash 红外成像光谱仪。这台仪器置于俗称&ldquo 月球车&rdquo 的月面巡视器上,当巡视器从着陆器中驶出,便开启这一关键探测设备。这只&ldquo 眼睛&rdquo 不但能在可见光范围获得上百个光学波段的图像,还能用来探索可见光之外的&ldquo 光&rdquo ,捕捉月球物质资源放出的红外线光谱。因为每种物质都有其独特的&ldquo 红外图谱&rdquo ,红外成像光谱仪以极高的光谱分辨率&ldquo 拍摄&rdquo 月表物质,并能通过计算机直接将物质分门别类。   对于登月任务以及其后实施的返回任务,卫星发射重量越轻越好,因此&ldquo 嫦娥&rdquo 严格控制体重。相关项目负责人上海技物所研究员王建宇透露,此次星载的红外成像光谱仪只有5公斤多,是&ldquo 嫦娥&rdquo 3只眼中最轻的,而机载的同类光谱仪重量可达百公斤。今后,这种超轻型成像光谱仪器还能用于火星、小行星等更遥远的深空探测任务。   四、性能:耐极限温度 能爬坡越障   月球车以太阳能为能源,能够耐受月球表面真空、强辐射,以及从正150摄氏度到负180摄氏度,温差超过300摄氏度的极限温度和环境。工作时的舱内温度可以控制在零下20摄氏度至零上50摄氏度之间。   月球车凭借六个轮子可实现前进、后退、原地转向、行进间转向、20度爬坡、20厘米越障。   &ldquo 月面松软、崎岖不平、障碍物很多。月球车能够对月面环境和障碍进行感知和识别,然后对巡视的路径进行规划。月球车在月面巡视时采取自主导航和地面遥控的组合模式。&rdquo 探月工程副总指挥、探月与航天工程中心主任李本正说。   五、作息:大干3个月 一觉14天   月球上的一天相当于地球上的27天多,月球昼夜间隔相当于地球上14天。李本正说,月球车具备月球表面环境的生存能力,该休息的时候自动进入休眠状态,然后又能自动唤醒重新工作。据新华视点消息,月球车在月球上是连续工作14天,然后&ldquo 睡&rdquo 14天再重新工作。   在月球表面巡视的3个月中,月球车将依靠各种先进设备对月表进行三维光学成像、红外光谱分析,开展月壤厚度和结构的科学探测,对月表物质主要元素进行现场分析。它传回来的数据,将帮助人们更直接、更准确地了解神秘的月亮。   六、月球车探月过程:   1、动身   今年12月,中国将在西昌卫星中心用长征-3B增强型火箭发射&ldquo 嫦娥三号&rdquo 。   2、着陆   当&ldquo 嫦娥三号&rdquo 完成发射、飞行到达月球时,着陆探测器采取不同制导方式,从距月面15公里处开始动力下降,经过主动减速、调整接近、悬停避障等飞行阶段,实现路径优、燃料省、误差小的安全着陆。   &ldquo 到达月球轨道后,月球车将由着陆器背负,由变推力液体火箭发射器控制,通过各种光学、微波等敏感器测量,在月球表面百米高度上进行悬停和平移,以规避岩石和深坑等障碍,选择最佳着陆点缓慢降落月球表面。&rdquo 中国航天科技集团公司宇航部部长赵小津说。   3、准备   着陆器为月球车充电,对月球车进行初始化 之后月球车与地面建立通信链路,控制连接解锁机构解锁,走上转移机构 着陆探测器将控制转移机构运动到月面,月球车驶离转移机构,开始勘查。   4、勘查   为期3个月,月球车将依靠各种先进设备对月表进行三维光学成像、红外光谱分析 开展月壤厚度和结构的科学探测 对月表物质主要元素进行现场分析。
  • 美国SOC为NASA洞察号火星探测器项目提供热控涂层
    SOC为美国航空航天局计划于2018年5月发射的“洞察”号火星探测器提供热控涂层。该探测器的任务是在火星表面放置一个固定的有地震仪和传热探头的装置,用于研究火星的早期地质演变。 地震仪设备是“洞察”号探测器上装载的主要科学仪器,由SOC涂层实验室为其提供热控涂层。 SOC的项目经理Maria Zimmerman指出关键技术:在三米大小的实验室里将蒸汽沉积物经加工处理后覆盖在地震仪设备组件的金制表面上,在这个实验室里让一束光照射该经过加工处理后的沉积物时光束会全部吸收,以此就可以制成横贯三个空间结构的多层均衡涂层。 SOC多年来一直承接美国航空航天局的任务,其中最为显著的是提供了太空飞行器上的开普勒望远镜、核分光望远镜阵列和钱拉德太空望远镜的涂层。
  • 真空设备助力中国PandaX暗物质探测项目
    人类的进步和生活方式的改变,与科学的发展和变革息息相关。从古代人对天文地理编制的美丽神话“盘古开天”,到21世纪好莱坞科幻大片中的“星际穿越”,人类对于广袤宇宙的向往和探索从未停止过。纵观近现代 “群星闪耀”的基础物理发展史,从牛顿,麦克斯韦到爱因斯坦,从万有引力,相对论到量子力学,超弦理论,这些重大发现和著名物理学家不断涌现,推动了现代科学的快速发展。然而,近50年的时间里,基础物理学稍显停滞,并没有出现能够与相对论、量子力学等重大理论突破相提并论的新发展。正因为此,很多拥有伟大物理梦想的科学家和研究人员在着力推动基本粒子和暗物质粒子探测研究,期待可以直达真理,不断探索宇宙的终极秘密。在“标准宇宙学模型”中,宇宙由68%的暗能量(Dark energy)、27%的暗物质(Dark matter)和5%的普通物质(matter)组成,但迄今还没有暗物质观测的直接数据。当前探测暗物质粒子主要包括三类实验方案:一是对撞机探测,通过对撞机实验来产生暗物质粒子,进而探测出来;二是间接探测,包括卫星试验和空间站实验,例如2008年美国发射的名为Fermi的γ射线探测卫星,2015年我国发射的“悟空”暗物质粒子探测卫星;三是直接探测,通过暗物质粒子与原子核作用对暗物质粒子进行探测,但由于作用信号非常微弱,很容易湮没在大量本底环境中,因此需要把探测器放在地底深处的实验室以屏蔽宇宙射线干扰。中国PandaX暗物质探测项目持续推进‍在暗物质粒子的直接探测实验领域,全球有三大最先进的研究项目实验组;中国的PandaX,美国的LUX-ZEPLIN,意大利的XENON。PandaX(熊猫计划)是“粒子和天体物理氙探测器”(Particle and Astrophysical Xenon Experiments)的英文简写,是我国开展的首个百公斤级大型暗物质实验。这些实验都是利用液氙(Xe)作为探测媒介来寻找暗物质。PandaX项目组依托于上海交通大学粒子与核物理研究所和李政道研究所,并与中国科学技术大学,北京大学,山东大学和南开大学等相关实验室直接合作。在2016年PandaX二期实验(500公斤级液氙)已经取得了世界领先的暗物质探测灵敏度。据上海交通大学低温制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示,目前正在进行四吨级液氙探测实验PandaX-4T,将暗物质探测灵敏度向前推进了1-2个数量级。暗物质直接探测需要稳定的低温真空环境 尽管直接探测实验在全世界已经开展了约30年的时间,实验灵敏度有了巨大的提高,但是到目前为止,还没有发现令人信服的暗物质散射的信号。因此,PandaX-4T探测项目通过使用4吨液氙全面增大了灵敏度,但同时在整体实验设计上也会有很多新挑战并需要各种性能优化。考虑到探测机制原理,要探测未知的暗物质跟已知的氙原子可能产生的微弱的闪动光信号,并将其转换成电信号放大来测量,关键就是把其他已知粒子带来的信号全部排斥在外。在PandaX-4T实验项目中,包括了八个子系统:时间投影室探测系统、光电探测系统、前端电子学系统、触发和数据获取系统、气体存储和处理(又称气体纯化)系统、低温系统、精馏系统、低本底控制系统等。其中,低温制冷系统和气体纯化系统都使用了真空泵组作为必要的设备部件,来实现两个基本保障:首先是稳定的低温真空工作环境(零下95度左右),减少外界环境的漏热,将探测介质氙的温度波动控制在大概±0.1k;同时,需要先将材料表面、阀门管道和管线等烘烤加快杂质气体释放,然后抽真空处理,这样氙和极少量的残余气体流经纯化系统,此过程中会吸附气体杂质(避免杂质对后期微弱信号捕捉的干扰),保障氙的纯度。普发真空泵为客户提供高性能真空解决方案PandaX从最开始的250公斤氙的用量,到现在的PandaX-4T,即4吨有效探测量的氙,计划未来将进行30吨级暗物质探测实验,全面覆盖暗物质的参数空间。所以,系统越大就越复杂,探测设备的尺寸越大,绝缘结构和隔热结构的层数就越多,管线数量大大增加。因而对真空泵的数量或者抽速就带来很高的要求,比如理想的夹层真空度一般需要达到10-4帕。因此,实验项目组选择真空泵的主要性能参数(技术指标)就包含了极限真空度,真空泵抽速,密封性,尺寸规格等。据上海交通大学制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示,目前PandaX实验组已经购买了10台普发真空泵(其中6台用于低温系统和液氙存储系统,4台用于精馏系统),主要有以下几个方面的原因:首先,普发真空产品的主要技术指标能够满足严苛的实验条件;其次,产品性能足够优异的基础上,价格合理;再次,普发真空的辅助测量系统使用便捷而稳定,能对持续大半年的不间断探测运行提供可靠的支持;最后,普发真空的售后服务也很完善,能够提供各种技术支持和泄露检测解决方案等等,从而有力地支持了整个PandaX项目运行。从现在到未来,普发真空不断助推暗物质探测目前,普发的真空泵Hicube300Pro和Hipace300已经在PandaX-4T实验项目中得到了成功实践。一方面,真空泵作为必要备件被部署于上海研发实验室的暗物质探测器的子系统中,配合优化和升级的需要;另一方面,普发真空泵被部署于位于世界岩石覆盖最深的四川锦屏地下实验室暗物质探测系统中,实现稳定运行。从实际探测过程看,普发真空泵基本保障了整个探测系统的低温真空环境,为确保探测的灵敏度和精度保驾护航。值得一提的,由于系统运行的特殊地理环境等因素,可靠实时地保障系统各层级的极限真空度,系统部件必须确保极低的漏率,因此PandaX-4T项目还使用了ASM 340D系列检漏仪。通过采用该设备,可以有效地监测出来细微到10-13 Pa• m3/s 的泄漏。 “在目前PandaX-4T项目的基础上,实验室还在研发30吨液氙的探测项目,希望把精度推向下一个数量级。在我们的计划中,从2025年到2035年,这一项目预计总投资将达到数十亿人民币,需要购买47吨液氙来进行暗物质探测。”对于未来的研究计划,巨永林教授满怀信心,也满怀期待,“毫无疑问,液氙的量级越高,对于低温真空环境的稳定性要求也会越高,未来对高性能真空泵的需求也是非常大的。我们希望,以普发真空为代表的企业,能为我们的基础物理研究不断提供更好的工具支持。” 关于普发真空普发真空- (Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604)-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的复合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵,干泵,罗茨泵,多级罗茨泵,检漏仪,真空计, 质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。 从普发真空发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、工业、科研、半导体和前端技术领域,始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿, 在全球拥有 3,400 多名员工,20 多个办事处和 10 个制造工厂。
  • 综述:可变冷光阑红外探测器研究进展和关键技术分析
    为了进一步提高红外变焦光学系统的性能,兼顾其空间分辨率和灵敏度的要求,基于可变冷光阑技术的制冷型变F数红外探测器需求迫切。相较于传统的红外变焦光学系统,变F数红外变焦光学系统可在大视场和小视场切换时保持分辨率和灵敏度的平衡,提高光学系统的孔径利用率,进而缩小光学系统的径向尺寸,有利于红外光学系统成像质量的提升和小型化设计。昆明物理研究所科研团队对变F数与变焦之间的关系进行研究,概述了国内外在可变冷光阑红外探测器技术领域的研究进展,并对主流技术路线的关键技术难点进行了分析。相关研究内容以“可变冷光阑红外探测器研究进展和关键技术分析”为题发表在《红外技术》期刊上。变焦和变F数的关系变焦光学系统的理论依据:光学系统的焦距是一项重要的设计指标,其关系到系统的视场角、空间分辨率等关键性能。变F数与变焦的关系:为了理清变焦与变F数的关系,首先对传统的红外变焦系统进行分析。传统变焦系统中,探测器的F数是固定不变的,而光学系统(为方便讨论,将冷屏作为光学系统的一部分)的F数则分以下几种情况:① 假设系统在最长焦距时入瞳尺寸与物镜尺寸相等:该种情况下,光学系统的F数由最长焦距和物镜尺寸的比值决定,此时冷屏开口即为系统的孔径光阑。在系统由最长焦距切换到短焦状态时,孔径光阑及其尺寸均保持不变,入瞳由原来占满整个物镜逐步等比例缩小。由F数的公式可知,此时光学系统的F数保持不变。如图1所示,探测器的F数固定不变,为F/3,在长焦窄视场时,通光孔径被完全利用,见图中浅蓝色部分;当系统切换至短焦大视场状态时,通光孔径大幅减小,见图1中深蓝色部分。图1 传统变焦红外光学系统的孔径利用率示意图② 假设系统在最短焦距时入瞳尺寸与物镜尺寸相等:该种情况下,系统的F数由最短焦距和物镜尺寸的比值决定。在系统由短焦向长焦切换时,由于物镜尺寸固定,孔径光阑不再是冷屏开口,物镜边框成为了新的孔径光阑,也就是说此时虽然焦距在变大,但是入瞳直径保持不变,使得光学系统的F数逐步增加,并大于探测器的F数,造成冷屏效率的下降。如图2所示,光学系统的F数为F/6,探测器的F数为F/3,光学系统的F数大于探测器,光学系统自身产生的红外辐射大量的进入焦平面,大幅增加系统的NETD,干扰成像。图2 25%冷屏效率系统的辐射示意图实际的变焦光学系统设计时,往往是上述两种情况的平衡,通常不会只考虑某一个状态的性能。而对于变F数光学系统来说,在设计时保证系统在各个焦距下的孔径光阑均为探测器冷光阑,则当系统由长焦变换到短焦时,通过等比例增大冷光阑尺寸,可保证入瞳尺寸保持不变,通光孔径被充分利用,如图3所示。图3 变F数红外光学系统的孔径利用率示意图当系统由短焦变为长焦时,变F数光学系统可以通过等比例减小探测器冷光阑开口尺寸,使得探测器的F数变大,从而保持100%的冷屏效率,避免系统自身的杂散辐射进入焦平面,如图4所示。图4 100%冷屏效率系统的辐射示意图变焦光学系统可兼顾大视场搜索目标和极小视场识别目标的需求,但是由于探测器的F数固定不变,因此要么不能充分利用通光孔径,要么引入大量杂散辐射,不能达到最佳的成像质量。而变F数光学系统则可以很好地解决上述问题。因此理论上,凡是红外变焦光学系统应用的场合,变F数光学系统均可应用,具有广泛的应用前景。可变冷光阑红外探测器的研究进展可变冷光阑的优势可变冷光阑红外探测器技术是目前实现变F数红外系统的重要技术路线。相对于温阑来说,其具有以下几个优势:F数调节范围大且可连续调节。为了解决温阑自身及反射的杂散辐射对成像的影响问题,通常做成球面温阑,这使得F数调节范围小,通常只有两个F数可以选择,或者只能在某两个接近的F数之间进行调节,而可变冷光阑红外探测器可实现系统F数的连续可调,且调节范围较大。可降低系统的复杂度。在传统变焦光学系统中增加温阑设计,将大幅增加光学系统的复杂度和成本。而采用可变冷光阑红外探测器,只需针对探测器杜瓦封装结构进行设计和装配,可大幅降低系统的复杂度。可提升系统的灵敏度。长春光机所的常松涛等人研究了球面温阑对中波640×512(15 μm)红外探测器的NETD的影响,假设球面温阑的温度为20℃,球面温阑的发射率为0.01,当温阑发生0.5℃的温度变化时,温阑引入的NETD达到3.6 mK,虽然引入的NETD很小,但也接近目前探测器本身的NETD。而采用可变冷光阑探测器的方法,引入的NETD可进一步降低。可变冷光阑红外探测器的研究进展国外研究进展:美国弹道导弹防御局(BMDO)在2000年为高空观测系统(HALO)进行更新时设计了一个双波段红外分光系统。如图5所示,该系统在中波和长波的焦平面前端分别设置滤光片转盘,每个转盘上可放置5片不同带通的滤光片以及一片用于背景测试的空白片。美国OKSI公司的Nahum Gat等人先后开发了两套中继光学系统,如图6所示。2013年Nahum Gat等人提出了与杜瓦集成封装的内置式可变冷光阑结构,该结构相较于外置可变冷光阑结构来说结构紧凑,如图7所示。2014年,雷神公司的Jeffrey和Eric等人在Nahum Gat的基础上改进了刀片虹膜式的可变冷光阑结构,其结构示意图如图8所示。雷神公司的第三代前视红外系统是可变冷光阑探测器技术的集大成者。其冷光阑结构如图9所示。此外,雷神公司将中长双波段探测器芯片、双F数可变冷光阑、制冷机、制冷机驱动电路、成像控制电路、冷光阑控制电路等均集成为一个前视红外系统,该系统的体积和重量相对于第二代长波标准先进杜瓦组件(SADA Ⅱ)来说反而更小。包含中长双波段探测器芯片、双F数可变冷光阑、制冷机、成像控制电路、冷光控制电路等均在内的第三代前视红外系统的组成以及实物如图10所示。图5 HALO的双色红外系统图6 带可变冷光阑的真空密封结构和外置可变光阑与滤光片转盘的集成结构图7 刀片虹膜式可变冷光阑图8 双稳态螺线管驱动的可变冷光阑示意图图9 雷神公司可变冷光阑杜瓦俯视图图10 第三代前视红外系统的主要组成部件及系统的实物图国内研究进展:国内对基于可变冷光阑的变F数红外探测器研究较少。上海技物所于2001年发明了一种带可变冷光阑功能的用于红外探测器芯片中测的杜瓦(如图11所示),上海技物所的可变冷光阑结构用于芯片的中测筛选,对结构的小型化以及制冷时间、制冷量的要求不高,因此不适合正式的红外探测器。2014年长春光机所发明了一种与滤光片转盘相似的可变光阑机构(如图12所示)。在光学系统设计方面,613所于2017年设计了可以匹配不同F数探测器的中波大视场光学系统;中电科11所于2022年设计了F/2和F/4可调的变F数光学系统。图11 用于中测杜瓦的可变冷光阑图12 可变式的固定光阑目前国内对于可变冷光阑红外探测器的研究较少,相关产品不够成熟;国外也只有美国雷神公司对该技术进行深入研究,目前产品已进行小批量试制。通过对国内外研究现状的对比,可以发现雷神公司采用的与杜瓦集成封装的内置式可变冷光阑是实现变F数红外探测器的可行的技术路线。该技术路线有如下几点优势:1)集成度高:针对640×480(20 μm)的芯片封装,雷神公司的探测器体积和重量甚至还略小于SADA II探测器;2)可靠性高:可变冷光阑在制冷状态下可进行1万次的开合运动,在非制冷状态下可进行10万次的开合运动;3)功耗低:由于可变冷光阑机构与杜瓦进行集成封装,无需单独为其再配备制冷机,因此功耗不大于75 W,且常温降温时间小于10 min;4)响应时间快:虽然雷神的报道中没有明确说明F数的切换时间,但是根据其使用的压电电机的特性,F数的切换时间可满足光学系统视场切换时间的要求。可变冷光阑红外探测器的关键技术采用刀片虹膜式的可变冷光阑结构,并将其与杜瓦进行集成封装,存在以下关键技术:1)可变冷光阑杜瓦的整体设计技术可变冷光阑杜瓦与传统的固定光阑杜瓦在设计上有很大的不同,需从整体设计上来保证功能的实现。主要需考虑整体结构设计、光阑片的设计、驱动方式的选择、结构的温度控制、整体装配集成、小型化以及可靠性等多方面的技术。2)可变冷光阑精密装配技术可变冷光阑涉及到光阑片的精密装调、驱动电机的隔热装配以及整体结构的精密封装等装配步骤,由于其结构比传统冷屏结构复杂得多,且存在运动部件,其装配更加困难。而光阑片的装配精度关系到运动机构的长期可靠性以及运动过程中的摩擦力,同时影响驱动功率的大小;而驱动电机的装配精度关系到光阑片的受力均匀性以及温控效果;整体结构的装配精度关系到成像的质量。因此需从设计和工艺等多方面进行综合考虑,保证其装配精度及长期可靠性。3)微型电机设计和制造技术对于可变冷光阑来说,压电陶瓷电机是一种比较适合的驱动方式。压电陶瓷电机单位体积下的力矩较大,没有电磁干扰,具有断电自锁功能。一方面,为了缩小可变冷光阑红外探测器的体积,压电陶瓷电机的体积必须很小,另一方面,光阑片的运动阻力要求压电电机的力矩不能过小。因此需通过电机结构设计优化、高性能压电陶瓷的制造、电机制造工艺的改进等多个方面实现小型化大力矩电机的研制,将杜瓦的体积控制在可接受的范围内。4)杜瓦热固耦合设计技术可变冷光阑由于引入了复杂的运动机构,冷头热质量大幅增加,因此,需从结构设计以及材料选择等多方面进行研究和考虑,减小杜瓦热质量,解决快速制冷的问题。此外,可变冷光阑通过电机与杜瓦外壳热连接,需通过结构设计减小杜瓦的漏热。最后,光阑片之间通过叠加的方式互相贴合,热阻很大,需减小光阑片之间以及光阑片与冷屏之间的热阻,从而使光阑片温度降低至不影响焦平面成像的水平。5)可变冷光阑运动控制技术探测器的F数由冷光阑的开口尺寸决定,因此需精确控制冷光阑的运动,从而精确控制探测器的F数。压电陶瓷电机具有断电自锁的功能,即电机断电后可变冷光阑将立即停止运动,停在断电瞬间的位置,因此在控制方面只需要考虑可变冷光阑运动的反馈问题即可,这关键在于选择合适的小型化位置传感器,并结合可变冷光阑的结构设计,将传感器安装固定在合适的位置。6)光阑片表面镀膜技术光阑片表面需进行镀膜处理,膜层需满足摩擦系数小、耐磨以及反射率低3个条件。摩擦系数小可以减小光阑片之间的摩擦力,减小压电电机的力矩需求,有利于电机的小型化;耐磨性高则有利于可变冷光阑机构的可靠性,防止出现膜层脱落干扰成像的现象;反射率低则可以防止芯片的冷反射。结论这项研究从变焦和变F数的关系出发,阐述了变F数光学系统的优势。与传统的变焦光学系统相比,具有可变F数功能的变焦光学系统可兼顾系统的空间分辨率和灵敏度需求,提高系统的孔径利用率,有利于成像质量的提升和系统的小型化。对可变冷光阑的研究进展进行了分析,发现雷神公司的内置刀片虹膜式可变冷光阑是可行性高、性能优异的技术路线,并对该技术路线的关键技术进行了详细分析。对可变冷光阑红外探测器的研究和应用提供了参考。论文信息:http://hwjs.nvir.cn/cn/article/id/7222d189-ab24-490d-9bd9-98f665c31ed1
  • 华南理工研制新型有机半导体红外光电探测器,性能超越传统近红外探测器
    随着近红外(NIR)和短波红外(SWIR)光谱在人工智能驱动技术(如机器人、自动驾驶汽车、增强现实/虚拟现实以及3D人脸识别)中的广泛应用,市场对高计数、低成本焦平面阵列的需求日益增长。传统短波红外光电二极管主要基于InGaAs或锗(Ge)晶体,其制造工艺复杂、器件暗电流大。有机半导体是一种可行的替代品,其制造工艺更简单且光学特性可调谐。据麦姆斯咨询报道,近日,华南理工大学的研究团队研制出基于有机半导体的新型红外光电探测器。这项技术有望彻底改变成像技术,该有机光电二极管在近紫外到短波红外的宽波段内均优于传统无机探测器。这项研究成果以“Infrared Photodetectors and Image Arrays Made with Organic Semiconductors”为题发表在Chinese Journal of Polymer Science期刊上。研究团队采用窄带隙聚合物半导体制造薄膜光电二极管,该器件探测范围涵盖红外波段。这种新技术的成本仅为传统无机光电探测器的一小部分,但其性能可与传统无机光电探测器(如InGaAs光电探测器)相媲美。研究人员将更大的杂原子、不规则的骨架与侧链上更长的分支位置结合起来,创造出光谱响应范围涵盖近紫外到短波红外波段的聚合物半导体(PPCPD),并制造出基于PPCPD的光电探测器,相关性能结果如图1所示。图1 基于PPCPD的光电探测器性能在特定探测率方面,该器件与基于InGaAs的探测器相比具有竞争力,在1.15 μm波长上的探测率可达5.55 × 10¹² Jones。该有机光电探测器的显著特征是,当其集成到高像素密度图像传感器阵列时,无需在传感层中进行像素级图案化。这种集成制造工艺显著简化了制备流程,大幅降低了成本。图2 短波红外成像系统及成像示例华南理工大学教授、发光材料与器件国家重点实验室副主任黄飞教授表示:“我们开发的有机光电探测器标志着高性价比、高性能的红外成像技术的发展向前迈出了关键的一步。与传统无机光电二极管相比,有机器件具有适应性和可扩展性,其潜在应用范围还包括工业机器人和医疗诊断领域。”该新型有机光电探测器有望对各行各业产生重大影响。它们为监控和安全领域的成像系统提供了更为经济的选择。未来,基于有机技术的医疗成像设备有望更加普及,价格也会更加合理,从而在医疗环境中实现更全面的应用。该器件的适应性和可扩展性还为尖端机器人和人工智能等领域的应用铺平道路。这项研究得到了国家自然科学基金(编号:U21A6002和51933003)和广东省基础与应用基础研究重大项目(编号:2019B030302007)的资助。论文链接:https://doi.org/10.1007/s10118-023-2973-8
  • 美开发出新型量子点红外探测器
    美国伦斯勒理工学院的研究人员开发出了一种基于纳米技术的新型量子点红外探测器(QDIP)。这种以金为主要材料的新型元件可大幅提高现有红外设备的成像素质,将为下一代高清卫星相机和夜视设备的研发提供可能。相关论文发表在《纳米快报》杂志网站上。   由美国空军科研局资助的这一项目,通过在传统量子点红外探测器元件上增加金纳米薄膜和小孔结构的方式,可将现有量子点红外探测器的灵敏度提高两倍。   研究人员称,红外探测器的灵敏程度从根本上取决于在去除干扰后所能接收到的光线的多寡。目前大多数红外探测器都以碲镉汞技术(MCT)为基础。该元件对红外辐射极为敏感,可获得较强信号,但同时也面临着无法长时间使用的缺憾(信号强度会逐步降低)。   在这项新研究中,研究人员使用了一个厚度为50纳米、具有延展性的金薄膜,在其上设置了大量直径1.6微米、深1微米的小孔,并在孔内填充了具有独特光学性能的半导体材料以形成量子点。纳米尺度上的金薄膜可将光线“挤进”小孔并聚焦到嵌入的量子点上。这种结构强化了探测器捕获光线的能力,同时也提高了量子点的光电转换效率。实验结果表明,在不增加重量和干扰的情况下,通过该设备所获得的信号强度比传统量子点红外探测器增强了两倍。下一步,他们计划通过扩大表面小孔直径和改良量子点透镜方法对设备加以改进。研究人员预计,该设备在灵敏度上至少还有20倍的提升空间。   负责此项研究的伦斯勒理工学院物理学教授林善瑜(音译)称,这一实验为新型量子点红外光电探测器的发展树立了一个新路标。这是近10年来首次在不增加干扰信号的情况下成功使红外探测器的灵敏度得到提升,极有可能推动红外探测技术进入新的发展阶段。   红外传感及探测设备在卫星遥感、气象及环境监测、医学成像以及夜视仪器研发上均有着广泛的应用价值。林善瑜在2008年时曾开发出一种纳米涂层,将其覆盖在太阳能电池板上,可使后者的阳光吸收率提高到96%以上。
  • 高载流子迁移率胶体量子点红外探测器
    短波红外和中波红外波段是两个重要的大气窗口。在该波段范围内,碲化汞胶体量子点表现出良好的光响应。此外,胶体量子点具有易于液相加工制备以及与硅基工艺兼容等优势,因此有望显著降低红外光电探测器的成本。然而,目前胶体量子点红外光电探测器在比探测率、响应度等核心性能方面与传统块体半导体红外探测器相比仍存在一定差距。有效地调控掺杂和迁移率等输运性质是提升量子点红外光电探测器性能的关键。据麦姆斯咨询报道,近期,北京理工大学光电学院和北京理工大学长三角研究院的科研团队在《光学学报》期刊上发表了以“高载流子迁移率胶体量子点红外探测器”为主题的文章。该文章第一作者为薛晓梦,通讯作者为陈梦璐和郝群。在本项工作中,采用混相配体交换的方法将载流子迁移率提升,并且实现了N型、本征型、P型等多种掺杂类型的调控。在此基础之上,进一步研究了输运性质对探测器性能的影响。与光导型探测器相比,光伏型探测器不需要额外施加偏置电压,没有散粒噪声,拥有更高的理论灵敏度,因此是本项工作的研究重点。同时,使用高载流子迁移率的本征型碲化汞量子点薄膜制备了短波及中波红外光伏型光电探测器。实验过程材料的合成:Te前驱体的制备在氮气环境下,称量1.276 g(1 mmol)碲颗粒置于玻璃瓶中,并加入10 ml的三正辛基膦(TOP)中,均匀搅拌至溶解,得到透明浅黄色的溶液,即为TOP Te溶液。碲化汞胶体量子点的合成在氮气环境下,称量0.1088 g(0.4 mmol,氮气环境下储存)氯化汞粉末置于玻璃瓶中,并加入16 ml油胺(OAM),均匀搅拌并加热至氯化汞粉末全部溶解。本工作中合成短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的反应温度分别为65℃和95℃。使用移液枪取0.4 mL的TOP Te溶液,快速注入到溶于油胺的氯化汞溶液中,反应时间分别为4 min和6 min。反应结束后加入20 ml无水四氯乙烯(TCE)作为淬火溶液。碲化银纳米晶体颗粒的合成在氮气环境下,称量0.068 g(0.4 mmol)硝酸,并加入1 mL油酸(OA)和10 mL油胺(OAM)中,均匀搅拌30 min。溶解后,注入1 mL TOP,快速加热至160℃并持续30-45 min。然后向反应溶液中注入0.2 mL TOP Te(0.2 mmol),反应时间为10 min。碲化汞胶体量子点的混相配体交换混相配体交换过程包括液相配体交换和固相配体交换。选择溴化双十二烷基二甲基铵(DDAB)作为催化剂,将碲化汞胶体量子点溶在正己烷中,取4 ml混合溶液与160 μL β-巯基乙醇(β-ME)和8 mg DDAB在N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中混合。之后向溶液中加入异丙醇(IPA)进行离心,倒掉上清液,将沉淀物重新溶解在60μL DMF中。固相配体交换是在制备量子点薄膜后,用1,2-乙二硫醇(EDT)、盐酸(HCL)和IPA(体积比为1:1:20)溶液对已成膜的碲化汞胶体量子点表面进行处理。碲化汞胶体量子点的掺杂调控在调控碲化汞胶体量子点的掺杂方面,Hg²⁺可以通过表面偶极子稳定量子点中的电子,所以选择汞盐(HgCl₂)来调控量子点的掺杂状态。在液相配体交换结束后,向溶于DMF的碲化汞胶体量子点溶液中加入10 mg HgCl₂得到本征型碲化汞胶体量子点,加入20 mg HgCl₂得到N型碲化汞胶体量子点。材料表征采用混相配体交换的方法不仅可以提高载流子迁移率还可以通过表面偶极子调控碲化汞胶体量子点的掺杂密度。液相配体交换前后中波红外碲化汞胶体量子点的TEM图像如图1(a)所示,可以看到,进行液相配体交换后的碲化汞胶体量子点之间的间距明显减小,排列更加紧密。致密的排列可以提高碲化汞胶体量子点对光的吸收率。混相配体交换后的短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的吸收光谱如图1(b)所示,从图1(b)可以看出,短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的吸收峰分别为5250 cm⁻¹和2700 cm⁻¹。利用场效应晶体管(FET)对碲化汞胶体量子点的迁移率和薄膜的掺杂状态进行测量,把碲化汞胶体量子点沉积在表面有一层薄的SiO₂作为绝缘层的Si基底上,基底两侧的金电极分别作为漏极和源极,Si作为栅极,器件结构如图1(c)所示。通过控制栅极的极性和电压大小,可以使场效应晶体管分别处于截止或导通状态。图1(d)是N型、本征型和P型中波红外碲化汞胶体量子点的场效应晶体管转移曲线。利用FET传输曲线的斜率计算了载流子的迁移率μFET。图1 (a)混相配体交换前后碲化汞胶体量子点的透射电镜图;(b)短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的吸收光谱;(c)碲化汞胶体量子点薄膜场效应晶体管测量原理图;(d)在300K时N型、本征型和P型中波红外碲化汞胶体量子点的场效应晶体管转移曲线测试结果。分析与讨论碲化汞胶体量子点光电探测器的制备光伏型探测器不需要施加额外的偏置电压,没有散粒噪声,理论上会具有更好的性能,借鉴之前文献中的报告,器件结构设计为Al₂O₃/ITO/HgTe/Ag₂Te/Au,制备方法如下:第一步,在蓝宝石基底上磁控溅射沉积50 nm ITO,ITO的功函数在4.5~4.7 eV之间。第二步,制备约470 nm的本征型碲化汞胶体量子点薄膜。第三步,取50 μL碲化银纳米晶体溶液以3000 r/min转速旋转30 s,然后用HgCl₂/MEOH(10 mmol/L)溶液静置10 s后以3000 r/min转速旋转30 s,重复上述步骤两次。在这里,Ag⁺作为P型掺杂层,与本征型碲化汞胶体量子点层形成P-I异质结。最后,将器件移至蒸发镀膜机中,在真空环境(5×10⁻⁴ Pa)下蒸镀50 nm Au作为顶层的电极。高迁移率光伏型探测器的结构图和横截面扫描电镜图如图2(a)所示。能级图如图2(b)所示。制备好的探测器的面积为0.2 mm × 0.2 mm。图2 (a)高迁移率碲化汞胶体量子点P-I异质结结构示意图及扫描电镜截面图 (b)碲化汞胶体量子点P-I异质结能带图。器件性能表征为了探究高载流子迁移率短波红外和中波红外光伏型探测器的光电特性,我们测试了器件的I-V曲线以及响应光谱。图3(a)和(b)分别是高迁移率短波红外和中波红外器件的I-V特性曲线,可以看到短波红外和中波红外探测器的开路电压分别为140 mV和80 mV,这表明PI结中形成了较强的内建电场。此外,在零偏置下,高迁移率短波红外和中波红外器件的光电流分别为0.27 μA和5.5 μA。图3(d)和(e)分别为1.9 μm(300 K) ~ 2.03 μm(80 K)的短波红外器件的响应光谱和3.5 μm(300 K) ~ 4.2 μm(80 K)的中波红外器件的响应光谱。比探测率D*和响应度R是表征光电探测器性能的重要参数。R是探测器的响应度,用来描述器件光电转换能力的物理量,即输出信号光电流与输入光信号功率之比。图3 (a)300 K时短波红外I-V曲线;(b)80 K时中波红外I-V曲线;(c)短波红外及中波红外器件的比探测率随温度的变化;(d)短波红外器件在80 K和300 K时的光谱响应;(e)中波红外器件在80 K和300 K时的光谱响应;(f)短波红外和中波红外器件的响应度随温度的变化。图3(e)和(f)给出了探测器的比探测率D*和响应度R随温度的变化。可以看到,短波红外器件在所有被测温度下,D*都可以达到1×10¹¹ Jones以上,中波红外器件在110 K下的D*达到了1.2×10¹¹ Jones。应用此外,本工作验证高载流子迁移率的短波红外和中波红外量子点光电探测器在实际应用,如光谱仪和红外相机。光谱仪实验装置示意图如图4(a)所示,其内部主要是一个迈克尔逊干涉仪。图4(b)和(c)为使用短波红外和中波红外量子点器件探测时有样品和没有样品的光谱响应结果。图4(e)和图4(f)为样品在短波红外和中波红外波段的透过率曲线。对于短波红外波段,选择了CBZ、DDT、BA和TCE这四种样品,它们在可见光下都是透明的,肉眼无法进行区分,但在短波红外的光谱响应和透过率不同。对于中波红外波段,选择了PP和PVC这两个样品。在可见光下它们都是白色的塑料,但在中波红外光谱响应和透过率不同。图4(d)为自制短波红外和中波红外单点相机的扫描成像。,短波相机成像可以给出材质信息。中波红外相机成像则是反应热信息。以烙铁的中波红外成像为例,我们可以清楚地了解烙铁内部的温度分布。在可见光下,硅片呈现不透明的状态使用自制的短波红外相机成像后硅片呈现半透明的状态。图4 (a)利用高载流子迁移率探测器进行响应光谱测量的原理示意图;(b)和(c)分别是在有样品和没有样品两种模式下用自制探测器所探测到的光谱响应;(d)自制短波红外和中波红外光电探测器的单像素扫描成像结果图;(e)TCE、BA、DDT和CBZ在短波红外模式下的透光率,插图为四种样品的可见光图像;(f)PVC和PP在中波红外模式下的透光率,插图为两种样品的可见光图像。结论综上所述,采用混相配体交换的方法,将量子点薄膜中的载流子迁移率提升到了1 cm²/Vs,相较于之前的研究提升了2个量级。并且通过加入汞盐实现了对量子点薄膜的掺杂调控,分别实现了P型、本征型以及N型多种类型的量子点薄膜。同时,基于本征型高迁移率量子点制备了短波红外和中波红外波段的光伏型光电探测器。测试结果表明,提升量子点的输运性质,有效的提升了探测器的响应率、比探测率等核心性能,并且实现了光谱仪和红外相机等应用。本项工作促进了低成本、高性能量子点红外光电探测器的发展。这项研究获得国家自然科学基金(NSFC No.U22A2081、No.62105022)、中国科学技术协会青年托举工程(No.YESS20210142)和北京市科技新星计划(No.Z211100002121069)的资助和支持。论文链接:https://link.cnki.net/urlid/31. 1 252.o4.20230925.0923.016
  • 新型探测器可快速获取二维图像
    由新型材料制造的探测器可以立刻扫描出整个物体,并生成二维图像。 图片来源:http://phys.org   近日,美国杜克大学的研究团队利用一种性能独特的材料,成功研制出部件更少、获取图像效率更高的探测器。相关研究成果日前在线发表于《科学》。   据介绍,这种新型材料名为“超级材料”,其微观结构是由一个个方形孔隙组成,每个方形孔隙都经过调谐,可以通过特定频率的光波。将这种材料蚀刻在铜片上后,即可收集图像,起到传统探测器摄像头的作用。   “利用这种材料,我们无需借助传统探测器摄像头中的透镜以及相关机械传动装置,即可获得被检测物体的微波图像。”该研究团队成员、杜克大学普拉特学院电气工程和计算机系研究生约翰亨特说。   他告诉记者,这种材料在被蚀刻于铜片之后,具备了很强的可塑性,并且坚固耐用。在使用时,可以被挂在安保场所的墙上,甚至像地毯一样被铺在地上。由于该材料上每个孔隙都可以单独接收某一频率光波所形成的图像,因此,将不同频率光波形成的图像合成后,即可获得被检测物体的全景图像。   亨特表示,机场中的安检设备等传统探测仪器,需要用透镜以及配套的机械传动装置对物体进行扫描。“在得到图像之前,你必须等待扫描过程的完成。而‘超级材料’中的每个孔隙,都相当于一个单独的‘摄像头’,因此,由这种材料制造的探测器可以立刻扫描出整个物体,并生成二维图像。其效率要比传统仪器高出许多,并使得我们可以在获取图像的同时,对图像进行压缩、处理。”他说。   此外,“用这种材料作为‘摄像头’的探测器也不再需要透镜、机械传动装置以及配套的信息存储与传送系统了。”该研究团队另一成员、美国加州大学博士后汤姆得利斯科尔说。   目前,研究者正对这一新型探测器进行改进,以使其能够获取三维图像。   据悉,该研究获得了美国空军科学研究办公室的资助。
  • Incoatec发布Incoatec+微型X射线探测器标定光源-iXmini新品
    Incoatec 微型X射线探测器标定源 iXminiIncoatec推出了可用于探测器标定的便携式微型X射线源,iXmini,射线管阳极靶材为Fe或Cu。iXmini是探测器平场校准可信赖的光源,可完全替代实验室金属箔荧光和放射性同位素校准物。有了iXmini,即使没有其它可用x射线源时,如同步加速器停机期间,也可可随时校准探测器。iXmini是一种简单和易于使用的X射线源,也可用于辐射探测器系统定期检查。特点和功能l 非放射性校准物l 无放射源需要的特殊储存或处置许可l 操作简单和安全l 可用于低真空环境(低至10-2 – 10-3 mbar)l 占用空间小:103×120×89.5mm3l 集成高压发生器和安全联锁装置l 2组独立的安全线联锁系统l 最大功率100mW (4-10 kV,2-10 μA)l 4种可选预定义功率设置,控制旋钮选择iXmini阳极靶材为Fe(Kα= 6.4keV)或Cu(Kα= 8.04 keV),主要用于探测器刻度,无需放射性校准物或荧光金属箔。iXmini规格参数尺寸103×120×89.5mm3重量~ 1500g供电电压DC 24.0 ± 1 VX-射线管金属陶瓷,透射阳极靶材Fe或Cu(150nm铍窗)典型工作电压4.0 – 10 kV最大功率100 mW系统集成当2个安全联锁装置关闭时,只要接通24V电压,iXmini就放出X-射线。需求24V DC 1A外接电源,无需制冷功率设置iXmini有四种预定义功率设置,提供不同的X射线光强。从顶部旋钮选择。快门iXmini快门是手动的。在上电和关闭安全锁前手动打开,在关闭电源后手动关闭。指示灯iXmini有两个状态指示灯,X-RAY ON和BEAM ON。在X射线管功率上升期间,这两个指示灯会闪烁,达到设定功率后常亮。iXmini用于CMOS探测器平场刻度用于校正的图像:Cu靶,10kV10μA,曝光1000s两幅1000s图像对比,和相应的强度分布,有平场校正(上)和无平场校正(下)。从分布图可以看出,应用平场校正可显著改善强度分布。此外,获取了一组曝光时间不同的图像,以确定要得到好的校正结果所需的最短曝光时间。结果表明,600s曝光就可以得到相当不错的校正结果。强度均匀性与所用平场校正图像的曝光时间之间的相关性。600s曝光时间足以得到很好的校正结果创新点:iXmini是一款专用于X射线探测器标定的便携式、小型化X射线源,相较于之前的放射性源或金属荧光源,iXmini无需像放射性源一样的特殊使用许可,储存条件,使用也更为便捷,插电就可使用。同时iXmini可以在10-2 - 10-3 mbar的真空环境使用。 Incoatec+微型X射线探测器标定光源-iXmini
  • Rigaku推出速度最快的XRD探测器
    相对其他探测器,Rigaku新的D/teX Ultra 250 silicon strip探测器减少了近50%的数据采集时间。通过增加孔径有效面积提高了整体的计数率、探测器的覆盖角,达到省时的效果。通过低能歧视和次要单色仪的独一无二结合,该探测器获得了非常好的能量分辨率、x射线荧光 (XRF)抑制。   Rigaku公司推出的D/teX Ultra 250 1D检测器是公司持续努力减少x射线衍射(XRD)数据采集时间的一个成果,大幅提高了仪器的通量等性能。新silicon strip探测器可以用于Rigaku顶级的,以创新指导软件、自动校准、CBO光学闻名的Smartlab衍射系统。D/teX Ultra 250相对于之前的探测器有很多改进,包括一个较小的像素尺寸 (0.075 mm versus 0.10 mm)提高了分辨率,增加长度提高了计数率和覆盖角,一个独特的XRF抑制配置使得能量分辨率更加优秀。 编译:刘丰秋
  • 理学推出用于XRD的一维探测器
    近日,理学公司推出了新型D/teX Ultra 250硅探测器,与同类产品相比,将数据采集时间降低了将近50%。节省时间的实现主要是通过增加孔径的有效面积,从而提高整体的计数率,并增加了检测器的角度覆盖范围。该探测器拥有非常好的能量分辨率,并可以很好的抑制X射线荧光。   D/teX Ultra 250 一维探测器主要在于减少仪器的X射线衍射(XRD)数据采集时间,提高仪器效率。新型硅条探测器可用于理学的Smartlab系列衍射仪。 与上一代探测器相比,D/teX Ultra 250拥有多处改进,包括更小的像素间距(0.075毫米与0.10毫米)、分辨率更高、速度更快,计数率提高和角度覆盖范围增大,以及独特的XRF抑制结构使得能量分辨率更高。
  • 近红外双模式单光子探测器----单光子探测主力量子通讯
    一. 近红外双模式单光子探测器介绍SPD_NIR为900nm至1700 nm的近红外范围内的单光子检测带来了重大突破。 SPD_NIR建立在冷却的InGaAs / InP盖革模式单光子雪崩光电二极管技术上,是NIR单光子检测器的第一代产品,可同时执行同步“门控”(GM)和异步“自由运行”(FR )检测模式。 用户通过提供的软件界面选择检测模式。冠jun级别的器件具有低至800 cps的超低噪声,高达30%的高校准量子效率,100 ns最小死区,100 MHz外部触发,150 ps的快速成帧分辨率和极低的脉冲 。 当需要光子耦合时,标准等级可提供非常有价值且经济高效的解决方案。基于工业设计,该设备齐全的探测器不需要任何额外的笨重的冷却系统和控制单元。 经过精心设计的紧凑性及其现代接口使SPD_NIR非常易于集成到最苛刻的分析仪器和Quantum系统中。OEM紧凑型 多通道控制器软件界面二. 近红外双模式单光子探测器原理TPS_1550_type_II是基于远程波长自发下变频的双光子源。TPS_1550_type_II采用波导周期性极化铌酸锂(WG-ppln)晶体,用于产生光子对。波导- ppln的转换效率比任何块状晶体都高2到3个数量级,并确保与单模光纤的高效耦合。0型和II型双光子的产生三. 近红外双模式单光子探测器应用特点特点: ▪ 自由模式 & 门模式▪ 集成电子计数▪ 校准后 QE可达 30%▪ TTL和NIM信号兼容▪ 暗记数 ▪ 盖革模式激光雷达▪ 量子密钥分发▪ 高分辨率OTDR▪ 光子源特性▪ FLIM 成像▪ 符合测试▪ 光纤传感四. 近红外双模式单光子探测器技术规格五. Aura 介绍AUREA Technology是法国一家知名的探测器供应商,公司致力于尖端技术的研发,基于先进的单光子雪崩光电二极管,超快激光二极管和快速定时电子设备,设计和制造了新一代高性能,功能齐全的近红外探测器。作为全球技术领导者之一,AUREA技术提供盖革模式单光子计数,皮秒激光源,快速时间关联和光纤传感仪器。此外,AUREA Technology直接或通过其在北美,欧洲和亚洲的专业分销渠道为200多个全球客户提供一流的专业支持。并与客户紧密合作,以应对当今和未来在量子安全,生命科学,纳米技术,汽车,医疗和国防领域的挑战。昊量光电作为法国AUREA公司在中国区域的独家代理商,全权负责法国Aurea公司在中国的销售、售后与技术支持工作。AUREA技术提供了新一代的光学仪器,使科学家和工程师实现卓越的测量结果。奥瑞亚科技与全球的客户和合作伙伴紧密合作,共同应对量子光学、生命科学、纳米技术、化学、生物医学、航空和半导体等行业的当前和未来挑战双光子是展示量子物理原理的关键元素,并实现新的量子应用。例如,双光子使量子密钥分发技术得以发展,以确保数百公里范围内的数据网络安全。在生物成像应用中,双光子光源产生原始的无色散测量。 更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。
  • 提前布局,突破封锁|上海技物所:红外探测器的自主创新之路
    1951年初夏,“戈登将军”号海轮从美国旧金山码头出发,驶向中国。当祖国大陆在眼前逐渐浮现,甲板上一个年轻人眼噙热泪:“祖国,您的游子终于回来了!”这位对祖国母亲日思夜想的年轻人,便是日后成为中国半导体及红外学科奠基者、引路人和中国科学院院士的汤定元。往后很多年里,每每有人问他“为什么放弃那么好的科研条件回国”,汤定元的答案只有一个——为振兴中华尽自己的绵薄之力。1 写给元帅的三封信现代红外科学技术研究起步于20世纪40年代的德国。二战后,德国红外技术研究中断,相关成果成为美国和苏联的战利品。由于红外技术最初主要应用于军事,美国长期在保密条件下开展相关研究,直到1959年9月才首次公开发表部分研究进展。汤定元是新中国成立后第一批归国的留学生之一。回国后,他来到中国科学院工作,以半导体光学及光电性能为研究方向。那时,国内对于“红外探测器”还处于认知启蒙阶段,技术研究更是一片空白。就连汤定元本人也仅仅是“听说它很重要,但不知道重要在哪里”。但时刻关注国际前沿的汤定元知道,红外技术是一项必须跟进的新兴技术。他带领项目组在国内最早开展硫化铅红外探测器研究,“开展硫化铅等红外探测器的研究”被列入了“十二年科技规划”。为响应党中央“向科学进军”的号召,汤定元提出,科学研究要基于国家实际,面向国家的现实需求;中国科学院不仅要做机制研究,也要承担产品的试制甚至生产任务。1958年,汤定元给时任国防科学技术委员会主任聂荣臻元帅写了一封信,力陈红外探测器对于国防及经济建设的重要性。很快,红外技术的研究任务被正式提出。但不久后,由于经济困难,国内很多研究被迫停滞。忧心忡忡的汤定元再次致信聂荣臻:“红外技术研究是大有发展前途的,不能让它中断,但也不能搞‘一窝蜂’,要聚散为整,集中全国的科研力量进行攻关。”在他的倡议下,国家将红外技术和应用光学并列作为我国科研发展重点。中国科学院决定整合院内红外研究力量,并在1964年年初进行了布局调整——将昆明物理研究所及中国科学院上海技术物理研究所(以下简称:上海技物所)转为红外技术研究专业所,同时将中国科学院物理研究所和中国科学院半导体研究所红外方面的工作分别调整到这两个所中。肩负着“使上海技物所工作全面转向红外技术”的重任,汤定元同十余位同事共同前往上海技物所。在早期的探索阶段,美国送来了“礼物”。1965年,一架美国战斗机在我国境内被击落,残骸中有机载红外探测器等部件。汤定元获悉后,再次致信聂荣臻,恳请由上海技物所承担该战斗机同类型红外雷达的研制任务,他的信心和决心再次得到支持。从此,一部扎根于上海技物所的红外传奇徐徐展开。汤定元(左二)在实验室与学生交流科研进展2 冲向蓝天上海技物所红外技术的生根发芽还离不开一个人——中国科学院院士匡定波。在上海电子学研究所红外技术研究室工作期间,匡定波和同事接到一项紧急任务——研制出一种微波雷达以外的夜间飞机探测技术。后来,匡定波转入上海技物所工作,这项任务也随之移交至上海技物所。研制过程中,匡定波深刻认识到探测器作为红外装置“心脏”的重要性,“要做红外装置,首先要有红外探测器”。没有任何资料可借鉴,也没有像样的仪器设备,团队下了很大功夫,终于了解到上海自动化仪表厂和中国科学院上海冶金研究所(现中国科学院上海微系统与信息技术研究所)有人在研究,便专门派人去学习,再回来自己做。有了探测器,自主研制红外装置就有了可能。慢慢地,团队做出来的探测器可以接收到2米外一根点燃的卫生香的信号了,再往后,10米、70米……最终,我国首套用于歼击机的红外探测装置在上海技物所诞生!20世纪60年代,上海技物所还参与了另一项重大任务——研制搭载于“东方红一号”人造卫星的红外敏感光学探头。“东方红一号”人造卫星发射升空后,红外探头传来了清晰的信号。自此,我国自研航天用红外器件的实力得到证实。3 拔“碲”而起在周恩来总理“要搞我们自己的气象卫星”的倡议下,1972年,气象卫星预研工作开始。上海技物所承担了卫星红外扫描辐射计的研制任务,匡定波为主任设计师。这颗卫星就是后来的“风云一号”。匡定波参加“风云一号”气象卫星B星发射随着卫星参数逐步确定,匡定波等人关注到,美国预告发射的新气象卫星搭载的扫描辐射计信号全部从模拟制式改成数字制式,地面分辨率提高64倍,将完全取代我国在研方案对标的高分辨率扫描辐射计。“如果按原定指标,在发射前完成研制是有把握的。但方案已经在技术上落伍了,等卫星上天以后,世界各国不会再接收这样的云图。”匡定波指出,“必须提升指标,采用新一代技术方案。”上海技物所的研究人员主动“自我加压”,着手提升核心部件的性能指标。其中,研究员龚惠兴(1995年当选为中国工程院院士)负责扫描辐射计整体研制工作,红外探测器的任务交给了研究员方家熊(2001年当选为中国工程院院士)。多番研讨后,团队决定选用与国际接轨的先进方案,用碲镉汞器件观测地球。碲镉汞被誉为红外探测器的“天选”材料,其禁带宽度随组分变化,可以制备各种波段的红外探测器。尽管上海技物所是国内最早开始研制碲镉汞的单位,但当时材料指标离要求还有很大差距,其中最突出的是工作温度问题。实验室研制的碲镉汞红外探测器在液氮制冷——即零下196.15摄氏度下工作性能良好,但在太空中,辐射制冷器只能为探测器提供零下168.15摄氏度的环境,在该温度下,探测器的性能急剧下降。本着一股不服输的劲儿,方家熊带领29人的小组迎难而上。为了以最高效率攻克难题,他给团队立下了规矩:“全力配合总体,出问题从自己身上反思原因。”他们一一攻克材料提纯、合成、检测、应用环境模拟等难关,并专门搭建了测量温度变化的设备,详细分析碲镉汞器件在不同温度下的性能,仔细研究参数和工艺。当温度问题被基本解决后,团队又夜以继日地攻克了探测器封装难题。1988年9月7日,上海技物所建所30周年之际,“风云一号”气象卫星在太原卫星发射中心成功升空,不久后,红外扫描辐射计顺利获取清晰图像。这意味着我国成为继美国之后第二个同时掌握光导型碲镉汞和辐射制冷技术的国家。同时期的欧洲早于我国起步,却迟迟未能做成。1988年“风云一号”气象卫星发射任务试验队员凯旋4 自我施压,瞄准国际前沿为何我国能在基础薄弱、技术被封锁的情况下,一举攻下碲镉汞器件难题?这靠的是科学家自我施压、自我超越的拼搏精神。随着红外探测器应用范围的不断拓展,为了集中力量保证航天工程等国家重大任务的顺利完成,上海技物所将碲镉汞的材料与器件研究工作统一归并到第十研究室,由方家熊担任室主任。研究室先后解决了材料预处理、质量控制和工艺规范等问题,建立了从碲镉汞材料生长到红外探测器元件制备的全链条流程。“七五”期间,多元长波碲镉汞探测器预研项目的目标是做出一个超过10像元(探测器扫描采样的最小单元)的线列器件。但方家熊瞄准当时国际先进水平,决定把目标定为60像元。上海技物所研究员龚海梅回忆道:“当时能做出十几像元的红外探测器已经很不容易了,且有几家单位同时在做,竞争十分激烈。”但方家熊并不畏惧。他带领实验室同事克服经费不足、设备条件差等困难,成功研制出60像元器件。对此,原国防科工委发来贺信:“60像元碲镉汞线列红外探测器的研制成功,证明了我们中国的科技人员完全有能力打破国外的禁运和封锁,完全能够依靠自己的智慧和创造力攻克这一难关……你们为国防工业的研究单位做出了榜样。”60像元长波红外探测器随后,180像元的碲镉汞器件研制任务也交给了上海技物所。关关难过,关关过。从10像元到60像元,再到180像元,方家熊带领团队在不到10年时间里出色完成了这些看似不可能完成的任务。回忆起那段持续攻关的日子,方家熊忍不住感慨道:“精神上的高压让我常常感到腿像灌了铅似的,拖也拖不动。”红外探测器是遥感卫星能够“看得清”的关键。60像元和180像元器件,为后续应用于“风云二号”气象卫星、“神舟三号”飞船等的碲镉汞红外探测器组件奠定了基础。180像元长波红外探测器“我们有一批愿意为国家服务的工程师和科学家。”上海技物所研究员李向阳表示,“研究所‘垂直整合’的架构为科研人员提供了一个舞台。同等条件下,我们可以通过付出尽可能少的时间和人力,做出满足不同应用需求的红外探测器。”随着我国探测技术的发展和使用要求的提高,上海技物所“以任务带学科”,持续提升碲镉汞红外探测器性能,同时拓展铟镓砷、氮化镓等探测器的基础研究和应用。5 “摸着石头过河”红外焦平面探测器主要由红外像元芯片和读出集成电路两部分组成,兼具感应红外辐射信号和信息处理功能。早在多元红外探测器阵列研制的起步阶段,汤定元便强调:“由于我国红外技术起步比发达国家晚,应先增加这方面的投入,加快‘红外焦平面阵列’的研制速度。”1987年至1996年间,上海技物所组织专家共同论证了红外焦平面成像等技术开发的重要性与紧迫性。历史在此刻重演。1994年,在半导体材料和器件领域颇有建树的科学家何力毅然放弃国外的高薪工作,加入上海技物所,并在4年后成为新成立的材器中心的首任主任。发展红外焦平面探测器,必须先有大尺寸的碲镉汞材料。何力认为,分子束外延技术或许可以满足条件。“薄膜材料的外延生长得先有一个‘桌面’,再在上面生长材料,这个‘桌面’就是衬底。”上海技物所研究员周易解释说,“以往都用碲锌镉,因为它和碲镉汞的性质比较接近,材料容易生长,但大尺寸碲锌镉材料极难制备。”考虑到硅的晶圆可以做得很大,除了发展大尺寸碲锌镉衬底材料外,何力创新性地提出采用砷化镓和硅基晶圆作为衬底的碲镉汞材料制备技术。同前辈们一样,他带领团队“摸着石头过河”,从琢磨路线、采购设备做起,不断摸索材料生长的最优方案。把红外像元芯片和集成电路合二为一的工作,也在有条不紊地并行。上海技物所研究员丁瑞军回忆,项目最初,他所在的团队经过两年多辛苦努力,终于攻克了倒焊互连等技术难题,测试结果一切正常。当他兴致勃勃地将一块芯片送去封装,却瞬间傻了眼——当被放入模拟的真空、低温环境中时,芯片碎了。“我向龚惠兴院士汇报了这件事。他提醒我,先调研低温下材料的各种参数,再做仿真模拟,把问题都分析清楚后,最后做实验验证。”丁瑞军马上集合所有相关小组,经过3个月的分析调研,终于找到了问题所在。在各个攻关小组的共同努力下,2005年,由上海技物所团队研制的大面积碲镉汞材料跟随卫星进入太空。这也是我国红外焦平面碲镉汞探测器首次应用于航天领域。材器中心研制团队在实验室进行检测(上海技物所供图)2014年,伴随着航天用红外探测器需求井喷式爆发,原有的实验室工艺生产线已无法满足大面积、超长阵列产品生长需要,上海技物所决定在上海嘉定建立一条红外焦平面器件的工艺生产线。上海技物所研究员林春、陈路和青年职工周昌鹤等人齐上阵、两头跑,兼顾日常研究工作的同时,集中搭建、调试生产线上的上百台设备,跟踪每一道工艺。正是在这条生产线上,诞生了迄今公开报道的国际上最长的红外焦平面探测器。“我很幸运地参与并见证了这个领域的蓬勃发展。”林春感叹道。6 “扛红外大旗”1983年,以7位中国科学院院士为首的专家团队,对上海技物所进行了为期6天的深入考察与评议。评议报告指出:“该所在国内红外技术发展中成绩显著,有一支具有一定水平的科研队伍,能承担国家有关的重大科研任务。”近年来,上海技物所持续攻克大规模、高灵敏、高定量红外探测器关键技术,相关成果成功应用于民用气象卫星、探月探火、载人工程、高分专项、国家安全、科学卫星等领域的遥感仪器,保障了航天红外装备核心部件的自主可控。2023年,上海技物所牵头组建的红外探测全国重点实验室正式揭牌成立,以期进一步汇聚全国红外技术领域的顶尖力量,深入开展红外领域高水平应用和前沿研究,推进相关技术深入融合。从早期艰难追赶外国,到如今多点开花,在这部跨越70年的红外史诗中,国家需求是上海技物所不断发展核心关键技术的最大动力。上海技物所响亮地提出了“扛红外大旗”的努力方向,红外探测器也逐渐成为上海技物所的“法宝”。“未来,我们不仅要解决现有难题,还要主动挖掘新问题,并且冲在最前面。”龚海梅期待越来越多的年轻人加入进来,“一起为国家作贡献”。
  • 硅单光子探测器取得重要进展
    p style=" text-align: justify text-indent: 2em " & nbsp 由无锡中微晶园电子有限公司牵头承担的国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项“高灵敏硅基雪崩探测器研发及其产业化技术研究”项目经过近两年的努力,突破了低抖动、大光敏面硅单光子探测芯片设计、界面电场调控的离子注入和氧化层制备、低噪声芯片封装等关键技术,开发出硅单光子探测器样机。近日,项目顺利通过了科技部高技术中心组织的中期检查。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 硅单光子探测器具有超高灵敏度,是300-1100nm波段超高灵敏探测不可替代的关键芯片,且器件性能稳定可靠、易形成面阵,是实现远距离精密测量、激光雷达等重大科学仪器的关键核心部件之一。目前国内硅单光子探测芯片主要依赖进口,且阵列芯片禁运。开展硅单光子探测器的自主化研究,对独立自主研制精密测量、激光雷达等装备具有重要意义。项目提出了雪崩过程随机性电场抑制方法,基于国产硅片和研发平台,研制出大光敏面、低时间抖动的硅雪崩探测器芯片,开发了一系列可工程化应用的制备关键技术,并在“北斗系统”开展了激光测距示范应用;同时还面向智能交通的市场需求,研制出线性模式硅雪崩探测器。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 该项目下一步将加快产品化开发,提高产品技术成熟度,加快产品应用示范及推广。& nbsp /p
  • 测温仪背后的故事——红外探测器
    一场突如其来的新冠肺炎疫情,成为了2020开年的头等大事。全民防疫的举措让这场没有硝烟的战争不再猝不及防。飞机场、火车站、公司、小区、超市等入口处都能见到防疫工作者的身影。他们是防疫先锋,是公共健康的卫士,是居民区的守护者。而他们的必备神器之一——手持测温仪,也进入了公众的视野,广为人知。今天,我们就来聊一聊测温仪的那些事。受疫情影响,很多人在家办公,出门不是去超市买菜,就是门口取快递。当然,还有不少人在硬核上班。无论出入小区,还是车站进站,现阶段都要经过体温检测。相信大家都有经历过,防疫工作者手持测温仪,对着额头一扫,立刻就显示你的体温数据,非常方便。有很多人对这测温仪都深感好奇,想知道它是怎么工作的。也有人担心它的准确性,担心把自己体温测高了。那么,我们就从测温仪的原理和精确度控制这两点说起。首先,大家都熟悉传统体温计测温的方法,而这种方法显然不适合用于传染性强的新型冠状病毒的防护工作。在这次防疫战中,小巧便携,无需身体接触的手持测温仪就成了急先锋。扫一扫,一秒之内测出体温的测温神器让人们眼前一亮;更令人印象深刻的,还有车站、机场等带有视频的成像测温仪,后者能在快速行进的人流中,辨别每个人的体温,并用保存视频成像。相信你肯定好奇过它们究竟是怎么做到的。接着,我们来一探究竟其中的科学原理。[1] 地铁站检票口的体温监测站(图片摘自人民网)温度和光我们都知道,水银体温计能够测人体的温度,是水银玻璃泡和人体接触后,经过一段时间的热量传递,最终与人体温度达到一致的原理(热平衡)。而测温仪并没有和人体接触,为何能如此快速采集温度信息呢?[2] 水银温度计(图片摘自百度网)答案其实大家也是耳熟能详,那就是---光!没错,就是我们所熟知的那个光!但是这个光,并不是人眼能看到的可见光,而是与可见光相邻的红外光,这里需要科普一下,我们平时所说的可见光实际上是电磁波的一种,电磁波有连续的波谱分布,红外光的波段在红色光之外,因此得名红外光。再简单提一下,除了可见光和红外光,很多电磁波都与大家的生活息息相关,按波长由短到长,有医院CT的X射线,防晒霜防的紫外线,太阳光,灯光,微波炉的微波,电台的射频信号等等,都属于电磁波。[3] 生活中的电磁波(图片摘自NASA Science)说到这里,肯定有人表示,道理我都懂,但是红外光跟人体温度有什么关联呢?关联是必然的,因为人体发射的光,就是红外光!没说错,人体是发光的,而且是无时无刻的在发光。复杂的原理就不赘述了,大家只要记住,任何温度高于绝对零度(零下273.15摄氏度)的物体都会以电磁波的形式向外辐射能量,至于绝对零度(-273.15℃)的物体嘛,大家放心,那是不存在的!红外光和人体温度的关系那么问题来了,既然每人每时每刻都在发射红外光,仪器凭什么就能辨别出正常温度和高烧呢?还能准确读出每个人的温度?这里,我们请一位大佬帮忙解答,他就是与爱因斯坦并称20世纪最重要的两大物理学家,量子力学奠基人之一的马克斯普朗克,他于1900年提出的普朗克黑体辐射定律,完美诠释了温度与辐射的关系。马克斯普朗克简单来讲就是,不同温度的物体发射的光是不一样的,如下示意图, 四条不同的曲线,代表不同温度下黑体辐射的光谱分布,这里的K是热力学温度,数值等于摄氏度+273.15。大家可以看到,温度越高,黑体辐射光的强度就越大,峰值的位置就越靠近紫外区域。那么,答案就呼之欲出了,如果探测到了人体的辐射强度和波谱分布,就完全可以反推出温度T!这就是测温仪测体温的原理。(人体虽不是黑体,却也遵循普朗克定律)。利用红外光探测人体温度究竟准不准?说完测温仪原理的故事,我们再来说说怎么确保每个测温仪都能测得准。上文中,细心的小伙伴发现,普朗克定律图示并没有想象中那么简单,图中展示差异性的谱图都相差了1000℃,人体怎么可能差上1000℃呢?没错,我们人体的温度平均值也就在36℃到37℃之间了,高过37℃的,抗疫期间怕是要去隔离观察了。那么关键点来了,相差几摄氏度的人体辐射谱图中,辐射强度和波谱的差异是非常小的,如何确保测温仪能把握这细小的差异呢?要知道,人体测温的准确性要求是比较高的,特别是在抗疫期间,正常的体温就是大家的通行证。这点上,咱们国家更是不含糊,对于此类测温装置也出台了相应的国家标准来规定精准度。那么,生产厂家是如何确保每台测温仪的准确性呢?下面就让我们来剖析测温仪,探究这里的科学原理。测温仪的"CPU"是什么?我们先从测温仪的构成说起,可以看到下图中,真正与红外光直接相关的,便是红外探测器,顾名思义,这正是测温仪利用红外测温的核心元件,就好比CPU芯片是手机电脑的核心。而它的质量直接决定了测温的准确性。那么,如何判定红外探测器的质量呢?[4] 额温枪(图片摘自网络)这就需要了解红外探测器测红外的细节。简单来说,红外探测器也是由材料构成,红外探测器上的特殊光感材料可以接收外界的红外辐射,并将其转换为电信号,再进行分析计算,最终给出温度值。因此评价红外探测器的好坏,就是评判其将光转换为电信号的能力。在讲红外探测器的评价之前,我们插一句,火车站,机场中带成像系统的测温仪,采用的是更高端的焦平面阵列红外探测器(FPA技术)。[5] 设置在火车站的带成像系统的测温仪(图片摘自包头新闻网)这类成像测温仪就如同照相机或摄像仪,内部感光平面内,分布了很多像素点,焦平面上每一个像素点就是一个红外探测器,这种技术具有二维空间分辨的能力,具备红外成像功能,可以将发高烧的人从人群中辨别出来。如何评价红外探测器,确保其准确性?一般来说,无论是采用单点红外检测器的耳温枪还是FPA焦平面检测器的红外成像测温仪都不需要极快的反应时间或极高的空间分辨率,甚至无需光谱分辨率。所以这类红外检测器的精确度通常是采用激光功率计或热敏电阻等方法来评定的。但是,类似原理的红外探测器还有很多其他的应用领域,尤其是需要FPA焦平面检测器的红外成像仪已经被广泛的应用于军需夜视或热追踪系统、高速热成像、质检或产品研发(针对散热或热工特性)、医疗热成像及红外显微镜等诸多方面。这些应用领域对红外检测器件本身以及对由这些器件组成的测量仪器的性能都有更严苛的要求,比如,需要微秒甚至纳秒级的超短反应时间,需要光谱信息用于化学成像,需要较高的空间分辨率以表征微小物品,需要较高的光谱分辨率,最佳的灵敏度和信噪比,甚至对FPA检测器中每个像素点的均匀一致性都有要求。为了研制和开发这些高端的红外检测器件,科学家们需要用到一种重要的表征方法---傅立叶红外光谱法。实现该法的核心设备就是在科学研究、监测分析领域常见的傅立叶红外光谱仪(简称FTIR红外光谱仪)。FTIR红外光谱仪——表征红外探测器FTIR红外光谱仪是专门应用于红外光谱研究相关的科学仪器,配有标准的红外光源,所发射的红外光经过干涉仪后,经过照射样品,最终到达红外探测器,解析探测器的电信号,并进行FT转换计算,即可得到包含能量强度和波谱分布的红外谱图。科学家们就是把这种检测技术应用到了评价红外探测器材料好坏的研究中,在对光敏度、稳定性等等复杂的研究分析之后,才研发出适合于各种不同应用领域的红外探测器材料,进而工厂将其研究的材料转化为探测器并且大量生产而成为真正实用的商品(包括红外测温仪及其他更为复杂的尖端仪器),发挥了科学家研究的作用。换言之,红外光谱仪对于探测器的表征研究,就好比是一把精准的卡尺,用它来检验每一根直尺的长度是否达到科学家们想要实现的标准。傅立叶变换红外光谱仪以上就是测温仪背后故事的小科普,相信大家对于最近很亮眼的测温仪会有更进一步的了解,对红外探测器精确度的控制以及红外探测器的诸多应用领域也有了更深层次的认知。通过科学家们的努力,和我们生活息息相关的大型红外成像测温仪的准确度、检测能力、检测距离、检出速度和检测区域内的均匀性(即精准度)都会越来越好。所谓工欲善其事必先利其器,实际上并不是所有的红外光谱仪都能做红外探测器的研究与表征,能作为标尺的设备,当然只有技术过硬,具备特殊技能红外光谱仪才能实现!如果您对检测器表征科研课题感兴趣,可以阅读布鲁克的相关应用信息。如果您对红外整体技术感兴趣,长按下方二维码填写产品需求信息表,与我们取得联系。疫情期间,大家做好防护,注意安全。一起为祖国加油!为武汉加油!点击下载布鲁克应用手册——红外检测器表征如果您对我们的红外技术感兴趣,欢迎与我们取得联系,请拨打400热线电话400-777-2600。
  • 石墨烯光电探测器:超弹性电流与THz辐射的新发现!
    【研究背景】光照射到材料上可以引起其电导率的变化,这一现象被称为光电阻。在半导体中,光电阻通常是负的,因为光照引起的电子跃迁提升了参与电流传输的载流子数量。而在超导体和正常金属中,光电阻是正的,因为光照破坏了超导态,并增强了动量松弛散射的影响。与传统的半导体材料相比,掺杂金属石墨烯在光电响应方面具有优越的性能,特别是在太赫兹(THz)频段的应用。然而,掺杂石墨烯的电阻对电子温度变化的敏感性较低,限制了其在灵敏度较高的光电探测器中的应用。为了解决这一挑战,新加坡国立大学M. Kravtsov, A. L. Shilov,D. A. Bandurin教授团队在掺杂金属石墨烯的研究中取得了新的进展。该团队通过设计并制备了一种新型的石墨烯器件,利用连续波THz辐射的照射,显著提高了石墨烯的电导率,实现了超弹性电流流动的现象。在这一过程中,石墨烯的电子因吸收THz辐射而温度升高,导致其与晶格的热解耦,从而激活了流体动力学电子传输。在该传输模式下,石墨烯狭缝的电阻因THz驱动的相关电子流动而减少。这项研究表明,石墨烯狭缝作为声子冷却的光电探测器,能够在较高温度下运行,具备皮秒级的响应时间。通过对载流子密度和辐射功率的依赖性分析,该团队成功提取了吸收THz功率与电子温度的关系。这一方法为研究石墨烯器件的热特性提供了便捷的替代方案,能够更好地利用石墨烯在THz传感器和电子温度计设计中的潜力。这项研究不仅为基础科学提供了新的见解,也为开发超快THz传感器和电子热计提供了实践依据。【科学亮点】本文通过太赫兹(THz)光电阻测量仪器,发现了金属石墨烯中由于THz激发的超弹性流动引起的负光电阻现象,揭示了石墨烯中电子流体力学在辐射传感中的重要作用。针对这一现象,作者通过载流子密度、辐射功率和晶格温度等因素的微观机理表征,得到了超弹性导电的特征,进而挖掘了电子与冷晶格之间的热耦合机制。在此基础上,作者采用了一系列先进的表征手段,包括电子束光刻、反应离子刻蚀以及锁相放大器测量等,以研究THz辐射对石墨烯设备的影响。这些表征手段的结合使作者能够有效分析吸收的THz辐射如何影响石墨烯的电阻变化,并揭示了声子冷却在高功率条件下的主导作用。作者的实验结果表明,吸收的辐射能够使电子的温度与冷晶格之间存在高达50K的热差,同时强调了在流体动力学THz传感器中声子冷却的重要性。通过对THz激发下的石墨烯样品进行系统表征,作者深入分析了超弹性导电的发生机制,研究了其在辐射传感器中的应用潜力。这项研究展示了电子流体动力学在辐射功率测量中的实用性,提出了一种将THz辐射转化为电阻变化的新方法,为未来设计THz敏感的石墨烯基设备提供了理论依据和实验基础。此外,作者的研究还揭示了在典型实验中,天线耦合的石墨烯设备通常只吸收少于0.1%的入射THz功率,并讨论了阻抗不匹配对设备性能的影响。综上所述,经过上述表征,本文深入分析了金属石墨烯中超弹性流动导致的负光电阻现象,揭示了电子与声子之间的热耦合机制,进而推动了新型THz敏感石墨烯基材料的制备和应用,最终推动了在纳米电子学和辐射传感器领域的进步。这一研究为未来的THz技术应用提供了新的思路,促进了材料科学与工程技术的交叉发展。【图文解读】图1: 超弹道Superballistic电子流。图2: 太赫兹THz驱动流体动力学和负光阻。图3: 功率依赖性和超弹道电子测温法。【结论展望】本文的研究为石墨烯在太赫兹(THz)技术中的应用提供了重要的科学启示。首先,揭示了负光电阻现象及超弹性导电的微观机理,强调了电子流体动力学在THz辐射传感器中的关键作用。这不仅为研究者理解载流子与声子之间的热耦合机制提供了新视角,还展示了声子冷却在高功率条件下的主导作用,提示作者在设计高性能石墨烯设备时需考虑电子与晶格间的热平衡。其次,本文通过精确的表征手段,提出了将THz辐射转化为电阻变化的有效方法,为未来THz传感器的设计和性能优化提供了实用的指导。这种新颖的测量技术使得对THz功率的准确检测成为可能,进而为广泛的无线通信、成像及探测应用奠定了基础。最后,研究强调了设备中的阻抗匹配问题,提醒作者在未来的器件开发中必须重视天线与活性材料之间的协同效应。这些启示不仅推动了THz敏感石墨烯材料的开发,还为相关领域的研究提供了新的方向,激励着科学家们继续探索基于石墨烯的纳米电子学和传感器技术的潜力。文献信息:Kravtsov, M., Shilov, A.L.,Yang, Y. et al. Viscous terahertz photoconductivity of hydrodynamic electrons in graphene. Nat. Nanotechnol. (2024). https://doi.org/10.1038/s41565-024-01795-y
  • 跨向理想X射线探测器的一小步-高分辨、非晶硒X射线探测器及其应用
    “对于相干衍射成像(CDI),微米级像素的非晶硒CMOS探测器将专门解决大体积晶体材料中纳米级晶格畸变在能量高于50 keV的高分辨率成像。目前可用的像素相对较大的(〜55μm像素),基于medipix3芯片光子计数、像素化、直接探测技术无法轻易支持高能布拉格条纹的分辨率,从而使衍射数据不适用于小晶体的3D重建。” 美国阿贡国家实验室先进物理光子源探测器物理小组负责人Antonino Miceli博士讲到。相干X射线衍射成像作为新兴的高分辨显微成像方法,CDI方法摆脱了由成像元件所带来的对成像分辨率的限制,其成像分辨率理论上仅受限于X射线的波长。利用第三代同步辐射光源或X射线自由电子激光,可实现样品高空间分辨率、高衬度、原位、定量的二维或三维成像,该技术在材料学、生物学及物理学等领域中具有重要的应用前景。作为一种无透镜高分辨、无损成像技术,CDI对探测器提出了较高的要求:需要探测器有单光子灵敏度、高的探测效率和高的动态范围。目前基于软X射线的相干衍射成像研究工作开展得比较多,在这种情况下科研工作者通常选用是的基于全帧芯片的软X射线直接探测相机。将CDI技术拓展到硬X射线领域(50keV)以获得更高成像分辨率是目前很多科研工作者正在尝试的,同时也对探测器和同步辐射光源提出了更好的要求。如上文提到,KAimaging公司开发了一款非晶硒、高分辨X射线探测器(BrillianSe)很好的解决的这一问题。下面我们来重点看一下BrillianSe的几个主要参数1. 高探测效率 如上图,间接探测器需要通过闪烁体将X射线转为可见光, 只有部分可见光会被光电二极管阵列,CCD或CMOS芯片接收,造成了有效信号的丢失。而BrillianSe选用了具有较高原子序数的Se作为传感器材料,可以将大部分入射的X射线直接转为光电子,并被后端电路处理。在硬X射线探测效率远高于间接探测方式。BrillianSe在60KV (2mm filtration)的探测效率为:36% at 10 cycles/mm22% at 45 cycles/mm10% at 64 cycles/mm非晶硒吸收效率(K-edge=12.26 KeV)BrillianSe在60KV with 2 mm Al filtration的探测效率,之前报到15 μm GADOX 9 μm pixel 间接探测器QE 为13%。Larsson et al., Scientific Reports 6, 20162. 高空间分辨BrillianSe的像素尺寸为8 µm x8 µm,在60KeV的点扩散为1.1 倍像素。如下是在美国ANL APS 1-BM光束线测试实验室布局使用JIMA RT RC-05测试卡,在21keV光束下测试3. 高动态范围75dB由于采用了100微米厚的非晶硒作为传感器材料。它具有较大满井为877,000 e-非晶硒材料,不同入射光子能量光子产生一个电子空穴对所需要电离能BrillianSe主要应用:高能(50KeV)布拉格相干衍射成像低密度相衬成像同步辐射微纳CT表型基因组学领域要求X射线显微CT等成像工具具有更好的可视化能力。此外需要更高的空间分辨率,活体成像的关键挑战在于限制受试者接收到的电离辐射,由于诱导的生物学效应,辐射剂量显着地限制了长期研究。可用于X射线吸收成像衬度低的物体,如生物组织的相衬X射线显微断层照相术也存在类似的挑战。此外,增加成像系统的剂量效率将可以使用低亮度X射线源,从而减少了对在同步辐射光源的依赖。在不损害生物系统的情况下,在常规实验室环境中一台低成本、紧凑型的活体成像设备,对于加速生物工程研究至关重要。同时对X射线探测器提出了更高的要求。KAimaging公司基于独家开发的、专利的高空间分辨率非晶硒(a-Se)探测器技术,开发了一套桌面高效率、高分辨的微米CT系统(inCiTe™ )。可以从inCiTe™ 中受益的应用:• 无损检测• 增材制造• 电子工业• 农学• 地质学• 临床医学• 标本射线照相 基于相衬成像技术获得优异的相位衬度相衬成像是吸收对比(常规)X射线成像的补充。 使用常规X射线成像技术,X射线吸收弱的材料自然会导致较低的图像对比度。 在这种情况下,X射线相位变化具有更高的灵敏度。因为 inCiTe™ micro-CT可以将物体引起的相位变化转为为探测器的强度变化,所以它可以直接获取自由空间传播X射线束相位衬度。 同轴法相衬X射线成像可将X射线吸收较弱的特征的可检测性提高几个数量级。 下图展示了相衬可以更好地显示甜椒种子细节特征不含相衬信息 含相衬信息 低密度材料具有更好的成像质量钛植入样品图像显示了整形外科的钛植入物,可用于不同的应用,即检查骨-植入物的界面。 注意,相衬改善了骨骼结构的可视化。不含相衬信息 含相衬信息 生物样品inCiTe™ 显微CT可实现软组织高衬度呈现电子样品凯夫拉Kevlar复合材料样品我们使用探测器在几秒钟内快速获取了凯夫拉复合材料的相衬图像。可以清楚看到单根纤维形态(左图)和纤维分层情况(右图)。凯夫拉尔复合物3维透视图 KA Imaging KA Imaging源自滑铁卢大学,成立于2015年。作为一家专门开发x射线成像技术和系统的公司,KA Imaging以创新为导向,致力于利用其先进的X射线技术为医疗、兽医学和无损检测工业市场提供最佳解决方案。公司拥有独家开发并自有专利的高空间高分辨率非晶硒(a-Se)X射线探测器BrillianSeTM,并基于此推出了商业化X射线桌面相衬微米CT inCiTe™ 。我们有幸在此宣布,经过双方密切的交流与探讨,众星已与KA Imaging落实并达成了合作协议。众星联恒将作为KA Imaging在中国地区的独家代理,全面负责BrillianSe™ 及inCiTe™ 在中国市场的产品售前咨询,销售以及售后业务。KA Imaging将对众星联恒提供全面、深度的技术培训和支持,以便更好地服务于中国客户。众星联恒及我们来自全球高科技领域的合作伙伴们将继续为中国广大科研用户及工业用户带来更多创新技术及前沿资讯!
  • WidePIX光子计数X射线探测器-高探测效率、高分辨率工业相机
    通过开发一系列X射线光子计数型HPC探测器,来自捷克的ADVACAM团队积累了大量科研及工业领域的应用经验。探索的脚步从未停止,通过不断开发新的成像解决方案,ADVACAM探测器的能力得到不断提升。例如,WidePIX系列探测器就很好的展现了团队的创新能力。新一代的widepix探测器可广泛用于各行各业,包括矿物分析、临床前医学测试、安检、食品检测、艺术品检测等。WidePIX F:世界上最快的高分辨率工业相机基于光子计数技术,WidePIX F光谱相机拥有颠覆性的X射线成像技术,是目前处于世界领先级别的高性能工业相机。它进一步优化、提升了快速移动物体的扫描能力,是进行矿物分析,矿石分选到食品检测,临床前医学,安检或任何带有传送带系统应用的理想工具。分辨率:55微米-比目前采矿作业中常规使用的系统高20倍。探测速度:高达5米/秒 -食品检查的标准速度约为20厘米/秒,这意味着在同样的时间内,WidePIX F可以比常规方案多扫描25倍的材料。颜色/材料灵敏度:提高灵敏度对于矿石分选至关重要,请参考以下应用。MinningWidePIX可直接观察到矿石的内部结构并区分有价值的矿石和废石。使用WidePIX高分辨成像探测器,矿石通常呈现出微粒或脉络状的典型结构。由于该探测器具有多光谱高灵敏度的特性,可以通过图像中采集到的不同颜色来区分各类矿石。欧洲X-MINE项目Advacam为欧洲采矿项目X-MINE定制光子计数型X射线探测器WidePIX 1X30的结果表明,WidePIX探测器甚至可以分选铜矿石,这是传统的成像系统无法实现的。MedicineWidePIX L探测器还可用于非侵入式医学成像。例如,我们可以制作活体小老鼠的实时X射线影像,观察心跳,所有行为不会对小动物造成任何伤害。Others超快WidePIX探测器,可以在设备保持高速运行的同时(例如发动机,涡轮机等),对快速移动的物体进行X射线检测。Advacam可提供不同规格尺寸的光子计数型X射线探测器,其产品线包括WidePIX系列、MiniPIX系列及AdvaPIX系列,除标准尺寸外也可根据需求定制。相关产品阅读:最新到货—超高性价比教育版辐射粒子探测器MiniPIX EDU来咯!Advacam新品|Widepix 2(1)x10-MPX3探测器:双读出网口,170帧/sADVACAM再添新成员,MiniPIX TPIX3即将面世!ADVACAM辐射检测相机 -应用于粒子追迹Advacam同NASA(美国航空航天局)及ESA(欧洲航空航天局)保持很好的项目合作关系, 其产品及方案也应用于航空航天领域。目前Advacam已将其探测器应用到了多个项目中。相关应用案例:探寻宇宙奥秘的脚步从未停歇,ADVACAM参与研发项目合辑 关于Advacam公司最新合作项目:搭载Minipix探测器,可搜寻辐射的辐射探测无人机使用Widepix 1x5 MPX3 CdTe探测器进行X射线谱学成像Minipix探测器用于NASA未来项目辐射剂量监测
  • 欧美探测器同时发现第四次引力波“双剑合璧”将信号源定位精确度提高10倍
    p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201709/noimg/6441caa6-bd3b-487f-aba6-ad3699fb1e75.jpg" title=" 75b4156eef604af99490f53408d71e01.jpg" / /p p style=" text-align: center " 欧洲“处女座”(Virgo)引力波探测器外景图片 /p p   科学家第四次捕捉到引力波。美国和欧洲两个引力波项目组27日在意大利都灵召开新闻发布会称,两个项目组的3台干涉仪首次共同探测到了“时空涟漪”,不仅再次验证了广义相对论,还更准确地定位了产生引力波的黑洞位置。 /p p   发布会称,2017年8月14日,激光干涉仪引力波天文台(LIGO)的两台干涉仪和欧洲“处女座”(Virgo)引力波探测器的一台干涉仪,从三个地点几乎同时(先后相差仅几毫秒)捕获到了最新引力波事件,编号为GW170814。 /p p   第四次引力波由距地球18亿光年的两个超大黑洞合并产生,质量分别为太阳质量的31倍和25倍,合并后的黑洞质量约为太阳质量的53倍,剩余约3个太阳的质量转变成能量以引力波的形式释放出来。 /p p   2015年9月、2015年12月和2017年1月先后3次探测到的引力波,都由LIGO单独完成。新加入的Virgo探测器位于意大利比萨,项目组由20个欧洲研究团队的280多名物理学家和工程师组成。2017年8月1日,升级后仅两周,Virgo就首次探测到了引力波事件。 /p p   引入第三台干涉仪,从三个观测站更精确地定位了引力波信号来源的位置,对引力波探测意义重大。 /p p   之前三次探测到的引力波,将黑洞的位置限定在相当于3000个月球大小的太空范围内,而现在可缩小到只有300个月球大小的区域,精确度提高了10倍。 /p p   LIGO发言人、麻省理工学院教授大卫· 舒梅克表示:“观测范围更加明确后,地面光学和无线电天文望远镜可在第一时间准确对准信号来源进行观测,以确认是否存在其他星体合并产生的引力波。此次合作让引力波探测再向前跨越一大步。” /p p   但这只是开始,技术升级将使LIGOx更加灵敏,在定于2018年秋季开展的下一次观测中,舒梅克说,“我们预计每周甚至更频繁地获得这样的探测结果”。 /p p   美国国家科学基金会主席弗朗斯· 科尔多瓦在一份声明中说,相隔万里的探测器首次共同探测到引力波,对旨在破解宇宙奥秘的国际科学探索来说,是一个“令人激动的里程碑”。 /p p br/ /p
  • 投资7000万元 国内首个光电探测器研发平台开建
    航展期间记者获悉,中航工业航电系统公司与电子科技大学将共同投资7000万元,联合建设“光电探测集成器件及应用实验室”,建设国内第一个全状态光电探测器研发平台。   根据协议,中航工业洛阳电光设备研究所以3500万元现金投资,建设非制冷红外探测器封装测试线,与电子科技大学已建成的6英寸MEMS加工线合并。这将成为国内第一个集MEMS设计、MEMS加工、器件封装与测试的全状态光电探测器研发平台。该平台将具备年产3000只非制冷红外探测器的生产能力,通过10-15年的努力,将打造成一个年经营规模100亿元,国际一流的光电探测器供应商。   据了解,光电探测器是利用半导体材料的光电导效应制成的一种光探测器件。所谓光电导效应,是指由辐射引起被照射材料电导率改变的一种物理现象。光电导探测器在军事和国民经济的各个领域有广泛用途。   中国航空工业集团公司副总经理张新国表示,光电探测器的研发、生产是光电产业核心价值环节,本次合作将从根本上打破国外公司的产业垄断,对加速我国光电产业核心器件的自主创新进程有着重要战略意义 通过校企创新,将全面实现我国光电产业的产业链延伸与价值链延伸。
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