主动式隔震系统

HERZ TS系列 主动式隔震系统防震台HERZ 创建一个稳定的测量环境稳定的支架可以进一步提高TS系列减震系统的隔震性能主动式隔震系统可以消除震动振幅在20um内的垂直方向和两个水平方向的震动，如果摆放主动式隔震系统的平台与平面，不是很稳固的话，会衰减隔震系统的性能，或者放大震动的干扰，我们可以提供一个带有高阻尼的稳定的支架，从而进一步提高TS 的减震性能。左边的图可以看到TS-150/LP 配置了 矩阵为 M6-25 mm XY的安装螺纹孔，我们可以根据客户的要求来定制这样的规格，如果客户对表面有安装孔的要求可以与我们联系，但尺寸过于特殊，我们暂时不能定制。技术规格：主动式隔震系统在6个自由度里的XYZ 三轴的主动隔震频率为0.7Hz -100Hz21世纪是纳米技术时代（比如，先进的半导体技术，生物科学，以及MEMS，原子分裂等等的领域），而震动，噪音，电磁干扰，热度，湿度等都会对原子级的测量带来很大的干扰。在纳米技术的领域里，一个好的测量结果，非常的需要一个主动式减震系统，在低频的范围，空气式减震平台是无法达到其要求的。先进的主动隔震系统“TS系列”将会对21世纪纳米技术的研究提供安稳的保障，它会让您彻底摆脱过去的测量模式，从而开启未知的纳米技术之旅。应用：*扫描电子显微镜比如 Mini SEM、AFM*三轴轮廓仪 *显微镜 *白光干涉仪*液体表面张力测量仪 *显微硬度测量仪 *医疗检测设备等TS的使用介绍我们只需两步, TS 便能轻松使用: 打开电源开关按钮 → （自动的高度调节） → 开启隔震功能全过程均为自动进行，无需任何的手动调节，轻松，方便，简洁特点：*TS 隔震性能在0.7-100Hz 范围提供6自由度3轴的主动隔震。*自动高度调节让仪器摆放随心所欲.*水平自动调节功能即使负载重心偏离中心，自动的水平调节功能也可以让心偏回来，继续为仪器提供一个稳定的使用环境。*系统锁止功能，只需要在控制面板轻轻一按便可实现，在搬运时或运输途中进一步对TS，进行保护，避免系统受到意外损害。*LCD显示面板实时显示来自XYZ方向的震动。*同时可以选配遥控器来控制TS系统的隔震和取消隔震功能，如果需要了解此功能详情请与我们联系创建良好的测量环境 隔音箱做分子或原子用电子显微镜扫描研究时，TS主动式减震台能很好的为其提供一个稳定的测量环境，但有时不仅是震动会给研究带来影响，噪音也是一个很大的干扰因素，针对次情况，我们研发出了高性能的隔音箱AEK 系列。右图是TS 与AEK 的完美搭配的案列HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统防震台震台防震台

产品说明： 台式主动减振系统由减振器和控制器两部分组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国GEOSPACE公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 台式主动减振系统由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实施主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振器的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈和前馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 本公司可根据用户要求定制各种不同尺寸的减振平台。如果用户所需隔振的仪器或设备为不规则状，公司可代其设计工作台面。产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振平台安装（放置）在地基上，如果地基表面不平，需加地面胶。在减振平台上加适量负载。5.卸下四个锁紧板，手动摇晃隔振负载，确保减振器能正常工作。观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。6.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。7.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

主动式隔震台-主动隔振台-减震台-Herz-AVI-600M/LP 大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 26kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动隔振台-主动式隔震台-防振台-Herz-AVI-200XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动隔振台，半导体设备防振台系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动式隔振台，IVF实验室防振台。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200XL/L系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 12kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动隔振台-主动式隔震台-防振台

产品说明： 桌式主动减振台是一个具有多项国家专利的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到最佳水平。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 桌式主动减振台由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环伺服控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实现主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振台的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 可根据用户要求定制各种不同尺寸、不同材质的工作台面。公司负责系统的安装与调试，三年免费维修。免费为用户培训设备维护和使用人员，随时解答用户提出的技术问题。 产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振系统置于地基上，手动推动工作平台观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。5.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。6.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

主动式减震台-主动防震台-隔震台-Herz-TS-C30提供样机试用和场地测试服务！IVF实验室，桌上型主动式隔振台，主动式减振台，主动式防震台，超低频隔震台、桌面式防震台、桌面式减震台、桌面式除震台,桌面式隔振台。为各类白光干涉仪主动防震台，光刻机主动减震台，轮廓仪主动隔振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台有样机可以试用！ TS-C30 主动隔振台是 TS 系列最新和最实惠的创新产品，可为运行紧凑型纳米级显微镜提供强大的主动隔振性能。可广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。 产品亮点：性能: 6 个自由度全方位隔振 （1.2 - 300 Hz 主动隔振，300 Hz以上被动隔振 ）3.3 Hz减振90%-11.5 Hz+减振99%技术: 先进压电传感器 & 执行器动态隔振: 内部反馈回路抑制共振 高级设计: 拉丝金属搭配黑色阳极面板无障碍: 易于安装，使用简单 主要特点： 1.TS-C系列是紧凑型动态隔振系统，可隔离所有六种平移和旋转振动模式。 2.与大型昂贵的被动系统相比，这款动态隔振系统价格适中，可在较小体积内实现良好隔振。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑振动，还可以隔离系统本身的振动源。这意味着，例如，尽管通过操作员的手施加力，但由系统隔振的精密显微镜仍将保持静止。 该系统的固有刚度比1 Hz共振被动隔离器大25倍，具有出色的方向和位置稳定性。 3.主动隔振系统的特征在于虚拟缺乏任何低频共振，这种共振困扰所有被动隔振系统。该系统设计即使低至2-3 Hz频率以下也能提供优异的隔振性能，许多建筑物由于围绕垂直轴振荡而显示出较大的水平振幅。隔振开始于0. 7Hz左右，超过10Hz以上迅速增加至少40dB。 4.所有控制电路都内置在设备中。功耗小于2.5 W。该设备具有通用输入并且可连接到100至240 VAC的任何交流电源。该设计经过优化，可实现精密仪器的最佳隔振，例如扫描探针显微镜（AFM,STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器实现最佳性能。经证实，该系统还可成功用于支持敏感实验，例如膜片钳、显微注射或LB膜上测量所用的液体槽。技术参数: 频率：0.7 - 300 Hz 负载范围: 0 - 40 kg 尺寸: 300 x 300 x 70 mm ( L x W x H ) 11.8 x 11.8 x 2.75" 隔振性能: 0.7 Hz - 300 Hz动态隔振, 更高频率主要被动隔振 传递率: ~10 Hz以上传递率 0.01 (-40 dB) 修正力: 垂直±8N,水平±4N 静态顺应性: 27 μm/N 最大负载 (中心负载): 40 kg/88.18 lbs 重量: 9.2 kg/20.3 lbs 电气: 安全等级: 1 功耗: 最大 2.50 W 输入电压: 100–240 VAC, 50–60 Hz 显示屏信号:用于示波器上显示的多路复用信号显示了包含和不含隔振的振动水平– 仅用于诊断目的。 面板： 尺寸：300mm X 300mm 材料：厚实铝板 隔振效果： 性能图中突出显示的传递率曲线与TS-C30在宽频率范围内隔振的能力有关。传递率图是对任何给定实验室环境下性能的保守估计 ，并且适用所有六种振动平移和旋转模式(所有六个自由度). 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减震台-主动式隔震台-Herz-AVI-600XL/LP 适用于各类透射式电子显微镜（TEM）、扫描式电子显微镜（SEM）、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、光学显微镜、白光干涉仪、光刻机、微纳米结构和加工仪器。超低频减震台、防震台、隔振台、隔振台、主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统。固润光电一直致力于客户测试环境的改善服务，为客户提供专业的主动式隔振隔音消磁解决方案。代理日本Herz的AVI/TS系列主动隔振台，代理美国Herzan隔音箱和振动分析仪。我们的技术工程师团队拥有十年以上的客制化主动隔振台隔音设备搭建解决方案! 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 广泛应用于日本电子JEOL主动减震台、日本日立Hitachi主动减震台、德国Zeiss主动式隔震台、美国FEI电镜主动减震台、捷克泰思肯Tescan主动式隔震台、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜主动减震台，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动防震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

Table Stable 主动减震台-隔振台-防震台AVI-200（S/M/XL） 产品描述： ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-200系列（S\M\XL）是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-减震台，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振，1Hz - 200Hz主动隔振，200Hz被动隔振），抵消敏感设备的不必要振动；可在宽频率范围内为各类电子显微镜等高分辨率的超精密仪器提供业界领先的主动隔振性能 。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-200 的主动隔振频率从1Hz开始，在10Hz以上迅速增加到35dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-200 是轻巧型紧凑模块化，单个模块承重200kg，可灵活配置多个模块200*N kg，安装简单方便。 ◆适用于透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）等主动减震台！具体可欢迎咨询拓睿科技。 （图1：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200S）（图2：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200M）（图3：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200XL） 产品工作原理： ◆Table Stable AVI系列-主动减震台-隔振台-防震台采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型；擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-200 通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。 产品规格/技术参数： ◆型号：AVI-200 型号隔振单元重量单元尺寸(每个)AVI-200S/LP8.0 kg120 x 396 x 112.5 HmmAVI-200M/LP10.3 kg130x 636 x 112.5 HmmAVI-200XL/LP12.0 kg130x 856 x 112.5 Hmm系统配置（System Configuration）基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置控制器尺寸（Size）241 x 287 x 142 Hmm负载能力（Load capacity）0~400 kg（单个隔振模块为0~200Kg）；可灵活增加模块隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载矫正力（Correction Forces）水平方向最大4N，垂直方向最大8N静态柔度（Static Compliance）垂直约3.5µ m/N，水平约7µ m/N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz功耗（Power Consumption）通常为9W过载指示(Overload Indication)8个led表示输出阶段的过载状态监视器信号(Monitor Signal)可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：低频传感器(LFS-3)配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-200 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 （图5：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200 减震-隔振效果曲线图）Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

Table Stable 主动减震台-隔振台-防震台AVI-400（S/M/XL）产品描述： ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400系列（S\M\XL）是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-减震台，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振，1Hz - 200Hz主动隔振，200Hz被动隔振），抵消敏感设备的不必要振动；可在宽频率范围内为各类电子显微镜等高分辨率的超精密仪器提供业界领先的主动隔振性能 。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-400 的主动隔振频率从1Hz开始，在10Hz以上迅速增加到35dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆适用于透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）等主动减震台！具体可欢迎咨询拓睿科技。（图1：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-400S） （图2：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-400M）（图3：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-400XL） 产品工作原理： ◆Table Stable AVI系列-主动减震台-隔振台-防震台采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型；擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。产品规格/技术参数： ◆型号：AVI-400系列型号隔振单元重量单元尺寸(每个)AVI-400S/LP15.0 kg190 x 396 x 112.5 HmmAVI-400M/LP19.3 kg190 x 720 x 112.5 HmmAVI-400XL/LP23.2 kg230 x 856 x 112.5 Hmm系统配置（System Configuration）基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置控制器尺寸（Size）241 x 287 x 142 Hmm负载能力（Load capacity）0~800 kg（单个隔振模块为0~400Kg）隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载矫正力（Correction Forces）水平方向最大8N，垂直方向最大16N静态柔度（Static Compliance）垂直约1.75µ m/N，水平约3.5µ m/N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz功耗（Power Consumption）通常为18W过载指示(Overload Indication)16个led表示输出阶段的过载状态监视器信号(Monitor Signal)可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：低频传感器(LFS-3)配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。（图5：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-400 减震-隔振效果曲线图）Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

Table Stable 主动减震台-隔振台-防震台AVI-600（S/M/XL）产品描述： ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-600系列（S\M\XL）是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-减震台，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振，1Hz - 200Hz主动隔振，200Hz被动隔振），抵消敏感设备的不必要振动；可在宽频率范围内为各类电子显微镜等高分辨率的超精密仪器提供业界领先的主动隔振性能 。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-600 的主动隔振频率从1Hz开始，在10Hz以上迅速增加到35dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆适用于透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）等主动减震台！具体可欢迎咨询拓睿科技。 （图1：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600S）（图2：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600M）（图3：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600XL）产品工作原理： ◆Table Stable AVI系列-主动减震台-隔振台-防震台采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型；擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。产品规格/技术参数： ◆型号：AVI-600系列型号隔振单元重量单元尺寸(每个)AVI-600S/LP22.5 kg288 x 396 x 112.5 HmmAVI-600M/LP29.0 kg288 x 720 x 112.5 HmmAVI-600XL/LP33.8 kg318 x 856 x 112.5 Hmm 系统配置（System Configuration）基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置控制器尺寸（Size）448 x 286 x 143 Hmm负载能力（Load capacity）0~1200 kg（单个隔振模块为0~600Kg）隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载矫正力（Correction Forces）水平方向最大12N，垂直方向最大24N静态柔度（Static Compliance）垂直约1.0µ m/N，水平约2.0µ m/N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz功耗（Power Consumption）通常为27W过载指示(Overload Indication)24个led表示输出阶段的过载状态监视器信号(Monitor Signal)可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：低频传感器(LFS-3)配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 （图5：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600 减震-隔振效果曲线图） Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600 主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600产品描述：主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600 应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内应用案例介绍： 主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600

主动式减振台-主动隔震台-隔振台-Herz-AVI-600S/LP广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 23kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-主动式隔振台-防振台-Herz-TS-300/LP桌面式主动减振台-桌面式主动式隔振台-桌面式主动防振台-隔震台-主动减振台-防震台-显微镜主动式隔振台-干涉仪主动减震台-电子天平主动减振台-轮廓仪主动式隔振台-半导体设备减震台-激光设备主动式隔振台-IVF实验室主动式隔振台-提供样机试用和场地测试服务！TS-300主动隔振台是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！ 超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振（0.7 Hz - 300 Hz主动隔振，300Hz以上被动隔振） 自动调节负载 即插即用 LCD显示屏实时显示振动情况 系统主动检测输入振动并动态消除，系统内部反馈回路抑制所有机械共振 低频隔振性能优秀，无低频共振、无空气要求 应用范围： SPM ( AFM, STM, NSOM 等 ) 高精度计量 干涉测量 荧光显微镜 高分辨率显微镜摩擦学和纳米技术 轮廓测量 细胞外培植 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg） 技术参数：型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。系统重量 (大约)：60 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动减振台-主动式隔振台-防振台-Herz-TS-300/LP

主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400产品适用于：原子力显微镜主动防震台、干涉测量主动式减震台、轮廓测量隔振台、3D轮廓仪主动防震台、表面轮廓仪主动式减振台、纳米光子学隔振台 、白光干涉仪隔振台、IVF实验室主动防震台、三维表面形貌分析仪主动式减振台、超景深显微镜隔震台、激光干涉仪主动防震台、光镊应用隔振台、超高速光通信主动防震台、各类大型电镜（TEM\SEM\AFM）AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 396 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 15kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400

主动式减振台-主动隔震台-减振台-Herz-TS-140/LP主动式减震台,主动式防振台,主动式隔震台,隔振台,主动式减振台,隔振台,消振台,主动防震台,IVF实验室，干扰仪主动减震台,轮廓仪主动防振系统，高精密仪器主动隔震设备，微纳加工精密仪器主动防震设备，电子太平减震台超低频减震台，低频隔振，响应时间快。TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。 适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理:TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点：六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围：原子力显微镜 扫描探针显微镜 干涉测量 荧光显微镜 摩擦学和纳米压痕测试 高精度测量 高分辨率显微镜 轮廓测量 试管受精 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg） 技术参数：型号：TS-140/LP ※可选：TS-140/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：29 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动隔震台-主动式减震台-防振台-Herz提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 20kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。

主动式防振台-主动减震台-隔振台-Herz-AVI-400XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):230 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 24kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台概述STACIS4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。 起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。 STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。 STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense&trade 专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。STACIS 4的优点：STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。性能在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。性能规格主动减振自由度6主动减振频段0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.35Hz在1 Hz的减振85% - 96%在2 Hz的减振96-99.9%稳定时间（典型）0.2 秒内部噪音＜0.05nm RMS单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500 kg）中负载：900-2100 lb（410-955 kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg）刚度 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例） 磁场强度＜0.02μg 宽频 RMS隔离器尺寸、环境和使用要求 环境与安全通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准主动隔振单元压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷被动隔振单元单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）振动传感器检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号主动反馈控制回路在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 × 12.5 × 10.8 in.300 × 320 × 275 mm隔振器重量75lb （34 kg）操作温度50°- 90°F10°- 32°C储存温度-40°- 130°F-40°- 55°C 湿度华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃系统电源要求100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE认证每个系统的隔振器数量最少3个选项层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等DC-2020 控制器规格尺寸（宽×深×高）19 × 8.5 × 1.75 in.483 × 216 × 45 mm重量6.3 lb（2.9 kg）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16频道模拟输入16频道状态指示灯单个LED灯前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个Ethernet RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个Ethernet RJ-451个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器用户界面前面板液晶显示器终端程序上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式Ethernet GUISTACIS 4界面STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。网页用户界面增强版TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。STACIS系列产品参数对比型号STACIS IIISTACIS IIIcSTACIS 4产品新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。主动减振自由度666主动减振频段0.6 Hz - 150 Hz0.6 Hz - 150 Hz0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.5Hz0.5Hz0.35Hz在1 Hz的减振40% - 70%40% - 70%85% - 96%在2 Hz的减振≥90%≥90%96-99.9%10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3s0.3s0.2s内部噪音＜0.1nm RMS＜0.1nm RMS＜0.05nm RMS性能单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500kg）中负载：900-2100 lb（410-955kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045kg）刚度 （1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器）40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) 距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出＜0.02μg 宽频 RMS地面位移要求480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz480 μin. (12 μm) 低于10 Hz-从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。

主动式减振台-主动防震台-隔震台-Herz-AVI-200S/LP为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜防震台、探针显微镜防振台、扫描隧道显微镜隔振台、原子力显微镜（AFM）减震台、横向力显微镜主动防震台。IVF实验室，白光干涉仪主动减震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):120 x 396 x 112.5 Hmm,控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 8 kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TMC STACIS III 主动隔振系统光学平台STACIS III 是一种灵活的**主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和* 进的压电致动器，通过连续测量地板活动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。STACIS 最初设计用于隔离**半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次，是适用于对振动*敏感的仪器的理想隔振系统。 优点：STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。*特的串行设计和专有的高压压电技术 可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。性能规格主动自由度6个有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹被动固有频率18 赫兹垂直和水平有效主动谐振频率0.5赫兹1 Hz 时的隔离40% - 70%≥2 Hz 时的隔离≥90%10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3秒内部噪音0.1 纳米均方根每个隔离器的工作负载范围低容量：182-500 千克（400-1100 磅）中容量：410-955 千克（900-2100 磅）高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅）刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器）40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸（102 毫米）0.02 μG 宽带 RMS

TS系列-主动隔震台-主动式防振台-减振台-TS-140+40/LP桌面式主动隔震台-桌面式主动式防振台-桌面式主动防震台-隔震台-隔震台-防震台-显微镜隔震台-干涉仪主动减震台-电子天平减震台-轮廓仪防震台-半导体设备减震台-激光设备防震台-IVF实验室-提供样机试用和场地测试服务！TS-140+40/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜 扫描探针显微镜 干涉测量 荧光显微镜 摩擦学和纳米压痕测试 高精度测量 高分辨率显微镜 轮廓测量 试管受精 升级选项： 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-140+40/LP 系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：29 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式防震台-主动减振台-隔振台-TS系列产品特点：IVF实验室使用，系统主动检测输入振动并动态消除 ，六个空间方向的自由隔振 ，系统内部反馈回路抑制所有机械共振，低频隔振性能优秀 ，无低频共振、无空气要求!自动调节负载 ，即插即用 ，LCD显示屏实时显示振动情况，多种面板定制选择。TS-150主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜 干涉测量轮廓测量3D轮廓仪表面轮廓仪 纳米光子学 白光干涉仪 三维表面形貌分析仪 超景深显微镜 激光干涉仪 光镊应用 超高速光通信 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-150/LP ※可选：TS-150/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：18 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台-防震台TS-150/LP产品描述： ◆Table Stable桌上型主动减震台-隔振台-防震台TS-150/LP是一款轻型紧凑型动态防震隔振系统，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振），可抵消敏感设备的不必要振动； ◆桌上型主动减震台-隔振台-防震台TS-150/LP主动隔振从0.7Hz开始，在10Hz以上迅速增加到40dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动高度调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆ 该产品设计经过优化，广泛应用于扫描探针显微镜（AFM、STM）、扫描电子显微镜、干涉仪和其他高分辨率仪器等精密仪器，实现最佳隔震性能。具体可欢迎咨询拓睿科技。（图1：Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS150/LP） 产品工作原理： ◆Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS-150/LP采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型。擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable 桌上型主动隔振系统-减震台 TS-150/LP通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。产品规格/技术参数：型号（Model)TS-150/LP尺寸（Size）400 (W) x 450 (D) mm高度（Height）78.5 (H) mm系统重量（Weight）17.5 kg负载能力（Load capacity）0~150 kg隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 0.7 ～ 300 Hz主动隔振，300 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.01（-40dB）矫正力（Correction Forces）垂直方向±8N，水平方向±4N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于20ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 47-63 Hz功耗（Power Consumption）隔振期间最高10 W；负载调整期间最大20 W。安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：面板（Table Top）面板通常为阻尼铝板结构，可定制不锈钢或铁磁钢；也可定制安装板带螺孔M6，间距25mm，可在工作台上安装各种设备。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于TS系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。 Table Stable主动减震台-隔振台 TS-150 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用TS系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 （图2：Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS150 (减震-隔振效果曲线图)） Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台-防震台TS-140/LP 产品描述： ◆Table Stable桌上型主动减震台-隔振台-防震台TS-140/LP是一款轻型紧凑型动态防震隔振系统，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振），可抵消敏感设备的不必要振动； ◆桌上型主动减震台-减振台-防震台TS-140/LP主动隔振从0.7Hz开始，在10Hz以上迅速增加到40dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动高度调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆ 该产品设计经过优化，广泛应用于扫描探针显微镜（AFM、STM）、扫描电子显微镜、干涉仪和其他高分辨率仪器等精密仪器，实现最佳隔震性能。具体可欢迎咨询拓睿科技。 （图1：Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS-140/LP）产品工作原理： ◆Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS-140/LP采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型。擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable 桌上型主动隔振系统-减震台 TS-140/LP通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。产品规格/技术参数：型号（Model)TS-140/LP尺寸（Size）500 (W) x 600 (D) mm高度（Height）84 (H) mm系统重量（Weight）29 kg（含电源线0.5kg）负载能力（Load capacity）0~140 kg隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 0.7 ～ 300 Hz主动隔振，300 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.01（-40dB）矫正力（Correction Forces）垂直方向±8N，水平方向±4N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于20ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 47-63 Hz功耗（Power Consumption）隔振期间最高10 W；负载调整期间最大20 W。安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：面板（Table Top）面板通常为阻尼铝板结构，可定制不锈钢或铁磁钢；也可定制安装板带螺孔M6，间距25mm，可在工作台上安装各种设备。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于TS系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。 Table Stable主动减震台-隔振台 TS-140 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用TS系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 （图2：Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS140 (减震-隔振效果曲线图)） Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台-防震台TS-300/LP产品描述： ◆Table Stable桌上型主动减震台-减振台-防震台TS-300/LP是TS系列中最大规格的型号，是一款轻型紧凑型动态防震隔振系统，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振），可抵消敏感设备的不必要振动； ◆桌上型主动减震台-减振台-防震台TS-300/LP主动隔振从0.7Hz开始，在10Hz以上迅速增加到40dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动高度调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆ 该产品设计经过优化，广泛应用于扫描探针显微镜（AFM、STM）、扫描电子显微镜、干涉仪和其他高分辨率仪器等精密仪器，实现最佳隔震性能。具体可欢迎咨询拓睿科技。（图1：Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS-300/LP） 产品工作原理： ◆Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS-300/LP采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型。擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable 桌上型主动隔振系统-减震台 TS-300/LP通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。产品规格/技术参数：型号（Model)TS-300/LP尺寸（Size）600 (W) x 800 (D) mm高度（Height）120 (H) mm系统重量（Weight）53 kg负载能力（Load capacity）0~300 kg隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 0.7 ～ 300 Hz主动隔振，300 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.01（-40dB）矫正力（Correction Forces）垂直方向±8N，水平方向±4N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于20ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 47-63 Hz功耗（Power Consumption）隔振期间最高10 W；负载调整期间最大20 W。安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：面板（Table Top）面板通常为阻尼铝板结构，可定制不锈钢或铁磁钢；也可定制安装板带螺孔M6，间距25mm，可在工作台上安装各种设备。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于TS系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。Table Stable主动减震台-隔振台 TS-140 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用TS系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。（图2：Table Stable 桌上型主动减震台-隔振台 TS300 (减震-隔振效果曲线图)） Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

Table Stable 主动隔振系统 TS系列 ( TS-140 LP / TS-150 LP / TS-300 LP )产品介绍： TS 系列主动隔振系统是紧凑的桌上型主动隔振台，可以主动隔离桌上型精密设备工作环境中微纳振动，大负载可达 300 公斤。 TS 系列主动隔振系统从 0.7Hz 开始，在 10 Hz 之后迅速增加到 40 dB，没有任何低频谐振意味着比普通被动空气阻尼系统的性能要好得多 TS 系列主动隔振系统的固有刚度赋予了卓越的方向和位置稳定性 TS 系列主动隔振系统的卓越性能包括所有六个自由度全方位主动隔振 TS 系列主动隔振系统将经久考验的卓越技术与优雅、用户友好的设计相结合，避免安装过程中 的复杂程序。 应用范围： ➯ 原子力显微镜 AFM ➯ 扫描探针显微镜 SPM ➯ 桌上型扫描隧道显微镜 STM ➯ 干涉仪、粗糙度仪、轮廓仪 ➯ 超分辨率显微镜 ➯ 其他超精密设备 TS 系列主动隔振系统 技术参数： Table Stable主动减震台-防震台-主动隔振系统（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

TMC STACIS Quiet Island 用于大型仪器 光学平台主动隔振系统TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Islanddu有的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以最高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具。此外，它还提供了最宽频率范围内的最大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了ji高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统的优势采用STACIS - TMC业界ling 先的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界ling 先的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。

TMC主动消振系统Stage Base 450TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。TMC主动消振系统Stage Base 450的优势Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的高级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了卓越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内最佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。TMC主动消振系统Stage Base 450规格●采用独特的STACIS技术●采用高力、加长行程的压电致动器●有效载荷的位置可重复性在微米以内●框架安装设计●6个主动自由度●可选的VCM前馈和/或反馈●始于0.6 Hz的主动隔振●响应平台运动的快速稳定时间●无软空气悬架●通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器●简单、坚固且经济高效TMC主动消振系统Stage Base 450性能应用照片

1、基本介绍 主动式防震系统能够为科研、工业、生产和工程所需的精密仪器设备提供稳定的测试和生产使用环境。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。2、用途主动隔振，主动减振，主动除振，主动防振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器等等 3、性能特点(除基本功能外的其它特质，例如工作时长、操作简便性等)●主动隔振频率 1Hz - 200Hz 被动隔振频率200Hz●优于任何被动隔震系统 ●无低频共振 ●振动恢复时间迅速（10ms）●反馈控制（无需校准） ●低功耗技术、无散热 ●无电磁及其他干扰 ●无气压要求 ●无需设定时间 ●尺寸小 ●模块可扩展 ●适用于各种仪器 ●可满足个性化要求技术参数(例如材质、工艺、尺寸的技术标准等)主动控制范围：1—200Hz最高承重：800——1600Kg使用说明(例如使用场所、工作原理、产品结构、安全操作说明等)采购须知(例如发货时间、运输方式、售后服务事项等)4、产品参数：

Table Stable 主动隔振系统 AVI系列( AVI-200LP/AVI-400LP/AVI-600LP )产品介绍： AVI系列主动隔振系统的基本配置包括两个隔振模块和一个控制单元，可以主动隔离精密设备工作环境中微纳振动，大负载可达400/800/1200公斤。通过增加隔振模块的数量，可以轻松适应更高的负载。为了使AVI系列主动隔振系统适应用户特定的应用，不同长度的隔振模块可用于特殊订单。 AVI系列主动隔振系统的隔振从1Hz开始，在10Hz之后迅速增加到35dB，没有任何低频谐振意味着比普通被动空气阻尼系统的性能要好得多 AVI系列主动隔振系统的固有刚度赋予了卓越的方向和位置稳定性 AVI系列主动隔振系统的卓越性能包括所有六个自由度全方位主动隔振 AVI系列主动隔振系统的单个隔振模块不需要任何大型工具进行安装。我们努力提供一个简单、用户友好的处理概念，以避免安装过程中的复杂程序。 应用范围： ➯ 扫描电子显微镜 SEM ➯ 投射电子显微镜 TEM ➯ 扫描隧道显微镜 STM ➯ 原子力显微镜AFM ➯ 其他超精密设备 ➯ 其他超精密设备 AVI 系列主动隔振系统 技术参数： Table Stable主动减震台-防震台-主动隔振系统（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。