晶圆检测系统

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晶圆检测系统相关的厂商

  • 中认国质(北京)检测技术研究院(机构代码:91110108351644860Q)并经工业和信息化部备案的公益性检验检测认证技术研究服务机构,承担检验检测机构资质认定和实验室认可科学研究、标准制定、技术培训、技术咨询、仪器销售、政策解读和国际交流等服务工作,是行业领先的检验认证综合技术服务机构,在管理体系认证、产品认证、检验检测机构资质认定、实验室认可、进出口商品检验鉴定、二方审核和培训领域具有丰富的经验,在全国32个省市、自治区、直辖市为全国近千家实验室认可机构、检验检测机构提供检验认证服务,帮助企业、机构、建立符合要求的管理体系,满足实验室的要求, 作为一家全国性、公益性检验检测认证、技术培训的服务机构,我院的服务获得了各行业评审组及各地质量技术监督部门的承认和认可,我院本着公平、公正、科学、严谨的态度全心全意为全国实验室认可机构、检验检测机构服务,努力成为国内一流的检验检测认证、技术培训的服务机构。
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  • 江苏东方航天校准检测公司公司成立于2010年3月,是华夏认证中心投资设立。通过了中国合格评定国家认可委员会(CNAS)能力认可,认可证书编号CNAS L5056。通过了江苏省质量监督局CMA认可,认可证书编号:181021340463. 炉温检测是第三方检测中心江苏东方航天校准检测有限公司的一个优势检测项目,可测0-1350度,目前已为湖北大冶特种钢、江阴兴澄钢铁、攀钢集团、中冶南方威仕、杭州华顺炉业、石钢、济南中船、中信戴卡等企业提供炉温方面的检测校准,出具带有CNAS和CMA认可标识的检测报告,协助客户通过了美国汽车工业行动集团AIAG 、美国石油协会API、 美国质量评审协会PRI等组织的认可。我公司可以为各种箱式炉、连续/半连续炉、井式炉、钟罩炉、真空炉、电阻炉、热处理等提供系统精度测试(SAT)、炉温均匀性(TUS)测试服务,出具CNAS认可的检测报告。2.江苏东方航天校准检测公司公司成立于2010年3月,是华夏认证中心投资设立。扭矩倍增器校准、液压泵校准、拉伸器检测、(气动、电动、 液压、中空扳手、驱动扳手)扭矩扳手校准检测是第三方检测中心江苏东方航天校准检测有限公司的一个优势项目,CNAS认可校准范围达到30000Nm,目前已为浙江运达、大唐风电、华锐能源、华能风电、国电等企业集团提供了扭矩扳手的校准服务,出具了带有CNAS章的证书,得到了用户的好评。我司 通过了中国合格评定国家认可委员会(CNAS)能力认可,认可证书编号CNAS L5056。通过了江苏省质量监督局CMA认可,认可证书编号:181021340463.
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  • 400-860-5168转4479
    可脉检测(南京)有限公司可脉检测(南京)有限公司 QMAXIS Testing (Nanjing) Ltd.是美国QMAXIS LLC在中国设立的独资企业。专营QMAXIS金相试样制备仪器和耗材,并提供技术服务。可脉检测全功能金相实验室可为您提供定制化的检测服务。QMAXIS强大的资源是形成了金相试样制备仪器和耗材的北美联盟,集设计、制造、制备方法、解决方案为联盟共同开发的核心。推出的金相试样制备仪器和耗材都是优良的、被使用者广为采用的认证产品。借助联盟的规模化力量,能为用户提供高性价比的仪器和耗材,这是联盟的核心价值所在。QMAXIS高性价比的优势,使它广泛应用于教育、科研、检测机构、制造业。金相制样设备:砂轮切割机,精密切割机;热压镶嵌机,真空渗透仪;研磨抛光机金相制样耗材:砂轮切割片,金刚石切割片,CBN切割片,切割冷却润滑液,磨石;热压镶嵌粉,环氧树脂和固化剂,丙烯酸树脂和固化剂,镶嵌辅助材料;磨盘更换系统,金刚石磨盘,碳化硅砂纸,金刚石薄膜,氧化铝研磨粉,抛光布,金刚石抛光液,金刚石抛光膏,抛光冷却润滑液,氧化铝/硅胶最终抛光悬浮液和抛光粉可脉检测的专业技术团队为您提供整套的、简捷的、个性化的金相制样解决方案!
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晶圆检测系统相关的仪器

  • 晶圆级衍射光波导光学检测系统皮米级周期计量 / 快速无损 / 形貌量测 Metrondie-SRG 晶圆级衍射光波导光学检测系统 是一款专为晶圆级光波导样品提供的专业光学检测系统,采用先进的角分辨光谱技术,配合强大的 AI 算法以及可溯源的标准物质,能够快速、准确获取一维、二维光栅的衍射效率及其形貌参数,为用户在衍射光栅的设计与加工过程中提供快速、无损的监控手段,不断提高产品生产良率。 Metrondie-SRG 晶圆级衍射光波导光学检测系统 典型应用领域: 光栅衍射效率测量 衍射效率是评价光栅性能的核心指标,需要系统具有同时测量角度和波长的能力。 光栅周期计量 周期作为衍射光波导的基本参数,影响着光在波导内部正确的传输与衍射,可溯源的方法是周期计量中的关键所在,需要具有复现和量值传递作用的标准物质作参考。 光栅形貌量测 高性能衍射光波导具有较为复杂的光栅形貌,对形貌无损快速的检测是晶圆批量制程中的核心诉求,需要系统具备多维度光学信号抓取能力并支持人工智能算法高效分析。 光栅取向测量 光波导中不同区域光栅的取向差异对成像至关重要,需要系统支持旋转角精确调节。 Metrondie-SRG 晶圆级衍射光波导光学检测系统 在以上领域的应用得益于如下几个特点: 1 角分辨光谱技术 得益于 -70°~70° 的广角量程与优于 0.02° 的角度精度,可准确捕捉 多级次 衍射强度随波长和角度的精确分布; 2 晶圆级测量 采用高兼容性样品台,有效覆盖 4~12 寸 晶圆的全面检测需求。同时,结合智能化软件,支持晶圆版图输入,实现了对衍射光波导晶圆的批量 mapping 检测; 3 人工智能算法 引入在线优化、深度学习和库搜索等前沿算法,将物理模型与多维光谱信息紧密融合,可实现 海量模型 的构建与优化,实时获取衍射光波导光栅的精确形貌参数; 4 高精度电动位移台 选用高精度 四轴电动 位移台,可实现 X, Y, Z 轴 微米级 空间定位精度,平面取向 θ 角 弧秒级 角度定位精度,支持衍射光波导全方位自动检测。Metrondie-SRG 光学量测示意图
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  • Fastmicro Particle Defect Inspection System | FM-PDS品牌:Fastmicro型号:FM-PDS产地:荷兰关键字:颗粒度检测,颗粒污染检测,晶圆表面颗粒度检测一、产品介绍荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统专门用于直接、快速检测产品表面颗粒度污染情况,允许检测最小颗粒尺寸100nm。主要应用于半导体领域薄膜、标线片、晶圆表面颗粒度检测或显示领域表面颗粒度检测。基于模块化和可扩展设计,该检测系统的扫描区域可以覆盖非常大的表面,如LCD衬底。此外,扫描仪模块也可以集成到其它设备中作为OEM解决方案。二、系统配置操作模式:半自动/全自动;样品尺寸:4"/6"/8"/12检测速度:400 Wafers-Per-Hour (WPH);分析参数:颗粒数量,位置和尺寸;分析报告:UI或PDF格式量化报告,满足ISO-14644-9标准;数据输出:KLARF, XML, Excel & Text文件;检测阈值:100nm及以上尺寸PSL颗粒;重复性:99%累积颗粒计数标准颗粒;尺寸准确性:PSL颗粒20%以内;定位准确性:40μm精度,15μm定位重复性;顶部/底部检测:单面检测/无翻转;控制:全数字控制设备网络-以太网,SECS/GEM;三、应用领域荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统可以应用于以下场景:薄膜检测(正面和背面)标线片,光掩模4 / 6 / 8/ 12英寸晶圆(背面、坯件、斜面)3Di(例如铜与铜的键合)高纯度关键部件四、检测模块集成 Fastmicro模块化设计的表面颗粒度检测系统可以根据客户需求集成到客户现有生产线上。可以包含检测模块、清洁模块、上片站、机械臂、检测区和清洁片存放区。
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  • AWL系列晶圆检查系统SOPTOP全新半导体工业检测产品——AWL系列晶圆检查系统,兼具稳定性和安全性,能够安全可靠的传送晶圆,适合于前道到后道工程的晶圆检查。一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元,期间晶圆需要依赖搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。纳米级厚度的晶圆很容易在传送过程中损坏,而且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污、缺陷等。SOPTOP拥有 AWL046、AWL068、AWL812三种机型,多类配置,分别可适用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圆检测,适应范围广、搭配灵活 。可自由设置的检查模式,充分符合人机工程学设计,操作舒适、简便。360°宏观检查AWL系列具有宏观检查手臂,可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转,更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°,晶背 1 最大倾斜角度 90°,晶背 2最大倾斜角度 160°,利用旋转功能、倾斜角度,完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。人机工程学设计LCD 显示屏,可为操作者提供更直观的视觉体验,可清晰的显示当前检查项目及次序,调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。精密微观检查采用专业半复消色差金相物镜,可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统,可排查 μm 级异常,诸如孔未开出,短路,断路,沾污,气泡,残留等。
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  • 华中科大刘世元教授团队发表光学晶圆缺陷检测领域系统综述
    作者:荆淮侨 来源:中国科学报受SCIE期刊《极端制造》极端制造编辑部邀请,华中科技大学教授刘世元团队近日在该刊上发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述文章,对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾。随着智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展,先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度,图形化晶圆上制造缺陷的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术,但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继,因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。据了解,晶圆缺陷光学检测方法的最新进展包含了缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法等三个方面。其中,缺陷可检测性评估,包含了材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响两个方面。在多样化的光学缺陷检测方法上,目前,晶圆缺陷光学检测系统可根据实际使用的光学检测量进行分类。在后处理算法方面,根据原始检测图像来识别和定位各类缺陷,关键在于确保后处理图像中含缺陷区域的信号强度应明显大于预定义的阈值。在该综述研究中,也总结了代表性晶圆缺陷检测新方法。具体可划分为明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。研究人员认为,基于深度学习的缺陷检测方法的实施流程非常简单。首先,捕获足够的电子束检测图像或晶圆光学检测图像。其次,训练特定的神经网络模型,从而实现从检测图像中提取有用特征信息的功能。最后,用小样本集测试训练后的神经网络模型,并根据表征神经网络置信水平的预定义成本函数决定是否应该重复训练。据介绍,尽管图形化晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题,但通过与纳米光子学、结构光照明、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术的融合,其再次焕发活力。该团队介绍,这一研究领域的前景主要包含以下方面:首先,为了提高缺陷检测灵敏度,需要从检测系统硬件与软件方面协同创新。同时,为了拓展缺陷检测适应性,需要更严谨地研究缺陷与探测光束散射机理。此外,为了改善缺陷检测效率,需要更高效地求解缺陷散射成像问题。除了IC制造之外,上述光学检测方法对光子传感、生物感知、混沌光子等领域都有广阔的应用前景。相关研究人员表示,通过对上述研究工作进行评述,从而阐明晶圆缺陷检测技术的可能发展趋势,将为该领域的新进入者和寻求在跨学科研究中使用该技术的研究者提供有益参考。华中科大机械学院研究员朱金龙、博士后刘佳敏为该文共同第一作者,华中科大教授刘世元以及朱金龙为共同通讯作者。相关论文信息:https://doi.org/10.1088/2631-7990/ac64d7
  • 日立推出暗场晶圆缺陷检测系统DI4600,吞吐量提高20%
    日立暗场晶圆缺陷检测系统DI46002023年12月6日,日立高新宣布推出日立暗场晶圆缺陷检测系统DI4600,这是一种用于检测半导体生产线上图案化晶圆上颗粒和缺陷的新工具。DI4600 增加了一个专用服务器,该服务器提供了检测颗粒和缺陷所需的显著增强的数据处理能力,从而提高了检测能力。与之前的型号相比,通过缩短晶圆转移时间和改进晶圆检测期间的操作,系统的吞吐量也提高了约 20%。DI4600将实现半导体生产线中高精度的缺陷监测,这将有助于提高产量和更好的拥有成本,促进半导体产量持续扩大。发展背景在当前的社会环境中,DRAM和FLASH等存储器半导体设备,MPU和GPU等逻辑半导体不仅用于智能手机、笔记本电脑和PC,还用于生成人工智能(AI)计算和自动驾驶。随着半导体器件的萎缩和复杂性的发展,对制造过程清洁度和检测能力的要求也变得更加严格。半导体制造商不断努力提高竞争力,尤其是在性能和制造成本方面。图案化晶圆检查工具通过检查生产晶圆的表面是否有颗粒和缺陷,有助于产量管理,使工程师能够监测半导体处理工具的清洁度变化和趋势,因此对半导体器件的性能和制造成本有很大影响。关键技术1.高通量与现有型号相比,通过减少晶圆转移时间、改善晶圆检测期间的操作和优化数据处理顺序,吞吐量提高了约 20%。2.高精度检测由于增加了专用服务器,因此提高了检测精度,该服务器提供了检测颗粒和缺陷所需的显着增强的数据处理能力。
  • 芯恩“晶圆承载装置和半导体检测系统”专利获授权
    天眼查显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司近日取得一项名为“晶圆承载装置和半导体检测系统”的专利,授权公告号为CN221176194U,授权公告日为2024年6月18日,申请日为2023年11月10日。 背景技术在半导体制程过程中,需要利用一种量测机台通过电容-电压特性曲线即CV特性曲线来检测晶圆的等效电容厚度(CET)、表面损伤(PDM)、表面势垒电压(VSB)、表面界面态密度(LI)等相关参数,以此来表征晶圆表面膜即介电质层的质量。晶圆检测仪(Semiconductor Diagnostics Inc,SDI)是利用电晕枪将电荷激发在晶圆即介电质层的表面,同时用非接触式振动探针来测量表面电压,并作CV特性曲线进而分析其晶圆表面膜的质量。在SDI的实际量测过程中,如图1和图2所示,电晕枪10激发出的电荷11会打在放置在承载台12上的晶圆13的表面,但在晶圆边缘14处的部分电荷11会发生偏移,导致电荷11出现在晶圆边缘14外。晶圆边缘14因电荷11丢失容易引起漏电,从而导致量测数据异常。因此,有必要提供一种新型的晶圆承载装置和半导体检测系统以解决现有技术中存在的上述问题。现有技术中的电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的侧视示意图电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的俯视示意图专利说明据专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆承载装置和半导体检测系统,晶圆承载装置包括晶圆承载台和磁性件;晶圆承载台用于承载待检测晶圆;磁性件设有若干个,若干个磁性件间隔围设于晶圆承载台,磁性件由N极和S极相邻设置而成,任意一个磁性件沿顺时针围设方向或逆时针围设方向均为S极到N极排列,以使若干个磁性件形成环形磁场,待检测晶圆位于环形磁场内,磁性件利用环形磁场对电荷的洛伦兹力,使偏移于待检测晶圆的边缘外的至少部分电荷返回于待检测晶圆的表面。本实用新型避免了待检测晶圆的边缘处的电荷丢失,解决了电晕放电单元打到待检测晶圆的边缘处的电荷丢失而引起漏电,导致量测数据异常的问题。本实用新型第一种实施例中晶圆承载装置的侧视示意图本实用新型的实施例中电荷在待检测晶圆的边缘的俯视示意图

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  • IT系统在医疗场所的应用及绝缘检测功能扩展

    摘 要:阐述了IT系统的定义、组成及特点,IT系统在医疗场所应用时的注意事项。介绍了IT系统绝缘监测功能的扩展:IT系统过负荷检测,IT系统隔离变压器温度检测,IT系统接地故障定位检测,以及绝缘监测、各类检测的中央监控系统。关键词:IT系统 绝缘监测 过负荷检测 隔离变压器温度检测 故障定位Abstract :The definition, composition and characteristics of IT system, the attention points of IT system using in medical sites are expounded. The expansions of the insulation monitoring functions of the IT system are introduced, including overload detection of IT system, temperature detection of the isolation transformer of IT system, the grounding fault location detection of IT system, as well as the insulation monitoring and the central monitoring system for all kinds of testing.Key words :IT system Insulation monitoring Overload detection Temperature detection of the isolation transformer Fault location1  引言  随着国民经济的快速发展和人们生活水平的逐年提高,人们对电的需求量陡然增长。与此同时,由于停电、漏电,以及线路绝缘故障引发的触电、电气火灾事故也随之剧增对人们的生命财产安全构成了严重威胁。为了加强系统供电的安全性和可靠性,《民用建筑电气设计规范》(JGJ 16-2008) 12.8.6条规定:在2类医疗场所内,用于维持生命、外科手术和其他位于“患者区域” 内的医用电气设备和系统的供电回路,均应采用医疗IT系统。IT系统具有泄漏电流小,可带故障运行等优点,因此在医疗场所、地下矿井、化工企业、船舶、电信、冶金、石油化工及交通工程等领域,IT系统得到了广泛的应用。2  IT系统及其特点2. 1 IT系统的定义及组成  IT系统的电源端不接地或经高阻抗接地,其电气装置的外露导电部分,被单独地或集中地通过保护线(PE)接至接地极。在实际应用中,IT系统一般与TN或TT系统通过隔离变压器进行隔离。  在正常情况下,系统中仅存在线路对地电容的微小泄漏电流。图1所示为IT系统发生第一次接地故障示意图,当系统发生第一次单相接地故障时,故障电流为两非故障相对地电容电流的相量和Id ,由于这个电流值甚小,不会造成人身电击或者其它事故,也不会切断电源,保证了系统供电的连续性。但是如果不及时排除故障,当第二次另一相发生接地故障时,相当于形成相间短路,使过电流保护装置动作,引起供电的中断,这对于重要的供电场所来说,是不允许的。Fig. 1 IT system grounding fault diagram  为了防止上述短路故障的发生, T系统应设置绝缘监测器。这样当系统发生第一次接地故障时,绝缘监测器就能及时检测出该接地故障,并通过报警装置发出报警信号(通常是声光报警信号),提醒工作人员赶在第二次发生异相接地故障前及时排除故障,消除隐患,从而有效地保证系统供电的连续性。  可以在系统中安装专门的故障检测仪,当绝缘监测检测到绝缘故障时,给故障检测仪一个启动信号,故障检测仪开始逐路检测,也可以利用手执式故障定位设备对可能出现故障的回路进行逐点排查,最终找到故障点并显示故障点的位置,这样就极大地方便了工作人员进行故障排除。  为了保证系统供电的连续性,国家《建筑物电气装置 第7-710部分:特殊装置或场所的要求—医疗场所》GB16895.24-2005 / IEC60364-7-710:2002 710.53.1条规定:“……医用IT系统的变压器进出线回路不允许设置过负荷保护……”,以防止系统过负荷时保护开关切断电源。这就要求系统中的绝缘监测器必须同时还具有负荷检测和过负荷报警功能。在一些重要的场所,由于隔离变压器持续不断地工作,可能温度过高而导致隔离变压器工作异常。因此绝缘监测器还需要实时检测变压器的温度,当其温度过高时,应有相应的超温报警信号,以提醒相关人员及时处理。  由上面的分析可知,一个典型的单相IT系统,其组成设备主要包括:隔离变压器、绝缘监测器、电流互感器,以及外接报警与显示仪,见图2。  系统中,绝缘监测仪具有系统绝缘检测、系统过负荷检测和变压器温度检测功能,以及相应故障的报警与显示功能,一般安装在现场的终端配电柜中。外接报警与显示仪则用于集中显示相应的检测值,并具有超限报警功能,一般安装在位置明显的地方,方便人员查看,如手术室IT系统的外接报警与显示仪通常安装在医院手术室的情报面板上。2. 2 IT系统的特点  a. 由于系统电源端带电导体不接地,即使系统发生单相接地故障也只能通过系统对地电容构成回路,故障回路阻抗极大,故障电流极小,发生电击的危险很小,所以不必及时切断电源来防电击,从而维持供电的不间断,只有在发生第二此接地故障时才要求切断电源 。同时,安装在系统中的绝缘监测器能及时地检测并给出系统绝缘故障报警信号,提醒工作人员及时排除故障。因此IT系统是一个连续、可靠的供电系统。  b. IT系统中的绝缘监测器,一方面实时监测系统的绝缘状态,另一方面还检测系统的过负荷和变压器的温升状态,一旦出现异常立即报警。因此IT系统能够减少因系统发热、漏电等原因引起的电气火灾事故,大大提高了系统的防火安全性。  c. 在IT系统中,提高回路的绝缘阻抗、降低回路对地电容,是提高系统安全性与可靠性的关键。因此在系统设计时要尽量缩短系统配电线路的长度,减小系统容量,减少系统分支回路数,并做好线路的绝缘防护措施。这也就限制了IT系统仅能用在重要的局部的供电场所,如化工、制药企业的一些程序控制生产线,医疗场所的手术室、重症监护室等场所。3  IT系统在医疗场所的应用  医疗IT系统是IT系统应用的一个典型实例。医院因其职能的特殊性,对其配电方式有特殊的要求。如外科手术室、重症监护室等,都需要采用IT系统,以提供一个安全、可靠、连续的配电系统。3.1 医疗IT系统的应用  根据国标《建筑物电气装置 第7 - 710部分:特殊装置或场所的要求 医疗场所》(GB 16895.24–2005 / IEC 60364–7– 710:2002),将医疗场所划分为0类场所、1类场所和2类场所。由于0类和1类场所不使用与病人直接接触的医疗器械,或者所使用的设备断电后不会对病人造成危害,因此可以使用TN-S系统,但须配有剩余电流动作保护器,在发生接地故障时,能及时断开故障回路。并可同时配置剩余电流监测设备,实时监测系统各回路的泄漏电流值,在保护设备动作前发出报警信号,避免造成回路断电,引起严重后果。对于2类医疗场所,医疗设备的断电或接地故障将会危及病人生命安全。根据相关的标准和规范,这类场所必须使用医疗IT系统,来保证系统供电的连续性和安全性。  采用IT系统的2类医疗场所包括有手术室、急诊抢救室、各类重症监护室(ICU)、心脏导管及造影室等。每个房间应配有独立的隔离电源系统。对于多个这类场所,可以采用如图3所示的配电方案。  图中各个手术室和重症监护室分别采用独立的IT供电系统,所有的IT系统由手术部与ICU总配电柜通过TN-S系统配电。各IT系统的绝缘监测器及总配电柜内的剩余电流监测设备又通过基于Modbus协议的RS485总线将各个监测信号反馈到手术部的中央监控室内,并由中央控制室的上位机通过中央控制系统软件进行集中监控。各个IT系统与TN-S系统的运行状态,都可以显示在中央监控室的上位机上,方便工作人员对系统进行集中监控与管理。  各类手术室和重症监护室根据各系统容量分别配置单独的IT系统,主要的医疗仪器、无影灯、多功能吊塔等用电设备须从IT系统中取电。照明灯、观片灯和电动门等可以不从IT系统取电。 图4为采用医疗隔离电源系统的手术室或ICU配电系统图。绝缘监测仪时刻监测IT系统的绝缘状态,并在系统出现故障时给出报警信号,外接的报警与显示仪通过RS485接口与绝缘监测仪进行实时的数字通信,显示绝缘监测仪的检测结果,并在报警时发出声光报警信号。除了绝缘监测设备外,系统还配置了绝缘故障测试仪和绝缘故障评估仪。绝缘故障测试仪能够在线查找故障发生的回路,它和绝缘监测仪一起工作,当绝缘监测仪探测到系统绝缘故障后,绝缘故障测试仪立即开始故障定位,由绝缘故障评估仪周期性地送出一个特殊的测试电流,测试电流流经故障部位,由电流互感器探测,并由电子评估仪对故障回路进行评估,评估的结果送报警与显示仪中显示。  医疗IT系统同时还配置了绝缘故障定位设备,在发现系统绝缘故障的同时,能及时定位出现故障的回路,这极大地方便了工作人员了

  • 浙江建成国内领先水质监测系统 请来小鱼当检测员

    浙江建成国内领先水质监测系统 请来小鱼当检测员

    [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/12/201212030821_408839_1611705_3.jpg[/img]去年六月,新安江苯酚污染,影响55万人用水的事让很多市民至今记忆犹新。而以后,这样的水污染事件会因为预警系统的完善在最大程度上避免发生。  昨天,记者从省环保厅了解到,我省饮用水源地水质自动监测系统建设工作已全面完成验收,将在年底前投入使用。从此,饮用水源地的水质情况将被24小时监控,全力保障城乡居民饮用水安全。  整套系统共有藻类、生物毒性及有机物在内的40多项指标,是全国监测因子最为齐全的水质监测系统。在对生物毒性的监测中,我省杭州九溪水厂等水源地则引进了生物“水质检验员”——斑马鱼、发光细菌和青锵鱼,让这些小精灵帮忙当水质“试毒专家”。  [b]全国最全水质监测系统,81个点位覆盖11个设区市[/b]  饮用水源地水质自动监测系统投入使用后,届时,81个监测点位的88个自动站覆盖我省11个设区市,将实现监测和预警21个市级饮用水源和60个县级饮用水源的水质质量,基本实现全省县以上主要饮用水源地水质监测和预警的自动化控制,实时反映饮用水的水环境质量和变化状况。  据了解,我省现有县级以上主要集中式饮用水源地108个,其中在用92个,备用及在建的16个。目前建成的81个水质自动监测点位总计投入资金约2.1亿元、监测设备88套。  其中71套固定站将每4个小时自动取样,并实时监测。而我省首次采用的17套浮标站,则会对湖库富营养化及藻类进行针对性监测。通过浮标站内部的无线网卡,将被测水质的多项指标实时反映出来,水质状况一目了然。  而整套系统共有藻类、生物毒性及有机物在内的40多项指标,是全国监测因子最为齐全的水质监测系统。  [b]监测生物毒性,请来斑马鱼当“水质检验员”[/b]  如今,在杭州九溪水厂等水源地,已经进驻了一批可爱的“水中精灵”。“在40多项监测指标中,生物毒性的监测需要有一些特殊的体验者,它们就是斑马鱼、发光细菌和青锵鱼。”据省环境监测中心主任邵卫伟介绍,生物毒性可以通俗理解为样品对生物体的毒害作用。而斑马鱼和发光细菌等就因为其自身的独特特质成了当仁不让的“水质检验员”。  “我们的监测点位里会放置鱼法毒性分析仪,仪器上有8个检测池,每个检测池里都养有2到3条斑马鱼,而养鱼的水就来自所监测的水源地。”邵卫伟说,检测池和电脑紧密相连,通过鱼的生命体征变化,就可以监测到水的毒性变化。  其中,特别是斑马鱼的基因与人类基因相似度达到85%,这意味着在它身上得出的水质监测结果,多数情况下都适用于人类;  而青锵鱼遇到水中被投放了毒药或受到污染时,因呼吸困难会立刻浮至水面呼吸;  发光细菌本身会发出蓝绿色可见光,与外来污染物接触后,其发光强度即有所改变。  利用这些水质监测的小精灵, “一旦监测到异常情况,我们就会报警,但目前这套系统暂不会以实时发布等形式对外发布,主要以监测和预警为主。”邵卫伟说,如果公众想要了解自己所处水源地的水质情况,可以登录省环保厅的门户网站。他们会将每个月对每个水源地的水质状况进行发布。  [b]99个水源地水质达标率达86.4%[/b]  截至今年9月,我省正在使用的99个水源地,水质达标率达86.4%。同时,各地也进一步加强了饮用水源、备用水源地的建设和保护。截至2011年底,浙江已累计创建合格、规范饮用水源保护区达509个,法定水源创建比例达100%,受益人口达3300多万。目前,我省11个设区市大多建成了备用水源或实现了双水源供水。  而且,可以肯定的是,这套水质自动监测系统投入使用后,新安江苯酚污染、苕溪污染等水污染事件就可以在最大限度上避免再次发生了。

  • 【分享】福建省计量院机动车超速自动监测系统研发成功

    福建省计量院机动车超速自动监测系统研发成功日前,由福建省计量院研发的《机动车超速自动监测系统检定装置(整车)》通过专家组验收。 机动车超速自动监测系统是道路交通执法和交通管理的主要技术设备,属于国家强制检定的计量器具。此计量器具的准确与否直接关系到群众的切身利益和交通安全,必须经检定合格后方可用于监测车辆是否超速。福建省计量院研发的国家质检总局科技项目《机动车超速自动监测系统装置(整车)》通过验收,为福建省机动车超速自动监测系统提供新的检定方法。 据了解,这项“机动车超速自动监测系统检定装置(整车)”首次提出车速波动度概念和现场车速判断新方法,可大大提高检定工作效率,并有效避免误判情况的发生,其总体性能与技术指标均达到国内先进水平,为维护群众切身利益和交通安全提供强有力的安全保障,促进机动车超速自动监测系统检定进一步升级。

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  • 江苏南京扬尘颗粒物在线监测系统
    江苏南京扬尘颗粒物在线监测系统是由深圳奥斯恩自主研发,并拥有自主知识产权的建筑工地施工远程扬尘监控设备,符合GB3096-2008《声环境质量标准》和GB3095-2012《环境空气质量标准》相关规定,进行不同声环境功能区扬尘重点监控区监测点的连续自动监测且具有完善功能的扬尘噪音监测设备,主要用于主要适用于数字城管、智慧城市、建筑工地、垃圾场、拆迁工地、码头、产业园、社区、道路扬尘环境监测监控中心;监测的数据指标包括扬尘浓度、噪音指数,气象要素以及视频画面及气象参数。通过物联网以及云计算技术,实现了实时、远程、自动监控颗粒物浓度以及现场视频、图像的采集;数据通过网络传输,可以在电脑、手机、平板电脑等多个终端访问. 江苏南京扬尘颗粒物在线监测系统采用户外型设计方案,具备防尘防雨特性,可全天候24小时长时间连续自动工作。远程高清流畅1080P视频监控、超标预警抓拍上传图片功能。集成了H.265编码高清视频、360度全方位旋转云台、无线3G/4G,WIFI及宽带、光纤有线传输、远程监控监测&预警、通过奥斯恩主机采集系统扩展接口,可实现TSP、PM10、PM2.5、噪音、气象要素等数据采集等功能于一体的监测预警提示,通过奥斯恩扬尘污染监控云平台实时警报语音,视频,短信,微信推送等多种报警方式,联动现场喷淋降尘设备,可实现智能监测与联动治理的一体化解决方案。 产品特点:1、1080P全高清视频采集2、H.265高效率压缩编码3、水平位360度连续旋转4、垂直方向100度可调节5、可进行全天候24小时365天全时连续在线监测或定时监测;6、3G/4G、WIFI无线传输、ADSL 光纤等有线传输7、气象参数扩展:温湿度、风速、风向,大气压等气象信号的扩展接入,实现环境全面监控;8、全碳钢烤漆封装机箱:全铝合金外壳封装,坚固、防尘、防锈、防潮,适合各种恶劣工业环 境,防护等级为IP65;9、可保证相对湿度10%-90%,环境温度-40℃-70℃的正常工作;10、连接220V市电,如用户使用带有不间断电源备用时间视电池容量而定;11、可直接与环保局,建委,城管局等监管平台接入数据12、全部接线采用航空接头,傻瓜式安装,简易方便13、可立杆式安装,或者壁挂式安装系统参数:监测指标 测量范围 分辨率 准确度 备注PM2.5 0-500ug/m3 1ug/m3 ±10%PM10 0-2mg/m3 1ug/m3 ±10%TSP 0~40mg/m3 1mg/m3 ±10%风速 0-30m或0-60m 0.1m/s ±1m/s风向 0~360°/16方位 1° ±3°噪声 30~130dB 31.5Hz~8kHz ±1.5dB温度 -30~+70℃ 0.1℃ ±0.3℃湿度 0~100%RH 1%RH ±3%RH压力 500~1100hPa 0.1 hPa ±0.3hPa数据采集处理系统市电220V供电 AC220V太阳能供电系统 含太阳能板及蓄电池通讯方式 RS485/232通讯,USB通讯3G/4G、WIFI无线传输、ADSL 光纤等有线传输标配3米支架 高度可定制户外高清LED屏幕 尺寸105*55cm 四行显示 含控制系统及防水外框 高清网络摄像头 高清1080P低码流一体化云台机,采用新H.265视频压缩算法 压缩比高图像质量好 130万像素 支持1280×960 分辨率,连续旋转,垂直方向 +90°-90 °
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