经济型分子泵

ELF经济型马弗炉最高温度1100℃1数字控制器2紧凑的设计3箱体外部温度低4开门即断电5加热升温快6炉门打开后可作样品台 ELF马福炉创新设计，6升和14升容量，陶瓷纤维炉膛加热部件。优越的性能，传统质量和可靠性。加热部件置于侧面和顶部。加热部件不在炉膛底部以防撒落样品损坏之。可选配硬质衬底。这种型号温度升到900℃的时间少于15分钟。低热质绝热材料确保最大的热效能和最快冷却或加热。烟雾从陶瓷烟囱排出炉膛。[URL=http://www.labxp.com/chendewen-Products-362576/]http://www.labxp.com/chendewen-Products-362576/[/URL]

【作者】： 康亚【题名】：一种新的经济型智能浊度仪研究【期刊】： 重庆大学 2009【年、卷、期、起止页码】：【全文链接】：https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&dbname=CMFD2009&filename=2009047838.nh&uniplatform=NZKPT&v=PhDF53i0ijR1kcf4D6Aib07QP62-WYJTOgV_J4OAt1q6BhmGdGCHzJyGZL5Lck5d

DL-200经济型COD速测仪产品介绍： 本仪器以催化快速法为基础，采用单色冷光源测量有色溶液的颜色变化，利用单片机技术进行数据处理的实验室精密分析仪器。 仪器由专用消解器和专用比色计组成，具有自动控温、计时、调零、线性回归、曲线储存和数据打印等功能。由于测定过程使用强氧化剂，腐蚀性较强，稍有不慎对仪器和氧化剂输送系统会造成严重腐蚀，为此我们开发出独特的自动气压进样方式从而避免了可能发生的腐蚀现象。仪器可广泛用于环境保护、科研监测、生产监测等领域，是环境监测与控制的理想机器。COD的标准法测定是采用回流消解滴定法，该方法消解时间长（2小时）、耗能大、试剂费用高、效率低，常常困扰实际操作者。我们针对工业污染源治理排放及各种污水快速检测要求，研制成功了旭宇200经济型COD快速比色测定仪。仪器可采用开管回流加热消解或密封消解法。仪器采用专用催化剂和氧化剂，水样在加入专用氧化剂和催化剂后，加热消解，氧化剂中的Cr6+部分还原成Cr3+，还原后的Cr3+含量通过比色测定、回归计算，换算出水样中COD(cr) 的实际浓度。[b]DL-200经济型COD速测仪技术参数：[/b] 1、温度设定范围：室温~200℃ 2、控温精度：165±0.5℃ 3、计时范围：1-199min 4、计时误差：10min±0.1s 5、消解时间：10 min 6、消解样品数：9孔（标准） 7、测量范围：5~1000mg/L（大于1000可稀释测定） 8、精 确 度：≥±5% 9、抗氯干扰：＜1000mg/L，2000mg/L可选配 10、记录存储：可存储200个测定结果 11、外形尺寸：比色计360mm×320mm×210mm 12、重 量：消解器10kg，比色计3.8kg 13、功 耗：消解器300W(最大)，比色计10W

一、经济性的内容　　紫外可见分光光度计的经济性, 是指的仪器要物美价廉。日常工作中, 经常听到有人在对进口仪器和国产仪器作比较时说某进口紫外可见分光光度计非常好, 它的光度准确度如何高、杂散光和光度噪声如何小、自动化程度多么高、适用性如何强等, 但就是不说那台仪器的价格。性能优秀的仪器固然是好仪器, 那些常规的、普及型的紫外可见分光光度计的技术指标和自动化程度不是很高。在比较仪器时, 不能只比质量指标, 而不比价格。将10 万美元一台(附件配齐) 的世界上最高级的P-E 公司的Lambda900 紫外可见分光光度计、Varian 公司的Ca ry6000 紫外可见分光光度计的质量, 与我国6 万～7 万元人民币一台的TU-1901 紫外可见分光光度计的质量相比较, 将几十万元人民币一台的紫外可见分光光度计的质量与我国1 万多元人民币一台的751 紫外可见分光光度计的质量相比较。在比较仪器时, 要从实际工作需要出发, 既要比质量, 又要比价格。　　二、经济性的评估　　比较两台同类仪器时, 应该比它们的性能价格比、功能价格比、质量价格比。经济性应该是指的全方位的经济性。要比较紫外可见分光光度计的优劣时, 要考虑多种因素, 主要从以下4 个方面来看。　　1. 性能(技术指标) 价格比　　一台紫外可见分光光度计的技术指标很优秀, 价格又便宜, 说它的性能价格比高, 是一台好仪器。一台紫外可见分光光度计, 技术指标很差, 无法使用, 无论其价格多么便宜, 也是没有用的, 绝不是好仪器。如果一台紫外可见分光光度计, 虽说技术指标很好, 但是其价格昂贵, 性价比不高, 也未必是使用者所需要的“ 好仪器”。　　2. 功能价格比　　一台仪器功能齐全, 自动化程度很高, 价格便宜, 说它的功能价格比高,是一台好仪器; 如果一台仪器自动化程度很低, 全依靠人工用手操作很不方便, 也难于保证仪器工作在最佳状态和分析测试结果的可靠性, 这种仪器即使价格很便宜, 也不能说是好仪器。　　3. 使用成本价格比　　使用和维护成本低, 亦是评价仪器经济性的重要内容。要考虑仪器的日常维护和消耗费用, 做一个样品, 需要的成本太高, 显然是不划算的。维护费过高, 对经常维护和保证仪器正常运行都是不利的。　　4. 仪器的质量价格比　　在比较两台同类型的紫外可见分光光度计的好坏时, 应该首先看它们的质量。如果两台仪器中的一台, 价格很便宜, 质量也很好, 即质量价格比高。而另一台仪器的质量也很好, 但价格贵, 即质量价格比低, 当然是质量价格比高的仪器好。反之, 如果一台仪器的质量不好, 但是其价格很便宜, 即质量价格比不高; 而另一台仪器的质量很好, 但是其价格不便宜, 即质量价格比也不高, 当然是质量好的仪器好。　　因此, 在评价或挑选紫外可见分光光度计时, 一定综合考虑各方面的因素。总之一句话, 要物美价廉。要同质比价, 同价比质, 要考虑全方位的经济性。

FCHⅠ经济型电动阀门手操器概述FCHⅠ经济型电动阀门手操器是与电动阀门配合使用的产品，用以控制电动阀门的开启和关闭。主要特点：1．控制电路采用直流低压控制，调试、操作安全，控制可靠，4位数码管开度指示准确直观。2．机壳采用标准的仪表机箱，体积小重量轻，便于安装在控制屏上。3．指示灯指示开阀、关阀、阀全开、阀全关、事故、保护、现场、远控等状态。4．提供现场控制可能。5．电动阀门发生过力矩（事故）或过热（保护）时声光报警，便于及时排除故障。6．智能校准：对阀位开度的“调零”和“调满”校准时，无需标定电位器、无需用基准测量仪表进行复杂的调试，只要在阀门实际的“全关”和“全开”位置各按一次标定按键，便以新设定的区间自动准确的修正为000.0和100.0。7．相位保护：以前，在现场接线，必须保证提供给执行器的交流电的相序正确，因为一旦相序错误，就会造成电机不正确的转动，进而损伤阀门和执行器。现在用户完全可以省去这一烦恼，接线时不再需要考虑相序的问题。当现场接线相位颠倒时，相同步器会自动地改正相位，以确保阀门按指令的方向来执行。即执行器接到开命令时总是按预先设置的开方向转动，不会因为相序调换而向相反方向运行。8．电机为AC220V的执行机构直接控制，电机为AC380V的执行机构需加AC380V的功率驱动装置。技术数据1．工作电压：220V/50Hz2．控制电压：220V/50Hz3．控制功率：继电器输出。容量：10A4．工作环境：l环境温度：-20~40℃l相对湿度：不大于80%（20±5℃）l周围不含有强腐蚀型、易燃易爆介质。l外形及安装尺寸：160mm*80mm*125mm(W*H*L)l屏装开孔尺寸：152ˉ¹ mm*76ˉ¹ mm(W*H)前面板功能部件说明l开度显示—指示阀门开度0~100%l标定—阀门全开时“开”（红色）指示灯常亮，按下“标定”键1秒，以此时的检测数据作为一个开度初值（最大值），同时开度表指示为100.0，阀门全关时“关”（绿色）指示灯常亮，按下“标定”1秒，以此时的检测数据作为另一个开度初值（最小值），同时开度表指示为000.0，其它状态下此按键不起作用，标定后的开度初值断电保持l“现场”（红色）指示灯点亮，表示现场控制工作方式，此时，控制器面板上的“开”键、“关”键、“停”键均不起作用，可由“选择”键切换至“远程”控制工作方式l“远程”（绿色）指示灯点亮，表示远程（控制器面版）控制工作方式，可由“选择”键切换至“现场”控制工作方式l“开”（红色）指示灯闪动，表示正在开阀；亮起时表示阀全开l“关”（绿色）指示灯闪动，表示正在关阀；亮起时表示阀全关l“事故”（红色）指示灯点亮，表示事故—电动装置过力矩，灯亮同时控制器内蜂鸣器发声l“保护”（红色）指示灯点亮，表示保护—过电流，灯亮同时控制器内蜂鸣器发声l“选择”—“现场”或“远程”控制工作方式选择按键，持续按下1秒，“现场”“远程”工作方式进行切换，“远程”或“现场”状态断电保持l“开”—在“远程”控制方式中，按下“开”键，可控制电动阀门由停止向全开方向运行直至按下“停”键或到阀全开位l“关”—在“远程”控制方式中，按下“关”键，可控制电动阀门由停止向全关方向运行直至按下“停”键或到阀全关位后面板功能部件说明l1~3端为二组现场控制输入连接端，其中1端为控制输入公共端，2端(常开)为现场开阀控制输入端，3端(常开)为现场关阀控制输入端，在“现场”控制方式下，分别控制开阀和关阀操作l4~8端为五组检测输入连接端，其中4端为检测输入公共端，5端(常开)为开到位检测输入端，6端(常开)为关到位检测输入端，7端(常开)为事故检测输入端，8端(常闭)为保护检测输入端l10~12端为开度检测连接端，其中12端为最大开度运行方向，10端为最小开度运行方向，11端为开度检测抽头端l13~14端为4-20mA阀位输入连接端，其中13端为4-20mA阀位正端，14端为4-20mA阀位负端l19~24端为电动阀门电机控制输出和电源连接端，其中22端为电源的保护接地端，23端、24端分别为AC220V电源中性线和火线输入端，21端为开阀和关阀控制的公共端，19端、20端分别为用于开阀和关阀控制的火线输出端特别说明如果没有外加热继电器（常闭）输出，请将4和8短接。否则蜂鸣器误报警，仪表不工作。单相AC220V 应注意区分零线和火线，三相AV380V接触器应与仪表供电同相。仪表背后端子接线FCH端子电动装置端子名称1现场控制开关公共端2现场控制开阀常开端3现场控制关阀常开端4微动开关组公共端5开限位微动开关常开端6关限位微动开关常开端7力矩微动开关常开端8为保护检测常闭端10阀位电位器最小开度运行方向端11阀位电位器中心端12阀位电位器最大开度运行方向端134-20mA阀位正端144-20mA阀位负端19开阀控制的常开输出端20关阀控制的常开输出端21开阀和关阀控制的公共端22电源的保护接地端23AC220V电源中性线N端24AC220V电源火线输入L端电机为AC220V的执行机构直接控制接线图电机为AC380V的执行机构需加AC380V的功率驱动装置接线图注：开限位微动开关、关限位微动开关通过内部跳线可选常开、常闭。[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=20262]FCHⅠ经济型电动阀门手操器[/url]

GB/Z 19024-2000 质量经济性管理指南2000-01-05发布，2000-06-01实施。idt ISO/TR 10014:1998[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=90537]GB/Z 19024-2000 质量经济性管理指南[/url]

哈希 1900C经济型便携式浊度仪与2100Q 便携式浊度仪哪个方便使用？价格合理？ 求指教！~

如何控制仪器故障率和运行经济性，确保仪器的运行的性价比最高，降低费用，减少故障，使仪器工作在最佳状态。

经济型数控机床的主要特点是价格便宜，功能针对性强。一般情况下，普通机床改装成简易数控机床后可以提高工效1～4倍，同时能降低废品率，提高产品质量，又可减轻工人劳动强度。改造费用通常一年左右就可以收回。一般用单板微计算机作为控制装置，用步进电机为执行机构，将普通机床改造成简易数控机床。经改造后的机床既保留了原机床的通用性，又增加了许多传统机床所没有的特点，如自动对刀、间隙补偿、自动调整进给速度、自动回原点等功能。这种机床尤其适用于杆轴类、盘类零件以及带有锥度、球面的中等复杂程度零件的频繁、轮番加工。 　　 　　数控系统的工作过程如下: 　　 　　(1)输入大量的零件加工程序一般通过通信方式从外部计算机输人而来。数控系统一般有两种不同的输人工作方式:一种是边输人边加工(即通常所说的DNC方式)，这种方式用于较长程序，也就是复杂零件的加工;另一种是一次将琴件加工程序全部输人数控系统内部的存储器，加工时再由存储器一段一段地读出进行零件加工。具体采用哪种方式，视数控系统存储器的存储量而定。 　　 　　(2)译码输人的程序段含有零件的轮廓信息(起点、终点、直线、圆弧等)、要求的加工速度以及其他的辅助信息(换刀、主轴转速、进给速度、冷却液等)。系统计算机依靠译码程序来识别这些指令符号，译码程序将零件加工程序翻译成系统计算机内部能识别的语言。 　　 　　(3)数据处理数据处理一般包括刀具半径补偿、速度计算以及辅助功能的处理。数控刀具半径补偿是根据刀具半径值把零件轮廓轨迹转化为刀具中心轨迹。速度计算是解决该加工程序段以什么样的速度运动的问题。另外还有辅助功能如换刀、冷却液等数据的处理。 　　 　　(4)插补(即轴进给运动)在机床的实际加工中，被加工上件的轮廓形状千差万别。严格说来，为了满足几何尺寸精度的要求，刀具中心轨迹应该准确地依照工件的轮廓形状生成。对于简单的曲线，数控系统易于实现，但对于较复杂的形状，若直接生成刀具中心轨迹，势必会使计算方法变得很复杂，计算工作量也相应地大大增加。因此，在实际应用中，常常采用一小段直线或圆弧去逼近(或称为拟合)曲线，有些场合也叮以采用抛物线、椭圆、双曲线和其他高次曲线去逼近曲线。所谓插补，是在已知一条曲线的种类、起点、终点以及进给速度后，在起点和终点之间进行数据点的密化，从而用多段简单曲线来逼近复杂曲线。数控系统经过插补运算后向伺服系统发出指令，从而实现各坐标轴的进给运动，完成零件的加上。脉搏制造网-外协加工-机械加工-数控加工-专注加工制造业B2B平台

第一章 微型气泵、真空泵市场概述随着国内工业水平的不断发展，近几年国产微型泵制造业也日趋成熟，生产已经走向专业化，产品类别不断细分，市场格局也逐渐清晰。一、产品分类本文所述微型泵主要包括微型真空泵、微型气泵、微型水泵。随着生产厂家的技术水平不断提高，这几年也出现了复合功能泵，比如：既能抽气又能打气的微型真空气泵，既能抽气又能抽水的微型真空水泵等等。从产品档次上看，高端微型泵主要用于工业级产品、医用设备仪器、军用级产品等，目前该级别市场主要由进口微型泵KNF、GAST、THOMAS等品牌和国内成都“气海”品牌瓜分市场，各厂家主要在技术水平、产品品质方面竞争。从进口微型泵在国内经销商的日渐萎缩可以看出，这几年国货进步很大，正逐步蚕食进口品牌的市场份额。在低端微型泵市场，主要是经济型民用品，比如水族馆用气泵、血压计气泵等，这类微型气泵的生产厂家多如牛毛，各厂家主要在价格和销量上展开竞争，该市场几乎被国货占领，进口品牌在价格和服务上毫无优势。二、微型泵的发展历程 低端产品在2000年左右主要由台湾引进技术和部份设备，而后江浙、广东等地的厂家纷纷仿造、消化、改进，他们在优化生产工艺降低成本上取得了突破，随后大量厂家进入该领域，形成了现在这种百花齐放、价格低廉、品质尚可的局面。 高端产品大约在上世纪90年代，由原来一些国内老牌军工企业从德国、美国、日本引进技术，原成都南光机器厂（专业生产真空获得设备）就是其中的代表之一，加上成都附近的绵阳市有国家空气动力学研究中心等机构，这为以后高端微型真空泵、微型气泵的发展提供了良好的技术环境。原来的成都锐意机械设计中心（后来发展为现在的成都气海机电制造有限公司）是国内最早步入该行业的厂家。随着国产品牌的诞生，进口产品一统天下的局面于2000年左右开始被打破。三、行业相关标准截止目前，国内还没有颁布关于微型泵的国家标准，包括微型真空泵、微型气泵、微型水泵都没有一套完善细致的标准，现在的产品品质完全靠生产厂家的自觉性和技术实力，不利于整个行业的壮大、健康。四、竞争格局 在低端产品市场，由于门槛低，呈现出国内厂家群雄逐鹿的态势，尤其是价格竞争非常激烈。没有大规模外资进入。 在高端产品市场，进口品牌开始在国内设立办事处、寻找经销商，并在国内采购配件或干脆贴牌生产，企图拓展销售渠道、提高产品性价比。但供货周期长、对中小客户不重视、无法按客户要求定制等等，都是进口品牌的软肋。但是，在微型泵的高真空度、高输出压力、超长寿命等技术上有绝对优势，即便是国货顶尖的气海品牌也不是对手。目前，国货中有实力与进口品牌竞争的就成都气海一家，在产品定制、售后服务、供货周期、销售渠道上有明显优势，特别是在中低技术参数的产品上竞争力很强，国内不少商家都在销售或变相销售其产品，这也是它目前吞噬进口品牌市场的利器。五、国际化战略 国内低端产品的国际化作得比较好，批量出口海外相对成熟。国货在高端产品上虽有出口，但在规模效益和技术层次上还有相当差距，任重道远。六、技术创新高端微型泵产品的技术创新比低端产品表现得更好、更迫切，国内企业对市场反应迅速，新品的推出速度快、贴近市场需求，相比国外品牌，内资企业表现更出色。(bh)

第一章 微型气泵、真空泵市场概述随着国内工业水平的不断发展，近几年国产微型泵制造业也日趋成熟，生产已经走向专业化，产品类别不断细分，市场格局也逐渐清晰。一、产品分类本文所述微型泵主要包括微型真空泵、微型气泵、微型水泵。随着生产厂家的技术水平不断提高，这几年也出现了复合功能泵，比如：既能抽气又能打气的微型真空气泵，既能抽气又能抽水的微型真空水泵等等。从产品档次上看，高端微型泵主要用于工业级产品、医用设备仪器、军用级产品等，目前该级别市场主要由进口微型泵KNF、GAST、THOMAS等品牌和国内成都“气海”品牌瓜分市场，各厂家主要在技术水平、产品品质方面竞争。从进口微型泵在国内经销商的日渐萎缩可以看出，这几年国货进步很大，正逐步蚕食进口品牌的市场份额。在低端微型泵市场，主要是经济型民用品，比如水族馆用气泵、血压计气泵等，这类微型气泵的生产厂家多如牛毛，各厂家主要在价格和销量上展开竞争，该市场几乎被国货占领，进口品牌在价格和服务上毫无优势。二、微型泵的发展历程 低端产品在2000年左右主要由台湾引进技术和部份设备，而后江浙、广东等地的厂家纷纷仿造、消化、改进，他们在优化生产工艺降低成本上取得了突破，随后大量厂家进入该领域，形成了现在这种百花齐放、价格低廉、品质尚可的局面。 高端产品大约在上世纪90年代，由原来一些国内老牌军工企业从德国、美国、日本引进技术，原成都南光机器厂（专业生产真空获得设备）就是其中的代表之一，加上成都附近的绵阳市有国家空气动力学研究中心等机构，这为以后高端微型真空泵、微型气泵的发展提供了良好的技术环境。原来的成都锐意机械设计中心（后来发展为现在的成都气海机电制造有限公司）是国内最早步入该行业的厂家。随着国产品牌的诞生，进口产品一统天下的局面于2000年左右开始被打破。三、行业相关标准截止目前，国内还没有颁布关于微型泵的国家标准，包括微型真空泵、微型气泵、微型水泵都没有一套完善细致的标准，现在的产品品质完全靠生产厂家的自觉性和技术实力，不利于整个行业的壮大、健康。四、竞争格局 在低端产品市场，由于门槛低，呈现出国内厂家群雄逐鹿的态势，尤其是价格竞争非常激烈。没有大规模外资进入。 在高端产品市场，进口品牌开始在国内设立办事处、寻找经销商，并在国内采购配件或干脆贴牌生产，企图拓展销售渠道、提高产品性价比。但供货周期长、对中小客户不重视、无法按客户要求定制等等，都是进口品牌的软肋。但是，在微型泵的高真空度、高输出压力、超长寿命等技术上有绝对优势，即便是国货顶尖的气海品牌也不是对手。目前，国货中有实力与进口品牌竞争的就成都气海一家，在产品定制、售后服务、供货周期、销售渠道上有明显优势，特别是在中低技术参数的产品上竞争力很强，国内不少商家都在销售或变相销售其产品，这也是它目前吞噬进口品牌市场的利器。五、国际化战略 国内低端产品的国际化作得比较好，批量出口海外相对成熟。国货在高端产品上虽有出口，但在规模效益和技术层次上还有相当差距，任重道远。六、技术创新高端微型泵产品的技术创新比低端产品表现得更好、更迫切，国内企业对市场反应迅速，新品的推出速度快、贴近市场需求，相比国外品牌，内资企业表现更出色。(bh)

涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323927.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]* 威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里[color=#222222]工作原理和压缩比[/color]涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理，如图1。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323928.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img] 图1 涡轮分子泵的工作原理[color=#222222]撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S[/color] [font=&][color=#222222]0 [/color][/font] [color=#222222]表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。[/color]压缩比K0，可以根据Gaede来估计。对于视觉密集型叶片结构，Gaede的公式适用。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323929.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图2 转子和定子叶片的排列方式Gaede的公式[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323930.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]其中： p[size=11px]V[/size] = 前级真空压力 p[size=11px]A[/size] = 吸气压力 v = 叶片速度[font=微软雅黑, &][size=14px] = 平均分子热运动速度[/size][/font] L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1g3)在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px]几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K[size=11px]0 [/size]因此，随着叶片速度v和 [/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px] aaan的增加呈指数增长。[/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S [size=11px]0 [/size]与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323931.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][font=微软雅黑, &][size=14px][color=#222222]图3 的Y轴上画出了以[/color][i]l[/i][color=#222222]s[/color][font=&]-1[/font][color=#222222] cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：[i]A[/i]=（Ra2-Ri2）π ，就可以得到抽气速度。[/color][/size][/font][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323932.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图3 涡轮泵的具体泵送速度[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323933.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图4｜泵送速度是相对分子量的函数[color=#222222]图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10[/color][font=&][color=#222222]-2[/color][/font][color=#222222] hPa（图5）。[/color][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323934.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图5｜抽速与抽气压力的关系[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323935.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图6｜霍尔韦克级的工作原理[color=#222222]霍尔韦克级的特殊功能[/color]Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S [size=11px]0[/size]是相同的。[font=微软雅黑, &][size=14px] [/size][/font]这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323936.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]压缩比就会增加。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323937.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323938.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比[font=&]选择正确的前级泵[/font]涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。[font=微软雅黑, &][size=14px][font=&][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323939.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/font][/size][/font][font=&][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][font=&]表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力[/font][/size][/font] [img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323940.gif?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][align=left]这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。[/align][align=left]此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。[/align][align=left]因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。[/align]激光平衡技术[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323941.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]2021年，Pfeiffer真空公司已经推出了激光平衡技术。最后，小析姐分享给大家几个涡轮分子泵在使用小tips：1、为防止涡轮分子泵返油，开机前先将前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。2、在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。3、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。4、选择系统前级泵大小时，应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。6、分子泵入口应装设防护网，以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。7、规范使用涡轮分子泵，可有效提升真空泵的使用效率，延长使用寿命

真空系统中，关泵时，头晕了一下，先关了机械泵，过了一会反应过来关错了，然后又开机械泵了，再按正常的步骤关了设备，结果再抽的时候，机械泵抽不出 好想是漏气似的，检查来检查去实在是不知道那里漏气。 机械泵是好的，分子泵会不会出问题？那地方会出问题呢？ 我也不太懂，是新设备上的。就是机械泵连在分子泵上。如果分子泵不开，机械泵抽一会，真空会上去，应该是负责分子泵前级和真空室预抽。 它这个是有保护功能，一般不是说分子泵是二级泵，必须在一定的的真空下才可以开吗？它这各可以同时开，只是在真空度不上去时，分子泵不工作而已。 抽的时候阀门没有动。 气路就是一个scroll pump 连在turbo pump 再接闸板阀，再接到腔。 现在的症状就是机械泵抽的声音很大，不断有气从排气孔出来，显然是漏气了。别的地方又没有动，分子泵内部是不是哪里破了，漏气呢？ 谢谢！

真空蒸镀机，普发分子泵转速只有1000左右，抽真空只能抽到2*10-1,，然后分子泵就会报错run up time error。监测机械泵能抽到10-2，分子泵的开关电源之前烧了，换了电源和保险丝后开机，就是这个样子了。

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 关掉分子泵，进行排气。从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等拆掉润滑的油包将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。拿出分子泵。将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。[color=#DC143C][size=4]以上内容来自网络，质谱工程师不建议自己对分子涡轮泵进行维护，工程师说他们只负责拆装，也不做维护，都是发回厂家维护的。[/size][/color]

在我们论坛上质谱综合版面专家的帖子里发现一大学网站里的这个资料，转来给我们[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url]的版友分享。专家的分享，我已投票感谢了。还有，希望了解较多、懂行的版友能够跟帖，纠正错误，给广大版友带来方便。再次首先感谢您的支持^_^分子泵的作用利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1 为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米／秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。分子泵的结构-涡轮分子泵在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧,当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。同理，在叶轮右侧（图3b）,当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109 对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1～10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒（1升＝10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～100000转／分的中频电动机直联驱动。 分子泵的维护一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1.关掉分子泵，进行排气。2.从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。3.拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等4.拆掉润滑的油包5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。6.往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜。7.上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。8.换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。9.拿出分子泵。10.将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。11.用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。12.接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。13.更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。参考资料Working with turbo pumps，Pfeiffer vacuum[color=#DC143C]我们不一定要自己拆卸真空系统清洗，资料也可能落后了，但是可以了解下。以下链接有版友回帖，并冒失的总结一句，最好不要自己动手拆洗还能用的分子泵，代价很大[/color]此贴中把图也附上了，可以一起学习。[URL=http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834110/]http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834110/[/URL][URL=http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834157/]http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834157/[/URL]

一台热电Trace1300 的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵坏了，坏的过程经历几个阶段，请大神解疑答惑。1. 第一次是做样分析的时候，质谱端Vacuum灯一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵均停止了工作。然后我把质谱端电源断开后再通电，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，真空度一会就达到60mtor。2. 正常工作一个星期左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵再次停止了工作。这次我放空关机后，把机械泵泵油更换新的，换下来的泵油也就一点点黄。然后再正常开机，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，抽完真空后，真空度也达到约60mtor。3.正常工作约2天左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵还是停止了工作。这次没辙了，也不敢再断电重启MS，直接关机待修了。呼唤厂家工程师上门。昨天开机后，机械泵启动几分钟后停止工作，分子涡轮泵一直不工作了。请问，这个分子涡轮泵故障的原因有哪些？换一个新的要10多万大洋[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09509.gif[/img]急急急！

我的扫描电镜经常在开机抽真空或使用过程中分子泵的高压保险丝断丝，原因可能是电源不稳定（供应商说，我们还有UPS）或分子泵中有外物掉入，我用电镜也有4、5年头了，第二种可能性居多，但我自己从未拆过分子泵，也从未见过供应商拆过分子泵，请问谁有拆过分子泵的经验，能否将具体的细节告之，我知道各仪器不同会有所区别，我只要参考下，以及特别需要注意的环节。 希望有人能给予帮助！ 谢谢！ cz_sem@sohu.com

热力发电厂的锅炉给水泵有热力循环“心脏”之称，可见其作用非常大，它是把除氧器水箱中的饱和热水抽出并且升压到一定压力后不间断地送往锅炉，现代热力发电厂锅炉给水泵的工作特点是流量大、扬程很高、工作温度很高，工作压力高。其作用和工作特点要求其运行可靠性高，负荷适应能力强经济性高，检修和维护方便，运行自动化水平高，给水泵是热力发电厂技术要求最高，功率最大，给水泵采用离心式。以前的小机组多为母管制，给水泵流量小，多台给水泵并且联运行，主要靠增减给水泵投用台数或者调教给水节流阀门的开度来改变给水量，系统复杂，投资高，检修维护工作最大，运行条件复杂，自动化水平低，运行经济性差，随着机组广泛采用单元制，以及单元制机组的容量不断增大，配置的锅炉给水泵的流量在不断的增大，目前我国大型机组较多配置半容量给水泵，为了减小单位千瓦的电厂投资，现在已经趋向单泵配置，给水泵流量的增大就更为迅速，同时随着机组容量的增大，主蒸汽压力也在逐渐的提高，这就要求给水泵的扬程不断提高。

我这里是ARL9800型的，2001年使用，到现在差不多是平均每年要换个新的分子泵，听ARL工程师讲，其它地方的分子泵没有像我们这里坏的频率高。请各位讲讲引起分子泵坏的原因都会有哪些，我好对照看看，找找是什么原因造成的。

如题。　　据我们目前所了解，扩散泵比分子泵在开关机时间上均要长上十分钟，需要水冷系统，但在可获得的真空度方面，却要高上一个数量级。　　如果仅是以上几个原因的话，那岂不是扩散泵比分子泵要更有优势啊，前后十多分钟，我们完全可以进行扫描前准备工作啊。

5、操作程序　　由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的，每种泵的操作方式由制造厂家提供，涡轮分子泵的操作最简单、最便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵，当涡轮分子泵加速到正常转速时，同时也预抽完了该系统，在此初始高压强预抽阶段，油蒸汽的返流是不可能的。因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态，排出气体的密度大，可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。当达到分子流态时，涡轮分子泵已进入正常速度运转，在泵高压缩比的情况下运转时，就可防止了油蒸汽的返流。　　涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制，两泵可同时启动和停车。　　在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作（节约了时间）也可使粗抽管道返流降到最低程度。

容积式流量计1、介质为齿轮润滑油或抗磨液压油，最高黏度为ISOVG680。2、非计量用，检测精度在5%以内。3、工作温度0~100℃。4、流量信号输出为4-20mA。5、介质中允许有200微米的颗粒。6、使用寿命至少为2年。7、低压与高压两种。低压要求公称压力为4MPa，高压要求公称压力为40MPa。8、低压量程为25L/min。高压量程为10L/min。9、低压允许压力损失为0.3bar。高压允许压力损失为3bar。10、低压成本300元以内。高压成本500元以内。技术难点：1、耐杂质颗粒。2、低压力损失要小。3、成本要低。

Varian Saturn 2000 系统，在运行样品的过程中，突然出现vacuum pump not ready的信息，然后说系统硬件出现问题。重启之后分子泵电流为480－500mA，但是速度只有8％，一直不增加。等待几分钟后，出现pump control error，泵速为0％，电流仅为10－20mA。不知道是什么问题？

[color=#fe8637]￠[/color][color=black]涡轮分子泵的简介[/color][color=black]:[/color][color=black]1956[/color][color=black]年[/color][color=black],[/color][color=black]德国人贝克（[/color][color=black]W.Becker[/color]）发明了涡轮分子泵，以高速旋转的动叶片和静止的定叶片配合来实现抽气，极限压强可达[color=black]10[/color][color=black]-9[/color][color=black]Pa[/color][color=black]以下[/color][color=black]。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]轮轮分子泵的生产产家很多[/color][color=black],[/color][color=black]它用于高真空的设备。例如[/color][color=black]BOC [/color]Edwards,Leybold[color=black], [/color][color=black]Alcatel,Varian[/color][color=black](Merged by [/color][color=black]Aglient[/color]),Alcatel,Pfeiffer, Osaka, Shimadzu, Ebara[color=black]。等等。分子泵可分为磁悬浮轴承分子泵[/color][color=black],[/color]机械轴承分子泵[color=black],[/color][color=black]和半磁悬浮轴承分子泵[/color][color=black].[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]气体分子理论[/color][color=black]:[/color][color=black]在正常的大气压力下[/color][color=black],[/color]也就是[color=black]760Torr,[/color][color=black]由于空间内的气体分子分布密集[/color][color=black],[/color][color=black]各气体分子的平均自由径仅为[/color][color=black]0.07[/color]微米[color=black],[/color][color=black]因而气体为粘滞流状态[/color][color=black],[/color]几乎是在原地振动。[color=#fe8637]￠[/color][color=black]随着真空度的提高[/color][color=black],[/color][color=black]单位体积内的气体分子数量逐渐减少。当真空度达到[/color][color=black]1x10-3Torr[/color][color=black]之後[/color],[color=black]其平均自由径为[/color][color=black]5cm,[/color]气体分子呈现出“分子流”的状态。这也是[color=black]Turbo Pump[/color][color=black]被称为分子泵的原因。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]磁悬浮轴承分子泵：泵的转动轴承以磁悬浮形式为主。当泵的主体通电后，首先是轴承部由电磁铁产生磁悬浮力，将泵的转子浮起。而后是转子部的回旋加速，直至额定转速。此类泵可以减少定期的维护保养的周期[/color][color=black]([/color][color=black]保养周期的决定主要是在于是用于哪一种[/color][color=black]Process)[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]机械轴承分子泵：泵的转动轴承以陶瓷轴承为主。当泵的主体通电后，转子部即开始回旋加速，直至额定转速。此类泵因使用环境的不同，需要按一定的周期做维护保养，主要维护内容是轴承部的润滑和轴承的更换等。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]半磁悬浮轴承分子泵：[/color][color=black]在一个单一泵中使用两个轴承的概念[/color],[color=black]在这种情况下， 油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部[/color].[color=black]且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。正常工作期间，轴颈在该轴承仔由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转子并只在短时间转动。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]工作原理[/color][color=black]:[/color][align=left](1)[color=black]动量传输作用：碰撞于表面的分子离开表面时[/color],[color=black]获得与表面速率相近的切向速率。利用高速旋转的动轮叶将动量穿给气体分子[/color],[color=black]使气体产生定向流动而抽气。[/color][/align][align=left](2)[color=black]气体分子经过第一动轮叶作用後[/color],[color=black]除了少数未与叶片碰撞而直接飞过去以外[/color],[color=black]大部份与动轮叶碰撞并获得近乎动轮叶的切向速率[/color]…[color=black]然後接下来进入静轮叶[/color],[color=black]因为两者有相对速率[/color],[color=black]就能发生碰撞并有向下飞行的运动分量。[/color][/align][align=left][color=#fe8637]￠[/color][color=black]分子泵的优缺点[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]优点[/color][color=black]:[/color][/align][align=left](1)[color=black]无油蒸气的污染[/color][color=black],[/color][color=black]能获得清洁的高真空[/color][/align][align=left](2)[color=black]启动快[/color][color=black],[/color][color=black]激活快。[/color][/align][align=left](3)[color=black]涡轮分子泵多占空间小[/color],[color=black]安装方向不受限制[/color]([color=black]油润滑轴承除外[/color][color=black]),[/color][color=black]可用于安装位置受限制的地方。[/color][/align][align=left](4)[color=black]气体输送能力强[/color][color=black],[/color][color=black]适用于气体负荷高的工艺过程[/color][color=black],[/color][color=black]如溅射[/color][color=black],[/color][color=black]蚀刻等。[/color][/align][align=left](5)[color=black]入口压力范围可在[/color]10x-1[color=black]～[/color][color=black]10x-3Torr[/color][color=black]之间运行[/color][color=black],[/color][color=black]在这个压力范围内[/color][color=black],[/color][color=black]离子泵不能应用[/color][color=black],[/color][color=black]对于低温泵需要节流抽速或经常再生[/color][color=black],[/color][color=black]对扩散泵的工作也会变得不稳定[/color][/align][align=left][color=#fe8637]￠[/color][color=black]缺点[/color][color=black]:[/color][/align][align=left](1)[color=black]价格高[/color][/align][align=left](2)[color=black]对颗粒物或沉积物敏感[/color][/align][align=left](3)[color=black]有的泵耐大气冲击能力不足[/color],[color=black]叶片会因共振弯曲相碰而损坏。[/color][/align][align=left][color=#ffffff]目前我在一家分子泵维修保养的公司担任销售的工作,欢迎进行分子泵的交流和讨论,如果有需求也可站内私信我...[/color][/align]

分子涡轮泵自动减速，停止。之前的征象是泵电流起初略高,～265mA，后来超高，～500mA,并停止工作。已经做过的诊断是diagnosis通过，前级泵无问题，风扇和电子元件除尘处理，仍无改善。我猜想会不会是泵自我保护？或是泵坏了（最好不是这样）请问高手：泵电流在哪些情况下会跑高？问题可能出在哪里？现在该做如何处理？谢谢！

4、前级管道设安全阀　　如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀，就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时，前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油，之后通过涡轮分子泵进入真空室，这种现象称为油污染，被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。　　在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀，可以防止反向充气，当停电时立刻关上此阀。理想的情况是，它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外，只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀，否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题，例如，在断电瞬间前级泵压力将为大气压力，然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大，一旦通电阀门会立刻打开，含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道，从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间，以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空，阀前后的压差均衡时才可打开安全阀，总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差，不使气流返冲。现在许多直联式旋片泵，在泵内装有安全阀，但阀门密封性能一定要保证，一旦阀门关不上后果相当严重，涡轮分子泵系统就会被油污染，这种问题是可能通过检测事先发现的。在运转的前级泵上安装一个前级真空规管，将泵关闭如果前级压力增加值在10～1000 μmHg （1×10- 2～1 torr 或1.333～133.3Pa）之间并不再增加，则阀门有效如果压力继续上升很快，直接达到大气压力说明阀门失效。如果阀门的密封良好，检查阀门是否立即开启还是等压力均衡后再开启，观察规管并开前级泵，如果规管马上就跳到几乎是大气压力，说明有返流的蒸汽的冲击。