匠星电位移台

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  • 普爱纳米位移技术(上海)有限公司是德国跨国公司Physik Instrumente(PI)GmbH & Co.KG在中国设立的独资子公司。 PI-纳米位移和定位领域的市场领导者。哪里需要挑战极限位移,哪里就会有PI! 40多年来,PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供最佳产品质量的同时,PI更为用户提供创新的技术服务和最佳的解决方案。从精密加工到数字与模拟控制电路,从亚纳米级的电容位置传感器到独创的PICMA 压电陶瓷促动器,PI已掌握全套关键技术,强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展,也使得PI成为全球众多高科技企业、著名实验室的合作伙伴。 PI为用户提供各种不同类型的压电纳米定位系统和电机微米定位系统的解决方案,并可根据用户需求,提供各种OEM产品和定制产品。PI的产品包括,六自由度并联机器人,压电纳米定位台,压电偏转镜,PIFOC 显微物镜定位器,以及直线与旋转定位台等。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 具体产品信息请参见PI公司官方网站:www.pi-china.cn www.pi.ws
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  • 上海纳动纳米位移技术有限公司是专业从事纳米定位、测控技术、运动控制产品的研发制造与产业化的高新技术企业。公司坐落于我国社会经济和科学技术发展最具活力的地区之一 ——上海市国家级漕河泾高科技园区。我们的开发人员拥有数字和模拟电子技术,空间研究,机械工程和纳米技术等相关专业知识的工程师。产品应用包括硬盘驱动器的磁头测试,半导体制造的光刻和计量仪器,扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),以及大量的航空航天等空间应用,半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、先进自动化、MEMS等领域。广泛应用和服务于国内各高校、科研院所以及各类生产光学显微镜、激光设备、半导体IC装备、检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工机床等的装备制造商。公司一直坚定地参与前沿技术的研究和发展。这些年来我们一直提供领先的、具有成本效益的纳米定位和运动控制的位置传感技术。我们专注于关键的OEM应用的定制解决方案开发。我公司以最低的成本在最短的时间,提供最佳的解决方案,我们提供快速、全面的服务和支持,并始终如一地达到最佳的性价比。我们的方案已完美解决各合作公司的挑战性任务及科研难题,我们期待与您共同合作与进步,遨游科技的海洋。我们的目标:用我们高质量和高性能的技术,提供超性价比的产品和服务,实现价格最优惠。公司本着“正直,进取,合作,创新”的精神,努力把公司打造成为我国重要的纳米定位与运动控制的研发和产业化基地。
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  • 济南中威仪器有限公司是一家主要从事环保设备、核安全监测仪器、安全防护用品等的销售,生物技术及环保技术咨询的高新技术企业。经过数年的长期努力,济南中威仪器有限公司拥有了雄厚的实力,一流的管理人才和销售队伍。公司将始终不渝地坚持“科技领先、以人为本、用户至上”的经营理念和“质量第一、信誉至上”的企业宗旨稳固发展。在不久的将来,公司产品将遍布各个环保领域,为国家环保事业的稳固发展提供一流的技术支持和领先的监测设备。
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匠星电位移台相关的仪器

  • “55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu),最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制,内置位置传感器, 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求,但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本,默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线,20cm8 针脚材质聚酯材料(玻璃纤维填充), BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins,传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器(闭环)15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um
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  • “25mm 系列”— Linear25-z (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*19.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu),最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 6 mm&bull 闭环控制,内置位置传感器, 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ *所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求,但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本,默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线,20cm8 针脚材质聚酯材料(玻璃纤维填充), BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins,传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程6 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器(闭环)15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程6 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um
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  • “25mm 系列”— Linear25-z-LR (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台压电线性位移台Linear25-z-LR主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*29.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu),最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 16 mm&bull 闭环控制,内置位置传感器, 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear25-z-LR, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求,但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本,默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线,20cm8 针脚材质聚酯材料(玻璃纤维填充), BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins,传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程16 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器(闭环)15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程16 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um
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  • 压电位移台常用术语中英文对照表
    压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度:实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm,但它仅移动 99.99µm(通过理想标尺测量),则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙:齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件(例如齿轮齿)啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽:载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移:位置随时间的变化,包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力:摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接,Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后:前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案,它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差:实际位置与一阶蕞佳拟合线(直线)之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准,非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差:两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声:在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比,我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围(行程):纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the wider working bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率:压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说,系统的谐振频率越高,系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器:Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络,以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声,并且其响应不依赖于污染物的存在,应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间:阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性,并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商,代理品牌均处于相关领域的发展前沿;产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等优质服务。相关技术文
  • 德国耐驰热膨胀仪 DIL 402 Expedis:突破量程与分辨率的局限
    对于传统的热膨胀仪,测试量程与分辨率这两个参数很难两全。如果分辨率上升,测量范围通常下降,反之亦然。德国耐驰公司热膨胀仪DIL 402 Expedis通过新型自反馈光电位移测量系统 NanoEye 克服了这一技术上的矛盾。Nanoeye是一种新型的自反馈光电位移测量系统,在过去尚不可能实现的测量范围内具有良好的线性度和最大的分辨率。这是市场上第一个支持调制力(振荡型载荷)的水平膨胀仪系列,藉此打破了膨胀测量和热机械分析(TMA)之间的鸿沟。  热膨胀仪DIL 402 Expedis分为:Classic,Select ,Supreme三个版本。后两个版本是专门为研发和复杂的工业应用而设计的:即全面的、配置齐全的Supreme版本和可升级的Select版本。       功能原理  在测试中,如果样品膨胀,图形中的所有绿色部分都会在线性导轨(蓝色)的引导下向后移动。光电解码器直接在适当的刻度上确定相应的长度变化。     识别功能与数据库  用于识别和解释DIL测量的包括几个耐驰的数据库,其中有来自陶瓷、无机、金属、合金和聚合物或有机领域的上百条数据。此外,还可以创建特定于用户的库。它们可以与计算机网络中的其他用户共享。  识别允许从测量曲线的绝对值、斜率或形状中识别未知样本。这也为比较已知的样品与未知样品、评价材料质量提供了可能性。所有测量值都可以存储在庞大的数据库中,并且始终可用于识别或质量评价。
  • 新式氧化铪研制成功 有望制造下一代光电设备
    据美国物理学家组织网2月7日报道,英国剑桥大学工程系的安德鲁弗洛维特领导的研究团队,研制出一种介电常数更高的新式氧化铪,有望用于制造下一代更微型的电子设备、光电设备以及更高效的太阳能电池等。目前,氧化铪已成为电子工业领域的关键材料。  氧化铪等金属氧化物的应用范围非常广泛。正常情况下,它们一般通过喷溅在基座上制造而成。然而,当科学家们试图通过喷溅制造高质量的电子材料时,却碰到了一个问题,即很难精确控制沉积过程的能量情况以及材料的属性。为此,弗洛维特团队使用了英国等离子探索有限公司研发的新奇沉积技术——利用高靶溅射(HiTUS)来促进等离子溅射。  氧化铪是一种电绝缘体,能被用于制造光学涂层、电容器以及晶体管等。因为氧化铪的介电常数(电位移与产生电位移的电场密度之间的比率)比较高,而材料的介电常数越高,其存储电荷的能力越强,也就是说电容越大,有些公司目前正用氧化铪替代晶体管中的二氧化硅。  氧化铪可以不同的非晶体结构和多晶体结构的形式出现。但非晶体结构缺少多结晶结构内存在的晶界(一个多晶体内材料内,两个晶体相遇的点就是晶界),因此比多晶体结构更好。晶界就像导电通路,不仅会让电阻率变小,也会导致设备大面积出现导电能力不均的情况,这会导致设备的性能变得不均匀。然而,迄今为止,非晶体氧化铪的介电常数一直比较低,仅为20左右,而弗洛维特团队研制出的新式氧化铪的介电常数则高于30。  弗洛维特表示,与其他形式相比,非结晶电介质(包括氧化铪)的性质更加均匀,而且,没有晶界也使材料的电阻率更高、光子散射更低。  研究人员在室温下,利用快速沉积过程制造出了新材料,这使其尤其适合用来制造有机电子器件、大容量的半导体等。没有晶界也使该材料成为制造光学涂层和高效太阳能设备的理想材料。

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  • 请教:氩离子刻蚀后样品的荷电问题如何解决?

    当绝缘样品经过长时间的氩离子轰击后,可能会导致样品表面累积大量的正电荷,荷电位移可以高达一百多电子伏特。累积的正电荷会随时间逐渐转移走,荷电位移因此逐渐减少,但很长时间都不能够稳定。例如窄扫过程中扫第一个元素时位移50eV,扫最后一个元素时位移40eV。使得荷电校正非常困难。请教你们在实践中是否曾经遇到这个问题?如何避免该问题的发生?我们的离子枪型号时EX05。曾经尝试在样品表面覆盖金属网以提高样品的导电性,但是效果不明显。

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    电动平移台选购指南高精密电动平移台-选型表产品型号图片行程(mm)最小运动增量(um)双向重复定位精度(um)最大速度(mm/s)分辨率(um)负载(Kg)外形尺寸(mm)特色优势大承载迷你长行程真空FMS115Z-150H1500.05±0.3500.0120320X115X50性能佳vvFMS115Z-50500.3±12000.120260X115X50爆款vFMS115Z-1001000.3±12000.110260X115X50爆款vFMS115Z-1501500.3±12000.120360X115X50爆款vvFMS115Z-2002000.3±12000.110360X115X50爆款vvFMSS60P-20200.2±0.550.1260x60x24迷你vvFMSS90C-40400.3±0.61000.1190x90x33迷你vFMS100VC-50500.3±11000.14170X100X38真空vFMSS125C-50500.3±11000.110125x125x39优选产品vFMSS140C-55H1000.3±12000.110140x140x42紧凑vvvFMS140C-1001000.3±12000.110200x140x40.5紧凑vvvFMS170Z-3003000.5±25000.0550535x170x75长行程王vvFMS170Z-5005000.5±2.55000.0550735x170x75长行程王vvFMS170Z-100010000.5±35000.05501235x170x75长行程王vv步进电机平移台-选型表产品型号图片行程(mm)最小运动增量(um)双向重复定位精度(um)最大速度(mm/s)分辨率(um)单向重复定位精度(um)定位准确度(um)负载(Kg)外形尺寸(mm)FMS80R-30302±2100.625±1±105159X110X40FMS80R-50502±2100.625±1±105159X110X40FMS80-50503±2100.625±1±1010264x80x43.5FMS80-1001003±2.5100.625±1.5±1210314x80x43.5FMS80-1501503±3100.625±1.5±1510364x80x43.5FMS120-1001004±3402.5±1±1220352x120x56FMS120-2002004±3402.5±2±1520452X115X50FMS120-3003004±4402.5±1±2020552x120x56XY二维平移台-选型表产品型号图片行程(mm)最小运动增量(um)双向重复定位精度(um)最大速度(mm/s)分辨率(um)单向重复定位精度(um)负载(Kg)外形尺寸(mm)FMSXY60P-20200.2±0.550.1± 0.2260x60x46FMSXY90C-40500.3±0.61000.1±0.30.590x90x65FMSXY120-15152±550.625±2.51190x180x36电动升降台选购指南Feinixs电动垂直升降台为三维扫描提供了Z轴位移的可能行程从20mm-300mmk可选,灵巧的设计让升降台可以应用于空间受限的场景产品分类产品型号产品图片行程(mm)负载(Kg)分辨率(um)最小运动增量(um)单向重复定位精度(um)双向重复定位精度(um)定位精度(um)最大速度(mm/s)外形尺寸(mm)台面尺寸(mm)直线电机升降台FMSZ125C-505050.10.3±0.5±1±2100110x155x248125x125直线电机升降台FMSZ140C-10010050.10.3±0.5±1±2100110x170X336125x125直线电机升降台FMSZ65C-0880.60.050.1±0.05±0.1//65x65x5265x65压电电机升降台FMSZ115P-505020.10.2±0.5±1±25115x115x110115x115压电电机升降台FMSZ85VP-202010.10.2±0.5±1±2585x85x8585x85步进升降台FMSZ145-12012050.6252±1±2.5±105145x145x236145x145步进升降台FMSZ85R-202010.6252±1±2.5±101085x85x8585x85步进升降台FMSZ115R-5050100.51±2.5±5±1010115x115x130115x115伺服升降台FMSZ170S-100100200.51±1±2±10100529x170x85.5170x170伺服升降台FMSZ170S-200200200.51±1.5±3±12100629x170x85.5170x170伺服升降台FMSZ170S-300300200.51±2±4±15100729x170x85.5170x170XY二维电动位移台选购指南XY位移平台应用于稳定性、精度和动态性要求极高的科研和工业领域。得益于高负载XY位移平台和平面扫描仪,客户可以以高效率实现高精操作位移台实现了将快速、重复精度高的扫描与优良速度稳定性相结合。产品型号图片行程(mm)最小运动增量(um)双向重复定位精度(um)最大速度(mm/s)分辨率(um)单向重复定位精度(um)负载(Kg)外形尺寸(mm)FMSXY60P-20200.20.550.10.2260x60x46FMSXY140P-20200.20.550.10.22140x140x26FMSXYSS90C-40500.30.61000.10.30.590x90x65FMSXY120-15152550.6252.51190x180x36电动旋转台选购指南Feinixs直驱无刷电机、最高承载超70KG。集成编码器和轴承,通过独特的机械设计实现电机的扁平特性以及大中孔特性。通过光学零位实现精准复位,重复定位精度达±2.5角秒。多种电机可选:有铁芯动力强劲、散热性好;无铁芯避免齿槽效应,高精度平稳运行!!!性能参数产品型号产品图片分辨率(° )行程(° )垂直负载(Kg)最大速度(° /s)最小运动增量(° )单向重复定位精度(° )双向重复定位精度(° )准确度(° )台面尺寸(mm)FMSR60D0.002360536000.003±0.003±0.005±0.0160FMSR80D0.0013602036000.002±0.002±0.003±0.00580FMSR120D0.0013603036000.002±0.002±0.003±0.005120FMSR120HD0.0013603036000.001±0.001±0.002±0.003120FMSR160D0.0013603036000.002±0.002±0.003±0.005120FMSR170HD0.0005360207200.001±0.001±0.002±0.003170FMSR1000.002536010200.005±0.005±0.01±0.02100FMSA70A0.0025±4550.005±0.005±0.01±0.0270x70FMSA70B0.0025±4550.005±0.005±0.01±0.0270x70控制器选型指南提供高性能控制器以适配我们自主研发的步进、伺服、直线、压电位移产品。从点到点的简单位移到任意曲线的多轴协调运动以及和其他仪器进行交互程序控制,我们的控制器能很好的适用于各类应用场景。同时,针对您的特殊控制需求我们能提供从硬件到软件的深度定制服务。真空位移台选购指南电动真空位移台是公司在总结多年真空运动控制应用经验后推出的一系列 具有自主知识产权的优质产品。每款产品从材料选择到加工处理都做了大量针对性的实 验,从而保证产品在真空环境中能进行稳定的精密运动。
  • WPS-MK88拉绳式位移传感器
    WPS-MK88拉绳式位移传感器是用于移动应用的位移传感器系列产品,用于如移动式起重机或移动工作平台等应用。WPS-MK88拉绳式位移传感器的大小合适、设计坚固、以及测量范围和价格比,是独一无二的产品。该传感器有可能显着降低生产成本。WPS-MK88拉绳式位移传感器规格测量范围(mm):2300 | 3500 | 5000输出类型:电位器,电压,电流IP65同类传感器中,体型最小低成本模型代工(OEM)应用应客户需求,定制特殊型号
  • 电动位移台
    直线电动位移台,电动直线位移台由中国领先的进口光学精密仪器旗舰型服务商-孚光精仪进口销售,精通光学,服务科学,先后为北京大学,中科院上海光机所,中国工程物理研究院,航天3院,哈工大,南开,山东大学等单位提供优质进口直线电动位移台,电动直线位移台,电动位移台。该直线电动位移台是一款无刷直线伺服电机驱动的电动直线位移台,融合了高速高精度的特点,具有亚微米的定位精度,可以为用户带来高工作量/吞吐量,最大负载高达50kg,最高速度高达3m/s.主要特色:电动直线位移台精确导向系统为高速度长行程提供稳定的定向和导向保障 直线电动位移台强大的直线电机提供高负载能量和大驱动力;电动直线位移台,高分辨率直线编码器(光栅尺)提供精确的定位反馈和闭环数字伺服控制;直线电动位移台具有美国制造的坚固耐用特性,高可靠性,长期工作。产品特色:这款直线电动位移台采用直接驱动的直线电机用于位移台的定位。这种技术与传统的导螺杆驱动的位移台相比,具有明显的优势:*直线电动位移台没有螺杆驱动系统中出现的弹性形变问题,可保障更为复杂而精密的定位轨迹,更短的设置和行进时间,更高的重复精度,更快的伺服反应。*电动直线位移台这种技术没有旋转惯性,可获得更高的加速度和行进速度。*直线电动位移台消除了旋转部件的磨损问题,具有更高的可靠性,更长的工作时间和寿命,更长的检修间隔时间,大大降低用户的使用成本。* 电动直线位移台这种直接驱动的直线电机具有高分辨率的编码器,可以精确调节速度,这种直线电机和其它部件可经过特殊处理具有真空兼容性,用于真空环境。产品描述:这款直线电动位移台的所有结构材料都是高强度的铝合金材料,材料表面经过精密机械加工,并进行硬质阳极氧化镀膜(涂层)成浅灰色。电动直线位移台采用两个带有再循环线性轴承的精密方形导轨作为承载部件,它由预加载的滚珠器件精密导引,这种导向系统只需要标准的润滑服务,不需要其他维护。这款直线电动位移台尺寸紧凑,驱动电机不单独外悬,直线电机,编码器和电缆等驱动部件安装于位移台底座,这种设计从而避免了那些外悬电机等核心部件受冲击等损害,具有更为安全的结构。这款电动直线位移台采用再循环轴承系统并配带精密导轨支撑位移台高速度,高精度运动。直线电动位移台使用的高强度铝合金材料,精密机械加工工艺把电动位移台的刚度和稳定性发挥到极致。电动直线位移台对于铝材料的标准处理是阳极氧化硬质涂层,对于不修钢部件采用抛光处理,对于特殊要求,比如Teflon特氟隆浸渍硬质涂层,非阳极氧化处理,化学镀镍等都可为用户提供。产品应用:这个系列Linax直线电动位移台是无刷直线电机(Brushless linear motor)驱动的电动位移台, 即使在高负载情况下也有超高可靠性和精密定位能力,是高负载,高精度高可靠性的最佳电动直线位移台。直线电动位移台具有超高加速能力和行进速度.这种电动直线位移台具有更小的惯性,比传统的罗杆驱动等机械传动的位移平台更适合应用.根据牛顿定律可知,负载的轻重直接影响到加速度,这款直线电动位移台,具有较高的加速度和运行速度, 能够帮助用户减少时间而提供工作量.直线电动位移台产品规格和型号参数直线电动位移台行程范围:125-750mm直线电动位移台驱动系统:无刷直线电机直线电动位移台最大加速度: 取决于负载直线电动位移台最大速度:3米/秒(无负载时)直线电动位移台最大峰值力:800N直线电动位移台最大连续力:160N电动直线位移台最大负荷:XY平台50Kg,Z轴25kg电动直线位移台反馈系统:非接触式直线编码器系统电动直线位移台TTL分辨率:5 μm, 1μm, 0.5μm,0.25μm, 0.2μm,100 nm & 50 nm电动直线位移台重复精度:5x分辨率电动直线位移台构造:铝合金主体,硬质灰色阳极镀膜型号LX-8125LX-8375LX-8500LX-8625LX-8750行程(mm)125375500625750精度Standard SP 标准型± 11&mu m± 12µ m± 16 µ m± 18µ m± 22 &mu mHigh Precision HP高精度型± 5 .5µ ± 7 µ m± 8 µ m± 10 µ m± 11 µ m平整度Standard SP标准型± 6 µ m± 12 µ m± 20 µ m± 28 µ m± 36 µ mHigh Precision HP高精度型± 4 µ m± 6 µ m± 10 µ m± 14 µ m± 18 µ mYaw/Pitch/RollStandard SP20 arc-sec20 arc-sec20 arc-sec20 arc-sec20 arc-secHigh Precision HP10 arc-sec10 arc-sec10 arc-sec10 arc-sec10 arc-sec2 axis systemOrthogonalityStandard SP20 arc-sec20 arc-sec20 arc-sec20 arc-sec20 arc-secHigh Precision HP5 arc-sec5 arc-sec5 arc-sec5 arc-sec5 arc-secExtra High Precision XHP3 arc-sec3 arc-sec3 arc-sec3 arc-sec3 arc-sec
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