质谱原位分析

岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理（PESI）适用于化工领域，食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。 该仪器具有多项应用优势：1) 样品直接质谱分析，简化样品制备过程；2)容易氧化或讲解的化合物快速分析，分时段实时样品成分含量监测；3) 微量样品离子化能力，有效避免高浓度样品对质谱的污染。

赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱（IC）、质谱（LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS）、痕量元素分析（TEA）和样品前处理系统，是业界领先产品，能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品：液相色谱（LC）液质联用（LC-MS/LC-MSMS）高分辨液质离子阱质谱气相色谱（GC）气质联用（GC-MS/GC-MSMS）高分辨气质痕量元素分析产品（AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱（IC）样品前处理设备（SP）水质分析仪（CDD）色谱数据系统（CDS）网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI（负离子化学电离技术）在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息：请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台，展位号：SH100244。或使用域名登陆：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/

赛默飞的质谱仪包括：LC-MS液质联用仪、GC-MS气质联用仪、DFS高分辨率磁式质谱仪、IO-MS同位素质谱仪、GD-MS辉光放电质谱等。赛默飞质谱仪拥有无与伦比的出色性能和易用性，利用这些质谱仪在实验中令人惊讶的表现能力和超高的灵敏度，您能够以更高的速率获得更可靠更丰富的结果。 产品范围：三重四级杆串联液质三重四级杆串联气质高分辨质谱离子阱质谱高分辨磁质谱无机质谱液相和离子源高分辨气质更多信息：请访问赛默飞世尔科技质谱分析的展台，展位号：SH103458。或直接登陆以下网址：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH103458/

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究

产品简介聚光科技Gene TOF 3100核酸质谱分析系统是快速、准确、经济、高效的多重基因检测平台，独立自主研发，拥有多项关键专利技术。GeneTOF 3100结合了PCR技术的高灵敏度、芯片技术的高通量、及质谱技术的高精度等优势，搭配完善的自动化体系，为客户提供包含仪器、耗材、试剂、软件在内的综合解决方案，可广泛应用于出生缺陷防控、药物基因组、肿瘤、传染性疾病等相关基因位点的分析。性能优势1） 多重可单孔实现几十个靶标的多重检测分析。2） 准确高分辨质谱检测，可区分仅一个碱基分子量差异，准确性99.5%，是 SNP 突变检测的金标准。3） 经济无需化学发光、荧光或其他任何二级标记，单个靶点检测成本最低的方法。4） 高效单批进样 384 个样本，日最高检测通量超过 3000， 能够满足不同检测量的需求。5） 便捷高度集成自动点样仪进行样品纯化及点样，自动分析结果，实现样本进结果出，无需任何手工操作，无须生物信息学分析。产品特点1）多基因多位点的精准基因检测平台；2）自主知识产权，多项关键专利技术；3）开放式平台体系，支持自建项目；4）提供完整的仪器、软件、基础试剂、耗材和自动化解决方案；5）可广泛应用于SNP分型、基因突变、DNA甲基化、拷贝数变异等的检测。应用领域出生缺陷防控(遗传病筛查)：遗传性耳聋、地中海贫血症、脊髓性肌萎缩症（SMA）、G6PD缺乏症等；药物基因组学：心血管、精神类疾病个体化用药，儿童安全用药等；肿瘤精准防治：肿瘤早筛、肿瘤靶向用药指导、靶向治疗耐药监测等；传染性疾病：感染性腹泻、呼吸道多重感染病原体及其耐药性检测等。

QAS 100 原位微分电化学质谱仪是一款先进的分析仪器，它结合了电化学技术和质谱分析的优势，为研究者提供了一种强有力的工具来研究电化学反应过程中的物质转化和中间体的鉴定。该设备能够原位监测电化学反应，实时捕捉反应过程中的质量变化，从而对电化学反应的动力学和机理进行深入分析。QAS 100 原位微分电化学质谱仪的主要特点包括：1. 高灵敏度：采用先进的质谱技术，能够检测到极低浓度的反应产物和中间体。2. 实时监测：能够实时跟踪电化学反应过程，提供动态的反应信息。3. 高分辨率：通过精确的质量分析，可以清晰地区分出反应过程中的不同物质。4. 稳定性好：设备设计精良，保证了长时间运行的稳定性和重复性。5. 易于操作：用户友好的软件界面，使得操作简便，数据分析直观。该产品广泛应用于能源存储与转换、材料科学、环境监测、生物化学等多个领域，为科研人员提供了深入理解复杂电化学过程的可能。在电化学研究中，QAS 100 原位微分电化学质谱仪能够揭示电池材料在充放电过程中的具体变化，包括活性物质的消耗与生成、电解质的分解与重组等，这对于优化电池性能、延长电池寿命具有重要意义。同时，它还能帮助研究者探索新型电催化剂的活性位点、反应路径以及稳定性，为开发高效、稳定的电催化剂提供重要数据支持。此外，QAS 100 原位微分电化学质谱仪在环境监测领域也发挥着重要作用。它可以用于分析水体、大气中的污染物在电化学处理过程中的降解情况，评估电化学处理技术的效果，为环境保护提供科学依据。对于生物化学领域，该设备能够研究生物分子在电刺激下的变化，如蛋白质的电化学修饰、DNA的电化学损伤等，有助于揭示生命过程中的电化学机制。综上所述，QAS 100 原位微分电化学质谱仪是一款功能强大、应用广泛的分析仪器，它的出现为电化学、材料科学、环境监测和生物化学等领域的研究带来的变化，推动了相关领域的深入发展。

QAS 100Lī原位电化学质谱仪是一款先进的分析仪器，它将电化学技术与质谱分析相结合，为用户提供了一种新的研究和分析手段。该设备特别适用于研究电化学反应过程中的物质转化和中间体的鉴定。通过原位电化学质谱技术，用户能够实时监测和分析电化学反应产生的气体、液体或固体产物，从而深入理解反应机制和动力学过程。QAS 100Lī原位电化学质谱仪具备高灵敏度和高分辨率，能够检测微量级的物质变化。它采用了独特的接口设计，确保了电化学反应环境与质谱检测系统的有效连接，同时最小化了样品转移过程中的损失和污染。此外，该仪器还配备了先进的数据处理软件，能够对实验数据进行快速准确的分析和解释。适用于多种研究领域，包括但不限于能源材料、环境科学、生物化学和材料科学等。QAS 100Lī原位电化学质谱仪为科研人员提供了一个强大的工具，帮助他们在分子水平上探索和解决复杂的科学问题。当然，以下是继续扩展QAS 100Lī原位电化学质谱仪产品介绍的内容：在能源材料研究领域，QAS 100Lī原位电化学质谱仪能够助力研究者深入理解电池材料在充放电过程中的反应机制，如锂离子电池的脱嵌锂过程、燃料电池中的气体交换等。通过对这些过程的实时监测，科研人员可以优化电池材料的结构和性能，提高能源转换效率，为开发更加高效、持久的能源存储和转换系统提供科学依据。在环境科学领域，该仪器可用于研究大气、水体和土壤中的污染物在电化学条件下的转化规律。通过模拟自然或人为的电化学过程，科研人员可以评估不同条件下污染物的降解效率和路径，为环境污染治理提供技术支持。在生物化学领域，QAS 100Lī原位电化学质谱仪可用于研究生物分子（如蛋白质、核酸和糖类）在电化学反应中的结构和功能变化。这对于理解生命活动的本质、揭示疾病的发生机制以及开发新的药物和治疗方法具有重要意义。此外，该仪器还具备良好的稳定性和可靠性，能够在各种实验条件下稳定工作，为用户提供高质量的实验数据。同时，其操作界面友好，易于学习和掌握，使得科研人员能够迅速上手并开展实验研究。总之，QAS 100Lī原位电化学质谱仪是一款功能强大、应用广泛的分析仪器，它在推动科学研究和技术创新方面发挥着重要作用。我们期待与广大科研人员携手合作，共同探索未知的科学领域，为人类社会的进步和发展贡献力量。

光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪在催化科学的研究中，对反应机理的认识十分重要，但是机理的研究通常并不容易，需要结合大量实验证据和表征手段。在气固相催化反应的研究中，使用最多的催化剂评价装置主要是固定床催化反应器，反应器出口连接气相色谱，可以实现对反应稳定产物的分析，进而实现对催化剂性能的分析。但是单纯对反应产物的研究无法深入认识催化反应过程的全貌，因为许多关键的反应中间产物十分不稳定或极难捕获，在常规的产物分析中丢失了这部分信息。因此在催化研究中经常要结合红外、紫外、核磁等手段来研究催化反应中的物种变化，进而获知催化剂表面发生的反应。而对于气相的活泼中间体而言，原位质谱是目前最有力的检测方法之一。原位催化质谱在气固相催化领域的应用近年来，光电离质谱在催化领域的应用为一些关键反应的机理认识提供了极大的帮助。利用低压催化反应器结合光电离质谱，可以对合成气制烯烃反应的中间产物进行了探测，确认乙烯酮是合成低碳烯烃的关键中间产物，即CO和H2首先在金属氧化物表面被活化形成含有CH2的化合物，随后生成乙烯酮，乙烯酮经气相扩散进入SAPO沸石孔道内，在酸性位点上转化为低碳烯烃，这一机理认识促进了对催化剂的设计，使产物选择性远超传统费托合成的极限(图1)。图1. 合成气制烯烃反应的光电离质谱解析在甲烷氧化偶联反应中，低压反应器结合光电离质谱方法可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测(图2)，对该过程中气相反应机理的建立提供了帮助。图2. 甲烷氧化偶联反应中的光电离质谱解析在甲醇制烯烃反应中，上述方法可对活泼中间体甲醛直接捕获，并可获得甲醛及其他产物在诱导期至失活期的动态变化过程(图3)。图3. 甲醛的捕获和动态变化过程光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪基本性能指标的设置说明温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa质量检测范围1-450 amu检测限0.1ppm质谱分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序附属设备常压热解反应器 反应温度：室温~1200 ℃真空度：常压材质：刚玉/石英低/高压热解反应器工作温度：室温~1200 ℃真空度：10-1Pa-0.5MPa(基于真空泵的选择)材质：刚玉/石英光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪主要附件(选配)：多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附应用领域石油化工/煤化工固废/生物质 食品加工卷烟发酵环境监测光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁)聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应 同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图使用总结：在气固相催化科学研究中，反应机理一直受到人们关注。为了研究机理，要建立各种表征手段以获得实验证据。气固相催化过程会产生大量吸附态和气相反应中间体，甚至短寿命自由基。近年来发展起来的原位催化紫外光电离质谱，可通过分子束取样和光电离技术，获得气相短寿命自由基等中间体信息，在已FTO、OCM、MTH等反应体系机理研究中发挥了重要作用，相关研究成果发表在Science等期刊。ProC-1C型原位催化光电离质谱不仅可以在秒量级时间内获得稳定气相催化产物信息，还可以对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测，对研究气固相催化反应机理有重要的意义。该型原位催化紫外光电离质谱质量分辨率超过3000，灵敏度达到10ppb，参数合理。公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

Mini β 小型质谱分析系统（图1）是由北京清谱科技有限公司的研发团队在清华大学和美国普度大学的深度合作下研发、设计、制造的质谱产品，旨在为终端用户提供简单快速的原位化学分析方案。Mini β小型质谱仪的实现源自两项关键技术的诞生——原位电离和质谱仪小型化技术。图1 Mini β 小型质谱分析系统1 仪器设计理念：十年砺剑，化繁为简Mini β小型质谱仪的实现源自两项关键技术的诞生——原位电离和质谱仪小型化技术。原位电离设计概念率先由普渡大学R. Graham Cooks 和清华大学欧阳证教授团队于 2006 年提出(Cook et al., 2006)，旨在为质谱使用提供简单易用、快速精准的分析方法。十余年间，团队通过不懈创新，开发了以解吸附电喷雾(Takáts et al., 2004)、纸喷雾(Wang et al. 2010)及段塞流微萃取(Ren et al., 2014)为代表的一系列方法，并已经过国际多所高校、科研院所和企业的原理及应用验证。Mini β小型质谱分析系统将原位电离技术植入了一次性进样试剂盒，在赋予质谱仪简单快速的使用特性的同时，避免了痕量分析工作中由样品造成的潜在设备污染。同期，R. Graham Cooks 和欧阳证教授的团队也在不断探索质谱小型化的方案，并在 2007 年推出了用于气相分析的质谱小型化技术(Gao et al., 2007)。该技术现已被广泛应用，是市场上便携质谱仪的原型，已被成功用于安防领域的气体和挥发物检测，而具备非挥发物质检测能力的小质谱 Mini 12 是在气相小质谱的基础上多次创新的成果(Gao et al., 2008 Hendricks et al., 2014 Li et al., 2014)，也是 Mini β 小型质谱分析系统的设计原型（图2）。 图2 质谱小型化技术发展沿革Mini β 小型质谱分析系统是世界首款实现质谱小型化与原位电离技术联用的质谱产品，此项仪器设计极大地降低了质谱分析的复杂程度，增强了检测的移动性、时效性，使仪器使用突破了检测场地、时间和人员的限制，为用户提供及时、准确的化学信息反馈，在食品安全、公安执法和医疗诊断等领域有着广泛的市场潜力(Li et al., 2014 Ma et al., 2015 Ma et al., 2016)。Mini β 小型质谱分析系统由PCS原位电离试剂盒和Mini β 小型质谱分析仪组成，传统质谱仪所需的进样系统、质量分析系统、数字控制系统、射频控制系统、真空系统已全部压缩集成在了55cm（长）×24cm（宽）×31cm（高）的空间中，体积仅和台式电脑主机相当。2 核心技术与产品性能：小巧、快速、简单2.1 PCS 原位电离技术2004年，普度大学R. Graham Cooks研究组开发出解析电喷雾技术(DESI)，直接离子化质谱技术得到快速发展，纸喷雾技术(PS)、萃取喷雾技术(ExS)相继推出。2015年纸喷雾技术得到优化升级，得到更稳定的微管纸喷雾技术(PCS)，并于2016年产业化为PCS原位电离试剂盒（图3）。 图3 PCS原位电离试剂盒常规质谱采用电喷雾（ESI）或大气压化学电离（APCI），要求经分离提纯后进行离子化，而 Mini β小型质谱分析系统采用的 PCS 原位电离技术（Paper Capillary Spray），集样品快速前处理和离子化于一身，无需额外样品处理步骤，即可实现采样-自动样品纯化-离子化进样，并可在采样现场轻松完成（图4）。以该技术为核心开发的PCS原位电离试剂盒，简化了操作步骤，在提高质谱分析所必须的样品前处理速度的同时（1分钟），降低了对操作人员专业性及检测环境的要求。图4 Mini β 进样模式相关专利：a) Analyzing An Extracted Sample Using An Immiscible Extraction Solvent, WO PCT/US2015/013649b) Systems and Methods for Sampling Ionization Using Capillary Device, US 62/211,2682.2 质谱小型化技术Mini β 小型质谱分析系统的另一核心技术是质谱小型化技术。该技术的实现主要归因于真空和离子传输系统的创新设计。Mini β 小型质谱分析系统将传统质谱仪普遍采用的多级真空腔体合并为单级腔体，传统的连续大气接口也调整为非连续大气接口（DAPI），该设计使 Mini β 对真空泵保持着最低的需求，仪器真空的维持得以用小型真空泵来实现，从而使重达 400kg、功率达 6000w 的传统质谱仪优化为 20kg、100W的小型质谱分析系统（图5）。图5 Mini β 真空设计示意图清谱科技独有的非连续大气进样接口技术（DAPI）（图6）可为质量分析系统提供灵活的压力控制，使进样、离子碎裂、质量分析能够在合适的压力区间内进行（图7）。更为重要的是，得益于单极真空的设计，DAPI技术使 Mini β 的灵敏度得以优化提升。图6 非连续大气进样接口（DAPI）图7 真空系统压力变化质谱小型化技术除此之外，Mini β 的射频系统使其质量范围达到2000Th，这个质量范围甚至能够分析细胞色素等复杂样品（图8）。图8 细胞色素C的信号响应Mini β 采用了最前沿的线性离子阱技术，动态范围达到了3个数量级，并具有强大的多级串联质谱分析（MSn）能力。令人兴奋的是，清谱科技在单阱系统的基础上开发双阱系统，保证离子的高效碎裂，实现三重四极杆质谱仪的全部功能。相关专利：a) Discontinuous Atmospheric Pressure Interface, WO 2009/02336b) Sample Quantitation Using a Miniature Mass Spectrometer, WO PCT/US2015/0136493 Mini β 小型质谱分析系统性能指标Miniβ小型质谱分析系统与其他质谱产品相比，既保留了大型质谱仪的性能和分析物的普适性(挥发、非挥发性)，也保留了小质谱的现场检测能力（表1，图9），使原本实验室内总耗时若干天的质谱分析可以在现场 1 分钟内完成。 表 1 Miniβ主要性能指标型号Mini β 小型质谱分析系统尺寸(长×宽×高)55×24×31 cm重量20 kg功率≤100 W进样/离子化方法采用一次性（原位电离）试剂盒，实现直接采样、离子化适用样品适于血液等多种复杂混合样品质量分析器线性离子阱串联质谱能力MSn描速度10000 （Da/s）分辨率~1 amu质量范围50-2000 Da，动态范围大于3个数量级，适于大有机污染物、分子药物和多肽等的检测灵敏度好于 10 ng/mL 维拉帕米（Verapamil）通量1 分钟/样品，达到国际先进水平气体需求无（空气）控制支持内置电脑控制专业性无需专业人员操作 图9 Mini β 质量范围、分辨率和灵敏度4 Mini β 应用模式：现场检测、实时反馈和数据整合Mini β小型质谱分析仪终端配合清谱科技在建的化学云分析网络（图10），可在质谱终端实现更好的智能化和拓展性的同时，通过中心化的数据分析，帮助上层决策人员实现规模化、网络化的协同管理。图10 化学云分析网络在检测现场，一线人员无需任何化学背景，只需将添加样品的试剂盒插入仪器，按下开始按钮即可开启“一键式”全自动质谱分析。在终端样品分析过程中，仪器可通过识别试剂盒二维码与对应的网络位置进行实时通信，实现自动调取扫描方法、自动质量分析、自动采集数据、自动数据处理、自动反馈结果等功能。整个过程在1min内完成，分析完成后，结果报告自动上传至化学云分析网络。一线人员可通过手机获取结果反馈，指导现场实践。在管理决策终端，后台管理人员可通过化学云分析网络实现对检测终端的远程管理与在线分析，及时响应，快速决策。此外，化学云分析网络还可为公安缉毒、食品安全、环境监测等领域的应用需求提供专业化监控定制方案。5 应用案例Mini β 小型质谱分析系统是世界首款实现质谱小型化与原位电离技术联用的质谱产品，此项仪器设计极大地降低了质谱分析的复杂程度，增强了检测的移动性、时效性，使仪器使用突破了检测场地、时间和人员的限制，为用户提供及时、准确的化学信息反馈，使检测介入决策中去。在食品安全、公安执法、医疗诊断、环境监测等领域有着广泛的市场潜力(Li et al., 2014 Ma et al., 2015 Ma et al., 2016)。在公共安全领域，Mini β 小型质谱分析系统可为公安人员现场缉毒提供快速简单的解决方案；在食品药品领域，Mini β 可帮助执法部门进行现场筛查，防止不合格食品药品流向市场；在医疗诊断领域，Mini β 可提供即时检测（POCT），帮助医生及时研判病情，为患者争取宝贵的治疗时间。下面以公安毒检为例，对 Mini β 应用方法做简要介绍。公安毒检：尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺（MDMA）的快速检测苯丙胺类兴奋剂是苯丙胺及其衍生物的统称，本案例基于小型质谱分析系统开发了尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺（MDMA）（图11）的实时快速检测方法，无需繁琐的样品前处理，无需耗时的色谱分离，1步操作1min完成样品分析，本方法的检出限为100ng/mL。图11 苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺结构实验样品苯丙胺，CAS 300-62-9，1mg/mL，Cerilliant。冷冻保存，使用时稀释至所需浓度；甲基苯丙胺，CAS 33817-09-3，1mg/mL，Cerilliant。冷冻保存，使用时稀释至所需浓度；MDMA，CAS 42542-10-9，1mg/mL，Cerilliant。冷冻保存，使用时稀释至所需浓度；以上标准品由浙江省嘉兴市公安局提供。尿液样品存于密封容器中，冷藏保存。实验设备Mini β小型质谱仪；PCS液体检测试剂包（含PCS试剂盒、微量液体取样器、萃取剂A）。实验方法标准溶液分析：移取5μL标准溶液，从PCS试剂盒加样口加于PCS上，从溶剂口加入3滴萃取剂A后，将试剂盒插入质谱仪进样口，进行质谱分析。样品分析：用微量液体取样器移取尿液（6.5μL），从PCS试剂盒加样口加于PCS上，60℃干燥5min后，从溶剂口加入3滴萃取剂A，将试剂盒插入质谱仪进样口，进行质谱分析。MS条件：电离模式：正离子模式；检测方式：子离子扫描，监测离子及丰度见表2。表2 监测离子及丰度化合物中英文名称母离子子离子苯丙胺 Amphetamine136119（100），91（60）甲基苯丙胺 Methamphetamine150119（100），91（60）3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺 MDMA194135（100），105（40）实验结果与讨论通过对阴性尿液样品加标（500ng/mL）的方式考察了本方法的检出限，以S/N=3计，本方法的LOD为100ng/mL。苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺（MDMA）的标准溶液子离子扫描谱图、阴性尿液加标样品子离子扫描质谱图、阴性尿液子离子扫描质谱图见图12-14。 图12 （a）苯丙胺标准溶液子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（b）阴性尿液加标中的苯丙胺子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（c）阴性尿液中苯丙胺的子离子扫描质谱图（PCS） 图13 （a）甲基苯丙胺标准溶液子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（b）阴性尿液加标中的甲基苯丙胺子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（c）阴性尿液中甲基苯丙胺的子离子扫描质谱图（PCS） 图14 （a）MDMA标准溶液子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（b）阴性尿液加标中的MDMA子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（c）阴性尿液中MDMA的子离子扫描质谱图（PCS） 本方法使用Mini β小型质谱分析系统建立了快速测定尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、MDMA的方法，该方法无需对样品进行处理，无需色谱分离，使用原位电离源PCS试剂盒，可快速完成尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、MDMA的定性检测，为现场缉毒、毒驾监管等提供了快速简单的解决方案。6 所获奖项2017年10月，在“北京分析测试学术报告会暨展览会”（BCEIA 2017）上，Mini β荣获中国分析测试协会颁发的“BCEIA 金奖”（图15-16）。图15 Mini β 获BCEIA金奖图16 BCEIA金奖证书参考文献Cooks R G, Ouyang Z, Takats Z, et al. Detection Technologies. Ambient mass spectrometry. Science, 2006, 311(5767):1566.Gao L, Song Q, Noll R J, et al. Glow discharge electron impact ionization source for miniature mass spectrometers. Journal of Mass Spectrometry, 2007, 42(5):675.Gao L, Cooks R G, Ouyang Z. Breaking the pumping speed barrier in mass spectrometry: discontinuous atmospheric pressure interface. Analytical Chemistry, 2008, 80(11):4026-32.Hendricks P I, Dalgleish J K, Shelley J T, et al. Autonomous in situ analysis and real-time chemical detection using a backpack miniature mass spectrometer: concept, instrumentation development, and performance. Analytical Chemistry, 2014, 86(6):2900-8.Li L, Chen T C, Ren Y, et al. Mini 12, Miniature Mass Spectrometer for Clinicaland Other Applications—Introduction and Characterization. Analytical Chemistry, 2014, 86(6):2909.Ma Q, Bai H, Li W, et al. Direct identification of prohibited substances in cosmetics and foodstuffs using ambient ionization on a miniature mass spectrometry system. Analytica Chimica Acta, 2016, 912:65.Ma Q, Bai H, Li W, et al. Rapid analysis of synthetic cannabinoids using a miniature mass spectrometer with ambient ionization capability. Talanta, 2015, 142:190-196.Ren Y, Mcluckey M N, Liu J, et al. Direct mass spectrometry analysis of biofluid samples using slug-flow microextraction nano-electrospray ionization. Angewandte Chemie, 2014, 53(51):14124.Takáts Z, Wiseman J M, Gologan B, et al. Mass spectrometry sampling under ambient conditions with desorption electrospray ionization. Science, 2004, 306(5695):471.Wang H, Liu J, Cooks R G, et al. Paper spray for direct analysis of complex mixtures using mass spectrometry. Angewandte Chemie, 2010, 122(5):889-892.

金铠仪器PIMS为自主研发，拥有多项发明授权专利技术的在线飞行时间质谱仪，可用于获取反应过程中不同产物及中间体的化学组成和浓度信息的原位、实时、在线检测装置，可与催化反应装置，化学吸附仪器，热分析仪器，红外/拉曼等光谱仪器联用，可广泛应用于催化，制药，半导体，石油石化，环境等领域。 仪器基于真空紫外光电离-飞行时间质谱检测技术，具有分辨率和灵敏度高、分析时间短、碎片离子少，易于谱图识别和快速定性、定量分析的优点，适合于气相和液相产物的原位、在线定性和定量分析，可用于化学、化工、材料、生物化工等学科中的化学催化、有机合成、生物发酵等过程的研究，并可为科学家量身定做产品的解决方案。 应用举例为了评估几种MOFs材料实际的气体分离性能，对CH4/N2在其上的动态吸附行为进行了研究，通过考察不同压力和温度条件下穿透曲线来分析它们对CH4和N2的吸附分离特性，为CH4/N2的PSA分离提供基础数据和理论依据。应用领域 工业过程实时在线监测 &bull 催化反应产物原位快速分析&bull MOFs材料性能分析&bull 危化品及燃烧产物快速检测 &bull 环境VOCs快速现场检测 &bull 污染源排放跟踪价等。

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻技术 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量EUV 极紫外光刻技术越来越多地用于支持 10nm 工艺技术的关键尺寸图案形成. 管理这些价值超过 2亿美元光刻机的正常运行时间和生产量对晶圆 Fab 厂的经济至关重要. 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了更佳的反射板镀锡层清洁, 并且 Aston™ 过程质谱的实时氢气 H2 监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗.随着工艺几何尺寸的不断缩小, 半导体工艺制造商面临着新的挑战. 在先进的极紫外 EUV 光刻技术中, 13.5nm 波长的光源是通过二氧化碳 CO2 激光器蒸发熔融锡 Sn 液滴, 从而产生等离子体. 大批量生产的关键挑战包括控制蒸发锡再沉积引起的光学污染所造成的缺陷.光源产生的一个副产品是 EUV 光源反射光学元件上的锡 Sn 碎片, 该反射光学元件聚焦等离子体发出的 EUV光. 收集镜涂层表面上的锡沉积导致 EUV 镜的反射率降低. 沉积锡厚度约为 1nm（只有几个原子层）会使收集镜反射率降低多达10%, 通常被视为收集镜寿命规范. 这种污染增加了提供足够的 EUV 功率以形成晶圆所需的时间, 因此降低了光刻产量, 并可能影响光刻图案的定义. 解决措施包括使用氢等离子体 (结合磁场) 以锡烷气体 SnH4 的形式化学去除锡, 然后从真空室排气, 并防止锡进一步再沉积.上海伯东 Aston™ 过程质谱 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量解决方案在反射板清洁期间, 需要实现现场测量, 快速, 准确地测量锡 SnH4 端点, 确保以省时的方式清除锡沉积物, 通过使用 Aston™ 过程质谱仪可以测量 H2 大气中 0.01-1 ppm 浓度下的微量 SnH4. 此外, Aston™ 还可以监测 EUV 工具前端的气体成分.Aston™ 过程质谱价值在于通过监测从 EUV 腔室中抽空所有锡原子的效率和优化氢气 H2 流量, 实现终点检测. 通过尽可能地减少气体流量, 可以降低每分钟 100 标准升的高纯度氢气消耗量.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理（PESI）适用于化工领域，食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。 该仪器具有多项应用优势：1) 样品直接质谱分析，简化样品制备过程；2)容易氧化或讲解的化合物快速分析，分时段实时样品成分含量监测；3) 微量样品离子化能力，有效避免高浓度样品对质谱的污染。岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪信息由岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司为您提供，如您想了解更多关于岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

原位催化光电离质谱仪 ProC-1C在催化科学的研究中，对反应机理的认识十分重要，但是机理的研究通常并不容易，需要结合大量实验证据和表征手段。在气固相催化反应的研究中，使用最多的催化剂评价装置主要是固定床催化反应器，反应器出口连接气相色谱，可以实现对反应稳定产物的分析，进而实现对催化剂性能的分析。但是单纯对反应产物的研究无法深入认识催化反应过程的全貌，因为许多关键的反应中间产物十分不稳定或极难捕获，在常规的产物分析中丢失了这部分信息。因此在催化研究中经常要结合红外、紫外、核磁等手段来研究催化反应中的物种变化，进而获知催化剂表面发生的反应。而对于气相的活泼中间体而言，原位质谱是目前最有力的检测方法之一。原位催化质谱在气固相催化领域的应用近年来，光电离质谱在催化领域的应用为一些关键反应的机理认识提供了极大的帮助。利用低压催化反应器结合光电离质谱，可以对合成气制烯烃反应的中间产物进行了探测，确认乙烯酮是合成低碳烯烃的关键中间产物，即CO和H2首先在金属氧化物表面被活化形成含有CH2的化合物，随后生成乙烯酮，乙烯酮经气相扩散进入SAPO沸石孔道内，在酸性位点上转化为低碳烯烃，这一机理认识促进了对催化剂的设计，使产物选择性远超传统费托合成的极限(图1)。图1. 合成气制烯烃反应的光电离质谱解析在甲烷氧化偶联反应中，低压反应器结合光电离质谱方法可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测(图2)，对该过程中气相反应机理的建立提供了帮助。图2. 甲烷氧化偶联反应中的光电离质谱解析在甲醇制烯烃反应中，上述方法可对活泼中间体甲醛直接捕获，并可获得甲醛及其他产物在诱导期至失活期的动态变化过程(图3)。图3. 甲醛的捕获和动态变化过程原位催化光电离质谱仪 ProC-1C基本性能指标的设置说明温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa质量检测范围1-450 amu检测限0.1ppm质谱分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序附属设备常压热解反应器 反应温度：室温~1200 ℃真空度：常压材质：刚玉/石英低/高压热解反应器工作温度：室温~1200 ℃真空度：10-1Pa-0.5MPa(基于真空泵的选择)材质：刚玉/石英原位催化光电离质谱仪 ProC-1C产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用 原位催化光电离质谱仪 ProC-1C主要附件(选配)：多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件原位催化光电离质谱仪 ProC-1C应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附应用领域 石油化工/煤化工固废/生物质食品加工卷烟发酵环境监测原位催化光电离质谱仪 ProC-1C应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁) 聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成 质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图使用总结：在气固相催化科学研究中，反应机理一直受到人们关注。为了研究机理，要建立各种表征手段以获得实验证据。气固相催化过程会产生大量吸附态和气相反应中间体，甚至短寿命自由基。近年来发展起来的原位催化紫外光电离质谱，可通过分子束取样和光电离技术，获得气相短寿命自由基等中间体信息，在已FTO、OCM、MTH等反应体系机理研究中发挥了重要作用，相关研究成果发表在Science等期刊。ProC-1C型原位催化光电离质谱不仅可以在秒量级时间内获得稳定气相催化产物信息，还可以对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测，对研究气固相催化反应机理有重要的意义。该型原位催化紫外光电离质谱质量分辨率超过3000，灵敏度达到10ppb，参数合理。公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

Aston™ 质谱分析仪安全地减少设备停机时间预防性维护是良好晶圆厂管理与安全第一的理念支柱. 刻蚀和沉积设备需要定期脱机进行深度清洁和/或打开工艺室进行部件更换. 考虑到沉积或蚀刻工艺设备的每小时折旧和生产损失可能轻易超过 1000美元/小时, 减少设备停机时间是至关重要的. 但是, 考虑到许多工具都有高度腐蚀性的清洁气体或工艺副产物气体, 如 HCl, NF3, HBr, HF, F, Cl, 如何安全地停机维护是一个挑战.问题在打开腔室进行日常维护之前, 需要安全地清除腔室内的工艺副产品或清洁循环中的残留工艺气体, 然而,挑战在于如何确保腔室在打开之前是安全的并且没有有害残留气体. 已知的一个方法, 确保工艺室不含有害残留气体（包括由表面去吸收产生的残留气体）的方法是运行（过长）长压力循环吹扫气体. 在没有计量或反馈的情况下, 吹扫周期需要足够长以确保腔室没有有害物质, 这会导致效率低下, 周期长和设备停机时间长. 由于灵敏度和等离子体可用性的问题, 不能使用常见的计量解决方案, 例如光学发射光谱. 传统的残余气体分析仪在腐蚀性气体环境中工作时面临挑战, 这可能导致电子冲击灯丝在长吹扫周期中腐蚀和故障.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪减少设备停机时间解决方案Aston 原位质谱仪可以进行快速, 化学特异性原位定量气体分析, 以实现准确和快速的腔室吹扫终点检测. 与典型的基于时间的清洗程序相比, 这可以节省大量的设备停机时间。 由于 Aston™ 质谱分析仪可用于加速泄漏检测和腔室老化到已知良好腔室化学指征, 因此可以实现清洁后的进一步停机.在不需要等离子体的情况下, 每秒可以采集数十个样本, 灵敏度低至 100 PPB（十亿分之几）水平. 除了基于灯丝的电子碰撞电离源外, Aston Plasma 还提供内部等离子电离能力. 双电离源支持较宽的工艺压力范围, 等离子电离允许分析较高压力下的苛刻气体, 而不会出现残留气体分析仪中常见的灯丝腐蚀问题.通过减少设备停机时间和重新调试, 可以在不到 12 个月内实现回报, 此外, Aston™ 质谱分析仪还为现场过程监控和管理提供了价值优势.Aston™ 质谱分析仪是一种具有成本效益的解决方案, 可在日常维护和后续维护后投产调试前实现快速, 安全的腔室清洗. 除了 Aston ™ 在沉积和蚀刻过程控制中提供的过程监控优势外, 还可以通过原位测量灵敏度和速度来显着减少设备停机时间.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

上海伯东日本 Atonarp Aston&trade 质谱仪 ALD 工艺控制的原位计量原子层沉积 ALD 是一种广泛且越来越多地用于先进半导体制造存储器（3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM ）和先进逻辑制程（例如全环绕栅极）的工艺.这些工艺的特点是需要控制几十个分子厚的薄膜层, 通常测量只有几十埃（1&angst =1x10-10m）.使用 ALD 可以沉积多种材料, 包括氧化物, 氮化物和金属. ALD 工艺被广泛使用, 因为它提供了超薄, 高度可控的单层材料, 这些材料本质上是保形和无针孔的. 从 2020 年到 2025 年, ALD 市场预计将以 16%-20% 的复合年增长率增长（来源: ASM）.上海伯东 Aston&trade 质谱分析仪是一款快速, 强大的化学特异性气体质谱仪, 提供 ALD 过程控制解决方案, 可在这些非等离子体（“lights-off”）过程中提供原位计量和控制. 它可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 低至十亿分之几的水平, 提供 ALD 过程控制所需的实时数据.上海伯东日本 Aston&trade 质谱仪提供“lights-out” ALD 工艺的原位计量解决方案为实现 ALD 工艺监测和控制, 需要一种高速化学特定量化计量解决方案, 该解决方案可以处理苛刻的工艺气体, 例如盐酸或氢氟酸副产物, 并且可以处理在过程中可能在腔室表面形成的冷凝颗粒.计量解决方案需要量化存在的气体, 以便在多个操作阶段之间实现准确, 快速的转换: 前体气体注入, 气体吹扫, 反应气体注入和副产品气体去除. 通常, 每个完整的周期只需几秒钟, 因此计量解决方案需要以高采样率和灵敏度实时工作.然而, 大多数 ALD 工艺没有等离子体或使用弱的远程等离子体源. 这意味着诸如光学发射光谱 OES 等传统的原位计量技术在黑暗中迷失.由于没有强等离子源使其能够运行, 因此由于信噪比低或根本没有信号, 它们无法提供所需的信息.如果没有原位计量, 这些工艺步骤转换通常会运行固定的持续时间, 这会导致处理效率低下, 因为需要在步骤之间留出足够的余量以确保前体和反应气体不会无意中混合到腔室中. 在没有计量的情况下运行 ALD 工艺也会面临严重的生产线产量损失或工艺偏差的风险, 例如, 如果其中一种反应气体浓度波动高或低.上海伯东 Aston&trade 质谱仪可在这些非等离子体（“lights-off”）过程中提供原位计量和控制. 它可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 低至十亿分之几的水平, 提供 ALD 过程控制所需的实时数据.Atonarp Aston&trade 技术参数类型Impact-300 Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)Atonarp Aston&trade 质谱仪优点1. 耐腐蚀性气体2. 抗冷凝3. 实时, 可操作的数据4. 云连接就绪5. 无需等离子体6. 功能: 稳定性, 可重复性, 传感器寿命, 质量范围, 分辨率, 最小可检测分压, 最小检测极限 PP,灵敏度 ppb, 检测速率.Atonarp Aston&trade 质谱仪半导体行业应用1. 介电蚀刻: Dielectric Etch2. 金属蚀刻: Metal Etch EPD3. CVD 监测和 EPD: CVD Monitoring and EPD4. 腔室清洁 EPD: Chamber Clean EPD5. 腔室指纹: Chamber Fingerprinting6. 腔室匹配: Chamber Matching7. 高纵横比蚀刻: High Aspect Ratio Etch8. 小开口面积 0.3% 蚀刻: Small Open Area 0.3% Etch9. ALD10. ALE若您需要进一步的了解 Atonarp Aston&trade 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

实时直接分析（DART）为新型原位电离新技术，是继电喷雾离子化（ESI）及大气压化学电离（APCI）成功解决了生物和有机分子的分析之后，又一个具有划时代意义的质谱离子化技术，用以满足实验室对样品高通量分析的要求和对现场、无损、快速、低碳、原位、直接分析的需求。该技术由美国的 Robert Cody 博士和 Jim Laramee 博士于 2002 年发明，于 2005 由 JEOL 和 IonSense 公司商品化并获得当年匹兹堡仪器博览会撰稿人金奖和美国 R&D 100 创新大奖。DART 原理是在常温常压下，载气（如氦气或氮气）经放电产生的激发态原子，解吸并离子化样品中的化合物，进而以质谱或串联质谱检测。该技术不需要（像 ESI 那样）引入其他溶剂来影响离子的形成过程，真正实现直接、快速或无损、无接触分析。由于溶剂、基质（如蛋白质）、盐类对 DART 离子化过程不产生抑制效应，因而该技术对样品基质不需要进行特殊的前处理或繁琐、冗长、耗溶剂的色谱分离。通过自动化样品扫描功能和基于苹果 iPad 图形化的操作界面，DART 结合串接质谱（MSMS）或高分辨质谱（HRMS）能充分实现几秒钟内的快速、高通量的样品分析，大大提高大批量样品的瞬时定量和定性分析能力。 DART 典型客户包括美国 FDA、FBI、EPA 等政府实验室，比如，DART 用于特勤局的货币检查、国会图书馆的文档验证；美国食品药品管理局 (FDA) 物证鉴定中心研究发表了 DART 串联高分辨质谱快速筛选 500 多种农药的方法。FDA 在海关配置 DART ，旨在快速鉴定蔬菜、水果的多种农药残留。在全美和世界各地的法医法检中心领域，DART 的应用也很广泛。在著名药物研发机构如 Merck、Pfizer、Roche、GSK 等，保化品 NMC 跨国企业如资生堂、欧莱雅等，都能看到 DART 的身影。国际知名的学术研究机构如 Purdue，Rice，Harvard，北大、浙大、NIH、中科院等运用 DART-MS 做出了许多先进的发明和发现。近两年，中国食品药品检定研究院（sFDA）、北京市药品检验所、中国计量院等国内顶尖药品、食品检验检测机构也陆续采纳了 DART 技术，运用在药品、食品、包材、化妆品等质量安全检验和检测分析。DART 操作简单，样品置放于 DART 源出口和一台 LC-MS 质谱仪的离子采样口，便可进行分析。DART 适用于分析液、固、气态的各类型样品。已广泛应用于药物发现与开发（ADME）、食品药品安全控制与检测、司法鉴定、临床检验、材料分析、环境、天然产品品质鉴定、及相关化学和生物化学等领域。升级版 DART-JS (HTS) 利用脉冲气体控制，实现更完美峰形（改进的峰形和分离度可实现自动峰检测） 更快速采集，缩短分析时间 更省载气（节约90-95%的氦气用量，不影响性能的情况下节省大量成本） 消除环境背景离子，减少基质干扰 AnalyzerPro 自动寻峰、批量处理，更快的数据分析 热图分析、统计学分析（PCA 主成分分析） 创新点介绍： 和液质联用相比，DART 具备诸多优势，使质谱分析“更直接、更快速”。例如：（1）直接分析：DART 基本不需要样品制备，样品分析时间很短（几秒钟），满足了现代社会对高通量样品快速分析的需求；（2）操作简便、节省人力：研究人员仅需要调节 DART 源的温度和正负极，不必花费太多时间和精力去优化其他操作参数；（3）绿色、低碳：分析过程几乎不需要化学溶剂，仅以氮气或氦气等做载气，耗能少，且减少了外来污染源；（4）可在常压下分析液体、固体、气体样品，或任何形状的样品（比如药片、叶子、粉末、食用油、食品、农产品、水产品、玩具、包材）。由于 DART 离子化机理不同于电喷雾等传统方式，基质如蛋白质和盐类对分析结果几乎没有影响。（5）能同时离子化极性、中极性、和弱极性的活性化合物、药物、毒物、和残留有机物。对中性化合物如食用油中的甘油三酯、蜡、聚合物，以及螯合盐等同样灵敏有效，且不需像 ESI 或 MALDI 那样必须先行溶解样品；（6）不产生加合盐离子，离子信号仅包括所有能离子化的待测组分的单电荷离子，简化定量分析和谱图解析；（7）样品分析非常简便，只需将样品手动或自动置放于 DART 出口和质谱仪离子采样口之间；可调节参数只有三个，优化操作异常方便。iPad 图形化操作界面更轻松帮助实现全自动操作和现场分析；（8）和众多主流质谱厂商（如 SCIEX、Agilent、Bruker、ThermoFisher、Waters、Shimadzu、JEOL 等）各种类型的质谱仪如飞行时间、离子阱、三级四极杆及各类混联质谱联用。仪器或技术设备名称：l “实时直接分析离子源 – 串联质谱系统（DART-MS/MS）”或“实时直接分析质谱离子源”，作为质谱仪的配件设备主要用途：DART 与串联质谱如 DART - SCIEX 5500Q MS/MS；DART- Agilent 6460 MS/MS；DART-Waters TQD MS/MS 等中高端质谱仪或更高或稍低档次的 MS/MS 串联质谱仪联机，利用其强大的原位电离、简化的样品预处理、直接快速的进样分析和 MRM 多反应离子检测、中性丢失扫描、前端离子扫描等功能，实现食品中痕量、超痕量的有毒有害、营养和功能成分的快速筛选、快速鉴定和高通量定量分析。无需样品前处理可直接、常压下分析固相、气相、或凝固相样品，直接高敏分析检验检疫物品的有机化合物、药物、毒物、或代谢物；同时离子化及识别样品中不同种类（极性、非极性、弱极性）的化学成分，包括痕量、超痕量的生物标记物、有毒有害物质、营养或功能成分的定性、定量。实现有机和生物样本的无基质分子轮廓分析或组学分析，无歧视离子化和广谱化，同时筛查大、中、小有机化合物的关键物质信息及分布信息；兼容实验室各品牌的质谱仪，扩展质谱设备的能力，提升质谱仪测样服务水平。为什么要选择 DART？1、获美国 Pittcon 大奖，R & D 100 大奖 ；2、不同质谱/不同应用，发表新技术文章潜力大 ；3、不需溶剂，仅用氮气或氦气，真正绿色低碳 ；4、简便无损分析，无需样品制备和处理，自动操控 ；5、快速灵敏，几秒钟定性定量，亚pg级检出 ；6、广谱：可检测液、气、固态样品或材料；7、和众多主流质谱厂商各种类型的质谱仪兼容。生产商为 IonSense Inc（美国）；大中华区代理为华质泰科生物技术（北京）有限公司。

Advion 公司通过将 LESA 与此前在欧美生物质谱学界久负盛名的软电离&ldquo 纳喷机器人离子源（TriVersa NanoMate® ）&rdquo 完美结合，实现了生物样品的原位、灵敏、直接、和高通量分析。利用&ldquo LESA 纳喷机器人离子源&rdquo 五位一体的功能，寻求突破目前在生物质谱技术领域面临的原位采样代表性低、纳喷离子化重现性低、和样品分析通量低等几大难题，冀已帮助解决围绕蛋白质科学、脂质组、抗体、代谢组、非共价键相互作用、生物器官药物小分子质谱成像、生物能源技术等有关的生命科学中的问题。TriVersa NanoMate （TVNM，芯片多通道纳喷源）是基于芯片的多通道纳升电喷雾离子化（Chip-based nanoESI）技术，与串联质谱或高分辨质谱联用，集成了芯片纳升注射（Chip-based Infusion）、在线纳升液相（nanoLC）- 质谱联机、馏分收集（Fraction Collection）在线分析、和可能的液体萃取表面分析（LESA）等优势于一身的新颖的高端质谱产品。不同于传统的单一模式的液质（LC-MS）联用分析，TVNM 作为新型的质谱进样系统，更适用于通量分析复杂的生物基质样品，能充分发挥高端质谱仪尤其是高分辨质谱和串联质谱的强大功能，既可以在有限的时间内提高样品分析通量和重现性，又可以在充裕的时间内诠析复杂样品，发掘生物基质中更加丰富的化学和生物学信息。液体萃取表面分析（LESA）由美国橡树岭国家实验室（ORNL）的 Vilmos Kertesz 和 Gary J. Van Berkel 于2009年发明并申请专利。该技术随后被授权给美国 Advion BioSystems, Inc. (Advion) 公司，由 Advion 对其进行了技术改进和一体化、自动化设计，于2010年3月份完成了商品化，推向全球市场。 LESA 纳喷机器人离子源的原理是，通过成像技术和数码控制，精确定位样品采样点，用一滴溶剂对样品或组织进行表面微萃取，萃取液经由基于芯片的纳升电喷雾离子化（Chip‐based ESI），进行串联质谱分析。“TVNM多通道纳喷离子源”用于极小量样品的多次重复测量，保障高准确度和高重复性。无需样品前处理直接分析固相或凝固相样品，进行高敏分析或轮廓分析，实现生物样品如体液、萃取液、组织切片、食药、材料、细菌表面等的原位、灵敏、直接、和高通量定性和定量。解决围绕在药物发现、蛋白质组学、脂质组学、代谢组学、微生物组学、植物次生代谢研究、和安全检测领域中的蛋白质、脂质、抗体、ADCs、代谢物、药物、毒物等物质的分析鉴定和分布或成像问题。 LESA-MS/MS 以及芯片多通道纳喷离子源（TriVersa NanoMate, TVNM）技术已经在 600 多个全球顶尖的实验室安装使用，这些实验室包括美国 FDA、出入境检验检疫、NIH等政府实验室；知名大学和研究机构如 FTMS 质谱发明人Alan G. Marshall 实验室、Max-Plank 研究所、脂质组学大师 MPI 的 Andrej Shevchenko 实验室、伯明翰大学、ETH、宾州大学、斯坦福大学、英国皇家学院、慕尼黑大学、剑桥大学、nanoESI 发明人 Mann Mathias 实验室、UC 戴维斯、波士顿大学、协和医科大学、中科院等；跨国公司如 Amgen、诺华、Roche、Merck、GSK、BMS、杜邦、等等。应用范围包括药物的组织成像分析、脂质分析、蛋白分析、食品分析、干血斑分析、薄层斑点分析、MALDI 板再分析、等等。五种功能模式详解：（1）芯片纳升注射分析：全自动纳升电喷雾直接进样系统，无需清洗，连续、自动分析达几百个样品。样品间无信号残留。适于组学、抗体药、PTM、蛋白质、ADCs 抗体药物偶联体、临床研究等需要大量样本验证的分析课题。（2）馏分收集： 在线同步馏分收集，即，常规LC分流，以纳升流速在线检测，同时收集馏分，随后以纳升电喷雾注射分析馏分，以信号累加（灵敏度及信噪比约为累加次数的平方根倍）方式鉴定复杂基质中的痕量未知物如低丰度蛋白、多肽或小分子代谢物。（3）nanoESI：作为纳升电喷雾在线接口，直接将 nanoLC 和质谱相连，组成 nanoLC-MS 在线分析无缝联接系统，不需任何工具，死体积极小，避免组学分析中的峰展宽现象。同时，喷雾感应功能，感应堵塞，3秒内自动移换喷头，实现无人值守的连续分析，保障复杂样品体系的超长时间分析的连贯性。用于代谢、核心蛋白质组学或临床蛋白组学分析。（4）LESA：可升级实施液滴萃取表面分析（LESA），通过吸头以微量溶剂在样品或组织表面特定位置进行微萃取，将萃取液再以纳升注射来分析。或进行代谢物分布研究、或成像或轮廓分析；兼容亲脂性表面（如中药切片、生物体组织、皮肤、反相薄层）或亲水性表面（如纸质干血斑、正相薄层、MALDI 板）。（5）LESA Plus：可升级实施液滴萃取表面分析接后续分离（LESA Plus），即，实施 LESA 液滴萃取后，通过六通阀切换萃取液至纳升柱或微升柱，进一步线上分离，在线质谱检测。适于复杂体系的分布分析或轮廓研究。设备用途：TVNM/LESA 与主流质谱兼容，应用范围包括药物的组织成像分析、脂质分析、蛋白分析、食品分析、干血斑分析、薄层斑点分析、MALDI 板再分析等等，为食品、药物、环境及医学研究提供了一种优异的分析手段。 “液体萃取表面分析 – 串联质谱系统”五合一功能，自动样品分析模式选择灵活。其多通道 nanoESI 芯片含有 400 个纳喷喷嘴，加工工艺高度重现，保障纳升级电喷雾 nanoESI 品质高度一致。品牌与型号：品牌：LESA（液滴萃取表面分析） 和 TriVersa NanoMate（多通道纳喷源） 的生产商为 Advion Inc（美国）；大中华区代理为华质泰科生物技术（北京）有限公司。型号： TriVersa NanoMate、LESA

创新将质谱检测和快检技术融为一体，是目前市面唯一无需前处理、直接取样且无侵入式取样的检测设备。设备在保留了质谱高灵敏、准确的优点，将单次检测时间缩短至20秒内，是公安痕量限速检测鉴定的一大利器。离子源还可适配市面各家单质谱，搭载至移动毒物查缉车上，最大程度满足客户需求。产品优势：| 取样便捷 实用易用 | 探针接触取样，物体表面和生物表面接触、液体蘸取可进行半定量取样| 快速高效 精确度高 | 无需任何前处理20秒内完成200种以上项目检测，可达ppb级| 检测物质 覆盖全面 | 检测范围内已有746种毒物（含合成大麻素、新精神活性物质等新型毒物）、易制毒化学品、食药中非法添加物有毒物质等，数据库还可拓展检测及判读数据库。应用场景：| 污水溯源 | 污水毒情溯源| 物流快筛 | 毒物痕量现场稽查及寄递物流快检| 活动保障 |大型活动现场安全保障

在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪烟气多组分动态分析飞行时间质谱仪是卷烟烟气在线动态分析质谱仪，具有无需烟气收集和前处理、无需色谱分离、无极性歧视、在线/动态进样分析、高灵敏度等优越的综合性能。适用于主流、侧流、环境烟气以及卷烟制品热解产物的在线、动态分析。主要应用范围：主流烟气在线动态分析，侧流烟气在线动态分析，环境烟气在线动态分析，卷烟制品热解/氧化产物在线动态分析。在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪产品特点可对卷烟燃烧、热解、氧化产物进行在线动态分析可对烟气产物进行逐口分析可获得醛、烯酮、硫化物、烯醇等卷烟燃烧不稳定中间产物的捕获(反应器选配)可与吸烟机、热重、红外光谱联用无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多通道反应进行同时监测(阀门选配)专业卷烟烟气产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪规格参数尺寸：500(w)x800(h)x400(d)质量范围：1-600amu质量分辨：不低于3500灵敏度：10ppb在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪主要附件(选配)：多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪应用领域 主流烟气在线分析侧流烟气在线分析环境烟气在线分析烟丝热解/氧化产物分析新型卷烟烟气分析烟丝烘烤释放物分析烟叶存放释放物监测在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪应用范例主流烟气产物监测无需色谱分离，可在数秒实时获得主流烟气主要成分信息(碳氢化合物、含氮/硫/氧化合物等)卷烟热解产物监测 可观察热解产物在不同热解温度的分布情况和浓度区别(m/z=162为尼古丁)卷烟烟丝中化学成分快速分析卷烟烟丝分析在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪常用附件1. 常压热解反应器1.1 反应温度：室温~1200 ℃1.2 真空度：常压1.3 材质：刚玉/石英2. 低/高压热解反应器2.1 工作温度：室温~1200 ℃2.2 真空度：0.01Pa-0.5MPa(基于真空泵的选择)2.3 材质：刚玉/石英非标订制及其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

原位电化学质谱仪(电催化DEMS）产品详情QAS 100 PlusQAS 100微分电化学质谱仪（Differential Electrochemical Mass Spectrometry，简称DEMS）是一种原位电化学方法，通过检测挥发性产物，可以获得界面的定性、定量信息，成为研究电化学反应机理不可或缺的重要工具之一。DEMS系统将电化学反应装置与质谱仪连用，由电化学反应产生的挥发性产物从疏水透气的膜接口进入质谱仪的真空系统管路中，通过质谱仪获得不同质荷比离子的电流随时间的变化。在电化学反应机理研究中，循环伏安法（CV）是一种较为常用的电化学手段，从获得的CV图形中可以获得丰富的电化学信息，因此，CV被频繁地用于DEMS研究中。利用DEMS进行电化学研究时，由质谱仪检测 CV 扫面过程中所生成的挥发性产物的离子电流信号随时间的变化，再通过时间轴向电势轴的变换即获得离子电流随电势变化的图形 （MSCV），为电催化反应机理研究提供更全面更深入的信息。图1：探针式原位微分电化学质谱仪原理图结构组成：质谱采样探针和玻璃电化学池组成。工作原理：质谱采样探针正对着玻璃电化学池中的工作电极，工作电极上产生的产物经由探针端部滤膜进入到质谱仪从而被检测到。配置视频显微镜精确调节采样探针与工作电极之间的距离。 具体应用如：1. CO2电催化还原气相产物(CO,CH4,C2H4,CH3OH等)瞬时检测，相对法拉第效率测定2. 硝酸根电催化还原中NO,N2O,NH2OH,NH3,N2等中间产物或最终产物原位检测3. 电解水OER同位素标记18O，LOM或AEM反应机理确认4. 甲醇电氧化反应中间产物或最终产物（HCHO，HCOOH，CO等）瞬时检测及各产物电流效率计算5. 氢同位素标记，氢气析出反应（HER）机理解析6. 碳材料稳定性评估（高电位下CO，CO2检测）7. 其他（光催化，光电催化，氧还原，氢氧化，氯气析出，有机电合成等）应用案例：1. 硝酸根电还原中间体检测 Angew. Chem. Int. Ed. 10.1002/anie.201915992 2. 电解水OER同位素标记18O，LOM或AEM反应机理确认 J. Am. Chem. Soc. 2021, 143, 17, 6482-6490 3. 甲醇电氧化反应 Journal of Power Sources 509 (2021) 230397 4. 氢同位素标记，氢气析出反应（HER）机理解析 Nature catalysis, 2022,5,66-73 5. CO2电还原 ACS catal. 2019,9,1383-1388 部分客户论文清单Nature Catalysis. 2022, 5, 66-73Nature Catalysis. 2021, 4, 1012-1023J. Am. Chem. Soc. 2021, 143, 6482-6490J. Am. Chem. Soc. 2019, 141, 9444-9447Angew. Chem. Int. Ed. 2020, 59, 5350-5354Angew. Chem. Int. Ed. 2019, 131, 4670-4674Angew. Chem. Int. Ed. 2021, 60, 7297-7307Angew. Chem. Int. Ed. 2021, 60, 22933-22939Angew. Chem. Int. Ed. 2021, 60, 26177-26183Angew. Chem. Int. Ed. 2022, e202204541Joule. 2021, 5, 2164-2176Nat. Commun. 2022, 13, 2191Nat. Commun. 2021, 12, 2164Adv. Mater. 2020, 32, 2002297Adv. Energy Mater. 2020, 10, 2001289Appl. Catal. B. 2021, 280, 119393ACS Energy Letters. 2022, 7, 1187-1194ACS Energy Letters. 2022, 7, 284-291Chem. Eng.J. 2022, 435, 134969Chem. Eng.J. 2022, 433, 133495Environ. Sci. Technol. 2022, 56, 614-623ACS Catal. 2021,11, 840-848ACS Catal. 2019, 9, 4699-4705Nano Energy. 2021, 86, 106088NanoEnergy. 2019, 60, 43-51ACS Catal. 2021, 11, 14032-14037ACS Catal. 2020, 10, 3533-3540ACS Appl. Mater. Interfaces. 2022, 14, 12257-12263J. Mater. Chem. A. 2021, 9, 239-243Cell Reports Physical Science. 2021, 2, 100378J. Mater. Chem. A. 2021, 9, 9010-9017Journal of Catalysis. 2021, 397, 128-136Journal of Power Sources. 2021, 509, 230397Science China Chemistry. 2020, 63, 1469-1476Adv. Sustainable Syst. 2020, 4, 2000227Science China Chemistry.2021, 64, 1493-1497J. Colloid Interface Sci. 2022, 614, 405-414 Angew. Chem. Int. Ed. 2022, 61, e20211563Nat. Commun. 2022, 13, 2577 J. Mater. Chem. A. 2022, 10, 6448–6453 J. Mater. Chem. A. 2021, 9, 14741–14751ACS Sustainable Chem. Eng. 2022, 10, 5958–5965J. Mater. Chem. A. 2022, 10, 5430-5441Appl. Catal. B. 2022, 301, 120829 Adv. Mater. 2020, 2202523Adv. Mater. 2020, 2202874ACS Catal. 2022, 12, 14, 8658–8666Energy Environ. Sci. 2022,15, 3912-3922Adv. Mater. 2022, 2209307Angew. Chem. Int. Ed. 2023, e202217071ACS Nano. 2022, 16, 6, 9095–9104Angew. Chem. Int. Ed. 2022, 61, e202212341J. Am. Chem. Soc. 2022, 144, 35, 16006–16011Adv. Energy Mater. 2022, 12, 2103960 Nature Energy. 7, 978–988 (2022) Energy Environ. Sci. 2022, 15, 4175Nat. Commun. (2022) 13:7958

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

先进半导体应用的原位过程控制上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.分子测量快速，灵敏度达到十亿分之一 检测残留气体 / 冷凝物污染.提高产量提供化学特定的可操作见解, 尽可能地提高产量提高安全性监测爆炸性气体. 检查排放和减排效果.Aston™ 质谱仪解决了关键的原位计量问题• 提高吞吐量: 端点检测而不是基于时间的流程• 提高产量: 以十亿分之一的灵敏度测量沉积和蚀刻工艺期间的工艺气体 / 副产物Aston™ 质谱仪先进工艺的优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁Atonarp Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm) Aston™ 质谱仪半导体制造应用先进的工艺原子层沉积 (ALD)化学气相沉积 (CVD)原子层蚀刻 (ALE)腔室管理干净的终点检测指纹识别和匹配 Sub-fab 安全性, 可持续性和节省优化过程安全监控干泵保护减排管理沉积化学气相沉积钨TEOS蚀刻介电,导电,金属高纵横比 1% 开放区域检测EUV/光刻SnH4 蚀刻光掩模蚀刻自主过程控制模型驱动的实时过程监控若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

Aston™ 质谱分析仪为半导体 Sub-fab 提供安全, 可持续性和节约解决方案Sub-fab 一直是半导体制造设施的后端方案. 与 FAB 的主要加工走廊不同, Sub-fab 中的设备被归入与基本工具管理和废物处理相关的系统: 干式真空泵, 燃烧和吸收器减排系统, 水处理器和冷却器以及散装材料的输送和管理是 Sub-fab 设备执行的关键功能.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供稳健, 量化和实时的计量. 原位量化计量在关键灵敏度 / 速度指标上比其他残留气体分析仪优于 10 倍至 100 倍, 并具有强大的等离子电离解决方案, 使它们能够处理苛刻的工艺气体和副产品. 为半导体 Sub-fab 提供安全, 可持续性和节约解决方案随着半导体制造足迹对环境的影响对晶圆厂运营商变得越来越重要, 在客户对更高可持续性的需求的推动下, Sub-fab 越来越被视为提高效率和可持续性的关键部分. 随着对安全的普遍需求, 对可持续性和效率的额外关注正在推动重新关注使用实时现场监控和控制更智能地运行 Sub-fab 设备.问题Sub-fab 管理的三大支柱, 即安全性, 可持续性和节约性正在重新受到关注.对于分子水平安全监测: 先进的工艺推动了对新型危险材料和副产品的需求, 对前沿逻辑工艺, 铸造和存储器工艺的需求不断增加, 特别是在 ALD 和 ALE 中使用选择性处理化学物质的情况下. 2019 年的一项研究表明, 在 2017 年 2019 年的 30 多起不良事件中, 包括爆炸, 火灾, 放热反应, 化学反应和排气. 大多数事件发生在从腔室到减排系统的排气处理路径中的 Sub-fab 中.目前使用分子安全监测的一些例子包括: 当爆炸锆金属颗粒是潜在的副产品时, 基于用于逻辑门和 DRAM 电容器结构的锆的高k介电材料. 此外, 在闪存制造中用于氧化硅原子级沉积的高阶硅烷化学对主动泄漏检测提出了挑战, 以防止需要监控和管理的产品气体和冷凝物引起的火灾和危险.除了安全之外, 可持续性也是重点: 最近的研究表明, 超过 80% 的智能手机碳足迹不是在使用过程中产生的, 而是在制造过程中产生的, 其中半导体占总量的比例大约（约 40%）并且还在不断增长. 虽然 FAB 中的绿色能源使用和水循环利用工作对温室气体和水消耗指标产生了重大影响, 但半导体 FAB 可持续性挑战的材料部分占总量的百分比继续增长. 寻找一种可靠的方法来监测和减少制造过程中使用的材料量是半导体行业的关键下一步, 并且需要一种创新的原位材料监测和量化方法. 关键的第一步是为当今的工艺和设备建立“基线”, 以便准确监测和量化材料使用的变化.从安全和可持续性举措中节省: 毋庸置疑, 与事故相关的员工, 设备, 生产和声誉成本相比, 安全设备部署的成本很小. 然而, 可持续发展计划更为复杂. 减少材料使用, 减少浪费, 并显着降低相关材料和减排相关成本. 然而, 除了与更有效地运行 FAB 相关的纯成本回收之外, 许多半导体消费者越来越多地将可持续性视为其供应商选择标准的一部分. 随着晶圆厂需要推动可持续发展目标,大量且利润丰厚的供应商合同正在增加,其中大部分工作发生在管理废物的 Sub-FAB 中.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪 Sub-FAB 解决方案Sub-FAB 应用的安全性,可持续性和节约的共同点是, 为了改进它们, 需要测量和量化要管理的材料. 无论是在腔室上还是作为 Sub-FAB 基础设施的一部分, 都需要稳健, 量化和实时的计量. Atonarp 的 Aston 实时半导体计量解决方案系列提供的原位量化计量在关键灵敏度 / 速度指标上比其他残留气体分析仪优于 10 倍至 100 倍, 并具有强大的等离子电离解决方案, 使它们能够处理苛刻的工艺气体和副产品.Aston 先进的分子分析技术具有比其他残余气体分析仪高 10 到 100 倍的速度 / 灵敏度能力, 使 Sub-fab 应用能够提高安全性,可持续性并节省过程中的成本.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱（IC）、质谱（LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS）、痕量元素分析（TEA）和样品前处理系统，是业界领先产品，能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品：液相色谱（LC）液质联用（LC-MS/LC-MSMS）高分辨液质离子阱质谱气相色谱（GC）气质联用（GC-MS/GC-MSMS）高分辨气质痕量元素分析产品（AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱（IC）样品前处理设备（SP）水质分析仪（CDD）色谱数据系统（CDS）网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI（负离子化学电离技术）在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息：请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台，展位号：SH100244。或使用域名登陆：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/

Alphachron He 氦气自动原位提取与分析仪可以将25个矿物样品加载到Alphachron?的激光室中，并用915nm二极管激光器在真空下加热（磷灰石约为1000°C，锆石约为1250°C）五分钟，作为地球化学家的专业质谱仪，Alphachron?非常适合ASI产品范围，专业知识和客户群，在对矿石系统的4D演化进行研究的过程中，发现有必要开发用于快速自动分析矿物样品的仪器，用户可以为样品盘上存在的每个样品定义单独的脚本，从而允许在一次自动运行期间对不同样品进行多种测试。系统特点：1、具有机器视觉的自动XY激光平台；2、25个具有蓝宝石窗口的样品容量激光腔；3、带自动和手动阀的不锈钢高真空生产线；4、915nm二极管激光器，透镜系统，电源和安全罩；5、SAES吸气剂（已安装2个，备用1个）和吸气剂激活电源；6、3x3.3升不锈钢罐，带有3He尖峰，分析型4He标准和4He参考标准；7、扩散池选项（工作温度= 600°C）和集成的自动化软件；8、高真空系统，由干式隔膜前级泵，带控制器的混合涡轮泵和带控制器的离子泵组成；Alphachron He 氦气自动原位提取与分析仪主要用于分析提取的气体样品以确定其4He含量也可以用于从矿物样品中提取和测量气体，而无需用户干预或在两次测试之间加载/重新加载样品，可帮助用户使用简单的文本文件管理实验，具有机器视觉的自动XY激光平台，带自动和手动阀的不锈钢高真空生产线，市场上正在采用基于创新的氦气提取/测量仪器的技术作为标准分析平台，从而可以准确确定地壳的热历史。

MT Explorer 50（MT50） 是 MassTech 推出的第二代便携式/现场 3D 离子阱质谱仪。基于数十年的知识经验，第二代 MT50 通过独特设计的 3D 离子阱来保证缩小尺寸的同时仍能提供强大的分析性能。MT50 紧凑的设计非常适合现场使用，其强大的 MS-n 功能使结构解析易于实现。同时为了能够在现场进行基本维护而做了易于拆卸的设计。MT50 多级质谱系统，兼容 ESI、nanoESI、2ndESI、APCI、DART、AP/MALDI 等各类离子化或原位采样技术，用于快速分析和确认固体、液体、气体、及异型样品中的极性、弱极性甚至非极性有机分子、生物分子如脂质、代谢物、多肽、糖类、蛋白质、高聚物等标志物。适于食品、材料、体液、商品、农副产品、水产品、药品、理化、物证、化纤、玩具、临床、环境、生物药等等活性成分、功能组分或有毒有害化合物的快速定性、定量分析及快筛、确认和成像。小巧、便携、场地化、车载化，交流或直流电运行，裸机重量小于35公斤，尺寸约51x43x30 cm（长宽高，厘米），交流 90-240VAC，质谱耗功率 250-300 瓦，无需钢瓶供气，以滑轮防震运输箱装载。一级 MS 或多级 MSn 质谱采集模式；正负模式，质量范围 30-2500amu，扫描速度1000-8000 amu/s 或每秒达5张谱图，分辨率达6000，质量精度到0.3amu。MT50 非常皮实，曾被选为 NASA 航天器适用质谱系统。MT50 的性能与常见的离子阱质谱仪相当。另外，它还可以与 DART 离子源结合，组成 DART-MT50 便携式原位检测系统。实时直接分析（DART）为新型原位电离新技术，用以满足实验室对样品高通量分析的要求和对现场、无损、快速、低碳、原位、直接分析的需求。所以 DART-MT50 便携式原位检测系统结合二者性能，无需或仅需简单样品处理，可直接快速高通量分析，实现自动化现场实验室功能。 DART-MT50 便携式原位检测系统对现场的食品安全，环境分析，药物合成，法医和危险品检测有巨大潜力。比如，人们可以在几秒钟内（而不是几天）验证食品类型（牛或马？鲷鱼或罗非鱼？），从而免受供应商欺诈。研究人员只需在现场进行分析而不必等待实验室验证数据，可节省时间。

普适智能，岂止于小：小型质谱分析系统是实现了质谱小型化与多种原位电离技术联用地创新质谱产品，产品拥有非连续大气压接口技术，真正将质谱仪小型化变为现实，采用小型抗震动真空系统抽速达到3m³/h+67L/s，为质谱性能提供优良的分析环境，精准可靠的线性离子阱质量分析系统提供了3个数量级的高动态范围和多级串联质谱（MSn）测量能力，强劲的射频系统则极大拓展了小型质谱的质量测量范围，可达100-800 Da。产品项目产品参数1工作环境要求运行温度：0~40℃；贮藏温度：-20~80℃，运行湿度：≤80%；2电源要求220VAC，50Hz；24VDC输出蓄电池3空间要求220VA仪器重量≤25kg，体积50cm×30cm×40cm4操作系统 Windows平板电脑5离子源 纳喷雾离子源，可结合多种原位电离技术6质谱接口 敞开式大气压接口7质量分析器 ALIT 线性离子阱8测控系统 结合上位机下发命令协同控制硬件电气参数8路反馈DA设置范围可达0~200VDC9射频系统 宽温高频，最高可达1MHz10检测器 低压稳定的通道式电子倍增器，0-2kV11真空系统3.5立方米/小时前级干泵；67L/s高抽速涡轮分子泵，采用悬浮轴体可轻微抗震；12进样方式低压非连续进样技术，可结合进样管升温提高去除溶剂效果

微分电化学质谱（Differential Electrochemical Mass Spectrometry DEMS）是将电化学和质谱技术相结合而发展起来的一种现代电化学现场测试手段；它可现场检测电化学反应中的挥发性气体产物及动力学参数，中间体及其结构的性质等；当电极反应产物为共析出时，DEMS技术可同时确定每种产物的法拉第电流随电极电位或时间的变化。 Hiden现在发布了世界上首款商业化的电化学质谱仪DEMS，结合了电化学半电池实验和四极质谱仪的差分电化学质谱（DEMS），可以进行实时原位分析电化学反应中的挥发性反应物、中间体、反应产物。当电极反应产物为共析出时，该质谱DEMS可同时确定每种产物的含量随电极电位或时间的变化。DEMS质谱仪是带有一个电化学半电池、气体过滤膜系统、快速隔离阀系统、真空系统的四极质谱仪。 特点：1.商业化电化学质谱仪2.实时原位分析3.定性和定量分析 参数：1. 质量数范围：50，200 ，300 amu2. 分辨率： 1 amu3. 灵敏度：0.1 ppm 或者5 ppb（三重过滤四极杆）4. 用户可涂覆的铂碳电极，额外的4个电极接口，可更换的纳米膜5. 软离子化技术

仪器简介：英国Hiden公司的QIC 20 小型在线气体分析质谱仪是一台完备的台式气体分析系统，用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用。 应用： 过程监测 在线分析 污染物研究 CVD / MOCVD 环境气体分析 热分析质谱 催化剂研究/ 反应动力学 技术参数： QIC 直接进样，对气体、蒸气的响应时间 1～20 sccm / min连续进样 取样压力：100 mbar ～ 2 bar（可选配10mbar－2bar） 高压取样接口至30 Bar（选配） 灵敏度高 (0.1ppm标配，可选配至 5 ppb) 质量数：1-200amu标配。可选配50amu，100amu，300amu,510 amu。 主要特点： 高效、柔韧、加热(直到200℃)惰性石英毛细管（QIC) 惰性毛细管避免了气体与毛细管发生物理或化学反应 自动流量控制，以恒定离子源压力 液氮低温板（选配），增强对可凝结的背景气体的抽吸 软离子化技术，有利于分析复杂有机物 稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% ) 通过RS232、RS485或以太网连接计算机，由 MASsoft 软件控制 定量分析方法