准分子激光器

ATL Lasertechnik GmbH公司成立于1993年，并于1994年在生产世界上第一台紧凑、高重频、短脉冲准分子激光器时取得了在紫外激光技术上的突破。并在后续的系列产品开发中取得创新型的成就，到目前为止，ATL的准分子产品已处于世界领导水平，并获得了预电离及发射等领域的专利。后续ATL公司会继续致力于紧凑的，短脉冲准分子激光器的开发，以保持在该行业的领先水准。 产品外观图 典型的均匀光斑形貌 微加工系统产品特点：全部实现风冷，无需水冷；结构紧凑，脉冲频率高，最高重复频率到1kHz；全新技术金属-陶瓷腔体；光束均匀性好集成的真空泵和卤素滤光片激光头体积3L提供能量稳定模式，保证能量稳定输出； 应用：微加工激光融蚀医学（眼睛手术）光谱计量光纤布拉格光栅刻写

俄罗斯Optosystems 准分子激光器： CL 7000 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。 CL7000技术参数： 选功能和附件： F2，157nm型号可选1000Kz型号可选窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1CL 7000主要特点特点：陶瓷放电激光腔设计，长寿命激光腔，电子系统一体化设计功率稳定运行模式预混合供气，使用简单计算机控制 应用 ：准分子激光脉冲沉积镀膜准分子激光光栅光纤（FBG）刻写准分子激光材料加工，微纳制造，光刻

俄罗斯Optosystems准分子激光器：7X200 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。 7X200技术参数： 7X200主要特点： 高脉冲能量高平均功率高压固态开关功率稳定运行模式内置的能量检测器内置能量无油真空泵与卤素过滤器预混料气体，使用简单计算机控制 应用：脉冲激光沉积技术准分子激光退火

产品详情俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000准分子激光器： CL7000, 俄罗斯 Optosystem 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。 CL7000系列技术参数：型号ArFKrFXeCl波长193 nm248 nm308 nm管材料陶瓷预电离火花标准脉冲能量250 mJ400 mJ300 mJ平均功率CL 7020CL7050CL 71005 W10 W20 W8 W20 W35 W6 W15 W25 W最大重复频率CL 7020CL 7050CL 710020 Hz50 Hz100 Hz脉宽17 ns20 ns20 ns脉冲稳定度sigma 2%光斑大小6 x 20 mm6 x 21 mm7 x 22 mm光束发散角1.5 x 4.5 mrad时间抖动 2 ns尺寸, (重量)1350L x 375W x 710H мм (170 kg)冷却CL 7020CL 7050CL 7100风冷水冷（水流 1L/min）水冷（水流 3L/min）功率CL 7020CL 7050CL 7100220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA气体1 premix cylinder控制接口RS 232, DOS/Windows 可选功能： 1 、1000Kz型号可选 2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1 3、 F2，157nm型号可选 特点： 1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命 2、激光腔，电子系统一体化设计 3、功率稳定运行模式 4、预混合供气，使用简单 5、计算机控制 应用 ： 1、准分子激光脉冲沉积镀膜 2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻写 3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻 准分子激光激光沉积镀膜（PLD）系统示意图 准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图

俄罗斯Optosystems准分子激光器：CLS 5000 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。 CLS 5000技术参数: 可选功能和附件： 可能配置1000和2000赫兹 CLS 5000主要特点： 非常高的光束指向稳定性高重复频率能量稳定性好设计紧凑内置能量控制带磁转换发生器 应用： 布拉格光栅无掩膜光刻准分子材料加工激光视力矫正

产品说明 德国ATLEX-300-I准分子激光器公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器，并在该领域保持技术领先地位。产品特点： 软电晕预电离 全固态高压脉冲发生器 激光头容积 3L TMC（全金属陶瓷）管路 集成真空泵和卤素过滤器 全部风冷，主动热管理 RS-485、RS232、USB及光纤接口 可冲洗光具座 能量稳定模式 符合欧洲CE标准 符合RoHS规范产品应用： 微机械加工 激光烧蚀 光谱学 计量学产品参数：ATLEX-300-I 产品参数气体介质F2ArFKrFXeClXeF单位波长157193248308351nm高压开关技术固态开关最大脉冲能量11101587mJ最大平均功率0.22.44.02.01.7W最大重复频率300Hz脉冲宽度25 – 8ns光束尺寸2(V x H)4 x 6mm光束发散角2(V x H)1 x 2mrad能量稳定性（标准偏差） 3%尺寸（长x宽x高）540 x 470 x 370mm重量60kg冷却Cooling Air / Optional Liquid电力需求230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。1在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。2典型值，FWHM

俄罗斯Optosystems准分子激光器：CL 7700 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。CL 7700技术参数： CL 7700主要特点：高脉冲能量闸流管开关功率稳定运行模式内置的能量检测器预混料气体，使用简单计算机控制 应用： 材料加工激光剥离脉冲激光沉积技术

俄罗斯Optosystems 准分子激光器：DC 4000 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。 DC 4000系列技术参数： DC 4000主要特点：非常高的重复频率高达6千赫高平均功率达160w金属陶瓷设计使用寿命长能量稳定性好特性HV固态开关功率稳定计算机控制 应用： 材料加工激光剥离

仪器简介：加拿大MPB公司，专业生产准分子激光器，激光性能稳定，性价比高，得到越来越多的用户的好评与认可。一种创新的多气体准分子激光器，紧凑而且便于携带，可以提供毫焦级能量的脉冲，脉冲持续时间仅为2.5纳秒，峰值能量超过2MW. 1.紧凑型单一结构 2.风冷 3.脉冲短，峰值能量高 4.有效的射流电路，反向剩余电流可以忽略. 5.闸流管寿命长( 3x108 脉冲) 6.对于最小非钝化的卤素兼容结构 应用： 光剥蚀和微加工 半导体工业 表面分析 激光电离质谱 荧光光谱 光化学 时间持豫研究 非线性光学

俄罗斯Optosystems 准分子激光器：CL 7308 XeCl 准分子激光 CL 7308 型是血管内组织消融的理想选择，它主要特点是激光脉冲的脉冲持续时间长。 CL 7308系列技术参数：CL 7308系列主要特点：脉冲持续时间180 ns功率稳定运行模式闸流管开关内置的能量检测器预混合供气，使用简单计算机控制应用：心血管疾病治疗系统

俄罗斯Optosystem准分子激光器：CL 7500 CL 7500系列技术参数： CL 7500主要特点： MOPA激光系统(主振荡器功率放大器)由两个激光器CL7020或CL7050基于单光平台组成 应用： 布拉格光栅激光诱导荧光技术

产品名称：COHERENT准分子激光器COMPex产品型号：COMPex 50产品介绍COMPex准分子激光器是效率高的光源，具有紧凑的设计和易于安装和操作的特点。它们在要求苛刻的应用中提供更佳的结果，如固体取样系统（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和准确的材料处理。COMPex具有陶瓷预电离功能，可提供高达100毫焦耳的输出，以及脉冲上脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气体处理器，可以延长气体和光学寿命。性能特点l 选择157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波长，实现全材料柔性l 高达750 mJ的更好的脉冲能量，可在大视场下进行有效消融l 0.75%的脉冲稳定性，均方根值，确保高通量控制l 基础脉冲控制和系统参数记录，提供智能和可复制的薄膜技术参数产地：美国波长：193 nm脉冲能量：100 mJ重复频率：max.50 Hz平均功率：4 W能量稳定性（1西格玛）：≤0.75%脉冲持续时间（FWHM）：典型值20 ns横梁尺寸（V x H，FWHM）：典型值14 x 5 mm2光束发散（V x H，FWHM）：典型值2 x 1 mrad2光束指向稳定性（1 sigma）：≤50µ rad水冷：≤5升/分钟（1.3加仑/分钟），10至20°C连接：1/2“重量：280公斤（617磅）尺寸（长x宽x高）：1258 x 375 x 813 mm³ （50 x 15 x 32 in.³ ）产品尺寸产品应用PLD–脉冲激光沉积薄晶圆加工激光剥离LA-ICP-MS

一、产品简介1、准分子激光器采用ArF、KrF作为增益介质，是产生大能量、重复频率输出的193nm、244nm激光输出的主要手段。短波长激光器对材料有良好的冷剥离能力，同时成像分辨率较高，广泛用于微加工、掩膜刻写、激光烧蚀等领域。德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器，主要应用于：l眼科手术l玻璃及塑料微加工l微制造l激光剥蚀lTOF质谱lFBG刻写2、ATL 提供ATLEX、专用于FBG刻写的ATLEX-FBG系列，低负荷的ATLEX-LR系列，以及非常紧凑的ATLEX-S系列。产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：l软电晕预电离l全固态高压脉冲发生器l激光头容积 3Ll全金属-陶瓷管路l集成真空泵及卤素过滤器l全风冷，主动热管理lRS485，RS232，USB以及光纤接口l可冲洗光具座l能量稳定模式二、型号及参数1、ATLEX-I 系列ATLEX-I依据重复频率的不同，分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三个型号。增益介质F2ArFKrFXeClXeF波长(nm)157193248308351高压开关技术固态开关最高脉冲能量(mJ)1101587最高平均功率(W)ATLEX-300-I0.22.44.02.01.7ATLEX-500-I0.54.06.53.02.5ATLEX-1000-IN/A810N/AN/A最高重频(Hz)ATLEX-300-I300ATLEX-500-I500ATLEX-1000-I1000脉冲宽度(ns)5 - 8光束尺寸(mm)4×6光束发散角(mrad)1×2能量稳定性(rms)3%外形尺寸(mm, L×W×H)540×470×3002、ATLEX-FBG系列ATLEX-FBG系列专为FBG刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG共300、500两个型号。增益介质ArFKrF波长(nm)193248高压开关技术固态开关最高脉冲能量(mJ)1015空间相干性(光斑竖直方向)(um)300最高平均功率(W)ATLEX-300-I2.44.0ATLEX-500-I4.06.5最高重频(Hz)ATLEX-300-I300ATLEX-500-I500脉冲宽度(ns)5 - 8光束尺寸(mm)4×6光束发散角(mrad)1×2能量稳定性(rms)3%外形尺寸(mm, L×W×H)540×470×3003、ATLEX-LR系列ATLEX-LR 系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(Laser Ablation)设计。激光为193nm输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。增益介质ArF波长(nm)193高压开关技术固态开关最高脉冲能量(mJ)12能量稳定选项输出(mJ)10脉冲宽度(ns)5光束尺寸(mm)4×6光束发散角(mrad)1×2能量稳定性(rms)3%外形尺寸(mm, L×W×H)540×470×3004、ATLEX-S系列ATLEX-S具备更小的尺寸，适合低-中负荷的应用。增益介质ArFKrF波长(nm)193248高压开关技术固态开关最高脉冲能量(mJ)1015最高平均功率(W)2.44.046最高重频(Hz)300500300500脉冲宽度(ns)5 - 8光束尺寸(mm)4×6光束发散角(mrad)1×2能量稳定性(rms)3%外形尺寸(mm, L×W×H)630×400×300如有其他需求，请联系我们。

GIGAPHOTON-准分子激光器-GT45A产品型号： GT45A产品介绍： GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。性能特点： 模块寿命延长技术降低维护频率提高生产率减轻环境负荷可选功能与配件： 可以搭载GT65A可使用的功能和技术技术参数： 产地：日本发射波长：193 nm平均输出功率：45 – 90 W脉冲能量：11.25 – 15 mJ发射频率：4,000 – 6,000 Hz光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）：≤0.5 pm数据采集：监控的方式输出方式：晶圆输出光谱带宽：可变化光谱宽度：稳定产品应用： 半导体工业

俄罗斯Optosystem CL7000准分子激光器特点 1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命 2、激光腔，电子系统一体化设计 3、功率稳定运行模式 4、预混合供气，使用简单 5、计算机控制CL7000系列技术参数型号ArFKrFXeCl波长193 nm248 nm308 nm管材料陶瓷预电离火花标准脉冲能量250 mJ400 mJ300 mJ平均功率CL 7020CL7050CL 71005 W10 W20 W8 W20 W35 W6 W15 W25 W最大重复频率CL 7020CL 7050CL 710020 Hz50 Hz100 Hz脉宽17 ns20 ns20 ns脉冲稳定度sigma 2%光斑大小6 x 20 mm6 x 21 mm7 x 22 mm光束发散角1.5 x 4.5 mrad时间抖动 2 ns尺寸, (重量)1350L x 375W x 710H мм (170 kg)冷却CL 7020CL 7050CL 7100风冷水冷（水流 1L/min）水冷（水流 3L/min）功率CL 7020CL 7050CL 7100220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA气体1 premix cylinder控制接口RS 232, DOS/Windows

ESL193HE——高能量、高功率准分子激光剥蚀系统拥有大的激光能量，能剥蚀绝大多数的材质先进的准分子激光剥蚀进样系统NWR193HE是ESL公司研发出的以高能量准分子激光器为基础的剥蚀进样系统，专门用ICP、ICP-MS、惰性气体质谱、稳定同位素质谱和多接收质谱等仪器的固体进样。激光能量均匀稳定和193nm短波长能很好地剥蚀不透明和高度透明的材质。- COMPex Pro 102高能量激光器，输出波长193nm，容易被难剥蚀材料吸收，如透明的石英材料- 能量密度 50 Jcm2 - 脉冲能量稳定性 1% RSD - 无级可调光斑 (IVA) 提供了2至300μm的光斑选择，功能调节精度为 1μm，多种放大倍数，全部由软件切换 - 旋转矩形光斑(XYR)，用于正方形和矩形光斑的剥蚀 - 独特的光束匀化器， 剥蚀坑形态和平整度都很好 - 100mm x 100mm，TwoVol2 剥蚀池 - 高锐度显示画面 - 触摸式导航显示屏，广角导航，兼容所有样品室 - 激光光源阶段式触发 - 全新ActiveView2软件（包括图层管理和高速自动聚焦）

产品详情美Coherent准分子激光器ExciStarXS200,500 详细介绍超紧凑、轻型、高度可靠的紫外线光源型号名称波长 (nm)最大脉冲频率 (Hz)最大脉冲能量 (mJ)最大功率 (W)ExciStar XS 20015720020.2ExciStar XS 500 500 0.5ExciStar XS 200193200101ExciStar XS 500 500 2.5ExciStar XS 200248200121.6ExciStar XS 500 500 4ExciStar XS 20035120050.8ExciStar XS 500 500 2ExciStar Performance at 193 nm and 248 nm/500 HzMECHANICAL SPECIFICATIONS 应用 应用工艺材料金刚石和镜片打标内雕金刚石激光视力校正热处理玻璃快速原型 塑料线剥离

仪器简介：激光剥蚀/激光烧蚀产品线源于全球行业翘楚之一的Photon Machines团队（缩写PMI），其第一代产品于1995年问世，该品牌具有丰富的激光剥蚀产品设计、研发、制造及应用经验，产品线涉及213nm固体激光、193nm准分子激光、飞秒激光系统（与ICP-MS联用），及CO2和二极管激光熔融系统（与惰性气体同位素质谱联用），此外多种高性能配件与更加直观的分析软件能够增强并完善系统的功能，足以为全球元素分析用户提供先进的激光剥蚀技术。仪器特点：&bull 适用于高速成像应用的专用准分子激光剥蚀系统&bull 300&500Hz 激光器，提供了可靠性和性能，2年保修和20亿次激发次数的质量保证&bull 气柜包括ArF预混气瓶和氦气瓶，并且和设备集成一体，具有全封闭和主动泄压排气等特点&bull 专利的ExiCheck气体交换模块可在预先设定的时间间隔内自动更换ArF气体，无需用户手动操作&bull Cobalt剥蚀池 5ms的气溶胶洗出时间光学衰减器保证低能量下的稳定性&bull 多次使用的反射镜设计，5倍的镜片寿命Geo版双偏振镜：BIO版双衰减器&bull 一类激光剥蚀系统，确保安全防护

技术参数：* 输出波长：157nm, 193nm, 222nm, 248nm, 308nm, 351nm. * 单脉冲能量：0.3-360mJ。 * 最大重复频率：60-300Hz. * 脉冲宽度： 2.5-27ns * 每次充气后，气体的工作寿命： 最高可达107 此性能指标和所用工作气体有关。 * 闸流管质保期限： 2年或3x108次工作脉冲。主要特点：* 特点：金属陶瓷腔结构，采用&ldquo 柔和&rdquo 的电晕预电离技术，更有效的腔内微颗粒过滤器。 采用长寿命闸流管，工作更稳定可靠。具有优异的光斑均匀性和脉冲工作稳定性。低消耗 KrCl 222nm 输出。 * 应用：光纤布拉格光栅制作，激光电离质谱,激光感生荧光光谱，光化学，光剥蚀和微加工，表面分析，半导体工业，时间迟豫研究，非线性光学，染料激光泵浦，脉冲激光沉积，近视眼治疗等光谱学，材料科学和医学应用。

IXION-193-SLM - 193nm单频激光器IXION-193-SLM是一款TEM00，二极管激光器泵浦，Q开关全固态，单频激光器系统，适用于光学计量学、193nm步进光学校准或者更高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。光谱带宽接近理论傅里叶极限。系统的中心波长可以按时间顺序在190nm和194nm之间选择，精度0.01nm。可选配高精度光谱仪（绝对光谱精度0.001nm）集成到系统中，以达到最佳控制激光器的调谐。应用 193nm计量学 光谱仪校准 干涉度量学准分子激光器的种子激光器特点 工业上验证的频率转换 二极管激光器泵浦 密封外壳优越的TEM00光束轮廓 相邻脉冲起伏小3% Labview驱动器 19英寸机箱电源和冷却仪可选配集成的光谱仪用于波长控制 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

Xiton单频紫外激光器IXION-193 SLM德国Xiton公司为工业和科研用户生产并提供优点突出的创新型激光器。公司的技术优势为：激光辐射光学非线性频率转换。因此可以提供从深紫外到太赫兹之间的几乎任意波长的激光输出。Xiton公司不仅提供标准产品，也提供按客户特殊要求订制的整套激光器解决方案。IXION-193是一款单频全固态激光器。应用于光学度量，193nm的校准光源，高功率ArF准分子激光器的带宽控制。该激光器的光谱带宽接近理论傅里叶极限。激光器的中心波长可以在190-194nm之间选择，选择精度高达0.01nm。选项：内部集成一个高精度光谱仪，绝对光谱精度高达0.001nm。可实现激光器最大程度的可控性。 应用领域： 193nm光学度量 光谱仪校准 干涉度量分析 准分子激光器的种子源 产品特点： 工业化应用 二极管泵浦 密封外壳 槽安装激光二极管 光学参数优良 功率稳定度高 免维护，热电控制 19寸电源和冷却 LabVIEW驱动 集成光谱仪，实现波长的在线控制（选项） 产品参数：型号IXION-193SLM波长193.368nm平均功率＞10mW脉宽＜10ns单脉冲能量1.6μJ重复频率6kHzM2＜1.6光谱线宽＜120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1光谱控制＞80GHz = 10pm = 2.6 cm-1相干长度＞1m电源85-264VAC，47-63Hz，650W激光头795×710×154mm3，74kg电源（冷却装置）600×600×600mm3，45kg

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数型 号IXION-193 SLM波 长193.368 nm平均功率10 mW脉 宽 10 ns脉冲能量1.6 μJ重复频率6 kHzM2 因子 1.6线 宽120MHz 0.015pm 0.004cm-1调谐范围80GHz 10pm 2.6cm-1相干长度1 m 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点 工业级的频率转换，密封封装 插槽安装激光二极管泵浦 优异的TEM00光束形貌 脉冲到脉冲之间波动小 免维护与热电温控管理 LabVIEW驱动 内置光谱仪用于波长实时控制单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用 193 nm波长计量 光谱仪校准 干涉测量 准分子激光器的种子注入脉冲宽度光谱带宽长时间功率稳定性光束质量

IXION-193 单频纳秒固体激光器产品描述：IXION-193是单频二极管泵浦固体激光器。用于光学计量、高功率 ArF准分子激光器带宽控制和193 nm波长步进校准。其光谱带宽接近理论傅立叶变换极限，中心波长以0.01 nm的精确度从190nm到194nm范围可调。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可以1pm以确保对激光器调谐的最佳控制。 型号IXION-193 SLM波长193.368nm平均功率 10 mW脉宽 10 ns脉冲能量1.6uJ重复频率6 kHzM2因子 1.6线宽 120 MHz== 0.015 pm== 0.004 cm-1调谐范围 80 GHz== 10 pm== 2.6 cm-1相干长度 1m特点：工业级的频率转换，密封封装插槽安装激光二极管泵浦优异的TEM00光束形貌脉冲到脉冲之间波动小免维护与热电温控管理LabVIEW驱动内置光谱仪波长实时控制应用：193nm波长计量光谱仪校准干涉测量准分子激光器种子注入

RS222S/RS244S/RS144D型干式光刻曝光光源，是科益虹源自主研发、具有完全自主知识产权的光刻曝光光源系列化产品，可满足250nm-45nm集成电路工艺节点的光刻需求，

RS222S/RS244S/RS144D型干式光刻曝光光源，是科益虹源自主研发、具有完全自主知识产权的光刻曝光光源系列化产品，可满足250nm-45nm集成电路工艺节点的光刻需求。

UDL/SHG染料激光器/倍频器脉冲染料激光器配合二倍频实现 DUV~VIS~NIR 手动调谐UDL(可调谐)染料激光器设计紧凑小巧，采用端面泵浦技术，其不同型号可提供不同的激光谱宽输出。由于尺寸小和模块化的设计，所以非常适合被集成于特定的（工业）过程控制测量系统中。集成MNL系列氮分子激光器与UDL染料激光器构成的可调谐激光系统可以提供覆盖DUV~VIS~NIR光谱区的可调谐纳秒级激光脉冲输出，激光脉冲具有千瓦量级峰值功率。这款染料激光器并不需要冷却系统，也不需要染料循环供给。通过SHG二倍频器对染料激光输出频率进行倍频，使其可调谐输出范围扩展到UV区（225~400nm）。该激光器通过调节测微头来实现BBO晶体的相位匹配。标准型号的UDL染料（可调谐）激光器针对以LTB的超长寿命工业级氮分子激光器MNL系列(337nm)作为泵浦源的配置方案做了系统优化；除此之外准分子激光器(308nm,351nm),YAG固体激光器的倍频（355nm/266nm）也可经过客户定制优化作为UDL的泵浦光源。本系列包括两个型号： UDL100——宽带输出（5~8nm）染料激光器，谐振腔由两片腔镜组成，通过更换染料池来实现调谐，具有30%的高转化效率。 UDL200——通过测微头实现调谐，输出谱宽≤2nm，其调谐元件是利特罗自准直反射光栅。该光学系统可提供如下输出： 337nm，泵源光束直接输出 400~950nm，染料激光器可调谐输出 225~400nm，染料激光器&二倍频可调谐输出主要特点（Features） 超紧凑型设计 坚固可靠 高转化效率 手动调谐 可嵌入各种激光光谱应用系统 可选项(Option) 光纤耦合输出及光纤 染料池 对于0.1nm输出线宽要 求，请参考染料激光器UDL规格参数（Specifications）UDL seriesUDL 100UDL 200Dye cellmm1010谐振腔配置mirror / mirrormirror / grating in Littrow configuration调谐范围nm400 – 950fixed wavelengths400 – 950continuously tunable泵浦激光输出波长nm337 / 308 / 355337 / 308 / 355燃料激光输出带宽nm5 – 8≤ 2转换效率(典型值)1%3020最高重复频率Hz5050光束直径?mm1.51.5输出光束发散角(v x h)mrad1 x 21 x 2质保1 year1 year外形尺寸mm115 x 250 x 170115 x 250 x 170重量kg1.51.5SHG 1UDL 100UDL 200调谐范围nm225 – 400225 – 400转化效率(典型值)2%6 6 1：related to the pump laser 2：related to the dye laser燃料激光系统典型规格参数MNL 100HP作为泵浦源MNL 100HPATM 200ATM 200-UV 1输出波长nm337.1400 – 950225 – 950输出光谱带宽nm0.122脉冲能量（典型值）μJup to 225402.4峰值功率kWup to 75140.8最高重复频率Hz303030输出脉冲持续时间（脉宽FWHM,典型值）ns333技术规格升级变更恕无法通知应用领域（Application） LIF光谱 TRF光谱 时间分辨光谱 MALDI-TOF-MS 医学药学领域的分析与研究 OEM光谱测试

一、简介 德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换，其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。 多数Xiton激光器具备TEM00模式输出，保证优越的聚焦性能，适合直写等应用；单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征，长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器，固态激光器体积小、寿命更长，维护成本更低。 二、产品系列 1、IXION 193深紫外激光器 IXION 193为全固化单频激光器，其线宽达到变换极限，可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。型号IXION 193 SLM波长193.368nm （可选185-194nm）平均功率10mW脉冲宽度8 - 12ns单脉冲能量1.6uJ重复频率1-15kHzM21.6线宽80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1相干长度2m调谐范围80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1 典型应用 • 光谱仪校准 • 光刻 • 干涉仪 • 193nm计量测量 • 准分子激光器种子源 2、SLM系列单纵模激光器 SLM系列提供1064nm，532，355，266，213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。型号SLM-213SLM-266SLM-355SLM-532SLM-1064波长213nm266nm355nm532nm1064nm平均功率100mW500mW2W4W10W脉冲宽度6-8ns8-10ns10-12ns10-15ns15-25ns单脉冲能量10uJ50uJ200uJ400uJ1mJ重复频率1-15kHz1-20kHz1-15kHz1-15kHz1-15kHzM21.61.71.51.21.2线宽80MHz80MHz60MHz60MHz40MHz相干长度1.5m1.8m2.5m2.5m3.8m脉冲抖动2.5%2.0%2.0%1.0%0.4% 典型应用 • 激光雷达 • 干涉计量 • 光刻 • 光纤布拉格光栅（FBG）制造 • 光谱仪校准 • 计量学 • 全息 3、EXCITE系列 EXCITE系列尺寸较SLM系列为小，提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。型号EXCITE 266EXCITE 355EXCITE 532EXCITE 1064波长266nm355nm532nm1064nm平均功率150mW400mW2.5W6W脉冲宽度10-15 ns14-18 ns15-20 ns20-30 ns单脉冲能量7.5uJ20uJ125uJ300uJ重复频率1-30kHz1-30kHz1-30kHz1-30kHzM21.71.31.21.2线宽60MHz50MHz50MHz30MHz相干长度2.5m3.0m3.0m5m 典型应用 • Wafer检测 • 光致发光 • 干涉测量• 拉曼光谱• 光纤布拉格光栅（FBG）制造• 光谱仪校准• 计量学• 全息• 干涉直写4、IMPRESS 213 IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用，213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器，具备更佳的寿命、稳定性，更低的能耗和热负荷，适用7×24工业环境运行。平均功率150mW脉冲宽度6-8ns单脉冲能量15uJ重复频率1-30kHzM21.6 典型应用• FBG刻写• 钻石打标• 波长敏感处理• 立体光刻• 半导体检测• 替代倍频氩离子激光器• 光致发光5、IMPRESS 224 IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出，满足部分对波长有特殊要求的应用（如增强拉曼光谱、痕量气体分析等）。平均功率300mW脉冲宽度9ns单脉冲能量30uJ重复频率0.1-30kHzM21.6 典型应用• FBG刻写• 波长敏感处理• 立体光刻• 显示面板修复• 微加工• 半导体检测• 替代倍频氩离子激光器• 光致发光6、IDOL系列 IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频（671nm）、三倍频（447nm），其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪，而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。型号IDOL 1342IDOL 671IDOL 447波长1342nm671nm447nm平均功率4.5W2W1.5W脉冲宽度12-26 ns10-12 ns11-13 ns单脉冲能量300uJ130uJ100uJ重复频率1-50kHz1-30kHz1-30kHzM21.21.21.3 典型应用• 显示面板修补• 隐形划片• 波长敏感处理• 硅材料处理• 微加工

紫外（UV）飞秒激光放大器。型号：LLG 50 LLG 50型准分子激光放大器设计用来放大倍频超短脉冲激光器产生的激光脉冲。利用此装置可以产生亮度极高的紫外激光脉冲。根据前端248nm注入种子激光能量的不同，可以采用双程或3程放大几何光路。LLG 50系统包含一套同步控制组件以保证种子激光和放大器之间长期可靠的精确时间同步。表: 技术指标参数 波长248 nm单脉冲能量50 mJ (for 50 μJ seed pulse energy @ 248 nm)抖动± 2 ns (relative to trigger pulse)光斑尺寸36 x 36 mm2 光束质量2 x diffraction limited (for M^2 = 1 at the input)产品样本: LLG 50 - 型紫外（UV） 超快放大器

脉冲激光沉积系统PLD-400是高校和科研院所常用的氧化物和多组分薄膜沉积设备,该设备具有简单可靠、运行稳定的特点。脉冲激光沉积系统PLD-400标配6个1inch靶材,靶材可以原位更换,配合RHEED和准分子激光器可以实现高质量薄膜的沉积。晶圆尺寸：2 inch极限真空：5×10-9mbar温控：RT-1200°C靶台数量：6个1inch 靶材，公自转设计激光源：可选准分子激光器可选：低温泵、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单、高压RHEED等

凌美贸易是美国 NOVA GAS Technologies 的亚太区总代理，主营进口激光气体，主要应用于半导体、医疗、科研检测服务等行业。优势： 1.保质期5年，充分满足实验室的使用周期 2.已给众多高校、科研、检测、半导体公司供货，激光能量稳定 3.价格已与国产气体贴近，预算可控 4.已获得多家设备商认证（Coherent、Teledyne Photon Machines、Cymer、Gigaphoto等）主营以下产品，获取更多详情，请联系业务人员%F2+%Ar/Ne %F2+%Kr/NeppmXe+%Ar/Ne %Kr/Ne%HCL+H+Ne ArF KrF XeCl