主动式消磁器

主动式消磁器 SC24 Plus 双机强化版 世界级消磁解决方案品牌 Spicer Consulting，专注为客户提供全方位的环境磁场检测与改善办法。新一代主动式消磁器SC24 Plus intelligent system双机强化版，除拥有强大主动消除EMI磁场干扰功能外，再升级为全方位环境智能监控系统，让您享有『环境量测与改善双重需求』。【先进的主动式消磁技术及警示系统 – 双机Leve up】不需破坏设备即可有效消除环境磁场！●同时解决DC直流电与AC交流电造成的EMI干扰问题●最高可消除5000 Hz磁场频率●小于100微秒(µ s)的超高速动反应时间●可选择以特斯拉(Tesla)或高斯(Gauss)为单位●即时环境异常警报功能，维持重要设备正常运作●高弹性客制化，实验室空间建置及单一设备防护皆适用消磁实例比较消磁器开启前后影像变化/效果 【智能监控更全面 – 双机Leve up】提升敏感设备精准度、掌握最佳成像品质！●即时智能监测与分析报告，随时掌握准确的环境数据●24H智能监测功能，不间断侦测磁场变化、震动频率和相位●同时显示多种监控报表，环境轨迹数据一目了然●除了磁场侦测，增加噪音、震动、温度、湿度高达5种干扰源选择新升级主动式消磁器SC24 Plus 双机强化版领先业界的Spicer Consulting SC24 Plus，提供全方位智能环境改善解决方案，从环境磁场消磁 → 自动回应 → 24H监控监测 → 异常警报通知 → 多款监控分析报表，一条龙服务打造最佳零干扰环境！勀杰科技也提供一站式服务，从环境改善到样品前制备，再到电子显微镜解决方案一应俱全，加上深耕服务于台湾及全东南亚地区的电镜影像解决方案经验，可以节省沟通成本、增加效率，单一窗口服务可立即提供各式电镜影像相关专人技术咨询与协助。产品规格● 型号：SC24 Plus 双机强化版● 消除磁场：AC交流磁场 ＆ DC直流磁场● AC消除磁场范围：2.5 Hz – 5000 Hz● DC消除磁场范围：DC – 5000 Hz● 反应时间：小于100微秒(µ s)的反应时间● 监控项目：磁场(AC/DC同时监控)、震动、噪音、温度、相对湿度 (*部分选配)● 监控时间：24HR不间断监控● 报表种类：最多可同时显示14种的专业报表数据● 操作介面：触控式LCD彩色面板● 其他特点：具远端操作即时监控安装实例● 针对透射电镜、GIF或新建实验室● 其他特点：具远端操作即时监控针对电镜周围或电镜屏蔽罩内

主动式消磁器/Spicer consulting SC22机台特色:◆ 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求◆ 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内◆ 面板显示交流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)◆ 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器 ◆ 使用交流感测探头针对50/60Hz交流电源产生的磁场干扰或主动式消磁器/Spicer SC22安装实例:针对透射电镜、GIF或新建实验室针对电镜周围或电镜屏蔽罩内安装实例:比较消磁器开启前后影像变化/效果产品品牌：Spicer Consulting 产品代理商：勀杰科技代理商公司介绍勀杰科技有限公司创立于2009年，代理先进的『电镜影像』相关精密仪器设备，加上技术团队多年的丰富经验与能力，为大中华地区及亚太地区高科技研发单位，提供奈米影像相关完整解决方案、提升客户制程及研发能力，也期许能成为客户忠实的商务伙伴，并促进人类高科技发展。 勀杰科技同时也是Spicer consulting 原厂的國內代理商。主要是基于协助解决客户端之电子显微镜、电子束曝光显影系统和聚焦离子束显微镜因外部环境干扰，包含磁场、振动、噪音所造成影像解析能力下降及量测结果不准确的问题。现取得英国大厂主动式消磁器在大中华区以及亚太区总经销，积针对海峡两岸三地的实验室、大学和半导体制造工厂之高规格电子显微镜设备，提供全面的技术支持及解决方案。同时提供电镜周边设备仪器，目获得匈牙利原厂离子减薄仪亚太区总经销，未来我们将提供更多元的实验室相关设备，与您一同成长!服务项目＊实验室环境干扰解决方案＊实验室环境长期监测分析＊样品制备处理设备＊各类型TEM Holder提供

主动式消磁器/Spicer consulting SC26机台特色:◆ 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求◆ 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为10微秒以内◆ 面板显示交流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)◆ 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器 ◆ 解决9000 HZ的磁场干扰安装实例:比较消磁器开启前后影像变化/效果产品品牌：Spicer Consulting 产品代理商：勀杰科技代理商公司介绍勀杰科技有限公司创立于2009年，代理先进的『电镜影像』相关精密仪器设备，加上技术团队多年的丰富经验与能力，为大中华地区及亚太地区高科技研发单位，提供奈米影像相关完整解决方案、提升客户制程及研发能力，也期许能成为客户忠实的商务伙伴，并促进人类高科技发展。 勀杰科技同时也是Spicer consulting 原厂的國內代理商。主要是基于协助解决客户端之电子显微镜、电子束曝光显影系统和聚焦离子束显微镜因外部环境干扰，包含磁场、振动、噪音所造成影像解析能力下降及量测结果不准确的问题。现取得英国大厂主动式消磁器在大中华区以及亚太区总经销，积针对海峡两岸三地的实验室、大学和半导体制造工厂之高规格电子显微镜设备，提供全面的技术支持及解决方案。同时提供电镜周边设备仪器，目获得匈牙利原厂离子减薄仪亚太区总经销，未来我们将提供更多元的实验室相关设备，与您一同成长!服务项目‒ 实验室环境干扰解决方案‒ 实验室环境长期监测分析‒ 样品制备处理设备‒ 各类型TEM Holder提供

主动式消磁器 解决实验室交流磁场、直流磁场干扰！ 机台特色: ◆ 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求◆ 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内◆ 智能式的触控面板具备自动参数设定及直流磁场重置功能◆ 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)◆ 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器 ◆ 使用交流感测探头针对50/60Hz交流电源产生的磁场干扰或◆ 使用直流感测探头针对电车产生的直流干扰或50/60Hz的交流磁场干扰安装实例:针对透射电镜、GIF或新建实验室针对电镜周围或电镜屏蔽罩内安装实例:比较消磁器开启前后影像变化/效果

主动式外部磁场干扰消除器 解决实验室交流磁场、直流磁场干扰！ 机台特色: ◆ 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求◆ 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内◆ 智能式的触控面板具备自动参数设定及直流磁场重置功能◆ 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)◆ 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器 ◆ 使用交流感测探头针对50/60Hz交流电源产生的磁场干扰或◆ 使用直流感测探头针对电车产生的直流干扰或50/60Hz的交流磁场干扰安装实例:针对透射电镜、GIF或新建实验室针对电镜周围或电镜屏蔽罩内安装实例:比较消磁器开启前后影像变化/效果

MULLER-BBM电镜附件及外设MACOM II 主动消磁器 电磁屏蔽 德国MBBM仪器介绍：Müller-BBM的MACOM II，只需相对较低的成本，即可为您的系统实现zui佳的磁场条件。不仅适用于普通实验室，而且还适用于金属屏蔽室或金属屏蔽仓的安装。MACOMII易于操作且几乎无需维护。MACOMII可自动补偿干扰磁场。MACOMII有一个显示屏用于操作系统并监控其功能，可查看和调整所有参数。MACOMII可通过内部网或互联网从外部计算机进行控制。根据要求，Müller-BBM可提供全球远程控制和监控。MULLER-BBM电镜附件及外设MACOM II 主动消磁器 电磁屏蔽 德国MBBM专利技术：专利传感器使系统能够在0HZ到50千HZ之间的非常大的频率范围内工作。因此，能zui有效地减少非常缓慢的磁场波动，例如有轨电车或车辆引起的波动，或由50赫兹的能源工厂引起的磁场及其相应的谐波引起的波动。也可以将非常快的磁场波动完美地zui小化，例如建筑物供电网络中的开关操作所产生的波动。MULLER-BBM电镜附件及外设MACOM II 主动消磁器 电磁屏蔽 德国MBBM的应用：扫描电子显微镜和透射电子显微镜电子束光刻系统磁场共振断层扫描系统任何需要高磁场稳定性的装置MULLER-BBM电镜附件及外设MACOM II 主动消磁器 电磁屏蔽 德国MBBM原理磁场是矢量场。在相反方向上，相等幅度的磁场可以减少甚至几乎抵消矢量场。因此，测量主要磁场，然后通过电流传导线圈的布置产生匹配的相对磁场。由于磁场根据干扰的特定来源（例如直流电动车，移动金属物体如电梯、钢门或附近的机动车辆，开关操作）快速或缓慢变化，因此MACOMII可在很宽的频率范围下运行。MULLER-BBM电镜附件及外设MACOM II 主动消磁器 电磁屏蔽 德国MBBM技术参数

UNICORN α200系列低频消磁系统（EMI Canceling System，又称消磁器）， 是在 G3000系列基础上研发的新一代产品， 采用高精度纯直流测量/反馈 /控制电路， 适用于改善 300Hz 以下的低频电磁干扰环境。本特别适用于各种电子显微镜、光刻机的改善环境磁场，消除低频电磁干扰。系统特点●针对 50Hz 工频磁场有大约 38dB 的衰减率。●测量及显示部分由单片机控制， 直接检测及显示短时zui大峰峰值（ 即 p-p 值，间隔约为 2 秒）。●关键部件（如电源变压器、稳压电路、功率 PID 等）均依照深度冗余原则标准设计，确保系统可以无限时长时间连续工作。●为保证快速响应，全部闭环检测/控制回路均为纯直流模块构成。●组合一体化三轴磁场探测器即可捆扎固定在直径 10～300 毫米的垂直管状体上，又可以直立放置在任何不易跌落的平面上。●由 3/6 个平面消磁线圈构成均衡三维反相消磁空间（ 为获得zui好的场强均匀度， 应使得线圈包围空间尽量大，一般约为 60～200m技术参数指标zui低磁场强度： 0.05mGauss p-p消磁性能： 1～4mGauss p-p 时 0.05～0.20mGauss p-p4～8mGauss p-p 时 0.20～0.60mGauss p-p8～12mGauss p-p 时 0.6～1.1mGauss p-p（ 以上均为靠近探测器处数据）有效工作距离：大于 6 米场强均衡性：大于 4.5 米系统能耗：一般工况小于 8W，zui大不超过 20W（ 单相 220V）消磁线圈： 14 芯三线圈或六线圈，标准长度分别为 14m、 16m、 18m，控制器重量： 4kg探测器重量： 0.7 kg消磁线圈重量： 3.5kg（标准三线圈）或 7 kg（标准六线圈）自动功率/电流限制功能：环境磁场大于20mGuass，自动限制消磁电流，依旧具备消磁效果实际消磁效果对比（ 200kx）消磁前（左）VS消磁后（右）

主动式双消磁系统 2X SC24 是针对透射电子显微镜(TEM)等高精密设备及高梯度磁场的严苛环境而设计！在不互相干扰的情况下，同时运作两台主动式消磁器(四颗磁场探头)，完美解决 TEM 从 Source、 Stage 到 Gif 各不同高度所需的磁场严苛标准。适用于改善环境的高磁场强度问题，并能同使处理AC/DC磁场干扰 。 主动式消磁技术是透过三轴线圈安装模式，在侦测到磁场干扰时便自动产生反向磁场来抵销，以稳定相关设备的磁场环境，恢复机台应有的高解析成像结果。产品特点● 专门解决精密设备位置高度差异的环境磁场梯度问题 ● 包含两台SC24主动式消磁器，四颗磁场探头、两组X,Y,Z三轴线圈系统，以相互作用最小干扰的情况下安装● 能同使处理AC/DC磁场干扰，AC消除磁场范围：2.5 Hz – 5000 Hz；DC消除磁场范围：DC – 5000 Hz● 小于100微秒(µ s)的超高速动态反应时间● 可选择以特斯拉(Tesla)或高斯(Gauss)为单位● 触控式LCD彩色面板，具远端操作即时监控功能消磁效果(实例)：外部环境的磁场干扰易影响电子显微镜的成像结果，AC交流磁场干扰会使影像出现锯齿状的尖锐边缘；DC直流磁场干扰会使影像出现波浪状的线条。经主动消磁技术改善外部磁场问题后，前后成像明显有差异：双消磁线圈 建置架构：主动式双消磁系统可拆分为顶部与底部两组线圈，每组线圈各搭配两颗AC/DC磁场探头，安装方式是将线圈回路布于实验室的天花板、墙面、地板。要注意的是，上下两组线圈和磁场探头的位置皆不能随意互换，以保证两台主动式消磁器在不会相互干扰的情况，可精准的针对不同高度位置校正磁场。 双消磁系统 应用案例：湖北大学材料科学与工程学院的新建实验室所在环境其直流磁场将近4000nT左右，而实验室内的Spectra 300球差电子显微镜的磁场要求需在20nT以内。最终主动式双消磁系统 2X SC24 In Room达成这个具挑战性的任务。 安装实例 X,Y,Z轴线圈回路布置在Spectra 300球差电子显微镜分别安置四颗感测器于不同的高度位置

SC24外部磁场消除系统概述电子显微镜必须操作在符合自身对周围环境的交直流磁场规范的场地。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC24主动式磁场消除系统能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升电子显微镜的影像品质。SC24主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产生相对的磁场以改善电镜周围的磁场干扰。感测探头量测改善后的磁场强度，并即时反馈回控制系统以调整回路增益值。系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。 ? 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求? 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内? 智能式的触控面板具备自动参数设定及直流磁场重置功能? 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)? 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器? 使用交流感测探头针对50/60Hz交流电源产生的磁场干扰或:? 使用直流感测探头针对电车产生的直流干扰或50/60Hz的交流磁场干扰? 控制器具有磁场产生测试功能? 具备乙太网路及USB连接埠选项以提供远端操作及监控 产品描述 SC24是第四代磁场消除系统，其设计主要是改善外部磁场干扰以提高高解析度的电子显微镜或电子束量测设备的效能。SC24是继先前SC20的加强版，而SC20在全世界的安装数量已超过400台。消磁方法是产生一个宽频类比的反向回馈。内部微电脑控制系统产生反向磁场，并藉由数位信号处理量测磁场强度。其中一个线圈安装在电子显微镜房间的安装SC24可以安装1或2个交流探头或2个直流探头。宽频带的直流感测探头主要是针对周遭环境有直流磁场干扰，其主要是电车或火车所产生的干扰。典型针对SEM磁场干扰改善是提供一个磁场感应探头并放置在靠近电子枪底部，针对TEMs是提供2个探头并放置距离电子枪左右各300mm及高度在样品杆位置做改善。SC24并不会对整个房间做改善，它只会在感应探头附近做磁场削减。磁场削减的大小及范围主要是根据磁线圈的设计及产生的反向磁场均匀性来决定的。SC24的使用者介面是采用LCD触控式面板，下方的面板显示典型的1或2个宽频的直流感测探头并会在磁场设置完成后显示“磁场OK”。 产品安装展示主要的设计安装，针对大型所有新建的电子显微镜实验室。双回路线圈的尺寸大小是经过计算以达到产生均匀反向磁场。SC24的规格主要是参照此安装设计。我们通常针对不同房间尺寸提供客制化的线圈，SC24只能正常工作在Spicer consulting客制化的线圈。多芯线圈安装以红、绿、蓝表示，但实际安装线圈颜色为黑色或灰色且通常放置在白色塑胶线槽里。下方的线圈安装部分则是针对新设置的TEM实验室且有安装Gatan imaging filter,我们建议将线圈x、y轴线圈埋在地板下面或高架地板下面。针对既有之电镜做磁场改善安装，将线圈埋在地板下不是一个好选择,我们会建议将x、y 轴线圈安装在地板上并用橡胶线槽覆盖保护线圈，但此安装方式会影响GIF 在x、y 轴的磁场改善效能。最简单、低成本的安装。这通常不需要将线圈安装在地板上，因为线圈离电子枪较远，所以对于外部磁场动态变化即可消减的磁场强度效能则降低。针对扫描式电子显微镜则大多采用图5的安装，因为电子枪较小，所以只要产生较小的反向磁场加上找寻最佳化的感测探头位置还是可以达到最佳磁场改善的能力。 SC24搭配 SC24/AC感测探头可提供从2.5Hz到5kHz有效的磁场改善，图8显示频率在60Hz时最大消磁因子为50倍。SC24搭配 SC24/D+AC感测探头可提供从DC到5kHz有效的磁场改善，图8显示针对直流磁场最大消磁因子为400倍,频率在60Hz时最大消磁因子为100倍。 “SC24/ DC+AC探头” 包含了小型的亥姆霍兹线圈且其周围围绕了磁场感应元件。他们主要是补偿周围磁场对直流元件的影响，其中也包括地磁的影响。微电脑重置主要是针对感测探头做零点校正及记忆在线圈电流的数值去设定x、y、z在感测探头输出为0；重置时间大约1秒。如果感测探头被移位则必须重置探头零点设定。SC24提供了两个感测探头输入， 它可以工作在一个探头或两个探头下， 但探头种类必须是相同的， AC或DC当SC24侦测到探头种类之后会在回馈回路中选择正确的滤波器， 如果两个不同种类的探头接上控制器， 则会在屏幕上显示错误探头信息。当连接两个探头时SC24会自动启用混合器功能。两个探头分别安放在电子枪旁边,混合器会计算加权比例来调整探头电流输出，并在两个感测探头中间产生一个可调变的虚拟感应器。透过观察电子显微镜的影像品质来调整最佳的混合器参数，混合器的磁场数值会显示SC24的屏幕上。当电子显微镜改变倍率或影像模式时，通常会产生一个很大的直流磁场变化，而且会对直流探头产生过载的影响，所以我们通常将探头摆放距离电子枪较远但消磁效能佳的位置。SC24/AC 探头会自动对直流准位做调整，但会短暂过载几秒钟，过程中也许会造成影像飘移。SC24/DC+AC主要是对直流磁场做响应，所以当直流磁场改变并对探头造成过载时，则需要对新的周遭磁场做归零。SC24有自动重置归零的功能。 SC24 内建磁场产生器以产生测试磁场磁场产生器可以模拟各种不同频率及波形的磁场来对高解析的电子显微镜做测试。测试的波形可以是弦波或方波，并可以利用如下图的调整来设定不同的频率。方波的最小低通滤波频率为1.6kHz，可自由选择要测试的方向轴可以同坐消磁及生磁测试(for experts only)。自动重置按键可以启用或停用，也可以设定其灵敏度，当此功能被启动时会在屏幕上显示。自动重置设定也可以设定反应误差,一般出厂设定为500nT 到5 秒。 网路SC24 具备USB 及乙太网路。未来可藉由客户的电脑来进行软件的安装，软件大致包含远端操控SC24 及长时间对环境磁场变化的监控。 规格单位 Gauss, TeslaFIELD CANCELLINGCo-ordinates X, Y, Z rectangular CartesianComponents cancelled X, Y, Z fields外部动态最大消磁能力 (X & Y)NOTE 1 4.8 μT峰峰值(installation Fig. 3) 外部动态最大消磁能力 (Z)NOTE 1 3.3μT峰峰值????(installation Fig. 3) 1.采用 SC24/AC探头消磁因子 50 X at 50/60 Hz 带宽2.5 Hz - 5000Hz消噪上限(0.5 to 5000Hz) 0.6 nT RMS total2.采用 SC24/DC+AC探头周遭直流磁场强度 ± 200 μT max??消磁因子 100 X at 50/60 Hz 400 X at DC (incremental) Bandwidth DC - 5000 Hz 消噪上限(DC to 5000Hz) 0.7 nT RMS total直流漂移NOTE 3?? 2 nT/ 24 hours 磁场量测种类 及时磁场量测 交流有效值峰峰值 Display DC incremental (Sensor SC24/DC+AC)LCD触控萤幕 详见产品叙述探头动态工作范围 4.2 μT峰峰值精准度NOTE 2 ± 1.0 % of reading ± 1 nT X, Y, Z real time field outputs刻度 10 V/μT (1.0V/mG)范围 ± 12 Volts来源阻抗值 10 k连接头 3 x BNC带宽 25 Hz - 10 kHz (Sensor SC24/AC DC - 10 kHz (Sensor SC24/DC+AC) 测试磁场产生器正弦波 AC line frequency (50/60Hz) - line locked方波 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, Hz电源 120/240V 50/60Hz, 100VA

产品介绍：&bull 产品名称：电镜屏蔽/主动消磁系统 &bull 产品型号：SC20&bull 品 牌：英国Spicer Consulting &bull 产 地：英国产品参数：&bull 通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能&bull 消除和监测交直流磁场&bull 简单的&ldquo 一劳永逸&rdquo 式操作，连续实时补偿磁场&bull 磁场跃变响应速度：100 &mu s以内&bull 交流或直流磁场传感器&bull 消磁器动态工作范围为(X & Y轴) 为=40 mG (4 &mu T ) pk-pk, Z -轴为=30mG (3.0&mu T) pk-pk&bull 交流磁场可消除范围：0.5 Hz to 5 kHz；市电50 Hz（典型）的交流背景磁场可被改善75倍&bull 直流磁场可消除范围：DC to 5 kHz；直流背景磁场可被改善200倍&bull 完整的X, Y, Z三轴消磁系统&bull 可消除场强高达80 mG (8.0 &mu T) pk-pk&bull 消磁器显示系统需为数字LCD显示面板,其参数设定及操作皆可透过面板按钮作控制及切换&bull 高灵敏度传感器，可精确反馈环境磁场变化；支持多路传感器，用于抵消TEM透射电&bull 镜和CD关键尺寸电子束显微在线检测设备的环境磁场&bull 网络监控（选项）&bull 本设备为免校正仪器,其内部的自我归零功能会自动校正 产品特点：&bull 当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移，从而导致设备分辨率和测量精度的减低。&bull SC20系统由磁场控制单元、一两个交流或直流磁场传感器以及装在待消磁房间里的三根多芯电缆（三维空间线圈）组成，是一种三维的交直流磁场补偿系统。&bull 传感器测量空间环境中交直流磁场及其变化量，磁场控制单元以实时负反馈环路控制方式调节三个线圈中的电流来创建一个与环境磁场变化相反的磁场信号，抵消环境磁场给电子束设备带来的影响，恢复设备应有的分辨率和精度。&bull 这是一个动态系统，对磁场跃变自动响应的速度在100微秒以内。市电（50/60 Hz）频率的交流背景磁场可被消除至75分之一；直流背景磁场可被消除至200分之一。

主动消磁系统/电镜屏蔽+SPICER CONSULTING 概述： 现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降。SC22系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。 SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。 系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。AC线路场（50/60 Hz）减 少50 x。 SC22无法消除电梯、火车和交通等直流电场 变化干扰源。若需要同时消除交流磁场与直 流磁场的话可以参考另一款SC24主动式消磁器。 ? 提供稳定磁场环境，保护电子束技术方面的 机台不受影响 ? 针对环境全时段监控及主动消除交流电磁场 ? 低消耗高性能系统 ? 智能用户界面自动设定系统 ? 在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流电场干扰 ? 包含全3轴（X，Y，Z）系统 ? 最大能消除高达60 mG（6.0μT）的pk-pk 范围 ? 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒 以内 ? 具备USB连接埠选项提供监控 产品安装： SC22主动式消磁系统的线圈由一个完整回路和一段连接控制器的线路组成。完整回路创建一个区域的消除磁场，而另一段连接控制器的线路(此段没有消除磁场的功能)则连接到磁场控制器。完整回路如上页图1所示，以1个红色，绿色和蓝色代表X、Y、Z轴。SC22线圈的X轴和Y轴完整回路长16米，Z轴回路则为20米长。若客户端有个别需求，可以定制更长的线圈来解决。 上页图1的安装适用于大多数SEM机台，电子束柱通常距离房间墙壁1.5米。可以消除的最大场域（动态范围）取决于完整回路线圈的尺寸和相对于电子束柱的位置。使用5米的X轴和3米的Y轴完整回路以及距离壁1.5米的墙壁，动态范围约为25 mG（2.5μT）pk-pk。 为了严谨地指出SC22主动式消磁器的表现，我们使用一个虚拟房间来显现SC22安装细节作为参考，如图2中所示。电子束柱在3米×5米 X和Y轴完整回路（在电子束柱的上方和下方交叉）和5米×5米 Z轴完整回路的中心。第6页的SC22规格适用于图2的安装方式。 这些被推荐使于配有Gatan成像滤光片（GIF）的TEM也可搭配双回路尺寸的亥姆霍兹线圈。建议客户咨询Spicer Consulting技术支持人员，以设计出最符合客户需求和安装这些特殊线圈。 当房间过大或没有局部墙壁在附件时，定制的框架可用于安装亥姆霍兹线圈，如下页图3所示。但框架限制了机台操作空间，因此只针对无法安装线圈在房间的地方使用。安装在框架的线圈消磁效能可能不如整间房间安装线圈的设计。 产品规格单位 Gauss, Tesla, (switchable) FIELD CANCELLING Components cancelled X, Y, Z fields 外部动态最大消磁能力 (X & Y)NOTE 1 60mG (6μ T) 峰峰值 (installation Fig. 2) 外部动态最大消磁能力 (Z)NOTE 1 45mG (4.5μ T) 峰峰值 (installation Fig. 消磁因子 50 X at 50/60 Hz 带宽 2.5 Hz - 5000Hz 系统1/f噪声限制低于0.1Hz 100 μG (10 nT) 峰峰值 系统宽带噪声限制 1μG (100pT) RMS 5 Hz -20 kHz 磁场测量和监测系统 种类显示屏幕 3.5英寸LCD TFT彩色面板 显示测量值 X轴感测探头 (每0.4秒更新一次) Y轴感测探头 Z轴感测探头 总向量磁场与感测探头有关 测量带宽 5 Hz -20 kHz 可选读数单位 mG RMS mG pk-pk μT RMS μT pk-pk nT RMS nT pk-pk 显示范围（读数） X, Y, Z pk-pk 0 - 40.000 mG (0 - 4.0000 μT) (0 -4000.0nT) X, Y, Z RMS 0 - 20.000 mG (0 - 2.0000 μT) (0 - 2000.0 nT) TOTAL pk-pk 0 - 69.282 mG (0 - 6.9282 μT) ( 0 - 6928.2 nT) TOTAL RMS 0 - 34.641 mG (0 - 3.4641 μT) ( 0 - 3464.1 nT) 精确度 ± 1.0 % of reading ± 1μG (100 pT) 感测探头宽带噪声限制 1μG (100pT) RMS 磁场稳定指示灯 当 X & Y & Z轴磁场皆 250 μG RMS，会显示绿色OK指示灯 跳闸指示灯 如果X、Y、Z轴任一轴上的磁场250μGRMS，跳闸指示灯会亮起， 如果磁场250μGRMS，在60秒后跳闸指示灯会消失。 X，Y，Z轴即时磁场输出刻度 1.0 V/mG (10V/μT)范围 ± 12 Volts来源阻抗值 10 k 连接头 3 x BNC带宽 5 Hz -20 kHz电源 120/240V (+10% -20%) 50/60Hz

UNICORN α500系列低频消磁系统（ EMI Canceling System，又称消磁器），DC与AC 双模式主动消磁器，采用高精度纯直流测量/反馈 /控制电路， 适用于改善 1000Hz 以下的低频电磁干扰环境。本特别适用于各种电子显微镜、光刻机的改善环境磁场，消除低频电磁干扰。系统特点●针对 50Hz 工频磁场有大约 40dB 的衰减率。●针对 250Hz 工频磁场有大约 20dB 的衰减率。●测量及显示部分由单片机控制， 直接检测及显示短时最大峰峰值（ 即 p-p 值，间隔约为 2 秒）。●关键部件（如电源变压器、稳压电路、功率 PID 等）均依照深度冗余原则标准设计，确保系统可以无限时长时间连续工作。●为保证快速响应，全部闭环检测/控制回路均为纯直流模块构成。实际消磁效果对比（ 200kx）消磁前（左）VS消磁后（右）技术参数指标最低磁场强度： 0.05mGauss p-p 零点噪声干扰：≤0.7nT RMS （0.1Hz＜f＜1000Hz）；温漂：≤0.1nT/K；消磁性能： 1～4mGauss p-p 时 0.05～0.20mGauss p-p4～8mGauss p-p 时 0.20～0.60mGauss p-p8～12mGauss p-p 时 0.6～1.1mGauss p-p（ 以上均为靠近探测器处数据）有效工作距离：大于 6 米场强均衡性：大于 4.5 米系统能耗：一般工况小于 8W，最大不超过 20W（ 单相 220V）消磁线圈：六线圈 控制器重量： 8kg探测器重量： 0.7 kg消磁线圈重量：7 kg（标准六线圈）自动功率/电流限制功能：环境磁场大于20mGuass，自动限制消磁电流，依旧具备消磁效果

SC24电子显微镜必须在包括地球场以及电力网络和电机辐射场的环境磁场中工作。当环境场发生变化时，显微镜中的电子束会偏转，从而导致分辨率下降和图像失真。SC24系统通过动态创建几乎相等且相反的场变化来稳定场，从而大大提高了显微镜性能。 SC24系统包括一个磁场控制单元，一个或两个磁场传感器以及三根正交轴多芯电缆，它们安装在要消除磁场的房间中。SC24可以驱动单回路和双回路机房尺寸的电缆。它也适用于亥姆霍兹电缆，该电缆已连接到圆柱周围的框架上。 控制单元中的三个功率放大器驱动电流通过电缆，以产生与环境场变化相反的场。 磁场传感器测量所得的磁场，实时负反馈通过系统的环路增益减小了环境磁场。该系统是动态的，可在100 μs内自动响应磁场变化。功能介绍：使电子显微镜的环境磁场“正常”在100 μs内适应场变化触摸屏智能用户界面，具有自动设置和直流复位功能可选择Tesla或Gauss单位同时进行AC和DC现场显示混合双传感器以在EM柱内创建虚拟传感器使用交流传感器消除50/60 Hz交流线路磁场，或：使用直流传感器消除电车和火车的直流场和50 / 60Hz内置测试场发生器以太网和USB端口用于远程操作和监视

电镜屏蔽/主动消磁系统 SC22 产品介绍：&bull 产品名称：电镜屏蔽/主动消磁系统&bull 产品型号：SC22&bull 品 牌：英国Spicer Consulting &bull 产 地：英国 产品参数：&bull 主动消磁系统通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能&bull 主动消磁系统可以消除和监测交流磁场&bull 自动运行，连续实时补偿磁场&bull 主动消磁系统交流磁场可消除范围：0.5 Hz to 5 kHz；市电50 Hz的交流背景磁场可被改善50倍&bull 完整的X, Y, Z三轴消磁系统&bull 主动消磁系统可消除场强高达60 mG (6.0 &mu T) pk-pk&bull 主动消磁系统磁场跃变响应速度：100 &mu s以内&bull 主动消磁系统拥有智能用户界面，显示系统需为3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其参数设定及操作皆为微电脑控制&bull 当X & Y & Z 轴磁场检出&bull 主动消磁系统拥有高灵敏度传感器，可精确反馈环境磁场变化；支持双传感器，用于抵消TEM透射电镜和高突变环境磁场&bull USB监控端口&bull 主动消磁系统为免校正仪器,其内部的自我归零功能会自动校正&bull 低成本高性能系统 产品特点：&bull 当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移，从而导致设备分辨率和测量精度的减低。SC22系统是一种三维空间内的交流磁场补偿系统，通过传感器感知空间环境中交流磁场及其变化量，控制器通过三维空间线圈来提供反磁场，抵消环境磁场给电子束设备带来的影响，恢复应有的分辨率和精度。

当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移，从而导致设备分辨率和测量精度的减低。SC20系统由磁场控制单元、一两个交流或直流磁场传感器以及装在待消磁房间里的三根多芯电缆（三维空间线圈）组成，是一种三维的交直流磁场补偿系统。传感器测量空间环境中交直流磁场及其变化量，磁场控制单元以实时负反馈环路控制方式调节三个线圈中的电流来创建一个与环境磁场变化相反的磁场信号，抵消环境磁场给电子束设备带来的影响，恢复设备应有的分辨率和精度。这是一个动态系统，对磁场跃变自动响应的速度在100微秒以内。 市电（50/60 Hz）频率的交流背景磁场可被消除至50分之一；直流背景磁场可被消除至200分之一。SC20特点及技术参数：通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能 消除和监测交直流磁场 简单的&ldquo 一劳永逸&rdquo 式操作，连续实时补偿磁场 磁场跃变响应速度：100 &mu s以内 交流或直流磁场传感器 交流磁场可消除范围：0.5 Hz to 5 kHz；市电60 Hz（典型）的交流背景磁场可被改善50倍 直流磁场可消除范围：DC to 5 kHz；直流背景磁场可被改善200倍 完整的X, Y, Z三轴消磁系统 可消除场强高达80 mG (8.0 &mu T) pk-pk 高灵敏度传感器，可精确反馈环境磁场变化；支持多路传感器，用于抵消TEM透射电镜和CD关键尺寸电子束显微在线检测设备的环境磁场 网络监控（选项）

仪器介绍：MACOM II，该主动磁场补偿系统来自Müller-BBM的MACOM II，只需相对较低的成本，即可为您的系统实现zui佳的磁场条件。在过去的15年，Müller-BBM一直致力于开发，生产和销售磁场补偿系统，对干扰磁场和磁场稳定性特别高要求的房间。我们的系统不断发展，其各种过滤设置不仅适用于普通实验室，而且还适用于金属屏蔽室或金属屏蔽仓的安装MACOMII拥有先进的技术，易于操作且几乎无需维护。MACOMII可自动补偿干扰磁场。在调试期间正确设置后，系统无需进一步维护。MACOMII有一个显示屏用于操作系统并监控其功能，，如有必要，可以在其上查看和调整所有参数。在操作期间，显示器显示所有三个坐标方向上的剩余磁场或产生相对磁场所需的线圈电流。为了获得zui佳支持，MACOMII配备了一个串行接口和一个以太网端口，允许通过内部网或互联网从外部计算机进行控制。根据要求，Müller-BBM可提供全球远程控制和监控。专利技术：专利传感器使系统能够在0HZ到50千HZ之间的非常大的频率范围内工作。因此，能zui有效地减少非常缓慢的磁场波动，例如有轨电车或车辆引起的波动，或由50赫兹的能源工厂引起的磁场及其相应的谐波引起的波动。也可以将非常快的磁场波动完美地zui小化，例如建筑物供电网络中的开关操作所产生的波动。MACOMII的应用：扫描电子显微镜和透射电子显微镜电子束光刻系统磁场共振断层扫描系统任何需要高磁场稳定性的装置MACOMII - 原理磁场是矢量场。在相反方向上，相等幅度的磁场可以减少甚至几乎抵消矢量场。因此，测量主要磁场，然后通过电流传导线圈的布置产生匹配的相对磁场。由于磁场根据干扰的特定来源（例如直流电动车，移动金属物体如电梯、钢门或附近的机动车辆，开关操作）快速或缓慢变化，因此MACOMII可在很宽的频率范围下运行。

当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移，从而导致设备分辨率和测量精度的减低。SC22系统是一种三维空间内的交流磁场补偿系统，通过传感器感知空间环境中交流磁场及其变化量，控制器通过三维空间线圈来提供反磁场，抵消环境磁场给电子束设备带来的影响，恢复应有的分辨率和精度。SC22特点及技术参数如下：通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能 消除和监测交流磁场 低成本高性能系统 智能用户界面 自动运行，连续实时补偿磁场 交流磁场可消除范围：0.5 Hz to 5 kHz；市电60 Hz的交流背景磁场可被改善50倍 完整的X, Y, Z三轴消磁系统 可消除场强高达60 mG (6.0 &mu T) pk-pk 磁场跃变响应速度：100 &mu s以内 高灵敏度传感器，可精确反馈环境磁场变化；支持双传感器，用于抵消TEM透射电镜和高突变环境磁场 USB监控端口

主动减震台-主动式隔震台-Herz-AVI-600XL/LP 适用于各类透射式电子显微镜（TEM）、扫描式电子显微镜（SEM）、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、光学显微镜、白光干涉仪、光刻机、微纳米结构和加工仪器。超低频减震台、防震台、隔振台、隔振台、主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统。固润光电一直致力于客户测试环境的改善服务，为客户提供专业的主动式隔振隔音消磁解决方案。代理日本Herz的AVI/TS系列主动隔振台，代理美国Herzan隔音箱和振动分析仪。我们的技术工程师团队拥有十年以上的客制化主动隔振台隔音设备搭建解决方案! 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 广泛应用于日本电子JEOL主动减震台、日本日立Hitachi主动减震台、德国Zeiss主动式隔震台、美国FEI电镜主动减震台、捷克泰思肯Tescan主动式隔震台、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜主动减震台，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动防震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

Table stable+主动减震台-主动式隔振台-AVI-600M 为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。产品特点： 是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。技术参数介绍：广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。广州市固润光电科技有限公司拥有多年的光电仪器销售经验，专注主动隔振/隔音/消磁三十年！致力于为客户提供优质的产品和专业的项目服务。我司提供振动测试服务！欢迎咨询！

Mag-NetX隔磁系统TMC 的Mag-NetX主动式消磁系统，是TMC公司凭借多年在控制工程领域和电子装配制造技术经验，专为电子扫描显微镜等电磁敏感仪器而研发的磁场消除系统。在SEM的使用环境中，不可避免的会遇到附近的仪器设备、电梯、运输线、地铁等所产生的电磁场，从而影响到SEM的成像质量和测量精度。Mag-NetX可以主动侦测周边磁场环境，实时产生一个等量且反向的磁场。Mag-NetX是一个全方位的3轴磁场消除系统，包含一个具有自动校准和自检功能的专用控制器，交流和直流磁传感器，一个框架结构的亥姆霍兹线圈。这样的框架结构可以提供良好的磁场隔离对称型和均匀性。Mag-NetX主动式消磁框架系统的框架可以根据仪器规格、现场情况、客户要求等设计制作成不同的尺寸。性能特点：?亥姆霍兹线圈提供最 da对称性和一致性?连续磁场消除?连续磁场监测?设置和忽略操作?多种交流和直流磁场隔离模式可用?通常可以改善磁场100倍?动态100μs响应?准确的磁场测量?带有连续系统监控和分析的图形用户界面?可选线性频率和谐波的前馈补偿?可选的其他输入前馈功能?抑制扰动时可选自定义磁场创建?组装简单的不锈钢笼和室内壁挂型系统可用

TMC STACIS地面平台 主动压电隔振器对于传统的实验室地面，隔离高大工具的建筑地面振动是一个人体工程学领域的挑战。将隔振器直接放置在工具下方可能会将工具抬高到一个不切实际的高度。此外，传统空气隔振器放置在一个较高、上重下轻的有效载荷之下时不稳定。TMC的STACIS地面平台解决了这一难题。通过将我们的不锈钢平台与du特的“提升罩”设计相结合，我们的隔振器可“支撑”平台，使工具在地面上方抬起最小距离。此外，由于隔振器未集成到平台中，因此平台可以定制设计以匹配工具尺寸或任何所需的形状。STACIS地面平台配置了我们的STACIS主动压电隔振器。STACIS的优势包括：STACIS压电隔振器不受较高、上重下轻有效载荷的影响。没有重力不稳定的危险。安装在地面平台（TEMS）上的仪器是对振动最为敏感的工具之一。STACIS可提供市场上zui 好的隔振性能，无低频放大。需要隔振的仪器通常采用内置隔振系统。该系统一般是低频空气隔振器，通常不能由另一个低频空气隔振系统支撑。STACIS可“堆叠”在任何工具内部隔振系统的下方。TMC与仪器制造商密切合作，确保我们的平台设计满足仪器的尺寸、结构和效用要求。我们已成功地隔离了数百种不同的仪器，已十分熟悉工具的要求。在大多数情况下，您只需提供工具制造商和型号，以便我们为您推荐解决方案。

SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有很大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI优势:硬式装载技术SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。主动惯性振动消除SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。串行设计与压电技术独特串行设计加上高强度压电专利技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。完全集成式的单平台设计SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI特点：STACIS专利技术主动惯性振动清除系统895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)隔振效率1Hz:40-70% 隔振效率经2Hi:90% 隔振效率＞3Hz:90-98%6个主动自由度安装容易，调试简单兼容所有设备内直的振动隔离系统电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W是否需要空气：非气浮系统CE与RoHS认证完全集成式的单平台设计可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运兼容SEM-lift系统SEM-Base VI 性能规格：Active degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 100 HzPassive natural frequency12 Hz nominalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at 2 Hz90%Isolation at ≥3 Hz90-98%Internal noise0.1 nm RMSOperating load rangeStandard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)Static lift capacity12,000 lbs (5454 kg)Magnetic field emittedat maximum 4 in.(102 mm)from the platform0.02 μG broadband RMS隔离器设计，尺寸，环境和实用要求Environmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signalfrom a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensorsthat measure floor vibration below the isolatorand deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processedand attenuated below the springsupporting the isolated surfaceDimensions (WxD)35.25 x 44.25 in.895 x 1124 mmHeight6.3 in. (160 mm) nominal,doesn' t change when SEM-Base is switched offOperating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE compliantFloor displacement800 μin. (20 μm) below 10 Hz内置控制器规格Processor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUI性能曲线：1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)产品尺寸：现场图片：

TMC STACIS III 主动隔振系统STACIS III 是一种灵活的**主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和* 进的压电致动器，通过连续测量地板活动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。STACIS 最初设计用于隔离**半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次，是适用于对振动*敏感的仪器的理想隔振系统。 优点：STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。*特的串行设计和专有的高压压电技术 可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。性能规格主动自由度6个有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹被动固有频率18 赫兹垂直和水平有效主动谐振频率0.5赫兹1 Hz 时的隔离40% - 70%≥2 Hz 时的隔离≥90%10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3秒内部噪音0.1 纳米均方根每个隔离器的工作负载范围低容量：182-500 千克（400-1100 磅）中容量：410-955 千克（900-2100 磅）高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅）刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器）40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸（102 毫米）0.02 μG 宽带 RMS

TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Islanddu有的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以最高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具。此外，它还提供了最宽频率范围内的最大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了ji高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统的优势采用STACIS - TMC业界ling 先的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界ling 先的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。

TMC地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Island*的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以*高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具（请参阅我们关于在主动隔振器上堆叠主动隔振器的白皮书）。此外，它还提供了*宽频率范围内的*大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了极高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。Quiet Islands vs. Quiet BuildingsDesigning a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter. It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration .TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005,2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005.Quiet Island的优势采用STACIS - TMC业界*的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界*的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。性能在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、来自地面的VC-C输入下测量传递率规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸300 x 320 x 275 毫米隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480μin. (12μm) below 10Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI其他参数平台表面不锈钢表面顶部和侧面；环氧涂漆钢底部平台结构专有的多层层压钢板尺寸量身定制标准高度15、18、20、24、30、36、48英寸38、46、51、61、76、91、122厘米还可提供定制高度负载能力量身定制刚性立管和支架获认证的焊接、全钢结构，与洁净室兼容的粉末涂层表面可选附件限制支架、平台顶部吊环螺栓，用于格子式底层地面的桥板平台顶部版本切口、通孔、用于固定工具的螺纹孔其他Quiet Island配置不具有环境振动规格的大型仪器通常需要一个与活动地面分开的刚性且稳定的支架。刚性Quiet Island是理想的解决方案。刚性Quiet Island具有相同的高性能平台顶部，也可为任何高度、任何底层地面几何形状的活动地面洁净室以及各种工具尺寸定制设计。TMC提供一系列不同类型的支柱，以满足各种需求，从而形成了特定于仪器和工厂的模块化、可灵活地重新定位和升级的解决方案。应用照片由于安装在我们Quiet Island底层地面平台上设备的复杂性、敏感性和价值，我们未创建用于订购的标准目录号。我们认为应为特定应用定制设计每个平台。建议的订购步骤如下：●告诉我们您要隔离的设备或仪器。由于我们已安装了成千上万的装置，我们可能已有满足您应用要求的平台设计。此外，我们还与步进器、对准器、SEM和其他工具制造商保持密切联系，因此，我们了解*新的尺寸、形状、重量变化和地面振动规格。●或者，您可能想要一个适合活动地面网格系统的平台。客户通常选择47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平台来替换偶数块地砖。●告诉我们您的活动地面高出坚实底层地面的高度。●请向我们描述或提供一个显示您底层地面或钢梁/格子板几何形状中的任何孔图案的插图。●请向我们提供地面振动数据或与我们讨论如何安排测量这些数据。●考虑仪器的振动灵敏度。我们的刚性、非共振支柱设计为许多工具提供了充分的支撑。更敏感的应用将需要空气或压电支撑

Anabat Scout 主动式蝙蝠探测器Anabat Scout 是一款经济实惠的全光谱蝙蝠探测器，专为主动监测蝙蝠而设计。Titley Scientific 开发了一款适合您主动调查需求的蝙蝠探测器。Anabat Scout 是一款易于使用的单元，可以通过耳机或内置扬声器播放外差、自外差和分频音频。但它不仅限于现场收听，您可以将全频谱和过零文件记录到 SD 卡中，每个文件都带有地理标记。您甚至可以将语音笔记记录到 SD 卡中。Scout 的功能并不仅限于声学，它还有一个输入/输出球拍计数器，每次计数都会加上时间戳和地理标记。它坚固且符合人体工程学设计，并配有带皮带环和挂绳的保护性便携袋。对于那些在旅途中的人，使用带有内置 GPS 的横断面模式的 Scout，这样您就可以保存您的轨迹。回到办公室后，您可以使用免费的 Anabat Insight 软件在带有您的轨迹的地图上分析和查看您的文件。Titley Scientific 知道您喜欢在黑暗中工作，黑色 OLED 小显示屏不会分散您的注意力，只为您提供关键信息，并且可以在明亮或昏暗模式下操作。夜光按钮意味着即使在最黑暗的夜晚，您也可以在没有头灯的情况下找到并操作您的探测器！Anabat Scout 主动式蝙蝠探测器特征： 易于使用且坚固耐用 以全谱或过零记录 收听外差、自外差和分频音频 带有自动时间戳和地理标记的进出球拍计数器 用于样带模式和地理标记的内置 GPS 夜光按钮，晚上很容易找到 录制语音笔记 包括一个保护性便携袋和挂绳随附免费版本的 Anabat Insight 软件携带小袋和挂绳。请注意 SD 卡和电池单独出售。重量160 克（5.64 盎司），不含电池尺寸150 x 74 x 38 毫米（5.9 x 2.9 x 1.5 英寸）显示屏带调光模式的 OLED用户界面发光的触觉键盘音频输出内置扬声器或 3.5 毫米耳机插孔记忆SD 卡（最大 512 GB）电池寿命大约。10个小时电力需求2 节 AA 电池（镍氢电池、碱性电池、锂电池）麦克风内置低噪音 Knowles 全向麦克风采样率320 ksps，16 位频率范围 10 - 160 KHz（超过此点响应滚降）音频模式外差、分频、自动调谐外差（左右声道模式混合） 全球定位系统内置。包括蝙蝠记录、备忘录和蝙蝠计数器的地理标记。映射GPX 轨道文件蝙蝠计数器具有自动时间戳和地理标记的输入/输出 bat 计数器（CSV 文件输出）文件输出WAV（全谱）和 Anabat 序列文件（过零）元数据以 GUANO 格式存储的所有元数据软件免费下载Anabat Insight通话分析软件保修单2年

TMC主动隔振平台STACIS III概述STACIS III是一种灵活的*主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS*初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中*敏感仪器的行业标准解决方案。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的*控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动*为敏感的仪器。主动隔振光学平台系统STACIS III的优势STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。主动隔振光学平台系统STACIS III特征●*新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面●隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％*70％的隔离率●频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％●降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行●有效隔振范围，0.6Hz到150Hz●获得众多用户的广泛认可和肯定●6向自由度硬安装设计，无需空气悬架●强大的控制系统无需定期重新校准●point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容●随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形●TMC的STACIS技术使用压电执行器主动消振●数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）●提高客户产品产量、质量、成品率。●符合RoHS标准●*宽的主动隔振带宽，*的低频隔振效果●亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振●可堆叠式设计●主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连●被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚*无需调谐●由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器●负载可达2000kg●市场上*的主动隔振系统性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽 x 深 x 高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90°F 10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC主动隔振平台STACIS IIIcSTACIS IIIc是STACIS III*主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。STACIS IIIc优势与常规STACIS III系统相比，隔离器高度*多降低42％，而性能却没有降低。STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。性能4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)性能规格规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）14.45 x 14.26 x 6.16* in.367 x 362 x 157* mm* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.隔振器重量53磅（24千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC Mag-NetX主动磁场消除Mag-NetX设计用于任何带电束仪器，是一种创新的主动控制系统，可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器，Mag-NetX具有更实时的消振和连续监控功能，同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面（GUI）。通过连续监控GUI显示的测量字段，可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外，自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。亥姆霍兹型配置采用独*式笼，安装在室内墙壁轨道上或直接安装在外壳内部，可根据您的需求和应用配置Mag-NetX。TMC可满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面*苛刻的要求。优点：带数字接口的模拟控制器 - 亥姆霍兹型线圈的模拟控制可实现更精*的实时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC的图形用户界面（GUI）。现场调整的灵活性 - 在启动时针对典型环境和应用进行自动调整，或针对更具挑战性的环境进行可调的现场调整。实时监控 - 通过计算机GUI显示的测量字段进行连续监控，甚至可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。特点：亥姆霍兹线圈对具有*大的对称性和均匀性连续现场消振和监控有多种交流和直流消振模式100倍现场改进（典型值）动态、100 μs响应精*的现场测量具有连续系统监控和分析的图形用户界面可选的线路频率和谐波的前馈补偿可选的其他输入前馈功能可选的自定义字段创建，同时抑制干扰易于组装的不锈钢笼，也可提供室内壁安装式系统可提供任何尺寸的笼系统壁安装式和外壳安装式配置包括阻燃级电缆性能：

TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台概述STACIS4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。 起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。 STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。 STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense&trade 专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。STACIS 4的优点：STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。性能在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。性能规格主动减振自由度6主动减振频段0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.35Hz在1 Hz的减振85% - 96%在2 Hz的减振96-99.9%稳定时间（典型）0.2 秒内部噪音＜0.05nm RMS单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500 kg）中负载：900-2100 lb（410-955 kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg）刚度 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例） 磁场强度＜0.02μg 宽频 RMS隔离器尺寸、环境和使用要求 环境与安全通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准主动隔振单元压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷被动隔振单元单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）振动传感器检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号主动反馈控制回路在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 × 12.5 × 10.8 in.300 × 320 × 275 mm隔振器重量75lb （34 kg）操作温度50°- 90°F10°- 32°C储存温度-40°- 130°F-40°- 55°C 湿度华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃系统电源要求100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE认证每个系统的隔振器数量最少3个选项层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等DC-2020 控制器规格尺寸（宽×深×高）19 × 8.5 × 1.75 in.483 × 216 × 45 mm重量6.3 lb（2.9 kg）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16频道模拟输入16频道状态指示灯单个LED灯前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个Ethernet RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个Ethernet RJ-451个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器用户界面前面板液晶显示器终端程序上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式Ethernet GUISTACIS 4界面STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。网页用户界面增强版TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。STACIS系列产品参数对比型号STACIS IIISTACIS IIIcSTACIS 4产品新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。主动减振自由度666主动减振频段0.6 Hz - 150 Hz0.6 Hz - 150 Hz0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.5Hz0.5Hz0.35Hz在1 Hz的减振40% - 70%40% - 70%85% - 96%在2 Hz的减振≥90%≥90%96-99.9%10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3s0.3s0.2s内部噪音＜0.1nm RMS＜0.1nm RMS＜0.05nm RMS性能单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500kg）中负载：900-2100 lb（410-955kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045kg）刚度 （1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器）40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) 距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出＜0.02μg 宽频 RMS地面位移要求480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz480 μin. (12 μm) 低于10 Hz-从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。