主动式隔振台

主动隔振台-主动式隔震台-防振台-Herz-AVI-200XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动隔振台，半导体设备防振台系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动式隔振台，IVF实验室防振台。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200XL/L系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 12kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动隔振台-主动式隔震台-防振台

主动式隔震台-主动隔振台-减震台-Herz-AVI-600M/LP 大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 26kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式减震台-主动防震台-隔震台-Herz-TS-C30提供样机试用和场地测试服务！IVF实验室，桌上型主动式隔振台，主动式减振台，主动式防震台，超低频隔震台、桌面式防震台、桌面式减震台、桌面式除震台,桌面式隔振台。为各类白光干涉仪主动防震台，光刻机主动减震台，轮廓仪主动隔振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台有样机可以试用！ TS-C30 主动隔振台是 TS 系列最新和最实惠的创新产品，可为运行紧凑型纳米级显微镜提供强大的主动隔振性能。可广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。 产品亮点：性能: 6 个自由度全方位隔振 （1.2 - 300 Hz 主动隔振，300 Hz以上被动隔振 ）3.3 Hz减振90%-11.5 Hz+减振99%技术: 先进压电传感器 & 执行器动态隔振: 内部反馈回路抑制共振 高级设计: 拉丝金属搭配黑色阳极面板无障碍: 易于安装，使用简单 主要特点： 1.TS-C系列是紧凑型动态隔振系统，可隔离所有六种平移和旋转振动模式。 2.与大型昂贵的被动系统相比，这款动态隔振系统价格适中，可在较小体积内实现良好隔振。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑振动，还可以隔离系统本身的振动源。这意味着，例如，尽管通过操作员的手施加力，但由系统隔振的精密显微镜仍将保持静止。 该系统的固有刚度比1 Hz共振被动隔离器大25倍，具有出色的方向和位置稳定性。 3.主动隔振系统的特征在于虚拟缺乏任何低频共振，这种共振困扰所有被动隔振系统。该系统设计即使低至2-3 Hz频率以下也能提供优异的隔振性能，许多建筑物由于围绕垂直轴振荡而显示出较大的水平振幅。隔振开始于0. 7Hz左右，超过10Hz以上迅速增加至少40dB。 4.所有控制电路都内置在设备中。功耗小于2.5 W。该设备具有通用输入并且可连接到100至240 VAC的任何交流电源。该设计经过优化，可实现精密仪器的最佳隔振，例如扫描探针显微镜（AFM,STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器实现最佳性能。经证实，该系统还可成功用于支持敏感实验，例如膜片钳、显微注射或LB膜上测量所用的液体槽。技术参数: 频率：0.7 - 300 Hz 负载范围: 0 - 40 kg 尺寸: 300 x 300 x 70 mm ( L x W x H ) 11.8 x 11.8 x 2.75" 隔振性能: 0.7 Hz - 300 Hz动态隔振, 更高频率主要被动隔振 传递率: ~10 Hz以上传递率 0.01 (-40 dB) 修正力: 垂直±8N,水平±4N 静态顺应性: 27 μm/N 最大负载 (中心负载): 40 kg/88.18 lbs 重量: 9.2 kg/20.3 lbs 电气: 安全等级: 1 功耗: 最大 2.50 W 输入电压: 100–240 VAC, 50–60 Hz 显示屏信号:用于示波器上显示的多路复用信号显示了包含和不含隔振的振动水平– 仅用于诊断目的。 面板： 尺寸：300mm X 300mm 材料：厚实铝板 隔振效果： 性能图中突出显示的传递率曲线与TS-C30在宽频率范围内隔振的能力有关。传递率图是对任何给定实验室环境下性能的保守估计 ，并且适用所有六种振动平移和旋转模式(所有六个自由度). 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

产品说明： 台式主动减振系统由减振器和控制器两部分组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国GEOSPACE公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 台式主动减振系统由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实施主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振器的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈和前馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 本公司可根据用户要求定制各种不同尺寸的减振平台。如果用户所需隔振的仪器或设备为不规则状，公司可代其设计工作台面。产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振平台安装（放置）在地基上，如果地基表面不平，需加地面胶。在减振平台上加适量负载。5.卸下四个锁紧板，手动摇晃隔振负载，确保减振器能正常工作。观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。6.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。7.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

主动减震台-主动式隔震台-Herz-AVI-600XL/LP 适用于各类透射式电子显微镜（TEM）、扫描式电子显微镜（SEM）、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、光学显微镜、白光干涉仪、光刻机、微纳米结构和加工仪器。超低频减震台、防震台、隔振台、隔振台、主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统。固润光电一直致力于客户测试环境的改善服务，为客户提供专业的主动式隔振隔音消磁解决方案。代理日本Herz的AVI/TS系列主动隔振台，代理美国Herzan隔音箱和振动分析仪。我们的技术工程师团队拥有十年以上的客制化主动隔振台隔音设备搭建解决方案! 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 广泛应用于日本电子JEOL主动减震台、日本日立Hitachi主动减震台、德国Zeiss主动式隔震台、美国FEI电镜主动减震台、捷克泰思肯Tescan主动式隔震台、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜主动减震台，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动防震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600 主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600产品描述：主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600 应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内应用案例介绍： 主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600

主动式减振台-主动隔震台-隔振台-Herz-AVI-600S/LP广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 23kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-主动式隔振台-防振台-Herz-TS-300/LP桌面式主动减振台-桌面式主动式隔振台-桌面式主动防振台-隔震台-主动减振台-防震台-显微镜主动式隔振台-干涉仪主动减震台-电子天平主动减振台-轮廓仪主动式隔振台-半导体设备减震台-激光设备主动式隔振台-IVF实验室主动式隔振台-提供样机试用和场地测试服务！TS-300主动隔振台是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！ 超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振（0.7 Hz - 300 Hz主动隔振，300Hz以上被动隔振） 自动调节负载 即插即用 LCD显示屏实时显示振动情况 系统主动检测输入振动并动态消除，系统内部反馈回路抑制所有机械共振 低频隔振性能优秀，无低频共振、无空气要求 应用范围： SPM ( AFM, STM, NSOM 等 ) 高精度计量 干涉测量 荧光显微镜 高分辨率显微镜摩擦学和纳米技术 轮廓测量 细胞外培植 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg） 技术参数：型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。系统重量 (大约)：60 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动减振台-主动式隔振台-防振台-Herz-TS-300/LP

主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400产品适用于：原子力显微镜主动防震台、干涉测量主动式减震台、轮廓测量隔振台、3D轮廓仪主动防震台、表面轮廓仪主动式减振台、纳米光子学隔振台 、白光干涉仪隔振台、IVF实验室主动防震台、三维表面形貌分析仪主动式减振台、超景深显微镜隔震台、激光干涉仪主动防震台、光镊应用隔振台、超高速光通信主动防震台、各类大型电镜（TEM\SEM\AFM）AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 396 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 15kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400

主动隔震台-主动式减震台-防振台-Herz提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 20kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。

主动式减振台-主动隔震台-减振台-Herz-TS-140/LP主动式减震台,主动式防振台,主动式隔震台,隔振台,主动式减振台,隔振台,消振台,主动防震台,IVF实验室，干扰仪主动减震台,轮廓仪主动防振系统，高精密仪器主动隔震设备，微纳加工精密仪器主动防震设备，电子太平减震台超低频减震台，低频隔振，响应时间快。TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。 适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理:TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点：六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围：原子力显微镜 扫描探针显微镜 干涉测量 荧光显微镜 摩擦学和纳米压痕测试 高精度测量 高分辨率显微镜 轮廓测量 试管受精 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg） 技术参数：型号：TS-140/LP ※可选：TS-140/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：29 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动隔振台-主动式隔振台-隔震台-Herz 为各类透射式电子显微镜(TEM)主动隔振台、扫描式电子显微镜(SEM)主动式隔振台、发射式电子显微镜主动隔振台、探针显微镜主动式隔振台、扫描隧道显微镜隔震台、原子力显微镜（AFM）主动隔振台、横向力显微镜主动式隔振台。白光干涉仪隔震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台！ 产品特点主动隔振频率 ：1Hz - 200Hz被动隔振频率200Hz5-20ms的响应时间安装简单，容易使用稳定性高，能无故障连续使用多年紧凑、模块化的多功能设计多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用产品应用SEM TEMUHV-SPM 光刻 光谱测量 高精度测量其他高精密仪器 性能优势 系统主动检测输入振动并动态消除 六个空间方向的自由隔振系统内部反馈回路抑制所有机械共振低频隔振性能优秀无低频共振、无空气要求 技术参数型号：AVI-400M系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为0.5 Hz - 200 Hz被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 26kg负载能力:800 kg (同等/低重心)输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内应用案例： 主动隔振台-主动式隔振台-隔震台-Herz

主动式防振台-主动减震台-隔振台-Herz-AVI-400XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):230 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 24kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式减振台-主动防震台-隔震台-Herz-AVI-200S/LP为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜防震台、探针显微镜防振台、扫描隧道显微镜隔振台、原子力显微镜（AFM）减震台、横向力显微镜主动防震台。IVF实验室，白光干涉仪主动减震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):120 x 396 x 112.5 Hmm,控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 8 kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TS系列-主动隔震台-主动式防振台-减振台-TS-140+40/LP桌面式主动隔震台-桌面式主动式防振台-桌面式主动防震台-隔震台-隔震台-防震台-显微镜隔震台-干涉仪主动减震台-电子天平减震台-轮廓仪防震台-半导体设备减震台-激光设备防震台-IVF实验室-提供样机试用和场地测试服务！TS-140+40/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜 扫描探针显微镜 干涉测量 荧光显微镜 摩擦学和纳米压痕测试 高精度测量 高分辨率显微镜 轮廓测量 试管受精 升级选项： 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-140+40/LP 系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：29 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式防震台-主动减振台-隔振台-TS系列产品特点：IVF实验室使用，系统主动检测输入振动并动态消除 ，六个空间方向的自由隔振 ，系统内部反馈回路抑制所有机械共振，低频隔振性能优秀 ，无低频共振、无空气要求!自动调节负载 ，即插即用 ，LCD显示屏实时显示振动情况，多种面板定制选择。TS-150主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜 干涉测量轮廓测量3D轮廓仪表面轮廓仪 纳米光子学 白光干涉仪 三维表面形貌分析仪 超景深显微镜 激光干涉仪 光镊应用 超高速光通信 升级选项：工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-150/LP ※可选：TS-150/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：18 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

? 隔振频率低至0.7Hz，隔振性效果显著? 精密音圈电机驱动力打，灵敏、精度高? 控制模块配备先进前馈系统? 六自由度控制? 机械式组件，无需其他约束 MRT-TG系列隔振原理：我司MRT-TG型组合式主动隔振平台由多组减振器和一套控制器组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国 GEOSPACE 公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现 6 自由度减振。具有极佳的性/价比。

产品说明： 桌式主动减振台是一个具有多项国家专利的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到最佳水平。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 桌式主动减振台由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环伺服控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实现主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振台的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 可根据用户要求定制各种不同尺寸、不同材质的工作台面。公司负责系统的安装与调试，三年免费维修。免费为用户培训设备维护和使用人员，随时解答用户提出的技术问题。 产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振系统置于地基上，手动推动工作平台观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。5.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。6.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

HERZ TS系列 主动式隔震系统防震台HERZ 创建一个稳定的测量环境稳定的支架可以进一步提高TS系列减震系统的隔震性能主动式隔震系统可以消除震动振幅在20um内的垂直方向和两个水平方向的震动，如果摆放主动式隔震系统的平台与平面，不是很稳固的话，会衰减隔震系统的性能，或者放大震动的干扰，我们可以提供一个带有高阻尼的稳定的支架，从而进一步提高TS 的减震性能。左边的图可以看到TS-150/LP 配置了 矩阵为 M6-25 mm XY的安装螺纹孔，我们可以根据客户的要求来定制这样的规格，如果客户对表面有安装孔的要求可以与我们联系，但尺寸过于特殊，我们暂时不能定制。技术规格：主动式隔震系统在6个自由度里的XYZ 三轴的主动隔震频率为0.7Hz -100Hz21世纪是纳米技术时代（比如，先进的半导体技术，生物科学，以及MEMS，原子分裂等等的领域），而震动，噪音，电磁干扰，热度，湿度等都会对原子级的测量带来很大的干扰。在纳米技术的领域里，一个好的测量结果，非常的需要一个主动式减震系统，在低频的范围，空气式减震平台是无法达到其要求的。先进的主动隔震系统“TS系列”将会对21世纪纳米技术的研究提供安稳的保障，它会让您彻底摆脱过去的测量模式，从而开启未知的纳米技术之旅。应用：*扫描电子显微镜比如 Mini SEM、AFM*三轴轮廓仪 *显微镜 *白光干涉仪*液体表面张力测量仪 *显微硬度测量仪 *医疗检测设备等TS的使用介绍我们只需两步, TS 便能轻松使用: 打开电源开关按钮 → （自动的高度调节） → 开启隔震功能全过程均为自动进行，无需任何的手动调节，轻松，方便，简洁特点：*TS 隔震性能在0.7-100Hz 范围提供6自由度3轴的主动隔震。*自动高度调节让仪器摆放随心所欲.*水平自动调节功能即使负载重心偏离中心，自动的水平调节功能也可以让心偏回来，继续为仪器提供一个稳定的使用环境。*系统锁止功能，只需要在控制面板轻轻一按便可实现，在搬运时或运输途中进一步对TS，进行保护，避免系统受到意外损害。*LCD显示面板实时显示来自XYZ方向的震动。*同时可以选配遥控器来控制TS系统的隔震和取消隔震功能，如果需要了解此功能详情请与我们联系创建良好的测量环境 隔音箱做分子或原子用电子显微镜扫描研究时，TS主动式减震台能很好的为其提供一个稳定的测量环境，但有时不仅是震动会给研究带来影响，噪音也是一个很大的干扰因素，针对次情况，我们研发出了高性能的隔音箱AEK 系列。右图是TS 与AEK 的完美搭配的案列HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统HERZ TS系列 主动式隔震系统防震台震台防震台

欧库睿因i4系列 桌面式主动隔振系统 尺寸：400x500x90mm 载重：0-120kg主要特征： 相较于气囊式被动隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出⾊ 的隔振性能。 超快的稳定时间：低至0.3秒（普通被动隔振台的稳定时间为30秒-60秒）。 主动隔振台带宽0.6/1Hz⾄ 200Hz（远超被动隔振台）。 6个自由度主动隔振。 真正的主动隔振：即时产生反作用力来抵消振动。 操作简单-按钮式解决方案。 设计紧凑，安装简便。 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。 操作简单-按钮式解决⽅ 案。 接电即可，⽆ 需压缩空⽓ 。 适用于分辨率测量设备与建筑振动隔离。 广泛的适用范围：拥有标准化产品和定制产品。

Herz 防震台/防振台是世界上知名的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到成果。 Nanotechnology正在改变，由高层次的研究波及各个行业的基本生产，要有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ，并在此领域积累了丰富的经验。与此同时，测量技术有了很大的进步，一些zui灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此，HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。 厂家正式授权代理商：岱美有限公司岱美中国：岱美总部：TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz在21世纪纳米技术(即先进的半导体代表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。 装载设备扫描电子显微镜，如 AFM 3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪， 医疗检测设备等特点◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用。(单独出售) 有关详情，请与我们联系。 TS的应用案例振动干扰案例当没启用隔振系统时 ，振动使图像模糊。当启用振动系统时，振动被消除，图像变得清晰。(图片)Herz系列产品创建稳定的测量环境支持改善TS的隔振性能主动式隔振系统控制水平和垂直方向20μm的振动振幅。如果工作台或桌面不够坚硬，TS系列产品的隔振性能将会降低，或者振动会放大。我们提供具有内置阻尼功能的刚性框架，以实现TS系列产品的理想性能。带有钻孔和螺纹孔的安装板此安装板由磁铁不锈钢和铝制成。定制的钻孔位置可以根据要求提供。可以提供样机进行试用，同时可提供场地测量服务！最稳定、最可靠、最简单的安装高精度系统必备的主动式防振系统还 SEM，TEM ，STM 一个静的世界 !Herz主动防振台产品基本参数设备型号负载能力主动隔振系统主控频率0.7Hz-100Hz被动防震频率100Hz自动负载调节功能TS-140TS-140+40TS-150TS-300TS-300LT140Kg180Kg150Kg300Kg120Kg振动隔绝单元&可分离控制单元主控频率 1.0Hz - 200Hz被动防振频率100Hz8 个 LED 显示输出面板AVI-200SAVI-200MAVI-200XL400KgAVI-400SAVI-400MAVI-400XL800kgAVI-600SAVI-600MAVI-600XL1200Kg用途主动隔振，主动减振，主动除振，主动防振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器等等扫描电镜、透射电镜主动式防振台对 扫描电镜、透射电镜、扫描探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜起到很好的降噪作用。主动减振+主动防震+主动隔振+被动减震起到对设备保驾护航的作用。主动隔振台或主动式防震台对精密仪器设备的降噪作用可保证设备在恶劣条件下正常工作，确保性能稳定，确保设备安全运行。因此主动隔震台/主动式防震台/主动减震台/主动式隔振台良好的隔震、减震、防震、隔振、减振、防振作用意义重大公司网站：岱美中国：；岱美总部：上海分公司地址: 上海市浦东金高路 2216 弄 35 号6 幢 306-308 室电话: ，卜先生: 东莞分公司地址: 东莞市南城街道宏六路一号国金大厦401室电话: ，唐女士：北京分公司地址: 北京市丰台区丰台科技园汽车博物馆东路1号院诺德中心二期号楼1102室电话: ，贾先生: 岱美有限公司成立于1989年，是数据存储，半导体，光学，光伏和航空航天行业领头制造商和创新研发机构的先进设备分销商。在21世纪初期，Dymek已从我们在香港的总部扩展到亚洲，以满足客户的多样化需求。在当今全球化的市场中，我们的客户有连接东南亚各国的综合供应链已经成为基本。我们我们的专业人员随时准备与他们会面。我们总部设在香港，在中国（北京和上海，以及广东东莞）拥有强大的业务。我们还在马来西亚，新加坡，台湾，菲律宾和泰国的东南亚设有分支机构。我们所有的分支机构都已建立数十年，我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。我们的目标是建立持久的关系，满足东南亚快速增长企业的需求。对于我们的客户，我们不仅提供设备，还提供建议和技术指导，以及时了解我们不断发展的行业的新发展。对于我们的供应商，我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲，美国，日本和韩国的先进设备连接起来。可以立即联系我们，了解我们如何与您合作，实现您组织的长期财务目标。

PMT主动隔振系统是一款隔音，防磁，隔振一体的主动隔振方案。拥有落地式的支撑结构和气浮式被动隔振部分适用于大中型设备。多种尺寸与功能模块可选。功能l 主要功能隔振：被动模块减缓震动，传感器侦测到振动信号后会通过机械阀快速输出相反方向的力抵消振动。隔音防磁：通过多层壁垒构造来保护敏感器件不受宽频段空气噪音影响。 l 技术特点1.世界首台优势：首台与防噪音舱整合的主动隔振系统。2.LED监控系统：在隔离系统上轻松观察操作和振动环境。3.强大电抗噪能力：通过多层壁垒构造来保护敏感器件不受宽频段空气噪音影响。4.前馈和反馈控制:通过三轴振动传感器。沿平台安装传感器，低频范围隔振效率上有突破性改进。 l 技术能力 三、应用绝大部分精密测量设备，负载可至300KG，同时适用于大中小型设备。 四、其他l 国内用户中国科学院苏州纳米仿生技术研究所中国科学院北京计量研究所岛津中国企业管理

主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200 产品描述：主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200系列是一款紧凑型模块化的主动式减震台系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台主动式减震台，轮廓仪主动式防震台，电子太平主动式防震台，超快激光系统主动式隔振台，时频系统主动式隔震台，大型半导体设备主动式减振台，激光设备主动式减震台！ 主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200技术参数：型号：AVI-200XL/L系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 12kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 主动式减震台-防震台-隔振台 AVI-200

日本KURASHIKI EST-58-450 主动式减震台 隔振台典型应用SPM，AFM，台阶仪，光学轮廓仪，激光干涉仪，桌面型SEM，激光共聚焦显微镜，表面粗糙度仪，小型硬度计，电子天平，硬盘制造装置，微操作机器人，等精密装置。重要特征1. 空间6自由度主动减振-拥有全频段的抗振动效果，同时没有共振。2. LCD-加速度时间波形显示/加速度频谱显示。3. 洁净室兼容设计-封闭式铝制机身与台面，避免带入污染/无需压缩空气。4. 自动调平与固定-一键操作，切换自动调平和运输固定模式。5. USB接口-通过USB通信，可在遥控器上输出振动波形，观察振动情况。技术规格

欧库睿因i4 Large 桌面式主动隔振系统 尺寸：550x700x92mm 载重：0-105kg或40-150kg主要特征： 相较于气囊式被动隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。 超快的稳定时间：低至0.3秒（普通被动隔振台的稳定时间为30秒-60秒）。 主动隔振台带宽0.6/1Hz-200Hz（远超被动隔振台）。 6个自由度主动隔振。 真正的主动隔振：即时产生反作用力来抵消振动。 操作简单-按钮式解决方案。 设计紧凑，安装简便。 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。 操作简单-按钮式解决方案。 接电即可，无需压缩空气。 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。

欧库睿因i4 Large 桌面式主动隔振系统 尺寸：550x700x92mm 载重：0-105kg或40-150kg主要特征： 相较于气囊式被动隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。 超快的稳定时间：低至0.3秒（普通被动隔振台的稳定时间为30秒-60秒）。 主动隔振台带宽0.6/1Hz-200Hz（远超被动隔振台）。 6个自由度主动隔振。 真正的主动隔振：即时产生反作用力来抵消振动。 操作简单-按钮式解决方案。 设计紧凑，安装简便。 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。 操作简单-按钮式解决方案。 接电即可，无需压缩空气。 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。

EST-58-450 桌上型主动式隔振台全新设计，更易使用，更强大的隔振性能。典型应用SPM，AFM，台阶仪，光学轮廓仪，激光干涉仪，桌面型SEM，激光共聚焦显微镜，表面粗糙度仪，小型硬度计，电子天平，硬盘制造装置，微操作机器人，等精密装置重要特征空间6自由度主动减振-拥有全频段出色的抗振动效果，同时没有共振LCD-加速度时间波形显示/加速度频谱显示洁净室兼容设计-封闭式铝制机身与台面，避免带入污染/无需压缩空气自动调平与固定-一键操作，切换自动调平和运输固定模式USB接口-通过USB通信，可在遥控器上输出振动波形，观察振动情况技术规格

AVI系列-400主动防震台/隔振台/减震台适用范围：为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜防震台、探针显微镜防振台、扫描隧道显微镜隔振台、原子力显微镜（AFM）减震台、横向力显微镜主动防震台。白光干涉仪主动减震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！ 产品特点主动隔振频率 1Hz - 200Hz被动隔振频率200Hz5-20ms的响应时间安装简单，容易使用稳定性高，能无故障连续使用多年紧凑、模块化的多功能设计多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用产品应用STM SpinstandAFM 干涉测量摩擦学 轮廓测量其他高精密仪器 性能优势系统主动检测输入振动并动态消除六个空间方向的自由隔振系统内部反馈回路抑制所有机械共振低频隔振性能优秀无低频共振、无空气要求 技术参数 隔振范围 主动:1-200Hz 被动: 200Hz传输率 超过10Hz -35 dB模块尺寸 W 5.1” x D 23.6” x H 4.3” (AVI-200 M)模块重量 20 KG / 44 Lbs静态柔度(每个模块)垂直方向 约 1.75 μm / N水平方向 约 1.3 μm / N系统噪声 低于50nG/√Hz耗电量 通常情况下为9 W输入电压 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz控制器尺寸 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”性能监控 通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振型号 隔振模块尺寸（每个模块） 载重（每个模块）AVI-200M 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 150kg/ 330lbsAVI-200M Extra 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 190kg/ 418lbsAVI-200M Plus 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 230kg/ 506lbsAVI-200M LT 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 60kg/ 132lbsAVI-200M S 长x宽x高：5.1" x 14.1" x 4.3" 150kg/ 330lbsAVI-200M LT 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 190kg/ 418lbs兼容性：AVI-200 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

mini 桌上型主动式隔振台全新设计，更易使用，出色的隔振性能。重要特征空间6自由度主动减振-拥有全频段出色的抗振动效果，同时没有共振LCD-加速度时间波形显示/加速度频谱显示洁净室兼容设计-封闭式铝制机身与台面，避免带入污染/无需压缩空气自动调平与固定-一键操作，切换自动调平和运输固定模式USB接口-通过USB通信，可在遥控器上输出振动波形，观察振动情况典型应用原子力显微镜, 扫描探针显微镜, 激光共聚焦显微镜, 显微硬度测试仪, 干涉仪

典型应用SPM，AFM，台阶仪，光学轮廓仪，激光干涉仪，桌面型SEM，激光共聚焦显微镜，表面粗糙度仪，小型硬度计，电子天平，硬盘制造装置，微操作机器人，等精密装置重要特征空间6自由度主动减振-拥有全频段出色的抗振动效果，同时没有共振LCD-加速度时间波形显示/加速度频谱显示洁净室兼容设计-封闭式铝制机身与台面，避免带入污染/无需压缩空气自动调平与固定-一键操作，切换自动调平和运输固定模式USB接口-通过USB通信，可在遥控器上输出振动波形，观察振动情况