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液氮制冷系统

仪器信息网液氮制冷系统专题为您提供2024年最新液氮制冷系统价格报价、厂家品牌的相关信息, 包括液氮制冷系统参数、型号等,不管是国产,还是进口品牌的液氮制冷系统您都可以在这里找到。 除此之外,仪器信息网还免费为您整合液氮制冷系统相关的耗材配件、试剂标物,还有液氮制冷系统相关的最新资讯、资料,以及液氮制冷系统相关的解决方案。

液氮制冷系统相关的论坛

  • 高低温试验箱制冷系统

    高低温试验箱的需求越来越大,当你如愿的选购了一台适合你的设备,那么你充分的了解它的制冷系统吗?  1.制冷系统的设计应有能量调节技术,一种行之有效的处理方式既能保证在制冷机组正常运行的情况下又能对制冷系统的能耗及制冷量进行有效的调节,使制冷系统的运行费用和故障率下降到较为经济的状态。  2.采用法国“泰康”全封闭制冷压缩机组,每台机组均经过欧洲“泰康”电脑联网逐项监测并有防伪编码,可通过电脑上网查寻.  3.制冷辅助件:风冷式盘管冷凝器、鳍片式多段式蒸发器,主要制冷配件及控制器件均采用进口原件,如:美国“丹佛斯”热力膨胀阀、美国“艾高”干燥过滤器;意大利“卡斯妥”电磁阀.  4.冷却方式:风冷.  看了高低温试验箱制冷系统的知识,你更加充分的了解它了吗?

  • 冷热冲击试验箱制冷系统的组成结构

    冷热冲击试验箱制冷系统作为设备核心系统之一,非常关键,为了保证试验箱降温速率和最低温度的要求,冷热冲击试验箱采用一套进口法国全封闭压缩机所组成的二元复叠式风冷制冷系统。复叠式制冷系统包含一个高温制冷循环和一个低温制冷循环,其连接容器为蒸发冷凝器,蒸发冷凝器是也到能量传递的作用,将工作室内热能通过两级制冷系统传递出去,实现降温的目的。制冷系统的设计应用能量调节技术,一种行之有效的处理方式既能保证在制冷机组正常运行的情况下又能对制冷系统的能耗及制冷量进行有效的调节,使冷热冲击试验箱制冷系统的运行费用和故障率下降到较为经济的状态。其组成部分如下: 一、压缩机,制冷核心机组,与空调压缩机原理一样,位于温度冲击试验箱底部。 二、冷凝器,起温度冷凝作用,即在压缩机旁边的大的风扇装置。 三、蒸发器,降低温度,另一个作用是除湿用的。 四、节流阀,节流阀是控制制冷剂合理分配给蒸发器,让蒸发器处于正常的制冷工作状态。 四大制冷组件,各司其职,相互配合,才能是冷热温度冲击试验箱发挥最好的制冷效果,从而达到温度冲击之目的。

  • 三综合试验箱制冷系统特点

    三综合试验箱制冷系统特点 三综合试验箱的制冷压缩机,冷却方式:风冷或水冷式。试验箱的制冷系统采用封闭工业压缩机组组成的制冷系统。三综合试验箱压缩机的效率高、能耗低、制冷量大、噪音小,能够长期稳定运行的安全可靠试验;该试验箱制冷系统还采用先进的PLC控制,能量调节冷端输出方式,超越了传统意义上的冷热平衡控制方式,通过PID调节来满足要求,大大降低了用户的使用费用,延长设备的使用寿命,提高设备使用的经济性;有利于降低设备的噪声, 改善试验室的工作环境。 三综合试验箱采用优质无氧铜管、充氮焊接工艺,这方式与传统方式采用普通铜管,直接焊接方式,易使铜管内壁产生氧化物,造成制冷系统堵塞,使试验箱不降温或降温慢。其他制冷配件:压力控制器、制冷剂、截止阀、过滤器、电磁阀、油分离器、板式换热器等均采用进口产品。

  • 高低温交变试验箱制冷系统及能量调节

    高低温交变试验箱制冷系统(-40-150度的范围内)采用的是单级式制冷压缩机,如果温度范围(-70-150度的范围)就要采用的是复叠式制冷机压缩机,通常由两个部分组成,分别称为高温部分及低温部分。高温部分使用中温制冷剂,低温部分使用低温制冷剂,而每一部分都是一个完整的单级或双级压缩制冷系统。高温部分系统中制冷剂的蒸发是用来使低温部分系统中制冷剂冷凝,而只有低温部分系统的制冷剂在蒸发时才制取冷量。高温部分和低温部分用一个冷凝蒸发器联系起来,它既是高温部分的蒸发器,又是低温部分的冷凝器。  高低温交变试验箱制冷机组在运行时是如何进行能量调节的呢?受使用条件的变化以及工况变化影响,需要的输气量也随之变化。通常,采用输气量调节的方法进行能量卸载。主要原理是将吸排气腔连通,压缩机排气直接返回吸气腔,此时,吸气压力与排气压力几乎相同,压缩机只需克服吸排气阀弹簧预紧力,就可将吸气变为排气。

  • 高低温试验箱制冷系统结构分析及能量调节

    高低温试验箱制冷系统采用的是复叠式制冷机组通常由两个部分组成,分别称为高温部分及低温部分。高温部分使用中温制冷剂,低温部分使用低温制冷剂,而每一部分都是一个完整的单级或双级压缩制冷系统。高温部分系统中制冷剂的蒸发是用来使低温部分系统中制冷剂冷凝,而只有低温部分系统的制冷剂在蒸发时才制取冷量。高温部分和低温部分用一个冷凝蒸发器联系起来,它既是高温部分的蒸发器,又是低温部分的冷凝器。 高低温试验箱制冷机组在运行时是如何进行能量调节的呢?受使用条件的变化以及工况变化影响,需要的输气量也随之变化。通常,采用输气量调节的方法进行能量卸载。主要原理是将吸排气腔连通,压缩机排气直接返回吸气腔,此时,吸气压力与排气压力几乎相同,压缩机只需克服吸排气阀弹簧预紧力,就可将吸气变为排气。

  • 快温变试验箱厂家的制冷系统的制冷原理说明,让试验更便捷

    快温变试验箱厂家的制冷系统的制冷原理说明,让试验更便捷

    [b]快温变试验箱[/b]厂家采用了一套全封闭压缩机所组成的二元复叠式风冷制冷系统。为满足快温变试验箱厂家的快速降温技术,通常会采用的硬件措施为:制冷及控制器件均采用配件产品。以下就是小编总结的快温变试验箱厂家的制冷系统的制冷原理几大说明。[align=center][img=,469,469]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/08/202108111118261517_2454_1037_3.jpg!w469x469.jpg[/img][/align]  1.制冷系统及压缩机:为了保证试验箱对降温速率和低温度的要求,本试验箱的制冷系统采用压缩机所组成的复叠式制冷系统,该制冷系统具有匹配合理、可靠性高、使用维护方便等优点。  2.制冷工作原理:制冷循环均采用逆卡诺循环,该循环由两个等温过程和两个绝热过程组成,其过程如下:制冷剂经压缩机绝热压缩到较高的压力,消耗了功使排气温度升高,之后制冷剂经冷凝器等温地和四周介质进行热交换将热量传给四周介质。后制冷剂经截流阀绝热膨胀做功,这时制冷剂温度降低。后制冷剂通过蒸发器等温地从温度较高的物体吸热,使被冷却物体温度降低。此循环周而复始从而达到降温之目的。  3.制冷系统的设计应用能量调节技术,一种行之有效的处理方式既能保证在制冷机组正常运行的情况下又能对制冷系统的能耗及制冷量进行有效的调节,使制冷系统的运行费用下降到较为经济的状态。  4.无氧铜管,充氮焊接。  5.设置有凝结水接水盘,并排除箱外。  6.减振:采用压缩机弹簧减振。  7.降噪:采用特种消音海绵吸音。  8.冷却方式:风冷。

  • 实验室冷水机制冷系统充注制冷剂的相关规定

    实验室冷水机制冷系统中的制冷剂如同人体中的血液一样,是实验室冷水机制冷系统中不不可划缺的一部分。实验室冷水机制冷系统中的制冷剂是属于易燃易爆物品,,因此,对冷水机制冷剂的存放、搬运、使用都必须十分小心,下面我们来了解一下关于实验室冷水机制冷系统制冷剂的相关规定。 对于压缩式制冷系统充灌制冷剂应遵守的规定,制冷剂应符合设计的要求,冷水机制冷剂充入的总量应符合设计或设备技术文件的规定。 应先将系统抽真空,其真空度应符合设备技术文件的规定,然后将装制冷剂的钢瓶与系统的注液阀接通,氟利昂系统的注液阀接通前应加干燥过滤器,使制冷剂注入系统,在充灌过程中按规定向冷凝器供冷却水或蒸发器供载冷剂;当系统内的压力升至0.1~0.2MPa(表压)时,应进行全面检查,无异常情况后,再继续充制冷剂,R11制冷剂除外;当系统压力与钢瓶压力相同时,方可开动压缩机,加快制冷剂充入速度。 另外需要提醒大家的是,若实验室冷水机需要航空运输,则需要先为实验室冷水机进行制冷剂(冷媒)抽真空处理,方可进行航空运输。

  • 温度快速变化试验箱制冷系统的排污工作

    温度快速变化试验箱制冷系统进行排污的目的在于淸除制冷系统中的污物,以免系统中的污物进入压缩机和节流阀。排污方式如下: 1、温度快速变化试验箱制冷系统的设备管道在运行前都必须进行排污,以清除安装过程中残留在系统内的焊渣,铁屑,沙粒等污物。防止污物损伤制冷机的部件和系统中的阀门,避免系统管道阻塞。 2、氨制冷系统排污时,可用空压机或氨制冷机提供压缩空气,压缩空气的压力一般不超过0.6MPa。排污口应设置在管道的最低处,排污工作可分组,分段分层进行。 3、温度快速变化试验箱制冷系统排污一般不少于3次,直到排出气体不带水蒸气,油污和铁锈等杂物。 4、为了有效的利用压缩气体的爆发力和高速气流,可在排污口上装个阀门,待系统内压力升高时快速打开阀门,使气体迅速排出,带出污物。 5、实践中也可用木塞堵住排污口,当系统有一定压力时,将木塞拔掉,使空气迅速排出,这种方法很好。但存在一定危险,操作时务必小心,注意安全。 6、氟利昂系统的排污也在系统安装完后进行,使用0.6MPa的氮气进行分段吹污。排污的方法和检验和氨系统相同,氟利昂系统排污和试压时不能使用压缩空气,压缩空气中含有水蒸气,若残留在氟利昂系统内,将引起氟利昂系统的冰堵或冰塞现象。 7、在排污过程中,如发现管路法兰阀门有明显泄漏,应及时补救。系统排污结束后,应将系统所有阀门的阀芯和过滤器拆卸清洗。 本文出自北京雅士林试验设备有限公司 转载请注明出处

  • 氙灯老化试验箱制冷系统的工作状态

    氙灯老化试验箱制冷系统的工作状态

    原文来源:氙灯老化试验箱制冷系统的工作状态 编辑:林频仪器  [b]氙灯老化试验箱[/b]的制冷系统的检修不仅要求检修人员具备较高的理论知识,最终判断试验箱的制冷系统是不是处在工作状态。[align=center][img=,348,348]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711020832_01_1037_3.jpg!w348x348.jpg[/img][/align]  1、制冷系统压缩机  制冷系统压缩机正常工作时有嗡嗡声音,并有轻微的振动。排气管烫手而回气管冻手,制冷的时候一般都有凝露水煮,制热的时候可能有微霜,压缩机内部拥有着过载的保护器,在压缩机处于高温过电流的时候,导致保护器断开,切开压缩机内部电路,等到温度正常的时候,保护器就会自动闭合。  2、制冷系统室内、外侧热交换器  制冷系统制冷时,试验时外的交换器进口处会很烫手,出口处的温度降低,室内的热交换器会冻手,耳翅片的表面会有凝结的水路,而在制热的时候,室外的交换器会很冻手,可能还会有霜,室内热交换器烫手。  还有更多详情请关注林频的官方网站,我们每日在线为您解答!

  • 恒温恒湿实验室的制冷系统

    恒温恒湿实验室的制冷系统

    恒温恒湿实验室的制冷系统是什么大家应该很熟悉吧,而且这款设备对于大家来说是比较常见的一款试验设备了,下面就由林频小编来为大家讲讲这款设备的制冷系统吧:[align=center][img=,348,348]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/03/202103130948391917_2155_1037_3.jpg!w348x348.jpg[/img][/align]  1、恒温恒湿实验室制冷压缩机超压报警。如果制冷系统的制冷剂压力超过了设定值,就会停机同时也会报警,这个时候一定要排除故障然后进行手动复位。  2、电源缺相、相序报警。设备的外接电源缺相或是相序更改的时候就会停机同时还会报警。  3、循环冷却水缺水报警。在冷却循环水系统的水压不足的时候,会停机同时还有可能会有报警的现象,一定要等排除了故障的同时复位之后才可以正常运行。  4、制冷压缩机过热报警。在压缩机的线圈过热、线路的供电不正常的时候,就会停机报警。  以上就是今天小编所讲的恒温恒湿实验室的制冷系统,要的还有想了解的可以点击本网站了解更多。

  • 【讨论】能谱仪电制冷与液氮制冷的区别?

    我们现在用的是一台牛津的液氮制冷能谱仪,要新进一台热场发射,不知道电制冷能谱仪怎么样,请大家帮忙提提意见,求教,谢谢!(是卖家的请说明身份,说不定可以考虑哦!)[em0814]

  • 恒温恒湿试验机之制冷系统报警

    恒温恒湿试验机之制冷系统报警

    原文来源:恒温恒湿试验机之制冷系统报警 编辑:林频仪器  [b]恒温恒湿试验机[/b]有各种各样的故障,而报警只是其中一种,报警又有许多的分类,它有制冷系统报警还有温度系统报警,今天我们就试试制冷系统报警吧。  1、制冷系统中的制冷压缩机超压报警,当制冷系统的制冷剂压力超过我们设定的值时,该设备它会停止运转并发出报警,我们只要把问题解决并复位设备便能恢复正常了。[align=center][img=,348,348]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707060833_01_1037_3.jpg[/img][/align]  2、恒温恒湿试验机的外接电源缺相、相序更改时,以及冷却循环水系统的水压缺乏时,我们的设备都会停机并报警,只需要把毛病扫除后设备自会康复正常运转。  最后小编再顺便提一下恒温恒湿试验机的风机报警,当风机线圈过热以及风机过流报警时,它的解决办法也同上一样,所以说任何故障只要找到了它的问题这之所在,那么一切的问题都将不再是问题,若想了解得更多可登录我司官网查询。

  • 谈谈冷水机制冷系统中的两个重要元素

    在小型冷水机的制冷系统中,一般都是利用毛细管来进行节流控制的,因此对于利用毛细管做节流元件的冷水机,要求制冷系统必须有比较稳定的冷凝压力和蒸发压力。 毛细管是一款最简单的节流装置,它的内径一般是0.5~2mm,长度则根据冷水机功率大小而定。在使用的时候直接加工成螺旋形,利于增大液体流动时的阻力。由于毛细管的长短和管径大小直接影响到液体制冷的流通量和压缩机的制冷效果,所以建议用户不要任意更换它。 首先,我们一起来毛细管的长短对小型水冷式冷水机制冷系统温度的影响:1、毛细管加长:那么制冷系统的吸气(进气)温度、排气温度上升,冷凝器中部温度上升,冷凝器出口温度下降,蒸发器出口温度上升。2、毛细管缩短:与毛细管加长的情况正好相反,主要是吸气(进气)温度、排气温度下降,冷凝器中部温度下降,冷凝器出口温度上升,蒸发器出口温度下降。 其次是注气量对小型水冷式冷水机制冷系统温度的影响。如果注气量增加,那么吸气温度下降,排气温度上升,冷凝器中部温度上升。冷凝器出口温度下降,蒸发器进口温度上升,蒸发器出口温度上升。如果注气量减少,那就变成吸气温度上升,排气温度下降,冷凝器中部温度下降。冷凝器出口温度上升,蒸发器进口温度下降,蒸发器出口温度下降。

  • 低温装配设备制冷系统堵塞与泄露的区别

    低温装配设备在运行中,如果发生故障肯定是要及时解决的,但是如果比较相识的故障就需要我们注意了,特别是制冷系统堵塞以及制冷系统泄露的故障需要我们注意区别一下的。低温装配设备制冷系统堵塞一般有脏堵和冰堵两种,油堵比较少见。低温装配设备脏堵是由于制冷系统中有杂质(氧 化皮、铜屑、焊渣),当它随制冷剂循环时,在毛细管或过滤器处发生堵塞。冰堵是制冷系统进入水分所致。因不同的制冷剂含有一定的水分,加之维修或加制冷剂过程中抽空工艺要求不严,使水分、空气进入系统内。在低温装配设备压缩机的高温高压作用下,制冷剂由液态变为气态,这样水分便随制冷剂循环进入又窄又长的毛细管。当低温装配设备每千克制冷剂含水量超过 20mg 时,过滤器水 分饱和,不能将水分滤掉,当毛细管出口处温度达到 0℃时,其水分从制冷剂中分解出来,结成冰,形成冰堵。低温装配设备的脏堵和冰堵又分为全堵和半堵,其故障现象为蒸发器不结霜或结霜不 满,冷凝器后部温度偏高,用手摸干燥过滤器或毛细管入口处,感到温度和室温几乎相等,有时甚至低于室温,切开工艺管有大量气体喷出。低温装配设备冰堵形成后,压缩机排气阻力增大,导致压缩机过热,热保护器工作,压缩机停止运转,大约 25 分钟左右后冰堵部分溶化,压缩机温度降低,温控器及热保护器触点闭合,压缩机启动制冷。所以,低温装配设备冰堵具有周期性,蒸发器可见到周期性结霜、化霜现象。低温装配设备制冷系统泄漏多发生于压缩机、冷凝器、毛细管、过滤器等处的焊接接头,大部分低温装配设备的蒸发器采用铝质材料,由于材料质量低劣,生产工艺差,使用时间长,使用和搬运中 造成震动或碰撞等原因,而引起泄漏。低温装配设备制冷系统泄漏,表现于蒸发器半边结露,低温装配设备系统内气流声微弱,切开工艺管有少量制冷剂放出。由于低温装配设备漏点小且很隐蔽,特别是内漏根本无法发现,经长时间缓慢渗泄,直至将系统内制冷剂全部漏掉,低温装配设备也就由制冷效果差,逐渐变为不制冷。所以,在检查此类故障时仅凭压缩机不停机、不制冷和制冷效果差来判断是制冷系统堵塞还是制冷系统泄漏,其理由是很不够的。低温装配设备不同的故障在处理时应该区别对待,维修时认真分析加以鉴别来判断,争取有效的解决故障。

  • DSC有必要安装液氮制冷吗

    DSC一般都自带自然冷却装置,如果样品不是很多,而且使用温度在室温到600℃,估计液氮制冷附加只是浪费。据说液氮瓶容量才26L,可以使用多久呢?一个月2~4怕还是使得的。但是在检测一些聚合物需要加热降温再加热的检测模式,液氮制冷的优势就可以体现处来了吗?用过的大侠指点下。液氮制冷的配备到底好处在哪?耗材使用最好也要纳入进去。

  • 高低温试验箱复叠式制冷系统技术知识介绍

    高低温试验箱复叠式制冷系统通常由两个部分(也可由三个部分) 组成,分别称为高温部分及低温部分。高温部分使用中温制冷剂,低温部分使用低温制冷剂,而每一部分都是一个完整的单级或双级压缩制冷系统。高温部分系统中制冷剂的蒸发是用来使低温部分系统中制冷剂冷凝,而只有低温部分系统的制冷剂在蒸发时才制取冷量。高温部分和低温部分用一个冷凝蒸发器联系起来,它既是高温部分的蒸发器,又是低温部分的冷凝器。高低温试验箱复叠制冷机组大都以R22/ R404为制冷剂。 高低温试验箱复叠式制冷系统有两个比较重要的知识点: 一、中间温度的确定 复叠式制冷循环中中间温度的确定应根据制冷系数最大或各个压缩机压力比大致相等的原则。前者对能量利用最经济,后者对压缩机气缸工作容积的利用率较高(即输气系数较大) 。由于中间温度在一定范围内变动时对制泠系数影响并不大,故按各级压力比大致相等的原则来确定中间温度似乎更为合理。 二、膨胀容器 高低温试验箱复叠机组停止运转时,由于系统内的温度升高到了环境温度,低温制冷剂全部气化成过热蒸汽,并且将高于规定的最大工作压力,这种情况是不允许的。因此要在系统中接入一个膨胀容器,以便在停机后大部分的制冷剂蒸汽进入膨胀容器中,膨胀容器可以接到吸气管上,也可以接到排气管上,接到吸气管上时,膨胀容器所需要的容积较小,因而比较合理 。 膨胀容器的容积可按如下方法计算: V p = ( Gd*vp - V d)*vd/(vd - vp) 式中: V d 为不计膨胀容器容积时,低温部分的制冷系统总容积(m3) ; vp 为设计温度、设计压力下低温系统制冷剂过热气体比容(m3/ kg) ; v d 为设计温度、吸气压力下低温系统制冷剂过热气体比容(m3/ kg) ; Gd 为不计膨胀容器容积时,低温系统制冷剂充注量(kg) 。

  • DSC如何选择机械制冷或者是液氮制冷

    小弟现在一家汽车零部件检测中心,公司最近想进一台DSC,检测样品为汽车内外饰高分子件、车用橡胶、涂层等,我想问这些需要用到-80℃以下的制冷么?或者一般需要用到液氮制冷的样品是什么类型?

  • 高低温试验箱与液氮深冷低温箱的区别

    环境试验设备高低温系列试验箱种类繁多,仅从外观来看,可能没有太大的区别,然而,它们所做的试验却相差很大。今天,我们就以高低温试验箱和液氮深冷低温箱来做比较,了解一下两者之间的异同点。 (1)温度范围:高低温试验箱与液氮深冷低温箱的最大区别就是它们的温度范围不一样,高低温试验箱的温度范围可做到-80℃~150℃;而液氮深冷低温箱的温度范围可做到-196℃~150℃。 (2)制冷方式的不同:液氮深冷低温箱是将液氮直接喷在试验箱箱体内部,液氮在试验箱内部吸热蒸汽化,带走热量,使试验箱降温;而高低温试验箱则是将制冷系统的蒸发器设计在试验箱内,经过节流装置的制冷剂在蒸发器内部(不是直接进入试验箱)蒸发汽化,吸收蒸发器外围的热量,使试验箱降温; (3)温变速率的不同:液氮深冷低温箱的降温速率非常快,可达到10℃/min;而高低温试验箱的降温速率为0.7~1℃/min。 (4)高低温试验箱的应用范围很广,几乎各行各业都会用到,而液氮深冷低温箱只适用于特种行业。

  • 制冷系统的选择决定了温度冲击试验箱质量的优劣

    温度冲击试验箱制冷系统的选择主要是压缩机与蒸发器的选用。 制冷系统是温度冲击试验箱的核心部件之一,主要由压缩系统、冷凝系统、蒸发系统和调节阀四大部份组成,另外还有风扇、导管和仪表等辅件。整个制冷系统是一个密封的循环回路,制冷剂在该密封系统中循环,根据需要控制供应量和进入蒸发器的次数,以获得适宜的低温条件。压缩机是温度冲击试验箱制冷系统的心脏,它推动制冷剂在系统中循环。冷凝器的作用是排除压缩后的气态制冷剂中的热量,使其凝结成液态制冷剂;冷凝器的冷却方式有空气冷却、水冷却、空气与水相结合三种,空气冷却只限于小型环境试验箱制冷设备中应用。蒸发器的作用是向温度冲击试验箱内提供冷量,蒸发器安装在试验箱内,利用鼓风机将冷却的空气吹向试验箱内的各个部位,大型温度冲击试验箱常用风道连接蒸发器,延长送风距离,使温度下降更加均匀。

  • 半导体低温工艺中制冷系统的压力和温度准确控制解决方案

    半导体低温工艺中制冷系统的压力和温度准确控制解决方案

    [color=#990000]摘要:针对半导体低温工艺中制冷系统在高压防护和温度控制中存在的问题,本文将提出一种更简便有效的解决方案。解决方案的核心是在晶片托盘上并联一个流量可调旁路,使制冷剂在流入晶片托盘之前进行部分短路。即通过旁路流量的变化调节流出晶片托盘的制冷剂压力,一方面保证制冷剂低压工作状态,另一方面实现晶片温度的高精度控制。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][b][size=18px][color=#990000]1. 问题的提出[/color][/size][/b] 随着新一代半导体工艺技术的发展,如低温刻蚀和沉积,需要晶片达到更低的温度。更低温度的实现目前可选的技术途径一般是采用循环流体介质直接作用在晶片卡盘,而介质可以是单一制冷剂(如液氮)和混合制冷剂。目前,更具有应用前景的是使用混合制冷剂的自复叠混合工质低温制冷技术,但在半导体低温工艺的具体应用中,需要处理好以下两方面的问题: (1)当制冷系统连接到晶片托盘后,混合工质就在一个容积固定管路内循环运行。在压缩机启动初期,整个系统基本处于较高温度,系统内大部分工质为[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url],随着制冷温度的降低,除压缩机和冷凝器外的其他部件内的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/5p][color=#3333ff]液相[/color][/url]工质含量逐渐增加,当制冷温度达到最低时,系统内的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/5p][color=#3333ff]液相[/color][/url]工质含量达到最高。由于气液两相工质的比容相差较大,不同相态的工质通过节流单元的能力不同,工质间的沸点也不同,所以在制冷系统启动初期,通过节流单元的几乎全部为气态工质,压缩机的排气压力也将会很高。而在半导体工艺设备中,半导体晶片托盘及其回路部件的最大工作压力通常在1~1.4MPa范围内,那么在低温制冷过程中,冷却剂压力可能会超过晶片托盘冷却回路的最大操作压力而造成系统损坏。因此,要在晶片制冷系统中增加低温压力控制装置,避免出现高压问题,保证制冷系统在整个运行过程中制冷剂压力符合要求。 (2)晶片冷却温度是半导体低温工艺的一项重要技术参数,晶片冷却过程中的低温温度要求按照设定值进行准确控制。尽管大多数低温制冷系统都具有温度控制功能,可通过外部温度传感器、调节回路和控制器组成的闭环回路实现低温温度控制,调节回路基本都是通过调节制冷剂流量和膨胀方式,有些则通过辅助加热方式进行温度控制,但这些温控方式普遍结构复杂且控温精度不高,特别是在多个晶片同时冷却的半导体设备中这些问题更是突出。 针对上述半导体低温工艺中制冷系统在压力和温度控制中存在的问题,本文将提出一种更简便有效的解决方案。解决方案的核心是在晶片托盘上并联一个流量可调旁路,使制冷剂在流入晶片托盘之前进行部分短路。即通过旁路流量的变化调节流出晶片托盘的制冷剂压力,一方面保证制冷剂低压工作状态,另一方面实现晶片温度的高精度控制。[b][size=18px][color=#990000]2. 解决方案[/color][/size][/b] 对于半导体低温工艺中的晶片托盘进行冷却,一般所采用的技术方案是直接将自复叠混合工质制冷机与晶片托盘连接,其结构如图1所示。这种方案在温度控制时是在晶片托盘上安装温度传感器,并与控制器连接进行温度控制,但这种方案存在压力过高和温度控制不准确的问题。[align=center][color=#33ccff][size=14px][b][img=半导体晶片低温冷却实施方案示意图,400,235]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/12/202212270900279759_748_3221506_3.jpg!w690x406.jpg[/img][/b][/size][/color][/align][align=center][b][color=#990000]图1 半导体晶片低温冷却常规方案[/color][/b][/align][align=center][size=14px][b][img=半导体晶片低温冷却改进后方案,400,240]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/12/202212270900037860_9891_3221506_3.jpg!w690x414.jpg[/img][/b][/size][/align][b][/b][align=center][b][color=#990000]图2 半导体晶片低温冷却改进后方案[/color][/b][/align] 本文提出的改进方案如图2所示,为了使冷却过程中的混合工质压力始终处于安全工作范围,在图1所示的冷却管路上增加了一个短接旁路,通过一个调节阀控制此旁路中的工质流量可以降低晶片卡盘及其管路的内部压力达到安全范围。同时,此旁路调节阀具有高精度动态精密调节能力,可使晶片卡盘内部的制冷剂压力波动非常小而实现更准确的温度控制,由此可在制冷机现有温度控制能力的基础上,降低压力波动和提高温度稳定性。具体实施方案如图3所示。[align=center][size=14px][b][color=#33ccff][img=半导体晶片低温冷却实施方案示意图,690,266]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/12/202212270900506941_8802_3221506_3.jpg!w690x266.jpg[/img][/color][/b][/size][/align][align=center][b][color=#990000]图3 半导体晶片低温冷却系统压力和温度精密控制方案示意图[/color][/b][/align] 在图3所示的解决方案中,采用了以下几个控制部件: (1)气动调节阀:此气动调节阀也称之为背压阀,即通过较小的气体压力来驱动较大压力下流体介质中阀门的开度变化。通过此低温调节阀开度变化来改变旁路流量进而实现压力调节。 (2)先导阀:先导阀是一个低压气体压力调节阀,可对表压(如0.6MPa)的进气压力进行高精度减压调节,调节控制信号为模拟量(如4~20mA或0-10V),由此来驱动气动调节阀。 (3)传感器:晶片低温冷却系统包含了压力和温度传感器,以分别检测晶片冷却剂回路中的压力和晶片温度,并将检测信号传输给双通道PID控制器。压力传感器可根据实际需要布置在制冷剂管路中的不同位置,以提供合理和准确的压力监测。 (4)双通道控制器:此双通道控制器是具有两路独立控制通道且具有很高精度的PID控制器,一路通道与压力传感器和先导阀构成压力控制回路,另一通道与温度传感器和制冷机构成温度控制回路。 总之,通过这种增加旁路并进行压力精密调节的解决方案,即可满足降低制冷剂压力提供安全防护功能,又可以提高晶片温度控制精度,是一种可用于晶片低温工艺的更优化方案。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 工业冷水机制冷系统运行的几个主要参数

    工业冷水机运行工况参数好坏,对其工作的经济型和安全性影响很大,其中在工业冷水机的制冷系统中,下面几个运行参数供大家参考:1、蒸发温度和蒸发压力 工业冷水机的蒸发温度可通过装在压缩机吸气截止阀端的压力表所指示的蒸发压力而反映过来。蒸发温度和蒸发压力是根据制冷系统的要求确定的,偏高不能满足冷水机降温需要,过低会使压缩机的制冷量减少,运行的经济性较差。2、冷凝温度和冷凝压力 制冷剂的冷凝温度可根据冷凝器上压力表的读数球的。冷凝温度的确定与冷却剂的温度、流量和冷凝器的形式有关。在一般情况下,风冷冷水机/水冷冷水机的冷凝温度比冷却水出水温度高3~5℃,比强制通过的冷却空气进口温度高10~15℃。3、压缩机的吸气温度 压缩机的吸气温度是指从压缩机吸气截止阀前面的温度计读出的制冷剂温度。为了保证风冷冷水机/水冷冷水机心脏-压缩机的安全运转,防止产生液击现象,吸气温度要比蒸发温度高一点。在设回热器的氟利昂制冷的风冷冷水机/水冷冷水机,保持15℃的吸气温度是合适的,对氨制冷的风冷冷水机/水冷冷水机,吸气过热度一般取10℃左右。4、压缩机的排气温度 风冷冷水机/水冷冷水机压缩机排气温度可以从排气管路上的温度计读出。它与制冷剂的绝热指数、压缩比及吸气温度有关。吸气温度越高,压缩比越大,排气温度就越高,反之亦然。5、节流前的过冷温度 节流前的液体过冷可以高制冷效果。过冷温度可以从节流阀前液体管道上的温度计测得。一般情况下它较过冷器冷却水的出水温度高1.5~3℃。 工业冷水机的运行工况参数好坏,对冷水机影响很大。制冷系统主要参数调整的目的,就是要控制各个参数,使其在最经济最合理的条件下运行。

  • 低温试验箱不同制冷方式的区别

    低温试验箱不同制冷方式的区别[url=http://www.meryou.cn]低温试验箱[/url]顾名思义就是用来做低温试验的,低温试验箱的制冷系统可谓是重中之重,那么问题来了,低温试验箱做低温试验制冷时是用液氮制冷好还是压缩机制冷好呢?两者又有什么不同呢?两者之间共有三处不同分别为:制冷方式、温度范围、降温速度。一:制冷方式不同。液氮制冷,一般是使用液氮直接喷在试验箱箱体内部,液氮在试验箱内部吸热蒸汽化,带走热量,使试验箱降温 而压缩机制冷,一般是将制冷系统的蒸发器设计在试验箱内,蒸发器内部的制冷剂一般采用环保制冷剂,经过节流装置的制冷剂在蒸发器内部(不是直接进入试验箱)蒸发汽化,吸收蒸发器外围的热量,使试验箱降温 二:温度范围不同。对于需要提供低于-40℃—— -195℃的试验环境时,通常会选择液氮制冷的方式 对于需要提供低于0℃—— -80℃的试验环境时,选择压缩机制冷的方式的低温试验箱较多,因为液氮是消耗性的,每次低温的获得都必须消耗液氮 三:降温速度不同。液氮制冷的高低温试验箱降温速度快,考虑到温度的快速恒定和过冲问题,一般设计为10℃/min 压缩机制冷的高低温试验箱由于低温环境的获得成本高,一般设计的降温速度为1℃/min   通过以上的内容,相信您对低温试验箱制冷方式有了大致的了解,我们在做低温试验的时候,应当根据试验的要求来做出正确的选择,只有选择正确了,其效果才会达到最好。

  • 分析恒温恒湿试验箱制冷系统的故障

    分析恒温恒湿试验箱制冷系统的故障

    [b]恒温恒湿试验箱[/b]是由制冷系统、加热系统、温度空气循环系统、控制系统和传感器系统等组成,这些系统可分属电气和机械制冷两大方面。机械制冷系统在该设备运行中起着重要的角色,可以说是“心脏”,每个环节可能会发生的故障或问题,我们都必须要有一个全面的认识和了解。具体内容如下所示:[align=center][img=,348,348]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/06/202106301611483295_1176_1037_3.jpg!w348x348.jpg[/img][/align]  一、恒温恒湿试验箱电器故障:(1)内部线路起弧原因:马达在真空状态下供电或是真空状态下电击的典型结果(2)副绕组烧毁原因:a.接线错误 b.继电器安装位置 c.每小时压缩机起动次数过多(10次) d.继电器用错 e.继电器故障f.电压不对  二、缺油原因:a.压缩机回油不好 b.压缩机停机期间起泡  三、压缩机卡死原因:a.液态冷媒转移到压缩机壳体 b.在特殊运转情况下缺油 c.起泡 d.回液 e.怀疑系统清洁度  四、恒温恒湿试验箱压缩机运转时内部存在空气原因:由于吸气管路渗漏,系统没有低压控制表和冷却室内无温度报警  五、恒温恒湿试验箱内部泄漏原因:a.阀片或垫片破裂 b.内排气管破裂c.阀座上有外来杂质  六、其他故障原因:a.噪声 b.压缩机不起动 c.压缩机运转而无排气 d.压缩机使供电极与地导通  关于恒温恒湿试验箱制冷系统的常见故障有如上所述几个方面,仅供参考。

  • 汇总恒温恒湿试验箱制冷系统检漏的主要方法(上)

    恒温恒湿试验箱制冷系统检漏主要包括两个部分:一部分是制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、干燥过滤器、毛细管等部件的检漏,第二部分是制冷管路组成的封闭系统的检漏。那么恒温恒湿试验箱制冷系统检漏的方法有哪些呢,我们来一起了解一下。 1、肥皂泡检漏 先将肥皂切成薄片,浸于温水中,使其溶成稠状肥皂液。检漏时,在被检部位用纱布擦去污渍,用干净毛笔沾上肥皂液,均匀地抹在被检部位四周,仔细观察有无气泡,如有肥皂泡出现,说明该处有泄漏。有时,需先向系统充入0.8-1.0Mpa(8-10kgf/cm2)的氮气。 2、水中检漏 此法常用于恒温恒湿试验箱压缩机(注意接线端子应有防水保护)、蒸发器、冷凝器等零部件的检漏。其方法是:对蒸发器应充入0.8Mpa氮气,对冷凝器应充入1.9MPa氮气(对于热泵型空调器,二者均应充入1.9MP氮气),浸入50度左右的温水中,仔细观察有无气泡发生。使用温水的目的在于降低水的表面张力,因为水的温度越低,表面张力越大,微小的渗漏就不能检测出来。检漏场地应光线充足,水面平静。观察时间应不少于30秒,工件浸入水面20厘米以下。浸水检漏后的部件应烘干处理后方可进行补焊。 更多精彩内容,请看下文。

  • 解密高低温测试箱低温制冷系统出现故障的原因

    解密高低温测试箱低温制冷系统出现故障的原因

    众所周知,高低温测试箱是环境试验设备行业中的主打产品之一,关于它的故障排除也一直是老生常谈的问题。制冷系统是温度试验箱的核心系统,本章艾思荔试验设备就高低温测试设备的的制冷系统故障做以下详细分析:  1、环境温度过高导致。对于高低温测试箱的环境温度有明确规定5℃-30℃,若环境温度过高势必会导致低温降不下去的现象。  2、高低温测试箱冷凝器的风扇故障。检测风扇电机是否出现堵塞或烧坏的情况,风扇不转动或风速减少导致的。  3、制冷液泄露。通过肥皂水、洗洁精来涂抹在铜管表面,检测漏点,补好漏电,加制冷液即可。  4、压缩机故障。检查制冷压缩机是否工作,如果故障,切勿乱动需打电话联系厂家,维修或更换压缩机。  高低温测试箱制冷故障一般是有以上4点原因引起的,若想可程式高低温试验箱能正常完成试验,平时的细心呵护也是必不可少的。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/03/201603161033_587109_2930782_3.jpg

  • 影响恒温恒湿试验箱制冷系统蒸发温度过低的主要因素

    近日,有网友询问恒温恒湿试验箱制冷系统蒸发温度过低的主要因素,今天小编通过网上查阅资料以及平时的维修经验,整理了以下内容,有需要的朋友赶紧收藏吧! 1)恒温恒湿试验箱制冷系统的制冷剂不足。 2)节流阀开启过小,流入蒸发器的制冷剂量不足,蒸发器的大部分空间制冷剂蒸气过热,制冷量下降,蒸发压力也随之下降。 3)恒温恒湿试验箱制冷系统有污物堵塞,特别在氟利昂系统中,由于污物会使干燥过滤器及细的管路堵塞,系统中含有水分,会使膨胀阀产生冰堵等情况。 4)电磁阀不工作,或没开启有关阀门。 5)直接蒸发式冷却器表面结霜或结冰,增加了传热热阻,影响了传热效果,使蒸发温度逐步降低,从而使蒸发压力降低。 6)蒸发器面积与压缩机的制冷量不相匹配,即蒸发器的蒸发面积过小。 7)水冷系统的冷却水过量而制冷剂量过小。对此,必须调整冷却水及制冷剂的流量。 8)负荷调节开关开启度不够,制冷设备的制冷能力大于所需的热负荷。 当出现恒温恒湿试验箱蒸发温度过低时,应查明原因,将机组运行调整到合理状态。

  • 复叠式制冷系统离心式压缩机维修说明

    复叠式制冷系统离心式压缩机维修说明

    复叠式制冷系统中的零件检查是运行前比较重要的一部分,其中,如果离心式压缩机发生故障的话,就要及时解决,那么,怎么解决比较好嗯?[align=center][img=,690,258]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/08/201808031620281765_8068_3445897_3.jpg!w690x258.jpg[/img][/align]  复叠式制冷系统离心式压缩机主轴拆卸后,用外径千分尺测量各轴颈(与叶轮、轴承、联轴器等配合处)的尺寸,以计算其圆度和圆柱度偏差,其值应在允许范围内。超差较大时,则应检查主轴直线度偏差是否过大。将主轴放在机壳内或放置于车床上两顶之间,使主轴处于自由状态,用千分表测量主轴轴颈的径向圆跳动量。  将复叠式制冷系统离心式压缩机转子分成4-8等分,按转子旋转方向盘动转子,千分表摆动大值即为径向圆跳动量值。同时用两块千分表在主轴适当位置测量主轴的直线度偏差,其径向圆跳动量值应不大于0.01mm,若超标过大,则应更换主轴。  检查复叠式制冷系统离心式压缩机轴颈表面有无划痕、沟槽、擦伤、磨点等缺陷,必要时进行探伤检查,较小的缺陷可用手工刮并抛光处理;较大的缺陷可用堆焊、电镀、喷涂等方法修理后,再磨削抛光。探伤检查发现裂纹或出现严重缺陷时,一般不予修理,予以更换。  同时还应测量复叠式制冷系统离心式压缩机叶轮的端面跳动量,其值应在允许范围内。如端面跳动量值超过允许范围值,超标较小时,一般不进行修理;数值较大时,可利用加垫片的方法调整叶轮与主轴的装配关系,检修后的叶轮应进行动平衡、静平衡测试。  复叠式制冷系统离心式压缩机的零件和配合件都有规定的技术标准和使用要求,在没有可靠的根据认为需要修改标准的情况下,要严格遵守这些标准,决不允许降低标准。  复叠式制冷系统应当制定固定的保养维修计划,认真学习使用方正确理解和使用设备要求,及时配合现场使用方定期检修。

  • 高低温交变试验箱制冷系统常识普及贴

    用户对于高低温交变试验箱制冷系统的规格性能等常识一直存在着疑惑,笔者收集了高低温交变试验箱相关技术资料,将一些关于压缩机的规格等常识分享给大家。 高低温交变试验箱压缩机的规格有两种区分方法,第一种是按输入功率来划分的。一般每种规格间相差 50W 左右。第二种是按气缸容积划分的。 压缩机主要性能指标有:输入、输出功率,性能系数,制冷量,启动电流、运转电流、额定电压、频率,气缸容积,噪音等。而衡量一种高低温交变试验箱压缩机的性能,则主要从重量、效率和噪音三个方面的比较。 高低温交变试验箱制冷系统的性能检验则是依据我国标准GB9098-96 规定项目进行的。其中主要项目是制冷量、输入功率、工作电流、启动性能、整机残余水份和杂质含量,寿命试验等。而其中的安全性能检验则是依据GB4706.17-96 规定项目进行的,其中主要的试验项目分别是抗电强度、绝缘电阻、泄漏电流、堵转条件下的运行试验,以及电机绕组温升、壳体温度和停开试验等。

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