探针台

MPI TS2000-IFE 是一个自动化探针台，可以从使用一开始或在测试领域内任何需要时转换为带有 Waferwallet MAX 的全自动探针台。主要应用在负载拉动、RF、mmW、硅光子学、设计验证（产品工程）或在定义的测试环境中测试 MEMS 和其他传感器。MPI 同时推出用于太赫兹应用的 200 毫米自动探针台系统MPI 提供其200 mm TS2000-IFE THZ-Selection 自动探针台系统。THZ-Selection 是一种专用的射频、毫米波、太赫兹和负载牵引探针台，在 -60 至 300 oC 的宽工作温度范围内不会影响测量方向性。它基于 MPI 最通用的 200 毫米平台 - TS2000-IFE 系列。200 毫米晶圆的自动化在片测试探针台系统常用来执行以下操作：无需额外的 S 波段波导，尤其是在亚太赫兹或太赫兹范围内。最小化负载牵引应用的信号路径并提供最宽的调谐范围和最高GAMMA。切换频段时操作简单方便。MPI 专有的 IceFreeEnvironment 技术允许 THZ-Selection 在微定位器和探针卡的帮助下在负温度下运行。该测试系统能够通过具有可编程微观运动的集成探针控制提供晶圆级可靠性。主动隔振缓冲了测试过程中振动误差的发生。这些功能支持自动化测试，没有任何错误余地，并且具有可验证的准确性。

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

MPI TS2000是全球范围内公认的 探针系统的自然演变，其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对M MEMS，高功率，RF和mmW 器件测试的特殊要求。TS2000可用于环境和/或仅高温操作模式，速度极快,高可达10 Dies / second（取决于终配置），这使其成为分立RF器件进行生产前电气测试的理想选择。 特点:大探针台TS2000系列提供了易于使用的大型探针台板，以容纳多达12个DC或4个RF MicroPositioner。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners,使得TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择。简易晶圆装载 宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200毫米的晶片，晶片碎片，甚至小至5×5毫米的IC。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要，可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows基于仪器。晶圆和辅助夹具的真空控制面板位于右前侧，以便在装卸过程中轻松检修。热卡盘集成可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热吸盘（从20°C或从环境温度到高300°C），该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。探针卡和微型定位器–同时许多单探针，用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡座以及较低的板到卡盘距离非常适合与主动探针同时进行探测，使该系统成为设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择 。整合式DarkBoxTS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000！该系统专为各种测量仪器的佳占位面积，嵌入式互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的。易于从背面板上进行访问，从而使重新配置或初始设置变得非常快捷和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。隔振TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作SENTIO控制软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成 –为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

MPI TS3000自动探针系统MPI的TS3000是一个300毫米自动测头系统，专门用于产品工程， 故障分析， 设计验证， 晶圆级可靠性 以及 RF和mmW?应用。TS3000功能集提供：高温度范围-60… 300°C佳的灵活性具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的小电缆距离，可实现更好的测量方向性非常小的压板到卡盘高度可实现佳mmW和内部节点探测非常小的系统占地面积，在内部集成了热力系统的冷却器两者的结合使TS3000探针台成为MPI公司和产品工程市场所独有的。IceFreeEnvironment™ 结合了MPI的IceFreeEnvironment™ ，TS3000可以在-60… 300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行MicroPositioners和/或探针卡的测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。探针悬停控制™ MPI探针悬停控制PHC™ 允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆/焊盘的定位。易用性通过大程度减少关键设置和测头更换操作中的错误，确保了安全的操作。大探针台板TS3000提供了易于使用的大型探头压板，以便以小的压板到卡盘高度容纳多达12倍的DC或4倍的RF微定位器。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners，使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。探针压板被主动冷却以避免热漂移，尤其是在300°C时。简易晶圆装载双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300毫米晶片，晶片碎片甚至小至5×5毫米IC的装卸程序变得轻松。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。关键位置处的键盘和鼠标可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows 基于仪器。 热卡盘集成由于集成了智能冷却器，TS3000系列提供了优化的占地面积，可节省实验室中的宝贵空间。MPI和ERS共同设计了 新型300 mm Thermal?ChuckAirCoolPRIME??技术 系列，提供了无与伦比的热灵活性，将浸泡时间减少了60％，并且提供了市场上种类多的热学产品。减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下更轻松地进行测试以及现场可升级性是AirCool的附加价值PRIME热卡盘系统。可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热力系统，该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。ERS获得专利的AC3冷却技术公司这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™ ，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。探针卡和微型定位器–同时单探头，用于4.5“ x 11”探头卡的薄型探头卡座以及较低的板到卡盘距离是同时使用被动/有源高阻抗探头进行探测的理想选择，尤其是在负温度下；使系统成为 设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择。安全测试管理（STM）系统独特的STM系统可防止在测试过程中打开门–测量结果很安全。在负吸盘温度期间，任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外，智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™ 会自动将卡盘转换为安全模式-尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™ 的功能是通过自动保持安全的测试环境，使TS3000的测量更加安全，可靠和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作 SENTIO控制?软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成–为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对精确，可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THzMPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的，经济高效的手动探头系统，专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定，具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用，例如高达110 GHz的宽带，高达1.1THz的带状解决方案，负载牵引和RF噪声。单机多应用设计无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器全新设计的扩展器、调谐器集成，可实现非常大的动态测量极大的机械稳定性和重复性，实现方便和安全的操作人体工程学设计方便单手操作的，快速移动气浮式样品台设计坚固且空间充足的工作台，可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading)，实现接触、分离和加载的高性能弹性选配与升级可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器专用光学元件，用于缩短电缆和波导的长度，实现非常大的测量方向性各种夹头选件，印刷电路板和各种附件，如DC / RF /毫米波定位器 直流、射频和THZ微定位器的探针板设计 MPI探针悬停控制TM配有悬停高度（50、100或150μm）， 便于探针与Pad的对准。 世界上数一数二极精确的接触/超大行程控制， 精度为1um,便于测量的重复性和精确性无缝集成任何扩频器，以在200毫米晶片上获得 非常佳测量方向性陶瓷辅助夹头 用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头

PXB-S系列探针台 PXB-S系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜和体式显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um。●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●显微镜支架万向杆PXB-S系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-M系列探针台 PXB-M系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降PXB-M系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-E系列探针台 PXB-E系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 三阶抬杆， 微调移动行程为40mm，抬杆重复性精度为2umPXB-E系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BE系列探针台PXB-BE系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 微调移动行程为60mm，抬杆重复性精度为1um●配置独立控制压力阀PXB-BE系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BET系列探针台 PXB-BET系列高低温探针台主要特点●搭配高低温系统， 最大范围-65℃到300℃●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●装片拉出装置， 定位锁住●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 一次性行程为6mm， 抬杆重复性精度为1um， 四点同步●配置独立控制气流阀PXB-BET系列高低温探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-D系列探针台PXB-D系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜，体式显微镜 ●载物台气浮快速移动 ●可选配高压高流测试环境●platen上下结构，可正反面同时扎针 ●载物台双面镂空，可替换，一个镂空夹具，一个 载物台（两个吸附孔）●背置式直筒显微镜，zoom为0.58-7.5x ●Platen 微调行程为40mm，移动分辨率为1um， 四点同步PXB-D系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●PCB领域检测分析 PXB-W系列探针台PXB-W系列探针台主要特点●可选配110Ghz，220Ghz等测试环境 ●搭配高低温系统，最大范围-65℃到300℃ ●可选直筒显微镜，体式显微镜或金相显微镜 ●载物台气浮快速移动，三档控制，X轴独立控制， Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制 ●装片拉出装置，定位锁住 ●稳定型显微镜桥架，移动分辨率为2um，显微镜 气动升降 ●Platen 二阶抬杆，一次性行程为6mm，抬杆重复 性精度为1um，四点同步 ●配置独立控制气流阀PXB-W系列探针台应用领域●Microwave probing 微波量测(高频测试)PXB-PL系列探针台 PXB-PL系列探针台(定制型)针对PCB&LCD&OLED&MINI-LED研发的测试探针台主要客户：英业达，沪利，深南电路，美维，奥克斯，大金，龙腾光电，群策等PXB-VL系列探针台 PXB-VL系列探针台产品简介PXB- VL高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台PXB-SA系列探针台产品简介PXB-SA 系列探针台是一款在非真空条件下实现高低温环境的测试探针台。该产品采用气冷制冷 ，自动控温 ，设备配置非常丰富。自带屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽无线电磁干扰 ，另外一方面也可以保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜。该产品多数用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台产品优势可搭配高低温温控系统,温度范围为-60-300℃可实现半自动测试微腔屏蔽

手动探针台 测试探针台半导体领域探针台 在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制成的越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。Advanced在中国推出手动分析探针台近10年历史，销售实绩800多台，并且以每年的销量稳居行业销量榜首。行业知名客户有：友达光电、华映光电、奇美光电、群创光电、飞兆半导体、德州仪器、华虹集成、华为、电子五所、航天808所、航天201所、中科院微电子所、苏州中科院纳米研究所、复旦大学、上海交通大学、西安电子科技大学、温州大学、福州大学、厦门大学等等……手动探针台 测试探针台手动探针台 测试探针台型号： PW-600/PW-800规格：chuck尺寸150mm（200mm）X,Y电动移动行程150mm（200mm）chuck粗调升降8mm，微调升降30mm可搭配MOTIC金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“可搭配Probe card测试适用领域：6寸/8寸Wafer、IC测试之产品手动探针台 测试探针台型号： PW-400 规格：chuck尺寸100mmX,Y移动行程100mmchuck Z轴方向升降10mm（选项）搭配AEC实体显微镜针座摆放个数2～4颗适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等 RF高频探针台 手动探针台 测试探针台东、南、西、北测试臂搭配美国GGB高频测试头DC~10/40/50/67GHZ （GSG,GS,SG）Pitch 100～1500um探针材料：BeCu/Tungsten

产品简介：该款探针台可精确控制探针臂和探针的移动，通过搭配探针座、显微镜和源表等，来完成探针台的测试，精确下针，输入、输出测试电信号，漏电流50fA；精确度高，稳定性好，皮实耐用；适合高校/研究所研发用。主要配置：- 6"真空吸盘- 漏电流：50fA- X/Y平台行程：100X100mm- Z轴分辨率：1um- 显微镜&CCD: 放大倍数300x，更大倍数可订制- CCD相机：2.1M像素+液晶显示屏- LED环形照明（带亮度调节）- 探针座：磁性底座- 探针臂：三轴或同轴线缆- 探针：金钨合金- 真空泵：低噪音真空泵其他选项：- 防震桌- 暗箱（屏蔽箱）- 加热台- 转接头插线板- ......

v 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节v 样品尺寸：碎片~12英寸v 自动化：手动、半自动、全自动v 测试环境：高低温、磁场、真空探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片级测量、定制化等

手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片（晶圆及碎片），并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。还可以设计验证/IC工程，晶圆级可靠性，MEMS，高功率和器件表征和建模。

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。规格：试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。 温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择 温度精度：0.1k或更好 热探针臂和辐射屏蔽 卡盘和探针臂的温度监测辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。 真空压力 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。 相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力

MPT系统专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。FAPS150,FAPS200,FAPSS300是常用的自动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。 Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用先进的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动。

MPI High power manual probe systems MPI高功率手动探测系统。 MPI 大功率器件表征系统是专为晶片高功率器件测试而设计的。MPI TS150-HP 和 TS200-HP 探头系统提供了一个完整的150毫米和200毫米的晶片解决方案。它们被设计成在广泛的温度范围内实现对功率半导体的低接触电阻测量。 AIR bearing stage 空气轴承阶段 MPI空气轴承平台设计采用简单的单手圆盘控制，提供无与伦比的操作便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时不会影响精确的定位能力，并具有额外精细的25x25mm XY-Theta千分尺机芯。 10 KV coaxial or 3KV triaxial ambient chucks 10kv同轴或3KV三轴环卡盘 卡盘选项包括 MPI 的10kV 同轴或3kV 三轴环境吸盘或各种热卡盘, 以支持温度测量高达300摄氏度。 该热触控控制器的设计是安装在探针本身, 以方便快捷的操作。 HV/HC PROES 高压/ HC探针 MPI高功率探测解决方案包括专用的高电压和高电流探头, 使用 MPI 适当的多接触小贴士, 以减少接触电阻。MPI 的高压探头能够在同轴安装的3kv 三轴或5kv和10 kv的高压试验中进行低泄漏电流测量。 Safe AND Accurate 安全、准确 标准手动高功率探头系统配置与 屏蔽箱 提供安全和 EMI 屏蔽能力的联锁, 以确保低噪音, 准确和安全的测量。周边附件：CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、高压探针、真空泵。

MPS-C-3X0磁体探针台系统是世界上第一个探针台，能够在被测试的器件上提供三维磁场控制。真正独特的专利设计使自旋电子器件的做晶圆级测试、纳米电子和许多其他材料和器件在所需磁场中准确的测试和测量。自旋流和自旋矩振荡器测试，磁模拟和识别复杂的多层结构的各向异性只是应用我们的MPS系统的几个案例。MPS系列磁体探针台特点：MPS系列磁体探针台是市场上唯一能提供在应用磁场中对任意两或三维定位的探针台，是自旋电子器件的特性和自旋电子学研究的一个最终的探针台解决方案。MPS系列磁探针台是唯一在市场上提供的晶圆级别的矢量磁场探测的探针台，特适合于在生产环境中自旋和磁电子器件测试。MPS系列磁体探针台完全可定制的，基于开源的LabVIEW的控制软件，很容易与最常见的测试和测量设备集成。高分辨率微定位器40、80、100和200tpi下探针的微米级定位螺钉。数据收集和/或分析与广泛的输出格式和选项可用。系统提供了三维霍尔探头，以提供无与伦比的稳定性和精度所施加的磁场通过闭环控制。可选项：升级为150mm或200mm晶圆。扩展磁场均匀性/稳定性。高分辨率显微镜。用于探测期间的域成像偏振显微镜。 升级射频探针 扩展温度范围探测 相机的广泛选择 晶片卡盘广泛的选择 对micropositioners广泛的选择，探针和探针尖端武器 超真空泵 受控环境测量........

RF探针座 RF探针座适宜配合高频探针使用， 森东宝科技CB-100以及CB-200均可做射频探针座. RF探针座参数 型号：CB-100-RF ◆ 台湾原装进口◆ 磁力开关底座◆ X-Y-Z 方向的移动行程为12mm◆ 100牙/英寸◆ 移动精度：0.7微米◆ 射频探针调节机构◆ 多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节，精度0.1度◆ 建议搭配高频探针使用（40GHZ-110GHZ)◆ 尺寸：94x75x95 mm (W x D x H)◆ 重量 : 750 grams 型号：CB-200-RF ◆ 台湾原装进口◆ 磁力开关底座◆ X-Y-Z 方向的移动行程为20mm◆ 100牙/英寸◆ 移动精度：0.5微米◆ 射频探针调节机构◆ 多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节，精度0.1度◆ 建议搭配高频探针使用（40GHZ-110GHZ)◆ 尺寸：112mm(W)x86mm(D)x108mm(H)◆ 重量 : 720 grams

室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。 PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的选择。特点&bull 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。&bull 移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。滑台采用磁力吸附固定。&bull 可安装6个探针臂。&bull 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm。型号分类：型号PSM-2PSM-4PSM-6PSM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂固定方式：磁铁吸附XYZ微调移动行程：XYZ-13mm微调可分辨精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mm显微镜分辨率：3μm（可选1μm）光源类型：兼配同轴和环形光源可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

可升级手动150mm-200mm晶圆探针台可针对直流、射频、微波和高功率应用进行配置环境温度至 400C 可配置高效手动150mm-200mm晶圆探针台单手压板升降，实现高效样品更换显微镜升降和锁定可针对直流、射频、微波和高功率应用进行配置-65C 至 400C 可配置最高性能手册150mm-200mm晶圆探针台亚微米定位和真正的单点接地单手平板和显微镜快速升降机可针对直流、射频、微波和高功率应用进行配置-65C 至 400C 可配置

Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。特点:1.稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。2.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。3.移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。 滑台采用磁力吸附固定。4.最多可安装6个探针臂。5. 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针 可以扎到样品的任意位置。6.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。7. CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm。

除了我们众多的标准低温探针台产品线外，Lake Shore还可以与您合作设计定制探针台，以满足您的特定实验要求。有关定制产品的一些示例，请参见下文。联系我们讨论您的定制需求。设备型号：无液氦超导磁体探针台定制液氦/液氮冷却探针台√ 3T或5T垂直磁场√ 2 K至420 K（最大磁场降低至室温以上）√ 用于零场测量的可选6.5英寸直径样品座√ 样品阶段的振动小于1µ m√ 最多8个样品√ 高达3 kV电压测试√ ~3.5 K至475 K（675 K可选）√ 样品台处25 nm振动室温真空探针台微型可运送样品真空腔室√ 300 K至500 K（675 K可选）√ 直径2英寸的样品座，带标准探针臂和视觉选件Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室，能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台（或转移到真空室），并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。 与普通的真空Load Lock不同，该真空室具有以下特点和优点：√ 典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸√ 无需闸板阀√ 操作非常方便√ 低成本√ 在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架

MPI TS3000-SE with ShieIDEnironmenTS3000-SE是 TS3000 探针系统的进一步发展, 以 MPI 系统为超低噪声. 非常准确和高度可靠的 DC/CV,1/f RTS 和 射频测量, 主要解决设备特性的需要,晶片级可靠性和射频和毫米波应用。独特主动冷却探头板设计提供了非常大的稳定性, 在宽温度范围从-60度到 300度, 使 TS3000-SE 探头系统.Probe hover control 探头悬停控制：Probe hover control 探头悬停控制 MPI 探针悬停控制 PHC 允许手动控制接触和分离距离, 可以精确地控制与微米反馈探针探针的晶片/垫定位. 易于使用通过在关键设置和探头更换操作期间小化错误来保证安全的操作。Easy wafer loading 易晶片装载双前门通道和独特的卡盘设计, 使150、200、300毫米硅片碎片或小到 4 * 4 毫米 IC容易装卸程序。辅助卡盘都位于前面, 可以很方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于校准和探针卡清洁的简单自动化方法。Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 根据数十年的经验和客户交互设计, 提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作. 键盘和鼠标是战略定位控制软件, 也将控制基于 windows 的仪器。Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Thermal chuck integration 热卡盘集成由于智能冷水机组集成, TS3000 系列为节省实验室宝贵空间提供了非常好的足迹。MPI和ERS设计了新的300毫米热夹头技术家庭，提供了无与伦比的热弹性，减少了60%的浸泡时间，以及市场上很大的各种热范围。减少过渡时间，改善电气性能，在惰性气体环境下更容易测试，以及现场可升级性是主要热卡盘系统的附加值。热系统可以通过使用全集成触摸屏显示，置于方便的位置，在操作前快速操作和即时反馈。ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却这些卡盘包含了专利的AC3冷却技术和自人类管理系统，使用循环冷却空气净化MPI保护环境，从而大大减少了市场上其他系统的30% - 50%的空气消耗。Safety test management (STM) system 安全测试管理系统独特的STM系统在测试测量结果时防止门打开是安全的，在任何情况下都不可能在负的卡盘温度中意外开启任何系统。此外，智能露点控制程序避免了冷测时的灵敏度。系统自动监测CDA或氮的流动。如果流量中断或不足，STM自动将卡盘转换为安全模式，在露点以上尽快加热卡盘。MPI STM是通过自动维护安全的测试环境，使TS 3000 -SE测量更安全、更可靠、更方便的特性。Instruments integration 设备集控可选的仪表架可减少电缆长度，增加测量的动态性和方向性oftware suite SENUIO 软件套件SENUIOMPI自动化工程探测系统由一个独特的和改革性的,多点触摸操作SENTIO软件套件简单直观的操作将节省大量的训练时间,滚动变焦,模仿现代智能移动设备和移动命令可以让每个人都成为一个专家在几分钟.Switching活动应用程序与应用程序的其余部分是一个简单的手指扫描的问题。对于射频应用，不需要切换到另一个软件平台——MPI射频校准软件程序QAlibria完全集成到感知器中，通过遵循单一的操作概念方法，便于使用。oftware suite SENUIO 软件套件SENUIOoftware suite SENUIO 软件套件SENUIO

Avantgarde 室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点1.真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。2. 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足最大4英寸范围内全部位置的扎针测试。3.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。4.直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。5.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。6.可选微波探针臂，最高频率可达到110GHz。

标准探针台/DM系列基础型探针台产品概要DM系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑,设计精密,价格实惠,配置灵活,极具性价比。在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到了广泛运用,配合对应的仪器仪表,用于测试各类器件的I、CV、I-t、V-t,光电信号,1/f噪声测试,器件表征测试,RF射频等。如果您的测试器件pad电极大于50um,此系列探针台是首选。技术特点整机一体化设计,结构紧凑占地小,可放置于手套箱内使用 自适应减震底座设计,可有效过滤环境中的震动源干扰 U型平台镀镍设计,增大针座加载空间的同时还提高了针座平台和针座之间的吸附力。

DSH系列双面探针台产品概要DSH系列探针台是我司自主研发的一款双面探针台,最大可完成12英寸晶圆的正反面点针测试。在具备常规探针台的功能基础上,可用于晶圆和PCB板的测试,对晶圆或者PCB板正面和背面同时扎针以实现各种光/电性能测试需求的测试,或背面点针,正面收集光线等,运用十分丰富。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升级功能。此设备在激光器,LD/LED/PD的光强/波长测试等方面得到了广泛运用。如果您的产品也有双面点针,或者背面点针的需求,此款产品是首选。技术特点双层设计,可正反面同时点针,可同时加载DC和RF信号 卡盘大手柄双驱动,省时,省力,省心,可升级360度快速移动 加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术,结构性能稳定。

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。 PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点&bull 真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足4英寸范围内全部位置的扎针测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。&bull 可选微波探针臂，频率可达到110GHz。型号分类：型号样品座尺寸PSV-22英寸PSV-44英寸参数和指标： 样品座样品座类型及材质：无氧铜接地样品座尺寸：2/4英寸可选配置：接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座探针臂组件类型：直流探针臂数量：4个接头和线缆：三同轴接头漏电流：100fA@1V真空环境信号频率：直流~50MHz 交流匹配阻抗：50 Ω探针针尖直径：100μm铍铜探针位移行程：X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10°读数精度：10μm光学系统显微镜放大倍数：10~180 倍分辨率：3μm视野范围：可到 22mm显微镜工作距离：90~100mm显微镜支架升级行程：65mm真空腔体材料：铝合金腔体容积：4/6L外形尺寸：800*800*600腔体入口尺寸：Ø 124mm可视窗口尺寸：50mm真空度：5E-4 torr真空抽口：KF25法兰真空腔体窗片：红外绝热材质防辐射屏窗片：石英材质充气阀接口：Ø 8 快拆接头预留接口：2个探针臂接口，2个电学接口减振支架（选件）尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换

简介：位移探针台可以在测试准备和测试过程中精确移动探针位置，实现微米级别的电极接触；同时探针前端可调整角度和长度，从而适应样品范围更加广泛。用途：1.用于光刻器件的高低温光电测试；2.用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试；3.可拓展低温温控和真空管路模块，实现液氮温度测量。制冷方式：液氮温度范围（℃）：-196到600℃显示精度（℃）：0.1控温精度：0.1℃样品区域：30*35mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm探针材质：钨钢或铍铜（探针针尖1um）探针数量：四个（可拓展为6个）外观尺寸：410*410*80mm腔体净重：10Kg备注：探针前端水平角度和长度可调

LH-CRPS-5K 是性价比很高的一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温探针台。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和 追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其 它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-5K 是易捷测试探针台家族中，能实现最低温度的探针台，最低温度低于5K。 多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-5K 最大可安装样品台直径102mm(4in)出厂时标准配置三同轴样品台，直径451mm(2in)

MPT系统专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。FAPS150,FAPS200,FAPSS300是常用的自动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。 Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用先进的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动。