寿命测试系统

SPM900 系列少子寿命成像测试仪原理说明非平衡少数载流子少数载流子的寿命是半导体材料的一个重要参数，也是评价半导体质量的一个指标。例如在光伏电池中，少子寿命决定了少子扩散长度， 决定了光吸收层、内建电场区域的厚度设计等重要的器件参数；载流子寿命也可以反映器件中杂质或者缺陷的影响，抑或是存在污染， 进行失效分析，对工艺过程进行优化。载流子的复合在一定温度下，处于热平衡状态的半导体材料，电子- 空穴对的产生和复合保持一种动态平衡，载流子浓度是一定的。然而，外界的作用会破坏这种热平衡，使其处于与热平衡相偏离的状态，随之改变的是载流子的浓度， 多于平衡值的载流子就是非平衡载流子。非平衡少数载流子也称也称少子，通常对于半导体器件的性能起到决定性的作用。当外界作用撤掉后，处于非平衡态的载流子会通过复合而产生衰减，直到载流子浓度恢复到之前的热平衡状态。载流子的复合方式可以分为三类：SRH 复合、辐射复合及俄歇复合（直接和间接）。(a) SRH 复合； (b) 辐射复合； (c) 直接俄歇复合；（d）间接俄歇复合少子寿命测试少子寿命的测量通常包括非平衡载流子的注入和检测两个方面，*常用的注入方法是光注入和电注入。对于间接带隙的半导体，常使用电注入或者微波光电导衰减的方法进行少子寿命测试，间接带隙半导体一般寿命较长， 为毫秒量级。而对于GaAs 这类的直接间隙半导体，复合的能量几乎全部以发光的形式放出，发光效率高，寿命较短（典型的寿命在10-8-10-9s），通常使用时间分辨光致发光光谱（TRPL）的方法来进行测试。激光扫描少子寿命成像测量仪SPM900当外界作用停止以后，少子的浓度（ΔC）随时间t 增长呈指数衰减的规律。由以下方程可知，少子的寿命为当少子浓度衰减到初始浓度1/e 时候所经历的时间。在辐射复合中，发光的强度与少子的浓度相关，因此可以通过检测发光的寿命来获得少子的寿命信息。当在显微镜上加载少子寿命测试模块，就可以得到微区下半导体器件的少子寿命分布信息，这对于微小型器件的研究及质量控制十分重要。激光扫描少子寿命成像仪基于时间相关单光子计数进行设计，包含显微镜主体，激光光源，光子计数检测器，单色仪以及自动XY 样品台等部分。位于显微镜上的激光光源用于样品的激发，通过控制样品台的移动，可以进行微区单点少子寿命测量和少子寿命成像。少子寿命成像测试应用外延ZnS 薄膜半导体本征带- 浅杂质复合半导体中施主- 受主对复合深能级复合III-V 族载流子杂质俘获过程研究非辐射中心的电子弛豫及复合机制研究半导体外延片缺陷和杂质检测测试软件控制测试界面测试软件的界面遵循“All In One”的简洁设计思路，用户可在下图所示的控制界面中完成采集数据的所有步骤：包括控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域，框选扫描区域进行扫描，逐点获得荧光衰减曲线，实时生成荧光图像等。数据处理界面功能丰富的荧光寿命数据处理软件，充分挖掘用户数据中的宝贵信息。可自动对扫描获得的FLIM 数据，逐点进行多组分荧光寿命拟合（组分数小于等于4），对逐点拟合获得的荧光强度、荧光寿命等信息生成伪彩色图像显示。3D 显示功能少子寿命测试案例MicroLEDMicroLED 显示技术是指以自发光的微米量级的LED 为发光像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度LED 阵列的显示技术， 在发光亮度、分辨率、对比度、稳定性、能量损耗等方面有很大优势，可以应用在AR/VR，可穿戴光电器件，柔性显示屏等领域。由于MicroLED 的尺寸在微米级别，因此需要在显微镜下进行检测。下图为使用少子寿命成像系统对直径为80 微米的MicroLED 微盘进行测试。单组分拟合，可以看到红圈中的污损位置，虽然影响发光强度，但对发光寿命没有影响钙钛矿测试钙钛矿属于直接带隙半导体材料，具有高光学吸收，高增益系数、高缺陷容忍度、带隙可调，制备成本低等优点，可以广泛应用在光子学与光电信息功能器件等领域，例如钙钛矿太阳能电池，钙钛矿量子点，钙钛矿LED 等材料的研究。对于钙钛矿中的载流子辐射复合的研究对于提供器件的光电转换性能有很大的帮助。以下示例为钙钛矿样品的少子辐射复合发光成像和寿命成像。图中可见此钙钛矿样品有两个寿命组分，且不同寿命组分的相对含量也可以从相对振幅成像图中很直观的看到。晶圆级大尺寸的少子寿命成像测试仪4、6、8 英寸晶圆样品测试，可在此基础上增加小行程电动位移台实现数百纳米至微米尺度的精细扫描显微尺度的少子寿命成像测试仪参数指标 系统性能指标：光谱扫描范围200-900nm*小时间分辨率16ps寿命测量范围500ps-1ms（具体视激光器而定）小尺寸空间分辨率≤ 1μm@100X 物镜@405nm 皮秒脉冲激光器大尺寸扫描可适用4 英寸、6 英寸、8 英寸样品配置参数：脉冲激光器375nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：30ps，平均功率1.5mW@50MHz405nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：25ps，平均功率2.5mW@50MHz450nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：50ps，平均功率1.9mW@50MHz488nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：70ps，平均功率1.3mW@50MHz510nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：75ps，平均功率1.1mW@50MHz635nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：65ps，平均功率4.3mW@50MHz660nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：60ps，平均功率1.9mW@50MHz670nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：40ps，平均功率0.8mW@50MHz其他皮秒或纳秒脉冲激光器具体视材料及激发波长而定科研级正置显微镜落射明暗场卤素灯照明，12V，100W5 孔物镜转盘，标配明场用物镜：10×，50×，100×监视CCD：高清彩色CMOS 摄像头，像元尺寸：3.6μm*3.6μm，有效像素：1280H*1024V，扫描方式：逐行，快门方式：电子快门小尺寸扫描用电动位移台高精度电动XY 样品台，行程：75*50mm（120*80mm 可选），*小步进：50nm，重复定位精度＜ 1μm大尺寸扫描用电动位移台XY 轴行程200mm/250mm，单向定位精度≤ 30μm，水平负载：30Kg；光谱仪320mm焦距影像校正单色仪，双入口、狭缝出口、CCD出口，配置三块68×68mm大面积光栅， 波长准确度：±0.1nm，波长重复性：±0.01nm，扫描步距：0.0025nm，焦面尺寸：30mm(w)×14mm(h)，狭缝缝宽：0.01-3mm 连续电动可调探测器：制冷型紫外可见光电倍增管，光谱范围：185-900nm（标配，可扩展）光谱CCD( 可扩展PL mapping）低噪音科学级光谱CCD（LDC-DD），芯片格式：2000x256，像元尺寸：15μm*15μm,探测面：30mm*3.8mm，背照式深耗尽芯片，低暗电流，*低制冷温度-60℃ @25℃环境温度，风冷，*高量子效率值95%时间相关单光子计数器(TCSPC）时间分辨率：16/32/64/128/256/512/1024ps… … 33.55μs，死时间＜ 10ns，*高65535 个直方图时间窗口，瞬时饱和计数率：100Mcps，支持稳态光谱测试；OmniFlμo-FM 寿命成像专用软件控制功能：控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域，框选扫描区域进行扫描，逐点获得发光衰减曲线，实时生成发光图像等数据处理功能：自动对扫描获得的寿命成像数据，逐点进行多组分发光寿命拟合( 组分数小于等于4），对逐点拟合获得的发光强度、发光寿命等信息生成伪彩色图像显示图像处理功能：直方图、色表、等高线、截线分析、3D 显示等操作电脑品牌操作电脑，Windows 10 操作系统

DeltaHub——DeltaFlex的关键部件 超短的死时间（10ns）：配合高重复频率的激光光源和高速检测器，可实现无损失的光子计数，达到快速采集数据和准确的分析结果。 超快寿命测试技术：真正实现了荧光寿命动力学测试，采集时间低至1ms（全球同类产品中 快），支持1ms-10,000min无间断寿命动态监测。新型脉冲半导体光源 DeltaFlex配置新型脉冲半导体光源作为荧光和磷光的激发光源（四大类型，百种可选），即插即用，无需校准，而且终身免维护。 其中DeltaDiode光源的重复频率可达100MHz，是超快寿命测试的 选择光源，同时可配置用于磷光测定的SpectraLED光源。与氙闪灯相比，SpectraLED具有265-1275nm宽波长的覆盖范围，以及实用方便、测试速度更快和信号无拖尾的优点。科研级模块化设计 在DeltaFlex系统上无需更换控制器和检测器，即可实现11个数量级（25ps-1s）范围内的荧光寿命测试。系统采用科研级模块化设计，配合全新的F-Link技术，可自动识别各类部件，软件直接接入、附件即插即用，能够无限满足升级需求。尤其是其中采用了行业优先的寿命拟合软件，没有费用开放数十种主流专业拟合功能，可单独于仪器操作。 多种光谱仪可选，配合像差校正光栅，覆盖200-1600nm宽光谱范围，完美实现时间分辨发射谱功能，支持100条发射波长动态连续监测，软件自动获得衰减相关光谱参数。 荧光寿命技术是科研中强有力的工具，可广阔用于物理、化学、材料、信息、生物和医学等领域。主要应用：FRET(Forster共振能量转移)Stern-Volmer猝灭稀土发光时间分辨和磷光各向异性分子互作，蛋白结构变化太阳能材料单线态氧测试光物理技术参数：基于滤光片或单色仪实现波长选择皮秒超快集成化PPD光子检测模块（标配）可升级NIR检测器（~1700nm）综合分析受命拟合软件，开放数十种拟合功能标准液体样品架，加载温度传感器和搅拌装置大尺寸样品仓，配置高效UV级光学部件F-Link即插即用型交互界面主要特点：超宽寿命测试范围25ps-1s 超快测试时间（低至1ms），完美实现动态反应分析超微量样品测试，低至1μL综合分析软件，5指数寿命拟合高稳定性设计，使用维护简单高度自动化，一键测量分析大尺寸样品仓设计，强劲的附件兼容能力高性能荧光、磷光寿命测试功能

OLED寿命老化测试系统简介该系统是集成系统检测软件、多通道电源、硅光电二极管光电转换、工控机为一体的自动化检测系统，主要应用于OLED TEG/JIG加速老化寿命测试。1、 系统主要测试参数绘制OLED寿命老化曲线2、 系统特点&bull 可根据实际需要定制多通道测量（96通道、128通道）&bull 可提供恒温恒湿测试环境，模拟真实使用情况恒温恒湿箱参数：箱体尺寸具体尺寸待定温度范围-40℃~150℃，或-20℃~150℃，或0℃～+150℃多个温度范围（用户可根据实际测试需求选择）升温速率2℃～4℃/min[从常温升到最高温、非线性空载）降温速率0.7℃～1.0℃/min[从常温升到最高温、非线性空载）解析精度（显示）温度：±0.01℃解析湿度（显示）±0.1%R.H温度波动度±0.5℃温度均匀度±2.0℃湿度范围20%～98%R.H [25℃-85℃内]湿度波动度±2.0%R.H.湿度偏差±3% [湿度75%RH 时]总功率/电压5KW/380V控制功能触控显示屏，温度设定可采用定值或程式编辑，可定时；标配USB接口，电脑只可读取温度数据，不能控制温度，需通过触控显示屏操作3、测试原理