日立HITACHI扫描电镜SU8600系列高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列*设备照片包含选配项。 SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还提升了高通量、自动数据获取能力。 特点*高分辨成像日立的高亮度电子源可保证了即使在低着陆电压下,也可获得高分辨的图像。高衬度的低加速电压背散射图像3D NAND截面观察 在低加速电压条件下,背散射电子信号能够显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.自动化功能*EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。灵活的用户界面原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。 技术参数机型SU8600 系列电子光学系统二次电子像分辨率0.6 nm@15 kV0.7 nm@1 kV *放大倍率20 to 2,000,000 x电子枪冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。加速电压0.5 to 30 kV着陆电压 *0.01 to 20 kV探测器(部分为选配项)上探测器(UD)UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能下探测器(LD)顶探测器(TD)TD能量过滤器镜筒内背散射电子探测器(IMD)半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED)新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD)阴极荧光探测器(CLD)扫描透射探测器(STEM Detector)附件(部分为选配项)导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD)软件(部分为选配项)EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下)样品台马达驱动轴5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T)马达驱动轴X:0~110 mmY:0~110 mmZ:1.5~40 mmT:-5~70°R:360°样品室样品尺寸直径可达:150 mm*减速模式下
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