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最近需要购买一台热蒸发真空镀膜机,请问哪些厂家的比较好用?另外,有谁知道日立公司在北京的代理的联系方式?
真空镀膜机(DMP450)中有一个辅助挡板,设计的初衷是为了改善镀膜均匀性,但在实际生产过程中,原机辅助挡板并不能最大改善膜厚均匀性。一个半球形工件盘,基片卡槽分三圈排列,相同蒸发功率,相同时间下,相邻两圈的基片膜厚有差异。从理论上来说,如何通过修正挡板改善膜厚一致性和均匀性?
最近单位要买一台磁控溅射镀膜机,不知国内外哪些厂家的设备比较好,因为镀膜机的部件比较多,又要求真空,出点小问题难免,所以售后方面得好。不知哪位比较有经验的,指点指点。