纳米定位系统

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

Queensgate生产高速、高精度的压电式平台和皮米级分辨率的电容式传感器，用于最苛刻的纳米定位应用。专门从事要求高性能、高负载和高速的定制解决方案，通常适用于要求很高的环境。提供OP400物镜定位器和NanoScan SP纳米定位平台系列产品。最佳步进稳定及定位性能高通量筛选和分析是生物和材料科学成像的支柱。因此，OP400和SP系列的设计考虑到了速度，产品在全行程范围内可提供快速性能以及市场上较快的步进整定时间。这意味着高分辨率的长距离z–stacking在速度上迈入了新的领域。高速扫描会导致振荡，进而影响图像质量和z-stacking，甚至对纳米定位系统造成损坏。Queensgate产品具有高谐振频率；与Queensgate专有的数字控制技术结合，系统可以在没有振荡风险的情况下以同类最佳速度运行。有了Queengate的专业技术，不再需要由于系统不稳定或牺牲z-stack采集速度，而舍弃每个stack开始的图像。速度不会影响性能。SP系列有 400nm 和 600nm 行程范围可选，拥有同级较短行程产品相当或更优越的性能。OP400的线性度是典型压电式物镜定位器的两倍，同时具有良好的线性度和可重复性。这两种产品在实验中都具有极高的轴向分辨率，提供亚纳米分辨率。生物科学家认为，显微镜z轴的机械分辨率显然会高于其成像技术的光学分辨率。根据不同的分析方法，可检测或成像低至0.7nm的形态变化，是半导体或冶金样品表面检测的理想选择。这一系列操作都是通过集成的超灵敏电容式传感器实现的，无论移动速度或系统温度如何，传感器都能提供最高的定位灵敏度。轻松集成，助力实验成功尽管纳米定位设备的性能在市场上有很大优势，但相对于其系统的其他组件来说，用户几乎不需要校准这些纳米设备。产品的最高速度设置可与重达500g的物镜兼容，并为专业物镜提供二次校准。Queensgate的NPC控制器系列可完成其余工作。用户有理由相信Queensgate能够提供适合其实验需求且开箱即用的产品。 OP400和SP系列不仅易于设置，而且能够与各类显微镜兼容。OP400可兼容任何螺纹尺寸的显微镜鼻轮和物镜，包括32mm宽视场系统。NanoScan SP系列与所有的Prior Scientific倒置步进、直线电机平台兼容，也可兼容尼康，奥林巴斯和其他主流显微镜制造商的电动平台，以及东海希多和Okolabs的培养箱。此外，系统还可用于增强Prior的硬件PureFocus 850快速自动对焦系统的性能，为长时间延时实验提供 +/- 50nm 的聚焦稳定性。应用 共聚焦，超分辨，电生理，形貌测量等要求样品绝对稳定性的显微镜应用。

仪器简介：随着纳米技术、MEMS技术、半导体工业的飞速发展，对纳米级精度的移动定位装置、操纵装置、加工装置等的需求也在快速增长。为了满足这一市场需要，我们推出了一系列纳米定位、微操纵装置。纳米精度定位装置该系列产品设计极为紧凑，可以使样品或探针作直线或旋转移动。而且很多型号可以工作在极端环境条件下，例如极低温、超高真空、强磁场等。这些设备可以提供多种不同尺寸和材料，开辟了一个全新的定位设备的市场，在很多领域开拓了全新的研究方向。●适应各种极端工作环境：低温、超高真空、强磁场●提供多种运动自由度：XYZ直线、旋转、XY扫描、Z扫描、Θ、Φ等等，并且可以任意组合●定位精度高达纳米级● 很高的稳定性，无机械漂移、无回差、无需高压●负载大，可达自重的数倍●部分型号具有两种工作模式，单独一个设备既可以实现粗定位，也可以用于扫描●部分型号可选配多种位置读出设备，实现闭环控制●可根据客户要求定制各种特殊定位装置纳米级操纵装置，适用于SEM, TEM, FIB系统纳米马达拥有原子量级分辨率，运动行程达厘米级，横跨8个数量级，可提升6倍于自身重量的物体，并适应多种工作环境，包括超高真空、磁场、甚至液氮。纳米定位平台●最大承重量为2kg●行程：5~70mm●运动速度： 2 mm/s●运动分辨率：2nm ●定位传感器分辨率：10nm机械手包括微操作机械手、力反馈机械手、XYZ机械手等，可对夹持力进行精确控制，具有分辨率高，行程大，设计灵活等特点。

LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 8.5mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 8.5重量[g]21力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 8.5重量[g]26力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 8.5mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 8.5重量[g]13力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

一维纳米定位台，为一维×向运动压电平台，可进行10~200um范围内的纳米级位置调整。产品特性：◆ 高速响应；◆ 压电陶瓷驱动；◆ 重复定位精度高；◆ 纳米级位移分辨率；◆ 机体材料分铝合金和钛合金；◆ 具有开环和闭环两种；◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度；◆ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构；◆ 采用表面处理工艺，提高了适应工作环境的能力。

技术特点：超高定位精度高动态多运动模式：定位/扫描兼容超高真空运动行程：50~200um 应用领域：超分辨显微成像表面微纳结构光学检测 规格参数：型号NP-OL-Z-100运动轴Z传感器类型电容式位移传感器行程 (um)100闭环分辨率 (nm)0.35空载谐振频率 (Hz)900最大负载 (kg)2材料铝合金尺寸 (mm)75X95X80纳米定位平台

P-752高精度纳米定位平台P-752高精度纳米定位平台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

二维压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X，Y轴200μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 10重量[g]51力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1750产品描述 LS-1750的尺寸为50 x 17 x 10mm，行程范围为31mm。概观运动行程[mm]31尺寸[mm]50 x 17 x 10重量[g]32力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS-1750产品描述 LS-1750的尺寸为50 x 17 x 8.5mm，行程范围为31mm。概观运动行程[mm]31尺寸[mm]50 x 17 x 8.5重量[g]32力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 8.5mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 8.5重量[g]51力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1770产品描述 LS-1770的尺寸为70 x 17 x 8.5mm，行程范围为46mm。概观运动行程[mm]46尺寸[mm]70 x 17 x 8.5重量[g]46力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 8.5mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 8.5重量[g]41力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-4D产品描述 MLS-1720-4D所用定位台为LS-1720，运动为12x12x12x12mm。概观轴数4所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12x12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x48.5 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40.5x41.5x43.5 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-3D产品描述 MLS-1740-3D所用定位台为LS-1740，运动为26x26x26mm。概观轴数3所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x68 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40x40x63 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-3D产品描述 MLS-1720-3D所用定位台为LS-1720，运动为12x12x12mm。概观轴数3所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x48.5 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]28x22x43.5 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-2D产品描述 MLS-1720-2D所用定位台为LS-1720，运动为12x12mm。概观轴数2所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]28x22x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-2D产品描述 MLS-1740-2D所用定位台为LS-1740，运动为26x26mm。概观轴数2所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40x40x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-4D产品描述 MLS-1740-4D所用定位台为LS-1740，运动为26x26x26x26mm。概观轴数4所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26x26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x73x68 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]43.25x63x63 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730-4D产品描述 MLS-1730-4D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21x21mm。概观轴数4所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21x21XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x66x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]43.25x51x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座(-ST)、钛基(-TI) 均黑色阳极氧化(-BK)真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容(1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-2D产品描述 MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。概观轴数2所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21XY 负载[N]10靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30x30x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 负载[N]10Z 负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 10mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 10重量[g]26力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1770产品描述 LS-1770的尺寸为70 x 17 x 10mm，行程范围为46mm。概观运动行程[mm]46尺寸[mm]70 x 17 x 10重量[g]46力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 10mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 10重量[g]41力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

NanoMax&trade 6轴挠性位移台，纳米定位 MAX681特性X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供最高1 nm的分辨率高刚度挠性设计：X轴和Z轴：1 N/µ m Y轴：0.5 N/µ m共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本Thorlabs的NanoMax&trade 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。NanoMax 6轴位移台，带步进电机驱动器预配置DRV208步进电机驱动器，用于自动对准提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本选用的压电驱动器行程为30 µ m模块化设计便于拆卸和更换驱动器所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低Thorlabs带步进电机驱动器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)的行程为6°(105 mrad)。驱动器的双向重复性为5.0 µ m。霍尔效应限位开关提供高重复性，非常适用于电机归位。这一点对于依赖高重复性零点的自动对焦应用很关键。这些位移台重复性高，步进尺寸小，非常适合高精度自动光纤耦合系统或常规应用。附带驱动器的模块化设计便于随时更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请看驱动标签。每个位移台还包含六根PAA613 3 m延长电线，用于步进电机驱动器。除了以上特性，MAX682(/M)和MAX683(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µ m。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx、θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µ rad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台还包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。