离轴抛物面镜

TLSE1805i-EQ是基于Energetiq 公司的EQ系列宽带白光光源和&ldquo 影像谱王&rdquo 单色仪Omni-&lambda 1805i的可调单色光源；EQ系列宽带白光光源是一种超高亮度，高稳定性的激光驱动宽带光源（LDLS），因其亮度高，发光面积小，所以特别适合于窄的光谱仪狭缝，同时配合采用影像校正设计的&ldquo 影像谱王&rdquo 单色仪（Omni-&lambda 1805i），通过进口离轴抛物面镜组精心调校光学耦合，整体输出光强相比较于常规的氙灯光源可提高数倍，获得极佳的单色光输出效果。特别针对紫外波段（200-400nm），所有反射元件采用紫外增强镀膜，并可通过通氮气，减少紫外的吸收，获得更好的紫外单色光输出。 TLSE1805i-EQ采用全封闭结构，完全一体化设计。根据规格的不同，可以选择EQ99较低功率输出型和EQ1500超强功率输出型 主要规格参数表型号/参数TLSE1805i-EQ99TLSE1805i-EQ1500单色仪型号Omni-&lambda 1805i光谱范围*(nm，推荐)200-1500输出带宽**(nm，推荐)1~10输出带宽可调范围**(nm)0.3-20光栅1#1200g/mm@300nm光栅2#600g/mm@750nm滤光片使用范围(nm)200-1500光源LDLS-EQ99LDLS-EQ1500输出单色光功率 (mW)&ge 1（@1200g/mm光栅，500nm处，带宽5nm）输出光稳定性优于0.5%* 可通过选择不同规格的光栅，变更输出光谱范围** 输出带宽取决于所选光栅的刻线数和狭缝开启的宽度，标准为0.01-3mm连续可调

可调单色光源TLS3-X150A/X500A/T250A TLS3单色组件与GLORIA-X150A(清曜150W氙灯光源)、GLORIA-X500A(清曜500W氙灯光源)、GLORIA-T250A(金曜250W溴钨灯光源)分别组合形成TLS3-X150A、TLS3-X500A及TLS3-T250A系列标准单色光源，可应用于探测器响应测试、荧光激发、太阳能电池量子效率测试、光化学等应用领域。 TLS3-X150A/X500A/T250A系列可调单色光源光谱参数光谱带宽狭缝光谱仪（Omni 300）参数（光谱范围还决定于灯源类型）200-600nm330-1000nm800-2500nm1200g/mm-300nm600g/mm-500nm300g/mm-1250nm0.5mm1.35nm2.7nm4.1nm1mm2.7nm5.4nm8.1nm1.5mm4.1nm8.1nm12.1nm2mm5.4nm10.8nm16.2nm3mm8.1nm16.2nm24.3nm4mm10.8nm21.6nm32.4nm4.5mm12.15nm24.3nm36.5nm TLS3系列单色光源尺寸图选配附件表名称型号性能参数准直光转换器TLS-A5采用离轴抛物面镜准直光源，减小光源的像差,可以与谱仪狭缝直接连接，出射光斑最佳范围3-25mm，1.2度以内平行度。漫反射率测量附件OL-Difref-VNIR内部涂层材料:高反射率硫酸钡 (BaSO4)；2个探头孔，可以同时安装两个探测器（波长从可见到近红外）。积分球均匀光OL-IS2P-200A1.可以与谱仪狭缝直接连接；2.可用于产生均匀光源，单色光或白光。订购信息型号名称信息TLS3-X150A可调单色光源TLS3-X150A已包含光源、电源、单色仪、组合底板、滤光片轮、圆形狭缝等组装配件，配合软件可直接出射单色光。TLS3-X500A可调单色光源TLS3-X500A已包含光源、电源、单色仪、组合底板、滤光片轮、圆形狭缝等组装配件，配合软件可直接出射单色光。TLS3-T250A可调单色光源TLS3-T250A已包含光源、电源、单色仪、组合底板、滤光片轮、圆形狭缝等组装配件，配合软件可直接出射单色光。更多详细信息，请咨询销售人员。

离轴抛物面镜规格书离轴抛物面反射镜是一种表面反射镜，其反射表面是母抛物面中截取的一部分。利用离轴抛物面反射镜可以无色散的聚焦平行光束或准直点光源，其离轴设计可以将焦点从光路中分离出来。当准直光束垂直反射镜基底底部入射时，反射光会会聚在焦点位置。在焦点处放置点光源，可得到准直光束。聚焦光束和准直光束之间的夹角称为离轴角，截取母抛物面的不同区间可以获得不同离轴角的离轴抛物面反射镜。将离轴抛物面作反射镜表面不仅能使光路方向偏转，同时还可以实现各种光束收集、光束准直和光束聚焦。其离轴设计可以使焦点从光路其他部分中分离出来，被广泛应用于天体观测光学装置、光谱检测、天文望远系统、瞄准仪、扩束镜、红外系统、聚光太阳能系统，投影系统以及发射/探测设备等领域。与透镜相比，离轴抛物面反射镜不会产生球差、色差，且不会引入相位延迟和吸收损耗，非常适用于适合飞秒激光、红外、太赫兹应用。指标参数&bull 直径：12.7 mm、25.4 mm可选&bull 通光孔径：90%&bull 反射焦距：15.0 mm-152.4 mm可选&bull 焦距公差：±1%&bull 反射率：Ravg 96%&bull 离轴角：90°/45°&bull 表面光洁度：40/20（划痕/麻点）&bull 表面平整度：λ/4（@633 nm）&bull 表面粗糙度：100 &angst 90°离抛镜型号选型目录（1寸25.4mm）（2寸50.8mm）（3寸76.2mm）（4寸101.mm）（6寸152.4mm）型号口径焦距对准孔镀膜备注LBO-11-N-Au1寸(25.4mm)1寸NAuLBO-11-Y-Au1寸Y/AuLBO-12-N-Au2寸NAuLBO-12-Y-Au2寸YAuLBO-13-N-Au3寸NAuLBO-13-Y-Au3寸YAuLBO-14-N-Au4寸NAuLBO-14-Y-Au4寸YAuLBO-21-N-Au2寸(50.8mm)1寸NAuLBO-21-Y-Au1寸YAuLBO-22-N-Au2寸NAuLBO-22-Y-Au2寸YAuLBO-23-N-Au3寸NAuLBO-23-Y-Au3寸YAuLBO-24-N-Au4寸NAuLBO-24-Y-Au4寸YAuLBO-26-N-Au6寸NAuLBO-26-Y-Au6寸YAuLBO-21-N-Au3寸(76.2mm)3寸NAuLBO-21-Y-Au3寸YAuLBO-22-N-Au4寸NAuLBO-22-Y-Au4寸YAuLBO-23-N-Au6寸NAuLBO-23-Y-Au6寸YAu备注：对准孔：锥形孔，小端直径3mm支持更多其他规格型号的定制！

一, 宽光谱准直器(采用90°离轴抛物面反射镜) 450nm- 2000nm采用90°离轴抛物面反射镜,这种反射镜的焦距在宽波长范围内保持恒定,所以 在焦点调节准确的条件下就能准直宽光谱波长的光,成为准直多色光的优秀选择。在 透镜表面镀制450nm到2000nm波长范围的银膜,增加出射效率。该款准直器都可 选配FC/PC、FC/APC或者SMA接头。宽光谱准直器(采用90°离轴抛物面反射镜) 450nm- 2000nm,宽光谱准直器(采用90°离轴抛物面反射镜) 450nm- 2000nm通用参数产品特点●表面镀制银膜(450nm-20μm)、 金膜(450nm- 20μm)或铝膜(250-450nm) ,反射率高●反射膜上镀有保护膜,增加环境适用性●反射式工作方式 ,整个反射带宽谱消色差设计●适合多色光准直出射或耦合到光纤中●无磁不锈钢外壳●标准接口设计,方便安装使用产品应用光谱分析荧光分析气体遥测水质成分分析食品安全医疗分析仪器工作波长450nm - 20um镀膜银膜/金膜/铝膜反射率(平均值）96%出口光束直径2mm、4mm、8.5mm、12mm（使用光纤NA=0.13)数值孔径0.4、0.36、0.167、0.216通光口径Φ7.5mm、Φ11mm、Φ22mm接口类型FC/PC、FC/APC、SMA工作温度-10~70℃二, 五维光纤准直/耦合镜在接头和光纤保持不动时,内置的透镜具有五个对准自由度: X和Y方向的线性 对准、俯仰和偏转角度对准、同时使用俯仰和偏转调节Z轴。其X和Y方向的行程范围 为+0.7mm , Z方向行程范围为 2mm ,俯仰偏摆调节范围+4°。该款耦合镜具有很 好的结构稳定性和较高的耦合效率,如果更换光源波长,使用时还需对耦合镜进行微 调，以获得更高的耦合效率。 五维光纤准直/耦合镜,五维光纤准直/耦合镜通用参数产品特点●镜头双面镀制宽带增透膜,中心波长 405nm/650nm/780nm/1064nm/1310nm/1550nm可选 ●有效焦距分别有7.5mm/10mm/11mm可选 ● FC/PC、FC/APC、 SMA多种光学标准接头可选 一生装配消色差透镜工作波长焦距光纤MPD光束束腰直径发散角数值孔径镀膜350- 700 nm7.50 mm3.5um1.23 mm0.47mrad0.30350- 700 nm600 - 1050 nm7.50 mm5.0um1.62 mm0.67mrad0.30600- 1050 nm1050-1620 nm7.50 mm10.4u1.42 mm1.39mrad0.301050-1620 nm350 - 700nm10.0 mm3.5um1.64 mm0.35mrad0.23350 -700 nm600 - 1050 nm10.0 mm5.0um2.16mm0.50mrad0.23600 - 1050 nm1050- 1620 nm10.0 mm10.4um1.99 mm0.99mrad0.231050- 1620 nm装配非球面透镜工作波长焦距光纤MPD光束束腰直径发散角数值孔径镀膜350- 700 nm7.50 mm3.5um1.23 mm0.47 mrad0.30350 - 700 nm600- 1050 nm7.50 mm5.Oum1.62 mm0.67 mrad0.30600- 1050 nm1050- 1620 nm7.50 mm10.4um1.42 mm1.39 mrad0.301050- 1620 nm350- 700 nm11.0 mm3.5um1.80mm0.32 mrad0.20350- 700 nm600 - 1050 nm11.0 mm5.0um2.38mm0.46 mrad0.20600 - 1050 nm1050- 1620 nm11.0 mm10.4um2.09mm0.95 mrad0.201050-1620 nm

离轴抛物镜Off-Axis Parabolic Mirror离轴抛物面反射镜Minimize System SizesMinimize System WeightBoth "Wedged" and Equi-thick Mirrors are AvailableMinimize System CostTarget Simulators Collimators MTF measuring systems and other optics test devices Spectroscopic and FTIR systems Radiometers Beam Expanders Laser Divergence measuring systems To fully describe OAP one has to specify 5 parameters: 1.Parent focal length PFL (or Slant Focal Length SFL)2.Zonal Radius ZR (or Off-axis Distance OAD)3.CA (clear aperture)4.SA (surface accuracy)5.SQ (surface quality)Off-axis Parabolic Mirror draftTypical Interferometer Graph of OAP MirrorSurface Error Profile ReconstructionTypical Reflection Spectrum for Protected Aluminum (Al + SiO2) Coating

离轴抛物镜(Off-axis parabolic mirror)产品简介尖丰光电提供各种规格的离轴抛物镜l 采用铝膜基片反射镜l 备有15°、30°、45°、60°或90°的离轴可选l 可选择铝膜和金膜与标准抛物反射镜的不同之处在于，离轴抛物金属膜反射镜可在特定角度下直射并聚焦入射平行光，并且支持无限远焦点。这些反射镜普遍应用为Schlieren和MTF系统的平行光管，而镀金膜离轴抛物反射镜则用于FLIR测试系统。注意：由于表面粗糙度为175?，因此这种反射镜不适用于需要低散射的可见光和紫外应用。规格参数：离轴角度15°、30°、45°、60°、90°直径 mm1' ' 、2' ' 、3' ' 、4' ' 直径公差 mm+0.00/-0.38焦距公差 %±1表面形貌 RMS1λ父焦距 PFL mm0.5' ' 、1' ' 、1.5' ' 、2' ' 、3' ' 、4' ' 有效焦距 EFL mm1' ' 、2' ' 、3' ' 、4' ' 、5' ' 、6' ' 、7' ' 、8' ' 表面粗糙程度 (Angstroms)175 RMS衬底铝 6061-T6镀膜保护金膜/铝膜波长范围 um0.7 - 2波长范围 um700 - 2000

离轴抛物镜 与标准抛物反射镜的不同之处在于，离轴抛物金属膜反射镜可在特定角度下直射并聚焦入射平行光，并且支持无限远焦点。这些反射镜普遍应用为Schlieren和MTF系统的平行光管，而镀金膜离轴抛物反射镜则用于FLIR测试系统。 我们能提供镀Parabolic Aluminum 膜、Parabolic Gold 膜、Parabolic Bare Gold 膜的离轴抛物镜，适用波长AL ：400 – 700nm、Gold:700-2000nm；偏离角度：15°、30°、45°、60°、90°。参数规格：直径容差 (mm)+0.00/-0.38焦距容差 (%)±1Surface Figure, RMS?λ表面粗糙度（埃）175 RMS基底Aluminum 6061-T6涂层Protected AluminumProtected GoldBare GoldCoating SpecificationRavg 85% @ 400 - 700 nmRavg 97% @ 800 - 2000 nmRavg 94% @ 700 - 800 nmWavelength Range (nm)400 - 700700-2000类型Off-Axis Parabolic MirrorRoHSCompliant (View Certificate)技术特性： Diameter (mm)Parent FL (mm)EFL (mm)Y Offset (mm)A (mm)B (mm)C (mm)15° Off-Axis Mirrors25.4381387.6100.339.65382.276.3525.4635654.99167.29.65631.956.3550.8304.8310.0880.2612.95308.616.3550.8381387.6100.3212.95383.796.3550.8508516.81133.7512.95508.516.3550.8635646167.212.95633.486.3576.2508516.8133.7617.53511.057.6276.2635646167.217.53636.027.62101.6381387.6100.3321.08387.17.62101.6508516.81133.7521.08512.327.6230° Off-Axis Mirrors25.425.427.2213.6113.231.756.3525.450.854.4527.2213.256.136.3525.4254272.24136.1213.2254.366.3550.850.854.4527.2220.0657.156.3550.876.281.6740.8420.0681.796.3550.8101.6108.8954.4520.06105.926.3550.8127136.1268.0620.06129.796.3550.8254272.24136.1220.06248.166.3576.276.281.6740.8427.9483.827.6276.2152.4163.3481.6627.94156.977.6276.2254272.23136.1127.94252.227.6276.2304.8326.69163.3427.94299.477.62101.6304.8326.69163.3434.8302.017.6245° Off-Axis Mirrors25.4101.6119.0284.1716.7695.56.3525.4127148.79105.216.76116.596.3550.838.144.6431.5727.4344.26.3550.850.859.5142.0827.4355.886.3550.876.289.2863.1127.4377.986.3550.8101.6119.0384.1727.4399.576.3576.276.289.2863.1139.1281.797.6276.2101.6119.0384.1739.12103.897.6276.2127148.79105.2139.12125.737.6276.2152.4178.53126.2639.12147.327.62101.6101.6119.0384.1749.78106.437.62101.6152.4178.55126.2549.78150.627.6260° Off-Axis Mirrors25.425.433.8529.3321.0828.966.3525.438.150.843.9921.0838.16.3525.450.867.7458.6421.0847.746.3550.850.867.7458.6435.5651.826.3550.876.2101.687.9835.5669.66.3550.8101.6135.45117.3235.5687.126.3576.276.2101.687.9975.6875.697.6276.2114.3152.4131.98102.62102.627.6290° Off-Axis Mirrors25.412.725.425.431.815.86.425.425.450.850.831.817.56.425.438.176.276.231.8186.425.450.8101.6101.631.818.36.425.463.512712731.7518.296.3525.476.2152.4152.431.818.56.425.488.9177.8177.831.7518.546.3525.4101.6203.2203.231.818.56.450.825.450.850.857.225.46.450.838.176.276.257.227.46.450.850.8101.6101.657.228.56.450.876.2152.4152.457.229.76.450.888.9177.8177.857.2306.450.895.3190.5190.557.2306.476.225.450.850.883.831.57.676.238.176.276.283.836.17.676.250.8101.6101.683.8238.617.6276.263.512712783.839.97.676.276.2152.4152.483.840.97.676.288.9177.8177.883.841.77.6101.650.8101.6101.6109.2245.727.62101.676.2152.4152.4109.2507.6

这些完整的红外光源包括所有必需组件，仅需简单组装便可运行。经济，低瓦数近红外到远红外光源离轴抛物面镜，实现优化的输出光质量外壳经济实用，采用对流冷却后反射镜将后向散射最小化包括用于工作的所有必要组件有关更多信息，请参阅Newport 官网。

Tydex太赫兹窗口片（THz Windows）我们提供晶体材料和聚合物材料的THZ窗口片品牌：俄罗斯Tydex一、晶体材料窗口片1.1、 HRFZ-Si 窗口片技术参数：材料 HRFZ-Si外型 平行平板最大直径, mm 150直径加工公差,mm 0厚度公差, mm +/0.1通光口径, % =90平行度, arc. min 3表面质量, scr/dig 60/40表面精细度, mm +/-0.01和理想平板的差异膜层 高透膜层1.1、 聚合物材料窗片技术参数：材料 TPX 和 HDPE外型 平行平板, 楔型(楔角为6 mrad)最大直径, mm 100直径公差,1mm + /-0.25通光口径, % =90表面质量, scr/dig 80/50 scr/dig (两面抛光) fine-ground (only HDPE)表面粗糙度 Rz 0.025 (TPX) Rz 0.05 (抛光 HDPE) Rz 0.1 (fine-ground HDPE)表面精细度, mm +/-0.01 和理想平行平板的偏差关于俄罗斯Tydex公司： Tydex公司位于俄罗斯圣彼得堡,是世界上Golay Cell的唯一的原产商。Tydex公司还生产离轴抛物面镜，大口径天文光学器件等产品。

产品信息受益于包括光收集或注入模式的多功能系统。揭示样品的前所未有的特征：成分、 结构或缺陷。充分利用具有大收集角度的优化系统。 激发样品以揭示光/热激发下的局部行为。产品优点如下：a、独立于样品架的镜子，可实现完美和优化的对准b、绝对编码系统，确保高对准精度和再现性（100nm精度）c、能够在自由空间或通过光纤注入/收集光产品还有如下特点：1、光收集模式：a、独特的抛物面收集镜，设计用于安装极靴间隙小至4.5mm；b、具有亚微米精度的定位系统，用于将镜子与样品完美对齐；c、 NA0.4的高曲率抛物面镜；d、工作距离减小到300µ m，以最大化光收集/注入效率；e、 专利不对称光纤，旨在保持亮度和光谱分辨率。f、 使用了一种非对称光纤，光纤束从圆形到平行于成 像光谱仪的入口狭缝重新排列。这使得即使当狭缝展开并 且光斑由于扫描而在狭缝的入口处移动时，也能够保持恒 定的光谱分辨率。2、光注入模式：a、对于样品的局部光或热激发，光束尺寸减小到几微米；b、能够同时进行注入和光收集测量。3、STEM兼容性: a、 和大部分的(S)TEM型号兼容 : JEOL, TFS/FEI, Hitachi, Nion VG… b、极靴距离 : 最小 4.5mm c、PPG平面中有一个可用端口产品参数 镜子1、专有抛物面反射镜 ；2、厚度：2.0 mm（根据要求提供其他厚度）；3、光收集和注入模式兼容 ；4、样品至镜面距离：300µ m ；5、镜子反射性能：从200nm到1.7µ m，高达90%。 微定位系统1、行程: 30mm (X), +/-1.5mm (Y), +/-1.5mm (Z) ；2、自动伸缩式镜子 ；3、精度为300nm的绝对编码器 ；4、样品台触碰报警，以避免损坏极靴或样品架；5、外形尺寸161mm x 210mm x 133 mm与Thorlabs笼式系统兼容。 光收集注入接头1、带适配插入槽的光纤 ；2、自由空间，以避免空间相干性损失和信号功率密度下降，在两种模式之间切换仅需要几秒钟。 系统控制1、外部扫描卡，4个输入（12位），用于附加单通道探测器 （PMT…）；2个输出，用于控制STEM扫描；1输出，用于光束阻断器。2、最快测量速度：900Hz（128x128图像用时18s） 软件1、臂/镜控制软件（Windows10或更高版本，64位）；2、Gatan Digital Micrograph的采集/可视化模块 ；3、可选项：Python API加密。 选配件 色散光谱仪：1、两个成像出口 (320 mm 焦距) 2、多种光栅转台 检测器1、高速紫外可见光CCD相机 (200 nm–1100 nm) ；2、InGaAs近红外相机(900 nm–1700 nm)；3、全色检测器 (PMT 200 nm–900 nm)。应用领域1、电子 & 光电子 (GaN, InP, SiC...) 2、光伏电池 (GaAs, CdTe, Perovskites…) 3、发光二极管 (LEDs) 4、2D材料(Graphene, BN, WS2, diamond…) 5、贵金属(plasmonic) 6、光子晶体7、量子阱 & 量子点8、矿物、玻璃、陶瓷和宝石9、无机涂层10、有机物, 聚合物样品

Winston Cones Winston温斯顿锥 我们提供全面的 Winston温斯顿锥体选择，材料可选标准镀金镍或无磁性镀金铜，也可定制入口/出口孔径和f#。Winston温斯顿锥专为收集最~大浓度的远红外和亚毫米辐射而设计。在平行性能测试中，当使用相同形状的探测器时，Winston温斯顿锥比球面/抛物面镜光学器件的收集效率明显要高很多。 说明 探测器放置在锥形聚光镜后部的成型腔中。腔体和收集器直接耦合形成一个紧凑的系统，该系统易于对齐，非常适合布置在紧凑型的探测器系统中。锥体由镍或铜使用增材制造电铸工艺制成，成品会镀金以增强反射率和冷量传导。 具体操作 将入射辐射集中到小于场孔径的探测器上限制探测器的视野将入射能量均匀分布在探测器上 特点 50多种库存型号可供选择可提供定制服务

OptoScan 单色仪制造厂商：英国 Cairn它和 OptoSource75W或150W氙灯光源一起使用，通过软件操作 主要优点 中心波长亚毫秒量级时间控制，精度达到微秒量级带宽亚毫秒时间控制，每个波长下实现光谱和强度优化可与75w和150w 氙灯一起使用模块化设计，光源可以独立地作为白光照明光导/光纤可以耦合到所有主流的显微镜上通过外部光圈实现手动控制强度内置快速电子快门规格：光学配置 – 增强型Czerny-Turner，快速F/2光采集，离轴抛物面镜用于最小化像差衍射光栅 – 适用于紫外/可见光范围的1200线格栅光栅；适用于特殊应用的1800和2000线全息光栅波长分辨率 – 在300-800nm范围，精度为±1.5nm，分辨率为0.5nm带宽分辨率 – 在0-30nm范围，精度为0.1nm，精度为±0.2nm波长切换 – 200nm转换时间1.5ms，50nm转换时间1ms带宽切换 – 输入和输出狭缝的典型转换时间1.5ms数字快门（TTL） – 典型时间2ms（取决于带宽）单色仪尺寸：230 X 180 X 180 mm（长宽高）系统选项：标准宽光谱衍射光栅。特殊波长的可选衍射光栅（根据需要）。专门为Optoscan设计的Optosource弧灯灯具，可以驱动75-150W的氙灯。控制器选项：嵌入式USB控制 – 最强大和最方便的方式来控制Optoscan单色仪。直接控制 – 使用模拟信号直接控制Optoscan单色仪。提供完整套装包，包括DAC卡、电源、电线、软件驱动程序和dll库。与大多数商业成像套件无缝协作，可在采集和扫描模式下提供完全灵活控制照明。微处理器控制 – 用于光度测量和通用照明，Optoscan单色仪可以通过前面板键盘和显示器进行控制（或者使用所提供的仿真程序，通过PC串行端口进行控制 ）。该控制模块具有内置逐步扫描和扫描照明选项，并提供驱动测光模块所必需的定时信号（如果适用）

可调单色光源TLS3-X150A/X500A/T250A TLS3单色组件与GLORIA-X150A(清曜150W氙灯光源)、GLORIA-X500A(清曜500W氙灯光源)、GLORIA-T250A(金曜250W溴钨灯光源)分别组合形成TLS3-X150A、TLS3-X500A及TLS3-T250A系列标准单色光源，可应用于探测器响应测试、荧光激发、太阳能电池量子效率测试、光化学等应用领域。 TLS3-X150A/X500A/T250A系列可调单色光源光谱参数光谱带宽狭缝光谱仪（Omni 300）参数（光谱范围还决定于灯源类型）200-600nm330-1000nm800-2500nm1200g/mm-300nm600g/mm-500nm300g/mm-1250nm0.5mm1.35nm2.7nm4.1nm1mm2.7nm5.4nm8.1nm1.5mm4.1nm8.1nm12.1nm2mm5.4nm10.8nm16.2nm3mm8.1nm16.2nm24.3nm4mm10.8nm21.6nm32.4nm4.5mm12.15nm24.3nm36.5nm TLS3系列单色光源尺寸图选配附件表名称型号性能参数准直光转换器TLS-A5采用离轴抛物面镜准直光源，减小光源的像差,可以与谱仪狭缝直接连接，出射光斑最佳范围3-25mm，1.2度以内平行度。漫反射率测量附件OL-Difref-VNIR内部涂层材料:高反射率硫酸钡 (BaSO4)；2个探头孔，可以同时安装两个探测器（波长从可见到近红外）。积分球均匀光OL-IS2P-200A1.可以与谱仪狭缝直接连接；2.可用于产生均匀光源，单色光或白光。订购信息型号名称信息TLS3-X150A可调单色光源TLS3-X150A已包含光源、电源、单色仪、组合底板、滤光片轮、圆形狭缝等组装配件，配合软件可直接出射单色光。TLS3-X500A可调单色光源TLS3-X500A已包含光源、电源、单色仪、组合底板、滤光片轮、圆形狭缝等组装配件，配合软件可直接出射单色光。TLS3-T250A可调单色光源TLS3-T250A已包含光源、电源、单色仪、组合底板、滤光片轮、圆形狭缝等组装配件，配合软件可直接出射单色光。更多详细信息，请咨询销售人员。

● SPECTRAFIRE 解决了远红外测试时使用积分球造成 的能量损耗问题。● SPECTRAFIRE可以测试毛玻璃、半透明聚合物薄膜 等非透明样品● SPECTRAFIRE可以容易的安装到客户现有的Thermo Nicolet FTIR 红外光谱仪上 SPECTRAFIRE 是一个远红外反射率测试附件，可装配到 Thermo-Nicolet 的FTIR 光谱仪上，使用傅里叶变 换的方法进 行光谱半球反射率测试，其中使用了AZ 公司专利 的 ellipsoidal Collection半球能量收集技术，避免了传统的积分球技术对能 量的吸收损耗问题。仪器可从1.67um 到40um的范围内扫描测 试近法向半球反射率。所有的空间都可以被清除以最小化由于水和CO2造成的信号损失。法向发射率根据测试的光谱反射率数据和黑体曲线进行计算。SPECTRAFIRE 有2种测试模式，绝对测量模式和相对测量 （差分式）模式。在绝对测量模式中，近法向如射，半球反射率通过与配有校正臂的内置探测器直接测到。在这种情况下，无需校正。在相对测量（差分式）模式下，内置校正臂不起作用，而是提供一个参考样品进行背景扣除，然后测试样品。此外，该系统通过特殊标定的参考根据样品的光谱，来得到不透明样品的总半球发射率。使用Spectrafiar计算发射率并不需要知道光源的光谱，也不一定需要限定光源的色温在300K. SPECTRAFIRE 还可以用于正确的测量300K以外的发射率和非灰体的 发射率。准直的红外光束从Nicolet红外光谱仪进入到SPECTRAFIRE左边的入口处。通过一个离轴抛物面镜将该光束汇聚到样品上。样品口在系统的顶部，样品置于专利的收集器的顶部。入射光经样品反射并被收集汇聚到探测器上。探测器的信号由FTIR光谱仪进行处理。.在收集器里还内置一个光束偏离装置，用于绝对测量时的背景扣除。该偏离装置的反射率完全匹配收集器的反射率 。仪器里面的所有光学元件都镀了非保护性金膜，以获得在测试光谱范围内的最大反射率。Spectral resolution0.5 to 32/cmSpectral range2.5 to 40 microns (4000 to 250 cm -1 wave number)Sample size and geometry&ge 0.33 inches (8.3 mm) diameterDimensions: FTIR with SPECTRAFIRE attached.-Footprint: 33 x 25 inches-Height: 13.5" at the SPECTRAFIRE sample portElectrical requirement for Nicolet120 VAC, 60 HzWarranty1 year parts and labor*Note: terms reflectance, emittance and absorptance and terms reflectivity, emissivity and absorptivity are often used interchangeably. Spectroreflectometer, spectro-reflectometer and spectral reflectometer are also used interchangeably.

Thorlabs TPX平凸非球面透镜 AL150其它通用分析特性材料：TPX(聚甲基戊烯)非常适合0.1到3 THz的波段提供的尺寸：Ø 1英寸、Ø 50.0 mm和Ø 2英寸后焦距：15.0 - 100.0 mm这些TPX(聚甲基戊烯)非球面透镜适合聚焦或准直从0.1到3 THz的波段。与PTFE透镜相比，这些透镜在这个频段的透过率更高。TPX非球面透镜特别适用于PCA800 THz天线发出的太赫兹波，并且比离轴抛物面反射镜更易对准，光束质量更高。请注意，用于准直的透镜NA应与输出波的NA匹配，以免截断频谱，因为太赫兹天线的发射频率与角度有关Common SpecificationsMaterialTPX (Polymethylpentene)Index of Refraction1.45 at 1 THzShapePlano-Convex (Aspheric)Thorlabs TPX平凸非球面太赫兹透镜Item #aDiameterBack Focal LengthNumerical ApertureCenter ThicknessEdge ThicknessClear ApertureRadius of Curvature (R)bConic Constant (k)bAL1151"15.0 mm0.5910.0 mm2.5 mm22.4 mm9.9337 mm-0.57635AL1251"25.0 mm0.388.0 mm3.1 mm22.4 mm13.878 mm-0.57699AL1501"50.0 mm0.217.0 mm4.4 mm22.4 mm24.9368 mm-0.59181

光学元件这些是Thorlabs的非偏振光学元件产品系列，可用于紫外、可见、近红外、红外和太赫兹波段。透镜 反射镜 滤光片 分束器 棱镜 散射片 光学窗口 光栅 偏振光学元件 光学系统 测试靶和分划板 透镜Thorlabs的透镜产品线非常丰富，有球面透镜、消色差透镜、非球面透镜和柱面透镜，都可以在表面镀膜也可以不镀膜。透镜的基底有很多种，包括了N-BK7，紫外级熔融石英、氟化钙、氟化镁、硒化锌、锗和硅。另外，Thorlabs还提供锥透镜。球透镜消色差透镜非球面透镜空气内隔双合透镜圆柱形透镜光学系统锥透镜GRIN透镜微透镜阵列球单透镜套装红外透镜光学反射镜Thorlabs提供适用于紫外、可见和红外波段的高质量光学反射镜。金属膜得反射率高，具有最宽的光谱范围，而宽带介质膜反射镜的工作波段要窄一些；整个工作波段的平均反射率高于99％。对于更专业的应用，Thorlabs还提供热、冷、背面抛光、超快、D型、椭圆形、抛物线形和凹面和激光线介质膜反射镜。宽带介质膜镜片 介质激光线反射镜 超快反射镜 背面抛光的反射镜 介质膜反射镜/分束器 金属银反射镜，平面 金属铝反射镜，平面 金属金反射镜，平面 经济型前表面反射镜，平面 热反射镜和冷反射镜 D形反射镜 椭圆镜 直角棱镜 离轴抛物面镜片 凹形反射镜 镜片系统 带尾纤的法拉第反射镜 FiberTable反射镜 红外镜片 光学平面/反射镜块 滤光片Thorlabs提供多种滤光片，包括介质膜滤光片、有色玻璃滤光片、反射型中性密度滤光片和吸收型中性密度滤光片。为了方便客户，许多滤光片都已安装好或以套装出售。Bandpass Filters 陷波滤光片 截止滤光片（长波通和短波通） 荧光成像滤光片套装 带通有色玻璃滤光片 长波通有色玻璃滤光片 介质膜有色滤光片/套装 中性密度滤光片 可变中性密度滤光片 热反射镜和冷反射镜 介质膜反射镜/分束器 带通滤光片套装 截止滤光片套装 有色滤光片套装 中性密度滤光片套装 光学分束器Thorlabs提供多种分束器。平面分束镜前表面的镀膜决定了分光比例，后表面则加工为楔形，并镀减反射膜来减小鬼像和干涉效应。薄膜分束镜提供优异的波前透射性质，同时消除了光束偏移和鬼像。Thorlabs的分束立方体有偏振和非偏振两种类型。购买时可以预先将薄膜分束镜和分束立方体安装在立方体内，从而能与我们的透镜套管和龙式共轴系统兼容。其他分束器还包括波尔卡圆点型、二向色型、经济型和偏振方解石型。二向色分束器能用来整合不同颜色的光束和分离光束中不同颜色的激光。平面分光器 光束采样器 薄膜分光器 已安装的薄膜分光器 经济型分光器 非偏振分光立方体 已安装的非偏振分光立方体 偏振分光棱镜 已安装的偏振立方体 分束器 可变分束器/衰减器 沃拉斯特偏振器 偏振光束分离器 紫外熔融石英布儒斯特窗 波卡点阵分光器 分光镜/分束器 热/冷反射镜 棱镜棱镜的用途非常广泛。Thorlabs提供丰富的各种不同形状和结构的棱镜：直角棱镜、色散棱镜、屋脊棱镜、道威棱镜、定向反射棱镜、五角棱镜和楔形棱镜等。直角棱镜未安装的回射器已安装的回射器道威棱镜五角棱镜屋脊棱镜耦合棱镜楔形棱镜变形棱镜对旋转对称棱镜等边色散棱镜色散补偿棱镜对Pellin Broca棱镜菲涅耳斜立方体红外棱镜散射片Thorlabs提供多种已安装的和未安装好的圆形散射片，以及方形散射片。我们的磨砂玻璃散射片非常适合一般场合的应用，而特制散射片和朗伯散射片则具有更加特殊的漫反射功能。圆形玻璃散射片 圆形玻璃对准盘 工程散射片 散射片套装 光学窗口Thorlabs提供多种不同的光学窗口，都拥有高损坏阈值，材质有N－BK7、紫外熔融石英、蓝宝石、氟化钙、氟化钡、硅、锗或硒化锌。这些激光窗口都镀有特定波段的减反射膜，其中心波长位于常用的激光波长附近，而我们的精密窗口可以镀或不镀宽带减反射膜。Thorlabs还提供用于消除p偏振反射光的布鲁斯特窗口。N-BK7窗口，0.35-2微米 UV熔融石英窗口，0.185-2.1微米 V型镀膜激光窗口 楔形V镀膜激光窗口 氟化镁窗口，0.2-6微米 蓝宝石窗口，0.15-5微米 氟化钙窗口，0.18-8微米 硅窗口，1.2-8微米 氟化钡窗口，0.2-11微米 硒化锌窗口，0.6-16微米 锗窗口，2-16微米 导电窗口片 布鲁斯特窗口 红外窗口， 2微米 衍射光栅本页包括一系列反射式和透射式衍射光栅。光栅能用于紫外到中红外的波段。光栅的类型有刻线（闪耀），全息，阶梯，和透射式。关于光栅性能和选择的更多信息，请查看本页面下面的光栅教程和选择指南标签。刻线式衍射光栅全息衍射光栅中阶梯光栅UV透射光栅透射率可变光栅近红外透射型光栅偏振光学元件这些偏振光学元件是专为改变或测量入射光的偏振态而设计，适用于紫外、可见和红外光谱波段。该解决方案能用于自由空间和光纤光学的偏振应用。偏振器 波片/延迟器 消色差消偏器 光纤偏振器 偏光计 光学系统本页介绍了Thorlabs的一系列干涉仪、光隔离器、CCD相机、滤光室和多元系统。扩束器 物镜/扫描透镜 非球面光纤准直器 消色差对 C形安装相机镜头 自适应光学元件 Fabry-Perot干涉仪 剪切干涉 扫描振镜 电光调制器 Soleil-Babinet补偿器 气体参比池 自由空间光学隔离器 光纤光学隔离器 二极管和光纤准直器套装 笼式/透镜套管安装的光学元件 测试靶和分划板 Related Products 概述分辨率靶定制分划板Documents & Drawings Feedback Tag Cloud 提供的成像校准工具正和负的分辨率测试靶10毫米和1毫米平台千分尺畸变表征网格阵列提供定制分划板通用规格平整度：镀铬玻璃设计基板：钠钙玻璃铬膜厚度：0.120微米基板厚度：0.06" (1.5毫米)Thorlabs制作测试靶和校准工具用于常用的计量应用。这些测试靶和校准工具在本公司位于马里兰州杰瑟普的半导体器件生产工厂制造。我们丰富的生产能力可以同时提供现货和定制解决方案，以满足客户需求。我们带掩模板对准器的接触式光刻，在玻璃基板上定义图样。图样定义完毕，然后采用化学刻蚀基底，并在百级洁净室进行清洁处理。最终的测试靶通过一个关键尺寸（CD）工具进行检验，该工具根据NIST可追溯标准校准。如果您需要此处没有的测试靶或者校准工具，请参看上面的定制分划板标签，或者联系您当地的技术支持寻求帮助。

Bruker FilmTek CD椭偏仪——多模态临界尺寸测量和先进薄膜计量学想了解相关产品，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，拨打电话021-61552797 FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们的领先解决方案，可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中最复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。这项技术能够测量极小的线宽，在低于10纳米的范围内进行高精度测量。依赖传统椭圆偏振仪或反射仪技术的现有计量工具在实时准确解析CD测量的能力方面受到限制，需要在设备研究和开发期间生成繁琐的库。FilmTek CD通过获得多模态测量技术克服了这一限制，该技术甚至为完全未知的结构提供了精确的单一解决方案。FilmTek CD包括具有快速、实时优化功能的专有衍射软件。实时优化允许用户以最小的设置时间和配方开发轻松测量未知结构，同时避免与库生成相关的延迟和复杂度。 测量能力：厚度、折射率和光盘计量未知薄膜的光学常数表征超薄膜叠层厚度广泛的关键尺寸测量应用，包括金属栅极凹槽、高k凹槽、侧壁角、抗蚀剂高度、硬掩模高度、沟槽和接触轮廓以及间距行走 系统组件：标准： 可选： 用于在1x nm设计节点及更远处实时多层堆叠特性和CD测量的多模测量技术具有专有严格耦合波分析（RCWA）的 多角度散射测量正入射椭圆偏振光谱法旋转补偿器设计的光谱广义椭圆偏振法（4×4矩阵广义法）多角度、DUV-NIR偏振光谱反射（Rs、Rp、Rsp和Rps）全CD参数测量，包括周期、线宽、沟槽深度和侧壁角度独立测量薄膜厚度和折射率抛物面镜技术–在50×50µm功能范围内测量小光斑尺寸快速、实时优化允许以最短的设置时间实现广泛的应用程序（无需生成库）模式识别（Cognex）盒式到盒式晶片处理FOUP或SMIF兼容SECS/GEM为了适应广泛的预算和最终用途应用，该系统还可作为手动负载、台式设备用于研发 典型应用包括：半导体研发与生产技术规格膜厚范围0 Å to 150 µm膜厚精度NIST可追溯标准氧化物的±1.0Å，100Ç至1µm光谱范围190 nm - 1000 nm (220 nm - 1000 nm is standard)光斑尺寸的测量50 µm光谱分辨率0.3 nm光源调节氘卤素灯（寿命2000小时）探测器类型2048像素索尼线阵CCD阵列电脑带Windows的多核处理器™ 10操作系统测量时间~2 sec (e.g., oxide film) 性能规格 Film(s)厚测量参数精确 (1σ)氧化物/硅0 - 1000 Åt0.03 Å1000 - 500,000 Å t0.005%1000 Åt , n0.2 Å / 0.0001 15,000 Åt , n0.5 Å / 0.0001150.000 Åt , n1.5 Å / 0.00001氮化物 /硅200 - 10,000 Åt0.02%500 - 10,000 Åt , n0.05% / 0.0005光刻胶 / 硅200 - 10,000 Åt0.02%500 - 10,000 Åt , n0.05% / 0.0002多晶硅 /氧化物/硅 200 - 10,000 Åt Poly , t Oxide0.2 Å / 0.1 Å500 - 10,000 Åt Poly , t Oxide0.2 Å / 0.0005

氙灯光纤光源型号：ASB-XE-175品牌：Spectralproducts 产品简介：ASB-XE-175是一种紧凑型，高强度光纤光源。特别适合作为光源用于分光光度计，显微镜，光学扫描，医学和工业使用，也可以用于SP的DK系列单色仪和光谱仪。使用 CERMAX 的175W高功率，紧凑的灯泡，175w短弧氙灯输出光谱带宽从200-2200nm（最好区域在250-1100nm范围）。这种灯是紧凑的，耐用的，很方便把光聚焦到一根液态光纤中。灯的发光效率通过一个抛物面镜得到增强，进入精密的准直系统最大程度的传输光能量。灯点燃之后马上光束就可以稳定下来，并且ASB-XE-175可以不用时间延迟就马上再点燃。特点：高色温 (5600oK)CERMAX 准直氙灯亮度功率可调 (0 - 100%)可拔插，轻便应用:光谱学显微可视化检查Boroscopes机器视觉光学扫描数据和视频设计FeatureValue Lamp:Type: CERMAX LX175F Power: 200 Watts (maximum) Power Range: 150-200 W Color Temperature: 5600°K Current: 14 amps DC (nominal) Average Life: Typically 1000 hours (500 hours minimum) Voltage: 12-17V (14V nominal) Trigger Voltage: 25 Kilovolts Boost Voltage: 140-200 Volts Current Leakage: 300mAASB-XE-175-EX: UV extended, 200nm ~ 2200nm (dominant, 250nm ~ 1100nm)ASB-XE-175-BF: Ozone blocking, 320nm ~ 700nmASB-XE-175-BFEX: NIR extended, Ozone blocking, 320nm ~ 2200nm (dominant, 320nm ~ 1100nm)Weight:7.5 lbs. (3.4 kg)Input Line:95-136 VAC, 50/60 Hz (only)Input Current:3.5 amp.Environment:Operating: +6 to +45°C Storage: -40 to +70°CFront Panel:Brightness Control (0-100%) Output ApertureSide Panel:Main Power (On/Off) Line Cord Jack (IEC 320) (US to IEC Line Cord included) Fuse Holder - MDL-5Caution:Damage to glass or fused silica fiber optic lightguides can occur due to high temperatures associated with Xenon lamps. Use our liquid light guides (order separately). 其他光源图片：

优点NTT-AT公司已提供了20 多年高质量XUV、EUV和X射线反射镜。尤其是利用本公司的丰富经验和出色技能，提供可定制设计的多层膜反射镜，满足各用户的需求。1990年，NTT-AT公司开发了极紫外（XUV或EUV）多层反射镜和X射线反射镜并开始销售。并将亚洲、北美洲、南美洲和欧洲的大学、研究所和企业反馈的意见反映到这些反射镜的设计中。本公司将利用广泛积累的经验和可靠的技术支持用户的多层反射镜生产。特点因为NTT-AT公司的多层反射镜质量高，所以一直被世界上的研究机构所选用。本公司定制多层材料和结构，满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。同时也为包括EUV光刻的EUV工业应用提供成本低、交付周期短、质量稳定的多层反射镜。作为用户的研发伙伴，支持用户的EUVL光源开发、EUV光刻胶开发、EUV掩模检查和其它周边领域的实际利用。XUV多层膜反射镜（EUV多层膜反射镜）基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面基板材料：石英、硅、zero dewer等多层膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米NTT-AT公司将提供高耐用性XUV多层反射镜、耐高温XUV多层膜反射镜以及施瓦兹希尔德光学系统和泵浦探测光学系统等光学系统。X射线多层膜反射镜基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面基板：石英、硅、zero dewer等基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等基板尺寸：最大500毫米NTT-AT公司提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等单层反射镜基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面基板材料：石英、硅、zero dewer等多层材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Pt等基板尺寸：最大500毫米NTT-AT公司提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等本公司定制多层材料和结构，满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。世界上只有为数不多的公司生产和销售EUV反射镜。如果您不满意现在的供应商，NTT-AT公司能够制造满足您严格要求的定制设计反射镜。NTT-AT公司将推荐正确反映用户规格的最优设计。 应用示例 基板材料典型波长XUV（EUV）反射镜EUV光刻高阶谐波应用阿秒科学X射线激光器多层反射镜Mp/SiRu/SiZr/AlSiC/MgCr/C50电子伏至100电子伏50电子伏至100电子伏50电子伏至70电子伏25电子伏至50电子伏至300电子伏单层反射镜SiCPtRu10电子伏至100电子伏X射线反射镜同步加速器应用XFEL应用内置X射线无损检查设备多层反射镜W/CW/B4CRu/CPt/C1k电子伏至30k电子伏单层反射镜CB4CSiCCrNi1k电子伏至30k电子伏NTT-AT公司已支持了许多同步加速器辐射应用、XFEL应用、包括阿秒科学和材料科学的高阶谐波应用、软X射线激光应用和天文学的实验和研究。NTT-AT公司的XUV多层反射镜的绝无仅有的质量受到学术界的好评。XUV多层膜反射镜（EUV多层膜反射镜）Φ10毫米平面反射镜测量的Mo/Si多层的反射率（正入射角：2度）用于泵浦探测试验的多层反射镜测量宽带反射镜、窄带反射镜（波长：30纳米）的反射率EUV宽带椭圆面反射镜（Φ100毫米zero dewer）Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米（90电子伏）波长的高反射率。NTT-AT公司的Mo/Si多层反射镜具有高达70％的正入射反射率。NTT-AT的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。X射线多层膜反射镜用于K-B反射镜系统的多层反射镜W/B4C多层和W/C多层膜反射镜对硬X射线应用具有高反射率。为了有效反射和聚集硬X射线，必须最大限度地缩小入射角的斜角。这需要较长的反射镜长度和较小的多层膜周长。评估的反射率（波长：0.154纳米，蓝色：测量的反射率，粉红色；计算的反射率，周期长度： 2.95纳米）NTT-AT公司的X射线反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长、带宽和光学装置的需求。单层反射镜带钌层的椭圆面反射镜利用全反射的单层反射镜用于波束控制、光聚合和去除XUV至X射线范围内的无需波长。NTT-AT公司的单层反射镜的材料和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。

美国Uvitron 全功能紫外面光源 Intelli-RAY 400W,Intelli-RAY600W• ALL-IN-ONE 全内置设计• 智能控制时间和强度• 集成电子快门• PLC 或 PC 程控• 高强度、大面积固化• 功率稳定一致• 可选 RAYVEN 全防护固化箱• 可选 UV 防护罩和安装支架INTELLIRAY 是一款紧凑型智慧控制大面积紫外固化设备。不像其它竞争系统，INTELLIRAY 集成所有系统组件到一个很小的光源中，非常容易安装在工厂的任何地方，不需要任何独立电源或是控制盒。只要连接普通电源线，就可以开始定时的紫外固化啦！设备带有液晶显示和数字键盘，轻松实现编程和监控固化操作。可以选配 RAYVEN 全防护固化箱，组成功能强大的全防护 UV 固化箱。INTELLIRAY 光源尺寸：高 23 厘米， 宽 25.5 厘米， 深 28 厘米， 重量 5.5 公斤RAYVEN 固化箱尺寸：高 30 厘米， 宽 29 厘米， 深 31 厘米， 重量约 4 特点 FEATURES ：+ 高强度/大面积固化INTELLIRAY 400 长寿命400W灯泡和抛物面型反射罩，可以照射20×15cm的固化面积，光强分布均匀，UVA强度100mw/cm2。600W型号INTELLIRAY 600已经上市！提供更高强度（UVA强度150mw/cm2）。+ 内置遮光型快门 设备集成可伸缩遮光型快门，允许设定曝光时间，确保固化的优良重复性，保护用户免受紫外辐射。+ 系统定时器 在定时/自动模式下，可以设置1到9999秒曝光时间，在设定时间内，快门打开。在手动模式下，显示时间不断增加，直到手动停止曝光为止。另有一个定时器显示灯泡使用的时间(小时)，并触发面板的LED指示灯，提醒用户灯泡需要更换。+ 灯泡强度控制 光源强度可调（35%-100%，精度1％），该功能可以让客户选择合适的固化强度，特别适合对光强敏感材料的光固化应用，增加了系统的灵活性。+ 特有待机模式 当快门关闭时，设备自动减少灯泡功率到50％，以减少额外的热量，增加组件的寿命。快门开启时，设备自动恢复到设定的光强，完成固化。+ 外部逻辑信号接口 设备带有15针D-SUB外部PLC接口，可以远程监督和控制。在一些需要直接用控制器或是PLC控制单元的应用，通过PLC接口可以高速控制INTELLIRAY设备。+ 外部 PC 串口控制 设备带有RS232/RS485远程控制接口。而且可以通过WINDOWS的图形交互接口，执行各项控制功能，甚至通过网络控制多套设备。+ 系统指示灯 前面板上安装有4个LED指示灯，分别指示：灯泡准备，系统待机，快门开启和系统报警。+ 灯泡功率调节 设备的Power Plus驱动电源，不管交流电输入和灯泡电压变化，自动保持恒定的灯泡功率。在整个灯泡寿命期间，都可以确保固化的优良重复性。+ 宽范围交流输入 输入电压自动调节，不管是90-132V还是180-265V输入电压，INTELLIRAY都可适用。+ 强迫风冷 设备内置带过滤功能的良好风扇冷却系统，冷却所有组件，保证系统高可靠性。+ 可选灯泡光谱INTELLIRAY 提供 UVA、UVB 和可见光谱灯泡，确保对所有胶水和涂层的适应性。

产品详情美国Uvitron 紫外面光源INTELLI-RAY 400W INLIRAY 是一款紧凑型智慧控制大面积紫外固化设备。不像其它竞争系统，INLIRAY集成所有系统组件到一个很小的光源中，非常容易安装在工厂的任何地方，不需要任何独立电源或是控制盒。只要连接普通电源线，就可以开始定时的紫外固化啦！设备带有液晶显示和数字键盘，轻松实现编程和监控固化操作。可以选配RAYVEN全防护固化箱，组成功能强大的全防护UV固化箱。 高强度/大面积固化INLIRAY 400 长寿命400W灯泡和抛物面型反射罩，可以照射20×15cm的固化面积，光强分布均匀，UVA强度100mw/cm2。 内置遮光型快门设备集成可伸缩遮光型快门，允许设定曝光时间，确保固化的优良重复性，保护用户免受紫外辐射。 系统定时器在定时/自动模式下，可以设置1到9999秒曝光时间，在设定时间内，快门打开。在手动模式下，显示时间不断增加，直到手动停止曝光为止。另有一个定时器显示灯泡使用的时间(小时)，并触发面板的LED指示灯，提醒用户灯泡需要更换。 灯泡强度控制光源强度可调（50%-100%，精度1％），该功能可以让客户选择合适的固化强度，特别适合对光强敏感材料的光固化应用，增加了系统的灵活性。 特有待机模式当快门关闭时，设备自动减少灯泡功率到50％，以减少额外的热量，增加组件的寿命。快门开启时，设备自动恢复到设定的光强，完成固化。 外部逻辑信号接口设备带有15针D-SUB外部PLC接口，可以远程监督和控制。在一些需要直接用控制器或是PLC控制单元的应用，通过PLC接口可以高速控制INLIRAY设备。 外部PC串口控制设备带有RS232/RS485远程控制接口。而且可以通过WINDOWS的图形交互接口，执行各项控制功能，甚至通过网络控制多套设备。 系统指示灯前面板上安装有4个LED指示灯，分别指示：灯泡准备，系统待机，快门开启和系统报警。 灯泡功率调节设备的Power Plus驱动电源，不管交流电输入和灯泡电压变化，自动保持恒定的灯泡功率。在整个灯泡寿命期间，都可以确保固化的优良重复性。 宽范围交流输入输入电压自动调节，不管是90-132V还是180-265V输入电压，INLIRAY都可适用。 强迫风冷设备内置带过滤功能的良好风扇冷却系统，冷却所有组件，保证系统高可靠性。 可选灯泡光谱INLIRAY提供UVA、UVB和可见光谱灯泡，确保对所有胶水和涂层的适应性。

Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE——用于几乎所有薄膜或产品晶片测量的多模计量 想了解相关产品，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，拨打电话021-61552797 FilmTek&trade 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了尖端和专有的FilmTek技术，为从研发到生产的几乎所有薄膜测量应用提供了业界的精度和多功能性。其标准的小点测量尺寸和模式识别能力使该系统成为表征图案化薄膜和产品晶片的理想选择。作为我们组合计量产品线（“标准杆数-SE”）的一部分，FilmTek 2000标准杆数-SE能够独特地满足主流应用所需的平均厚度、分辨率和光谱范围之外的测量要求，并由标准仪器提供。它在超薄到薄膜（特别是多层堆叠中的薄膜）上提供了异常精确和可重复的厚度和折射率测量。此外，与传统的椭偏仪和反射仪相比，该系统对这些样品中的不均匀性更加敏感。这是FilmTek 2000标准杆数-SE多模设计的结果，该多模设计将基于高性能旋转补偿器的光谱椭圆偏振仪与我们的多角度差分偏振测量（MADP）和差分功率谱密度（DPSD）技术、扩展/宽光谱范围DUV多角度偏振反射仪、我们抛物面镜光学设计相结合，以及的Filmtek软件。 允许同时确定：多层厚度折射率[n（λ）]消光（吸收）系数[k（λ）]能带隙成分（例如，SiGex中的Ge百分比、GaxIn1-xAs中的Ga百分比、AlxGa1-xAs中的Al百分比等）表面粗糙度组分，空隙率结晶度/非晶化（例如多晶硅或GeSbTe薄膜）薄膜梯度 系统组件：标准：可选：旋转补偿器设计的椭圆偏振光谱法（295nm-1700nm）多角度偏振光谱反射（190nm-1700nm）独立测量薄膜厚度和折射率多角度差分偏振（MADP）技术与SCI的差分功率谱密度（DPSD）技术非常适合测量超薄薄膜（天然氧化物的重复性为0.03&angst ）用于成像测量位置的摄像机模式识别50微米光斑尺寸高级材料建模软件具有高级全局优化算法的Bruker广义材料模型各向异性测量（nx、ny、nz）的广义椭圆偏振法（4×4矩阵泛化法）盒式到盒式晶片处理FOUP和SMIF兼容模式识别（Cognex）SECS/GEM 典型应用领域：几乎所有厚度从小于1&angst 到约150µ m的半透明膜都可以高精度测量。典型应用领域包括：硅半导体复合半导体LED/OLED具有灵活的硬件和软件，可以轻松修改以满足独特的客户需求，特别是在研发和生产环境中。膜厚范围0 &angst to 150 µ m膜厚精度±1.0 &angst for NIST traceable standard oxide 100 &angst to 1 µ m光谱范围190 nm - 1700 nm (220 nm - 1000 nm is standard)光斑尺寸的测量25 µ m - 300 µ m (normal incidence) 2 mm (70°)样本量2 mm - 300 mm (150 mm standard)光谱分辨率0.3 nm - 2nm光源Regulated deuterium-halogen lamp (2,000 hrs lifetime)探测器类型2048 pixel Sony linear CCD array / 512 pixel cooled Hamamatsu InGaAs CCD array (NIR)带自动聚焦的自动舞台300 mm (200 mm is standard)电脑Multi-core processor with Windows&trade 10 Operating System测量时间1 sec per site (e.g., oxide film) 性能规格 Film(s) 厚度测量参数精确 (1σ)氧化物 / 硅0 - 1000 &angst t0.03 &angst 1000 - 500,000 &angst t0.005%1000 &angst t , n0.2 &angst / 0.000115,000 &angst t , n0.5 &angst / 0.0001150.000 &angst t , n1.5 &angst / 0.00001氮化物 /硅200 - 10,000 &angst t0.02%500 - 10,000 &angst t , n0.05% / 0.0005光刻胶 /硅200 - 10,000 &angst t0.02%500 - 10,000 &angst t , n0.05% / 0.0002多晶硅 / 氧化物 /硅 200 - 10,000 &angst t Poly , t Oxide 0.2 &angst / 0.1 &angst 500 - 10,000 &angst t Poly , t Oxide 0.2 &angst / 0.0005

EQ-400 激光驱动白光光源LDLS对于生命科学和材料科学的研究人员来说，一个可以提供超高亮度和宽带光谱的光源是必不可少的。以前，为了达到宽光谱的需要，多采用复合光源的方式，将氘灯、氙灯、卤钨等等等集成在一起作为灯组来使用。但是,集成这些灯来实现宽光谱的灯组极大地增加了成本,影响了使用效率。这些传统的使用电极驱动的灯源, 由于高温的烧蚀，灯的寿命很短，需要经常更换灯泡。为了解决灯泡寿命过短的问题，Energetiq公司创造性地研发激光驱动等离子体气体发光的技术， 即激光驱动光源技术(LDLS&trade =Laser-Driven Light Source)。这个技术不但解决了灯泡寿命短的问题，还同时大幅提高了气体燃烧温度，从而输出光谱范围拓展到170nm 到2100nm ，辐射亮度和稳定度也极大提升，使LDLS光源成为传统电极驱动灯组光源的完美替代品。结构紧凑、经济实用、超高亮度、宽光谱、可单/双光束输出间切换、水冷散热；激光驱动等离子体发光的技术。EQ-400是LDLS系列光源中亮度最大，同时也是输出功率最大的一款宽带光源，输出光功率达到15W，辐射亮度也达到100mW/mm^2.sr.nm，波长范围170nm~210nm，是目前除激光器外亮度最高的光源。同时，EQ-400的灯室设计也非常紧凑，也可以在两侧同时对称的输出光束，或加装反射器变更为单通道输出，非常适合各种需要高功率白光照明或紫外激发等方面的应用。 LDLSTM光源原理示意图 产品特点光辐射100mW/mm^2.sr.nm，快速测量亮度超高，可达传统氙灯的100倍以上宽带光谱，紫外-可见光-近红外光谱(170-2100nm)噪声低，空间稳定性高长使用寿命 9000 hrs（10%衰减）灯室紧凑，结构简洁，水冷散热可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出无需多个灯组，光学系统简化无电极工作灯，使用寿命长，降低耗材成本，所需的重复校准次数少 应用范围高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，PEEM，缺陷检测，其他需要长寿命灯的应用主要参数产品型号EQ-400光谱范围170nm-2100nm输出功率~15W光谱辐亮度~100mW/mm^2.sr.nm数值孔径0.5NA光源寿命9000hrs输出方式可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出光源重量灯室2.7kg，控制器18.8kg光源尺寸灯室136×145×56mm，控制器133×483×584mm应用范围高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，缺陷检测，PEEM，其他需要长寿命灯的应用EQ-400 光源的光谱辐亮度 典型应用LDLS光源非常适合于光学元件测试和校准应用。美国国家航空航天局戈达德空间飞行中心(NASA Goddard Space Flight Center)的科学家就选用了EQ-400光源，来校准监测地球海洋的空间高光谱望远镜上的探测器。EQ-400将作为PACE卫星上探测器的校准光源，该卫星计划于2022年发射。PACE计划使用的主要科学仪器是一种称为海洋颜色仪(OCI)的先进光谱仪。OCI会利用高光谱辐射技术，由350nm至885nm量度海洋的颜色，以研究全球浮游植物分布，并了解海洋生态系统、大气和气候之间的复杂关系。EQ-400能够提供提供170nm-2100nm的均匀、高亮度输出光。这种光谱输出相较于传统的多灯组光源(如氘、钨/卤素、氙弧)结构更为简化，无需多次重复校准。NASA选用EQ-400的另一个关键因素是它的典型辐射强度大100mW/mm^2.sr.nm。光谱功率大于10 mW/nm，能够耦合成一个直接500μm光圈。使其能够成为一种非常理想的高功率光源。此外，校准光源要求必须精确可靠且能量充足。LDLS具有极佳的空间稳定性，比传统光源(如氙灯光源)强5~10倍。EQ-400的氙等离子大小约370μm x 800μm，允许用户有效耦合到其他光学组件(如离轴抛物面镜或单色仪等）。EQ-400还是一种低噪声光源，无论是短期还是长期使用噪声都非常低，在10秒内的峰-峰/平均输出通量变化小于0.1%。其灯泡寿命大于10,000小时，在此期间总输出功率仅缓慢衰减约10%。这意味着用户可以反复获得高信噪比的测量数据，同时避免频繁更换灯泡和重新校准。EQ-400的灯室尺寸为135.6mm x 144.9mm x 56mm，重量仅为2.7kg(6.0磅)，体积非常小，易于集成到复杂的系统中。 NASA的科学家将EQ-400 LDLS灯室（黄色框）耦合到积分球，以获得稳定输出光

EQ-99X 激光驱动白光光源LDLS对于生命科学和材料科学的研究人员来说，一个可以提供超高亮度和宽带光谱的光源是必不可少的。以前，为了达到宽光谱的需要，多采用复合光源的方式，将氘灯、氙灯、卤钨等等等集成在一起作为灯组来使用。但是,集成这些灯来实现宽光谱的灯组极大地增加了成本,影响了使用效率。这些传统的使用电极驱动的灯源, 由于高温的烧蚀，灯的寿命很短，需要经常更换灯泡。为了解决灯泡寿命过短的问题，Energetiq公司创造性地研发了激光驱动等离子体气体发光的技术，即激光驱动光源技术(LDLS&trade =Laser-Driven Light Source)。这个技术不但解决了灯泡寿命短的问题，还同时大幅提高了气体燃烧温度，从而输出光谱范围拓展到170nm 到2100nm ，辐射亮度和稳定度也极大提升，使LDLS光源成为传统电极驱动灯组光源的完美替代品。结构紧凑、经济实用、高亮度、宽光谱；激光驱动等离子体发光技术。EQ-99X是一款紧凑型的超高亮度、高稳定性的宽带光源，专门用于苛刻的成像和光谱应用。EQ-99X对高度可重复的光谱测量提供出色的空间稳定性和功率稳定性。EQ-99X采用其专利的激光驱动灯泡技术，是需要超长灯泡寿命的应用的理想选择。EQ-99X可与自由空间宽带反射光学耦合器件搭配使用，可匹配100 μm的等离子体，满足相应客户的仪器或应用。EQ-99X具有高亮度和小体积等离子，特别适合于一些应用如窄狭缝光谱仪，小直径的光纤或其它小型拓展型光学器件。 LDLSTM光源原理示意图 产品特点CW激光驱动等离子体放电宽光谱范围 170-2100 nm（紫外-可见光-近红外光谱）全光谱范围高亮度 10mW/mm2/nm/Sr输出光功率 ~0.5 W极小发光点 约100μm长使用寿命 9000 hrs（10%衰减）极好的空间稳定性，可重复测量极好的短期和长期功率稳定性，可重复测量无需多个灯组，光学系统简化无电极工作灯，使用寿命长，降低耗材成本，所需的重复校准次数少 典型应用替代氙灯、氘灯和卤钨灯等，UV-Vis-NIR光谱，单色光源，膜厚、形貌测量，光纤/光学材料和器件测试，环境、化学、材料分析，缺陷检测，其他需要长寿命灯的应用主要参数产品型号EQ-99X光谱范围170nm-2100nm输出功率~0.5W光谱辐亮度~10mW/mm^2.sr.nm数值孔径0.47NA光源寿命9000hrs输出方式自由空间输出光源重量灯室0.7kg，控制器1.4kg光源尺寸灯室82×86×76mm，控制器113×111×299mm应用范围紫外-可见-红外光谱测定、光学组件测试、显微镜照明、环境分析、化学分析、材料分析、气相分析、高性能液体色谱(HPLC)、其他长寿命灯应用 下图为EQ-99X LDLS与传统氘灯的光谱辐亮度比较。 其他配件对于单色光和光谱应用，Energetiq还能够为用户提供专为EQ-99X和EQ-77设计的离轴抛物面镜聚焦耦合套件OAP(Off-Axis Parabolic)，以便用户将光束耦合传输到单色仪或光谱仪的狭缝。EQ-99X共可选四种不同的OAP套件。需要注意的是，所选的OAP套件的数值孔径(NA)需略小于单色仪或光谱仪的数值孔径，OAP套件的f/#需略大于单色仪或光谱仪的f/#，以便将EQ-99X的输出光耦合入系统。2”EFL OAP4”EFL OAP6”EFL OAP8”EFL OAP有效焦距2.0”(50.8mm)4.0”(101.6mm)6.0”(152.4mm)8.0”(203.2mm)直径1.5”1.5”1.5”1.5”放大率*1×2×3×4×数值孔径0.3750.1880.1250.094f/#1.332.674.005.33下图为EQ-99X LDLS光源耦合到Horiba Triax180单色仪的功率谱图。 EQ-99X是空间光输出，光功率500mW，发光点尺寸是101*182μm，光谱输出亮度10mW/mm^2.sr.nm；单色仪焦距180mm，单色光带宽约2nm。耦合到单色仪后的最终输出功率，单波长输出功率平均约在40~140uW。

Thorlabs 小型反射式准直器特性消色差设计，准直反射镜的整个反射带有保护层的银膜(450 nm - 20 µ m)提供高反射率非常适合将多色光耦合到多模光纤中表面粗糙度： 100 &angst (RMS)通光孔径：Ø 11.5 mm兼容的最大光纤数值孔径为0.11兼容Thorlabs的16 mm笼式系统无磁不锈钢外壳这些镀保护层银膜的反射式准直器基于90°离轴抛物面(OAP)反射镜。与透镜不同，金属反射镜的焦距在宽波长范围内保持不变。由于这种固有属性，抛物面反射镜准直器不需要调节就能准直不同波长的光，因此非常适合用于多色光。常见应用包括需要准直多个波长的系统、可见光或红外准直/耦合、以及将多色光耦合到大芯径多模光纤中。这些镀保护层银膜的反射式准直器在450 nm到20 µ m波长范围提供出色的反射率。在可见光和红外波段工作的多波长系统中，这些反射型准直器既可将多色准直光耦合到单模和多模光纤中，又可准直光纤发射的多色光。准直多模光纤跳线发出的光时，光纤的数值孔径应 0.11，以防外壳阻挡部分光。请注意，一般而言，多模光纤发出的光无法无法很好地准直。RCR50x-P01反射式准直器外壳可以直接安装到SM05透镜套管安装座或轻松集成到16 mm笼式系统中。如右图所示，外壳所刻的轴向和径向刻度易于准直器的对准和定向。用于制造离轴抛物面反射镜的金刚石车削工艺可以实现 100 &angst RMS的表面粗糙度，因此zui大程度减少了反射镜表面的散射(~2% @ 633 nm)。Thorlabs还提供其他适用于不同NA的带保护层银膜的反射式准直器和一系列适用于250 - 450 nm波长范围的镀紫外增强型铝膜的反射式准直器。用于反射式准直器的光纤跳线Thorlabs提供单模、保偏或多模光纤跳线，用于耦合和准直应用。我们还提供低插入损耗光纤跳线，它们采用纤芯同心度更好的单模光纤，所以插入损耗更低，透过率更高。如果我们标准产品中没有您应用所需的光纤跳线，Thorlabs还提供定制光纤跳线，请联系我们。 小型反射式准直器 RCR50P-P01 光学仪器

生产型种子包衣机/种子丸粒化机----W.N.5/100种子包衣机适用于当前所有种子类型的高质量处理，它们主要对容易流动或比较难流动种子、利用其表面吸收特性、通过液体或浆液进行特殊处理而研发。●选择一定数量的种子投放在混合室内，种子在旋转搅拌锥的密集椭圆运动中旋转，被向上输送到汽缸壁，然后由弯曲的挡板引导向下进入中心。因此，在搅拌锥的中心位置，有一个细的、带着白色的种子抛物面，是液体的精细喷雾装置。●初次分配，药液由喷雾装置施于种子抛物面；二次分配，经过一个程序后的分配时间，种子也得以效地混合，以确保包覆物最佳的、均匀的分布在种子表面。●Niklas种子包衣机能够提供具有满足甚至最高要求的化学液体处理程度和高质量处理分布的种子。 ▲在控制终端上能够设置和选择种子的类型，配方和各项数据，并存储在系统中。 ▲在自动成批包衣操作的所有过程中，通过液体计量泵或粉剂量的处理过程，二者互相紧密配合，使种子包衣最佳化。 ▲集成的PLC，通过重量及时间控制化学液体和粉末的剂量而实现电子称重。 泵站配备计量泵、20升称重系统、加料斗和加料泵，简洁的设计保证了化学液体的添加，所有输送计量泵软管都适用于输送高度超过30米的化学液体。 包衣能力W.N.5/100：每批次35-140升，每小时16吨。

生产型种子包衣机/种子丸粒化机----W.N.5/50种子包衣机适用于当前所有种子类型的高质量处理，它们主要对容易流动或比较难流动种子、利用其表面吸收特性、通过液体或浆液进行特殊处理而研发。●选择一定数量的种子投放在混合室内，种子在旋转搅拌锥的密集椭圆运动中旋转，被向上输送到汽缸壁，然后由弯曲的挡板引导向下进入中心。因此，在搅拌锥的中心位置，有一个细的、带着白色的种子抛物面，是液体的精细喷雾装置。●初次分配，药液由喷雾装置施于种子抛物面；二次分配，经过一个程序后的分配时间，种子也得以效地混合，以确保包覆物最佳的、均匀的分布在种子表面。●Niklas种子包衣机能够提供具有满足甚至最高要求的化学液体处理程度和高质量处理分布的种子。 ▲在控制终端上能够设置和选择种子的类型，配方和各项数据，并存储在系统中。 ▲在自动成批包衣操作的所有过程中，通过液体计量泵或粉剂量的处理过程，二者互相紧密配合，使种子包衣最佳化。 ▲集成的PLC，通过重量及时间控制化学液体和粉末的剂量而实现电子称重。 泵站配备计量泵、20升称重系统、加料斗和加料泵，简洁的设计保证了化学液体的添加，所有输送计量泵软管都适用于输送高度超过30米的化学液体。 包衣能力W.N.5/50： 每批次25-70升，每小时9吨。

生产型种子包衣机/种子丸粒化机----W.N.5/200种子包衣机适用于当前所有种子类型的高质量处理，它们主要对容易流动或比较难流动种子、利用其表面吸收特性、通过液体或浆液进行特殊处理而研发。●选择一定数量的种子投放在混合室内，种子在旋转搅拌锥的密集椭圆运动中旋转，被向上输送到汽缸壁，然后由弯曲的挡板引导向下进入中心。因此，在搅拌锥的中心位置，有一个细的、带着白色的种子抛物面，是液体的精细喷雾装置。●初次分配，药液由喷雾装置施于种子抛物面；二次分配，经过一个程序后的分配时间，种子也得以效地混合，以确保包覆物最佳的、均匀的分布在种子表面。●Niklas种子包衣机能够提供具有满足甚至最高要求的化学液体处理程度和高质量处理分布的种子。 ▲在控制终端上能够设置和选择种子的类型，配方和各项数据，并存储在系统中。 ▲在自动成批包衣操作的所有过程中，通过液体计量泵或粉剂量的处理过程，二者互相紧密配合，使种子包衣最佳化。 ▲集成的PLC，通过重量及时间控制化学液体和粉末的剂量而实现电子称重。 泵站配备计量泵、20升称重系统、加料斗和加料泵，简洁的设计保证了化学液体的添加，所有输送计量泵软管都适用于输送高度超过30米的化学液体。 包衣能力W.N.5/200：每批次75-270升，每小时30吨。

基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面基板材料：石英、硅、zero dewer等多层膜材料：Mo/Si（50eV至100eV）、Ru/Si（50eV至100eV）、Zr/Al（50eV至70eV）、SiC/Mg（25eV至50eV）、Cr/C（至300eV）等基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米（标准值为1英寸）产品特点：Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米（90电子伏）波长的高反射率。NTT-AT公司的Mo/Si多层反射镜具有高达70％的正入射反射率。NTT-AT公司的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。产品应用：天文学XUV光电子光谱XUV显微EUV光刻等离子体物理阿秒科学参数：武汉东隆科技有限公司是日本NTT-AT中国区代理，如需了解更多产品详情，请随时来电垂询027-87807177/819.

URE-2000/A12 紫外单面光刻机 1、设备主要技术指标：(1) 曝光面积： 300mm×300mm；（2）分辨力：±2μm；（3）对准精度：±2μm；（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；（5）样片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm Y:10mm；（8）掩模相对于样片运动行程：X:±5mm Y: ±5mm Thelta: ±6°；（9）汞灯功率：1000W（直流）；（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；（11）曝光峰值波长:365nm；（12）光源平行度：＜2°；（13）曝光方式：定时（计时方式 0.1s—9999.9s）；（14）光刻版夹具兼容性 2．技术主要组成部分（1）曝光头系统包括:。冷光椭球镜；。 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；。 XYZ 汞灯调节台；。 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；。 冷却风扇。 （2）对准工件台系统包括:。 掩模样片相对运动台；。（XY），转动台；。 样片调平机构；。 样片调焦机构；。承片台 3 个： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；。 掩模夹 3 个： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。 （3）CCD 对准显微镜系统包括:。4 倍显微镜 2 只；。照明光源 2 套；。 CCD 相机 2 只；。22 英寸液晶显示器。 （5）电控系统：。 汞灯触发电源(1000W)；。 单片机控制系统；。控制柜桌。 （6）气动系统系统包括:。 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等 （7）其他配置与附件。真空泵一台；。空压机一台；。配套气管 10m；