真空位移台

仪器简介：卓立汉光研发生产的电移台包括电动平移台，电动旋转台，电控角位台，电控升降台，两维电控平移台，多维电控平移台，电移台控制箱及软件。电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。技术参数：凯撒-KSA系列高精密电控位移台帕萨-PSA系列精密电控位移台TSA系列电控位移台RAK系列高精密电控旋转台RSA系列精密电控旋转台电控位移台组合应用客户定制系统展示位移台 电控位移台 电移台 电动位移台主要特点：电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。电控位移系统基本由三部分组成：位移台；驱动电机；控制箱。驱动电机及控制箱主要决定驱动扭矩，分辨率，加减速度，信号处理，使用功能（如扫描，圆弧插补）等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要技术指标如位移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，外形尺寸均由其决定。运动控制箱 采用多种结构形式，精选优质零部件，涵盖多种精度，多种行程，多种负载，多种外形尺寸。产品适配步进电机和伺服电机（标准品配有步进电机）；可配装光栅尺进行闭环控制，提高精度；可加装防尘罩，适合多种环境。并且，本着服务用户的原则， 我们还在不断的推出更多的新产品，提供更多选择。价格面议。

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

“16mm 系列”— Linear16-z (闭环控制) 低温 压电运动- 线性位移系列最⼩ 的线性位移台，⽀ 持闭环控制Linear16-z 线性位移台主要特点&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 16*15.7 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 250 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 3 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear16-z, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 16 mm2 质量12 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程3 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载250 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器、16 传感器⾏ 程3 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

“16mm 系列”— Linear16-x (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列最⼩ 的线性位移台，⽀ 持闭环控制线性位移台Linear16-x 主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 16*16*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 50 g & 1.5 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 3 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear16-x, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 10.5 mm2 质量10 g适⽤ 环境范围 3 基础参数温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程3 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载50 g14 最⼤ 推⼒ 1.5 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程3 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

“25mm 系列”— Linear25-z (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*19.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 6 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ *所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程6 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程6 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

“25mm 系列”— Linear25-z-LR (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台压电线性位移台Linear25-z-LR主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*29.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 16 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear25-z-LR, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程16 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程16 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

仪器简介：手动位移台系列产品主要用于对物体进行平移、升降、旋转等六个空间自由度调整,适用于自动化程度不高且调整不频繁的应用.卓立汉光公司专业生产的位移台系列产品包括平移台，升降台，旋转台，倾斜台，角位台、整体式多轴位移台等技术参数：RSM旋转台系列KSM高精密平移台系列PSM精密平移台系列TSM平移台系列TSMV升降台系列TSMT倾斜台系列TASMG角位台系列TSMW整体式多轴位移台系列APFP精密光纤调整架ASM组合移动台系列主要特点：手动位移台系列产品主要用于对物体进行平移、升降、旋转等六个空间自由度调整,适用于自动化程度不高且调整不频繁的应用.卓立汉光公司专业生产的位移台系列产品包括平移台，升降台，旋转台，倾斜台，角位台、整体式多轴位移台等，产品根据行程，旋转角度，导轨形式，驱动方式等又分为多种系列，彼此间可以任意组合，满足您对位移行程、承载、需调整的维数等多种需求，如果我们现有的常规产品都不能满足您的使用，请您一定联系我们并特别提出来，我们具有丰富经验的专职工程师非常愿意和您共同讨论解决方案。★单位说明：在外形简图中或参数指标中，除特殊标注外，长度单位均为毫米（mm）。

“35mm 系列”— Linear35-x-Slim (闭环控制) 低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 35*35*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 20 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear35-x-Slim, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 10.5 mm2 质量38 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -3 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程20 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程20 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)室温 压电运动解决⽅ 案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动， 20 kHz驱动频率&bull 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R) 和光学型(.O)&bull ⾼ 精度 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 100-200nm&bull 最⼩ 步伐优于 10 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)、⾼ 真空( .HV)和超⾼ 真空 ( .UHV)选件2D 尺⼨ 图LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHV.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度65 × 65 mm × 12 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程30 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐~ 10 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13 位置传感类型- 电阻型传感( .R )- 光栅尺传感( .O )14 位置传感量程30 mm15 位置传感分辨率- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm- 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)

“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

NFP-x462系列产品是我公司新开发的台面为65× 65mm，行程为25mm的超高精密手动位移台，该系列产品主体材料采用不锈钢，导轨为进口超高精度交叉滚柱导轨，配合我公司特有的精密磨削技术，使该系列产品具有超高精度和可达1&mu m的灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。全系列产品均采用分厘卡驱动。此系列产品，特别适合于超高精度的手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS激光器部件的精密调整。 ■ 产品特点：◆采用经过特殊工艺制备的不锈钢作为主体材料，保证产品的稳定性和耐用性，不锈钢表面做亚光处理，特别适合于在高洁净和稳定性要求的领域，如：光纤、半导体器件调整或真空中使用◆使用进口超高精度交叉滚柱导轨，配合我公司特有的精密磨削技术，保证了产品的灵敏度、平直度等关键指标，达到国际水平◆全系列采用分厘卡驱动，能够准确定位◆单维产品分为左侧、右侧、中心驱动，并有可竖直方向使用的产品，可以灵活地组合为2～3维产品，并配有组合所需的直角固定块和底板◆同国外同类产品相比，具有超高性价比！ ■ 产品一览表： 型号NFP-1462CNFP-1462CZNFP-1462SRNFP-1462SL行程（mm）25灵敏度（mm）0.001台面尺寸（mm）65× 65导轨高精度交叉滚柱直线度（&mu m）3导轨驱动位置中央驱动型竖直使用型右侧驱动型左侧驱动型负载（Kg）72.577

一、综合介绍手动位移台产品包括：平移台、升降台、旋转台、摆动台、倾斜台（含俯仰、偏摆）等，每一类产品，根据主体材料、导轨形式、结构特点、驱动方式等的不同，又分为多个系列。手动位移台从结构上主要分为主体部分（移动板、固定板）、驱动机构（分厘卡或螺纹副）、导向机构（导轨）、锁紧机构等几部分。 二、分类三、各个型号1、FSP系列超高精密手动平移台1）说明FSP系列超高精密手动平移台，主体材料采用304不锈钢，导轨为超高精密交叉滚柱导轨，配合飞创义达特有的精密磨削技术，使该系列产品具有超高灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。全系列产品均采用分厘卡驱动，产品台面尺寸包括40mm×40mm（13mm行程）和65mm×65mm（25mm行程），此系列产品适合于超高精度的手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件的精密调整，也可在真空中使用（需换装真空脂）。该系列产品相互之间可以组合使用。2）特点• 灵敏度≤1um• 主体材料为304不锈钢，稳定性高、耐腐蚀性好，也适合在真空中使用• 超高精密交叉滚柱导轨，保证了产品的灵敏度、直线度等关键指标达到国际水平• 标配分厘卡驱动，能够准确定位，还可选配差动分厘卡• 同国外同类产品相比，具有超高性价比！2、HMTV系列高精密手动升降台1）说明：HMTV系列高精密手动升降台，该系列升降台采用分厘卡驱动，有水平杠杆式和竖直直顶式，交叉滚柱导轨导向，保证台面升降时具有很好的运动精度和平稳度。该系列升降台适合于运行平稳度高、负载能力较强等应用。2）特点• 有水平杠杆式和竖直直顶式，负载能力强，运行平稳• 交叉滚柱导轨，具有很好的运动精度和直线度• 分厘卡驱动，使用方便• 可以同HMT系列手动位移产品组合使用3、HMTR系列高精密手动旋转台1）说明HMTR系列高精密手动旋转台，采用分厘卡驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时关键跳动指标。该系列旋转台具有粗调和精调两种方式。该系列旋转台适合于手动角度调整有较高要求的领域。2）特点• 交叉滚柱轴环导向，保证旋转台运行的端面调动• 分厘卡驱动，灵敏度高• 负载能力较强，多种尺寸，超薄结构• 可以同HMT系列手动位移产品组合使用4、HMTG系列高精密手动摆动台1）说明HMTG系列高精密手动摆动台，采用分厘卡驱动，灵敏度高。主体材料采用优质铝合金，采用弧形V型导轨导向，蜗轮蜗杆驱动，保证了台面运行平稳。该系列摆动台适合于手动角度调整有较高要求的领域。2）特点• 采用弧形V型导轨，运行平稳，负载大• 采用精密蜗轮蜗杆驱动，带自锁• 主体材料采用优质铝合金，黑色阳极氧化处理，耐磨性好，外形美观• 成对设计，可独立使用，也可成对使用。成对使用时，保证摆动中心重合• 可以同HMT系列的平移台、旋转台、升降台等组合使用5、PMTW系列整体式多轴位移台PMTW系列整体式多轴位移台采用整体式设计，结构紧凑，分厘卡和螺纹副驱动，精度高，弹簧复位，消除空回。6、FST系列光纤专用位移台凭借多年精密位移技术积累，推出了FST系列手动光纤专用位移台和手动光波导调芯系统。该系列产品主体材料采用304不锈钢，导轨为进口超高精密交叉滚柱导轨，保证了运动的平直度，配合我司精密磨削技术，使该系列产品具有超高精度和可小于1μm的灵敏度，并且运行平顺、无跳动现象。全系列产品均采用分厘卡驱动，特别适合于超高精度的手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件的精密调整。全系列产品，配合我司光纤专用附件产品，可提供3~6维的整体式调整方案。

高速长行程位移台基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有纳米级运动分辨率和运动精度，同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。 支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。 技术特点：音圈电机直驱式精密设计嵌入式纳米位移传感器系统超高指向精度、高动态、低噪声无摩擦、零间隙、免装配多运动模式：定位/扫描超长行程应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT规格参数： 型号 NP-VCM-X-100A 主动轴 X 传感器类型 光栅传感器 驱动类型 音圈电机 行程( mm)100 最大负载( Kg) 1 分辨率（nm） 1.22 重复定位精度（nm）20 尺寸（mm）160x220x82.5 工作温度（℃）10-50 材料 铝合金/钛合金 推荐控制器/驱动器 NPC-032纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

简介：位移探针台可以在测试准备和测试过程中精确移动探针位置，实现微米级别的电极接触；同时探针前端可调整角度和长度，从而适应样品范围更加广泛。用途：1.用于光刻器件的高低温光电测试；2.用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试；3.可拓展低温温控和真空管路模块，实现液氮温度测量。制冷方式：液氮温度范围（℃）：-196到600℃显示精度（℃）：0.1控温精度：0.1℃样品区域：30*35mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm探针材质：钨钢或铍铜（探针针尖1um）探针数量：四个（可拓展为6个）外观尺寸：410*410*80mm腔体净重：10Kg备注：探针前端水平角度和长度可调

Lxxx.indus 系列压电线性运动位移台极简工业风的运动模块多自由度纳米级运动也可以搭积木&bull 超安静运动，20 kHz驱动频率；&bull 极紧凑外形设计；&bull 内置集成光学位置传感器；&bull 30, 60, 100, 150 & 200 mm多行程可选；&bull 高负载，支持多种拼接案例；&bull 闭环控制 空间传感分辨率 2 nm；&bull 最小步伐优于 10 nm；&bull 可提供多轴堆叠安装转接件；&bull 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；&bull 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用L030.indus尺寸：63 mm x 24 mm x 14 mm行程：30 mmL060.indus尺寸：105 mm x 24 mm x 16 mm行程：60 mmL100.indus尺寸：180 mm x 24 mm x 17 mm行程：100 mmL150.indus尺寸：300 mm x 36 mm x 16.5 mm行程：150 mmL200.indus尺寸：295 mm x 80 mm x 20 mm行程：200 mm压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——详细参数：压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——尺寸图：L030.indusL060.indusL100.indusL150.indusL200.indus

“16mm 系列”— Linear16-z (闭环控制) 低温 压电运动- 线性位移系列最⼩ 的线性位移台，⽀ 持闭环控制Linear16-z 线性位移台主要特点&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 16*15.7 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 250 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 3 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear16-z, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 16 mm2 质量12 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程3 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载250 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器、16 传感器⾏ 程3 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

“16mm 系列”— Linear16-x (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列最⼩ 的线性位移台，⽀ 持闭环控制线性位移台Linear16-x 主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 16*16*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 50 g & 1.5 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 3 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear16-x, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 10.5 mm2 质量10 g适⽤ 环境范围 3 基础参数温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程3 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载50 g14 最⼤ 推⼒ 1.5 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程3 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

我们提供各种手动和电动线性位移台，满足大多数线性定位的要求类别描述手动线性位移台线性位移台的设计是为了将运动限制在一个直线上，可以组合成xy、xz或xyz多轴运动配置。Newport将精密的线性调节螺丝、测微头和先进的轴承配置、精密加工的表面结合在一起，为研究人员和OEM供应商提供所需的手动线性位移台。仔细考虑可能导致偏离理想直线运动的因素，这包括位移台材料的刚度、热膨胀、导热性、加工公差、轴承或弯曲设计以及线性促动头的选择。手动垂直位移台Newport的手动垂直位移台将您的实验或应用提升到新的高度。电动线性位移台电动线性平移台是用于工业和科研自动化应用中的高精度定位仪器。来自 Newport 的电动线性平台包括光电行业中任何运动解决方案提供商提供的最广范围或精度的线性定位平台。另外还提供真空兼容以及 全钢结构电动线性位移台。电动垂直位移台电动垂直位移台是 Newport 精密线性位移台系列的一个重要类别，提升了在三维空间中定向对象的能力。纳米定位压电马达线性平移台Picomotor 和 Agilis 纳米定位线性平台采用压电电机驱动，可提供卓越的纳米级精度定位和远程操作。工业运动控制Our Industrial Motion Control products are designed to be complete motion solutions for industrial applications from high precision stages, motion controllers and complete motion systems. OEM’s can start with the standard motion product offering and custom solutions specific to an application are also available. Newport Motion products are well known for their ease-of-use enabling faster setups and reducing time to market. Backed by teams of application, engineering and manufacturing resources, OEM’s are ensured successful product launches and continuing, reliable product delivery.旋转台应用包括半导体晶圆检查或划线、计量、微型机器人、传感器测试、光盘纹理形成、光学器件（例如偏光器和拨片）定位。类别描述手动旋转位移台当您需要精密的手动旋转时，我们提供相应的解决方案。光学旋转调整架旋转调节架可用于安装偏振片和波片，提供沿光轴360°的精确旋转，旋转刻度可显示旋转位置。我们的旋转调节架利用了我们在光学机械设计方面的专业知识，例如精密加工表面、安全固定光学元件以及高级研究员和OEM供应商所需的高旋转精度的精密调整螺丝。手动角位台测角平移台可使物体绕轴线旋转，该物体不受平移台本身阻挡，位于顶部平台中心的上方。类似尺寸的 GON 系列平移台可进行堆叠。在堆叠配置中，旋转轴将彼此相交，并围绕空间中的一个公共点进行正交运动。可通过两个正交轴的公共旋转点堆叠牢固的锁定机构可使旋转角度高达 ?±10?°手动或电动驱动可互换倾斜台倾斜台可实现光学设备的精确倾斜或旋转对准。电动转台Newport 在电动旋转台领域积累了数十年的专门知识。应用包括半导体晶圆检查或划线、计量、微型机器人、传感器测试和光盘纹理形成。电动旋转调节架Newport 提供多种用于 0.5 英寸、1 英寸和 2 英寸直径偏振片或波片的旋转调节架。电动角位台Newport为各种旋转应用提供电动角位台支架。电动万向调节架With a global network of over one-thousand gimbals currently active around the globe, we understand the importance of building and motorizing gimbals for high performance deployment across numerous applications. Our gimbals are used for: target simulation, target tracking, camera calibration, sensor calibration, telescope alignment, weapons testing, and general optical alignment and adjustment. Azimuth, Elevation and Roll assemblies are available with Newport SR, URS, and FCR Series rotation stages. To accommodate various types of loads and positioning requirements, Newport Gimbals are offered in either half-yoke or full-yoke configuration in various sizes.光纤对准耦合位移台类别描述光纤对准位移台专为精密多轴光纤对准应用而设计。ULTRAlign&trade 精密光纤对准平移台ULTRAlign 精密光纤倾斜和旋转定位器ULTRAlign&trade 光纤对准配件紧凑型 XYZ 光纤对准挠性平移台挠性光纤对准平移台配件光纤耦合夹具使用光纤耦合夹具和平台能简便高效地将激光束耦合到光纤中。精密/单模光纤耦合器自聚焦透镜光纤耦合器光纤卡盘和夹持器自聚焦透镜支架光纤定位调节架光纤定位调节架有助于轻松定位您需要的光纤。多轴光纤定位器多模 XY 光纤定位器电动 XY 光纤定位器接杆安装单模光纤对准器光纤定位器配件光学设备对准位移台我们为光学器件对准提供专用手动和电动多轴位移台。一体化光学设备对准平移台多轴压电电动对准位移台Vacuum Optical Device Alignment Stages电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台光纤电动对准解决方案Newport provides a wide range of motorized stages and controllers to perform alignment and metrology of optical fibers and fiber optic components such as planar waveguides, AWGs and fiber collimators as well as completely automated alignment systems. For many applications including automated single-mode fiber alignments, lasers to fibers or wave-guides to fibers alignment, Newport motion systems can be customized to adapt to increasingly complex assembly and metrology demands with the recent renewed growth and technology advances in the fiber-optics industry.

单轴长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：长行程：16mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：最小步长2nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

ANP系列 低温强磁场纳米精度位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已经为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能，原子定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31Tesla）。 产品特点与技术优势：当步进到制定位置后，施加在压电陶瓷上的电压变为0V，因此不存在由于外加电信号而产生噪音或飘逸问题；驱动定位器所需要的电压一般较低（60V或150V），因此不需要进行高压屏蔽，很多低压中使用的电缆和接口都可以在这里使用；Attocube定位器可以同时作为粗逼近装置和精细扫描头使用，因此大的提高了设备的稳定性和结构的紧凑性。基本参数： 工作温度范围：10mK - 373K 工作磁场环境：0 - 31Tesla 工作环境：大气 - 5E-11mbar 闭环位移控制精度：1nm 负载重量：大可到2Kg 大位移范围：50mm 位移器小尺寸：11X11mm ANP系列线性位移器采用闭环（/RES电阻式反馈与/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型单步位移步长为：室温300K下，50nm；低温4K下，10 nm。位移范围大为：20mm，位移器尺寸小为：11mm。负载大2000g。ANP系列线性位移台技术参数表 线性纳米精度位移台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程(mm)载重(N)ANPz30?11 1250nm@300K 10nm@4K2.50.1ANPx5115x15 9.250nm@300K 10nm@4K30.25ANPx51/RESANPx51/NUM+ANPz5115x15 13.550nm@300K 10nm@4K2.50.5ANPz51/RESANPz51/NUM+ANPz51eXT15x15 1750nm@300K 10nm@4K60.5ANPz51eXT/RESANPx10124x24 1150nm@300K 10nm@4K51ANPx101/RESANPx101/NUM+ANPz10124x24 2050nm@300K 10nm@4K52ANPz101/RESANPz101/NUM+ANPz101eXT1224x24 3250nm@300K 10nm@4K122ANPz101eXT12/RESANPz101eXT12/NUM+ANPz10224x24 2750nm@300K 10nm@4K52ANPz102/RESANPx31130x30 10100nm@300K 20nm@4K620ANPx101/RESANPx32140x41.6 11.5100nm@300K 20nm@4K1520ANPx321/RESANPx321/NUM+ANPx34140x45 11.5100nm@300K 20nm@4K2020国内部分用户名单（排名不分先后）attocube纳米精度位移器以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......北京大学清华大学中国科技大学南京大学中科院物理所中科院半导体所中科院武汉数学物理所上海同步辐射中心中科院上海应用技术物理研究所北京理工大学复旦大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……

“25mm 系列”— Linear25-z (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*19.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 6 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ *所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程6 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程6 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

电动双轴平移台产品说明：谱量生产的电动平移台的关键部件如滚珠螺杆、线性轴承导轨、线性滑块导轨、弹性联轴器等均选用进口高品质产品；具有左右限位开关和零位光电开关设置，确保电动平移台安全可靠运行及零位准确一致；标准安装孔位，便于组合多维电控位移台；可配装光栅尺，实现闭环控制。更换运动部件和电机，核心零件经特殊处理后，可应用于真空环境中；也可加装防尘罩，可有效保护螺栓和导轨。特殊规格，接受订做。产品特点：&bull 标配步进电机和标准DB9接口，配合控制器可实现自动控制 &bull 双轴整体式设计，结构紧凑，并且两轴正交精度高 &bull 进口高品质滚珠螺杆驱动，重复定位精度高，驱动力大 &bull 采用交叉滚珠配合精磨V型导轨，运行平稳，精度高，承载大 &bull 中心方孔设计，适合通光，还可装夹载物玻璃 &bull 两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品 &bull 底部有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定。产品参数：型号MTS160行程60x60mm螺杆导程4mm分辨率0.0025mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载10Kg自重5.8KgMTS160型号MTS1100行程100x100mm螺杆导程4mm分辨率0.00125mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载20Kg自重13KgMTS1100型号MTS1200行程200x300mm螺杆导程4mm分辨率0.00125mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载20Kg自重22.5KgMTS1200应用领域：应用于科学实验、激光加工、自动检测、自动计量、自动控制等科研、工业自动化领域。

“25mm 系列”— Linear25-z-LR (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台压电线性位移台Linear25-z-LR主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*29.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 16 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear25-z-LR, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程16 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程16 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

高精度显微镜载物台/显微镜平移台美国ASI公司高精度显微镜载物台普遍适用于市面上大部分的正置/倒置显微镜。可以供手动平台、电动平台、压电与步进电机混合运动平台、手动与压电集成平台。显微镜载物台平台每个轴都采用闭环反馈控制，可以提供更高的分辨率和可重复性。显微镜载物台的Z轴采用压电陶瓷平台，可提供纳米级的定位精度，行程从150μm-500μm可选。1）显微镜载物台适配倒置显微镜平台以下列表中的平台适用于市面绝大部分的显微镜平台，可兼容的显微镜型号如下：&bull Leica – DMI3000, DMI4000, DMI5000, DMI6000, DMIRB, DMIRBE, DMIRE, DMIRE2&bull Nikon – Diaphot Eclipse TE2000, Eclipse Ti&bull Olympus – BX50WI, BX51WI, BX61WI, IX70, IX71, IX81&bull Zeiss – Axiovert 200, Axio Observer产品图片描述行程MS-2000FT是一款提供XY方向精确定位的载物台。该平台经过特殊设计，利用十字滚珠滑块，高精度丝杠和零间隙微型齿轮直流伺服电机驱动可提供高分辨率和重复精度的平稳运动。并且该平台可与ASI的任何Z轴平台匹配使用提供X,Y,Z的精确定位。X轴 120mm Y轴75mm详细参数见数据单1MS-2000 XY平台是专用于显微镜平台的XY轴定位的平台，该平台采用闭环反馈直流伺服电机驱动，可提供高分辨率和和高重复精度的定位，并可以与任何ASI的Z轴平台组成三维定位系统X轴 120mm Y轴110mm详细参数见数据单2MS-2500XY是一款大行程、超薄的 XY定位平台，X轴运动行程可达250mm，X轴和Y轴采用闭环直流伺服电机驱动，并带有手动操纵杆进行大范围移动，并可以ASI的Z轴产品配合使用。控制灵活可以通过USB和RS-232串口控制该平台，并提供软件包X-Y轴 250mmx75mm详细参数见数据单3 PZM-2000 是一款在Z轴提供精确定位的平台。可以直接配合显微镜上原始的OEM手动平台使用，可提供100-500μm不同的行程。载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等。Z：150μm 300μm 500μm详细参数见数据单4PZ-2000 XYZ是一款提供X,Y,Z三维定位的平台，其中X,Y方向采用闭环反馈的直流伺服电机驱动，Z轴采用压电平台提供纳米级别分辨率，行程150μm；300μm；500μm可选。X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单5PZ-2000FT是一款平顶三维定位平移台，三个维度都采用闭环反馈，可实现高分辨率和和重复定位精度。Z轴采用压电平移台，可实现纳米分辨率定位，载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单6US-2000是一款经过特殊设计的可实现高稳定、高分辨率及可重复性，应用于超分辨显微镜。该平台可适配ASI任何Z轴定位的平台。如果对定位精度要求较高，平台和可匹配压电平台用于Z轴聚焦。X-Y轴 50x50mm 至120mmx75mmZ轴 150；300；500μm详细参数见数据单72）显微镜载物台适配正置显微镜平台以下平台包含不同维度的平台，及压电与步进电机结合的平台，并匹配市面上的立式显微镜，主要型号如下：&bull Leica – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXP&bull Nikon – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000&bull Olympus – AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61&bull Zeiss – AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II产品图片描述行程FPT-2000聚焦平台是一款经过特殊设计是用来提供高分辨率和重复精度的X,Y,Z三个维度的定位， 该平台采用闭环反馈避免由改变方向和多次步进造成的空回和丢步。X-Y轴120mmx75mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单8MS-2000是一款质量较轻的平台。经过专项设计，在保证平台精度的前提下质量只有常规平台的3/4，可更快达到热平衡。通过高精度旋转编码器闭环反馈。 可通过操作杆或者通过USB或RS-232串口通过控制器控制平台移动。此外该平台可适配ASI任何Z轴平台，组成三维定位系统。X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单9MS-2000S小型位移平台可提供X和Y两个方向的精确定位，分别可提供100x100mm的行程，但平台尺寸仅为20x23x162.5px，采用闭环反馈设计，分辨率可达到亚微米。 X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单10MS-4400是专门为大型立式显微镜设计的一款三维精密定位位移平台。可适用于Leica DMR-series, the Nikon Eclipse 80i, the Olympus BX series, and the Zeiss Axioplan, Axioskop 2, and Axio Imager等显微镜。该平台采用闭环设计，配备手动操纵杆，可轻松操纵平台移动。并可匹配ASI推出的所有Z轴平台。X-Y轴100mm x 100mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单11MS-9500是一款225mmx125mm大行程的位移平台，可一次扫描八个25x75mm的载玻片，同时可提供较高的分辨率和可重复精度。X-Y轴225mm x 125mm详细参数见数据单12 PZMU-2000是精确的Z轴压电定位平台，AU-PZMU-2000包括ASI经过验证的压电Z顶板，该顶板安装在独立的外壳中。 该系统可以安装在任何水平表面上，或直接安装在立式显微镜的手动XY平台上。AU-PZMU-2000接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片，例如载玻片，皮氏培养皿，多孔板等Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单13PZU-2000是一款步进电机与压电平台结合的精密定位系统，其中XY轴采用闭环反馈伺服电机精确控制，Z轴为压电平台，可提供纳米级的分辨率，已经不同行程可选。X-Y轴120mm x 110mmZ轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单143）显微镜载物台Z轴压电平移台产品图片描述行程IPZ-3000FT系列平台是压电定位平台，提供Z方向精确定位，适用于大多数具有标准的K-尺寸（110x160mm）开口的显微镜载物台。IPZ-3000FT可用于安装多种样品架，用于固定小碗、载玻片、小腔体等。Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单15Z-INSERT的优点在于可以适用于任何标准K型框架的大多数的电动载物台，该平台提供了一个127.5x85mm的通光孔，可以接受任何具有SBS标准尺寸的微孔板。该平台与以下类型平台兼容：ASI – MS-2000 Flat Top XY/XYZ motorized stage (a special version is needed for non-flat top stage)Marzhauzer – Scanning Stage SCAN IM 120×80Prior – K type FrameLudl – BioPrecison2Zeiss – K type FrameNikon – Ti XY motorized stage (requires the Nikon Adapter plate, in order to reduce the aperture)Olympus – IX3-SSU (requires the Olympus adapter plate, in order to reduce the aperture)Leica – Regular 3-plate stageZ轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单16Z-INSERT K-TYPE是Z-INSERT的精简版本，平台的长和宽与K型样品架（160x110mm）完全相同，平台拥有83.6x54mm的开口，可以与大多数拥有K型框架的倒置、正置显微镜兼容。Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单17Z-INSERT-INC是Z-INSERT的特殊版本，带有嵌入式的环境腔，为满足长时间的活细胞成像提供适宜的环境，CO2输入可以连接各种调节器（例如Okolab, Tokai Hit, Pecon），并可以灵活拆卸腔体盖。Z-INSERT-INC位移台具有Z-INSERT的所有优点，这意味着它可以直接安装在第三方制造商提供的大多数电动位移台上Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单18Z-INSERT NIKON 是Z-INSERT的特殊版本，它可以直接用在NIKON Ti XY电动平台上，它提供标准的K型开口（160x110mm），并与我们提供的K型样品架相匹配。Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单194）显微镜载物台物镜扫描台产品图片描述行程F-POM是一款压电驱动的物镜扫描台，可提供500μm行程。Z轴150μm；300μm；500μm详细参数见数据单20FOCHS.100 是一款专用于显微镜物镜高速定位的压电平台，其采用管状设计，可提供100微米行程，被广泛用于Z轴聚焦、激光加工和自动聚焦等。平台安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜Z轴100μm详细参数见数据单21FOC是专用于显微镜精密定位的平台，可提供100,200,300μm不同行程，采用硅闭环反馈，可提供皮米量级分辨率。其安装环易更换可匹配不同类型物镜，Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单225）显微镜载物台大型位移平台除了标准的用于生物学的位移平台外，ASI公司也推出来一些特殊领域使用的大型位移平台，和龙门自动平台，例如：用于工业检测的大型显微镜Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列产品图片描述行程M系列是大行程二维位移平台，满足半导体检测及其它需要大型程平台的应用。该平台可提供150mm；200mm；250mm；300mm不同的行程。X-Y轴150mmx150mm；200mmx200mm；250mmx250mm；300mmx300mm详细参数见数据单23GTS系列龙门位移平台提供三维闭环平台，可提供不同行程，标准品XY方向可提供380mm，Z轴可提供100mm，并可以根据应用选择不同行程的平台。X-Y轴380 mm x 380 mmZ轴100mm详细参数见数据单24MS-8000是与大型工业检查显微镜配合使用的。例如Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列。平台中空设计允许底光照明，平台可提供玻璃盖板或者其它材质载物台，包含用于检测的镜片真空吸盘。详细参数见数据单256）显微镜载物台精密旋转平台PRS-1000是一款可提供连续旋转的平台，超薄的设计可以使该平台集成到MS-2000系列XY平台上，组成多维运动平台。标准版本具有直径为95mm的通孔，可以使用任何ASI的C大小的插件。该平台也可用于真空应用。详细参数见数据单267）显微镜载物台手动平台MIC-2500是一款为匹配压电扫描平台而设计的手动平台，该平台配置千分尺手动旋钮，可提供25mm的行程，并可安装XYZ三轴压电平移台。详细参数见数据单278）显微镜载物台手动压电混合定位平台（压电平台型号选择与配置请联系工程师）压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学 、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

低温压电线性位移台Linear16-x.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：16 * 16 * 10.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：50 g & 1.5 N● 大行程：3 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um 低温压电线性位移台，x方向，16mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电线性位移台，x方向，16mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台”系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台”中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台” 和 “低温压电摇摆台”。

低温压电陶瓷旋转位移台Rotator25.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：25 * 25 * 14.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大力矩：250 g & 1.5 Ncm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 10 m° 低温压电陶瓷旋转位移台，360°，25mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电陶瓷旋转位移台，360°，25mm尺寸——尺寸图： 多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环旋转运动解决方案。“低温压电旋转台” 默认⼯ 作环境为 1.4 K ~ 400 K, 2E-7 mbar ~ 大气 & max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电旋转台” 中的所有产品，均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电线性台” 和 “低温压电摇摆台”。

低温压电旋转位移台Rotator16.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：Dia 16 * 15.6 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大力矩：100 g & 0.4 Ncm● 大行程：360° endless● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 10 m° 低温压电旋转位移台，360°，16mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电旋转位移台，360°，16mm尺寸——尺寸图： 多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环旋转运动解决方案。“低温压电旋转台” 默认⼯ 作环境为 1.4 K ~ 400 K, 2E-7 mbar ~ 大气 & max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电旋转台” 中的所有产品，均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电线性台” 和 “低温压电摇摆台”。

低温压电线性位移台Linear25-z-LR.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：25 * 25 * 29.6 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：300 g & 3 N● 大行程：16 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um 低温压电位移台，z方向长行程，25mm尺寸——详细参数： *多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电位移台，z方向长行程，25mm尺寸——尺寸图： 多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台”系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台”中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台” 和 “低温压电摇摆台”。

低温压电旋转位移台Rotator35.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：35 * 35 * 16.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大力矩：500 g & 2.5 Ncm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 10 m°低温压电旋转位移台，360°，35mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电旋转位移台，360°，35mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环旋转运动解决方案。“低温压电旋转台" 默认⼯ 作环境为 1.4 K ~ 400 K, 2E-7 mbar ~ 大气 & max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电旋转台" 中的所有产品，均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电线性台" 和 “低温压电摇摆台"。