紫外差分法

近日，青岛市工业和信息化局公示了2022年度第一批青岛市创新产品，崂应自主研发生产的崂应3023Y紫外差分烟气分析仪荣膺其中。崂应3023Y型 紫外差分烟气分析仪青岛市创新产品 青岛市创新产品是青岛市工业和信息化局为鼓励支持企业研发新技术、新产品、新工艺，加大企业创新产品推广应用力度，促进创新产品市场化和产业化，按照《青岛市创新产品推荐目录编制工作指南(试行)》（青工信规〔2021〕1号）和《关于组织编制青岛市创新产品推荐目录（2022年度第一批）的通知》等文件要求，组织企业进行申报并经形式审查、专家评审等环节评选而出。 创新是企业生存与发展的根本。该奖项是对我司创新能力和产业化能力的肯定，也将继续推动我司不断创新发展，迈上新台阶！

新标准 本月15日正式发布的两项紫外新标准（HJ1131-2020/HJ1132-2020）明确了规定并适用于固定污染源废弃中氮氧化物/二氧化硫的便携式紫外吸收法的测定。青岛众瑞仪器研发的两款相关仪器均符合新标准要求。紫外差分法仪器分冷干法和热湿法两种类型，为方便广大用户了解我司的这两款产品，以下进行详细介绍。ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法） 本仪器包含ZR-D05DT型烟气预处理器和ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法）两部分。 其中ZR-D05DT型烟气预处理器集加热采样管和导气管、冷却装置快速除湿于一体。ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法）性能指标均符合国家环保局颁布的烟气测试仪的有关规定。主要技术特点：1、采用紫外光谱差分吸收技术(DOAS) 直接测量固定污染源排气中的SO2、NO、NO2等气体浓度，无需NO2转化器；可拓展对H2S/CS2/NH3/CH3SCH3/CH2O/C6H6等气体的测量。 由于NO2对光的吸收比较弱，如果光源选择不合适，或者算法不够先进，无法直接测量NO2。有些紫外烟气分析仪无法直接测量NO2，采用NO2转化器的仪器，使用不便，NO2转化率容易不达标新发布的《HJ1132-2020》中规定2、双量程分析设计，根据SO2、NO高低浓度值自动切换量程；3、采用进口脉冲氙灯作为紫外光源，预热时间小于10min，使用寿命长； ①独特的无光纤光源、气室和光谱仪一体化结构，避免了光纤带来的不稳定和故障； ②光强调节结构能够在气室受到一定程度污染的情况下，简单的进行调节，即可继续工作；③气室带有修护窗口，即使气室受到严重污染，也可以通过拆开气室进行擦拭完成维护，无需返回厂家进行维修，提高仪器的出勤率。4、内置锂电池，支持3小时以上采样，交流供电断电能够自动切换供电而不必中断采样； 5、触屏按键双输入方式，操作方便灵活；触屏按键双输入6、烟气预处理器采用全程恒温伴热、后端高效制冷除湿等多重防护，采用符合国标的加磷酸方式，有效防止二氧化硫气体被冷凝水吸附，以及消除氨气干扰。 ①主机内置除水模块，能够将抽进主机的液滴进行气水分离后，带有蠕动泵动态排出，避免液滴进入气室和电化学传感器，造成仪器故障，大大提高了仪器的可靠性。 ②冬季气温接近冰点时，预处理器输出的烟气经过进气管路仍然会有冷凝水产生，这些冷凝水有可能进入到主机内部，造成仪器故障。除水模块就避免了这种原因的故障，提高了仪器出勤率，能够更好的为检测公司创造价值。③高效制冷除湿：采用大功率两级电子制冷，制冷温差大，可处理含湿量达30 Vol.%的烟气，输出气体露点稳定；④冷凝室采用符合国标方法的加磷酸（HJ 57-2017）方式，有效降低SO2等的损失，消除或减小氨、硫化氢等气体的干扰，适用于高湿、烟气成分浓度低的工况；③现场检测对比数据：工况信息：青岛某热电 含湿量：约10% 烟温：50℃7、仪器具备测量烟道动压、静压、烟温、流速、含湿量等工况参数的功能。各工况参数8、光谱图形动态显示，方便用户掌握仪器工作情况； 光谱图形动态显示9、分钟数据与总平均数据动态保存，导出excel表格，标配蓝牙打印机，方便报表打印。现场采样：ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款 热湿法） ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款热湿法）采用紫外差分吸收光谱技术测量烟气中的O2、NO、NO2和NH3，可选O2、CO、CO2、H2S传感器测量气体浓度，不受烟气中水蒸气影响，具有较高的测量精度和稳定性，特别适合高湿低硫工况测量。主要技术特点：1、采用紫外差分法直接测量SO2、NO、NO2和NH3；2、采用脉冲氙灯作为紫外光源，光谱范围宽，NO2吸收较强，相比氘灯光源示值更为稳定。 有些紫外仪器采用氘灯作为紫外光源，测量NO2信号弱，示值波动也较大。采用脉冲氙灯作为紫外光源，光谱范围宽，NO2吸收较强，示值较为稳定。NO2的吸收谱，吸收区域在450nm左右最强我公司仪器光源图谱，在450nm范围内依然较强的光其他厂家仪器光源图谱，在400nm以后基本无法检测3、内置冷凝除水模块保护电化学传感器，采用蠕动泵自动排水，仪器可连续工作，无时间限制； 内部除水装置采用蠕动泵动态排出泠凝水，能够保证仪器长时间连续工作。4、内置进口含湿量传感器，采样的同时测量含湿量；热湿法烟气分析仪，需要测量含湿量，进行干湿浓度转换，和在线数据进行比对。（新发布的《HJ1131-2020》/《HJ11322-2020》标准中均有所规定）5、采用特殊设计的自主知识产权的光路（已申请发明专利），容易装配和调试，便于仪器维护和校准。 ①相对于冷干法，热湿法仪器较易污染，且维护难度大。 ②我公司采用特殊设计的反射器件，光路非常稳定，容易装配和调试，可在采样现场进行维护。6、预热时间短，仅需10-15分钟； 7、批量打印分钟值和总平均值，功能更加人性化；8、 选配套管式皮托管，能够在采样的同时进行工况测量；9、选配高温探针，满足烟温高和烟道壁较厚的工况。10、采用真空隔热管，隔热效果好。现场采样：

近期，生态环境部发布了关于征求《固定污染源废气 氮氧化物的测定 紫外吸收法（征求意见稿）》、《固定污染源废气 二氧化硫的测定 紫外吸收法（征求意见稿）》两项国家环境保护标准意见的函。 崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪参与了两项新标的验证工作，且崂应作为“征求意见单位”之一，对于标准进行了认真深入的研究和讨论，对于即将发布的两项紫外新标准，这几项重点内容你有必要提前知道！第1项适用范围 崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪参与标准验证的数据表明，其 NO、NO2和SO2的检出限均优于标准的检出限。第2项 规范性引用文件 两项标准的规范性引用文件《便携式二氧化硫和氮氧化物紫外吸收法测量仪器技术要求及检测方法》尚未发布，但是崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪已经按照该标准要求完成适用性检测。第5项 干扰和消除 此处推荐崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪，干扰消除措施完善，完全满足标准要求：针对颗粒物该仪器主机和取样管都有过滤芯，过滤粒径5μm，完全满足标准要求。针对废气冷凝该仪器配有专用的崂应1030型烟气预处理系统，采样管和传输管都具有加热功能，温度范围在120~160℃，且温度可调节。针对不同成分干扰该仪器采用提取差分信号计算方法消除干扰。第6项试剂和材料第7项仪器和设备第9.1项仪器的气密性检查第9.2项仪器校准 崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪不仅具有零点校准、量程校准和多点校准功能，且零点校准可以选择清洁空气或者纯氮气，更方便用户选择。第9.3项样品测定紫外吸收法为何如此受关注？紫外吸收法是目前相对先进的SO2、NOx等气体检测技术，特别适合超低排放工况。相比红外吸收法，紫外吸收法的方法检出限更低，可直接检测NO2，不受水汽干扰。相对于电化学传感器，紫外吸收法具有寿命长，维护成本低，性能稳定，抗交叉干扰能力强等优势。除了参与标准验证的崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪，即将面市的崂应3023Y型 紫外烟气分析仪也完全满足两项紫外新标的要求。崂应3023Y型 紫外烟气分析仪?自主研发紫外差分烟气分析模块（检出限更低，且量程可定制）?主机和取样管一体式设计?采用热湿法，消除SO2和NO2的溶解损失?实时检测烟气湿度，同时显示干/湿基浓度?支持手操器遥控和主机按键触控两种操控模式“由于《固定污染源废气 氮氧化物的测定 紫外吸收法（征求意见稿）》和《固定污染源废气 二氧化硫的测定 紫外吸收法（征求意见稿）》尚处于意见整改阶段，以上针对征求意见稿的分析内容仅供参考，具体内容请以最终发布稿为准。届时，崂应会再次为您详细解析，敬请期待！”

导读：新国标“GB/T 37186-2018 《气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法》”已于2018年12月28日发布，并将于2019年11月1日正式实施。为更好践行*相关政策对于加强生态环境建设的重要指示，我公司根据多年废气监测经验，多方实验验证，提出“热湿法+紫外差分光谱技术”相结合的新型污染源废气监测技术，并于2018年，完成对新型“紫外烟气分析仪”的整机设计。 明华电子是一家专业从事各种环境监测分析仪器设备研发的高新技术企业。公司致力于环境监测仪器设备的信息化、规范化和现代化，利用现代信息技术改造传统仪器设备。明华电子以“共赢互惠，诚信永恒”的合作理念，以先进的技术、高质量的产品和优质的服务与立志从事环保事业的同仁携手并肩，共创美好家园。京津冀地区综合环境情况 京津冀地区位于东北亚中国地区环渤海心脏地带，被称为“*都经济圈”。包括北京市、天津市以及河北省的11个地级市。地处华北平原，北接内蒙古高原，西邻黄土高原，东临渤海，气候温暖，水热同期。 京津冀大气污染传输通道城市（简称“2+26”城市）2018年1–12月，环境空气质量平均优良天数比例为50.5%，同比上升1.2个百分点；PM2.5浓度为60微克/立方米，同比下降11.8%。 京津冀大气污染综合治理攻坚行动方案 2018年9月27 日京津冀及周边地区大气污染防治*小组通过了《京津冀及周边地区2018-2019年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案》，方案指出要深化有组织排放控制，火电、钢铁、石化、化工等锅炉烟气颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度分别不高于10、35、50 毫克/立方米。我公司把“MH3200型紫外烟气分析仪”的现场验证第六站放在了京津冀，为此区域有组织排放提供准确详实的监测数据，助力此区域火电、钢铁、石化、化工等行业超低排放改造有序推进。 “共赢互惠，诚信永恒”，明华电子将持之以恒，以更饱满的热情投身于环保监测行业，为中华环保事业添砖加瓦！

GR-3028型紫外烟气综合分析仪 1.产品概述 GR-3028型紫外烟气综合分析仪（以下简称分析仪）以紫外差分吸收光谱技术为核心的光学烟气分析仪，仪器主要用于排气管道中有害气体成分的测量，广泛应用于环境监测以及热工参数测量等部门。该分析仪采用紫外差分吸收光谱技术和化学计量学算法测量烟气中的SO2，NO，NO2，O2，CO，CO2等气体的浓度，测量数据不受烟气中水蒸气影响，具有测量精度、交叉干扰少、响应时间快、可靠稳定、使用寿命长等特点，特别适合超低排放、高湿低硫工况测量。分析仪采用高性能长寿命脉冲氙灯、耐腐蚀吸收池、进口高分辨光谱仪、传感器及新材料领域的高新技术，竭力为用户提供一台质量可靠、性能稳定的高品质仪器。2.适用范围a） 各种锅炉、工业炉窖的SO2、NOx等有害气体的排放浓度、折算浓度和排放总量的测定。b） 烟道排气参数（动压、静压、烟温、流速、标干流量等）的测定。c） 烟气含氧量、空气过剩系数的测定。d） 烟气连续测量仪器测量准确度的评估和校准。3.采用标准GB/T37186-2018 《气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱法》HJ1045-2019 《固定污染源烟气（二氧化硫和氮氧化物）便携式紫外吸收法测量仪器技术要求及检验方法》JJG968-2002 《烟气分析仪检定规程》DB37/T 2704-2015《固定污染源废气氮氧化物的测定紫外吸收法》DB37/T 2705-2015《固定污染源废气二氧化硫的测定紫外吸收法》DB37/T2641-2015 《便携式紫外吸收法多气体测量系统技术要求及检测方法》HJ/T 397-2007 《固定源废气监测技术规范》GB13233-2011 《火电厂大气污染物排放标准》4.技术特点l采用紫外光谱差分吸收技术（DOAS），测量精度高，测量数据不受烟气中水蒸气影响，特别适合超低排放、高湿低硫工况的测量；l核心部件具有自主知识产权，关键部件带有恒温、减震装置等措施，有效避免数据漂移，提高测试数据的准确性；l双测量量程，根据排放浓度的高低浓度值自动切换高低量程；l皮托管、烟气取样管、烟气预处理器三合一，现场使用方便，提高工作效率。l紫外光源脉冲氙灯，预热时间短，使用寿命长；l10.1寸高亮彩色触摸显示屏，界面美观，操作方便，人机交互可选择屏幕直接操作也和选项按键操作。l内置锂电池，电池工作时间大于4小时。l交直流两用，宽压直流输入，直流输入电压12-26V，直流输入具有欠压，过压，反接保护功能，有效保护仪器不受损坏。l选用大容量存储器实时存储分钟数据和总平均数据，测量数据可通过U盘导出；l实时查询检测数据，标配蓝牙打印机，现场打印；l可拓展CO、CO2 、H2S/CS2/NH3/C6H6等监测项目；l可选配物联网模块，实现远程数据传输和物联网组网5.技术参数表1 主要技术指标主要参数参数范围分辨率准确度烟气温度（-50～500）℃0.1℃优于±3℃等速采样流速（2～45）m/s0.1m/s优于±5%烟气动压（0～2000）Pa1Pa优于±2%FS烟气静压（-30～＋30）kPa0.01kPa优于±4%FS大气压（60-110）kPa0.01kPa优于0.5kPa烟气采样流量1.5L/min烟气浓度O2（0～30）%0.1%示值误差：优于±5.0%重复性：≤2.0%响应时间：≤90s稳定性：1小时内示值变化≤5.0%SO2低量程：（0～600）mg/m3高量程：（600～4000）mg/m30.1mg/m3NO低量程：（0～600）mg/m3高量程：（600～1200）mg/m30.1mg/m3NO2低量程：(0～500) mg/m3高量程：(500～1000) mg/m30.1mg/m3H2S（可选）（0～300）mg/m30.1mg/m3CO（可选）（0～5000）mg/m30.1mg/m3CO2（可选）（0～20）%0.01%外型尺寸（长×宽×高）470X192*365整机功耗150W整机重量12kg工作电压DC 12-26V/AC 220V创新点：GR-3028型紫外烟气综合分析仪以紫外差分吸收光谱技术为核心的光学烟气分析仪，该分析仪采用紫外差分吸收光谱技术和化学计量学算法测量烟气中的SO2，NO，NO2，O2，CO，CO2等气体的浓度，测量数据不受烟气中水蒸气影响，具有测量精度、交叉干扰少、响应时间快、可靠稳定、使用寿命长等特点，紫外烟气综合分析仪

崂应3023Y型 紫外烟气分析仪 一、产品概述本仪器是以紫外差分吸收光谱分析技术（DOAS）为核心的新型产品，全新一体化结构设计，采用崂应自主研发的紫外差分核心光学模块，适用于固定污染源排气中SO2、NO、NO2、H2S、CO、CO2、O2等烟气浓度的现场分析，特别适合低温、高湿、低浓度排放的各种锅炉、烟道、工业炉窑等固定污染源中烟气成分的现场分析。产品广泛应用于环保、检测公司、工矿企业（电厂、钢铁厂、水泥厂、糖厂、造纸厂、冶炼厂、陶瓷厂、锅炉炉窑、以及铝业、镁业、锌业、钛业、硅业、药业，包括化肥、化工、橡胶、材料厂等）、卫生、劳动、安监、军事、科研、教育等领域。二、执行标准n HJ 1045-2019 固定污染源烟气（二氧化硫和氮氧化物）便携式紫外吸收法测量仪器技术要求及检测方法n GB/T 37186-2018 气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法n HJ/T 397-2007 固定源废气监测技术规范n JJG 968-2002 烟气分析仪检定规程n DB37/T 2641-2015 便携式紫外吸收法多气体测量系统技术要求及检测方法n DB37/T 2704-2015 固定污染源废气氮氧化物的测定紫外吸收法n DB37/T 2705-2015 固定污染源废气二氧化硫的测定紫外吸收三、产品特点 测量系统n 采用差分吸收光谱技术，抗干扰能力强，不受水分和粉尘影响，有效避免气体间的交叉干扰n 内置加酸装置和帕尔贴制冷高效除水装置，保证检测结果准确n 采用脉冲氙灯冷光源，预热时间短，使用寿命长，光谱范围宽，覆盖NO2最佳吸收波段n 长光程设计，检出下限低，量程范围宽，用户可根据需要定制量程n SO2分析双量程设计，根据浓度值自动切换量程n 具备气密性自动检测、自动/手动校零、采样结束后自动清洗气路等功能n 烟气测量方式自动、手动可选择，自动模式下可设置单次测量时间和测量次数，方便与在线仪器的比对n 满足HJ 1045-2019最新标准要求 结构设计n 采用一体化设计，功能高度集成，无需繁琐的管路连接，真正做到方便用户n 取样管可拆卸设计，便于携带，用户可另外根据需要选配不同长度的取样管 操控系统n 双操控系统设计：支持手操器遥控和主机按键触控两种操控模式，满足用户的多样化选择n 支持中、英文输入，方便用户输入采样地点等信息，实现良好人机交互n 各烟气成分浓度曲线实时显示，显示比例最大放大32倍，提高低浓度测量时曲线显示的分辨率n 配置高速低噪声微型热敏打印机，轻松掌握实时数据n 配备丰富人机接口，支持鼠标、U盘、键盘、触摸板、打印机等设备n 预留物联网模块接口，可拓展物联网功能，实现数据实时上传、手机实时查看测量结果等功能 动力系统n 精密芯泵，耐腐蚀，连续运转免维护，适应各种工况，具有过载保护功能其他n 交、直流双供电工作模式，保证在无交流电的场所也能正常工作n 与崂应3060-A 型一体式烟气流速监测仪搭配使用，工况测量数据一键获取n 具有仪器故障、密闭性自动检测与报警功能，方便用户维护及使用 ＊说明：1、以上内容完全符合国家相关标准的要求，因产品升级或有图片与实机不符，请以实机为准, 本内容仅供参考。创新点：1、采用崂应自主研发的紫外差分核心光学模块2、高度集成 一体化机身3、两种操控方式4、多次发射 长光程气室5、NO2直接测量6、SO2分析双量程崂应3023Y型 紫外烟气分析仪

明华紫外万里行自2019年4月12日开始，于12月27日圆满结束。多地多次验证表明，明华电子MH3200型紫外烟气分析仪重复性好，数据准确度高，性能稳定，与在线数据对比一致性较好，能较好的适用于多种工况环境。紫外标准情况*标准：2019年11月1日，GB/T 37186-2018 《气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法》正式实施。环境标准：2019年10月24日，HJ 1045-2019 《固定污染源烟气 (二氧化硫、氮氧化物)便携式紫外吸收法测量技术要求及检测方法》*次发布，并将于2020年2月24日正式实施！2019年8月30日生态环境部印发《固定污染源废气 氮氧化物的测定 紫外吸收法(征求意见稿)》和《固定污染源废气 二氧化硫的测定 紫外吸收法(征求意见稿)》两项*环境保护标准。山东地标：DB37-T 2704-2015《山东省固定污染源废气氮氧化物的测定-----紫外吸收法》DB37-T 2705-2015 《山东省固定污染源废气二氧化硫的测定-----紫外吸收法》DB37/T 2641-2015《便携式紫外吸收法多气体测量系统技术要求及检测方法》 MH3200型紫外烟气分析仪凭借在各大工况的出色表现为客户交出了一份满意的答卷，2019明华紫外万里行也就此画上了完美的句号。2020明华电子继续以客户为中心，“明环保之意，为华夏而行”！

崂应3023Y型 紫外烟气分析仪 一、产品概述本仪器是以紫外差分吸收光谱分析技术（DOAS）为核心的新型产品，全新一体化结构设计，采用崂应自主研发的紫外差分核心光学模块，适用于固定污染源排气中SO2、NO、NO2、H2S、CO、CO2、O2等烟气浓度的现场分析，特别适合低温、高湿、低浓度排放的各种锅炉、烟道、工业炉窑等固定污染源中烟气成分的现场分析。产品广泛应用于环保、检测公司、工矿企业（电厂、钢铁厂、水泥厂、糖厂、造纸厂、冶炼厂、陶瓷厂、锅炉炉窑、以及铝业、镁业、锌业、钛业、硅业、药业，包括化肥、化工、橡胶、材料厂等）、卫生、劳动、安监、军事、科研、教育等领域。二、执行标准n HJ 1045-2019 固定污染源烟气（二氧化硫和氮氧化物）便携式紫外吸收法测量仪器技术要求及检测方法n GB/T 37186-2018 气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法n HJ/T 397-2007 固定源废气监测技术规范n JJG 968-2002 烟气分析仪检定规程n DB37/T 2641-2015 便携式紫外吸收法多气体测量系统技术要求及检测方法n DB37/T 2704-2015 固定污染源废气氮氧化物的测定紫外吸收法n DB37/T 2705-2015 固定污染源废气二氧化硫的测定紫外吸收三、产品特点 测量系统n 采用差分吸收光谱技术，抗干扰能力强，不受水分和粉尘影响，有效避免气体间的交叉干扰n 内置加酸装置和帕尔贴制冷高效除水装置，保证检测结果准确n 采用脉冲氙灯冷光源，预热时间短，使用寿命长，光谱范围宽，覆盖NO2最佳吸收波段n 长光程设计，检出下限低，量程范围宽，用户可根据需要定制量程n SO2分析双量程设计，根据浓度值自动切换量程n 具备气密性自动检测、自动/手动校零、采样结束后自动清洗气路等功能n 烟气测量方式自动、手动可选择，自动模式下可设置单次测量时间和测量次数，方便与在线仪器的比对n 满足HJ 1045-2019最新标准要求 结构设计n 采用一体化设计，功能高度集成，无需繁琐的管路连接，真正做到方便用户n 取样管可拆卸设计，便于携带，用户可另外根据需要选配不同长度的取样管 操控系统n 双操控系统设计：支持手操器遥控和主机按键触控两种操控模式，满足用户的多样化选择n 支持中、英文输入，方便用户输入采样地点等信息，实现良好人机交互n 各烟气成分浓度曲线实时显示，显示比例最大放大32倍，提高低浓度测量时曲线显示的分辨率n 配置高速低噪声微型热敏打印机，轻松掌握实时数据n 配备丰富人机接口，支持鼠标、U盘、键盘、触摸板、打印机等设备n 预留物联网模块接口，可拓展物联网功能，实现数据实时上传、手机实时查看测量结果等功能 动力系统n 精密芯泵，耐腐蚀，连续运转免维护，适应各种工况，具有过载保护功能其他n 交、直流双供电工作模式，保证在无交流电的场所也能正常工作n 与崂应3060-A 型一体式烟气流速监测仪搭配使用，工况测量数据一键获取n 具有仪器故障、密闭性自动检测与报警功能，方便用户维护及使用 ＊说明：1、以上内容完全符合国家相关标准的要求，因产品升级或有图片与实机不符，请以实机为准, 本内容仅供参考。创新点：1、高度集成 一体化机身2、两种操控方式3、多次发射 长光程气室4、NO2直接测量5、SO2分析双量程崂应3023Y型 紫外烟气分析仪

ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款，热湿法）产品简介ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款，热湿法）采用紫外差分吸收光谱技术测量烟气中的SO2、NO、NO2和NH3，可选O2、CO、CO2、H2S传感器测量气体浓度，不受烟气中水蒸气影响，具有较高的测量精度和稳定性，特别适合高湿低硫工况测量。其中紫外差分吸收模块在热湿状态下进行测量，避免除水造成的烟气组分损失。整机采用一体便携式设计，采样管和主机为一体，携带方便。可供环境监测部门对各种锅炉排放的气体浓度、排放量进行检测，也可应用于工矿企业进行各种有害气体浓度的测量。参考标准JJG968-2002 烟气分析仪检定规程HJ/T 397-2007 固定源废气监测技术规范DB37/T 2704-2015 固定污染源废气氮氧化物的测定紫外吸收法DB37/T 2705-2015 固定污染源废气二氧化硫的测定紫外吸收法DB37/T2641-2015 便携式紫外吸收法多气体测量系统技术要求及检测方法HJ 973-2018 固定污染源废气 一氧化碳的测定定电位电解法GB13233-2011 火电厂大气污染物排放标准Q/0214 ZRB009-2017 烟气综合分析仪GB/T 37186-2018 气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法HJ 1045-2019 固定污染源烟气( 二氧化硫和氮氧化物 )便携式紫外吸收法测量仪器技术要求及检测方法功能特点采用热湿法紫外差分原理检测SO2、NO、NO2和NH3，适合高湿低硫工况，完全避免冷凝除湿造成的烟气组分损失；带有皮托管、烟温传感器接口，能够自动测量烟温、流速和含湿量；内置含湿量传感器，可同步测量含湿量，实时折算干态浓度选配传感器（CO、CO2、H2S）；内置电池，采样结束后自动完成反吹功能；内置蓝牙，通过手机或平板进行人机交互、数据存储；采样分析一体式结构，便携性好；数据显示和接口丰富：蓝牙打印、U盘导出、100万条数据存储、排放量折算、浓度折算；内置高效冷凝除水模块，防止O2传感器进水损坏，蠕动泵排水，自动化程度高；预热时间短，可以在现场快速达到测量要求；自主知识产权的高稳定吸收池，采用前端维护和调整结构，可靠性高，非专业人员也可进行气室擦拭和维护。采用钛合金真空隔热管，隔热效果好；配有高温探针，满足不同烟温工况。 创新点：ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款，热湿法）采用紫外差分吸收光谱技术测量烟气中的SO2、NO、NO2和NH3，可选O2、CO、CO2、H2S传感器测量气体浓度，不受烟气中水蒸气影响，具有较高的测量精度和稳定性，特别适合高湿低硫工况测量。其中紫外差分吸收模块在热湿状态下进行测量，避免除水造成的烟气组分损失。ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款，热湿法）

p　　中国电子科技集团有限公司第十三研究所专用集成电路国家级重点实验室与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院纳米器件与应用重点实验室再次合作，在高灵敏度石墨烯场效应晶体管(G-FET)太赫兹自混频(Homodyne mixing)探测器的基础上，实现了外差混频(Heterodyne mixing)和分谐波混频(Sub-harmonic mixing)探测，最高探测频率达到650 GHz，利用自混频探测的响应度对外差混频和分谐波混频的效率进行了校准，该结果近期发表在碳材料杂志Carbon上(Carbon 121, 235-241 (2017))。/pp　　频率介于红外和毫米波之间的太赫兹波(Terahertz wave)在成像、雷达和通信等技术领域具有广阔的应用前景，太赫兹波与物质的相互作用研究具有重要的科学意义。高灵敏度太赫兹波探测器是发展太赫兹应用技术的核心器件，是开展太赫兹科学研究的重要手段与主要内容之一。太赫兹波探测可分为直接探测和外差探测两种方式：直接探测仅获得太赫兹波的强度或功率信息 而外差探测可同时获得太赫兹波的幅度、相位和频率信息，是太赫兹雷达、通信和波谱成像应用必需的核心器件。外差探测器通过被测太赫兹信号与低噪声本地相干太赫兹信号的混频，将被测信号下转换为微波射频波段的中频信号后进行检测。与直接探测相比，外差探测通常具备更高的响应速度和灵敏度，但是探测器结构与电路更加复杂，对混频的机制、效率和材料提出了更高的要求。/pp　　天线耦合的场效应晶体管支持在频率远高于其截止频率的太赫兹波段进行自混频探测和外差混频探测。前者是直接探测的一种有效方法，可形成规模化的阵列探测器，也是实现基于场效应晶体管的外差混频探测的基础。目前，国际上基于CMOS晶体管实现了本振频率为213 GHz的2次(426 GHz)和3次(639 GHz)分谐波混频探测，但其高阻特性限制了工作频率和中频带宽的提升。/pp　　石墨烯场效应晶体管因其高电子迁移率、高可调谐的费米能、双极型载流子及其非线性输运等特性为实现高灵敏度的太赫兹波自混频和外差混频探测提供了新途径。前期，双方重点实验室秦华团队和冯志红团队合作成功获得了室温工作的低阻抗高灵敏度石墨烯太赫兹探测器，其工作频率(340 GHz)和灵敏度(～50 pW/Hz1/2)达到了同类探测器中的最高水平(Carbon 116, 760-765 (2017))。此次合作进一步使工作频率提高至650 GHz，并实现了外差混频探测。/pp　　如图1所示，工作在650 GHz的G-FET太赫兹探测器通过集成超半球硅透镜，首先通过216、432和650 GHz的自混频探测，验证了探测器响应特性与设计预期一致，并对自混频探测的响应度和太赫兹波功率进行了测试定标。在此基础上，实现了本振为216 GHz和648 GHz的外差混频探测，实现了本振为216 GHz的2次分谐波(432 GHz)和3次分谐波(648 GHz)混频探测。混频损耗分别在38.4 dB和57.9 dB，对应的噪声等效功率分别为13 fW/Hz和2 pW/Hz。2次分谐波混频损耗比216 GHz外差混频损耗高约8 dB。/pp　　此次获得混频频率已远高于国际上已报道的石墨烯外差探测的最高工作频率(～200 GHz)，但中频信号带宽小于2 GHz，低于国际上报道最高中频带宽(15 GHz)。总体上，目前G-FET外差混频探测器性能尚不及肖特基二极管混频器。但是，无论在材料质量还是在器件设计与工艺技术上，都有很大的优化提升空间。根据Andersson等人预测，G-FET的混频转换效率可降低至23.5 dB，如何达到并超越肖特基二极管混频探测器的性能指标是未来需要重点攻关的关键问题。/pp　　图3所示为基于432 GHz的直接探测以及二次谐波探测的透射成像图对比，分谐波探测时的透射成像显现出比直接探测更高的动态范围，可达40 dB。/pp　　该研制工作得到了国家自然科学基金项目(No. 61271157, 61401456, 61401297等)、国家重点研发计划(2016YFF0100501， 2014CB339800)、中科院青促会(2017372)、中科院苏州纳米所纳米加工平台、测试分析平台和南京大学超导电子学研究所的大力支持。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201706/insimg/c73fe96e-7527-4de4-8f95-ff4e6c2935aa.jpg" title="1.jpg"/　/pp style="text-align: center "图1：650 GHz天线耦合的G-FET太赫兹外差混频探测器br//pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201706/insimg/70869861-507f-4a27-91dc-64a7cf6c6185.jpg" title="2.jpg"//pp style="text-align: center "图2：(a)准光耦合的外差混频探测系统示意图 (b)216 GHz外差混频探测的中频频谱br//pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201706/insimg/15463ac0-04f0-4c63-9091-fee1013ca466.jpg" title="3.jpg"//pp style="text-align: center "图3：(a)分别采用432 GHz直接探测和本振为216 GHz的2次分谐波探测对树叶进行的透射成像效果对比 (b)采用本振为216 GHz的2次分谐波探测对柠檬片的透视成像。/p

5月15日，固定污染源废气便携式紫外吸收法新标准（HJ1131-2020/HJ1132-2020）已经正式发布。为感谢广大第三方环境检测客户对青岛众瑞仪器的支持，我公司现正式推出便携式紫外烟气分析仪租赁业务。本次推出总套数为200套，包含ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款 热湿法）（以下简称3211H）及ZR-3211H型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法）（以下简称 3211C）。 本次租赁活动开始时间从5月28日起，至所有200套预定完毕。数量有限，预定从速。预定详情可直接电联众瑞热线预约！众瑞紫外烟气分析仪详细介绍ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款 热湿法） ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（H款热湿法）采用紫外差分吸收光谱技术测量烟气中的SO2、NO、NO2和NH3，可选O2、CO、CO2、H2S传感器测量气体浓度，不受烟气中水蒸气影响，具有较高的测量精度和稳定性，特别适合高湿低硫工况测量。主要技术特点详看下方：符合紫外新标准的众瑞便携式紫外烟气综合分析仪技术特点ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法） 本仪器包含ZR-D05DT型烟气预处理器和ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法）两部分。 其中ZR-D05DT型烟气预处理器集加热采样管和导气管、冷却装置快速除湿于一体。ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪（C款 冷干法）性能指标均符合国家环保局颁布的烟气测试仪的有关规定。主要技术特点详看下方：符合紫外新标准的众瑞便携式紫外烟气综合分析仪技术特点

MH3200型紫外烟气分析仪符合新*标准GB/T 37186-2018 《气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法》。MH3200型紫外烟气分析仪是以紫外差分吸收光谱分析技术（DOAS）为核心，用于测定固定污染源排气中的SO2、NO、NO2、CO(电化学法）、CO2（红外法）、O2（电化学法）等成分浓度的新一款光学分析仪器，其内部采用进口光学核心部件，具有测量精度高、可靠性高、响应时间快等特点。MH3200型紫外烟气分析仪气室、光纤、光谱分析部件采用多重缓冲减震技术，提高了仪器的可靠性和稳定性；烟枪前端配备高效挡水结构，防止液态水的吸入，多级滤芯过滤，有效防止镜片污染，大大延长了仪器的维护周期 该仪器可一键切换至反吹状态，即使仪器在烟道中，也可对气路吹入新鲜空气，用于保护后端电化学传感器或对仪器进行调零操作 该仪器可通过互联网远程实时监控仪器工作状态，实现仪器的运行状态和安全的全程监控，规范质控管理；4.3寸触摸彩屏，操作界面简洁明了 ；该仪器内置可充电锂电池，断电后自动切换至反吹功能，持续一分钟对整个气路进行反吹清洗；防静电设计，避免现场静电干扰。MH3200型紫外烟气分析仪适用于超低排放改造后锅炉的燃烧测试及烟气污染排放，适用于脱硫脱硝设备效率测定，适用于工业热处理燃烧分析。

标准发布后，崂应就立即组织培训团队，对标准发布稿进行了详细深入的研究和解读，并在第一时间举办了网络培训公开课——《固定污染源直读技术之紫外标准解读篇》，现将精华内容整理如下，与各位环保同仁分享交流！后附解决方案！崂应实力崂应作为“征求意见单位”之一，在紫外技术和相关产品研发领域深耕多年。早在2012年，崂应便携式紫外吸收法烟气分析设备就已经上市，并且技术水平已经十分成熟。2015年，崂应参与起草和验证的山东地标（DB37-T-2704-2015 和 DB37-T-2705-2015）发布并实施。2020年5月15日，崂应3023型 紫外差分烟气综合分析仪参与验证的两项国家环境保护标准（HJ1131-2020和HJ 1132-2020）也正式发布，并将于2020年8月15日起开始实施。 标准解读 本标准规定了测定固定污染源废气中氮氧化物的便携式紫外吸收法。本标准适用于固定污染源废气中氮氧化物的测定。氮氧化物：一氧化氮的方法检出限为 1mg/m3，测定下限为 4 mg/m3；二氧化氮的方法检出限为 2 mg/m3，测定下限为 8 mg/m3。——HJ 1132-2020本标准规定了测定固定污染源废气中二氧化硫的便携式紫外吸收法。本标准适用于固定污染源废气中二氧化硫的测定。二氧化硫：方法检出限为2 mg/m3，测定下限为8 mg/m3。——HJ1131-2020划重点：综合两项标准内容，对于二氧化硫、一氧化氮、二氧化氮的方法检出限和测定下限都做出了明确的规定，其中测定结果是否小于测定下限应该予以重视:样品测定过程中“如发现二氧化氮浓度超过本方法测定下限，应中止测定，按照标准相关要求用二氧化氮标准气体校准仪器后，重新进行测定。”质量控制与质量保证中规定“当二氧化氮测定结果超过本方法测定下限时，也应对其进行示值误差、系统偏差检查或全系统示值误差检查。”质量控制与质量保证中规定“样品测定结果应处于仪器校准量程的 20%～100%之间，否则应重新选择校准量程，如测定结果小于测定下限，则不受本条限制。”结果计算时“二氧化氮测定结果小于测定下限的，二氧化氮相应的体积浓度、质量浓度都按零计。”综上所述 : 二氧化氮测定结果小于测定下限的，二氧化氮相应的体积浓度、质量浓度都按零计,对其零点校准、量程校准、零点漂移、量程漂移的检查都没有明确要求；二氧化氮测定结果超过测定下限时，对应以上的各项检查都要正常进行。 按仪器使用说明书，连接分析仪、采样管、导气管等，开启仪器电源，经仪器预热稳定后，按 HJ 1045 检查气密性，若检查不合格，应查漏和维护，直至检查合格。*标准内容划重点：气密性良好是现场样品测定结果准确的前提和保障，HJ1045上有关于气密性检查的详细步骤， 按仪器使用说明书，正确连接分析仪、采样管、导气管等，开启仪器电源，使仪器预热稳定，达到仪器工作条件；密封仪器采样管入口；启动仪器采样泵开始抽气，同时观察仪器气路中的压力传感器或流量传感器的显示值；当流量传感器显示进气流量接近 0 时，记录压力传感器显示的负压值并开始计时， 保持抽气 30 s，压力传感器负压下降应不超过 0.2 kPa，则气密性检查通过。整个检查过程需要观察流量、压力变化，并且需要计时，比较复杂，仪器上如有气密性检测功能，可以减少操作的复杂性 。校准所用标准气体的浓度值（进行多点校准时，为校准所用标准气体的最高浓度值），校准量程（以下用C.S.表示）应小于或等于仪器的满量程。*标准内容划重点：校准量程的选择并不是随意选择，标准有明确的条件要求：质量控制与质量保证中规定“样品测定结果应处于仪器校准量程的 20%～100%之间，否则应重新选择校准量程，如测定结果小于测定下限，则不受本条限制。”综上所述 : 校准量程并不是随意选择的，样品测定前，应该先了解工况，来选择合适的校准量程，测定后，还需要检查一下，样品测定结果应处于仪器校准量程的 20%～100%之间。 监测前，仪器充分预热后，将零气和校准气依次通入仪器中，使用气袋法或者钢瓶法进行校准。*标准内容划重点：其中的气袋法也是大家比较常用的方法，但是新标准里面规定气袋法使用是有条件限制的：二氧化硫：“充满后在 6 小时内使用。通入的标准气体的浓度应不超过100μmol/mol”；氮氧化物: “充满后在 3 小时内使用。通入的标准气体的浓度应不超过 50μmol/mol”。这在以往的其他标准里面基本没有提到过，所以大家要注意。把采样管插入采样点位，以仪器规定的采样流量连续自动采样，待仪器读数稳定后即可记录读数，每分钟保存一个均值，连续取样 5 min～15 min 测定数据的平均值可作为一个样 品测定值。*标准内容划重点：结果记录第一个要注意按分钟保存数据，第二个要注意连续取样，不能间断，第三个要注意时长5 min～15 min。 质量保证和质量控制中要求“仪器使用期间，每个月至少进行一次零点漂移、量程漂移检查，如仪器长期未使用（超过 1 个月），在下一次使用时应当进行一次零点漂移、量程漂移检查。”*标准内容划重点：零点漂移、量程漂移测定结果不满足标准要求时，测定结果无效，所以零点漂移和量程漂移的测定也很重要。标准指出仪器使用期间，每个月至少进行一次零点漂移、量程漂移检查，但是一旦出现零点漂移、量程漂移测定结果不满足标准要求时，影响是比较大的，所以建议大家有条件的增加零点漂移、量程漂移的频次。零点漂移和量程漂移其实做起来并不复杂，只需在样品测定前做零点校准、量程校准，和样品测定后通入零气稳定后以及全系统示值误差的检查时记录仪器示值，计算即可。标准状态（273 K，101.325 kPa）下干基废气中废气中的质量浓度二氧化硫的浓度计算结果保留至整数位，浓度≥1.00×103mg/m3时，保留三位有效数字氮氧化物浓度以二氧化氮计，计算结果保留至整数位，浓度≥1.00×103 mg/m3时，保留三位有效数字。二氧化氮测定结果小于测定下限的，其相应的体积浓度、质量浓度都按零计。*标准内容划重点：通过标准要求，我们知道结果表示是标准状态下干基废气中废气中的质量浓度，如果使用热湿法紫外仪器进行样品测定时，注意含湿量需要同步监测，并参与结果计算，换算到干基状态。除此之外，注意二氧化氮测定结果小于测定下限的，也就是小于8mg/m3，其相应的体积浓度、质量浓度都按零计。解决方案以上两种仪器都采用的是崂应自主研发的紫外差分核心模块，技术成熟，可根据客户需求灵活定制参数，极大地降低售后维护成本和时间。

产品名称：紫外硫化氢分析仪　产品型号：Gasboard-3000UVGasboard-3000UV是基于紫外吸收光谱气体分析技术，自主研发的新一代硫化氢分析仪。采用独特算法，高精度气室，抗干扰能力强，测量精度高；量程范围可选择、稳定性好，可取代寿命短、易损耗的电化学气体分析技术以及价格昂贵、无法实时监测的气相色谱技术。　 　　 精度高，采用紫外吸收光谱气体分析技术，可实时在线监测，减少气体交叉干扰 带参比气室，测量更加准确 量程：可以根据客户定制。可以测量脱硫前500ppm的H2S，也能够测量脱硫后30~50ppm的H2S 耐腐蚀性强，与样气接触的部分均采用耐腐蚀材料 内置自动调零气泵，可实现空气自动调零 可通过多种接口将数据传输至上级集中控制系统 可替代电化学气体分析技术及气相色谱仪，寿命长，性价比高，维护成本低基本参数测量组分H2S测量范围0～25000ppm；量程范围可选精度±2%FS分辨率1ppm重复性2%FS响应时间T9030s最佳流量(0.7~1.2)L/min进气压力(2~50)kPa样气要求无尘、无水、无油工作温度(5~35)℃电气参数通信RS-485/RS-232，(4-20)mA电源额定电压220V±22V，频率50Hz±1Hz显示LCD显示报警输出无源触点信号功能配置具备自诊断功能，可在线检查传感器状态内置调零气泵，可实现空气自动调零煤气脱硫前后H2S浓度监测创新点：Gasboard-3000UV基于自主知识产权的紫外差分吸收光谱气体分析技术，自主研发的新一代硫化氢分析仪。采用独特算法，高精度气室，抗干扰能力强，测量精度高。量程范围可选择、稳定性好，可取代量程固定、寿命短、易耗材的电化学气体分析技术。紫外硫化氢分析仪 Gasboard3000UV

激光外差干涉技术在光刻机中的应用 张志平*，杨晓峰 复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心，上海 201203摘要 超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点，是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于光刻机的超精密位移测量系统主要有双频激光干涉仪和平面光栅测量系统两种，二者均以激光外差干涉技术为基础。本文将分别对这两种测量系统的原理、优缺点以及在光刻机中的典型应用进行阐述。关键词 光刻机；外差干涉；双频激光干涉仪；平面光栅1 引言集成电路产业是国家经济发展的战略性、基础性产业之一，而光刻机则被誉为集成电路产业皇冠上的明珠［1］。作为光刻机三大指标之一的套刻精度，是指芯片当中上下相邻两层电路图形的位置偏差。套刻精度必须小于特征图形的1/3，比如14 nm节点光刻机的套刻精度要求小于5.7 nm。影响套刻精度的重要因素是工件台的定位精度，而工件台定位精度确定的前提则是超精密位移测量反馈，因此超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一［2-4］。随着集成电路特征尺寸的不断减小，对位置测量精度的需求也不断提高；同时，为了满足光刻机产率不断提升的需要，掩模台扫描速度也在不断提高，甚至达到 3 m/s 以上；此外，为了满足大尺寸平板显示领域的需求，光刻机工件台的尺寸和行程越 来越大，最大已达到 1. 8 m×1. 5 m；最后，为了获得工件台和掩模台良好的同步性能，光刻机还要求位置测量系统具备多轴同步测量的功能，采样同步不确定性优于纳秒级别［5-8］。 综上，光刻机要求位置测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程、数米每秒测量速度、闭环反馈以及多轴同步等特性。目前，在精密测量领域能同时满足上述测量要求的，只有外差干涉测量技术。 本文分别介绍外差干涉测量技术原理及其两 种具体结构——双频激光干涉仪和平面光栅测量系统，以及外差干涉技术在光刻机中的典型应用。 2 外差干涉原理 2. 1 拍频现象 外差干涉又称为双频干涉或者交流干涉，是利用“拍频”现象，在单频干涉的基础上发展而来的一 种干涉测量技术。 假设两列波的方程为 x1 = A cos ω1 t ， （1） x2 = A cos ω2 t 。 （2） 叠加后可表示为（3）拍频定义为单位时间内合振动振幅强弱变化 的次数，即 v =| (ω2 - ω1)/2π |=| v 2 - v 1 | 。 （4） 波 x1、x2 以及合成后的波 x 如图 1 所示，其中包 络线的频率即为拍频，也称为外差频率。如果其中一个正弦波的相位发生变化，拍频信号的相位会发生完全相同的变化，即外差拍频信号将完整保留原始信号的相位信息。 图 1. 拍频示意图Fig. 1. Beat frequency diagram对于激光而言，因为频率很高（通常为 1014 Hz 量级），目前的光电探测器无法响应，但可以探测到两束频率相近的激光产生的拍频（几兆到几十兆赫兹）。因此拍频被应用到激光领域，发展成激光外差干涉技术。2. 2 外差干涉技术 由拍频原理可知 ，所谓外差就是将要接收的信号调制在一个已知频率信号上，在接收端再将该调制信号进行解调。由于高频率的激光信号相位变化难以精确测量，但利用外差干涉技术可以用低频拍频信号把高频信号的 相位变化解调出来，将大大降低后续精确鉴相的难度。因此，外差技术最显著的特点就是信号以交流的方式进行传输和处理。 与单频干涉技术相比，外差干涉技术的突出优点是：1）由于被测对象的相位信息是加载在稳定的差频（通常几兆到几十兆赫兹）上，因此光电探测时避过了低频噪声区，提高了光电信号的信噪比。例如在外界干扰下，测量光束光强衰减 50% 时，单频干涉仪很难正常工作，而外差干涉仪在光强衰减 90% 时仍能正常工作 ，因此更适用于工业现场 。 2）外差干涉可以根据差频信号的增减直接判别运动方向，而单频干涉技术则需要复杂的鉴相系统来 判别运动方向。单频干涉技术与外差干涉技术对比如表 1 所示。表 1. 单频干涉技术与外差干涉技术对比Table 1. Comparison between homodyne interferometry and heterodyne interferometry3双频激光干涉仪 3. 1 双频激光干涉仪原理 双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上结合外差干涉技术发展起来的，其原理如图 2 所 示。双频激光器发出两列偏振态正交的具有不同频率的线偏振光，经过偏振分光器后光束被分离。 图 2. 双频激光干涉仪原理图Fig. 2. Schematic diagram of dual frequency laser interferometer设两束激光的波动方程为 E1 = E R1 cos ( 2πf1 t ) E2 = E R2 cos ( 2πf2 t ) ， （5） 式中：ER1和 ER2为振幅；f1和 f2为频率。 偏振态平行于纸面的频率为 f1 的光束透过干涉仪后，被目标镜反射回干涉仪。当被测目标镜移动时，产生多普勒效应，返回光束的频率变为 f1 ± Δf， Δf 为多普勒偏移量，它包含被测目标镜的位移信息。经过干涉镜后，与频率为 f2 的参考光束会合，会合后光束发生拍频，其光强 IM函数为 （6） 式（6）包含一个直流量和一个交流量，经光电探测器转换为电信号，再进行放大整形后，去除直流量，将交 流量转换为一组频率为 f1 ± Δf- f2的脉冲信号。从双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的脉冲信 号，作为后续电路处理的基准信号。测试板卡采用减法器通过对两列信号的相减，得到由于被测目标 镜的位移引起的多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为 （7） 式中：λ 为激光的波长；N 为干涉的条纹数。因此， 只要测得条纹数，就可以计算出被测物体的位移。 3. 2 系统误差分析 双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差以及环境误差，如表 2 所示。 三种误差中，仪器误差可控制在 2 nm 以内；几何误 差可以通过测校进行动态补偿，残差可控制在几纳米以内；环境误差的影响最大，通常可达几十纳米到几微米量级，与测量区域的环境参数（温度、压 力、湿度等）有关，与量程几乎成正比，因此大量程测量时，需要对环境参数进行控制。 表 2. 双频激光干涉仪系统误差分解Table 2. System error of dual frequency laser interferometer4 平面光栅测量系统 双频激光干涉仪在大量程测量时，精度容易受 温度、压力、湿度等环境因素影响，研究者们同样基于外差干涉原理研发了平面光栅测量系统，可克服双频激光干涉仪的这一缺点。 4. 1 基于外差干涉的光栅测量原理 众所周知 ，常规的光栅测量是基于叠栅条纹的，具有信号对比度差、精度不高的缺点。基于外差干涉的光栅测量原理如图 3 所示，双频激光器发出频率 f1 和 f2 的线偏振光，垂直入射到被测光栅表面，分别进行+1 级和−1 级衍射，衍射光经过角锥反射镜后再次入射至被测光栅表面进行二次衍射， 然后会合并沿垂直于光栅表面的方向返回。由于被测光栅与光栅干涉仪发生了相对运动，因此，返回的激光频率变成了 f1 ± Δf和 f2 ∓ Δf，其中 Δf为多 普勒频移量，它包含被测目标镜的位移信息。 图 3. 基于外差干涉的光栅测量原理Fig. 3. Principle of grating measurement based on heterodyne interference会合后的光束 f1 ± Δf 和 f2 ∓ Δf 发生拍频，其频率为 ( f1 ± Δf ) - ( f2 ∓ Δf ) = ( f1 - f2 ) ± 2Δf。（8） 式（8）的信号与双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的 参考信号相减，得到多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为（9） 式中 ：p 为光栅的栅距 ；N 为干涉的条纹数 。 因此，只要测得条纹数 ，就可以计算出被测物体的位移。 上述原理推导是基于一维光栅刻线的，只能测量一维运动。为了获得二维测量，只需将光栅的刻线由一维变成二维（即平面）即可。 4. 2 两种测量系统优缺点对比 由此可知，基于外差干涉的光栅测量原理与双频激光干涉仪几乎完全相同，主要的差别是被测对象由反射镜换成了衍射光栅。两种测量系统的优缺点如表 3 所示。表 3. 双频激光干涉仪与光栅测量系统对比Table 3. Dual frequency laser interferometer versus gratingmeasurement system5外差干涉测量在光刻机中的应用 发展至今，面向 28 nm 及以下技术节点的步进扫描投影式光刻机已成为集成电路制造的主流光刻机。作为光刻机的核心子系统之一的超精密工件台和掩模台，直接影响着光刻机的关键尺寸、套刻精度、产率等指标。而工件台和掩模台要求具有高速、高加速度、大行程、超精密、六自由度（x、y 大 行程平动，z 微小平动，θx、θy、θz微小转动）等运动特点，而实现这些运动特点的前提是超精密位移测量反馈。因此，基于外差干涉技术的超精密位移测量子系统已经成为光刻机不可或缺的组成部分。 4. 光刻机中的多轴双频激光干涉仪［10］Fig. 4. Multi-axis dual frequency laser interferometer in lithography machine[10]图 4 为典型的基于多轴双频激光干涉仪的光刻机工件台系统测量方案［10］，在掩模台和硅片台的侧面布置多个多轴激光干涉仪，对应地在掩模台和硅 片台上安装长反射镜；通过多个激光干涉仪的读数解算出掩模台和硅片台的六自由度位移。 然而，随着测量精度、测量行程、测量速度等运动指标的不断提高，双频激光干涉仪由于测量精度易受环境影响、长反射镜增加运动台质量致使动态性能差等问题难以满足日益提升的测量需求。因 此，同样基于外差干涉技术的平面光栅测量系统成为了另一种选择［8］。 光刻机工件台平面光栅测量技术首先由世界光刻机制造巨头 ASML 公司取得突破。该公司于 2008 年 推 出 的 Twinscan NXT：1950i 浸 没 式 光 刻机，采用了平面光栅测量技术对 2 个工件台的六自 由度位置进行精密测量。如图 5 所示，该方案在主基板的下方布置 8 块大面积高精度平面光 栅（约 400 mm×400 mm），在两个工件台上分别布置 4 个 平面光栅读数头（光栅干涉仪），当工件台相对于平 面光栅运动时，平面光栅读数头即可测出工件台的 运动位移［2，5，9］。图 5. ASML 光刻机的平面光栅测量方案［2，5，9］Fig. 5. Plane grating measurement scheme of ASML lithography machine[2,5,9]相比多轴双频激光干涉仪测量方案，平面光栅测量方案具有以下优点：1）测量光路短（通常小于 20 mm），因此测量重复精度和稳定性对环境变化不 敏感；2）工件台上无需长反射镜，因此质量更轻、动态性能更好。 然而，平面光栅测量方案也有其缺点：1）大面积高精度光栅制造难度太大；2）由式（9）可知，位移 测量结果以栅距 p 为基准，然而受栅距均匀性限制， 测量绝对精度不高。为了获得较好的精度和线性度，往往需要利用双频激光干涉仪进行标定。 面临极端测量需求的挑战 ，Nikon 公 司 在 NSR620D 光刻机中采用了平面光栅和双频激光干涉仪混合测量的技术方案［9］，如图 6 所示。该方案 将平面光栅安装在工件台上表面，而将光栅读数头安装在主基板下表面，同时增加了双频激光干涉仪，结合了平面光栅测量系统和双频激光干涉仪的 优点。在读头与读头切换时采用双频激光干涉仪进行在线校准。 图 6. Nikon光刻机混合测量方案［9］Fig. 6. Hybrid measurement scheme of Nikon lithography machine [9]6激光外差干涉系统的发展趋势 无论是双频激光干涉仪还是平面光栅测量系统，要想获得纳米级测量精度，既需要提高测量系统本身的精度，更需要从使用的角度努力，即“三分 靠做，七分靠用”。 就激光外差干涉测量系统本身而言，误差源主要来自于光学非线性误差。在外差干涉测量系统 中，由于光源及光路传输过程各光学器件性能不理想或装调有偏差，会带来两个频率的光混叠现象， 即原本作为测量信号频率 f1（或 f2）的光中混杂了频 率 f2（或 f1）的光，或原本作为参考信号频率 f2（或 f1） 的光中混杂了频率 f1（或 f2）的光。在信号处理中该混叠的频率信号会产生周期性的光学非线性误差。尽管目前主流的双频激光干涉仪厂家已经将非线性误差控制在 2 nm 以内［10- 12］，但应用于 28 nm 以下光刻机时仍然需要进一步控制该误差。国内外众多学者从非线性误差来源、检测和补偿等角度出发，进行了大量研究并取得了丰硕成果［13- 17］。这些成果有望对非线性误差的动态补偿提供理论支持。 从应用角度，研究热点主要集中在应用拓展、 安装误差及其测校算法、环境参数控制及其补偿方法研究等方面。在应用拓展方面，激光外差干涉技术除了应用于测长之外，还在小角度测量、直线度、平面度、反馈测量等方面取得了应用［18- 20］。在安装误差和环境误差补偿算法方面，主要聚焦于多自由度解耦算法、大气扰动补偿等研究方向［4，21- 27］。 7 总结 阐述了光刻机对位移测量系统大量程、亚纳米 分辨率、纳米精度、高测速及多轴同步的苛刻要求。 概述了激光外差干涉技术原理，指出目前为止，激光外差干涉技术是唯一能满足光刻机上述要求的超精密位移测量技术。并综述了两种基于激光外差干涉技术的测量系统：双频激光干涉仪和平面光栅测量系统。总结了这两种位移测量系统在光刻机中的典型应用，以及激光外差干涉技术的当前研究热点和发展趋势。全文详见：激光外差干涉技术在光刻机中的应用.pdf

近期，中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所副研究员许振宇团队在激光外差光谱技术研究中获进展。相关研究成果发表在《光学通信》（Optics Letters）上。激光外差光谱仪因具有高光谱分辨率、体积小、易集成等优点，已经逐渐发展成为与地基傅里叶变换光谱仪互补的温室气体柱浓度与廓线测量工具。激光外差光谱技术因受限于光学天线理论，无法通过增加光学接收口径的方法提高外差信号信噪比，这导致高分辨率激光外差探测中气体廓线测量精度受限。对此，研究人员提出基于半导体光放大技术的微弱太阳光放大方法，解决了高分辨率激光外差探测中光学天线理论限制的外差信号信噪比提高问题。研究结果表明，相比于传统的高分辨率激光外差光谱仪，所研发的基于半导体光放大的高分辨率激光外差光谱仪的弱光信号探测和气体浓度测量精度得到大幅提升。该研究有助于提高高分辨率激光外差光谱仪的性能，在大气温室气体传感等方面具有巨大应用潜力。相关研究工作获得国家自然科学基金、国家重点研发计划等项目的资助。基于半导体光放大技术的激光外差光谱仪实验装置示意图信号对比测量结果

大气温室气体是导致全球平均气温和海温升高、大范围雪和冰融化、以及海平面上升等全球气候变化的重要因素，特别是二氧化碳的排放是当今世界最为关注的地球大气环境问题。实现对全球大气温室气体(尤其是二氧化碳)的高精度探测，对我国制定相关气候应对措施具有深远影响，将为我国的环境外交政策提供强有力的技术支撑和保障。基于目前科学技术水平，准确把握二氧化碳的全球变化，是目前空间遥感探测的热点和难点，需要充分依靠高灵敏度和高光谱分辨率的遥感探测技术。　　由我所承担的院空间科技创新基地重要方向项目“超光谱环境遥感监测关键技术研究”经过近2年攻关，研制成功基于空间外差光谱技术(SHS — Spatial Heterodyne Spectroscopy)的大气主要温室气体二氧化碳航空遥感探测试验样机。该技术目前已被列入高光谱观测卫星与环境减灾小卫星的温室气体探测计划。　　日前，在山东日照进行的机载试验受到中国海监北海支队的大力支持，机载试验样机装载于中国海监Y-12飞机，实现一次装机，一次校飞获取信息。试验共飞行两架次，约9个半小时，两个飞行高度(500m、1000m)，飞行区域为山东日照市区及附近郊区，选择了农田、工业区、海岸滩涂等典型地表区域，获取了大量数据。预处理结果表明了试验样机完全到达了设计指标，即在大气二氧化碳最主要的吸收波段1575nm范围中，得到光谱分辨率为0.1nm的实际大气二氧化碳吸收光谱，与理论计算对比一致。这些遥感数据将成为反演大气环境中二氧化碳柱浓度不可替代的和最直接的依据。下图为二氧化碳机载试验样机、机载试验状况及大气二氧化碳超光谱曲线。　　空间外差光谱技术是近年发展起来的一种新型超光谱遥感探测技术，与传统的傅立叶干涉系统(如日本的GOSAT)和衍射光栅系统(如欧洲的ENVISAT、美国的OCO)高分辨光谱遥感技术相比，空间外差光谱技术更具有针对性，该技术综合了衍射及空间调制干涉技术于一体，在限定的光谱范围内可达到很高的光谱分辨率和信噪比，且具有结构紧凑、无运动部件等特点，因而成为高精度大气成分遥感探测的优选技术之一。　　安徽光机所是国内最早开展空间外差光谱技术实验研究的单位之一，先后获得了国家自然基金、863项目、院创新基金的支持。2008年在院重要方向项目支持下，集中攻克了空间外差一体化干涉仪核心技术，解决了大气温室气体空间外差光谱遥感系统设计及定标(辐射、光谱以及吸收池)等关键技术，针对二氧化碳、甲烷以及一氧化碳等大气温室气体的探测研制了机载遥感试验样机和干涉仪组件。　　本次校飞试验结果表明，历时两年自主研发的二氧化碳空间外差光谱仪系统指标先进、性能稳定。本次校飞试验，不仅在国内首次获得了高分辨率大气二氧化碳飞行数据，同时验证了该系统在移动平台下获取高质量大气二氧化碳超分辨光谱的能力，为发展包括大气温室气体、气溶胶、污染气体等国家机载大气环境遥感监测系统，以及发展我国大气温室气体星载遥感系统奠定了坚实基础。

近日，中科院合肥研究院安光所许振宇副研究员课题组科研人员在激光外差光谱技术研究中取得新的突破，相关研究成果发表在《光学通信》（Optics Letters）上，且该论文被编入编辑精选(Editor’s Pick)。激光外差光谱仪因具有高光谱分辨率、体积小、易集成等优点，已经逐渐发展成为与地基傅里叶变换光谱仪互补的温室气体柱浓度与廓线测量工具。激光外差光谱技术因受限于光学天线理论，无法通过增加光学接收口径的方法提高外差信号信噪比，这导致高分辨率激光外差探测中气体廓线测量精度受限。对此，安光所科研团队邓昊博士后首次提出基于半导体光放大技术的微弱太阳光放大方法，解决了高分辨率激光外差探测中光学天线理论限制的外差信号信噪比提高问题。研究结果表明所研发的基于半导体光放大的高分辨率激光外差光谱仪相比于传统的高分辨率激光外差光谱仪在弱光信号探测以及气体浓度测量精度方面得到大幅提升。该研究提高了高分辨率激光外差光谱仪的性能，在大气温室气体传感等方面具有巨大的应用潜力。基于半导体光放大技术的激光外差光谱仪实验装置示意图信号对比测量结果文章链接：https://opg.optica.org/ol/fulltext.cfm?uri=ol-47-17-4335&id=493999

近期，中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所副研究员许振宇团队在激光外差光谱技术研究中获进展。相关研究成果发表在《光学通信》（Optics Letters）上。　　激光外差光谱仪因具有高光谱分辨率、体积小、易集成等优点，已经逐渐发展成为与地基傅里叶变换光谱仪互补的温室气体柱浓度与廓线测量工具。激光外差光谱技术因受限于光学天线理论，无法通过增加光学接收口径的方法提高外差信号信噪比，这导致高分辨率激光外差探测中气体廓线测量精度受限。对此，研究人员提出基于半导体光放大技术的微弱太阳光放大方法，解决了高分辨率激光外差探测中光学天线理论限制的外差信号信噪比提高问题。研究结果表明，相比于传统的高分辨率激光外差光谱仪，所研发的基于半导体光放大的高分辨率激光外差光谱仪的弱光信号探测和气体浓度测量精度得到大幅提升。　　该研究有助于提高高分辨率激光外差光谱仪的性能，在大气温室气体传感等方面具有巨大应用潜力。　　相关研究工作获得国家自然科学基金、国家重点研发计划等项目的资助。　　论文链接基于半导体光放大技术的激光外差光谱仪实验装置示意图信号对比测量结果

近期，中科院合肥研究院安光所许振宇副研究员课题组科研人员在激光外差光谱技术研究中取得新的突破，相关研究成果发表在《光学通信》(Optics Letters)上，且该论文被编入编辑精选(Editor’s Pick)。 　　激光外差光谱仪因具有高光谱分辨率、体积小、易集成等优点，已经逐渐发展成为与地基傅里叶变换光谱仪互补的温室气体柱浓度与廓线测量工具。激光外差光谱技术因受限于光学天线理论，无法通过增加光学接收口径的方法提高外差信号信噪比，这导致高分辨率激光外差探测中气体廓线测量精度受限。对此，安光所科研团队邓昊博士后首次提出基于半导体光放大技术微弱太阳光放大方法，解决了高分辨率激光外差探测中光学天线理论限制的外差信号信噪比提高问题。研究结果表明所研发的基于半导体光放大的高分辨率激光外差光谱仪相比于传统的高分辨率激光外差光谱仪在弱光信号探测以及气体浓度测量精度方面得到大幅提升。 　　该研究提高了高分辨率激光外差光谱仪的性能，在大气温室气体传感等方面具有巨大的应用潜力。 　　邓昊博士后是论文第一作者，许振宇副研究员与阚瑞峰研究员是论文通信作者。该研究获得国家自然科学基金、国家重点研发计划等项目的资助。基于半导体光放大技术的激光外差光谱仪实验装置示意图信号对比测量结果

p　　汽车尾气排放分析仪是在汽车发动机正常运转时，对汽车排放的尾气进行检测、分析, 从而判断汽车发动机是否工作正常、排出的有害气体是否超出标准的一种仪器。作为机动车尾气检验以及维修机构的核心设备，这种仪器的质量和性能直接影响到对汽车尾气排放超标进行检查的效率和效果。因此，获得具有法定效力的计量认证证书是产品应用于市场的重要前提条件。/pp　　随着新的汽车尾气排放检测法规《汽油车污染物排放限值及测量方法(双怠速及简易工况法)》GB18285-2018和《柴油车污染物排放限值及测量方法(自由加速法及加载减速法)》GB3847-2018的发布，汽车尾气分析检测逐渐标准化。凭借在环保领域多年的气体分析仪器仪表研发制造经验，湖北锐意自控全新推出测量精准度更高、稳定性更好的汽油车尾气排放分析仪Gasboard-5260和柴油车尾气排放分析仪Gasboard-5230。/ppspan style="font-size: 18px color: rgb(0, 176, 80) "strong新法规变化分析/strong/spanstrong style="font-size: 18px "/strong/pp　　新法规规定，汽车尾气排放分析仪应至少能自动测量HC、CO、CO2、NO、O2五种气体浓度。在检测方法上也发生了较大的变化：一是规定原来的电化学法测量NOx的原理不再适用，必须用光学法原理测量 二是柴油车增加了NOx的检测。/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "如何准确测量NOx?/span/pp　　新标准的出台直接影响着NOx的测量，光学检测原理有非分光红外(NDIR)、微流NDIR、非分光紫外(NDUV)、紫外差分吸收光谱(UV-DOAS)，原理不同测量的精度和结果也不同。除了检测原理不同外，还有两种测量方式的区别：一种是直接测量，把NOx分为NO 和NO2两个组分分别测量，测量浓度相加得到NOx 另一种是间接测量，采用转化炉将NO2转化为NO，通过测量NO间接得出NO2和NOx的浓度。/pp　　此外，《柴油车污染物排放限值及测量方法(自由加速法及加载减速法)》GB 3847-2018中规定采用转化炉将NO2转化为NO时，转化效率应≥90%，对转化效率要定期检验，转化效率不合格的转化炉要及时更换。/pp　　因此，采用转化炉间接测量法的汽车尾气分析仪会遇到以下问题：/pp　　1、转化效率会影响测量精度，造成测量结果不准确 /pp　　2、转化炉定期进行检测会增加作业成本 /pp　　3、转化炉的使用寿命一般不超过一年，需定期更换。/ptable border="0" cellspacing="0" cellpadding="0" style="border-collapse:collapse margin-left:10px margin-right: 10px" width="648"tbodytr class="firstRow"td valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="79"p style="text-align:center line-height:150%"strongspan style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"特性/span/strong/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="302"p style="text-align:center line-height:150%"strongspan style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"直接测量spanNO/span、/span/strongstrongspan style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"NOsub2/sub/span/strongstrong/strong/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="266"p style="text-align:center line-height:150%"strongspan style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"间接测量spanNO/span、/span/strongstrongspan style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"NOsub2/sub/span/strongstrongspan style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"（转换炉）/span/strong/p/td/trtrtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="79"p style="text-align:center line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"准确性/span/p/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="302"p style="text-align:left line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"测量精度较高，spanNOx/span测量误差低至span style="background:white"± span4%/span/span/span/p/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="266"p style="text-align:left line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"测量精度受转化效率影响较大/span/p/td/trtrtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="79"p style="text-align:center line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"便利性/span/p/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="302"p style="text-align:left line-height:150%"span style="font-size:13px line-height: 150% font-family:等线"1/spanspan style="font-size: 13px line-height:150% font-family:等线"台仪器集成span2/span个测量平台，操作方便/span/p/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="266"p style="text-align:left line-height:150%"span style="font-size:13px line-height: 150% font-family:等线"1/spanspan style="font-size: 13px line-height:150% font-family:等线"台仪器外加span1/span台转换炉，操作繁琐/span/p/td/trtrtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="79"p style="text-align:center line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"成本效益/span/p/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="302"p style="text-align:left line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"无需更换后期耗材，后期免维护/span/p/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="266"p style="text-align:left line-height:150%"span style="font-size:13px line-height:150% font-family:等线"需定期更换转换炉，成本增加/span/p/td/tr/tbody/tablep style="text-align: center "strong表一、直测法VS转化炉法特性对比分析/strong/pp style="text-align: center "span style="font-size: 18px "strong/strong/span/ppspan style="font-size: 18px color: rgb(0, 176, 80) "strong锐意自控解决方案/strong/span/pp　　湖北锐意自控系统有限公司自汽车尾气排放检测新国标发布以来，在核心气体传感器的测量原理及结构上取得突破。针对标准中规定的汽车尾气排放分析仪的检测组分、量程、精度的要求，以及市场普遍面临的NOx测量受水分干扰及转化炉转化效率影响的技术难点，成功研发出满足汽油车和柴油车尾气检测用的气体传感器平台。/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "1、 采用微流NDIR技术直测NO/span/pp　　目前国际上的微流红外气体传感器在使用过程中，测量结果随着温度变化，以及光源、探测器的老化等原因造成漂移。对此，湖北锐意自控在采用了隔半气室设计，分别设计了参考气室和测量气室，但是使用同一个光源和探测器，因此，可以通过光源通过参考气室和测量气室的信号比值来修正由于温度、光源老化、探测器老化等造成的信号漂移，从而提高微流红外气体传感器的测量精度和长期稳定性。/pp　　此外，基于非分光红外(NDIR)测量NO、NO2易受水分干扰的问题，配备水分补偿调节装置，增加传感器对被测气体的响应灵敏度 通过调节叶片及线性修正，对H2O(气)干扰信号进行调整，使传感器受H2O(气)的影响相互抵消，从而消除H2O(气)的干扰，进一步保证测量的准确性。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 234px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/24ce5fd9-be58-465e-83c5-5411ae0dbd4f.jpg" title="图片.jpg" alt="图片.jpg" width="450" height="234" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "①红外光源 ②切光器 ③切光电机 ④测量气室 ⑤参比气室 ⑥检测器 ⑦微流传感器⑧第2组分检测器 ⑨信号处理及输出系统/span/pp style="text-align: center "strong图一 微流NDIR双气室技术原理/strong/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 293px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/aed0659f-3c0a-4edc-93bd-8bdffb75a6b6.jpg" title="22.jpg" alt="22.jpg" width="450" height="293" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong图二 微流NDIR NO气体传感器/strong/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "2、 非分光紫外(NDUV)直测NO2/span/pp　　不同于红外(IR)，紫外(UV)光谱吸收波段是纳米级别的，波长更短，波峰比较独立。非分光紫外(NDUV)可准确测量NO2气体浓度，不受水分干扰，精度更高，且非分光紫外(NDUV)相对于紫外差分吸收光谱(UV-DOAS)成本较低。采用非分光紫外(NDUV)直测NO2，成功打破汽车尾气检测中需配套NOx转化炉将NO2转化为NO，采用红外光学平台测量NO浓度，再通过NO浓度计算得出NO2浓度的局限性，更加节省系统集成空间及维护成本 且NO2测量更准确，不受转化效率的影响。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 299px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/f6bf8cf2-ddb5-4eed-a6d8-13e96be55e38.jpg" title="33.jpg" alt="33.jpg" width="450" height="299" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "　　strong图三 紫外吸收光谱/strong/pp　　锐意自控的汽油车尾气排放分析仪Gasboard-5260和柴油车尾气排放分析仪Gasboard-5230采用微流NDIR直测NO、非分光紫外(NDUV )直测NO2，成功打破汽车尾气检测中需配套NOx转化炉将NO2转化为NO的局限性，更加节省系统集成空间及维护成本 且NO2测量更准确，不受转化效率的影响。微流NDIR、非分光紫外(NDUV)、非分光红外(NDIR)及电化学技术均为湖北锐意自控自主掌握。/ppspan style="font-size: 18px color: rgb(0, 176, 80) "strong新产品介绍/strong/span/pp　　基于核心汽车尾气传感器平台，湖北锐意自控针对汽油车和柴油车的检测需求，成功开发出汽油车尾气排放分析仪Gasboard-5260和柴油车尾气排放分析仪Gasboard-5230。/ptable border="0" cellspacing="0" cellpadding="0" style="border-collapse:collapse margin-left:10px margin-right: 10px"tbodytr class="firstRow"td width="300" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px "p style="text-align:center line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"湖北锐意自控汽油车尾气分析仪/span/pp style="text-align:center line-height:115%"span style="font-size:13px line-height: 115% font-family:等线"Gasboard-5260/span/p/tdtd width="283" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px "p style="text-align:center line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"湖北锐意自控柴油车尾气分析仪/span/pp style="text-align:center line-height:115%"span style="font-size:13px line-height: 115% font-family:等线"Gasboard-5230/span/p/td/trtr style=" height:102px"td width="300" style="background: rgb(242, 242, 242) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height="102"p style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 280px height: 210px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/5afda047-238b-4bfb-8334-58263b308cad.jpg" title="尾气分析仪.jpg" alt="尾气分析仪.jpg" width="280" height="210" border="0" vspace="0"//pp style="text-align:center line-height:115%"br//p/tdtd width="283" style="background: rgb(242, 242, 242) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height="102"p style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/bf78c478-51d3-480f-a564-e862ee53eb95.jpg" title="44.jpg" alt="44.jpg"//pp style="text-align:center line-height:115%"br//p/td/trtr style=" height:36px"td width="300" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="36"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"测量气体：spanHC/span、spanCO/span、spanCO2/span、spanNO/span、/spanspan style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"NOsub2/sub/spanspan style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"、spanO2/span/span/p/tdtd width="283" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="36"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"测量气体：spanCO2/span、spanNO/span、/spanspan style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"NOsub2/sub/span/p/td/trtr style=" height:39px"td width="300" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="39"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"测量原理：/span/pp style="text-align:left"span style="font-size:13px font-family:等线"HC/spanspan style="font-size:13px font-family:等线"、spanCO/span、spanCO2/span：非分光红外spanNDIR/span/span/pp style="text-align:left"span style="font-size:13px font-family:等线"NO: /spanspan style="font-size:13px font-family:等线"微流spanNDIR /span/span/pp style="text-align:left"span style="font-size:13px font-family:等线"NOsub2/sub/spanspan style="font-size:13px font-family:等线"：非分光紫外spanNDUV/span/span/pp style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height: 115% font-family:等线"O2/spanspan style="font-size: 13px line-height:115% font-family:等线"：电化学/span/p/tdtd width="283" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="39"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"测量原理：/span/pp style="text-align:left"span style="font-size:13px font-family:等线"CO2/spanspan style="font-size:13px font-family:等线"：非分光红外spanNDIR/span/span/pp style="text-align:left"span style="font-size:13px font-family:等线"NO/spanspan style="font-size:13px font-family:等线"：微流spanNDIR/span/span/pp style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"NOsub2/sub/spanspan style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线": /spanspan style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"非分光紫外spanNDUV/span/span/p/td/trtr style=" height:39px"td width="300" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="39"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"适用标准：/span/pp style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"《汽油车污染物排放限值及测量方法（双怠速及简易工况法）》spanGB18285-2018/span/span/p/tdtd width="283" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="39"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"适用标准：/span/pp style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"《柴油车污染物排放限值及测量方法（自由加速法及加载减速法）》spanGB3847-2018/span/span/p/td/trtr style=" height:34px"td width="300" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="34"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"检测方法：/span/pp style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线 background:white"汽车排放总量分析（/spanspan style="font-size:13px line-height: 115% font-family:等线"VMAS/spanspan style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"）/span/ph3 style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:3px margin-left: 0 background:white"span style="font-size:13px font-family:等线 font-weight: normal"简易稳态工况法（/spanspan style="font-size:13px font-family: 等线 font-weight:normal"ASM/spanspan style="font-size:13px font-family:等线 font-weight: normal"）/span/h3h3 style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:3px margin-left: 0 background:white"span style="font-size:13px font-family:等线 font-weight: normal"双怠速/span/h3/tdtd width="283" valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="34"pspan style="font-size:13px font-family:等线"检测方法：/span/ph3 style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:3px margin-left: 0 text-align:justify text-justify:inter-ideograph background:white"span style="font-size:13px font-family:等线 font-weight: normal"加载减速工况法（/spanspan style="font-size:13px font-family: 等线 font-weight:normal"Lugdowm/spanspan style="font-size:13px font-family:等线 font-weight: normal"）/span/h3/td/trtr style=" height:34px"td width="300" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="34"p style="text-align:left line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"适用车型：汽油车/span/p/tdtd width="283" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height="34"p style="line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线"适用车型：柴油车/span/pp style="line-height:115%"span style="font-size:13px line-height:115% font-family:等线" /span/p/td/tr/tbody/tablep　　根据汽车尾气排放分析仪的计量要求，湖北锐意自控对产品进行了充分严格的测试，已一次性批量通过河南省、湖北省、广西省计量院的检定。除上述三省外，湖北锐意自控正在加快推进全国其他省市的计量校准工作，以满足更多地区检测站(I站)和维修站(M站)的使用需求。/p

近日，“2020年度山东省环保产业环境技术进步奖”项目评审结果已经公示，由青岛崂应环境科技有限公司参与研发的“便携式紫外差分法超低排放监测技术”荣获一等奖！ 紫外差分法超低排放监测技术具有检出限低、灵敏度高、精密度好、分析范围广、分析速度快、可以连续自动测定、维护简单等优势，是一种比较理想的气体成分和浓度分析方法，可广泛应用于多种物质的定量和定性分析，尤其适用于超低排放工况。相关仪器推荐

8月3日11时47分，长征四号丙运载火箭在酒泉卫星发射中心成功发射，顺利将风云三号F星（又称：风云三号06星）送入预定轨道，发射任务取得圆满成功。风云三号F星由中国航天科技集团八院抓总研制。记者从八院了解到，作为上午轨道卫星风云三号C星的接替星，风云三号F星上搭载了10台功能强大、性能先进的遥感仪器，观测能力得到显著提升，尤其是新研的2台紫外高光谱探测仪，将开启我国风云卫星紫外高光谱探测新篇章。王淇俊 摄台风暴雨捕捉更精准近年来，极端气象灾害给全球带来巨大的生命财产损失。台风暴雨区域的大气温湿度分布可以描绘台风暴雨位置及强度等信息，台风暴雨区域大气温湿度分层越精细，台风暴雨信息刻画越精准。卫星高频次、高精度获取大气温湿度廓线信息，不仅对数值天气预报精度的提高和气候变化预测与评估具有重要的意义，还对区域和中小尺度天气、短临天气，特别是台风、暴雨等重大灾害性天气预报精度的提高具有重要贡献。风云三号F星搭载了先进的微波温度计、微波湿度计、红外高光谱大气探测仪三台仪器探测大气温湿度廓线。相比风云三号C星，F星的大气垂直探测通道数量提升近47倍，微波温度计大气探测通道17个，微波湿度计大气探测通道15个，红外高光谱大气探测仪探测通道达3000多个。通道越多，大气垂直分层探测越精细，也就意味着这台大气温湿度“CT机”垂直分层能力显著提升，对大气温湿度分层认知更精准。同时，微波和光学大气探测仪器深度联合，将充分发挥微波通道不受天气影响及高光谱探测通道更精细的优势，可探测人眼难以捉摸的大气温湿度廓线信息，为大气做更精准的“三维扫描”，可提示未来几小时哪些区域将会发生强对流等极端天气，更加精准地捕捉台风、暴雨等大气温湿度分层信息，全面提升我国在全球数值预报、防灾减灾等方面的综合能力。风云三号F星在轨效果图（中国航天科技集团八院供图）“俯瞰、侧视”双管齐下痕量气体是大气中浓度低于十万分之一的粒子，主要有臭氧、一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫等，对全球大气环境及气候变化起着潜移默化的作用。卫星对全球大气痕量气体时空分布特征和变化趋势进行动态监测，能对全球大气环境治理和应对全球气候变化起到重要作用。风云三号F星装载了2台新研制的紫外高光谱遥感设备。其中，紫外高光谱臭氧天底探测仪用于紫外可见光波段探测。仪器正面“俯视”地球大气，犹如一台“超广角CT机”，可以实现每天一幅全球大气微量成分探测图像，能为气候变化研究和环境监测提供重要数据支撑。该仪器探测通道数量近千个，幅宽达2900公里，空间分辨率优于7公里，相比国内外同类型紫外探测仪器，其在光谱分辨率和空间分辨率均有大幅度提升，达到国际同类载荷先进水平。紫外高光谱臭氧临边探测仪则是通过对大气侧面扫描，获取大气垂直廓线信息。这是我国首台利用临边观测模式进行紫外可见波段高光谱大气探测的业务载荷，主要用于气候变化、大气化学以及大气环境研究。该仪器探测通道数量达2000余个，垂直分辨率优于3公里，性能指标达到国际同类载荷先进水平，填补了我国风云卫星紫外高光谱临边大气探测的空白。

仪器信息网讯 近日，青岛崂山应用技术研究所(以下简称&ldquo 崂应)全国巡回新技术交流会北京站在北京京仪大酒店顺利举行。此次交流会吸引了70多名来自第三方检测机构的技术人员和负责人参加，崂应多名技术人员针对崂应的产品的选型、使用、维护以及新技术进行了详细的讲解。技术交流会现场　　崂应始创于1988年，产品主要为便携式烟尘烟气监测仪器及配套产品。崂应副总经理李靖女士、技术总监孙作福先生和沈阳客服站站长赵智先生分别针对崂应发展现状，环境空气、污染源监测仪器使用、维护及注意事项，低浓度颗粒物、挥发性有机物、重金属的监测等主题为大家进行了讲解。报告人：李靖副总经理、孙作福技术总监、赵智站长　　随着环保趋严和技术进步，燃煤锅炉排放的颗粒物浓度大大降低，故固定污染源颗粒物测定的方法逐渐不能满足现有的测定需求。山东省率先颁布了《山东省固定污染源废气低浓度颗粒物的测定重量法》，填补了国内标准的空白。此标准以 &ldquo 崂应3012H-D&rdquo 型便携式大流量低浓度烟尘自动测试仪为专用机型。　　烟气监测仪目前主要有四种测量原理：溶液吸收法、定电位电解法、紫外差分法、红外分析法。溶液吸收法即采用特定溶液对烟气成分进行吸收并带回实验室检测，此法的优势在于成本低，不存在气体间的交叉干扰等，但存在操作麻烦、无法直接读数、寒冷地区易结冰等问题。定电位电解法采用电解的原理对烟气中的气体进行检测，一分钟内即可完成检测过程，而且国家标准颁布较早，目前应用广泛。当然此方法在实际应用中也存在一定问题，如传感器有一定保质期需定期更换，不同气体同时测定时互相有干扰，尤其是干扰气体浓度变化较大时更给使用带来困难。紫外差分法和红外分析法都是光谱方法，响应速度快，同时价格也比较高。紫外差分法由于没有光学运动部件，因此防震效果好，且不受水蒸气的影响，但仪器整体质量较大。红外分析仪质量较小，但水蒸气有强烈干扰，可以说仪器前端的除水效果决定了仪器数据的准确度。这四种原理的便携式烟气分析仪，崂应都有相应的产品。　　　此技术交流会为崂应组织的系列活动，2015年已在浙江、福建、江苏、安徽、青岛等地成功举办，后续还将在全国各地巡回举办技术交流会。

近日，中科院合肥研究院安徽光机所高晓明研究员团队在激光外差光谱应用于风场探测方面取得新进展，相关研究成果以《基于氧气矫正的高分辨率激光外差辐射计(LHR)用于平流层和对流层风场探测的研究》为题发表于美国光学学会(OSA)学术期刊Optics Express。激光外差辐射计(LHR)具有高光谱分辨率的特点，可以有效地探测到由风场引起的微小多普勒频移，频移结合大气透过率谱，通过光谱反演得到沿视线方向水平风的垂直廓线和大气柱浓度等信息。团队谈图副研究员和李竣博士生设计了基于氧气矫正的近红外激光外差光谱仪，同时测量大气O2和CO2透过率谱，基于受约束的内尔德-米德（Nelder-Mead’s）单纯形法，利用大气O2透过谱来校正大气温度和压力分布，并结合最优估算法反演得到了精度为∼±2.5 m/s的大气风场垂直剖面，研究结果表明，氧气校正激光外差辐射计作为便携式和小型化测量仪器在风场探测中具有广阔的应用潜力。本研究工作得到国家自然科学基金重点项目、国家重点研发计划、所长特别预研基金等项目的资助。双通道近红外激光外差辐射计示意图图(a)为测量的大气透射光谱；图(b)为先验风廓线(蓝色曲线)和反演的风廓线(红色虚线)

分光光度法可适用于在线仪器，是监控水和污水处理设备的重要方法。分光光度法是一种测定分子对光的吸光度的方法，此方法在在线传感器上的应用已越来越准确和可靠。WTW IQ SensorNet系列紫外(UV) 和紫外可见(UV Vis)传感器具有适用于特定污水处理应用的内置出厂校准，不仅提高准确性，还可减少校准的频次。内置UltraCleanTM超声波清洗，减少校准频次的同时完全去除更换损耗品的必要(如试剂或刮刷)，最大限度减轻了维护工作。本系列传感器甚至还支持通过单个传感器测量多个不同参数，如硝酸盐、亚硝酸盐、总悬浮物 (TSS)、紫外线透射率(UVT-254)、化学需氧量(COD)、生化需氧量(BOD)、总有机碳量 (TOC)和其他碳参数。 本系列传感器是水和污水处理设备的一项重要投资，为操作人员提供极大便利。但是如何选择合适的传感器？为确保选择最符合应用的传感器，来看一下选择紫外可见传感器时需要考虑的5个问题。紫外和紫外可见传感器的优势1、无需试剂，即可在线进行硝酸盐、亚硝酸盐、COD、BOD、TOC、UVT-254、NOx和TSS测量2、单个传感器最多可测量并显示五个参数3、UltraClean™ 超声波清洁技术可防止结垢，维护较为简单4、持久耐用的材质：钛和PEEK(聚醚醚酮)即使在最恶劣的条件下仍可保持稳定5、紫外和紫外可见传感器每次测量可扫描256个波长，从而实现更好的准确度和浊度补偿6、工厂已针对过程中的位置进行了校准(进水、二级处理、出水）7、用户可自行校准，从而在应用情况不理想时提高准确度参数硝酸盐：来自硝化过程中NH4转化的人类排泄物的生物污染物。亚硝酸盐：来自人类排泄物的生物污染物，是硝化过程中NH4和NO3的中间型。生化需氧量：微生物在分解流水中的有机废物时消耗的氧气量。被看做是对存在的有机物的量化，并且排放量受到国家污染排放消除系统(NPDES)的排放限制。总有机碳：样品中有机结合的碳量。被认为是对存在的有机物的量化和水质指标。与BOD或COD相比，该测试通常是表示有机物的一种更方便直接的方式。紫外线透射率：在254mm 波长处透射的紫外线百分比。该参数用于指示水中的有机物含量，通常与BOD、COD和TOC相关。该测量值通常用于在消毒过程中自动控制紫外线剂量。总悬浮物固体：水样中被过滤器捕集的悬浮颗粒的净重。该参数通常用作水质的指标，并用于定量分析活性污泥系统(混合液悬浮物，MLSS)中存在的微生物。需要测量什么及测量原因选择紫外或紫外可见传感器时，需要搞清楚的首要问题是测量什么及原因。需要测量什么参数？应用场景是什么？如何使用传感器？取决于应用场景，通过单个传感器监控多个参数可能更为有益。以下是紫外可见传感器在污水处理中最常见的一些应用。 氮硝酸盐氮和亚硝酸盐氮是生物脱氮除磷(BNR)应用中常见的测量参数。硝酸盐在工艺优化中扮演着多种角色，如确保高效地完成硝化、监控硝酸盐去除、控制脱氧区的碳投加量以及确保出水中的氮含量达到排放标准。亚硝酸盐的使用情况较少，因为它是硝化工艺的中间阶段。如果污水处理设备出现亚硝酸盐积累问题或使用快捷反硝化工艺，监控亚硝酸盐将会很有用处。碳碳参数在污水处理中同样具有广泛应用。COD、BOD和TOC是量化样品内碳含量的常见测量参数，其中BOD和TOC专属于有机碳。例如，通常会测量二级处理中的COD来监控有机物负荷。在二级处理中，COD可指示一级或二级处理的效率，或量化需要碳源(反硝化和除磷)的生物处理工艺中的有机碳含量。此外，监控污水处理厂收集系统或进水设施中的COD有助于确定重度负荷来源或提供预警探测。长期以来，这些碳参数的测定都需要昂贵或耗时的实验室程序，因此难以实际使用。如今，借助在线紫外可见传感器，我们便可以利用这些参数实现原本难以实现的工艺控制和预警检测。紫外和紫外可见传感器具有广泛的应用，在某些情况下，通过单个传感器获得多个参数将对操作人员有所助益。例如，TSS是曝气池的常见测量参数，指示微生物浓度(MLSS –混合液悬浮物)。利用包括 TSS与COD组合的传感器，操作人员即可获得用于监控食料与微生物比(F/M 比)的必要信息。使用单个传感器监控多个参数可从单个传感器获得更多有用数据，从而带来附加值。选择紫外可见传感器时，确保查看各传感器的可测参数列表(表1)。单波长传感器和光谱传感器有什么不同？一些制造商仅生产单波长传感器，而其他像WTW一样的制造商除单波长传感器外还生产光谱传感器，后者可提供更多参数和更高的准确性。前面我们一直在谈论光谱传感器，在光谱传感器中，每次测量时都将扫描256个波长的紫外光和可见光以获得所需参数的浓度。此类传感器通过测量每种波长处的吸光率来生成“光谱足迹”。然后，根据传感器中编制的算法将每个“光谱足迹”计算为以 mg/L 为单位的浓度(Smith, 2019)。相比于单波长传感器，光谱测量的精度和准确度更高，因为物质分子会吸收一段波长范围内的光，而并非仅吸收单个波长。附加波长具有许多优势，包括为每个参数提供更多吸收数据、使用一系列波长进行浊度修正，甚至有助于检测不同形式的有机分子。紫外可见光谱传感器扫描的256个波长跨越紫外和可见光范围，从200至720nm(图1)。紫外光谱传感器扫描的256个波长范围为200-390nm。在这个波长范围内，紫外传感器将能够同时测定并区分硝酸盐和亚硝酸盐。硝酸盐和亚硝酸盐通常吸收短波长紫外光(250nm)，有机分子的吸收峰主要出现在250-350nm的紫外波长范围内。380 - 720nm范围内的光吸收来自每次测量时都会测量和进行修正的浊度 (Smith, 2019)。不过，我们仍然有两种使用对单个波长的吸收率来确定特定参数浓度的单波长传感器。UVT-254传感器（或 SAC-254）测量 254nm 波长处的透光率或吸光度(%)。254nm的紫外光能够被有机分子吸收，因此该传感器对测定饮用水和污水内的有机物浓度趋势非常有用。使用 UVT-254传感器，可以输出经过准确校准的COD、BOD和TOC相关值，还会再测一个波长 (550nm) 用于浊度修正。NOx传感器使用单个波长测量硝酸盐(NO3-N)和亚硝酸盐 (NO2-N) 的总和，这足以满足一些生物脱氮除磷应用中的氮监控需求。尽管单波长传感器可以提供有用的数据和趋势，但与光谱传感器相比，其准确度和可重复性不佳。使用单波长进行测量和浊度修正时，此类传感器可能无法检测到某些形式的有机分子，无法区分硝酸盐和亚硝酸盐，也无法准确补偿浊度。单波长和光谱传感器各有优势，所以哪种更适合您的应用呢？使用单波长传感器能够以适中的价格获得有机物或氮氧化物的趋势数据，并且甚至有些应用专门需要用到单波长传感器，例如紫外线消毒需要UVT-254。然而，光谱传感器已针对特定应用（进水、二级处理、出水）进行校准，并且由于此类传感器扫描256个波长，从而准确性、可靠性都比单波长传感器更高，浊度修正也更准确。测量光程是什么？为什么很重要？测量光程是指光源和探测器之间的距离，在分光光度法测量中非常重要。测量光程(又称狭缝宽度)是根据比尔-朗伯定律计算光吸收率时的一个计算因子，并且受样品水浊度的影响极大。因此，紫外可见传感器通常具有固定的测量光程，并针对特定应用提供不同的狭缝。IQ SensorNet紫外可见传感器有2种测量光程可供选择：1mm和5mm(图 2)。1mm狭缝用于监控未经处理的污水和二级处理，因为这些应用通常浊度较高。5mm狭缝用于监控处理后的出水、低浊度污水，有时还可用于监控一些地表水或饮用水应用。取决于应用类型，其他制造商可能还会提供10-50mm的测量光程。选择YSI紫外可见传感器时，注意701型号传感器为 1mm测量光程(适用于未经处理的污水或活性污泥)，705型号传感器为5mm 测量光程(适用于低浊度的处理后出水)。如何安装紫外可见传感器？紫外可见传感器一般比其他在线传感器更大、更沉，因此在确定安装选项时应特别考虑。与所有在线传感器相同，应基于安全性和可达性来选择安装位置和方式。要确保可以轻松接触到传感器，以便偶尔进行维护，因此有足够的操作空间非常重要。传感器的安装位置应符合要求的扶手和过道安全标准。同样，紫外可见传感器的安装也应易于使用，并使传感器易于操作。最后一点，由于传感器可能比较沉，安装的稳固性也非常重要，必须能够承受相应重量，尤其是对于存在堵塞问题的污水设备。紫外可见传感器在污水中最常见的安装方式为浸入式安装。浸入式安装通过将传感器直接浸入集水池或水流中，直接测量过程用水。WTW紫外可见传感器提供两种沉浸式安装选项：刚性安装或摆动/链条安装。刚性安装包括将紫外可见传感器固定至一个金属杆上，然后将金属杆安装至护栏或墙壁上。当需要较稳固的解决方案，如水比较湍急或水中有堵塞时，这种安装类型是最佳选择。对于一般的沉浸式安装应用，摆动和链条安装更具优势。使用这种安装，传感器将更容易操作，因为传感器悬挂在链条末端，通过链条便可轻松地在集水池中进行升降。摆动臂将传感器伸出集水池外面，但是也可容易接近，只需将传感器摆动至靠近护栏的位置就能够拆下传感器进行维护。 对于像处理后的污水出水、污水回用或饮用水等清水应用，流通池可能是最佳选择。在这些应用中，由于缺乏合适的位置或因NSF要求，不能使用沉浸式安装。使用流通池时，紫外可见传感器将采用壁挂式安装，流通池会形成一个腔体让水流经光学窗口。水流持续运送至传感器进行测量，然后排出。无论将WTW紫外可见传感器用于清水还是污水应用，选择最适合的安装选项都非常重要，这样既能够确保传感器正常运行，还可将维修工作量保持在最低限度。 如何维护？尽管紫外可见传感器的维护要求不高，且不需要试剂，但仍然需要偶尔进行保养以优化运行。相比于其他在线传感器，WTW紫外可见传感器具有所需维护工作量最少的巨大优势。本系列传感器具有内置的独特自动超声波清洗系统UltraCleanTM技术。该系统不仅有助于保持测试窗口长久清洁，而且整个系统都置于传感器内部，所以没有需要更换的密封件或挂刷。保持紫外可见传感器清洁对传感器性能至关重要。因此，紫外可见传感器通常带有自动清洁系统，这可有效降低传感器总的维护时间。WTW提供两种类型的自动清洁系统：一种是所有传感器中都已内置的UltraClean；另一种是空气清洁系统。UltraClean超声波清洁系统轻微振动传感器的光学窗口，清除堆积的固体。这种技术已被证明在具有较多固体的污水应用中非常成功，WTW的ViSolid(TSS)和VisoTurb(浊度)传感器中同样也应用了此技术。WTW紫外可见传感器的另一个自动清洁选项是空气清洁系统。该系统使用空气压缩机定期向光学窗口上喷放压缩空气，清除任何可能干扰测量的固体。WTW空气清洁系统直接与传感器相连，并且可以通过控制器进行编程控制，根据所需时间间隔进行清洁。两种自动清洁系统都能使传感器在废水应用中保持数周的准确读数。自动清洁系统非常有助于减少整体维护时间，但是为了达到最佳性能，仍然需要偶尔进行手动清洁。每两周从测量环境中取出紫外可见传感器进行一次手动清洁，可大大减少潜在的测量问题。手动清洁非常简捷，整个过程只需1分钟，包括用清水冲洗测量狭缝、使用清洗液清洗、用软布擦亮镜片然后彻底冲洗干净。此外，还应保持日常维护以确保传感器清洁。维护的另一方面是校准和验证。WTW紫外可见传感器使用实验室参照样品进行校准，用于调整传感器的原始信号与实验室浓度值相关联的斜率。如前文所述，光谱传感器已针对特定应用进行出厂校准，但也可以自行校准，使传感器的测量适应过程用水。单波长传感器也可对主要参数进行校准，但相关值(BOD、TSS、TOC 等)必须根据实验室测量值进行准确校准。应根据需要进行校准，例如当传感器首次安装、移动到新位置或传感器对参考样品的测量不准确时。WTW紫外可见传感器具有双通道测量系统，其中一个相同的参比通道用于监控并校正光源灯或探测器的老化，防止任何潜在校准漂移。这样可免去常规校准的麻烦，但是仍建议使用实验室参考样品对传感器测量值进行常规验证，以确保传感器的准确性。

厦门市中实采购招标有限公司受 福建中烟工业有限责任公司 委托，现对实验室通用仪器与工具-技术中心自动进样紫外可见分光光度计（招标编号：2021-ZS2399）进行公开招标，欢迎符合要求的投标人前来参加投标。1. 招标主要内容：合同包项目内容数量交付地点及交付期1自动进样紫外可见分光光度计1套招标人指定地点，合同生效之日起120日历日内完成全部产品交货并安装调试完毕。说明：投标人必须对上述项目的全部货物与服务进行投标，不得仅对部分货物或服务进行投标，否则其投标文件将被拒绝。2.本次招标，招标人采用资格后审的方法确定有效投标人，凡是有意参加本次投标的投标人可向招标代理机构购买招标文件。3.投标人基本资格要求3.1投标人应为在中华人民共和国境内注册、具有独立法人资格、且能在国内提供相应服务的供应商，并提供有效的“营业执照”复印件。3.2投标人须提供单位负责人有效身份证复印件。3.3若投标人代表不是单位负责人的，投标人还须提供单位负责人对投标人代表的授权书原件及投标人代表的有效身份证复印件。3.4投标人应为一般纳税人，可开具增值税专用发票（投标人须提供当地税务局开具增值税一般纳税人资格证明材料，或一份自2021年1月1日以来投标人所开具的增值税专用发票复印件，或政府税务部门网站关于一般纳税人资格的查询结果打印页）。3.5其它：投标人应提供其所在地区商事主体登记及信用信息公示平台或国家企业信用信息公示系统公布的企业股权结构情况及企业高管人员（如公司董事长、董事、总经理、执行董事、财务负责人、监事，上市公司董事会秘书）信息查询网页打印件及其网址。3.6投标人应按本招标文件第六章投标文件格式要求提供“无行贿行为承诺书”。3.7本项目不接受联合体投标，并不得转包或分包。注：投标人在投标文件中提供的基本资格证明材料如为复印件的，须加盖投标人单位公章，否则其投标将被否决。4.购买招标文件时间、地点：凡愿意参加投标的投标人请于2022年1月19日~2022 年1月26日（节假日除外）[上午9：00-12：00，下午15：00-17：30]（北京时间）至厦门市中实采购招标有限公司(厦门市湖滨南路57号金源大厦18楼)购买招标文件，也可通过电子邮件、邮寄购买。5.招标文件（含电子版）售价：人民币200元。如需邮寄，另加50元人民币。售后不退。6.投标保证金：人民币伍仟元整（¥5,000.00）。7.本项目评标方法采取 综合评分法。8. 投标截止时间、地点：2022年2月22日上午09:00时（北京时间），投标文件可通过邮寄或专人送交。通过专人送交的，投标人必须在投标截止当日且在投标截止时间前（即2022年2月22日08:20时～09:00时）派人将投标文件送达福建省厦门市思明区莲岳路108号2楼西侧收标处；通过邮寄的，投标人须不迟于投标截止日的前一天17:00寄达厦门市中实采购招标有限公司(厦门市思明区湖滨南路57号金源大厦18楼，李先生收，联系电话：0592-2286028)，投标人应充分考虑邮寄时间，迟到的投标文件不予接收。逾期收到的或不符合规定的投标文件将被拒绝。9.开标时间、地点：2022年2月22日上午9：00 (北京时间）在福建省厦门市莲岳路108号2楼西侧 (当天二楼大厅告知具体的会议室)公开开标。10.本次招标公告及招标结果公示同时在福建中烟工业有限责任公司网、国家烟草专卖局（中国烟草总公司）网和中国政府采购网、中国招标投标公共服务平台等网站上发布。11.招标人及招标代理机构情况：招标人：福建中烟工业有限责任公司地 址：福建省厦门市莲岳路118号 邮编：361004招标代理： 厦门市中实采购招标有限公司地 址： 厦门市湖滨南路57号金源大厦18楼邮 编：361004电 话：0592-2286028传 真：0592-2212277邮 件：252684101@qq.com联系人： 李先生/王先生投标保证金及招标文件费用帐户开户名：厦门市中实采购招标有限公司开户行：建设银行厦门禾祥支行帐 号：3510 1583 0010 5250 603712、招标文件获取方式：12.1参加本项目投标的投标人须通过到招标代理机构现场购买招标文件或通过邮寄购买招标文件。12.2到现场购买招标文件时，应按本招标公告的要求填写供应商信息表（内容为：招标项目名称、招标编号、投标人全称、地址、邮政编码、联系人、联系电话、手机、传真、电子邮箱、纳税人代码等）。12.3邮寄购买招标文件的，可通过电汇或转帐形式将标书费、邮寄费汇入本招标公告中写明的招标代理机构银行账户，并将供应商信息表（格式如下表）连同标书费、邮寄费的付款凭证扫描后以电子邮件形式发至2841517676@qq.com（联系人：叶小姐，联系电话：0592-2202255） 。如有提供电子版招标文件，当电子版招标文件与纸质招标文件不一致时，以纸质招标文件的内容为准。未购买招标文件的不受理其投标。实验室通用仪器与工具-技术中心自动进样紫外可见分光光度计采购项目（招标编号：2021-ZS2399）供应商信息表（附上银行回单）投标人单位（全称加盖公章）投标人单位地址联系人固定电话移动电话传 真电子邮箱纳税人代码招标人：福建中烟工业有限责任公司招标代理机构：厦门市中实采购招标有限公司2022年1月19日

要利用QUV紫外老化加速试验机对彩色涂层板进行紫外老化试验，可以按照以下步骤进行：1.准备样品：将彩色涂层板切割成适当的尺寸，确保其适应QUV试验机的样品架。同时，应注意保护样品表面以免划伤或损坏。设置试验条件：根据所需的试验条件，根据试验机的指引或使用手册，设置合适的光照强度、温度和湿度参数。这些参数应该基于所模拟的实际使用环境。2.安装样品：将切割好的彩色涂层板样品固定到试验机的样品架上，确保样品表面与试验机光源之间的距离是均匀且适当的。3.运行试验：启动试验机，根据设定的试验条件，让样品暴露在QUV试验机的紫外光源下。试验的时间可能根据需求而有所不同，可以根据具体情况进行设置。4.监测和评估：定期监测样品的变化，包括颜色变化、表面质量、表面结构、光泽度和物理性能等。这可以通过视觉观察、光谱测量和物理性能测试等方法进行。5.结果分析：根据试验数据和观察结果，评估彩色涂层板的紫外老化性能。比较试验后的样品与未经紫外老化的对照样品的差异，并分析可能的原因。通过QUV紫外老化试验，可以帮助评估彩色涂层板在长期暴露于紫外环境下的耐候性能和色彩稳定性，以指导产品改进和选用合适的材料或材料配方。在进行试验前，最好理解QUV试验机的使用方法和样品的实际使用条件，以确保试验结果的准确性和可靠性。QUV紫外老化加速试验机QUV紫外老化加速试验机是简单、可靠、易用的紫外老化试验机。世界各地使用的QUV紫外加速老化试验机数以万计，它是世界上使用广泛的紫外老化试验机。QUV紫外老化加速试验机使用特殊的荧光紫外灯管模拟阳光的照射，用冷凝湿度和水喷雾的方法模拟露水和雨水，真实地再现由阳光造成的材料损伤。损伤类型包括褪色、光泽消失、粉化、龟裂、开裂、模糊、起泡、脆化、强度减小和氧化。QUV可方便地容纳多达48个样品（75mm x 150mm），完全符合国际、国家和行业规范，确保了测试程序的可靠性和可重复性。

近日，红相科技发布一款新品——TD120紫外成像仪。TD120是一款具备紫外双视场光学变焦的升级型紫外成像仪，具备小巧便携、操作简单、抗干扰能力强等特点。该产品采用红相专利全日盲技术，配备500米激光测距和环境传感器，可做到完全不受日光影响，满足全天候、全视域的检测需求。其特有的紫外增强模式，更能精准定位电晕、电弧等微小放电，辅以专业的分析和报告软件，为变电站和高压输、配电线路预防性检测提供有效帮助。产品特性紫外双视场 支持2倍光学变焦11.2°×8.4°/5.6°成4.2°双视场，兼顾看远察近。更高灵敏度紫外灵敏度达到2.0×10-18watt/cm2，干扰度小的场所可开启特有的紫外增强模式，算法优化、精度提高，更精准检测微小放电。增强环境传感器，500米激光测距精准测距有效减少测量误差，环境参数补偿，更有助放电强度分析和历史对比分析。人体工学设计，小巧便捷可旋转手柄，可调节目镜，支持单手操作和三脚架固定操作，便于现场检测。加大5.5寸液晶显示屏智能菜单，自定义功能键1920×1080高像素产品参数紫外光光学特性最小紫外光灵敏度2.0×10-18watt/cm2最小放电灵敏度1.0pC@15m波长范围240-280nm视场角11.2°×8.4°/5.6°成4.2°双视场光子计数支持放大倍数2×/4×/8×成像功能液晶显示屏5.5°AMOLED液晶屏紫外增强模式支持接口视频输出HDMI激光测距500米，可同步近距离传感器可自动息屏温湿度传感器自动同步Type-C数据传输蓝牙/WIFI/GPS有4G支持扩展三脚架接口1/4“-20电源系统外接电源DC:9V-12V电池类型锂电池电池工作时间4h连续（常温）环境参数工作温度-20℃~+55℃存储温度-30℃~+60℃湿度90%（无凝结）防护等级IP54物理特性尺寸305mm×169mm×160mm重量2.5KG配置标准配置紫外热像仪，电池，充电器，SD卡，SD卡读卡器，视频线，USB线，适配器，U盘，安全箱，耳机说明书，保修卡，合格证可选配置三脚架关于红相科技浙江红相科技股份有限公司创立于2005年10月，是一家专注红外、紫外、气体成像技术创新和产业化的高新技术企业、国家重点软件企业。十多年来，为全球100多个国家提供了数十万套红外热像仪、紫外成像仪、气体成像仪，产品专业应用于电力、国防、环保、疫情防控等领域，为社会和人类安全保驾护航。2020年初新冠疫情突然爆发，公司生产的人体测温红外热像仪为疫情防控做出重要贡献，工信部将其列为疫情防控物资重点保障企业，受到各级政府书面嘉奖。秉持“为客户创造价值、为奋斗者提供平台、为社会进步贡献力量”核心价值观，以“使世界更安全”为愿景，矢志成为一家受人尊敬的、全球卓著的专业公司和红外、紫外、气体成像技术的领跑者。