超声检测仪

近日，市计量院的《一种非金属超声检测仪的检定系统》项目获得国家知识产权局授予的发明专利权。　　该发明主要用于调节和反馈非金属超声波检测仪的发射换能器与接收换能器及二者的运动状态，与非金属超声波检测仪的传统检定方法相比，能有效提高装置运行的可靠性及测量结果的准确性，对测量误差的分析更加全面。

据河北工业大学网站消息，近日，由胡宁教授主持申报的国家重大科研仪器研制项目“多模态相控阵非线性超声检测原理及仪器研制”获得国家自然科学基金委员会批准立项（批准号：12227801），项目直接经费845万元。这是河北工业大学今年获批的又一项重大科研项目，也是河北工业大学近年来第二次获批重大仪器项目。“多模态相控阵非线性超声检测原理及仪器研制”项目面向增材制造航空发动机关键零部件中微裂纹和残余应力的可视化与智能化检测的重大需求，拟开发出高分辨力、高灵敏度、高效的多模态相控阵非线性超声检测仪器。仪器的特色体现在原创的多模态非线性超声相控阵探头上，涵盖多模态相控阵工作模式设计和机理研究、多模态超声探头设计与复合增材制造、多模态相控阵超声大数据获取及验证、基于大数据和深度学习算法的微裂纹与残余应力智能评价软件系统、多模态相控阵非线性超声仪器系统集成等五方面的研究内容与重点突破。包括复杂相控阵声场下微裂纹与残余应力特征评估、复杂微裂纹和残余应力的信号解耦、探头面投影微立体光刻-微滴喷射-电射流复合增材制造等三个关键技术难题。该项目将最终实现仪器在现场和远程两种工作模式下对早期微裂纹和残余应力的高精度检测与评价，确保增材制造航空发动机关键零部件的成形质量，为零部件的疲劳寿命和服役性能评估提供指导，助推我国超声无损检测仪器在基础原理、技术创新方面取得突破性进展，填补世界范围内非线性超声检测仪器空白。仪器系统简图

从成都高新区获悉，由成都太科光电技术有限责任公司承担的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目《超光滑表面无损检测仪》正式启动。　　国家科技部高新技术研究发展中心、中国工程物理研究院、四川省科技厅、成都市科技局、成都高新区科技局相关负责人以及光学行业相关专家近百人参加了启动仪式。　　据了解，《超光滑表面无损检测仪》是国家“十三五”重点研发计划重大科学仪器设备开发项目，分别获得国家科技部2000万元、成都高新区200万元资金支持，由成都太科光电技术有限责任公司牵头，协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队共同实施。该项目拟研制用于非透明物体超光滑表面及具有多层超光滑平行反射面透明物体的纳米级表面形貌高精密测量的Φ 150 mm超光滑表面无损检测仪。该仪器主要用于高精度非接触测量，可以广泛的应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统，如大型高功率固体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面形、材料特性等参数测量。项目预期取得或申请发明专利、软件著作权、相关标准等25项相关知识产权，研究成果预计发表相关论文20余篇。　　“以受检测器件芯片为例，芯片是由多层构成且呈透明或半透明状态，受自干涉条纹等条件影响，传统接触式测量中其他表面会影响到待测表面的实际检测，且任何接触都会对芯片本身造成一定伤害。而超光滑表面无损检测仪采用非接触式测量，且采用多表面分离算法，该算法可以分离出待测表面的信息，避免受其它表面的影响。”成都太科光电相关负责人说，该项目的实施，可以提高国内面形检测的能力，实现多表面元件或平行平板的检测，使其主要技术指标达到或超过国外同类产品水平。项目完成后，将研制数台超光滑表面无损检测仪，形成具有自主知识产权的系列化产品和关键技术与产业化路线，为未来产业化发展提供工艺路线。预计项目验收后三年内，完善仪器产品化所有流程，基本形成产品化的标准工艺流程，企业产值达到上亿元。　　据介绍，该项目将通过专项带动，集成国内优势力量重点创新，以仪器系统化与集成化结合多表面干涉重叠条纹分离算法为突破口，解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈，实现高端超光滑表面无损检测仪器国产化，替代国外同类产品，打破国外公司的技术垄断和价格壁垒。项目仪器的研制将带动国内相关产业发展，超光滑表面无损检测仪将在半导体照明、太阳能新能源，高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路以及国家重大光学工程等相关行业和领域得到广泛的应用。改变现在采用的接触式测量方式，大大提高检测精度和测试效率，对于这些应用行业和领域具有巨大的带动和促进作用。　　“成都高新区鼓励企业开展自主创新，积极承担国家科技计划项目，提升研发水平和创新能力。”成都高新区科技局相关负责人说，获得国家重大科技创新项目立项支持且项目国拨资金到位的成都高新区企业，可按照国拨资金实际到位额的10%进行配套资助申请，同一项目申请金额最高不超过200万元，同一家企业同一年度申请该类资金额度最高不超过200万元。“未来五年，成都高新区将每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持知名大学科研成果在区内转化 每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持国内外顶尖企业研发中心在区内落户 每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持引进高端人才到成都高新区发展。”　　据悉，成都太科光电技术有限公司是国内专业从事集高精度光学干涉检测仪器研发、生产和销售于一体的高新技术企业。公司具有一支从事光学设计、软件开发、机械设计、电子控制等专业齐全、产品研制经验丰富的专业研发与产业化团队。2009年公司研制了国内首台Φ 600mm大口径波长调谐数字干涉仪，技术指标达到国际同类产品水平。获得了波长调谐相移分析技术、干涉测试技术等多项专利。在此技术基础上，公司已经形成了两大系列八个型号的系列化干涉测试仪器产品，占领国内产品市场的80%以上，并远销东南亚、俄罗斯等地。