质谱室设计

LCMS-2050高效液相色谱质谱联用仪是一款性能出色的单四极杆LC-MS，实现了小型化设计，对用户友好。LCMS-2050质谱仪融合了作为LC检测器的简便性和MS出色的性能，即使在小型化设计后依然能提供快速和高灵敏度分析。即使对于没有质谱使用经验的用户，也可以轻松上手，如同操作LC系统一般开展分析工作。凭借岛津在多年质谱开发中积累的技术， LCMS-2050实现了理想的小型化和高性能无缝融合，展现出令人难以置信的便捷操作性和优异的稳健性。LCMS-2050具有如下三大特点：1. 无缝融合——与LC化为一体。仪器体积小巧，设计紧凑，体积相比前一代产品减少 66%。这使得它可以灵活地与LC系统组合搭配，节省实验室空间。2. 优异性能——精彩表现，出类拔萃。继承并浓缩了岛津用于离子化和宽质量范围内离子传输的专有技术。加热复合离子源 (DUIS)适用范围更加广泛，对各种化学性质的化合物（包括低极性化合物）均实现了出色的灵敏度。Mass-it是一项显示质谱信息的全新功能，可帮助用户直观地掌握复杂数据。3. 操作简便——节省时间、电力和成本。只需6分钟即可开始工作，启动速度比前一代产品至少快3倍。充分节省操作、能耗和实验室空间，最大限度地提高实验室生产力。

产品概述　　Mars-400 Plus便携式气相色谱-质谱联用仪（Gas Chromatography-Mass Spectrometry, GC-MS）是一款使用内置的电池和载气，由单人携带操作，能在环境恶劣的事故现场进行准确定性定量分析的分析仪器。该仪器将低热容气相色谱技术与离子阱质谱技术有机结合，充分发挥了快速气相色谱法的分析速度快，分离效率高和质谱法定性能力强、检测灵敏度高的优势，能够及时快速地对事故现场的有机污染物进行准确定性和定量检测，主要应用于环境空气、水体、土壤和固体废弃物中挥发性和部分半挥发性有机物的现场分析。产品特点　　现场分析对仪器的综合性能提出了苛刻的要求。作为一款先进的便携式GC-MS，Mars-400 Plus 不仅稳定可靠，环境适应性强，而且其在分析速度、检测灵敏度、样品引入方式、可携带性等方面具有显著的技术优势：　　分析速度快：采用了快速气相色谱技术和离子阱质谱高速扫描模式相结合的方式，使分析周期缩短到常规色谱的20%以下，从而使分析效率较之常规气相色谱技术有了5 倍以上的提高；　　检测灵敏度高：采用三维离子阱作为Mars-400 Plus 的质量分析器，并开发了一种专利的脉冲式内离子源技术，提高了系统对低浓度组分的响应，满足现场对于痕量样品的高灵敏度检测要求；　　测量手段灵活：仪器内置分流进样口，并配置气体采样探头、顶空进样系统，实现气、液、固三种形态的环境样品检测。手持气体采样探头用于现场气体样品的采样；顶空进样系统用于现场水体、土壤中挥发性有机物分析，具有静态顶空和动态吹扫两种采样模式；通过分流进样口可以实现固相微萃取（SPME）进样或直接微量液体进样，SPME 进样可用于水体、溶解固体样品中挥发性和半挥发性有机物采样与进样，能够富集目标物质，去除基质干扰，有效提高检测灵敏度；使用微量注射器可以对有机溶剂进行直接进样分析；使用气体密封注射器能够对污染源排放的高浓度VOCs直接进样分析，快速获得分析结果；　　便携性能优异：仪器通过集成技术研究、整机小型化和抗震设计，使仪器主机的重量小于19 kg，能通过单人随身携带第一时间抵达事故现场；　　操作简便：仪器的分析软件将样品分析流程中的基本操作转化为智能化“向导式”操作模式，采用图形化操作界面，使用触摸液晶屏进行人机交互，降低了现场操作的复杂度。丰富的前处理设备和样品引入配件典型用户　　环境监测站、石油石化公司、安监局、疾控中心（CDC）、防化院典型应用点　　环境监测、石油化工、职业健康、公安刑侦、防化反恐产品获奖BCEIA金奖 自主创新金奖2010科学仪器优秀新产品中国创新设计红星奖荣誉证书

LC-MS 2000是天瑞仪器自主研发生产的新一代液相色谱-单四级杆质谱联用仪。LC-MS 2000具有体积更小，灵敏度更高，维护更方便，性价比更优的特点。可应用于生物医药（生物大分子、蛋白、多肽）、化工、食品安全（农残、兽残、食品添加剂）、环境保护（环境中VOCS检测） 、公检刑侦（ 兴奋剂） 、工业检测（RoHS2.0指令、REACH指令）等领域。LC-MS 2000产品各项性能指标均达到国家检定规程要求。其采用更大抽速的进口真空泵、有效降低了本底真空的化学干扰。结构更加紧凑，大大缩减了仪器的体积，为实验室节约更多空间。产品性能升级离子源独特的涡旋加热气体设计，离子源温度控制精度高，均匀。多通道采集功能，快速地提高了分析速度及工作效率。可快速切换正、负电离模式，灵活测试；高压电源最快切换时间-10KV到+10KV可达20ms。专利的六级杆聚焦设计，可大幅提高离子的通过率，特别是高质量数离子信号。可获得丰富的质谱信息（包含分子量和多个结构信息）。ChemAnalyst软件功能强大、可一键切换的中英文用户界面，操作简便。可以选择多种离子源配置组合ESI（标配），APCI（选配），APPI（选配）。软件可操控自动进样器，有效提高样品通量，可完成无人值守的自动化序列检测。满足GMP，GLP要求，增加用户权限管理模块，数据完整性，审计追溯模块。测试质量范围10-2000AMU。大幅提升检测器的使用寿命，增强动态范围和灵敏度。应用领域生物医药：合成药物检测（CRO有机合成、生物多肽合成），原料药检测（合成原料药、中药药材）等。RoHS，REACH检测: PAEs，PAHs，双酚A，PBBs，PBDEs的超快速筛查。工业分析：生产质控（合成中间体及成品质量控制）。环境监测：环境污染物监测分析。食品安全：食品添加剂，食品残留物、污染物，非法添加物等。

赛默飞的质谱仪包括：LC-MS液质联用仪、GC-MS气质联用仪、DFS高分辨率磁式质谱仪、IO-MS同位素质谱仪、GD-MS辉光放电质谱等。赛默飞质谱仪拥有无与伦比的出色性能和易用性，利用这些质谱仪在实验中令人惊讶的表现能力和超高的灵敏度，您能够以更高的速率获得更可靠更丰富的结果。 产品范围：三重四级杆串联液质三重四级杆串联气质高分辨质谱离子阱质谱高分辨磁质谱无机质谱液相和离子源高分辨气质更多信息：请访问赛默飞世尔科技质谱分析的展台，展位号：SH103458。或直接登陆以下网址：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH103458/

开发质谱仪数据库以帮助抗击全球阿片类药物健康流行病设计药物的质谱是设计药物、制药、化学战剂和相关物质的最全面的质谱收集。MS数据库包含 25,343 种独特化合物的 32,855个质谱，每个条目都有详细的信息和化学结构。它包括从法律和地下文献中获取的数据，它们提供了这些化合物的最全面情况。与各区域刑事调查部以及世界各地的其他合作伙伴合作，精心汇编数据。尽可能通过标准质谱库来验证光谱，并通过质谱解释来检查光谱。2022 版本中有哪些新内容？2022 版本的特点是新增了近 1,600 个新质谱和超过 1,400 个新的、独特的分类组化合物，如芬太尼、合成大麻素等。该光谱库的每谱平均质量指数为 960 和 21,335 Kovats 保留指数，它提供了关于最新的新型精神活性物质 (NPS) 清单的全面数据。该数据库每年更新一次，而 2022 版本涵盖了截至 2021 年 12 月 31 日的设计药物和相关物质。该 MS 库的应用程序该数据库是法医、临床和毒理学实验室中支持执法当局履职的分析化学家的关键和必要资源。库技术指标光谱 (MS) : 32,855化学结构：32,855唯一化合物： 25,343测量的 Kovats 指数：21,355平均质量指数/光谱 (QI)：960阿片类药物：360芬太尼类：2,725大麻素类: 1,779 化合物覆盖率该数据库是同类数据库中最全面的一个数据库，它包括药品和街头违禁品，其中涵盖设计药物、fentalogue、设计药物前体、芬太尼、阿片类、卡西酮类似物、拟大麻、致幻剂、麻醉止痛剂、除草剂、抗抑郁药、镇静剂、杀虫剂、催眠药、抗组胺药、化疗药、大麻成分衍生物、兴奋剂、镇静剂、血管扩张剂等。它被认为是一个重要的法医和毒理学质谱库。可访问 ，搜索化合物覆盖范围。* 例如但不限于除草剂、抗抑郁药、镇定剂、杀虫剂、催眠药、芬太尼阿片前体、苯乙胺类似物、局部麻醉剂、镇痛药等 关于作者作者 Peter Rösner 曾在基尔大学 (University of Kiel) 学习化学、药理学和毒理学。1982 年，他加入基尔地区刑事调查部门，成为毒理学部门的负责人，专注于药物鉴定和 GC/MS 结构鉴定。自 1992 年以来，他一直是基尔大学质谱学讲师。Rösner 博士于 2005 年 4 月 15 日获得毒理学和法医化学学会颁发的 Jean-Servais-Stas 奖，以表彰他在子离子质谱和质谱数据库方面的杰出工作。

便携式质谱仪BaySpec新型线性离子阱质量分析仪重量轻、体积小，是市场上高灵敏度的便携式设备，便携式质谱仪具有ppt水平检测限。所有仪器均配备两个用于低压和大气取样的样品入口。所有BaySpec质谱仪均与实时电离方法兼容，包括电子碰撞（EI）、热脱附（TD）、电喷雾电离（ESI）、大气压化学电离（APCI）以及任何其他环境电离技术，如DART和DESI。这些非常紧凑的仪器便携式质谱仪易于操作和维护，适合各种批量或痕量现场实时检测。便携式质谱仪产品特点：■ 新型离子阱技术 ■ 结构紧凑，重量轻■ 灵敏度高 ■ 质量范围大 50-1200amu■ 兼容多种离子化方法 ■ 进样方便，操作简单便携式质谱仪指标参数：便携式质谱仪应用图例:更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

Torion T-9 便携式气相色谱质谱仪总重量为14.5公斤，集快速低热质毛细管气相色谱和微型环状离子阱质谱于一体，快速、可靠、易于操作。Torion T-9 便携气质为现场检测而设计，在快速检测挥发性和半挥发性有机化 合物、爆炸物、化学危险品和有害物质、化学等方面应用广泛，效果非常理想。【主要特点】◎ 轻便的便携式气相色谱质谱仪，拥有与实验室色谱仪器相媲美的色谱分离效果。◎ 可在野外严酷环境条件下操作，现场可进行质谱日常校正以及仪器性能自动校验功能。◎ 仪器启动快速及分析时间短—每小时可分析高达12个样品。◎ 锂电池操作模式可持续工作达2.5小时，配有内置高压氦气罐。手掌般大小的微型气相色谱:Torion T-9具有小巧的外形，但是它的功能却不容小觑。虽然它在设计上特别注重便携性和工作效率，但是采用LTM(低热质)毛细管色谱柱的气相色谱可以提供足以与实验室色谱仪器相媲美的色谱分离效果及操作表现。采用低热质毛细管柱代替传统的对流加热色谱柱箱，减小体积。低热质毛细管柱由小直径的金属毛细管色谱柱, 电阻加热管束和温度探测丝及绝缘线，紧密编织在一起，这个设计具有更快 的加热与冷却速度和极低的功率消耗。LTM(低热质)毛细管色谱柱加热消耗的功率远小于传统的气相色谱柱加热功率 ，从而极大的提升了Torion T-9 GCMS电池工作时间。强大的电阻直接加热配合快速 温升控制使得Torion T-9的样品色谱分离过程往往只需几秒钟，轻松快速应对*挑 战性的检测任务。真正的便携式气质联用仪源于微型质谱仪的诞生创新的环状离子阱质谱仪:与传统质量分析器相比，如圆柱形离子阱或线性四极杆质谱，Torion创新的 环状离子阱技术尤其适用于小型化设备。每个部件的设计都最大限度地提高信 号并降低噪音。这种创新的质谱技术在仪器小型化的同时保证充足的离子捕获 量。离子阱质谱获得的离子数量足够多,从而保证了良好的灵敏度、低噪音和优异 的质谱数据。TorionT-9质谱分析器工作温度175°C。离子阱在高温真空环境中运行，使 电极持久清洁。这大大降低维护的频率，同时提升质谱图的质量和重现性。同 时离子阱在高温下也可以保证质谱分辨率长期稳定。TorionT-9 可以在45- 500amu质量范围内提供优于单位分辨率的质谱分辨率。微型化环状离子阱质谱仪与其他质谱分析器相比，离子阱在物理结构方面更加紧凑。紧凑的环 状结构更适用微型化质谱仪：微型离子 阱可以在较低真空环境（约10-3 Torr）下工作。由于其对真空的要求没有那么苛刻，可使用较小的真空泵，从 而减少了设计尺寸和重量。微型离子阱对真空环境的要求较低，使得Torion T-9电池的续航能力超过其他任何便携式质谱仪。【技术特色】◎ 采用小内径低热质毛细管气相色谱，为化合物分析提供更快速及更好的色谱分离效果◎ 快速的程序升温系统使化合物分析时间少于3min。◎ 具有更宽的质量数范围、更高的灵敏度及更高的选择性等特点◎ 彩色的触摸显示屏和简单的操作按键，使Torion T-9的操作变得更加简单。高通量，高分离度:Torion T-9气质程序升温速率可达2.5℃/s。从50℃至300℃温度程控可在2min内完成，同时仍然保持优异的色谱分离度。如图所示， 在2分钟内25 种EPA 624化合物得到很好的色谱分离。连续进样的重现性微型化的电子压力控制系统有助于增强氦气流速的稳定性，从而提高气相色谱的再现性。恒定的氦气流速使得离子阱得以保持优越的性能，同时提高质谱仪的再现性。良好的再现性使得对目标化合物鉴定的准确性大为提高。实验表明，在80 次样品测试中，11种化合物的保留时间重现性RSD≤2.58%。自动优化功能基于新颖而先进的算法，Torion T-9的自动优化功能保证其持续运行在最佳状态。自动调谐：自动调谐程序包括发射灯丝, 分辨率和检测器等参数的优化自动校准：Torion T-9 自动校准程序，包括质谱和色谱的自动校准。自动离子捕集：根据分析物的浓度，可以自动调整离子捕集时间，使离子阱捕集到离子数量稳定，降低空间电荷效应，从而获得稳定的分辨率和灵敏度。【产品应用】Torion T-9便携式气质与专用的附件及耗材的强强联合为客户提供了随 时随地采集和分析样品的能力。在目标化合物的定性定量分析方面具有简 便，准确，快速等特点，可广泛适用于多个领域◎ 环境监测 Environmental Monitoring◎ 刑侦科学 Criminal Investigation Science◎ 化学工业及石油化工 Chemical industry and petrochemical industry◎ 军事领域 Military field◎ 公共安全 Public Safety◎ 危险品监测 Dangerous goods monitoring◎ 应急检测 Emergency Detection◎ 普通工业 General Industry【软件功能】◎ 仪器控制 Instrument control◎ 实时监控 Real-time monitoring◎ 自定义数据库 Custom database◎ 目标化合物鉴定 Identification of target compounds◎ 未知物鉴定 Unknown identification◎ 内标或外标法的定量分析 Quantitative analysis of internal standard or external standard method◎ 数据分析 Data Analysis –总离子流图 Total ion flow diagram –提取离子流图 Extracted ion current diagram –背景扣除 Background deduction –光谱平均值法 Spectral Mean Method –选择离子绘图法 Selective ion mapping【即时结果】使用Chromion软件自动匹配化合物数据库，即使在复杂混合物 中也可鉴定痕量化合物。在突发事件中，快速准确的检测结果作为制定应急决策的重要依据。Torion T-9 非常适用于现场快速鉴定，并获得可靠的实验数据。Torion T-9利用自带的强大谱库鉴定目标化合物，并以清晰易懂的表 格呈现于彩色 触屏上。利用CHROMION软件，用户可以快速自建谱库。Torion*的解卷积功能可以对复杂样品中的流出物进行准确的鉴定。 CHROMION软件与NIST谱库联用，可以轻松对未知物定性分析。为了更 好的提升用户体验，CHROMION从创建气相方法到数据背景扣除，每一个操作步骤都极为直观简洁。

我们致力于提供产品工程解决方案。 我们可提供工业设计、结构设计、热设计等领域的专业设计解决方案和技术服务。闻言设计团队是建立在整机工程技术平台基础上的专业设计团队，具有多种技术整合设计能力，可以对复杂的系统工程类的项目进行创造性设计，对其硬件构成、框架结构和操作使用等功能要素剖析重构，达到对产品开发更优化的设计和管理的目标。我们拥有多年设计行业服务经验，参与医疗设备、生命科学设备、医疗临床、实验室检测设备、环境监测等多行业多领域的设计开发工作，有着丰富的设计经验，参与大型上市公司的设计研发工作。更多信息可以官网查看“闻言技术”

MT Explorer 50（MT50） 是 MassTech 推出的第二代便携式/现场 3D 离子阱质谱仪。基于数十年的知识经验，第二代 MT50 通过独特设计的 3D 离子阱来保证缩小尺寸的同时仍能提供强大的分析性能。MT50 紧凑的设计非常适合现场使用，其强大的 MS-n 功能使结构解析易于实现。同时为了能够在现场进行基本维护而做了易于拆卸的设计。MT50 多级质谱系统，兼容 ESI、nanoESI、2ndESI、APCI、DART、AP/MALDI 等各类离子化或原位采样技术，用于快速分析和确认固体、液体、气体、及异型样品中的极性、弱极性甚至非极性有机分子、生物分子如脂质、代谢物、多肽、糖类、蛋白质、高聚物等标志物。适于食品、材料、体液、商品、农副产品、水产品、药品、理化、物证、化纤、玩具、临床、环境、生物药等等活性成分、功能组分或有毒有害化合物的快速定性、定量分析及快筛、确认和成像。小巧、便携、场地化、车载化，交流或直流电运行，裸机重量小于35公斤，尺寸约51x43x30 cm（长宽高，厘米），交流 90-240VAC，质谱耗功率 250-300 瓦，无需钢瓶供气，以滑轮防震运输箱装载。一级 MS 或多级 MSn 质谱采集模式；正负模式，质量范围 30-2500amu，扫描速度1000-8000 amu/s 或每秒达5张谱图，分辨率达6000，质量精度到0.3amu。MT50 非常皮实，曾被选为 NASA 航天器适用质谱系统。MT50 的性能与常见的离子阱质谱仪相当。另外，它还可以与 DART 离子源结合，组成 DART-MT50 便携式原位检测系统。实时直接分析（DART）为新型原位电离新技术，用以满足实验室对样品高通量分析的要求和对现场、无损、快速、低碳、原位、直接分析的需求。所以 DART-MT50 便携式原位检测系统结合二者性能，无需或仅需简单样品处理，可直接快速高通量分析，实现自动化现场实验室功能。 DART-MT50 便携式原位检测系统对现场的食品安全，环境分析，药物合成，法医和危险品检测有巨大潜力。比如，人们可以在几秒钟内（而不是几天）验证食品类型（牛或马？鲷鱼或罗非鱼？），从而免受供应商欺诈。研究人员只需在现场进行分析而不必等待实验室验证数据，可节省时间。

产品概述EXPEC 3600移动式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）专为移动式检测应用开发，整机采用了小型化低热容色谱技术和小型化离子阱质谱技术，双进样口设计，可选择微量注射器进样、吸附热解吸进样、顶空进样和固相微萃取进样等多种进样方式，完成对不同形态、不同浓度的对象完成分析检测。作为一款“平战结合”式的气相色谱-质谱联用仪，“平时”固定位置分析可用于日常样品检测，“战时”移动式分析可用于突发事件的快速响应，能够在移动过程中和现场较为恶劣的条件下稳定的工作，在现场对各种未知有机物进行准确的定性、定量分析。性能优势进样形式多样仪器配备双进样口，采用流路设计，能够实现微量注射器直接进样、吸附热解吸进样、固相微萃取进样及顶空进样等多种进样方式，可对不同形态、不同浓度的样品进行分析检测；检测灵敏度高采用脉冲式内离子源技术提高了系统对低浓度组分的响应，满足现场对于痕量样品的高灵敏度检测要求；定性功能突出基于独特的增强型碰撞诱导解离（ECID）技术，能够完成二级质谱（MS2）分析，增强了仪器在复杂基质干扰下的定性能力；操作简便仪器分析软件将样品分析流程转化为智能 “向导式”操作模式，采用图形化操作界面和大屏触摸进行人机交互；环境适应性强仪器采用小型化、集成化和抗震设计，体积小、重量轻、功耗低，适用于高低温、震动等恶劣条件下的应用。应用领域水中挥发性有机物连续在线监测；气、水、土中的挥发性有机物和半挥发性有机物的移动应急检测；

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。【产品描述】ProMassD台式质谱仪是一款结构紧凑、设计坚固的四极质谱仪器，融合了所有的质谱仪和真空泵技术。ProMassD适用于水平垂直方向，非常适合实验室实验测量。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低，相应速度快。质谱仪通过收集和分析测量样品中分子的质荷比，我们可以根据质谱信息识别和量化存在的分子。 ProMassD台式质谱仪中的 QMS 包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu、0-200amu或0-300amu的可变质量范围。（三重四极版本）【典型应用】l 氢(H2)燃料分析；l TGA-MS分析；l 环境分析；l 发酵；l 催化。 【特 点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有新的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。 【产品描述】ProMassT便携式质谱仪是一款结构紧凑，设计坚固的便携式四极杆质谱仪（QMS）仪器，采用了新的四极杆和真空泵技术。 ProMassT是用于泄漏测试，环境空气或过程应用中的气体分析的有用分析工具，能够检测和测量几乎所有具有低检测限和快速响应的气体。质谱仪测量样品中分子的质荷比，并通过收集和分析质谱，我们可以识别和量化哪些分子存在。 ProMassT中的QMS包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu，0-200amu或0-300amu的可变质量范围，适用于便携式或固定式安装。【典型应用】l 半导体生产过程；l 环境空气测量；l 泄漏测试；l 食品行业质量测试；l 合成气分析 – H2, N2, CO2, CO, CH4, H2S；l BTEX 量化；l 呼吸分析。 【特点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

GC-MS 6800是天瑞仪器精心打造的一款高性价比气相色谱质谱联用仪，具有完全的自主知识产权，拥有多项专利技术，可广泛应用于工业生产、实验室检测、食品安全、环境保护等众多领域。本仪器完全能够满足 GB 36246-2018 《中小学合成材料面层运动场地》塑胶跑道新国标，上海团体标准 T/310101002—C003—2016《学校运动场地塑胶面层有害物质限量》，GBT 14833-2011 合成材料跑道面层等相关标准要求。本仪器完全适用于塑胶跑道合成材料面层成品中有害物质含量的测定、合成材料面层原料中有害物质限量值的测量等试验。GC-MS 6800是天瑞仪器精心打造的一款高性价比气相色谱质谱联用仪，具有完全的自主知识产权，拥有多项专利技术，可广泛应用于工业检测、食品安全、环境保护等众多领域。技术优势硬件自主研发的GC系统，带电子流量和电子压力控制（EFC、EPC）自主研发高效灯丝，电子发射效率高，最大可达350μA带预四极的单四极杆质量分析器，有效减少测样过程对四极杆的污染；带高能转换打拿极的电子倍增器提供优秀的灵敏度；进口机械泵和分子泵组成优异的真空系统，保证系统的高稳定性和可靠性；配备全量程真空规，实时监测真空状况；完善的保护系统，保证仪器出现异常状况时保护系统关键部件，延长仪器使用寿命；先进的RF电源数字补偿技术，可以使全质量范围内的质谱峰都达到较高的灵敏度和分辨率；GC-MS 6800是天瑞仪器精心打造的一款高性价比气相色谱质谱联用仪，具有完全的自主知识产权，拥有多项专利技术，可广泛应用于工业检测、食品安全、环境保护等众多领域。技术优势硬件自主研发的GC系统，带电子流量和电子压力控制（EFC、EPC）自主研发高效灯丝，电子发射效率高，最大可达350μA带预四极的单四极杆质量分析器，有效减少测样过程对四极杆的污染；带高能转换打拿极的电子倍增器提供优秀的灵敏度；进口机械泵和分子泵组成优异的真空系统，保证系统的高稳定性和可靠性；配备全量程真空规，实时监测真空状况；完善的保护系统，保证仪器出现异常状况时保护系统关键部件，延长仪器使用寿命；先进的RF电源数字补偿技术，可以使全质量范围内的质谱峰都达到较高的灵敏度和分辨率；软件工作站软件可同时控制气相色谱仪、自动进样器和质谱仪，通过高速网卡实现数据采集与传输；支持全扫描（FULL SCAN）和选择离子扫描（SIM）模式；可实现FULL SCAN、SIM扫描；支持手动调谐和自动调谐；实时显示总离子流谱和质谱图谱；可快速提取离子和全扫描图谱；天瑞仪器是NIST授权的国内唯一合法分销商，可以保证用户得到最新的NIST谱库数据和谱库升级功能；数据处理软件可依据样品的质谱图在NIST2011谱库中进行目标化合物自动搜寻,并显示搜寻结果。搜寻结果显示每个化合物的实测保留时间、分子结构式与标准图谱,确认离子之间的标准丰度比与实测丰度比等以供使用者准确定性、定量分析；国际级的品质：核心部件与国际主流产品保持一致，保证了GC-MS6800具备与国外仪器同样的性能品质满足更多需求:天瑞仪器为客户提供多种性能优良的选配件,满足不同领域不同客户的多种需求人性化设计: 整机的人性化设计,不仅方便操作,也为让日常维护更加轻松离子化效率更高:整机模块化设计,并采用天瑞专利-新型离子源,离子化效率更高，达到整机灵敏度大大提高Chem Analyst色质联用工作站：实现高效、快速、多功能仪器控制、数据采集、数据处理超高的性价比：在满足全部应用需求的情况下，天瑞为客户带来了更多的实惠科学的解决方案：天瑞仪器强大的应用研发中心为客户提供全面的应用分析解决方案,让客户体验到量身打造的舒适优惠的耗材价格：灯丝等耗材和配件自主研发，客户在享受高端性能的同时，还可以在仪器维护上节省一笔不小的开支完善的售后服务：天瑞仪器对客户需求响应快速，专业技术人员24小时全天候服务主要技术参数 GC技术指标 进样口温度： 450℃，温度点可控 压力控制范围： 0-100psi , 控制精度0.002psi 压力控制模式： 电子压力控制，支持恒压,恒流 分流模式： 分流与不分流进样口，分流比1000:1 柱温箱操作温度： 室温+4℃～450℃ 柱箱升温速率： 120℃/min（柱箱） 平台升温： 7阶8平台程序升温 自动进样器： 选配 MS技术指标 离子化(EI源)： 5 eV ---250 eV（可调） 质量范围： 1.5---1000 amu 分辨率： 单位质量分辨 离子源温度： 100---350℃ 灯丝发射电流： 0-350uA 气质接口温度： 高450℃ 质量轴稳定性： +/-0.10 amu/48 hrs 灵敏度： 全扫描，1pg八氟萘（OFN）在m/z 272amu， 信噪比（S/N）≥30：1 （RMS） 扫描速率： 10000 amu/s 真空系统： 涡轮分子泵（67 L/s） 检测器： 带高能打拿极（HED）的电子增器应用领域1、工业领域:纺织,电子电器,塑胶,化妆品2、食品安全:农药残留,香精香料,添加剂,包装材料3、环境保护:大气,水质,土壤,固体废弃物4、生物医药:制药厂,药物检测5、石油化工:炼油厂,化工厂6、公检法系统:刑侦,爆炸物,鉴定物证技术优势硬件自主研发的GC系统，带电子流量和电子压力控制（EFC、EPC）自主研发高效灯丝，电子发射效率高，最大可达350μA带预四极的单四极杆质量分析器，有效减少测样过程对四极杆的污染；带高能转换打拿极的电子倍增器提供优秀的灵敏度；进口机械泵和分子泵组成优异的真空系统，保证系统的高稳定性和可靠性；配备全量程真空规，实时监测真空状况；完善的保护系统，保证仪器出现异常状况时保护系统关键部件，延长仪器使用寿命；先进的RF电源数字补偿技术，可以使全质量范围内的质谱峰都达到较高的灵敏度和分辨率；软件工作站软件可同时控制气相色谱仪、自动进样器和质谱仪，通过高速网卡实现数据采集与传输；支持全扫描（FULL SCAN）和选择离子扫描（SIM）模式；可实现FULL SCAN、SIM扫描；支持手动调谐和自动调谐；实时显示总离子流谱和质谱图谱；可快速提取离子和全扫描图谱；天瑞仪器是NIST授权的国内唯一合法分销商，可以保证用户得到最新的NIST谱库数据和谱库升级功能；数据处理软件可依据样品的质谱图在NIST2011谱库中进行目标化合物自动搜寻,并显示搜寻结果。搜寻结果显示每个化合物的实测保留时间、分子结构式与标准图谱,确认离子之间的标准丰度比与实测丰度比等以供使用者准确定性、定量分析；国际级的品质：核心部件与国际主流产品保持一致，保证了GC-MS6800具备与国外仪器同样的性能品质满足更多需求:天瑞仪器为客户提供多种性能优良的选配件,满足不同领域不同客户的多种需求人性化设计: 整机的人性化设计,不仅方便操作,也为让日常维护更加轻松离子化效率更高:整机模块化设计,并采用天瑞专利-新型离子源,离子化效率更高，达到整机灵敏度大大提高Chem Analyst色质联用工作站：实现高效、快速、多功能仪器控制、数据采集、数据处理超高的性价比：在满足全部应用需求的情况下，天瑞为客户带来了更多的实惠科学的解决方案：天瑞仪器强大的应用研发中心为客户提供全面的应用分析解决方案,让客户体验到量身打造的舒适优惠的耗材价格：灯丝等耗材和配件自主研发，客户在享受高端性能的同时，还可以在仪器维护上节省一笔不小的开支完善的售后服务：天瑞仪器对客户需求响应快速，专业技术人员24小时全天候服务应用领域满足 GB 36246-2018 《中小学合成材料面层运动场地》塑胶跑道新国标，上海团体标准 T/310101002—C003—2016《学校运动场地塑胶面层有害物质限量》，GBT 14833-2011 合成材料跑道面层等相关标准要求。1、工业领域:纺织,电子电器,塑胶,化妆品2、食品安全:农药残留,香精香料,添加剂,包装材料3、环境保护:大气,水质,土壤,固体废弃物4、生物医药:制药厂,药物检测5、石油化工:炼油厂,化工厂6、公检法系统:刑侦,爆炸物,鉴定物证

仪器简介：快速分析，全自动数据处理！适合于传统四极杆质谱、离子阱质谱的替代升级，复杂基质的全组份分析。定性全自动，定量性能超越常规TOF。通过EPA认证。适用环境、食品安全等常规检测实验室四极杆仪器的升级型号。技术参数：80张全扫描谱图/秒，高采集速率(20000spec/second传输速率)。分子量范围5-1000。分辨率2000。EI，CI快速切换。离子源快速维护。动态信号跟踪技术，动态线性范围宽，定量限低。 主要特点： 高通量GC-MS高通量是提高利润率和更快取得结果的关键所在。传统四极杆及离子阱的SIM（选择离子扫描）操作模式及低动态线性范围浪费了您实验室大量的时间及金钱，超出了您的忍受底限。TruTOF将LECO高采集速率（80Hz）质谱与数据挖掘技术相结合，在合理的价格范围内提供了卓越的快速色谱（Time-compressed Chromatography）分析能力。 通过减短运行时间大大提高分析通量 更少的样品降解（degradation） 快速的方法摸索及条件确定 无欠采样问题（statistical under-sampling，扫描式检测器的通病）自动峰识别（Automated Peak FindingTM）保真解卷积（True Signal DeconvolutionTM）比常规四极杆质谱及同类飞行时间质谱定性出峰更多，谱库匹配率更高。台式设计 应用文章：应用快照：

实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪产品描述离子源采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪随时间演化的动力学过程提供支持。实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪基本性能指标的设置说明质量检测范围1-500 amu检测限1ppb质量分辨率 2500@(m/z=92)实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪产品特点 可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件 实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁) 聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图 公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪产品描述离子源采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪随时间演化的动力学过程提供支持。实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪基本性能指标的设置说明质量检测范围1-500 amu检测限1ppb质量分辨率 2500@(m/z=92)实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪产品特点 可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工 化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁) 聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图 公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

全自动微生物质谱检测系统Autof ms系列是由我公司专业质谱团队自主创新研发的新一代钛金质谱，该仪器在硬件、软件、数据库及配套试剂盒等方面拥有多项自主专利，目前已真正实现全球装机，获得用户一致好评。质谱方法与传统微生物鉴定方法相比具有简便、快速、准确等优点，并且可拓展核酸检测功能，用于多重病原检测及用药监测等场景。目前MALDI-TOF MS已广泛应用于疾控、食药、临床、环境、企业、科研院校等领域。设备优势：1、长寿命激光器，激光发射次数达数亿次至上百亿次。2、钛金属质量分析器，长度1.05m，且温度稳定性高，有效保障离子飞行不偏转，鉴定结果更准确。3、高通量的涡轮分子泵，进靶即可采样，无需等待。4、独特设计的高精度信号采集系统，极大提升仪器重复性。5、先进的人工智能算法，单样品搜库鉴定只需0.1秒！6、核酸检测功能高通量（40多重/孔），项目组合灵活，性价比高，通用性高，报告清晰易读。 数据库优势：1、同品牌仪器自建数据库，与国内外知名菌种保藏单位保持合作，结果准确可靠。2、微生物鉴定数量达1000多个属、5000余种，其中包含丝状真菌、肠道厌氧菌、海洋菌等特色菌株。3、可为用户提供本地化数据库或云端数据库，无需联网即可实现数据检索。4、支持用户自建库。 配套耗材试剂多规格设计，操作简便。推出专用试剂盒，真菌检出率更高，血培养微生物预处理后可直接上机获得NMPA证的同品牌校准品与质控品，确保结果准确。

利用全面的新版气相色谱-质谱数据库集加速您的分析工作 Wiley的食品、香精、香料和相关化合物气相色谱-质谱数据库（Food, Flavors, Fragrances, and Related Compounds GC-MS Library）经过专门设计，提供您在食品制造、产品开发和相关领域的多种应用中所需的化合物覆盖。这个全面的数据库包含了13000多个气相色谱-质谱，包括精油、脂类、挥发性有机化合物、萜烯类、除草剂、杀虫剂，以及许多其他对食品、香料、香精和大麻的气相色谱-质谱分析非常重要的化合物类别。广泛涵盖各类化合物和应用除光谱外，记录还包括物理特性和结构（如有）数据由Wiley专家仔细审查以确保其符合质量标准应用本气相色谱-质谱数据库是分析化学专家在食品和食品相关行业开展检测、鉴定、分析、质量控制（QC）和质量保证（QA）工作的宝贵资源。功能质量控制质量保证产物筛选新食品/产品的开发行业农业饮料酒业大麻香精香料食品和食品安全精油 天然产物油类和脂类香水和化妆品宠物食品杀虫剂防腐剂包含哪些内容订阅包括对以下数据库的访问：Adams’ Essential Oil Components (GC-MS)：2,205条光谱Mass Spectra of Volatiles in Food (CINFR)：1,598 条光谱Biologically and Environmentally Important Organic Compounds (Isidorov)：1,926条光谱Mass Spectra of Pesticides 2009 (Kuhnle)：1,238条光谱Lipids Mass Spectral Database (Mondello)：430条光谱Mass Spectra of Flavors and Fragrances of Natural and Synthetic Compounds (Mondello)：3,462Mass Spectra of Pesticides with Retention Indices (Mondello)：1,300外加其他1,500条记录

伯东公司授权代理德国普发Pfeiffer吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 是专为移动检漏设计的便携式氦质谱检漏仪.设计灵活,方便检漏,可以在任何方向和角度进行检漏. 吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S优点：便于维护,操作方便吸枪便携式氦检漏仪 重量仅18 kg操作界面多种语言可选（英语,法语,德语）多种电压可选，满足实际需要（200/240V,110/130V）手持遥控器,5M吸枪,可配9cm喷嘴伯东公司根据客户实际需要选型并提供完善的售后服务 吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数：吸枪便携式氦质谱检漏仪ASM 102 S对氦气的最小检测漏率1x10-8 Pa m3/s7.5x10-8 Torr l/s1x10-7 mbar l/s测量范围(氦气)110-7 至 1 mbar l/s前级泵无油干式真空泵检测气体4He操作温度0-45 °C启动时间1.5 min检测模式吸枪检漏重量18 kg吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S 尺寸图：伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管) 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源. 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请登录我们网站或与市场部: 叶女士联系

Mini β 小型质谱分析系统（图1）是由北京清谱科技有限公司的研发团队在清华大学和美国普度大学的深度合作下研发、设计、制造的质谱产品，旨在为终端用户提供简单快速的原位化学分析方案。Mini β小型质谱仪的实现源自两项关键技术的诞生——原位电离和质谱仪小型化技术。图1 Mini β 小型质谱分析系统1 仪器设计理念：十年砺剑，化繁为简Mini β小型质谱仪的实现源自两项关键技术的诞生——原位电离和质谱仪小型化技术。原位电离设计概念率先由普渡大学R. Graham Cooks 和清华大学欧阳证教授团队于 2006 年提出(Cook et al., 2006)，旨在为质谱使用提供简单易用、快速精准的分析方法。十余年间，团队通过不懈创新，开发了以解吸附电喷雾(Takáts et al., 2004)、纸喷雾(Wang et al. 2010)及段塞流微萃取(Ren et al., 2014)为代表的一系列方法，并已经过国际多所高校、科研院所和企业的原理及应用验证。Mini β小型质谱分析系统将原位电离技术植入了一次性进样试剂盒，在赋予质谱仪简单快速的使用特性的同时，避免了痕量分析工作中由样品造成的潜在设备污染。同期，R. Graham Cooks 和欧阳证教授的团队也在不断探索质谱小型化的方案，并在 2007 年推出了用于气相分析的质谱小型化技术(Gao et al., 2007)。该技术现已被广泛应用，是市场上便携质谱仪的原型，已被成功用于安防领域的气体和挥发物检测，而具备非挥发物质检测能力的小质谱 Mini 12 是在气相小质谱的基础上多次创新的成果(Gao et al., 2008 Hendricks et al., 2014 Li et al., 2014)，也是 Mini β 小型质谱分析系统的设计原型（图2）。 图2 质谱小型化技术发展沿革Mini β 小型质谱分析系统是世界首款实现质谱小型化与原位电离技术联用的质谱产品，此项仪器设计极大地降低了质谱分析的复杂程度，增强了检测的移动性、时效性，使仪器使用突破了检测场地、时间和人员的限制，为用户提供及时、准确的化学信息反馈，在食品安全、公安执法和医疗诊断等领域有着广泛的市场潜力(Li et al., 2014 Ma et al., 2015 Ma et al., 2016)。Mini β 小型质谱分析系统由PCS原位电离试剂盒和Mini β 小型质谱分析仪组成，传统质谱仪所需的进样系统、质量分析系统、数字控制系统、射频控制系统、真空系统已全部压缩集成在了55cm（长）×24cm（宽）×31cm（高）的空间中，体积仅和台式电脑主机相当。2 核心技术与产品性能：小巧、快速、简单2.1 PCS 原位电离技术2004年，普度大学R. Graham Cooks研究组开发出解析电喷雾技术(DESI)，直接离子化质谱技术得到快速发展，纸喷雾技术(PS)、萃取喷雾技术(ExS)相继推出。2015年纸喷雾技术得到优化升级，得到更稳定的微管纸喷雾技术(PCS)，并于2016年产业化为PCS原位电离试剂盒（图3）。 图3 PCS原位电离试剂盒常规质谱采用电喷雾（ESI）或大气压化学电离（APCI），要求经分离提纯后进行离子化，而 Mini β小型质谱分析系统采用的 PCS 原位电离技术（Paper Capillary Spray），集样品快速前处理和离子化于一身，无需额外样品处理步骤，即可实现采样-自动样品纯化-离子化进样，并可在采样现场轻松完成（图4）。以该技术为核心开发的PCS原位电离试剂盒，简化了操作步骤，在提高质谱分析所必须的样品前处理速度的同时（1分钟），降低了对操作人员专业性及检测环境的要求。图4 Mini β 进样模式相关专利：a) Analyzing An Extracted Sample Using An Immiscible Extraction Solvent, WO PCT/US2015/013649b) Systems and Methods for Sampling Ionization Using Capillary Device, US 62/211,2682.2 质谱小型化技术Mini β 小型质谱分析系统的另一核心技术是质谱小型化技术。该技术的实现主要归因于真空和离子传输系统的创新设计。Mini β 小型质谱分析系统将传统质谱仪普遍采用的多级真空腔体合并为单级腔体，传统的连续大气接口也调整为非连续大气接口（DAPI），该设计使 Mini β 对真空泵保持着最低的需求，仪器真空的维持得以用小型真空泵来实现，从而使重达 400kg、功率达 6000w 的传统质谱仪优化为 20kg、100W的小型质谱分析系统（图5）。图5 Mini β 真空设计示意图清谱科技独有的非连续大气进样接口技术（DAPI）（图6）可为质量分析系统提供灵活的压力控制，使进样、离子碎裂、质量分析能够在合适的压力区间内进行（图7）。更为重要的是，得益于单极真空的设计，DAPI技术使 Mini β 的灵敏度得以优化提升。图6 非连续大气进样接口（DAPI）图7 真空系统压力变化质谱小型化技术除此之外，Mini β 的射频系统使其质量范围达到2000Th，这个质量范围甚至能够分析细胞色素等复杂样品（图8）。图8 细胞色素C的信号响应Mini β 采用了最前沿的线性离子阱技术，动态范围达到了3个数量级，并具有强大的多级串联质谱分析（MSn）能力。令人兴奋的是，清谱科技在单阱系统的基础上开发双阱系统，保证离子的高效碎裂，实现三重四极杆质谱仪的全部功能。相关专利：a) Discontinuous Atmospheric Pressure Interface, WO 2009/02336b) Sample Quantitation Using a Miniature Mass Spectrometer, WO PCT/US2015/0136493 Mini β 小型质谱分析系统性能指标Miniβ小型质谱分析系统与其他质谱产品相比，既保留了大型质谱仪的性能和分析物的普适性(挥发、非挥发性)，也保留了小质谱的现场检测能力（表1，图9），使原本实验室内总耗时若干天的质谱分析可以在现场 1 分钟内完成。 表 1 Miniβ主要性能指标型号Mini β 小型质谱分析系统尺寸(长×宽×高)55×24×31 cm重量20 kg功率≤100 W进样/离子化方法采用一次性（原位电离）试剂盒，实现直接采样、离子化适用样品适于血液等多种复杂混合样品质量分析器线性离子阱串联质谱能力MSn描速度10000 （Da/s）分辨率~1 amu质量范围50-2000 Da，动态范围大于3个数量级，适于大有机污染物、分子药物和多肽等的检测灵敏度好于 10 ng/mL 维拉帕米（Verapamil）通量1 分钟/样品，达到国际先进水平气体需求无（空气）控制支持内置电脑控制专业性无需专业人员操作 图9 Mini β 质量范围、分辨率和灵敏度4 Mini β 应用模式：现场检测、实时反馈和数据整合Mini β小型质谱分析仪终端配合清谱科技在建的化学云分析网络（图10），可在质谱终端实现更好的智能化和拓展性的同时，通过中心化的数据分析，帮助上层决策人员实现规模化、网络化的协同管理。图10 化学云分析网络在检测现场，一线人员无需任何化学背景，只需将添加样品的试剂盒插入仪器，按下开始按钮即可开启“一键式”全自动质谱分析。在终端样品分析过程中，仪器可通过识别试剂盒二维码与对应的网络位置进行实时通信，实现自动调取扫描方法、自动质量分析、自动采集数据、自动数据处理、自动反馈结果等功能。整个过程在1min内完成，分析完成后，结果报告自动上传至化学云分析网络。一线人员可通过手机获取结果反馈，指导现场实践。在管理决策终端，后台管理人员可通过化学云分析网络实现对检测终端的远程管理与在线分析，及时响应，快速决策。此外，化学云分析网络还可为公安缉毒、食品安全、环境监测等领域的应用需求提供专业化监控定制方案。5 应用案例Mini β 小型质谱分析系统是世界首款实现质谱小型化与原位电离技术联用的质谱产品，此项仪器设计极大地降低了质谱分析的复杂程度，增强了检测的移动性、时效性，使仪器使用突破了检测场地、时间和人员的限制，为用户提供及时、准确的化学信息反馈，使检测介入决策中去。在食品安全、公安执法、医疗诊断、环境监测等领域有着广泛的市场潜力(Li et al., 2014 Ma et al., 2015 Ma et al., 2016)。在公共安全领域，Mini β 小型质谱分析系统可为公安人员现场缉毒提供快速简单的解决方案；在食品药品领域，Mini β 可帮助执法部门进行现场筛查，防止不合格食品药品流向市场；在医疗诊断领域，Mini β 可提供即时检测（POCT），帮助医生及时研判病情，为患者争取宝贵的治疗时间。下面以公安毒检为例，对 Mini β 应用方法做简要介绍。公安毒检：尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺（MDMA）的快速检测苯丙胺类兴奋剂是苯丙胺及其衍生物的统称，本案例基于小型质谱分析系统开发了尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺（MDMA）（图11）的实时快速检测方法，无需繁琐的样品前处理，无需耗时的色谱分离，1步操作1min完成样品分析，本方法的检出限为100ng/mL。图11 苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺结构实验样品苯丙胺，CAS 300-62-9，1mg/mL，Cerilliant。冷冻保存，使用时稀释至所需浓度；甲基苯丙胺，CAS 33817-09-3，1mg/mL，Cerilliant。冷冻保存，使用时稀释至所需浓度；MDMA，CAS 42542-10-9，1mg/mL，Cerilliant。冷冻保存，使用时稀释至所需浓度；以上标准品由浙江省嘉兴市公安局提供。尿液样品存于密封容器中，冷藏保存。实验设备Mini β小型质谱仪；PCS液体检测试剂包（含PCS试剂盒、微量液体取样器、萃取剂A）。实验方法标准溶液分析：移取5μL标准溶液，从PCS试剂盒加样口加于PCS上，从溶剂口加入3滴萃取剂A后，将试剂盒插入质谱仪进样口，进行质谱分析。样品分析：用微量液体取样器移取尿液（6.5μL），从PCS试剂盒加样口加于PCS上，60℃干燥5min后，从溶剂口加入3滴萃取剂A，将试剂盒插入质谱仪进样口，进行质谱分析。MS条件：电离模式：正离子模式；检测方式：子离子扫描，监测离子及丰度见表2。表2 监测离子及丰度化合物中英文名称母离子子离子苯丙胺 Amphetamine136119（100），91（60）甲基苯丙胺 Methamphetamine150119（100），91（60）3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺 MDMA194135（100），105（40）实验结果与讨论通过对阴性尿液样品加标（500ng/mL）的方式考察了本方法的检出限，以S/N=3计，本方法的LOD为100ng/mL。苯丙胺、甲基苯丙胺、3,4-亚甲基二氧基甲基苯丙胺（MDMA）的标准溶液子离子扫描谱图、阴性尿液加标样品子离子扫描质谱图、阴性尿液子离子扫描质谱图见图12-14。 图12 （a）苯丙胺标准溶液子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（b）阴性尿液加标中的苯丙胺子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（c）阴性尿液中苯丙胺的子离子扫描质谱图（PCS） 图13 （a）甲基苯丙胺标准溶液子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（b）阴性尿液加标中的甲基苯丙胺子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（c）阴性尿液中甲基苯丙胺的子离子扫描质谱图（PCS） 图14 （a）MDMA标准溶液子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（b）阴性尿液加标中的MDMA子离子扫描质谱图（1μg/mL, PCS）；（c）阴性尿液中MDMA的子离子扫描质谱图（PCS） 本方法使用Mini β小型质谱分析系统建立了快速测定尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、MDMA的方法，该方法无需对样品进行处理，无需色谱分离，使用原位电离源PCS试剂盒，可快速完成尿液中苯丙胺、甲基苯丙胺、MDMA的定性检测，为现场缉毒、毒驾监管等提供了快速简单的解决方案。6 所获奖项2017年10月，在“北京分析测试学术报告会暨展览会”（BCEIA 2017）上，Mini β荣获中国分析测试协会颁发的“BCEIA 金奖”（图15-16）。图15 Mini β 获BCEIA金奖图16 BCEIA金奖证书参考文献Cooks R G, Ouyang Z, Takats Z, et al. Detection Technologies. Ambient mass spectrometry. Science, 2006, 311(5767):1566.Gao L, Song Q, Noll R J, et al. Glow discharge electron impact ionization source for miniature mass spectrometers. Journal of Mass Spectrometry, 2007, 42(5):675.Gao L, Cooks R G, Ouyang Z. Breaking the pumping speed barrier in mass spectrometry: discontinuous atmospheric pressure interface. Analytical Chemistry, 2008, 80(11):4026-32.Hendricks P I, Dalgleish J K, Shelley J T, et al. Autonomous in situ analysis and real-time chemical detection using a backpack miniature mass spectrometer: concept, instrumentation development, and performance. Analytical Chemistry, 2014, 86(6):2900-8.Li L, Chen T C, Ren Y, et al. Mini 12, Miniature Mass Spectrometer for Clinicaland Other Applications—Introduction and Characterization. Analytical Chemistry, 2014, 86(6):2909.Ma Q, Bai H, Li W, et al. 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产品概述 EXPEC 3500（规格：M）双通道移动式气相色谱质谱联用仪是一款对现场挥发性有机物进行快速定性定量分析的移动设备，该设备采用独特的膜进样技术，实现了不分流进样，缩短采样时间的同时提高了灵敏度。产品具有直接质谱进样和气质联用两种工作模式，质谱直接进样模式下可以实现秒级响应、快速定性，气质联用模式下可以实现对未知化合物的准确定性定量分析。 产品特点操作便捷设备一体化，现场无需气电组装，一键启用。手持式平板控制，方法预置，向导式操作，数据直读。续航持久供电：支持市电及电池供电，可随时切换，主机内置电池续航时间大于7h。供气：采用定制储罐供气，可反复灌充使用，经济安全可靠。专业设计采用创新的膜进样技术，直接质谱进样模式和气质联用模式一键切换，随时应对现场挑战。进样方式涵盖吸附管、定量环、直接质谱进样等，样品浓度检测动态范围广，检出限可达ppt量级。智能软件可通过无线网络远程监控仪器，实现无人值守，连续监测，监测结果直接上传至服务器平台，结合GIS地图功能，实现三维可视化VOC浓度趋势图展示。 应用领域应急监测快速响应准确定量，第一时间掌握现场情况，辅助科学决策走航监测对区域、园区、背景区域等开展常规走航任务，全面、快速、精准诊断各区域污染状况室内监测搭配专用携运车，快速进入检测场所，开展室内空气质量检测工作定点监测可通过无线网络远程监控仪器，获得现场数据，即时上传结果。

配备专利ASSP功能的高速扫描技术-快速分析快至10,000amu/sec的扫描速度完全满足快速GCMS分析的要求。对于成分复杂的诸如香精香料、石油化工、生物能源等行业，能够快速获得样品中各组分的质谱信息及含量，有效缩短分析时间，提高实验通量。同时配备专利ASSP功能，最大程度地减小高速扫描时灵敏度和质谱图正确性下降的问题，获得更为精确、灵敏的数据。（专利：US6610979）ASSP技术提高Scan/SIM同时分析性能FASST 方式(Fast Automated Scan/SIM Type)，是实现SCAN数据和SIM数据同时采集的技术。在GCMS-QP2010 SE 的FASST方式中，专利ASSP技术改进了上述功能，SCAN模式时在更短的时间内即可获得正确的质谱图， SIM模式时将Dwell时间缩短至以往的1/5(最短1ms)，以监测更多的SIM通道，从而获得更高灵敏度。前开式离子源门-维护简便岛津一直倡导这种独特的设计理念，方便用户清洗维护离子源及换源等工作，不用拆开复杂的真空部分。GCMSsolution上的质谱导航功能（MS NAVIGATOR）演示如何维护离子源， 灯丝， 色谱柱和进样口等。另外，教学光盘帮助用户快速掌握质谱技术。直接进样分析气相色谱工作温度下不能气化、热不稳定的液体或固体样品可以用直接进样杆将样品直接导入质谱进行分析。直接进样技术满足用户对纯样品或者对HPLC收集馏分等进行快速鉴定的需要。丰富的样品导入系统AOC-5000提供了SPME，顶空和液体自动进样功能.吹扫捕集系统适于分析水中可挥发性的有机物。高温裂解的PY-GCMS系统应用于不挥发样品，如获得聚合物和添加剂等组成的更多信息。系统化解决方案--分析方法包（环境中VOC和SVOC分析，食品中农药残留分析） 执行美国国家环保局环境EPA分析方法和中国新饮用水国家标准方法中对饮用水中VOC和SVOC分析的要求，可以选择分析方法包，满足VOC和SVOC分析的数据采集，校准，化合物鉴定和数据报告等。另有农药残留等分析的方法包供食品安全和环境保护等分析领域的多成分同时定性定量分析的需求。生活饮用水标准检验方法(GB/T 5750.8-2006)附录A中对应的VOC成分分析Easy sTop 大幅缩短装置的维护时间在GCMS中维护频率较高的部分是进样口的衬管、隔垫。GCMS-QP2010 SE的Easy sTop功能使仪器在维护时无需停止真空泵，在软件的导航下完成进样口维护，最大限度地减少仪器的停机时间。生态环境友好-降低实验室的运行成本和环境负荷系统的生态运行模式（Eco mode）可以减少仪器待机时电能和载气不必要的消耗。使用该模式可以使GCMS-QP2010 SE待机状态时电能消耗减少40%，载气消耗减少60%。连续分析后仪器可自动进入生态运行模式（Eco mode）。

力可公司推出下一代高分辨飞行时间质谱。此系统采用力可多反射通道技术 Folded Flight Path&trade (FFP&trade ) ，提供200张全扫谱图/秒的高速率数据采集，全质量范围内50,000的质量分辨率，及ppb级质量精度。105-6的动态线性范围。无多余选择性组件，保证质谱图高匹配率。无需连续质量校正，外标法3天校正一次，保证亚ppm级质量准确度。非传统飞行管设计，无温控问题。 &ldquo 新一代Pegasus GC-HRT，其特点是突破了传统GC-TOF的技术禁锢&rdquo 美国力可公司分离科学产品经理 Lucas Smith介绍道， &ldquo 目前市场上的产品所提供技术鱼和熊掌不可兼得：高采集速率模式下就丧失分辨率，高分辨分析时就无法提高采集速率。届此，力可公司很荣兴的为广大客户提供划时代的完美解决方案，在速度、分辨率、质量精度、动态范围的核心指标上实现无妥协的高性能。力可新一代飞行时间质谱突破了&ldquo 飞行管&rdquo 式的质谱设计模式。在多重反射&ldquo 飞行箱&rdquo 内实现多级反射，飞行距离达到64米，分辨率50,000。与传统飞行时间质谱管1-2米的设计相比，极大的提高了质谱仪真实分辨能力，真正意义上实现&ldquo 飞行时间&rdquo 的高分辨。同时，无网栅的反射技术保证了多重反射的离子通过率在80%以上，多重聚焦技术保证了离子束紧凑无扩散，突破了多反射技术瓶颈。此仪器第一台商业化的新一代飞行时间质谱技术。其全质量轴质量准确度在100ppb，因形态非&ldquo 管式&rdquo ，体积小巧，温控容易，无热胀冷缩问题，对环境要求不高。用户可以在三种分辨率模式下自由选择，可以选择三种校正模式（外标法，内标连续校正法，拟外标法）。同时此质谱保持了力可高通量的传统特性，采集速率达到200张全谱图/秒。不但可以使用快速气相方法、全二维气相方法，还可以利用丰富数据信息做力可的保真解卷积、自动峰识别等功能，大大提高定性峰数及定性可靠性。关键一点是，高分辨、高质谱精度、高采集速率之间相互无干扰无妥协！这是绝无仅有的技术突破！此台气相色谱飞行时间质谱以保证标准GCMS谱库谱图质谱为第一要务，减去光学透镜、轨道、四极杆等辅件，损失部份可实现的更高分辨率，换取高质量质谱图，保证了最佳的谱库匹配率。

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

产品概述MS-200便携式飞行时间质谱仪用于现场快速检测气态样品中的VOCs，通过双膜进样系统直接取样，而无需对样品进行分离、预浓缩。仪器采用聚环式飞行时间质谱分析技术，有效提高仪器灵敏度。采用经典的EI离子源，能与现今认证于实验室的NIST质谱数据库无缝对接，结合仪器自带的混合物自动分析软件，可对浓度范围从ppb至百分比(％)的多种气体组分进行快速定性定量分析。内置电池驱动，能维持长时间高频操作（6小时），实现了从实验室到现场的快速监测。应用范围应急监测，快速锁定污染排放源；环境检测，如垃圾填埋场的VOCs排放检测、环境空气VOC检测、室内空气VOCs检测等；泄漏检测，如加油站、化工园区等；火灾和犯罪现场检测。产品特点体积小，集成度高，不需钢瓶气等载气；便携式设计，实验室、车载随时测量；电池驱动，可维持长时间高频操作，保证现场监测的机动；开机3～5min预热，预热速度快；采样管直接进样，无需连接GC系统，节省分析时间；对ppm级到百分比(%)浓度的样品10s内即可分析出结果，对ppb级的样品通过膜浓缩也能在1min内完成；时间分辨率高，在应急监测等应用中不会漏掉重要信息。

产品概述　　Mars-400 Plus便携式气相色谱-质谱联用仪（Gas Chromatography-Mass Spectrometry, GC-MS）是一款使用内置的电池和载气，由单人携带操作，能在环境恶劣的事故现场进行准确定性定量分析的分析仪器。该仪器将低热容气相色谱技术与离子阱质谱技术有机结合，充分发挥了快速气相色谱法的分析速度快，分离效率高和质谱法定性能力强、检测灵敏度高的优势，能够及时快速地对事故现场的有机污染物进行准确定性和定量检测，主要应用于环境空气、水体、土壤和固体废弃物中挥发性和部分半挥发性有机物的现场分析。产品特点　　现场分析对仪器的综合性能提出了苛刻的要求。作为一款先进的便携式GC-MS，Mars-400 Plus 不仅稳定可靠，环境适应性强，而且其在分析速度、检测灵敏度、样品引入方式、可携带性等方面具有显著的技术优势：　　分析速度快：采用了快速气相色谱技术和离子阱质谱高速扫描模式相结合的方式，使分析周期缩短到常规色谱的20%以下，从而使分析效率较之常规气相色谱技术有了5 倍以上的提高；　　检测灵敏度高：采用三维离子阱作为Mars-400 Plus 的质量分析器，并开发了一种专利的脉冲式内离子源技术，提高了系统对低浓度组分的响应，满足现场对于痕量样品的高灵敏度检测要求；　　测量手段灵活：仪器内置分流进样口，并配置气体采样探头、顶空进样系统，实现气、液、固三种形态的环境样品检测。手持气体采样探头用于现场气体样品的采样；顶空进样系统用于现场水体、土壤中挥发性有机物分析，具有静态顶空和动态吹扫两种采样模式；通过分流进样口可以实现固相微萃取（SPME）进样或直接微量液体进样，SPME 进样可用于水体、溶解固体样品中挥发性和半挥发性有机物采样与进样，能够富集目标物质，去除基质干扰，有效提高检测灵敏度；使用微量注射器可以对有机溶剂进行直接进样分析；使用气体密封注射器能够对污染源排放的高浓度VOCs直接进样分析，快速获得分析结果；　　便携性能优异：仪器通过集成技术研究、整机小型化和抗震设计，使仪器主机的重量小于19 kg，能通过单人随身携带第一时间抵达事故现场；　　操作简便：仪器的分析软件将样品分析流程中的基本操作转化为智能化“向导式”操作模式，采用图形化操作界面，使用触摸液晶屏进行人机交互，降低了现场操作的复杂度。丰富的前处理设备和样品引入配件典型用户　　环境监测站、石油石化公司、安监局、疾控中心（CDC）、防化院典型应用点　　环境监测、石油化工、职业健康、公安刑侦、防化反恐产品获奖BCEIA金奖 自主创新金奖2010科学仪器优秀新产品中国创新设计红星奖荣誉证书

平台介绍：质谱流式的超高检测通道数量的优势在组织成像研究中最大化，其性能远远超越了传统的免疫组化或者免疫荧光技术。质谱流式系统的检测通道多达135个，目前单次检测即可获得组织切片样本上4-37种蛋白标记物的图像数据，充分满足研究人员未来不断增长的实验需求；并在最大限度上利用单个样本进行数据采集和分析，非常适用于珍贵的稀有样本；更重要的是，该方法有效地避免了因连续切片造成的样本间差异以及由于连续染色造成的数据间差异；此外，通过保留组织结构和细胞形态学信息，研究人员可以在组织微环境下从亚细胞水平获得全新的研究视角。平台优势:传统免疫组化质谱免疫组化通道最多10色拥有135个通道，目前最多可同时检测37个抗体串色荧光串色严重，信号相互叠加，染料灵敏度及浓度直接影响图像真实性通过质谱收集金属离子转换为图像信号，信号精准不重叠，真实可靠背景有些组织内含有内源性过氧化物酶，有些组织存在自发荧光，两种情况都引起高背景金属螯合物与细胞组分的非特异性结合极低，作为标记的镧系金属元素，在细胞中的含量基本为零，背景极低染色流程目前两种方法：一种是每张切片染3色，制作多张切片染色；另一种是一次染3色，然后洗掉，再染3色，然后洗掉再染，反复操作每张切片最多可结合37个抗体，同时染色，仅需一张切片，节约样品，节省时间应用领域：1. 肿瘤微环境相关因子检测2. 机体免疫功能检测3. 细胞信号通路相关因子检测4. ......我们的优势：1. 提供从Panel设计到数据分析的质谱成像应用完整解决方案2. 优质的项目服务，成熟的实验流程，严格的质控管理服务流程：销售与老师进行沟通，明确需求 销售与技术部门沟通，出具方案 签署合同 收取样品 检查切片细胞情况 扫描分析并出具报告

普适智能，岂止于小：小型质谱分析系统是实现了质谱小型化与多种原位电离技术联用地创新质谱产品，产品拥有非连续大气压接口技术，真正将质谱仪小型化变为现实，采用小型抗震动真空系统抽速达到3m³/h+67L/s，为质谱性能提供优良的分析环境，精准可靠的线性离子阱质量分析系统提供了3个数量级的高动态范围和多级串联质谱（MSn）测量能力，强劲的射频系统则极大拓展了小型质谱的质量测量范围，可达100-800 Da。产品项目产品参数1工作环境要求运行温度：0~40℃；贮藏温度：-20~80℃，运行湿度：≤80%；2电源要求220VAC，50Hz；24VDC输出蓄电池3空间要求220VA仪器重量≤25kg，体积50cm×30cm×40cm4操作系统 Windows平板电脑5离子源 纳喷雾离子源，可结合多种原位电离技术6质谱接口 敞开式大气压接口7质量分析器 ALIT 线性离子阱8测控系统 结合上位机下发命令协同控制硬件电气参数8路反馈DA设置范围可达0~200VDC9射频系统 宽温高频，最高可达1MHz10检测器 低压稳定的通道式电子倍增器，0-2kV11真空系统3.5立方米/小时前级干泵；67L/s高抽速涡轮分子泵，采用悬浮轴体可轻微抗震；12进样方式低压非连续进样技术，可结合进样管升温提高去除溶剂效果

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。【产品描述】ProMass分析仪是一款结构紧凑、设计坚固的半便携式四极杆质谱（QMS）仪器，融合了所有的质谱仪和真空泵技术。ProMass可提供便携式手提箱或6U 19″ 机架模块，用于在线过程测量。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。质谱仪通过收集和分析测量样品中分子的质荷比，我们可以根据质谱信息识别和量化存在的分子。ProMass分析仪中的 QMS 包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu、0-200amu或0-300amu的可变质量范围，适用于便携式或固定式安装。【典型应用】l 半导体生产过程；l 环境空气监测；l 泄漏测试；l 食品行业质量测试；l 氢(H2)燃料分析 l 制氢工艺；l 环境空气监测 l BTEX 量化 l 乙烯和环氧乙烷生产 l 呼吸分析；l 天然气混合及大量天然气生产。 【特 点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

二手质谱AB Sciex API 3000三重四极杆液质联用仪二手质谱AB Sciex API 3000三重四极杆液质联用仪AB Sciex3000/二手质谱AB Sciex API 3000产品详细描述常规配置清单：AB Sciex API 30001.ESI Source / APCI Source3.Vacuum Pumps4.Computer5.Analyst SoftwareAB Sciex3000/二手质谱AB Sciex API 3000功能/应用范围：LC/MS/MS系统为您提供你所期望的优良性能 新型API3000 LC/MS/MS系统具有高的敏度、选择性、重现性，在蛋白与肽Y物代谢机理及动力学研究等方面，都可提供稳定、靠谱的结果。● 高敏度――新的离子光学及真空技术确了化合物检测的低检测限与低定量限。 ● 串联质谱性能――LINAC技术去除了传统串联质谱仪的“记忆效应”问题，在保高敏度与高质量的质谱图的前堤下，具有快的扫描速度。 ● 快建立分析方法实现高通量分析――自动优化离子源参数和质谱仪参数，建立分析方法快，每天可分析上百个样品。● 经用性与靠谱性好――质谱工业的标准设计：经用的离子源与接口技术提供了优良的靠谱性。LINAC技术保MS/MS 强性能线性加速（LINAC）高压碰撞室技术提了大部分MS/MS方式的敏度，使离子到达检测器的传输效率比较大，大大提了串联质谱的性能。● 增加结果的可靠性――LINAC技术可有防MRM实验中产生记忆效应。 ● 分析可定量多的化合物――LINAC技术允许在MRM实验中减少测量驻留时间而不降敏度。 工艺设计精良，确分析结果准确度与精密度高 经改进的四极杆技术可进行为稳定的质量数校正，提供佳性能。 ● 改进离子化技术――TurboIonSpray和APCI技术在很宽的流动相流速及组成范围内保持佳性能，离子接收面（Sweet spot）大，大大简化了离子源的优化过程。 ● 同时获取MS、MS/MS数据――制造精良的硬件和Analyst软件使得“混合扫描方式”（把扫描方式串联在一起）成为可能，进样，同时获得丰富的信息。AB Sciex3000/二手质谱AB Sciex API 3000配置描述：● 配置TurbolonSpray和APCI两种离子源 ● 流速范围分别为2--1000ul/min和0.2--2.0ml/min 离子光学和四极杆质量分析器 ● 碰撞聚焦四极杆Q0保离子的大传输率 ● 线性加速碰撞LINAC技术可消记忆效应，提敏度 检测系统 ● 脉冲计数检测器可快进行正/负离子检测方式切换 ● 动态范围：1—4E6cps 真空系统● 两级涡轮分子泵，空气冷却，不用维护● 断电后自动关闭系统 数据处理和控制系统● 快速进行交替MS和CID/MS扫描● 可自动进行数据实时和后处理 UV输入和LC控制● 可控制不同厂家的9种LC泵，注射泵自动进样器● 可控制UV，荧光和ECD等检测器，与质谱仪同时采集数据 【谱质分析检测技术（上海）有限公司】谱质分析检测技术（上海）有限公司是位于国内二手分析仪器行业领头狮，二手分析仪器租赁，公司由原厂致力于产品研发的工程师、为客户提供技术支持与销售服务的市场人员和商业 人士组成。在国内二手分析仪器领域不断为用户提供着世界上主流仪器 与服务。 专注于生物、化学、 环境、农残、第三方检测、实验室等行业分析仪器。主要从事 品牌安捷伦、Waters、岛津、PE、Thermo赛默飞、热电等二手色谱、质谱和光谱等设备的翻新、销售和售后。 提供多种分析仪器，包括：液相色谱仪、气相色谱仪、单四级杆质谱仪、三重四级杆质谱仪、离子肼质谱仪、飞行时间质谱仪、液质联用仪、气质联用仪、原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、生命科学仪器、核磁共振波谱仪、色谱耗材配件、顶空进样器、气相色谱/质谱仪、液相色谱/质谱仪等分析仪器，以及Q/TOF、TSQ、LCT、ICP/MS、GC/MS等联用仪。 经营品牌有Agilent（安捷伦）、Waters（沃特世）、Thermo（赛默飞）、AB sciex、Perkin Elmer（珀金埃尔默）、Dionex（戴安）、SHIMADZU（岛津）等品牌仪器，力求达到您的不同需求。关于谱质的服务： 1.仪器经过工程师维修测试，具备可以与新机相的性能状态，使您的科学实验流畅运行！ 2.二手仪器价格让您不为实验室建设资费不足而烦恼，节省出的经费则可以投入重要的实验项目！ 3.原厂的售后技术服务标准为您解决后顾之忧，团队为您的仪器提供长期维修支持！ 4. 仪器库存，无论是液相色谱、气相色谱、液质联用、气质联用以及仪器的维修配件，均能现货供应！【谱质分析检测技术（上海）有限公司】联系人：李先生联系地址：上海市嘉定区金园四路501号东锦国际大厦14F