质谱分子泵

本来我们是把质谱放在桌子上，两个前级泵放在桌子底下的地面上。 现在要换一个新的实验室，可以安装质谱的地方被一个没法移除的矮柜子占了，只能买个大桌子完全覆盖在上面。但是这样一来质谱和两个前级泵就得并排放在这个桌子上，请问前级泵运行时造成的振动会损坏质谱或者质谱的分子泵么？

一台热电Trace1300 的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵坏了，坏的过程经历几个阶段，请大神解疑答惑。1. 第一次是做样分析的时候，质谱端Vacuum灯一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵均停止了工作。然后我把质谱端电源断开后再通电，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，真空度一会就达到60mtor。2. 正常工作一个星期左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵再次停止了工作。这次我放空关机后，把机械泵泵油更换新的，换下来的泵油也就一点点黄。然后再正常开机，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，抽完真空后，真空度也达到约60mtor。3.正常工作约2天左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵还是停止了工作。这次没辙了，也不敢再断电重启MS，直接关机待修了。呼唤厂家工程师上门。昨天开机后，机械泵启动几分钟后停止工作，分子涡轮泵一直不工作了。请问，这个分子涡轮泵故障的原因有哪些？换一个新的要10多万大洋[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09509.gif[/img]急急急！

仪器型号 岛津QP2020 分子泵型号nEXT200/200D一开始是仪器报错 分子涡轮泵无法达到所需要的真空度，于是找了第三方维修。然后第三方维修人员说控制器坏了于是又换了一个控制器。现在维修好的泵已经装上机了但是出现了新的问题，测试分子涡轮泵的供电是24v没问题，泵上的灯也是亮的，但是在软件界面点击启动泵始终没有反应，像是接收不到负责启动的信号，又换了一个接收器还是这样。想问问一般的分子涡轮泵和质谱之间需要有什么特殊的协议让他识别吗，还是需要给分子涡轮泵的主板写一个特殊的程序，又或者是仍存在其他问题？

请问正常Ms的涡轮分子泵配置是66L 小泵还是 300L大泵 有什么区别？我主要应用在高分子材料定性上，还有少量入场检测

分子泵抽真到10-5关掉后腔体真空度下降，这种情况不正常吧？质谱仪没检出来有漏的地方

2、压缩比　　涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr（13.33 μPa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1×10- 10 Torr（13.33 nPa），由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。?　　涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 μPa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使最灵敏的质谱仪也难以测出。

实验室设备分子泵，质谱仪设备分子泵，半导体分子泵，等各行业分子泵维修保养（莱宝，爱德华，普发，大阪，安捷伦（瓦里安），阿尔卡特，岛津，爱发科）等各进口品牌，欢迎咨询讨论交流[img=,690,690]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211191059586155_2540_5579689_3.png[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211191059585261_2058_5579689_3.png[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211191059589505_3788_5579689_3.png[/img][img=,690,1227]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211191059595232_554_5579689_3.png[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211191059596923_4766_5579689_3.png[/img]

光谱仪也有分子泵？

[b]仪器信息网讯[/b] 2011年，科技部、财政部启动“国家重大科学仪器设备开发专项” 2016年4月，首个综合验收项目——《高精度四极质量分析器的工程化研制与应用》项目(以下简称《四极质量分析器研制与应用》项目)在京验收通过(详细报道见：[url=http://www.instrument.com.cn/news/20160427/189755.shtml]中国工程物理研究院实现高精度四极质量分析器工程化研制[/url])。仪器信息网编辑在项目验收评审会了解到，项目组为四极质量分析器研制与应用成功研发了零部件专用加工、装配、测量、测试装备与装置，形成了工艺、工程化图纸和质量与可靠性保障方案，已经具备了批量化制造能力。2016年5月，仪器信息网编辑特别走进中国工程物理研究院机械制造工艺研究所(简称：中物院机械制造工艺研究所)，就四极质量分析器的“批量化制造”一探究竟，中物院机械制造工艺研究所所长王宝瑞等接待了仪器信息网编辑一行。同时，仪器信息网带回中物院承担的其他二项“国家重大科学仪器设备开发专项”的最新进展——《高速小型复合分子泵的开发和应用》、《高精度惯性仪表校准检测装置研制及应用》。[align=center][img=,400,292]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/e86e8105-839f-4d63-8d4c-305fab99c91e.jpg[/img][/align][align=center]中物院机械制造工艺研究所所长王宝瑞[/align][align=center]　　[b]中国50多年未能实现工业化生产“四极质量分析器”[/b][/align]　　四极质谱历史可追溯到20世纪50年代，1953年Paul申请四极质量分析器的德国专利，并在50年代完成四极质量分析器的大部分奠基工作 1965年德国Varian MAT生产第一台商业四极质量分析器质谱计，60年代末过渡到商业生产阶段。今天，四极质量分析器已被用于多种科学仪器，如三重四极质量分析器质谱仪、四极线性离子阱以及包含四极质量分析器离子导引各种串联质谱仪等。这些仪器已被广泛应用于对化学和生物成分的质量分析，环境保护，食品安全等领域。　　我国曾经是世界较早研制四极质量分析器质谱计的国家之一，60年代初南京工学院曾研制四极质谱探漏仪，1965年北京分析仪器厂与清华大学合作研制出ZHL-01型四极质量分析器质谱计。在随后的几十年，我国质谱人员一直致力于该仪器研发 但是，直到今天，每年在中国市场出售的国产四极质量分析器质谱仪远低于100台。　　从公开文献看到：“我国几乎所有的传统的金属切削机床都无法把陶瓷件加工成超精密复杂形状的零件，̷ ̷ 我们分几批次在不同的生产单位分别试制了10余件陶瓷轴承，̷ ̷ 试制的四极质量分析器轴承件4个定位孔的形位公差也在0.20mm左右，而实际要求公差在0.003mm以内，̷ ̷ 我们认为国内现有条件下，要求机械加工能保证四极质量分析器组件的精度不太现实，只能采用其它方法达到其精度要求。” 北京某仪器公司的研究人员也尝试采用“基于慢走丝切割技术的双曲面四极质量分析器加工方法”，金属杆整体先固定在陶瓷环上，再进行慢走丝加工，试图避开陶瓷环加工难题，但结果并不理想。我们也注意到，国产四极质量分析器质谱仪在国内已经开始销售多年，但是其核心部件——四极质量分析器基本全赖于进口。这也是制约国内国产四极质谱仪发展的重要原因之一。为了解决该类仪器“空心化”问题，在2011年，《高精度四极质量分析器的工程化研制与应用项目》列入“国家重大科学仪器设备开发专项”。　　四极质量分析器组件从纯机械结构上可以分为两个部分，四根极杆、两个陶瓷极座。极杆从形状上可以区分为圆杆和双曲面杆 从极杆材料上分为金属、陶瓷。就圆杆而言，对于GCMS通常所需的5微米以下的加工精度，现有中国加工精度完全能满足需求 对于[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]LCMS[/color][/url]所需2微米以下的精度要求，则是有点困难了。部分仪器企业委托生产极杆的企业虽然可以满足四极质量分析器中的金属圆杆加工精度要求，加工个把不是问题，但要批量达到这个要求，则需要人机的完美结合。据了解，双曲面极杆最先被使用，但是存在加工费用高昂的问题，后来逐渐被圆杆取得了主流位置。对于类似[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]LCMS[/color][/url]使用的高性能四极质量分析器，通常需要采用陶瓷、石英等高硬度、低膨胀的材料，不锈钢、钼等高性能合金已经无法满足要求。陶瓷、石英等高硬度材料的精密加工也是一个难题。据某些人士自行测量，Sciex公司部分产品四极质量分析器总体精度大约在0.6微米~1.5微米之间。四极质量分析器质谱计的质量范围和最大分辨率是最基本的两个参数，这两个参数与五个基本参数相关：极杆长度、极杆上最大供给电压、四极场半径、射频电压的频率和离子入射能量,四极质量分析器组件的精度可以说是在其中起决定性作用。虽然单根金属极杆加工难度不高，但是其加工的成品率是个问题 陶瓷极杆的加工、陶瓷座的加工要实现相匹配的精度，也是个难题 再者将极杆、陶瓷座装配到3微米的综合精度，并且满足不同用户环境下的使用要求，这个更是个难题。[align=center][b]　　突破陶瓷加工工艺、组件装配工艺，实现“四极质量分析器”中国制造[/b][/align]　　走进中物院机械制造工艺研究所，看见了排列整齐、型号众多的四极质量分析器组件样品：普通金属、钼金属镀金、陶瓷镀金四极质量分析器组件(圆杆)，当然也少不了当今热门的金属双曲面四极质量分析器。让人瞠目的，是按序排列的生产线、装配线、测试线，特别是走近一台台自主研发的专用机床设备，其中包括超精密车磨一体复合金刚石机床，实现金属杆磨削、陶瓷杆磨削、陶瓷镀金杆镀层车削等功能，该机床采用的自主研发静压主轴具有0.05微米的回转精度，加工的极杆圆度可达0.2微米-0.4微米，圆柱度小于1微米(150mm长度)。[align=center][img=,600,382]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/9022d7c9-c5cf-4a46-9402-d01fdb49dc68.jpg[/img][/align][align=center]　　超精密车磨一体复合金刚石机床[/align][align=center][img=,600,451]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/755f6d90-c8b5-4342-918c-990cd1812530.jpg[/img][/align][align=center]　　陶瓷环加工专用机床[/align]　　项目组介绍了围绕四极质量分析器研发和制造取得的成果，其中包括研制的四极质量分析器零件各类专用精密加工机床、测量测试等装置 攻克了陶瓷镀金极杆导电镀复层的制备、超精密加工及精密电镀金等关键制造技术难题，成功研制出高精度陶瓷镀金极杆 研发了金属双曲面极杆的制造工艺 以表面镀金技术和工艺，提高了钼极杆抗氧化污染能力。项目规范定型了加工工艺，最终形成了高精度、系列化、批量化零件制造能力。产品通过比对测试和异地测试，各项性能优异，得到用户的好评和信赖。同时，中物院机械制造工艺研究所建立了完整的四极质量分析器组件测试线。目前，已经销售了上百套四极质量分析器分析器，并实现了出口。[align=center][img=,600,284]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/e0eb6ada-1f7a-4583-af69-480c203e6b82.jpg[/img][/align][align=center]　　部分四极质量分析器加工、装配、测量测试装置[/align][align=center]　　[b]“8000小时MTBF摸底试验”试问几家有?[/b][/align]　　中物院机械制造工艺研究所同时也是“国家重大科学仪器设备开发专项”——《高速小型复合分子泵的开发和应用》项目(以下简称：分子泵项目)的承担单位，中物院机械制造工艺研究所所长王宝瑞介绍到，分子泵项目预计将于今年完成验收，目前正处于可靠性试验期间。走进分子泵生产车间，在“复合分子泵可靠性摸底试验”的大横幅下，“一”字排开3个型号12台正高速运转的立式涡轮分子泵 当然也少不了看看各种高、大、上的机床等加工设备，以及整齐的流水装配线。分子泵项目组介绍到，这是为了满足“国家重大科学仪器专项”有关可靠性指南的规定，正在进行复合分子泵可靠性指标平均无故障间隔时间(MTBF)为8000小时的摸底试验，排列的分子泵24小时不停机运行。王宝瑞介绍到，基于重仪专项可靠性指南的要求，项目组在设计研发、原材料选择、制造加工等环节均引入“可靠性”概念，并分别进行了分子泵的大气冲击、振动、温湿度、高海拔等环境可靠性试验验证。为了保证顺利通过重仪专项可靠性指南相关要求，用流水装配线生产的产品进行整机MTBF8000小时的可靠性摸底试验，三种分子泵样机已经顺利通过第三方性能测试，抽速、压缩比、极限压强等指标接近国外先进水平。分子泵额定转速为72000转/分钟，最高转速可达90000转/分钟。[align=center][img=,600,337]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/17edb0e3-d6de-4f13-8aa6-bab81e27e72e.jpg[/img][/align][align=center]　　分子泵可靠性测试现场图[/align][align=center][img=,600,400]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/1130fa0b-9932-4c5d-bf4a-ad0511e108e3.jpg[/img][/align][align=center]　　分子泵装配线图[/align][align=center][b]　　强大系统工程能力打造世界最“稳”的离心机之一[/b][/align]　　走访中物院过程中，我们也了解到，中物院承担了多项“国家重大科学仪器设备开发专项”，中物院总体工程研究所(以下简称中物院总体所)承担的《高精度惯性仪表校准检测装置研制及应用》项目(以下简称：惯性校准项目)将于今年年底验收。高精度惯性仪表校准装置的名字比较晦涩，对非惯性仪器仪表领域的人来说 但如果说这是一台高精度水平离心机，这就比较好理解了。高精度惯性导航在航空航天、国防科技、测绘导航等领域应用广泛，高精度惯性仪表校准检测装置是高精度惯性导航仪表的关键检测校准设备，惯性校准项目于2011年启动。惯性校准项目核心指标为最大载荷10kg、相对标准不确定度10-6、稳态线加速度100g，这是一个比肩世界最高水平的精密离心机研制项目。　　作为我国科学试验用离心机研制的龙头单位， 中物院总体所同步于欧美于1960年代的时候开始大型离心机研制工作，至今已研制交付各类离心机四十余台 正在承担的离心机设计开发项目包括：国内容量最大的土工离心机、国内指标最先进的振动复合例行试验机、国内精度最高的精密离心机以及国内首台自主研制的高性能载人离心机等。总体所生产的离心机为我国多个型号战略、战术武器及战机部组件检测、定型提供了试验平台 为我国多个水利、交通工程建设提供工程设计验证平台。上世纪90年代，总体所已经研制多台加速度相对不确定度为1×10-3的精密离心机。在惯性校准项目进行中，于2014年向重庆某用户单位交付加速度相对不确定度为10-4量级的精密离心机，经过长时间使用，用户反馈非常满意 到2016年5月，已经有4台类似设备交付用户，产生了良好的经济效益。[align=center][img=,600,201]http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/568c9cf6-cc40-4b15-a343-20c7ce417397.jpg[/img][/align][align=center][b]　　高精度惯性仪表校准检测装置[/b][/align]　　站在离心机主机面前，就一个感觉“大”。为了提供100g的加速度，离心机转盘直径达2.2m，由双向大承载高精度空气轴承支撑，仅主机机械系统就重达7吨。为了实现加速度相对标准不确定度10-6的指标，离心机运转时，主轴回转误差必须控制在0.5微米以内，每圈时间差仅为1纳秒。站在离心机旁边，听着项目组成员详细介绍如何把10-6这个指标分解为20多个影响因素进行了系统的研究分析，如，设备自身的制造、安装、测量误差，地球引力、地脉动，空气温度、湿度，甚至月球引力、天体运行等影响参数相互关系等。其实，笔者这时候正站在高精度惯性仪表校准检测装置上面——安装离心机的、直径16米、重达1800吨的基座上 而1800吨的基座由几十组隔振器从横向和纵向两个方向进行支撑 这一切，只是因为无人行走地面的稳定性大约在10-5g左右，运行的离心机必须比地面更稳。项目组介绍，随项目的不断推进，在精密电机、轴承、精密测量系统、微震动隔震系统以及工艺、材料、装配方面取得了大量成果，并已经产生1亿多产值。项目组介绍到，经过近1年的安装、测试，高精度惯性仪表校准检测装置各项指标均满足项目要求，填补了我国大量程高精度惯性导航仪表设备检测校准的科学仪器领域空白，已经准备好了迎接年底的国家验收。　　三项国家重大科学仪器设备开发专项，综合考验中物院在超精密加工方面的硬实力，考察了其踏实认真的工作作风，复杂系统工程组织、实施的能力，期待尽早听见分子泵项目和惯性校准项目通过科技部综合验收的消息。科技部资源配置与管理司吴学梯副司长在《四极质量分析器研制与应用》项目验收评审会上表示：希望项目组作为科学仪器核心部件的研制方，要加强与国内外质谱仪器研制单位和生产企业紧密合作，不断提高相关产品的核心竞争力。此外，也希望国内研制和生产质谱仪器的单位和企业，要有使命感和责任感，齐心协力，支持国内质谱部件生产商不断完善和提高产品性能，共同为国产质谱研制事业贡献力量。为此，中物院正在筹备建立相关的产业化团队，尽快实现项目成果的产业转化。随着四极杆中国制造的实现，相信一定有优秀的国产质谱企业站出来，进一步解决四极杆高精度射频电路等方面的难题，展现出企业优异的系统集成能力，为用户提供优秀的国产四极杆质谱仪。

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 关掉分子泵，进行排气。从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等拆掉润滑的油包将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。拿出分子泵。将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。[color=#DC143C][size=4]以上内容来自网络，质谱工程师不建议自己对分子涡轮泵进行维护，工程师说他们只负责拆装，也不做维护，都是发回厂家维护的。[/size][/color]

我单位的气质联用质谱配的机械真空泵是德国普发，型号是DUO 2.5。现在发现真空泵启动不了，经检查发现电机上的电容器可能损坏，想配一个相同型号的电容器。但电容器上的字体什么的都看不清了，也不知道是哪个牌子的电容器。问了几家普发真空泵的代理商说不提供零部件，要么换泵要么寄给他们维修。所以想求教大家有没知道这个电容器哪里买得到或者国内其他替代的电容器。

工作太多了太忙了，大概有一个星期没去伺候[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用[/color][/url]，今天去看它时，它发脾气了，六万元钱死在我手里了，不吃不喝也得干一年半呢！叫我怎么忍心过这个年哪，叫我最最亲爱的领导怎么受得了这样的打击呀。我太对不起领导了。分子涡轮泵只能换不能修的吗！

安捷伦[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]液质[/color][/url]6120重新开机分子涡轮泵启动了一会儿后speed 后power就一直往下降，氮气和粗真空泵，提前半小时就开了的，没有问题[img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031560266_6913_5045341_3.png[/img][img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031566260_1086_5045341_3.png[/img][img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031568283_9750_5045341_3.png[/img][img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031570541_3583_5045341_3.png[/img]

只知道岛津GCMS用的涡轮分子泵的设计使用寿命是25000h，其它公司的呢？

[color=#444444]一个分子结构式是R2C=CR2，R中的杂原子有两个个N和一个O.高度对称的分子，理论分子量在916，可是质谱（ESI 和 Maldi-TOF)都没有做出分子离子峰，请问各位大虾有什么高见？是不是高度对称的分子不容易出峰？有相关文献吗？[/color]

[color=#444444]想用质谱测定一个小分子的分子量，该物质在水、甲醇中不溶解，而在乙腈中溶解度不是太大。。。。想问一下像这种在溶剂中溶解性不太好的物质，测分子量时有没有影响？？？或者说质谱测定分子量时，对被测物在溶剂中的溶解度有没有要求？[/color]

真空系统中，关泵时，头晕了一下，先关了机械泵，过了一会反应过来关错了，然后又开机械泵了，再按正常的步骤关了设备，结果再抽的时候，机械泵抽不出 好想是漏气似的，检查来检查去实在是不知道那里漏气。 机械泵是好的，分子泵会不会出问题？那地方会出问题呢？ 我也不太懂，是新设备上的。就是机械泵连在分子泵上。如果分子泵不开，机械泵抽一会，真空会上去，应该是负责分子泵前级和真空室预抽。 它这个是有保护功能，一般不是说分子泵是二级泵，必须在一定的的真空下才可以开吗？它这各可以同时开，只是在真空度不上去时，分子泵不工作而已。 抽的时候阀门没有动。 气路就是一个scroll pump 连在turbo pump 再接闸板阀，再接到腔。 现在的症状就是机械泵抽的声音很大，不断有气从排气孔出来，显然是漏气了。别的地方又没有动，分子泵内部是不是哪里破了，漏气呢？ 谢谢！

在我们论坛上质谱综合版面专家的帖子里发现一大学网站里的这个资料，转来给我们[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url]的版友分享。专家的分享，我已投票感谢了。还有，希望了解较多、懂行的版友能够跟帖，纠正错误，给广大版友带来方便。再次首先感谢您的支持^_^分子泵的作用利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1 为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米／秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。分子泵的结构-涡轮分子泵在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧,当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。同理，在叶轮右侧（图3b）,当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109 对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1～10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒（1升＝10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～100000转／分的中频电动机直联驱动。 分子泵的维护一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1.关掉分子泵，进行排气。2.从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。3.拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等4.拆掉润滑的油包5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。6.往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜。7.上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。8.换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。9.拿出分子泵。10.将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。11.用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。12.接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。13.更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。参考资料Working with turbo pumps，Pfeiffer vacuum[color=#DC143C]我们不一定要自己拆卸真空系统清洗，资料也可能落后了，但是可以了解下。以下链接有版友回帖，并冒失的总结一句，最好不要自己动手拆洗还能用的分子泵，代价很大[/color]此贴中把图也附上了，可以一起学习。[URL=http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834110/]http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834110/[/URL][URL=http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834157/]http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834157/[/URL]

涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323927.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]* 威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里[color=#222222]工作原理和压缩比[/color]涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理，如图1。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323928.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img] 图1 涡轮分子泵的工作原理[color=#222222]撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S[/color] [font=&][color=#222222]0 [/color][/font] [color=#222222]表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。[/color]压缩比K0，可以根据Gaede来估计。对于视觉密集型叶片结构，Gaede的公式适用。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323929.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图2 转子和定子叶片的排列方式Gaede的公式[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323930.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]其中： p[size=11px]V[/size] = 前级真空压力 p[size=11px]A[/size] = 吸气压力 v = 叶片速度[font=微软雅黑, &][size=14px] = 平均分子热运动速度[/size][/font] L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1g3)在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px]几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K[size=11px]0 [/size]因此，随着叶片速度v和 [/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px] aaan的增加呈指数增长。[/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S [size=11px]0 [/size]与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323931.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][font=微软雅黑, &][size=14px][color=#222222]图3 的Y轴上画出了以[/color][i]l[/i][color=#222222]s[/color][font=&]-1[/font][color=#222222] cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：[i]A[/i]=（Ra2-Ri2）π ，就可以得到抽气速度。[/color][/size][/font][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323932.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图3 涡轮泵的具体泵送速度[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323933.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图4｜泵送速度是相对分子量的函数[color=#222222]图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10[/color][font=&][color=#222222]-2[/color][/font][color=#222222] hPa（图5）。[/color][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323934.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图5｜抽速与抽气压力的关系[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323935.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图6｜霍尔韦克级的工作原理[color=#222222]霍尔韦克级的特殊功能[/color]Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S [size=11px]0[/size]是相同的。[font=微软雅黑, &][size=14px] [/size][/font]这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323936.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]压缩比就会增加。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323937.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323938.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比[font=&]选择正确的前级泵[/font]涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。[font=微软雅黑, &][size=14px][font=&][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323939.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/font][/size][/font][font=&][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][font=&]表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力[/font][/size][/font] [img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323940.gif?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][align=left]这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。[/align][align=left]此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。[/align][align=left]因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。[/align]激光平衡技术[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323941.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]2021年，Pfeiffer真空公司已经推出了激光平衡技术。最后，小析姐分享给大家几个涡轮分子泵在使用小tips：1、为防止涡轮分子泵返油，开机前先将前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。2、在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。3、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。4、选择系统前级泵大小时，应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。6、分子泵入口应装设防护网，以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。7、规范使用涡轮分子泵，可有效提升真空泵的使用效率，延长使用寿命

昨天换的质谱泵油，刚打开时会有噪音，大约1小时后噪音消失。过了4，5个小时，突然又有同样的噪音，不知道如何解决，1小时后自动消失，第二天上午又有两次突然出现噪音，持续半小时后消失，请问这是什么原因？质谱泵之前一直好好的，从没出现过这种问题，请大神们帮忙

问题：waters液相色谱－质谱联用仪真空泵突然停机液相：ACQUity质谱：TQ Detector昨天还正常，过了一个晚上第二天上班发班真空泵自己停了。于是重新启动真空泵，涡轮转速原本是达到100%的，但是当升到65%左右时就无法上升，维持大概2分钟左右后转速值就往下降，当到40－50%左右时，真空泵就开始自动停机了。已排除的可能原因：1.检测真空泵与检测器间的管路气密性－气密性良好。 2.电脑、液相、质谱等设备均关机停电后再重启 3.原本正常的仪器在没有对其进行任何设置上的更改的情况下不转了的。以前没有遇到这种情况，因此在此求助。先行谢过……。

waters质谱，edwards泵，由于突然停电，之后点击工作站软件的pump键，泵没反应，尝试了很多次，都不行，将泵与质谱之间的电源线拆开，从质谱过来的电源线没有电源是不是就是质谱出了问题啊？会什么问题啊？请高手支招，万分感谢，急等！

实验室液质泵噪音太大 担心影响分析结果 大家质谱涡轮泵噪音都这么大么？还是有其他好的解决办法。请各位赐教！！

真空蒸镀机，普发分子泵转速只有1000左右，抽真空只能抽到2*10-1,，然后分子泵就会报错run up time error。监测机械泵能抽到10-2，分子泵的开关电源之前烧了，换了电源和保险丝后开机，就是这个样子了。

开机时质谱的机械泵不转，能听到电机马达的声音，有那些原因导致机械泵不转？

[color=#444444]用ESI-打了一张质谱图，HP[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]LC-MS[/color][/url]联用的，流动相是甲醇：乙腈：缓冲液的混合液，缓冲液中含有微量的盐酸。[/color][color=#444444]质谱图中出现了的峰有[/color][color=#444444]m/z=[/color][color=#444444]108，[/color][color=#444444]144,[/color][color=#444444]146[/color][color=#444444]而且144和146的强度比差不多3:1[/color][color=#444444]我一想,144和146肯定是加和了Cl35和Cl37，那么144-35=109,146-37=109，刚好108这又有一个信号峰，所以这个物质肯定分子量可能是109。[/color][color=#444444]但是原则上来说这个物质肯定分子量会小于108，所以说不定这个109中是这个物质加和了其他中性分子形成的。[/color][color=#444444]我就选用了m/z108的峰做ESI-的二级质谱，发现就只有m/z65的峰，如果说m/z65的峰是我的准分子离子峰的话，结果挺好的。但现在遇到一个问题，就是这个108-65=43的是什么东西，我没法解释，加和了43的到是个啥呀？[/color]