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电子纯试剂

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  • 超净高纯电子化学试剂———异丙醇制备方法 !

    超净高纯电子化学试剂———异丙醇制备方法 梁 凯 (黑龙江省化工研究院,黑龙江 哈尔滨 150078) 摘 要:本文介绍了用含量98%的工业级异丙醇经过金属离子络合剂处理、脱水处理、微滤膜过滤、多级精馏、钠滤膜过滤制备超净高纯电子化学试剂———异丙醇的制备方法。该方法制备的超净高纯异丙醇符合半导体技术的芯片及硅园片的清洗和刻蚀的要求。 关键词:超净高纯异丙醇;金属离子络合剂;多级精馏;纳滤膜过滤 中图分类号:TQ224.23 文献标识码:A 文章编号:1002-1124(2011)07-0063-02 随着半导体技术的迅速发展,对超净高纯试剂的要求越来越高。在集成电路(IC)的加工过程中,超净高纯试剂主要用于芯片及硅园片表面的清洗和刻蚀,其纯度和清洁度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超净高纯异丙醇作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。随着 IC的加工尺寸已经进入亚微米、深亚微米时代,对与之配套的超净高纯异丙醇提出了更高的要求,要求颗粒和杂质含量降低 1~3 个数量级,达到国际半导体设备和材料组织制定的SEMI- C12标准,其中金属阳离子含量小于 0.1×10- 9,颗粒大小控制在 0.5μm以下。 目前,超净高纯异丙醇通常是以工业级异丙醇为原料纯化精致而成。精馏是工业化提纯异丙醇的主要方法,包括共沸精馏、萃取精馏等。但是用于微电子化学品工业的超净高纯异丙醇对其中金属杂质,颗粒大小含量和阴离子的要求十分苛刻,精馏工艺已经无法满足要求。 现有文献公布的超净高纯异丙醇的制备方法,以工业异丙醇为原料,以碳酸盐调节 pH 值,加入脱水剂,进行回流反应,经精馏、蒸馏、膜过滤,得到符合国际半导体设备和材料组织制定的SEMI- C12标准的超纯异丙醇。这一公开报道的制备方法无法稳定控制产品质量,特别是产品中金属离子含量以及颗粒杂质大小。

  • 【概念知识8】什么叫电子工业用试剂

    电子工业用试剂 chemicals for electronic industry   用于半导体工业、微电子工业的化学试剂。电子工业范围广,所用材料品种繁多。特别是半导体工业、微电子工业的发展,所用化学试剂也随之迅速发展。自从硅平面工艺建立后,半导体工业获得飞速进展,其中一个重要的原因就是不断开发先进技术和相应的各种新型试剂。电子工业用试剂主要有以下几种:   ① 光刻胶 又称光致抗蚀剂,随着半导体电路向超高频、高可靠、高集成方向发展。利用光刻工艺刻蚀各种精密的线条一般为 12~1μm,正在研究 0.5μm,越来越细。用作抗蚀涂层的光刻胶是光刻工艺中的关键材料,要求光刻胶的性能、质量也越来越高。因此,在微电子工业中光刻胶是研究、竞争相当活跃的领域。在美国,1982~1986年间光刻胶的销售额年平均增长约14%。   近年来,不断研究感光性树脂、感光剂的结构和曝光光源的改进,以提高分辨精度和耐腐蚀等性能,适应微电子工业向超大规模集成电路的发展。   ② 高纯试剂 又称高纯化学品,它的应用,贯穿于整个电路生产的工艺过程中。它的质量对控制沾污,提高集成电路成品率,起着重要作用。主要包括两类:第一类在制半导体器件和集成电路生产中,除高纯单晶和超纯气体外,并要有控制地掺入适量的杂质元素,以使之具有所需要的电性能。这种掺入的杂质称为掺入剂,主要是砷、磷、硼的化合物,如三氧化二砷、三氯化磷、三氯氧磷、三溴化硼、砷烷、磷烷、硼烷等。这类试剂纯度很高,一般金属元素杂质要控制在0.1~0.001ppm,非金属元素杂质控制在0.1ppm以下。第二类在蚀刻过程中用于清洗、显影、腐蚀、去膜等工序。这类试剂包括硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸、过氧化氢等无机物和丙酮、甲醇等10多种有机溶剂。随着 MOS(金属-氧化物-半导体)电路的出现,特别是大规模及超大规模集成电路的发展,对高纯试剂的纯度和净度要求也越来越高,除在纯度上要求金属元素的杂质控制在ppb级,非金属元素达到0.1ppm的水平外,对尘埃粒度也有一定的要求,目前最高要求为: 100ml的液体中,2μm以上的颗粒不超过100个或300个。根据集成电路的集成度不同,有不同的质量标准。   为了适应高纯和超净的质量要求,生产这些试剂的某些工序,要在100级的超净环境下进行。所用的高纯水,产品容器的清洗、分装、包装以及产品的贮存等工序都有一套相应的超净技术,以防止尘埃侵入产品。80年代这类试剂在中国的生产规模为数百吨,电子工业发达的国家已达万吨规模。   ③ 液晶 是电子工业中另一种新型材料。液晶的应用已有十多年的历史,现在主要应用于电子工业。

  • 优级纯以上的试剂纯度标准化称谓及品牌问题

    优级纯以上的试剂纯度标准化称谓及品牌问题

    检验工作离不开标准化,但标准化工作却不一定靠谱。我们直奔主题吧,随着大量的国外精密仪器的涌入,原有的化学试剂纯度称谓和品质已不能满足精密检测的需求,于是大量的更高级别的称谓应运而生。当前常见的与纯度相关的称谓有高纯、光谱纯、基准、分光纯、优级纯、分析和化学纯等,但国家标准仅仅止步于优级纯、分级纯、化学纯和实验试剂。实际上,优级纯以上纯度的试剂的称谓远不止这几种,譬如商家习用的超级纯、超高纯、电子纯、电子级……所以,我们有必要对下面几个问题展开讨论:1.优级纯以上的纯度称谓到底都有哪些?其间又有哪些对应关系?譬如[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICPMS[/color][/url]金属分析的消解用硝酸,有人说是电子级,有人说是PPT级,又有人说是超级纯……标准化之外的称谓好乱!2.高纯度试剂有没有相应的品质标准?哪怕是约定俗成的、行业共识的,或者是分试剂别的。3.在试剂纯度标准化上,国家标准体系什么态度?大乱之后必有大治,我们期待着试剂世界的整齐划一、各安其位。以下是之家同仁们提供的图片(小有优化)。[img=,690,678]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/03/201803091728162653_7205_1838957_3.jpg!w690x678.jpg[/img][img=,690,969]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/03/201803091728171833_3318_1838957_3.jpg!w690x969.jpg[/img]称谓一乱,很容易让人六神无主。譬如说化工标准中就有高纯盐酸,它与化学试剂中的高纯是一回事吗?

  • 如何看待超净高纯试剂的国产化之路!

    资料:超净高纯试剂是国家科技部重点支持的领域之一,目前国内芯片行业使用的超净高纯试剂全部依赖进口,急需国产化。 采用电解法制备超净高纯试剂:四甲基氢氧化铵,四乙基氢氧化铵,胆碱和苄基三甲基氢氧化铵。这类产品属于有机强碱,腐蚀性极强,。利用电解法使用原料少,不引入其他杂质的特点制备这类产品是方便的,可行的。在电子行业中广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂,IC(集成电路)、ULSI(超大规模集成电路)及TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器件)正胶显影剂。仅四甲基氢氧化铵全球每年用量大约为5万吨。提高超净高纯试剂制备技术,提升我国电子行业的制造水平,加快芯片等电子产品的研发速度,降低电子产品的生产成本,提高国际竞争力。试剂特别是一些高纯、基准、标准试剂,国产的份额很小,大家如何看待这个问题,对高纯试剂如何国产化有何建议。

  • 【分享】化学试剂纯度等级

    纯度等级优级纯分析纯化学纯实验试剂英文代号G.R.Guarantee ReagentA.R.Analytical ReagentC.P.Chemical PureL.R.Laboratory Reagent瓶签颜色绿色红色蓝色黄色适用范围用作基准物质,主要用于精密的科学研究和分析实验。用于一般科学研究和分析实验。用于要求较高的无机和有机化学实验,或要求不高的分析检验。用于一般的实验和要求不高的科学实验。化学试剂纯度 我国的试剂规格基本上按纯度(杂质含量的多少)划分,共有高纯、光谱纯、基准、分光纯、优级纯、分析和化学纯等7种。国家和主管部门颁布质量指标的主要优级纯、分级纯和化学纯3种。 (1)优级纯(GR:Guaranteed reagent),又称一级品或保证试剂,99.8%,这种试剂纯度最高,杂质含量最低,适合于重要精密的分析工作和科学研究工作,使用绿色瓶签。 (2)分析纯(AR),又称二级试剂,纯度很高,99.7%,略次于优级纯,适合于重要分析及一般研究工作,使用红色瓶签。 (3)化学纯(CP),又称三级试剂,≥ 99.5%,纯度与分析纯相差较大,适用于工矿、学校一般分析工作。使用蓝色(深蓝色)标签。 (4)实验试剂(LR:Laboratory reagent),又称四级试剂。 除了上述四个级别外,目前市场上尚有: 基准试剂(PT:Primary Reagent):专门作为基准物用,可直接配制标准溶液。 光谱纯试剂(SP:Spectrum pure):表示光谱纯净。但由于有机物在光谱上显示不出,所以有时主成分达不到99.9%以上,使用时必须注意,特别是作基准物时,必须进行标定。 纯度远高于优级纯的试剂叫做高纯试剂(≥ 99.99%)。高纯试剂是在通用试剂基础上发展起来的,它是为了专门的使用目的而用特殊方法生产的纯度最高的试剂。它的杂质含量要比优级试剂低2个、3个、4个或更多个数量级。因此,高纯试剂特别适用于一些痕量分析,而通常的优级纯试剂就达不到这种精密分析的要求。目前,除对少数产品制定国家标准外(如高纯硼酸、高纯冰乙酸、高纯氢氟酸等),大部分高纯试剂的质量标准还很不统一,在名称上有高纯、特纯(Extra Pure)、超纯、光谱纯等不同叫法。根据高纯试剂工业专用范围的不同,可将其分为以下几种: ⑴光学与电子学专用高纯化学品,即电子级试剂(EIectronicgrade)试剂。 ⑵金属-氧化物-半导体(Metal-Oxide-Semiconductor)电子工业专用高纯化学品,即UP-S级或MOS试剂(读作:摩斯试剂)。一般用于半导体,电子管等方面,其杂质最高含量为0.01-10ppm,有的可降低到ppb数量级,金属杂质含量小于1ppb,尘埃等级达到0-2ppb,适合0.35—0.8微米集成电路加工工艺。 ⑶单晶生产用高纯化学品。 ⑷光导纤维用高纯化学品。此外,还有仪分试剂、特纯试剂(杂质含量低于1/1000000~1/1000000000级)、特殊高纯度的有机材料等。 (5)等离子体质谱纯级试剂(ICP-Mass Pure Grade):绝大多数杂质元素含量低于0.1ppb,适合等离子体质谱仪(ICP Mass)日常分析工作。 (6)等离子体发射光谱纯级试剂(ICP Pure Grade):绝大多数杂质元素含量低于1ppb ,适合等离子体发射光谱仪(ICP)日常分析工作。 (7)[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Wp][color=#3333ff]原子吸收光谱[/color][/url]纯级试剂(AA Pure Grade):绝大多数杂质元素含量低于10 ppb ,适合[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Wp][color=#3333ff]原子吸收光谱仪[/color][/url](AA)日常分析工作。 目前,国外试剂厂生产的化学试剂的规格趋向于按用途划分,常见的如下:生化试剂 (BC:Biochemical)生物试剂 (BR:Biological reagent)生物染色剂 (BS:Biological Stain)络合滴定用 (FCM:For Complexometry)层析用0S-J1[ j B2~(F1v7G分析化学,论坛,化学分析,仪器分析,分析测试,色谱,电泳,光谱 (FCP:For chromatography purpose)荧光分析(FIA)微生物用(FMB)显微镜用 (FMP:For microscopic purpose)合成用-[6]#f!g6M#s.u5)]^www.33ge.com (FS:For synthesis)[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]0S,~.L1t3k7`-{"E (GC:Gas chromatography)高压液相色谱 (HPLC:High Pressure Liquid chromatography)指示剂9K5R-}-s _9t分析化学,论坛,化学分析,仪器分析,分析测试,色谱,电泳,光谱 (Ind:Indicator)红外吸收(IR)液相色谱(LC)核磁共振(NMR)有机分析标准6a1Z2m:d*A7K+x分析化学论坛 (OSA:Organic analytical standard)分析用(PA:Pro analysis)实习用 (Pract: Practical use)(\\(T&e-Y5G-N%MPur (Pure purum 纯)Puriss (Purissmum 特纯)合成(SYN)工业用Tech:Techincal grade)薄层色谱(TLC:Thin Layer chromatography)分光纯、光学纯、紫析分光光度纯$v7)(UV:Ultra violet pure) 例如德国伊默克公司生产的硝酸有13种规格:最低浓度为65%(密度约1.40)的特纯试剂硝酸双硫腙试验通过的最低浓度为65%(密度约1.40,Hg的最高浓度0.0000005%)的保证试剂(GR)硝酸、双硫腙试验通过的最低浓度为65%(密度约1.40)的保证试剂(GR)硝酸、最低浓度为65%(密度约1.40)的光学与电子学专用特纯(Selectipur)硝酸、100%(密度约1.52)的保证试剂(GR)硝酸、100%(密度约,1.42)的光学与电子学专用特纯(Seletipur)发烟硝酸、重氢度小于99%的重氢试剂硝酸-di(在D2O中,不小于65%DNO3)、滴定用0.1mo1/L硝酸溶液和滴定用1mo1/L硝酸溶液。伊默克公司还按用户的需要生产各种规格的试剂,如生化试剂、默克诊断试剂、医学研究、农业和环境监测试剂等等。 试剂规格按用途划分的优点简单明了,从规格即可知此试剂的用途,用户不必在使用哪一种纯度级和试剂上反复考虑。 附:国外试剂纯度级别说明 Ultra Pure:超纯,与GR级相近。 High Purity:高纯,与AR级相近。 Biotech:生物技术级,与BR级相近。 Reagent:试剂级,与CP级相近。 ACS:美国化学学会标准,与AR级相近。 USP:药用级

  • 【资料】电子级化学试剂的分类!

    电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级。UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺

  • 化学试剂的纯度分类

    试剂(reagent) 又称化学试剂或试药。主要是实现化学反应、分析化验、研究试验、教学实验、化学配方使用的纯净化学品。国标试剂:该类试剂为我国国家标准所规定,适用于检验、鉴定、检测试剂级(RG,红标签):作为试剂的标准化学品。基准试剂(JZ,绿标签):作为基准物质,标定标准溶液。优级纯(GR,绿标签): 主成分含量很高、纯度很高,适用于精确分析和研究工作,有的可作为基准物质。分析纯(AR,红标签): 主成分含量很高、纯度较高,干扰杂质很低,适用于工业分析及化学实验。化学纯(CP,蓝标签): 主成分含量高、纯度较高,存在干扰杂质,适用于化学实验和合成制备。实验纯(LR,黄标签): 主成分含量高,纯度较差,杂质含量不做选择,只适用于一般化学实验和合成制备。教学试剂:可以满足学生教学目的,不至于造成化学反应现象偏差的一类试剂。指定级 (ZD),该类试剂是按照用户要求的质量控制指标,为特定用户订做的化学试剂。高纯试剂(EP):包括超纯、特纯、高纯、光谱纯,配制标准溶液。 此类试剂质量注重的是:在特定方法分析过程中可能引起分析结果偏差,对成分分析或含量分析干扰的杂质含量,但对主含量不做很高要求。色谱纯(GC):气相色谱分析专用。 质量指标注重干扰气相色谱峰的杂质。主成分含量高。色谱纯(LC):液相色谱分析标准物质。质量指标注重干扰液相色谱峰的杂质。主成分含量高。指示剂(ID):配制指示溶液用。 质量指标为变色范围和变色敏感程度。可替代CP,也适用于有机合成用。生化试剂(BR):配制生物化学检验试液 和生化合成。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成。生物染色剂(BS):配制微生物标本染色液。 质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成。光谱纯(SP):用于光谱分析。 分别适用于分光光度计标准品、原子吸收光谱标准品、原子发射光谱标准品。电子纯(MOS):适用于电子产品生产中,电性杂质含量极低 电镀级:适用于电镀工业生产的,对电镀有害的杂质较少,纯度大致高于工业级 ,略低于化学纯。当量试剂(3N、4N、5N):主成分含量分别为99.9%、99.99%、99.999%以上。电泳试剂:质量指标注重电性杂质含量控制。合成试剂:所谓合成试剂:就是在标明成分主含量的前提下,严格给出该产品的有关各种物理常数的一类化学试剂。

  • 超级高纯试剂讨论?

    湿电子化学品制备的关键在于控制并达到所要求的杂质含量和颗粒度。 以半导体领域为例,根据现行通用的 SEMI 标准,根据[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/3p][color=#3333ff] IC [/color][/url]线宽不同,所需超 级高纯试剂可分为 G1-G5 5 个等级,其中 G5 等级要求金属杂质含量达到 10ppt 等级。大家有使用超纯试剂吗?欢迎讨论[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209041226042044_5635_2140715_3.png[/img]

  • 【资料】[有机]化学试剂纯度与分级标准

    中文英文缩写或简称优级纯试剂Guaranteed reagentGR分析纯试剂Analytial reagentAR化学纯试剂Chemical pureCP实验试剂Laboratory reagentLR纯PurePurum Pur高纯物质(特纯)Extra pureEP特纯PurissimumPuriss超纯Ultra pureUP精制PurifedPurif分光纯Ultra violet PureUV光谱纯Spectrum pureSP闪烁纯Scintillation Pure 研究级Research grade 生化试剂BiochemicalBC生物试剂Biological reagentBR生物染色剂Biological stainBS生物学用For biological purposeFBP组织培养用For tissue medium purpose 微生物用For microbiologicalFMB显微镜用For microscopic purposeFMP电子显微镜用For electron microscopy 涂镜用For lens bloomingFLB工业用Technical gradeTech实习用Pratical usePract分析用Pro analysisPA精密分析用Super special gradeSSG合成用For synthesisFS闪烁用For scintillationScint电泳用For electrophoresis use 测折光率用For refractive indexRI显色剂Developer 指示剂IndicatorInd配位指示剂Complexon indicatorComplex ind荧光指示剂Fluorescene indicatorFluor ind氧化还原指示剂Redox indicatorRedox ind吸附指示剂Adsorption indicatorAdsorb ind基准试剂Primary reagentPT光谱标准物质Spectrographic standard substanceSSS原子吸收光谱Atomic adsorption spectormAAS红外吸收光谱Infrared adsorption spectrumIR核磁共振光谱Nuclear magnetic resonance spectrumNMR有机分析试剂Organic analytical reagentOAS微量分析试剂Micro analytical standardMAS微量分析标准Micro analytical standardMAS点滴试剂Spot-test reagentSTR气相色谱Gas chromatographyGC液相色谱Liquid chromatographyLC高效液相色谱High performance liquid chromatographyHPLC气液色谱Gas liquid chromatographyGLC气固色谱Gas solid chromatographyGSC薄层色谱Thin layer chromatographyTLC凝胶渗透色谱Gel permeation chromatographyGPC层析用For chromatography purposeFCP 为了使各种规格和化学试剂实行标准化和控制试剂产品的质量,并使买卖双方在发生争议时有据可依,人们便制定了《试剂标准》。为了保证试剂质量,试剂还需要进行多种检验。本节着重讨论试剂规格和试剂标准主,主要介绍试剂检验中的一些注意事项。• 试剂规格 试剂规格又称试剂级别或类别。一般按实际的用途或纯度、杂质含量来划分规格标准。目前,国外试剂厂生产的化学试剂的规格趋向于按用途划分。 例如德国伊默克公司生产的硝酸有13种规格:最低浓度为65%(密度约1.40)的特纯试剂硝酸双硫腙试验通过的最低浓度为65%(密度约1.40,Hg的最高浓度0.0000005%)的保证试剂(GR)硝酸、双硫腙试验通过的最低浓度为65%(密度约1.40)的保证试剂(GR)硝酸、最低浓度为65%(密度约1.40)的光学与电子学专用特纯(Selectipur)硝酸、100%(密度约1.52)的保证试剂(GR)硝酸、100%(密度约,1.42)的光学与电子学专用特纯(Seletipur)发烟硝酸、重氢度小于99%的重氢试剂硝酸-di(在D2O中,不小于65%DNO3)、滴定用0.1mo1/L硝酸溶液和滴定用1mo1/L硝酸溶液。 伊默克公司还按用户的需要生产各种规格的试剂,如生化试剂、默克诊断试剂、医学研究、农业和环境监测试剂等等。 试剂规格按用途划分的优点简单明了,从规格即可知此试剂的用途,用户不必在使用哪一种纯度级和试剂上反复考虑。 我国的试剂规格基本上按纯度划分,共有高纯、光谱纯、基准、分光纯、优级纯、分析和化学纯等7种。国家和主管部门颁布质量指标的主要优级纯、分级纯和化学纯3种。 ⑴优级纯又称一级品,这种试剂纯度最高,杂质含量最低,适合于重要精密的分析工作和科学研究工作用绿色瓶签。 ⑵分析纯又称二级品,纯度很高,略次于优级纯,适合于重要分析及一般研究工作,使用红色瓶签。 ⑶化学纯又称三级品,纯度与分析纯相差较大,适用于工矿、学校一般分析工作。使用蓝色瓶签。 纯度远高于优级纯的试剂叫做高纯试剂。高纯试剂是在通用试剂基础上发展起来的,它是为了专门的使用目的而用特殊方法生产的纯度最高的试剂。它的杂质含量要比优级试剂低2个、3个、4个或更多个数量级。因此,高纯试剂特别适用于一些痕量分析,而通常的优级纯试剂就达不到这种精密分析的要求。 目前,除对少数产品制定国家标准外(如高纯硼酸、高纯冰乙酸、高纯氢氟酸等),大部分高纯试剂的质量标准还很不统一,在名称上有高纯、特纯、超纯、光谱纯等不同叫法。根据高纯试剂工业专用范围的不同,可将其分为以下几种:⑴光学与电子学专用高纯化学品,即电子级试剂(EIectronicgrade)试剂。⑵金属-氧化物-半导体(Metal-Oxide-Semiconductor)电子工业专用高纯化学品,即MOS试剂(读作:摩斯试剂)。一般用于半导体,电子管等方面,其杂质最高含量为0.01-10ppm,有的可降低到ppb数量级。尘埃等级达到0-2ppb.⑶单晶生产用高纯化学品。⑷光导纤维用高纯化学品。此外,还有仪分试剂、特纯试剂(杂质含量低于1/1000000~1/1000000000级)、特殊高纯度的有机材料等。下面将化学试剂纯度和规格中,英文及其缩写符号汇集成表(见上)• 试剂标准各国生产化学试剂的大公司,均有自己的试剂标准,我国也有我国的化学试剂标准。近年来,我国化学剂标准委员会正在逐步修正我国的试剂标准,尽可能与国际接轨,统一标准。⑴我国的化学试剂标准我国的化学试剂标准分国家标准、部颁标准和企业标准三种。• 国家标准国家标准由化学工业部提出,国家标准局审批和发布,其代号是“GB”,系取自“国标”两字的汉语拼音的第一个字母。其编号采用顺序号加年代号,中间用一横线分开,都用阿拉伯数字。如GB2299-80高纯硼酸,表示国家标准2299号,1980年颁布。《中华人民共和国国家标准·化学试剂》制订、出版于1965年、1971年编成《国家标准·化学试剂汇编》出版,1978年净增订分册陆续出版。1990年又以《化学工业标准汇编·化学试剂》(第13册)问世。它将化学试剂的纯度分为5级,即高纯、基准、优级纯、分析纯和化学纯,其中优级纯相当于默克标准的保证试剂(BR)。《中华人民共和国国际标准·化学试剂》是我国最权威的一部试剂标准。它的内容除试剂名称、形状、分子式、分子量外,有:技术条件(试剂最低含量和杂质最高含量等)、检验规则(试剂的采样和验收规则)、试验方法、包装及标志等4项内容。②部颁标准部颁标准由化学工业部组织制定、审批和发布,报送国家标准局备案,其代号是“HG”,系取自“化工”两字的汉语拼音的第一个字母,编号形式与国家标准相同。除部颁标准外,还有部颁暂行标准,是化工部发布暂行的标准,代号是“HGB”,取自“化工部”三个汉字拼音的第一个字母,编号形式与国家标准相同。③企业

  • 【资料】化学试剂纯度与分级标准

    [color=#DC143C]化学试剂纯度与分级标准[/color] 为了使各种规格和化学试剂实行标准化和控制试剂产品的质量,并使买卖双方在发生争议时有据可依,人们便制定了《试剂标准》。为了保证试剂质量,试剂还需要进行多种检验。本节着重讨论试剂规格和试剂标准主,主要介绍试剂检验中的一些注意事项。 • 试剂规格 试剂规格又称试剂级别或类别。一般按实际的用途或纯度、杂质含量来划分规格标准。目前,国外试剂厂生产的化学试剂的规格趋向于按用途划分。 例如德国伊默克公司生产的硝酸有 13 种规格:最低浓度为 65% (密度约 1.40 )的特纯试剂硝酸双硫腙试验通过的最低浓度为 65% (密度约 1.40 , Hg 的最高浓度 0.0000005% )的保证试剂( GR )硝酸、双硫腙试验通过的最低浓度为 65% (密度约 1.40 )的保证试剂( GR )硝酸、最低浓度为 65% (密度约 1.40 )的光学与电子学专用特纯( Selectipur )硝酸、 100% (密度约 1.52 )的保证试剂( GR )硝酸、 100% (密度约, 1.42 )的光学与电子学专用特纯( Seletipur )发烟硝酸、重氢度小于 99% 的重氢试剂硝酸 -di( 在 D2O 中,不小于 65%DNO3) 、滴定用 0.1mo1/L 硝酸溶液和滴定用 1mo1/L 硝酸溶液。

  • 【转帖】化学试剂纯度等级

    最近在购买 试剂~查纯度的时候,感觉网上的说法不一,很迷惑。 刚才找到一个,感觉很让人信服,转来,但愿大家看了有帮助。[font=新宋体][/font][table][tr][td=1,1,114]纯度等级[/td][td=1,1,114]优级纯[/td][td=1,1,114]分析纯[/td][td=1,1,114]化学纯[/td][td=1,1,114]实验试剂[/td][/tr][tr][td=1,1,114]英文代号[/td][td=1,1,114][font=Times New Roman]G[/font].[font=Times New Roman]R[/font][font=Times New Roman]Guarantee Reagent[/font][/td][td=1,1,114][font=Times New Roman]A[/font].[font=Times New Roman]R[/font].[font=Times New Roman]Analytical Reagent[/font][/td][td=1,1,114][font=Times New Roman]C[/font].[font=Times New Roman]P[/font].[font=Times New Roman]Chemical Pure[/font][/td][td=1,1,114][font=Times New Roman]L[/font].[font=Times New Roman]R[/font].[font=Times New Roman]Laboratory Reagent[/font][/td][/tr][tr][td=1,1,114]瓶签颜色[/td][td=1,1,114]绿色[/td][td=1,1,114]红色[/td][td=1,1,114]蓝色[/td][td=1,1,114]黄色[/td][/tr][tr][td=1,1,114]适用范围[/td][td=1,1,114]用作基准物质,主要用于精密的科学研究和分析实验。[/td][td=1,1,114]用于一般科学研究和分析实验。[/td][td=1,1,114]用于要求较高的无机和有机化学实验,或要求不高的分析检验。[/td][td=1,1,114]用于一般的实验和要求不高的科学实验。[/td][/tr][/table]化学试剂纯度[font=Times New Roman] [/font]我国的试剂规格基本上按纯度(杂质含量的多少)划分,共有高纯、光谱纯、基准、分光纯、优级纯、分析和化学纯等[font=Times New Roman]7[/font]种。国家和主管部门颁布质量指标的主要优级纯、分级纯和化学纯[font=Times New Roman]3[/font]种。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]1[/font])优级纯([font=Times New Roman]GR[/font]:[font=Times New Roman]Guaranteed reagent[/font]),又称一级品或保证试剂,[font=Times New Roman]99.8%[/font],这种试剂纯度最高,杂质含量最低,适合于重要精密的分析工作和科学研究工作,使用绿色瓶签。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]2[/font])分析纯([font=Times New Roman]AR[/font]),又称二级试剂,纯度很高,[font=Times New Roman]99.7%[/font],略次于优级纯,适合于重要分析及一般研究工作,使用红色瓶签。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]3[/font])化学纯([font=Times New Roman]CP[/font]),又称三级试剂,[font=Times New Roman]≥ 99.5%[/font],纯度与分析纯相差较大,适用于工矿、学校一般分析工作。使用蓝色(深蓝色)标签。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]4[/font])实验试剂([font=Times New Roman]LR[/font]:[font=Times New Roman]Laboratory reagent[/font]),又称四级试剂。[font=Times New Roman] [/font]除了上述四个级别外,目前市场上尚有:[font=Times New Roman] [/font]基准试剂([font=Times New Roman]PT[/font]:[font=Times New Roman]Primary Reagent[/font]):专门作为基准物用,可直接配制标准溶液。[font=Times New Roman] [/font]光谱纯试剂([font=Times New Roman]SP[/font]:[font=Times New Roman]Spectrum pure[/font]):表示光谱纯净。但由于有机物在光谱上显示不出,所以有时主成分达不到[font=Times New Roman]99.9%[/font]以上,使用时必须注意,特别是作基准物时,必须进行标定。[font=Times New Roman] [/font]纯度远高于优级纯的试剂叫做高纯试剂([font=Times New Roman]≥ 99.99%[/font])。高纯试剂是在通用试剂基础上发展起来的,它是为了专门的使用目的而用特殊方法生产的纯度最高的试剂。它的杂质含量要比优级试剂低[font=Times New Roman]2[/font]个、[font=Times New Roman]3[/font]个、[font=Times New Roman]4[/font]个或更多个数量级。因此,高纯试剂特别适用于一些痕量分析,而通常的优级纯试剂就达不到这种精密分析的要求。目前,除对少数产品制定国家标准外(如高纯硼酸、高纯冰乙酸、高纯氢氟酸等),大部分高纯试剂的质量标准还很不统一,在名称上有高纯、特纯([font=Times New Roman]Extra Pure[/font])、超纯、光谱纯等不同叫法。根据高纯试剂工业专用范围的不同,可将其分为以下几种:[font=Times New Roman] ⑴[/font]光学与电子学专用高纯化学品,即电子级试剂([font=Times New Roman]EIectronicgrade[/font])试剂。[font=Times New Roman] ⑵[/font]金属[font=Times New Roman]-[/font]氧化物[font=Times New Roman]-[/font]半导体([font=Times New Roman]Metal-Oxide-Semiconductor[/font])电子工业专用高纯化学品,即[font=Times New Roman]UP-S[/font]级或[font=Times New Roman]MOS[/font]试剂(读作:摩斯试剂)。一般用于半导体,电子管等方面,其杂质最高含量为[font=Times New Roman]0.01-10ppm[/font],有的可降低到[font=Times New Roman]ppb[/font]数量级,金属杂质含量小于[font=Times New Roman]1ppb[/font],尘埃等级达到[font=Times New Roman]0-2ppb[/font],适合[font=Times New Roman]0.35—0.8[/font]微米集成电路加工工艺。[font=Times New Roman] ⑶[/font]单晶生产用高纯化学品。[font=Times New Roman] ⑷[/font]光导纤维用高纯化学品。此外,还有仪分试剂、特纯试剂(杂质含量低于[font=Times New Roman]1/1000000[/font]~[font=Times New Roman]1/1000000000[/font]级)、特殊高纯度的有机材料等。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]5[/font])等离子体质谱纯级试剂([font=Times New Roman]ICP-Mass Pure Grade[/font])[font=Times New Roman]:[/font]绝大多数杂质元素含量低于[font=Times New Roman]0.1ppb[/font],适合等离子体质谱仪([font=Times New Roman]ICP Mass[/font])日常分析工作。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]6[/font])等离子体发射光谱纯级试剂([font=Times New Roman]ICP Pure Grade[/font])[font=Times New Roman]:[/font]绝大多数杂质元素含量低于[font=Times New Roman]1ppb [/font],适合等离子体发射光谱仪([font=Times New Roman]ICP[/font])日常分析工作。[font=Times New Roman] [/font]([font=Times New Roman]7[/font])[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Wp][color=#3333ff]原子吸收光谱[/color][/url]纯级试剂[font=Times New Roman](AA Pure Grade):[/font]绝大多数杂质元素含量低于[font=Times New Roman]10 ppb [/font],适合[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Wp][color=#3333ff]原子吸收光谱仪[/color][/url]([font=Times New Roman]AA[/font])日常分析工作。[font=Times New Roman] [/font]

  • 【原创大赛】化学试剂分类知多少(纯度分级)

    【原创大赛】化学试剂分类知多少(纯度分级)

    化学试剂分类知多少(纯度分级)化学试剂是进行化学科学研究的最基础单元,广泛应用于物质的合成、分离以及定性和定量分析,在各个应用领域各个行业均有应用,也可以说是化学化工界得以不断发展的基础条件。但是,化学试剂成千上万,又是怎么分类的,大家有所了解吗?http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507152310_555720_3022621_3.jpg实验室中存在有各种各样的试剂,又有多种多样的标签,该怎么去辨认呢?简单地说,按照其应用领域和范围,化学试剂可主要分为无机试剂(用于化学分析的无机化学品,如金属、非金属单质,氧化物、碱、酸、盐等试剂)、有机试剂(用于有机化学反应的实际如醇、酮、酸等)、生化试剂(用于生命科学研究的实际如氨基酸、多肽试剂等)以及电子试剂(用于光学与电子学专用高纯化学品)等。按照其纯度进行分类,也就是现在国内试剂常用的分级标准。所谓纯度,也就是其中主要原料所占的质量分数,按照其纯度高低可将化学试剂分为以下几个等级:首先是纯度较低的工业纯(TechnicalGrade),主要适用于实验室漂洗、消溶等对实验要求不高的实验室操作中,含杂质较多,纯度非常低;其次是实验纯试剂(LaboratoryReagent),杂质含量相对低,不可用于科研实验,仅可用于一般的实验与制备反应,标签为黄色标签。再次是化学纯试剂(chemicalpure),相对于实验纯试剂,其纯度又有所提升,主成分浓度约为99.5%,但仍无法满足科研需求,因此,可用于化学实验和制备反应,其标签为蓝色标签。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507152311_555721_3022621_3.jpg然后是分析纯试剂(LaboratoryReagent),即常用的AR试剂,该类试剂的纯度较高,主成分含量一般大于99.7%,属于二级纯化学试剂,多用于重要分析和一般性科学研究工作,可满足一般科研雪球,标签为红色。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507152312_555722_3022621_3.jpg最后是优级纯(GuaranteedReagent),又称保证试剂,其主成分浓度大于99.9%,是一级纯化学试剂,可满足精密测试与分析需求,标签颜色为绿色。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507152312_555723_3022621_3.jpg当然,除了这几种最常见的纯度试剂外,还有纯度更高、更为专用的试剂如高纯、光谱纯、色谱纯以及基准物质等。正是由这些多种多样的化学试剂,才构成了我们这个多姿多彩的化学世界,作为一名化学人,一定要睁大双眼,认好各种试剂的纯度以及它们的衣服,不要搭错了衣服,到时候可就贻笑大方了!

  • 【资料】熊猫整理-化学试剂中的电子级

    电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级。 UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准. UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准 EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺

  • 化学试剂纯度,你用的是土豪级吗?

    国标试剂:该类试剂为我国国家标准所规定,适用于检验、鉴定、检测 基准试剂(JZ,绿标签):作为基准物质,标定标准溶液。 优级纯(GR,绿标签)(一级品):主成分含量很高、纯度很高,适用于精确分析和研究工作,有的可作为基准物质。 分析纯(AR,红标签)(二级品):主成分含量很高、纯度较高,干扰杂质很低,适用于工业分析及化学实验。 化学纯(CP,蓝标签)(三级品):主成分含量高、纯度较高,存在干扰杂质,适用于化学实验和合成制备。 实验纯(LR,黄标签):主成分含量高,纯度较差,杂质含量不做选择,只适用于一般化学实验和合成制备。 教学试剂(暂无标签):可以满足学生教学目的,不至于造成化学反应现象偏差的一类试剂。 指定级(ZD),该类试剂是按照用户要求的质量控制指标,为特定用户订做的化学试剂。 高纯试剂(EP):包括超纯、特纯、高纯、光谱纯,配制标准溶液。此类试剂质量注重的是:在特定方法分析过程中可能引起分析结果偏差,对成分分析或含量分析干扰的杂质含量,但对主含量不做很高要求。 色谱纯(GC):气相色谱分析专用。质量指标注重干扰气相色谱峰的杂质。主成分含量高。 色谱纯(LC):液相色谱分析标准物质。质量指标注重干扰液相色谱峰的杂质。主成分含量高 指示剂(ID):配制指示溶液用。质量指标为变色范围和变色敏感程度。可替代CP,也适用于有机合成用。 生化试剂(BR):配制生物化学检验试液和生化合成。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成 生物染色剂(BS):配制微生物标本染色液。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成 光谱纯(SP):用于光谱分析。分别适用于分光光度计标准品、原子吸收光谱标准品、原子发射光谱标准品 电子纯(MOS):适用于电子产品生产中,电性杂质含量极低。当量试剂(3N、4N、5N):主成分含量分别为99.9%、99.99%、99.999%以上。 电泳试剂:质量指标注重电性杂质含量控制。此外,还有特种试剂,生产量极小,几乎是按需定产,此类试剂其数量和质量一般为用户所指定。

  • 【资料】熊猫整理-化学试剂的纯度的划分

    化学试剂的纯度目前在我国仍然划分为: 国标试剂:该类试剂为我国国家标准所规定,适用于检验、鉴定、检测 基准试剂(JZ,绿标签):作为基准物质,标定标准溶液。 优级纯(GR,绿标签)(一级品): 主成分含量很高、纯度很高,适用于精确分析和研究工作,有的可作为基准物质。 分析纯(AR,红标签)(二级品): 主成分含量很高、纯度较高,干扰杂质很低,适用于工业分析及化学实验。 化学纯(CP,蓝标签)(三级品): 主成分含量高、纯度较高,存在干扰杂质,适用于化学实验和合成制备。 实验纯(LR,黄标签): 主成分含量高,纯度较差,杂质含量不做选择,只适用于一般化学实验和合成制备。 教学试剂():可以满足学生教学目的,不至于造成化学反应现象偏差的一类试剂。 指定级 (ZD),该类试剂是按照用户要求的质量控制指标,为特定用户订做的化学试剂。 高纯试剂(EP):包括超纯、特纯、高纯、光谱纯,配制标准溶液。 此类试剂质量注重的是:在特定方法分析过程中可能引起分析结果偏差,对成分分析或含量分析干扰的杂质含量,但对主含量不做很高要求。 色谱纯(GC):[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]分析专用。 质量指标注重干扰[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]峰的杂质。主成分含量高。 色谱纯(LC):液相色谱分析标准物质。质量指标注重干扰液相色谱峰的杂质。主成分含量高 指示剂(ID):配制指示溶液用。 质量指标为变色范围和变色敏感程度。可替代CP,也适用于有机合成用。 生化试剂(BR):配制生物化学检验试液 和生化合成。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成 生物染色剂(BS):配制微生物标本染色液。 质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成 光谱纯(SP):用于光谱分析。 分别适用于分光光度计标准品、[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Wp][color=#3333ff]原子吸收光谱[/color][/url]标准品、原子发射光谱标准品 电子纯(MOS):适用于电子产品生产中,电性杂质含量极低。 当量试剂(3N、4N、5N):主成分含量分别为99.9%、99.99%、99.999%以上。 电泳试剂:质量指标注重电性杂质含量控制。

  • 【分享】化学试剂的纯度和使用范围

    化学试剂的纯度目前在我国仍然划分为: 国标试剂:该类试剂为我国国家标准所规定,适用于检验、鉴定、检测 基准试剂(JZ,绿标签):作为基准物质,标定标准溶液。 优级纯(GR,绿标签)(一级品): 主成分含量很高、纯度很高,适用于精确分析和研究工作,有的可作为基准物质。 分析纯(AR,红标签)(二级品): 主成分含量很高、纯度较高,干扰杂质很低,适用于工业分析及化学实验。 化学纯(CP,蓝标签)(三级品): 主成分含量高、纯度较高,存在干扰杂质,适用于化学实验和合成制备。 实验纯(LR,黄标签): 主成分含量高,纯度较差,杂质含量不做选择,只适用于一般化学实验和合成制备。 教学试剂():可以满足学生教学目的,不至于造成化学反应现象偏差的一类试剂。 指定级 (ZD),该类试剂是按照用户要求的质量控制指标,为特定用户订做的化学试剂。 高纯试剂(EP):包括超纯、特纯、高纯、光谱纯,配制标准溶液。 此类试剂质量注重的是:在特定方法分析过程中可能引起分析结果偏差,对成分分析或含量分析干扰的杂质含量,但对主含量不做很高要求。 色谱纯(GC):[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]分析专用。 质量指标注重干扰[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]峰的杂质。主成分含量高。 色谱纯(LC):液相色谱分析标准物质。质量指标注重干扰液相色谱峰的杂质。主成分含量高 指示剂(ID):配制指示溶液用。 质量指标为变色范围和变色敏感程度。可替代CP,也适用于有机合成用。 生化试剂(BR):配制生物化学检验试液 和生化合成。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成 生物染色剂(BS):配制微生物标本染色液。 质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂,可用于有机合成 光谱纯(SP):用于光谱分析。 分别适用于分光光度计标准品、[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Wp][color=#3333ff]原子吸收光谱[/color][/url]标准品、原子发射光谱标准品 电子纯(MOS):适用于电子产品生产中,电性杂质含量极低。 当量试剂(3N、4N、5N):主成分含量分别为99.9%、99.99%、99.999%以上。 电泳试剂:质量指标注重电性杂质含量控制。

  • 试剂纯度各种表述的含义?

    广试的硝酸是分ar分析纯、gr优级纯,等等,这是我这里常用试剂的常见纯度分级标识。在论坛里见到电子行业试剂是按照up、ups、el级分的,这些个又带表什么意思,各自是什么样的纯度?广试的硝酸我之前用过gr的做[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url],其中铬含量有点高,新换一个批次后更高了,就换德国默克的硝酸了,那个又是怎么分级的?又对应国内什么纯度呢?

  • 【转贴】超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术

    超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术1 微电子技术的发展微电子技术主要是指用于半导体器件和集成电路(IC)微细加工制作的一系列蚀刻和处理技术,其中集成电路,特别是大规模及超大规模集成电路的微细加工技术又是微电子技术的核心,是电子信息产业最关键、最为重要的基础。微电子技术发展的主要途径之一是通过不断缩小器件的特征尺寸,增加芯片的面积,以提高集成度和速度。自20世纪70年代后期至今,集成电路芯片的发展基本上遵循GordonEM预言的摩尔定律,即每隔1.5年集成度增加1倍,芯片的特征尺寸每3年缩小2倍,芯片面积增加约1.5倍,芯片中晶体管数增加约4倍,也就是说大体上每3年就有一代新的IC产品问世。在国际上,1958年美国首先研制成功集成电路开始,尤其是20世纪70年代以来,集成电路微细加工技术进入快速发展的时期,这期间相继推出了4、16、256K 1、4、16、256M 1、1.3、1.4G的动态存贮器。进入20世纪90年代后期,IC的发展更迅速,竞争更激烈。美国的Intel公司、AMD公司和日本的NEC公司这3个IC生产厂家的竞争尤为激烈,1999年Intel公司、AMD公司均实现了0.25Lm技术的生产化,紧接着Intel公司在1999年底又实现了0.18Lm技术的生产化,AMD公司也在紧追不舍。到2001年上半年,Intel公司实现了0.13Lm技术的生产化,而到2001年的2季度末,日本的NEC公司宣布突破了0.1Lm工艺技术的难关,率先成功研发出0.095Lm的半导体工艺技术,现已开始接受全球各地厂商的订货,并将于2001年的11月开始批量生产。因此,专家们认为世界半导体工艺技术的发展将会加速,半导体制造厂商将会以更先进的技术加快升级换代以适应新的市场要求。我国集成电路的研制开发始于1965年,与日本同时起步,比韩国早10年。现在我国已经有了从双极(5Lm)到CMOS、从2~3Lm到0.8~1.2Lm及0.35~0.5Lm工艺技术,并形成了规模生产,0.25Lm工艺技术生产线目前正在北京和上海同时建设,预计到2002年即可投产。“十五”期间及到2010年北京建设的北方微电子基地将建成20条0.35、0.25和0.18Lm工艺技术生产线,上海在浦东将建成大约40条0.35、0.25及0.18Lm工艺技术生产线,深圳也将建设多条超超大规模集成电路生产线。随着芯片制造技术向亚微米发展,出现了产品“多代同堂”的局面,以满足不同用途的需要。可说在生产技术方面我国几乎已经与国际先进水平同步,但在研发方面,我国与国际先进水平还有较大的差距。2 超净高纯试剂的现状超净高纯试剂(国际上称为ProcessChemi-cals)是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀,它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。随着IC存储容量的逐渐增大,存储器电池的蓄电量需要尽可能的增大,因此氧化膜变得更薄,而超净高纯试剂中的碱金属杂质(Na、Ca等)会溶进氧化膜中,从而导致耐绝缘电压下降 若重金属杂质(Cu、Fe、Cr、Ag等)附着在硅晶片的表面上,会使P-N结耐电压降低。杂质分子或离子的附着又是造成腐蚀或漏电等化学故障的主要原因。因此,随着微电子技术的飞速发展,对超净高纯试剂的要求也越来越高,不同级别超净高纯剂中的金属杂质和颗粒的含量要求各不相同,而配套于不同线宽的IC工艺技术。超净高纯试与IC发展的关系见表1。[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2006/08/200608011544_22431_1634962_3.gif[/img]国外20世纪60年代便开始生产电子工业用试剂,并为微细加工技术的发展而不断开发新的产品。到目前为止,在国际上以德国E.Merck公司的产量及所占市场份额为最大,其次为美国Ashland、Olin公司及日本的关东株式会社,另外还有美国的MallinckradtBaker公司、英国的B.D.H.公司、前全苏化学试剂和高纯物质研究所、三菱瓦斯化学、伊期曼化学公司、AlliedSig-nal公司、Chemtech公司、PVS化学品公司、日本化学工业公司及德山公司等。近年来,新加坡、台湾地区也相继建立了5000~10000t级的超净高纯试剂生产基地。由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大,从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多,生产规模不断扩大,但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。为了能够规范世界超净高纯试剂的标准,国际半导体设备与材料组织(SEMI)于1975年成立了SEMI化学试剂标准委员会,专门制定超净高纯试剂的国际标准。目前国际SEMI标准化组织将超净高纯试剂按应用范围分为4个等级:(1)SEMI-C1标准(适用于1.2Lm IC工艺技术的制作) (2)SEMI-C7标准(适用0.8~1.2Lm IC工艺技术的制作) (3)SEMI-C8标准(适用于0.2~0.6Lm IC工艺技术的制作) (4)SEMI-C12标准(适用于0.09~0.2Lm IC工艺技术的制作)。我国超净高纯试剂的研制起步于20世纪70年代中期,1980年由北京化学试剂研究所(以下简称试剂所)在国内率先研制成功适合中小规模集成电路5Lm技术用的22种MOS级试剂。随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严,同时对生产环境、包装方式及包装材质等提出了更高的要求。为了满足我国集成电路发展的需求,国家自“六五”开始至“八五”,将超净高纯试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划,并由试剂所承担攻关任务。到目前为止,试剂所已相继推出了BV-Ⅰ级、BV-Ⅱ级和BV-Ⅲ级超净高纯试剂,其中BV-Ⅲ级超净高纯试剂达到国际SEMI-C7标准的水平,适用于0.8~1.2Lm工艺技术(1~4M)的加工制作,并在“九五”末期形成了500t年的中试规模。目前试剂所正在进行用于0.2~0.6Lm工艺技术的BV-Ⅳ级超净高纯试剂的研究开发。

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    大家用过哪个厂家的微电子化学试剂,做重金属元素用的,效果怎么样

  • 色谱纯试剂介绍

    色谱纯试剂:色谱纯试剂是指进行色谱分析时使用的标准试剂,在色谱条件下只出现指定化合物的峰,不出现杂质峰。成都雅源科技专业提供甲醇,乙腈等色谱纯试剂。化学纯试剂是指一般化学试验用的试剂,有较少的杂质,不妨您的实验要求。分析纯是指做分析测定用的试剂,杂质更少,不妨碍分析测定。色谱纯、分析纯、化学纯,是指试剂的纯度级别,三种试剂所使用的标签也有所不同:化学纯试剂标签为兰色,分析纯试剂标签为红色,色谱纯试剂标签为绿色.。对于化学纯,分析纯,优级纯,不同的药品好象要求不一样。 比如:重铬酸钾Potassium Dichromate 分子式:k2Cr2O7 分子量:294.18品级:试剂性状:橙红色结晶,颗料或粉末,氧化剂,溶于水,不溶于乙醇,有毒。技术要求:GB642-86  1、k2Cr2O7含量不少于优级纯分析纯……99.8%化学纯……99.5%   2、杂质最高含量   名称 优级纯 分析纯 化学纯   水不溶物 0.003 0.005 0.01   干燥失重 0.05 0.05   氯化物(Cl) 0.001 0.002 0.005   硫酸盐(so4) 0.005 0.01 0.02   钠(Na) 0.02 0.05 0.1   钙(Ca) 0.002 0.002 0.01   铁(Fe) 0.001 0.002 0.005   铜(Cu) 0.001   铅(Pb) 0.005   超高纯≥ 99.99%   优级纯≥ 99.8%   分析纯≥ 99.7%   化学纯≥ 99.5%   超高纯试剂: UP-S级(也就是MOS级):金属杂质含量小于1ppb,适合   0.35—0.8微米集成电路加工工艺。   等离子体质谱纯级试剂(ICP-Mass Pure Grade):   绝大多数杂质元素含量低于0.1ppb,适合等离子体质谱仪(ICP Mass)   日常分析工作。   等离子体发射光谱纯级试剂(ICP Pure Grade):   绝大多数杂质元素含量低于1ppb ,适合等离子体发射光谱仪(ICP)   日常分析工作。   原子吸收光谱纯级试剂(AA Pure Grade):   绝大多数杂质元素含量低于10 ppb ,适合原子吸收光谱仪(AA)   日常分析工作。

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