激光雕刻机

在近日召开的陕西省刑事新技术培训班上，一款名为“立体足迹激光扫描采集分析仪”的刑事技术新产品在会上进行了功能展示，引起在座基层刑事技术民警的浓厚兴趣，大家在展台亲手操作使用设备，他们认为，推广此项技术对提高办案质量和办案速度势必起到积极作用。此前，该仪器在全国第六届好痕迹检验技术研讨会上得到足迹专家的一致好评，目前已获我国独立知识产权最高级别的发明专利。　　以往，在国际上，提取立体足迹通常采用是高灌注法，不但效率低，而且需要操作者具有一定的提取经验，尤其是在针对雪地、灰尘等软基客体的足迹时，难度更大，一单提取失败无法挽救，是现场的重要物证遭受损失。立体足迹激光 扫描采集分析仪的问世，掀开了刑事技术研究崭新的一页，该设备的非接触提取和数字化处理取代了百年来一直靠手工制模提取和经验型检验的模式，为刑侦专家快速有效处置案件事故提供先进实用的科技手段。该分析仪的主要技术特点是：　　实现数字化无损提取现场立体足迹　　该仪器能够快速、准确、无损地提取现场立体足迹。利用现代激光扫描三位测量和计算机技术，实现了对现场立体足迹原物大、原始形态的数字化采集、存储和传输，直接记录并显示足迹各部位的三维数据，如足迹重压点位置及深度、鞋底磨损形态及范围等。亦可用于提取轮胎等其他立体痕迹。采集设备与足迹不直接接触，从根本上解决了外界对足迹的干扰破坏，真正实现了原始无损提取，避免了“实物填充法”带来的人为破坏和变形，以及后期材料干缩、裂纹等问题，为综合利用提供了条件，为准确 检验鉴定奠定了基础。　　多功能数字化辅助检验工具　　利用软件模拟比较显微镜原理，研究出立体足迹辅助检验专家传统，设计出双视窗检验、三维重建显示、重压点检验自动搜索、磨损面检验、坐标网络、深度伪彩三维贴图、标注方式长度角度面积的双视窗数据同步对比测量等 一系列专业化设计的辅助检验工具。首次实现了对现场足迹的重压点和磨损变形的辅助检验。使经验专家型进入了数字化定量检验。坐标检验和网络格检验工具，给各类足迹特征检验提供了一个快捷有效的检验手段，尤其是游动式坐标检验工具，可把0点定在任一特征位置，依此扩展进行定量化检验，使检验更加灵活、方便和实用。　　机械化还原现场立体足迹　　系统根据三维测量数据，直接计算出雕刻机加工代码，利用三维雕刻机，直接对高密度板等板材加工雕刻，实现对立体足迹的加工还原。既可还原造型客体(鞋底)模型，也可还原承受客体(凹痕)模型，还原足迹具有高精度、不变形、易保存，经久、耐磨、抗摔，便于携带等优点。　　今年6月，应湖北省公安刑警总队痕迹室之约，研制单位技术人员携带该设备赶到武汉，会同五位全国著名足迹专家，利用该仪器对震惊全国的“12.7”案件的现场证据进行检验分析，因嫌疑人在逃，嫌疑人家里遗留的鞋子与现场遗留的足迹缺乏行走的样本比较，五位足迹专家意见不一致。之前，因该案件现场能提取的足迹痕迹和其他有价值的痕迹、线索有限，使安检一度进展不顺利。技术人员使用该仪器吧现场提取的足迹痕迹检材和嫌疑人家里提取的鞋子进行扫描分析，并把结果送给专家进行研判，使专家意见得到统一，锁定了犯罪嫌疑人。

2017年3月7-9日，广东正业科技股份有限公司（股票代码：300410）隆重参加了在上海国家会展中心举办的第26届中国国际电子电路展览会（cpca show 2017），展示了公司最新的技术成果，现场签获多个订单，取得可喜的展销成绩！（展会现场） 本次展会由国家工业和信息化部支持，中国印制电路行业协会主办，是pcb行业最大的展览会之一。正业科技携手旗下全资子公司昆山市正业电子有限公司，盛大参加了此次展会。并展出了pcb全自动在线二维码激光雕刻机、字符喷印机、全自动贴补强机、uv激光打孔机、检孔机+自动化、tdr阻抗测试仪、功能膜、滤芯系列、补强钢片等新产品和新技术，获得行业的高度评价。 （探讨全自动激光二维码打标机） 作为此次展会上的明星展品——pcb全自动在线二维码激光雕刻机，是正业科技为客户开发的一套技术解决方案，该系统可实现pcb板生产的全自动过程控制，通过二维码等信息进行追溯，管控品质，公司凭借此技术入选华为的指定供应商，该技术设备已经成功在景旺等业内大客户使用。 (客户了解我司产品) 字符喷印机和全自动贴补强机，经过升级换代，实现了更精准、更高效的技术要求，展会现场获得客户的大量咨询和合作意向。 （客户咨询字符喷印机） 正业科技的高端电子材料，滤芯、功能膜等，也取得优秀的展销成绩，并成功在展会现场签单。 （工作人员介绍正业滤芯） 此次展会，正业科技精彩亮相行业展，展示了公司品牌形象和市场影响力，加强了和新老客户的合作关系。未来，正业科技将持续参加此行业展，欢迎行业朋友前来洽谈合作。 （展会现场）

一、产品介绍 凌创（LC）系列智能型冷却水循环机可广泛应用于各类精密仪器设备冷却，循环水质结净，换热效率高，循环冷却水恒流或恒压模式可选，自动调节冷却水流量或压力，精确在线显示循环冷却水流量及压力；采用自主研发的智能控制系统，循环冷却水温度、流量或压力控制精度高；可与需冷却设备之间通讯，通讯协议RS485、RS232、Can通讯可选，本地或远程调节循环冷却水温度、流量、压力等参数。二、主要特点智能化控温、控流、控压；采用PID控温，控温精度达±0.1℃；外形美观、操作方便；可远程设置温度、流量、压力等参数；可远程启停设备；可扩展电导率在线检测，实时检测循环水质状态；三、应用领域分析仪器领域：原子吸收光谱仪（AAS）、电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）、扫描仪、透射电镜（TEM）、氧氮氢分析仪 实验仪器领域：疲劳试验机、高频熔样机、凯氏定氮仪、索氏提取器、脂肪提取仪、旋转蒸发仪、不锈钢（玻璃）反应釜、发酵罐、回流提取装置、蒸馏冷凝器、电泳仪、手套箱 激光设备领域：激光打标机、激光切割机、激光雕刻机、激光打印机、激光投影仪、激光器 真空设备领域：真空镀膜机（包括真空离子蒸发/磁控溅射/MBE分子束外延/PLD激光溅射沉积）、真空炉、等离子刻蚀机、真空泵（分子泵/扩散泵/旋片泵/罗茨泵/干泵） 机床设备领域：CNC机床电主轴/液压站/润滑站/切削加工液/减速箱、CNC机床伺服电机/直线电机/力矩电机 注塑设备领域：小型注塑机、小型挤出机 包装机械领域：PCB钻孔机、铣边/槽机、贴片机、充磁机创新点：1、冷却水自动恒流、恒压模式可选:流量、压力可以精确自动调节，流量控制精度± 0.2L/min，压力控制精度± 5Kpa；2、冷却水电导率检测：通过检测冷却水电导率大小自动判断循环水质情况，及时提醒用户更换循环水，提高被冷却仪器的使用寿命和散热效率，使得被冷却设备运行更加安全、稳定；3、多种通讯协议可选：RS485、RS232、以太网、CAN通讯可选，本地+远程控制冷却水温度、流量、压力及产品故障报警信息；凌工智能型冷却水循环机(LC2500)

项目编号：[230001]GFCG[TP]20220015-1项目名称：学科建设仪器设备采购(二次)采购方式：竞争性谈判预算金额：2,609,930.00元采购需求：合同包1(学科建设仪器设备采购1包):合同包预算金额：1,379,930.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他仪器仪表高性能计算化学模拟平台1(台)详见采购文件120,000.00-1-2其他仪器仪表塔式服务器1(台)详见采购文件138,000.00-1-3其他仪器仪表高频脉冲试验电源1(台)详见采购文件235,000.00-1-4其他仪器仪表三合一红外热像1(台)详见采购文件46,530.00-1-5其他仪器仪表科研用工作站1(台)详见采购文件108,000.00-1-6其他仪器仪表静电直写机1(台)详见采购文件58,300.00-1-7其他仪器仪表气相色谱仪2(台)详见采购文件119,000.00-1-8其他仪器仪表高温介电阻抗温谱仪1(套)详见采购文件434,500.00-1-9其他仪器仪表光纤激光雕刻机1(台)详见采购文件24,000.00-1-10其他仪器仪表LCR数字电桥1(台)详见采购文件21,700.00-1-11其他仪器仪表电化学工作站1(台)详见采购文件74,900.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后30个日历日内交货并安装调试完毕合同包2(学科建设仪器设备采购2包):合同包预算金额：1,230,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1其他仪器仪表电子顺磁共振波谱仪（进口）1(台)详见采购文件690,000.00-2-2其他仪器仪表旋转流变仪 （进口）1(台)详见采购文件260,000.00-2-3其他仪器仪表总有机碳分析仪（进口）1(台)详见采购文件280,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：免税申请表批准后90日内供货

14日夜，国际顶级学术期刊《自然》发表了我国科学家在下一代光电芯片制造领域的重大突破。南京大学张勇、肖敏、祝世宁领衔的科研团队，发明了一种新型“非互易飞秒激光极化铁电畴”技术，将飞秒脉冲激光聚焦于材料“铌酸锂”的晶体内部，通过控制激光移动的方向，在晶体内部形成有效电场，实现三维结构的直写和擦除。这一新技术，突破了传统飞秒激光的光衍射极限，把光雕刻铌酸锂三维结构的尺寸，从传统的1微米量级（相当于头发丝的五十分之一），首次缩小到纳米级，达到30纳米，大大提高了加工精度。这一重大发明，未来或可开辟光电芯片制造新赛道，有望用于光电调制器、声学滤波器、非易失铁电存储器等关键光电器件芯片制备，在5G/6G通讯、光计算、人工智能等领域有广泛的应用前景。

仪器是科学创新的重要基础和条件，科学发现不仅仅需要理论创新，还需要依靠仪器进行实验观察和检测。中国科学院化学研究所作为具有重要国际影响、高水平的研究机构，在高分子科学、物理化学、有机化学、分析化学、无机化学等领域，面向世界科技前沿，取得了一系列杰出研究成果，其科研开展离不开仪器的支持。根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，为优化政府采购营商环境，提升采购绩效，相关单位需公开政府采购意向，内容应包括项目名称、需求概况、预算金额、采购时间等。作为仪器使用大户，中国科学院化学研究所于近日公布了26项仪器类政府采购意向，预算金额相加达7957万元，采购品目包括光刻机、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、扫描电镜、透射电镜等诸多仪器类型，预计采购时间为2022年6月。中国科学院化学研究所2022年6月仪器采购意向汇总表序号采购项目预算金额（万元）项目详情1喷墨打印设备350详情链接2激光雕刻头150详情链接3紫外光刻机296详情链接4等离子体刻蚀机261详情链接5连续印刷狭缝涂布机500详情链接6单片狭缝涂布机100详情链接7快速停流吸收光谱仪211详情链接8快速停流荧光光谱仪212.1详情链接9显微共焦拉曼光谱仪195详情链接10X-射线衍射仪630详情链接11皮秒光参量放大器160详情链接12皮秒激光放大器130详情链接13飞秒激光振荡器100详情链接14飞秒激光放大器105详情链接15低温强磁场扫描探针显微镜550详情链接16半自动探针台140详情链接17低温强磁场共聚焦显微镜表征系统540详情链接18场发射透射电子显微镜950详情链接19高分辨扫描电子显微镜497详情链接20聚焦离子束设备450详情链接21扫描离子电导显微镜150详情链接22低温综合物性测量系统450详情链接23激光扫描共聚焦显微镜430详情链接24微通道反应装置150详情链接25等温滴定微量热仪130详情链接26富勒烯制备装置120详情链接

2016年12月7-9日，广东正业科技股份有限公司将隆重参加了线路板行业最大的盛会之一——2016国际线路板及电子组装华南展(2016 HKPCA & IPC Show)，展示了公司一年来的科技创新成果，取得了优秀的展览成绩。其中的自动化技术，闪耀登场，获得众多嘉宾的关注。 本次展会，正业科技展示了最新的自动化技术：PCB全自动在线二维码激光雕刻系统、检孔机+自动化，和经过升级换代的技术：字符喷印机、新款TDR特性阻抗测试仪，以及众多高端电子新材料：功能膜、滤芯系列、补强钢片等。 作为本次展览会上的明星展品，PCB全自动在线二维码激光雕刻系统首次亮相重大展会，获得众多新老客户的关注。此款技术是为解决PCB板打二维码的全自动技术难题而研发，旨在帮助PCB生产商实现产品溯源、精益管理等。 字符喷印机、新款TDR特性阻抗测试仪、检孔机+自动化，在展会现场也取得了可喜的展览效果。其中的字符喷印机，获得众多客户的亲睐，现场形成多个订单意向。本款技术在市场应用中，获得良好的市场反馈，并已出口到韩国、台湾等地区。 作为正业科技另一支柱产业——高端电子材料，在本次展会上，也取得了不错的展销成绩。正业科技展出了PI补强板、纯胶膜、覆盖膜、离型膜等功能膜，以及滤芯、不锈钢片等材料。 本次展会，众多新老客户齐聚正业科技展台交流洽谈，现场人员爆满，业务交流和技术探讨十分火爆。

市场细分　　通信和光存储仍然是激光产业最大的细分市场，然后是材料加工和光刻激光器市场部分。对于2014年，医疗和美容激光产品销售总额仍然大于仪器和传感部分，最后是科研和军事细分市场。　　通信和光存储　　光存储市场疲软继续阻挠通信和光存储整个激光产品市场上扬 然而，通信部分激光器的销售额正蓬勃向上。基于PIC的通信网络系统供应商Infinera将之称为 &ldquo T比特时代&rdquo 并报道称相比于2013年同期销售额1.42亿美元，2014年第三季度销售额增长至1.74亿美元。LightCounting称2014年第二季度光收发器的全球销售额达11亿美元，连续五个季度增长。　　2014年通信和光存储激光产品市场营业收入达到35.15亿美元，预计2015年增长2.8%达到36.15亿美元。尽管2014年大多数通信激光供应商的财务状况是良好的，但是戴尔的Oro集团预测2015年通信设备投资支出将会下降，原因是高级移动设备渗入、移动数据增长缓慢、缺乏新的收入来源以及发展中和未开发市场的竞争加剧。然而考虑到光通信正推动&ldquo 物联网(IOT)&rdquo ，这种预测令人相当费解：为了远程监控和诊断实现云连接，还有一大堆没有被命名的&ldquo 智能&rdquo 应用。　　&ldquo 从铁路和电网采用的联网系统到连接个人终端的网络交换机客户端设备，无线设备，Cisco公司和Intel使Predix分布于终端，甚至在一些最苛刻的条件下，&rdquo 通用软件副总裁Bill Ruh在一个新闻发布会上说，并描述了在IoT世界软件和硬件如何惬合在一起。　　Cisco系统董事长兼首席执行官John Chambers在2014年国际消费者电子展览上发表主题演讲，报道&ldquo 涉及IoT的价值&rdquo 达19万亿美元，并描述IoT如何使城市智能化，例如，通过更加智能化的公共建设投资获得直接的回报。　　无论你把它叫做物联网或是干脆称为&ldquo 智能工具&rdquo ，对于光电子，尤其是激光产业来说，都是信息引擎的&ldquo 燃料&rdquo 。你能想象互联网是如何快速响应Gartner公司49亿连接设备实现无缝管理的吗?这些设备将在2020年增加到250亿台。　　材料加工及光刻　　2014年工业激光系统占全球机床销售的14%，所以毫无疑问世界制造业的健康发展意味着整个工业激光产业的健康状况。预计2014年机床消费增长在5%~7%的范围内，工业激光系统市场有望在此范围内。　　在工业激光市场方面，中国的首要任务是重塑他们的经济提供更多内需，减少对出口的依赖以及对资本密集型的国有企业的投资。处于经济衰退领域的欧洲制造业开始出现复苏的迹象，即使德国的制造业一直温和增长。在北美地区，随着经济的好转，美国市场变得&ldquo 五光十色&rdquo ，2015年住房和住宅实力增长，能源热潮至少持续至未来三年。金砖四国被预计将推动2014年工业激光市场发展，但因俄罗斯和巴西的停滞不前以及中国和印度经济放缓而表现不佳。至于2015年，国际货币基金组织(IMF)使公众注意美国、印度和英国是最有可能实现正增长的地区，同时警告全球资本投资的增加。　　随着2014年的结束，用于制造业的工业激光市场的整体销售超过26亿美元，与2013年营业收入相比增加了6%(见表1)。2014年，用于材料加工应用的光纤激光器占全球激光器市场总营业收入的29%，仅次于通信应用领域的激光器市场部分(32%)。全球制造业的变幻莫测使激光在光电子领域紧随其后。　　显而易见的是光纤激光器持续强劲增长的影响，在损害固态和CO2激光器市场的前提下，在整个工业激光市场的份额增长到了36%。作为最大的创收类别，光纤激光器行业是工业激光解决方案每年市场调查备受瞩目的部分。　　光纤激光器作为动力源在金属切割方面的应用，尤其是在板材切割方面，系统的造价超过65万美元，2014年的营业收入超过13亿美元。加上高功率CO2激光器在同类应用的收入使整个资本设备的投资接近40亿美元，是2014年所有工业激光系统的销售的三分之一。　　2014年同样值得注意的还有占整个市场份额13%的高功率二极管。这种相对新颖的市场产品主要用于在线应用，例如钎焊汽车的顶部以及其他金属部件。静静地，这一高效激光器雕刻出了一个利基市场。　　高亮度高功率直接二极管激光器作为光纤激光器在金属板材加工方面的代替者，切割的质量和速度完全可以与等功率的光纤和盘形激光器媲美。虽然其销售量微乎其微，但是2014年其利润率相当可观。　　随着光纤激光器继续无情的渗透到成熟市场，如打标市场，使固态激光器的销售额下降。7.5亿美元以上的打标/雕刻系统市场由低功率光纤激光器和封离式CO2激光器分别占据。后者用于非金属雕刻是相当安全的，由于波长的兼容问题。持续的固态激光器收入是快速接纳工作在兆瓦峰值功率状态、皮秒和飞秒脉冲宽度的超快(或超短脉冲)激光器，集中在微材料加工应用，例如，智能电话和平板电脑的器件加工。工作在非常短的脉冲宽度的光纤激光器在争夺这一市场份额，一些分析师推测，微加工有可能是这些激光器的下一个增长点。一些研究将近期超快脉冲激光器市场定在4.5亿美元。　　然而在涉及微材料加工问题上，激光添加剂制造(AM)领域的强劲增长促进了固态激光器和光纤激光器的收入增加。沃勒斯联营公司表示，2013年AM增长超过63%，其中37%营业收入来自于3D和AM零件最终产品而不是原型。在关于AM的航空航天供应的调查显示，27%的公司已经使用，10%预计未来一年内使用，37%预计在未来五年内使用。随着公司挑战AM的&ldquo 极限&rdquo 激光加工将乘风破浪。　　大型材料加工应用除了激光切割占高功率激光器营业收入的25%。领先收入增长10%的市场是用于焊接应用的光纤激光器和CO2激光器，主要集中在汽车行业。光纤激光器供应商预计焊接是未来几年一个不断扩大的市场。　　总结2014年工业激光市场，打标同比增长4% 微材料加工增长14% 大型材料加工扩大8%。材料加工整体销售增长6%。　　正如前面提到的，对于工业激光器的预测将遵循全球机床行业同样温和增长趋势。2014年11月澳大利亚的G20峰会以后，英国首相卡梅伦说：&ldquo 世界经济亮起了红灯&rdquo 。受采访的工业激光及系统供应商的普遍共识是2015年将继续2014年的增长势头，预计增长比例在5%左右。这与许多专家经济分析师预测降低GDP的国际经济缓慢增长、大多数先进、规模扩大和新兴工业化经济体相一致。　　这一增长将再次由光纤激光器领导，但是增长率略低于2014年。光纤激光器有望继续侵蚀CO2和长脉冲固态激光器的市场份额。超快脉冲固态激光器将经历由大型加工应用包括AM在内的重要销售增长。高功率激光器在金属切割方面应用将稳定在一个比较稳定的个位数增长速度上，但是用于焊接的激光器预计在2015年增长两位数。　　医疗和美容　　医用激光器的重要性由以下2014年公告表明：长春新产业出品的用于光遗传学的2000MxL系列激光器(波长在405~671nm)出货量创下历史记录 相干公司推出其第2000台变色龙系列激光器用于多光子显微镜 英国Fianium公司交付了第 1000台超连续激光器，不断提高其性能用于超快光谱、近场成像和显微镜。　　&ldquo 我们将完成本财年医用激光系统30%的营业收入增长，现在的生物医学系统集成商和制药公司正在寻找完整的解决方案而不局限在器件，&rdquo Modulight公司的总裁兼首席执行官Petteri Uusimaa说，&ldquo 通过提供终端到终端解决方案，我们已经签署了一些多年合同，并在2014年使我们的生命科学业务翻倍。&rdquo 　　2014年，外科、眼科和美容激光销售额分别增长13%、9%、8%，2014年医用和美容激光器市场销售额为7.45亿美元，预计2015年增长9%超过8.15亿美元。　　虽然2014年牙科用激光器销售额只增长了1%，超快激光器改变了这一增长比率。&ldquo 现在的Er：YAG和CO2微秒和纳秒脉冲牙科激光器的能量太高，激光与组织作用时间太长，需要提供必要的热和应力限制，以防止微裂纹、术前和术后疼痛，并/或在牙科应用中电离水分子引发癌症，&rdquo 德国特劳恩施泰因山的执业牙医Anton Kasenbacher说，&ldquo 超短脉冲皮秒激光器高速扫描自动对焦反馈实现高烧蚀率，减少口内抽吸的次数，并允许使用单个系统进行治疗和诊断，控制生物安全非线性光子吸收。&rdquo 　　Kasenbacher说考虑到2011年美国估计有154000所牙科诊所，产生了近 1080亿美元的收入，牙科用激光器的未来销售潜力是巨大的。　　在激光美容领域，Cynosure公司2014年第三季度的营业收入与去年同期相比增长18%达到7150万美元。而欧洲的收入增长只有17%，美国营业收入增长17%，最大的增幅46%来自亚太地区。销售增长主要是因为FDA和其他政府批准Cynosure公司的PicoSure产品用于良性病变、痤疮疤痕、纹身和祛皱。　　Cutera公司2014年第三季度营业收入增长11%达到1870万美元 Lumenis公司2014年第三季度营业收入7420万美元，与去年同期相比增长9.4% Syneron-Candela公司2014年第三季度营业收入增长8.3%达到6030万美元。在所有的情况下，公司将增长归因于FDA授权以及全球对激光治疗的强大接受度。2014年以后，许多公司开始增加激光去除脂肪技术，这是明智之举，ABC新闻报道每年美国有1.08亿节食者大约花费200亿美元用于减肥。　　仪器与传感　　&ldquo 目前，超分辨率显微镜是激光仪器市场最有活力的部分，&rdquo 国际战略方向咨询服务的副总裁Mike Tice说，&ldquo 虽然激光扫描共聚焦显微镜已经存在了几十年，过去十到十五年发明的新技术正在大力商业化，诺贝尔化学奖最近又奖励了两项特殊技术&mdash &mdash 受激发射损伤STED和单分子显微镜，突破了光学显微镜的衍射极限，这些和其他超分辨率技术的首字母缩略词，如STORM、PALM和SIM，将有助于进一步生命科学研究，&rdquo Tice补充道，&ldquo 历史悠久的激光诱导击穿光谱[LIBS]技术正在经历复兴，作为下一代系统将提供更好的性能，一些LIBS的供应商将LIBS装配成手持式装置拓宽其应用范围。&rdquo 　　除了显微镜和能谱检测仪器，光学相干断层扫描(OCT)系统随着应用的增长在尺寸上持续缩减，在这种情况下，OCT正在超越眼科基础。2014年2月，Axsun技术公司，Volcano集团的全资子公司，从英国Michelson Diagnostics收到了扫频激光光学相干断层扫描(OCT)引擎的一笔大订单，将为Michelson的Vivosight多光束OCT系统提供动力。Michelson称Vivosight是第一个高清晰度肌肤成像OCT扫描仪，可进行非黑色素瘤皮下组织结构的皮肤癌诊断。　　在传感领域，物联网应用和智能小工具将使激光制造商保持忙碌几十年。此外，激光器销售直接受益于美国石油和天然气的繁荣。2013年花在分布式光纤传感器的费用是5.85亿美元(预计2018年将达到14.6亿美元)，根据2014光子传感器协会发布的消息，70%的销售额与石油和天然气市场细分相关。我们预测，分析、传感器、仪器仪表和生命科学激光市场预计在2015年增长7.5%达到6.62亿美元，轻松超过科学研究和军事细分市场的组合总销售额。　　科学研究和军事　　&ldquo 虽然全球经济环境疲软、汇率贬值滞缓了去年增长，我们仍然预测用于研发的DPSS和二极管激光器的销售额增长30%，包括LIBS、拉曼检测、光谱仪和粒子成像测速应用，&rdquo 长春新产业光电技术有限公司的销售经理刘天虹(音译)说，&ldquo 公司成立于1996年，生产的第一台激光器用于低端应用。现在，集成脉冲调制和客户定制光纤传输使我们可以为客户提供满足科学研究要求的激光器。&rdquo 　　AdValue光电子公司主要面向科技研发市场销售，计划2015年的营业收入增长达30%~50%。AdValue业务发展总监Katherine Liu说，&ldquo 虽然我们的连续波光纤激光器产品面临着市场的日益竞争，我们的2&mu m脉冲光纤激光器用于非线性光学和材料研究获得一致好评。&rdquo 　　激光物质相互作用研究继续推动大量研发激光器销售。2013年2月，Lasertel公司从利弗莫尔国家实验室获得500万美元合同，为极端光基础设施ELI束线设施供应兆瓦级泵浦激光器模块。　　美国联邦采购数据分析显示与2012年相比，2013年国防部因扣押消费合同类经费下降16%，研发类经费下降最多为21%，2014年持续下跌。　　然而，全球范围内HIS简氏防务预算年度回顾说，2014年国防支出将增长0.6%，达到15470亿美元&ldquo 推动2016年复苏&rdquo 。　　Strategies Unlimited预测2015年科技研发和军事激光市场销售额达5.72亿美元，Frost & Sullivan公司航空航天和国防高级产业分析师Brad Curran预估激光瞄准指示器市场每年销售额为1.5亿美元，定向能武器市场为5000万美元，雷神、洛克希德马丁和波音公司领导这一市场。　　雷神公司最近获得了1100万美元合同开发悍马车载DEW，波音的薄盘激光技术正式以30kW输出进入DEW阶段。Curran说虽然目前市场前景很平缓因大量武器平台削减，但长期来看DEWs的军事应用开销还是会上升。　　娱乐和显示　　2013年底，Christie公司为西雅图全景电影剧场提供并安装了世界上第一个商用数字激光投影仪。全景电影观众观看2014年11月20日放映的&ldquo 饥饿游戏：自由幻梦(上)&rdquo 是由4k、60000流明、6P双头投影照明，虽然人们观影后大多谈到了啤酒和巧克力爆米花而非图像质量，尽管如此，像&ldquo 数字电影激光战&rdquo 2014国际视听展这样的会议已经看不到什么新奇产品，但是未来高流明度、高可靠性、低消耗成本以及高能效激光娱乐产业将会蓬勃发展。　　&ldquo 这是令激光照明产业兴奋的一年，&rdquo Necsel公司的销售和市场副总裁兼激光照明投影仪协会主席Greg Niven说，&ldquo 见证一个全新细分市场的诞生是不常有的事情，数以百万双眼睛将看到高功率可见光激光器进入大型场馆投影仪和低流明办公室数字投影仪市场。这不仅仅是基于激光的各种照明应用的新开始。&rdquo 　　所以等你体验过激光影院之后，前往南部海岸线激光标签总部华盛顿如何呢?公司为你将激光游戏从每小时每个游戏15美元降到了公司到你所处位置每英里 1.12美元。他们的金属激光枪使用红外激光器和传感器作指示，当一个玩家被标记，一些使用可见光激光器(限于室内效果的低功率连续波红或绿光可见光激光器指示器)的玩家就可以看到栩栩如生的射击效果。　　随着激光影院市场的渗透和激光标识游戏的多样化，激光照明显示市场的营业收入持续固定增长。事实上，许多城市正在考虑&ldquo 消灭&rdquo 污染，即烟花汇演产生的固体垃圾也将有利于激光灯光秀的发展。随着所有激光娱乐市场的发展，我们预测2015年娱乐和显示应用的激光市场将增长近11%达到1.97亿美元。　　成像　　从2013年到2018年，CCS公司称打印机出货量将从1.06亿台增加到1.24亿台(同比年增长率3.1%)，其中多功能喷墨打印机占总出货量的50%。增长速度最快的打印机类型是激光多功能打印机，到2018年增长到3000万台(占所有打印机出货量的25%)。　　尽管出货量增加了，打印机价格持续下跌，残酷的价格竞争侵蚀了销售额增长势头。至于2015年，预计用于成像应用的激光市场将由2014年销售额6700万美元下降到6600万美元。

随着物联网的快速发展，开发高灵敏柔性化学阻敏型气体传感器对有毒有害气体的实时监测和安全预警具有重要研究意义。对于传统的硅基气体传感器而言，其高功函数金属叉指电极与半导体敏感材料之间能垒不匹配的问题限制了电荷有效传递及传感性能提升。该工作设计了Ti3C2TxMXene非金属电极（ME）和Ti3C2Tx/WS2气敏材料集成的全柔性纸基传感器，通过同质导电电极和敏感材料的创新设计有效解决能垒不匹配的难题。Ti3C2Tx/WS2纳米片敏感材料具有高导电性、快速电荷转移和丰富的活性位点等优势，与MXene同质导电电极在单一传感通道中形成欧姆接触和肖特基异质结，其异质结调节效应、功函数匹配设计和金属诱导间隙态（MIGS）抑制效应等能有效提升气体传感性能。实验结果表明，柔性纸基ME+Ti3C2Tx/WS2对1 ppm NO2的气体传感响应值（15.2%）是传统金叉指电极Au+Ti3C2Tx/WS2传感响应值（4.8%）的3.2倍，最低理论检测极限为11.0 ppb，同时具备出色的抗湿度稳定性。该工作为基于MXene同质导电电极和气体传感材料集成的全柔性气体传感器设计提供了一种新的思路。研究亮点1.采用激光雕刻辅助压印技术制备柔性纸基Ti3C2TxMXene低功函数非金属材料电极，降低传统高功函数金属电极和半导体电子亲和力之间的能量差，抑制金属诱导间隙态的形成，有效提高金-半界面处的载流子迁移速率。2.构建基于柔性纸基同质Ti3C2TxMXene电极（ME）集成Ti3C2Tx/WS2气敏材料的全柔性气体传感器，实现了室温下对NO2气体的高灵敏度和高选择性传感，其气体传感性能优于传统金叉指电极（AuE）集成的传感器。3. Ti3C2Tx/WS2异质结调节效应促进界面处的电荷载流子传输效率，协同增强了对NO2的吸附性能和传感响应值。调节肖特基势垒高度（SBH）、抑制金属诱导间隙态形成能有效避免费米能级钉扎效应，实现了电荷载流子的自由转移。

双频激光干涉仪是先进制造业、半导体芯片制造等行业不可或缺的纳米精度的尺子，应用广泛。张书练教授团队（先清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，后镭测科技有限公司），以解决双频激光干涉仪关键技术为线，经近40年坚韧攀登，研究完成了“可伐-玻璃组装式单频氦氖激光器→双折射双频激光器→双折射双频激光干涉仪”的全链条技术，并批产。该技术开国内可伐-玻璃组装式氦氖激光器之先，吹制工艺或成历史。开国内外应力激光腔镜产生双频激光之先，解大频差和高功率不可得兼之难，频率差可以在1～40 MHZ范围选择而功率大于1 mW。双折射双频激光干涉仪测量70 m长度误差小于5 μm，非线性误差小于1 nm，测量速度高于3 m。1 研究背景激光干涉仪是当今纳米时代的长度基准，也是先进制造业（机床、光刻机，航空、航天等）制造的精度保证。制造精度和生产效率越来越高，对激光干涉仪的测量精度和测量速度提出了更高的要求。激光干涉仪的“激光”是（HeNe）氦氖激光器，至今无可替代。传统HeNe双频激光干涉仪存两个难点，成为瓶颈：1）国内外，我们之前，双频激光器靠塞曼效应产生两个频率，频率之差小（在3 ~ 5 MHz之间），频差越大激光功率越小，不能满足光刻机等应用的更大频率差要求（如10、20、40 MHz），频率差大，测量速度高，效率高；2）不论是单频还是双频激光干涉仪，国产还是外购，各型号都有几纳米甚至十几纳米的非线性误差，一直没有找到解决办法。通常，在单频激光器的光增益路径上加磁场后（塞曼效应）就变成双频激光器。可是，相当长的期间，购买到的大部分单频激光器因为常出现跳模，用于单频激光干涉仪时淘汰率很高，此外，加上磁场后单频并不呈现双频，双频激光干涉仪难有好的光源。经近40年坚持，研究打通了单频氦氖激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪的全技术链条，批产，获得了广泛应用和认可。2 双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术2.1 双折射双频激光器置晶体石英片（图1a中的Q双面增透）或有内应力的玻璃元件(图1b中的M2右表面镀反射膜）于激光器谐振腔内，这些元件的双折射使激光频率分裂，一个频率分裂成两个频率，两个频率的偏振方向互相垂直（正交偏振）。反复实验证明，激光器可输出频率差大于但不能小于40 MHz两个频率。如果频率差稍大于40 MHz，在改变（调谐）激光频率谐振腔长（即用压电陶瓷1纳米一步“距”的推动M2改变激光谐振腔长）过程中看到的是一个频率振荡会陡然变成两个频率振荡，而前者功率陡然下降一半，刚升起的频率则获得同样的功率。继续调谐腔长，最早振荡的频率会陡然消失，而后起振的频率功率升高到最大。如果频率差小于40 MHz，两频率则有你无我。图2示出了频率差20 MHz时o光和e光的光强度此长彼消得过程。理论和实验一致。图1 激光频率分裂原理图。（a）晶体石英片Q于激光谐振腔内，（b）激光输出镜为M2右表面，对M2加力使激光反射镜内产生应力图2 频差20 MHz时的强烈模竞争。激光强度随腔长调谐（改变）的实验曲线。理论和实验一致图3给出了两个频率的频率差多大时，在频率轴上两个频率的共存区的宽度，也即两个频率差大小对应的共存频域宽度。曲线最左侧可见，在约40 MHz时，共存宽度迅速下降趋于0 Hz，也即小于40 MHz时，两频率之一熄灭，频率差消失。图3 实验测得的两个频率共存的频域宽度和激光频率差的关系2.2 双折射-塞曼双频激光器塞曼双频激光器的频率差一般在5 MHz以下，功率随频率差增大而减小，7 MHz时的激光功率仅0.2 mW以下。作者团队研发的双折射双频激光器频率差大于40 MHz，研制成的双折射-塞曼双频激光器可以输出百KHz到几十MHz的频率差，而功率不因频率差增大而改变，可以达到1.5 mW。双折射-塞曼双频激光器包括两项关键技术，先由双折射造成激光器频率分裂，决定了激光器输出为两个偏振正交频率以及它们的间隔（频率差）的大小。再因激光器上加了横向磁场，横向塞曼效应使增益原子分成两群——π群和σ群。π群和σ群光子的偏振对应双折射互相垂直的主方向，也即正交偏振的光“各吃各粮”，它们之间的相互竞争不存在了，无论频率差大小都能振荡。频率差可以是3、5、7、10、20、40 MHz或更大。2.3 内雕应力双折射-塞曼双频激光器提出了“内雕应力”的概念和产生双频的原理，即用窄脉冲激光器对激光腔镜表面或基片内部造孔（或穴），造成激光腔镜内的应力精确改变（图4所示），“雕刻”提高了频率差的控制精度。“内雕应力”双折射双频激光器不仅用于国产双频激光干涉仪，也用于运行中的光刻机的激光器替换。同时，提供了科研单位的科学研究。该激光器替换正在服役的光刻机的原有激光器，使光刻机机台误差由24 nm下降到6 nm。图4 内雕应力双折射-塞曼双频激光器。M2内部雕刻出的孔造成激光器的双频，磁条PMF1和PMF2消除激光器强模竞争2.4 可伐-玻璃组装式（无吹制）双频激光器国内，研制生产HeNe激光器历史很长，但我国一直靠吹制工艺制造氦氖激光器，而且不能制造可伐-玻璃组装式氦氖激光器。北京镭测科技有限公司研制成可伐-玻璃组装式单频氦氖激光器，功率大于1 mW，满足单频和双频激光器的需求。同时，这一技术将使整个国产氦氖激光器告别吹制，进入一个新的技术高度（如图5所示）。图5 可伐-玻璃组装内雕应力双频激光器（镭测科技提供）2.5 研制成的双频激光干涉仪技术指标作者强调的是，我们有了可伐-玻璃组装式激光器和双折射（内应力）-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪有了强力的“心脏”，有了自主可控的基础。团队又全面设计干涉仪的光、机、电、算。时至今日，可伐-玻璃组装式双折射（-塞曼）双频激光器（非吹制）和干涉仪已批量生产，正在满足科学研究和产业的需求。中国计量科学院对双折射-塞曼双频激光干涉仪的测试结果：频率稳定度为10-8，分辨力为1 nm，非线性误差小于1 nm（图6所示），12小时漂移35 nm（图7所示）,70 m长度测量误差小于5 μm。这些数据来自中国计量科学院测试证书：CDjx 2014-2352, CDjx 2018-4810, CDjx 2020-04463等。图6 双频激光干涉仪非线性误差图7 双折射-塞曼双频激光干涉仪12小时零点漂移3 展望在实现“可伐-玻璃组装式激光器”→“内雕应力双折射-塞曼双频激光器”→“双折射-塞曼双频激光干涉仪”全链条技术基础上，进一步发展各种规格的可伐-玻璃组装式激光器，以开拓双折射-塞曼双频激光干涉仪的应用深度和应用范围。

相信大家在部分科幻电影或动漫中，常常能看到可以植入人体的芯片，用来监控身体各个参数、增强人体机能和神经反应。芯片一旦植入，普通人就变身成为神秘特工或战士。而现实中随着马斯克的脑机接口正在一步步迈向临床，AlphGo把人类棋手完虐等以前只能在科幻电影中见到的“未来科技”，逐步在现实生活中出现的时候，拥有“小身材有大智慧”的AI芯片似乎也能够梦想照进现实了。事实上，如今已有一些“芯片实验室（Lab-on-a-chip）”出现了，并且其发展速度是非常快的！芯片实验室什么是“芯片实验室（Lab-on-a-chip）”？简单地说，能够将整个在实验室中进行的基本操作单位集成到简单微系统上的技术就叫“芯片实验室”。“芯片实验室”中的芯片是作为流体在其中流动的微通道图案，可被模塑或刻蚀。微通道和外部宏观环境之间的连接需要通过若干孔，这些孔穿透芯片，具有不同的尺寸，用于将流体注入芯片或从芯片中移除。在微流控芯片中，根据实验需要，流体被混合、分离或引导。终结果可形成自动复合系统，从而实现高通量检测。在生物医学应用领域，芯片实验室可以实现快速诊断。芯片实验室技术有望成为一种重要的诊断工具。这些微型化的设备使医疗保健服务提供方可以使用非常少量的试剂和测试样本执行一系列诊断测试。此外得益于它们的便携性，还可以在远离实验室环境的现场进行测试。制作芯片实验室（Lab- on-a-chip）或微流控芯片（Microfluidic chip）的材料主要是玻璃，受限于芯片的微尺度特性，在制备过程中，对玻璃进行激光微加工有着很高的要求。制作芯片实验室的大挑战之一是在玻璃芯片内部加工高精度管道、容器和阀门。挑战：玻璃微加工由于其脆性和透明性，玻璃中进行微小的特征加工进行是相当困难的。如果使用常规工具手段，实际上是不可能的。但是快激光器可以胜任这种加工。当脉冲持续时间低于几十皮秒时，激光与材料的相互作用进入冷烧蚀状态，加工质量和精度会变得很高。常规的微制造方法，例如光刻，压印和软蚀刻，已经用于制备微流体芯片。然而，当要实现具有多功能集成的复杂微流控芯片时，这些方法将面临巨大挑战，因为它们需要太多工艺步骤，并且成本很高。刻蚀来啦▲由NKT Photonics的ORIGAMI XP飞秒激光制备的芯片实验室样品大功率快激光脉冲穿透玻璃。紧聚焦的飞秒激光脉冲可以经济地生产具有多功能的通用微流控芯片。短脉冲宽度提供了令人难以置信的峰值功率，即使在透明材料中，也可以进行表面和块状材料内部的改性以进行划线。▲飞秒激光加工的芯片沟道特写快激光确保加工的高精度和高质量。通过利用激光的高度空间选择性，可以将相互作用区域地设置在材料的特定局部区域。这使得飞秒加工技术可以在透明材料中以微尺度对复杂的三维形状进行非常高分辨率的图案化和雕刻。▲深度小于10 μm的沟道特写NKT快激光器可以实现非常精细的深度和通道宽度控制飞秒级短脉冲宽度比材料中的电子-声子耦合过程都短，因此短的飞秒脉冲宽度，意味着在飞秒时间尺度传递能量，这能很好的抑制热影响区的形成和热损害。这种“冷烧蚀”方式实现了高精度和高分辨率的微加工处理，并具有的处理可靠性。紧密聚焦的光束可以在微尺度上非常高分辨率地对复杂形状进行微加工。▲用ORIGAMI XP飞秒激光处理过的芯片实验室样品的特写图片展示为芯片中直径约0.6 mm的圆形储集层NKT Photonics：我们来提供NKT Photonics的快激光提供的短脉冲非常适合用于制备芯片实验室器件。我们强烈建议将ORIGAMI XP用于玻璃和其他透明材料的激光加工。ORIGAMI XP是一款集成、单箱、微焦级飞秒激光器。激光头、控制器和空气冷却系统都集成在一个小巧而坚固的包装中，体积小，甚至可以放在手提行李中！ ORIGAMI XP系统基于紧凑的啁啾脉冲放大技术平台，能够在1030 nm处提供高达75μJ的脉冲能量，5 W的平均功率以及小于400 fs的脉冲持续时间。 特点：• 风冷，单箱体，易于集成• 400 fs标准脉冲宽度• 5 W / 75 μJ @ 1030nm• 2.5 W / 40 μJ @ 515 nm• 1 W / 20 μJ @ 343nm• 单发(Single-shot)和按需脉冲(Pulse-on-Demand)• 双输出波长模块• 的脉冲能量和指向稳定性• 工业，坚固的设计• 可以任意方向安装• 实时脉冲能量测量和控制?• 高可靠性• 亦可用水冷 北京凌云光技术集团作为NKT Photonics公司在中国的战略合作伙伴，多年的合作中NKT Photonics公司与凌云始终如一，为客户不断提供更稳定、更先进、更前沿的技术，如果您对以上产品感兴趣，请拨打400 898 0800 电话问询！

6月4日~6日，河北省首家石材雕刻产品质检站落户曲阳，并通过了省级专家组的评审验收。　　这个质检站的建成，结束了自汉代以来石材雕刻产品无法判定产品质量的历史，弥补了河北省石材雕刻产品质量检验空白 有助于提升石雕产品质量，推动曲阳石材雕刻行业产品质量上档升级。　　“中国雕刻之乡”曲阳的石雕业始于汉，兴于唐，盛于元，至今已有2000多年的历史，雕刻技艺源远流长。1995年，曲阳县被国务院命名为“中国雕刻之乡” 2006年，曲阳石雕被确定为首批国家级非物质文化遗产。目前，曲阳已成为我国北方汉白玉雕像的发源地及雕造中心，雕刻门类由过去单一的石雕发展为木雕、牙雕等20余种，圆雕、透雕、浮雕等雕刻技法日臻完善，产业遍及10个乡镇60多个村，雕刻企业达2300多家，十万人的产业大军年创产值30亿元，产品远销80多个国家和地区，雕刻业成为当地特色富民产业。　　据了解，长期以来，雕刻业质量检验无标准，个别企业受利益驱使以次充好，在一定程度上扰乱了曲阳的石材雕刻市场秩序。为提高曲阳雕刻产业信誉，曲阳质监部门在深入调研的基础上，选派技术骨干远赴山东石材质量监督检验中心、石家庄灵寿县质监局等检验站、化验室考察学习。历经两年多的精心筹备，完成了专家论证立项等预备程序。　　目前，这个质监站可承担产品定期监督检验、市场监督抽查检验、仲裁检验、新产品鉴定检验、委托检验、标准验证检验、公正验货检验及其它检验 检验范围涉及石材雕刻产品，大理石板材、花岗石板材多个品种。今后，石材雕刻产品的放射性核素限量、粘接部位牢固度、光泽度、规格尺寸、体积密度、吸水率等24个项目均可在这里接受检验。

五彩缤纷的蝴蝶翅膀、光鲜靓丽的孔雀羽毛、闪耀着金属光泽的昆虫甲壳……点缀着这些大自然奇妙杰作的并非普通色素，而是光与光子晶体结构发生散射、干涉、衍射等作用后形成的结构色。光子晶体是由不同折射率介质周期性排列而形成的光学超材料，也被称为光学半导体。通过设计和制造光子晶体材料及相关器件来控制光子运动，并在此基础上进一步实现光子晶体材料的各种应用，是人们长久以来的梦想。近日，中国科学院化学研究所绿色印刷院重点实验室研究员宋延林、副研究员吴磊等研究人员组成的研究团队利用连续数字光处理（DLP）3D打印技术，实现了具有明亮结构色的三维光子晶体结构制备，为创新结构色制备方法及扩展3D打印的应用开创了新的途径。创新方法，让光子晶体精准“生长”光子晶体作为未来光子产业发展的基础性材料，其独特的三维光学控制能力使其在集成光学元件、光子晶体光纤及高密度光学数据储存等领域都有广阔的应用前景。3D打印技术近年来的成熟发展，也使其成为最好的光子晶体制备手段之一。宋延林向记者介绍，虽然近年来有一些将3D打印技术应用于多种图案化光子晶体制备的案例，但普通的3D打印技术因为墨水中树脂的光固化速度和纳米粒子组装速度的差异，存在结构色效果较差、打印精度较低、难以实现复杂三维结构等问题。上述方法制备的多种图案化光子晶体具有表面形貌粗糙和保真度较差等缺陷，难以被广泛应用于光学器件中。要实现高精度、高保真的光子晶体结构3D打印，就必须要开拓出新的方法。此次研究中，研究团队使用了连续数字光处理3D打印技术。与常见的将原材料层层挤出、堆叠而成的3D打印技术不同，连续数字光处理3D打印技术基于光敏树脂材料在紫外线照射下会快速固化的特性，利用紫外线光束在光敏树脂溶液中雕刻形成3D结构。此次研究团队所采用的连续数字光处理3D打印方法主要的打印步骤如下：首先，在透明基板上滴上墨水，将墨水上方的成型平面缓缓下降，与墨水进行接触；接下来，通过基板下方的光束将打印图案照射在墨水上；之后，受到紫外线照射的墨水会凝固成预先设计好的形状。一滴滴小小的墨水被“雕刻”为一个3D光子晶体结构，其整个产生的过程仿佛是从基板上“生长”出来。宋延林表示，研究团队所采用的连续数字光处理3D打印技术主要在两方面上取得了重要改进。在打印模式上，市面上的光固化连续数字光处理3D打印技术大都是层层打印，打印速度较慢。研究团队研发出的低黏附光固化界面，让液滴与基底之间的粘附力极低，打印过程没有任何“拖泥带水”，能够实现迅速连续打印成型，极大地提升了打印的速度。在成型方式上，市面上的光固化连续数字光处理3D打印技术通常要采用液槽来盛装大量液态树脂。采用液槽来盛装大量液态树脂的方式导致在连续打印过程中，不该固化的区域因为受到照射而固化，不仅造成原材料的大量浪费，也降低了连续打印过程中的稳定性及分辨率。研究团队摒弃了液槽，而是以单墨滴为成型单元，通过控制固化过程中气、固、液三相接触线，显著减少了液体树脂在固化结构表面的残留。同时，以单墨滴为成型单元还降低了界面粘附，增加了液体内部树脂的流动，显著提高了3D打印的精度和稳定性。克服困难，逐个击破墨水难题除了创新打印方式，此次研究中，研究团队对打印所需的墨水也进行了大胆革新。“我们这次研究中最困难的环节就是打印墨水的开发。”宋延林表示。针对上述问题，研究团队创造性地研发出了利用氢键辅助的胶体颗粒墨水，赋予了打印结构高质量的结构色与光子晶体特性。研究团队研发的墨水由三部分组成：实现三维结构构建的光固化单体和光引发剂、保证结构色的纳米颗粒、减少光散射的添加剂。在单体的选择和引发剂合成上，考虑到环保要求，研究团队合成的墨水为水性体系。但由于目前广泛使用的引发剂大多为油溶性，少数水溶性的引发剂又与3D打印所采用的光波波长不匹配，光引发效率较低。为了能够得到较高光引发效率的水溶性引发剂，团队查阅了大量文献并进行了反复的摸索实验，最终成功合成出了水溶性的光引发剂。除了引发剂，光固化单体的选择更加至关重要。宋延林表示，合格的光固化单体必须满足既能实现三维结构化，又不能在打印过程中引起聚合物和纳米颗粒的相分离的条件。论文第一作者张虞表示，“最终我们找到了丙烯酰胺这种适合的单体。”选定单体后，还需确定光固化单体与纳米颗粒的比例。如果光固化单体较少，就会无法打印。反之，如果光固化单体太多，则会影响纳米颗粒的运动和分散，进而影响结构色的质量。团队经过大量实验，对多种不同的比例组合反复尝试，最终确定了最佳比例。最后，为了减少光的散射对打印过程的影响，尽可能地提高打印结构的色彩饱和度，在添加剂的选择上，团队尝试了包括碳纳米管、碳纳米纤维以及黑色墨水等多种材料。但上述材料均存在种种缺陷，研究团队最终将经过特殊处理的炭黑作为添加剂。前景广阔，让结构色“五彩斑斓”在此次研究中，研究团队发现，视角、胶体颗粒粒径以及打印速度等因素都会影响3D结构色的呈现。当胶体颗粒粒径和打印速度不变时，随着视角增加，结构色蓝移，即从橙色转变为黄绿色，最后转变为蓝紫色。这种视角依赖的特性，使得连续数字光处理3D打印技术在个性化珠宝配饰及装饰、艺术创作等领域有着比较广阔的应用前景。除了视角变化会影响结构色的呈现外，当打印速度固定时，控制固定胶体颗粒粒径、调节打印速度，都可以得到覆盖可见光范围的系列结构色。采用顺序切片、依次投影、分段打印的方式，还可使同一物体结构上呈现出多种结构色。除了实现“信手拈来”般地制备结构色，研究团队利用此种连续数字光处理3D打印技术制备出的多种具有光滑内外表面、低光学损耗及颜色选择性的线性光传输和非线性光传输3D结构，也验证了该方法在制造高效光学传输器件方面的独特优势。宋延林表示，未来研究团队会在光子晶体功能器件的制备方面继续进行新的探索。

据英国《每日邮报》12月8日报道，近日，一批假冒伪劣的波尔多葡萄酒被法国海关查获，其造假程度几乎可以乱真。报道称，此次诈欺事件的曝光不仅反映仿冒技术日益先进，同时也暴露出那些自称&ldquo 专家&rdquo 的鉴赏家们其实对品酒知之甚少。　　此事曝光后，不少富裕的葡萄酒鉴赏家惊觉上当受骗，其中一名亿万富翁花费300余万英镑(约合人民币2982万元)收藏了500多瓶假葡萄酒。其他一些富商也在酒品收藏上投资不少，但碍于面子，不愿承认受骗。假酒生产商通过在酒瓶上激光雕刻和使用条形码大发横财，以至于波尔多八大红酒庄之一的白马酒庄的酒瓶竞拍价一度飙升到11.5万美元(约合人民币69.9万元)。　　据悉，这些仿冒的葡萄酒出自法国波尔多市一家专业实验室。对于那些没有受过专业鉴赏训练的人来说，这些商标看似与真品并无二致。然而，其中一些仿冒的葡萄酒简直假得离谱，同时贴有&ldquo 卢森堡&rdquo 和&ldquo 法国制造&rdquo 的标签。而另一些则以普通葡萄酒替代法国顶级葡萄酒让消费者&ldquo 过把瘾&rdquo 。

日前，照生（香港）有限公司获得意大利分析仪器集团捷纳（GNR）公司在中国地区的授权，成为该公司在中国X-射线产品的总代理，负责经销该公司的全线产品。 意大利捷纳（GNR）有限公司1984年成立于米兰，创始人为Mario Gungui 和 Antonio Nigro。同年，他们又接手意大利光学（OPTICA）有限公司，一举成为在分析仪器领域最知名的欧洲公司。 在第一年，依靠最先进的技术储备，GNR对仪器进行了广泛的开发，导致一系列取代陈旧设备的新仪器的诞生。近30年的不断努力，使公司成为全世界最重要的光学直读光谱（OES）的生产商。 2004年，成立于1966年的 ITAL STRUCTURES Ltd 被GNR收购，其专业生产的X射线分析仪器成为GNR的重要部分，在国际市场上主要应用在冶金，化工，制药，电子，环保，食品等行业。之后，GNR又控股从事电子设计的ORI仪器有限公司，与从事激光雕刻和微细加工激光点有限公司（LASER POINT Ltd），加上米兰理工大学的副产品、专门研究和开发高科技检测器XGlab有限公司， GNR成为名副其实的分析仪器集团。GNR不仅依靠一个高素质研究和技术完善的团队，还与领先的大学部门合作，确保不断更新的技术发展。 GNR目前主要面对国际市场，通过有效和积极进取的技术和商业网络，能够向客户提供最好的支持与任何要求。GNR早期进入中国是通过与北京钢铁研究院的合作，目前在中国的用户在1000个左右。通过与照生公司的合作，GNR将以全新的技术和全新的面貌为广大中国用户服务！

运用表面增强拉曼光谱开展快速食品监测、PET核医学诊断、优质高功率光纤激光器̷̷在本月24日至26日举行的成都全球创交会上，中国工程物理研究院在川建设军民融合产业园区“银河596”，携多项军转民科技成果亮相创新创业成果展，这是该园区首次公开亮相。　　创建于1958年的中国工程物理研究院是我国重要的国防军工科研、生产单位。作为中物院在四川建设的开放型科技创新园区和军民融合型战略科技创新基地，“银河596”园区以国家级军民融合型科技创新基地为发展目标，于2012年6月开始建设，建筑面积超过60万平方米，总投资约60亿元，其名称“银河”，取自科学技术无止境之意，“596”则是我国第一颗原子弹的代号。今年4月，四川省与中物院签订战略合作框架协议，该园区被列为四川十大“军民融合创新基地”之一。　　在此次参展中，该园区脉冲功率科学与技术重点实验室、光纤波导激光技术研究中等团队带来多项面向军民融合的科技成果。其中，快宜灵食品安全监测技术，运用表面增强拉曼光谱这种高灵敏分析技术，针对环境中的微量污染物、食品中的农药残留及非法添加等应用广泛，可快速、灵敏、高效、低成本监测食品中的三聚氰胺、孔雀石等有害添加物；医用正电子发射断层扫描(PET)放射性药物生产系统，作为一种核医学成像诊断设备，可以显示肿瘤的新陈代谢功能，对恶性肿瘤的程度分级、治疗方案确定、鉴别复发等有重要价值 优质高功率激光器，可提供高光束质量高功率激光光源，其应用范围非常广泛，包括激光空间远距离通讯、激光雕刻打印、激光加工、民用安防等。　　记者在展场获悉，目前“银河596”园区建设工作基本完成，首批项目入驻以来，园区已聚集科研人员400余名，其中博士以上人才占34%，国家千人计划等高层次人才达28人。园区内现有表面物理与化学实验室、国家高功率激光技术与物理实验室等3个国家级重点实验室，国际能源新材料技术研发中心等2个国家工程中心，及4个院级科技中心和重点实验室、4个博士后流动工作站，已拥有的5大重点研究领域涉及：先进激光技术、信息科学与技术、先进材料、制造与工程科学、新能源科学技术等。

江西国政招标咨询有限公司关于江西省东华理工大学仪器设备采购项目(采购编号：JXGZ2012-03-0002)公开招标公告　　江西国政招标咨询有限公司受东华理工大学的委托，根据江西省政府采购工作领导小组办公室(2011)部门747号文的批复，对东华理工大学仪器设备采购项目(采购编号：JXGZ2012-03-0002)进行公开招标采购，欢迎有意向的供应商前来参加。　　一、采购清单包号项目编号采购项目数量采购预算（万元）技术要求01包 11B747001古生物标本344．4详见招标文件11B747002三大岩类标本311B747003矿物晶体标本311B747004结晶学模型（有机）311B747005结晶学模型（塑胶）902包 11B747006野外地质实习工具30024．0811B747007野外地质实习工具30011B747008野外地质实习工具30011B747018袖珍辐射仪511B747019数字辐射仪511B747020切割机111B747021自动磨片机111B747022手动磨片机111B747023抛光机111B747024碎样机103包 11B747011岩石标本300044．6111B747012岩石薄片300011B747013矿石标本411B747014矿石光片120011B747015挂图4011B747016丁字尺、三角尺等6011B747017几何石膏模型104包 11B747026多功能数字直流激电仪255．511B747027高密度电法测量系统111B747029瞬变电磁测量系统111B747030综合测井系统105包 11B747031数字γ辐射仪器653．811B747033X-γ剂量率仪211B747034RaA测氡仪211B747035可携式表面氡析出率测量仪111B747036PCTRAN-AP1000核反应堆工况瞬态分析软件111B747037PCTRAN-HTGR核反应堆工况瞬态分析软件111B747039NeutronRAE II x、γ、中子射线快速检测仪311B747040中子巡测仪/中子雷姆计/中子剂量当量仪311B747041中子伽玛能谱仪/中子仪/中子巡检仪311B747042Si-PIN探测器111B747043小功率X光管106包 11B747045固相萃取装置416.71611B747046G4砂心漏斗411B747047布氏漏斗411B747048玻璃可拆式漏斗411B747049水中放射性监测仪器111B747050电磁流量计311B747051红外线干燥灯311B747052酸度计311B747053紫外分光光度计111B747054集热磁力加热搅拌器511B747055高温电热板111B747056马弗炉111B747057标准筛振筛机111B747058数显定时蠕动恒流泵111B747059高速台式离心机111B747060蒸馏水器111B747061激光测距仪211B747062辐射防护服207包 11B747063脉冲信号发生器442．9611B747064光电传感器系统综合实验装置811B747065信号发生器811B747066八路输出高压电源811B747067数字存储示波器808包 11B747211频谱分析仪2049．67611B747212示波器1011B747214精密手动裁扳机111B747215双面线路板雕刻机111B747216台式线路板抛光机111B747217智能沉铜机111B747218曝光机111B747219自动显影机111B747220台式自动喷淋腐蚀机111B747221自动覆膜机111B747222自动脱膜机111B747223线路板丝印机111B747224烘干机111B747225全自动洗网机111B747226教学工艺挂图111B747227制板材料111B747228雕刻机专用软件111B747229PCB制板网络控制软件111B747230台板式手动贴片流水线2009包11B747213移动通信系统实验箱153610包 11B747437Simmarketing3.0软件18．3211B737438电子商务实验室专业版3.5111包11B747290原子吸收光度计19．512包11B747513数位屏293．09511B747514线拍仪（含软件）211B747515动画拷贝台6011B747516网络存储器111B747517二维动画软件111B747518三维动画软件111B747519功放111B747520交换机311B747521稳压电源111B747522千兆三层以太网交换机111B747523嵌入式开发板设备6011B747524硬盘变量拷贝卡6011B747525交换机311B747526稳压电源111B747527物联网教学实验系统3011B747528智能楼宇网络工程实践平台211B747529硬盘变量拷贝卡3111B747530交换机211B747531稳压电源1　　四、有意向的供应商可从江西国政招标咨询有限公司得到进一步的信息和查阅招标文件。　　五、有意向的供应商可从2012年3月14日至2012年3月29日(节假日除外)08:30—16:00(北京时间)在江西国政招标咨询有限公司购买招标文件，招标文件售价为每包300元人民币，售后不退。　　六、投标保证金应于2012年3月30日16:00时(北京时间)之前递交到江西国政招标咨询有限公司。(注：投标保证金不接受个人名义汇款，汇款需以到帐为准)　　七、所有投标人的投标文件及开标一览表必须单独密封，并于2012年4月5日上午09：00—9：30递交至南昌市公共资源交易中心(南昌市红谷滩丰和大道1318号)四楼5号开标室。　　八、开标时间定于2012年4月5日9:30时(北京时间)开始，地点：南昌市公共资源交易中心(南昌市红谷滩丰和大道1318号)四楼5号开标室。　　九、已购买招标文件的供应商，在提交投标文件的截止时间三日前，未书面通知代理机构而放弃投标的，不得再参加该项目的采购活动。　　采购人名称：东华理工大学　　采购人联系人：汤作华　　采购人联系电话：0794-8250051　　招标代理机构：江西国政招标咨询有限公司　　招标代理机构地址：南昌市高新开发区高新七路186号一楼　　联 系 人：朱珍珍 15870025002　　电　　话：0791-88194897　　传　　真：0791-88194861　　邮　　编：330096　　开 户 行：兴业银行南昌二七南路支行　　账　　号：502010100100177811　　江西国政招标咨询有限公司

为更好协助模具行业客户利用先进测量技术实现效率的提升和品质的提高，以&ldquo 贯穿模具行业的全面计量解决方案&rdquo 为主题，在2011年6月2日 召开的DMC 2011中国国际模具、制造应用设备及相关工业展览会上，海克斯康将以模具制造的主要环节为主线，全面展示其全球领先的测量技术，包括了样品的开发与验证、模型铣削与测量、铸件测量、模具试制、模具精密测量、制件检测、工装夹具的定位与调整、模具复制等八大环节。 样品开发： 主要需求： 在设计中心，利用三维测量系统，精确获取完整的零件尺寸和特征信息，进行设计模型的反复测量与确认，加快了样品的确认过程，同时确保生产的实际样品符合设计要求。 本次DMC2011 展现的解决方案 &ndash ROMER绝对关节臂 便携式关节臂测量机以提高用户的工作效率和节约测量时间为目标，让三维测量变得更加方便快捷，改变了人们对坐标测量的理解。目前，超过 100 个国家的制造商依靠 ROMER 产品保证其产品质量，完成包括 3D 数字化、3D 模型、点云检测、逆向工程、快速成型或仿制品制造等多种任务，解决了车间现场各种测量难题。 ROMER 绝对关节臂测量机是 Hexagon 最新推出的现场计量产品，成为迄今为止最轻便、最高精度、最灵活、技术最新的关节臂测量系统。在关节臂测量业界率先使用绝对编码器，为关节臂的每个位置指派绝对值，无需初始化，开机即可测量。ROMER 绝对关节臂极其轻便，绝对稳定，在制造现场能确保可靠的测量结果。 通过配备激光扫描测头，关节臂测量机不仅能够完成规则的位置和尺寸测量，同时通过短时间捕捉大量的数据点而完成各种模具特有的曲线曲面的测量任务并可实现智能反求、模具的复制与归档等任务。 模型铣削： 主要需求： 无论是汽车制造还是模具行业，需要制作大量的模型和样品，以确保最终的成品能够精确反映设计的意图，并可通过实体的模型进行相关的设计调整与确认工作。 本次DMC2011展现的解决方案 &mdash &mdash ROMOCUT数控铣削系统 ROMOCUT可移动式 NC铣削系统，专门用来加工各种软材料：诸如聚苯乙烯(泡沫)、油泥、PU树脂等模具和造型材料而设计，可以在设计工作室直接加工1:1的汽车等原型模型或者用于消失模的制造，具有高速度、高精度、可移动 (小机器加工大工件)、清洁的特点。 本次展会上，我们将现场展示 ROMOCUT用于消失模的加工制造，并配以白光测量系统实现快速测量与尺寸验证。 下图展现了 ROMOCUT相对传统制造技术的优势： ROMOCUT雕刻机数控机床加工范围可扩展到很大的加工范围由机床行程决定由机床行程决定加工速度12000rpm/min8000rpm/min20000rpm/min轴数3+2轴或5轴联动3轴3+2轴或5轴联动加工精度高低高可扩展性能可加工泡沫、油泥、PU树脂，还可应用在研发部门加工泡沫加工泡沫、金属等优势可移动、加工效率高，性价比高成本低加工效率高劣势 无法加工大工件，效率低成本高 铸件测量 主要需求 完成加工过程的工序测量：在模具加工之前，需要在铸件的关键位置进行触测，并将实测尺寸与理论位置尺寸的进行比较，据此判断加工程序是否合理、是否需要调整。加工过程中也可以实施工序测量，以确定加工是否合理，避免了不必要的废品与返工。 本次 DMC2011展现的解决方案&ndash m&h在机测量系统 通过m&h在机测量系统提供加工过程的工序测量， m&h的接触式触发测头可用于铣床、加工中心、车床、车铣复合机床、磨床、专用机床和机器人等设备上的在机工件测量。无论是小规模的经营还是中等规模以至大规模生产，不仅要在前对毛坯进行找正，还要在加工过程中实时监控加工件的几何特征是否超差。因此，机床测头很好的辅助了日常的加工，有效缩短加工周期，降低了成本，并提高了现代加工设备的产能。 模具试制: 主要需求： 在车间现场提供便携的测量方案，快速完成复杂曲面的测量任务，提供形象的图形化测量报告，分析试模后的成型板件，找出问题所在并进行准确的反馈，并包括相关的合模分析。 本次 DMC2011展现的解决方案&ndash WLS400白光测量系统 将检测贯穿在模具的制造环节中，实现对加工中的模具进和检查，快速的反馈制造中的问题，为工程人员的工艺修设备应用在试制阶段中，能够利用虚拟或实际的配合关系态提前预警，大大提高不必要的周期及制作成本的浪费；具验收阶段中，可以以数字化的形式记录模具状态，数据具修改及恢复提供原始根据。 Cognitens WLS400由一个投影镜头及三个拍照镜头组成，采用高速单幅立体成像与无规则点阵投影相结合的技术，三个拍照镜头可以在0.01秒之内快速捕捉投影镜头所投射在工件表面的点阵图像，进而在软件中形成所拍摄物体表面的数据。由于高频快门数据采集时间极短，毫秒之间即可从测量物体表面获取数据信息，测量性能不受振动、工业照明或温度变化的影响。且其结构紧凑，操作简便，从模具设计开发到完善到最后的产品上线的各环节，Cognitens WLS400均能对各种疑难问题做出综合的解决方案。 模具精密测量： 主要需求： 模具存在着大量的型面检测，主要是为了检验模具质量是否合格，再者可以为模面设计积累经验。 本次 DMC2011展现的解决方案 &ndash DEA龙门测量系统 使用大型龙门式测量机对加工后的模具进行检测，开放的机身，方便大型模具、验具的上下料，自身所具备的高精度，满足模具检测的需求，并可配置各种触发、扫描测头，激光扫描测头，可完成大型工件的高精度检测和大型模具的表面扫描等任务 制件检测： 主要需求： 完成钣金件的试生产、小批量订单生产、门盖等闭合及局部装配件的测量，多数为曲线曲面形状，需要在车间现场完成快速测量任务。 本次 DMC2011展现的解决方案 &ndash WLS400白光测量系统 借助 Cognitens WLS400A白光测量系统，提供动化测量解决方案。克服苛刻的生产环境条件化，并适用于所有工业机器人。不论被测物体均能提供丰富的尺寸信息，为现场高速自动测量 工装夹具的定位与调整： 主要需求： 生产线上的固定设备(如支撑、夹具、装配工具)的定期巡检和主动维护，需要一种方便移动、大尺寸同时适应现场复杂条件的测量系统。 本次 DMC2011展现的解决方案&ndash Leica激光跟踪仪与全能测量系统。 借助 Leica激光跟踪仪与全能测量系统，方便的实现这些工装夹具的尺寸信息和分析数据，减少设备的的检修时间，并降低因种种不确定因素导致停产的概率。 Leica T-Probe与 Leica AT901构成的移动式测量工作站，具有测量尺寸大(测量范围可达到 30米，采用反射球为 160米)的特点。独特的 PowerLock自动目标锁定功能，能够自动进行断光续接，有效避免了车间环境下的各种障碍物所造成的困扰。同时 T-Probe能够携带 500 mm的加长杆，完成内部特征的测量。 模具复制： 主要需求： 满足生产所有模具的复制、修复和归档任务。 本次 DMC2011展现的解决方案 &mdash &mdash ROMER绝对关节臂 我们的 ROMER绝对关节臂，通过配置或外接式激光扫描测头，可以从模型、现有部件或工装上采集详尽的点云信息，以通用格式产生精确的三维模型，快速实现对现有工作的复制，从而加速产品改型和数字信息获取的进度。 贯穿模具制造八大环节的测量应用，当今领先的测量技术，针对模具用户的解决方案，相信海克斯康会为与会观众展现一场精彩大戏！欢迎访问海克斯康DMC2011网上专区实时了解更多展会内容http://www.hexagonmetrology.com.cn/Exhibition/Show1.aspx?m=3

激光外差干涉技术在光刻机中的应用 张志平*，杨晓峰 复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心，上海 201203摘要 超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点，是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于光刻机的超精密位移测量系统主要有双频激光干涉仪和平面光栅测量系统两种，二者均以激光外差干涉技术为基础。本文将分别对这两种测量系统的原理、优缺点以及在光刻机中的典型应用进行阐述。关键词 光刻机；外差干涉；双频激光干涉仪；平面光栅1 引言集成电路产业是国家经济发展的战略性、基础性产业之一，而光刻机则被誉为集成电路产业皇冠上的明珠［1］。作为光刻机三大指标之一的套刻精度，是指芯片当中上下相邻两层电路图形的位置偏差。套刻精度必须小于特征图形的1/3，比如14 nm节点光刻机的套刻精度要求小于5.7 nm。影响套刻精度的重要因素是工件台的定位精度，而工件台定位精度确定的前提则是超精密位移测量反馈，因此超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一［2-4］。随着集成电路特征尺寸的不断减小，对位置测量精度的需求也不断提高；同时，为了满足光刻机产率不断提升的需要，掩模台扫描速度也在不断提高，甚至达到 3 m/s 以上；此外，为了满足大尺寸平板显示领域的需求，光刻机工件台的尺寸和行程越 来越大，最大已达到 1. 8 m×1. 5 m；最后，为了获得工件台和掩模台良好的同步性能，光刻机还要求位置测量系统具备多轴同步测量的功能，采样同步不确定性优于纳秒级别［5-8］。 综上，光刻机要求位置测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程、数米每秒测量速度、闭环反馈以及多轴同步等特性。目前，在精密测量领域能同时满足上述测量要求的，只有外差干涉测量技术。 本文分别介绍外差干涉测量技术原理及其两 种具体结构——双频激光干涉仪和平面光栅测量系统，以及外差干涉技术在光刻机中的典型应用。 2 外差干涉原理 2. 1 拍频现象 外差干涉又称为双频干涉或者交流干涉，是利用“拍频”现象，在单频干涉的基础上发展而来的一 种干涉测量技术。 假设两列波的方程为 x1 = A cos ω1 t ， （1） x2 = A cos ω2 t 。 （2） 叠加后可表示为（3）拍频定义为单位时间内合振动振幅强弱变化 的次数，即 v =| (ω2 - ω1)/2π |=| v 2 - v 1 | 。 （4） 波 x1、x2 以及合成后的波 x 如图 1 所示，其中包 络线的频率即为拍频，也称为外差频率。如果其中一个正弦波的相位发生变化，拍频信号的相位会发生完全相同的变化，即外差拍频信号将完整保留原始信号的相位信息。 图 1. 拍频示意图Fig. 1. Beat frequency diagram对于激光而言，因为频率很高（通常为 1014 Hz 量级），目前的光电探测器无法响应，但可以探测到两束频率相近的激光产生的拍频（几兆到几十兆赫兹）。因此拍频被应用到激光领域，发展成激光外差干涉技术。2. 2 外差干涉技术 由拍频原理可知 ，所谓外差就是将要接收的信号调制在一个已知频率信号上，在接收端再将该调制信号进行解调。由于高频率的激光信号相位变化难以精确测量，但利用外差干涉技术可以用低频拍频信号把高频信号的 相位变化解调出来，将大大降低后续精确鉴相的难度。因此，外差技术最显著的特点就是信号以交流的方式进行传输和处理。 与单频干涉技术相比，外差干涉技术的突出优点是：1）由于被测对象的相位信息是加载在稳定的差频（通常几兆到几十兆赫兹）上，因此光电探测时避过了低频噪声区，提高了光电信号的信噪比。例如在外界干扰下，测量光束光强衰减 50% 时，单频干涉仪很难正常工作，而外差干涉仪在光强衰减 90% 时仍能正常工作 ，因此更适用于工业现场 。 2）外差干涉可以根据差频信号的增减直接判别运动方向，而单频干涉技术则需要复杂的鉴相系统来 判别运动方向。单频干涉技术与外差干涉技术对比如表 1 所示。表 1. 单频干涉技术与外差干涉技术对比Table 1. Comparison between homodyne interferometry and heterodyne interferometry3双频激光干涉仪 3. 1 双频激光干涉仪原理 双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上结合外差干涉技术发展起来的，其原理如图 2 所 示。双频激光器发出两列偏振态正交的具有不同频率的线偏振光，经过偏振分光器后光束被分离。 图 2. 双频激光干涉仪原理图Fig. 2. Schematic diagram of dual frequency laser interferometer设两束激光的波动方程为 E1 = E R1 cos ( 2πf1 t ) E2 = E R2 cos ( 2πf2 t ) ， （5） 式中：ER1和 ER2为振幅；f1和 f2为频率。 偏振态平行于纸面的频率为 f1 的光束透过干涉仪后，被目标镜反射回干涉仪。当被测目标镜移动时，产生多普勒效应，返回光束的频率变为 f1 ± Δf， Δf 为多普勒偏移量，它包含被测目标镜的位移信息。经过干涉镜后，与频率为 f2 的参考光束会合，会合后光束发生拍频，其光强 IM函数为 （6） 式（6）包含一个直流量和一个交流量，经光电探测器转换为电信号，再进行放大整形后，去除直流量，将交 流量转换为一组频率为 f1 ± Δf- f2的脉冲信号。从双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的脉冲信 号，作为后续电路处理的基准信号。测试板卡采用减法器通过对两列信号的相减，得到由于被测目标 镜的位移引起的多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为 （7） 式中：λ 为激光的波长；N 为干涉的条纹数。因此， 只要测得条纹数，就可以计算出被测物体的位移。 3. 2 系统误差分析 双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差以及环境误差，如表 2 所示。 三种误差中，仪器误差可控制在 2 nm 以内；几何误 差可以通过测校进行动态补偿，残差可控制在几纳米以内；环境误差的影响最大，通常可达几十纳米到几微米量级，与测量区域的环境参数（温度、压 力、湿度等）有关，与量程几乎成正比，因此大量程测量时，需要对环境参数进行控制。 表 2. 双频激光干涉仪系统误差分解Table 2. System error of dual frequency laser interferometer4 平面光栅测量系统 双频激光干涉仪在大量程测量时，精度容易受 温度、压力、湿度等环境因素影响，研究者们同样基于外差干涉原理研发了平面光栅测量系统，可克服双频激光干涉仪的这一缺点。 4. 1 基于外差干涉的光栅测量原理 众所周知 ，常规的光栅测量是基于叠栅条纹的，具有信号对比度差、精度不高的缺点。基于外差干涉的光栅测量原理如图 3 所示，双频激光器发出频率 f1 和 f2 的线偏振光，垂直入射到被测光栅表面，分别进行+1 级和−1 级衍射，衍射光经过角锥反射镜后再次入射至被测光栅表面进行二次衍射， 然后会合并沿垂直于光栅表面的方向返回。由于被测光栅与光栅干涉仪发生了相对运动，因此，返回的激光频率变成了 f1 ± Δf和 f2 ∓ Δf，其中 Δf为多 普勒频移量，它包含被测目标镜的位移信息。 图 3. 基于外差干涉的光栅测量原理Fig. 3. Principle of grating measurement based on heterodyne interference会合后的光束 f1 ± Δf 和 f2 ∓ Δf 发生拍频，其频率为 ( f1 ± Δf ) - ( f2 ∓ Δf ) = ( f1 - f2 ) ± 2Δf。（8） 式（8）的信号与双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的 参考信号相减，得到多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为（9） 式中 ：p 为光栅的栅距 ；N 为干涉的条纹数 。 因此，只要测得条纹数 ，就可以计算出被测物体的位移。 上述原理推导是基于一维光栅刻线的，只能测量一维运动。为了获得二维测量，只需将光栅的刻线由一维变成二维（即平面）即可。 4. 2 两种测量系统优缺点对比 由此可知，基于外差干涉的光栅测量原理与双频激光干涉仪几乎完全相同，主要的差别是被测对象由反射镜换成了衍射光栅。两种测量系统的优缺点如表 3 所示。表 3. 双频激光干涉仪与光栅测量系统对比Table 3. Dual frequency laser interferometer versus gratingmeasurement system5外差干涉测量在光刻机中的应用 发展至今，面向 28 nm 及以下技术节点的步进扫描投影式光刻机已成为集成电路制造的主流光刻机。作为光刻机的核心子系统之一的超精密工件台和掩模台，直接影响着光刻机的关键尺寸、套刻精度、产率等指标。而工件台和掩模台要求具有高速、高加速度、大行程、超精密、六自由度（x、y 大 行程平动，z 微小平动，θx、θy、θz微小转动）等运动特点，而实现这些运动特点的前提是超精密位移测量反馈。因此，基于外差干涉技术的超精密位移测量子系统已经成为光刻机不可或缺的组成部分。 4. 光刻机中的多轴双频激光干涉仪［10］Fig. 4. Multi-axis dual frequency laser interferometer in lithography machine[10]图 4 为典型的基于多轴双频激光干涉仪的光刻机工件台系统测量方案［10］，在掩模台和硅片台的侧面布置多个多轴激光干涉仪，对应地在掩模台和硅 片台上安装长反射镜；通过多个激光干涉仪的读数解算出掩模台和硅片台的六自由度位移。 然而，随着测量精度、测量行程、测量速度等运动指标的不断提高，双频激光干涉仪由于测量精度易受环境影响、长反射镜增加运动台质量致使动态性能差等问题难以满足日益提升的测量需求。因 此，同样基于外差干涉技术的平面光栅测量系统成为了另一种选择［8］。 光刻机工件台平面光栅测量技术首先由世界光刻机制造巨头 ASML 公司取得突破。该公司于 2008 年 推 出 的 Twinscan NXT：1950i 浸 没 式 光 刻机，采用了平面光栅测量技术对 2 个工件台的六自 由度位置进行精密测量。如图 5 所示，该方案在主基板的下方布置 8 块大面积高精度平面光 栅（约 400 mm×400 mm），在两个工件台上分别布置 4 个 平面光栅读数头（光栅干涉仪），当工件台相对于平 面光栅运动时，平面光栅读数头即可测出工件台的 运动位移［2，5，9］。图 5. ASML 光刻机的平面光栅测量方案［2，5，9］Fig. 5. Plane grating measurement scheme of ASML lithography machine[2,5,9]相比多轴双频激光干涉仪测量方案，平面光栅测量方案具有以下优点：1）测量光路短（通常小于 20 mm），因此测量重复精度和稳定性对环境变化不 敏感；2）工件台上无需长反射镜，因此质量更轻、动态性能更好。 然而，平面光栅测量方案也有其缺点：1）大面积高精度光栅制造难度太大；2）由式（9）可知，位移 测量结果以栅距 p 为基准，然而受栅距均匀性限制， 测量绝对精度不高。为了获得较好的精度和线性度，往往需要利用双频激光干涉仪进行标定。 面临极端测量需求的挑战 ，Nikon 公 司 在 NSR620D 光刻机中采用了平面光栅和双频激光干涉仪混合测量的技术方案［9］，如图 6 所示。该方案 将平面光栅安装在工件台上表面，而将光栅读数头安装在主基板下表面，同时增加了双频激光干涉仪，结合了平面光栅测量系统和双频激光干涉仪的 优点。在读头与读头切换时采用双频激光干涉仪进行在线校准。 图 6. Nikon光刻机混合测量方案［9］Fig. 6. Hybrid measurement scheme of Nikon lithography machine [9]6激光外差干涉系统的发展趋势 无论是双频激光干涉仪还是平面光栅测量系统，要想获得纳米级测量精度，既需要提高测量系统本身的精度，更需要从使用的角度努力，即“三分 靠做，七分靠用”。 就激光外差干涉测量系统本身而言，误差源主要来自于光学非线性误差。在外差干涉测量系统 中，由于光源及光路传输过程各光学器件性能不理想或装调有偏差，会带来两个频率的光混叠现象， 即原本作为测量信号频率 f1（或 f2）的光中混杂了频 率 f2（或 f1）的光，或原本作为参考信号频率 f2（或 f1） 的光中混杂了频率 f1（或 f2）的光。在信号处理中该混叠的频率信号会产生周期性的光学非线性误差。尽管目前主流的双频激光干涉仪厂家已经将非线性误差控制在 2 nm 以内［10- 12］，但应用于 28 nm 以下光刻机时仍然需要进一步控制该误差。国内外众多学者从非线性误差来源、检测和补偿等角度出发，进行了大量研究并取得了丰硕成果［13- 17］。这些成果有望对非线性误差的动态补偿提供理论支持。 从应用角度，研究热点主要集中在应用拓展、 安装误差及其测校算法、环境参数控制及其补偿方法研究等方面。在应用拓展方面，激光外差干涉技术除了应用于测长之外，还在小角度测量、直线度、平面度、反馈测量等方面取得了应用［18- 20］。在安装误差和环境误差补偿算法方面，主要聚焦于多自由度解耦算法、大气扰动补偿等研究方向［4，21- 27］。 7 总结 阐述了光刻机对位移测量系统大量程、亚纳米 分辨率、纳米精度、高测速及多轴同步的苛刻要求。 概述了激光外差干涉技术原理，指出目前为止，激光外差干涉技术是唯一能满足光刻机上述要求的超精密位移测量技术。并综述了两种基于激光外差干涉技术的测量系统：双频激光干涉仪和平面光栅测量系统。总结了这两种位移测量系统在光刻机中的典型应用，以及激光外差干涉技术的当前研究热点和发展趋势。全文详见：激光外差干涉技术在光刻机中的应用.pdf

孚光精仪在上海，天津同时发布一款新型激光直写式雾无掩模光刻系统。这款无掩模光刻机是一款高精度的激光直写光刻机。这套无掩模光刻机具有无掩模技术的便利，大大提高影印和新产品研发的效率，节省时间，是全球领先的无掩模光刻系统。这款激光直写无掩模光刻机直接用375nm或405nm紫外激光把图形写到光胶衬底上。 激光直写无掩模光刻系统特色尺寸：925x925x1600mm内置计算机控制接口激光光源：375nm或405nm视频辅助定位系统自动聚焦设置 详情浏览：http://www.f-opt.cn/guangkeji.html 激光直写无掩模光刻机参数线性写取速度：500mm/s位移台分辨率：100nm重复精度： 100nm晶圆写取面积：1—6英寸衬底厚度：250微米-10毫米激光点大小：1-100微米准直精度：500nm Email: info@felles.cn 或 felleschina@outlook.com Web: www.felles.cn （激光光学精密仪器官网） www.felles.cc （综合性尖端测试仪器官网） www.f-lab.cn （综合性实验室仪器官网） Tel: 021-51300728, 4006-118-227

1978年3月18—31日，盛况空前的全国科学大会在北京隆重召开。这次大会标志着对“十年动乱”中遭到严重破坏的科技工作的全面拨乱反正，我国科技事业终于迎来“复苏的春天”，为科技工作的开放和改革打开了大门。正值此时，我正在冶金部钢铁研究总院磁学研究室李学东老师的指导下，进行高性能稀土钴永磁材料研制的毕业实践。在实践中，在李老师理论知识与具体制备工艺的传授下，怀着想把材料磁性能做上去的愿望，我开始了把书本上学到的基础知识落实到解决具体问题的深入学习中，思索着如何将科学知识落实到自己具体的毕业实践的活动中去。通过学习稀土永磁材料中包括磁结构、磁化取向、局域组分涨落和材料缺陷在内的微观不均匀性对宏观磁性的影响及产生大磁晶各向异性结构的微观机制后，为我优化材料质量提供了扎实的理论基础与设计实验工艺的依据。经过半年的实践活动，最终制备出了优异磁性能的永磁材料，并被钢铁研究总院留用。只是，还未去该院正式报到就被要求回中科院重新分配，也因此，我很幸运的于1979年1月从中国科学技术大学毕业之后就踏进了中国科学院物理研究所大门，分配在物理所磁学研究室的“微波铁氧体磁性研究组（205组）工作”（后改为“布里渊散射与表面增强拉曼散射研究组”），为我从事磁光光谱技术和光散射光谱的研究工作奠定了职业基础。从业过程中，先后受到组长张鹏翔、贾惟义等老师们和 G.Guntherodt、J.R.Sandercock等国外名师的知识传授与技术指点，为我做好固体光散射研究与光谱技术研发打下了坚实的基础。几十年来，在物理所各级领导的支持和老师、同事的帮助下，从对光散射学问一无所知的门外汉逐步成为一名从事光散射领域研究的专业人员。由于各种不同的原因，我的老师们和同事们先后离开了物理所或离开了这个研究室，我从1992年起直至退休，无论在暂时负责拉曼与荧光公共实验室工作，到负责构建并且主持物理所技术部分析测试部的工作，都是凭借自己在长期实践工作中积累的理论与技术能力，带领本部门同事，在完成公用测试服务的同时，积极申请包括“973”、“863”、国家重大科学仪器研发项目、国家基金项目、及包括中科院和物理所在内的各类科学研究与技术研发项目，提高了个人及团队的研究和研发能力，实现了持续的发展。把分析测试部建设成了一个测试技术高超，光谱测试设备精良，协作共用资源共享，为院所科研测试服务、又面向社会开放的专业测试中心。期间是我冒着巨大的风险和压力，以个人借贷的方式自筹了大量的经费为主，科研经费投入为辅，在升级改造旧有设备的同时，先后购置了世界上技术指标最先进、测试功能最齐全的各类光谱仪，实现了在同一实验室内同时拥有完整、先进成套的振动光谱学方面的专用仪器和相应各种极端条件（低温，电场、磁场和高压）下的测量附件，如显微/宏观共焦光路拉曼散射光谱仪、显微/宏观共焦光路布里渊散射光谱、时间分辨光致发光光谱仪、显微/宏观共焦光路的时间分辨傅里叶变换红外光谱仪等设备，使分析测试部在公用测试和科研工作方面发挥出了越来越重要的作用，并在国内外享有良好声誉。同时，我在多年晶体的光学/声学声子和自旋波的光散射光谱学的研究中，不仅掌握了拉曼/布里渊散射等的技术，并且对光与物质中各类元激发及它们相互作用规律的认识愈益深入，做出一些有影响的研究工作。今年恰逢第一届全国光散射大会召开和物理学会光散射专业委员会成立四十周年。物理所是国内最早开展光散射研究的单位之一。在1980年7月中科院与西德马普学会联合举办的“固体物理与能谱”暑期学习班期间，以张鹏翔老师为主，联合全国相关科研单位专业积极分子，发起了成立专门的全国性专业学术组织和召开全国学术交流大会的倡议，以此推动中国光散射事业的持续发展。那时我作为张鹏翔老师的助手，参与筹备了第一届全国光散射大会（简称厦门会议）至第六届全国光散射大会（简称黄山会议）有关的事务性工作。期间我也有幸结识了一些值得我一辈子学习和求教的老师们，更见证了大家对事业的热爱，以及有梦想、能坚持的科学精神。在1981年7月22日和1981年10月19日，分别在物理所召开了“第一届全国光散射大会”第一次和第二次筹备会，成立以中科院物理研究所所长管惟炎院士为组长，厦门大学副校长蔡启瑞院士为副组长的10人会议领导小组，决定由厦门大学主办“第一届全国光散射大会”。大会于1981年12月19日至25日在厦门鼓浪屿宾馆顺利召开，经与会全体代表的建议和充分的酝酿后，形成了成立第一届光散射专业委员会的成员名单和相应的章程。1982年，中国物理学会和中国科学技术协会批准此项提议。由著名物理学家、中科院半导体研究所所长黄昆院士出任第一届中国物理学会光散射专业委员会主任委员，中科院物理所张鹏翔任第一任秘书长。张鹏翔老师连任第二届专业委员会秘书长和第三届专业委员会副主任。刘玉龙任第五届、第六届专业委员会秘书长，第七届专业委员会主任。刘玉龙分别协助以第五届专业委员会主任委员田中群院士、第六届专业委员会主任委员李灿院士为首的专业委员会，与四川大学龚敏教授和杨经国教授为主的《光散射学报》编辑部一起努力奋进，在原有办报的基础上，除在争取增加稿源和提高论文质量上下功夫外，还狠抓提高学报的出版质量，在全体光散射同仁们的努力下，最终在2008年将《光散射学报》带进北京大学图书馆的“中文核心期刊”体系。我作为中国改革开放及中国光散射事业蓬勃发展四十年的见证者、受益者和幸运参与者，经过四十年的岁月磨练，我从懵懂的青涩到朝气蓬勃的青春，走过了沉着稳健的成熟，印记上了已知天命的沧桑。今天仅以开始参与组建物理所第一台拉曼光谱仪的片段纪念自己从业光散射的四十年，并与大家分享。在那国家百废待兴之时，人才的缺乏是影响我国科学技术发展的最大阻碍。因此，中科院和物理所领导为加强院、所科研人员的基础科学研究水平，举办了各类专业理论与实验学习班。我有幸参加了物理所在1979年春天举办的“固体基础理论与元激发”学习班和1980年7月中科院与西德马普学会联合举办的“固体物理与能谱”暑期学习班。其中涉及传授晶格（分子）振动理论与实验内容的老师，分别是中科院物理所的顾本源老师、德国科隆大学第二物理所的 W.Dieterrich 教授和 G.gunterodt 教授。是这几位拉曼散射领域中的前辈把我带进入了晶格（分子）和固体元激及它们相互作用光谱学这个当时在国内还算比较新的知识领域。这几位教授渊博的固体物理和元激发理论科学知识、开阔的学术研究视野、深厚扎实的数理化知识功底、及精湛的实验技能，都体现在利用新的科学仪器开展前沿科学研究成果上，让我大开眼界，受益匪浅。学习期间，我经常主动向老师们请教和提问，获得了他们热情的帮助和鼓励。 G.Gunterodt教授向我介绍了他讲课内容主要源于由W. Hayes等人撰写的《Scatteringof Light by Crystals》专著，并且真切地告诫我想当专业学者的话，它是一本值得必读和读懂的专著之一。顾本源老师把他自己编写的《固体光散射》的讲义赠送给了我，日后又将他主持翻译英国科学家 D.A. Long 教授撰写的《Raman Spectroscopy》原著的中文版书籍赠送给我了。这些教授尤其是顾本源教授，都成为我光散射研究事业行进中的良师益友。他们传授的知识结晶和赠送的讲义与书籍，一直是我在研究工作中探索科学知识和求解问题的源泉之一（见图1）。老师们的教诲和帮助使我清楚的认识到，虽然光散射是一个老学科，但伴随现代科学技术的发展，既可以革新方法，又可以拓宽学科而可获持续发展的学问与技术，其未来发展和理论影响，以及实用价值尚不可估量。这些因素奠定了我想在光散射科学研究的道路上寻找发展方向的机会，但也明白开展实验科学研究获得研究结果与需要有相应先进的科学仪器密不可分的道理。据了解，从20世纪70年代初期，物理所多个研究室均提出进口拉曼光谱仪的要求，但受各种因素所限，一直未能如愿。当时为也曾为所内不具备开展基础性光散射实验的条件而陷入困惑和痛苦中。图1. 我最早读过的相关光散射的书与资料20世纪70年代末，因张鹏翔老师在德国马普金属研究所做访问学者时，曾有过布里渊散射研究的经历，并率先进行了金属非晶态中的自旋波和声子的布里渊散射研究，研究结果受到科学界的关注和好评。他作为学有所成的中青年科研骨干而获得优先发展的机会。在1980年8月，张鹏翔研究组获得一台东德蔡司光学仪器公司制造的双光栅单色仪（GDM-1000），这为组建拉曼光谱仪提供了必不可少的核心部件。当时我心中涌现的那种如获至宝的喜悦，真的是不能用语言来表达的。以张鹏翔老师为组长，王焕元、刘玉龙和曹克定3人为组员，成立了用GDM-1000为主要核心部件的拉曼光谱仪的研制小组。考虑到许多固体拉曼光谱研究需要在不同的物理环境下进行，对增设变温、磁场、电场，和加压装置提出了要求。因此，除组建拉曼光谱仪需求五大部件外，还将建立相应的低温/高温、磁场/电场，和高压装置进行了工作部署，依据专业、年龄、和责任的分工，小组成员的具体分工如下：刘玉龙具体负责：1）收集散射散射光的样品台设计和加工；2）激光器购置、激光器架与光学转换架的设计与加工；3）用于光散射测量的低温杜瓦改造与安放架及电场、磁场装置设计加工与安放；4）探测器中光电倍增管（PMT）的制冷腔体设计与加工，及其给GDM-1000配用光子计数器系统的调试。曹克定具体负责：1）放置整套光谱仪刚性平台的设计与加工；2）给PMT腔体制冷电源与控温系统的设计与加工；3）低温杜瓦瓶的变温控温电源、及电场/磁场控制电源的设计和加工。张鹏翔和王焕元参加光谱仪整机集成调试并且负责光谱仪技术指标的验收，及实验研究内容。我从一个连拉曼光谱仪模样都没有见过的门外汉，开始只能从调研的文献中看图解，去了解和解析收集散射光光路的原理，及其各部件和元件的作用和要求和功能。我们是从事磁性材料与特性的研究组，几乎就没有任何光学设备和元件，我开始到所内不同研究室，尤其是光学研究室中去收集不同焦长、不同直径的单透镜，和不同孔径比的复合透镜组、偏振片和大大小小的反射镜。当年也没有像如今有不同种类、规格齐全的精密光学调节架可买，而是利用别人多余的，闲置不用的各种光学支架来装配各种光学元件。用大把的“娃娃泥”分别把复合透镜组、单透镜、反射镜、和偏振片沾黏到各类不同的光学支架上，起到固定作用。应用简单的几何光学成像原理知识，花费大约三个月的时间，一套简易、实用的可做背向散射、直角散射配置的拉曼散射光收集系统初步建成。这是我入职后第一次通过图纸设计变成组建拉曼光谱仪上的核心部件之一。再有将原来只能把样品泡在液氦（4.2K）做低温核磁共振测量的玻璃杜瓦瓶，通过再设计一个正方形柱状石英管，用于隔离样品与液氦直接浸泡而不能变温。在放置样品的部位加装了加热电热丝，通过控制电流大小实现了对样品从4.2K-300K 的变温。以此类推，用实验室或研究所已有的设备，经过适当的改造，我们仅用半年左右的时间，成功组建了物理所第一台配备了二个激光激发波长（氦镉激光器-441nm，氦氖激光器-633nm），及带有变温控制（4.2K-300K）、和磁场控制(0-0.7T)、电压控制（0-3kV）装置，及可做两种散射配置的激光拉曼光谱仪系统。这台激光拉曼散射光谱仪的组建成功，为物理所固体拉曼散射和表面增强拉曼散射（SERS）实验研究拉开了帷幕，许多样品的拉曼光谱实验研究都是从这台激光拉曼光谱仪开始的（见图2）。图2.在与老师们和同事们的共同努力下，完成了物理所第一台拉曼光谱仪的组建，并开展实验研究该光谱仪研制与实验研究结果均在全国第一届光散射大会上进行了报告，与会代表认为这是一台已有较高技术水平的拉曼光谱仪，做出的实验结果在当时算有较高研究水平的。例如，1981年，我参与了由王焕元、张鹏翔和庞玉璋为主的SERS实验研究，观测到电化学池中不同粗糙度的电极表面与在施加不同电压下表面吸附吡啶分子而增强的拉曼散射光谱。这是中国首例有关SERS的研究报告。由此，在物理所开辟了一个新的光散射研究领域。在1988年前，本研究组有关SERS的研究获得国家发明专利1项，在国内外SCI学术刊物上发表了80篇论文，并为国内外同行所引用。表面增强拉曼散射的机制和应用研究项目获得1989年中科院自然科学三等奖。其中获奖的大部分实验数据是在这台光谱仪上获得的。另外，本研究组许多晶体的声子和电子的拉曼散射实验均在这台光谱仪上完成，如掺杂系列的石榴石晶体（YIG，Bi-YIG，In-BCVIG，GGG，），取得了有意义的结果。所内外一些科研院校的研究团队也借助这台光谱开展了实验研究，取得了一些有意义的结果。例如，物理所李萌远院士在这台光谱仪上，开展了对电场下-LiIO3 单晶的拉曼散射研究时，首先发现当沿晶体的c轴加静电场时，除了-LiIO3 单晶的拉曼模式外，还出现了一个随施加电场强度而出现的拉曼模式，也称“串线”， 该峰强度随电场而改变。通过理论分析认为，这是由于离子输运引起的空间电荷涨落，使-LiIO3 极化率张量和拉曼张量主轴方向发生涨落所致。更值得一提的是，在1988年前，张鹏翔等其他老师利用这台光谱仪，培养了本所，以及与外单位联合相关SERS研究的硕士和博士研究生约20余人，当年培养的学生有的已经成为国内光散射研究领域的骨干人物。从我开始参与组建物理所第一台拉曼光谱仪至今，四十多年已经过去了。当年自己刚从事光散射研究和技术工作不久，对拉曼散射原理及在研究固体物理和元激发应用的认识和理解不深。前期开展拉曼散射实验是介入老师们的研究课题，是他们带着我边干边学，这为我在固体的拉曼光谱研究方面的进步打下了良好的基础。在组建光谱仪的学习与实践的过程中，我也领悟了先进的科研仪器对固体物理及材料学基础研究的重要作用，学会了独立思考寻找重要科学问题和解决问题的能力, 写下了大量的实验分析、技术改进的总结和建议（见图3），树立了要加强培养自己独立科研工作的信心，也进一步理解了耐心、缓慢、坚持、少量、精细、极致的工匠精神，同时加深了对实验技术研究的兴趣和热情，更坚定了要利用好光谱仪现有性能和功能，及发展新的高端仪器用于科学研究工作的决心。图3.早年写过的仪器组建总结报告、实验结果与技术改进的分析报告四十年的时光如一把无情的刻刀，公正地雕刻着包括自己在内的每一个人的模样，一切记忆犹新。四十年的失败与成功，四十年的辛酸与欣喜，四十年读过的书，走过的路，遇到的人，做过的事，这些都决定了我的人生视野，也构成了我自己勤奋好学、吃苦耐劳、热心助人、踏实做事、淡薄名利、不卑不亢，永不作假的人生格局。由于此心得体会起草晚，时间紧迫，难免有用词不当，或错误的地方，请大家批评指正。谢谢大家！ （作者：中科院物理研究所 刘玉龙 研究员）

通过激光刻蚀去除所需位点外围的大部分材料，再通过FIB切割和抛光得到横截面，两种技术相结合最终实现了超大尺寸样品处理所需的速度和精度。而这种组合方式的最新阶段是采用激光刻蚀和PFIB刻蚀实现协同处理，进一步提高分析通量、效率和灵活性。激光集成到FIB室中 VS 独立的激光刻蚀和PFIB协同处理 效率提高至少2,000倍 激光刻蚀提供的最大铣削速率比镓源FIB快约100,000倍，比PFIB快约2,000倍，同时仍保持针对特定位点的足够铣削精度。将激光刻蚀（初始切削材料）与PFIB（最终切割和抛光）相结合可以将制备大尺寸横截面所需的总时间减少95%，在某些情况下甚至更多。如图1显示了镓源FIB、PFIB和激光刻蚀的光斑大小与材料去除率之间的关系。相邻表格提供了这3种技术在最大铣削和最终抛光束流条件下材料去除率的数值比较。如图1：（左）所示，镓源FIB、PFIB和激光刻蚀占据不同的区域，其特点是光斑尺寸（光束直径）和材料去除率之间的制衡。一般来说，较高的束流或束流强度会更快地去除材料，但精度较低。表格(右)比较了材料在三种技术下最大束流和典型抛光条件下的束流(或激光的离子束等效电流)和材料去除率关系。此外，还显示了镓源FIB与激光刻蚀、PFIB与激光刻蚀的去除率之比。将激光集成到FIB室中后，系统一次只能使用一个功能，而其他功能处于空闲状态。TESCANT提供一种最新方式来实施集成显微镜技术，通过独立的激光刻蚀（microPrep PRO、3D-Micromac AG）和PFIB(TESCAN Solaris X)系统提供并行处理。两个系统都不会因为另一个系统的运行而空闲。激光刻蚀系统可以为多个联用工具准备样品，无论联用是多个FIB 还是各种其他故障分析仪器，最终结果都是增加了分析通量和产率，并降低了每次分析的成本。激光刻蚀系统提供约10微米的铣削精度(束斑尺寸)和约3微米的光束定位精度（以厘米为移动范围），使其快速准确地去除立方毫米的材料。基于电路设计的CAD数据或各种FA工具的2D图像叠加的相关对准技术有助于在两个系统中以高精度找到感兴趣区。● 独立系统中的协同处理优点 ●1, 超短激光脉冲最大限度地减少了激光引起热影响区，从而减少了必须通过PFIB中的最终抛光去除的材料量。2. 单独在激光刻蚀系统中切削材料可避免PFIB仓内污染的风险，其中污染物会干扰仪器本身和分析结果。3. 样品同时可以在各种气体环境中通过激光进行处理，并且可以使用解决方案来允许系统之间的转移，而不会暴露在周围环境中。4. 激光刻蚀工具上的平台提供具有六个自由度的精确自动化运动，使其能够在需要时铣削复杂的图案。5. 在激光刻蚀过程中倾斜样品的能力对于补偿由光束能量的高斯强度分布引起的锥度特别有益。尽管它可以使用FIB抛光消除，但在激光刻蚀操作期间避免它可以大大减少FIB抛光所需的时间。6. 消除锥度对于半导体样品中准确对齐堆叠重复结构的横截面（例如TSV、锡焊球等）工艺至关重要。PFIB系统针对高深度大尺寸铣削进行了优化，它提供高达3µA的束流，每秒可去除多达1,400µm3的材料。用于最终抛光的较低离子束电流(300nA)仍可去除高达141µm3/s，即使在具有挑战性的样品上也能提供原始横截面。最具挑战性的样品是那些需要不同切削速率的硬质和软质复合材料的样品。容易产生独特的垂直形貌，描述性地称为“窗帘”。从而引起的窗帘伪影可能会掩盖后续成像中的关键细节。在切削操作过程中，我们可以通过小角度反复摇摆样品减少窗帘伪影。角度的轻微变化使离子束能够更好地进入材料下方较硬的屏蔽区域，并平滑铣削过程。对于束流/铣削速率较高的FIB，窗帘效应可能是一个挑战，就像大通量工作流程中高速铣削所需的那些一样。对于该问题，PFIB系统配置的摆动台提供了一种自动摆动模式，可以予以解决在某些材料中，包括碳化硅、聚酰亚胺、玻璃等，产生的另一种伪影-呈阶梯式。阶梯一旦出现，就会自我强化，很难移除。我们用一种创新的解决方案(True x-section，用户指导程序)来消除了阶梯效应，比大面积FIB沉积速度快得多：允许操作人员在要切片的区域放置一个小的保护硬面罩。案例图2至图6显示了使用激光刻蚀和PFIB来曝光电路元件以进行成像和分析的示例。每个示例都包括每次操作所花费的时间以及相对于单独使用PFIB制备样品所节省的总时间。图2：先进芯片集成中间的图像显示了一个超大的横截面，宽几百微米，深几百微米，穿过集成电路和连接到插入器的焊锡球和触点。左边和右边的图像显示了该截面的细节，左边是IC的放大倍数更高的图像，右边是锡球和接触垫之间的空隙。横切过程在激光刻蚀仪器中耗时10分钟，在PFIB中耗时90分钟，与单独使用PFIB相比节省了70%的时间。图3：锥度校正（右）显示了在高带宽存储器(HBM)器件中硅穿孔(TSV)堆栈的数百微米深和宽的横截面，它说明了系统切割贯通每个TSV中心的精确垂直横截面的能力。在激光刻蚀过程中倾斜样品以补偿锥角对于减少最终PFIB铣削操作要去除的材料量至关重要，从而减少横截面所需的总时间。横截面在激光刻蚀仪器中耗时10分钟，在PFIB中耗时120分钟，与单独的PFIB相比，节省了80%的时间。图4：FIB层析成像的激光刻蚀准备FIB的层析成像通过FIB逐层切片的方式，从捕获的一系列图像中重建了样本体积的3D模型。准备工作首先使用激光刻蚀从一个立方体/矩形体的三面去除材料，如“俯视图”(左)所示。在此视图中，最终将与FIB连续剖切的面位于立方体形状的底部。在“正视图”（中间）中，样品已旋转90°以显示横截面。插图（右）放大了横截面的一个区域以显示其切削质量。使用激光烧蚀制备样品需要10分钟，与PFIB 相比节省了70%的时间。图5: 有机发光二极管面板手机和其他移动设备的显示器含有关键的微结构，在样品制备过程中容易被机械应力损坏。这种精致的样品需要一种特殊的处理方法:在PFIB进行最后切削和抛光之前，在边缘的一个几毫米长的区域被有意地用激光削尖。左上方的第3张图像显示了激光刻蚀切口。下图显示了经过PFIB切削和抛光后长约0.5mm截面(PFIB可以切割和抛光长达1mm的截面)。最右边的顶部图像显示了最终横截面的更高倍放大图。横切面在激光刻蚀中花费了74分钟，在PFIB中花费了165分钟，与单独PFIB相比节省了95%的时间。图6： 微机电系统MEMS设备对样品制备过程中的机械损伤特别敏感。在这个例子中，激光刻蚀被用来打开一个窗口，进入封装的 MEMS 设备进行检查和分析。 节省的时间从70%到95%以上 激光刻蚀功能嵌入FIB系统的系统本质上是低效的，因为一次只能使用一种功能。该技术的最新迭代在独立的激光刻蚀和PFIB中实现并行处理，通过允许同时在两种工具中进行处理来提高通量和产率。这些工具通过相关的图像对齐程序和CAD叠加导航进行集成。在并行配置中，单个激光刻蚀系统可以供给多个FIB和其它FA工具。这种方法具有消除污染FIB系统的风险的优势，其中污染物会干扰成像和分析或损坏系统。我们展示了几个大的、高质量的横截面示例，并计算出与单独使用PFIB制备相比节省的时间，所示示例中节省的时间从70%到95%以上。

2022年4月18日，大族激光科技产业集团股份有限公司召开业绩说明会，参会人员为通过线上交流平台参与公司 2021 年度业绩网上说明会的投资者。说明会上，大族激光针对目前公司光刻机研发进度和分辨率问题进行回复并表示，公司光刻机项目分辨率 3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED 等领域的应用，已实现小批量销售。针对大族激光在半导体领域目前的规划，光刻机新的进展，以及下一步在半导体领域是否和华为展开合作等问题，大族激光表示，得益于 Mini-Led 对行业设备需求的带动和公司市场占有率的持续提升，公司半导体及泛半导体行业晶圆加工设备快速增长，实现营业收入 6.69 亿元，同比增长 140.62%。其中，LED 行业晶圆加工设备实现营业收入 4.78 亿元，同比增长 115.46%，保持市场领导地位，Mini-Led 切割、裂片、剥离、修复等设备实现大批量销售，Micro-LED巨量转移设备正在验证过程中；半导体行业晶圆加工设备实现营业收入 1.91 亿元，同比增长 239.96%，半导体激光开槽、半导体激光解键合、化合物半导体激光切割等产品实现批量销售。公司封测设备业务主体大族封测保持良好发展趋势，营业收入同比增长约 128%。公司光刻机产品主要用于分立器件领域，最新产品接近式光刻机样机已经开发完成。目前，公司在半导体领域暂未和华为展开合作。

1月14日，大族激光在互动平台表示，目前公司在研光刻机项目分辨率为3-5μm，主要聚焦在5G通讯配套分立器件、LED、Mini/Micro-LED新型显示等方面的应用，且光刻机项目已实现小批量销售。值得关注的是，近日，深圳监管局披露了大族激光的子公司大族数控首次公开发行股票并上市辅导备案信息。据披露，大族数控拟首次公开发行股票并在境内证券交易所上市，现已接受中信证券的辅导，并于2020年12月31日在深圳证监局进行了辅导备案。据了解，大族数控是由大族激光组建的全资子公司，是集技术研究、开发、生产和销售为一体的高科技企业。天眼查显示，大族数控注册资本为37800万人民币，于2014年12月30日及2016年3月1日，分别获得了由大族控股和大族激光投资的两轮战略融资。在产品方面，其专业开发和生产具有国内领先水平的HANS系列PCB激光设备、PCB数控钻铣机HANS系列PCB激光设备，以及PCB数控钻铣机是集激光技术、机械学、电子学、计算机学、气动学和光学于一体，是印刷电路板行业的专用设备，适用于印刷电路板的精密钻孔和异形槽、孔、边 框的铣削加工。公司于2006年通过ISO-9001质量认证。

项目名称：北京工业大学2013年专用教学设备政府采购项目(第9、14、17~34包)　　项目编号：BJJQ-2013-117-9、14、17~34　　采购人名称：北京工业大学　　采购人地址：北京市朝阳区平乐园100号　　采购代理机构全称：北京汇诚金桥国际招标有限公司　　采购代理机构地址：北京市朝阳区建外大街永安东里甲3号通用国际中心B座五层　　采购代理机构联系方式：65915024、65910924-824/823　　采购用途：专用教学设备　　简要技术要求：为北京工业大学提供优质的产品及服务，详见招标文件第四章货物需求一览表及技术规格　　采购内容： 包号分包项目编号所属项目名称货物名称采购数量（单位：台/件/套）分包控制金额（人民币：万元）是否允许进口产品投标第9包BJJQ-2013-117-0913学科建设&mdash 211工程&mdash 环境污染研究与控制工程（项目采购）高效液相色谱-质谱联用仪1100是第14包BJJQ-2013-117-1413学科建设-211工程-微纳光电子材料与技术（项目采购）刀片服务器 硬件+软件112否第17包BJJQ-2013-117-1713学科建设&mdash 211工程&mdash 纳流色谱分离检测系统的构建与应用研究（项目采购）微流速液相色谱系统1160是毛细管色谱泵1是全自动紫外光刻机1否体式荧光显微镜1是激光器1是毛细管紫外检测器2是超纯水系统1是单光子检测器2是第18包BJJQ-2013-117-1813实训基地建设&mdash 工程训练中心建设（项目采购）普通车床4308.15否等离子切割机2否FDM双丝机3否钻铣床10否1200度高温电阻炉3否1300度高温电阻炉2否红外测温仪3否油压机2否钻床1否表面处理线2否便携式硬度计2否仪表车床6否布氏硬度计2否洛氏式硬度计1否刷镀机2否手持式粗糙度仪6否2.5吨堆高机1否1吨堆高机1否万能工具铣床2否数显卧式铣床1否雕刻机1否激光打标机1否火焰抛光机1否激光切割机1否下料弓锯床2否第19包BJJQ-2013-117-1913实训基地建设&mdash 工程训练中心建设（项目采购）铣床用平板471.9否铣床用方箱4否铣床用V形铁4否攻丝机1否套扣机1否混砂机1否125型台钳40否250型台钳40否1200带抽屉工具柜20否1200带门工具柜20否1800带抽屉工具柜10否带防护板钳工台15否带抽屉钳工台15否带抽屉和防护板钳工台10否重型工作台6否一头沉工作台20否第20包BJJQ-2013-117-2013实训基地建设&mdash 数字化教育与教学平台建设（项目采购）数字化工厂软件190否第21包BJJQ-2013-117-2113实训基地建设&mdash 数字化教育与教学平台建设（项目采购）实践教学演示系统1142.24否第22包BJJQ-2013-117-2213实训基地建设&mdash 数字化教育与教学平台建设（项目采购）搬运机器人120是第23包BJJQ-2013-117-2313实训基地建设&mdash 数字化教育与教学平台建设（项目采购）全功能数控车2164.73否全功能数控车用偏摆检测仪2否数控铣床1否第24包BJJQ-2013-117-2413实验室建设-本科生创新设计科技活动平台建设（项目采购）3D工程模型应用系统250.9019否小型车床2是小型铣床2是3D打印机1是测量用组件1否静音空压机1是机床工装及配件1否第25包BJJQ-2013-117-2513实验室建设&mdash 机械工程创新实验室建设（项目采购）创新设计软件125是第26包BJJQ-2013-117-2613实验室建设&mdash 机械工程创新实验室建设（项目采购）Delta机器人135是第27包BJJQ-2013-117-2713实验室建设&mdash 机械工程创新实验室建设（项目采购）5轴雕刻机1226.5否电火花成型机2否快走丝线切割机1否数控折弯机1否数控剪板机1否第28包BJJQ-2013-117-2813实验室建设&mdash 机械工程卓越工程师培养教学基地建设（项目采购）混合信号示波器132.8302否教学实验柜20否实验椅40否实验桌1否电子技术实验板套件20否贝加莱Airball实验装置1否贝加莱多质量弹性扭转运动控制实验装置1否USB信号万用仪1否myDAQ模块化实验平台2否nextboard通用教学实验平台2否Next实验模组1否函数/任意波形发生器(20M)20否B-ICE-EDA/SOPC-IEELS创新电子实验系统平台1否函数波形发生器(100M)1否数字存储示波器20否直流稳压电源20否可编程线性直流电源1否台式万用表1否频谱分析仪1否教学实验展示柜8否第29包BJJQ-2013-117-2913实验室建设&mdash 机械工程卓越工程师培养教学基地建设（项目采购）VTL分析软件135.805否机构运动学/动力学软件1否IMAC400控制器5否伺服系统10否电子测力仪10否红外热像仪1否第30包BJJQ-2013-117-3013实验室建设&mdash 机械制造及其自动化综合实验平台（项目采购）机器人125否第31包BJJQ-2013-117-3113实验室建设&mdash 机械制造及其自动化综合实验平台（项目采购）自动化立体仓库168否第32包BJJQ-2013-117-3213实验室建设&mdash 机械制造及其自动化综合实验平台（项目采购）数控铣床1223.34否全功能数控车2否全功能数控车用偏摆检测仪2否数控钻铣床1否数控滚齿机2否第33包BJJQ-2013-117-3313实验室建设&mdash 精密加工及测量中心建设（项目采购）车削中心1356.9否测量仪用平板1否数控内圆磨床1否数控内圆磨床用圆度仪1否数控平面磨床1否数控平面磨床用平面度仪1否数控外圆磨床1否万能工具磨床1否光栅式测量机1否第34包BJJQ-2013-117-3413教育教学&mdash 教学资源共享平台&mdash 研究生工程实训平台及科技创新条件建设（项目采购）长距离显微镜１78是光学轮廓仪１是备注：1、&ldquo 包&rdquo 为最小的投标单位，投标人必须投整包，不得仅对包内部分品种进行投标。2、投标人须以&ldquo 包&rdquo 为单位编制投标文件及投标一览表。　　投标人的资格条件：　　1、投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定：　　1)具有独立承担民事责任的能力 　　2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度 　　3) 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力 　　4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录 　　5)参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录 　　6)法律、行政法规规定的其他条件。　　2、本项目不允许联合体投标。　　招标文件发售地点：北京市朝阳区建外大街永安东里甲3号通用国际中心B座五层(永安里地铁C出口向南200米)。　　招标文件发售价格：每包人民币200元(含电子版)，售后不退。若邮购，须加付EMS费50元人民币。请按下述地址汇款，汇款单上应注明汇款用途、所购招标文件编号，然后将汇款单复印件、购买单位名称、详细通讯地址、电话、传真及联系人传真给我公司，我公司收到传真后将尽快以EMS方式将招标文件邮寄给贵方。　　招标文件发售时间：2013年09月12日起至2013 年10月08日止，每天上午9:00-12:00到下午1:00-4:00(北京时间) (法定节假日休息)　　投标截止时间：2013年10月10日上午09点30分(北京时间)　　开标时间：2013年10月10日上午09点30分(北京时间)　　开标地点：北京市朝阳区建外大街永安东里甲3号通用国际中心B座五层会议室(永安里地铁C出口向南200米)　　评标方法和标准：综合评分法　　收款单位 ：北京汇诚金桥国际招标有限公司　　开 户 行：上海浦东发展银行北京雅宝路支行　　银行帐号：9112 0154 8000 12262　　开户行行号：3101 0000 0132　　项目联系人：王鑫国 刘欢　　联系方式：65915024、65910924-824/823　　传真：65951037　　凡购买招标文件的投标人，须由其法人授权代表携带以下材料(每页材料须加盖投标人公章)到招标代理机构查验。经审查合格后，方可购买本项目的招标文件。　　① 经年检的法人营业执照副本或事业单位法人证书(复印件)，有效期内的组织机构代码证(复印件)，税务登记证书(复印件) 　　② 法人授权委托书(原件) 　　③ 被授权人身份证(原件及复印件) 　　④ 近期(最近三个月内)缴纳社会保障资金的有效票据凭证或由社保中心出具的缴纳社会保障资金的证明(复印件)。　　本公告同时在中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn)、北京市财政局网站政府采购(http://www.bjcz.gov.cn/zfcg/index.htm)以及北京汇诚金桥国际招标有限公司网站(http://www.hcjq.net/)发布。　　北京汇诚金桥国际招标有限公司　　2013年09月12日

2011年上海慕尼黑上海激光、光电展2011年3月15日，慕尼黑上海激光、光电展将于3月15日在上海新国际博览中心开幕，必达泰克公司作为专业的光电检测供应商，将会积极参加本次展会。必达泰克公司将会展出我们在光电领域的全套解决方案，包括LED检测、太阳能模拟器检测、拉曼光谱仪以及近红外光谱仪等。欢迎莅临我们的展位参观指导。

为遏制私宰肉这一屡禁不止的“老大难”问题，广西南宁拟在马年春节前试点推广肉类激光灼刻标识技术，给老百姓的菜篮子安全上一道“新保险”。　　据相关负责人介绍，肉类激光灼刻标识技术可让激光束瞬间在片猪肉或猪肉分割产品表面灼刻出可识别标识信息。这些信息包括动物检疫验讫章、肉品品质检验合格章、流通追溯码等。消费者可以通过视觉和触觉识别激光标刻后的合格猪肉的特征购买到安全肉。与此同时，激光灼刻设备还将与肉菜流通追溯系统相对接，为下一步在广西南宁实现生猪单体追溯管理打下基础。　　“目前，南宁市定点屠宰的猪肉上还是加盖油印质地的‘两章’(动物检疫验讫章、肉品品质检验合格章)，但这些章容易被私宰窝点模仿。到市场买猪肉时，很多市民都不知道如何辨别。”相关工作人员介绍，利用激光灼刻技术刻制的合格标识信息量更大、防伪度更高，并且激光灼刻设备价格昂贵，增加了造假的成本和难度，将在一定程度上打击私宰肉。　　记者近一步了解到，肉类激光灼刻标识技术将在2014年春节前于南宁市肉类蔬菜流通追溯体系建设的流通节点企业推广使用。文章转载自：中国质量新闻网

华南国际智能制造、先进电子及激光技术博览会（简称“LEAP Expo”）旗下成员展慕尼黑华南激光展已进入开幕倒计。本届展会将于10月30日-11月1日，亮相深圳国际会展中心（宝安新馆）。以推动“激光+智能制造”深度融合为目标，展会将围绕激光智造技术及装备、光源和先进激光器件、激光加工控制及配套系统、工业智能检测与质量控制技术、激光加工服务、3D打印/增材制造技术等多个板块的新品及技术研发成果，联合产业优质企业，聚焦新旧动能转换，为上下游企业提供综合性的专业交流圈。现场更有激光+主题区、激光+tour、买家tour、光电人职业中心等活动，同期举办华南国际光子智能制造及应用技术大会，关注激光技术如何赋能智能制造、新能源汽车激光“智”造技术等热点话题。点击链接即刻注册参观：http://vis.exporegist.com/mnhCnEz/index.html#/login?ExhID=5413&InviteType=Platform&InviteCode=Myqxxweb5号馆展位图展商名单同期会议即刻注册参观慕尼黑华南激光展及同期会议，现场更有好礼相送：http://vis.exporegist.com/mnhCnEz/index.html#/login?ExhID=5413&InviteType=Platform&InviteCode=Myqxxweb此外，为给买家提供Match Making服务，成为您的观展贴身管家，随时解答您的问题，特别推出买家Tour。我们将根据您的采购需求，定制路线，带您直达展台，助您提升观展效率，促进供需匹配。观众参观咨询：慕尼黑展览（上海）有限公司孔逸女士电话：+86 21 2020 5652邮箱：karyn.kong@mm-sh.com

&mdash &mdash 必达泰克公司成功参加慕尼黑上海激光、光电展 必达泰克展会效果图 2011年3月15日，第六届慕尼黑上海激光、光电展于上海新国际博览中心隆重开幕。作为中国领先的激光、光学、光电子领域的盛会，慕尼黑上海激光光电展在国内外享有极高的美誉。作为激光光电子领域全方位解决方案的专家，必达泰克公司应邀参加了此次盛会。3月15日至17日三天时间内，必达泰克公司以全新的面貌向大家着重展示了我公司拉曼产品和光谱仪产品在药品鉴定分析，LED和光源检测，水、气等污染物监测以及珠宝鉴定方面的应用经验和全方位的解决方案。优秀的产品和贴心的服务，切实可行的解决方案和细致认真的讲解赢得了业内外的一致好评。 工程师悉心为客户讲解拉曼光谱仪的应用和操作 工程师为客户演示miniRamIII的操作方法 必达泰克光谱仪在LED和光源检测方面的应用

据报道，美国商务部工业与安全局(BIS)当地时间7日发表声明，宣布将33个总部在中国的实体列入所谓“未经核实名单”。报道称，被列入这一清单的公司必须接受更严格的出口管控，因为美国官员无法对其进行例行式核查。美国商务部的声明援引负责出口执法事务的助理部长马修• S• 阿克塞尔罗德(Matthew S. Axelrod)的话宣称：“今天将中国的33个当事方加入‘未经核实名单’将协助美国出口商从事尽职调查并评估风险，并向中国政府发出信号，表明他们在安排最终用户核查方面予以配合的重要性。”根据美媒报道，被纳入这份名单的多数是电子公司，但是也有光学公司、一家风涡轮叶片公司以及大学的国家实验室和其他公司。纳入这33个中国实体后，该名单榜上实体总数大约达到了175个。其他有实体被列入名单的国家还包括俄罗斯和阿联酋。美国此前就曾将多家中国机构列入其所谓的“实体名单”。去年12月，美方以所谓涉疆问题为由将8家中国企业列入“投资黑名单”，中国外交部发言人赵立坚当时对此表示，中方一贯反对美方泛化国家安全概念、无理打压中国企业的行径。中方将密切关注事态发展，一如既往坚决捍卫中国企业的正当、合法权益。值得一提的是，一些仪器企业和半导体企业也在这份名单之中，如云南天合立光电技术有限公司、上海微电子、滁州惠科光电科技有限公司、北京世维通科技发展有限公司等。本次33家未经核实名单及介绍：1.AECC South Industry Co., Ltd.中国航发南方工业有限公司，中国航发南方工业有限公司[1]曾用名中国南方航空工业（集团）有限公司（简称：中国航发南方公司或南方公司，行业代号331厂；英文：Aecc South Industry Company Limited），隶属中国航空发动机集团。始建于1951年10月，是国家“一五”期间156个重点建设项目之一、国家首批建设的六个航空工业企业之一和国家首批试点的57家企业集团之一，是我国中、小型航空发动机主要研制生产基地。值得注意的是，中国航发南方工业有限公司此前已被美国列入“军事最终用户”（Military End-User，以下简称“MEU”）名单。2.Beijing SWT Science北京世维通科技发展有限公司：世维通公司于2000年在北京注册成立，生产基地位于河北省廊坊市燕郊高新技术开发区，是一家专业从事光电子器件研发、生产和销售的民营企业，公司累计投资超过3亿元，年产值2.5亿元。世维通公司的光电子器件广泛应用于高速铁路、石油勘探、智能电网、广播电视等领域。世维通公司以“做中国专业化的光电子器件供应商”为目标，产品远销日本、美国、澳大利亚、德国、法国、荷兰、比利时、俄罗斯等国家。3.Beijing Zhonghehangxun Technology Co., Ltd.北京众合航迅科技有限公司：成立于2012年3月，专注于机器视觉行业，是视觉定制、集成及销售于一体的专业的自动化方案服务商。公司立足视觉定制与研发销售，可为客户提供软件及硬件的支持。公司有专业的视觉实验室，有上百种视觉光源、CCD相机镜头、PLC试验台， 可为提供免费的样品测试服务和系统方案报告。4. China National Erzhong Group Deyang Wanhang Die Forging Co., Ltd.中国第二重型机械集团德阳万航模锻有限责任公司：成立于1998年7月29日，是世界500强之一的中国机械工业集团有限公司旗下的中国第二重型机械集团有限公司与中国航空工业集团公司共同持股的有限责任公司。万航模锻集科研、设计、生产、经营于一体，以研制生产航空锻件为主导产品，产品覆盖航空、航天、能源、舰船动力、铁路、汽车、起重等国民经济的重要行业。在产品锻造设计、技术工艺、热处理、酸洗、理化检验及模具加工制造等方面，具有国内领先的优势。产品研制主要包括：钛合金、超强钢和结构钢、高温合金、铝合金。公司可制造各类大型模锻件、大型模具以及模锻件粗加工和成台套机械产品，可完成各种类型的热处理和表面处理工艺。可制造的大型模具单重为100T，大型轴类模锻件长度可达6.5m，圆形模锻件直径可达2.5m，在国防建设中发挥着不可替代的作用。同时，作为新兴民航模锻件供应商，万航模锻所拥有的新兴产能也吸引了国际航空制造商的关注。5. Chuzhou HKC Optoelectronics Technology Co., Ltd.滁州惠科光电科技有限公司：成立于2017年9月11日，是惠科股份有限公司在滁州投资的第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件项目运营主体，项目总投资240亿元人民币，占地约1200亩，是滁州市史上单笔投资金额最大的工业项目。采用a-Si（非晶硅，即A硅）技术，建成后将月投产15万片玻璃基板（尺寸2250*2600mm）。6. Dongguan Durun Optical Technology Co., Ltd 东莞度润光电科技有限公司：东莞市度润光电科技有限公司于2011年01月28日成立。公司经营范围包括：研发、生产、销售：光学元件、电子产品、塑料配件、金属制品；货物及技术进出口等。2022年1月，入选2021年广东省专精特新中小企业名单。7. Dongguan Huiqun Electronic Co., Ltd.东莞惠群电子有限公司：成立于2010年6月13日，主要从事设计、开发、生产及销售各类开关，用于供应国内外电机、电子、电脑、家用电器等各类产品，8. Guangdong Guanghua Sci-Tech Co.广东光华科技股份有限公司（股票代码：002741）：成立于1980年8月30日，并于2015年在A股上市，是先进的专业化学品服务商，集产品研发、生产、销售和服务为一体。公司以高性能电子化学品、高品质化学试剂与产线专用化学品、新能源材料和退役动力电池梯次利用及再生利用为主导，同时提供其他专业化学品的定制开发及技术服务。9. Guangxi Intai Technology Co., Ltd.广西铟泰科技有限公司：成立于1999年10月8日，是一家专业从事5N-7N高纯铟及其系列产品深加工生产和开发的企业，一直致力于成为世界一流高纯铟、铟系列产品及铟综合回收利用的供应商。公司坐落于柳州市柳城县六塘工业园，占地54.48亩，办公面积1969㎡、厂房面积8000㎡。公司技术力量雄厚，质量保证体系完善，通过采用先进提纯技术、严格的质量标准以及先进的分析仪器如ICP-OES和ICP-MS/MS，使产品质量达到国际领先水平。10. Guangzhou Hymson Laser Tehnology Co., Ltd.广州市海目星激光科技有限公司（股票代码：688559）：成立于2010年9月25日，一直以来深耕激光和自动化领域，激光&自动化装备综合解决方案提供商，是国家高新技术企业。海目星激光总部位于深圳市龙华区，拥有多家全资子公司。并在广东江门市和江苏常州市分别设有两大全球智能制造生产基地。产品和服务范围包括：锂电自动化、风冷紫外激光设备、大型自动化生产线、大型激光切割设备、蓝宝石切割设备、PCB打标设备等，不断为锂电、3C、钣金等行业客户带来更高效、更优质的综合解决方案。11. Harbin Xinguang Feitian哈尔滨新光飞天光电科技有限公司：成立于2010年4月14日，主要经营开发、生产、销售高效节能照明灯具及光电一体化产品；加工光学及机械设备零配件和硬脆光学材料；光学薄膜的设计；购销光学仪器、工业自动化控制设备；自有房屋租赁；从事计算机软件、工业自动化控制设备、电子信息技术、新材料的技术咨询、技术转让及技术服务；会议及展览展示服务；机构商务代理服务。12. Hefei Anxin Reed Precision Co., Ltd.合肥安信瑞德精密制造有限公司：成立于2013年12月11日，是专业化生产制冷空调压缩机吸、排气阀片及各类五金精密冲压件的企业。尤以生产汽车空调压缩机吸、排气阀片，商用半封制冷压缩机吸、排气阀片，冰箱压缩机吸、排气阀片为特长。作为全球制冷空调压缩机阀片优秀供应商的安信公司以被美国艾默生、谷轮公司，日本电装汽车空调压缩机公司、巴西Embraco等世界著名的跨国公司认可。13. Heshan Deren Electronic Technology Co., Ltd.鹤山市得润电子科技有限公司：成立于2015年03月10日，为A股德润电子（股票代码：002055）控股子公司，主要经营范围包括生产经营电子连接器、光电连接器、汽车连接器及线束等。14. Hubei Longchang Optical Co., Ltd.湖北龙昌光学有限公司：成立于2011年12月6日，是一家专业从事高精度光学镜头、光学镜片制造的高科技光电企业，主要产品有：交换镜头、数码相机镜头、扫描仪镜头、望远镜、CCTV安防镜片、FA（工业镜头）、车载镜头、红外镜头及其他各式镜头、光学系列镜片等。15. Hubei Sinophorus Electronic Materials Co., Ltd.湖北兴福电子材料有限公司：成立于2018年11月14日，注册资本1.38亿元，由我国最大的精细磷化工企业——湖北兴发化工集团股份有限公司（股票代码：600141）控股，是一家专业的以电子化学品研发、生产、销售为主的生产经营公司。公司专注于电子化学品的研发、生产和销售,公司超过五成的电子化学品已出口至日本、韩国、新加坡、马来西亚、南美等国家以及中国台湾地区，与格罗方德、中芯国际、华星光电、群创光电、夏普、JDI、霍尼韦尔等企业建立了长期合作关系，开创了国产化电子级磷酸在8寸、12寸集成电路应用的先河。16.Hunan University State Key Lab of Chemo/Biosensing湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室：化学生物传感与计量学国家重点实验室依托湖南大学由国家科学技术部于2001年7月正式下文批准依托湖南大学边建设边开放，2002年11月1日通过了国家科技部专家组的建设项目验收。其前身为 “化学计量学与化学传感技术教育部重点实验室”。国家重点实验室设有学术委员会、室务管理委员会和管理办公室。实验室现有固定人员47人，包括教授32人，其中中国科学院院士2人，博士生导师28人。实验室拥有一支以俞汝勤院士和姚守拙院士，国家杰出青年基金获得者王柯敏教授、王太宏教授、杨荣华教授、罗胜联教授，特聘教授谭蔚泓博士、邹炳锁博士等为学术带头人的年龄结构合理、团结协作、能在国际分析化学前沿领域竞争的科研梯队。实验室以纳米和单分子水平上的生化分析、化学与生物传感技术、生命科学中的新分析技术、化学计量学等为主要研究方向。17. Jinan Bodor CNC Machine Co., Ltd.济南邦德激光股份有限公司（股票代码:838249）：成立于2008年10月24日，是一家致力于激光工业应用方案解决的大型制造企业，专业从事激光切割机、光纤激光切割机、金属激光切割机等激光设备的研发、生产和销售。目前设备已在160多个国家稳定运行。18. Jiutian Intelligent Equipment Co., Ltd. 久天智能装备有限公司：于2017年12月28日成立。公司经营范围包括：激光切割机、激光焊接机、激光器及元件、激光雕刻机、激光打标机、机器人及配件的研发、生产、销售、维修、技术服务、售后服务；自营和代理各类商品和技术的进出口业务（但国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外）等。19. Kunshan Heng Rui Cheng Industrial Technology Co., Ltd.昆山恒瑞诚工业科技有限公司：成立于2008年9月18日，主要从事配套自行车、电动车零部件、汽车零部件、工程机械零部件等零件的机加工，企业可为客户提供产品工程、设计、研发分析的服务。20. Shanghai Fansheng Optoelectronic Science & Technology Co., Ltd.上海帆晟光电科技有限公司 ：成立于2016年6月21日，经营范围包括光电科技、机电科技、电子科技、太阳能科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；机械设备及配件、仪器仪表、不锈钢制品、金属材料、金属制品、汽车配件、针纺织品、照明器材、摄影器材、计算机、软件及辅助设备、建材、钢材、一类医疗器械、环保设备、水处理设备、交通器材、模具、通讯器材、电力设备、轴承、包装材料、电动工具、压缩机及配件的销售；机械设备安装、维修（除专控）；机械设备租赁；电力设备安装。21. Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）：成立于2002年3月7日，主要从事半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。也是国内唯一的光刻机厂商。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。22. Shuang Xiang (Fujian) Electronics双翔（福建）电子有限公司：成立于2004年5月19日，是一家集设计、开发、生产及销售于一体、专业从事电子表面安装技术（SMT),光电子科技产品研发,红外线探测器（主要用于工业检测等方面）生产的高新技术企业，公司主要产品为高清网络摄像机、激光照明、红外探测器、光电仪器产品等。23. Southern University of Science and Technology南方科技大学机械与能源工程系： 南方科技大学机械与能源工程系成立于2016年1月（以下简称：机械系），以建设国际一流的创新工程人才培养和科学研究基地为目的。实行通识教育以加强数理基础，结合创新、实践课程以及机械工程师基本能力训练，着重培养具有坚实理论基础、杰出实践能力、自主学习能力、知识综合运用能力和优秀创新能力，同时具有交叉学科背景、优秀人文素养，能深入研究工程科学问题的学术型人才、能够领导解决工程重大问题的创新型人才，具备国际化理念的领军人才。本系的研究方向主要包括：智能制造、成形制造及3D打印、精密加工技术、软物质设计与制造及能源工程、机器人与自动化。24. Suzhou Chaowei Jingna Optoelectric Co., Ltd.苏州超微精纳光电有限公司：成立于2016年11月15日，主要从事精密光学加工，包括红外单点加工，自由面加工，二元面加工，复眼加工。以及精密轮廓测量，精密粗糙度测量等。25. Suzhou Gyz Electronic Technology Co., Ltd.苏州昀冢电子科技股份有限公司：成立于2013年12月4日，公司从设计到制造生产采用一条龙作业，为客户提供各类电子零部件、高精密注塑件及Insert Molding等优质产品。26. Suzhou Lylap Mould Technology Co., Ltd.苏州亮宇模具科技有限公司：成立于2010年6月18日，专业从事光学镜面产品：光学设计、模具开发、注塑量产、光学镀膜、光学超精密加工、光学研磨镜面抛光加工。拥有：20多项发明专利，万级净化无尘注塑车间，德国阿博格\日本发那科\单\双色注塑机，美国Precitech单点金刚石纳米车床，日本东芝UVM450C高速高精度CNC加工中心，德国 exeron HSC MP7 高速高精度五轴CNC加工中心，北京精雕高速高精度五轴CNC加工中心，英国Kemet平面光学研磨机组，德国自由曲面光学研磨中心，球面光学研磨机组，随形光学研磨机组，非球面\自由曲面检测仪器，海克斯康三次元，通过ISO9001\ISO14001\IATF16949体系认证。27. Wuxi Biologics Co., Ltd.无锡药明生物技术股份有限公司：经营范围包括生物制品的研发，提供生物制品、生化药品的研发技术咨询和服务，医疗器件的检测技术服务，从事一类医疗器械的批发和进出口业务；利用自有资金对外投资；生物药品（限用哺乳动物细胞培养为基础的单克隆抗体）的生产；医药中间体及生物药品的批发、进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 许可项目：建设工程设计（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准） 一般项目：工程和技术研究和试验发展；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；工程管理服务；认证咨询；标准化服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；制药专用设备制造；医用包装材料制造；包装材料及制品销售；包装服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）无锡药明生物技术股份有限公司对外投资14家公司。28. Wuxi Biologics (Shanghai) Co., Ltd.上海药明生物技术有限公司：药明生物作为一家香港上市公司，是全球开放式、一体化生物制药能力和技术赋能平台。公司为全球生物制药公司和生物技术公司提供全方位的端到端研发服务。29. Wuxi Turbine Blade Co., Ltd.无锡透平叶片有限公司（简称“WTB”）：成立于1980年4月15日，是上海电气（集团）有限公司旗下核心上市企业上海集优机械股份公司下属的全资子公司，位于无锡惠山开发区，占地23万平方米，注册资金7.13亿，企业信用等级AAA，建有国家认定技术中心、国家能源大型涡轮叶片研发中心等重大研发载体，以先进装备和精湛工艺满足客户的定制化需求，优质服务于全球航空与能源装备市场。WTB主导产业聚焦能源、航空装备领域，主要产品包括火电汽轮机、燃气轮机、核电机组、舰船动力、航空发动机等动力装备所需的叶片、盘等关键动力部件。以先进装备和精湛工艺满足定制化需求，可提供“锻造+机加+特种工艺”全流程的零件。30.Yunnan Fs Optics Co., Ltd.云南飞秒光学有限公司，位于云南省玉溪市红塔区红塔工业区。31.Yunnan Tianhe Optoelectronic Co., Ltd.云南天合立光电技术有限公司：成立于2004年6月2日，主要经营范围包括望远镜、微光夜视仪、红外镜头、光电仪器零部件、光电子材料及配件的制造、装配及销售；精密机械配件、通用机械配件的生产及销售；产品、设备及相关技术的进出口业务；不动产租赁及物业管理服务。32. Zhengzhou Baiwai Intelligent Automation郑州百维智能自动化设备有限公司：坐落于中国郑州，交通十分便利，是国家级高新技术开发区首批重点引进的高新科技企业。公司于2016年2月进行改制，注册资金5000万元人民币，国内很有实力的激光切割机生产厂商，经营地址位于郑州高新开发区长椿路11号国家大学科技园，生产地址位于风景秀丽的黄河之滨武陟县产业集聚区。百维主要从事激光应用的研发及激光数控机械的生产、制造，包括大功率激光切割机、中小功率激光切割机，为客户提供个性化和专业化的加工系统解决方案。百维产品广泛应用于电力制造、汽车制造业、轨道交通、工程机械、农业机械、电梯制造、塑料及橡胶机械、粮食与食品机械、制药机械、航天航空及机械加工、石油机械、金属结构及专业化钣金加工等行业，销售区域覆盖全国，并向海外拓展，产品获得客户的高度评价。33. Zhuzhou CRRC Special Equipment Technology Co.株洲中车特种装备科技有限公司：成立于1998年6月17日，是中国中车旗下唯一一家具有游乐装备设计制造A级资质企业。自2011年成立以来，公司始终保持着快速健康发展，形成了以游乐装备、智能装备两大产业齐驱并进的产业格局，近年来，在国内单轨高架游览车系统领域位居市场第一，双轨小火车类产品稳居市场前三。公司依托株机公司轨道交通国家级工业设计中心和国家级企业技术中心，在机电一体化方面具备得天独厚的优势，形成了丰富、卓越、创新的产品体系，掌握了系统集成、轨道系统、供电系统、电气控制系统、驱动系统，制动系统等多方面核心技术。美国商务部工业与安全局（BIS）的黑名单包括被拒绝人名单、未核实名单、实体清单、军事最终用户清单。此次的三十三家中国实体属于未经核实名单，美国的未经核实清单主要是针对BIS无法在其先前交易中确认物品最终用途的当事方。不同于实体名单，未核实名单的限制没有这么严格，向UVL名单所列的采购商、中间收货人、最终收货人或最终用户出口、再出口或转让美国原产物项时，不得享受任何许可例外，且必须出具“UVL声明”。