低温探针台

低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。规格：试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。 温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择 温度精度：0.1k或更好 热探针臂和辐射屏蔽 卡盘和探针臂的温度监测辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。 真空压力 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。 相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力

LH-CRPS-5K 是性价比很高的一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温探针台。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和 追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其 它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-5K 是易捷测试探针台家族中，能实现最低温度的探针台，最低温度低于5K。 多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-5K 最大可安装样品台直径102mm(4in)出厂时标准配置三同轴样品台，直径451mm(2in)

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、4.5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、经济地进行测试。低温探针台，设计用于支持在真空或气体环境中对高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。 系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够配置来各种测试应用程序。 可用于高达100mm、150mm和200mm的晶圆测试 可配置4或6个探针臂。 还可以选择探卡进行测试 显微镜选择包括7:1,12.5:1和16:1数码变焦显微镜 BNC, Triax, DC pin ａnd RF 可选 用于探针微米定位的高分辨率探针臂 Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可选 RF选件包括可定制的RF探头、RFchunk和屏蔽罩系统 具有良好的隔振性能

产地：美国型号：PSF-4，PSW-4；该产品是全球知名的低温探针台、样品致冷机的生产厂家。致冷机(Cryostat)是低温探针台的核心组件：使用闭循环致冷机的低温探针台(PSF-4)，无须使用液氦、液氮等冷媒，仪器使用更方便，使用成本更低；使用开循环致冷机的低温探针台(PSW-4)，仪器噪声更低，仪器的价格也更好。技术规格：制冷技术冷头：DE-204闭循环冷头致冷类型气动G-M循环冷媒无须使用冷媒温度DE-204AF 10 K - 350 KDE-204SF 4.2 K - 350 KDE-204PF 6 K - 350 K800K高温选件(基础温度+2K) - 700K450K高温选件(基础温度+2K) - 450 K稳定性0.1 K降温时间降温至20K90分钟降温至1K160分钟升温时间加热功率样品台100W，辐射壳20W升温至300K30分钟破真空1小时探针臂探针臂数量标配4套，选配6套附选端口标准为2端口测量区域2 inch X 2 inch径向移动 (X-axis)63 mm (1.13 in.)横向移动 (Y-axis)51 mm ( 2 in.)垂直方向 (Z-axis)25 mm (1 in.)移动尺度10 μm灵敏度1 μm样品距视窗距离63 mm (2.48 in.)探针直流-射频 DC-RF微波 DC-67 GHz光纤防振台振动水平 1 μm (冷头工作)高度765 mm (30.1 in.)宽度927 mm ( 36 in.)垂直移动范围737 mm (29 in.)显微镜，带有CCD相机视场4.2 - 0.61 mm工作距离89 mm数值孔径 (N.A.)0.024 - 0.08最高分辨率1 μm放大倍率和显示器的规格有关图像尺寸1280 x 1024 像素相机输出USB-2.0帧速25 fps参考用户：北京大学，清华大学，电子科技大学，东南大学，浙江理工大学等；

液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点&bull 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K&bull 测试温度范围宽，支持80K-800K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏&bull 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-LN2-2PSM-LN2-2HPSM-LN2-4PSM-LN2-4H温度范围 80K--500K80K--800K80K--500K 80K--800K控温稳定性+/-50mK+/-100mk+/-50mK+/-100mk样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座无氧铜接地样品座 无氧铜接地样品座无氧铜接地样品座 尺寸2寸2寸4寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到400K）同轴样品座 （温度只能到400K）三同轴样品座（温度只能到400K）探针臂类型直流探针臂数量4接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率 DC--50MHz匹配阻抗 50欧姆位移范围Z +/-6.5m R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5m X+/- 35mm,Y+/- 12.5mZ +/-6.5m R+/-10°光学系统显微镜放大倍数 10--180倍分辨率3微米视场 22mm工作距离 90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积 4L 5.5L整体尺寸800*800*600900*900*600腔体内径 124mm155mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口红外吸收窗口防辐射屏窗口 N/A标准石英窗口 N/A标准石英窗口真空度 5*10E-4 torr预留接口2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料 N/A不锈钢 N/A不锈钢液氮腔体液氮容量 0.5L冷却时间60分钟到80K 80分钟到80K液氮消耗量0.2L从室温到80K0.3L从室温到80K液氮保持时间 4小时@80K 3小时@80K专用振动隔离桌尺寸 800*800*800 900*900*800桌推 固定脚&滚轮

LNPS-80 可以 对器件进行非破坏性的测试，器件的 最大尺寸可达到 80mm。可以对材料 或器件的电学特性、光电特性等效应 进行测量，为 DC 测量 RF 测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。 纳米电子材料、量子线、量子点和半 导体材料是在探针台上进行测量的比 较典型的材料。探针台系统的探针、 测试电缆、样品台都有多种类型可供 选择，从而满足不同用户的需要。 LNPS-80 的温度变化范围从 80K 到 425K，系统需要使用液氮实现变温， 防热辐射屏大大降低了黑体辐射，提 高了制冷效率，减少了液氮消耗。样 品台上装有温度传感器和加热器，实现样品台快速变温以及精准控温。 LNPS-80 具有四个可以进行微调的探针臂，每个探针臂上的探针都 可以进行三维方向上的精准定位。探针采用铍或者钨制成，针尖直径 10 微米，减少探针 对样品的热传导。每个探针臂都采用 304 优质不锈钢加 G10 制作而成，每个探针臂都进 行有效的热沉，减小探针臂漏热进而减少探针对样品的漏热。 为了提高系统的实用性和操作性，系统配备了高放大倍数的显微镜。

DCH系列高低温真空探针台产品概要DCH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有广泛运用。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300°C,400°C,500”C甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。技术特点防辐射屏和热沉设计 降温速度快,常温降至 77k25mins,大大提高测试效率 液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。

CT-6高低温探针台 最大可用于12英寸以内样品测试采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜 CINDBEST CT-6 | 6"~12" 高低温探针台测试系统 特点/应用 ◆ 最大可用于12英寸以内样品测试◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量◆ 可升降调节适合加装探针卡◆ 可搭配多种类型显微镜◆ 结构模块化设计，可无缝升级◆ 探针台可根据客户要求定制。 高低温探针台 ◆ 台体规格： 型号：CT-6/CT-8/CT-12 样品台尺寸：6英寸/8英寸/12英寸 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 X-Y移动行程：6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 X-Y移动精度：10微米/1微米 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 温度范围：负80°到正400° 温控精度：0.01°/0.1°/1° 重量：约120千克/150千克 ◆ 光学系统： 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率：16X-200X/20X-4000X 移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm 光源：外置LED环形光源/同轴光源 CCD：200万像素/500万像素/1200万像素 ◆ 定位器： X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 吸附方式：磁力吸附/真空吸附 线缆：同轴线/三轴线 漏电精度：10pA/100fA/10fA 固定探针：弹簧固定/管状固定 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 针尖材质：钨钢/铍铜 ◆ 可选附件 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。

大型真空高低温探针台郑科探，低温真空探针台可使物理科学家和研究员通过方便的，可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。低温真空探针台是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。典型的应用包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，微波测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性，理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。大型真空高低温探针台郑科探真空腔体腔体材质304不锈钢上盖开启铰链侧开加热台材质304不锈钢内腔体尺寸φ160x90mm观察窗尺寸Φ70mm加热台尺寸φ60mm观察窗热台间距75mm加热台温度﹣196~350℃加热台温控误差±1℃真空度机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa允许正压≤0.1MPa真空抽气口KF25真空法兰气体进气口3mm-6mm卡套接头电信号接头SMA转BNC X 4电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V探针数量4探针探针材质钨针 探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程30mm ±15mmX轴控制精度≤0.01mmY轴移动行程13mm ±12.5mmY轴控制精度≤0.01mmZ轴移动行程13mm ±12.5mmZ轴控制精度≤0.01mm电子显微镜显微镜类别物镜物镜倍数0.7-4.5倍工作间距90mm相机sony 高清像素1920※1080像素图像接口VGALED可调光源有显示屏8寸放大倍数19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

LH-CRPS-EMHF是一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温磁场探针台，配1T 水平磁场，实现样品面内增加磁场。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的 专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通 过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科 研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-EMHF可实现最大面内磁场1T 的情况下，实施C-V 、I-V、微波、及磁输运等测量测试。多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-EMHF 最大可安装样品台直径，25mm(1in), 在最低温度8K 时可实现样品台，360度旋转，可测量磁场相关的各项异性参数。

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

4K闭循环低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-4K系列低温探针台是的一款性能优越的闭循环低温探针台，其紧凑型以及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个＜5K-350K高低温真空测试环境。采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。特点&bull 采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@4.5K-350K。&bull 测试温度范围宽，支持4.5K-350K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-4K-2 PSM-4K-4温度范围4.5K--350K4.5K--350K控温稳定性+/-50mK振动＜1μm样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座尺寸2寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到350K）同轴样品座 （温度只能到350K） 三同轴样品座（温度只能到350K）探针臂类型直流探针臂（标准）可选规格微波探针臂、光纤探针臂可订制规格 双光纤探针臂、直流和微波组合探针臂、热电偶探针臂数量4（标准），最多可配6接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率DC--50MHz匹配阻抗50欧姆位移范围X+/- 35mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°光学系统显微镜放大倍数10--180倍分辨率3微米视场22mm工作距离90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积9L12L整体尺寸900*900*600900*900*600腔体内径 280mm 280mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口标准石英窗口防辐射屏窗口 红外吸收窗口真空度 5E-4 torr预留接口 2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料不锈钢冷却时间120分钟到5K150分钟到5K冷源 GM制冷机专用振动隔离桌 尺寸800*800*800900*900*800桌推 固定脚&滚轮

Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计，它可以容纳直径高达102 mm（4英寸）的晶圆片，并可定制容纳更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计，同样可以有效的测量有机材料。 FWPX探针台采用了连续流制冷系统，使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K，使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。 FWPX探针台可进行I-V，C-V 和微波等标准测量。 FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂，经过优化设计后可用于电光测试。 主要特征： √ 温度范围4.5 K~475 K √ 可选低温3.5 K √ 样品快速测量 √ 标准4英寸（102 mm）样品，6英寸（152 mm）可定制 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm 设备参数： 温度范围 最多安装6个探针臂 基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.5 K，控制范围4 K ~ 475 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±20 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±20 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±20 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温下 5 × 10-4 Torr 基础温度下 1 × 10-5 Torr 最高温度下 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 3.5 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 1.5 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 102 mm(4英寸)标准 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°面内旋转 样品平移 在x轴和y轴上平移，用于整个102 mm的晶圆片探测 样品振动 ＜30 nm标准 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜30 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为51毫米（2 英寸）的圆内落针

Avantgarde 液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点：1.液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。2.探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。3.独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。4.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性5.探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温。6.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏7.上盖采用翻盖结构，换样更便捷。

叉指微电极因其微小的电极间距结构可用于各种小型化传感器。对于传统分析检测，包括色谱法、光谱法、质谱等方法，大多都需要昂贵的仪器和多种操作步骤，使得许多实际问题仍面临困难。开发高灵敏度、低成本，小型化的传感器尤为重要。本文综述了叉指微电极的研究进展，介绍了基于叉指微电极的传感器在各领域的广泛应用。小型真空探针台郑科探 KT-Z4019MRL4T是一款高性价比配置的真空高低温探针台，功能，价格较低等特点。高温400℃ 低-196℃ 测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜。公司致力于各类探针台，（包括手动与自动探针台、双面探针台、真空探针台、）、显微镜成像、光电一体化的技术研发，拥有国内专业的技术研发团队，在探针台电学量测方面拥有近十年的经验团队。微电容单通道叉指电极高低温探针台微电容单通道叉指电极高低温探针台KT-Z4019MRL4T真空腔体类型高温型室温到400℃高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台，能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。 TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作和控制，系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行，可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm（2英寸）的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。 TTPX探针台是Lake Shore为光电材料表征而设计的高端产品，它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的首选工具。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K，可选高温675 K √ 标准2英寸（51 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T √ 允许样品背光接入 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装6个探针臂 基础温度4.35 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 安装PS-HTSTAGE高温选件 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸)标准 样品背光接口 5 mm (0.2 in) 直径 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

铬金薄膜的蒸镀生长。本文所研究的叉指电极结构采用铬、金材料制作。首先需要在玻璃衬底上生长一层均匀覆盖的薄膜。将上一步工艺过程中清洗好的玻璃片放入电子束蒸发镀膜机中，抽真空后，先蒸镀 50 厚度的铬金属层，再蒸镀1000? 厚度的金层，后升温到 300℃进行热处理以增强铬金层的黏附性。紫外光刻。首先利用匀胶机在玻璃衬底表面旋涂一层均匀的光刻胶，厚度大约为 1~2μm，然后利用光刻机设备以及已制备好叉指电极图形的光刻板在玻璃片表面进行紫外曝光工艺，然后在显影液中显影得到掩模图形。完成光刻后，在铬金金属薄膜表面上就形成光刻胶的电极图案。叉指电极是指状或梳状的面内有周期性图案的电极，它是通过电化学工艺加工获得的超精细电路。作为电信号传输核心部件，广泛应用于生物医疗检测、环境在线监测，食品安全检测，安全监测等重要领域。铂金叉指电极高低温探针台铂金叉指电极高低温探针台KT-Z4019MRL4T 参数 真空腔体类型高温型室温到400℃高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

硅基叉指电极结构高低温探针台KT-Z4019MRL4T 叉指电极传感器主要包括四个结构参数，分别为:叉指电极对的对数、叉指宽度、相邻叉指之间的间隙距离以及叉指电极的厚度。这四个参数对基于叉指电极的生化传感器关键性能指标都有很大影响。通过分析叉指电极阻值的计算公式可发现，叉指的长宽比越大，叉指的密度越大，叉指电极的初始电阻越小，从而传感器的灵敏度和响应速度就会越高。当叉指电极结构尺寸减小到微米量级以下，叉指电极结构间的微弱的电阻变化可以被灵敏地检测到，叉指电极传感器的灵敏度得以显著提高。叉指电极结构周围的电场分布可以通过理论分析以及数值模拟计算得到，计算结果表明叉指电极传感器的电场强度与电极厚度成近似反比关系，电极越厚，电场强度越小。因此，通过优化叉指电极传感器的相关结构参数可以提高生物化学传感器的性能，当应用于不同的传感检测领域时，可能需要使用不同结构参数的叉指电极结构。硅基叉指电极结构高低温探针台KT-Z4019MRL4T 参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

高低温探针台为小尺寸样品测量电特性提供高精度可控测量环境。应用方向 探针台可实现精准可靠的测试与测量分析，帮助精准测量 和分析判断晶圆器件的性能，包括提供材料/器件的IV/CV特 性测试、LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分 析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案核心参数(部分)

Lake Shore的PS-100探针台是一款经济型的多功能型桌面式低温探针台，对资金有限或刚开始进行材料测试的实验室来说是不错的选择。该系统拥有超快的交货周期，且只需要使用真空泵和制冷剂即可开始进行低温实验。 PS-100预配置用于高灵敏、高阻抗的直流测量，使其能够在各种应用中使用。它具有用于四点探测的四臂三同轴TTPX探针台配置，并在 4.2 K 至 475 K 的温度范围内提供高稳定性操作。高精度、微型操作台可确保精确的探针尖端放置，PS-100可容纳直径高达32 mm（1.25英寸）的样品。 PS-100紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究，它通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作。通过配套的Lake Shore 336型控温仪，用户可以在监测探针臂温度的同时独立调节样品台和防辐射屏的温度。 此外，PS-100型号具有完整的热沉和辐射屏蔽功能来防止热量到达样品。将探针冷却至样品台温度，以最大限度地减少测试器件的热负载。 PS-100台式低温探针台也可现场升级。当您的研究改变或预算允许时，您可以通过从TTPX系列中选择选件来添加其他功能，如低温或高温选件、减震或背面光学接口等。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K √ 标准1.25英寸（32 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 快速交货 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 475 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 32 mm(1.25英寸)标准 样品背光接口 无 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 4 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数，ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。 为了最大限度地提高样品磁场，EMPX-H2的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行，配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷，可使用液氦或液氮进行冷却。 主要特征： √ 温度范围4.5 K~400 K √ 可选低温3.2 K √ 水平磁场±0.6 T √ 最大1英寸（25.4 mm）样品 √ 无需系统降温即可施加磁场 √ 样品360°旋转磁各向异性测试 设备参数： 磁场 磁体类型 电磁铁 磁场方向 水平方向（平行于样品面） 磁场控制 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制 磁场大小 最大±6 kOe (±0.6 T) 磁场均匀性 0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径 探针针尖移动 5 μm 整个磁场范围内 温度范围 最多安装4个探针臂 基础温度4.5 K，控制温度范围5 K~400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制温度范围3.3 K~400 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±20 mK ±50 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±50 mK ±100 mK 101 K ~ 250 K ±50 mK ±100 mK 251 K ~ 400 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 3 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 1.25 h 探针台升温 1.25 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 360°样品旋转选件(PS-360-EMPX) 样品振动 ＜300 nm 标准 探针配置 最大探针数 4 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能设计的无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRX-4K多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K，探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。CRX-4K 可定制容纳直径达102 毫米（4 英寸）的晶圆片，并有直径 51 毫米（2 英寸）的探测区域。主要特征： √ 温度范围4.5 K~350 K√ 可选高温至675 K√ 无液氦低温操作√ 降温中尽可能减少样品冷凝√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102mm）可选√ 环形磁场选件最大0.19T设备参数：温度范围安装2个探针臂基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 350 K安装4个探针臂基础温度5.5 K，控制范围6 K ~ 350 K安装6个探针臂基础温度6.0 K，控制范围6.5 K ~ 350 K安装PS-HTSTAGE选件（与样品背面偏压不兼容）基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K温度稳定性基础温度 (无加热控制)未说明10 K±50 mK10 K ~ 100 K±10 mK101 K ~ 250 K±10 mK251 K ~ 350 K±20 mK351 K ~ 675 K±50 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准抽真空时间30 min (1×10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr基础温度1 × 10-5 Torr最高温度1 × 10-5 Torr循环时间总循环4 h抽真空0.5 h探针台冷却2 h探针台升温1.5 h样品最大尺寸51 mm(2英寸)样品背光接口不可选样品旋转不可选样品振动＜1 μm探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。 CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。 CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~400 K √ 可选低温1.9 K √ 垂直磁场±2.5 T √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 设备参数： 磁场 磁体类型 超导螺线管 磁场方向 垂直方向（垂直于样品面） 磁场控制 电流控制 磁场大小 最大±25 KOe(±2.5 T) 磁场均匀性 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 探针针尖移动 5μm 整个磁场范围内 温度范围 最多配置6个探针臂 基础温度4.3 K，温度控制范围4.4 K ~ 400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度1.9 K，温度控制范围2 K ~ 400 K 温度稳定性 液氦 基础温度 (无加热控制) ±15 mK 10 K ±50 mK 10 K ~ 100 K ±20 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK 351 K ~ 400 K ±50 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 PS-HV-CPX选件 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 10 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 5 × 10-6 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 最高温度 5 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 循环时间 总循环 4 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 2 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°样品面内旋转 样品振动 ＜300 nm（标准），＜30 nm（配置减震选件PS-PVIS） 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接磁体防辐射屏热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统特点/应用◆ 2至6英寸样品台◆ 高真空腔体◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好◆ 77K-675K高低温环境◆ 兼容IV/CV/RF测试◆ 外置多探针臂，移动行程大◆ 经济实用，可无缝升级极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。◆ 腔体规格：型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸样品固定：弹簧压片观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸真空度：10-6torr探针臂接口：4~6个探针臂接口其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口制冷方式：液氮/液氦/制冷机温度范围：77K到573K/4.5K到573K温控精度：0.1K/0.01K/0.001K稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高重量：约100千克/120千克◆ 光学系统：显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜放大倍率：16X-200X/20X-4000X移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm光源：外置LED环形光源/同轴光源CCD：200万像素/500万像素/1200万像素◆ 探针臂：X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm结构：外置探针臂，真空波纹管结构移动精度：10微米/1微米线缆：同轴线/三轴线/射频线漏电精度：10pA/100fA/10fA固定探针：弹簧固定/管状固定接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子频率支持：DC-67GHZ针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米◆ 其他组件：真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机◆ 可选附件超高温配件显示器转接头射频测试配件屏蔽箱光学平台镀金卡盘光电测试配件高压测试配件分子泵组激光系统气敏测试配件规格及设计如有更改，恕不另行通知。

1、 低温探针台工作原理：低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八探针）高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K（可选600K）各类无制冷剂制冷系统（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各类磁场（永磁体、电磁体和超导磁体）2、低温探针台型号及技术参数如下：CPS-25-CF-HV-10K无氦低温探测台用于10K到460K成本效益，稳定，可靠，使用方便 可达25mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性）- 闭环循环制冷机 - 高达25mmx25mm样品表征- 选择DC至67GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有可达4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽- 改进真空等度的组件的- 方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦闭路循环制冷机，包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管温度范围：低于10K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-100-CF-77K无氦低温探针台对于晶圆级测试在77K至480K- 成本效益，稳定，可靠，方便使用可达100mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机- 高达2英寸直径的表征样品- 选择DC至67GHz的测量与适当的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管低于77K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-150-LN2/LHe-HV液体低温探针台适合全片的测试在5K至460K范围 具有成本低，稳定，可靠，方便使用等特点可达150mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性，优于在低于250K50mK稳定性）无论是用液氮或液氦冷却均可兼容- 选择DC到110GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求- 电动XY，XYZ或XYZ?夹头位置调整作为选项带有不同的范围和分辨率 详细参数175毫米D，最多3个辅助夹头可以安装液氮或液氦冷却温度范围：5K至480K可用控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层可同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力隔振- 空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管- 在卡盘振动30nm CPS-CF无氦低温探针台CPS-CF成本低，稳定，可靠，方便在非常低的温度对器件和电路的探测。内置隔振，智能热管理和工程热补偿，使这个系统非常适用于广泛的纳米电子学，从跨越应用程序（石墨烯研究，分子电子学等）。该系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，具有经济快速的操作。内置隔振的振动最小化符合行业标准的水平。超稳定的微操纵阶段允许在设备功能的探针尖端的准确和可重复的接触。探头和硅片夹的多种选择允许应用程序超精密，FA-规模的测量，射频测量等等 具有成本低，稳定，可靠，方便的使用的优点- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机 成本低- 高达2英寸的直径样品- DC至67GHz的测量- 4 微控探头臂（最多8个提供选装配置），高度精确的XYZ和可选θ调整-热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求 详细参数可达50mm无液氦 封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管温度范围：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K控温精度：0.1K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘夹头和探针臂的温度监控窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力基于LabVIEW的软件进行计算机控制和温度监控，可以由最终用户很容易地编程空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管低温探针台的特点：全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的

美国迈锐是全球知名的低温探针台生产厂家。致冷机(Cryostat)是低温探针台的核心组件：使用闭循环致冷机的低温探针台，无须使用液氦、液氮等冷媒，仪器使用更方便，使用成本更低；使用开循环致冷机的低温探针台，仪器噪声更低，仪器的价格也更好。 美国迈锐低温真空探针台的技术规格：致冷技术冷头：DE-204闭循环冷头致冷类型气动G-M循环冷媒无须使用冷媒温度DE-204AF 10 K - 350 KDE-204SF 4.2 K - 350 KDE-204PF 6 K - 350 K800K高温选件(基础温度+2K) - 700K450K高温选件(基础温度+2K) - 450 K稳定性0.1 K降温时间20K90 min ( 65 min with turbo upgrade)Within 1K of Base160 mm (90 min with turbo upgrade)Upgrade to 210 Cooler for minimum cool down times.升温时间Heater Power50W Sample, 100W Radiation shieldBase to 300K30 min Sample, 30min Radiation shieldBreak Vacuum1 hr探针臂探针臂数量标配4套，选配6套附选端口标准为2端口测量区域2 inch X 2 inch径向移动 (X-axis)63 mm (1.13 in.)横向移动 (Y-axis)51 mm ( 2 in.)垂直方向 (Z-axis)25 mm (1 in.)移动尺度10 μm灵敏度1 μm样品距视窗距离63 mm (2.48 in.)探针直流-射频 DC-RFTungsten with Coaxial or Triaxial Cable(custom tips available)微波 DC-67 GHzContact ARS for Custom Microwave Probe Solutions光纤 Fiber OpticContact ARS for Custom Fiber-Optic Probe Solutions防振台振动水平 1 μm (冷头工作)Table Top Height765 mm (30.1 in.)Table Top Width927 mm ( 36 in.)Vertical Travel (Z-axis)737 mm (29 in.)显微镜，带有CCD相机视场4.2 - 0.61 mm工作距离89 mm数值孔径 (N.A.)0.024 - 0.08最高分辨率1 μm放大倍率和显示器的规格有关图像尺寸1280 x 1024 像素相机输出USB-2.0帧速25 fps附件Ring Light Boom Stand USAF 1951 Test target 参考用户：北京大学，清华大学，电子科技大学，东南大学，浙江理工大学等；

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

产品概要：低温探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到102mm(4inch)。一般来讲， 纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在低温探针台在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。基本信息：1、系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度 范围：4.2/77 K to 500 K2、高温选件，温度范围可到 20K-700K3、￠5mm(0.2 in)光学样品架，可以从背面照射样品4、样品台旋转选件，旋转角度±180 度，角度分辨率5、0.1 度，可选手动或电动旋转6、测量 DC 到 67GHz7、最大测试样品尺寸 51mm 直径8、最多可使用 6 个探针臂9、探针臂上安装温度感器进行温度监测10、控温稳定性： ±50mK11、探针臂 3 轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转技术优势：1、电缆、屏蔽和 Guard 保护进一步减少了电噪声和热辐射损失2、支持未来升级闭循环，可将温度范围扩展到 4k3、控温稳定性大大增强4、实时进行温度检测应用方向：它为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。

ARS纳米级超稳超低振动型低温探针台的设计具有极大的灵活性，可用于无损器件测试。探针配置和系统设计可以根据您的具体实验要求进行定制。 系统标准温度配置为低温5K，可选450K和800K高温度选项。 探针台采用ARS闭式循环制冷机，ARS制冷机为气动驱动GM制冷机，它具有一级冷台制冷能力高和固有的低振动相结合的特点，使其成为纳米科学和敏感器件测量的理想选择。 ARS探针台都采用高质量的真空元件，高抛光的不锈钢真空腔室和镀镍的高纯铜辐射屏蔽提供了干净的样品环境。低发射率和高导热率的镀镍和铜防热辐射屏使样品台具有更大的冷却能力。 ARS不仅是探针台的生产商，也是制冷机的生产商，这确保了集成制造的一致性，并能对系统提供整体的售后保障。 应用案例：● 电磁特性● 微波特性● 低频，高频特性● MEMS● 纳米电子学● 超导特性● 纳米器件光电性能● 量子点及纳米线● 单电子● 低电流物理特性 特点备注温度范围： 6K-350K振动优于50纳米10英寸不锈钢真空室7英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围6K-350K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约4小时至10K（DE2010S冷头）真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径7英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动氦气减震， 30-50纳米（峰对峰）温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模 典型案例PS-CCMicro-photoluminescence cryogen-free probe station with custom piezoelectric-positioned XY motion.PS-CCUltra-low vibration probe station with XYZ motion and objective lens