电动高负载扫描台Scanner55-xy特点&bull 紧凑的设计,外形尺⼨ : 55*55*15 mm&bull 超⾼ 真空 & 极低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料 纯Ti & BeCu组成,兼容 18 Tesla磁场&bull ⾼ 负载 : 500 g&bull ⾏ 程@300 K: 120*120 um&bull 空间扫描达到 2 nm 分辨率电动高负载扫描台Scanner55-xy尺⼨ 图Scanner55-xy, 详细参数*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆ 要求(建议低于50欧姆可选版本 ⇨ .HV (default).ULT.UHV.ULT.UHV.HV 版本, 默认产品 .ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤ .UHV 版本, 兼容2E- 11 mbar1 尺⼨ 55 × 55 mm × 15 mm2 重量150g工作环境 3 基础温度范围 : 1.4 ~ 400 K真空 : 2e-7 mbar最⼤ 磁场 : 18 Tesla4 可选 1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e- 11 mbar&check &check 材料6 主体纯Ti铍铜纯Ti铍铜7 线缆磷铜双绞线, 20cm8 插针材料Polyster (glass Þ ber Þ lled), BeCuPeek, BeCu9 插针数⽬ 每个扫描维度 2 pins运动参数10 扫描维度X, Y11 ⾏ 程@300 K120*120 um12 驱动电压Max. 75 V @300 KMax. 180 V @4 K13 最⼤ 负载500 g14 电容@300 K7 uF15 分辨率2 nm16 线性度误差Typical ~ 0.1 %17 可重复性 10 nm
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