复合分子泵

非自耗真空电弧熔炼炉的分子泵转速一直上不去，在30000左右徘徊，达不到要求的36000的转速，而且测真空的电离规也不亮了。[img=,336,448]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910251821164093_130_4024863_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,270,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910251825142806_6516_4024863_3.jpg!w690x920.jpg[/img]

工作学习当中，我们经常会用到一些国内外的各种仪器设备，但是厂家书写的仪器使用手册过于详细冗长，甚至不易于掌握。遇到不经常用的仪器，更是要连人和仪器一起借过来，才可以使用它，这样一来，往往就非常不方便。当我们“借”不到熟练的使用者时，贸然边学边操作仪器，存在极大地误操作风险，甚至损坏昂贵仪器，并且耗费大量时间和精力。 对于不经常使用的仪器，非核心的仪器设备，由于时间精力还有风险等多重因素，我们压根不想学会使用操作它的方法，也不需要。我们迫切希望，仪器制造商，能够提供“傻瓜式”的仪器操作说明，越简洁越明了，越好，最好等能够让任何能够识字识图的初学者，第一次，就能正确使用它，但是很难遇到这样的情况。 为此，我写了一份机械分子复合真空泵的操作步骤说明，风格就是越简洁越好，不需要阅读，和理解仪器的工作原理，以及为什么这样做的前因后果，后经过吴光恒老师的精心修改，此文方成，在此非常感谢吴老师。但此文修改结束后，发现文章还是太长了，后期我考虑根据吴老师的修改意见，再出一版更加简洁的仪器操作步骤。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][align=center][b][font=华文中宋][size=16.0pt]杜瓦夹层抽真空详细步骤[/size][/font][/b][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]杜瓦夹层不同于一般真空腔，其内部空间弯曲、出气口窄小，而内表面积较大。这导致了两个不利因素：[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]在有了一定真空度后，分子自由程增大，气体不再以流动方式被抽出，而是像乒乓球那样碰撞前行，难以穿过窄小空间；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]夹层内两个大面积表面吸附了很多气体。这导致了短时间内把真空抽上去的难度。有的杜瓦还把活性炭放进夹层吸附气体，更增加了获得高真空的难度。因此，杜瓦夹层与一般真空腔抽空有些不同的地方。但分子泵的使用是大致一样的。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]一．标识图部分：[/size][/font][/b][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,434,274]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240937407447_2275_3389662_3.jpg!w434x274.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]控制仪表面板[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] 1. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]空开控制这个面板的所有动力输入，紧急情况下可以一拉了之；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]高真空计要在具有一定真空度（[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下）的时候方可打开。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]本系统所有阀门的关闭均为顺时针旋转，开启均为逆时针开启，与生活中开关矿泉水瓶子盖一致。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,269]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240943148195_16_3389662_3.png!w690x269.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空泵阀门[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]左图是个典型的机械泵[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵两级真空系统。如果没有“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀”及其通道，则是“非典型”设计，一般厂家为了盈利，有时会故意省略这里，采购时注意。右图中的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1, 2,3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀称为“角阀”。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀称为闸板阀，是既能保持分子泵最大抽气口径，又能抵抗大气压密封分子泵的特殊阀门，不能在一侧为大气压时开动此阀门。注意右图中真空计的高低真空传感器安装在真空室上面，真空计示数指示的仅仅是这个位置的真空度。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵是靠叶片在油中高速运转获得高真空的。因此确定了第一条使用规则：一旦分子泵开动直到其内部完全静止（关断电源仍然转动约[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟），[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀必须始终开启，保证机械泵对分子泵底部的抽气。第二条使用规则是，开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀用分子泵抽真空室之前，必须先对真空室预抽，获得[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下的真空度。这可以通过打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀利用机械泵[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空室这一旁路进行预抽。在开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之前，必须先关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，顺序不能颠倒，否则真空室里的气体会通过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀倒灌进入分子泵底部，轻则憋停分子泵，重则打坏叶片。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]这两条规则的相互矛盾之处在于，只有一台机械泵，严格遵守第一条，就无法操作第二条；操作第二条，则第一条就无法保证。解决的方法是机械泵可以暂时不抽分子泵（就是前面说的“关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀”），一旦把真空室预抽完成后，立即关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀、打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，把机械泵切换到分子泵这边来。这个“暂时”以[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟为度，期间足以把真空腔抽好。但一般大型设备[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟就切换一次，保证分子泵不至于过热。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]尽管各种阀门管道手动电动，位置各异，奇形怪状，但分子泵的原理决定所有系统的拓扑结构是一样的，基本操作规则也是一样的。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,298]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240944266237_929_3389662_3.png!w690x298.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]开关控制机械泵，该开关可以常开[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,538]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240945483798_8974_3389662_3.png!w690x538.jpg[/img][/size][/font][/align][b][font=华文中宋][size=12.0pt]二．准备工作[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]连接管路：真空泵与杜瓦连接[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]来到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]（或[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]、核磁）旁边，按下图所示找到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]（或[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]、核磁）杜瓦的外真空抽口。用一个活动扳手保护住下面的灰黑色方块，另外一个活动扳手小心的拧下[color=#C00000]铜帽[/color]子。用一根足够长的波纹管从真空室的抽口连接到专用接头的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]KF25[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]接头上。可以用绳子、支架之类的物品辅助支撑和固定，避免接头过大受力（如上面图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]8[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]所示）。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,304,227]https://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif[/img][img=,629,301]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240946206595_1211_3389662_3.png!w629x301.jpg[/img][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将抽口螺纹上的残留生料带清理干净，并重新缠上几圈新的生料带。之后将抽杜瓦外真空的专用接头接到抽口上。拧紧时还是需要用一个扳手保护住下面的灰黑色方块，一个扳手稍稍用力拧紧即可。[/size][/font][align=center][b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,658,505]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240946479499_2442_3389662_3.png!w658x505.jpg[/img][/size][/font][/b][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]【以上各图待编号】[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将真空泵机组放置到杜瓦旁边的合适位置，检查电源线的接头处是否破皮，脱落，谨防漏电短路等危险；检查真空泵金属壳，是否另连接地线（实验室墙边接地铜排或接地箱），谨防触电；在需要时，插上泵总电源线插头。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]三．杜瓦夹层初抽[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]由于前面说的原因，夹层需要低真空下长时间的初抽，重要性甚至超过采用分子泵高真空的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]“[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]精抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]”[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]开动机械泵（[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]这个时候最好不要开真空表开关，真空表开关尽量在必要时且有一定真空度的时候开，以保护真空传感器[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]）：[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查泵、波纹管路连接密闭性[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]检查真空泵所有管路的[color=red]卡箍[/color]是否卡紧，避免漏气；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]~[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]5[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]门和杜瓦针阀，确保全部处于关闭状态；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查机械泵电动机上的[color=red]开关（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=red]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=red]），打开并在此后保持常开[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]给电。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]上推闭合[color=red]控制板上的空开[/color]，接着按下[color=#C00000]机械泵绿钮[/color]，启动机械泵。热机[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2-3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，期间注意听机械泵声音（不同气体流量声音不同），确认没有问题后，进入下一步[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽真空室。逆时针[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]慢慢打[color=#C00000]开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀，注意听气流声（真空室从大气压抽到大约[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]100 Pa[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]有明显声音变化），避免气流过猛。最后[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]转到底后回半圈。使机械泵抽空真空腔。在没有异常声音的情况下，几分钟后即可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]观察真空腔真空度。打开真空表电源（图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]右上角）开关，（真空表只有一个开关，高真空计有保护，真空达标才自动开启）。此时低真空计显示真空室真空度应该在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]50 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下。若在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内可以抽到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下，说明机械泵至[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之内的空间所有密封良好。可以进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]抽波纹管。[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]逆[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]时针[color=#C00000]慢开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，不要让低真空示数超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。开到底后返回半圈。如果在几分钟内低真空计达到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下，说明管道密封良好，可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]g.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]抽夹层。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启杜瓦[color=red]针阀旋钮[/color]，慢拧，不要让示数超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，观察真空气压仪表示数，判断杜瓦夹层密封状态；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]h.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]若在几分钟后低真空计可低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]50 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，说明夹层密封良好，可进入持续抽空[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]进程。建议连续抽气[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]24[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时以上，争取抽到低真空计示数[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-1[/sup][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]附近。长时间抽气关掉真空计为好。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以上“杜瓦初抽”过程的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a~e[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]也是机械泵预抽任何真空腔的通用步骤。在分子泵不开动的情况下，这个过程可用于长时间抽空，但要保证低真空计示数在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下。如果示数高于此说明真空腔或管道有漏气点，强行抽气容易造成机械泵过热和损坏。此时应停止抽气，关闭机械泵和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，检查真空腔和各个阀门接头。排除漏气点后方可继续抽气。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]四[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开动分子泵[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]由于分子泵开动后，机械泵必须持续抽分子泵下部，不能长时间（超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟）用于对其他真空腔的预抽，因此，请在夹层长时间抽空，且达到预期真空度（比如上面说的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-1[/sup]Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]）之后，再开启分子泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]上面已经说过分子泵的两条使用规则：[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]一旦分子泵开动机械泵必须始终抽其下部（在本系统为[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀始终开启）；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]用分子泵去抽真空室之前，必须先对真空室预抽，获得[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下的真空度。[b]必须牢记的是，在预抽操作中开启[/b][/size][/font][b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之前，必须先关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，顺序不能颠倒[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]。否则真空室里的气体会通过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀倒灌进入分子泵底部，轻则憋停分子泵，重则打坏叶片。因此，在使用分子泵时，任何阀门的开启都应该尽量慢些，以便即使开错阀门，也只是憋停分子泵而不至于打坏涡轮叶片。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,213,172]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240948014562_305_3389662_3.png!w213x172.jpg[/img][/size][/font][/align][align=center][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]【图号顺编】[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵操作仪表盘（白色）[/size][/font][/align][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查。确认[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀关闭。如果是长时间不用，除关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀外，此时不要去旋动任何阀门，以免大气冲进分子泵（分子泵关闭后，可长时间保持负压）。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开动机械泵。倾听声音，确认没有“抽大气”（长时间连续高速气流）的声音。打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，先抽真空室。这一步操作可以确认真空室密封没问题，也可以减少[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀两侧的压差。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]打开真空计。观察低真空计，判断真空室密封良好。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]抽分子泵下部。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]关[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀，慢开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]到底，然后回半圈。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]保持[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2-3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，若无异常声音，可认为分子泵一切良好。此时[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀两边应该压差较小，检查是否处于关闭状态（一般有指示）。无异常可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]启动分子泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]按下[color=#C00000]分子泵绿钮（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]x[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]中“[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀”两字下面那个）[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。有的还要按下分子泵白色操作仪表盘（图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]右[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]）的绿色“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]Run[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”按钮。此时仪表盘上行“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]RUN[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]”字符下的[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]红色[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]LED[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]灯开始[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]闪烁，数字显示为“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]Fxxx.x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”（[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]F[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]是[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]frequence[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，数字表示转数）；随分子泵转速上升。该系统分子泵转数为[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]400[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]转[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]/s[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。转速达到后没有噪音可判断分子泵转速已达稳定（期间可能有两次共振）。此时分子泵已经正常运转。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] f. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]再次预抽真空室（分子泵抽气之前，应即时进行一次预抽，以降低流过分子泵气流量）。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀。打开真空计，低真空若能在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内达到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下，即可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]g. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽真空室。关紧[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，再慢慢打[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]（到底回半圈）。关注[color=red]高真空仪表[/color]示数，若能够在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内降至[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-2[/sup][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]级时，说明分子泵与真空室密封合格。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]注意：以上操作是抽真空腔。如果是抽杜瓦夹层，操作[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]时要把[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀打开，同时预抽夹层。[b]没有经过预抽的空间，不允许用分子泵抽气[/b]（规则二）。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭分子泵[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]首先切断与真空腔的联通。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]关闭[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。确认[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀在开启状态。无异常可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]切断分子泵电源。按下[color=red]分子泵红钮（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=red]x[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=red]）[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，也可以先按下分子泵白色操作盘面上的“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]stop[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]键。观察转数示数的降低，应在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟左右停转；停转后再等待[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，手摸分子泵感觉温度，若无异常可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]停机械泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀。关闭机械泵（按下机械泵红色按钮（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]））。[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]d. [/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]切断电源。拉下白色空开，拔下真空系统电源线插头。[/color][/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]五[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽夹层[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]此步操作应在夹层长时间预抽之后进行。夹层有大量吸附气体，不经长时间预抽而进行分子泵抽气，效率低且对分子泵不利。此步操作也要在分子泵已经启动之后进行。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]假定此时状态为：波纹管已连接杜瓦；杜瓦针阀是关闭的；系统[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1, 2, 4, 5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀均为关闭；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] 3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀打开，机械泵抽分子泵底部；分子泵运转正常。[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽真空室。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，慢慢打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，让气流平稳。若无声音异常可进行下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]打开真空计电源，注意观察真空示数，如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内示数低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，则说明真空室密封良好，可以进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽夹层。慢慢打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，观察示数，避免旋转太快使之高于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。到底退半圈。如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内低真空示数低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，说明夹层密封良好，即可进入预抽，但关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀的时间不要连续超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内真空示数达不到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]之下（但可以低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]），则应将机械泵切换到分子泵抽气[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，再切回预抽。操作顺序为：[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀将机械泵切换到分子泵；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀将机械泵切换到夹层预抽。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]夹层若在持续抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15-20[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟后低真空示数在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]之下，即可进行下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽夹层。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀（均为到底回半圈），打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，观察真空计，此时高真空应该有示数，在几分钟之内应该进入[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-2[/sup][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]即为正常。此时分子泵抽夹层，根据需要持续抽气，期间可将真空计关闭。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空夹层小，抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]24[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时上到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-5[/sup][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]建议抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]48[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时以上，到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.2*10[sup]-4[/sup]Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]收尾。抽气完毕后，首先关闭夹层阀门，封闭夹层。然后关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，断开真空室与波纹管连接。此时分子泵还在抽气真空室。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，将分子泵与真空室断开。至此分子泵才是安全的，可进行其他操作。关闭真空计电源，保护真空传感器。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]注意：上面[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]条中关于“不超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟”的规定即为解决[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]“两条规则”冲突的变通方法。在这样短的时间里，分子泵可以暂时不被机械泵抽气，为机械泵提供一个执行预抽的时间窗口。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]六[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]拆下波纹管：[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]如果分子泵在运转，[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]确认分子泵处于安全状态（[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀关紧，[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀抽下部）。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]拧松钢波纹管[color=#C00000]卡箍[/color]，慢慢拧动放气，再完全拿下卡箍，用一个活动扳手（[color=#C00000]保持不动[/color]）保护住下面的灰黑色方块，另外一个活动扳手小心的拧下[color=#C00000]转接头[/color]；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将[color=#C00000]抽口[/color]螺纹、和[color=#C00000]铜帽[/color]内螺纹上的残留生料带清理干净，并重新缠上几圈新的生料带，[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]用一个活动扳手（[color=#C00000]保持不动[/color]）保护住下面的灰黑色方块，另外一个活动扳手小心的将[color=#C00000]铜帽[/color]拧紧到抽口上。[/size][/font][align=right][font=华文中宋][size=12.0pt]蔡泽森，吴光恒修改[/size][/font][/align][align=right][font=&][size=12pt]2020.06.08[/size][/font][/align]